JPH09142629A - ベルトコンベア - Google Patents
ベルトコンベアInfo
- Publication number
- JPH09142629A JPH09142629A JP30251295A JP30251295A JPH09142629A JP H09142629 A JPH09142629 A JP H09142629A JP 30251295 A JP30251295 A JP 30251295A JP 30251295 A JP30251295 A JP 30251295A JP H09142629 A JPH09142629 A JP H09142629A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- belt
- rollers
- belt conveyor
- small
- conveyor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Structure Of Belt Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 天井壁をエアーフィルタで構成したクリーン
ルーム内で使用した場合でも被搬送物に塵が付着しにく
いベルトコンベアを提供すること。 【解決手段】 間隔を設けて小径ローラ１，１を配置す
ると共に前記した各小径ローラ１の下方にそれぞれ駆動
ローラ２を設け、前記小径ローラ１，１及び駆動ローラ
２，２の外周面を利用してループ状のベルト３を張設
し、前記駆動ローラ２，２を同期回転させるようにした
ものであって、コンベア自体から発生した微細な塵がベ
ルト３の搬送面側に付着しないようにしてある。
ルーム内で使用した場合でも被搬送物に塵が付着しにく
いベルトコンベアを提供すること。 【解決手段】 間隔を設けて小径ローラ１，１を配置す
ると共に前記した各小径ローラ１の下方にそれぞれ駆動
ローラ２を設け、前記小径ローラ１，１及び駆動ローラ
２，２の外周面を利用してループ状のベルト３を張設
し、前記駆動ローラ２，２を同期回転させるようにした
ものであって、コンベア自体から発生した微細な塵がベ
ルト３の搬送面側に付着しないようにしてある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ベルトコンベア
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ベルトコンベアは一般に図４に示すよう
に一対のローラ９０，９０相互間にベルト９１を張設す
ると共に前記ベルト９１の内側面に駆動ローラ９３を接
触させて構成してあり、前記駆動ローラ９３へのベルト
９１の巻付け角度を大きくしてこれら相互間のスリップ
を防ぐべくローラ９２，９２を設けている。
に一対のローラ９０，９０相互間にベルト９１を張設す
ると共に前記ベルト９１の内側面に駆動ローラ９３を接
触させて構成してあり、前記駆動ローラ９３へのベルト
９１の巻付け角度を大きくしてこれら相互間のスリップ
を防ぐべくローラ９２，９２を設けている。
【０００３】したがって、駆動ローラ９３の回転力はベ
ルト９１の回転力として有効に伝達され、ベルト９１の
搬送面に載置された被搬送物は円滑に移送される。
ルト９１の回転力として有効に伝達され、ベルト９１の
搬送面に載置された被搬送物は円滑に移送される。
【０００４】しかしながら、上記ベルトコンベアでは、
例えば、天井壁をエアーフィルタで構成したクリーンル
ーム内において、上部開放の箱体内に収容する態様でウ
エハーを移送するような場合、ウエハーに微細な塵が付
着する危険性がある。
例えば、天井壁をエアーフィルタで構成したクリーンル
ーム内において、上部開放の箱体内に収容する態様でウ
エハーを移送するような場合、ウエハーに微細な塵が付
着する危険性がある。
【０００５】何故ならば、ローラ９２，９２と接触して
いるベルト部分が搬送面側であることからローラ９２や
ベルト９１から発生した微細な塵がベルト９１の搬送面
側に付着し、エアーフィルタからのエアーが直接ベルト
９１の搬送面にあたったときに前記塵が舞い上がってク
リーンルーム内を汚染するからである。また、上記ベル
トコンベアでは、コンベア相互の乗り継ぎのときにウエ
ハーを収容した箱体が移送方向前方側のコンベアのベル
トに衝突し、その際に生じる振動により発塵を引き起こ
す可能性もある。
いるベルト部分が搬送面側であることからローラ９２や
ベルト９１から発生した微細な塵がベルト９１の搬送面
側に付着し、エアーフィルタからのエアーが直接ベルト
９１の搬送面にあたったときに前記塵が舞い上がってク
リーンルーム内を汚染するからである。また、上記ベル
トコンベアでは、コンベア相互の乗り継ぎのときにウエ
ハーを収容した箱体が移送方向前方側のコンベアのベル
トに衝突し、その際に生じる振動により発塵を引き起こ
す可能性もある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明で
は、天井壁をエアーフィルタで構成したクリーンルーム
内で使用した場合でも被搬送物に塵が付着しにくいベル
トコンベアを提供することを課題とする。
は、天井壁をエアーフィルタで構成したクリーンルーム
内で使用した場合でも被搬送物に塵が付着しにくいベル
トコンベアを提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明のベルトコンベ
アは、間隔を設けて小径ローラ１，１を配置すると共に
前記した各小径ローラ１の下方にそれぞれ駆動ローラ２
を設け、前記小径ローラ１，１及び駆動ローラ２，２の
外周面を利用してループ状のベルト３を張設し、前記駆
動ローラ２，２を同期回転させるようにしたものであっ
て、コンベア自体から発生した微細な塵がベルト３の搬
送面側に付着しないようにしてある。
アは、間隔を設けて小径ローラ１，１を配置すると共に
前記した各小径ローラ１の下方にそれぞれ駆動ローラ２
を設け、前記小径ローラ１，１及び駆動ローラ２，２の
外周面を利用してループ状のベルト３を張設し、前記駆
動ローラ２，２を同期回転させるようにしたものであっ
て、コンベア自体から発生した微細な塵がベルト３の搬
送面側に付着しないようにしてある。
【０００８】つまり、このベルトコンベアでは、天井壁
をエアーフィルタで構成したクリーンルーム内で使用し
た場合でも、塵が舞い上がってクリーンルーム内を汚染
するようことはないから、被搬送物に微細な塵が付着す
る危険性は少ない。また、コンベア相互の乗り継ぎのと
きに被搬送物が移送方向前方側のコンベアのベルトに衝
突する危険性は回避できるから乗り継ぎの際に発塵を引
き起こす可能性も少なく、その結果、被搬送物に微細な
塵が付着する危険性は少ない。
をエアーフィルタで構成したクリーンルーム内で使用し
た場合でも、塵が舞い上がってクリーンルーム内を汚染
するようことはないから、被搬送物に微細な塵が付着す
る危険性は少ない。また、コンベア相互の乗り継ぎのと
きに被搬送物が移送方向前方側のコンベアのベルトに衝
突する危険性は回避できるから乗り継ぎの際に発塵を引
き起こす可能性も少なく、その結果、被搬送物に微細な
塵が付着する危険性は少ない。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を、
図面に従って説明する。
図面に従って説明する。
【００１０】このベルトコンベアは、天井壁をエアーフ
ィルタで構成したクリーンルーム内において図３に示す
ように、上部開放の箱体Ｂ内に収容する態様でウエハー
Ｕを移送するような場合に使用されるものであり、並設
した二本のベルト３に掛け渡す態様で前記箱体Ｂを移送
するようにしている。 〔ベルトコンベアの基本構造について〕このベルトコン
ベアは、基本的には、図１や図２に示すように、間隔を
設けて配置された小径ローラ１ａ，１ｂ（二つを並設
け）と、小径ローラ１ａ，１ａ及び小径ローラ１ｂ，１
ｂの下方にそれぞれ設けられた駆動ローラ２と、前記小
径ローラ１ａ，１ｂ及び駆動ローラ２，２の外周面を利
用して張設されたループ状のベルト３と、前記小径ロー
ラ１ａ，１ｂ相互間に設けられた多数の荷重受け用ロー
ラ４と、前記駆動ローラ２を回転させる駆動機構５と、
上記箱体Ｂを一定の軌跡で移動させるためのガイド６
と、前記したコンベア構成物が取り付けられる架台７と
から構成されている。 〔小径ローラ１ａ，１ｂについて〕小径ローラ１ａ，１
ｂはその直径を２０ｍｍ程度に設定した外周面をクラウ
ンとしたものであり、図１に示すように架台７の最上部
材７ａの上端両側部近傍にブラケット（図示せず）を介
して回転自在に取り付けられている。なお、この実施形
態では小径ローラ１，１の軸心間距離は１５００ｍｍに
設定してある。
ィルタで構成したクリーンルーム内において図３に示す
ように、上部開放の箱体Ｂ内に収容する態様でウエハー
Ｕを移送するような場合に使用されるものであり、並設
した二本のベルト３に掛け渡す態様で前記箱体Ｂを移送
するようにしている。 〔ベルトコンベアの基本構造について〕このベルトコン
ベアは、基本的には、図１や図２に示すように、間隔を
設けて配置された小径ローラ１ａ，１ｂ（二つを並設
け）と、小径ローラ１ａ，１ａ及び小径ローラ１ｂ，１
ｂの下方にそれぞれ設けられた駆動ローラ２と、前記小
径ローラ１ａ，１ｂ及び駆動ローラ２，２の外周面を利
用して張設されたループ状のベルト３と、前記小径ロー
ラ１ａ，１ｂ相互間に設けられた多数の荷重受け用ロー
ラ４と、前記駆動ローラ２を回転させる駆動機構５と、
上記箱体Ｂを一定の軌跡で移動させるためのガイド６
と、前記したコンベア構成物が取り付けられる架台７と
から構成されている。 〔小径ローラ１ａ，１ｂについて〕小径ローラ１ａ，１
ｂはその直径を２０ｍｍ程度に設定した外周面をクラウ
ンとしたものであり、図１に示すように架台７の最上部
材７ａの上端両側部近傍にブラケット（図示せず）を介
して回転自在に取り付けられている。なお、この実施形
態では小径ローラ１，１の軸心間距離は１５００ｍｍに
設定してある。
【００１１】したがって、この部分の構成を小径ローラ
１ａ，１ｂとしたことからナイフエッジ式のものと比較
して発塵の可能性は極めて低くなる。 〔駆動ローラ２について〕駆動ローラ２，２はその直径
を６０ｍｍ程度に設定した二つのクラウン部を有するも
のであり、図１や図２に示すように、架台７の中間部材
７ａに配置された一対のブラケット７０に軸受け７１を
介して回転自在に取り付けられている。
１ａ，１ｂとしたことからナイフエッジ式のものと比較
して発塵の可能性は極めて低くなる。 〔駆動ローラ２について〕駆動ローラ２，２はその直径
を６０ｍｍ程度に設定した二つのクラウン部を有するも
のであり、図１や図２に示すように、架台７の中間部材
７ａに配置された一対のブラケット７０に軸受け７１を
介して回転自在に取り付けられている。
【００１２】なお、この実施形態では駆動ローラ２，２
相互間距離を１２００ｍｍとすることにより駆動ローラ
２へのベルト３の巻付け角を比較的大きくしてあり、駆
動ローラ２とベルト３とのスリップの発生を防止してい
る。 〔ベルト３について〕ベルト３は、織物にゴム板を加硫
接着して成る一般的なものを使用しており、ベルト幅を
５０ｍｍに設定してある。このベルト３は図１や図３に
示すように、小径ローラ１ａ，１ｂ及び駆動ローラ２，
２並びに荷重受け用ローラ４の外周面を利用して張設さ
れており、このことから課題を解決する手段の欄の後段
部分に記載したように、これらローラ１ａ，１ｂ，２，
４とベルト３とから発生した微細な塵がベルト３の搬送
面側に付着しない。〔荷重受け用ローラ４について〕荷
重受け用ローラ４はその直径を４０ｍｍ程度に設定した
外周面をクラウンとしたものであり、図２に示すように
架台７の最上部材７ｂに配置されたブラケット７２に回
転自在に取り付けられている。 〔駆動機構５について〕駆動機構５は、図１や図３に示
すように、上記中間部材７ａの下面に取り付けられたモ
ータ５０と、前記モータ５０の出力軸に取り付けられた
プーリ５１と、中間部材７ａにブラケットを介して回転
自在に取り付けられたプーリ５２，５２と、上記駆動ロ
ーラ２の延長軸２０に取り付けられたプーリ５３，５３
と、プーリ５１，５２，５３に張設された伝動用ベルト
５４とから構成されている。したがって、モータ５０を
回転状態にすると、プーリ５１，５２，５３及び伝動用
ベルト５４を介して駆動ローラ２は回転し、ベルト３は
回転状態になる。 〔ガイド６について〕ガイド６は、図１や図２に示すよ
うに、上記最上部材７ｂの上面に設けられた一対のブラ
ケット６０，６１と、前記ブラケット６１の内面側に回
転自在に取り付けられた小ローラ６２とから構成されて
おり、ウエハーＵが収容された箱体Ｂは同図に示すよう
に、小ローラ６２，６２により挟み込まれるようにして
移動せしめられる。 〔架台７について〕架台７は、図１や図２に示すよう
に、市販されている型鋼を組み合わせ溶接して構成され
ている。
相互間距離を１２００ｍｍとすることにより駆動ローラ
２へのベルト３の巻付け角を比較的大きくしてあり、駆
動ローラ２とベルト３とのスリップの発生を防止してい
る。 〔ベルト３について〕ベルト３は、織物にゴム板を加硫
接着して成る一般的なものを使用しており、ベルト幅を
５０ｍｍに設定してある。このベルト３は図１や図３に
示すように、小径ローラ１ａ，１ｂ及び駆動ローラ２，
２並びに荷重受け用ローラ４の外周面を利用して張設さ
れており、このことから課題を解決する手段の欄の後段
部分に記載したように、これらローラ１ａ，１ｂ，２，
４とベルト３とから発生した微細な塵がベルト３の搬送
面側に付着しない。〔荷重受け用ローラ４について〕荷
重受け用ローラ４はその直径を４０ｍｍ程度に設定した
外周面をクラウンとしたものであり、図２に示すように
架台７の最上部材７ｂに配置されたブラケット７２に回
転自在に取り付けられている。 〔駆動機構５について〕駆動機構５は、図１や図３に示
すように、上記中間部材７ａの下面に取り付けられたモ
ータ５０と、前記モータ５０の出力軸に取り付けられた
プーリ５１と、中間部材７ａにブラケットを介して回転
自在に取り付けられたプーリ５２，５２と、上記駆動ロ
ーラ２の延長軸２０に取り付けられたプーリ５３，５３
と、プーリ５１，５２，５３に張設された伝動用ベルト
５４とから構成されている。したがって、モータ５０を
回転状態にすると、プーリ５１，５２，５３及び伝動用
ベルト５４を介して駆動ローラ２は回転し、ベルト３は
回転状態になる。 〔ガイド６について〕ガイド６は、図１や図２に示すよ
うに、上記最上部材７ｂの上面に設けられた一対のブラ
ケット６０，６１と、前記ブラケット６１の内面側に回
転自在に取り付けられた小ローラ６２とから構成されて
おり、ウエハーＵが収容された箱体Ｂは同図に示すよう
に、小ローラ６２，６２により挟み込まれるようにして
移動せしめられる。 〔架台７について〕架台７は、図１や図２に示すよう
に、市販されている型鋼を組み合わせ溶接して構成され
ている。
【００１３】このベルトコンベアは上記の上記のような
構成であるから、天井壁をエアーフィルタで構成したク
リーンルーム内において図３に示すように、上部開放の
箱体Ｂ内に収容する態様でウエハーＵを移送するような
場合でも、前記ウエハーＵがコンベア自体から発生した
微細な塵が舞い上がってクリーンルーム内を汚染するよ
うことはないから、被搬送物に微細な塵が付着する危険
性は少ない。コンベアの乗り継ぎ時においても同様であ
る。
構成であるから、天井壁をエアーフィルタで構成したク
リーンルーム内において図３に示すように、上部開放の
箱体Ｂ内に収容する態様でウエハーＵを移送するような
場合でも、前記ウエハーＵがコンベア自体から発生した
微細な塵が舞い上がってクリーンルーム内を汚染するよ
うことはないから、被搬送物に微細な塵が付着する危険
性は少ない。コンベアの乗り継ぎ時においても同様であ
る。
【００１４】なお、この発明のベルトコンベアは上記実
施形態に限定されるものではなく、一本のベルトを小径
ローラと二本のモーターローラとの外周面を利用して張
設するような形態でもよい。
施形態に限定されるものではなく、一本のベルトを小径
ローラと二本のモーターローラとの外周面を利用して張
設するような形態でもよい。
【００１５】
【発明の効果】課題を解決するための手段の欄に記載し
た作用の内容から、天井壁をエアーフィルタで構成した
クリーンルーム内で使用した場合でも被搬送物に塵が付
着しにくいベルトコンベアを提供できた。
た作用の内容から、天井壁をエアーフィルタで構成した
クリーンルーム内で使用した場合でも被搬送物に塵が付
着しにくいベルトコンベアを提供できた。
【図１】この発明の実施形態のベルトコンベアの一部を
断面した側面図。
断面した側面図。
【図２】図１に示したベルトコンベアのＸ−Ｘ断面図。
【図３】図１に示したベルトコンベアの要部の斜視図。
【図４】一般的なベルトコンベアの概念図。
１ 小径ローラ ２ 駆動ローラ ３ ベルト ４ 荷重受け用ローラ
Claims (2)
- 【請求項１】 間隔を設けて小径ローラ（１）（１）を
配置すると共に前記した各小径ローラ（１）の下方にそ
れぞれ駆動ローラ（２）を設け、前記小径ローラ（１）
（１）及び駆動ローラ（２）（２）の外周面を利用して
ループ状のベルト（３）を張設し、前記駆動ローラ
（２）（２）を同期回転させるようにしたものであっ
て、コンベア自体から発生した微細な塵がベルト（３）
の搬送面側に付着しないようにしてあることを特徴とす
るベルトコンベア。 - 【請求項２】 小径ローラ（１）（１）相互間に多数の
荷重受け用ローラ（４）を具備させてあることを特徴と
する請求項１記載のベルトコンベア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30251295A JPH09142629A (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | ベルトコンベア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30251295A JPH09142629A (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | ベルトコンベア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09142629A true JPH09142629A (ja) | 1997-06-03 |
Family
ID=17909862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30251295A Pending JPH09142629A (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | ベルトコンベア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09142629A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2835329A1 (en) | 2013-08-09 | 2015-02-11 | Miura Co., Ltd. | Conveying apparatus comprising a pairs of hydraulic cylinders |
-
1995
- 1995-11-21 JP JP30251295A patent/JPH09142629A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2835329A1 (en) | 2013-08-09 | 2015-02-11 | Miura Co., Ltd. | Conveying apparatus comprising a pairs of hydraulic cylinders |
| US9327908B2 (en) | 2013-08-09 | 2016-05-03 | Miura Co., Ltd. | Conveying apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2004210440A (ja) | 板状体の搬送装置 | |
| JPH09142629A (ja) | ベルトコンベア | |
| JP2001507807A (ja) | びん等の検査機械 | |
| JPH0952607A (ja) | クリーンローラコンベア | |
| JP3241487B2 (ja) | クロスフィーダ | |
| JPH0680234A (ja) | 反転装置 | |
| JPH0818677B2 (ja) | ウエハ搬送装置 | |
| JP3361906B2 (ja) | 搬送コンベア | |
| JPH07323920A (ja) | 包装体の搬送装置 | |
| JPH0632629A (ja) | 板状体の往復搬送装置 | |
| JP3354656B2 (ja) | 物品移載装置 | |
| JPH0249217Y2 (ja) | ||
| JP2000109013A (ja) | 梱包機のベルトコンベア装置 | |
| JPS6337244Y2 (ja) | ||
| JPH0330325Y2 (ja) | ||
| JPS59114214A (ja) | 仕分装置 | |
| JPH04323111A (ja) | 車両用ホイールの搬送用コンベア装置 | |
| JPH0418968Y2 (ja) | ||
| JPH06286843A (ja) | コンベア装置 | |
| JPH0537722U (ja) | コンベヤの搬送物支持弾性リングの取付構造及び該構造を具えたコンベヤの駆動構造 | |
| JP2706663B2 (ja) | 搬送装置 | |
| JPS5914409Y2 (ja) | 昇降機 | |
| JPH11171313A (ja) | 垂直ベルトコンベア | |
| JPH04365708A (ja) | 駆動ローラコンベア | |
| JPH04249337A (ja) | 搬送装置 |