JPH08208013A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被搬送物を搬送ロ−ラに乗せて搬送するにあ
たり、搬送路のレイアウトの設定やその後の変更に容易
に対応できるようにすること。 【解決手段】 本体の両側に夫々配置された搬送ロ−ラ
よりなる１組の搬送ロ−ラを備えた第１の搬送ユニット
１と、本体の両側に夫々配置された搬送ロ−ラよりなる
複数組の搬送ロ−ラを備えた第２の搬送ユニット２４、
２５とを、被搬送物が搬送ロ−ラに乗せられて搬送され
るように、並べて搬送路を形成し、非直線の搬送路に
は、少なくとも前記第１の搬送ユニット１を配置する。
従って非直線の搬送路の長さや曲率半径に応じた数だけ
第１の搬送ユニット１を配置すればよいので、搬送路の
非直線部分の設定変更が容易であり、また直線の搬送路
には第２の搬送ユニットを用いているので、１個、１個
並べて接続する必要がないし、長さの調整も容易に対応
できる。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、搬送装置に関す
る。 〔発明の詳細な説明〕 【０００２】 【発明の属する技術分野】本発明は、被搬送物をローラ
の上に乗せて搬送する搬送装置に関する。 【０００３】 【従来の技術】一般に荷物を搬送路に沿って搬送させる
装置として、ローラの上に乗せて搬送路上を搬送させる
装置が知られており、この種の装置として、従来例えば
特公昭５４−３３４３３号公報に記載されている技術が
ある。この技術は、搬送路の両側に沿ってコンベヤ枠体
を配置し、このコンベヤ枠体の間にローラを軸支し、こ
れらローラ群を搬送方向に配列してなるものである。そ
して非直線の搬送路（カーブ領域）においてはローラを
左右に分割し、つまりコンベヤ枠体間に内側ローラと外
側ローラとを設け、遊星歯車機構を利用して、曲率半径
に応じて外側ローラの速度が早くなるように設定し、ス
ムーズに荷物が搬送されるように構成している。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】ところで工場や倉庫内
などにおいて装置等の配置のレイアウトを変える場合が
あるが、上述の搬送装置は、左右の搬送枠体の間にロー
ラ群を取り付けて、一体の搬送路として構成しているた
め、搬送路の曲率半径を変更することができない。従っ
て曲率半径が異なる搬送路を設定する場合には、必要と
する曲率半径をもった別の搬送装置を使用しなければな
らないので、例えば新たに搬送装置を組立てなければな
らない。 【０００５】また今までの搬送装置を用いようとするな
らば、搬送路が決められてしまっているので、他のレイ
アウト、例えば装置や積み場所などの配置のレイアウト
が、搬送装置によってかなり制限されてしまうという課
題がある。 【０００６】本発明は、このような事情の下になされた
ものであり、その目的は搬送路のレイアウトの自由度が
大きく、レイウトの設定あるいはその後の変更が容易な
搬送装置を提供することにある。 【０００７】 【課題を解決するための手段】本発明は、本体の両側に
夫々配置された搬送ロ−ラよりなる１組の搬送ロ−ラを
備えた第１の搬送ユニットと、本体の両側に夫々配置さ
れた搬送ロ−ラよりなる複数組の搬送ロ−ラを備えた第
２の搬送ユニットとを、被搬送物が搬送ロ−ラに乗せら
れて搬送されるように、並べて搬送路を形成し、非直線
の搬送路には、少なくとも前記第１の搬送ユニットが配
置されていることを特徴とする。 【０００８】 【発明の実施の形態】以下、本発明ウエハ搬送装置の一
実施の形態を図面を参照して説明する。搬送ユニット
（１）の本体（２）の左側壁部には、回転軸（３）が貫
通して設けられている。この回転軸（３）の本体（２）
外の一端には搬送ローラ（４）が取着され、本体（２）
内の一端にはハスバ歯車（５）が取着されている。 【０００９】また、本体（２）の底部には駆動回転軸
（６）が貫通して設けられている。この駆動回転軸
（６）の本体（２）内の一端にはハスバ歯車（７）が上
記ハスバ歯車（５）と噛合うように取着され、本体
（２）外の一端には駆動プーリー（８）が取着されてい
る。そして、この駆動プーリー（８）を回転させること
により搬送ローラー（４）が回転可能に構成されてい
る。一方、本体（２）の右側にも上記同様に搬送ローラ
ー（９）、回転軸（１０）、ハスバ歯車（１１）、ハス
バ歯車（１２）、駆動回転軸（１３）、駆動プーリー
（１４）が設けられている。 【００１０】そして、第２図に示すように直線搬送部
（２４）、（２５）の間に搬送方向（２２）に対応して
例えば搬送ユニット（１）を３個並設する。詳しくは、
搬送ユニット（１）の回転軸（３）、（１０）の軸心を
通る直線（２１）が、搬送方向（２２）の描く円弧の中
心（２３）を通るように配置する。そして、上記円弧に
対して内側に位置する搬送ローラー（４）の搬送速度よ
りも外側に位置する搬送ローラー（９）の搬送速度が速
くなるように構成する。 【００１１】ここで、所定の周速度を得るための手段に
ついて説明する。第１図において、例えば駆動プーリー
（８）と（１４）以外は左右同一寸法構造とすれば、搬
送ローラー（４）と（９）の搬送速度の比は駆動回転軸
（６）と（１３）の回転速度の比によって決まる。そこ
で、第２図において、例えば搬送ローラー（４）の巾厚
中心点が描く円弧の半径をＡ、搬送ローラ（９）の上記
半径をＢとすれば、半導体ウエハ（図示せず）を複数の
搬送ユニット（１）上をスムーズに搬送するには、搬送
ローラ（４）の搬送速度／搬送ローラ（９）の搬送速度
＝Ａ／Ｂであれば良く、つまり、駆動回転軸（６）の回
転速度／駆動回転軸（１３）の回転速度＝Ａ／Ｂにすれ
ばよい。 【００１２】また、上記複数の搬送ユニット（１）を同
時に駆動する手段としては、例えば第３図に示すよう
に、駆動プーリー（８）の直径／駆動プーリー（１４）
の直径＝Ｂ／Ａとし、駆動プーリー（８）、（１４）に
例えばベルト（３１）等を張設し駆動する。 【００１３】なお、上記実施例では同一構成の搬送ユニ
ット（１）を複数個使用して搬送する手段の場合につい
て説明したが、本発明は上記実施例に限定されるもので
はなく、異なる搬送ユニットを組合せて使用しても良い
のは言うまでもない。要するに、搬送方向が描く円弧の
中心から搬送ローラーが位置する半径距離に対応して、
上記説明した搬送ローラーの搬送速度が適正に設定され
ておれば良いのである。 【００１４】また、搬送ローラーとして、本実施例では
同一寸法の搬送ローラー（４）、（９）を使用したもの
について説明したが、適正な搬送速度を得られれば良い
ことから、搬送方向に見合った寸法に構成された例えば
円錐柱状の単体の搬送ローラー（図示せず）の使用も可
能である。 【００１５】しかしながら、上記単体の搬送ローラーの
場合には、次に述べるような問題点がある。例えば、搬
送面を水平に設定しようとすると搬送ローラーの回転軸
心を傾斜させる必要があるので取着構造が複雑になりや
すい。搬送ローラーの寸法は固定不変であるのである特
定の搬送方向用に製作された上記搬送ローラーは、搬送
方向の描く円弧が変ると半径距離と搬送速度との関係が
実状に合わなくなるので使用できず、別の専用の搬送ロ
ーラーが必要となりコスト高になる。 【００１６】これに比べて本発明装置では、駆動プーリ
ーのみを交換するだけでよい。したがって、搬送ローラ
ーの構成としては取着が容易で各種搬送方向に対応しや
すい本発明装置のように構成するのが望ましい。 【００１７】 【発明の効果】本発明搬送装置によれば、１組の搬送ロ
ーラを備えた第１の搬送ユニットと複数組の搬送ローラ
を備えた第２の搬送ユニットとを用意し、非直線の搬送
路には少なくとも第１の搬送ユニットを配置している。
従って非直線の搬送路の長さや曲率半径に応じた数だけ
第１の搬送ユニットを配置すればよいので、搬送路の非
直線部分の設定変更が容易であり、また直線の搬送路に
は第２の搬送ユニットを用いているので、１個、１個並
べて接続する必要がないし、長さの調整も第１の搬送ユ
ニットを組み合わせることで容易に対応できる。この結
果本発明によれば搬送路のレイアウトの設定、変更が容
易であるという効果がある。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明搬送装置の一実施例を示す構成図であ
る。 【図２】第１図の使用例説明図である。 【図３】第２図の使用例補足説明図である。 【符号の説明】 １ 搬送ユニット ３、１０ 回転軸 ４、９ 搬送ローラー ５、７、１１、１２ ハスバ歯車 ６、１３ 駆動回転軸 ８、１４ 駆動プーリー ２２ 搬送方向

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【手続補正書】 【提出日】平成７年９月１９日 【手続補正１】 【補正対象書類名】明細書 【補正対象項目名】０００８ 【補正方法】変更 【補正内容】 【０００８】 【発明の実施の形態】以下、本発明をウエハ搬送装置に
適用した実施の形態を図面を参照して説明する。図１に
示すように搬送ユニット（１）の本体（２）の左側壁部
には、回転軸（３）が貫通して設けられている。この回
転軸（３）の本体（２）外の一端には搬送ローラ（４）
が取着され、本体（２）内の一端にはハスバ歯車（５）
が取着されている。 【手続補正２】 【補正対象書類名】明細書 【補正対象項目名】０００９ 【補正方法】変更 【補正内容】 【０００９】また、本体（２）の底部には駆動回転軸
（６）が貫通して設けられている。この駆動回転軸
（６）の本体（２）内の一端にはハスバ歯車（７）が上
記ハスバ歯車（５）と噛合うように取着され、本体
（２）外の一端には駆動プーリー（８）が取着されてい
る。そして、この駆動プーリー（８）を回転させること
により搬送ローラー（４）が回転可能に構成されてい
る。一方、本体（２）の右側にも上記同様に搬送ローラ
ー（９）、回転軸（１０）、ハスバ歯車（１１）、ハス
バ歯車（１２）、駆動回転軸（１３）、駆動プーラー
（１４）が設けられている。この例では搬送ローラ
（４）、（９）は第１の搬送ユニットの１組の搬送ロー
ラをなすものである。 【手続補正３】 【補正対象書類名】明細書 【補正対象項目名】００１０ 【補正方法】変更 【補正内容】 【００１０】そして、図２に示すように直線搬送部（２
４）、（２５）の間に搬送方向（２２）に対応して第１
の搬送ユニット（１）を例えば３個並設する。詳しく
は、搬送ユニット（１）の回転軸（３）、（１０）の軸
心を通る直線（２１）が、搬送方向（２２）の描く円弧
の中心（２３）を通るように配置する。そして、上記円
弧に対して内側に位置する搬送ローラー（４）の搬送速
度よりも外側に位置する搬送ローラー（９）の搬送速度
が速くなるように構成する。 【手続補正４】 【補正対象書類名】明細書 【補正対象項目名】００１１ 【補正方法】変更 【補正内容】 【００１１】ここで、搬送ローラ（４）、（９）が所定
の周速度を得るための手段について説明する。図１にお
いて、例えば駆動プーリー（８）と（１４）以外は左右
同一寸法構造とすれば、搬送ローラー（４）と（９）の
搬送速度の比は駆動回転軸（６）と（１３）の回転速度
の比によって決まる。そこで、図２において、例えば搬
送ローラー（４）の巾厚中心点が描く円弧の半径をＡ、
搬送ローラ（９）の上記半径をＢとすれば、半導体ウエ
ハ（図示せず）を複数の搬送ユニット（１）上をスムー
ズに搬送するには、搬送ローラ（４）の搬送速度／搬送
ローラ（９）の搬送速度＝Ａ／Ｂであれば良く、つま
り、駆動回転軸（６）の回転速度／駆動回転軸（１３）
の回転速度＝Ａ／Ｂにすればよい。 【手続補正５】 【補正対象書類名】明細書 【補正対象項目名】００１２ 【補正方法】変更 【補正内容】 【００１２】また、上記複数の第１の搬送ユニット
（１）を同時に駆動する手段としては、例えば第３図に
示すように、駆動プーリー（８）の直径／駆動プーリー
（１４）の直径＝Ｂ／Ａとし、駆動プーリー（８）、
（１４）に例えばベルト（３１）等を張設し駆動する。 【手続補正５】 【補正対象書類名】明細書 【補正対象項目名】００１３ 【補正方法】変更 【補正内容】 【００１３】一方直線搬送部（２４）、（２５）には、
複数組の搬送ローラを備えた第２の搬送ユニット（９
１）が設けられている。この第２の搬送ユニット（９
１）は、本体（９２）の左右に夫々搬送ローラ（９
３）、（９４）が設けられ、左右を１組とする搬送ロー
ラ（９３）、（９４）が複数組長さ方向に配列されてい
る。このような実施の形態では、半導体ウエハは、例え
ば直線搬送部（２４）の第２の搬送ユニット（９１）の
搬送ローラ（９３）、（９４）の上に乗せられて搬送さ
れ、非直線の搬送路では３つの第１の搬送ユニット
（１）の搬送ローラ（４）（９）の上に乗せられて搬送
され、次いで第２の搬送ユニット（９１）上に到達し、
その搬送ローラ（９３）、（９４）に乗せられて直線搬
送部（２５）上を搬送される。本実施の形態によれば、
非直線の搬送路には第１の搬送ユニット（１）を配置し
ているので、搬送ユニット（１）の数を選択することに
より曲率半径や長さを自由に設定でき、また直線の搬送
路には第２の搬送ユニット（９１）を配置しているの
で、１個、１個並べることなく、１個の搬送ユニット
（９１）によりある程度の長さの搬送路が形成されるの
で設置が簡単であり、従って搬送路のレイアウトの自由
度が高くかつ設定が容易である。そして非直線の搬送路
では内側の搬送ローラと外側の搬送ローラとが曲率半径
の中心点からの距離に応じた速度で回転するように構成
されているので、スムーズな搬送を行うことができる。 【手続補正５】 【補正対象書類名】明細書 【補正対象項目名】００１４ 【補正方法】削除 【手続補正６】 【補正対象書類名】明細書 【補正対象項目名】００１５ 【補正方法】削除 【手続補正７】 【補正対象書類名】明細書 【補正対象項目名】００１６ 【補正方法】削除 【手続補正７】 【補正対象書類名】図面 【補正対象項目名】図２ 【補正方法】変更 【補正内容】 【図２】

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）本体の両側に夫々配置された搬送ロ−ラよりなる
   １組の搬送ロ−ラを備えた第１の搬送ユニットと、本体
   の両側に夫々配置された搬送ロ−ラよりなる複数組の搬
   送ロ−ラを備えた第２の搬送ユニットとを、被搬送物が
   搬送ロ−ラに乗せられて搬送されるように、並べて搬送
   路を形成し、 非直線の搬送路には、少なくとも前記第１の搬送ユニッ
   トが配置されていることを特徴とする搬送装置。