EP1142000A1 - Transportvorrichtung - Google Patents

Transportvorrichtung

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Publication number
EP1142000A1
EP1142000A1 EP00904837A EP00904837A EP1142000A1 EP 1142000 A1 EP1142000 A1 EP 1142000A1 EP 00904837 A EP00904837 A EP 00904837A EP 00904837 A EP00904837 A EP 00904837A EP 1142000 A1 EP1142000 A1 EP 1142000A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
drive
rollers
drive rollers
transport device
webs
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP00904837A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Walter Melojer
Gerhard Rauter
Gerd BRÜCKNER
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Infineon Technologies AG
Original Assignee
Infineon Technologies AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Infineon Technologies AG filed Critical Infineon Technologies AG
Publication of EP1142000A1 publication Critical patent/EP1142000A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G13/00—Roller-ways
    • B65G13/02—Roller-ways having driven rollers
    • B65G13/04—Roller-ways having driven rollers all rollers driven
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G13/00—Roller-ways
    • B65G13/02—Roller-ways having driven rollers
    • B65G13/06—Roller driving means
    • B65G13/071—Roller driving means with frictional engagement
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    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers

Definitions

  • Such a transport device known in the prior art is to be described below with an example relating to the transport of wafer carriers.
  • transport devices can also be used for other containers if a corresponding question arises.
  • the transport containers for semiconductor wafers are equipped on the side and bottom with two parallel webs that are used for transport in the transport device. These transport containers still protrude downwards between the webs.
  • the known transport device takes this into account in that the webs are guided on short rollers which are mounted on side walls spaced apart from one another in parallel.
  • the side panels are connected to one unit by means of spacer bolts. A free space is provided between the side walls into which the transport container protrudes. For this reason, the rollers are not continuous from one side wall to the other, but as flat ones Executed panes that protrude only slightly into the space between the side cheeks (see Fig. 1).
  • a drive roller follows on one of the side walls after a number of rollers. It is typical, for example, that a drive roller is incorporated after every four rollers.
  • the drive rollers are rotated by means of motors.
  • the drive rollers can exert a driving force on the transport containers for further transport, they must protrude beyond an imaginary line which the rollers form on their circumference on the side facing the webs of the transport container, that is to say upwards.
  • the invention is directed to a transport device in which a second drive roller is also driven.
  • the invention is directed to a transport device in which two drive rollers coupled to one another face each other, both of which exert a uniform driving force on the webs of a container, so that the latter is transported linearly and smoothly.
  • the invention is directed to a transport device in which a force coupling of two mutually opposite drive rollers takes place in such a way that a free space remains between them into which the transport container can protrude.
  • the invention is directed to a transport device for containers with at least two parallel webs, which comprises at least two parallel rows of rollers on which the webs can run.
  • the transport device is characterized by at least one group of drive rollers for transmitting a drive force to the webs, which comprises a primary drive roller and at least one secondary drive roller, each of the drive rollers being incorporated in a row of rollers, the primary drive roller being drivable or driven by means of a motor, and the drive rollers of the at least one group of drive rollers are coupled to one another in such a way that the primary drive roller drives or can drive the at least one secondary drive roller.
  • the drive rollers of the at least one group of drive rollers are preferably coupled to one another via a power transmission shaft.
  • a power transmission shaft For example, spaced-apart side cheeks are provided, on which the rows of rollers and the drive rollers are arranged.
  • the drive rollers of the at least one group of drive rollers can be mounted opposite one another in the side cheeks.
  • the rollers preferably form an imaginary line with respect to the webs of the containers that can be transported on their circumference facing the container, the drive rollers projecting over this imaginary line in order to be able to transmit the driving force to the webs.
  • Additional drive wheels for transmitting the drive force to the webs can be arranged on the drive rollers.
  • the drive wheels or the drive rollers directly can be coated with rubber coverings or otherwise provided in order to improve the friction between them and the webs.
  • the power transmission between the drive rollers can be effected in that at least two transmission wheels are arranged on the power transmission shaft, one of the transmission wheels being in contact with the primary drive roller and transmitting its rotation to the power transmission shaft, and the at least second transmission wheel rotating the power transmission shaft to the at least one transmits a secondary drive roller.
  • the power transmission can again be supported by rubber pads that are attached to the drive rollers / wheels and the transmission wheels.
  • FIG. 1 shows a side view of the transport device according to the invention with a cross section through the side cheeks.
  • 2 shows the perspective view of an embodiment of the invention, in which a side cheek is shown.
  • the generic transport device typically consists of two lateral guides in which the different rollers are mounted.
  • Fig. 1 two side cheeks 1, 2 are shown, which serve this purpose and at the same time distance the device from the base 3 to such an extent that the transport container 4, here a wafer carrier, can run on the rollers without problems, without its projecting area on Get stuck underground 3 or other parts of the device.
  • the side cheeks can be connected to the ground or can be spaced apart from one another in a defined manner by means of spacer bolts.
  • rollers 5, 6 are arranged, which e.g. are supported with ball bearings in the side cheeks 1, 2.
  • the rollers rotate freely in their bearings when the web of a transport container 4 runs over them.
  • the rollers 5, 6 in Fig. 1 have a rubber covering that the adhesion between the rollers 5,
  • a secondary drive roller 9 is arranged, which according to the invention with the primary drive roller
  • a power transmission shaft 17 which the force of the primary drive roller 7 by means of a Power transmission shaft 17 attached transmission wheel 16 receives and forwards via a further transmission wheel 15 to the secondary drive roller 9.
  • the transmission wheels 15, 16 are placed on shaft holders 18, 19, which serve to connect the transmission wheels 15, 16 to the shaft 17.
  • the power transmission shaft 17 is supported with its end regions, the two bearing shafts 22 and 23, in two bearings 21, 22 which are arranged in the side cheeks 1, 2.
  • the coupling shown in Fig. 1 is a mechanical one. It ensures the same sizes for the drive rollers 7, 9 and the transmission wheels 15, 16 provided that the at least two drive rollers 7, 9 move at the same peripheral speed and thus a more uniform transport of the transport containers 4 is possible than in the prior art.
  • a sensor can be attached to the primary drive roller 7, which determines its speed and forwards this information to a controller which, by means of a second motor, always keeps the speed of the secondary drive roller 9 at the same value as the speed of the first drive roller 7 sets.
  • the two drive rollers 7, 9 are provided with drive wheels 13, 14, which enlarge the circumference of the central rollers of the drive rollers 7, 9 and represent the actual contact surface with the transmission wheels 15, 16.
  • All contact surfaces of the drive rollers, drive wheels and transmission wheels can be provided with a rubber surface in order to improve the friction with one another or with the webs of the transport containers.
  • the power transmission from / to the drive rollers / transmission wheels is carried out by gears, for this purpose on the drive rollers in addition to the drive wheels 13, 14, on which the webs of the transport containers 4 run, gears arranged on the central roller are, which come into engagement with the transmission wheels 15, 16 designed as gear wheels.
  • At least one group of drive rollers is provided, which consists of at least two drive rollers, a primary drive roller 7 driven by the motor and a secondary drive roller 9 coupled to this.
  • Such an arrangement enables, for example, the transport of wider transport containers 4, for which it is desirable for structural reasons to additionally support them in the middle.
  • a plurality of primary drive rollers 7, which belong to different groups of drive rollers (7, 9), can also be driven by a common motor 8.
  • This embodiment is particularly suitable for lighter transport containers in order to reduce the system costs.
  • Such a drive can be accomplished, for example, by means of gears instead of the motors 8 and a toothed chain leading around all the gears and the common drive motor.
  • Fig. 2 shows a perspective view of a side cheek with rollers and drive rollers.
  • the side cheek 1 is shown as an example, on which the secondary drive rollers 9 are arranged.
  • the same reference numerals designate the same elements as in FIG. 1.
  • a drive roller 9 follows here on three rollers 5. It is, however, also possible to place more or fewer rollers between the individual drive rollers 7, 9.
  • the distance between see the drive rollers 7, 9 must in any case be such that a group of drive rollers 7, 9 can transport a transport container 4 to a safe contact with the next group of drive rollers 7, 9.
  • the distance is preferably selected so that at any one time at least one group of drive rollers (7, 9) can drive the webs on the containers 4.
  • rollers 5, 6 are shown in FIG. 2 at a close distance from one another and from the drive rollers 7, 9. However, it is also possible to increase the distance, provided that the safe transport of containers 4 remains guaranteed.
  • the side walls and rollers in such a way that cornering is possible.
  • the corresponding elements must be arranged so that a container 4 does not e.g. can get stuck on the side walls. Since the outside of a container must move faster than the inside when driving through curves, it is still necessary to run the drive wheels at different speeds. This can be achieved, for example, by designing the two transmission wheels to be of different sizes in order to achieve a translation.
  • the present invention solves the problem more unevenly
  • Transport movements that occurred with previous transport devices achieves an exact, linear linear movement of the transport container.

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Abstract

Bisherige Transportvorrichtungen für Transportbehälter von Wafern (sog. Carrier) u.ä. hatten den Nachteil, dass mit lediglich einer Antriebsrolle nur eine ungleichmässige Fortbewegung des Transportbehälters erreicht wurde. Zur Überwindung dieses Problems stellt die Erfindung eine Transportvorrichtung bereit, bei der zwei miteinander gekoppelte Antriebswalzen (7, 9) einander gegenüberstehen, die beide eine gleichmässige Antriebskraft auf die Stege eines Behälters (4) ausüben, so dass dieser linear und ruckfrei weitertransportiert wird. Dementsprechend ist die Erfindung auf eine Transportvorrichtung für Behälter (4) mit zumindest zwei parallel verlaufenden Stegen gerichtet, die zumindest zwei parallele Reihen von Laufrollen (5, 6) umfasst, auf denen die Stege laufen können. Die erfindungsgemässe Transportvorrichtung wird gekennzeichnet durch zumindest eine Gruppe von Antriebsrollen (7, 9) zur Übertragung einer Antriebskraft auf die Stege, welche eine Primärantriebsrolle (7) und zumindest eine Sekundärantriebsrolle (9) umfasst, wobei jede der Antriebsrollen (7, 9) in einer Reihe von Laufrollen (5, 6) eingegliedert ist, die Primärantriebsrolle (7) mittels eines Motors (8) antreibbar oder angetrieben ist und die Antriebsrollen (7, 9) der zumindest einen Gruppe von Antriebsrollen (7, 9) so miteinander gekoppelt sind, dass die Primärantriebsrolle (7) die zumindest eine Sekundärantriebsrolle (9) antreibt oder antreiben kann.

Description

Beschreibung
Transport orrichtung
Bei der Verarbeitung und dem Versand von Gütern oder Halbzeugen stellt sich oftmals die Frage nach einem Transport über kurze Strecke, z.B. von einer Verarbeitungsstation zur nächsten oder zum Lager. In vielen Fällen wird ein solcher Trans- port mittels Transportbändern oder Anordnungen von Transportrollen bewerkstelligt, auf denen Transportbehälter oder die Güter direkt transportiert werden. Bei manchen Gütern, wie etwa bei afern für die Halbleiterproduktion, müssen diese Transportbehälter, die sog. Carrier, produktionsbedingt For- men aufweisen, die zu einer entsprechenden Anpassung der Transportvorrichtungen führen.
Im folgenden soll eine solche, im Stand der Technik bekannte Transportvorrieht ng mit beispielhaftem Bezug auf den Trans- port von Wafercarriern dargestellt werden. Es versteht sich jedoch, daß solche TransportVorrichtungen auch bei anderen Behältern verwendet werden können, wenn sich eine entsprechende Fragestellung ergibt.
Die Transportbehälter für Halbleiterwafer sind seitlich- unten mit zwei parallel laufenden Stegen ausgestattet, die dem Transport in der Transportvorrichtung dienen. Diese Transportbehälter ragen zwischen den Stegen noch nach unten durch. Dem trägt die vorbekannte Transportvorrichtung dadurch Rechnung, daß die Stege auf kurzen Laufrollen geführt werden, die auf parallel voneinander beabstandeten Seitenwangen angebracht sind. Die Seitenwangen sind mittels Distanzbolzen zu einer Einheit verbunden. Zwischen den Seitenwangen ist ein freier Raum vorgesehen, in den der Transportbehälter hinein- ragt. Aus diesem Grunde sind die Laufrollen nicht von einer Seitenwange zur anderen durchgehend, sondern als flache Scheiben ausgeführt, die nur wenig in den Raum zwischen den Seitenwangen hineinragen (vgl. Fig. 1).
An einer der Seitenwangen folgt jeweils nach einer Anzahl von Laufrollen eine Antriebsrolle. Typisch ist zum Beispiel, daß nach jeweils vier Laufrollen eine Antriebsrolle eingegliedert wird. Die Antriebsrollen werden mittels Motoren rotiert.
Damit die Antriebsrollen eine Antriebskraft zum Weitertrans- port auf die Transportbehälter ausüben können, müssen sie über eine gedachte Linie hinausragen, welche die Laufrollen an ihrem Umfang auf der den Stegen des Transportbehälters zugewandten Seite, also nach oben hin, bilden.
Dadurch entsteht bei jedem Anfahren eines Transportbehälters an die einseitig angebrachte Antriebsrolle eine seitlich hochgehende, ruckartige Bewegung, welche durch ihre Kontinuität zu einer Vibration des Transportbehälters und der darin befindlichen Wafer führt. Diese Vibration führt zu einer er- höhten Partikelerzeugung und damit zu einer Qualitätsminderung der Wafer.
Es wäre daher wünschenswert, eine Transportvorrichtung zu schaffen, bei der die Transportbehälter schonend über die Rollen geführt werden können, ohne daß nachteilige seitliche Kräfte auf sie einwirken.
Diese Aufgabe wird durch die Transportvorrichtung gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1 und ihre Verwendung für den Transport von Transportbehältern für Wafer gemäß dem unabhängigen Patenanspruch 15 gelöst. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Aspekte der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Patentansprüchen, der Beschreibung und den beigefügten Zeichnungen. In einem Aspekt ist die Erfindung auf eine Transportvorrichtung gerichtet, bei der eine zweite Antriebsrolle mit angetrieben wird.
In einem weiteren Anspekt ist die Erfindung auf eine Transportvorrichtung gerichtet, bei der zwei miteinander gekoppelte Antriebswalzen einander gegenüberstehen, die beide eine gleichmäßige Antriebskraft auf die Stege eines Behälters ausüben, so daß dieser linear und ruckfrei weitertransportiert wird.
In noch einem weiteren Aspekt ist die Erfindung auf eine Transportvorriehtung gerichtet, bei der eine Kraft-Kopplung von zwei, einander gegenüberstehenden Antriebswalzen so er- folgt, daß zwischen ihnen ein freier Raum verbleibt, in den der Transportbehälter hineinragen kann.
Dementsprechend ist die Erfindung auf eine Transportvorrichtung für Behälter mit zumindest zwei parallel verlaufenden Stegen gerichtet, die zumindest zwei parallele Reihen von Laufrollen umfasst, auf denen die Stege laufen können. Die Transportvorrrichtung wird gekennzeichnet durch zumindest eine Gruppe von Antriebsrollen zur Übertragung einer Antriebskraft auf die Stege, welche eine Primärantriebsrolle und zumindest eine Sekundärantriebsrolle umfasst, wobei jede der Antriebsrollen in einer Reihe von Laufrollen eingegliedert ist, die Prim rantriebsrolle mittels eines Motors antreibbar oder angetrieben ist und die Antriebsrollen der zumindest einen Gruppe von Antriebsrollen so miteinander ge- koppelt sind, daß die Primärantriebsrolle die zumindest eine Sekundärantriebsrolle antreibt oder antreiben kann.
Vorzugsweise sind die Antriebsrollen der zumindest einen Gruppe von Antriebsrollen über eine Kraftübertragungswelle miteinander gekoppelt. Es werden z.B. voneinander beabstandete Seitenwangen vorgesehen, an denen die Reihen von Laufrollen und die Antriebsrollen angeordnet sind. Die Antriebsrollen der zumindest einen Gruppe von Antriebsrollen können in den Seitenwangen einander gegenüberstehend gelagert sein.
Die Laufrollen bilden vorzugsweise in Bezug auf die Stege der auf ihnen transportierbaren Behälter an ihrem dem Behälter zugewandten Umfang eine gedachte Linie, wobei die Antriebs- rollen über diese gedachte Linie überstehen, um die Antriebskraft auf die Stege übertragen zu können. Auf den Antriebsrollen können zusätzliche Antriebsräder zur Übertragung der Antriebskraft auf die Stege angeordnet sein. Die Antriebsräder oder auch die Antriebsrollen direkt können mit Gummibelä- gen beschichtet oder sonstwie versehen sein, um die Reibung zwischen diesen und den Stegen zu verbessern.
Die Kraftübertragung zwischen den Antriebsrollen kann dadurch bewirkt werden, daß an der Kraftübertragungswelle zumindest zwei Übertragungsräder angeordnet sind, wobei eines der Übertragungsräder in Kontakt mit der Primärantriebsrolle steht und deren Drehung auf die Kraftübertragungswelle überträgt, und das zumindest zweite Übertragungsrad die Drehung der Kraftübertragungswelle auf die zumindest eine Sekundärantriebsrolle überträgt. Die Kraftübertragung kann auch hier wieder durch Gummibeläge unterstützt werden, die an den Antriebsrollen/ -rädern und den Übertragungsrädern angebracht sind.
Im folgenden wird die Erfindung im einzelnen beschrieben werden, wobei auf die Zeichnungen Bezug genommen wird, in denen folgendes dargestellt ist.
Fig. 1 zeigt eine Seitenansicht der erfindungsgemäßen Trans- portvorrichtung mit Querschnitt durch die Seitenwangen. Fig. 2 zeigt die perspektivische Ansicht einer Ausführungs- form der Erfindung, bei der eine Seitenwange dargestellt ist.
Die gattungsgemäße Transportvorriehtung besteht typischerwei- se aus zwei seitlichen Führungen, in denen die verschiedenen Rollen gelagert sind. In Fig. 1 sind zwei Seitenwangen 1, 2 gezeigt, die diesem Zweck dienen und zugleich die Vorrichtung soweit vom Untergrund 3 beabstanden, daß der Transportbehälter 4, hier ein Wafercarrier, problemlos auf den Rollen lau- fen kann, ohne mit seinem vorspringenden Bereich am Untergrund 3 oder anderen Teilen der Vorrichtung hängen zu bleiben.
Die Seitenwangen können mit dem Untergrund verbunden sein oder durch Abstandsbolzen voneinander definiert beabstandet sein.
Auf den einander zugewandten Flächen der Seitenwangen 1, 2 sind die Laufrollen 5, 6 angeordnet, die z.B. mit Kugellagern in den Seitenwangen 1, 2 gelagert sind. Die Laufrollen rotieren frei in ihren Lagern, wenn der Steg eines Transportbehälters 4 über sie läuft. Die Laufrollen 5, 6 weisen in Fig. 1 einen Gummibelag auf, der die Haftung zwischen den Rollen 5,
6 und den darauf laufenden Stegen der Transportbehälter 4 verbessert. Die Rollen sind ferner mit zu den Seitenwangen
1, 2 hin außenseits gehenden Fasen 11, 12 versehen, um eine Führung der Stege zu ermöglichen.
Ebenfalls in einer Seitenwange 2 angebracht ist eine Primär- antriebsrolle 7, die mittels eines Motors 8 angetrieben wird.
Auf der anderen Seitenwange 1 ist eine Sekundärantriebsrolle 9 angeordnet, die erfindungsgemäß mit der Primärantriebsrolle
7 gekoppelt ist, um eine Kraftübertragung von beiden An- triebsrollen zu gewährleisten. In Fig. 1 wird diese Kopplung mit einer Kraftübertragungswelle 17 errreicht, welche die Kraft der Primärantriebsrolle 7 mittels eines auf der Kraftübertragungswelle 17 angebrachten Übertragungsrades 16 aufnimmt und über ein weiteres Übertragungsrad 15 an die Sekundärantriebsrolle 9 weiterleitet. Hierbei sind die Übertragungsräder 15, 16 auf Wellenhaltern 18, 19 aufgesetzt, die der Verbindung der Übertragungsräder 15, 16 mit der Welle 17 dienen. Es sind jedoch auch andere Befestigungen der Räder 15, 16 an der Welle 17 möglich, die im Stand der Technik geläufig sind. Die Kraftübertragungswelle 17 ist mit ihren Endbereichen, den zwei Lagerwellen 22 und 23, in zwei Lagern 21, 22 gelagert, die in den Seitenwangen 1, 2 angeordnet sind.
Die in Fig. 1 gezeigte Koppelung ist eine mechanische. Sie gewährleistet, gleiche Größen bei den Antriebsrollen 7, 9 und den Übertragungsrädern 15, 16 vorausgesetzt, daß sich die zu- mindest zwei Antriebsrollen 7, 9 mit gleicher Umfangsgeschwindigkeit bewegen und somit ein gleichmäßigerer Transport der Transportbehälter 4 möglich ist als im Stand der Technik. Es ist jedoch auch möglich, die Kopplung auf eine andere Weise vorzunehmen, z.B. elektrisch. In einem solchen Fall kann an der Primärantriebsrolle 7 ein Sensor angebracht sein, der deren Geschwindigkeit bestimmt und diese Information an eine Steuerung weitergibt, die mittels eines zweiten Motors die Geschwindigkeit der Sekundärantriebsrolle 9 auf stets den gleichen Wert wie die Geschwindigkeit der ersten Antriebsrol- le 7 einstellt.
In der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform sind die beiden Antriebsrollen 7, 9 mit Antriebsrädern 13, 14 versehen, die den Umfang der zentralen Walzen der Antriebssrollen 7, 9 ver- größern und die eigentliche Kontaktfläche zu den Übertragungsrädern 15, 16 darstellen.
Alle Kontaktflächen der Antriebsrollen, Antriebsräder und Übertragungsräder können mit einer Gummioberfläche versehen sein, um die Reibung zueinander bzw. zu den Stegen der Transportbehälter zu verbessern. Es ist jedoch auch vorstellbar, daß die Kraftübertragung von/zu den Antriebsrollen/Übertragungsrädern durch Zahnräder erfolgt, wobei zu diesem Zweck an den Antriebsrollen zusätzlich zu den Antriebsrädern 13, 14, auf denen die Stege der Transportbehälter 4 laufen, Zahnräder an der zentralen Walze angeordnet sind, die mit den als Zahnrädern ausgeführten Übertragungsrädern 15, 16 in Eingriff kommen.
Erfindungsgemäß ist zumindest eine Gruppe von Antriebsrollen vorgesehen, die aus zumindest zwei Antriebsrollen, einer vom Motor angetriebenen Primärantriebsrolle 7 und einer mit dieser gekoppelten Sekundärantriebsrolle 9, besteht. Es ist jedoch genauso möglich, mehr als eine Sekundärantriebsrolle 9 in einer Gruppe von Antriebsrollen vorzusehen, die alle mit der Primärantriebsrolle 7 gekoppelt sind. Eine solche Anordnung ermöglicht zum Beispiel den Transport breiterer Transportbehälter 4, bei denen es aus statischen Gründen wünschenswert erscheint, sie in ihrer Mitte zusätzlich zu unterstützen.
Auch können mehrere Primärantriebsrollen 7, die zu verschiedenen Gruppen von Antriebsrollen (7, 9) gehören, von einem gemeinsamen Motor 8 angetrieben werden. Diese Ausführungsform eignet sich vor allem bei leichteren Transportbehältern, um die Anlagenkosten zu senken. Ein solcher Antrieb kann beispielsweise mittels Zahnrädern anstelle der Motoren 8 und einer um alle Zahnräder und den gemeinsamen Antriebsmotor herumführenden Zahnkette bewerkstelligt werden.
Fig. 2 zeigt in perspektivischer Ansicht eine Seitenwange mit Lauf- und Antriebsrollen. Hier ist exemplarisch die Seitenwange 1 gezeigt, auf der die Sekundärantriebsrollen 9 angeordnet sind. Gleiche Bezugszeichen kennzeichnen dabei die gleichen Elemente wie in Fig. 1. Wie gezeigt, folgt hier je- weils eine Antriebsrolle 9 auf drei Laufrollen 5. Es ist jedoch auch möglich, mehr oder weniger Laufrollen zwischen den einzelnen Antriebsrollen 7, 9 zu plazieren. Der Abstand zwi- sehen den Antriebsrollen 7, 9 muß in jedem Fall so bemessen sein, daß eine Gruppe von Antriebsrollen 7, 9 einen Transportbehälter 4 bis zu einem sicheren Kontakt mit der nächsten Gruppe von Antriebsrollen 7, 9 befördern kann. Vorzugsweise wird der Abstand so gewählt, daß zu jedem beliebigen Zeitpunkt zumindest eine Gruppe von Antriebsrollen (7, 9) die Stege an den Behältern 4 antreiben kann.
Die Laufrollen 5, 6 sind in Fig. 2 in engem Abstand voneinan- der und von den Antriebsrollen 7, 9 gezeigt. Es ist jedoch auch möglich, den Abstand zu vergrößern, sofern der sichere Transport von Behältern 4 gewährleistet bleibt.
Auch ist es möglich, die Seitenwangen und Rollen so anzuord- nen, daß eine Kurvenfahrt möglich ist. Hierzu müssen die entsprechenden Elemente so angeordnet werden, daß ein Behälter 4 nicht z.B. an den Seitenwangen hängenbleiben kann. Da beim Durchfahren von Kurven die Aussenseite eines Behälter sich schneller bewegen muß als die Innenseite, ist es weiterhin notwendig, die Antriebsräder unterschiedlich schnell laufen zu lassen. Dies kann beispielsweise erreicht werden, indem die beiden Übertragungsräder unterschiedlich groß gestaltet werden, um so eine Übersetzung zu erzielen.
Die vorliegende Erfindung löst das Problem ungleichmäßiger
Transportbewegungen, das bei bisherigen Transportvorrichtungen auftrat. Durch die Erfindung wird eine exakte, geradlinige Linearbewegung des Transportbehälters erreicht.

Claims

Patentansprüche
1. Transportvorrichtung für Behälter (4) mit zumindest zwei parallel verlaufenden Stegen, umfassend zumindest zwei paral- lele Reihen von Laufrollen (5, 6) , auf denen die Stege laufen können, g e k e n n z e i c h n e t d u r c h zumindest eine Gruppe von Antriebsrollen (7, 9) zur Übertragung einer Antriebskraft auf die Stege, welche eine Primäran- triebsrolle (7) und zumindest eine Sekundärantriebsrolle (9) umfasst, wobei jede der Antriebsrollen (7, 9) in einer Reihe von Laufrollen (5, 6) eingegliedert ist, die Primärantriebsrolle (7) mittels eines Motors (8) antreibbar oder angetrieben ist und die Antriebsrollen (7, 9) der zumindest einen Gruppe von Antriebsrollen (7, 9) so miteinander gekoppelt sind, daß die Primärantriebsrolle (7) die zumindest eine Sekundärantriebsrolle (9) antreibt oder antreiben kann.
2. Transportvor iehtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Antriebsrollen (7, 9) der zumindest einen Gruppe von Antriebsrollen (7, 9) über eine Kraftübertragungswelle (17) miteinander gekoppelt sind.
3. TransportVorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß sie weiterhin umfasst parallel angeordnete, voneinander beab- standete Seitenwangen (1, 2) , an denen die Reihen von Laufrollen (5, 6) und die Antriebsrollen (7, 9) angeordnet sind.
4. Transportvorrichtung nach Anspruch 3, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Laufrollen (5, 6) in den Seitenwangen (1, 2) frei rotierbar sind oder frei rotieren.
5. Transport Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Antriebsrollen (7, 9) der zumindest einen Gruppe von Antriebsrollen (7, 9) in den Seitenwangen (1, 2) einander gegenüberstehend gelagert sind.
6. TransportVorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Laufrollen (5, 6) in Bezug auf die Stege (1, 2) der auf ihnen transportierbaren Behälter (4) an ihrem dem Behälter (4) zugewandten Umfang eine gedachte Linie bilden und daß die Antriebsrollen (7, 9) über diese gedachte Linie überstehen, um die Antriebskraft auf die Stege übertragen zu können.
7. Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß auf den Antriebsrollen (7, 9) Antriebsräder (13, 14) zur
Übertragung der Antriebskraft auf die Stege angeordnet sind.
8. Transport vor rieht ung nach Anspruch 7, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß am Umfang der Antriebsräder (13, 14) Gummibeläge zur Übertragung der Antriebskraft auf die Stege angeordnet sind.
9. Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 8, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß an der Kraftübertragungswelle (17) zumindest zwei Übertragungsräder (15, 16) angeordnet sind, wobei eines der Übertragungsräder (16) in Kontakt mit der Primärantriebsrolle (7) steht und deren Drehung auf die Kraftübertragungswelle (17) überträgt, und das zumindest zweite Übertragungsrad (15) die Drehung der Kraftübertragungswelle (17) auf die zumindest eine Sekundarantriebsrolle (9) überträgt.
10. Transportvorrichtung nach Anspruch 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Kraftübertragung zwischen den Antriebsrollen und den
Übertragungsrädern durch Friktion von Gummibelägen, die an den Umfangen der Antriebsrollen und der Übertragungsräder angeordnet sind, erfolgt.
11. Transportvorriehtung nach Anspruch 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß
Antriebsräder (13, 14) am Umfang der Antriebsrollen (7, 9) angeordnet sind und daß die Kraftübertragung zwischen den Antriebsrollen (7, 9) und den Übertragungsrädern (15, 16) durch Friktion von Gummibelägen, die an den Umfangen der Antriebs- räder (13, 14) und der Übertragungsräder (15, 16) angeordnet sind, erfolgt.
12. Transportvorriehtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die zumindest eine Gruppe von Antriebsrollen (7, 9) mehrere Sekundärantriebsrollen (9) umfasst und die Transportvorrichtung eine der Zahl der Antriebsrollen (7, 9) in der zumindest einen Gruppe von Antriebsrollen (7, 9) entsprechende Anzahl von parallelen Reihen von Laufrollen (5, 6) aufweist.
13. Transportvorriehtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12 , d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Motor (8) mehrere Gruppen von Antriebsrollen (7, 9) antreibt .
14. Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß mehrere Gruppen von Antriebsrollen (7, 9) in die Reihen von Laufrollen (5, 6) eingegliedert sind, wobei die Gruppen von Antriebsrollen (7, 9) so voneinander beabstandet sind, daß zu jedem Zeitpunkt jeweils zumindest eine Gruppe von Antriebsrollen (7, 9) die Stege der Behälter (4) antreiben kann.
15. Verwendung der Transportvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 14 zum Transportieren von Transportcarriern für Halbleiter-Wafer .
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