KR20010089784A - 수송 장치 - Google Patents

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KR20010089784A
KR20010089784A KR1020017008601A KR20017008601A KR20010089784A KR 20010089784 A KR20010089784 A KR 20010089784A KR 1020017008601 A KR1020017008601 A KR 1020017008601A KR 20017008601 A KR20017008601 A KR 20017008601A KR 20010089784 A KR20010089784 A KR 20010089784A
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drive roller
drive rollers
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발터 멜로여
게르하르트 라우터
게르트 브뤽크너
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추후제출
인피니언 테크놀로지스 아게
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Abstract

본 발명의 수송 장치에 관한 것이다. 종래의 웨이퍼 컨테이너 웨이퍼용 수송 장치는 단 하나의 구동 롤러에 의해 컨테이너의 불균일한 전진 운동만이 이루어진다는 단점을 갖고 있다. 이러한 문제점을 극복하기 위해, 본 발명에 따른 수송 장치는 서로 커플링된 2개의 구동 롤러(7, 9)가 서로 마주놓여 컨테이너(4)의 웨브에 균일한 구동력을 가함으로써, 상기 컨테이너(4)가 직선으로 흔들림없이 계속 수송되도록 형성된다. 따라서, 본 발명의 목적은 적어도 2개의 평행한 웨브를 갖는 컨테이너(4)용 수송 장치를 제공하는데 있다. 여기서, 상기 웨브는 평행한 열로 이루어진 적어도 2개의 캐스터(5, 6)를 포함하며, 상기 캐스터(5, 6) 위에서 웨브가 작동될 수 있다. 본 발명에 따른 수송 장치는 제 1 구동 롤러(7) 및 적어도 하나의 제 2 구동 롤러(9)를 포함하는, 웨브에 구동력을 전달하기 위한 적어도 한 그룹의 구동 롤러(7, 9)를 갖는다는 특징을 지닌다. 여기서, 각각의 구동 롤러(7, 9)는 한 열로 이루어진 캐스터(5, 6) 내에 통합되며, 제 1 구동 롤러(7)는 모터(8)에 의해 구동될 수 있거나 구동되고, 적어도 한 그룹의 구동 롤러(7, 9)는 제 1 구동 롤러(7)가 적어도 하나의 제 2 구동 롤러(9)를 구동시키거나 구동시킬 수 있도록 서로 커플링된다.

Description

수송 장치 {TRANSPORT DEVICE}
제품 또는 반제품의 가공 및 발송시 예컨대 하나의 가공 스테이션으로부터 그 다음 가공 스테이션으로의, 또는 가공 스테이션으로부터 저장소로의 단 구간 수송에 대한 문제가 자주 제기된다. 통상적으로 이와 같은 수송은 벨트 컨베이어 또는 롤러 컨베이어에 의해 이루어지며, 상기 벨트 컨베이어 또는 롤러 컨베이어 위에서 컨테이너 또는 제품이 직접 수송된다. 예컨대 반도체 생산용 웨이퍼와 같은 많은 제품에 있어서, 상기와 같은 컨테이너, 소위 캐리어는 수송 장치에 매칭되는 생산적 형태를 가져야만 한다.
종래 기술에 공지되어 있는 상기와 같은 수송 장치는 웨이퍼 캐리어 수송과 관련해서 하기에 기술될 것이다. 그러나, 이와 같은 수송 장치는 상응하는 요구사항에 매칭된다면 다른 컨테이너에서도 사용될 수 있다.
반도체 웨이퍼용 컨테이너의 측면 하부에는 수송 장치 내에서 수송하는데 사용되는 평행한 2개의 웨브가 제공된다. 상기 컨테이너는 웨브 사이의 하부로 돌출한다. 미리 공지된 수송 장치는, 웨브가 서로에 대해 평행하게 이격된 측면부에 배치된 쇼트 캐스터 위에서 가이드된다는 사실을 고려한다. 상기 측면부는 간격볼트에 의해 하나의 유닛으로 결합된다. 상기 측면부 사이에는 빈 공간이 제공되며, 상기 공간 내부로 컨테이너가 돌출한다. 이러한 이유로, 캐스터는 한 측면부로부터 다른 측면부로 관통하는 것이 아니라, 측면부 간의 공간 내로 약간 돌출되는 평면 플레이트로 구현된다(도 1 참조).
한 측면부에서 다수의 캐스터 뒤에 하나의 구동 롤러가 따른다. 예컨대 각각 4개의 캐스터 뒤에 하나의 구동 롤러가 제공되는 것이 전형적이다. 상기 구동 롤러는 모터에 의해 회전된다.
상기 구동 롤러가 계속적인 수송을 위해 컨테이너에 구동력을 가할 수 있기 위해서, 상기 구동 롤러는 캐스터 주변에서 컨테이너의 웨브를 향해 있는 측면으로, 다시 말해 상부쪽으로 형성된 가상의 라인 위로 돌출한다.
이를 통해, 각각의 컨테이너가 스타트할 때 한 측면에 배치된 구동 롤러에서 측면으로 두드러진 흔들림 동작이 생성되며, 상기 운동에 의해 연속적으로 컨테이너 및 상기 컨테이너 내에 존재하는 웨이퍼가 진동하게 된다. 이러한 진동에 의해 입자 생성이 증가되어, 웨이퍼의 양이 감소된다.
본 발명의 수송 장치에 관한 것이다.
도 1은 측면부가 횡단된, 본 발명에 따른 수송 장치의 측면도이고,
도 2는 본 발명에 따른 한 측면부의 투시도이다.
따라서, 본 발명의 목적은 불리한 측력이 롤러에 작용하지 않으면서, 컨테이너가 안전하게 롤러 위로 가이드될 수 있도록 형성된 수송 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은 독립 청구항 제 1 항에 따른 수송 장치 및 독립 청구항 제 15항에 따른 웨이퍼용 컨테이너를 수송하기 위한 상기 수송 장치의 용도에 의해 달성된다. 본 발명의 바람직한 실시예 및 관점은 종속 청구항, 명세서 및 첨부된 도면에 제시된다.
본 발명에 따른 수송 장치에서 제 2 구동 롤러가 함께 구동된다.
본 발명에 따른 수송 장치에서, 컨테이너의 웨브에 균일한 구동력을 가하는 커플링된 2개의 구동 롤러가 서로 마주놓여 있음으로써, 상기 컨테이너는 선형적으로 흔들림 없이 계속 수송된다.
본 발명에 따른 수송 장치에서, 서로 마주놓인 2개의 구동 롤러의 동력 커플링은 상기 2개의 구동 롤러 사이로 컨테이너가 돌출할 수 있는 빈 공간을 가지도록 형성된다.
이에 상응하여, 본 발명은 적어도 2개의 평행한 웨브를 갖는 컨테이너용 수송 장치를 제공하며, 상기 웨브는 평행한 열로 이루어진 적어도 2개의 캐스터를 포함하며, 상기 캐스터 위에서 웨브가 작동될 수 있다. 상기 수송 장치에서 제 1 구동 롤러 및 적어도 하나의 제 2 구동 롤러를 포함하는 웨브 위로 구동력을 전달하기 위한 적어도 한 그룹의 구동 롤러가 제공된다는 특징이 있다. 여기서, 각각의 구동 롤러가 한 열로 이루어진 캐스터 내에 통합되고, 제 1 구동 롤러는 모터에 의해 구동될 수 있거나 또는 구동되고, 그리고 적어도 한 그룹의 구동 롤러는, 상기 제 1 구동 롤러가 적어도 하나의 제 2 구동 롤러를 구동시키거나 또는 구동시킬 수 있도록 서로 커플링된다.
바람직하게는 적어도 한 그룹의 구동 롤러는 동력 전달 샤프트에 의해 서로 커플링된다.
예컨대 서로에 대해 이격된 측면부가 제공되며, 상기 측면부에는 캐스터 및 다수의 구동 롤러의 열이 배치된다. 적어도 한 그룹으로 이루어진 구동 롤러는 상기 측면부 내에서 서로 마주놓이도록 지지될 수 있다.
캐스터는 바람직하게 상기 캐스터 위에서 수송될 수 있는 컨테이너의 웨브에 관련해서 볼 때 컨테이너를 향해 있는 주변부에 가상의 라인을 형성하며, 상기 구동 롤러는 웨브에 구동력을 전달하기 위해 상기 가상의 라인 보다 돌출한다. 상기 구동 롤러에는 상기 웨브로 구동력을 전달하기 위한 부가의 구동 휠이 배치될 수 있다. 구동 휠 또는 구동 롤러와 웨브 간의 마찰을 개선시킬 수 있기 위해서, 상기 구동 휠 또는 구동 롤러에 고무 라이닝이 직접 코팅되거나 또는 다른 방법이 제공될 수 있다. 상기 구동 롤러 간의 동력 전달은 동력 전달 샤프트에 적어도 2개의 전달 휠이 배치됨으로써 실행될 수 있다. 여기서, 상기 전달 휠 중 하나는 제 1 구동 롤러와 접촉되어 상기 제 1 구동 롤러의 회전을 전달 샤프트로 전달하고, 적어도 제 2 전달 휠은 상기 동력 전달 샤프트의 회전을 적어도 하나의 제 2 구동 롤러로 전달한다. 이 경우에도 동력 전달은 재차 상기 구동 롤러/구동 휠 및 전달 휠에 제공된 고무 라이닝에 의해 지지될 수 있다.
본 발명은 하기에 도시된 도면에 의해 더 구체적으로 설명된다.
본 발명이 속하는 분야의 수송 장치는 2개의 측면 가이드로 이루어지는 것이 전형적이며, 상기 가이드 내에는 상이한 롤러가 제공된다. 도 1에는 컨테이너(4), 즉 웨이퍼 캐리어의 돌출 영역이 수송 장치의 기저부(3) 또는 다른 부분에서 정체되지 않고, 컨테이너가 롤러 위에서 원활하게 작동될 수 있을 만큼 수송 장치를 기저부(3)로부터 이격시키는 2개의 측면부(1, 2)가 도시된다.
측면부는 기저부에 연결되거나 또는 간격 볼트에 의해 서로에 대해 일정하게 이격될 수 있다.
상기 측면부(1, 2)의 서로를 향한 표면에는 예컨대 볼 베어링에 의해 측면부(1, 2) 내에 지지된 캐스터(5, 6)가 배치된다. 상기 캐스터는 컨테이너(4)의 웨브가 캐스터 위로 작동될 경우에 상기 베어링 내에서 자유롭게 회전한다. 상기 캐스터(5, 6)는 도 1에서 고무 라이닝을 가지며, 상기 고무 라이닝은 롤러(5, 6)와 상기 롤러(5, 6) 위에서 작동하는 컨테이너(4)의 웨브 간의 접착을 개선시킨다. 또한 상기 롤러는 웨브의 가이드를 위해 측면부(1, 2)의 외측으로 향하는 챔퍼(chamfer)(11, 12)를 갖는다.
이와 마찬가지로, 상기 측면부(2) 내에도 모터(8)에 의해 구동되는 제 1 구동 롤러(7)가 배치된다.
다른 측면부(1)에는 제 2 구동 롤러(9)가 배치되며, 상기 구동 롤러(9)는 본 발명에 따라 제 1 구동 롤러(7)에 커플링됨으로써, 양 구동 롤러의 동력 전달이 보장된다. 도 1에서 동력 전달 샤프트(17)와의 커플링이 달성되며, 상기 동력 전달 샤프트(17)는 제 1 구동 롤러(7)의 힘을 상기 동력 전달 샤프트(17)에 배치된 전달휠(16)에 의해 수용하여, 부가의 전달 휠(15)을 통해 제 2 구동 롤러(9)로 계속 가이드한다. 여기서, 상기 전달 휠(15, 16)은 전달 휠(15, 16)을 샤프트(17)에 연결시키는 샤프트 홀더(18, 19) 위에 배치된다. 그러나, 상기 전달 휠(15, 16)은 종래 기술에서 알려진 바와는 다른 방식으로 샤프트(17)에 고정될 수도 있다. 상기 동력 전달 샤프트(17)는 그것의 단부 영역, 즉 2개의 베어링 샤프트(22, 23)에 의해 측면부(1, 2) 내에 배치된 2개의 베어링(21, 22) 내에 지지된다.
도 1에 도시된 커플링은 기계적 커플링이다. 상기 커플링에 의해 구동 롤러(7, 9) 및 전달 휠(15, 16)의 크기가 동일해지는데, 이는 적어도 2개의 구동 롤러(7, 9)가 동일한 원주 속도로 이동됨으로써, 컨테이너(4)의 수송이 종래 기술에서 보다 더욱 균일해야만 하는 전제를 갖는다. 그러나, 다른 방식, 예컨대 전기적으로 커플링될 수도 있다. 전기적 커플링의 경우 제 1 구동 롤러(7)에는 속도를 측정하여 제어 장치로 정보를 전달하는 센서가 제공되며, 상기 제어 장치는 제 2 모터에 의해 제 2 구동 롤러(9)의 속도를 제 1 구동 롤러의 속도와 동일한 값으로 조절한다.
도 1에 도시된 실시예에서, 2개의 구동 롤러(7, 9)는 구동 롤러(7, 9)의 중심 롤러의 둘레를 확대하고 전달 휠(15, 16)과의 고유 접촉면을 제공하는 구동 휠(13, 14)을 갖는다.
구동 롤러, 구동 휠 및 전달 휠의 모든 접촉면은 서로 간의 마찰, 또는 컨테이너의 웨브와의 마찰을 개선시키기 위해 고무 표면을 가질 수 있다.
그러나, 구동 롤러/전달 휠로부터의 동력 전달 및 구동 롤러/전달 휠로의 동력 전달은 기어 휠에 의해 이루어지며, 이를 위해 구동 롤러에는 컨테이너(4)의 웨브가 작동되고 있는 구동 휠(13, 14)에 대해 부가로 중심 롤러에 기어 휠이 배치되며, 상기 기어 휠은 기어 휠로서 형성된 전달 휠(15, 16)에 결합된다.
본 발명에 따라, 적어도 2개의 구동 롤러, 즉 모터에 의해 구동되는 제 1 구동 롤러(7) 및 상기 구동 롤러(7)에 커플링된 제 2 구동 롤러(9)로 이루어진 적어도 한 그룹의 구동 롤러가 제공된다. 그러나, 제 1 구동 롤러(7)에 모두 커플링된 한 그룹의 구동 롤러 내에 하나 이상의 제 2 구동 롤러(9)가 제공될 수 있다. 이와 같은 배치에 의해, 예컨대 비교적 넓은 컨테이너(4)의 수송이 가능해지며, 이때 안정을 위해 상기 컨테이너(4)의 중앙은 부가로 지지될 수 있다.
또한 상이한 그룹의 구동 롤러(7, 9)에 속해있는 다수의 제 1 구동 롤러(7)가 공통 모터(8)에 의해 구동될 수 있다. 이와 같은 형성은 특히 가벼운 컨테이너에 매칭될 수 있음으로써, 장치 비용이 감소된다. 이와 같은 구동은 모터(8), 그리고 모든 기어 휠 및 공통의 구동 모터 주변으로 가이드되는 기어 체인 대신에 기어 휠에 의해 이루어질 수 있다.
도 2에는 캐스터 및 구동 롤러를 갖는 측면부의 투시도가 도시된다. 상기 도면에는 제 2 구동 롤러(9)가 위에 배치되어 있는 측면부(1)가 예로 도시된다. 여기서, 동일한 도면 부호는 도 1과 동일한 부재를 나타내며, 각각의 구동 롤러(9)가 3개의 캐스터(5)에 배치된다. 그러나, 다수 또는 소수의 캐스터가 개별 구동 롤러(7, 9) 사이에 배치될 수도 있다. 이 경우, 상기 구동 롤러(7, 9) 간의 간격은 한 그룹의 구동 롤러(7, 9)가 그 다음 그룹의 구동 롤러(7, 9)와의 확실한 접촉이 이루어질때까지 운송될 수 있을 만큼의 치수를 갖는다. 바람직하게 상기 간격은 임의의 시점에 적어도 한 그룹의 구동 롤러(7, 9)가 컨테이너(4)에서 다수의 웨브를 구동시킬 수 있을 만큼의 치수를 갖는다.
도 2에서 캐스터(5, 6)는 서로 가깝게, 그리고 구동 롤러(7, 9)와 가깝게 도시된다. 그러나, 컨테이너(4)의 확실한 수송이 보장될 수 있을 만큼의 간격으로 확대될 수도 있다.
또한 측면부 및 롤러는 커브 주행이 가능할 정도로 배치될 수 있다. 이를 위해, 상응하는 부재는 컨테이너(4)가 예컨대 측면부에서 정체되지 않을 정도로 배치되어야만 한다. 커브 주행시 컨테이너의 외측은 내측 보다 더 빨리 이동되어야만 하기 때문에, 구동 휠은 상이한 속도로 작동될 필요가 있다. 이를 위해, 예컨대 2개의 전달 휠이 상이한 크기로 형성되어, 변속이 달성될 수 있어야만 한다.
본 발명은 지금까지의 수송 장치에서 나타난 불균일한 수송 동작의 문제점을 해결한다. 본 발명에 의해, 컨테이너의 정확한 직선 운동이 달성된다.

Claims (15)

  1. 평행한 열로 이루어진 적어도 2개의 캐스터(5, 6)를 포함하고, 평행하게 진행하는 적어도 2개의 웨브를 가지며, 상기 캐스터(5, 6) 위에서 웨브가 작동될 수 있도록 형성된 수송 장치에 있어서,
    제 1 구동 롤러(7) 및 적어도 하나의 제 2 구동 롤러(9)를 포함하는 웨브에 구동력을 전달하기 위한 적어도 한 그룹의 구동 롤러(7, 9)가 제공되며, 각각의 구동 롤러(7, 9)는 한 열로 이루어진 캐스터(5, 6) 내에 통합되며, 상기 제 1 구동 롤러(7)는 모터(8)에 의해 구동될 수 있거나 또는 구동되고, 적어도 한 그룹의 구동 롤러(7, 9)는 제 1 구동 롤러(7)가 적어도 하나의 제 2 구동 롤러(9)를 구동시키거나 또는 구동시킬 수 있도록 서로 커플링되는 것을 특징으로 하는 수송 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    적어도 한 그룹의 구동 롤러(7, 9)는 동력 전달 샤프트(17)에 의해 서로 커플링되는 것을 특징으로 하는 수송 장치.
  3. 제 1항 또는 2항에 있어서,
    평행하게 배치되어, 서로 이격된 측면부(1, 2)를 포함하며, 상기 측면부(1, 2)에는 한 열로 이루어진 캐스터(5, 6) 및 구동 롤러(7, 9)가 배치되는 것을 특징으로 하는 수송 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 캐스터(5, 6)는 상기 측면부(1, 2)에서 자유롭게 회전할 수 있거나 또는 자유롭게 회전하는 것을 특징으로 하는 수송 장치.
  5. 제 3항 또는 4항에 있어서,
    적어도 한 그룹의 구동 롤러(7, 9)는 상기 측면부(1, 2) 내에서 서로 마주놓이도록 지지되는 것을 특징으로 하는 수송 장치.
  6. 제 1항 내지 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐스터(5, 6) 위에서 수송될 수 있는 컨테이터(4)의 웨브(1, 2)에 관련해서 볼 때, 상기 컨테이터(4)를 향해 있는 주변부에 가상의 라인을 형성하며, 상기 구동 롤러(7, 9)는 상기 웨브에 구동력을 전달하기 위해 가상의 라인 보다 돌출한 것을 특징으로 하는 수송 장치.
  7. 제 1항 내지 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동 롤러(7, 9) 위에는 웨브에 구동력을 전달하기 위한 구동 휠(13, 14)이 배치되는 것을 특징으로 하는 수송 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 구동 휠(13, 14)의 주변부에는 웨브에 구동력을 전달하기 위한 고무 라이닝이 배치되는 것을 특징으로 하는 수송 장치.
  9. 제 2항 내지 8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 동력 전달 샤프트(17)에는 적어도 2개의 전달 휠(15, 16)이 배치되며, 하나의 전달 휠(16)이 제 1 구동 롤러(7)와 접촉되어 상기 제 1 구동 롤러(7)의 회전을 동력 전달 샤프트(17)로 전달하며, 적어도 제 2 전달 휠(15)은 동력 전달 샤프트(17)의 회전을 적어도 하나의 제 2 구동 롤러(9)로 전달하는 것을 특징으로 하는 수송 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 구동 롤러와 전달 휠 간의 동력 전달이 상기 고무 라이닝의 마찰에 의해 이루어지며, 상기 고무 라이닝은 상기 구동 롤러 및 전달 휠의 주변부에 배치되는 것을 특징으로 하는 수송 장치.
  11. 제 9항에 있어서,
    상기 구동 휠(13, 14)은 상기 구동 롤러(7, 9)의 주변부에 배치되고, 상기 구동 롤러(7, 9)와 전달 휠(15, 16) 간의 동력 전달은 상기 구동 휠(13, 14) 및 전달 휠(15, 16)의 주변부에 배치된 고무 라이닝의 마찰에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 수송 장치.
  12. 제 1항 내지 11항 중 어느 한 항에 있어서,
    적어도 한 그룹의 구동 롤러(7, 9)는 다수의 제 2 구동 롤러(9)를 포함하며, 상기 수송 장치는 적어도 한 그룹의 구동 롤러(7, 9)의 개수에 상응하는 개수의 평행한 열로 이루어진 캐스터(5, 6)를 갖는 것을 특징으로 하는 수송 장치.
  13. 제 1항 내지 12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 모터(8)는 다수의 그룹의 구동 롤러(7, 9)를 구동시키는 것을 특징으로 하는 수송 장치.
  14. 제 1항 내지 13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 다수의 구동 롤러(7, 9)는 캐스터(5, 6)의 열 내부에 통합되어, 상기 그룹의 구동 롤러(7, 9)는, 각 시점에 각각 적어도 한 그룹의 구동 롤러(7, 9)가 상기 컨테이너(4)의 웨브를 구동시킬 수 있도록 서로에 대해 이격되는 것을 특징으로 하는 수송 장치.
  15. 반도체 웨이퍼용 수송 캐리어를 수송하기 위한, 제 1항 내지 14항 중 어느 한 항에 따른 수송 장치의 용도.
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