JP2002096285A - 搬送装置における２軸出力エンコーダの配置 - Google Patents
搬送装置における２軸出力エンコーダの配置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 構成の簡易な搬送装置における２軸出力
エンコーダの配置を提供する。 【解決手段】 内軸２１Ｂと中空状の外軸２１Ａとの同
軸２軸の出力軸をもって、各出力軸に接続され独立して
駆動させる駆動モータ７０Ａ、７０Ｂによって搬送物を
搬送する搬送装置において、内軸２１Ｂと外軸２１Ａの
間および外軸２１Ａと円筒ハウジング６２の間に軸シー
ル６３が介在しており、駆動モータ７０Ａ、７０Ｂおよ
び外接軸２０Ａ、２０Ｂと中間軸３０Ａ、３０Ｂと内接
円筒４０Ａ、４０Ｂとからなり駆動モータ７０Ａ、７０
Ｂの回転を減速するトラクションドライブ減速機が大気
側に配置され、内軸２１Ｂの位置検出器６７Ｂ、６９Ｂ
が減速機を貫通して、外軸２１Ａの位置検出装置６７
Ａ、６９Ａが軸シール６３と減速機７０Ａ、７０Ｂとの
間に配置されて大気側に設けられている。
エンコーダの配置を提供する。 【解決手段】 内軸２１Ｂと中空状の外軸２１Ａとの同
軸２軸の出力軸をもって、各出力軸に接続され独立して
駆動させる駆動モータ７０Ａ、７０Ｂによって搬送物を
搬送する搬送装置において、内軸２１Ｂと外軸２１Ａの
間および外軸２１Ａと円筒ハウジング６２の間に軸シー
ル６３が介在しており、駆動モータ７０Ａ、７０Ｂおよ
び外接軸２０Ａ、２０Ｂと中間軸３０Ａ、３０Ｂと内接
円筒４０Ａ、４０Ｂとからなり駆動モータ７０Ａ、７０
Ｂの回転を減速するトラクションドライブ減速機が大気
側に配置され、内軸２１Ｂの位置検出器６７Ｂ、６９Ｂ
が減速機を貫通して、外軸２１Ａの位置検出装置６７
Ａ、６９Ａが軸シール６３と減速機７０Ａ、７０Ｂとの
間に配置されて大気側に設けられている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送装置における
２軸出力エンコーダの配置に関する。
２軸出力エンコーダの配置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハやＬＣＤ（液品表示）ガラ
ス基盤などのパーティクルを嫌う精巧な処理を必要とす
る分野で用いる搬送装置において、光学式エンコーダを
真空中に配置することが知られている。（例えば、特表
平８−５０６７７１号公報）
ス基盤などのパーティクルを嫌う精巧な処理を必要とす
る分野で用いる搬送装置において、光学式エンコーダを
真空中に配置することが知られている。（例えば、特表
平８−５０６７７１号公報）
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この特表平８−５０６
７７１号公報に開示された搬送装置では、エンコーダや
軸受が、真空雰囲気中に設けられているため、真空雰囲
気仕様の高価なエンコーダや軸受を使用しなければなら
ない。更に、軸受が真空雰囲気中で使用されるため、負
荷容量を大きくしようとすると、パーティクルの発生原
因となり、負荷容量を大きくできない問題があった。
７７１号公報に開示された搬送装置では、エンコーダや
軸受が、真空雰囲気中に設けられているため、真空雰囲
気仕様の高価なエンコーダや軸受を使用しなければなら
ない。更に、軸受が真空雰囲気中で使用されるため、負
荷容量を大きくしようとすると、パーティクルの発生原
因となり、負荷容量を大きくできない問題があった。
【０００４】
【発明の目的】本発明は、構成の簡易な搬送装置におけ
る２軸出力エンコーダの配置を提供することを目的とす
る。
る２軸出力エンコーダの配置を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明においては、請求
項１に記載のように、内軸と中空状の外軸との同軸２軸
の出力軸をもって、各出力軸に接続され独立して駆動さ
せる駆動モータによって搬送物を搬送する搬送装置にお
いて、内軸と外軸、および外軸と円筒ハウジングの間に
軸シールが介在しており、駆動モータおよび外接軸と中
間軸と内接円筒とからなり駆動モータの回転を減速する
トラクションドライブ減速機が大気側に配置され、内軸
の位置検出器が減速機を貫通して、外軸の位置検出装置
が軸シールと減速機との間に配置されて大気側に設けら
れていることを特徴とする搬送装置における２軸出力エ
ンコーダの配置により、上記の目的を達成する。
項１に記載のように、内軸と中空状の外軸との同軸２軸
の出力軸をもって、各出力軸に接続され独立して駆動さ
せる駆動モータによって搬送物を搬送する搬送装置にお
いて、内軸と外軸、および外軸と円筒ハウジングの間に
軸シールが介在しており、駆動モータおよび外接軸と中
間軸と内接円筒とからなり駆動モータの回転を減速する
トラクションドライブ減速機が大気側に配置され、内軸
の位置検出器が減速機を貫通して、外軸の位置検出装置
が軸シールと減速機との間に配置されて大気側に設けら
れていることを特徴とする搬送装置における２軸出力エ
ンコーダの配置により、上記の目的を達成する。
【０００６】本発明は特に同軸２軸配置とした搬送装置
である。出力軸エンコーダは、磁気式の場合に、減速機
から出る摩耗粉（鉄粉）により、誤動作を引き起こす可
能性があるので、オイル中（減速機と同じ雰囲気）に配
置できない。これにより、出力軸エンコーダは、大気中
且つオイルレス雰囲気に、配置しなければならない。し
かし、同軸２軸では、同じ場所に２軸を配置できない。
なぜなら、受け側センサを固定部に配置する必要がある
が、特に内軸側出力軸は、外側に外軸出力軸（回転軸）
がある上に減速機もあるため、固定する場所がない。こ
の問題より、必然的に、内軸側のエンコーダは、出力側
と反対方向に軸を伸ばして、固定部まで持ってこないと
ならないが、通常は、出力の反対側には、減速機やモー
タがあり、それを中空にして貫通させると、構造も複雑
になり、駆動装置もコンパクトにならない。（モータの
下にエンコーダを配置しなければならない。）これに対
して、本発明のように、トラクションドライブの構造に
することによって、１段目トラクションドライブとモー
タを、オフセットに配置することができ、１段目トラク
ションドライブとモータと内軸側出力エンコーダとを並
列に配置することができる。これにより、コンパクト化
を図ることができる。なお、この場合には、請求項２に
記載のように、内軸の駆動モータと外軸の駆動モータが
並列に配置され、内軸の位置検出器が両駆動モータの下
端面よりも上、すなわち、両駆動モータの配置空間内に
位置している。また、１段目トラクションドライブは適
宜省略してもよい。
である。出力軸エンコーダは、磁気式の場合に、減速機
から出る摩耗粉（鉄粉）により、誤動作を引き起こす可
能性があるので、オイル中（減速機と同じ雰囲気）に配
置できない。これにより、出力軸エンコーダは、大気中
且つオイルレス雰囲気に、配置しなければならない。し
かし、同軸２軸では、同じ場所に２軸を配置できない。
なぜなら、受け側センサを固定部に配置する必要がある
が、特に内軸側出力軸は、外側に外軸出力軸（回転軸）
がある上に減速機もあるため、固定する場所がない。こ
の問題より、必然的に、内軸側のエンコーダは、出力側
と反対方向に軸を伸ばして、固定部まで持ってこないと
ならないが、通常は、出力の反対側には、減速機やモー
タがあり、それを中空にして貫通させると、構造も複雑
になり、駆動装置もコンパクトにならない。（モータの
下にエンコーダを配置しなければならない。）これに対
して、本発明のように、トラクションドライブの構造に
することによって、１段目トラクションドライブとモー
タを、オフセットに配置することができ、１段目トラク
ションドライブとモータと内軸側出力エンコーダとを並
列に配置することができる。これにより、コンパクト化
を図ることができる。なお、この場合には、請求項２に
記載のように、内軸の駆動モータと外軸の駆動モータが
並列に配置され、内軸の位置検出器が両駆動モータの下
端面よりも上、すなわち、両駆動モータの配置空間内に
位置している。また、１段目トラクションドライブは適
宜省略してもよい。
【０００７】上述のように、出力軸エンコーダを真空雰
囲気に設置することは耐久性や設備比から問題がある。
特に磁気式とすると、センサ側が真空雰囲気に耐えられ
ないため真空中に配置できない。これに対して、本発明
においては、位置検出器を大気側に配置し、更に減速機
の油潤滑部外に設けるため、搬送装置における２軸出力
エンコーダを安価に且つ容易に配置することができる。
囲気に設置することは耐久性や設備比から問題がある。
特に磁気式とすると、センサ側が真空雰囲気に耐えられ
ないため真空中に配置できない。これに対して、本発明
においては、位置検出器を大気側に配置し、更に減速機
の油潤滑部外に設けるため、搬送装置における２軸出力
エンコーダを安価に且つ容易に配置することができる。
【０００８】本発明においては、内軸および外軸の位置
検出器を磁気式とすることが好ましい。磁気式位置検知
器は光学式位置検知器に比べ安価である。
検出器を磁気式とすることが好ましい。磁気式位置検知
器は光学式位置検知器に比べ安価である。
【０００９】
【実施例】以下、図１〜図３を参照して本発明の実施例
を詳細に説明する。図１は、トラクションドライブ減速
機を用いた搬送装置６０の実施例を示す断面図であり、
図２（ａ）は図１のＡ−Ａ断面図、図２（ｂ）は図１の
Ｂ−Ｂ断面図であり、図３（ａ）は図１のＣ−Ｃ矢視
図、図３（ｂ）は図１のＤ−Ｄ断面図である。
を詳細に説明する。図１は、トラクションドライブ減速
機を用いた搬送装置６０の実施例を示す断面図であり、
図２（ａ）は図１のＡ−Ａ断面図、図２（ｂ）は図１の
Ｂ−Ｂ断面図であり、図３（ａ）は図１のＣ−Ｃ矢視
図、図３（ｂ）は図１のＤ−Ｄ断面図である。
【００１０】搬送装置６０のアーム部（第１アーム６１
Ａおよび第２アーム６１Ｂ）がクリーンルームなどの、
半導体ウエハやＬＣＤ（液品表示）ガラス基盤などを処
理する処理室内部に設けられており、処理室内部は減圧
されており（いわゆる真空状態）、これら第１アーム６
１Ａおよび第２アーム６１Ｂを駆動する駆動装置が処理
室の外に設けられている構造となっており、その境界が
円筒ハウジング６２の頭部の板状部６２ａとなってい
る。円筒ハウジング６２は、頭部の板状部６２ａと、板
状部６２ａと一体的に取着され下方に突出した円筒部６
２ｂとから構成されている。
Ａおよび第２アーム６１Ｂ）がクリーンルームなどの、
半導体ウエハやＬＣＤ（液品表示）ガラス基盤などを処
理する処理室内部に設けられており、処理室内部は減圧
されており（いわゆる真空状態）、これら第１アーム６
１Ａおよび第２アーム６１Ｂを駆動する駆動装置が処理
室の外に設けられている構造となっており、その境界が
円筒ハウジング６２の頭部の板状部６２ａとなってい
る。円筒ハウジング６２は、頭部の板状部６２ａと、板
状部６２ａと一体的に取着され下方に突出した円筒部６
２ｂとから構成されている。
【００１１】互いに同軸状となった中空出力軸（外軸）
２１Ａおよび中実出力軸（内軸）２１Ｂが、円筒ハウジ
ング６２に対し、軸受２３Ａ、２３Ｂによって回転可能
に支承されている。すなわち、中空出力軸（外軸）２１
Ａは円筒部６２ｂの内部に設けられた軸受２３Ａにより
回転可能に支承され、中実出力軸（内軸）２１Ｂは中空
出力軸（外軸）２１Ａの内部に設けられた軸受２３Ｂに
より回転可能に支承されている。
２１Ａおよび中実出力軸（内軸）２１Ｂが、円筒ハウジ
ング６２に対し、軸受２３Ａ、２３Ｂによって回転可能
に支承されている。すなわち、中空出力軸（外軸）２１
Ａは円筒部６２ｂの内部に設けられた軸受２３Ａにより
回転可能に支承され、中実出力軸（内軸）２１Ｂは中空
出力軸（外軸）２１Ａの内部に設けられた軸受２３Ｂに
より回転可能に支承されている。
【００１２】軸受２３Ｂの上方の中空出力軸（外軸）２
１Ａの内側と中実出力軸（内軸）２１Ｂの外側との間隙
および円筒ハウジング６２の板状部６２ａの中心に形成
された開口部と中空出力軸（外軸）２１Ａの外側との間
隙には、磁性流体シール等の非接触型シールまたは接触
形シールからなる軸シール６３を設けて、処理室内部の
真空を保っている。
１Ａの内側と中実出力軸（内軸）２１Ｂの外側との間隙
および円筒ハウジング６２の板状部６２ａの中心に形成
された開口部と中空出力軸（外軸）２１Ａの外側との間
隙には、磁性流体シール等の非接触型シールまたは接触
形シールからなる軸シール６３を設けて、処理室内部の
真空を保っている。
【００１３】中空出力軸（外軸）２１Ａおよび中実出力
軸（内軸）２１Ｂにはそれぞれ半導体ウエハやＬＣＤ
（液品表示）ガラス基盤などを取り扱う第１アーム６１
Ａおよび第２アーム６１Ｂがボルト６４Ａ、６４Ｂによ
り取着されている。
軸（内軸）２１Ｂにはそれぞれ半導体ウエハやＬＣＤ
（液品表示）ガラス基盤などを取り扱う第１アーム６１
Ａおよび第２アーム６１Ｂがボルト６４Ａ、６４Ｂによ
り取着されている。
【００１４】中空円筒軸からなる出力軸（外軸）２１Ａ
には、その下端先端部にボルト６５Ａにより外接軸２０
Ａが締結されている。外接軸２０Ａは、図２（ａ）に示
すように、円板状をしており、その中心部は中空となっ
ていて、中実出力軸（内軸）２１Ｂが貫通可能となって
いる。外接軸２０Ａの外周面には、実施例においては３
本の中間軸３０Ａが等配的に接触している。
には、その下端先端部にボルト６５Ａにより外接軸２０
Ａが締結されている。外接軸２０Ａは、図２（ａ）に示
すように、円板状をしており、その中心部は中空となっ
ていて、中実出力軸（内軸）２１Ｂが貫通可能となって
いる。外接軸２０Ａの外周面には、実施例においては３
本の中間軸３０Ａが等配的に接触している。
【００１５】更に、中間軸３０Ａはドーナツ形状をした
内接円筒４０Ａの内面に内接している。ここに、外接軸
２０Ａの外径と中間軸３０Ａの外径の２倍の和を、内接
円筒４０Ａの内径より大きくして締め代を設定し、その
締め代によってトラクションドライブ減速機にトルク調
整機能を具備させている。なお、本実施例では中間軸３
０Ａを回転支持するキャリア１０を固定しており、中間
軸３０Ａの１本には、中空出力軸（外軸）２１Ａの駆動
用前段減速機５０Ａが連結され、更に、この外軸用前段
減速機５０Ａを介して外軸駆動モータ７０Ａからの動力
が伝達され、これによって、外接軸２０Ａから出力が取
出せるようになっている。なお、中間軸のうち、外軸駆
動モータ７０Ａに接続される１本の中間軸３０Ａ以外の
中間軸３０Ａ′は図１（ｂ）に示すように中間軸３０Ａ
より短くなっている。
内接円筒４０Ａの内面に内接している。ここに、外接軸
２０Ａの外径と中間軸３０Ａの外径の２倍の和を、内接
円筒４０Ａの内径より大きくして締め代を設定し、その
締め代によってトラクションドライブ減速機にトルク調
整機能を具備させている。なお、本実施例では中間軸３
０Ａを回転支持するキャリア１０を固定しており、中間
軸３０Ａの１本には、中空出力軸（外軸）２１Ａの駆動
用前段減速機５０Ａが連結され、更に、この外軸用前段
減速機５０Ａを介して外軸駆動モータ７０Ａからの動力
が伝達され、これによって、外接軸２０Ａから出力が取
出せるようになっている。なお、中間軸のうち、外軸駆
動モータ７０Ａに接続される１本の中間軸３０Ａ以外の
中間軸３０Ａ′は図１（ｂ）に示すように中間軸３０Ａ
より短くなっている。
【００１６】また、中実状軸出力軸（内軸）２１Ｂの下
部の、前述した外接軸２０Ａの下方位置には、外接軸取
着用のマウント６６がスプライン２１Ｂａによって結合
されており、この外接軸取付用マウント６６にボルト６
５Ｂによって外接軸２０Ｂが締結されている。外接軸２
０Ｂは、図２（ｂ）に示すように、円板状をしており、
その中心部は中空となっていて中実出力軸（内軸）２１
Ｂの下端部が貫通可能となっている。この外接軸２０Ｂ
には上述した外接軸２０Ａを定着するためのボルト６５
Ａを通すためのボルト通し穴２０Ｂａが設けられてい
る。
部の、前述した外接軸２０Ａの下方位置には、外接軸取
着用のマウント６６がスプライン２１Ｂａによって結合
されており、この外接軸取付用マウント６６にボルト６
５Ｂによって外接軸２０Ｂが締結されている。外接軸２
０Ｂは、図２（ｂ）に示すように、円板状をしており、
その中心部は中空となっていて中実出力軸（内軸）２１
Ｂの下端部が貫通可能となっている。この外接軸２０Ｂ
には上述した外接軸２０Ａを定着するためのボルト６５
Ａを通すためのボルト通し穴２０Ｂａが設けられてい
る。
【００１７】外接軸２０Ｂの周囲に、図２（ｂ）に示す
ように、この実施例においては３本の中間軸３０Ｂが等
配的に外接しており、この外接軸２０Ｂはドーナツ形状
をした内接円筒４０Ｂに内接している。ここに、外接軸
２０Ｂの外径と中間軸３０Ｂの外径の２倍の和を、内接
円筒４０Ｂの内径より大きくして締め代を設定し、その
締め代によってトラクションドライブ減速機にトルク調
整機能を具備させている。なお、本実施例ではキャリア
１０を固定しており、中間軸３０Ｂの１本には中実出力
軸（内軸）２１Ｂの駆動用前段減速機５０Ｂが連結さ
れ、更に、この内軸用前段減速機５０Ｂを介して内軸駆
動モータ７０Ｂからの動力が伝達され、これによって、
外接軸２０Ｂから出力が取出せるようになっている。な
お、中間軸のうち、外軸駆動モータ７０Ａに接続される
１本の中間軸３０Ｂ以外の中間軸３０Ｂ′は図１（ｂ）
に示すように中間軸３０Ｂより短くなっている。
ように、この実施例においては３本の中間軸３０Ｂが等
配的に外接しており、この外接軸２０Ｂはドーナツ形状
をした内接円筒４０Ｂに内接している。ここに、外接軸
２０Ｂの外径と中間軸３０Ｂの外径の２倍の和を、内接
円筒４０Ｂの内径より大きくして締め代を設定し、その
締め代によってトラクションドライブ減速機にトルク調
整機能を具備させている。なお、本実施例ではキャリア
１０を固定しており、中間軸３０Ｂの１本には中実出力
軸（内軸）２１Ｂの駆動用前段減速機５０Ｂが連結さ
れ、更に、この内軸用前段減速機５０Ｂを介して内軸駆
動モータ７０Ｂからの動力が伝達され、これによって、
外接軸２０Ｂから出力が取出せるようになっている。な
お、中間軸のうち、外軸駆動モータ７０Ａに接続される
１本の中間軸３０Ｂ以外の中間軸３０Ｂ′は図１（ｂ）
に示すように中間軸３０Ｂより短くなっている。
【００１８】なお、図２（ａ）および（ｂ）において、
符号１３は上下のプレート１１、１２、１４を一体的に
強固に連結するためのキャリアの柱である。図２（ｂ）
においては、外接軸２０Ｂと内接円筒４０Ｂとの間隙
を、中空円筒出力軸（外軸）２１Ａを駆動する中間軸３
０Ａの下端部が非接触状態で貫通している。
符号１３は上下のプレート１１、１２、１４を一体的に
強固に連結するためのキャリアの柱である。図２（ｂ）
においては、外接軸２０Ｂと内接円筒４０Ｂとの間隙
を、中空円筒出力軸（外軸）２１Ａを駆動する中間軸３
０Ａの下端部が非接触状態で貫通している。
【００１９】中空出力軸（外軸）２１Ａには、軸シール
６３の下方（すなわち、真空処理室の外部）で且つ軸受
２３Ａの上方に肩部２１Ａａが形成されており、この肩
部２１Ａａにドーナツ板状の外軸用位置検出器の符号板
６７Ａがボルト６８Ａにより止着されている。また、搬
送装置６０のキャリア１０側には外軸用位置検出器の検
出部６９Ａが設けられており、上述の符号板６７Ａの符
号を検出して出力軸２１Ａの回転位置を検出するように
なっている。この位置検知器は磁気式である。外軸用位
置検出器は、軸シール６３と減速機との間に配置されて
いる。
６３の下方（すなわち、真空処理室の外部）で且つ軸受
２３Ａの上方に肩部２１Ａａが形成されており、この肩
部２１Ａａにドーナツ板状の外軸用位置検出器の符号板
６７Ａがボルト６８Ａにより止着されている。また、搬
送装置６０のキャリア１０側には外軸用位置検出器の検
出部６９Ａが設けられており、上述の符号板６７Ａの符
号を検出して出力軸２１Ａの回転位置を検出するように
なっている。この位置検知器は磁気式である。外軸用位
置検出器は、軸シール６３と減速機との間に配置されて
いる。
【００２０】一方、中実出力軸（内軸）２１Ｂの下端先
端部２１Ｂｂ（すなわち、真空処理室の外部）には、円
板状をした内軸用位置検出器の符号板６７Ｂがボルト６
８Ｂにより止着されており、この符号板６７Ｂに対向し
て搬送装置６０のキャリア１０側には、図１（ｂ）に示
すように、内軸用位置検出器の検出部６９Ｂが設けられ
ており、出力軸２１Ｂの回転位置を検出するようになっ
ている。この位置検知器は磁気式である。内軸用位置検
出器は、並列に配置した駆動モータ７０Ａ、７０Ｂの配
置空間内に位置している。
端部２１Ｂｂ（すなわち、真空処理室の外部）には、円
板状をした内軸用位置検出器の符号板６７Ｂがボルト６
８Ｂにより止着されており、この符号板６７Ｂに対向し
て搬送装置６０のキャリア１０側には、図１（ｂ）に示
すように、内軸用位置検出器の検出部６９Ｂが設けられ
ており、出力軸２１Ｂの回転位置を検出するようになっ
ている。この位置検知器は磁気式である。内軸用位置検
出器は、並列に配置した駆動モータ７０Ａ、７０Ｂの配
置空間内に位置している。
【００２１】この実施例においては、上述した外軸用前
段減速機５０Ａおよび内軸用前段減速機５０Ｂは、それ
ぞれトラクションドライブタイプの減速機であり、この
減速機においてはそれぞれの外接軸５１に、中空出力軸
（外軸）２１Ａおよび中実出力軸（内軸）２１Ｂを駆動
する外軸駆動モータ７０Ａおよび内軸駆動モータ７０Ｂ
がそれぞれ連結されている。この外接軸５１の外周に複
数の中間軸５２が等配的に外接しており、この中間軸５
２の外側は内接円筒５３に内接している。この減速機の
内接円筒５３を固定しキャリア５４から出力を取出す。
これらキャリア５４からの出力を、それぞれ上述した第
１段の中間軸３０Ａ、３０Ｂに入力するようになってい
る。なお、この減速機においても、外接軸５１の外径と
中間軸５２の外径の２倍の和を、内接円筒５３の内径よ
り大きくして締め代を設定し、その締め代によってトル
ク調整機能を具備させている。
段減速機５０Ａおよび内軸用前段減速機５０Ｂは、それ
ぞれトラクションドライブタイプの減速機であり、この
減速機においてはそれぞれの外接軸５１に、中空出力軸
（外軸）２１Ａおよび中実出力軸（内軸）２１Ｂを駆動
する外軸駆動モータ７０Ａおよび内軸駆動モータ７０Ｂ
がそれぞれ連結されている。この外接軸５１の外周に複
数の中間軸５２が等配的に外接しており、この中間軸５
２の外側は内接円筒５３に内接している。この減速機の
内接円筒５３を固定しキャリア５４から出力を取出す。
これらキャリア５４からの出力を、それぞれ上述した第
１段の中間軸３０Ａ、３０Ｂに入力するようになってい
る。なお、この減速機においても、外接軸５１の外径と
中間軸５２の外径の２倍の和を、内接円筒５３の内径よ
り大きくして締め代を設定し、その締め代によってトル
ク調整機能を具備させている。
【００２２】上記構成からなる本実施例の搬送装置６０
においては、外軸駆動用モータ７０Ａから入力された動
力は、前段減速機５０Ａにより減速され、その出力は搬
送装置６０の外軸駆動用の中間軸３０Ａに入力される。
そしてこの入力された回転は第１段のトラクションドラ
イブ減速機により減速されて中空出力軸（外軸）２１Ａ
を回転させ、その中空出力軸（外軸に）２１Ａに取付け
られた第１アーム６１Ａを駆動する。また同様に内軸駆
動用モータ７０Ｂの回転力は内軸用前段減速機５０Ｂに
入力され、ここで所定の減速が行われた後、後段の内軸
駆動用減速機の中間軸３０Ｂに入力され、中実状出力軸
（内軸）２１Ｂを介し第２アーム６１Ｂを駆動するよう
になっている。
においては、外軸駆動用モータ７０Ａから入力された動
力は、前段減速機５０Ａにより減速され、その出力は搬
送装置６０の外軸駆動用の中間軸３０Ａに入力される。
そしてこの入力された回転は第１段のトラクションドラ
イブ減速機により減速されて中空出力軸（外軸）２１Ａ
を回転させ、その中空出力軸（外軸に）２１Ａに取付け
られた第１アーム６１Ａを駆動する。また同様に内軸駆
動用モータ７０Ｂの回転力は内軸用前段減速機５０Ｂに
入力され、ここで所定の減速が行われた後、後段の内軸
駆動用減速機の中間軸３０Ｂに入力され、中実状出力軸
（内軸）２１Ｂを介し第２アーム６１Ｂを駆動するよう
になっている。
【００２３】本実施例の搬送装置によれば次のような効
果が奏せられる。本実施例では、２本の出力軸が同軸状
に配置されており、搬送装置がコンパクトである。ま
た、駆動装置の減速機構に、歯が存在しないトラクショ
ン方式（転がり伝達）または、フリクション方式（非金
属による摩擦伝達）を用いており、ウエハなどの搬送物
に滑り（ずれ）を生じることなく搬送でき、また、トラ
クション方式は、歯車機構に見られるようなバックラッ
シュ（ガタ）もないため、駆動始めのガタによる衝撃も
なくなり、搬送物に滑り（ずれ）を生じさせない。この
ため、上記コンパクト化、極低振動化、低騒音化が可能
となった。
果が奏せられる。本実施例では、２本の出力軸が同軸状
に配置されており、搬送装置がコンパクトである。ま
た、駆動装置の減速機構に、歯が存在しないトラクショ
ン方式（転がり伝達）または、フリクション方式（非金
属による摩擦伝達）を用いており、ウエハなどの搬送物
に滑り（ずれ）を生じることなく搬送でき、また、トラ
クション方式は、歯車機構に見られるようなバックラッ
シュ（ガタ）もないため、駆動始めのガタによる衝撃も
なくなり、搬送物に滑り（ずれ）を生じさせない。この
ため、上記コンパクト化、極低振動化、低騒音化が可能
となった。
【００２４】また、トラクション方式では、減速機に歯
がないため、従来高精度位置決めに不向きとされている
が、上記実施例では出力側（すなわち、中空出力軸（外
軸）２１Ａおよび中実出力軸（内軸）２１Ｂ）にエンコ
ーダ（符号板６７Ａ、６７Ｂおよび位置検出器の検出部
６９Ａ、６９Ｂ）を持たせることによって、この高精度
位置決めに不向きという問題を解決している。
がないため、従来高精度位置決めに不向きとされている
が、上記実施例では出力側（すなわち、中空出力軸（外
軸）２１Ａおよび中実出力軸（内軸）２１Ｂ）にエンコ
ーダ（符号板６７Ａ、６７Ｂおよび位置検出器の検出部
６９Ａ、６９Ｂ）を持たせることによって、この高精度
位置決めに不向きという問題を解決している。
【００２５】更に、本実施例の搬送装置は、軸受２３Ｂ
の上方の中空出力軸（外軸）２１Ａの内側と中実出力軸
（内軸）２１Ｂの外側との間隙および円筒ハウジング６
２の板状部６２ａの中心に形成された開口部と中空出力
軸（外軸）２１Ａの内側との間隙には、磁性流体シール
または接触式シールからなる軸シール６３を設けて、処
理室内部の真空を保っており、真空中、大気中でも使用
可能である。
の上方の中空出力軸（外軸）２１Ａの内側と中実出力軸
（内軸）２１Ｂの外側との間隙および円筒ハウジング６
２の板状部６２ａの中心に形成された開口部と中空出力
軸（外軸）２１Ａの内側との間隙には、磁性流体シール
または接触式シールからなる軸シール６３を設けて、処
理室内部の真空を保っており、真空中、大気中でも使用
可能である。
【００２６】更に、減速機を有する搬送装置６０の場
合、入力から出力まで機械的に繋がっているため、搬送
時、何かの原因によって衝突を引き起こしても、モータ
の上限トルク以内なら、動き続けようとし、搬送物や搬
送装置６０を損傷したりすることがあり、最悪の場合、
人間が挟まれ損傷する恐れもある。これに対し、本実施
例の搬送装置では、トラクション方式を有する減速機
は、歯が存在しないため、ある一定以上のトルクが作用
するとトラクションドライブ内部で、滑り現象を生じる
ため、衝突による衝撃を吸収することができる。その
上、本実施例の搬送装置では、外側加圧リング（内接円
筒）の締め代を調整することによって、自由にトラクシ
ョンドライブの負荷トルク（滑りが発生するトルク）を
設定することが可能である。また、滑りにより、位置ズ
レが生じても、上述のように、出力側にエンコーダを有
するため、容易に復帰（原点復帰など）も可能である。
合、入力から出力まで機械的に繋がっているため、搬送
時、何かの原因によって衝突を引き起こしても、モータ
の上限トルク以内なら、動き続けようとし、搬送物や搬
送装置６０を損傷したりすることがあり、最悪の場合、
人間が挟まれ損傷する恐れもある。これに対し、本実施
例の搬送装置では、トラクション方式を有する減速機
は、歯が存在しないため、ある一定以上のトルクが作用
するとトラクションドライブ内部で、滑り現象を生じる
ため、衝突による衝撃を吸収することができる。その
上、本実施例の搬送装置では、外側加圧リング（内接円
筒）の締め代を調整することによって、自由にトラクシ
ョンドライブの負荷トルク（滑りが発生するトルク）を
設定することが可能である。また、滑りにより、位置ズ
レが生じても、上述のように、出力側にエンコーダを有
するため、容易に復帰（原点復帰など）も可能である。
【００２７】なお、本実施例では、前段減速機５０Ａ、
５０Ｂのあるものについて述べたが、前段減速機５０
Ａ、５０Ｂは適宜省略してもよい。
５０Ｂのあるものについて述べたが、前段減速機５０
Ａ、５０Ｂは適宜省略してもよい。
【００２８】
【発明の効果】本発明においては、位置検出器を大気側
に配置し、更に減速機の油潤滑部外に設けるため、搬送
装置における２軸出力エンコーダを安価に且つ容易に配
置することができる。
に配置し、更に減速機の油潤滑部外に設けるため、搬送
装置における２軸出力エンコーダを安価に且つ容易に配
置することができる。
【００２９】本発明においては、特に請求項２のよう
に、内軸および外軸の位置検出器を磁気式とすることが
好ましい。磁気式位置検知器は光学式位置検知器に比べ
安価である。
に、内軸および外軸の位置検出器を磁気式とすることが
好ましい。磁気式位置検知器は光学式位置検知器に比べ
安価である。
【００３０】また、本発明は同軸２軸配置とした搬送装
置である。出力軸エンコーダは、磁気式の場合に、減速
機から出る摩耗粉（鉄粉）により、誤動作を引き起こす
可能性があるので、オイル中（減速機と同じ雰囲気）に
配置できない。これにより、出力軸エンコーダは、大気
中且つオイルレス雰囲気に、配置しなければならない。
しかし、同軸２軸では、同じ場所に２軸を配置できな
い。なぜなら、受け側センサを固定部に配置する必要が
あるが、特に内軸側出力軸は、外側に外軸出力軸（回転
軸）がある上に減速機もあるため、固定する場所がな
い。この問題より、必然的に、内軸側のエンコーダは、
出力側と反対方向に軸を伸ばして、固定部まで持ってこ
ないとならないが、通常は、出力の反対側には、減速機
やモータがあり、それを中空にして貫通させると、構造
も複雑になり、駆動装置もコンパクトにならない。（モ
ータの下にエンコーダを配置しなければならない。）。
これに対して、本発明のように、トラクションドライブ
の構造にすることによって、１段目トラクションドライ
ブとモータを、オフセットに配置することができ、１段
目トラクションドライブとモータと内軸側出力エンコー
ダを並列に配置することができる。これにより、コンパ
クト化を図ることができる。
置である。出力軸エンコーダは、磁気式の場合に、減速
機から出る摩耗粉（鉄粉）により、誤動作を引き起こす
可能性があるので、オイル中（減速機と同じ雰囲気）に
配置できない。これにより、出力軸エンコーダは、大気
中且つオイルレス雰囲気に、配置しなければならない。
しかし、同軸２軸では、同じ場所に２軸を配置できな
い。なぜなら、受け側センサを固定部に配置する必要が
あるが、特に内軸側出力軸は、外側に外軸出力軸（回転
軸）がある上に減速機もあるため、固定する場所がな
い。この問題より、必然的に、内軸側のエンコーダは、
出力側と反対方向に軸を伸ばして、固定部まで持ってこ
ないとならないが、通常は、出力の反対側には、減速機
やモータがあり、それを中空にして貫通させると、構造
も複雑になり、駆動装置もコンパクトにならない。（モ
ータの下にエンコーダを配置しなければならない。）。
これに対して、本発明のように、トラクションドライブ
の構造にすることによって、１段目トラクションドライ
ブとモータを、オフセットに配置することができ、１段
目トラクションドライブとモータと内軸側出力エンコー
ダを並列に配置することができる。これにより、コンパ
クト化を図ることができる。
【図１】（ａ）は本発明に係る搬送装置の実施例の断面
図であり、（ｂ）は（ａ）に示す実施例の中実出力軸
（内軸）の下端部に取着した内軸用位置検出器の検出部
を示す部分図である。る。
図であり、（ｂ）は（ａ）に示す実施例の中実出力軸
（内軸）の下端部に取着した内軸用位置検出器の検出部
を示す部分図である。る。
【図２】図１に示す実施例の断面図であり、（ａ）は図
１のＡ−Ａ断面図、（ｂ）は図１のＢ−Ｂ断面図であ
る。
１のＡ−Ａ断面図、（ｂ）は図１のＢ−Ｂ断面図であ
る。
【図３】図１に示す実施例の断面図であり、（ａ）は図
１の５Ｃ−Ｃ矢視図、図３（ｂ）は図１のＤ−Ｄ断面図
である。
１の５Ｃ−Ｃ矢視図、図３（ｂ）は図１のＤ−Ｄ断面図
である。
１０ キャリア １１、１２、１４ プレート １３ 柱部 ２０Ａ、２０Ｂ 出力外接軸 ２１Ａ、２１Ｂ 出力軸 ２３ 軸受 ３０Ａ、３０Ｂ 中間軸 ４０Ａ、４０Ｂ 内接円筒 ３１Ａ、３１Ｂ 軸受 ５０Ａ、５０Ｂ 減速機 ６７Ａ 外軸用磁気式位置検出器の符号板 ６７Ｂ 外軸用磁気式位置検出器の符号板 ６９Ａ 外軸用磁気式位置検出器の検出部 ６９Ｂ 外軸用磁気式位置検出器の検出部 ７０Ａ、７０Ｂ 駆動モータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 前川 高弘 三重県津市片田町字壱町田594番地 帝人 製機株式会社津工場内 Ｆターム(参考） 3F060 AA01 AA07 AA08 AA09 BA06 EB12 GB00 GC01 GC03 GD07 GD14 3J051 ED11 FA10
Claims (2)
- 【請求項１】 内軸と中空状の外軸との同軸２軸の出力
軸をもって、各出力軸に接続され独立して駆動させる駆
動モータによって搬送物を搬送する搬送装置において、 内軸と外軸の間および外軸と円筒ハウジングの間に軸シ
ールが介在しており、駆動モータおよび外接軸と中間軸
と内接円筒とからなり駆動モータの回転を減速するトラ
クションドライブ減速機が大気側に配置され、内軸の位
置検出器が減速機を貫通して、外軸の位置検出装置が軸
シールと減速機との間に配置されて大気側に設けられて
いることを特徴とする搬送装置における２軸出力エンコ
ーダの配置。 - 【請求項２】 内軸の駆動モータと外軸の駆動モータが
並列に配置され、内軸の位置検出器が前記モータの配置
空間内にあることを特徴とする請求項１記載の搬送装置
における２軸出力エンコーダの配置。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000280763A JP4286441B2 (ja) | 2000-09-14 | 2000-09-14 | 搬送装置 |
| KR1020010040963A KR100730661B1 (ko) | 2000-07-10 | 2001-07-09 | 트랙션 구동 감속기, 트랙션 구동 감속기를 이용하는 운반장치, 및 운반 장치의 이축 출력 엔코더 기구 |
| DE60116194T DE60116194T2 (de) | 2000-07-10 | 2001-07-10 | Reibungs-Antriebsgeschwindigkeitsreduzierung und Förderer mit Reibungs-Antriebsgeschwindigkeitsreduzierung |
| TW090116860A TW521028B (en) | 2000-07-10 | 2001-07-10 | Traction drive speed reducer, conveyance apparatus using traction drive speed reducer, and arrangement of two-axis output encoder in conveyance apparatus |
| DE60134285T DE60134285D1 (de) | 2000-07-10 | 2001-07-10 | Förderer |
| EP05009521A EP1561549B1 (en) | 2000-07-10 | 2001-07-10 | Conveyance apparatus |
| CN200610151598XA CN1939676B (zh) | 2000-07-10 | 2001-07-10 | 输送装置 |
| US09/901,859 US6729201B2 (en) | 2000-07-10 | 2001-07-10 | Traction drive speed reducer, conveyance apparatus using traction drive speed reducer, and arrangement of two-axis output encoder in conveyance apparatus |
| EP01116859A EP1172182B1 (en) | 2000-07-10 | 2001-07-10 | Traction drive speed reducer and conveyance apparatus using traction drive speed reducer |
| CNB011203064A CN1282838C (zh) | 2000-07-10 | 2001-07-10 | 曳引驱动减速器和输送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000280763A JP4286441B2 (ja) | 2000-09-14 | 2000-09-14 | 搬送装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002096285A true JP2002096285A (ja) | 2002-04-02 |
| JP2002096285A5 JP2002096285A5 (ja) | 2007-05-10 |
| JP4286441B2 JP4286441B2 (ja) | 2009-07-01 |
Family
ID=18765536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000280763A Expired - Lifetime JP4286441B2 (ja) | 2000-07-10 | 2000-09-14 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4286441B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100464161C (zh) * | 2006-01-12 | 2009-02-25 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种绝对式双轴系光电轴角编码器 |
| WO2013047519A1 (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 駆動装置及び基板処理システム |
| WO2017145835A1 (ja) * | 2016-02-25 | 2017-08-31 | 株式会社ダイヘン | 駆動装置 |
| WO2017145833A1 (ja) * | 2016-02-25 | 2017-08-31 | 株式会社ダイヘン | 駆動装置 |
| US20180363758A1 (en) * | 2016-02-25 | 2018-12-20 | Daihen Corporation | Driving apparatus |
| CN117124339A (zh) * | 2023-09-05 | 2023-11-28 | 上海广川科技有限公司 | 一种基于磁流体的紧凑型同心两轴真空机器人传动结构 |
-
2000
- 2000-09-14 JP JP2000280763A patent/JP4286441B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100464161C (zh) * | 2006-01-12 | 2009-02-25 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种绝对式双轴系光电轴角编码器 |
| US9995378B2 (en) | 2011-09-30 | 2018-06-12 | Tokyo Electron Limited | Drive device and substrate processing system |
| WO2013047519A1 (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 駆動装置及び基板処理システム |
| US20140209241A1 (en) * | 2011-09-30 | 2014-07-31 | Tokyo Electron Limited | Drive device and substrate processing system |
| JP2013077775A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Tokyo Electron Ltd | 駆動装置及び基板処理システム |
| JPWO2017145835A1 (ja) * | 2016-02-25 | 2019-01-24 | 株式会社ダイヘン | 駆動装置 |
| WO2017145833A1 (ja) * | 2016-02-25 | 2017-08-31 | 株式会社ダイヘン | 駆動装置 |
| US20180363758A1 (en) * | 2016-02-25 | 2018-12-20 | Daihen Corporation | Driving apparatus |
| WO2017145835A1 (ja) * | 2016-02-25 | 2017-08-31 | 株式会社ダイヘン | 駆動装置 |
| JPWO2017145833A1 (ja) * | 2016-02-25 | 2019-01-24 | 株式会社ダイヘン | 駆動装置 |
| EP3421842A4 (en) * | 2016-02-25 | 2019-09-04 | Daihen Corporation | DRIVE DEVICE |
| US11092228B2 (en) | 2016-02-25 | 2021-08-17 | Daihen Corporation | Driving apparatus |
| US11174931B2 (en) | 2016-02-25 | 2021-11-16 | Daihen Corporation | Driving apparatus |
| US11339867B2 (en) | 2016-02-25 | 2022-05-24 | Daihen Corporation | Driving apparatus |
| CN117124339A (zh) * | 2023-09-05 | 2023-11-28 | 上海广川科技有限公司 | 一种基于磁流体的紧凑型同心两轴真空机器人传动结构 |
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|---|---|
| JP4286441B2 (ja) | 2009-07-01 |
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