JP2013077775A - 駆動装置及び基板処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】同軸上に2つの回転軸(外側出力軸150及び内側出力軸250)を有する駆動装置80において、本体ケース300と外側出力軸150との間に真空シール170を配置し、更に、外側出力軸150と内側出力軸250との間に真空シール270を配置することで、駆動装置80の本体ケース300内の空間と、本体ケース300外の空間とを分離する。これにより、駆動装置80を減圧環境下で用いる場合であっても、駆動装置80の本体ケース300内の空間(大気圧環境側)と減圧環境側の空間とを分離することができるので、駆動装置80の減圧環境下での使用が可能となる。
【選択図】図11
Description
(工程1):駆動装置80に取り付けられた搬送機構12を伸ばす、
(工程2):ウェハーが載置されたリフターを下げ、ウェハーを搬送機構12のピック46に載置する、
(工程3):ウェハーが載置された状態で搬送機構12を縮める、
(工程4):ウェハーが載置された状態で、所定の位置まで搬送機構12全体を旋回させる、
(工程5):再び搬送機構12を伸ばす、
(工程6):リフターを上昇させて、リフター上にウェハーを載置する、
(工程7):搬送機構12を縮める、
までの工程を実施した。この実施例における各工程に要した時間は、以下に示す通りとなった。また、比較例として、ダイレクトドライブモータ(例えば、特開平3−136779号公報に記載された駆動方式)を用いてアーム41,42を駆動した場合における各工程に要した時間を測定した。比較例における各工程は、実施例における対応の工程と同じである。
工程1(アーム伸ばし):0.3秒
工程2(リフター上昇):0.8秒
工程3(アーム縮める):1.3秒(動作限界)
工程4(アームを旋回):1.2秒(動作限界)
工程5(アーム伸ばし):1.3秒(動作限界)
工程6(リフター降下):0.8秒
工程7(アーム縮める):0.3秒
工程1(アーム伸ばし):1.0秒
工程2(リフター上昇):0.8秒
工程3(アーム縮める):1.3秒(動作限界)
工程4(アームを旋回):1.2秒(動作限界)
工程5(アーム伸ばし):1.3秒(動作限界)
工程6(リフター降下):0.8秒
工程7(アーム縮める):1.0秒
Claims (9)
- ケースと、
前記ケース内において第1軸線に沿って延在する出力軸を有する第1モータであり、該出力軸は螺旋状に設けられたリブを有する外周面を含む、該第1モータと、
前記ケース内において第1軸線と平行な第2軸線に沿って延在する出力軸を有する第2モータであり、該出力軸は螺旋状に設けられたリブを有する外周面を含む、該第2モータと、
前記第1軸線と前記第2軸線との間において該第1軸線及び該第2軸線に対して垂直な方向に延びる第3軸線に沿って延在する円筒形状を有しており、前記ケースから外部に延び出した一端部と前記ケース内に収容された他端部とを含む第1軸体、及び、前記他端部の外周面に設けられたローラフォロアであり前記第1モータの前記リブと所定の減速比をもって係合する該ローラフォロアを有する第1出力軸と、
前記第1軸体の内孔を通るように該第1軸体と同軸に設けられた第2軸体であり、前記ケースから外部に延び出した一端部と前記第1軸体の内孔から前記ケース内に延び出した他端部とを含む該第2軸体、及び、該第2軸体の該他端部に設けられたローラフォロアであり前記第2モータの前記リブと所定の減速比をもって係合する該ローラフォロアを有する第2出力軸と、
前記ケースと前記第1軸体の前記外周面との間に配置された第1封止部材と、
前記第1軸体の内周面と前記第2軸体の外周面との間に配置された第2封止部材と、
を備える、駆動装置。 - 前記第2封止部材は、前記第1軸体又は前記第2軸体に取り付けられている、請求項1に記載の駆動装置。
- 前記第2軸体は、該第2軸体の前記一端部を含む第1部分と、該第2軸体の前記他端部を含む第2部分であって該第1部分とは別体であり且つ該第1部分の材料とは異なる材料により構成された該第2部分と、を含む、請求項1又は2に記載の駆動装置。
- 前記第1軸体は、該第1軸体の前記一端部を含む第1部分と、該第1軸体の前記他端部を含む第2部分であって該第1部分とは別体であり且つ該第1部分の材料とは異なる材料により構成された該第2部分と、を含む、請求項1〜3の何れか一項に記載の駆動装置。
- 前記第1出力軸の前記ローラフォロアの外径は、前記第2出力軸の前記ローラフォロアの外径と等しい、請求項1〜4の何れか一項に記載の駆動装置。
- 前記第1出力軸を支持するベアリングであって、前記第1軸体の外周面と前記ケースとの間、且つ、前記第1封止部材と前記第1軸体の前記他端部との間に設けられた該ベアリングを更に備える、請求項1〜5の何れか一項に記載の駆動装置。
- 前記ベアリングは、前記第1出力軸の前記ローラフォロアの外径よりも小さい径の閉曲線に沿って延在している、請求項6に記載の駆動装置。
- 前記第2出力軸を支持するベアリングであって、前記第2軸体の前記他端部の外周面と前記ケースとの間において、前記第2出力軸の前記ローラフォロアの外径よりも小さい径の閉曲線に沿って延在する該ベアリングを更に備える、請求項1〜7の何れか一項に記載の駆動装置。
- 大気圧環境下で基板を搬送するローダモジュールと、
減圧環境下で前記基板を処理するプロセスモジュールと、
前記基板を搬送するための搬送モジュールであって、前記ローダモジュールと前記プロセスモジュールとの間に設けられた該搬送モジュールと、
を備え、
前記搬送モジュールは、
減圧可能な搬送空間を画成するチャンバ壁と、
該搬送空間内に設けられた一対のアームを含む搬送アームと、
前記搬送空間の気密を確保するよう前記チャンバ壁の外面に取り付けられた請求項1〜8の何れか一項に記載の駆動装置と、
を備え、
前記第1軸体の前記一端部に前記一対のアームのうち一方が連結されており、
前記第2軸体の前記一端部に前記一対のアームのうち他方が連結されている、
基板処理システム。
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