JP7430641B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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Description
本出願は、2018年3月16日に出願された米国仮特許出願第62/644,053号の利益を主張する通常出願であって、その開示内容の全ては、参照により本明細書に組み込まれる。
例示的実施形態は、概して、自動化された処理装置に関し、より具体的には、基板搬送装置に関する。
Claims (45)
- 捻れ運動駆動部材であって、前記捻れ運動駆動部材の回転軸を囲繞する外周面を有する捻れ運動駆動部材と、
本体部、および前記本体部に回転可能に連結されるベアリングカラーを含む捻れ運動従動部材であって、前記捻れ運動従動部材は、寸法略不変インターフェースによって、前記捻れ運動駆動部材に連結され、前記ベアリングカラーは、前記外周面が全体として前記ベアリングカラーに対して自由であるように、前記捻れ運動駆動部材の前記外周面から切り離される、捻れ運動従動部材と
を備える基板搬送装置。 - 前記ベアリングカラーは、前記寸法略不変インターフェースから切り離される、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記捻れ運動駆動部材は、駆動部材位置基準面を有し、前記捻れ運動従動部材は、従動部材位置基準面を有し、前記駆動部材位置基準面および前記従動部材位置基準面は、前記捻れ運動駆動部材および前記捻れ運動従動部材の互いに対する所定の位置を設定する所定の並びである、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記寸法略不変インターフェースは、前記寸法略不変インターフェースによる前記捻れ運動駆動部材の前記駆動部材位置基準面、および前記捻れ運動従動部材の前記従動部材位置基準面との係合が、前記捻れ運動従動部材および前記捻れ運動駆動部材の両方に対する前記寸法略不変インターフェースの再現可能な所定位置をもたらすように、前記捻れ運動駆動部材の前記駆動部材位置基準面、および前記捻れ運動従動部材の前記従動部材位置基準面を補完する構成を有する、請求項3記載の基板搬送装置。
- 前記基板搬送装置は、前記捻れ運動従動部材を前記捻れ運動駆動部材に連結するように構成されるトルクバーをさらに備え、前記寸法略不変インターフェースは、前記トルクバー上に配置され、前記捻れ運動駆動部材および前記捻れ運動従動部材に同時に係合し、前記捻れ運動駆動部材から前記捻れ運動従動部材への捻れ力の伝達をもたらす、請求項3記載の基板搬送装置。
- 前記トルクバーは、第1端部、第2端部、および前記第1端部と前記第2端部との間に配置されるスラスト面を含み、前記スラスト面は、前記寸法略不変インターフェースの少なくとも一部を画定し、前記捻れ運動駆動部材の前記駆動部材位置基準面に係合するように構成される、請求項5記載の基板搬送装置。
- 前記第1端部は、第1くさび面を含み、前記第2端部は、第2くさび面を含み、前記第1くさび面および前記第2くさび面は、前記寸法略不変インターフェースを前記従動部材位置基準面に対して着座させ、付勢部材の端部制御面に予圧付与するために、第1付勢部材および第2付勢部材のそれぞれと係合するように構成される、請求項6記載の基板搬送装置。
- 前記寸法略不変インターフェースは、前記捻れ運動従動部材を前記捻れ運動駆動部材に連結する略無摩擦継手である、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記捻れ運動駆動部材の前記外周面は、前記ベアリングカラーが、前記捻れ運動駆動部材の前記外周面を囲繞するが、前記捻れ運動駆動部材の前記外周面に連結されないように、全体的に自由表面である、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記捻れ運動従動部材は、プーリである、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記基板搬送装置は、前記プーリに接続される予圧付与されたバンド-プーリ継手をさらに備える、請求項10記載の基板搬送装置。
- 前記捻れ運動従動部材は、アームリンクである、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記捻れ運動駆動部材は、駆動シャフトである、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記捻れ運動駆動部材は、多軸駆動スピンドルの駆動シャフトである、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記捻れ運動駆動部材は、多軸駆動スピンドルの内側駆動シャフトまたは外側駆動シャフトのうちの1つである、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記基板搬送装置は、アームリンクハウジングをさらに備え、前記捻れ運動従動部材は、前記本体部を前記ベアリングカラー上に着座させる少なくとも1つの軸受けをさらに備え、前記少なくとも1つの軸受けの軸受レースは、前記アームリンクハウジングに従属し、前記捻れ運動駆動部材から独立する、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記ベアリングカラーは、前記捻れ運動駆動部材から独立する前記アームリンクハウジングに従属する、請求項16記載の基板搬送装置。
- 前記寸法略不変インターフェースは、前記捻れ運動駆動部材から前記捻れ運動従動部材に付与されるトルクの各方向に対して剛性かつ略不変である、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記寸法略不変インターフェースは、付与される方向における最大トルクにて、およびトルクの過渡の間中、剛性かつ略不変であり、付与されるトルクの前記方向は、反対の適用される方向に、別の最大トルクへと切り替えられる、請求項18記載の基板搬送装置。
- 捻れ運動駆動部材であって、前記捻れ運動駆動部材の回転軸の周りに外周面を有する捻れ運動駆動部材と、
本体部、および前記本体部に回転可能に連結されるベアリングカラーを含む捻れ運動従動部材であって、前記捻れ運動従動部材は、寸法略不変インターフェースによって、前記捻れ運動駆動部材に連結され、前記ベアリングカラーは、前記外周面が全体として前記ベアリングカラーから解放されるように、前記捻れ運動駆動部材の前記外周面から自由である、捻れ運動従動部材と
を備える基板搬送装置。 - ベアリングカラーおよび本体部を含む捻れ運動従動部材を設けること
を含む方法であって、
前記捻れ運動従動部材は、寸法略不変インターフェースにより、捻れ運動駆動部材に連結され、前記ベアリングカラーは、前記捻れ運動駆動部材の外周面が全体として前記ベアリングカラーに対して自由であるように、前記捻れ運動駆動部材の外周面から切り離される、
方法。 - 前記ベアリングカラーは、前記寸法略不変インターフェースから切り離される、請求項21記載の方法。
- 前記捻れ運動駆動部材は、駆動部材位置基準面を有し、前記捻れ運動従動部材は、従動部材位置基準面を有し、前記駆動部材位置基準面および前記従動部材位置基準面は、前記捻れ運動駆動部材および前記捻れ運動従動部材の互いに対する所定の位置を設定する所定の並びである、請求項21記載の方法。
- 前記寸法略不変インターフェースは、前記寸法略不変インターフェースによる前記捻れ運動駆動部材の前記駆動部材位置基準面、および前記捻れ運動従動部材の前記従動部材位置基準面との係合が、前記捻れ運動従動部材および前記捻れ運動駆動部材の両方に対する前記寸法略不変インターフェースの再現可能な所定位置をもたらすように、前記捻れ運動駆動部材の前記駆動部材位置基準面、および前記捻れ運動従動部材の前記従動部材位置基準面を補完する構成を有する、請求項23記載の方法。
- 前記捻れ運動従動部材を前記捻れ運動駆動部材に連結するように構成されるトルクバーを設けることと、前記捻れ運動駆動部材および前記捻れ運動従動部材を同時に、前記トルクバー上に配置される前記寸法略不変インターフェースと係合させることと、前記捻れ運動駆動部材から前記捻れ運動従動部材への捩れ力の伝達をもたらすこととをさらに含む、請求項23記載の方法。
- 前記寸法略不変インターフェースは、前記捻れ運動従動部材を前記捻れ運動駆動部材に連結する略無摩擦継手である、請求項21記載の方法。
- 前記捻れ運動駆動部材の前記外周面は、前記ベアリングカラーが、前記捻れ運動駆動部材の前記外周面を囲繞するが、前記捻れ運動駆動部材の前記外周面に連結されないように、全体的に自由表面である、請求項21記載の方法。
- 前記方法は、少なくとも1つの軸受けにより、前記本体部を前記ベアリングカラー上に着座させることをさらに含み、前記少なくとも1つの軸受けの軸受レースは、アームリンクハウジングに従属し、前記捻れ運動駆動部材から独立する、請求項21記載の方法。
- ツールフレームと、
前記ツールフレームに接続される基板搬送部と
を備える基板処理ツールであって、
前記基板搬送部は、
前記ツールフレームに対して回転し、トルクを発生させるように、移動可能に接続される回転駆動部材と、
前記回転駆動部材に接続される回転従動部材であって、前記回転従動部材は、前記回転駆動部材から前記回転従動部材に付与される前記トルクにより、前記ツールフレームに対する回転駆動部材の運動に従動するように、前記回転駆動部材に接続される、回転従動部材と、
前記回転駆動部材と前記回転従動部材との間の、接触式トルク伝達インターフェースを有する回転トルク伝達継手であって、前記接触式トルク伝達インターフェースは、剛性の略非滑り性インターフェースであり、前記剛性の略非滑り性インターフェースは、略非摩擦伝達により、前記回転駆動部材から前記回転トルク伝達継手を横切って前記回転従動部材への、前記トルクの双方向性のトルク伝達をもたらすように、前記接触式トルク伝達インターフェースにて所定の再現可能な双方向性の剛性および略非滑り性の接触を前記剛性の略非滑り性インターフェースが有するように構成される、回転トルク伝達継手と
を有する、
基板処理ツール。 - 前記回転従動部材は、前記回転駆動部材が前記回転従動部材の少なくとも一部の周りに配置されるように、少なくとも部分的に前記回転駆動部材の内部に位置する、請求項29記載の基板処理ツール。
- 前記回転駆動部材は、前記回転従動部材が前記回転駆動部材の少なくとも一部の周りに配置されるように、少なくとも部分的に前記回転従動部材の内部に位置する、請求項29記載の基板処理ツール。
- 前記基板搬送部は、高精度運動基板搬送装置である、請求項29記載の基板処理ツール。
- 前記高精度運動基板搬送装置は、25μmの、または25μmよりも小さい運動の再現可能な正確性を有する高精度運動を有する、請求項32記載の基板処理ツール。
- 前記回転駆動部材は、駆動部材位置基準面を有し、前記回転従動部材は、従動部材位置基準面を有し、前記駆動部材位置基準面および前記従動部材位置基準面は、前記回転駆動部材および前記回転従動部材の互いに対する所定の位置を設定する所定の並びである、請求項29記載の基板処理ツール。
- 前記接触式トルク伝達インターフェースは、前記接触式トルク伝達インターフェースによる前記回転駆動部材の前記駆動部材位置基準面、および前記回転従動部材の前記従動部材位置基準面との係合が、前記回転従動部材および前記回転駆動部材の両方に対する前記接触式トルク伝達インターフェースの再現可能な所定位置をもたらすように、前記回転駆動部材の前記駆動部材位置基準面、および前記回転従動部材の前記従動部材位置基準面を補完する構成を有する、請求項34記載の基板処理ツール。
- 前記回転トルク伝達継手は、第1端部、第2端部、および前記第1端部と前記第2端部との間に配置されるスラスト面を含み、前記スラスト面は、前記接触式トルク伝達インターフェースの少なくとも一部を画定し、前記回転駆動部材の駆動部材位置基準面に係合するように構成される、請求項29記載の基板処理ツール。
- 前記第1端部は、第1くさび面を含み、前記第2端部は、第2くさび面を含み、前記第1くさび面および前記第2くさび面は、従動部材位置基準面に対して前記回転トルク伝達継手を着座させ、付勢部材の端部制御面に予圧付与するために、第1付勢部材および第2付勢部材のそれぞれと係合するように構成される、請求項36記載の基板処理ツール。
- 前記第1付勢部材および前記第2付勢部材のそれぞれは、前記第1くさび面および前記第2くさび面のそれぞれの1つに係合するためのくさび係合面を含み、付勢部材のそれぞれと前記第1端部および前記第2端部との間の係合は、前記付勢部材を着座させ、補剛する、請求項37記載の基板処理ツール。
- 実質的に圧縮荷重が摩擦荷重から切り離されて、前記回転駆動部材から前記接触式トルク伝達インターフェースを横切って捻れ運動および総トルクの伝達をもたらすように、前記回転駆動部材から前記回転トルク伝達継手の前記スラスト面へ、ならびに前記第1端部および前記第2端部のそれぞれの端部制御スラストインターフェースから前記回転従動部材へ、圧縮荷重が伝達される、請求項38記載の基板処理ツール。
- 各付勢部材は、反作用荷重がピンにより前記回転従動部材に伝達されるように、前記回転従動部材にピン留めされる、請求項39記載の基板処理ツール。
- 前記回転駆動部材の外周面は、前記回転従動部材が、前記回転駆動部材の前記外周面を囲繞するが、前記回転駆動部材の前記外周面に連結されないように、全体的に自由表面である、請求項29記載の基板処理ツール。
- 前記回転従動部材は、プーリである、請求項29記載の基板処理ツール。
- 前記基板処理ツールは、前記プーリに接続される予圧付与されたバンド-プーリ継手をさらに備える、請求項42記載の基板処理ツール。
- 前記接触式トルク伝達インターフェースは、前記回転駆動部材から前記回転従動部材に付与される前記トルクの各方向に対して剛性かつ略不変である、請求項29記載の基板処理ツール。
- 前記接触式トルク伝達インターフェースは、付与される方向の最大トルクにおいて、およびトルクの過渡の間中、剛性かつ略不変であり、付与されるトルクの方向は、反対の付与される方向に、別の最大トルクへと切り替えられる、請求項29記載の基板処理ツール。
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