JPH11198070A

JPH11198070A - 搬送装置

Info

Publication number: JPH11198070A
Application number: JP391898A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Arai; 聡新居; Takenori Wakabayashi; 武徳若林
Original assignee: Shin Meiva Industry Ltd
Current assignee: Shinmaywa Industries Ltd
Priority date: 1998-01-12
Filing date: 1998-01-12
Publication date: 1999-07-27

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体ウェハ等を搬送する従来の搬送装置で
は、同軸シャフトの軸心から偏心した位置に昇降力が作
用していたため、搬送装置の重心に対して昇降力の作用
点のバランス（メカバランス）が悪く、同軸シャフトの
軸倒れや傾きの原因となっていた。さらには、支柱にか
じりが発生して搬送装置を振動させる原因となってい
た。【解決手段】旋回伸縮機構２０を垂直方向に移動可能
に設け、昇降機構３０による昇降力が、搬送アームアセ
ンブリ１０を上部に設けた同軸シャフト２１の略軸心線
Ａ上において旋回伸縮機構２０に作用するように構成し
ている。このため、搬送装置１の重心に対して昇降力作
用点のバランスが良く、同軸シャフト２１が軸倒れや傾
きを起こさず、また、装置１の振動も防止される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この出願に係る発明は、半導
体ウェハ等を搬送するための搬送装置に関し、特に、搬
送アームアセンブリを旋回、伸縮、昇降させる駆動機構
を備えた搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の搬送装置としては、例え
ば特表平８−５０６７７１号公報に記載されたようなも
のがある。図７はこの公報に記載された搬送装置の駆動
機構部分の縦断面図である。この搬送装置１０１は、取
付フランジ１４１によって真空チャンバの底壁１９０の
開口部に取り付けられている。この搬送装置１０１はア
ウターシャフト１２１ａとインナーシャフト１２１ｂか
ら成る同軸シャフト１２１を備えている。この同軸シャ
フト１２１の上端には、関節アームアセンブリ（図示せ
ず）が取り付けられている。この同軸シャフト１２１は
下部をドライブハウジング１２９に収容されており、ド
ライブハウジング１２９の下端の開口は端部キャップ１
２９ａで塞がれている。そしてドライブハウジング１２
９の上端はベローズ１６１を介して取付フランジ１４１
に連結されている。そして、ベローズ１６１、ドライブ
ハウジング１２９、端部キャップ１２９ａで囲まれる内
部空間が真空チャンバに連通して真空領域に保たれてい
る。

【０００３】アウターシャフト１２１ａはその下部をベ
アリング１２４ａ、１２４ｂで支持されて、また、イン
ナーシャフト１２１ｂはその下部をベアリング１２６
ａ、１２６ｂで支持されて、ドライブハウジング１２９
に回転可能に収容されている。そして、ドライブハウジ
ング１２９に固定されたステータ１２２ａとアウターシ
ャフト１２１ａの側面に固定されたロータ１２２ｂとに
よりモータ１２２が構成され、このモータ１２２の駆動
によってアウターシャフト１２１ａが回転駆動される。
同様に、ドライブハウジング１２９に固定されたステー
タ１２３ａとインナーシャフト１２１ｂに固定されたロ
ータ１２３ｂとによりモータ１２３が構成され、このモ
ータ１２３の駆動によってインナーシャフト１２１ｂが
回転駆動される。関節アームアセンブリはアウターシャ
フト１２１ａとインナーシャフト１２１ｂを各々独立に
回転駆動することにより、旋回・伸縮させることができ
る。すなわち、アウターシャフト１２１ａとインナーシ
ャフト１２１ｂを同一方向に同一回転速度で回転させる
と関節アームアセンブリは旋回し、アウターシャフト１
２１ａとインナーシャフト１２１ｂを反対方向に回転さ
せると関節アームアセンブリは伸縮する。

【０００４】ドライブハウジング１２９は、スライド式
の支柱１５１とリードスクリュー式の支柱１５２とによ
って、取付フランジ１４１から吊り下げ状態に支持され
ている。支柱１５１と支柱１５２の下端部はドライブハ
ウジング１２９の上端に固定されており、上下駆動モー
タ１５２ａによって支柱１５２を上下動させるとドライ
ブハウジング１２９も上下動する。これによって関節ア
ームアセンブリが昇降する。なお、支柱１５１はドライ
ブハウジング１２９の上下動に追従してシリンダ１５１
ａ内をスライドし、ベローズ１６１はドライブハウジン
グ１２９の上下動に追従して伸縮する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】図７の構造の搬送装置
１０１では、上下駆動モータ１５２ａを駆動させると支
柱１５２の下端を作用点としてドライブハウジング１２
９に昇降力が作用するのであるが、この支柱１５２は同
軸シャフト１２１の軸心から偏心した位置に配されてい
る。このように搬送装置１０１の重心に対して昇降力の
作用点のバランス（メカバランス）が悪く、従って、上
下駆動モータ１５２ａはモーメント荷重を負荷しながら
駆動される。このことは、同軸シャフト１２１の軸倒れ
や傾きの原因となる。さらには、支柱１５１、１５２に
かじりが発生して搬送装置１０１を振動させる原因とな
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この出願に係る搬送装置
は、旋回伸縮機構を垂直方向に移動可能に設け、昇降機
構による昇降力が、搬送アームアセンブリを上部に設け
た同軸シャフトの略軸心線上において旋回伸縮機構に作
用するように構成している。このため、搬送装置の重心
に対して昇降力作用点のバランスが良く、搬送アームア
センブリを上部に設けた同軸シャフトが軸倒れや傾きを
起こさず、また、装置の振動も防止される。

【０００７】

【発明の実施の形態】この出願発明の搬送装置は、搬送
アームアセンブリを上部に設けた同軸シャフトを回転駆
動機構によって回転駆動することによって該搬送アーム
アセンブリを旋回伸縮させる旋回伸縮機構と、該搬送ア
ームアセンブリを昇降させる昇降機構とを有する搬送装
置において、該旋回伸縮機構を垂直方向に移動可能に設
け、該昇降機構は、該同軸シャフトの略軸心線上におい
て該旋回伸縮機構に昇降力を作用させ、該旋回伸縮機構
を昇降させることによって該搬送アームアセンブリを昇
降させることを特徴としている。このように構成されて
いるため、搬送装置の重心は昇降力の略作用線上に位置
することになる。従って、昇降機構はモーメント荷重を
負荷しにくい。このように、搬送装置の重量バランスに
対して昇降力作用点のバランスが良く、この昇降力によ
って旋回伸縮機構を昇降させても、同軸シャフトの軸倒
れや傾きが生じにくい。また、装置の振動も生じにく
い。

【０００８】昇降機構によって同軸シャフトの略軸心線
上において旋回伸縮機構に昇降力を作用させるには、例
えば、昇降機構を旋回伸縮機構の下方に配し、昇降力を
旋回伸縮機構の下方から作用させるようにするとよい。

【０００９】また、昇降力を旋回伸縮機構の下方から作
用させるようにするには、例えば、旋回伸縮機構が同軸
シャフトと回転駆動機構とを収容するハウジングを有す
るよに構成し、昇降力をこのハウジングの下端に作用さ
せるようにするとよい。

【００１０】また、昇降機構を旋回伸縮機構の下方に配
するには、例えば、昇降機構が垂直方向に伸延する支持
部材を介して取付フランジに固定されるように構成する
とよい。

【００１１】そして、この支持部材に案内されて、また
は、この支持部材に取り付けられたレールに案内されて
垂直方向に移動する移動子が旋回伸縮機構に固着される
ように構成してもよい。このように構成すると、旋回伸
縮機構が移動子に導かれ、安定した昇降状態に保たれ、
横ブレが生じないので、装置の振動防止にも効果的であ
る。

【００１２】また、昇降機構を構成する機構としては、
これに限るのではないが、例えば、ボールネジ機構、ロ
ーラネジ機構、シリンダ機構、クランク機構などがあ
る。

【００１３】また、上記搬送装置において、旋回伸縮機
構は、真空チャンバに取り付けられることによりその内
部が真空領域に保たれ、回転駆動機構が、同軸シャフト
に取り付けられたロータと、このロータと対応して設け
られたステータとを有するモータで構成され、ロータは
同軸シャフトとともに真空領域内に配され、ステータは
真空領域外に配されるように構成してもよい。このよう
に構成すると、同軸シャフトの外周面で気密を保つため
の磁気流体シールを設ける必要がなくなる。そうする
と、真空領域が磁気流体シールから発せられる塵などで
汚染されることがないし、また、流体の気化によって真
空度が低下することもない。よって、真空チャンバ内で
半導体ウェハ等を搬送するのに好ましい搬送装置を得る
ことができる。

【００１４】また、上記搬送装置において、旋回伸縮機
構がベローズを介して真空チャンバに取り付けられるよ
うに構成してもよい。このように、旋回伸縮機構と真空
チャンバとの間のシール機構としてベローズを採用する
と、シール機構からの発塵の恐れがなくなり、真空チャ
ンバ内で半導体ウェハ等を搬送するのに好ましい搬送装
置を得ることができる。

【００１５】

【実施例】この出願発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。

【００１６】図１は、この出願発明の搬送装置の一実施
例を示す外観図であり、搬送アームアセンブリが縮んだ
状態を示すものである。

【００１７】この搬送装置１は半導体製造ライン等にお
いて、半導体ウェハ等を複数のワークステーション間で
搬送するための装置である。複数のワークステーション
は真空チャンバを介して連通しており、通常、この搬送
装置１は取付フランジ４１によって真空チャンバの底壁
の開口部に取り付けられる。

【００１８】搬送アームアセンブリ１０は２本の主動ア
ーム１１、１２と４本の従動アーム１３、１４、１５、
１６を有する。主動アーム１１、１２の一端は搬送装置
１の内部から取付フランジ４１を貫通して伸延する同軸
シャフト２１の上部に取り付けられている。同軸シャフ
ト２１はアウターシャフト２１ａとインナーシャフト２
１ｂから構成されており、主動アーム１１はアウターシ
ャフト２１ａに、主動アーム１２はインナーシャフト２
１ｂに取り付けられている。主動アーム１１、１２の他
端は、それぞれ２本の従動アームの一端を軸支してい
る。そして従動アーム１３、１４、１５、１６の他端は
ウェハテーブル１７、１８を軸支している。搬送装置１
はウェハテーブル１７、１８に半導体ウェハ等を載置し
て搬送する。搬送アームアセンブリ１０はこのように構
成されているので、アウターシャフト２１ａとインナー
シャフト２１ｂを独立に回転駆動することにより、旋回
・伸縮させることができる。例えば、アウターシャフト
２１ａとインナーシャフト２１ｂを同一方向に同一回転
速度で回転させると、２本の主動アーム１１、１２は開
き角を一定に保ったまま旋回し、搬送アームアセンブリ
１０は伸縮せずに旋回する。図１中の矢印は旋回方向を
示すものである。また、アウターシャフト２１ａとイン
ナーシャフト２１ｂを反対方向に回転させると、２本の
主動アーム１１、１２の開き角が変化し、搬送アームア
センブリ１０は伸縮する。

【００１９】図２は、搬送アームアセンブリ１０が伸び
た状態を示すものである。２本の主動アーム１１、１２
の開き角は、図１の状態よりも小さくなっており、これ
に従いウェハテーブル１７が同軸シャフト２１の半径方
向に移動しているのがわかる。図２中の矢印は、搬送ア
ームアセンブリ１０の伸縮方向を示すものである。

【００２０】このような搬送アームアセンブリ１０の旋
回伸縮動作によって、ウェハテーブル１７、１８は水平
面内において移動される。

【００２１】図３は、搬送装置１の縦断面図である。搬
送装置１は、取付フランジ４１によって真空チャンバの
底壁９０の開口部にボルト９１で取り付けられている。
２９は旋回伸縮機構の主要部材が収容されたハウジング
であり、３９は昇降機構の主要部材が収容されたハウジ
ングである。ハウジング３９は垂直方向に伸延する支持
部材５０を介して取付フランジ４１に固定されている。
支持部材５０の両端はボルト５１によって、それぞれ取
付フランジ４１とハウジング３９に固定されている。ハ
ウジング２９は取付フランジ４１とハウジング３９の中
間に配置されている。換言すれば、ハウジング３９はハ
ウジング２９の下方に配されている。ハウジング２９の
側面には移動子５２が固定されており、この移動子５２
は支持部材５０に取り付けられたレール５３とかみ合っ
ており、レール５３に案内されて垂直方向に摺動できる
ようになっている。つまり、移動子５２とレール５３と
でリニアがイドが構成され、このリニアガイドによって
ハウジング２９の移動は垂直方向に規制される。なお、
６０は円筒状の外装ケースである。

【００２２】図４は、図３のＢ−Ｂ線矢視断面図であ
る。このように、４つの支持部材５０が同軸シャフト２
１の軸心に対して軸対称となるように配置されている。
そして、各支持部材５０にレール５３が取り付けられて
おり、それぞれのレール５３に移動子５２が勘合してい
る。

【００２３】図３を参照すると、搬送アームアセンブリ
１０を旋回伸縮させる旋回伸縮機構２０は、主に、同軸
シャフト２１、モータ２２、２３、ハウジング２９から
構成されている。同軸シャフト２１はインナーシャフト
２１ｂと中空のアウターシャフト２１ａから構成されて
いる。アウターシャフト２１ａはその外周面の２点をベ
アリング２４によってハウジング２９に対して回転可能
に支持されている。また、インナーシャフト２１ｂは、
外周面上部をベアリング２５でアウターシャフト２１ａ
の内周面上部に支持され、外周面下部をベアリング２６
によってハウジング２９に支持されている。このように
支持されているのでインナーシャフト２１ｂはアウター
シャフト２１ａ及びハウジング２９に対して相対的に回
転可能である。

【００２４】モータ２２は、ハウジング２９に設けられ
たステータ２２ａと、アウターシャフト２１ａの外周面
上のステータ２２ａに対応する位置に取り付けられたロ
ータ２２ｂとによって構成されている。このモータ２２
によってアウターシャフト２１ａが回転駆動される。ス
テータ２２ａはハウジング２９の内周面には突出してお
らず、ハウジング２９の内周面とロータ２２ｂとの間に
はわずかなクリアランス（間隙）がある。なお、２７は
アウターシャフト２１ａの回転角、回転速度を検出する
ためのロータリーエンコーダであり、ディスク２７ａ、
発光ダイオード２７ｂ、光センサ２７ｃから成ってい
る。

【００２５】また、モータ２３は、ハウジング２９に設
けられたステータ２３ａと、インナーシャフト２１ｂの
外周面上のステータ２３ａに対応する位置に取り付けら
れたロータ２３ｂとによって構成されている。このモー
タ２３によってインナーシャフト２１ｂが回転駆動され
る。ステータ２３ａもハウジング２９の内周面には突出
しておらず、ハウジング２９の内周面とロータ２３ｂと
の間にはわずかなクリアランス（間隙）がある。なお、
２８はインナーシャフト２１ｂの回転角、回転速度を検
出するためのロータリーエンコーダであり、ディスク２
８ａ、発光ダイオード２８ｂ、光センサ２８ｃから成っ
ている。

【００２６】このように２つのモータ２２、２３は直列
配置され、これらモータ２２、２３が、同軸シャフト２
１を回転駆動させる回転駆動機構を構成している。

【００２７】ハウジング２９はベローズ６１を介して取
付フランジ４１と連結されている。また、ハウジング２
９の底部はキャップ２９ａによって塞がれている。そし
て、ベローズ６１、ハウジング２９、キャップ２９ａで
囲まれる内部空間が真空チャンバに連通して真空領域に
保たれている。すなわち、旋回伸縮機構２０の内部は真
空容器状になっている。

【００２８】モータ２２のロータ２２ｂは、アウターシ
ャフト２１ａとともに、この真空領域内に配されてい
る。そして、ステータ２２ａはこの真空領域外に配され
ている。また、モータ２３のロータ２３ｂは、インナー
シャフト２１ｂとともに、この真空領域内に配されてお
り、ステータ２３ａはこの真空領域外に配されている。
このように構成されているので、同軸シャフト２１の全
体を真空領域内に収めた状態で、同軸シャフト２１を回
転駆動させることができる。したがって、同軸シャフト
２１には気密を保つための磁気流体シールを設ける必要
がない。半導体ウェハ等を搬送する真空チャンバでは極
力発塵を抑制する必要があるが、磁気流体シールを用い
ると、磁気流体シールから塵などが発せられて真空領域
が汚染される恐れがある。しかし、この実施例の構造で
あればその心配はない。また、流体の気化による真空度
の低下も生じない。

【００２９】搬送アームアセンブリ１０を昇降させる昇
降機構３０は、主に、ボールネジ３４、回転軸３１、モ
ータ３２、ハウジング３９から構成されている。ボール
ネジ３４はナット３４ａ、ネジ部材３４ｂおよび図示し
ない複数のボールから構成されている。回転軸３１は外
周面の２点をベアリング３５、３６によってハウジング
３９に対して回転可能に支持されている。モータ３２
は、ハウジング３９に設けられたステータ３２ａと、回
転軸３１の外周面上のステータ３２ａに対応する位置に
取り付けられたロータ３２ｂとで構成されている。ステ
ータ３２ａとロータ３２ｂとの間にはわずかなクリアラ
ンス（間隙）がある。このモータ３２によって回転軸３
１が回転駆動される。なお、３７は回転軸３１の回転
角、回転速度を検出するためのロータリーエンコーダを
構成する部材であり、軸３８を介して回転軸３１に取り
付けられている。回転軸３１は中空構造であるが、この
中空部にはナット３４ａが嵌着されており、このナット
３４ａとボール（図示せず）を介して螺合するようにネ
ジ部材３４ｂが設けられている。ネジ部材３４ｂの上部
は小径になっているが、この小径部分にもネジが形成さ
れており、この小径部分がハウジング２９の底部に設け
られた孔を貫通し、ハウジング２９の内部からナット３
３で締められている。このようにして、ネジ部材３４ｂ
がハウジング２９の下端に固定されている。

【００３０】昇降機構３０はこのように構成されている
ので、モータ３２を回転駆動させると、回転軸３１が回
転し、これによりネジ部材３４ｂがハウジング３９に対
して上下動する。すると、このネジ部材３４ｂによって
ハウジング２９に昇降力が与えられ、ハウジング２９が
昇降する。そして、同軸シャフト２１はハウジング２９
と一体的に昇降し、これによって同軸シャフト２１の上
部に設けられた搬送アームアセンブリ１０も昇降する。
ネジ部材３４ｂは同軸シャフト２１の軸心線Ａ上に配さ
れており、昇降機構３０による昇降力は、同軸シャフト
２１の軸心線Ａ上においてハウジング２９に下方から作
用する。

【００３１】このように、昇降機構３０による昇降力を
同軸シャフト２１の軸心線Ａ上において作用させてお
り、また、昇降力は垂直方向に作用するので、昇降力の
作用線は同軸シャフト２１の軸心線Ａに一致する。搬送
装置１は軸心線Ａに対して略対称の構造であるため、搬
送装置１の重心は軸心線Ａ上にある。したがって、搬送
装置１の重心は昇降力の略作用線上に位置することにな
り、昇降機構３０がモーメント荷重を負荷することもな
い。このように、搬送装置１の重量バランスに対して昇
降力がバランス良く作用するのでこの昇降力によって旋
回伸縮機構２０を昇降させても、同軸シャフト２１の軸
倒れや傾きは生じにくい。また、ネジ部材３４ｂとナッ
ト３４ａとのかじりも生じにくく振動も生じにくい。ま
た、このように昇降機構３０を支持部材５０を介して旋
回伸縮機構２０の下方に配置する構造を採ると、搬送装
置１の組立、調整が容易となり、搬送装置１の製造やメ
ンテナンスの経済性にも寄与する。

【００３２】また、ハウジング２９は、レール５３に案
内されて垂直方向に移動する移動子５２に導かれて昇降
するので、昇降状態は安定し、昇降中に横ブレが生ずる
こともなく、よって搬送装置１の振動も生じない。

【００３３】なお、この実施例ではハウジング２９と取
付フランジ４１との間の気密をベローズ６１によって維
持しており、ベローズ６１がシール機構として作用して
いるのであるが、ベローズ６１に代えて例えば摺動式の
シール機構を採用することも可能である。しかし、半導
体製造ラインにおいて半導体ウェハ等を搬送する搬送装
置としては、摺動部がなく発塵の恐れのないベローズ６
１を採用するのがより好ましい。

【００３４】図５は、この出願発明の搬送装置のもう一
つの実施例を示すものであり、搬送装置の縦断面図であ
る。

【００３５】この搬送装置１Ａは、昇降装置３０を取付
フランジ４１に対して支持する支持部材と、その周辺の
構造が、図３の構造と異なるが、他の構造は図３の構造
と同様である。取付フランジ４１とハウジング２９には
支持部材５０Ａを固定するためのホルダー５４、５５が
ネジによって固定されている。支持部材５０Ａの両端に
はネジ部が形成されている。このネジ部がホルダー５
４、５５を貫通してナット５６で締められている。この
ようにして、ハウジング３９は支持部材５０Ａを介して
取付フランジ４１に固定されている。

【００３６】一方、ハウジング２９の側面には移動子５
２Ａが固定されており、支持部材５０Ａがこの移動子５
２Ａを貫通している。移動子５２Ａは支持部材５０Ａに
案内されて垂直方向に摺動できるようになっている。つ
まり、移動子５２Ａと支持部材５０Ａとでリニアブッシ
ュが構成され、このリニアブッシュによってハウジング
２９の移動は垂直方向に規制される。

【００３７】図３、図５の構造では、昇降機構３０をボ
ールネジ機構で構成したが、ボールネジ機構に代えてロ
ーラネジ機構で構成することもできる。ローラネジ機構
は、特に、昇降機構に大きな負荷が作用する場合に好ま
しい。さらにボールネジ機構、ローラネジ機構以外の機
構で構成することもできる。図６は、昇降機構として採
用できる他の機構の断面図である。

【００３８】図６（ａ）はシリンダ機構７０を示すもの
であるが、このシリンダ機構７０はエアシリンダであっ
てもよいし、オイルシリンダであってもよい。このシリ
ンダ機構では、シリンダ７１がハウジング３９Ａにネジ
で固定されている。そしてシリンダ７１の内部をロッド
７２が摺動する。このロッド７２の上部は小径になって
いるが、この小径部分にはネジが形成されている。この
小径部分がハウジング２９の底部に設けられた孔を貫通
し、ハウジング２９の内部からナット３３で締められて
いる。このようにして、ロッド７２がハウジング２９の
下端に固定されている。そして、シリンダ７１内部に形
成された室７３ａ、７３ｂに管７４ａ、７４ｂを通じて
ポンプ（図示せず）によって、圧縮空気や圧油を作用さ
せて、ロッド７２を上下動させる。このように構成した
昇降機構によっても、昇降力を同軸シャフト２１の軸心
線上においてハウジング２９に下方から作用させること
ができる。

【００３９】図６（ｂ）はクランク機構を示すものであ
る。このクランク機構８０では、モータ８１がハウジン
グ３９Ｂにネジで固定されている。モータ８１の軸には
ギヤ８２が取り付けられており、このギヤ８２が柱状部
材８３の側面に形成された歯８３ａと噛み合っている。
柱状部材８３の上部は小径になっており、この小径部分
にはネジが形成されている。この小径部分がハウジング
２９の底部に設けられた孔を貫通し、ハウジング２９の
内部からナット３３で締められている。このようにし
て、柱状部材８３がハウジング２９の下端に固定されて
いる。そして、モータ８１を回転駆動させることによっ
て、柱状部材８３を上下動させる。このように構成した
昇降機構によっても、昇降力を同軸シャフト２１の軸心
線上においてハウジング２９に下方から作用させること
ができる。

【００４０】

【発明の効果】本発明は以上説明したような形態で実施
され、以下に記載されるような効果を奏する。

【００４１】（１）昇降機構が同軸シャフトの略軸心線
上において旋回伸縮機構に昇降力を作用させ、旋回伸縮
機構を昇降させることによって搬送アームアセンブリを
昇降させるようにしているので、搬送装置の重量バラン
スに対して昇降力作用点のバランスが良い。したがっ
て、同軸シャフトの軸倒れや傾きを生じにくくすること
ができる。また、装置の振動を生じにくくすることがで
きる。

【００４２】（２）昇降機構を垂直方向に伸延する支持
部材を介して取付フランジに固定するようにし、この支
持部材に案内されて、または、支持部材に取り付けられ
たレールに案内されて垂直方向に移動する移動子を旋回
伸縮機構に固着するように構成すると、旋回伸縮機構の
昇降状態が安定し、横ブレも生じにくく、装置の振動を
防止できる。

【００４３】（３）回転駆動機構が、同軸シャフトに取
り付けられたロータと、このロータと対応して設けられ
たステータとを有するモータで構成され、ロータは同軸
シャフトとともに真空領域内に配され、ステータは真空
領域外に配されるように構成すると、同軸シャフトの外
周面で気密を保つための磁気流体シールを設ける必要が
なくなり、真空領域が磁気流体シールから発せられる塵
などで汚染されることがなくなる。また、流体の気化に
よる真空度の低下も生じない。

【００４４】（４）旋回伸縮機構がベローズを介して真
空チャンバに取り付けられるように構成すると、シール
機構としてのベローズからの発塵の恐れもなく真空領域
が汚染されることがなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この出願発明の搬送装置の一実施例を示す外観
図であり、搬送アームアセンブリが縮んだ状態を示す図
である。

【図２】搬送アームアセンブリが伸びた状態の搬送装置
の外観図である。

【図３】搬送装置の縦断面図である。

【図４】図３のＢ−Ｂ線矢視断面図である。

【図５】この出願発明の搬送装置のもう一つの実施例を
示す図であり、搬送装置の縦断面図である。

【図６】昇降機構を構成する他の機構の縦断面図であ
る。図６（ａ）はシリンダ機構を示す図であり、図６
（ｂ）はクランク機構を示す図である。

【図７】従来の搬送装置の駆動機構部分の縦断面図であ
る。

【符号の説明】

１…搬送装置１０…搬送アームアセンブリ１１、１２…主動アーム１３、１４、１５、１６…従動アーム１７、１８…ウェハテーブル２０…旋回伸縮機構２１…同軸シャフト２１ａ…アウターシャフト２１ｂ…インナーシャフト２２、２３、３２…モータ２２ａ、２３ａ、３２ａ…ステータ２２ｂ、２３ｂ、３２ｂ…ロータ２９、３９…ハウジング３０…昇降機構３１…回転軸３４…ボールネジ３４ａ…ナット３４ｂ…ネジ部材４１…取付フランジ５０…支持部材５２…移動子５３…レール６１…ベローズＡ…軸心線

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搬送アームアセンブリを上部に設けた同
軸シャフトを回転駆動機構によって回転駆動することに
よって該搬送アームアセンブリを旋回伸縮させる旋回伸
縮機構と、該搬送アームアセンブリを昇降させる昇降機
構とを有する搬送装置において、該旋回伸縮機構を垂直方向に移動可能に設け、該昇降機構は、該同軸シャフトの略軸心線上において該
旋回伸縮機構に昇降力を作用させ、該旋回伸縮機構を昇
降させることによって該搬送アームアセンブリを昇降さ
せることを特徴とする、搬送装置。
【請求項２】前記昇降機構を前記旋回伸縮機構の下方
に配し、前記昇降力を該旋回伸縮機構の下方から作用さ
せるようにした、請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】前記旋回伸縮機構は前記同軸シャフトと
前記回転駆動機構とを収容するハウジングを有し、前記
昇降力をこのハウジングの下端に作用させるようにし
た、請求項２記載の搬送装置。
【請求項４】前記昇降機構が垂直方向に伸延する支持
部材を介して取付フランジに固定された、請求項２又は
３記載の搬送装置。
【請求項５】前記支持部材に案内されて、または、こ
の支持部材に取り付けられたレールに案内されて垂直方
向に移動する移動子が前記旋回伸縮機構に固着された、
請求項４記載の搬送装置。
【請求項６】前記昇降機構を、ボールネジ機構、ロー
ラネジ機構、シリンダ機構およびクランク機構のう
ちの１つで構成した、請求項１〜５のいずれか１項に記
載の搬送装置。
【請求項７】前記旋回伸縮機構は、真空チャンバに取
り付けられることによりその内部が真空領域に保たれ、前記回転駆動機構が、前記同軸シャフトに取り付けられ
たロータと、このロータと対応して設けられたステータ
とを有するモータで構成され、該ロータは前記同軸シャフトとともに該真空領域内に配
され、該ステータは該真空領域外に配された、請求項１
〜６のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項８】前記旋回伸縮機構がベローズを介して真
空チャンバに取り付けられた、請求項１〜７のいずれか
１項に記載の搬送装置。