WO2011161888A1 - 搬送装置及び搬送装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

本発明の搬送装置（１）は、チャンバ（２）と、昇降ユニット（３）と、アームユニット（４）とを具備する。昇降ユニット（３）は、チャンバ（２）の底面（２ａ）に係合し孔（２ｂ）からチャンバ（２）の外側に突出する固定部（５）と、可動部（６）と、固定部（５）に対して可動部（６）を昇降させる昇降機構（７）とを有し、孔（２ｂ）を気密に閉塞してチャンバ（２）の内部と外部とを隔絶する。アームユニット（４）は、搬送対象物を保持する多関節アーム（９）と、可動部に着脱可能に取り付けられ、多関節アーム（９）を駆動する、チャンバ（２）の内部に収容された駆動部（８）とを有する。チャンバ（２）の内部に収容されるアームユニット（４）と、チャンバ（２）の外部に配置されてアームユニット（４）を昇降させる昇降ユニット（３）が分離可能であるため、チャンバ（２）に別々に設置することが可能であり、搬送装置（１）を容易に製造することが可能である。

Description

搬送装置及び搬送装置の製造方法

　本発明は、チャンバ内で動作する多関節アームを有する搬送装置及び搬送装置の製造方法に関する。

　半導体製造分野等において、真空中あるいはプロセスガス雰囲気中等でウェハ、ガラス基板等の搬送対象物を搬送するための搬送手段として、多関節アームを備える搬送装置がある。このような搬送装置は、アームを伸縮あるいは旋回させることにより、アームの先端を任意の位置に移動させ、搬送対象物を搬送することが可能に構成される。多関節アームには水平方向の回転動力により水平方向に伸縮あるいは旋回し、鉛直方向に昇降することで３次元的な移動を可能とするものがある。この場合、多関節アームを駆動するアクチュエータには水平方向の回転動力を生成する機構と、鉛直方向に昇降する機構が必要となる。

　例えば特許文献１には、アームを水平方向に駆動する駆動用の機構と、アーム及び当該駆動機構を鉛直方向に昇降させる昇降用の機構とを備える基板搬送装置が開示されている。当該基板搬送装置では、チャンバの外部に配置された駆動モータによりアームを水平方向に駆動する回転動力が生成され、当該回転動力は気密シールによりチャンバ外部と遮断された回転駆動軸によりアームに伝達される。水平方向の回転動力は４軸とされ、当該基板搬送装置は４基の駆動モータと４軸の同軸に配置された回転駆動軸を有する。昇降用の機構は、これらの駆動用の機構に接続された昇降部材と当該昇降部材を駆動する駆動モータを有し、アームを駆動用の機構ごと昇降させる。駆動用の機構と昇降用の機構は、ケーシングに収容され、即ち一体的なユニットとして構成されている。

特開２００８－１３５６３０号公報（段落[００１６]、図１）

　しかしながら、特許文献１に記載の基板搬送装置は、アームを水平方向に駆動する駆動用の機構と、アームを鉛直方向に駆動する昇降用の機構が一体的なユニットとして構成されているために、当該ユニットの重量及びサイズが大きく、チャンバへの搬入及び設置が困難である。

　以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、製造が容易な搬送装置及びその製造方法を提供することにある。

　上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る搬送装置は、チャンバと、昇降ユニットと、アームユニットとを具備する。
　上記チャンバは、孔が形成された底面を有する。
　上記昇降ユニットは、上記底面に係合し上記孔から上記チャンバの外側に突出する固定部と、可動部と、上記固定部に対して上記可動部を昇降させる昇降機構とを有し、上記孔を気密に閉塞して上記チャンバの内部と外部とを隔絶する。
　上記アームユニットは、搬送対象物を保持する多関節アームと、上記可動部に着脱可能に取り付けられ、上記多関節アームを駆動する、上記チャンバの内部に収容された駆動部とを有する。

　上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る搬送装置の製造方法は、固定部と、可動部と、上記固定部に対して上記可動部を昇降させる昇降機構とを有する昇降ユニットを、チャンバの内側から上記チャンバの底面に形成された孔に挿通し上記固定部を上記底面に係合させることで、上記昇降ユニットを上記チャンバに固定することを含み、
　多関節アームと上記多関節アームを駆動する駆動部とを含むアームユニットは、上記可動部に結合されることで上記昇降ユニットに固定される。

第１の実施形態に係る搬送装置１の概略構成を示す模式図である。 搬送装置１の概略構成を示す模式図である。 搬送装置１のアームユニット４の概略構成を示す平面図である。 搬送装置１の昇降ユニット３を示す断面図である。 搬送装置１の昇降ユニット３を示す断面図である。 搬送装置１の駆動部８を示す断面図である。 比較例に係る搬送装置１０００の概略構成を示す断面図である。 搬送装置１の製造方法を説明するための図である。 第２の実施形態に係る搬送装置２００の昇降ユニット２０３を示す断面図である。 搬送装置２００の昇降ユニット２０３を示す断面図である。 変形例１に係る搬送装置３００の昇降ユニット３０３を示す断面図である。 変形例２に係る搬送装置４００の昇降ユニット４０３を示す断面図である。

　本発明の一実施形態に係る搬送装置は、チャンバと、昇降ユニットと、アームユニットとを具備する。
　上記チャンバは、孔が形成された底面を有する。
　上記昇降ユニットは、上記底面に係合し上記孔から上記チャンバの外側に突出する固定部と、可動部と、上記固定部に対して上記可動部を昇降させる昇降機構とを有し、上記孔を気密に閉塞して上記チャンバの内部と外部とを隔絶する。
　上記アームユニットは、搬送対象物を保持する多関節アームと、上記可動部に着脱可能に取り付けられ、上記多関節アームを駆動する、上記チャンバの内部に収容された駆動部とを有する。

　当該搬送装置では、多関節アームはチャンバの内部に収容された駆動部により駆動され、多関節アームと駆動部を含むアームユニットが昇降ユニットにより昇降することで多関節アームが昇降し、多関節アームに保持された搬送対象物が搬送される。駆動部はチャンバの内部で可動部に着脱可能に取り付けられ、昇降ユニットと一体的に形成されていないため、当該搬送装置を製造する際に昇降ユニットのみをチャンバに取り付け、その後に駆動部を含むアームユニットを昇降ユニットに取り付けることが可能である。

　上記駆動部は、上記チャンバの内部と隔絶された室を形成する筐体と、上記室の内部に収容された固定子と、上記室の外部に配置され上記固定子と上記筐体を介して対向する回転子とを有し、上記多関節アームは、上記回転子に接続されていてもよい。

　駆動部は、チャンバの内部と連通しない室の内部に収容された固定子と、当該室の外部、即ちチャンバの内部に配置された回転子とを有する。これにより、チャンバの内部が真空雰囲気、あるいはガス雰囲気とされた場合であっても、固定子に由来するチャンバ内部の汚染を防止することが可能である。

　上記可動部は、上記チャンバの内側に位置し上記チャンバの内部で上記駆動部を支持する第１の端部と、上記チャンバの外側に位置し上記チャンバの外部で上記昇降機構と接続される第２の端部とを有し、上記昇降ユニットは、上記固定部と上記可動部との間に装着され、上記チャンバの内部と外部とを隔絶するシール部材をさらに有していてもよい。

　可動部は、チャンバの内部で駆動部を支持するために少なくとも一部がチャンバの内部に位置する必要があり、一方、昇降機構に接続されている必要がある。固定部と可動部の間をシール部材により隔絶することにより、可動部はチャンバの内部に位置する部分とチャンバの外部に位置する部分とに分けられる。そのため、可動部の、チャンバの内部に位置する第１の端部に駆動部を支持させ、チャンバの外部に位置する第２の端部に昇降機構を接続することが可能である。これにより、チャンバ内部で駆動部が支持されながらも、昇降機構に由来するダスト等によってチャンバ内部が汚染されることを防止することが可能である。

　上記シール部材は、上記可動部の上記固定部に対する昇降に応じて、上記可動部の上記固定部に対する昇降方向に伸縮する可撓部材であり、上記可撓部材は、上記固定部と上記第２の端部とを接続する。

　シール部材を可撓部材とすることにより、可動部の固定部に対する昇降を許容しつつチャンバの内部と外部を隔絶することが可能である。可撓部材を固定部とチャンバの外側に位置する可動部の第２の端部との間を接続するように配置することで、可撓部材はその伸縮状態にかかわらず常にチャンバの外側に位置し、第１の端部をチャンバの底面と同一面上まで下降させることが可能となる。これにより多関節アームの可動範囲をチャンバの底面までとすることが可能である。

　上記シール部材は、上記可動部の上記固定部に対する昇降に応じて、上記可動部の上記固定部に対する昇降方向に伸縮する可撓部材であり、上記可撓部材は、上記固定部と上記第１の端部とを接続する。

　シール部材を可撓部材とすることにより、可動部の固定部に対する昇降を許容しつつチャンバの内部と外部を隔絶することが可能である。可撓部材を固定部材とチャンバの内側に位置する可動部の第１の端部との間を接続するように配置する場合であっても、固定部をチャンバの外側に突出させることで、第１の端部をチャンバの底面と同一面上まで下降させることが可能となる。これにより多関節アームの可動範囲をチャンバの底面までとすることが可能である。

　上記昇降機構は、上記固定部に回転可能に支持され上記可動部の昇降方向に延在するねじ軸と、上記可動部に設けられ上記ねじ軸に螺合する螺合部と、上記固定部に設けられ上記ねじ軸を軸周りに回転させるモータとを有していもよい。

　モータにより固定部に支持されたねじ軸を回転させることにより、可動部に設けられた螺合部をねじ軸に対して昇降させ、即ち可動部を固定部に対して昇降させる。ねじ軸の回転角度を制御することにより、多関節アームの昇降位置を調節することが可能である。

　本発明の一実施形態に係る搬送装置の製造方法は、固定部と、可動部と、上記固定部に対して上記可動部を昇降させる昇降機構とを有する昇降ユニットを、チャンバの内側から上記チャンバの底面に形成された孔に挿通し上記固定部を上記底面に係合させることで、上記昇降ユニットを上記チャンバに固定することを含み、上記多関節アームと上記多関節アームを駆動する駆動部とを含むアームユニットは上記可動部に結合されることで上記昇降ユニットに固定される。

　多関節アームを駆動する駆動部を含むアームユニットと、アームユニットを昇降させる昇降ユニットは別途、チャンバに取り付けられる。昇降ユニットはアームを駆動する駆動部を含まないため、駆動部を含む場合に比べてサイズ及び重量が小さく、搬送装置を容易に製造することが可能である。例えば、昇降ユニットを吊り上げ、上面（天井）が開放されているチャンバの側壁上を通過させてチャンバの内側に搬入する場合に、昇降ユニットの搬入が側壁によって妨げられることを防止することが可能である。

　以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。

　（第１の実施形態）
　図１及び図２は、本発明の第１の実施形態に係る搬送装置１の概略構成を示す模式図である。図１はアームユニット４が下降位置にある状態、図２はアームユニット４が上昇位置にある状態を示す。なお、以下、鉛直方向をＺ方向、直交する２軸の水平方向をＸ及びＹ方向とする。
　これらの図に示すように、搬送装置１は、チャンバ２と、昇降ユニット３と、アームユニット４を有する。昇降ユニット３はチャンバ２の底面２ａに取りけられ、アームユニット４は昇降ユニット３に取りけられてチャンバ２に収容されている。

　チャンバ２は、図示しない真空排気手段、あるいはガス導入手段と接続され、内部を真空雰囲気又はプロセスガス雰囲気に維持することが可能に構成されている。チャンバ２の底面２ａには孔２ｂが形成され、当該孔２ｂは昇降ユニット３によって気密に閉塞されている。また、チャンバ２には、搬送対象物をチャンバ２の内部に搬出入させるためのロードロック２２が設けられてる。ロードロック２２には、例えば、Ｚ方向に多段に搬送対象物Ｗを収容する多段収容カセットＣが設置されている。なお、チャンバ２の構成はここに示すものに限られない。

　昇降ユニット３は、アームユニット４をＺ方向に昇降させ、底面２ａに形成された孔２ｂを気密に閉塞する。。昇降ユニット３は固定部５、可動部６及び昇降機構７を有する。固定部５は底面２ａに係合し、可動部６は固定部５に対してＺ方向に昇降可能に構成されている。昇降機構７は可動部６を固定部５に対して昇降させる。固定部５と可動部６は、チャンバ２の内部と外部を隔絶するシール部材１０によって接続されている。昇降ユニット３の詳細については後述する。

　図３は、アームユニット４の概略構成を示す平面図である。
　アームユニット４は、チャンバ２の内部で搬送対象物Ｗを搬送する。アームユニット４は、駆動部８と、多関節アーム９を有する。アームユニット４は昇降ユニット３によってチャンバ２の内部でＺ方向に昇降することが可能に構成されている。

　駆動部８は多関節アーム９を駆動する。駆動部８はチャンバ２の内部で可動部６に取り付けられ、Ｘ－Ｙ平面上で回転することにより多関節アーム９を旋回あるいは伸縮させることが可能に構成される。駆動部８の詳細については後述する。

　多関節アーム９は、駆動部８に接続され、駆動部８によってＸ―Ｙ平面上で旋回あるいは伸縮が可能に構成されている。多関節アーム９は、フロッグレッグ型（本実施形態で示す）あるいはＳＣＡＲＡ（selective compliance assembly robot arm）型のアームとすることが可能である。

　多関節アーム９は、第１アーム部９ａ、第２アーム部９ｂ、第３アーム部９ｃ及び第４アーム部９ｄから構成され、先端にはハンド１２が接続されている。第１アーム部９ａは駆動部８及び第３アーム部９ｃに接続され、第２アーム部９ｂは駆動部８及び第４アーム部９ｄに接続されている。第３アーム部９ｃは第１アーム部９ａ及びハンド１２に接続され、第４アーム部９ｄは第２アーム部９ｂ及びハンド１２に接続されている。第１アーム部９ａと第３アーム部９ｄ、第２アーム部９ｂと第４アーム部９ｄ、第３アーム部９ｃ及び第４アーム部９ｄとハンド１２のそれぞれの接続箇所は回転可能とされており、駆動部８の回転によって、多関節アーム９は伸縮あるいは旋回が可能である。ハンド１２は搬送対象物Ｗを保持することが可能に構成されている。多関節アーム９の構成は以上に示すものに限られず、また、多関節アーム９は複数が設けられてもよい。

　図４及び図５は、昇降ユニット３を示す断面図である。なお、図４は可動部６がＺ方向の下降位置にある状態を示し、図５は可動部６が上昇位置にある状態を示す。

　これらの図に示すように、固定部５は、係合部分５ａ、フレーム部分５ｂ及び支持部分５ｃを有する。係合部分５ａは底面２ａに係合する円板状であり、中央部に可動部６が挿通する孔５ｄが形成され、孔５ｄの周囲には可動部６の第１の端部６ａが収まる凹部５ｅが形成されている。係合部分５ａは底面２ａに、Ｏリング等の気密部材を介して気密に固定されている。

　フレーム部分５ｂは、係合部分５ａから、孔２ｂを介してチャンバ２の外側にＺ方向に沿って延在し、支持部分５ｃに接続されている。フレーム部分５ｂは、複数が形成されてもよい。支持部分５ｃは、後述するねじ軸１４、モータ１６及びガイドレール１３を支持する。支持部分５ｃは、底面２ａに平行な円板状とすることができる。係合部分５ａと支持部分５ｃの間には、可動部６の昇降をガイドする、Ｚ方向に延在するガイドレール１３が設けられている。ガイドレール１３の数は適宜変更可能である。

　可動部６は、昇降機構７によって固定部５に対してＺ方向に昇降する。可動部６は第１の端部６ａ、第２の端部６ｂ、軸部分６ｃを有する。

　第１の端部６ａはチャンバ２の内側（底面２ａよりも上方）に配置され、チャンバ２の内部でアームユニット４を支持する。第１の端部６ａは、中央部に孔６ｄが形成された、底面２ａに平行な板状とすることができる。第２の端部６ｂはチャンバ２の外側（底面２ａより下方）に配置され、チャンバ２の外部で昇降機構７に接続されている。第２の端部６ｂは、中央部に孔６ｅが形成された、底面２ａに平行な板状とすることができる。

　第２の端部６ｂには、後述する螺合部１５及びスライダ２８が設けられている。スライダ２８は、固定部５のガイドレール１３と摺動可能に構成され、可動部６の昇降にともなってガイドレール１３と摺動することにより可動部６の昇降をガイドする。軸部分６ｃはＺ方向に延在し、第１の端部６ａと第２の端部６ｂを接続している。

　軸部分６ｃは中空の筒状に形成され、第１の端部６ａの孔６ｄと第２の端部６ｂの孔６ｅを連通する。軸部分６ｃが孔６ｄと孔６ｅを連通することにより、後述する駆動部８の筐体１７ａ及び１７ｂの内部とチャンバ２の外部とを連通させることが可能である。軸部分６ｃのＺ方向の長さは、可動部６の昇降幅とシール部材１０の圧縮長の和とすることができる。

　昇降機構７は、ねじ軸１４、螺合部１５及びモータ１６を有する。ねじ軸１４は、固定部５の支持部分５ｃに回転可能に支持され、可動部６の軸部分６ｃに挿通し、Ｚ方向に延在している。ねじ軸１４は、螺合部１５が螺合するねじ溝が形成されている。ねじ軸１４は、ボールねじ用のねじ軸とすることが可能である。ねじ軸１４は、支持部分５ｃを貫通しモータ１６に接続させることができる。

　螺合部１５は、第２の端部６ｂに設けられ、ねじ軸１４に螺合する。螺合部１５は第２の端部６ｂに形成された孔６ｅの中に配置することができる。螺合部１５は、ボールねじナットとすることが可能である。モータ１６は、ねじ軸１４を軸周りに回転させる。モータ１６は支持部分５ｃに支持されるように、支持部分５ｃを貫通して接続されたねじ軸１４の同軸上に配置することができる。また、モータ１６をフレーム部分５ｂに支持されるように配置し、回転動力を伝達機構を介してねじ軸１４に伝達する構成としてもよい。この場合、昇降ユニット３のＺ方向の長さをモータ１６の長さ分、短縮することができる。

　ねじ軸１４、螺合部１５及びモータ１６の配置は上述のものに限られない。ねじ軸１４は、軸部分６ｃに挿通されることなく軸部分６ｃの外に配置することもできる。また、複数のねじ軸１４を設けてもよい。螺合部１５は第２の端部６ｂにおいてねじ軸１４に螺合する位置に設けることができる。また、昇降機構７は、このような構成に限られず、可動部６を固定部５に対して昇降させることが可能な他の構造とすることが可能である。

　シール部材１０は、固定部５と可動部６の間に接続され、チャンバ２の内部と外部を隔絶する。シール部材１０は、Ｚ方向に伸縮可能な可撓部材とすることが可能である。シール部材１０は、ベローズ１０ａと、ベローズ１０ａの両端に配置されたフランジ１０ｂ及びフランジ１０ｃからなるものとすることができる。フランジ１０ｂは、固定部５の係合部分５ａにＯリング等の気密部材を介して気密に接続され、フランジ１０ｃは、可動部６の第２の端部６ｂにＯリング等の気密部材を介して気密に接続されている。シール部材１０はこのように配置されることで、可動部６の軸部分６ｃの周囲においてチャンバ２の内部と外部とを隔絶する。また、可動部６が固定部５に対して昇降する際に、ベローズ１０ａが伸縮することで、チャンバ２の内部を気密に保持したまま可動部６の昇降を許容することができる。

　ベローズ１０ａは、可動部６が図４に示す下降位置にある場合に最も伸張し、可動部６が図５に示す上昇位置にある場合に最も圧縮される。いずれの場合においてもベローズ１０ａはチャンバ２の底面２ａより外側に位置し、可動部６の第１の端部６ａは底面２ａと同一面上まで下降することが可能である。これにより、多関節アーム９は底面２ａまでを可動範囲とすることができる。なお、シール部材１０は、可撓部材からなるものに限られず、固定部５と可動部６の間で、可動部６の昇降を許容し、チャンバ２の内部と外部を隔絶することが可能な構造とすることができる。

　図６は、駆動部８の詳細を説明するための断面図である。同図に示すように、駆動部８は、第１モータ８ａ及び第２モータ８ｂから構成される。駆動部８は第１の端部６ａに着脱可能に、例えば嵌合させることによって取り付けられている。

　同図に示すように第１モータ８ａは、筐体１７ａと、固定子１８ａと、回転子１９ａとを有する。筐体１７ａは可動部６の第１の端部６ａに気密に取り付けられ、筐体１７ａの内部に固定子１８ａが収容されている。回転子１９ａは筐体１７ａの外部に設けられている。回転子１９ａには、多関節アーム９の第１アーム部９ａが固定されている。

　筐体１７ａは、上面及び下面に開口が形成された中空の円柱状とすることができる。固定子１８ａは、筐体１７ａの内部に収容され、筐体１７ａを介して固定子１８ａと対向する。固定子１８ａは電磁石とすることができる。回転子１９ａは、例えば環状に形成され、図示しない軸受けによって筐体１７ａの外部に回転可能に設けられている。回転子１９ａは、固定子１８ａと対向する永久磁石を有し、固定子１８ａからの磁場を受けて回転駆動される。

　第２モータ８ｂは、筐体１７ｂと、固定子１８ｂと、回転子１９ｂとを有する。筐体１７ｂはＯリング等の気密部材を介して筐体１７ａに気密に取り付けられ、筐体１７ｂの内部に固定子１８ｂが収容されている。回転子１９ｂは筐体１７ｂの外部に設けられている。回転子１９ｂには、多関節アーム９の第２アーム部９ｂが固定されている。

　筐体１７ｂは、上面及び下面に開口が形成された中空の円柱状とすることができる。固定子１８ｂは、筐体１７ｂの内部に収容され、筐体１７ｂを介して固定子１８ｂと対向する。固定子１８ｂは電磁石とすることができる。回転子１９ｂは、例えば環状に形成され、図示しない軸受けによって筐体１７ｂの外部に回転可能に設けられている。回転子１９ｂは、固定子１８ｂと対向する永久磁石を有し、固定子１８ｂからの磁場を受けて回転駆動される。

　第２モータ８ｂの筐体１７ｂの上面には、封止板２０がＯリング等の気密部材を介して気密に取り付けられている。封止板２０により筐体１７ｂの上面に設けられた開口が閉塞され、筐体１７ａ及び１７ｂの内部と外部、即ちチャンバ２の内部とが隔絶される。これにより、例えば固定子１８ａ及び１８ｂに用いられる絶縁材等に由来する、チャンバ２の内部の汚染を防止することが可能である。筐体１７ａ及び１７ｂの内部は、可動部６の第１の端部６ａに形成された孔６ｄを通して、チャンバ２の外部と連通している。これにより、固定子１８ａ及び１８ｂに必要な配線等を軸部分６ｃを介して引出すことが可能である。

　駆動部８では、第１モータ８ａの回転子１９ａと第２モータ８ｂの回転子１９ｂが独立に回転し、多関節アーム９を駆動することが可能である。なお、駆動部８が有するモータの数は２基に限られず、また、各モータの構成も上述したものに限られない。例えば、駆動部８は、同軸上にない複数のモータからなるものとすることも可能である。

　搬送装置１は以上のように構成される。
　上述のように、多関節アーム９を水平方向に駆動する駆動部８と鉛直方向に昇降させる昇降ユニット３は一体的ではなく、可動部６の第１の端部６ａと駆動部８で分離することが可能である。このため、搬送装置１を製造する際に、サイズが小さく軽量である昇降ユニット３を単独でチャンバ２に取り付け、後に駆動部８を含むアームユニット４を取り付けることができる。

　一方、比較例として示す従来の搬送装置では、図７に示すように、多関節アームを水平方向に駆動する機構と鉛直方向に昇降させる機構は一体的なユニットとして形成されているために、当該ユニットをチャンバに取り付けることは、本実施形態に係る搬送装置１と比較して困難である。

　以下、図７に示す比較例に係る搬送装置１０００について簡単に説明する。
　同図に示すように、搬送装置１０００は、チャンバ１００２と、多関節アーム１００９と、アクチュエータ１００３とを有する。多関節アーム１００９は、チャンバ１００２の内部で伸縮、旋回等の動作をすることが可能に構成され、アクチュエータ１００３はチャンバ１００２の外部に配置され、多関節アーム１００９を動作させる。

　アクチュエータ１００３は、固定部１００５、可動部１００６及び昇降機構１００７を有し、可動部１００６はチャンバ１００２に固定された固定部１００５に対して、昇降機構１００７によってＺ方向に昇降可能に構成されている。可動部１００６には、多関節アームを駆動する回転動力を生成する駆動源１００８と、当該回転動力を多関節アーム１００９に伝達するＺ方向に延在する回転伝達軸１０１０が搭載されている。回転伝達軸１０１０は、少なくとも昇降幅に相等するＺ方向の長さを有する。なお、回転伝達軸１０１０は図示しない軸シールによってシールされている。

　昇降機構１００７は、固定部１００５に回転可能に支持された、Ｚ方向に延在するねじ軸１０１４と、ねじ軸１０１４を回転駆動するモータ１０１６と、可動部１００６に取り付けられねじ軸１０１４に螺合する螺合部１０１５から構成される。

　可動部１００６によってねじ軸１０１４が回転すると、螺合部１０１５がねじ軸１０１４に対して昇降し、即ち、可動部１００６が固定部１００５に対して昇降する。これにより、可動部１００６に搭載された駆動源１００８、回転伝達軸１０１０及び多関節アーム１００９がチャンバ１００２に対して昇降する。

　以上のように構成される比較例に係る搬送装置１０００は、多関節アーム１００９を水平方向に駆動する駆動源１００８と、鉛直方向に昇降させる昇降機構１００７が一体的なユニットとして構成される。このため、駆動源１００８と昇降機構１００７を分離することは容易ではない。

　本実施形態に係る搬送装置１の動作について説明する。

　チャンバ２は、排気手段により真空排気されることで真空に維持され、又は、真空排気された後にガスを導入されることにより、当該ガス雰囲気に維持される。ロードロック２２内の多段収容カセットＣには搬送対象物Ｗが収容されている。

　搬送装置１では、昇降ユニット３によってアームユニット４が昇降することが可能である。昇降ユニット３のモータ１６によりねじ軸１４が回転することにより、ねじ軸１４に螺合している螺合部１５がねじ軸１４の回転方向に応じて、上昇し、あるいは下降する。これにより、可動部６は固定部５に対してＺ方向に昇降することが可能である。また、シール部材１０により固定部５と可動部６の間が接続されているため、チャンバ２の内部は気密に維持される。上述のように、可動部６の第１の端部６ａは底面２ａと同一面となるまで下降することが可能であり、アームユニット４は底面２ａまでを可動範囲とすることが可能である。

　アームユニット４は、駆動部８によって多関節アーム９が伸縮及び旋回する。例えば、第１モータ８ａと第２モータ８ｂが逆方向に回転することにより、第１アーム部９ａ、第２アーム部９ｂ及びこれらに回転可能に接続された第３アーム部９ｃ及び第４アーム部９ｄがＸ－Ｙ平面上でなす角が変化して多関節アーム９が伸縮する。また、第１モータ８ａと第２モータ８ｂが同方向に回転することにより、多関節アーム９が旋回する。第１モータ８ａと第２モータ８ｂの角速度を異なるものとすることにより、多関節アーム９を伸縮させながら旋回させることも可能である。

　このように、アームユニット４が昇降ユニット３によってＺ方向に昇降し、駆動部８によって多関節アーム９が伸縮及び旋回することによって、多関節アーム９の先端に設けられたハンド１２は３次元的に移動することが可能である。例えば、ロードロック２２内の多段収容カセットＣに収容されている搬送対象物Ｗが搬送される。

　搬送装置１の製造方法について説明する。
　図８は、搬送装置１の製造方法を説明する図である。

　昇降ユニット３を設置する。図８（Ａ）に示すように、昇降ユニット３を鉛直上方に吊り上げ、上面（天井）が開放されているチャンバ２’の側壁上を通過させる。この際、昇降ユニット３は駆動部８と分離されているため、Ｚ方向のサイズが小さく、容易に側壁上を通過させることが可能である。昇降ユニット３は、チャンバ２’の底面に形成された孔２ｂに挿通される。次に、図８（Ｂ）に示すように、昇降ユニット３に、アームユニット４を取り付ける。例えば、アームユニット４の駆動部８を、昇降ユニット３の可動部６に嵌合させることで取り付けることが可能である。チャンバ２’の上面に蓋をして封止し、図１に示すように搬送装置１が製造される。

　このように、本実施形態に係る搬送装置１は、昇降ユニット３とアームユニット４を分離することが可能であるため、昇降のための機構と多関節アームを駆動するための機構が一体的に形成されている搬送装置の場合に比べ、容易に製造することが可能である。また、特に、チャンバ２の底面２ａの設置面（床）からの高さが昇降ユニット３によって決まる場合、昇降ユニット３のサイズが小さいために、底面２ａの設置面からの高さを小さくすることが可能である。

　（第２の実施形態）
　本発明の第２の実施形態に係る搬送装置２００について説明する。
　本実施形態に係る搬送装置２００は、第１の実施形態に係る搬送装置１の昇降ユニット３と異なる構成を有する昇降ユニット２０３を有する。それ以外の構成は、第１の実施形態に係る搬送装置１の構成と同一であるので同一の符号を付し、説明を省略する。

　図９及び図１０は、本実施形態に係る昇降ユニット２０３を示す断面図である。図９は可動部２０６がＺ方向の下降位置にある状態を示し、図１０は可動部２０６が上昇位置にある状態を示す。

　昇降ユニット２０３は、底面２ａに形成された孔２ｂを気密に閉塞する。昇降ユニット２０３は固定部２０５と可動部２０６と昇降機構２０７を有する。固定部２０５は底面２ａに係合し、可動部２０６は固定部２０５に対してＺ方向に昇降可能に構成されている。昇降機構２０７は可動部２０６を固定部２０５に対して昇降させる。固定部２０５と可動部２０６は、チャンバ２の内部と外部を隔絶するシール部材２１０によって接続されている。

　図９及び図１０に示すように、固定部２０５は、係合部分２０５ａ、側壁部分２０５ｂ及び突出部分２０５ｃを有する。係合部分２０５ａは底面２ａに係合する円環状であり、環の内部に可動部２０６が位置し、環の内側が側壁部分２０５ｂに接続されている。係合部分２０５ａは底面２ａに、Ｏリング等の気密部材を介して気密に固定されている。

　側壁部分２０５ｂは、係合部分２０５ａの環の内側から、孔２ｂを介してＺ方向に沿って延在し、可動部２０６の周囲に配置される円筒状であり、突出部分２０５ｃに接続されている。側壁部分２０５ｂのＺ方向の長さは、シール部材２１０の圧縮長と同程度とすることができる。突出部分２０５ｃは、係合部分２０５ａに平行な円板状とすることができ、中央部に可動部２０６が挿通される孔２０５ｄが形成されている。突出部分２０５ｃはガイドレール２１３とシール部材２１０を支持する。ガイドレール２１３は、突出部分２０５ｃに支持されてＺ方向に延在し、可動部２０６の昇降をガイドする。ガイドレール２１３は複数が設けられてもよい。

　可動部２０６は、昇降機構２０７によって固定部２０５に対してＺ方向に昇降する。可動部２０６は第１の端部２０６ａ、第２の端部２０６ｂ、軸部分２０６ｃを有する。

　第１の端部２０６ａはチャンバ２の内側（底面２ａよりも上方）に配置され、チャンバ２の内部でアームユニット４を支持する。第１の端部２０６ａは、中央部に孔２０６ｄが形成された、底面２ａに平行な板状とすることができる。第２の端部２０６ｂはチャンバ２の外側（底面２ａより下方）に配置され、チャンバ２の外部で昇降機構２０７に接続されている。第２の端部２０６ｂは、中央部に孔２０６ｅが形成された、底面２ａに平行な板状とすることができる。

　第２の端部２０６ｂには、後述する螺合部２１５及びスライダ２２８が設けられている。スライダ２２８は、固定部２０５のガイドレール２１３と摺動可能に構成され、可動部２０６の昇降にともなってガイドレール２１３と摺動することにより可動部２０６の昇降をガイドする。軸部分２０６ｃはＺ方向に延在し、第１の端部２０６ａと第２の端部２０６ｂを接続している。

　軸部分２０６ｃは中空の筒状に形成され、第１の端部２０６ａの孔２０６ｄと第２の端部２０６ｂの孔２０６ｅを連通する。軸部分２０６ｃが孔２０６ｄと孔２０６ｅを連通することにより、駆動部８の筐体１７ａ及び１７ｂの内部とチャンバ２の外部とを連通させることが可能である。軸部分２０６ｃのＺ方向の長さは、可動部２０６の昇降幅とシール部材２１０の圧縮長の和とすることができる。

　昇降機構２０７は、ねじ軸２１４、螺合部２１５及びモータ２１６を有する。ねじ軸２１４は、モータ２１６に接続されて係合部分２０５ａに回転可能に支持され、可動部２０６の第２の端部２０６ｂを貫通してＺ方向に延在している。ねじ軸２１４は、螺合部２１５が螺合するねじ溝が形成されている。ねじ軸２１４はボールねじ用のねじ軸とすることが可能であり、複数本とすることができる。

　螺合部２１５は、第２の端部２０６ｂに設けられ、ねじ軸２１４に螺合する。螺合部２１５は第２の端部２０６ｂに配置することができる。螺合部２１５は、ボールねじナットとすることが可能である。モータ２１６は、ねじ軸２１４を軸周りに回転させる。モータ２１６はねじ軸２１４の同軸上に配置することができる。

　ねじ軸２１４、螺合部２１５及びモータ２１６の配置は上述のものに限られない。螺合部２１５は第２の端部２０６ｂにおいてねじ軸２１４に螺合する位置に設けることができる。また、昇降機構２０７は、このような構成に限られず、可動部２０６を固定部２０５に対して昇降させることが可能な他の構造とすることが可能である。

　シール部材２１０は、固定部２０５と可動部２０６の間に接続され、チャンバ２の内部と外部を隔絶する。シール部材２１０は、Ｚ方向に伸縮可能な可撓部材とすることが可能である。シール部材２１０は、ベローズ２１０ａと、ベローズ２１０ａの両端に配置されたフランジ２１０ｂ及びフランジ２１０ｃからなるものとすることができる。フランジ２１０ｂは可動部２０６の第１の端部２０６ａにＯリング等の気密部材を介して気密に接続され、フランジ２１０ｃは固定部２０５の係合部分２０５ａにＯリング等の気密部材を介して気密に接続されている。

　シール部材２１０はこのように配置されることで、可動部２０６の軸部分２０６ｃの周囲においてチャンバ２の内部と外部とを隔絶する。また、可動部２０６が固定部２０５に対して昇降する際に、ベローズ２１０ａが伸縮することで、チャンバ２の内部を気密に保持したまま可動部２０６の昇降を許容することができる。

　ベローズ２１０ａは、可動部２０６が図１０に示す上昇位置にある場合に最も伸張し、可動部２０６が図９に示す下降位置にある場合に最も圧縮される。可動部２０６が、ベローズ２１０ａが最も圧縮される下降位置にある場合であっても、側壁部分２０５ｂが圧縮長に相等するＺ方向の長さを有しているため、可動部２０６の第１の端部２０６ａは底面２ａと同一面上まで下降することが可能である。これにより多関節アーム９は底面２ａまでを可動範囲とすることができる。なお、シール部材２１０は、可撓部材からなるものに限られず、固定部２０５と可動部２０６の間で、可動部２０６の昇降を許容し、チャンバ２の内部と外部を隔絶することが可能な構造とすることができる。

　搬送装置２００は以上のように構成される。
　上述のように、多関節アーム９を水平方向に駆動する駆動部８と鉛直方向に昇降させる昇降ユニット２０３は一体的ではなく、可動部２０６の第１の端部２０６ａと駆動部８で分離することが可能である。このため、搬送装置２００を製造する際に、サイズが小さく軽量である昇降ユニット２０３を単独でチャンバ２に取り付け、後に駆動部８を含むアームユニット４を取り付けることができる。

　このように、本実施形態に係る搬送装置２００は、昇降ユニット２０３とアームユニット４を分離することが可能であるため、昇降のための機構と多関節アームを駆動するための機構が一体的に形成されている搬送装置の場合に比べ、容易に製造することが可能である。

　以下、本発明の変形例について説明する。以下に示す各変形例は、搬送装置の昇降ユニットに関する。なお、第１の実施形態に係る搬送装置１及び第２の実施形態に係る搬送装置２００と同一の構成を有する部分には同一の符号を付し、説明を省略する。

　（変形例１）
　変形例１に係る搬送装置３００は、昇降ユニット３０３を有する。
　図１１は、変形例１に係る昇降ユニット３０３を示す断面図である。
　同図に示す昇降ユニット３０３は、固定部３０５と可動部３０６と昇降機構３０７を有する。固定部３０５は底面２ａに係合し、可動部３０６は固定部３０５に対してＺ方向に昇降可能に構成されている。昇降機構３０７は可動部３０６を固定部３０５に対して昇降させる。固定部３０５と可動部３０６は、チャンバ２の内部と外部を隔絶するシール部材３１０によって接続されている。なお、図１１は可動部３０６がＺ方向の下降位置にある状態を示す。

　同図に示すように、固定部３０５は、係合部分３０５ａを有する。係合部分３０５ａは底面２ａに係合する円板状であり、中央部に可動部３０６が挿通する孔３０５ｄが形成され、孔３０５ｄの周囲には可動部３０６の第１の端部３０６ａが収まる凹部３０５ｅが形成されている。係合部分３０５ａは底面２ａに、Ｏリング等の気密部材を介して気密に固定されている。係合部分３０５ａには、可動部３０６の昇降をガイドする、Ｚ方向に延在するガイドレール３１３が設けられている。

　可動部３０６は、昇降機構３０７によって固定部３０５に対してＺ方向に昇降する。可動部３０６は第１の端部３０６ａ、第２の端部３０６ｂ、軸部分３０６ｃを有する。

　第１の端部３０６ａはチャンバ２の内側（底面２ａよりも上方）に配置され、チャンバ２の内部でアームユニット４を支持する。第１の端部３０６ａは、中央部に孔３０６ｄが形成された、底面２ａに平行な板状とすることができる。第２の端部３０６ｂはチャンバ２の外側（底面２ａより下方）に配置され、チャンバ２の外部で昇降機構３０７に接続されている。第２の端部３０６ｂは、中央部に孔３０６ｅが形成された、底面２ａに平行な板状とすることができる。

　軸部分３０６ｃはＺ方向に延在し、第１の端部３０６ａと第２の端部３０６ｂを接続している。軸部分３０６ｃは中空の筒状に形成され、第１の端部３０６ａの孔３０６ｄと第２の端部３０６ｂの孔３０６ｅを連通する。軸部分３０６ｃのＺ方向の長さは、可動部３０６の昇降幅とシール部材３１０の圧縮長の和とすることができる。

　昇降機構３０７は、ねじ軸３１４、螺合部３１５及びモータ３１６を有する。ねじ軸３１４は、モータ３１６に接続されて係合部分３０５ａに回転可能に支持され、可動部３０６の第２の端部３０６ｂを貫通してＺ方向に延在している。ねじ軸３１４は複数本とすることができる。

　螺合部３１５は、第２の端部３０６ｂに設けられ、ねじ軸３１４に螺合する。モータ３１６は、ねじ軸３１４を軸周りに回転させる。モータ３１６はねじ軸３１４の同軸上に配置することができる。

　シール部材３１０は、固定部３０５と可動部３０６の間に接続され、チャンバ２の内部と外部を隔絶する。シール部材３１０は、Ｚ方向に伸縮可能な可撓部材とすることが可能である。シール部材３１０は、ベローズ３１０ａと、ベローズ３１０ａの両端に配置されたフランジ３１０ｂ及びフランジ３１０ｃからなるものとすることができる。フランジ３１０ｂは固定部３０５の係合部分３０５ａにＯリング等の気密部材を介して気密に接続され、フランジ３１０ｃは可動部３０６の第２の端部３０６ｂに気密に接続されている。

　変形例１に係る搬送装置３００は以上のように構成することが可能である。

　（変形例２）
　変形例２に係る搬送装置４００は、昇降ユニット４０３を有する。
　図１２は、変形例２に係る昇降ユニット４０３を示す断面図である。
　同図に示す昇降ユニット４０３は、固定部４０５と可動部４０６と昇降機構４０７を有する。固定部４０５は底面２ａに係合し、可動部４０６は固定部４０５に対してＺ方向に昇降可能に構成されている。昇降機構４０７は可動部４０６を固定部４０５に対して昇降させる。固定部４０５と可動部４０６は、チャンバ２の内部と外部を隔絶するシール部材４１０によって接続されている。なお、図１２は可動部４０６がＺ方向の下降位置にある状態を示す。

　同図に示すように、固定部４０５は、係合部分４０５ａ、フレーム部分４０５ｂ、支持部分４０５ｃ、側壁部分４０５ｄ及び突出部分４０５ｅを有する。係合部分４０５ａは底面２ａに係合する円環状であり、環の内部に可動部４０６が位置し、環の内側が側壁部分４０５ｄに接続されている。係合部分４０５ａは底面２ａに、Ｏリング等の気密部材を介して気密に固定されている。

　フレーム部分４０５ｂは、係合部分４０５ａから、孔２ｂを介してチャンバ２の外側にＺ方向に沿って延在し、支持部分４０５ｃに接続されている。フレーム部分４０５ｂは、複数が形成されてもよい。支持部分４０５ｃは、後述するねじ軸４１４、モータ４１６及びガイドレール４１３を支持する。支持部分４０５ｃは、底面２ａに平行な円板状とすることができる。係合部分４０５ａと支持部分４０５ｃの間には、可動部４０６の昇降をガイドする、Ｚ方向に延在するガイドレール４１３が設けられている。ガイドレール４１３の数は適宜変更可能である。

　側壁部分４０５ｄは、係合部分４０５ａの環の内側から、孔２ｂを介してＺ方向に沿って延在し、可動部４０６の周囲に配置される円筒状であり、突出部分４０５ｅに接続されている。側壁部分４０５ｄの長さは、シール部材４１０の圧縮長と同程度とすることができる。突出部分４０５ｅは、係合部分４０５ａに平行な円板状とすることができ、中央部に可動部４０６が挿通される孔４０５ｆが形成されている。

　可動部４０６は、昇降機構４０７によって固定部４０５に対してＺ方向に昇降する。可動部４０６は第１の端部４０６ａ、第２の端部４０６ｂ及び軸部分４０６ｃを有する。

　第１の端部４０６ａはチャンバ２の内側（底面２ａよりも上方）に配置され、チャンバ２の内部でアームユニット４を支持する。第１の端部４０６ａは、中央部に孔４０６ｄが形成された、底面２ａに平行な板状とすることができる。第２の端部４０６ｂはチャンバ２の外側（底面２ａより下方）に配置され、チャンバ２の外部で昇降機構４０７に接続されている。第２の端部４０６ｂは、中央部に孔４０６ｅが形成された、底面２ａに平行な板状とすることができる。

　軸部分４０６ｃはＺ方向に延在し、第１の端部４０６ａと第２の端部４０６ｂを接続している。軸部分４０６ｃは中空の筒状に形成され、第１の端部４０６ａの孔４０６ｄと第２の端部４０６ｂの孔４０６ｅを連通する。軸部分４０６ｃのＺ方向の長さは、可動部４０６の昇降幅とシール部材４１０の圧縮長の和とすることができる。

　昇降機構４０７は、ねじ軸４１４、螺合部４１５及びモータ４１６を有する。ねじ軸４１４は、固定部４０５の支持部分４０５ｃに回転可能に支持され、可動部４０６の軸部分４０６ｃに挿通し、Ｚ方向に延在している。ねじ軸４１４は、螺合部４１５が螺合するねじ溝が形成されている。ねじ軸４１４は、支持部分４０５ｃを貫通しモータ４１６に接続させることができる。

　螺合部４１５は、第２の端部４０６ｂに設けられ、ねじ軸４１４に螺合する。螺合部４１５は第２の端部４０６ｂに形成された孔４０６ｅの中に配置することができる。モータ４１６は、ねじ軸４１４を軸周りに回転させる。モータ４１６は支持部分４０５ｃに支持されるように配置し、支持部分４０５ｃを貫通して接続されたねじ軸４１４の同軸上に配置することができる。

　シール部材４１０は、固定部４０５と可動部４０６の間に接続され、チャンバ２の内部と外部を隔絶する。シール部材４１０は、Ｚ方向に伸縮可能な可撓部材とすることが可能である。シール部材４１０は、ベローズ４１０ａと、ベローズ４１０ａの両端に配置されたフランジ４１０ｂ及びフランジ４１０ｃからなるものとすることができる。フランジ４１０ｂは可動部４０６の第１の端部４０６ａに気密に接続され、フランジ４１０ｃは固定部４０５の突出部分４０５ｅに気密に接続されている。

　変形例２係る搬送装置４００は以上のように構成することが可能である。

　本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において変更され得る。

　上述の実施形態に係る搬送装置は、可動部に多関節アームを水平方向に駆動する駆動源を搭載するものとしたが、これに限られない。可動部には多関節アーム及びその駆動源に準ずる機構を搭載することも可能である。

　１　　　　搬送装置
　２　　　　チャンバ
　２ａ　　　底面
　２ｂ　　　孔
　３　　　　昇降ユニット
　４　　　　アームユニット
　５　　　　固定部
　６　　　　可動部
　６ａ　　　第１の端部
　６ｂ　　　第２の端部
　７　　　　昇降機構
　８　　　　駆動部
　９　　　　多関節アーム
　１０　　　シール部材
　１４　　　ねじ軸
　１５　　　螺合部
　１６　　　モータ
　１７ａ　　筐体
　１７ｂ　　筐体
　１８ａ　　固定子
　１８ｂ　　固定子
　１９ａ　　回転子
　１９ｂ　　回転子
　２００　　搬送装置
　２０３　　昇降ユニット
　２０５　　固定部
　２０６　　可動部
　２０６ａ　第１の端部
　２０６ｂ　第２の端部
　２０７　　昇降機構
　２１０　　シール部材
　２１４　　ねじ軸
　２１５　　螺合部
　２１６　　モータ
　３００　　搬送装置
　３０３　　昇降ユニット
　３０５　　固定部
　３０６　　可動部
　３０６ａ　第１の端部
　３０６ｂ　第２の端部
　３０７　　昇降機構
　３１０　　シール部材
　３１４　　ねじ軸
　３１５　　螺合部
　３１６　　モータ
　４００　　搬送装置
　４０３　　昇降ユニット
　４０５　　固定部
　４０６　　可動部
　４０６ａ　第１の端部
　４０６ｂ　第２の端部
　４０７　　昇降機構
　４１０　　シール部材
　４１４　　ねじ軸
　４１５　　螺合部
　４１６　　モータ

Claims (7)

1. 　孔が形成された底面を有するチャンバと、
   　前記底面に係合し前記孔から前記チャンバの外側に突出する固定部と、可動部と、前記固定部に対して前記可動部を昇降させる昇降機構とを有し、前記孔を気密に閉塞して前記チャンバの内部と外部とを隔絶する昇降ユニットと、
   　搬送対象物を保持する多関節アームと、前記可動部に着脱可能に取り付けられ、前記多関節アームを駆動する、前記チャンバの内部に収容された駆動部とを有するアームユニットと
   　を具備する搬送装置。
2. 　請求項１に記載の搬送装置であって、
   　前記駆動部は、前記チャンバの内部と隔絶された室を形成する筐体と、前記室の内部に収容された固定子と、前記室の外部に配置され前記固定子と前記筐体を介して対向する回転子とを有し、
   　前記多関節アームは、前記回転子に接続されている
   　搬送装置。
3. 　請求項２に記載の搬送装置であって、
   　前記可動部は、前記チャンバの内側に位置し前記チャンバの内部で前記駆動部を支持する前記第１の端部と、前記チャンバの外側に位置し前記チャンバの外部で前記昇降機構と接続される第２の端部とを有し、
   　前記昇降ユニットは、前記固定部と前記可動部との間に装着され、前記チャンバの内部と外部とを隔絶するシール部材をさらに有する
   　搬送装置。
4. 　請求項３に記載の搬送装置であって、
   　前記シール部材は、前記可動部の前記固定部に対する昇降に応じて、前記可動部の前記固定部に対する昇降方向に伸縮する可撓部材であり、
   　前記可撓部材は、前記固定部と前記第２の端部とを接続する
   　搬送装置。
5. 　請求項３に記載の搬送装置であって、
   　前記シール部材は、前記可動部の前記固定部に対する昇降に応じて、前記可動部の前記固定部に対する昇降方向に伸縮する可撓部材であり、
   　前記可撓部材は、前記固定部と前記第１の端部とを接続する
   　搬送装置。
6. 　請求項４又は５に記載の搬送装置であって、
   　前記昇降機構は、前記固定部に回転可能に支持され前記可動部の昇降方向に延在するねじ軸と、前記可動部に設けられ前記ねじ軸に螺合する螺合部と、前記固定部に設けられ前記ねじ軸を軸周りに回転させるモータとを有する
   　搬送装置。
7. 　固定部と、可動部と、前記固定部に対して前記可動部を昇降させる昇降機構とを有する昇降ユニットを、チャンバの内側から前記チャンバの底面に形成された孔に挿通し前記固定部を前記底面に係合させることで、前記昇降ユニットを前記チャンバに固定し、
   　多関節アームを駆動する駆動部を、前記可動部に結合することで、前記多関節アームと前記駆動部とを含むアームユニットを前記昇降ユニットに固定する
   　搬送装置の製造方法。

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