JP7458345B2 - 傾き調整装置、及びそれを備えるロボット - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係るロボットの全体構成を示す斜視図である。図1に示すように、本実施形態に係るロボット10は、半導体製造装置5の一部として構成され、図1において一点鎖線で示す半導体基板Sを保持して搬送するために用いられる。ロボット10は、高さ方向に延びる板状のベース体12と、その基端がベース体12に取り付けられ、図示しない第1駆動装置に駆動されることで、ベース体12上を高さ方向に移動可能である手首部14と、を備える。
図2は、本実施形態に係る傾き調整装置を示す斜視図である。本実施形態に係るロボット10は、傾き調整装置50をさらに備える。傾き調整装置50は、手首部14の先端に設けられる。
つづいて、主として図7に基づき、上記で説明した傾き調整装置50を用いて、ロボット10の傾きを調整する態様の一例について説明する。なお、以下では、図3において、第2部材54の左側部分に対向する支持部材24の一方側部分(図3では図示せず)が、第2部材54の右側に対向する支持部材24の他方側部分(同前)よりも低くなっており、これによる第1部材52に対する第2部材54の傾きを、傾き調整装置50によって調整する場合について説明する。
ここで、傾き調整装置50に球面滑り軸受け60、80a、80bを設けず、高さ方向から見て互いに異なる箇所に配置される二つの高さ位置調整機構100によって、第1部材52に対する第2部材54の傾きを調整する場合を考える。このような場合、二つの高さ位置調整機構100のうちの一方を操作することで第1部材52に対して第2部材54を傾けると、第2部材54が歪んでしまう。また、第2部材54と一体的に雌ネジ部材122が傾こうとするため、雌ネジ部材122の内部で雄ネジ部材120が回転できなくなってしまう。
上記説明から、当業者にとっては、本発明の多くの改良や他の実施形態が明らかである。したがって、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明を実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなく、その構造及び/又は機能の詳細を実質的に変更できる。
g Unified Pod)として構成されてもよい。
上記実施形態では、傾き調整装置50がロボット10の手首部14と支持部材24の間に設けられ、上記第1変形例では、傾き調整装置50´が載置面140とベース体12の間に設けられ、かつ、上記第2変形例では、傾き調整装置50´´が載置面140とベース体12の間に設けられる場合について説明した。しかし、この場合に限定されず、傾き調整装置50は、例えば、支持部材24と保持部材20の間など、半導体製造装置5の一部を構成する第1部材と当該半導体製造装置5の他の一部を構成する第2部材との間であれば、どこに設けられてもよい。
本発明に係る傾き調整装置は、ロボットの一部を構成する第1部材に対する、前記ロボットの他の一部を構成する第2部材の傾きを調整するための傾き調整装置であって、前記第1部材と、前記第1部材と対向するように設けられる前記第2部材と、前記第1部材と前記第2部材の間に設けられる球面滑り軸受けと、を備え、前記球面滑り軸受けは、内輪及び外輪を有し、前記内輪及び前記外輪のいずれか一方が前記第1部材に取り付けられ、前記内輪及び前記外輪のいずれか他方が前記第2部材に取り付けられ、前記球面滑り軸受けには、前記内輪及び前記外輪のいずれか一方と前記第1部材との間、及び、前記内輪及び前記外輪のいずれか他方と前記第2部材との間の少なくともいずれかに高さ位置調整機構が介在することを特徴とする。
前記高さ位置調整機構は、モータと、前記モータにより駆動され、高さ方向に移動可能な移動部材と、を有し、前記移動部材は、前記内輪及び前記外輪のいずれかに取り付けられてもよい。
上記構成によれば、モータを用いて移動部材を高さ方向に移動させることで、第1部材に対する第2部材の傾きを容易かつ精確に調整することが可能となる。
前記高さ位置調整機構は、セルフロック機構を備え、前記セルフロック機構は、ネジ溝を有する、ウォーム及び雄ネジ部材のうちの少なくとも一つを含み、前記ネジ溝は、前記ウォーム及び前記雄ネジ部材のうちの少なくとも一つに直接的又は間接的に加わる外力のうち、前記ウォーム及び前記雄ネジ部材のうちの少なくとも一つを回転させる成分が小さくなるように所定のリード角を有してもよい。
上記構成によれば、モータブレーキを必要としないセルフロック機構を得ることが可能となる。
例えば、前記高さ位置調整機構は、前記モータによる動力を減じて前記移動部材に出力するための減速機構をさらに有してもよい。
10 ロボット
12 ベース体
14 手首部
16 ブレード
20 保持部材
22 回転軸
24 支持部材
30 第1中間部材
32 第2中間部材
38a~38 ボルト
50 傾き調整装置
52 第1部材
54 第2部材
56 貫通孔
58 突部
59 凹部
60、80a、80b 球面滑り軸受け
62 内輪
64 外輪
82 内輪
83 軸孔
84 外輪
90 蓋部材
100 高さ位置調整機構
110 モータユニット
112 モータ
113 エンコーダ
114 筐体
115 ウォームギヤ
116 ウォーム
120 雄ネジ部材
122 雌ネジ部材
123 軸部
124 溝
125 フランジ
126 留め金
130 収容装置
140 載置面
L 中心軸線
S 半導体基板
Claims (8)
- ロボットの一部を構成する第1部材に対する、前記ロボットの他の一部を構成する第2部材の傾きを調整するための傾き調整装置であって、
前記第1部材と、
前記第1部材と対向するように設けられる前記第2部材と、
前記第1部材と前記第2部材の間に設けられる球面滑り軸受けと、を備え、
前記球面滑り軸受けは、内輪及び外輪を有し、前記内輪及び前記外輪のいずれか一方が前記第1部材に取り付けられ、前記内輪及び前記外輪のいずれか他方が前記第2部材に取り付けられ、
前記球面滑り軸受けには、前記内輪及び前記外輪のいずれか一方と前記第1部材との間、及び、前記内輪及び前記外輪のいずれか他方と前記第2部材との間の少なくともいずれかに高さ位置調整機構が介在し、
少なくとも三つの前記球面滑り軸受けを備え、
少なくとも三つの前記球面滑り軸受は、高さ方向から見て互いに異なる箇所に配置され、
少なくとも三つの前記球面滑り軸受けのうちの少なくとも二つに、前記高さ位置調整機構が設けられ、
少なくとも三つの前記球面滑り軸受けのうちの少なくとも二つは、それぞれ、前記内輪が前記第1部材に取り付けられ、前記外輪が前記第2部材に取り付けられ、かつ、前記内輪と前記第1部材との間に前記高さ位置調整機構が介在し、
少なくとも三つの前記球面滑り軸受けのうちの少なくとも一つは、前記外輪が前記第1部材に取り付けられ、前記内輪が前記第2部材に取り付けられ、かつ、前記外輪と前記第1部材との間に前記高さ位置調整機構が介在せず、
前記少なくとも三つの前記球面滑り軸受けのうちの前記少なくとも一つは、前記傾き調整装置の幅方向における中心を基端から先端に延びる中心軸線上に設けられ、
前記少なくとも三つの前記球面滑り軸受けのうちの前記少なくとも二つは、それぞれ、高さ方向から見て、前記中心軸線を対称軸として線対称となるように配置されることを特徴とする、傾き調整装置。 - 前記高さ位置調整機構は、
モータと、
前記モータにより駆動され、高さ方向に移動可能な移動部材と、を有し、
前記移動部材は、前記内輪及び前記外輪のいずれかに取り付けられる、請求項1に記載の傾き調整装置。 - 前記高さ位置調整機構は、前記モータによる動力を減じて前記移動部材に出力するための減速機構をさらに有する、請求項2に記載の傾き調整装置。
- 前記高さ位置調整機構は、セルフロック機構を備え、
前記セルフロック機構は、ネジ溝を有する、ウォーム及び雄ネジ部材のうちの少なくとも一つを含み、
前記ネジ溝は、前記ウォーム及び前記雄ネジ部材のうちの少なくとも一つに直接的又は間接的に加わる外力のうち、前記ウォーム及び前記雄ネジ部材のうちの少なくとも一つを回転させる成分が小さくなるように所定のリード角を有する、請求項1乃至3のいずれかに記載の傾き調整装置。 - 半導体製造装置の一部として構成され、半導体基板を保持して搬送するための前記ロボットであって、
前記ロボットの一部を構成する第1部材に対する、前記ロボットの他の一部を構成する第2部材の傾きを調整するための傾き調整装置と、
前記半導体基板を保持するための保持位置が規定されたブレードと、
前記ブレードの基端を保持するための保持部材と、
前記保持部材よりも基端側に設けられる手首部と、を備え、
前記第1部材と、
前記第1部材と対向するように設けられる前記第2部材と、
前記第1部材と前記第2部材の間に設けられる球面滑り軸受けと、を備え、
前記球面滑り軸受けは、内輪及び外輪を有し、前記内輪及び前記外輪のいずれか一方が前記第1部材に取り付けられ、前記内輪及び前記外輪のいずれか他方が前記第2部材に取り付けられ、
前記球面滑り軸受けには、前記内輪及び前記外輪のいずれか一方と前記第1部材との間、及び、前記内輪及び前記外輪のいずれか他方と前記第2部材との間の少なくともいずれかに高さ位置調整機構が介在し、
少なくとも三つの前記球面滑り軸受けを備え、
少なくとも三つの前記球面滑り軸受は、高さ方向から見て互いに異なる箇所に配置され、
少なくとも三つの前記球面滑り軸受けのうちの少なくとも二つに、前記高さ位置調整機構が設けられ、
少なくとも三つの前記球面滑り軸受けのうちの少なくとも二つは、それぞれ、前記内輪が前記第1部材に取り付けられ、前記外輪が前記第2部材に取り付けられ、かつ、前記内輪と前記第1部材との間に前記高さ位置調整機構が介在することを特徴とする、ロボット。 - 前記保持部材を支持するための支持部材をさらに備え、
前記保持部材は、前記支持部材上を直動可能であり、
前記傾き調整装置は、前記手首部側に前記第1部材が位置し、前記支持部材側に前記第2部材が位置するように、前記手首部と前記支持部材との間に設けられる、請求項5に記載のロボット。 - 高さ方向に延び、前記第2部材に取り付けられる回転軸をさらに備え、
前記支持部材が前記回転軸周りに回動可能である、請求項6に記載のロボット。 - 前記手首部の基端が取り付けられ、高さ方向に延びるベース体をさらに備え、
前記手首部は、前記ベース体上を高さ方向に移動可能である、請求項5乃至7のいずれかに記載のロボット。
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Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019244657A1 (ja) * | 2018-06-19 | 2019-12-26 | 川崎重工業株式会社 | 水平多関節ロボット |
JP2022190368A (ja) * | 2021-06-14 | 2022-12-26 | 川崎重工業株式会社 | 高さ調整装置および製造装置 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002301627A (ja) | 2001-04-05 | 2002-10-15 | Fuji Seiki Kk | ワーク姿勢調整装置 |
JP2006120861A (ja) | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Rorze Corp | 傾き補正装置及びそれを備えた搬送ロボット |
JP2007035669A (ja) | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Nikon Corp | ウェハ搬送装置、ウェハ積層体搬送装置及び積層型半導体装置製造方法 |
JP2008138692A (ja) | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Hiihaisuto Seiko Kk | 多自由度球面軸受 |
JP2008174314A (ja) | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Tokyo Electron Ltd | 昇降装置 |
JP2010234498A (ja) | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Thk Co Ltd | チルトステージ |
JP2014029178A (ja) | 2012-07-31 | 2014-02-13 | Ntn Corp | 球面滑り軸受およびその製造方法 |
JP2016120755A (ja) | 2014-12-24 | 2016-07-07 | 日本車輌製造株式会社 | 連結具 |
JP2018199379A (ja) | 2017-05-26 | 2018-12-20 | 日本車輌製造株式会社 | 床下機器着脱装置 |
JP2019150912A (ja) | 2018-03-02 | 2019-09-12 | セイコーエプソン株式会社 | 駆動装置、駆動装置の駆動方法、ハンド、ロボットおよび搬送装置 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH045038Y2 (ja) * | 1986-03-07 | 1992-02-13 | ||
US5000416A (en) * | 1990-01-26 | 1991-03-19 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Alignment positioning mechanism |
JPH0724535U (ja) * | 1993-09-30 | 1995-05-09 | 株式会社東京精密 | レベリング装置 |
JP3450129B2 (ja) * | 1996-08-21 | 2003-09-22 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 移動ステージ |
JP2000190273A (ja) | 1998-12-25 | 2000-07-11 | Fanuc Ltd | エンドエフェクタのティルト機構 |
JP2003275980A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-09-30 | Daihen Corp | トランスファロボット |
US7173710B2 (en) * | 2002-06-07 | 2007-02-06 | Fujinon Corporation | Inclination adjusting apparatus, ferrule clamping apparatus, and interferometer apparatus equipped with them |
JP2004128021A (ja) | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Mitsubishi Electric Corp | ウェハ搬送装置 |
DE112004001210T5 (de) | 2003-07-04 | 2006-06-08 | Rorze Corp. | Transportvorrichtung und Transportsteuerverfahren für eine dünne Platte |
WO2005002804A1 (ja) * | 2003-07-04 | 2005-01-13 | Rorze Corporation | 搬送装置、薄板状物の搬送方法、及び薄板状物製造システム |
JP4524132B2 (ja) | 2004-03-30 | 2010-08-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置 |
JP2006129693A (ja) | 2004-09-30 | 2006-05-18 | Nsk Ltd | ウォームギアモータ装置 |
JP2007061920A (ja) | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Toshiba Mach Co Ltd | 産業用ロボット |
JP2007333884A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Fuji Xerox Co Ltd | 画像形成装置 |
KR101312621B1 (ko) | 2006-11-29 | 2013-10-07 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼이송장치 |
JP2013246040A (ja) | 2012-05-25 | 2013-12-09 | Nifco Inc | 支持装置 |
JP5861677B2 (ja) * | 2013-07-08 | 2016-02-16 | 株式会社安川電機 | 吸着構造、ロボットハンドおよびロボット |
JP6412758B2 (ja) * | 2014-09-30 | 2018-10-24 | 株式会社ジーグ | 演出用ユニット及びこれを備えた遊技機 |
JP6520208B2 (ja) | 2015-02-27 | 2019-05-29 | 日本ギア工業株式会社 | 電動バルブアクチュエータ |
JP6339040B2 (ja) | 2015-03-20 | 2018-06-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 保護カバー及びこれを用いた基板処理装置 |
DE202015106385U1 (de) * | 2015-11-24 | 2015-11-30 | China Aerospace Science And Technology Corporation Changzheng Machinery Factory | Feineinstellungsplattform mit zwei Freiheitsgraden |
WO2018021178A1 (ja) | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
US9919430B1 (en) * | 2016-12-06 | 2018-03-20 | Jabil Inc. | Apparatus, system and method for providing an end effector |
-
2019
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-
2021
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002301627A (ja) | 2001-04-05 | 2002-10-15 | Fuji Seiki Kk | ワーク姿勢調整装置 |
JP2006120861A (ja) | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Rorze Corp | 傾き補正装置及びそれを備えた搬送ロボット |
JP2007035669A (ja) | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Nikon Corp | ウェハ搬送装置、ウェハ積層体搬送装置及び積層型半導体装置製造方法 |
JP2008138692A (ja) | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Hiihaisuto Seiko Kk | 多自由度球面軸受 |
JP2008174314A (ja) | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Tokyo Electron Ltd | 昇降装置 |
JP2010234498A (ja) | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Thk Co Ltd | チルトステージ |
JP2014029178A (ja) | 2012-07-31 | 2014-02-13 | Ntn Corp | 球面滑り軸受およびその製造方法 |
JP2016120755A (ja) | 2014-12-24 | 2016-07-07 | 日本車輌製造株式会社 | 連結具 |
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