TWI741686B - 機器手、機器人及固定裝置 - Google Patents

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前田佳樹
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日商川崎重工業股份有限公司
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Abstract

本發明係用以保持基板之機器手，其特徵在於具備：基體；平板，其被規定有用以保持上述基板之保持位置，且其基部安裝於上述基體；及差動螺絲，其中心軸與存放於上述保持位置之上述基板之主面正交，用以將上述平板之基部安裝於上述基體；且上述差動螺絲具有：第1螺絲部，其螺距為第1螺距；第2螺絲部，其螺距為不同於上述第1螺距之第2螺距；及介在構件，其同軸狀地具有螺合於上述第1螺絲部之第3螺絲部及螺合於上述第2螺絲部之第4螺絲部；上述第1螺絲部設置於上述基體，且上述第2螺絲部設置於上述平板之基部。

Description

機器手、機器人及固定裝置
本發明係關於機器手、機器人及固定裝置。
習知技術中已知有一種用以保持基板之機器手。此種機器手例如於專利文獻1之晶圓移送裝置中提出。專利文獻1之晶圓移送裝置係與收容複數片晶圓之盒子、及用於晶圓檢查之檢查裝置鄰接地配置。晶圓移送裝置具備Y字形或U字形之複數個晶圓支持構件、連結於各晶圓支持構件之基端並支持晶圓支持構件之第1及第2支持台、以及與第1及第2支持台連結而使晶圓支持構件沿直線方向移動之移動裝置。
又，習知技術中已知有一種用以固定差動螺絲之固定裝置。此種固定機構例如於專利文獻2之夾緊裝置中提出。專利文獻2中記載有差動螺絲藉由嵌合於調整滑座（sledge），而不與筒夾接觸。並且記載有藉此可使筒夾轉接器與筒夾之磨耗成為最低限度。又，記載有差動螺絲係以可更換之方式配置於筒夾轉接器內。 [現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2008-141158號公報 [專利文獻2]日本特表2014-530118號公報
[發明所欲解決之問題]
然而，專利文獻1、及用以保持基板之其他習知既有之機器手有著難以調整規定有用以保持基板之保持位置之平板之斜率的問題。
又，專利文獻2、及用以固定差動螺絲之其他習知既有之固定裝置於固定差動螺絲時，有著差動螺絲移動之情形。以致於上述習知既有之固定裝置產生無法準確地固定差動螺絲之問題。
因此，本發明之目的在於提供一種可容易地調整規定有用以保持基板之保持位置之平板之斜率的機器手、及具備其之機器人。
又，本發明之目的在於提供一種可準確地固定差動螺絲之固定裝置。 [解決問題之手段]
為了解決上述課題，本發明之機器手係用以保持基板之機器手，其特徵在於具備：基體；平板，其被規定有用以保持上述基板之保持位置，且其基部安裝於上述基體；及差動螺絲，其中心軸與存放於上述保持位置之上述基板之主面正交，用以將上述平板之基部安裝於上述基體；且上述差動螺絲具有其螺距為第1螺距之第1螺絲部、其螺距為不同於上述第1螺距之第2螺距之第2螺絲部、以及同軸狀地具有螺合於上述第1螺絲部之第3螺絲部及螺合於上述第2螺絲部之第4螺絲部之介在構件，上述第1螺絲部設置於上述基體，且上述第2螺絲部設置於上述平板之基部。
根據上述構成，本發明之機器手可使平板之基部中設置有第2螺絲部之部分，移動第1螺絲部之第1螺距和介在構件之轉數之乘積的第1距離，與第2螺絲部之第2螺距和介在構件之轉數之乘積的第2距離之差，因此可容易地調整被規定有用以保持基板之保持位置之平板之斜率。
為了解決上述課題，本發明之固定裝置係用以固定差動螺絲之固定裝置，其特徵在於：上述差動螺絲具有其螺距為第1螺距之第1螺絲部、其螺距為不同於上述第1螺距之第2螺距之第2螺絲部、以及同軸狀地具有螺合於上述第1螺絲部之第3螺絲部及螺合於上述第2螺絲部之第4螺絲部之介在構件，於將形成有上述第1螺絲部之構件設為第1螺絲構件，將形成有上述第2螺絲部之構件設為第2螺絲構件時，上述第1及上述第2螺絲構件之一者為進一步形成有第1狹縫之第1狹縫構件，上述第1狹縫於與形成於上述第1及上述第2螺絲構件之一者之上述第1或上述第2螺絲部之軸正交之平面內與上述第1或上述第2螺絲部相交，於上述第1狹縫構件安裝固定構件，上述固定構件係用以藉由改變上述第1狹縫之內壁彼此之距離，而消除形成於上述第1狹縫構件之上述第1或上述第2螺絲部與螺合於其之上述第3或上述第4螺絲部之遊隙，上述第1及上述第2螺絲構件之另一者、或上述介在構件為可於其直徑方向上變形之變形構件，藉由於直徑方向上使上述變形構件變形，而消除形成於上述變形構件之上述第1、上述第2、上述第3及上述第4螺絲部中之至少一者與螺合於其之上述第1、上述第2、上述第3及上述第4螺絲部中之至少一者之遊隙。
根據上述構成，本發明之固定裝置無需對差動螺絲施加軸方向之外力，便可固定該差動螺絲。其結果為，本發明之固定裝置可準確地固定差動螺絲。 [發明之效果]
根據本發明，可提供一種可容易地調整被規定有用以保持基板之保持位置之平板之斜率的機器手、及具備其之機器人。
又，根據本發明，可提供一種可準確地固定差動螺絲之固定裝置。
（整體構成） 以下，參照圖式對本發明之一實施形態之機器手、及具備其之機器人、以及固定裝置進行說明。另外，本實施形態並不對本發明進行限定。又，以下，於全部圖中對相同或相當之要素標註相同之參照符號，並省略其重複說明.
（機器人10） 圖1係表示本實施形態之機器手、及具備其之機器人之整體構成的概略性俯視圖。如圖1所示，機器人10係作為用以保持基板S並搬送之水平多關節型機器人而構成。具體而言，機器人10可進行保持收容於收容裝置C中之基板S並將其自收容裝置C取出之作業、或將所保持之基板S收容至收容裝置C內之作業。
機器人10具備基台12、設置於基台12之可於上下方向上伸縮之升降軸（未圖示）、及設置於升降軸之上端之機械臂20。並且，機器人10進一步具備設置於機械臂20之前端之機器手30A。又，機器人10進一步具備用以對機械臂20及機器手30A之動作進行控制之機器人控制裝置90。
（基台12及機械臂20） 設置於基台12之升降軸係以可藉由未圖示之滾珠螺桿等於上下方向上伸縮之方式構成。該升降動作係藉由設置於基台12之內部之伺服馬達（未圖示）進行。又，上述升降軸以可相對於基台12而繞於鉛直方向上延伸之關節軸JT2旋轉之方式設置，該旋轉動作係藉由設置於基台12之內部之伺服馬達（同上）進行。
機械臂20具有分別由沿水平方向延伸之長條狀之構件所構成之第1連桿22、第2連桿24及第3連桿26。
第1連桿22之長度方向之基端安裝於上述升降軸之上端。第1連桿22與上述升降軸一體地升降，且與上述升降軸一體地繞與上述升降軸之中央軸線一致之關節軸JT2旋轉。
第2連桿24以可繞於鉛直方向上延伸之關節軸JT4旋轉之方式將其長度方向之基端安裝於第1連桿22之長度方向之前端。第2連桿24相對於第1連桿22之旋轉動作，係藉由設置於第1連桿22之內部之伺服馬達（未圖示）進行。
第3連桿26以可繞於鉛直方向上延伸之關節軸JT6旋轉之方式將其長度方向之基端安裝於第2連桿24之長度方向之前端。第3連桿26相對於第2連桿24之旋轉動作，係藉由設置於第2連桿24之內部之伺服馬達（未圖示）進行。
（機器人控制裝置90） 機器人控制裝置90具備記憶體（未圖示）、及用以執行儲存於該記憶體中之程式之處理器（同上）。處理器可藉由設置於上述基台12內部之2台伺服馬達、設置於第1連桿22內部之伺服馬達、及設置於第2連桿24內部之伺服馬達對機器人10之動作進行伺服控制。
（機器手30A） 圖2係本實施形態之機器手之概略性俯視圖。機器手30A具備被規定有用以保持基板S之保持位置38之平板32、及安裝於平板32之基部34之三個差動裝置40A。保持位置38於圖2中以二點鏈線表示。對於平板32，進一步規定有自基端向前端延伸至寬度方向上之中心之中心軸L1 。中心軸L1 於圖2中以一點鏈線表示。平板32具有安裝於後文所述之基體42（第1母螺絲構件）之基部34、及自基部34分開向前端側延伸之兩個前端部35a、35b。
前端部35a自基部34之寬度方向之一端向與厚度方向正交之平面內突出，前端部35b自基部34之寬度方向之另一端向與厚度方向正交之平面內突出。平板32藉由具有基部34及前端部35a、35b，而沿其厚度方向觀察為Y字形。
機器手30A具有設置於平板32之基部34且可於中心軸L1 上往復運動之可動構件36、設置於前端部35a之固定構件37a、及設置於前端部35b之固定構件37b。此外，機器手30A使可動構件36移動至中心軸L1 之前端側，藉由利用可動構件36與固定構件37a、37b夾持基板S而可保持基板S。
圖3係本實施形態之機器手所具備之差動裝置之立體圖。圖4係將上述差動裝置安裝於平板時之概略性截面圖。另外，三個差動裝置40A具有互相相同之構造。因此，此處僅對一個差動裝置40A進行說明，不重複關於其他兩個差動裝置40A之相同之說明。
如圖3及圖4所示，差動裝置40A具有固定於第3連桿26之前端之基體42、及用以將平板32之基部34安裝於基體42之差動螺絲50A。又，差動裝置40A進一步具備用以使差動螺絲50A相對於基體42固定之固定裝置80。
如圖4所示，差動螺絲50A係以其中心軸L2 與存放於保持位置38之基板S之主面正交之方式配置。差動螺絲50A具有其螺距為第1螺距，且穿設於基體42之第1母螺絲部52（第1螺絲部）、及其螺距為小於第1螺距之第2螺距，且自平板32之基部34突出之第1公螺絲部58（第2螺絲部）。另外，於本實施形態中，第1母螺絲部52及第1公螺絲部58分別為右旋螺絲。
第1母螺絲部52係形成於沿高度方向貫通基體42之寬度方向上之中央的貫通孔之內壁。第1公螺絲部58係形成於螺合於沿高度方向貫通平板32之基部34之貫通孔的第1螺栓55之軸部57之外壁。第1螺栓55之頭部56之基端面於高度方向上為與平板32之基部34之上表面相同之位置。平板32之基部34經由差動螺絲50A安裝於基體42。
差動螺絲50A進一步具備介在構件60A。介在構件60A具有圓筒狀部分、及形成於圓筒狀部分之平板32側之端部的圓環狀操作部66。上述圓筒狀部分於其外壁形成螺合於第1母螺絲部52之第2公螺絲部62（第3螺絲部），於其內壁形成螺合於第1公螺絲部58之第2母螺絲部64（第4螺絲部）。第2公螺絲部62與第2母螺絲部64為同軸狀。操作部66係為了旋轉操作而設置。操作部66之軸方向與上述圓筒狀部分一致，其內徑與上述圓筒狀部分相同，且其外徑大於上述圓筒狀部分。
再次參照圖2，三個差動裝置40A於與存放於保持位置38之基板S之主面平行之平面內配置於互不相同之部位（複數根差動螺絲於與存放於保持位置之基板之主面平行之平面內配置於互不相同之部位）。具體而言，三個差動裝置40A中之一者配置於平板32之基部34之基端之寬度方向上的一端。又，三個差動裝置40A中之另一者配置於平板32之基部34之基端之寬度方向上的另一端。並且，三個差動裝置40A中之再另一者配置於平板32之基部34之中央之寬度方向上的一端。
（調整平板32之斜率之態樣之一例） 基於圖5，對調整平板32之斜率之態樣之一例進行說明。又，亦一併對本實施形態之機器手30A所發揮之效果進行說明。圖5係表示對本實施形態之機器手所具備之平板之斜率進行調整之情況之概略圖，（A）為調整上述斜率前之圖，（B）為調整上述斜率後之圖。
此處，圖5係沿與中心軸L1 正交之平面將機器手30A之基部34切斷時之截面圖。於圖5中，左側為設置平板32之前端部35a之側，右側為設置平板32之前端部35b之側。此外，平板32以平板32之前端部35b高於平板32之前端部35a之狀態傾斜。
為了對如上所述之平板32之斜率進行調整，而降低平板32之前端部35b。具體而言，藉由使圖5中配置於右側之差動裝置40A之操作部66逆時針旋轉，而使介在構件60A向下方行進。
換言之，使介在構件60A相對於基體42向下方相對移動第1距離，且使介在構件60A相對於平板32向下方相對移動小於上述第1距離之第2距離。此處，上述第1距離係第1母螺絲部52之第1螺距與介在構件60A之轉數之乘積。又，上述第2距離係第1公螺絲部58之第2螺距與介在構件60A之轉數之乘積。
本實施形態之機器手30A藉由以上述方式使操作部66旋轉，可使平板32之基部34中設置有第1公螺絲部58之部分向下方移動上述第1距離與上述第2距離之差，因此可容易地調整平板32之斜率。
尤其是於例如收容裝置C以於高度方向上密集之狀態收納複數個基板S之情形時，為了避免平板32於收容裝置C內與收容裝置C之內壁或基板S碰撞，需預先準確地調整平板32之斜率。隨著近年基板S之小型化，此時之精度期待進一步提高。然而，現狀例如為僅以人工對平板32施加外力來調整平板32之斜率。由此導致調整平板32之斜率相當費時費力。因此，藉由使用本實施形態之機器手30A，可獲得縮短作業時間、或減少勞力等效果，從而可容易且精度良好地調整平板32之斜率。
又，於本實施形態中，複數個差動裝置40A（換言之，複數根差動螺絲50A）於與存放於保持位置38之基板S之主面平行之平面內配置於互不相同之部位，因此與例如僅設置一個差動裝置40A之情形相比，可更容易地調整平板32之斜率。
進一步地，於本實施形態中，於介在構件60A設置用於旋轉操作之操作部66，因此可更容易地調整平板32之斜率。
（變形例） 根據上述說明，對本發明所屬技術領域具通常知識者而言，本發明之眾多改良或其他實施形態為顯而易見。因此，上述說明應僅作為例示解釋，以對本發明所屬技術領域具通常知識者教示執行本發明之最佳態樣為目的而提供。可於不脫離本發明之精神之情況下，實質地變更其構造及/或功能之詳細。
（第1變形例） 圖6係表示上述實施形態之機器手之第1變形例的概略性截面圖。另外，本變形例之機器手30B除了差動螺絲50B之構造以外，具備與上述實施形態之機器手30A相同之構造。因此，對相同部分標註相同之參照編號，不再重複相同之說明。
如圖6所示，本變形例之差動螺絲50B具有其螺距為第1螺距，且穿設於基體42之第3母螺絲部102（第1螺絲部）、及其螺距為小於第1螺距之第2螺距，且穿設於平板32之第4母螺絲部104（第2螺絲部）。另外，於本變形例中，第3母螺絲部102及第4母螺絲部104分別為右旋螺絲。
第3母螺絲部102係形成於沿高度方向貫通基體42之寬度方向上之中央的貫通孔之內壁。第4母螺絲部104係形成於沿高度方向貫通平板32之貫通孔之內壁。
於本實施形態中，介在構件60B具有圓板狀操作部66、自操作部66之中央向基體42側突出，且螺合於第3母螺絲部102之第3公螺絲部106（第3螺絲部）、及自操作部66之中央向平板32側突出，且螺合於第4母螺絲部104之第4公螺絲部108（第4螺絲部）。第3公螺絲部106與第4公螺絲部108為同軸狀。
本變形例之機器手30B藉由具備上述構造之差動螺絲50B，而發揮與上述實施形態之機器手30A同樣之效果。
（第2變形例） 圖7係表示上述實施形態之機器手之第2變形例的概略性截面圖。另外，本變形例之機器手30C除了差動螺絲50C之構造以外，具備與上述實施形態之機器手30A、及其變形例之機器手30B相同之構造。因此，對相同部分標註相同之參照編號，不再重複相同之說明。
如圖7所示，本變形例之差動螺絲50C具有其螺距為第1螺距，且突設於基體42之第5公螺絲部110（第1螺絲部）、及其螺距為小於第1螺距之第2螺距，且突設於平板32之第6公螺絲部112（第2螺絲部）。另外，於本變形例中，第5公螺絲部110及第6公螺絲部112分別為右旋螺絲。
螺絲第5公螺絲部110係形成於自基體42之寬度方向上之中央突出之軸部之外壁。第6公螺絲部112係形成於自平板32之基部34突出之軸部之外壁。
於本變形例中，介在構件60C具有圓柱狀部分、及設置於該圓柱狀部分之軸方向之中央，且與該圓柱狀部分為同軸狀之圓板狀操作部66。並且，操作部66之直徑大於上述圓柱狀部分之直徑。
於介在構件60C之圓柱狀部分形成軸孔。此外，於該軸孔之內壁之基體42側部分形成與第5公螺絲部110螺合之第5母螺絲部114（第3螺絲部），於該軸孔之內壁之平板32側部分形成與第6公螺絲部112螺合之第6母螺絲部116（第4螺絲部）。第5母螺絲部114與第6母螺絲部116為同軸狀。
本變形例之機器手30C藉由具備上述構造之差動螺絲50C，而發揮與上述實施形態之機器手30A同樣之效果。
（第3變形例） 圖8係表示上述實施形態之機器手之第3變形例的概略性截面圖。另外，本變形例之機器手30D除了差動螺絲50D之構造以外，具備與上述實施形態之機器手30A、及其變形例之機器手30B、30C相同之構造。因此，對相同部分標註相同之參照編號，不再重複相同之說明。
如圖8所示，本變形例之差動螺絲50D具有其螺距為第1螺距，且突設於基體42之第7公螺絲部118（第1螺絲部）、及其螺距為小於第1螺距之第2螺距，且穿設於平板32之第7母螺絲部120（第2螺絲部）。另外，於本變形例中，第7公螺絲部118及第7母螺絲部120分別為右旋螺絲。
第7公螺絲部118係形成於自基體42之寬度方向上之中央突出之軸部之外壁。第7母螺絲部120係形成於沿高度方向貫通平板32之基端之寬度方向上之中央的貫通孔之內壁。
於本實施形態中，介在構件60D具有圓柱狀部分、及設置於該圓柱狀部分之軸方向上之中央，且與該圓柱狀部分為同軸狀之圓板狀操作部66。並且，操作部66之直徑大於上述圓柱狀部分之直徑。
於介在構件60D之圓柱狀部分形成軸孔。並且，於該軸孔之內壁形成與第7公螺絲部118螺合之第8母螺絲部122（第3螺絲部）。又，於介在構件60D之圓柱狀部分之較操作部66更靠平板32側之外壁，形成與第7母螺絲部120螺合之第8公螺絲部124。第8母螺絲部122與第8公螺絲部124為同軸狀。
本變形例之機器手30D藉由具備上述構造之差動螺絲50D，而發揮與上述實施形態之機器手30A同樣之效果。
（第4變形例） 圖9係表示上述實施形態之機器手之第4變形例的概略性截面圖。另外，本變形例之機器手30E除了差動螺絲50E之構造以外，具備與上述實施形態之機器手30A、及其變形例之機器手30B～30D相同之構造。因此，對相同部分標註相同之參照編號，不再重複相同之說明。
如圖9所示，本變形例之差動螺絲50E具有其螺距為第1螺距，且突設於基體42之第9公螺絲部126（第1螺絲部）、及其螺距為小於第1螺距之第2螺距，且突設於平板32之基部34之第9母螺絲部128（第2螺絲部）。另外，於本變形例中，第9公螺絲部126及第9母螺絲部128分別為右旋螺絲。
第9公螺絲部126係形成於自基體42之寬度方向上之中央突出之軸部之外壁。第9母螺絲部128係形成於沿高度方向貫通平板32之基部34之貫通孔之內壁。
於本實施形態中，介在構件60E具有圓柱狀部分、及設置於該圓柱狀部分之軸方向上之中央，且與該圓柱狀部分為同軸狀之圓板狀操作部66。並且，操作部66之直徑大於上述圓柱狀部分之直徑。
於介在構件60D之圓柱狀部分自底面（即，基體42側之面）之中央至上表面（即，平板32側之面）之附近穿設凹部，於該凹部之內壁形成與第9公螺絲部126螺合之第10母螺絲部130。又，於介在構件60D之圓柱狀部分之上表面之中央突設軸部，於該軸部之外壁形成與第9母螺絲部128螺合之第10公螺絲部132。
本變形例之機器手30E藉由具備上述構造之差動螺絲50E，而發揮與上述實施形態之機器手30A同樣之效果。
（其他變形例） 於上述實施形態中，已對基體42與第3連桿26為不同構件之情形進行了說明。但並不限定於該情形，第3連桿26作為基體而構成亦可。藉此，於第3連桿26本身形成第1螺絲部亦可。
於上述實施形態中，已對平板32與第1螺栓55為不同構件之情形進行了說明。但並不限定於該情形，將平板32與第1螺栓55一體地形成亦可。藉此，於平板32本身形成第2螺絲部亦可。
於上述實施形態中，已對於平板32之前端部35b高於平板32之前端部35a之狀態下，調整平板32傾斜之狀態的情形進行了說明。但並不限定於該情形，於平板32之前端部35a高於平板32之前端部35b之狀態下，平板32傾斜之狀態亦可同樣地調整。進一步地，為了於平板32之前端低於或高於同一平板32之基端之狀態下，對平板32傾斜之狀態進行調整，對配置於平板32之基部34之中央之寬度方向上的一端之差動裝置40A之操作部66進行旋轉操作亦可。
於上述實施形態中，已對機器手30A於與存放於保持位置38之基板S之主面平行之平面內，在互不相同之部位具備三個差動裝置40A之情形進行了說明。但並不限定於該情形，機器手30A具備一個或兩個差動裝置40A亦可，具備四個以上之差動裝置40A亦可。
於上述實施形態中，已對機器手30A藉由利用設置於其基部34，且可於平板32之中心軸L1 上往復運動之可動構件36與設置於其前端部35a、35b之固定構件37a、37b夾持基板S而保持該基板S之情形進行了說明。但並不限定於該情形，機器手30A將基板S搭載、或吸附等方式而保持該基板S亦可。
於上述實施形態中，已對機械臂20具有三個關節軸JT2、JT4、JT6之情形進行了說明。但並不限定於該情形，機械臂20具有一個或兩個關節軸亦可，具有四個以上之關節軸亦可。
於上述實施形態中，已對平板32以一個構件一體地形成基部34、及前端部35a、35b之情形進行了圖示。但並不限定於該情形，例如僅將平板32之基部34中設置差動螺絲50A之部分以其他構件形成，並將該其他構件與平板32之其他部分互相固定亦可。又，平板32分為三個以上之構件而形成，藉由互相固定該些構件而構成亦可。
於上述實施形態中，已對機器人10各具備一個機器手30A及第3連桿26之情形進行了說明。但並不限定於該情形，機器人10具備複數個機器手30A、及分別連接於該複數個機器手30A之第3連桿26（即，複數個第3連桿26）亦可。於此種情形時，複數個第3連桿26分別以其長度方向之基端繞關節軸JT6獨立地旋轉亦可。
此外，於此種情形時，例如若僅以人工對平板32施加外力而調整該平板32之斜率，則相應於該平板32之增多的數量，調整該平板32之斜率相當費時費力。因此，於以上述方式設置複數個機器手30A之情形時，可進一步縮短作業時間，而可進一步減少勞力消耗。
（固定裝置80） 基於圖10及圖11，對用以固定上述實施形態所說明之差動螺絲50A之固定裝置80進行說明。圖10係表示上述實施形態之固定裝置固定差動螺絲前之情況之概略圖，（A）為沿軸方向之截面圖，（B）為圖10（A）所示之箭頭XB方向之視圖。圖11係表示上述實施形態之固定裝置固定差動螺絲後之情況之概略圖，（A）為沿軸方向之截面圖，（B）為圖11（A）所示之箭頭XIB方向之視圖。
如上述實施形態所說明般，差動螺絲50A具有其螺距為第1螺距之第1母螺絲部52（第1螺絲部）、及其螺距為小於上述第1螺距之第2螺距之第1公螺絲部58（第2螺絲部）。又，差動螺絲50A進一步具有介在構件60A，其為圓筒狀，同軸狀地具有形成於其外壁且螺合於第1母螺絲部52之第2公螺絲部62（第3螺絲部）、及形成於其內壁且螺合於第1公螺絲部58之第2母螺絲部64（第4螺絲部）。
固定裝置80具備於形成有第1母螺絲部52之基體42（第1螺絲構件、第1狹縫構件）上所形成，且於與第1母螺絲部52之軸正交之平面內與該第1母螺絲部52相交之第1狹縫82。又，固定裝置80於基體42進一步具備第2螺栓85（固定構件），該第2螺栓85（固定構件）係用以藉由拉近第1狹縫82之內壁彼此之距離（藉由改變第1狹縫之內壁彼此之距離），而消除形成於基體42之第1母螺絲部52，及與之螺合的介在構件60A（變形構件）之第2公螺絲部62之遊隙。
第2螺栓85係以其軸部87於與上述差動螺絲50A之軸方向正交之平面內與第1狹縫82交叉之方式配置。
固定裝置80進一步具備於介在構件60A之軸方向上之基體42側之端部形成的兩個第2狹縫68。兩個第2狹縫68中之一者係於自基體42側之端部觀察介在構件60A時，形成於通過介在構件60A之中心之第1直線上。又，兩個第2狹縫68中之另一者係於自基體42側之端部觀察介在構件60A時通過介在構件60A之中心之第2直線上形成。並且上述第1直線與上述第2直線互相正交。
介在構件60A藉由具有如上述之兩個第2狹縫68，而可沿其直徑方向變形，藉由第2螺栓85使介在構件60A沿直徑方向收縮（藉由使變形構件沿直徑方向變形），而消除形成於介在構件60A之第2公螺絲部62及第2母螺絲部64與螺合於其之第1母螺絲部52及第1公螺絲部58之遊隙。
本實施形態之固定裝置80係隨著第1狹縫82之內壁彼此互相靠近，而以第1母螺絲部52沿直徑方向收縮之方式變形。藉此，無需對差動螺絲50A施加軸方向之外力，便可將該差動螺絲50A固定。其結果為，本發明之固定裝置80可準確地固定差動螺絲50A。
尤其是例如本實施形態般，為了調整平板32之斜率而使用差動螺絲50A時，固定裝置80有其功效。即，例如於調整平板32之斜率後，於差動螺絲50A之軸方向上之端部安裝螺母而將該差動螺絲50A固定之情形時，由於對差動螺絲50A施加軸方向之外力，因此平板32會再次傾斜。另一方面，藉由使用本實施形態之固定裝置80將差動螺絲50A固定，由於未對差動螺絲50A施加軸方向之外力，因此平板32不會再次傾斜。
又，本實施形態之固定裝置80於基體42安裝第2螺栓85作為固定構件，因此可藉由簡單之構造使第1狹縫82之內壁彼此互相靠近。
進一步地，本實施形態之固定裝置80具備形成於介在構件60A之軸方向上之基體42側之端部之兩個第2狹縫68，因此隨著第1狹縫82之內壁彼此互相靠近，介在構件60A可以沿直徑方向收縮之方式變形。藉此，將差動螺絲50A之第1母螺絲部52、第2母螺絲部64、第1公螺絲部58及第2公螺絲部62互相牢固地固定。又，藉由以上述方式配置兩個第2狹縫68，從而與介在構件60A之旋轉位置無關地，介在構件60A可以沿直徑方向收縮之方式變形。
（變形例） 根據上述說明，對本發明所屬技術領域具通常知識者而言，本發明之眾多改良或其他實施形態為顯而易見。因此，上述說明應僅作為例示解釋，以對本發明所屬技術領域具通常知識者教示執行本發明之最佳態樣為目的而提供。可於不脫離本發明之精神之情況下，實質地變更其構造及/或功能之詳細。
於上述實施形態中，於基體42形成第1母螺絲部52（第1螺絲部），將該基體42設為第1螺絲構件，於平板32形成第1公螺絲部58（第2螺絲部），將該平板32設為第2螺絲構件。並且，於基體42（第1螺絲構件）形成第1狹縫82，將該基體42設為第1狹縫構件。
但並不限定於該情形，第1螺絲部為公螺絲且第2螺絲部為母螺絲亦可，第1及第2螺絲部兩者均為公螺絲亦可，或第1及第2螺絲部兩者均為母螺絲亦可。又，基體42為形成有第2螺絲部之第2螺絲構件，且平板32為形成有第1螺絲部之第1螺絲構件亦可。
於上述實施形態中，已對介在構件60A為變形構件，藉由第2螺栓85（固定構件）使介在構件60A沿直徑方向收縮，而消除形成於介在構件60A之第2公螺絲部62及第2母螺絲部64，與螺合於其之第1母螺絲部52及第1公螺絲部58之遊隙之情形進行了說明。
但並不限定於該情形，例如圖6所示之機器手30B般，平板32（第1及第2螺絲構件之另一者）為變形構件，藉由在基體42（第1狹縫構件）與平板32（變形構件）跨設固定構件，而拉近第1狹縫82之內壁彼此之距離，且使平板32沿差動螺絲50B之直徑方向收縮亦可。由此將差動螺絲50B固定亦可。
又，例如於如圖7所示之機器手30C之情形時，平板32（第1及上述第2螺絲構件之另一者）為變形構件，藉由在基體42（第1狹縫構件）與平板32（變形構件）跨設固定構件，而擴大第1狹縫82之內壁彼此之距離，且使平板32沿差動螺絲50B之直徑方向擴大亦可。藉此，突設於基體42之第5公螺絲部110、及突設於平板32之第6公螺絲部112亦分別沿直徑方向擴大。由此將差動螺絲50C固定亦可。
於上述實施形態中，已對在介在構件60A之軸方向上之基體42側之端部形成兩個第2狹縫68之情形進行了說明。但並不限定於該情形，於介在構件60A之側面等形成第2狹縫68亦可。又，不於介在構件60A形成第2狹縫68，例如介在構件60A以具有可撓性之材料形成即可。如上所述之介在構件60A可與形成兩個第2狹縫68之情形同樣地以沿直徑方向收縮之方式變形。
於上述實施形態中，已對固定構件為第2螺栓85之情形進行了說明。但並不限定於該情形，固定構件只要以使第1狹縫82之內壁彼此互相靠近之方式安裝於基體42（第1構件），則例如為將基體42自寬度方向之兩端向內側鎖緊之緊固構件亦可，為其他固定構件亦可。
（總結） 本發明之機器手之特徵在於：其係用以保持基板之機器手，其具備：基體；平板，其被規定有用以保持上述基板之保持位置，且其基部安裝於上述基體；及差動螺絲，其中心軸與存放於上述保持位置之上述基板之主面正交，用以將上述平板之基部安裝於上述基體；且上述差動螺絲具有其螺距為第1螺距之第1螺絲部、其螺距為不同於上述第1螺距之第2螺距之第2螺絲部、以及同軸狀地具有螺合於上述第1螺絲部之第3螺絲部及螺合於上述第2螺絲部之第4螺絲部之介在構件，上述第1螺絲部設置於上述基體，且上述第2螺絲部設置於上述平板之基部。
根據上述構成，本發明之機器手可將平板之基部中設置有第2螺絲部之部分移動，第1螺絲部之第1螺距和介在構件之轉數之乘積的第1距離，與第2螺絲部之第2螺距和介在構件之轉數之乘積的第2距離之差，因此可容易地調整被規定有用以保持基板之保持位置之平板之斜率。
具備複數根上述差動螺絲，將上述複數根差動螺絲於與存放於上述保持位置之上述基板之主面平行之平面內配置於互不相同之部位亦可。
根據上述構成，本發明之機器手可更容易地調整被規定有用以保持基板之保持位置之平板之斜率。
上述介在構件設置有用於旋轉操作之操作部亦可。
根據上述構成，本發明之機器手可更容易地調整被規定有用以保持基板之保持位置之平板之斜率。
例如，可為上述第1螺絲部作為穿設於上述基體及上述平板之任意一者之第1母螺絲部而構成，上述第2螺絲部作為自上述基體及上述平板之任意另一者突出之第1公螺絲部而構成，且上述介在構件為圓筒狀，於其外壁形成第2公螺絲部以作為上述第3螺絲部，於其內壁形成第2母螺絲部以作為上述第4螺絲部。
進一步具備用以將上述差動螺絲相對於上述基體及上述平板之任一者固定之固定裝置，且上述固定裝置具有：狹縫，其穿設於上述基體及上述平板之任一者，於與上述差動螺絲之軸方向正交之平面內與上述第1及上述第2母螺絲部、以及上述第1及上述第2公螺絲部相交；及固定構件，其以使上述狹縫之內壁彼此互相靠近之方式安裝於上述基體及上述平板之任一者亦可。
根據上述構成，隨著狹縫之內壁彼此互相靠近，第1母螺絲部以沿直徑方向收縮之方式變形。藉此，無需對差動螺絲施加軸方向之外力，便可固定該差動螺絲。其結果為，本發明之機器手可準確地固定差動螺絲。
本發明之機器人之特徵在於具備：機器手，其具有上述任一構成；及機械臂，其於前端設置上述機器手，且具有至少一個關節軸。
根據上述構成，本發明之機器人藉由具備具有上述任一構成之機器手，而可容易地調整被規定有用以保持基板之保持位置之平板之斜率。
例如如請求項7之機器人，其作為水平多關節型機器人而構成。
本發明之固定裝置係用以固定差動螺絲之固定裝置，其特徵在於：上述差動螺絲具有：第1母螺絲部，其螺距為第1螺距；第1公螺絲部，其螺距為不同於上述第1螺距之第2螺距；及介在構件，其為圓筒狀，同軸狀地具有形成於其外壁且螺合於上述第1母螺絲部之第2公螺絲部、及形成於其內壁且螺合於上述第1公螺絲部之第2母螺絲部；上述固定裝置具備：狹縫，其穿設於形成上述第1母螺絲部之第1構件，於與上述差動螺絲之軸方向正交之平面內與上述第1及上述第2母螺絲部、以及上述第1及上述第2公螺絲部相交；及固定構件，其以使上述狹縫之內壁彼此互相靠近之方式安裝於上述第1構件。
根據上述構成，本發明之固定裝置隨著狹縫之內壁彼此互相靠近，第1母螺絲部以沿直徑方向收縮之方式變形。藉此，無需對差動螺絲施加軸方向之外力，便可固定該差動螺絲。其結果為，本發明之固定裝置可準確地固定差動螺絲。
上述固定構件可作為螺栓而構成，上述螺栓以其軸部於與上述差動螺絲之軸方向正交之平面內與上述狹縫交叉之方式配置。
根據上述構成，本發明之固定裝置可藉由簡單之構造使狹縫之內壁彼此互相靠近。
進一步具備至少於上述介在構件之軸方向上之上述第1構件側之端部形成之凹部亦可。
根據上述構成，隨著狹縫之內壁彼此互相靠近，介在構件可以沿直徑方向收縮之方式變形。藉此，將差動螺絲之第1母螺絲部、第2母螺絲部、第1公螺絲部及第2公螺絲部互相牢固地固定。
10:機器人 12:基台 20:機械臂 22:第1連桿 24:第2連桿 26:第3連桿 30A~30E:機器手 32:平板 34:基部 35a,35b:前端部 36:可動構件 37a,37b:固定構件 38:保持位置 40A:差動裝置 42:基體（第1螺絲構件、第1狹縫構件） 50A~50E:差動螺絲 52:第1母螺絲部（第1螺絲部） 55:第1螺栓 56:頭部 57:軸部 58:第1公螺絲部（第2螺絲部） 60A~60E:介在構件（變形構件） 62:第2公螺絲部（第3螺絲部） 64:第2母螺絲部（第4螺絲部） 66:操作部 68:第2狹縫 80,80a:固定裝置 82:第1狹縫 85,85a:第2螺栓（固定構件） 87:軸部 90:機器人控制裝置 102:第3母螺絲部（第1螺絲部） 104:第4母螺絲部（第2螺絲部） 106:第3公螺絲部（第3螺絲部） 108:第4公螺絲部（第4螺絲部） 110:第5公螺絲部（第1螺絲部） 112:第6公螺絲部（第2螺絲部） 114:第5母螺絲部（第3螺絲部） 116:第6母螺絲部（第4螺絲部） 118:第7公螺絲部（第1螺絲部） 120:第7母螺絲部（第2螺絲部） 122:第8母螺絲部（第3螺絲部） 124:第8公螺絲部 126:第9公螺絲部（第1螺絲部） 128:第9母螺絲部（第2螺絲部） 130:第10母螺絲部 132:第10公螺絲部 C:收容裝置 JT2,JT4,JT6:關節軸 L1 ,L2 :中心軸 S:基板
[圖1]係表示本發明之一實施形態之機器手、及具備其之機器人之整體構成的概略性俯視圖。 [圖2]係本發明之一實施形態之機器手之概略性俯視圖。 [圖3]係本發明之一實施形態之機器手所具備之差動裝置之立體圖。 [圖4]係將本發明之一實施形態之機器手所具備之差動裝置安裝於平板時之概略性截面圖。 [圖5]係表示對本發明之一實施形態之機器手所具備之平板之斜率進行調整的情況之概略圖，（A）為調整上述斜率前之圖，（B）為調整上述斜率後之圖。 [圖6]係表示本發明之一實施形態之機器手之第1變形例的概略性截面圖。 [圖7]係表示本發明之一實施形態之機器手之第2變形例的概略性截面圖。 [圖8]係表示本發明之一實施形態之機器手之第3變形例的概略性截面圖。 [圖9]係表示本發明之一實施形態之機器手之第4變形例的概略性截面圖。 [圖10]係表示本發明之一實施形態之固定裝置固定差動螺絲前之情況的概略圖，（A）為沿軸方向之截面圖，（B）為圖10（A）所示之箭頭XB方向之視圖。 [圖11]係表示本發明之一實施形態之固定裝置固定差動螺絲後之情況的概略圖，（A）為沿軸方向之截面圖，（B）為圖11（A）所示之箭頭XIB方向之視圖。
10:機器人
12:基台
20:機械臂
22:第1連桿
24:第2連桿
26:第3連桿
30A:機器手
32:平板
34:基部
35a,35b:前端部
36:可動構件
37a,37b:固定構件
40A:差動裝置
90:機器人控制裝置
C:收容裝置
JT2,JT4,JT6:關節軸
S:基板

Claims (10)

  1. 一種機器手，其係用以保持基板者，其特徵在於：其具備基體；平板，其被規定有用以保持上述基板之保持位置，且其基部安裝於上述基體；及差動螺絲，其中心軸與存放於上述保持位置之上述基板之主面正交，用以將上述平板之基部安裝於上述基體；且上述差動螺絲具有：第1螺絲部，其螺距為第1螺距；第2螺絲部，其螺距為不同於上述第1螺距之第2螺距；及介在構件，其同軸狀地具有螺合於上述第1螺絲部之第3螺絲部及螺合於上述第2螺絲部之第4螺絲部；上述第1螺絲部設置於上述基體，且上述第2螺絲部設置於上述平板之基部。
  2. 如請求項1之機器手，其具備複數根上述差動螺絲，且上述複數根差動螺絲於與存放於上述保持位置之上述基板之主面平行之平面內配置於互不相同之部位。
  3. 如請求項1之機器手，其中上述介在構件設置有用於旋轉操作之操作部。
  4. 如請求項1至3中任一項之機器手，其中上述第1及上述第2螺絲部中之一者為第1母螺絲部，另一者為第1公螺絲部；上述第3及上述第4螺絲部中與上述第1公螺絲部螺合者為第2母螺絲部，與上述第1母螺絲部螺合者為第2公螺絲部；上述介在構件為圓筒狀，於其外壁形成上述第2公螺絲部，於其內壁形成上 述第2母螺絲部。
  5. 如請求項4之機器手，其中於將上述基體及上述平板之中形成有上述第1母螺絲部之構件設為第1母螺絲構件時，於上述第1母螺絲構件形成有，於與上述第1母螺絲部之軸方向正交之平面內與上述第1母螺絲部相交之第1狹縫，上述介在構件為可沿其直徑方向變形之變形構件。
  6. 一種機器人，其特徵在於具備：如請求項1至5中任一項之機器手；及機械臂，其於前端設置上述機器手，且具有至少一個關節軸。
  7. 如請求項6之機器人，其作為水平多關節型機器人而構成。
  8. 一種固定裝置，其係用以固定差動螺絲者，其特徵在於：上述差動螺絲具有第1螺絲部，其螺距為第1螺距；第2螺絲部，其螺距為不同於上述第1螺距之第2螺距；及介在構件，其同軸狀地具有螺合於上述第1螺絲部之第3螺絲部及螺合於上述第2螺絲部之第4螺絲部；且於將形成有上述第1螺絲部之構件設為第1螺絲構件，將形成有上述第2螺絲部之構件設為第2螺絲構件時，上述第1及上述第2螺絲構件之一者為進一步形成有第1狹縫之第1狹縫構件，上述第1狹縫於與形成於上述第1及上述第2螺絲構件之一者之上述第1或上述第2螺絲部之軸正交之平面內與上述第1或上述第2螺絲部相交，於上述第1狹縫構件安裝固定構件，上述固定構件係用以藉由改變上述第1 狹縫之內壁彼此之距離，而消除形成於上述第1狹縫構件之上述第1或上述第2螺絲部與螺合於其之上述第3或上述第4螺絲部之遊隙，上述第1及上述第2螺絲構件之另一者、或上述介在構件為可於其直徑方向上變形之變形構件，藉由於直徑方向上使上述變形構件變形，而消除形成於上述變形構件之上述第1、上述第2、上述第3及上述第4螺絲部中之至少一者與螺合於其之上述第1、上述第2、上述第3及上述第4螺絲部中之至少一者之遊隙。
  9. 如請求項8之固定裝置，其中上述介在構件為上述變形構件，上述固定構件藉由改變上述第1狹縫之內壁彼此之距離，而使上述介在構件沿直徑方向變形。
  10. 如請求項8之固定裝置，其中上述第1及上述第2螺絲構件之另一者為上述變形構件，藉由在上述第1狹縫構件與上述變形構件跨設上述固定構件，而改變上述第1狹縫之內壁彼此之距離，且使上述變形構件沿上述差動螺絲之直徑方向變形。
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