TWI747588B - 基板保持手及基板搬送機器人 - Google Patents

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TWI747588B
TWI747588B TW109138069A TW109138069A TWI747588B TW I747588 B TWI747588 B TW I747588B TW 109138069 A TW109138069 A TW 109138069A TW 109138069 A TW109138069 A TW 109138069A TW I747588 B TWI747588 B TW I747588B
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清水一平
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日商川崎重工業股份有限公司
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Abstract

本發明之基板保持手具備：托板，係包含支撐基板的支撐部；可動推壓單元，係包含用以推壓基板之會進退移動的推壓部；及傾斜調整機構，係可調整推壓構件的傾斜。

Description

基板保持手及基板搬送機器人
本發明係關於基板保持手及基板搬送機器人，且係關於具備可動推壓單元的基板保持手及基板搬送機器人。
以往，已知有具備可動推壓單元的基板保持手。此種手係揭示於例如日本特開2013-69914號公報。
上述日本特開2013-69914號公報中揭示有用以搬送基板的基板搬送用手(基板保持手)。該基板搬送用手係具備可動推壓單元，該可動推壓單元係包含用以推壓基板之會進退移動的推壓部。
再者，雖然未於上述日本特開2013-69914號公報中明確記載，惟可認如上述日本特開2013-69914號公報所記載的習知的基板搬送用手，係以推壓配置在設計位置之基板的方式設有推壓部。
然而，上述習知的基板搬送用手，在藉由推壓部推壓之實際的基板的位置相對於原本設想的設計位置偏移時，難以配合實際的基板的位置而藉由推壓部推壓基板。亦即，存在著難以藉由推壓部(推壓構件)適切地推壓實際的基板之問題點。
本發明之課題(目的)係在於提供一種即使藉由推壓構件推壓之實際的基板的位置相對於原本設想的設計位置偏移時，也能夠藉由推壓構件適切地推壓基板的基板保持手及基板搬送機器人。
本發明之第一觀點所構成的基板保持手，係具備：托板(blade)，係包含支撐基板的支撐部；可動推壓單元，係包含用以推壓基板之會進退移動的推壓構件；及傾斜調整機構，係可調整推壓構件的傾斜。
本發明之第二觀點所構成的基板搬送機器人，係具備：基板保持手；及臂部，係使基板保持手移動；前述基板保持手係具備：托板，係包含支撐基板的支撐部；可動推壓單元，係包含用以推壓基板之會進退移動的推壓構件；及傾斜調整機構，係可調整推壓構件的傾斜。
依據本發明，如以上所述，由於藉由設有可調整推壓構件之傾斜的傾斜調整機構，而能夠配合藉由推壓部推壓之實際的基板的位置，將推壓構件的傾斜調整成適切的傾斜，所以即使藉由推壓部推壓之實際的基板的位置相對於原本設想的設計位置偏移時，也能夠藉由推壓構件適切地推壓基板。
1:基板保持手
2:臂部
2a:第一臂部
2b:第二臂部
5:基座
6:臂部升降機構
31:托板
31a:前端部
31b:基端部
31c:主面
32:可動推壓單元(第一可動推壓單元)
32a,33a:推壓構件
32b:氣壓缸
32c:安裝部
33:可動推壓單元(第二可動推壓單元)
34,35,36,37:傾斜調整機構
34a,35a,36a,37a:傾斜調整銷
34b,35b,36b,37b:鎖固構件
38:可動支撐單元
38a:支撐構件
38b:安裝構件
38c:鎖固構件
38d:氣壓缸
38e:安裝部
38f:安裝構件
38g:鎖固構件
38h:鎖固構件
38i:間隔件部
100:基板搬送機器人
311:支撐部(前支撐部)
312:支撐部(後支撐部)
321:第一安裝構件
321a:第一部分
321b:第二部分
322:第二安裝構件
331:第一安裝構件
331a:第一部分
331b:第二部分
332:第二安裝構件
C1,C2,C3,C4:旋轉軸線
W:基板
Wa:外周緣
圖1係顯示本發明之一實施型態的基板搬送機器人之構成的圖。
圖2係顯示本發明之一實施型態之基板保持手之構成的斜視圖。
圖3係顯示本發明之一實施型態之基板保持手之構成的俯視圖。
圖4係顯示本發明之一實施型態之基板保持手之第一可動推壓單元之構成的俯視圖。
圖5係顯示本發明之一實施型態之基板保持手之第一可動推壓單元之構成的側視圖。
圖6A係用以說明本發明之一實施型態之基板保持手之第一可動推壓單元之推壓構件之於XY平面內之傾斜之調整的圖。
圖6B係用以說明本發明之一實施型態之基板保持手之第一可動推壓單元之推壓構件之於XY平面內之傾斜之調整的圖。
圖7A係用以說明本發明之一實施型態之基板保持手之第一可動推壓單元之推壓構件之於YZ平面內之傾斜之調整的圖。
圖7B係用以說明本發明之一實施型態之基板保持手之第一可動推壓單元之推壓構件之於YZ平面內之傾斜之調整的圖。
圖8係顯示本發明之一實施型態之基板保持手之第二可動推壓單元之構成的俯視圖。
圖9係顯示本發明之一實施型態之基板保持手之第二可動推壓單元之構成的側視圖。
圖10係顯示本發明之一實施型態之基板保持手之可動推壓單元之構成的斜視圖。
圖11係顯示本發明之一實施型態之基板保持手之可動推壓單元之構成的側視圖。
圖12係用以說明本發明之一實施型態之基板保持手之可動推壓單元之支撐構件之更換的圖。
以下根據圖式來說明將本發明具體化之本發明的一實施型態。
參照圖1至圖12來說明本實施型態之基板搬送機器人100的構成。
如圖1所示，基板搬送機器人100係具備：基板保持手1、及使基板保持手1移動的臂部2。如圖2至圖12所示，基板保持手1係包含：包含支撐基板W之支撐部311及312的托板31、包含用以推壓基板(半導體晶圓)W之會進退移動的推壓構件32a(33a)的可動推壓單元32(33)、及可調整推壓構件32a之傾斜的傾斜調整機構34及35(36、37)。
依據本實施型態，如以上所述，藉由設置可調整推壓構件32a(33a)之傾斜的傾斜調整機構34及35(36、37)，由於能夠配合由推壓構件32a(33a)進行推壓之實際的基板W的位置，而將推壓構件32a(33a)的傾斜調整成適切的傾斜，所以即使由推壓構件32a(33a)進行推壓之實際的基板W的位置相對於原本設想的設計位置偏移時，也能夠藉由推壓構件32a(33a)適切地推壓基板W。
基板保持手1係如圖2至圖9所示，具備托板31、可動推壓單元32及33、傾斜調整機構34、35、36及37。
如圖3至圖9所示，傾斜調整機構34(35)係藉由使推壓構 件32a繞著預定的旋轉軸線C1(C2)旋轉，而能夠調整推壓構件32a的傾斜。傾斜調整機構36(37)係藉由使推壓構件33a繞著預定的旋轉軸線C3(C4)旋轉，而能夠調整推壓構件33a的傾斜。此外，在圖6及圖7中，為了容易理解，乃以誇張的方式圖示推壓構件32a之傾斜的調整。
傾斜調整機構34(35)包含將推壓構件32a支撐成可繞著預定的旋轉軸線C1(C2)旋轉的傾斜調整銷34a(35a)，藉由將傾斜調整銷34a(35a)作為旋轉中心而使推壓構件32a繞著預定的旋轉軸線C1(C2)旋轉，能夠調整推壓構件32a的傾斜。傾斜調整機構36(37)包含將推壓構件33a支撐成可繞著預定的旋轉軸線C3(C4)旋轉的傾斜調整銷36a(37a)，藉由將傾斜調整銷36a(37a)作為旋轉中心而使推壓構件33a繞著預定的旋轉軸線C3(C4)旋轉，能夠調整推壓構件33a的傾斜。此外，傾斜調整銷34a及36a為申請專利範圍之「第一傾斜調整銷」的一例。再者，傾斜調整銷35a及37a為申請專利範圍之「第二傾斜調整銷」的一例。
傾斜調整銷34a(36a)係以延伸於與托板31之主面31c垂直的方向(Z方向)的方式設置。傾斜調整機構34(36)藉由將傾斜調整銷34a(36a)作為旋轉中心而使推壓構件32a(33a)繞著朝與托板31之主面31c垂直的方向(Z方向)延伸的旋轉軸線C1(C3)旋轉，而能夠調整於與托板31之主面31c平行的面內(XY面內)之推壓構件32a(33a)的傾斜。
推壓構件32a(33a)係包含一對推壓構件32a(33a)。傾斜調整銷34a(36a)係包含與一對推壓構件32a(33a)對應的一對傾斜調整銷34a(36a)。傾斜調整機構34(36)係藉由將一對傾斜調整銷34a(36a)之各者作為旋轉中心而使一對推壓構件32a(33a)之各者繞著朝與托板31之主面 31c垂直的方向(Z方向)延伸的旋轉軸線C1(C3)旋轉，而能夠以使一對推壓構件32a(33a)於與托板31之主面31c平行的面內(XY面內)相互接近或相互分離的方式，調整於與托板31之主面31c平行的面內(XY面內)之一對推壓構件32a(33a)的傾斜。
傾斜調整銷35a(37a)係設置成朝與托板31之主面31c平行且與可動推壓單元32(33)之進退方向(Y方向)正交的方向(X方向)延伸。傾斜調整機構35(37)係藉由將傾斜調整銷35a(37a)作為旋轉中心而使推壓構件32a(33a)繞著朝與托板31之主面31c平行且與可動推壓單元32(33)之進退方向(Y方向)正交的方向(X方向)延伸的旋轉軸線C2(C4)旋轉，而能夠調整於與托板31之主面31c垂直的面內(YZ面內)之推壓構件32a(33a)的傾斜。
托板31係包含排列於與托板31之主面31c垂直的方向(Z方向)之複數個(四個)托板31。推壓構件32a(33a)係共同地推壓各自配置於複數個托板31的基板W。傾斜調整機構35(37)係藉由將傾斜調整銷35a(37a)作為旋轉中心而使推壓構件32a(33a)繞著朝與托板31之主面31c平行且與可動推壓單元之進退方向(Y方向)正交的方向(X方向)延伸的旋轉軸線C2(C4)旋轉，而能夠以沿著藉由複數個(四個)基板W之各者的外周緣所形成的傾斜的方式，調整於與托板31之主面31c垂直的面內(YZ面內)之推壓構件32a(33a)的傾斜，其中該複數個(四個)基板W係沿著與托板31之主面31c垂直的方向(Z方向)而排列。
如圖3所示，基板保持手1更具備包含用以支撐基板W之會進退移動之支撐構件38a的可動支撐單元38。支撐部311及312係具有 設於托板31之前端部31a側(Y1方向側)的前支撐部311、及設於托板31之基端部31b(Y2方向側)的後支撐部312。可動支撐單元38係與前支撐部311一同支撐基板W。可動推壓單元32及33係包含第一可動推壓單元32及第二可動推壓單元33，該第一可動推壓單元32係用以推壓藉由前支撐部311與可動支撐單元38所支撐之基板W，該第二可動推壓單元33係用以推壓藉由前支撐部311與後支撐部312所支撐之基板W。
從與托板31之主面31c垂直的方向(Z方向)來看，一對推壓構件32a(33a)雖然可相對於朝可動推壓單元32(33)之進退方向(Y方向)延伸的中心線L1配置於對稱的位置，而相對於朝可動推壓單元32(33)之進退方向(Y方向)延伸的中心線L1，在對稱的位置推壓基板W，然而一對推壓構件32a(33a)的配置並不限定於此方式，一對推壓構件32a(33a)只要是在基板W之圓弧上的任意兩個點推壓基板W即可。若一對推壓構件32a(33a)在基板W之圓弧上的任意兩個點推壓基板W，即能夠使向量分散，因此，即使對於基板W緊貼於托板31的情形也可應付(能夠推壓基板W而適切地使其移動)。
如圖10至圖12所示，支撐構件38a係包含複數個(四個)支撐構件38a，該複數個(四個)支撐構件38a係以排列於與托板31之主面31c垂直的方向的方式配置，而分別支撐排列於與托板31之主面31c垂直的方向(Z方向)的複數個(四個)基板。可動支撐單元38係能夠在安裝有複數個(四個)支撐構件38a中之於與托板31之主面31c垂直的方向(Z方向)之端部的支撐構件(第一段或第四段的支撐構件)38a的狀態下，更換中間的支撐構件(第二段或第三段的支撐構件)38a。
可動支撐單元38係更包含供安裝各個支撐構件38a的複數個安裝構件38b。中間的支撐構件(第二段或第三段的支撐構件)38a的安裝構件38b係藉由鎖固構件38c而固定於端部之支撐構件(第一段或第四段的支撐構件)38a的安裝構件38b。可動支撐單元38係藉由拆下鎖固構件38c而將中間的支撐構件(第二段或第三段的支撐構件)38a的安裝構件38b從端部之支撐構件(第一段或第四段的支撐構件)38a的安裝構件38b拆下，藉此，能夠在安裝有端部之支撐構件(第一段或第四段的支撐構件)38a的狀態下，更換中間的支撐構件(第二段或第三段的支撐構件)38a。
如圖1所示，臂部2係水平多關節機器手臂。臂部2係包含第一臂部2a及第二臂部2b。第一臂部2a係構成為能夠以一方端部作為轉動中心而相對於後述的基座5轉動。具體而言，第一臂部2a之一方端部係經由第一關節而可轉動地連接於基座5。第二臂部2b係構成為能夠以一方端部作為轉動中心而相對於第一臂部2a轉動。具體而言，第二臂部2b之一方端部係經由第二關節而可轉動地連接於第一臂部2a的另一方端部。再者，基板保持手1係經由第三關節而可轉動地連接於第二臂部2b之另一方端部。於第一關節、第二關節及第三關節設有驅動機構，該驅動機構係包含：屬於旋轉驅動之驅動源的伺服馬達、檢測伺服馬達之輸出軸之旋轉位置的旋轉位置感測器、及將伺服馬達之輸出傳達至關節的動力傳達機構。
再者，基板搬送機器人100係更具備：供臂部2安裝的基座5、及供基座5安裝的臂部升降機構6。基座5係以一方端部連接於第一臂部2a之一方端部，並且另一方端部連接於臂部升降機構6的方式來構成。臂部升降機構6係以藉由使基座5升降而使臂部2升降的方式來構成。臂 部升降機構6係包含：屬於升降驅動之驅動源的伺服馬達、檢測伺服馬達之輸出軸之旋轉位置的旋轉位置感測器、及將伺服馬達之輸出傳達至基座5(臂部2)的動力傳達機構。
如圖2所示，於基板保持手1設有複數個(四個)托板31。亦即，基板保持手1係以可搬送(可保持)複數個(四個)基板W的方式來構成。
托板31為支撐基板W之薄板狀的支撐板。托板31之前端部31a具有分成二股的形狀。在托板31中，分成二股的部分之各者係分配設置有一對前支撐部311。一對前支撐部311係具有相互設於不同高度之複數個(二個)支撐面。再者，一對後支撐部312具有與設於一對前支撐部311的下側(Z2方向側)之支撐面大致相同高度的支撐面。此外，「高度」係指於與托板31之主面31c垂直的方向(Z方向)中與托板31之主面31c的距離。
一對前支撐部311與一對後支撐部312係設於托板31的主面31c上。一對前支撐部311與一對後支撐部312之各支撐面係以從下側支撐大致圓形狀之基板W之外周緣部之背面(Z2方向側的面)的方式來構成。
如圖2至圖12所示，基板保持手1係具備：第一可動推壓單元32、第二可動推壓單元33、及可動支撐單元38。
如圖4及圖5所示，第一可動推壓單元32係具有：推壓構件32a、作為用以使推壓構件32a朝Y方向進退移動之致動器的氣壓缸32b、供推壓構件32a安裝並且將推壓構件32a與氣壓缸32b予以連接的安裝部32c。第一可動推壓單元32係構成為能夠藉由氣壓缸32b而透過安 裝部32c使推壓構件32a朝Y1方向前進而推壓基板W。再者，第一可動推壓單元32係構成為能夠藉由氣壓缸32b而透過安裝部32c使推壓構件32a朝Y2方向後退，而配置於不推壓基板W的退避位置。
推壓構件32a係包含排列於X方向的一對推壓構件32a。一對推壓構件32a係以能夠將托板31所支撐的複數個基板W一併推壓的方式，沿著與托板31之主面31c垂直的方向(Z方向)延伸設置。氣壓缸32b係具有沿Y方向進行進退動作的桿。氣壓缸32b的桿係連接於安裝部32c的基端部。安裝部32c係具有前端部側(Y1方向側)分成二股的形狀。安裝部32c係於分成二股的部分之各者分配設有一對推壓構件32a。
安裝部32c係具有：各自供安裝推壓構件32a的一對第一安裝構件321、及供安裝一對第一安裝構件321的第二安裝構件322。第一安裝構件321係具有：供安裝推壓構件32a的第一部分321a、及安裝於第二安裝構件322的第二部分321b。第一部分321a係以與推壓構件32a大致相同長度且沿著與托板31之主面31c垂直的方向(Z方向)延伸的方式來設置。再者，推壓構件32a係藉由鎖固構件35b而固定於第一部分321a。
傾斜調整機構35包含鎖固構件35b。傾斜調整機構35係在將鎖固構件35b鬆弛的狀態下，將傾斜調整銷35a作為旋轉中心而使推壓構件32a繞著旋轉軸線C2旋轉，藉此，能夠調整於與托板31之主面31c垂直的面內(YZ方向)之推壓構件32a的傾斜(參照圖7)。再者，傾斜調整機構35係在藉由傾斜調整銷35a調整了於與托板31之主面31c垂直的面內(YZ方向)之推壓構件32a的傾斜的狀態下，藉由鎖緊鎖固構件35b而將推壓構件32a的傾斜予以固定的方式來構成。鎖固構件35b係以沿著與傾 斜調整銷35a延伸的方向平行的方向(X方向)延伸的方式來設置。再者，傾斜調整銷35a係沿X方向插入推壓構件32a及第一安裝構件321的第一部分321a。
第一安裝構件321的第二部分321b係以從第一部分321a朝向氣壓缸32b側(Y2方向側)延伸的方式來設置。再者，第二部分321b係安裝於第二安裝構件322。再者，第二安裝構件322的前端部側(Y1方向側)具有分成二股的形狀。在第二安裝構件322中，第一安裝構件321藉由鎖固構件34b而固定於分成二股之先端部的各者。
傾斜調整機構34包含鎖固構件34b。傾斜調整機構34係在將鎖固構件34b鬆弛的狀態下，將傾斜調整銷34a作為旋轉中心而使第一安裝構件321及推壓構件32a繞著旋轉軸線C1旋轉，藉此，能夠調整於與托板31之主面31c平行的面內(XY面內)之推壓構件32a的傾斜(參照圖6)。再者，傾斜調整機構34係在藉由傾斜調整銷34a調整了於與托板31之主面31c平行的面內(XY面內)之推壓構件32a的傾斜的狀態下，藉由鎖緊鎖固構件34b而將推壓構件32a的傾斜予以固定的方式來構成。鎖固構件34b係以沿著與傾斜調整銷34a延伸的方向平行的方向(Z方向)延伸的方式來設置。再者，傾斜調整銷34a係沿Z方向插入第一安裝構件321的第一部分321a及第二安裝構件322。
如圖8及圖9所示，第二可動推壓單元33係具有：推壓構件33a、用以作為使推壓構件33a朝Y方向進退移動之致動器的氣壓缸33b、及供安裝推壓構件33a並且將推壓構件33a與氣壓缸33b予以連接的安裝部33c。第二可動推壓單元33係構成為能夠藉由氣壓缸33b而透過 安裝部33c使推壓構件33a沿Y1方向前進而推壓基板W。再者，第二可動推壓單元33係構成為能夠藉由氣壓缸33b而透過安裝部33c使推壓構件33a沿Y2方向後退，而配置於不推壓基板W之退避位置。
推壓構件33a係包含沿X方向排列的一對推壓構件33a。一對推壓構件33a係以能夠將托板31所支撐的複數個基板W一併推壓的方式，沿著與托板31之主面31c垂直的方向(Z方向)延伸設置。氣壓缸33b係具有沿Y方向進行進退動作的桿。氣壓缸33b的桿係連接於安裝部33c的基端部。安裝部33c係具有前端部側(Y1方向側)分成二股的形狀。安裝部33c係於分成二股的部分之各者分配設有一對推壓構件33a。
安裝部33c係具有：各自供安裝推壓構件33a的一對第一安裝構件321、及供安裝一對第一安裝構件331的第二安裝構件332。第一安裝構件331係具有：供安裝推壓構件33a的第一部分331a、及安裝於第二安裝構件332的第二部分331b。第一部分331a係以與推壓構件33a大致相同長度且沿著與托板31之主面31c垂直的方向(Z方向)延伸的方式來設置。再者，推壓構件33a藉由鎖固構件37b而固定於第一部分331a。
傾斜調整機構37包含鎖固構件37b。傾斜調整機構37係在將鎖固構件37b鬆弛的狀態下，將傾斜調整銷37a作為旋轉中心而使推壓構件33a繞著旋轉軸線C4旋轉，藉此，能夠調整於與托板31之主面31c垂直的面內(YZ面內)之推壓構件33a的傾斜(參照圖7)。再者，傾斜調整機構37係在藉由傾斜調整銷37a調整了於與托板31之主面31c垂直的面內(YZ面內)之推壓構件33a的傾斜的狀態下，藉由鎖緊鎖固構件37b而將推壓構件33a的傾斜予以固定的方式來構成。鎖固構件37b係以沿著與傾 斜調整銷37a延伸的方向平行的方向(X方向)延伸的方式來設置。再者，傾斜調整銷37a係沿X方向插入推壓構件33a及第一安裝構件331的第一部分331a。
第一安裝構件331的第二部分331b係以從第一部分331a朝向氣壓缸33b側(Y2方向側)延伸的方式來設置。再者，第二部分331b係安裝於第二安裝構件332。再者，第二安裝構件332的前端部側(Y1方向側)具有分成二股的形狀。在第二安裝構件332中，第一安裝構件331藉由鎖固構件36b而固定於分成二股之先端部的各者。
傾斜調整機構36包含鎖固構件36b。傾斜調整機構36係在將鎖固構件36b鬆弛的狀態下，將傾斜調整銷36a作為旋轉中心而使第一安裝構件331及推壓構件33a繞著旋轉軸線C3旋轉，藉此，能夠調整於與托板31之主面31c平行的面內(XY面內)之推壓構件33a的傾斜(參照圖6)。再者，傾斜調整機構36係在藉由傾斜調整銷36a調整了於與托板31之主面31c平行的面內(XY面內)之推壓構件33a的傾斜的狀態下，藉由鎖緊鎖固構件36b而將推壓構件33a的傾斜予以固定的方式來構成。鎖固構件36b係以沿著與傾斜調整銷36a延伸的方向平行的方向(Z方向)延伸的方式來設置。再者，傾斜調整銷36a係沿Z方向插入第一安裝構件331的第二部分331b及第二安裝構件332。
如圖10至圖12所示，可動支撐單元38係具有：支撐構件38a、作為用以使支撐構件38a朝Y方向進退移動之致動器的氣壓缸38d、供支撐構件38a安裝並且將支撐構件38a與氣壓缸38d予以連接的安裝部38e。可動支撐單元38係構成為能夠藉由氣壓缸38d而透過安裝部38e使 支撐構件38a朝Y1方向前進，而能夠配置於支撐基板W之支撐位置。再者，可動支撐單元38係構成為能夠藉由氣壓缸38d而透過安裝部38e使支撐構件38a朝Y2方向後退，而能夠配置於不推壓基板W的退避位置。
支撐構件38a係包含沿X方向排列的一對支撐構件38a。一對支撐構件38a係以與托板31之數量對應的數量(四組)沿著與托板31之主面31c垂直的方向(Z方向)延伸的方式來設置。再者，一對支撐構件38a係具有設成與一對前支撐部311之上側(Z1方向側)之支撐面大致相同的高度的支撐面。一對支撐構件38a之各支撐面係以從下側支撐大致圓形狀之基板W之外周緣部之背面(Z2方向側之面)的方式來構成。氣壓缸38d係具有沿Y方向進行進退動作的桿。氣壓缸38d的桿係連接於安裝部38e的基端部。安裝部38e係具有前端部側(Y1方向側)分成二股的形狀。在安裝部38e中，一對支撐構件38a分配設置於分成二股的部分之各者。
安裝部38e係具有：安裝構件38b、及供安裝構件38b安裝的安裝構件38f。安裝構件38b係具有供支撐構件38a安裝於上表面之托板狀的台座部。安裝構件38b的台座部係以沿可動支撐單元38之進退方向(Y方向)延伸的方式設置。安裝構件38f係具有前端部側(Y1方向側)分開成二股的形狀。在安裝構件38f中，支撐構件38a及安裝構件38b係配設置於分開成二股的前端部分之各者。
上側(Z1方向側)之端部的支撐構件(第一段的支撐構件)38a係透過鎖固構件38g而固定於安裝構件38f。再者，上側(Z1方向側)之中間的支撐構件(第二段的支撐構件)38a係透過上側(Z1方向側)之鎖固構件38c而固定於上側(Z1方向側)之端部的支撐構件(第一段的支撐構件)38a。 鎖固構件38g及上側(Z1方向側)鎖固構件38c的頭部(拆下用的工具(六角扳手等)所要卡合的頭部)係露出於上側(Z1方向側)。
再者，下側(Z2方向側)之端部的支撐構件(第四段的支撐構件)38a係透過鎖固構件38h而固定於間隔件(spacer)部38i。間隔件部38i係透過鎖固構件38h與上側(Z1方向側)之端部的支撐構件(第一段的支撐構件)38a一同固定於安裝構件38f。再者，下側(Z2方向側)之中間的支撐構件(第三段的支撐構件)38a係透過下側(Z2方向側)之鎖固構件38c而固定於下側(Z2方向側)之端部的支撐構件(第四段的支撐構件)38a。鎖固構件38h及下側(Z2方向側)鎖固構件38c的頭部(拆下用的工具(六角扳手等)所要卡合的頭部)係露出於下側(Z2方向側)。
可動支撐單元38於與托板31之主面31c垂直的方向(Z方向)之一方側(Z1方向側、上側)及另一方側(Z2方向側、下側)的兩側，能夠在將端部的支撐構件38a安裝在安裝部38e之本體的狀態下，拆下中間的支撐構件38a。再者，可動支撐單元38係藉由拆下鎖固構件38g而將複數個(四個)安裝構件38b從安裝構件38f拆下，藉此，能夠拆下複數個(四個)支撐構件38a。此外，可動支撐單元38藉由拆下鎖固構件38h而將下側(Z2方向側)之端部的支撐構件38a的安裝構件38b及下側(Z2方向側)之中間的支撐構件38a的安裝構件38b拆下，藉此，能夠拆下下側(Z2方向側)之端部的支撐構件38a及下側(Z2方向側)之中間的支撐構件38a。
再者，在基板保持手1中，一對前支撐部311之上側(Z1方向側)的支撐面、及可動支撐單元38之一對支撐構件38a的支撐面係支撐處理後(洗淨後)的基板W。第一可動推壓單元32之一對推壓構件32a係對 由一對前支撐部311之上側(Z1方向側)的支撐面、及可動支撐單元38之一對支撐構件38a的支撐面所支撐的處理後(洗淨後)的基板W進行推壓。
再者，在基板保持手1中，一對前支撐部311之下側(Z2方向側)的支撐面、及一對後支撐部312的支撐面係支撐處理前(洗淨前)的基板W。第二可動推壓單元33之一對推壓構件33a係對由一對前支撐部311之下側(Z2方向側)的支撐面、及一對後支撐部312的支撐面所支撐的處理前(洗淨前)的基板W進行推壓。一對前支撐部311、一對後支撐部312、可動支撐單元38、第一可動推壓單元32及第二可動推壓單元33係依處理前(洗淨前)的基板W與處理後(洗淨後)的基板W而分別使用。
[本實施型態的功效]
依據本實施型態，可獲得以下所述的功效。
本實施型態係如上述內容，由於藉由設置可調整推壓構件32a(33a)之傾斜的傾斜調整機構34及35(36、37)，能夠配合藉由推壓構件32a(33a)推壓之實際的基板W的位置而將推壓構件32a(33a)的傾斜調整成適切的傾斜，所以即使藉由推壓構件32a(33a)推壓之實際的基板W的位置相對於原本設想的設計位置偏移時，也能夠藉由推壓構件32a(33a)適切地推壓基板W。
再者，本實施型態如上述內容，傾斜調整機構34及35(36、37)係藉由使推壓構件32a(33a)繞著預定的旋轉軸線C1及C2(C3、C4)旋轉，而能夠調整推壓構件32a(33a)的傾斜。藉此，僅以使推壓構件32a(33a)繞著預定的旋轉軸線C1及C2(C3、C4)旋轉，就能夠簡單地將推壓構件32a(33a)的傾斜調整成配合基板W的位置之適切的傾斜。
再者，本實施型態如上述內容，傾斜調整機構34及35(36、37)係包含：將推壓構件32a(33a)支撐成可繞著預定的旋轉軸線C1及C2(C3、C4)旋轉的傾斜調整銷34a及35a(36a、37a)。再者，藉由將傾斜調整銷34a及35a(36a、37a)作為旋轉中心而使推壓構件32a(33a)繞著預定的旋轉軸線C1及C2旋轉，能夠調整推壓構件32a(33a)的傾斜。藉此，由於使用傾斜調整銷34a及35a(36a、37a)而能夠使推壓構件32a(33a)簡單地且確實地繞著預定的旋轉軸線C1及C2(C3、C4)旋轉，所以藉由包含傾斜調整銷34a及35a(36a、37a)的傾斜調整機構34及35(36、37)，能夠簡單地且確實地將推壓構件32a(33a)的傾斜調整成配合基板W之位置之適切的傾斜。
再者，本實施型態如上述內容，傾斜調整銷34a及35a(36a、37a)係包含以沿著與托板31之主面31c垂直的方向延伸的方式所設置的傾斜調整銷34a(36a)。再者，傾斜調整機構34(36)係藉由以傾斜調整銷34a(36a)作為旋轉中心而使推壓構件32a(33a)繞著朝與托板31之主面31c垂直的方向延伸的旋轉軸線C1(C3)旋轉，而能夠調整於與托板31之主面31c平行的面內之推壓構件32a(33a)的傾斜。藉此，由於能夠以適切地對應基板W之外周緣Wa的方式來調整於與托板31之主面31c平行的面內之推壓構件32a(33a)的傾斜，所以能夠抑制：起因於與托板31之主面31c平行的面內之推壓構件32a(33a)的傾斜未適切地對應基板W之外周緣Wa而無法藉由推壓構件32a(33a)適切地推壓基板W的情形。
再者，本實施型態如上述內容，推壓構件32a(33a)係包含一對推壓構件32a(33a)。此外，傾斜調整銷34a(36a)係包含與一對推壓構件 32a(33a)對應的傾斜調整銷34a(36a)。此外，傾斜調整機構34(36)係藉由將一對傾斜調整銷34a(36a)之各者作為旋轉中心而使一對推壓構件32a(33a)之各者繞著朝與托板31之主面31c垂直的方向延伸的旋轉軸線C1(C3)旋轉，而能夠以使一對推壓構件32a(33a)於與托板31之主面31c平行的面內相互接近或相互分離的方式，調整於與托板31之主面31c平行的面內之一對推壓構件32a(33a)的傾斜。藉此，由於能夠以適切地對應基板W之外周緣Wa的方式來容易地調整於與托板31之主面31c平行的面內之推壓構件32a(33a)的傾斜，所以能夠容易地抑制：起因於與托板31之主面31c平行的面內之推壓構件32a(33a)的傾斜未適切地對應基板W之外周緣Wa而無法藉由一對推壓構件32a(33a)適切地推壓基板W的情形。
再者，本實施型態如上述內容，傾斜調整銷34a及35a(36a、37a)係包含傾斜調整銷35a(37a)，該傾斜調整銷35a(37a)係設置成朝與托板31之主面31c平行且與可動推壓單元32(33)之進退方向正交的方向延伸。傾斜調整機構35(37)係以藉由將傾斜調整銷35a(37a)作為旋轉中心而使推壓構件32a(33a)繞著朝與托板31之主面31c平行且與第一可動推壓單元32(33)之進退方向正交的方向延伸的旋轉軸線C2(C4)旋轉，而能夠調整於與托板31之主面31c垂直的面內之推壓構件32a(33a)的傾斜。藉此，由於能夠以適切地對應與托板31之主面31c垂直的面內之基板W的傾斜(相對於水平方向之基板W的傾斜)的方式來調整於與托板31之主面31c垂直的面內之推壓構件32a(33a)的傾斜，所以能夠抑制：起因於未適切對應與托板31之主面31c垂直的面內之基板W的傾斜而無法藉由推壓構件32a(33a)適切地推壓基板W的情形。
再者，本實施型態如上述內容，托板31係包含排列於與托板31之主面31c垂直的方向之複數個托板31。再者，推壓構件32a(33a)係共同地推壓各自配置於複數個托板31的基板W，傾斜調整機構35(37)係藉由將傾斜調整銷35a(37a)作為旋轉中心而使推壓構件32a(33a)繞著朝與托板31之主面31c平行且與可動推壓單元32(33)之進退方向正交的方向延伸的旋轉軸線C2(C4)旋轉，而能夠以沿著藉由複數個基板W之各者的外周緣Wa所形成的傾斜的方式，調整於與托板31之主面31c垂直的面內之推壓構件32a(33a)的傾斜，其中該複數個基板W係沿著與托板31之主面31c垂直的方向而排列。藉此，能夠以適切地對應複數個基板W之各者的外周緣Wa所形成的傾斜的方式來調整於與托板31之主面31c垂直的面內之推壓構件32a(33a)的傾斜，其中該複數個基板W係沿著與托板31之主面31c垂直的方向而排列。結果，能夠抑制：在藉由推壓構件32a(33a)共同地推壓複數個基板W的構成中，起因於與托板31之主面31c垂直的面內之推壓構件32a(33a)的傾斜未適切地對應因複數個基板W之各者的外周緣Wa所形成的傾斜，而無法藉由推壓構件32a(33a)適切地推壓複數個基板W的情形(能夠推壓一方端部的基板W，然而無法推壓另一方端部之基板的情形)，其中該複數個基板W係沿著與托板31之主面31c垂直的方向而排列。
再者，本實施型態如上述內容，基板保持手1更具備用以支撐基板W之會進退移動的可動支撐單元38。再者，支撐部311及312係具有設於托板31之前端部31a側的前支撐部311、及設於托板31之基端部31b的後支撐部312。再者，可動支撐單元38係與前支撐部311一同支 撐基板W，可動推壓單元32及33(32、43)係包含用以推壓藉由前支撐部311與可動支撐單元38所支撐之基板W的第一可動推壓單元32、及用以推壓藉由前支撐部311與後支撐部312所支撐之基板W的第二可動推壓單元33。藉此，藉由一個托板31能夠保持二個(二種類)的基板W。再者，即使基板保持手1包含第一可動推壓單元32及第二可動推壓單元33之二個可動推壓單元時，也能夠將第一可動推壓單元32與第二可動推壓單元33之各者的推壓構件32a(33a)的傾斜調整成適切的傾斜。
再者，本實施型態如上述內容，推壓構件32a(33a)係包含一對推壓構件32a(33a)。再者，從與托板31之主面31c垂直的方向(Z方向)來看，一對推壓構件32a(33a)係相對於朝可動推壓單元32(33)之進退方向延伸的中心線L1配置於對稱的位置。再者，相對於朝可動推壓單元32(33)之進退方向延伸的中心線L1，在對稱的位置推壓基板。藉此，與推壓構件32a(33a)僅以一個推壓構件32a(33a)推壓基板W的情形(以一點推壓基板W的情形)不同，由於藉由一對推壓構件32a(33a)推壓基板(以二個點推壓基板W)而能夠使向量分散，所以，即使對於基板W緊貼於托板31的情形也能夠藉由一對推壓構件32a(33a)推壓基板W而適切地使其移動。
再者，本實施型態如上述內容，基板保持手1更具備包含用以支撐基板W之會進退移動之支撐構件38a的可動支撐單元38。支撐構件38a係包含複數個支撐構件38a，該複數個支撐構件38a係以排列於與托板31之主面31c垂直的方向的方式配置，而分別支撐排列於與托板31之主面31c垂直的方向的複數個基板W。再者，可動支撐單元38係能夠在安裝有複數個支撐構件38a中之於與托板31之主面31c垂直的方向之 端部的支撐構件38a的狀態下，更換中間的支撐構件38a。藉此，由於能夠在安裝有端部的支撐構件38a的狀態下，更換中間的支撐構件38a，所以與必須一併地拆下複數個支撐構件38a的情形相比較，能夠容易地進行中間的支撐構件38a的更換作業。
再者，本實施型態如上述內容，可動支撐單元38係更包含供安裝各個支撐構件38a的複數個安裝構件38b。此外，中間的支撐構件38a的安裝構件38b係經由鎖固構件38c而固定於端部之支撐構件38a的安裝構件38b。再者，可動支撐單元38係藉由拆下鎖固構件38c而將中間的支撐構件38a的安裝構件38b從端部之支撐構件38a的安裝構件38b拆下，藉此，能夠在安裝有端部之支撐構件38a的狀態下，更換中間的支撐構件38a。藉此，由於僅拆下鎖固構件38c就能夠更換中間的支撐構件38a，所以能夠更容易地進行中間的支撐構件38a的更換作業。
[變形例]
此外，應理解以上所揭示的實施型態中，所有的點係為例示而非用以限制本發明者。本發明的範圍係以申請專利範圍來表示而非上述實施型態的說明，且更包含與申請專利範圍均等的意義及範圍內之所有的變更(變形例)。
例如，上述實施型態係表示臂部為水平多關節機器手臂的例子。然而本發明不限定於此例子。例如，臂部也可為垂直多關節機器手臂等水平多關節機器手臂以外的臂部。
再者，上述實施型態中，表示了基板保持手設有複數個托板的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，基板保持手也可為設有一個 托板。
再者，上述實施型態中，表示了基板保持手設有四個托板的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，基板保持手也可為設有四個托板以外的複數個托板。
再者，上述實施型態中，表示了托板具有分成二股之形狀的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，托板也可為具有分成二股之形狀以外的形狀。
再者，上述實施型態中，表示了托板係以能夠以相互不同的高度支撐二個基板的方式來構成的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，托板也可為以能夠僅支撐一個基板(僅能夠以一個高度支撐基板)的方式來構成。
再者，上述實施型態中，表示了設有可動支撐單元的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，也可未設有可動支撐單元。
再者，上述實施型態中，表示了可動支撐單元包含一對支撐構件的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，也可為可動支撐單元包含一個支撐構件。
再者，上述實施型態中，表示了設有第一可動推壓單元與第二可動推壓單元之二個推壓單元的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，也可為僅設有一個可動推壓單元。
再者，上述實施型態中，表示了可動推壓單元包含一對推壓構件的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，也可為可動推壓單元僅包含一個推壓構件。
再者，上述實施型態中，表示了傾斜調整機構包含傾斜調整銷的例子，然而本發明不限定於此例子。例如，也可為傾斜調整機構包含傾斜調整銷以外的傾斜調整螺絲等傾斜調整構造。
再者，上述實施型態中，表示了設有調整於與托板之主面平行的面內之推壓構件之傾斜的傾斜調整機構、及調整於與托板之主面垂直的面內之推壓構件之傾斜的傾斜調整機構之二個傾斜調整機構的例子，然而本發明不限定於此例子。本發明也可為僅設有調整於與托板之主面平行的面內之推壓構件之傾斜的傾斜調整機構、及調整於與托板之主面垂直的面內之推壓構件之傾斜的傾斜調整機構之其中任一傾斜調整機構。
32:可動推壓單元(第一可動推壓單元)
32a:推壓構件
32b:氣壓缸
32c:安裝部
34,35:傾斜調整機構
34a,35a:傾斜調整銷
34b:鎖固構件
321:第一安裝構件
321a:第一部分
322:第二安裝構件
C1,C2:旋轉軸線

Claims (12)

  1. 一種基板保持手，係具備：托板，係包含支撐基板的支撐部；可動推壓單元，係包含用以推壓前述基板之會進退移動的推壓構件；及傾斜調整機構，係包含鎖固構件，前述傾斜調整機構可調整前述推壓構件的傾斜，並在調整了前述推壓構件的傾斜之狀態下藉由前述鎖固構件將前述推壓構件的傾斜固定。
  2. 如請求項1所述之基板保持手，其中，前述傾斜調整機構係藉由使前述推壓構件繞著預定的旋轉軸線旋轉而可調整前述推壓構件的傾斜。
  3. 如請求項2所述之基板保持手，其中，前述傾斜調整機構係包含將前述推壓構件支撐成可繞著前述預定的旋轉軸線旋轉的傾斜調整銷，藉由將前述傾斜調整銷作為旋轉中心而使前述推壓構件繞著前述預定的旋轉軸線旋轉，而能夠調整前述推壓構件的傾斜。
  4. 如請求項3所述之基板保持手，其中，前述傾斜調整銷係包含以沿著與前述托板之主面垂直的方向延伸的方式所設置的第一傾斜調整銷，前述傾斜調整機構係藉由將前述第一傾斜調整銷作為旋轉中心而使前述推壓構件繞著朝與托板之主面垂直的方向延伸的旋轉軸線旋轉，而能夠調整於與前述托板之主面平行的面內之前述推壓構件的傾斜。
  5. 如請求項4所述之基板保持手，其中，前述推壓構件係包含一對推壓構件， 前述第一傾斜調整銷係包含與前述一對推壓構件對應的一對第一傾斜調整銷，前述傾斜調整機構係藉由將前述一對第一傾斜調整銷之各者作為旋轉中心而使前述一對推壓構件之各者繞著朝與前述托板之主面垂直的方向延伸的旋轉軸線旋轉，而能夠以使前述一對推壓構件於與前述托板之主面平行的面內相互接近或相互分離的方式，調整於與前述托板之主面平行的面內之前述一對推壓構件的傾斜。
  6. 如請求項3所述之基板保持手，其中，前述傾斜調整銷係包含第二傾斜調整銷，該第二傾斜調整銷係設置成朝與前述托板之主面平行且與前述可動推壓單元之進退方向正交的方向延伸，前述傾斜調整機構係藉由將前述第二傾斜調整銷作為旋轉中心而使前述推壓構件繞著朝與前述托板之主面平行且與前述可動推壓單元之進退方向正交的方向延伸的旋轉軸線旋轉，而能夠調整於與前述托板之主面垂直的面內之前述推壓構件的傾斜。
  7. 如請求項6所述之基板保持手，其中，前述托板係包含排列於與前述托板之主面垂直的方向之複數個前述托板，前述推壓構件係共同地推壓各自配置於前述複數個托板的前述基板，前述傾斜調整機構係藉由將前述第二傾斜調整銷作為旋轉中心而使前述推壓構件繞著朝與前述托板之主面平行且與前述可動推壓單元之進退方向正交的方向延伸的旋轉軸線旋轉，而能夠以沿著藉由複數個前述基板之各者的外周緣所形成的傾斜的方式，調整於與前述托板之主面垂直的面內 之前述推壓構件的傾斜，其中複數個前述基板係沿著與前述托板之主面垂直的方向而排列。
  8. 如請求項1所述之基板保持手，更具備：用以支撐前述基板之會進退移動的可動支撐單元；前述支撐部係具有設於前述托板之前端部側的前支撐部、及設於前述托板之基端部的後支撐部，前述可動支撐單元係與前述前支撐部一同支撐前述基板，前述可動推壓單元係包含第一可動推壓單元及第二可動推壓單元，該第一可動推壓單元係用以推壓藉由前述前支撐部與前述可動支撐單元所支撐之前述基板，該第二可動推壓單元係用以推壓藉由前述前支撐部與前述後支撐部所支撐之前述基板。
  9. 如請求項1所述之基板保持手，其中，前述推壓構件係包含一對推壓構件，從與托板之主面垂直的方向來看，前述一對推壓構件係相對於朝前述可動推壓單元之進退方向延伸的中心線配置於對稱的位置，而相對於朝前述可動推壓單元之進退方向延伸的中心線，在對稱的位置推壓前述基板。
  10. 如請求項1所述之基板保持手，更具備：可動支撐單元，係包含用以支撐前述基板之會進退移動的支撐構件；前述支撐構件係包含複數個前述支撐構件，該等複數個前述支撐構件係以排列於與前述托板之主面垂直的方向的方式配置，而分別支撐排列於與前述托板之主面垂直的方向的複數個前述基板， 前述可動支撐單元係能夠在安裝有前述複數個支撐構件中之於與前述托板之主面垂直的方向之端部的前述支撐構件的狀態下，更換中間的前述支撐構件。
  11. 如請求項10所述之基板保持手，其中，前述可動支撐單元係更包含供安裝各個前述支撐構件的複數個安裝構件，前述中間的支撐構件的安裝構件係藉由鎖固構件而固定於前述端部之支撐構件的安裝構件，前述可動支撐單元係藉由拆下前述鎖固構件而將前述中間的支撐構件的安裝構件從前述端部之支撐構件的安裝構件拆下，藉此，能夠在安裝有前述端部之支撐構件的狀態下，更換前述中間的支撐構件。
  12. 一種基板搬送機器人，係具備：基板保持手；及臂部，係使前述基板保持手移動；前述基板保持手係包含：托板，係包含支撐基板的支撐部；可動推壓單元，係包含用以推壓前述基板之會進退移動的推壓構件；及傾斜調整機構，係包含鎖固構件，前述傾斜調整機構可調整前述推壓構件的傾斜，並在調整了前述推壓構件的傾斜之狀態下藉由前述鎖固構件將前述推壓構件的傾斜固定。
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