JP2005229122A - 移送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明による移送装置は、ベース10上に設けられるエアーベアリング20と;エアーベアリング20の上側に結合され、中央領域にはエアーベアリング20をベース10面に対して自由に回動可能にするフレキシャヒンジ(flexure hinge)構造の支持部32が設けられている連結部材30と;連結部材30の支持部32に支持されて、ベース10面に対して平衡を維持した状態で移動するキャリア(carrier)40とを含んで構成される。これにより、キャリアがエアーベアリングの傾動に全く影響を受けないことによって移送装置の精密度及び信頼度を向上させることができる。
【選択図】 図3
Description
20 エアーベアリング
21 空気吸入口
22 安着部
23 干渉防止部
24,35 スクリューホール
30 連結部材
32 支持部
36 結合突起
40,50 キャリア
46 結合ホール
60 アクチュエータ
70 第1フレキシャヒンジ
80 第2フレキシャヒンジ
Claims (9)
- ベース面に沿ってスライディング移動可能に設置される移送装置において、
前記ベース上に設けられるエアーベアリングと、
前記エアーベアリングの上側に結合され、中央領域には前記エアーベアリングを前記ベース面に対して自由に回転可能にするフレキシャヒンジ構造の支持部が設けられている連結部材と、
前記連結部材の支持部に支持され、前記ベース面に対して平衡を維持した状態でスライディング移動するキャリアと、
を含むことを特徴とする移送装置。 - 前記連結部材の支持部は二重フレキシャヒンジ構造を有し、同一平面上に同心に配置される第1支持部及び第2支持部を含むことを特徴とする請求項1に記載の移送装置。
- 前記連結部材の支持部及び前記キャリアのうちのいずれか一つには結合突起が形成され、他の一つには前記結合突起と対応結合する結合ホールが形成されていることを特徴とする請求項1に記載の移送装置。
- 前記エアーベアリングには前記連結部材が安着する安着部が設けられ、
前記安着部には前記エアーベアリングが前記連結部材の支持部と相互干渉せず回転動作することができるように干渉防止溝が形成されていることを特徴とする請求項3に記載の移送装置。 - 前記連結部材の支持部及び前記キャリアのうちのいずれか一つには結合突起が形成され、他の一つには前記結合突起と対応結合する結合ホールが形成されていることを特徴とする請求項2に記載の移送装置。
- 前記エアーベアリングには前記連結部材が安着する安着部が設けられ、
前記安着部には前記エアーベアリングが前記連結部材の支持部と相互干渉せず回転動作することができるように干渉防止溝が形成されていることを特徴とする請求項5に記載の移送装置。 - 前記エアーベアリングはバキュームプレロードタイプであることを特徴とする請求項1に記載の移送装置。
- 前記エアーベアリングはバキュームプレロードタイプであることを特徴とする請求項2に記載の移送装置。
- 前記キャリアと連結されて、前記キャリアをスライディング移動させるアクチュエータをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の移送装置。
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