JP2019150912A - 駆動装置、駆動装置の駆動方法、ハンド、ロボットおよび搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】被駆動部の不本意な変位を抑制することのできる駆動装置、駆動装置の駆動方法、ハンド、ロボットおよび搬送装置を提供すること。【解決手段】駆動装置は、第1部材と、前記第1部材に対して変位可能に接続されている第2部材と、モーターと、前記モーターからの駆動力を前記第2部材に伝達する伝達機構と、を有し、前記駆動力が前記伝達機構を介して前記第2部材に伝達されることにより前記第2部材が前記第1部材に対して変位するように構成され、前記伝達機構は、前記モーター側から前記第2部材側に力を伝える伝達効率をE1とし、前記第2部材側から前記モーター側に力を伝える伝達効率をE2としたとき、E1>E2の関係を満足するように構成されている。【選択図】図2
Description
本発明は、駆動装置、駆動装置の駆動方法、ハンド、ロボットおよび搬送装置に関するものである。
特許文献1には、基台と、基台に対して回転可能に接続されたリンク機構と、リンク機構に対して回転可能に接続されたアーム部と、アーム部に接続されたハンド部と、を有する多関節ロボットが記載されている。また、基台に対するリンク機構の回転およびリンク機構に対するアーム部の回転は、それぞれ、モーターの駆動により行われる。
このような構成の多関節ロボットでは、例えば、作業中にハンド部に加わる力によって、基台に対してリンク機構が不本意に回転したり、リンク機構に対してアーム部が不本意に回転したりするおそれがあり、ハンド部の位置精度が低下するという課題があった。
本発明の適用例に係る駆動装置は、第1部材と、
前記第1部材に対して変位可能に接続されている第2部材と、
モーターと、
前記モーターからの駆動力を前記第2部材に伝達する伝達機構と、を有し、
前記駆動力が前記伝達機構を介して前記第2部材に伝達されることにより前記第2部材が前記第1部材に対して変位するように構成され、
前記伝達機構は、前記モーター側から前記第2部材側に力を伝える伝達効率をE1とし、前記第2部材側から前記モーター側に力を伝える伝達効率をE2としたとき、E1>E2の関係を満足するように構成されていることを特徴とする。
前記第1部材に対して変位可能に接続されている第2部材と、
モーターと、
前記モーターからの駆動力を前記第2部材に伝達する伝達機構と、を有し、
前記駆動力が前記伝達機構を介して前記第2部材に伝達されることにより前記第2部材が前記第1部材に対して変位するように構成され、
前記伝達機構は、前記モーター側から前記第2部材側に力を伝える伝達効率をE1とし、前記第2部材側から前記モーター側に力を伝える伝達効率をE2としたとき、E1>E2の関係を満足するように構成されていることを特徴とする。
以下、本発明の駆動装置、駆動装置の駆動方法、ハンド、ロボットおよび搬送装置を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
<第1実施形態>
まず、本発明の第1実施形態に係る駆動装置およびハンドについて説明する。
まず、本発明の第1実施形態に係る駆動装置およびハンドについて説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。図2は、図1の駆動装置が有する第1駆動ユニットを示す平面図である。図3は、図2中のA−A線断面図である。図4は、図2の第1駆動ユニットが有するモーターを示す平面図である。図5は、図4のモーターが有する圧電モジュールを示す斜視図である。図6は、図5の圧電モジュールが有する圧電アクチュエーターを示す平面図である。
なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する3つの軸をX軸、Y軸およびZ軸とし、X軸に平行な方向を「X軸方向」、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」、Z軸に平行な方向を「Z軸方向」とも言う。また、各軸の矢印方向先端側を「プラス側」とも言い、反対側を「マイナス側」とも言う。
図1に示す駆動装置1は、対象物Wを把持することのできるハンド10として適用されている。駆動装置1(ハンド10)は、基部2(第1部材)と、基部2に対して変位可能な被駆動部3(第2部材)と、被駆動部3を基部2に対して変位させるためのモーター4と、モーター4の駆動力を被駆動部3に伝達する伝達機構5と、を有する。駆動装置1(ハンド10)では、モーター4の駆動力が伝達機構5を介して被駆動部3に伝達されることにより被駆動部3が基部2に対して変位する。また、伝達機構5は、モーター4からの駆動力を被駆動部3に伝える伝達効率をE1とし、被駆動部3に加わる力をモーター4に伝える伝達効率をE2としたとき、E1>E2の関係を満足するように設計されている。E1>E2の関係を満足することにより、被駆動部3に加わる力(以下、単に「外力」ともいう)による被駆動部3の意図しない変位を抑制することができる。そのため、駆動装置1によれば、被駆動部3の位置精度を効果的に高めることができる。以下、このような駆動装置1について詳細に説明する。
図1に示すように、伝達機構5は、X軸方向に並び、対称的に配置された伝達機構51と伝達機構52とを有する。また、被駆動部3は、X軸方向に並び、対称的に配置された指部31と指部32とを有する。そして、指部31が伝達機構51に接続され、指部32が伝達機構52に接続されている。また、モーター4は、モーター41と、モーター42とを有する。そして、モーター41が伝達機構51に接続され、モーター42が伝達機構52に接続されている。モーター41が駆動すると、その駆動力が伝達機構51を介して指部31に伝わり、指部31がX軸方向に変位する。同様に、モーター42が駆動すると、その駆動力が伝達機構52を介して指部32に伝わり、指部32がX軸方向に変位する。駆動装置1(ハンド10)は、指部31、32をX軸方向に接近・離間させることにより、対象物Wを把持したり、リリースしたりすることができる。
このように、駆動装置1(ハンド10)は、伝達機構51、指部31およびモーター41からなる第1駆動ユニット6Aと、伝達機構52、指部32およびモーター42からなる第2駆動ユニット6Bと、を有する。第1駆動ユニット6Aおよび第2駆動ユニット6Bは、互いに同様の構成であるため、以下では、説明の便宜上、第1駆動ユニット6Aについて代表して説明し、第2駆動ユニット6Bについては、その説明を省略する。
図2および図3に示すように、伝達機構51は、基部11に対してY軸方向にスライド可能なY軸スライド部511(第1伝達部)と、基部11に対してX軸方向にスライド可能なX軸スライド部512(第2伝達部)と、を有する。Y軸スライド部511は、スライドガイド510を介して基部11に支持されることにより、Y軸方向にスライド可能となっている。また、X軸スライド部512は、スライドガイド510を介して基部11に支持されることにより、X軸方向にスライド可能となっている。また、Y軸スライド部511は、X軸およびY軸の両軸に対して傾斜した方向に延在する長孔で構成されたガイド部511aを有する。このようなY軸スライド部511に対して、X軸スライド部512は、ガイド部511a内に挿入され、ガイド部511aと係合する突起(凸部)で構成された係合部512aを有する。そのため、Y軸スライド部511がY軸方向にスライドすれば、それに伴ってX軸スライド部512がX軸方向にスライドする。このような構成によれば、簡単な構成の伝達機構51となる。
また、図2に示すように、Y軸スライド部511にはモーター41が接続され、モーター41の駆動によってY軸スライド部511がY軸方向にスライドする。一方、X軸スライド部512には指部31が固定され、X軸スライド部512がX軸方向にスライドすると、それと共に指部31がX軸方向にスライドする。そのため、モーター41を駆動すると、Y軸スライド部511がY軸方向にスライドし、それに伴って、X軸スライド部512が指部31と共にX軸方向にスライドする。
なお、伝達機構51の構成としては、これに限定されず、例えば、本実施形態とは逆に、X軸スライド部512にガイド部511aが設けられ、Y軸スライド部511に係合部512aが設けられていてもよい。また、本実施形態では、ガイド部511aが貫通孔で構成されているが、これに限定されず、有底の溝で構成されていてもよい。
モーター41としては、Y軸スライド部511をY軸方向にスライドさせることができれば、特に限定されないが、本実施形態では圧電モーター(超音波モーター)を用いている。モーター41として圧電モーターを用いることにより、モーター41の小型化を図ることができる。
図4に示すように、モーター41は、基部11に固定されY軸スライド部511に押し付けられた圧電モジュール44を有する。このようなモーター41では、圧電モジュール44を駆動(振動)させることにより、Y軸スライド部511が基部11に対してY軸方向にスライドする。一方、圧電モジュール44の駆動(振動)が停止しているときは、圧電モジュール44がY軸スライド部511に押し付けられた状態となり、これらの間に生じる摩擦力によってY軸スライド部511が基部11に対して固定される。モーター41として圧電モーターを用いることにより、モーター41の駆動を停止しているときは指部31の意図しない変位を抑制でき、指部31を所定の位置に固定することができる。そのため、例えば、指部31を固定するためのブレーキ機構等を別途搭載する必要がなく、駆動装置1の構成が簡単なものとなる。また、駆動装置1の小型化および低コスト化を図ることもできる。
図5に示すように、圧電モジュール44は、複数の圧電アクチュエーター45が積層してなる積層体450と、積層体450をY軸スライド部511に向けて付勢する付勢部46と、を有する。また、図6に示すように、圧電アクチュエーター45は、振動部451と、振動部451を支持する支持部452と、振動部451と支持部452とを接続する一対の接続部453と、振動部451の先端部に設けられ、Y軸スライド部511に振動部451の駆動力を伝達する伝達部454と、を有する。
振動部451には5つの圧電素子451a、451b、451c、451d、451eが設けられており、これら各圧電素子451a、451b、451c、451d、451eに所定の駆動信号を印加することにより、振動部451が振動し(伝達部454が楕円運動し)、Y軸スライド部511が基部11に対してスライドする。
以上、モーター41について説明したが、モーター41の構成としては、これに限定されない。例えば、圧電モジュール44の数が2以上であってもよいし、積層体450が有する圧電アクチュエーター45の数が1〜3または4以上であってもよい。また、モーター41としては、圧電モーターではなく、電磁モーターを用いてもよい。
以上、駆動装置1(ハンド10)の構成について簡単に説明した。このような駆動装置1(ハンド10)では、Y軸スライド部511に形成されたガイド部511aのリード角γ(ガイド部511aの延在方向とY軸とのなす角)を調整することにより、Y軸スライド部511とX軸スライド部512との減速比Rを調整することができる。なお、Y軸スライド部511のY軸方向への移動距離をRyとし、そのときのX軸スライド部512のX軸方向への移動距離をRxとしたとき、減速比Rは、Ry/Rxで表すことができる。例えば、リード角γ=45°とすれば減速比R=1となり、リード角γ<45°とすれば減速比R>1となり、リード角γ>45°とすれば減速比R<1となる。
そして、本実施形態では、リード角γ≦45°に設定されており、減速比R≧1となっている。このような関係を満足することで、モーター41を最大駆動力で駆動している状態で、指部31側からそれよりも大きな逆の駆動力を与えられても、指部31の位置を保持することができる。すなわち、指部31に加わる外力によっては指部31がX軸方向にスライドし難くなり、指部31の不本意な(意図しない)変位を効果的に抑制することができる。そのため、指部31の位置精度が向上する。
なお、減速比Rとしては、さらに、減速比R>2であることが好ましく、減速比R>2.5であることがさらに好ましく、減速比R>3.0であることがより好ましい。例えば、駆動装置1(ハンド10)がロボットに装着されているような場合、駆動装置1は、静止状態に加わる負荷に抗した上で、1G程度の加速度にも耐えなければならない。そこで、減速比R>2、好ましくは減速比R>2.5、さらに好ましくは減速比R>3.0とすることにより、1G程度の加速度にも十分耐えられる設計となる。
なお、減速比Rの上限(リード角γの下限)としては、特に限定されないが、例えば、減速比R≦10(γ≧5°)であることが好ましい。これにより、指部31の移動速度が過度に遅くなってしまうことを抑制することができる。例えば、一般的なモーター41の駆動速度は、200mm/sec程度であるが、指部31、32の開閉速度として20mm/sec以上の速度が望ましい。このような場合には、減速比R≦10とすることにより、より確実に、指部31、32の開閉速度を20mm/sec以上とすることができる。
また、伝達機構51は、モーター41側から指部31側に力を伝達する伝達効率をE1とし、指部31側からモーター41側に力を伝達する伝達効率をE2としたとき、E1>E2の関係を満足する。別の言い方をすると、所定の力FでY軸スライド部511をY軸方向にスライドさせたときに、X軸スライド部512をX軸方向にスライドさせる力をF1とし、力FでX軸スライド部512をX軸方向にスライドさせたときに、Y軸スライド部511をY軸方向にスライドさせる力をF2としたとき、F1>F2の関係を満足する。このような関係を満足することにより、指部31に加わる外力によっては指部31がX軸方向にスライドし難くなり、指部31の保持力が高まるため、指部31の不本意な(意図しない)変位を効果的に抑制することができる。そのため、指部31の位置精度が向上する。
なお、E1>E2は、E1>E2の関係を満足していれば特に限定されないが、さらには、E1/E2>1.3の関係を満足していることが好ましく、E1/E2>1.6の関係を満足していることがより好ましく、E1/E2>2.0の関係を満足していることがさらに好ましい。このような関係を満足することにより、指部31に加わる外力によっては指部31がさらにX軸方向にスライドし難くなり、指部31の不本意な(意図しない)変位をより効果的に抑制することができる。そのため、指部31の位置精度がより向上する。
また、伝達効率E1としては、特に限定されないが、例えば、50%以上であることが好ましく、60%以上であることがより好ましい。これにより、モーター41によって、指部31をスムーズにスライドさせることができる。一方、伝達効率E2としては、特に限定されないが、例えば、50%以下であることが好ましく、40%以下であることがより好ましい。これにより、より確実に、E1>E2の関係を満足することができる。
以上、駆動装置1(ハンド10)について説明した。このような駆動装置1(ハンド10)は、前述したように、基部11(第1部材)と、基部11に対して変位可能に接続されている被駆動部3(第2部材)と、モーター4と、モーター4からの駆動力を被駆動部3に伝達する伝達機構5と、を有する。そして、モーター4の駆動力が伝達機構5を介して被駆動部3に伝達されることにより被駆動部3が基部11に対して変位するように構成されている。さらに、伝達機構5は、モーター4側から被駆動部3側に力を伝える伝達効率をE1とし、被駆動部3側からモーター4側に力を伝える伝達効率をE2としたとき、E1>E2の関係を満足するように構成されている。E1>E2の関係を満足することにより、被駆動部3に加わる外力によっては被駆動部3が基部11に対して変位し難くなり、被駆動部3の保持力が高まるため、被駆動部3の不本意な(意図しない)変位を効果的に抑制することができる。そのため、被駆動部3の位置精度が向上する。
また、前述したように、伝達機構5は、減速比Rが1以上である。すなわち、減速比R≧1の関係を満足する。減速比R≧1の関係を満足することにより、モーター4を最大駆動力で駆動している状態で、被駆動部3側からそれよりも大きな逆の駆動力を与えられても、被駆動部3の位置を保持することができる。すなわち、被駆動部3に加わる外力によっては被駆動部3が変位し難くなり、被駆動部3の不本意な(意図しない)変位を効果的に抑制することができる。そのため、被駆動部3の位置精度が向上する。
また、前述したように、伝達機構5は、E1/E2>1.3の関係を満足していることが好ましい。このような関係を満足することで、被駆動部3に加わる外力によっては被駆動部3がさらにX軸方向にスライドし難くなり、被駆動部3の不本意な(意図しない)変位をより効果的に抑制することができる。そのため、被駆動部3の位置精度がより向上する。
また、前述したように、モーター4は、圧電モーターである。これにより、モーター4の小型化を図ることができる。また、圧電モーターによれば、駆動を停止しているときは被駆動部3を保持することができる。そのため、被駆動部3の不本意な(意図しない)変位を効果的に抑制することができる。
また、前述したように、伝達機構5は、基部11に対してY軸方向(第1方向)に変位可能なY軸スライド部511(第1伝達部)と、基部11に対してY軸方向と交差するX軸方向(第2方向)に変位可能なX軸スライド部512(第2伝達部)と、Y軸スライド部511およびX軸スライド部512の一方(本実施形態ではY軸スライド部511)に設けられ、Y軸方向およびX軸方向のそれぞれに対して傾斜した方向に延在するガイド部511aと、Y軸スライド部511およびX軸スライド部512の他方(本実施形態ではX軸スライド部512)に設けられ、ガイド部511aと係合する係合部512aと、を有する。そして、Y軸スライド部511がモーター4と接続され、X軸スライド部512が被駆動部3と接続され、モーター4の駆動力によってY軸スライド部511がY軸方向に変位すると、X軸スライド部512がX軸方向に変位する。これにより、伝達機構5の構成が簡単なものとなる。
なお、駆動装置1(ハンド10)としては、上述した本実施形態の構成に限定されない。例えば、本実施形態の駆動装置1は、第1駆動ユニット6Aおよび第2駆動ユニット6Bを有しているが、これらのうちの一方を省略してもよい。また、これらと同じ構成の駆動ユニットを1つ以上追加してもよい。
<第2実施形態>
次に、本発明の第2実施形態に係る駆動装置およびハンドについて説明する。
次に、本発明の第2実施形態に係る駆動装置およびハンドについて説明する。
図7は、本発明の第2実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
本実施形態に係る駆動装置1(ハンド10)は、伝達機構5の構成が異なること以外は、前述した第1実施形態の駆動装置1(ハンド10)と同様である。以下の説明では、第2実施形態の駆動装置1(ハンド10)に関し、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図7では、前述した第1実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。また、本実施形態では、第1駆動ユニット6Aおよび第2駆動ユニット6Bの構成が同様であるため、以下では、第1駆動ユニット6Aについて代表して説明し、第2駆動ユニット6Bについては、その説明を省略する。
図7に示すように、伝達機構51は、ウォームギア構造となっており、基部11に対してZ軸まわりに回転可能なウォームホイール513(歯車)と、ウォームホイール513に噛合し、基部11に対してX軸まわりに回転可能なウォーム514(ねじ)と、を有する。そして、ウォーム514にモーター41が接続され、ウォームホイール513に指部31が固定されている。このような構成では、モーター41の駆動によってウォーム514が回動すると、それに伴って、ウォームホイール513が指部31と共にZ軸まわりに回動する。
このように、伝達機構51をウォームギア構造とすることにより、バックラッシを小さくすることができ、指部31のがたつきを抑えることができる。また、伝達機構51をウォームギア構造とすることにより、例えば、ウォーム514のリード角γ(進み角)を小さくすることにより、セルフロック機能が発現し、ウォームホイール513側からウォーム514側への回転の伝達が非常に困難になる。そのため、E1>E2の関係を容易に満足することができる。特に、本実施形態では、伝達効率E2=0である。すなわち、ウォーム514のリード角γを十分に小さくし、ハンド10の作業中に生じると想定される指部31側からウォームホイール513に加わる力(トルク)の最大値においては、ウォーム514が回転しないようになっている(がたつきによる変位は除く)。これにより、指部31の不本意な(意図しない)変位を効果的に抑制することができる。そのため、指部31の位置精度が向上する。
本実施形態では、モーター41として、回転型の圧電モーターを用いている。モーター41は、ウォーム514の基端部に固定された円盤状のローター49と、基部11に固定されローター49に押し付けられた圧電モジュール44と、を有する。このようなモーター41では、圧電モジュール44を駆動させることによりローター49が回転し、それに伴ってウォーム514が回転する。一方、圧電モジュール44の駆動が停止しているときは、圧電モジュール44がローター49に押し付けられた状態となり、これらの間に生じる摩擦力によってローター49と共にウォーム514が基部11に対して固定される。
なお、本実施形態において、減速比Rの上限としては、特に限定されないが、例えば、減速比R≦50であることが好ましい。これにより、指部31の移動速度が過度に遅くなってしまうことを抑制することができる。例えば、一般的なモーター41では、ローター49の回転速度が10rps程度であるが、指部31、32の開閉速度として0.2rps以上が望ましい。このような場合には、減速比R≦50とすることにより、より確実に、指部31、32の開閉速度を0.2rps以上とすることができる。
ここで、本実施形態における伝達効率E1(駆動効率)は、E1=tanγ/tan(γ+ρ)で表される。なお、γは、リード角であり、減速比Rであるtan(90°−γ°)に対応している。また、ρは、摩擦角であり、ρ=tan−1(μ)で表される。なお、μは、駆動方向における従動方向荷重に対する摩擦係数である。一方、伝達効率E2(駆動効率)は、E2=tan(γ−ρ)/tanγで表される。そのため、γとρを選択することにより、E1>E2を実現することができ、駆動力よりも大きな保持力が得られる。さらには、γ≦ρの場合、伝達効率E2は0か負になるためウォームホィール513からウォーム514を回転することができない(セルフロック)ので一層大きな保持力が得られる。
以上、第2実施形態の駆動装置1について説明した。このような駆動装置1では、前述したように、伝達効率E2=0である。これにより、指部31の不本意な(意図しない)変位を効果的に抑制することができる。そのため、指部31の位置精度が向上する。
このような第2実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
<第3実施形態>
次に、本発明の第3実施形態に係る駆動装置およびハンドについて説明する。
次に、本発明の第3実施形態に係る駆動装置およびハンドについて説明する。
図8は、本発明の第3実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
本実施形態に係る駆動装置1(ハンド10)は、指部31、32の構成が異なること以外は、前述した第2実施形態の駆動装置1(ハンド10)と同様である。以下の説明では、第3実施形態の駆動装置1(ハンド10)に関し、前述した第2実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図8では、前述した第2実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。また、本実施形態では、第1駆動ユニット6Aおよび第2駆動ユニット6Bの構成が同様であるため、以下では、第1駆動ユニット6Aについて代表して説明し、第2駆動ユニット6Bについては、その説明を省略する。
図8に示すように、指部31は、ウォームホイール513に固定されている基端部311と、基端部311の先端部に、基端部311に対して回動可能に設けられたローター312と、ローター312に固定された先端部313と、を有する。また、基端部311には、ローター312を回動させるためのモーター71が設けられている。モーター71は、前述した圧電モジュール44と同様の構成の圧電モジュール74を備え、圧電モジュール74がローター312の外周に押し付けられている。このような構成の指部31によれば、先端部313を基端部311に対して回動させることができるため、対象物を把持し易くなる。
このような構成では、モーター41がモーター71に比べて指部31の先端までの長さが長いので、対象物を把持する際に大きなトルクを必要とする。そこで、伝達機構51を設けて伝達効率E2を低くすることにより、対象物を把持する際に必要なトルクが小さく済む。そのため、駆動装置1の小型化や低電力化を図ることができる。
このような第3実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
<第4実施形態>
次に、本発明の第4実施形態に係る駆動装置およびハンドについて説明する。
次に、本発明の第4実施形態に係る駆動装置およびハンドについて説明する。
図9は、本発明の第4実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
本実施形態に係る駆動装置1(ハンド10)は、伝達機構5の構成が異なること以外は、前述した第1実施形態の駆動装置1(ハンド10)と同様である。以下の説明では、第4実施形態の駆動装置1(ハンド10)に関し、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図9では、前述した第1実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。また、本実施形態では、第1駆動ユニット6Aおよび第2駆動ユニット6Bの構成が同様であるため、以下では、第1駆動ユニット6Aについて代表して説明し、第2駆動ユニット6Bについては、その説明を省略する。
図9に示すように、伝達機構51は、基部11に対してZ軸まわりに回転可能な歯車515と、歯車515に噛合し、基部11に対してZ軸まわりに回転可能な歯車516と、を有する。また、歯車516の径は、歯車515の径よりも小さい。そして、歯車516にモーター41が接続され、歯車515に指部31が固定されている。このような構成では、モーター41の駆動によって歯車516が回動すると、それに伴って、歯車515が指部31と共にZ軸まわりに回動する。例えば、歯車515、516がインボリュート歯車の場合には、すべり率を調整することにより、E1>E2の関係を満足することができ、歯車515、516がサイクロイド歯車の場合には、圧力角を調整することにより、E1>E2の関係を満足することができる。
本実施形態では、モーター41として、回転型の圧電モーターを用いている。モーター41は、歯車516に同軸的に固定された円盤状のローター49と、基部11に固定されローター49に押し付けられた圧電モジュール44と、を有する。このようなモーター41では、圧電モジュール44を駆動(振動)させることによりローター49が回転し、それに伴って歯車516が回転する。一方、圧電モジュール44の駆動(振動)が停止しているときは、圧電モジュール44がローター49に押し付けられた状態となり、これらの間に生じる摩擦力によってローター49と共に歯車516が基部11に対して固定される。
このような第4実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。なお、歯車516および歯車515として、不可逆回転歯形を有する歯車を用い、歯車515側から歯車516側への回転の伝達が困難となるように設計してもよい。
<第5実施形態>
次に、本発明の第5実施形態に係る駆動装置について説明する。
次に、本発明の第5実施形態に係る駆動装置について説明する。
図10は、本発明の第5実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
図10に示す駆動装置100は、基部110(第1部材)と、基部110に回動可能に接続された第1アーム120(第2部材)と、第1アーム120に回動可能に接続された第2アーム130(第3部材)と、第2アーム130の先端部に接続されたハンド10と、基部110に対して第1アーム120を回動させる第1モーター140と、第1アーム120に対して第2アーム130を変位させる第2モーター150と、第1モーター140および第2モーター150の駆動を制御する制御装置160と、を有する。
そして、制御装置160は、第2モーター150を介して第1モーター140に外力が加わる場合は、第1モーター140の駆動を停止させる。このように、第2モーター150を介して第1モーター140に外力が加わる場合に第1モーター140の駆動を停止させることにより、第1アーム120が基部110に対して保持されている状態で、第2アーム130を第1アーム120に対して回動させることができるため、第2アーム130の位置精度が安定する。以下、このような駆動装置100について詳細に説明する。
第1アーム120は、その基端部において基部110に軸受されており、基部110に対してZ軸まわりに回動可能となっている。また、第2アーム130は、その基端部において第1アーム120の先端部に軸受されており、第1アーム120に対してZ軸まわりに回動可能となっている。なお、第1アーム120の回動の中心軸J1と第2アーム130の回動の中心軸J2とは平行である。
また、第1モーター140は、第1アーム120の基端部に固定された円盤状のローター141と、基部110に固定されローター141に押し付けられた圧電モジュール142と、を有する。このような第1モーター140では、圧電モジュール142を駆動(振動)させることによりローター141が回転し、それに伴って第1アーム120が基部110に対して回動する。一方、圧電モジュール142の駆動(振動)が停止しているときは、圧電モジュール142がローター141に押し付けられた状態となり、これらの間に生じる摩擦力によってローター141と共に第1アーム120が基部110に対して固定される。なお、圧電モジュール142としては、例えば、前述した第1実施形態の圧電モジュール44を用いることができる。
また、第2モーター150は、第2アーム130の基端部に固定された円盤状のローター151と、第1アーム120に固定されローター151に押し付けられた圧電モジュール152と、を有する。このような第2モーター150では、圧電モジュール152を駆動(振動)させることによりローター151が回転し、それに伴って第2アーム130が第1アーム120に対して回動する。一方、圧電モジュール152の駆動(振動)が停止しているときは、圧電モジュール152がローター151に押し付けられた状態となり、これらの間に生じる摩擦力によってローター151と共に第2アーム130が第1アーム120に対して固定される。なお、圧電モジュール152としては、例えば、前述した第1実施形態の圧電モジュール44を用いることができる。
制御装置160は、例えば、プロセッサーと、プロセッサーに通信可能に接続されたメモリーと、外部インターフェースと、を有する。そして、制御装置160の各部は、種々のバスを介して通信可能に接続されている。プロセッサーは、メモリーに記憶された各種プログラム等を実行する。メモリーには、プロセッサーにより実行可能な各種プログラムが保存(記憶)されている。また、メモリーには、外部インターフェースで受け付けた各種データの保存が可能である。メモリーは、例えばRAM(Random Access Memory)等の揮発性メモリーや、ROM(Read Only Memory)等の不揮発性メモリー等を含んで構成されている。
このような制御装置160は、第2モーター150を介して第1モーター140に外力が加わっている状態では、第1モーター140の駆動を停止する。前述したように、第1モーター140の駆動が停止している状態では、圧電モジュール142がローター141に押し付けられており、これらの間に生じる摩擦力によって第1アーム120が基部110に対して固定される。すなわち、基部110に対する第1アーム120のがたつきが抑制されている。そのため、第2モーター150を介して加わる外力によって、第1アーム120が基部110に対して不本意に変位してしまうことを効果的に抑制することができる。よって、ハンド10の位置精度を高めることができる。
以上、駆動装置100について説明した。このような駆動装置100の駆動方法は、基部110(第1部材)と、基部110に対して変位可能に接続されている第1アーム120(第2部材)と、第1アーム120に対して変位可能に接続されている第2アーム130(第3部材)と、基部110に対して第1アーム120を変位させる第1モーター140と、第1アーム120に対して第2アーム130を変位させる第2モーター150と、を有する駆動装置100の駆動方法である。そして、この駆動方法は、第2モーター150を介して第1モーター140に外力が加わる場合は、第1モーター140の駆動を停止させる。このような構成とすることにより、第2モーター150を介して加わる外力によって、第1アーム120が基部110に対して不本意に変位してしまうことを効果的に抑制することができる。よって、ハンド10の位置精度を高めることができる。
なお、駆動装置100の構成としては、特に限定されず、例えば、第2アーム130とハンド10との間に、さらに、少なくとも1つの回動可能なアームが設けられていてもよい。また、本実施形態では、第1部材が基部110であるが、これに限定されず、第1部材は、他の部材に回動可能に接続されたアームであってもよい。
<第6実施形態>
次に、本発明の第6実施形態に係る駆動装置について説明する。
次に、本発明の第6実施形態に係る駆動装置について説明する。
図11は、本発明の第6実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
本実施形態に係る駆動装置100は、第1モーター140が伝達機構170を介して第1アーム120と接続されていること以外は、前述した第5実施形態の駆動装置100と同様である。以下の説明では、第6実施形態の駆動装置100に関し、前述した第5実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図11では、前述した第5実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
図11に示すように、本実施形態の駆動装置100は、第1モーター140の駆動力を第1アーム120に伝達する伝達機構170を有する。伝達機構170は、ウォームギア構造となっており、基部110に対してZ軸まわりに回転可能なウォームホイール171と、ウォームホイール171に噛合し、基部110に対して回転可能なウォーム172と、を有する。そして、ウォーム172に第1モーター140が接続され、ウォームホイール171に第1アーム120が固定されている。第1モーター140の駆動によってウォーム172が回動すると、それに伴って、ウォームホイール171が第1アーム120と共にZ軸まわりに回動する。
また、前述した第2実施形態と同様に、伝達機構170は、第1モーター140側から第1アーム120側に力を伝える伝達効率をE1とし、第1アーム120側から第1モーター140側に力を伝える伝達効率をE2としたとき、E1>E2の関係を満足するように構成されている。E1>E2の関係を満足することにより、第1アーム120に加わる外力によっては第1アーム120が基部110に対して変位し難くなり、第1アーム120の保持力が高まるため、第1アーム120の不本意な変位を効果的に抑制することができる。そのため、第1アーム120の位置精度が向上する。
このような第6実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を発揮することができる。
<第7実施形態>
次に、本発明の第7実施形態に係るロボットについて説明する。
次に、本発明の第7実施形態に係るロボットについて説明する。
図12は、本発明の第7実施形態に係るロボットを示す斜視図である。図13は、ベースとアームとの接続部を示す平面図である。
図12に示すロボット1000は、精密機器やこれを構成する部品の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット1000は、ロボット本体1100と、ロボット本体1100に装着されている駆動装置1(ハンド10)と、を有する。
ロボット本体1100は、6軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース1110(第1部材)と、ベース1110に回動自在に連結されたアーム1120(第2部材)と、アーム1120に回動自在に連結されたアーム1130と、アーム1130に回動自在に連結されたアーム1140と、アーム1140に回動自在に連結されたアーム1150と、アーム1150に回動自在に連結されたアーム1160と、アーム1160に回動自在に連結されたアーム1170と、これらアーム1120、1130、1140、1150、1160、1170の駆動を制御する制御装置1180と、を有する。また、アーム1170にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット本体1100に実行させる作業に応じたエンドエフェクターとして、駆動装置1(ハンド10)が装着される。
図13は、ベース1110とアーム1120との接続部を示す図である。ロボット1000は、ベース1110に設けられたモーター1200と、モーター1200からの駆動力をアーム1120に伝達する伝達機構1300と、を有する。そして、モーター1200の駆動力が伝達機構1300を介してアーム1120に伝達されることによりアーム1120がベース1110に対して変位する。モーター1200および伝達機構1300の構成としては、特に限定されないが、本実施形態では、前述した第4実施形態と同様の構成を用いている。
さらに、伝達機構1300は、モーター1200側からアーム1120側に力を伝える伝達効率をE1とし、アーム1120側からモーター1200側に力を伝える伝達効率をE2としたとき、E1>E2の関係を満足するように構成されている。E1>E2の関係を満足することにより、アーム1120に加わる外力によってはアーム1120がベース1110に対して変位し難くなり、アーム1120の保持力が高まるため、アーム1120の不本意な変位を効果的に抑制することができる。そのため、アーム1120の位置精度が向上する。
なお、図示しないが、アーム1120、1130の接続部、アーム1130、1140の接続部、アーム1140、1150の接続部、アーム1150、1160の接続部およびアーム1160、1170の接続部についても、ベース1110とアーム1120との接続部と同様の構成、すなわち、モーター1200と伝達機構1300とを有する構成となっている。ただし、これら複数の接続部のうちの少なくとも1つの接続部が、モーター1200と伝達機構1300とを有する構成となっていればよい。
以上、ロボット1000について説明した。このようなロボット1000は、前述したように、ベース1110(第1部材)と、ベース1110に対して変位可能に接続されているアーム1120(第2部材)と、モーター1200と、モーター1200からの駆動力をアーム1120に伝達する伝達機構1300と、を有し、モーター1200からの駆動力が伝達機構1300を介してアーム1120に伝達されることによりアーム1120がベース1110に対して変位するように構成されている。また、伝達機構1300は、モーター1200側からアーム1120側に力を伝える伝達効率をE1とし、アーム1120側からモーター1200側に力を伝える伝達効率をE2としたとき、E1>E2の関係を満足するように構成されている。これにより、アーム1120に加わる外力によってはアーム1120がベース1110に対して変位し難くなり、アーム1120の保持力が高まる。そのため、アーム1120の不本意な変位を効果的に抑制することができ、アーム1120の位置精度が向上する。
なお、ロボット1000の構成としては、本実施形態の構成に限定されず、例えば、水平多関節ロボット(スカラロボット)や双腕ロボットであってもよい。
<第8実施形態>
次に、本発明の第8実施形態に係る搬送装置について説明する。
次に、本発明の第8実施形態に係る搬送装置について説明する。
図14は、本発明の第8実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。図15は、図14の搬送装置が有する保持部を示す斜視図である。図16は、図15の搬送装置が有するベースとX軸プレートとの接続部を示す下面図である。
図14に示す搬送装置2000は、電子部品検査装置に適用され、基台2100と、基台2100の側方に配置された支持台2200と、各部の駆動を制御する制御装置2300と、を有する。また、基台2100には、検査対象の電子部品Qが載置されてY軸方向に搬送される上流側ステージ2110と、検査済みの電子部品Qが載置されてY軸方向に搬送される下流側ステージ2120と、上流側ステージ2110と下流側ステージ2120との間に位置し、電子部品Qの電気的特性を検査する検査台2130と、が設けられている。なお、電子部品Qの例として、例えば、半導体、半導体ウェハー、CLDやOLED等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド、各種MEMSデバイス等が挙げられる。
また、支持台2200には、支持台2200に対してY軸方向に移動可能なYステージ2210が設けられており、Yステージ2210には、Yステージ2210に対してX軸方向に移動可能なXステージ2220が設けられており、Xステージ2220には、Xステージ2220に対してZ軸方向に移動可能な電子部品保持部2230が設けられている。
また、図15に示すように、電子部品保持部2230は、ベース2231と、ベース2231に対してX軸方向に移動可能なX軸プレート2232と、X軸プレート2232に対してY軸方向に移動可能なY軸プレート2233と、Y軸プレート2233に対してZ軸まわりに回動可能な回動部2234と、回動部2234に設けられ、電子部品Qを保持する保持部2235と、を有する。
図16は、ベース2231とX軸プレート2232との接続部を示す図である。電子部品保持部2230は、ベース2231に設けられたモーター2236と、モーター2236からの駆動力をX軸プレート2232に伝達する伝達機構2237と、を有する。そして、モーター2236の駆動力が伝達機構2237を介してX軸プレート2232に伝達されることにより、X軸プレート2232がベース2231に対してX軸方向に移動する。モーター2236および伝達機構2237の構成としては、特に限定されないが、本実施形態では、前述した第1実施形態と同様の構成を用いている。
なお、図示しないが、X軸プレート2232とY軸プレート2233との接続部およびY軸プレート2233と回動部2234との接続部についても、ベース2231とX軸プレート2232との接続部と同様に、モーター2236と伝達機構2237とを有する構成となっている。ただし、これら複数の接続部のうちの少なくとも1つの接続部が、モーター2236と伝達機構2237とを有する構成となっていればよい。
以上、搬送装置2000について説明した。このような搬送装置2000は、前述したように、ベース2231(第1部材)と、ベース2231に対して変位可能に接続されているX軸プレート2232(第2部材)と、モーター2236と、モーター2236からの駆動力をX軸プレート2232に伝達する伝達機構2237と、を有し、モーター2236からの駆動力が伝達機構2237を介してX軸プレート2232に伝達されることによりX軸プレート2232がベース2231に対して変位するように構成されている。また、伝達機構2237は、モーター2236側からX軸プレート2232側に力を伝える伝達効率をE1とし、X軸プレート2232側からモーター2236側に力を伝える伝達効率をE2としたとき、E1>E2の関係を満足するように構成されている。これにより、X軸プレート2232に加わる外力によってはX軸プレート2232がベース2231に対して変位し難くなり、X軸プレート2232の保持力が高まる。そのため、X軸プレート2232の不本意な変位を効果的に抑制することができ、X軸プレート2232の位置精度が向上する。
なお、搬送装置2000の構成としては、本実施形態の構成に限定されず、例えば、対象物を載置するステージであってもよい。この場合、ステージは、基部と、基部に対してX軸方向に移動可能なXステージと、Xステージに対してY軸方向に移動可能なYステージと、を有し、基部に対してXステージを移動させたり、X軸ステージに対してY軸ステージを移動させたりするのに、モーターと伝達機構を用いることができる。
以上、本発明の駆動装置、駆動装置の駆動方法、ハンド、ロボットおよび搬送装置を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、前述した実施形態では、X軸、Y軸およびZ軸がそれぞれ直交しているが、X軸、Y軸およびZ軸は、交差していればよく、直交していなくてもよい。
1…駆動装置、10…ハンド、11…基部、2…基部、3…被駆動部、31、32…指部、311…基端部、312…ローター、313…先端部、4、41、42…モーター、44…圧電モジュール、45…圧電アクチュエーター、450…積層体、451…振動部、451a〜451e…圧電素子、452…支持部、453…接続部、454…伝達部、46…付勢部、49…ローター、5、51、52…伝達機構、510…スライドガイド、511…Y軸スライド部、511a…ガイド部、512…X軸スライド部、512a…係合部、513…ウォームホイール、514…ウォーム、515、516…歯車、6A…第1駆動ユニット、6B…第2駆動ユニット、71…モーター、74…圧電モジュール、100…駆動装置、110…基部、120…第1アーム、130…第2アーム、140…第1モーター、141…ローター、142…圧電モジュール、150…第2モーター、151…ローター、152…圧電モジュール、160…制御装置、170…伝達機構、171…ウォームホイール、172…ウォーム、1000…ロボット、1100…ロボット本体、1110…ベース、1120〜1170…アーム、1180…制御装置、1200…モーター、1300…伝達機構、2000…搬送装置、2100…基台、2110…上流側ステージ、2120…下流側ステージ、2130…検査台、2200…支持台、2210…Yステージ、2220…Xステージ、2230…電子部品保持部、2231…ベース、2232…X軸プレート、2233…Y軸プレート、2234…回動部、2235…保持部、2236…モーター、2237…伝達機構、2300…制御装置、J1、J2…中心軸、Q…電子部品、W…対象物、γ…リード角
Claims (10)
- 第1部材と、
前記第1部材に対して変位可能に接続されている第2部材と、
モーターと、
前記モーターからの駆動力を前記第2部材に伝達する伝達機構と、を有し、
前記駆動力が前記伝達機構を介して前記第2部材に伝達されることにより前記第2部材が前記第1部材に対して変位するように構成され、
前記伝達機構は、前記モーター側から前記第2部材側に力を伝える伝達効率をE1とし、前記第2部材側から前記モーター側に力を伝える伝達効率をE2としたとき、E1>E2の関係を満足するように構成されていることを特徴とする駆動装置。 - 前記伝達機構は、減速比が1以上である請求項1に記載の駆動装置。
- 前記伝達機構は、E1/E2>1.3の関係を満足している請求項1または2に記載の駆動装置。
- 前記伝達機構は、E2=0である請求項1ないし3のいずれか1項に記載の駆動装置。
- 前記モーターは、圧電モーターである請求項1ないし4のいずれか1項に記載の駆動装置。
- 前記伝達機構は、
前記第1部材に対して第1方向に変位可能な第1伝達部と、
前記第1部材に対して前記第1方向と交差する第2方向に変位可能な第2伝達部と、
前記第1伝達部および前記第2伝達部の一方に設けられ、前記第1方向および前記第2方向のそれぞれに対して傾斜した方向に延在するガイド部と、
前記第1伝達部および前記第2伝達部の他方に設けられ、前記ガイド部と係合する係合部と、を有し、
前記第1伝達部が前記モーターと接続され、
前記第2伝達部が前記第2部材と接続され、
前記モーターの駆動力によって前記第1伝達部が前記第1方向に変位すると、前記第2伝達部が前記第2方向に変位する請求項1ないし5のいずれか1項に記載の駆動装置。 - 第1部材と、
前記第1部材に対して変位可能に接続されている第2部材と、
前記第2部材に対して変位可能に接続されている第3部材と、
前記第1部材に対して前記第2部材を変位させる第1モーターと、
前記第2部材に対して前記第3部材を変位させる第2モーターと、を有する駆動装置の駆動方法であって、
前記第2モーターを介して前記第1モーターに外力が加わる場合は、前記第1モーターの駆動を停止させることを特徴とする駆動装置の駆動方法。 - 第1部材と、
前記第1部材に対して変位可能に接続されている第2部材と、
モーターと、
前記モーターからの駆動力を前記第2部材に伝達する伝達機構と、を有し、
前記駆動力が前記伝達機構を介して前記第2部材に伝達されることにより前記第2部材が前記第1部材に対して変位するように構成され、
前記伝達機構は、前記モーター側から前記第2部材側に力を伝える伝達効率をE1とし、前記第2部材側から前記モーター側に力を伝える伝達効率をE2としたとき、E1>E2の関係を満足するように構成されていることを特徴とするハンド。 - 第1部材と、
前記第1部材に対して変位可能に接続されている第2部材と、
モーターと、
前記モーターからの駆動力を前記第2部材に伝達する伝達機構と、を有し、
前記駆動力が前記伝達機構を介して前記第2部材に伝達されることにより前記第2部材が前記第1部材に対して変位するように構成され、
前記伝達機構は、前記モーター側から前記第2部材側に力を伝える伝達効率をE1とし、前記第2部材側から前記モーター側に力を伝える伝達効率をE2としたとき、E1>E2の関係を満足するように構成されていることを特徴とするロボット。 - 第1部材と、
前記第1部材に対して変位可能に接続されている第2部材と、
モーターと、
前記モーターからの駆動力を前記第2部材に伝達する伝達機構と、を有し、
前記駆動力が前記伝達機構を介して前記第2部材に伝達されることにより前記第2部材が前記第1部材に対して変位するように構成され、
前記伝達機構は、前記モーター側から前記第2部材側に力を伝える伝達効率をE1とし、前記第2部材側から前記モーター側に力を伝える伝達効率をE2としたとき、E1>E2の関係を満足するように構成されていることを特徴とする搬送装置。
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JP2021145130A (ja) * | 2019-09-19 | 2021-09-24 | 川崎重工業株式会社 | 傾き調整装置、及びそれを備えるロボット |
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