JP5781389B2 - 真空メカニカルジョイント - Google Patents
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- 真空チャンバ内の部材を支持する軸線方向に移動可能な棒状の支持部材をその軸線に直交する軸回りの自由度を含む所定数の自由度を持って真空チャンバの外壁に傾動自在に連結する真空メカニカルジョイントであって、
前記外壁に固定され、前記支持部材が前記傾動を許容する隙間を存して挿通される孔を有する固定ジョイント部材と、
前記固定ジョイント部材に、前記外壁の外側で前記所定数の自由度を持って傾動自在に連結される可動ジョイント部材と、
前記可動ジョイント部材に搭載され、前記支持部材を軸線方向に移動させるアクチュエータと、
前記固定ジョイント部材と前記可動ジョイント部材との間で前記支持部材が挿通される可撓性及び伸縮性を有する筒状隔壁とを備え、
前記筒状隔壁の一端部は、前記孔に連通する状態で前記固定ジョイント部材に気密に固定され、前記筒状隔壁の他端部は、前記支持部材に気密に固定され、
前記可動ジョイント部材は、前記支持部材の軸線に直交する第1軸回りと第1軸に直交する第2軸回りとの2自由度を持って前記固定ジョイント部材に傾動自在に連結され、
前記固定ジョイント部材と前記可動ジョイント部材との間に、前記筒状隔壁が挿通される環状の中間胴部材を備え、
前記中間胴部材に前記可動ジョイント部材を前記第1軸回りに傾動自在に連結すると共に、前記固定ジョイント部材に前記中間胴部材を前記第2軸回りに傾動自在に連結することを特徴とする真空メカニカルジョイント。 - 前記固定ジョイント部材は、前記孔の孔軸回りに相対回転自在に気密性を持って連結される外周側部材と内周側部材との2部材に分割され、前記外周側部材が前記外壁に気密に固定され、前記内周側部材に、前記孔が形成されると共に、前記可動ジョイント部材が前記所定数の自由度を持って傾動自在に連結され、更に、前記筒状隔壁の一端部が前記孔に連通する状態で前記内周側部材に気密に固定されることを特徴とする請求項1記載の真空メカニカルジョイント。
- 前記支持部材は、前記可動ジョイント部材に対し前記支持部材の軸線回りに回転自在であることを特徴とする請求項1記載の真空メカニカルジョイント。
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