JP4053517B2 - 基板の水平及び上下移送装置 - Google Patents
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Description
このような基板の処理ラインにおいては、ライン間に基板を移送するための移送装置が必須で適用され、前記基板移送装置に関する様々な技術が開発されている。
第一に、水平移送手段に浮上部を備えることによって、基板が垂れる現象を防止して、製品の不良率を減少させることができる。
第二に、回転部材を備えることによって、基板を移送中に予め反転させてラインに供給するので、別途の反転部をライン中に配置する必要がないので、作業が簡便で投資額を節減することができる。
第三に、水平移送手段に整列部を備えて基板の移送時に正確な位置に整列させることによって、別途に整列部が要求されないので、作業が簡便で取付費を節減することができる。
第四に、上部及び下部ハンドから構成される上下移送手段を備えることによって、基板を上下に容易に移送することができる。
図2は本発明の好ましい実施例による基板の水平及び上下移送装置が適用された基板処理ラインを示す斜視図であり、図3は図2に示された基板処理ラインの側面図である。
従って、モータ組立体(図示せず)の駆動時に、前記スライディング板18,19がレール17に沿って移動することによって、水平移送手段3が前後方向に移動する。
5,7 上下移送手段
6 下部ハンド
9,11 移送ユニット
10 搬送ローラ
10a アイドルローラ
13 基板処理ユニット
15 上部ハンド
17 レール
18,19 スライディング板
20 下部ベース
21 上部ベース
23 整列部
25 浮上部
26 支持部
27 回転部材
28 モータ組立体
29,58 支持ピン
30 ケース
34,66 連結バー
36 整列ピン
38 角部
42 板
44 補助板
46 多孔板
51 第1ハンド
53 第2ハンド
55,57 水平部
62,64 垂直部
65,70 第1及び第2ハンドの下端部
68,69 水平レール
72 ガイド
73 水平フレーム
75 下部支持ピン
76 ガイドブラケット
78 支持ブラケット
80 垂直連結軸
82 第3モータ組立体
84 支持板
86 回転軸
88 第1モータ組立体
89 ガイドバー
90 第2モータ組立体
92 水平連結軸
Claims (10)
- フレームと、
前記フレームの内部に装着され、基板を定位置に整列させて、基板を水平面内で反転させることができる、少なくとも一つ以上の水平移送手段と、
前記水平移送手段に対し上下積層形をなすように配置された基板処理ラインと、
前記フレームに昇降可能に配置され、前記水平移送手段から基板を引受けて前記基板処理ラインへ供給するか又は前記水平移送手段へ基板を引継いで前記基板処理ラインから引受ける垂直移送手段と、
前記垂直移送手段と基板処理ラインとの間に配置され、前記垂直移送手段から基板を引受けて、又は前記垂直移送手段へ基板を引継いで、移送させる移送ユニットとを含み、
前記水平移送手段は、前記フレームに装着されたレール上に設けられて滑走可能な下部ベースと、前記下部ベースの上部に装着され、基板が積置される上部ベースと、前記上部ベース上に突出形成され、前記基板を支持する複数の支持ピンと、前記基板を定位置に整列させる整列部と、前記基板の底面を空圧によって加圧する浮上部と、を含むことを特徴とする、基板の水平及び上下移送装置。 - 前記水平移送手段は、前記上部及び下部ベース間に配置され、前記上部ベースを反転させる回転部材を含むことを特徴とする、請求項1に記載の基板の水平及び上下移送装置。
- 前記浮上部は、前記上部ベース上に少なくとも一つ以上備えられた板と、前記各々の板の上面に備えられ、空気を噴出することによって、載置された基板を上方向に浮上させる多孔板と、前記多孔板に空気を供給する空気供給部とを含むことを特徴とする、請求項2に記載の基板の水平及び上下移送装置。
- 前記整列部は、その上面に一対の長孔が形成されるケースと、前記ケースに装着されるモータ組立体と、前記モータ組立体に連結され、モータ組立体の駆動時に前記上部ベースの中心方向に往復運動する連結バーと、前記連結バーの両端部に上方向に突出形成され、前記長孔を貫通してケースの上部に突出し、前記基板の縁部を加圧して定位置に整列させる一対の整列ピンとを含むことを特徴とする、請求項1に記載の基板の水平及び上下移送装置。
- 前記回転部材は、下部が前記下部ベースに連結されるとともに上部が前記上部ベースに連結された直結モータを含むことを特徴とする、請求項2に記載の基板の水平及び上下移送装置。
- 前記垂直移送手段は、
垂直及び水平運動が可能であり、前記水平移送手段から基板を引受け又は前記水平移送手段へ基板を引継ぐ上部ハンドと、垂直移動が可能であり、前記上部ハンドから基板を引受けて前記移送ユニットに基板を供給し又は前記移送ユニットから供給された基板を上部ハンドに引継ぐ下部ハンドとから構成されるアップダウンユニット
を含むことを特徴とする、請求項1に記載の基板の水平及び上下移送装置。 - 前記上部ハンドは、互いに平行に配置される第1及び第2ハンドを含み、前記第1及び第2ハンドは、その上面に複数の上部支持ピンが突出形成され、基板が載置される水平部と、前記フレームに装着され、上下及び左右移動が可能な垂直部とから構成されることを特徴とする、請求項6に記載の基板の水平及び上下移送装置。
- 前記第1及び第2ハンドの垂直部は、下端部を互いに連結する連結バーが第1モータ組立体に連結されることによって、前記第1モータ組立体の駆動時に上下に移動することができ、前記垂直部の下端部が前記連結バーの側面に装着された水平レールに各々滑走可能に結合され、第2モータ組立体と水平連結軸によって各々連結されることによって、第2モータ組立体の駆動時に左右に移動することができることを特徴とする、請求項7に記載の基板の水平及び上下移送装置。
- 前記下部ハンドは、水平フレームと、前記水平フレームの上面に突出形成され、基板を積置する複数の下部支持ピンと、前記フレームに装着され、第3モータ組立体と連結されることによって、第3モータ組立体の駆動時に上下に往復運動する支持板とを含むことを特徴とする、請求項6に記載の基板の水平及び上下移送装置。
- 前記アップダウンユニットは、前記フレームの前後方に各々配置される第1及び第2アップダウンバッファーユニットを含むことを特徴とする、請求項6に記載の基板の水平及び上下移送装置。
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