KR101052753B1 - 기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 이송 모듈을 포함하는 기판 처리 장치에 있어서, 상기 기판 이송 모듈은 수평 방향으로 연장하며 기판의 로드/언로드 영역과 상기 로드/언로드 영역으로부터 일측으로 연장하는 로드 영역과 상기 로드/언로드 영역으로부터 타측으로 연장하는 언로드 영역을 갖는 이송 챔버를 포함한다. 제1 기판 이송부는 상기 로드/언로드 영역과 상기 로드 영역에서 상기 기판을 상기 수평 방향으로 이송하며, 제2 기판 이송부는 상기 로드/언로드 영역과 상기 언로드 영역에서 상기 기판을 상기 수평 방향으로 이송한다.

Description

기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 {Module for transferring a substrate and apparatus for processing a substrate having the same}
본 발명은 기판 이송 모듈과 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 평판 디스플레이 장치의 제조에서 기판에 대한 소정의 처리 공정들을 수행하기 위하여 상기 기판을 기판 처리 모듈로 이송하기 위한 기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이 장치의 제조에서 유리 기판과 같은 대면적 기판에 대하여 소정의 처리 공정들이 수행될 수 있다. 예를 들면, 식각 공정, 스트립 공정, 세정 공정, 건조 공정, 등과 같은 단위 공정들이 상기 기판에 대하여 수행될 수 있으며, 상기 단위 공정들을 수행하기 위한 장치는 일반적으로 인라인 방식으로 기판을 이동시키면서 수행될 수 있다.
종래의 기판 처리 장치는 기판 이송 모듈과 기판 처리 모듈을 포함할 수 있다. 상기 기판 이송 모듈과 기판 처리 모듈은 수직 방향으로 적층될 수 있다. 특히, 상기 기판 이송 모듈 아래에 상기 기판 처리 모듈이 배치될 수 있으며, 상기 기판 이송 모듈과 기판 처리 모듈의 양측에는 각각 로드 엘리베이터와 언로드 엘리 베이터가 배치될 수 있다.
상기 기판 이송 모듈은 수평 방향으로 연장하는 기판 처리 챔버와, 상기 기판 처리 챔버의 중앙 부위에 배치된 로드/언로드 유닛과, 상기 로드/언로드 유닛과 상기 로드 엘리베이터 사이의 이송 영역에서 상기 기판을 이동시키는 이송 유닛을 포함할 수 있다.
상세히 도시되지는 않았으나, 상기 기판 처리 모듈은 기판을 수평 방향으로 이동시키면서 상기 기판 상에 처리 유체를 공급할 수 있다. 특히, 상기 기판 처리 모듈은 상기 기판에 대한 식각 공정 또는 스트립 공정, 세정 공정, 건조 공정 등을 각각 수행하기 위한 다수의 처리 유닛들을 포함할 수 있다. 또한, 상기 기판은 상기 기판 처리 모듈 내에서 다수의 롤러들에 의해 이송될 수 있다.
상기 로드/언로드 유닛 및 이송 유닛에서 상기 기판은 다수의 롤러들에 의해 이송될 수 있으며, 상기 로드 엘리베이터 및 언로드 엘리베이터 역시 다수의 롤러들을 이용하여 상기 기판을 전달받고 또한 전달할 수 있다.
한편, 상기 각각의 유닛들 및 엘리베이터들에서 상기 롤러들은 각각 별도의 구동부들에 의해 회전될 수 있다. 이는 기판의 로딩 동작 및 언로딩 동작이 각각 별개로 수행되기 때문이다. 따라서, 상기와 같은 기판 이송 모듈을 사용하는 경우, 수많은 롤러들의 회전에 의해 다량의 파티클들이 발생될 수 있으며, 이에 의해 기판이 오염될 수 있다. 또한, 상기 롤러들과 구동부들을 구성하는데 소요되는 비용이 상대적으로 크며 이에 따라 상기 기판 처리 장치의 제조 비용이 증가된다.
상술한 바와 같은 문제점들을 해결하기 위한 본 발명의 일 목적은 파티클 발생을 감소시킬 수 있으며 제조 비용을 절감할 수 있는 기판 이송 모듈을 제공하는데 있다.
상술한 바와 같은 문제점들을 해결하기 위한 본 발명의 다른 목적은 파티클 발생을 감소시킬 수 있으며 제조 비용을 절감할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 기판 이송 모듈은 수평 방향으로 연장하며 기판의 로드/언로드 영역과 상기 로드/언로드 영역으로부터 일측으로 연장하는 로드 영역과 상기 로드/언로드 영역으로부터 타측으로 연장하는 언로드 영역을 갖는 이송 챔버와, 상기 로드/언로드 영역과 상기 로드 영역에서 상기 기판을 상기 수평 방향으로 이송하기 위한 제1 기판 이송부와, 상기 로드/언로드 영역과 상기 언로드 영역에서 상기 기판을 상기 수평 방향으로 이송하기 위한 제2 기판 이송부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 각각의 제1 및 제2 기판 이송부들은, 플레이트 형태의 이송 베이스와, 상기 이송 베이스 상에 배치되며 상기 기판을 지지하기 위한 다수의 지지핀들과, 상기 수평 방향으로 연장하며 상기 이송 베이스를 상기 수평 방향으로 이송하기 위한 구동부와, 상기 구동부와 상기 이송 베이스를 연결하 는 수평 암을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 구동부는 상기 수평 방향과 평행하게 연장하는 두 개의 구동 기구를 포함할 수 있으며, 상기 수평 암은 상기 구동 기구들 사이를 연결할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 구동 기구들 사이의 간격은 상기 기판의 폭보다 넓게 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 및 제2 기판 이송부들의 구동 기구들은 상기 로드/언로드 영역 내에서 수평 방향 또는 수직 방향으로 서로 이격될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 각각의 제1 및 제2 기판 이송부들은 상기 이송 베이스를 회전시키기 위한 회전 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 기판 처리 장치는, 수평 방향으로 연장하며 기판의 로드/언로드 영역과 상기 로드/언로드 영역으로부터 일측으로 연장하는 로드 영역과 상기 로드/언로드 영역으로부터 타측으로 연장하는 언로드 영역을 갖는 이송 챔버와, 상기 로드/언로드 영역과 상기 로드 영역에서 상기 기판을 상기 수평 방향으로 이송하기 위한 제1 기판 이송부, 및 상기 로드/언로드 영역과 상기 언로드 영역에서 상기 기판을 상기 수평 방향으로 이송하기 위한 제2 기판 이송부를 포함하는 기판 이송 모듈과, 상기 기판 이송 모듈의 아래에서 상기 기판 이송 모듈과 평행하게 연장하며, 상기 기판에 대한 처리 공정을 수행하기 위한 기판 처리 모듈과, 상기 기판 이송 모듈 및 상기 기판 처리 모듈의 일 측에 배치되어 상기 기판 이송 모듈에 의해 이송된 기판을 하방으로 이송하여 상기 기판 처리 모듈로 전달하기 위한 로드 엘리베이터와, 상기 기판 이송 모듈 및 상기 기판 처리 모듈의 타측에 배치되어 상기 기판 처리 모듈에 의해 처리된 기판을 상방으로 이송하여 상기 기판 이송 모듈로 전달하기 위한 언로드 엘리베이터를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 기판 처리 모듈은 상기 기판을 인라인 방식으로 이송하면서 상기 기판에 대한 다수의 처리 공정들을 수행하는 다수의 처리 유닛들을 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 기판 이송 챔버 내에서 기판은 제1 기판 이송부와 제2 기판 이송부에 의해 이송될 수 있다. 따라서, 종래의 장치에서 사용되었던 다수의 롤러들 및 회전축들이 사용되지 않으므로 파티클 발생량이 크게 감소될 수 있다.
또한, 기판 이송을 위한 요소들의 수량이 크게 감소되므로 기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치의 제조 비용을 크게 절감할 수 있다.
추가적으로, 상기 실시예들에 따른 기판 이송 모듈은 종래의 기판 이송 모듈과 비교하여 유지 보수 대상 요소들이 상대적으로 작으므로 기판 처리 장치의 유지 보수에 소요되는 시간 및 비용이 절감될 수 있다.
이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더 욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 유사한 요소들에 대하여는 전체적으로 유사한 참조 부호들이 사용될 것이며 또한, "및/또는"이란 용어는 관련된 항목들 중 어느 하나 또는 그 이상의 조합을 포함한다.
다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다. 이들 용어들은 단지 다른 요소로부터 하나의 요소를 구별하기 위하여 사용되는 것이다. 따라서, 하기에서 설명되는 제1 요소, 조성, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서 제2 요소, 조성, 영역, 층 또는 부분으로 표현될 수 있을 것이다.
공간적으로 상대적인 용어들, 예를 들면, "하부" 또는 "바닥" 그리고 "상부" 또는 "맨위" 등의 용어들은 도면들에 설명된 바와 같이 다른 요소들에 대하여 한 요소의 관계를 설명하기 위하여 사용될 수 있다. 상대적 용어들은 도면에 도시된 방위에 더하여 장치의 다른 방위들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 도면들 중 하나에서 장치가 방향이 바뀐다면, 다른 요소들의 하부 쪽에 있는 것으로 설명된 요소들이 상기 다른 요소들의 상부 쪽에 있는 것으로 맞추어질 것이다. 따라서, "하부"라는 전형적인 용어는 도면의 특정 방위에 대하여 "하부" 및 "상부" 방위 모두를 포함할 수 있다. 이와 유사하게, 도면들 중 하나에서 장치가 방향이 바뀐다면, 다른 요소들의 "아래" 또는 "밑"으로서 설명된 요소들은 상기 다른 요소들의 "위"로 맞추어질 것이다. 따라서, "아래" 또는 "밑"이란 전형적인 용어는 "아래"와 "위"의 방위 모두를 포함할 수 있다.
하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 하기에서 사용된 바와 같이, 단수의 형태로 표시되는 것은 특별히 명확하게 지시되지 않는 이상 복수의 형태도 포함한다. 또한, "포함한다" 및/또는 "포함하는"이란 용어가 사용되는 경우, 이는 언급된 형태들, 영역들, 완전체들, 단계들, 작용들, 요소들 및/또는 성분들의 존재를 특징짓는 것이며, 다른 하나 이상의 형태들, 영역들, 완전체들, 단계들, 작용들, 요소들, 성분들 및/또는 이들 그룹들의 추가를 배제하는 것은 아니다.
달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석 될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들인 단면 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화들은 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차들을 포함하는 것이다. 예를 들면, 평평한 것으로서 설명된 영역은 일반적으로 거칠기 및/또는 비선형적인 형태들을 가질 수 있다. 또한, 도해로서 설명된 뾰족한 모서리들은 둥글게 될 수도 있다. 따라서, 도면들에 설명된 영역들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상들은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 모듈과 이를 포함하는 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 모듈(100)은 기판 처리 장치(10)에서 기판(20)을 기판 처리 모듈(200)로 로드하고 상기 기판 처리 모듈(200)로부터 언로드하기 위하여 사용될 수 있다. 특히, 상기 기판 처리 장치(10)는 평판 디스플레이 장치를 제조하기 위한 공정에서 유리 기판과 같은 대면적 기판(20)에 대한 처리 공정들을 수행하기 위하여 사용될 수 있다.
상기 기판 이송 모듈(100)은 기판 이송 챔버(102), 제1 기판 이송부(104) 및 제2 기판 이송부(114)를 포함할 수 있다.
상기 기판 이송 챔버(102)는 수평 방향으로 연장하며 상기 기판(20)이 이송되는 공간을 제공할 수 있다. 상기 기판 이송 챔버(102)의 내부 공간은 기판의 로드/언로드 영역(102a), 로드 영역(102b) 및 언로드 영역(102c)으로 구분될 수 있다. 상기 로드 영역(102b)은 상기 로드/언로드 영역(102a)으로부터 일측으로 연장할 수 있으며, 상기 언로드 영역(102c)은 상기 로드/언로드 영역(102a)으로부터 타측으로 연장할 수 있다. 즉, 상기 로드/언로드 영역(102a)은 상기 기판 이송 챔버(102)의 중앙 부위에 배치될 수 있다.
상기 로드/언로드 영역(102a)은 상기 기판 이송 챔버(102) 외부에서 내부로 기판(20)이 반입되거나 내부에서 외부로 반출되는 영역이며, 도시되지는 않았으나 상기 기판(20)의 반입 및 반출을 위한 도어가 구비될 수 있다.
상기 제1 및 제2 기판 이송부들(104, 114)은 상기 기판 이송 챔버(102) 내에 배치될 수 있다. 상기 제1 기판 이송부(104)는 상기 로드/언로드 영역(102a)과 상기 로드 영역(102b)에서 상기 기판(20)을 수평 방향으로 이동시킬 수 있으며, 상기 제2 기판 이송부(114)는 상기 로드/언로드 영역(102a)과 상기 언로드 영역(102c)에서 상기 기판(20)을 수평 방향으로 이동시킬 수 있다.
상기 제1 기판 이송부(104)는 플레이트 형태의 제1 이송 베이스(106), 상기 제1 이송 베이스(106) 상에 배치되며 상기 기판(20)을 지지하기 위한 다수의 제1 지지핀들(108), 상기 제1 이송 베이스(106)와 연결되며 상기 수평 방향과 평행하게 연장하며 상기 기판(20)을 상기 수평 방향으로 이동시키기 위한 제1 수평 구동부(110), 및 상기 제1 이송 베이스(106)와 상기 제1 수평 구동부(110)를 연결하는 제1 수평 암(112)을 포함할 수 있다.
상기와 유사하게, 상기 제2 기판 이송부(114)는 플레이트 형태의 제2 이송 베이스(116), 상기 제2 이송 베이스(116) 상에 배치되며 상기 기판(20)을 지지하기 위한 다수의 제2 지지핀들(118), 상기 제2 이송 베이스(116)와 연결되며 상기 수평 방향과 평행하게 연장하며 상기 기판(20)을 상기 수평 방향으로 이동시키기 위한 제2 수평 구동부(120), 및 상기 제2 이송 베이스(116)와 상기 제2 수평 구동부(120)를 연결하는 제2 수평 암(122)을 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2 수평 구동부들(110, 120)은 두 개의 제1 구동 기구들(110a, 110b)과 두 개의 제2 구동 기구들(120a, 120b)을 각각 포함할 수 있다. 상기 제1 구동 기구들(110a, 110b)은 상기 로드/언로드 영역(102a) 및 상기 로드 영역(102b)에서 상기 수평 방향과 평행하게 연장할 수 있으며, 상기 기판 이송 방향에 수직하는 방향으로 상기 기판 이송 챔버(102)의 양쪽 측벽들에 각각 인접하게 배치될 수 있다. 상기 제2 구동 기구들(120a, 120b)은 상기 로드/언로드 영역(102a) 및 상기 언로드 영역(102c)에서 상기 수평 방향과 평행하게 연장할 수 있으며, 상기 기판 이송 방향에 수직하는 방향으로 상기 기판 이송 챔버(102)의 양쪽 측벽들에 각각 인접하게 배치될 수 있다.
도시된 바에 의하면, 상기 제1 구동 기구들(110a, 110b) 사이의 폭과 제2 구동 기구들(120a, 120b) 사이의 간격은 상기 기판(20)의 폭보다 넓은 것이 바람직하 다. 이는 상기 제1 기판 이송부(104)에 의해 이송된 기판(20)이 후술될 로드 엘리베이터(130)에 의해 하강될 때 상기 제1 구동 기구들(110a, 110b)에 의해 간섭되지 않도록 하기 위함이며, 또한 후술될 언로드 엘리베이터(140)에 의해 공정 처리된 기판(20)이 상승될 때 상기 처리된 기판(20)이 상기 제2 구동 기구들(120a, 120b)에 간섭되지 않도록 하기 위함이다.
한편, 상기 제1 구동 기구들(110a, 110b)은 상기 로드/언로드 영역(102a)에서 상기 제2 구동 기구들(120a, 120b)에 대하여 수평 방향으로 이격되어 있다. 도시된 바에 의하면, 제1 구동 기구들(110a, 110b)이 상기 제2 구동 기구들(120a, 120b) 내측에 배치되어 있으나, 이의 반대 경우도 가능하며, 상기 제1 및 제2 구동 기구들(110a, 110b, 120a, 120b)이 교대로 배치될 수도 있다. 또한, 필요에 따라 상기 제1 구동 기구들(110a, 110b)과 제2 구동 기구들(120a, 120b)은 수직 방향으로 이격될 수도 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 구동부(110)와 제2 구동부(120)는 각각 하나의 구동 기구를 가질 수도 있다. 이 경우, 상기 제1 구동부(110)의 구동 기구와 상기 제2 구동부(120)의 구동 기구는 각각 기판 이송 챔버(102)의 다른 측벽들에 인접하도록 배치될 수 있다.
상기 기판 이송 챔버(102)의 양측 부위들에는 상기 기판(20)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 로드 엘리베이터(130)와 언로드 엘리베이터(140)가 배치될 수 있으며, 상기 로드 엘리베이터(130)와 상기 언로드 엘리베이터(140)의 하부에는 각각 로드 롤러들(134)과 언로드 롤러들(144)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 로 드 엘리베이터(130)는 상기 로드 영역(102b)에 인접할 수 있으며, 상기 언로드 엘리베이터(140)는 상기 언로드 영역(102c)에 인접할 수 있다.
상기 로드 엘리베이터(130) 및 언로드 엘리베이터(140)는 상기 기판(20)을 수직 방향으로 이동시키기 위하여 수평 방향으로 연장하며 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된 블레이드들(132, 142)을 각각 가질 수 있다.
상기 로드 엘리베이터(130)는 상기 제1 기판 이송부(104)에 의해 이송된 기판(20)을 하강시켜 상기 기판 처리 모듈(200)에 전달하기 위하여 사용되며, 상기 언로드 엘리베이터(140)는 상기 기판 처리 모듈(200)에 의해 처리된 기판(20)을 상승시켜 상기 제2 기판 이송부(114)에 전달하기 위하여 사용될 수 있다. 특히, 상기 로드 엘리베이터(130)는 상기 제1 기판 이송부(104)에 의해 이송된 기판(20)을 상기 로드 롤러들(134) 상으로 전달하며, 상기 언로드 엘리베이터(140)는 상기 언로드 롤러들로(144)부터 상기 기판(20)을 상기 제2 기판 이송부(114)로 전달할 수 있다.
한편, 상기 기판 처리 모듈(200)은 상기 기판(20)을 인라인 방식으로 이송할 수 있으며, 상기 기판(20)이 이송되는 동안 상기 기판(20)에 대한 다양한 처리 공정들을 수행할 수 있다. 예를 들면, 상기 기판 처리 모듈(200)은 상기 기판(20)에 대한 식각 또는 스트립 공정, 세정 공정, 건조 공정 등의 일련의 처리 공정들을 수행하기 위한 다수의 처리 유닛들(202)을 포함할 수 있으며, 상기 각각의 처리 유닛들(202)은 이송 롤러들(204)을 이용하여 상기 기판(20)을 수평 방향으로 이송할 수 있다.
상세히 도시되지는 않았으나, 상기 로드 및 언로드 엘리베이터들(130, 140)의 하부에 배치되는 상기 로드 롤러들(134) 및 언로드 롤러들(144)은 별도의 구동부들(미도시)에 의해 회전될 수 있다. 상기 기판(20)은 상기 회전 가능하게 구성된 로드 롤러들(134)에 의해 상기 기판 처리 모듈(200)로 전달될 수 있다. 이와 유사하게, 상기 기판 처리 모듈(200)에 의해 처리된 기판(20)은 상기 언로드 롤러들(144) 상으로 이송될 수 있다.
상기 로드 및 언로드 엘리베이터들(130, 140)을 이용하여 상기 기판(20)을 이송하는 방법을 상세하게 설명하면 다음과 같다.
먼저, 로드 엘리베이터(130)의 블레이드들(132)은 상기 기판(20)보다 낮고 상기 제1 이송 베이스(106)보다 높은 위치에 위치될 수 있다. 이어서, 상기 제1 기판 이송부(104)는 상기 로드 엘리베이터(130)를 향하여 수평 방향으로 상기 기판(20)을 이송할 수 있으며, 이에 따라 상기 로드 엘리베이터(130)의 블레이드들(132)이 상기 기판(20) 아래에 위치될 수 있다. 이때, 상기 로드 엘리베이터(130)의 블레이드들(132)은 상기 제1 지지핀들(108) 사이로 진입될 수 있다.
이어서, 상기 로드 엘리베이터(130)의 블레이드들(132)이 상방으로 이동할 수 있으며, 이에 따라 상기 기판(20)이 상기 제1 기판 이송부(104)의 제1 지지핀들(108)로부터 언로드될 수 있다. 이후, 상기 제1 기판 이송부(104)는 후속하는 기판을 로드하기 위하여 상기 로드/언로드 영역(102a)을 향하여 이동될 수 있다.
상기 제1 기판 이송부(104)가 후퇴한 후, 상기 로드 엘리베이터(130)의 블레이드들(132)은 상기 기판(20)을 상기 로드 롤러들(134) 상에 로드하기 위하여 하강 할 수 있다. 이때, 상기 로드 엘리베이터(130)의 블레이드들(132)은 상기 로드 롤러들(134) 사이의 공간으로 하강할 수 있다. 이에 따라, 상기 기판(20)이 로드 롤러들(134) 상에 로드될 수 있으며, 이어서 상기 로드 롤러들(134)의 회전에 의해 상기 기판 처리 모듈(200)로 투입될 수 있다.
이와 유사하게, 상기 기판 처리 모듈(200)에 의해 처리된 기판(20)은 상기 언로드 롤러들(144) 상으로 이송될 수 있다. 이때, 상기 언로드 엘리베이터(140)의 블레이드들(142)은 상기 언로드 롤러들(144) 사이에 배치될 수 있다. 따라서, 상기 기판(20)은 상기 언로드 엘리베이터(140)의 블레이드들(142) 상부에 위치될 수 있다.
이어서, 상기 언로드 엘리베이터(140)의 블레이드들(142)이 상승할 수 있으며, 이에 따라 상기 기판(20)이 상기 언로드 롤러들(144)로부터 언로드될 수 있다.
상기 기판(20)이 상승된 후, 상기 제2 기판 이송부(114)는 상기 언로드 엘리베이터(140)의 블레이드들(142) 아래로 진입할 수 있으며, 상기 언로드 엘리베이터(140)의 블레이드들(142)이 하강함에 따라 상기 기판(20)은 상기 제2 기판 이송부(114)의 제2 지지핀들(118) 상에 로드될 수 있다. 이때, 상기 언로드 엘리베이터(140)의 블레이드들(142)은 상기 제2 지지핀들(118) 사이의 공간에 위치될 수 있다.
상기 기판(20)이 제2 지지핀들(118) 상에 로드된 후, 상기 제2 기판 이송부(114)는 상기 기판(20)을 언로드하기 위하여 상기 로드/언로드 영역(102a)을 향하여 수평 방향으로 이동할 수 있으며, 상기 언로드 엘리베이터(140)의 블레이드 들(142)은 후속하여 처리되는 기판을 언로드하기 위하여 하강할 수 있다.
한편, 상기 제1 및 제2 이송 베이스들(106, 116)은 상기 기판 이송 챔버(102) 내부로의 기판(20) 반입 및 상기 기판 이송 챔버(102)로부터의 기판(20) 반출을 위하여 각각 회전 가능하게 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 및 제2 수평 구동부들(110, 120) 상에는 상기 제1 및 제2 이송 베이스들(106, 116)을 회전시키기 위한 제1 및 제2 회전 구동부들(124, 126)이 각각 배치될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 이송 베이스들(106, 116)은 상기 제1 및 제2 회전 구동부들(124, 126) 상에 각각 배치될 수 있다.
도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 제1 및 제2 회전 구동부들의 동작과 이를 이용한 기판의 반입 및 반출을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 제1 이송 베이스(106)는 상기 로드/언로드 영역(102a)에서 상기 제1 이송 베이스(106)의 장축이 상기 기판(20)의 이송 방향에 대하여 수직하는 방향으로 배치되도록 상기 제1 회전 구동부(124)에 의해 회전될 수 있다. 상기 제1 이송 베이스(106)가 회전된 후 기판 이송 챔버(102)의 외부에 배치되는 로봇 암(30)이 기판(20)을 지지한 상태로 상기 기판 이송 챔버(102) 내부로 진입할 수 있으며, 이어서 상기 로봇 암(30)의 하강에 의해 상기 기판(20)이 상기 제1 지지핀들(108) 상에 로드될 수 있다. 이때, 상기 로봇 암(30)은 상기 제1 지지핀들(108) 사이의 공간을 통해 하강할 수 있으며, 상기 기판(20)이 로드된 후 후퇴할 수 있다.
또한, 상기 기판 처리 모듈(200)에 의해 처리된 기판(20)이 상기 제2 기판 이송부(114)에 의해 상기 로드/언로드 영역(102a)으로 이송된 후, 상기 제2 이송 베이스(116)는 상기 기판(20)의 반출을 위하여 회전될 수 있다. 상기 제2 이송 베이스(116)가 회전된 후, 상기 로봇 암(30)이 상기 제2 지지핀들(118) 사이의 공간을 통해 진입할 수 있다. 상기 로봇 암(30)은 상기 기판(20)을 상기 제2 지지핀들(116)로부터 언로드하기 위하여 상승할 수 있으며, 이어서 상기 기판(20)의 반출을 위해 후퇴할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 기판 이송 챔버 내에서 기판은 제1 기판 이송부와 제2 기판 이송부에 의해 이송될 수 있다. 따라서, 종래의 장치에서 사용되었던 다수의 롤러들 및 회전축들이 사용되지 않으므로 파티클 발생량이 크게 감소될 수 있다.
또한, 기판 이송을 위한 요소들의 수량이 크게 감소되므로 기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치의 제조 비용을 크게 절감할 수 있다.
추가적으로, 상기 실시예들에 따른 기판 이송 모듈은 종래의 기판 이송 모듈과 비교하여 유지 보수 대상 요소들이 상대적으로 작으므로 기판 처리 장치의 유지 보수에 소요되는 시간 및 비용이 절감될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 모듈과 이를 포함하는 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 제1 및 제2 회전 구동부들의 동작과 이를 이용한 기판의 반입 및 반출을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 기판 처리 장치 20 : 기판
100 : 기판 처리 모듈 102 : 이송 챔버
104, 114 : 기판 이송부 106, 116 : 이송 베이스
108, 118 : 지지핀 110, 120 : 수평 구동부
112, 122 : 수평 암 124, 126 : 회전 구동부
130, 140 : 로드, 언로드 엘리베이터
132, 142 : 블레이드 134, 144 : 로드, 언로드 롤러
200 : 기판 처리 모듈 202 : 처리 유닛
204 : 이송 롤러

Claims (8)

  1. 수평 방향으로 연장하며, 기판의 로드/언로드 영역과 상기 로드/언로드 영역으로부터 일측으로 연장하는 로드 영역과 상기 로드/언로드 영역으로부터 타측으로 연장하는 언로드 영역을 갖는 이송 챔버;
    상기 로드/언로드 영역과 상기 로드 영역에서 상기 기판을 상기 수평 방향으로 이송하기 위한 제1 기판 이송부; 및
    상기 로드/언로드 영역과 상기 언로드 영역에서 상기 기판을 상기 수평 방향으로 이송하기 위한 제2 기판 이송부를 포함하되,
    상기 제1 및 제2 기판 이송부들은 상기 로드/언로드 영역 내에서 수평 방향 또는 수직 방향으로 서로 이격되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 모듈.
  2. 제1항에 있어서, 각각의 제1 및 제2 기판 이송부들은,
    플레이트 형태의 이송 베이스;
    상기 이송 베이스 상에 배치되며 상기 기판을 지지하기 위한 다수의 지지핀들;
    상기 수평 방향으로 연장하며 상기 이송 베이스를 상기 수평 방향으로 이송하기 위한 구동부; 및
    상기 구동부와 상기 이송 베이스를 연결하는 수평 암을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 모듈.
  3. 제2항에 있어서, 상기 구동부는 상기 수평 방향과 평행하게 연장하는 두 개 의 구동 기구를 포함하며 상기 수평 암은 상기 구동 기구들 사이를 연결하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 모듈.
  4. 제3항에 있어서, 상기 구동 기구들 사이의 간격은 상기 기판의 폭보다 넓은 것을 특징으로 하는 기판 이송 모듈.
  5. 제3항에 있어서, 상기 제1 및 제2 기판 이송부들의 구동 기구들은 상기 로드/언로드 영역 내에서 수평 방향 또는 수직 방향으로 서로 이격되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 모듈.
  6. 제2항에 있어서, 각각의 제1 및 제2 기판 이송부들은 상기 이송 베이스를 회전시키기 위한 회전 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 모듈.
  7. 수평 방향으로 연장하며, 기판의 로드/언로드 영역과 상기 로드/언로드 영역으로부터 일측으로 연장하는 로드 영역과 상기 로드/언로드 영역으로부터 타측으로 연장하는 언로드 영역을 갖는 이송 챔버와, 상기 로드/언로드 영역과 상기 로드 영역에서 상기 기판을 상기 수평 방향으로 이송하기 위한 제1 기판 이송부, 및 상기 로드/언로드 영역과 상기 언로드 영역에서 상기 기판을 상기 수평 방향으로 이송하기 위한 제2 기판 이송부를 포함하는 기판 이송 모듈;
    상기 기판 이송 모듈의 아래에서 상기 기판 이송 모듈과 평행하게 연장하며, 상기 기판에 대한 처리 공정을 수행하기 위한 기판 처리 모듈;
    상기 기판 이송 모듈 및 상기 기판 처리 모듈의 일측에 배치되어 상기 기판 이송 모듈에 의해 이송된 기판을 하방으로 이송하여 상기 기판 처리 모듈로 전달하기 위한 로드 엘리베이터; 및
    상기 기판 이송 모듈 및 상기 기판 처리 모듈의 타측에 배치되어 상기 기판 처리 모듈에 의해 처리된 기판을 상방으로 이송하여 상기 기판 이송 모듈로 전달하기 위한 언로드 엘리베이터를 포함하는 기판 처리 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 기판 처리 모듈은 상기 기판을 인라인 방식으로 이송하면서 상기 기판에 대한 다수의 처리 공정들을 수행하는 다수의 처리 유닛들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100500170B1 (ko) * 2003-06-25 2005-07-07 주식회사 디엠에스 기판의 수평 및 상하 이송장치

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