KR102049043B1 - 기판 위치 가변형 표면 처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 위치 가변형 표면 처리장치를 개시한다. 개시된 기판 위치 가변형 표면 처리장치는, 기판의 표면 처리를 위한 도금액을 수용하는 습식 처리조와, 상기 습식 처리조에 투입되는 상기 기판을 가이드하도록 상기 습식 처리조의 외부에 구비되는 메인 프레임과, 상기 기판을 고정하는 클램프를 안착할 수 있도록 상기 프레임에 설치되며, 상기 클램프를 상기 습식 처리조에서 전후 및 좌우 방향으로 이동시켜 상기 기판의 위치를 가변시키는 기판위치 가변유닛을 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 기판을 습식 처리조의 도금액에 침전하여 표면 처리할 때 기판을 습식 처리조의 내부에서 전후, 좌우 또는 사선 방향으로 왕복 이동시키면서 처리함으로써, 기판의 표면처리 효과를 향상시킬 수 있다.

Description

기판 위치 가변형 표면 처리장치{SUBSTRATE SURFACE TREATING APPARATUS}
본 발명은 기판 위치 가변형 표면 처리장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 습식 처리조의 도금액에 침전하여 표면 처리할 때 기판을 습식 처리조의 내부에서 전후, 좌우 또는 사선 방향으로 왕복 이동시키면서 처리함으로써, 기판의 표면처리 효과를 향상시킬 수 있도록 하는 기판 위치 가변형 표면 처리장치에 관한 것이다.
일반적으로 표면처리(Plating, 도금, 착색, 피막 등)는 물질의 표면 상태를 개선할 목적으로 물질의 표면에 다른 물질로 된 박막을 피복하는 것이다. 이러한 표면처리의 목적은 여러 가지가 있으나 대표적으로 첫째 원재료의 내식성 부족을 보완하고자 특정한 환경속에서도 견딜 수 있는 금속박막을 입히는 방식(防蝕), 둘째 마모에 견딜 수 있도록 원재료보다 단단한 금속박막을 입히는 표면경화, 셋째 원재료의 표면에 귀금속 또는 색채가 아름다운 금속 합금의 박막을 붙이는 표면 미화, 넷째 빛 또는 열의 반사율을 높인다든지 또는 평활한 표면과 광택을 위해 금속 박막을 붙이는 표면의 평활화 및 반사율 개선을 위해 사용된다.
또한, 표면처리 방식은 크게 습식표면처리와 건식표면처리로 구분되며, 습식표면처리는 습한환경 예를 들어 처리용액에 가공물을 함침시켜 표면을 처리하고, 건식표면처리는 진공의 용기에서 플라즈마나 아크, 가열증기를 이용하여 표면을 처리한다.
이중 습식표면처리 방식은 표면처리 공정전후 및 공정중 이전 공정에서 사용되었던 반응액 및 도금액 등을 제거하기 위해 세정단계를 진행하여야 한다.
통상의 세정방식은 세정조에 세정에 적합한 세정액을 저장 및 순환하여, 표면처리를 끝낸 대상물을 수침시켜 안정화하는 방법을 많이 이용하고 있다. 이러한 세정방식을 채용한 세정장치는 세정효과를 높이기 위하여 복수의 세정조를 구비하고, 각 세정조에 연속적으로 수침하게 된다. 이와 같은 세정방식은 반도체 기판을 생산하는 공정에 특히 많이 사용되고 있다.
그런데, 상기와 같은 종래 기술의 습식표면 처리장치는, 표면 처리를 위한 기판을 습식 처리조에 침전시켜 처리할 때 기판이 고정된 상태로 처리되므로, 홀이 형성되는 기판을 처리할 때 홀 내면에 표면 처리 불량이 자주 발생하는 문제점이 있다.
따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.
한편, 국내 등록특허공보 제10-1744968호(등록일:2017년06월01일)에는 "습식 표면처리"가 개시되어 있다.
본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 창출된 것으로서, 기판을 습식 처리조의 도금액에 침전시켜 표면 처리할 때 기판을 습식 처리조의 내부에서 전후, 좌우 또는 사선 방향으로 왕복 이동되도록 하여 기판의 표면처리 효과를 향상시킬 수 있는 기판 위치 가변형 표면 처리장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치는, 기판의 표면 처리를 위한 도금액을 수용하는 습식 처리조와, 상기 습식 처리조에 투입되는 상기 기판을 가이드하도록 상기 습식 처리조의 외부에 구비되는 메인 프레임과, 상기 기판을 고정하는 클램프를 안착할 수 있도록 상기 프레임에 설치되며, 상기 클램프를 상기 습식 처리조에서 전후 및 좌우 방향으로 이동시켜 상기 기판의 위치를 가변시키는 기판위치 가변유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 기판위치 가변유닛은, 상기 클램프가 안착되는 새들을 구비하며, 상기 기판을 상기 습식 처리조의 전후방향으로 이동하는 기판 전후 이동부와, 상기 기판 전후 이동부가 이동 가능하게 안착되는 전후이동 가이드부를 구비하며, 상기 기판 전후 이동부를 상기 습식 처리조의 좌우방향으로 이동시키도록 상기 메인 프레임에 구비되는 기판 좌우 이동부와, 상기 메인 프레임에 구비되어 상기 기판 좌우 이동부의 좌우 이동을 가이드하는 좌우이동 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 기판위치 가변유닛은, 상기 기판을 상기 습식 처리조에서 사선 방향으로 이동시키도록 상기 기판 전후 이동부와 상기 기판 좌우 이동부를 동시에 구동하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 기판 전후 이동부는, 상기 습식 처리조의 양측에 배치되어 상기 새들이 길이방향을 따라 이격되게 복수개 결합되며, 상기 전후이동 가이드부에 이동 가능하게 안착되는 한 쌍의 전후이동 빔부재와, 상기 기판 좌우 이동부에 고정되는 지지대에 구비되어 상기 전후이동 빔부재에 연결되며, 상기 전후이동 빔부재를 상기 기판 좌우 이동부에서 직선 왕복 운동시키는 전후이동 구동부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 전후이동 구동부재는, 상기 지지대에 회전가능하게 결합되며, 양단부가 랙 앤 피니언 방식으로 상기 전후이동 빔부재에 연결되는 제1회전축과, 상기 기판 좌우 이동부에 고정되어 상기 제1회전축과 연결되며, 상기 제1회전축을 작동시키는 제1구동모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 전후이동 가이드부는, 상기 전후이동 빔부재가 삽입되도록 전후이동 가이드홈부가 형성되며, 상기 기판 좌우 이동부에 고정되는 전후이동 가이드 브래킷과, 상기 전후이동 빔부재의 하면이 접촉되도록 상기 전후이동 가이드홈부에 이동 가능하게 안착되어 상기 전후이동 빔부재의 이동을 가이드하는 전후이동 롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 기판 좌우 이동부는, 상기 습식 처리조의 양측에 배치되어 상기 전후이동 가이드부가 길이방향을 따라 이격되게 결합되며, 상기 기판 좌우 이동부가 설치되는 지지대를 통해 상호 결합되는 한 쌍의 좌우이동 빔부재와, 상기 좌우이동 빔부재와 연결되도록 상기 메인 프레임에 결합되며, 상기 좌우이동 빔부재를 상기 좌우이동 가이드부에서 직선 왕봉 운동시키는 좌우이동 구동부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 좌우이동 구동부재는, 상기 메인 프레임에 결합되며, 상기 좌우이동 빔부재의 길이방향을 따라 이격되게 배치되는 회전지지 브래킷과, 베어링을 통해 상기 회전지지 브래킷에 회전가능하게 결합되는 제2회전축과, 상기 제2회전축에 편심되게 결합되며, 상기 좌우이동 빔부재에 구비되는 캠연결 브래킷에 회전가능하게 연결되는 편심캠과, 상기 제2회전축에 연결되도록 상기 메인 프레임에 구비되며, 상기 제2회전축을 작동시키는 제2구동모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 좌우이동 가이드부는, 상기 좌우이동 빔부재의 길이 방향을 따라 이격되게 배치되도록 상기 메인 프레임에 결합되며, 상기 좌우이동 빔부재의 이동방향을 따라 좌우이동 가이드홈부가 형성되는 좌우이동 가이드 브래킷과, 상기 좌우이동 가이드홈부에 삽입되는 상기 좌우이동 빔부재의 하면이 안착되도록 상기 좌우이동 가이드홈부에 이동 가능하게 삽입되어 상기 좌우이동 빔부재의 이동을 가이드하는 좌우이동 롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치는 종래기술과는 달리 기판을 습식 처리조의 도금액에 침전시켜 표면 처리할 때 기판이 습식 처리조의 내부에서 전후, 좌우방향으로 왕복 이동되므로, 기판의 표면처리 불량을 방지할 수 있는 효과를 가진다.
또한, 본 발명은 기판을 전후 및 좌우 방향은 물론 전후 및 좌우 구동을 동시에 진행하여 기판을 사선 방향으로도 이동 가능하므로, 기판에 형성되는 홀 내면의 표면처리 불량을 방지할 수 있는 효과를 가진다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치를 설명하기 위한 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 5는 발명의 일 실시 예에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치를 설명하기 위한 요부 확대 사시도이다.
도 6은 도 5의 "A"부 확대도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판위치 가변유닛을 설명하기 위한 요부 확대 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 전후 이동부를 설명하기 위한 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 전후이동 가이드부와 좌우이동 가이드부를 설명하기 위한 사시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 전후 이동부의 작동을 보인 평면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 좌우 이동부의 작동을 보인 측면도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 위치 가변부의 작동을 보인 측면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치의 바람직한 실시예를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.
또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치를 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치를 설명하기 위한 정면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치를 설명하기 위한 측면도이다.
또한, 도 5는 발명의 일 실시 예에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치를 설명하기 위한 요부 확대 사시도이고, 도 6은 도 5의 "A"부 확대도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판위치 가변유닛을 설명하기 위한 요부 확대 사시도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 전후 이동부를 설명하기 위한 사시도이다.
또한, 도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 전후이동 가이드부와 좌우이동 가이드부를 설명하기 위한 사시도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 전후 이동부의 작동을 보인 평면도이고, 도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 좌우 이동부의 작동을 보인 측면도이고, 도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 위치 가변부의 작동을 보인 측면도이다.
도 1 내지 도 12를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치는, 표면 처리를 위한 기판(10)을 도금액에 침전한 상태에서 왕복 운동시켜 기판(10)의 표면처리 불량을 방지하게 된다.
특히 본 실시 예에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치는, 복수의 관통홀부(11)가 형성된 기판(10)을 표면 처리할 때 관통홀부(11)의 내면 처리 불량을 방지하게 된다.
이를 위하여 본 실시 예에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치는, 기판(10)이 선택적으로 침전되는 습식 처리조(100)와, 습식 처리조(100)의 외측에 구비되는 메인 프레임(200)과, 기판(10)을 고정하는 클램프(20)가 선택적으로 장착되며 습식 처리조(100)에서 기판(10)의 위치를 이동시키는 기판위치 가변유닛(300)을 포함한다.
이러한, 기판 위치 가변형 표면 처리장치는, 클램프(20)를 기판위치 가변유닛(300)에 장착하게 되면 클램프(20)에 고정되는 기판(10)이 습식 처리조(100)에 수용되는 도금액에 함침되어 표면처리된다.
습식 처리조(100)는, 내부에 도금액을 수용하며, 많은 수량의 기판(10)을 동시에 표면처리 할 수 있도록 전후로 이격되게 복수개 구비된다. 또한 습식 처리조(100)는 내부의 도금액을 교환할 때 완전한 배출이 가능하도록 하면이 일측으로 경사지게 형성되며, 경사면 끝단에 배수구가 형성된다.
이러한 습식 처리조(100)의 양측에는 기판위치 가변유닛(300)의 설치를 위하여 메인 프레임(200)이 위치하게 된다.
메인 프레임(200)은 습식 처리조(100)의 양측에 각각 구비되는 메인 설치빔(210)을 구비하며, 메인 설치빔(210)에 기판위치 가변유닛(300)이 설치된다. 본 실시 예에 따른 메인 프레임(200)은 다양한 형상으로 변경될 수도 있다.
기판위치 가변유닛(300)은 클램프(20)를 안착할 수 있도록 프레임에 설치되며, 클램프를 습식 처리조(100)에서 전후 및 좌우 방향으로 이동시켜 습식 처리조(100)에서 표면처리되는 기판(10)의 위치를 가변하게 된다.
이를 위하여 본 실시 예에 따른 기판위치 가변유닛(300)은 기판(10)을 습식 처리조(100)의 전후 방향으로 왕복 운동시키는 기판 전후 이동부(310)와, 기판 전후 이동부(310)의 전후 이동을 가이드하는 전후이동 가이드부(320)와, 기판(10)을 습식 처리조(100)의 좌우 방향으로 왕복 운동시키는 기판 좌우 이동부(330)와, 기판 좌우 이동부(330)의 좌우 이동을 가이드하는 좌우이동 가이드부(340)를 포함한다. 이때 전후이동 가이드부(320)는 기판 좌우 이동부(330)에 설치되고, 좌우이동 가이드부(340)는 메인 설치빔(210)에 설치된다.
이러한 기판위치 가변유닛(300)은 기판(10)을 습식 처리조(100)에서 사선 방향으로 이동시킬 수 있도록 기판 전후 이동부(310)와 기판 좌우 이동부(330)가 동시에 구동된다. 예를 들어 기판위치 가변유닛(300)은 기판 전후 이동부(310)에 의한 기판(10)의 전후 이동 거리가 40mm이고, 기판 좌우 이동부(330)에 의한 기판(10)의 좌우 이동 거리가 40mm로 이루어질 수 있다.
기판 전후 이동부(310)는 클램프(20)가 안착되는 새들(311)을 구비하며, 기판(10)을 습식 처리조(100)의 전후방향으로 왕복 운동시킬 수 있도록 전후이동 가이드부(320)에 안착된다.
구체적으로 기판 전후 이동부(310)는 습식 처리조(100)의 양측에 배치되도록 전후이동 가이드부(320)에 이동 가능하게 안착되는 한 쌍의 전후이동 빔부재(313)와, 전후이동 빔부재(313)에 연결되도록 기판 좌우 이동부(330)에 설치되어 전후이동 빔부재(313)를 왕복 이동시키는 전후이동 구동부재(315)를 포함한다.
전후이동 빔부재(313)는 상면에 클램프(20)가 장착되는 새들(311)이 결합된다. 새들(311)은 전후이동 빔부재(313)의 길이방향을 따라 등간격으로 이격되게 배치된다.
전후이동 구동부재(315)는 전후이동 빔부재(313)에 연결되도록 기판 좌우 이동부(330)에 설치되며, 한 쌍의 전후이동 빔부재(313)를 전후이동 가이드부(320)에서 전후로 왕복 운동시킨다.
이를 위하여 전후이동 구동부재(315)는 양단부가 랙 앤 피니언 방식으로 전후이동 빔부재(313)에 연결되는 제1회전축(315a)과, 제1회전축(315a)과 연결되도록 기판 좌우 이동부(330)에 고정되어 제1회전축(315a)을 작동시키는 제1구동모터(315b)를 구비한다. 이때, 랙(315c)은 전후이동 빔부재(313)에 결합되고, 피니언(315d)은 제1회전축(315a)에 축결합되며, 제1회전축(315a)은 베어링을 통해 기판 좌우 이동부(330)에 회전가능하게 결합된다.
이러한 전후이동 구동부재(315)는 제1구동모터(315b)가 작동하여 제1회전축(315a)을 회전시키면 피니언(315d)이 회전되면서 랙(315c)이 이동되고, 랙(315c)의 이동에 따라 전후이동 빔부재(313)이 습식 처리조(100)에서 전후 방향으로 함께 이동하게 된다. 이를 통해 기판(10)이 습식 처리조(100)에서 전후 방향으로 이동된다.
전후이동 가이드부(320)는 전후이동 빔부재(313)가 안정되고 원활하게 왕복 운동하도록 기판 좌우 이동부(330)에 이격되게 복수개 구비된다. 구체적으로, 전후이동 가이드부(320)는 기판 좌우 이동부(330)에 결합되는 전후이동 가이드 브래킷(321)과, 전후이동 빔부재(313)의 이동을 가이드하는 전후이동 롤러(323)를 포함한다.
전후이동 가이드 브래킷(321)은 볼트나 스크루를 통해 기판 좌우 이동부(330)에 고정되며, 전후이동 빔부재(313)가 삽입되도록 전후이동 가이드홈부(325)가 형성된다. 이때 전후이동 가이드홈부(325)의 바닥면에는 전후이동 롤러(323)가 삽입되는 롤러 안착홈(327)이 형성된다.
전후이동 롤러(323)는 롤러 안착홈(327)에 안착되며, 전후이동 빔부재(313)의 하면이 접촉되고, 전후이동 빔부재(313)가 이동함에 따라 롤러 안착홈(327)에 이동하면서 전후이동 빔부재(313)의 전후 이동을 가이드하게 된다.
기판 좌우 이동부(330)는 전후이동 가이드부(320)와 제1회전축(315a) 및 제1구동모터(315b)가 결합되며, 기판 전후 이동부(310)를 습식 처리조(100)의 좌우방향으로 이동시키도록 좌우이동 가이드부(340)를 통해 메인 설치빔(210)에 좌우로 이동 가능하게 설치된다.
이러한 기판 좌우 이동부(330)는 습식 처리조(100)의 양측에 배치되어 전후이동 가이드부(320)가 길이방향을 따라 이격되게 결합되는 한 쌍의 좌우이동 빔부재(331)와, 한 쌍의 좌우이동 빔부재(331)를 상호 고정하는 지지대(333)와, 메인 프레임(200)에 결합되어 좌우이동 빔부재(331)를 습식 처리조(100)의 좌우 방향으로 왕복 운동시키는 좌우이동 구동부재(335)를 포함한다.
좌우이동 빔부재(331)는 전후이동 빔부재(313)의 하부에 위치하도록 전후이동 빔부재(313)와 평행하게 배치되며, 상면에 전후이동 가이드부(320)가 이격되게 복수개 결합된다. 또한 좌우이동 빔부재(331)는 하면에 안착바(331a)가 이격되게 복수개 결합되고, 안착바(331a)를 통해 좌우이동 가이드부(340)에 이동 가능하게 안착된다.
이러한 좌우이동 빔부재(331)는 지지대(333)에 의해 상호 일체로 고정되며, 좌우이동 구동부재(335)의 작동에 따라 좌우이동 가이드부(340)에서 습식 처리조(100)의 좌우 방향으로 왕복 운동하게 된다.
지지대(333)는 한 쌍의 좌우이동 빔부재(331)를 상호 결합하는 크로스 빔부재(333a)와, 크로스 빔부재(333a)에 구비되며 제1회전축(315a)이 회전가능하게 결합되는 축지지 수직바(333b)를 구비한다. 이때, 크로스 빔부재(333a)는 기판 좌우 이동부(330)의 변형을 방지하도록 좌우이동 빔부재(331)의 길이 방향을 따라 복수개 결합되며, 축지지 수직바(333b)는 제1회전축(315a)이 회전 가능하게 결합되는 베어링 하우징을 구비한다.
크로스 빔부재(333a)는 양단부가 볼트를 통해 좌우이동 빔부재(331)의 측면에 결합된다.
좌우이동 구동부재(335)는 좌우이동 빔부재(331)와 연결되도록 메인 프레임(200)에 결합되며, 좌우이동 빔부재(331)를 좌우이동 가이드부(340)에서 직선 왕봉 운동시키게 된다.
이러한 좌우이동 구동부재(335)는 좌우이동 빔부재(331)의 길이방향을 따라 이격되게 배치되도록 메인 프레임(200)에 결합되는 회전지지 브래킷(335a)과, 베어링을 통해 회전지지 브래킷(335a)에 회전가능하게 결합되는 제2회전축(335b)과, 제2회전축(335b)에 편심되게 결합되는 편심캠(335c)과, 편심캠(335c)의 회전을 통해 이동하도록 좌우이동 빔부재(331)에 결합되는 캠연결 브래킷(335d)과, 제2회전축(335b)을 작동시키는 제2구동모터(335e)를 포함한다.
회전지지 브래킷(335a)은 볼트를 통해 일단부가 메인 설치빔(210)의 측면에 고정되고, 타단부에 베어링이 결합되는 베어링 하우징이 구비되며, 베어링 하우징에 제2회전축(335b)이 회전가능하게 삽입된다.
제2회전축(335b)은 회전지지 브래킷(335a)에 회전가능하게 결합되어 제2구동모터(335e)에 의해 회전되면서 편심캠(335c)을 회전시키게 된다.
편심캠(335c)은 캠연결 브래킷(335d)에 회전가능하게 연결되어 회전을 통해 캠연결 브래킷(335d)을 습식 처리조(100)의 좌우 방향으로 이동시킨다. 그러면 캠연결 브래킷(335d)에 일체로 고정되는 좌우이동 빔부재(331)가 이동하면서 기판(10)이 장착된 기판 전후 이동부(310)도 함께 좌우로 이동하게 된다.
또한, 편심캠(335c)은 캠연결 브래킷(335d)에서 원활하게 회전하면서 캠연결 브래킷(335d)을 이동시킬 수 있도록 외면에 볼베어링(335b')이 결합되고, 볼베어링(335b')의 외륜 양단이 캠연결 브래킷(335d)에 선접촉된다.
캠연결 브래킷(335d)은 편심캠(335c)이 회전 가능하게 결합되도록 캠작동홈부(335d')가 "∩"형상으로 형성된다. 이때 캠작동홈부(335d')의 양측 내면에 볼베어링(335b')의 외륜이 선접촉하게 된다.
상기 좌우이동 빔부재에 구비되는 캠연결 브래킷에 회전가능하게 연결되는 편심캠과, 상기 제2회전축에 연결되도록 상기 메인 프레임에 구비되며, 상기 제2회전축을 작동시키는 제2구동모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
제2구동모터(335e)는 메인 프레임(200)에 설치되어 제2회전축(335b)을 구동시킨다.
좌우이동 가이드부(340)는 메인 프레임(200)에 결합되며, 좌우이동 빔부재(331)의 안착바(331a)가 이동가능하게 안착된다. 이러한 좌우이동 가이드부(340)는 좌우이동 빔부재(331)의 좌우 이동을 원활하고 안정되게 가이드한다.
이를 위하여, 좌우이동 가이드부(340)는, 좌우이동 빔부재(331)의 길이 방향을 따라 이격되게 배치되도록 메인 프레임(200)에 결합되는 좌우이동 가이드 브래킷(341)과, 좌우이동 빔부재(331)의 이동을 가이드하는 좌우이동 롤러(343)를 구비한다.
좌우이동 가이드 브래킷(341)은 좌우이동 빔부재(331)의 안착바(331a)가 삽입되는 좌우이동 가이드홈부(345)를 구비하며, 좌우이동 가이드홈부(345)가 좌우이동 빔부재(331)의 좌우 이동방향을 따라 관통 형성된다. 또한 좌우이동 가이드홈부(345)의 바닥면에는 좌우이동 롤러(343)가 안착되는 롤러 가이드홈(347)이 형성된다. 롤러 가이드홈(347)은 좌우이동 롤러(343)가 이동가능하게 안착됨은 물론 좌우이동 롤러(343)의 이탈을 방지하게 된다.
좌우이동 롤러(343)는 안착바(331a)의 하면이 접촉하도록 롤러 가이드홈(347)에 이동가능하게 안착되며, 좌우이동 빔부재(331)의 이동을 안정되고 원활하게 가이드하게 된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치는, 메인 프레임(200)에 좌우이동 가이드부(340)를 결합하고, 좌우이동 가이드부(340)의 상측에서 좌우이동 빔부재(331)를 안착할 수 있으므로, 기판 좌우 이동부(330)의 설치를 간편하게 할 수 있게 된다. 뿐만 아니라, 전후이동 가이드부(320)에 전후이동 빔부재(313)를 안착하는 것만으로 기판 전후 이동부(310)의 설치가 가능하므로, 기판 전후 이동부(310)의 실치 또한 간편하게 진행할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치는, 습식 처리조(100)에 함침되는 기판(10)을 기판 전후 이동부(310)의 구동을 통해 습식 처리조(100)의 전후 방향으로 왕복 운동함과 동시에 기판 좌우 이동부(330)를 함께 구동하면서 기판 전후 이동부(310)를 습식 처리조(100)에서 좌우 방향으로 이동할 수 있다. 이를 통해 기판(10)이 습식 처리조(100)에서 사선으로 왕복 운동하게 되므로, 기판(10)에 형성되는 관통홀부(11)의 표면 처리 불량을 방지할 수 있다. 즉, 기판(10)의 도금 상태에 따라 그 위치 변경이 가능하므로, 기판(10)의 표면처리 불량을 효과적으로 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 위치 가변형 표면 처리장치는, 기판 전후 이동부(310)와 기판 좌우 이동부(330)를 각각 구동시켜 기판을 습식 처리조(100)에서 전후 또는 좌우로 이동시킬 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
10 : 기판 11 : 관통홀부
20 : 클램프 100 : 습식 처리조
200 : 메인 프레임 210 : 메인 설치빔
300 : 기판위치 가변유닛 310 : 기판 전후 이동부
311 : 새들 313 : 전후이동 빔부재
315 : 전후이동 구동부재 320 : 전후이동 가이드부
321 : 전후이동 가이드 브래킷 323 : 전후이동 롤러
325 : 전후이동 가이드홈부 327 : 롤러 안착홈
330 : 기판 좌우 이동부 331 : 좌우이동 빔부재
333 : 지지대 335 : 좌우이동 구동부재
340 : 좌우이동 가이드부 341 : 좌우이동 가이드 브래킷
343 : 좌우이동 롤러 345 : 좌우이동 가이드홈부
347 : 롤러 가이드홈

Claims (9)

  1. 기판의 표면 처리를 위한 도금액을 수용하는 습식 처리조; 상기 습식 처리조에 투입되는 상기 기판을 가이드하도록 상기 습식 처리조의 외부에 구비되는 메인 프레임; 및 상기 기판을 고정하는 클램프를 안착할 수 있도록 상기 메인 프레임에 설치되며, 상기 클램프를 상기 습식 처리조에서 전후 및 좌우 방향으로 이동시켜 상기 기판의 위치를 가변시키는 기판위치 가변유닛;을 포함하며,
    상기 기판위치 가변유닛은, 상기 클램프가 안착되는 새들을 구비하며, 상기 기판을 상기 습식 처리조의 전후방향으로 이동하는 기판 전후 이동부; 상기 기판 전후 이동부가 이동 가능하게 안착되는 전후이동 가이드부를 구비하며, 상기 기판 전후 이동부를 상기 습식 처리조의 좌우방향으로 이동시키도록 상기 메인 프레임에 구비되는 기판 좌우 이동부; 및 상기 메인 프레임에 구비되어 상기 기판 좌우 이동부의 좌우 이동을 가이드하는 좌우이동 가이드부;를 포함하고,
    상기 기판 전후 이동부는, 상기 습식 처리조의 양측에 배치되어 상기 새들이 길이방향을 따라 이격되게 복수개 결합되며, 상기 전후이동 가이드부에 이동 가능하게 안착되는 한 쌍의 전후이동 빔부재; 및
    상기 기판 좌우 이동부에 고정되는 지지대에 구비되어 상기 전후이동 빔부재에 연결되며, 상기 전후이동 빔부재를 상기 기판 좌우 이동부에서 직선 왕복 운동시키는 전후이동 구동부재;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 위치 가변형 표면 처리장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판위치 가변유닛은, 상기 기판을 상기 습식 처리조에서 사선 방향으로 이동시키도록 상기 기판 전후 이동부와 상기 기판 좌우 이동부를 동시에 구동하는 것을 특징으로 하는 기판 위치 가변형 표면 처리장치.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 전후이동 구동부재는, 상기 지지대에 회전가능하게 결합되며, 양단부가 랙 앤 피니언 방식으로 상기 전후이동 빔부재에 연결되는 제1회전축; 및
    상기 기판 좌우 이동부에 고정되어 상기 제1회전축과 연결되며, 상기 제1회전축을 작동시키는 제1구동모터;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 위치 가변형 표면 처리장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 전후이동 가이드부는, 상기 전후이동 빔부재가 삽입되도록 전후이동 가이드홈부가 형성되며, 상기 기판 좌우 이동부에 고정되는 전후이동 가이드 브래킷; 및
    상기 전후이동 빔부재의 하면이 접촉되도록 상기 전후이동 가이드홈부에 이동 가능하게 안착되어 상기 전후이동 빔부재의 이동을 가이드하는 전후이동 롤러;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 위치 가변형 표면 처리장치.
  7. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 기판 좌우 이동부는, 상기 습식 처리조의 양측에 배치되어 상기 전후이동 가이드부가 길이방향을 따라 이격되게 결합되며, 상기 기판 좌우 이동부가 설치되는 지지대를 통해 상호 결합되는 한 쌍의 좌우이동 빔부재; 및
    상기 좌우이동 빔부재와 연결되도록 상기 메인 프레임에 결합되며, 상기 좌우이동 빔부재를 상기 좌우이동 가이드부에서 직선 왕복 운동시키는 좌우이동 구동부재;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 위치 가변형 표면 처리장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 좌우이동 구동부재는, 상기 메인 프레임에 결합되며, 상기 좌우이동 빔부재의 길이방향을 따라 이격되게 배치되는 회전지지 브래킷;
    베어링을 통해 상기 회전지지 브래킷에 회전가능하게 결합되는 제2회전축;
    상기 제2회전축에 편심되게 결합되며, 상기 좌우이동 빔부재에 구비되는 캠연결 브래킷에 회전가능하게 연결되는 편심캠; 및
    상기 제2회전축에 연결되도록 상기 메인 프레임에 구비되며, 상기 제2회전축을 작동시키는 제2구동모터;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 위치 가변형 표면 처리장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 좌우이동 가이드부는, 상기 좌우이동 빔부재의 길이 방향을 따라 이격되게 배치되도록 상기 메인 프레임에 결합되며, 상기 좌우이동 빔부재의 이동방향을 따라 좌우이동 가이드홈부가 형성되는 좌우이동 가이드 브래킷; 및
    상기 좌우이동 가이드홈부에 삽입되는 상기 좌우이동 빔부재의 하면이 안착되도록 상기 좌우이동 가이드홈부에 이동 가능하게 삽입되어 상기 좌우이동 빔부재의 이동을 가이드하는 좌우이동 롤러;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 위치 가변형 표면 처리장치.
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