KR100661456B1

KR100661456B1 - Ｆｃｃｌ 필름 제조 장치 및 ｆｃｃｌ 필름 제조 방법

Info

Publication number: KR100661456B1
Application number: KR1020050070844A
Authority: KR
Inventors: 이홍기; 손성호; 구석본
Original assignee: 한국생산기술연구원
Priority date: 2005-08-03
Filing date: 2005-08-03
Publication date: 2006-12-27
Also published as: US20070032080A1; EP1750491A3; ATE518412T1; EP1750491A2; US7678242B2; EP1750491B9; JP2007039783A; EP1750491B1

Abstract

본 발명은 폴리이미드 필름의 양면에 구리 도금층을 효율적으로 전해 도금하는 한편, 보수 및 유지 또는 도금조 또는 세척조 내에서의 청소 등의 작업이 용이한 FCCL 필름 제조 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 장치는, 구리 피막이 양면에 형성된 피도금 필름의 양면에 형성된 구리 피막에서 산화 피막을 제거하기 위하여 피도금 필름의 양면에 산세척액을 분사하는 한편, 피도금 필름이 침적되는 산세척 장치와; 산세척 및 구리 도금된 피도금 필름 상에 잔류하는 산세척액 및 구리 전해액을 세척하기 위하여 피도금 필름 상에 수세척액을 분사하는 한편, 피도금 필름이 침적되는 다수의 수세척 장치들과; 수세척 장치들 사이에 설치되고, 이송되는 피도금 필름과 접촉하여 음극(-)의 전류를 공급하는 한편, 구리 전해액 중의 피도금 필름의 이송 경로 상에 양극(+)의 전류를 공급하여, 피도금 필름의 양면 상에 구리 도금층을 도금하는 하나 이상의 구리 도금 장치들과; 도금 장치들을 통과하는 동안 도금된 구리 도금층이 녹이 스는 것을 방지하기 위하여 구리 도금층에 방청액을 분사하는 방청 장치와; 방청 처리된 피도금 필름으로부터 방청액을 건조시키기 위한 건조 장치를 포함한다.

FCCL 필름 제조 장치, 도금장치, 세척 장치, 지그, 폴리이미드 필름

Description

ＦＣＣＬ 필름 제조 장치 및 ＦＣＣＬ 필름 제조 방법{Apparatus and Method for manufacturing Flexible Copper Clad Laminate film}

도 1은 본 발명에 따른 FCCL 필름 제조 장치의 전체적 구성을 나타낸 개략 측면도.

도 2는 도 1에 도시된 본 발명에 따른 FCCL 제조 장치에서 사용되는 산세척, 수세척 장치 또는 방청 장치의 전체 구성을 개략적으로 도시한 사시도.

도 3은 도 2에 도시된 산세척, 수세척 장치 또는 방청 장치의 평면도.

도 4는 도 2에 도시된 산세척, 수세척 장치 또는 방청 장치의 측면도.

도 5는 도 2에 도시된 산세척, 수세척 장치 또는 방청 장치의 상부에서 바라본 사시도.

도 6은 도 2에 도시된 산세척, 수세척 장치 또는 방청 장치의 이동 측벽이 상승된 상태에서의 측면도.

도 7은 본 발명에 따른 FCCL 필름 제조 장치에서 사용되는 구리 도금 장치의 전체적 구성을 개략적으로 도시한 사시도.

도 8은 도 7에 도시된 구리 도금 장치에서 사용되는 도금조의 개략 평면도.

도 9는 도 7에 도시된 구리 도금 장치의 측면도.

도 10은 통전롤 및 내측벽을 제거한 도금조의 절개 사시도.

도 11은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 지그의 구성을 나타낸 사시도.

도 12는 도 7에 도시된 구리 도금 장치에서 이동 측벽이 상승된 상태의 구리 도금 장치의 측면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 산세척 장치 또는 세척 장치 2 : 도금 장치

3a,3b,3c : 수세척 장치 4 : 방청 장치

5 : 건조 장치 6 : 세척조

7 : 세척액 저장조 8,52 : 이송 펌프

9,53 : 필터 10,54 : 외측 케이스

12 : 처리조 14,24,28,33 : 높이 조정 노브

15 : 배출조 16 : 배출구

18 : 상부 가이드 롤 19,70 : 이송롤

49,65 : 하부 가이드 롤 35a,35b,36a,36b : 노즐

39a,39b,73a,73b : 스퀴즈 롤 40,81 : 지지구

50 : 도금조 51 : 도금액 저장조

59 : 통전롤 68a,68b,69a,69b : 지그

79 : 케이스 80 : 바스켓

100 : FCCL 필름 제조 장치 101 : 피도금 필름 공급 기구

102 : 감이 기구 F : 피도금 필름

본 발명은 연성 동박 적층 필름(FCCL, Flexible Copper Clad Laminate, 이하, FCCL라 한다) 제조 장치 및 FCCL 필름 제조 방법에 관한 것이다.

널리 공지된 바와 같이, FCCL 필름은 폴리이미드계 필름 표면에 구리 도금층이 적층된 것으로서, 휴대폰 및 LCD/PDP, 디지털카메라, 노트북 등에 사용되는 연성 회로 기판(FPCB, Flexible Printed Circuit Board)을 생산하는데 매우 중요한 기본 요소이다. 이러한 FCCL 필름을 제조하는데 폴리이미드계 필름 표면에 구리 도금층을 부착시키는 방법은, 폴리이미드계 필름의 표면에 구리 도금층을 접착제로 부착시키는 방식과, 구리 피막이 형성된 폴리이미드 필름의 표면에 구리를 전해 도금하여 구리 도금층을 폴리이미드 필름에 적층시키는 방식이 있다.

그러나, 후자의 전해 도금 방식으로서, 종래의 FCCL 필름 제조에 사용되는 구리도금장치 및 세척 장치는 폴리이미드 필름의 한쪽 면에 구리 도금층을 형성시키는 방식을 채택하고 있기 때문에, 회로패턴의 고밀도화를 이루기 위한 다층 연성인쇄회로기판(multi-layer flexible printed circuit board)을 생산하는데 사용되는 양면에 구리 도금층이 적층된 FCCL 필름을 생산하는 데는 생산성과 효율이 낮은 문제가 있다.

또한, 종래의 FCCL 필름 제조에 사용되는 구리 도금 장치 및 세척 장치는 연속적으로 공급되는 폴리이미드 필름을 작업 유체에 침적시키는 한편, 도금 또는 세 척 작업을 수행하기 위하여 전극, 이송롤, 분사노즐 등과 같은 많은 구성 요소들이 도금조 또는 세척조 내에 설치될 뿐만 아니라, 이와 같은 구성 요소들에 연결되는 전류 공급 전선, 유로관들 등으로 인해, 보수 및 유지 또는 도금조 또는 세척조 내에서의 청소 등의 작업이 어려운 문제가 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 종래 기술들의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 폴리이미드 필름의 양면에 구리 도금층을 효율적으로 전해 도금하는 한편, 보수 및 유지 또는 도금조 또는 세척조 내에서의 청소 등의 작업이 용이한 FCCL 필름 제조 장치 및 방법을 제공하는데 있다.

상기된 바와 같은 목적은, 구리 피막이 양면에 형성된 피도금 필름이 이송되는 동안, 피도금 필름의 양면에 구리 도금층을 연속적으로 도금하는 FCCL 필름 제조 장치에 있어서, 피도금 필름의 양면에 형성된 구리 피막에서 산화 피막을 제거하기 위하여 피도금 필름의 양면에 산세척액을 분사하는 한편, 피도금 필름이 침적되는 산세척 장치와; 산세척 및 구리 도금된 피도금 필름 상에 잔류하는 산세척액 및 구리 전해액을 세척하기 위하여 상기 피도금 필름 상에 수세척액을 분사하는 한편, 피도금 필름이 침적되는 다수의 수세척 장치들과; 상기 수세척 장치들 사이에 설치되고, 이송되는 상기 피도금 필름과 접촉하여 음극(-)의 전류를 공급하는 한편, 구리 전해액 중의 피도금 필름의 이송 경로 상에 양극(+)의 전류를 공급하여, 피도금 필름의 양면 상에 구리 도금층을 도금하는 하나 이상의 구리 도금 장치들과; 상기 도금 장치들을 통과하는 동안 도금된 구리 도금층이 녹이 스는 것을 방지 하기 위하여 구리 도금층에 방청액을 분사하는 방청 장치와; 방청 처리된 상기 피도금 필름으로부터 방청액을 건조시키기 위한 건조 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 본 발명에 따른 FCCL 필름 제조 장치에 의해 달성될 수 있다.

상기 수세척 장치는 피도금 필름을 세척액을 수용하는 세척조, 상기 세척조로 공급하기 위한 세척액을 저장하는 세척액 저장조, 피도금 필름에 세척액을 분사하도록 상기 세척조로 세척액을 펌핑하는 한편 외부의 세척액 탱크로부터 상기 세척액 저장조로 세척액을 공급하기 위한 이송 펌프, 및 상기 세척조로 공급되는 세척액중 이물질을 여과하기 위한 필터를 포함한다.

상기 세척조는 상부가 개방된 사각통 형상의 외측 케이스와, 상기 외측 케이스의 양측벽으로부터 내측으로 일정 거리 떨어져 배치되어 중앙에 피도금 필름의 세척을 위한 처리조 및 처리조로부터 넘친 세척액을 상기 세척액 저장조로 배출시키기 위한 배출조를 구획하는 한 쌍의 내측벽들을 구비하고, 상기 각각의 내측벽은 내측 양측에 제공되는 고정 측벽들과, 상기 고정 측벽들 사이에서 상하로 슬라이드되는 이동 측벽이 제공된다.

상기 세척조는, 이송중인 피도금 필름을 세척하기 위한 세척액을 수용하기 위한 처리조; 상기 피도금 필름을 가이드하기 위하여 상기 처리조의 전방 상부 및 후방에 각각 회전되도록 설치되는 상부 가이드 롤 및 이송롤; 상기 처리조의 내측 중앙 양측에 슬라이드되도록 설치되는 한 쌍의 이동 측벽의 하부에 위치되어 이송중인 피도금 필름을 가이드하는 하부 가이드 롤; 상기 상부 가이드 롤과 상기 하부 가이드 롤 사이 및 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이에서 이송중인 피도금 필름의 양면에 세척액을 분사하도록 상기 처리조 및 상기 이동 측벽에 설치되는 다수 쌍의 분사 노즐들을 포함한다.

상기 세척조는 피도금 필름으로부터 세척액을 제거하기 위하여, 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이의 상기 분사 노즐들에 각각 설치되는 한 쌍의 스퀴즈 롤들을 추가로 포함할 수도 있다.

상기 상부 가이드 롤, 상기 하부 가이드 롤 및 상기 이송롤은 바람직하게 나사축에 의해 그 높이가 미세 조정될 수 있다.

상기 하부 가이드 롤은 상기 이동 측벽에 형성된 직사각 구멍 내에서 상하로 이동하도록 설치되는 슬라이더에 설치된다.

상기 산세척 장치 및 상기 방청 장치는 상기 수세척과 동일한 구조를 가진다.

상기 구리 도금 장치는, 피도금 필름의 양면에 형성된 구리 피막에 음극(-)의 전류를 공급하기 위한 통전롤들, 이송중인 피도금 필름을 침적시키기 위한 도금액을 수용하며, 양극(+)의 전류가 공급되어 그 사이를 통과하는 피도금 필름의 구리 피막에 구리 도금층을 형성하는 다수 쌍의 지그들이 설치되는 도금조, 상기 도금조의 하부에 위치되는 도금액 저장조, 상기 도금액 저장조로부터 상기 도금조로 도금액을 공급하기 위한 도금액 공급 펌프, 및 상기 도금조로 공급되는 도금액중 이물질을 제거하기 위한 필터를 포함한다.

상기 도금조는 상부가 개방된 사각통 형상의 외측 케이스와, 상기 외측 케이스의 양측벽으로부터 내측으로 일정 거리 떨어져 배치되어 중앙에 피도금 필름의 도금을 위한 반응조 및 상기 반응조로부터 넘친 도금액을 상기 도금액 저장조로 배출시키기 위한 배출조를 구획하는 한 쌍의 내측벽들을 구비하고, 상기 각각의 내측벽은 내측 양측에 제공되는 고정 측벽들과, 상기 고정 측벽들 사이에서 상하로 슬라이드되는 이동 측벽이 제공된다.

상기 도금조는, 이송중인 피도금 필름을 도금하기 위한 도금액을 수용하기 위한 반응조; 상기 반응조의 전방 상부에 설치되어 상기 피도금 필름을 가이드하는 한편, 상기 피도금 필름의 양면에 형성된 구리 피막에 음극(-)의 전류를 공급하는 한 쌍의 통전롤들; 상기 처리조의 후방 상부에 설치되어 상기 피도금 필름을 이송하는 이송롤; 상기 반응조의 중앙 양측에 상하 슬라이드되도록 설치되는 한 쌍의 이동 측벽의 하부에 위치되어 이송중인 피도금 필름을 가이드하는 하부 가이드 롤; 양극(+)의 전류가 공급되며, 상기 통전롤들과 상기 하부 가이드 롤 사이 및 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이의 상기 반응조에 수용된 도금액 중에 설치되고, 그 사이를 통과하는 피도금 필름의 구리 피막에 구리 도금층을 도금하기 위하여 상기 반응조 및 상기 이동 측벽에 설치되는 다수 쌍의 지그들을 포함한다.

상기 도금조는 피도금 필름으로부터 세척액을 제거하기 위하여, 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이에 제공되는 상기 지그들에 각각 설치되는 한 쌍의 스퀴즈 롤들을 추가로 포함할 수도 있다.

상기 통전롤들, 상기 하부 가이드 롤 및 상기 이송롤은 바람직하게 나사축에 의해 그 높이가 미세 조정된다.

피도금 필름은 상기 산세척 장치의 전단에 설치되는 공급 기구에 설치된 롤에 권취된 상태에서, 상기 가열 장치의 후단에 설치된 감이 기구의 동력에 의하여 상기 산세척 장치, 상기 수세척 장치들 및 상기 구리 도금 장치들을 소정의 속도로 통과하여 이송된다.

상기 지그는 피도금 필름과 마주하는 일면이 개방된 케이스, 구리 전해액에 구리이온을 보충하기 위한 구리 볼을 수용하고, 케이스에 수용되는 바스켓을 포함한다.

대안적으로, 본 발명에 따른 FCCL 필름 제조에 사용되는 세척 장치는, 양면에 구리 피막이 형성된 피도금 필름을 가이드하기 위하여 전방 상부 및 후방에 각각 회전되도록 설치되는 상부 가이드 롤 및 이송롤, 내측 중앙 양측에 슬라이드되도록 설치되는 한 쌍의 이동 측벽의 하부에 위치되어 이송중인 피도금 필름을 가이드하는 하부 가이드 롤, 및 상기 상부 가이드 롤과 상기 하부 가이드 롤 사이 및 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이에서 이송중인 피도금 필름의 양면에 세척액을 분사하도록 측벽 및 상기 이동 측벽에 설치되는 다수 쌍의 분사 노즐들이 설치되는 세척조; 상기 세척조로 공급하기 위한 세척액을 저장하는 세척액 저장조; 상기 피도금 필름에 세척액을 분사하도록 세척조로 세척액을 펌핑하는 한편 외부의 세척액 탱크로부터 상기 세척액 저장조로 세척액을 공급하기 위한 이송 펌프; 및 상기 세척조로 공급되는 세척액중 이물질을 여과하기 위한 필터를 포함한다.

아울러, 본 발명에 따라서, FCCL 필름 제조에 사용되는 구리 도금 장치는, 전방 상부에 설치되어 상기 피도금 필름을 가이드하는 한편, 피도금 필름의 양면에 형성된 구리 피막에 음극(-)의 전류를 공급하기 위한 통전롤들, 후방 상부에 설치되어 상기 피도금 필름을 이송하는 이송롤, 중앙 부분에서 상하로 슬라이드되도록 설치되는 한 쌍의 이동 측벽의 하부에 위치되어 이송중인 피도금 필름을 가이드하는 하부 가이드 롤, 및 이송중인 피도금 필름을 침적시키기 위한 도금액을 수용하며, 양극(+)의 전류가 공급되어 그 사이를 통과하는 피도금 필름의 구리 피막에 구리 도금층을 형성하는 다수 쌍의 지그들이 설치되는 도금조; 상기 도금조의 하부에 위치되는 도금액 저장조; 상기 도금액 저장조로부터 상기 도금조로 도금액을 공급하기 위한 도금액 공급 펌프; 및 상기 도금조로 공급되는 도금액중 이물질을 제거하기 위한 필터를 포함한다.

대안적으로, 상기된 바와 같은 목적은, 구리 피막이 양면에 형성된 폴리이미드 필름을 피도금체로 하여 연속적으로 양면에 구리 도금층을 형성하여 FCCL 필름을 제조하는 방법에 있어서, 묽은 산용액을 피도금체의 양면에 분사하여, 상기 구리 피막에 형성된 산화피막을 제거하는 산세척 단계; 산세척된 피도금 필름에 세척액을 분사하여, 피도금 필름에 잔류하는 상기 산세척액을 제거하는 제 1 세척 단계; 구리 전해액을 작업 유체로 하여 상기 구리 피막 상에 구리 핵을 포함하는 구리 도금층을 형성하는 도금 단계; DI 워터를 작업 유체로 하여 구리 도금층 상에 잔류하는 구리 전해액을 세척하는 제 2 세척 단계를 포함하며; 상기 도금 단계와 상기 제 2 세척 단계는 1회 이상 반복 수행되는 것을 특징으로 하는 본 발명에 따른 FCCL 필름 제조 방법에 의해 달성될 수 있다.

상기에서, 본 발명에 따른 FCCL 필름 제조 방법은, 피도금 필름 상에 최종적으로 도금된 구리 도금층이 녹이 스는 것을 방지하기 위하여 구리 도금층을 방청 처리하는 방청 단계와, 방청액을 건조시키기 위한 건조 단계를 추가로 포함할 수도 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.

도면에서, 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호로 지시하고, 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 FCCL 필름 제조 장치의 전체적 구성을 나타낸 측면도이다. 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 FCCL 필름 제조 장치(100)는 피도금체로서 폴리이미드 필름이 연속적으로 공급되며, 폴리이미드 필름은 그 양면에 구리 피막이 얇게 코팅되어 있다. 폴리이미드 필름(이하, 피도금 필름(F)이라 한다)은 FCCL 제조 장치(100)의 전단부에 제공되는 피도금 필름 공급 기구(101, 이하 공급 기구라 한다)에 권취되어 있으며, FCCL 필름으로 제조될 수 있도록 FCCL 제조 장치(100)에 의하여 구리 층(Cu Layer)이 8~30㎛ 두께로 피도금 필름(F)의 양면에 제공된 구리 피막 상에 도금된다.

본 발명에 따른 FCCL 필름 제조 장치(100)는 도 1에 도시된 바와 같이 전단부에서 피도금 필름(F)을 공급하기 위한 피도금 필름 공급 기구(101), 피도금 필름 공급 기구(101)로부터 공급되는 피도금 필름(F)을 산세척하기 위한 산세척(pickling) 장치(1), 산세척 장치(1)에서 산세척되고 제 1 및 제 2 도금 장치 (2a,2b)에 의해 도금된 피도금 필름(F)을 DI 워터(Deionized Water)와 같은 세척액으로 세척하기 위한 제 1, 2 및 3 수세척 장치(3a, 3b 및 3c), 세척된 피도금 필름(F)의 구리 피막 상에 상기된 바와 같은 구리 도금층을 도금하기 위한 제 1 및 제 2 도금 장치(2a,2b), 피도금 필름(F) 상의 구리 도금층의 부식을 방지하기 위하여 구리 도금층에 방청액을 분사하기 위한 방청 장치(4), 도금이 완료된 피도금 필름(F) 상의 방청액을 건조시키기 위한 건조 장치(5), 피도금 및 공급 기구(101)에 권취된 피도금 필름(F)을 당기기 위하여 건조 장치(5)의 후단부에 제공되는 감이 기구(102)를 포함한다. 이러한 장치들은 서로 분리될 수 있도록 서로 연결 구성되어, 하나의 프레임 상에 배치된다.

양면에 구리 피막이 얇게 코팅된 150㎜의 폭을 가지는 피도금 필름(F)과 같은 피도금체는 전처리 장치에서 구리 도금을 위하여 전처리된 후에, 롤에 감긴 상태에서 회전축을 가지는 피도금 필름 공급 기구(101)에 끼워지며, 피도금 필름 공급 기구(101)에 설치된 롤에 감긴 피도금 필름(F)은 감이 기구(102)의 작동에 의해 피도금 필름 공급 기구(101)의 회전축과 함께 회전되어, 산세척 장치(1)로 대략 0.1m/min의 속도로 이송된다. 피도금 필름 공급 기구(101)는 피도금 필름(F)의 공급 속도의 급격한 변화를 방지하는 한편, 피도금 필름(F)의 설정된 공급 속도를 유지하기 위해 마그네트 브레이크(도시되지 않음)가 제공된다. 감이 기구(102)는 구동 수단인 모터와 모터에 연결된 회전축을 포함하고, 피도금 필름(F)은 감이 기구(102)에 의해 상기된 바와 같이 0.1m/min의 이송 속도로 이송된다.

산세척 장치(1)는 피도금 필름 공급 기구(101)로부터 공급되는 피도금 필름 (F)의 상하면에 형성된 산화 피막을 제거하기 위한 장치로서, 산세척액으로는 묽은 산용액이 사용된다. 산세척 장치(1)에서, 피도금 필름(F)은 상하 양면에 분사되는 산세척액과 산세척액에 침적되어, 피도금 필름(F)의 상하 양면에 형성된 산화피막이 제거된다. 이러한 산세척 장치(1)의 상세한 구성은 작업 유체로 사용되는 세척액의 차이를 제외하면, 수세척 장치(3a 내지 3b)의 구성과 동일하므로, 후술되는 세척 장치에 대한 설명으로 대신한다.

피도금 필름(F)은 상기된 바와 같이 폴리이미드 필름의 양면에 얇은 구리피막이 코팅된다. 이러한 구리 피막은 공기 중에서 쉽게 산화되기 때문에, 표면에 산화 피막이 생성되고 생성된 산화피막은 구리 도금층이 형성되는 것을 방해한다. 그러므로, 도금 효율과 도금 품질을 높이도록, 도금 처리 전에 피도금 필름(F)에서 산화피막을 제거하는 것이 바람직하다.

제 1 수세척 장치(3a)는 상기된 바와 같이 세척액을 이용하여 산세척 장치(1)을 통과한 피도금 필름(F)의 표면에 잔류하는 묽은 산용액을 제거한다. 제 1 수세척 장치(3a)는 그 구조에 있어서 상기된 바와 같이 세척액으로서 DI 워터(Deionized Water)를 사용한다는 점 외에는 산세척 장치(1)와 전체적으로 동일하다.

도금 장치(2a,2b)들은 피도금 필름(F)의 상하 양면에 각각 접촉하여 피도금 필름(F)을 이송시키는 한 쌍의 통전롤(추후에 보다 상세하게 설명됨)을 구비한다. 통전롤들에는 음극(-)의 전류가 공급되고, 도금 장치(2a,2b)의 도금조에 제공되는 한 쌍의 지그에는 양극(+)의 전류가 공급된다. 그러므로, 음극(-)의 피도금 필름 (F)은 양극(+)의 기능을 하는 한 쌍의 지그들 사이를 통과하는 동안 피도금 필름(F)의 양면 상에 구리 도금층이 형성된다.

한편, 제 1 도금 장치(2a)와 제 2 도금 장치(2b)는 서로 동일한 구성을 가지며, 피도금 필름(F)은 제 1 도금 장치(2a)를 통과하는 동안 상하 양면에 코팅된 구리 피막 상에 구리핵이 형성되는 동시에 1차적으로 구리 도금층이 형성되며, 제 2 도금 장치(2b)에서는 제 1 도금 장치(2a)에서 형성된 구리핵으로 인하여 필요한 두께의 구리 도금층이 피도금 필름(F)의 양면에 효과적으로 형성될 수 있다. 즉, 제1 도금 장치(2a)는 제 2 도금 장치(2b)에서의 구리 도금층 형성을 활성화시키는 역할을 한다.

제 2 수세척 장치(3b)와 제 3 수세척 장치(3c) 또한 DI 워터를 세척액으로 사용하며, 각각은 제 1 도금 장치(2a)와 제 2 도금 장치(2b)를 통과하는 동안 피도금 필름(F)의 양면에 형성된 도금층 표면에 잔류하는 구리 전해액을 세척하는 역할을 한다. 그 구성은 전술한 제1세척 장치의 구성과 동일하여 설명을 생략한다.

방청 장치(4) 또한 방청액을 세척액으로 사용한다는 점 외에 상기된 세척 장치들과 동일한 구성으로서, 양면에 도금층이 형성된 피도금 필름(F)의 표면에 방청액을 분사함과 동시에 피도금 필름(F)을 방청액에 침적시켜, 도금된 구리 도금층에 녹이 발생하는 것을 방지한다. 한편, 건조 장치(5)는 전열기 및 송풍기(도시되지 않음)를 구비하여, 열풍으로 도금층 표면에 잔류하는 방청액을 건조된 후에, 감이 기구(102)에 롤 형태로 감기게 된다.

도 2는 도 1에 도시된 본 발명에 따른 FCCL 제조 장치에서 사용되는 산세척, 수세척 장치 또는 방청 장치의 전체 구성을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 산세척, 수세척 장치 또는 방청 장치의 평면도이고, 도 4는 도 2에 도시된 산세척, 수세척 장치 또는 방청 장치의 측면도이고, 도 5는 도 2에 도시된 산세척, 수세척 장치 또는 방청 장치의 상부에서 바라본 사시도이고, 도 6은 도 2에 도시된 산세척, 수세척 장치 또는 방청 장치의 이동 측벽이 상승된 상태에서의 측면도이다.

상기된 바와 같이, 산세척 장치(1), 제 1 내지 제 3 수세척 장치(3a,3b,3c) 및 방청 장치(4)는 사용되는 세척액만 다르고 그 구조에 있어서 동일하기 때문에, 이러한 세척 장치를 총칭하여 세척 장치(1)로 하여, 세척 장치에 대해 설명한다.

세척 장치(1)는 도 4에 도시된 바와 같이 피도금 필름(F)을 세척하기 위하여 세척액을 분사하는 다수의 노즐(35a,35b,36a,36b)들이 설치되며 노즐(35a,35b,36a,36b)들로부터 분사된 세척액을 수용하는 세척조(6), 노즐(35a,35b,36a,36b)들로 공급하기 위한 세척액을 저장하는 세척액 저장조(7), 세척액 저장조(7)로부터 세척액을 세척조(6) 및 노즐(35a,35b,36a,36b)들로 펌핑하는 한편 외부의 세척액 탱크로부터 세척액 저장조(7)로 세척액을 공급하기 위한 이송 펌프(8), 및 세척조(6)로 공급되는 세척액중의 이물질을 여과하기 위한 필터(9)를 포함한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 상기된 바와 같은 각각의 구성 요소들은 도 1에 도시된 바와 같이 하나의 지지 프레임 상에 배치되어, 하나의 세척 장치(1)를 구성한다.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 세척조(6)는 상부가 개방된 사각통 형상의 외측 케이스(10)와, 외측 케이스(10)의 양측벽(10a,10b)으로부터 내측으로 일정 거리 떨어져 배치되는 한 쌍의 내측벽(11)들을 구비한다. 내측벽(11)들의 높이는 도 2로부터 알 수 있는 바와 같이 외측 케이스(10)의 높이보다 낮으며, 내측벽(11)들 사이의 공간은 피도금 필름(F)의 세척을 위한 처리조(12)로 된다. 또한 내측벽(11)들과 외측 케이스(10) 사이의 공간은 내측벽(11)을 넘친 세척액을 세척액 저장조(7)로 배출하기 위한 배출조(15)로서 기능한다.

상기된 바와 같이 처리조(12)는 세척액(미도시)을 수용하고, 배출조(15)는 처리조(12)를 구성하는 내측벽(11)을 넘친 세척액을 수용하여, 하부면에 형성된 4개의 배출구(16)를 통해 세척조(6)의 하부에 위치되는 저장조(7)로 세척액을 배출시키는 역할을 한다. 내측벽(11)들은 내측면 양측부에 고정 측벽(17a)과, 이 고정 측벽(17a)들 사이에서 상하로 슬라이딩 가능하게 결합된 중앙의 이동 측벽(17b)이 설치된다.

처리조(12)의 전방의 외측 케이스(10)의 상부 부분에는 피도금 필름(F)을 가이드하기 위한 상부 가이드 롤(18)이 설치되고, 또한 후방의 외측 케이스(10)의 상부 부분에는 피도금 필름(F)의 이송을 돕기 위한 이송롤(19)들이 설치된다. 상부 가이드 롤(18)들은 외측 케이스(10)의 전면 벽(20a)의 상부에 고정되는 가이드 롤 지지대(21)에 회전 및 승강 가능하게 설치된다. 가이드 롤 지지대(21)는 상하 방향의 장공(도시되지 않음)이 형성되어 있으며, 상부 가이드 롤(18)의 축(22)의 양단부가 장공에 회전 가능하게 설치됨으로써, 상부 가이드 롤(18)은 축(22)을 중심으로 회전할 수 있다. 상부 가이드 롤(18)은 또한 도 4로부터 알 수 있는 바와 같이 나사축(23)이 가이드 롤 지지대(21)에 나사 결합되는 높이 조정 노브(24)들에 의해 양측부가 지지된다. 그러므로, 높이 조정 노브(24)를 회전시키는 것에 의하여 상부 가이드 롤(18)의 높이가 미세 조정될 수 있다.

한편, 상부 가이드 롤(18)과 마주한 외측 케이스(10)의 후면 벽(20b)에는 감이 기구(102)에 의해 당겨지는 피도금 필름(F)의 이송을 돕기 위한 이송롤(19) 또는 피도금 필름(F)에 형성된 구리 피막에 구리 도금층을 도금하는데 사용되는 통전롤(59)들이 설치될 수 있다. 이송롤(19)은 피도금 필름(F)을 이송을 용이하게 하기 위하여 피도금 필름(F)에 마찰력을 부여하도록 고무재로 만들어진다. 한편, 상부 가이드 롤(18)은 감이 기구(102)의 회전력과 이송롤(19)의 이송력에 의해 이송되는 피도금 필름(F)을 단지 가이드하도록 테프론과 같은 비도전성 합성수지로 만들어진다.

이송롤(19)은 도 4로부터 알 수 있는 바와 같이 상부 이송롤(19a) 및 하부 이송롤(19b)의 한 쌍으로 구성되며, 각각의 상부 이송롤(19a,19b)들은 상부 가이드 롤(18)과 마찬가지로 각각의 축(25a,25b)들이 이송롤 지지대(26)에 상하 방향으로 형성된 장공에 회전 가능하게 설치되는 한편, 하부 이송롤(19b)의 양측부가 이송롤 지지대(26)에 나사축(27)이 나사 결합된 높이 조정 노브(28)들에 의해 지지되고, 높이 조정 노브(28)들이 회전됨으로써 그 높이가 조정될 수 있다.

상부 가이드 롤(18)과 이송롤(19) 사이의 처리조(12) 내에는 처리조(12)의 하부 중앙 부분에서 피도금 필름(F)을 가이드하기 위한 하부 가이드 롤(49)이 설치된다. 하부 가이드 롤(49)은 도 4 및 도 6에 보다 상세하게 도시된 바와 같이 서로 대향하는 한 쌍의 이동 측벽(17b)의 하부 중앙부에 상하 방향으로 길게 형성된 직사각 구멍(29)에 끼워지는 슬라이더(30)에 그 축(31)이 설치된다. 슬라이더(30)는 나사축(32)을 통해 하부롤 높이 조정 노브(33)에 연결되고, 나사축(32)은 이동 측벽(17b)의 상부 부분에 나사 결합된다.

그러므로, 슬라이더(30)는 도 4에 도시된 바와 같이 화살표 방향으로 하부롤 높이 조정 노브(33)를 회전시키는 것에 의하여 직사각 구멍(29) 내에서 승강할 수 있으며, 이러한 슬라이더(30)의 승강에 의해 하부 가이드 롤(49)의 높이가 미세 조정될 수 있다. 따라서, 하부 가이드 롤(49)은 정확한 위치에서 그 외주면이 피도금 필름(F)의 상부면과 접촉되어 회전하면서, 처리조(12)의 내측 하부에서의 피도금 필름(F)의 이송을 가이드할 수 있다.

도 4로부터 명백히 알 수 있는 바와 같이, 수세척 장치에서의 피도금 필름(F)의 이송 경로는 전체적으로 처리조(12)의 상부에서 하부를 거쳐 다시 상부로 굽어지도록 형성되며, 하부 가이드 롤(49)은 피도금 필름(F)의 이송 경로의 굽어진 지점에 배치된다. 즉, 피도금 필름(F)의 이송 경로는 처리조(12)의 측면에서 볼 때 전체적으로 V자 형상을 이루며, 그 경사각은 상부 가이드 롤(18), 하부 가이드 롤(49) 또는 이송롤(19)의 상하 이동 높이에 따라 조절될 수 있으며, 특히 하부 가이드 롤(49)의 상하 이동 높이에 따라 처리조(12) 내에서의 피도금 필름(F)의 침적 깊이가 결정될 수 있다.

한편, 처리조(12) 내의 상부 가이드 롤(18)과 하부 가이드 롤(49) 사이, 그리고 하부 가이드 롤(49)과 이송롤(19, 또는 도금 장치에서의 통전롤) 사이의 피도금 필름(F)의 이송 경로 양측에는 서로 마주하는 각 쌍의 노즐(35a,35b; 36a,36b)들이 설치된다. 내측의 분사 노즐(35a,36a)들은 도 4에 도시된 바와 같이 이동 측벽(17b)에 설치되고, 외측의 분사 노즐(35b,36b)들은 외측 케이스(10)에 설치된다.

이러한 분사 노즐(35a,35b; 36a,36b)들은 서로 마주하도록 배치되고, 피도금 필름(F)이 분사 노즐(35a,35b; 36a,36b)들 사이를 통과한다. 분사 노즐(35a,35b)들은 피도금 필름(F)을 세척하기 위한 DI 워터와 같은 세척액을 피도금 필름(F)의 양면에 분사하도록 서로 마주도록 형성되는 분사슬릿(37,38)이 각각 형성되어 있다. 따라서, 피도금 필름(F)은 세척 장치(1)을 통과하는 동안 분사 노즐(35a,35b; 36a,36b)로부터 분사되는 세척액 및 처리조(12) 내의 세척액에 침적되는 것에 의해 세척될 수 있다. 분사 노즐(35a,35b; 36a,36b)로부터 고압 분사되는 세척액은 세척액 저장조(7)로부터 이송 펌프(8)에 의해 분사 노즐(35a,35b; 36a,36b)로 공급된다.

또한, 상기된 바와 같이 분사 노즐(35a,35b; 36a,36b)로부터 분사되는 세척액 및 처리조(12) 내에 침적되는 것에 의한 세척이 실시된 피도금 필름(F) 상에 잔류하는 세척액을 제거하기 위하여, 한 쌍의 스퀴즈 롤(39a,39b)들이 하부 가이드 롤(49)과 이송롤(19, 또는 도금 장치에서의 통전롤) 사이의 분사 노즐(36a,36b)에 각각 제공된다. 이러한 스퀴즈 롤(39a,39b)들은 피도금 필름(F)에 대한 손상을 방지하기 위하여 폴리프로필렌(PP)과 같은 재질의 스펀지 롤을 사용하는 것이 바람직하다.

도 6을 참조하면, 처리조(12)의 청소나 보수를 용이하게 하기 위하여, 이동 측벽(17b)이 도 4에 도시된 위치로부터 상승된 상태가 도시되었다. 이동 측벽(17b)은 도 6에 도시된 바와 같이 그 하부 양측에 다수의 지지구(40)들이 제공되고, 이러한 지지구(40)들은 이동 측벽(17b)이 상승되었을 때 스프링과 같은 탄성 수단에 의하여 외측으로 돌출되어, 이동 측벽(17b)의 양측에 제공되는 고정 측벽(17a)들의 상단에 지지되고, 도 6에 도시된 상태로부터 도 4에 도시된 상태로 복귀될 때, 사용자에 의하여 이동 측벽(17b) 내로 수용됨으로써, 이동 측벽(17b)이 고정 측벽(17a)들 사이에 위치될 수 있다.

이와 같이, 이동 측벽(17b)이 상승됨으로써, 이동 측벽(17b)에 설치되는 하부 가이드 롤(49), 내측의 분사 노즐(35a,36a)들, 및 내측 스퀴즈 롤(39a)이 이동 측벽(17b)과 함께 위로 상승된다. 따라서, 이동 측벽(17b)이 상승된 상태에서, 세척조(6) 내의 각 구성 부분의 수리 및 처리조(12) 하부의 청소가 용이하게 수행될 수 있다.

이와 같은 구성을 갖는 세척조(6)의 하부에는 제공되는 저장조(7)는 상부가 개방된 사각통 형상을 하며, 배출조(15)로부터 바닥에 형성된 배출구(16)와 연결된 4개의 배출관(34)이 저장조(7) 내부로 연장한다. 그러므로, 처리조(12)로부터 배출조(15)로 유출된 세척액이 배출관(34)을 통하여 세척액 저장조(7)로 배출될 수 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 세척액 저장조(7)의 측면 하부에는 이송 펌프(8)가 배치되고, 이송 펌프(8)는 세척액 저장조(7)의 하부와 유로관(41)을 통해 서로 연결되어, 저장조(7) 내에 저장된 세척액을 흡입하여 이송 펌프(8)의 상부에 배치 된 필터(9)로 펌핑하여, 필터(9)에 의해 이송 펌프(8)로부터 펌핑된 세척액 중의 불순물이 제거된다. 필터(9)에 의해 불순물이 제거된 세척액은 각각의 분사 노즐(35a,35b;36a,36b)의 양측면에 연결되는 유입관(42a,42b)들을 통해 분사 노즐(35a,35b;36a,36b)로 공급된다. 피도금 필름(F)을 세척하기 위하여 분사 노즐(35a,35b;36a,36b)로부터 공급된 세척액은 처리조(12)로 수용됨으로써 전체적으로 순환되는 구성을 갖는다.

전술한 바와 같은 구성을 갖는 세척 장치(1)에 있어서, 세척액의 순환흐름 및 피도금 필름(F)의 이송 및 세척 과정을 다시 한번 간략히 설명하자면, 세척액은 이송 펌프(8)에 의해 70ℓ/min의 유량으로 펌핑되어, 필터(9)를 통과하는 동안 불순물이 제거된 후, 처리조(12) 내의 분사 노즐(35a,35b;36a,36b)들로부터 피도금 필름(F)에 고속으로 분사되어, 피도금 필름(F)의 표면에 잔류하는 불순물이 세척액에 의해 제거된다.

분사 후의 세척액은 처리조(12)의 내측벽(11)을 넘어 배출조(15)로 유입되어, 배출조(15)의 하부에 형성된 다수의 배출구(16)를 통해 세척액 저장조(7)로 복귀된다. 피도금 필름(F)의 침적 깊이는 하부 가이드 롤(49)의 상하 위치 조정으로 조정될 수 있으며, 피도금 필름(F)의 이송 경사각은 상부 가이드 롤(18) 및 이송롤(19) 또는 통전롤의 높이를 조절하여 제어될 수 있다. 또한, 피도금 필름(F) 표면에 잔류하는 세척액은 한 쌍의 스퀴즈 롤(39a,39b)들에 의해 제거될 수 있다.

도 7은 본 발명에 따른 FCCL 필름 제조 장치에서 사용되는 구리 도금 장치의 전체적 구성을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 8은 도 7에 도시된 구리 도금 장 치에서 사용되는 도금조의 개략 평면도이고, 도 9는 도 7에 도시된 구리 도금 장치의 측면도이고, 도 10은 통전롤 및 내측벽을 제거한 도금조의 절개 사시도이고, 도 11은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 지그의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 12는 도 7에 도시된 구리 도금 장치에서 이동 측벽이 상승된 상태의 구리 도금 장치의 측면도이다.

구리 도금 장치(2)는 도 7에 도시된 바와 같이 도금조(50), 도금조(50)의 하부에 위치되는 도금액 저장조(51), 도금액 공급 펌프(52) 및 필터(53)를 포함한다. 도금 장치(2) 또한 세척 장치(1)와 마찬가지로 각 구성 요소들이 하나의 지지 프레임(도시되지 않음) 내에 배치된다.

도 7 내지 도 12를 참조하면, 구리 도금 장치(2)의 상부에 배치되는 도금조(50)는 상부가 개방된 사각 박스 형상의 외측 케이스(54)와, 외측 케이스(54)의 양측벽(54a,54b)으로부터 내측으로 일정 거리 떨어져 상호 대향하도록 배치된 한 쌍의 내측벽(55)들을 구비한다. 내측벽(55)들의 높이는 외측 케이스(54) 보다 낮고, 이러한 내측벽(55)들 사이의 공간은 반응조(56)로서 기능하고, 각 내측벽(55)과 외측 케이스(54) 사이의 공간은 배출조(57)로서 기능한다.

상기된 바와 같이 내측벽(55)들 사이에 형성되는 반응조(56)는 구리 전해액이 수용되고, 배출조(57)는 내측벽(55)을 넘어 반응조(56)로부터 유출되는 구리 전해액이 수용된다. 배출조(57)의 하부면에는 다수의 배출구(58)들이 형성되어, 구리 전해액은 배출구(58)들을 통해 도금조(50)의 하부에 위치되는 도금액 저장조(51)로 배출된다.

도 8에 도시된 바와 같이, 도금조(50)의 외측 케이스(54) 내에 제공되는 한 쌍의 내측벽(55)들은 각각 내측 양측부에 고정 측벽(55a)들이 제공되고, 이러한 고정 측벽(55a)들 사이의 중앙 부분의 이동 측벽(55b)이 고정 측벽(55a)들에 상하 방향으로 슬라이딩 가능하게 결합된다.

외측 케이스(54)의 한 쪽에는 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 한 쌍의 통전롤(59)들이 설치되고, 이러한 통전롤(59)들은 세척 장치(1)의 상부 가이드 롤(18)과 마찬가지로 통전롤 지지대(60)에 상부 및 하부에 회전 가능하게 설치되고, 전방 벽(61a)의 상부에 고정된다. 통전롤(59)들이 설치되는 통전롤 지지대(60)는 한 쌍의 상하 방향의 장공(도시되지 않음)들이 형성되어 있으며, 이러한 장공들에 한 쌍의 통전롤(59)의 축(62a,62b)들의 양단부가 끼워짐으로써, 한 쌍의 통전롤(59)들은 축(62a,62b)들을 중심으로 회전하는 동시에 장공을 따라서 상하 방향으로 이동할 수 있다.

이러한 한 쌍의 통전롤(59)들은 도 9에 도시된 바와 같이 피도금 필름(F)의 하부면과 접촉하는 하부의 제 1 통전롤(59a)과, 피도금 필름(F)의 상부면을 제 1 통전롤(59a)을 향해 가압하는 상부의 제 2 통전롤(59b)을 포함한다. 즉, 제 1 통전롤(59a)은 그 외주면에 피도금 필름(F)의 하부면이 접촉한 상태에서 회전하여 피도금 필름(F)의 이송을 가이드하며, 피도금 필름(F)의 상부에 위치되는 제 2 통전롤(59b)은 피도금 필름(F)의 상부면을 가압하는 상태에서 회전하여, 피도금 필름(F)의 이송을 가이드 한다. 한편 통전롤(59a,59b)들의 축(62a,62b)의 양단에는 각각의 통전롤(59a,59b)의 접속 단자를 은폐하기 위한 커버(63a,63b)들이 각각 제공된다. 각각의 통전롤(59a,59b)들은 그 외주면이 티타늄으로 만들어지고, 외부의 전류 공급 장치(도시되지 않음)와 연결되어, 피도금 필름(F)이 이송되는 동안, 음극(-)의 전류가 통전롤(59a,59b)들에 공급됨으로써, 통전롤(59a,59b)들의 외주면과 접촉되는 피도금 필름(F)의 구리 피막이 음극(-)을 띠게 된다.

이러한 통전롤(59)들은 또한 도 9 및 도 10으로부터 알 수 있는 바와 같이 나사축(63)이 통전롤 지지대(60)에 나사 결합되는 높이 조정 노브(64)들에 의해 양측부가 지지된다. 그러므로, 높이 조정 노브(64)를 회전시키는 것에 의하여 통전롤(59)의 높이가 미세 조정될 수 있다.

도면에 도시된 바와 같이, 도금조(50)의 하부에는 세척 장치(1)와 마찬가지로 피도금 필름(F)의 이송을 가이드하기 위한 하부 가이드 롤(65)이 이동 측벽(55b)에 회전 가능하게 제공된다. 한편, 상기된 바와 같이, 한 쌍의 이동 측벽(55b)은 내측벽(55)의 중앙에서 상하 방향으로 슬라이딩 가능하게 제공되며, 이러한 이동 측벽(55b)의 하부 중앙부에는 상하 방향으로 길게 형성된 직사각 구멍(13)이 형성된다. 도 9에 도시된 바와 같이 이동 측벽(55b)에 형성된 직사각 구멍(13)에는 하부 가이드 롤(65)의 축(73)의 양단부가 회전 가능하게 지지되는 슬라이더(74)가 직사각형 구멍(72)을 따라서 상하 이동 가능하게 설치된다. 하부 가이드 롤(65) 또한 그 외주면이 피도금 필름(F)의 상부면과 회전 접촉되어, 반응조(56) 내에서의 피도금 필름(F)의 이송을 가이드한다.

통전롤(59)과 마주하여 외측 케이스(54)의 후면벽(61b)의 상부에 이송롤(70)이 설치되고, 이송롤(70)은 후면벽(61b)에 고정되는 한 쌍의 이송롤 지지대(66)에 회전 가능하도록 결합되는 한편, 이송롤 지지대(66)는 상하 방향의 장공(도시되지 않음)이 형성되어 있다. 이송롤(70)의 축(67)의 양단부가 이송롤 지지대(66)에 형성된 장공에 끼워짐으로써, 이송롤(70)은 축(67)을 중심으로 회전하는 동시에, 장공의 길이 방향을 따라서 상하로 이동 가능한 구조를 가진다.

하부 가이드 롤(65)은 또한 도 9 및 도 12에 보다 상세하게 도시된 바와 같이 서로 대향하는 한 쌍의 이동 측벽(55b)의 하부 중앙부에 상하 방향으로 길게 형성된 직사각 구멍(13)에 끼워지는 슬라이더(74)에 그 축(73)이 설치된다. 슬라이더(74)는 나사축(86)을 통해 하부롤 높이 조정 노브(14)에 연결되고, 나사축(86)은 이동 측벽(55b)의 상부 부분에 나사 결합된다.

그러므로, 슬라이더(74)는 도 12에 도시된 바와 같이 화살표 방향으로 하부롤 높이 조정 노브(14)를 회전시키는 것에 의하여 직사각 구멍(13) 내에서 승강할 수 있으며, 이러한 슬라이더(74)의 승강에 의해 하부 가이드 롤(65)의 높이가 미세 조정될 수 있다. 따라서, 하부 가이드 롤(65)은 정확한 위치에서 그 외주면이 피도금 필름(F)의 상부면과 접촉되어 회전하면서, 반응조(56)의 내측 하부에서의 피도금 필름(F)의 이송을 가이드할 수 있다.

상기된 바와 같이, 외측 케이스(54)의 상부에 통전롤(59) 및 이송롤(70)이 설치되고, 통전롤(59)과 이송롤(70)들 사이의 중앙 하부에 하부 가이드 롤(65)이 설치되기 때문에, 피도금 필름(F)의 이송 경로는 세척 장치(1)에서와 같이 반응조(56)의 측면에서 볼 때 전체적으로 'V'자 형상으로 만들어지며, 반응조(56)의 상부로부터 하부를 거쳐 다시 상부로 이송되도록 형성된다. 피도금 필름(F)의 이송 경 사각은 통전롤(59), 하부 가이드 롤(65) 및 이송롤(70)의 상하 이송 높이에 따라 조절된다. 특히, 하부 가이드 롤(65)의 상하 이동 높이에 따라 반응조(56) 내에서의 피도금 필름(F)의 침적 깊이가 결정된다.

도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이 통전롤(59)과 하부 가이드 롤(65) 사이 및 하부 가이드 롤(65)과 이송롤(70) 사이의 피도금 필름(F)의 이송 경로 상의 반응조(56) 내에 두 쌍의 지그(68a,68b;69a,69b)들이 설치된다. 각 쌍의 지그(68a,68b;69a,69b)들은 도 10에 도시된 바와 같이 상부면과 전면이 개방된 사각통의 형상으로 형성되고, 지그(68a,68b;69a,69b)들의 개방된 전면은 서로 마주하도록 설치된다. 각 쌍의 지그(68a,68b;69a,69b)들은 서로 분리되는 내측 지그(68a,69a)와 외측 지그(68b,69b)를 포함하고, 피도금 필름(F)은 지그(68a,68b;69a,69b)들의 마주하는 전면 사이를 통과한다. 이러한 지그(68a,68b;69a,69b)들 또한 롤들과 마찬가지로 티타늄 재질로 만들어지고, 양극(+)의 전류가 공급된다. 따라서, 지그(68a,68b;69a,69b)들은 구리 전해액이 반응조(56)에 수용되는 경우에 양극(+)의 전류를 띠게 된다.

또한, 한 쌍의 지그(68a,68b;69a,69b)들과 이송롤(70) 사이에는 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이 한 쌍의 스퀴즈 롤(73a,73b)들이 피도금 필름(F)의 이동 경로의 하류측에 제공된다. 스퀴즈 롤들중 외측 스퀴즈 롤(73b)은 브라켓(77)을 통해 외측 케이스(54)의 후면벽(61b)의 상부에 고정되고, 내측 스퀴즈 롤(73a)은 브라켓(78)을 통해 이동 측판(55a)의 상부에 회전 가능하게 설치된다. 이러한 스퀴즈 롤(73a,73b) 또한 폴리프로필렌(PP)과 같은 재질의 스폰지 롤로 만들어진다.

도 11은 본 발명의 바람직한 실시예에서 사용되는 지그(68a,68b;69a,69b)의 구성을 도시한 사시도이고, 도 11에 도시된 바와 같이, 지그(68a,68b;69a,69b)는 상부면과 전면이 개방된 사각통의 형상을 가지는 케이스(79)와, 지그(68a,68b;69a,69b)가 반응조(56) 내에 침적될 때 반응조(56) 내에 수용된 구리 전해액에 구리 이온을 보충하기 위하여 인을 함유한 구리볼(도시되지 않음)이 수용될 수 있도록 그물로 만들어지고 케이스(79)에 대하여 착탈 가능하게 결합되는 바스켓(80)을 포함한다. 그러므로, 지그(68a,68b;69a,69b)들은 반응조(56) 내에서 개방된 전면이 피도금 필름(F)과 마주하고, 피도금 필름(F)이 지그(68a,68b;69a,69b)들 사이를 통과할 때 피도금 필름(F)의 상하면에 구리 도금층이 도금되는 동안, 반응조(56) 내의 구리 전해액에서 손실되는 구리 이온이 지그(68a,68b;69a,69b)에 의해 효과적으로 보충될 수 있다.

내측 지그(68a,69a)들은 축(71a,72a)이 이동 측벽(55b)에 회전 가능하게 설치되고, 외측 지그(68b,69b)의 축(71b,72b)은 고정 측벽(55a)에 회전 가능하게 설치된다. 그러므로, 내측 스퀴즈 롤(73a)이 도 12에서 이점쇄선으로 도시된 위치에서 실선으로 도시된 바와 같이 피도금 필름(F)으로부터 떨어지도록 선회된 상태에서, 고정 측벽(55a)들 사이에서 이동 측벽(55b)이 상승됨으로써, 내측 지그(68a,69a), 하부 가이드 롤(65), 및 내측 스퀴즈 롤(73a)은 이동 측벽(55b)과 함께 상승될 수 있다. 상승된 이동 측벽(55b)은 하부에 제공되는 지지구(81)들에 의해 고정 측벽(55a)에 지지되어, 상승된 상태를 유지할 수 있다. 이동 측벽(55b)이 상승된 상태에서, 이러한 부재들 각각의 수리 또는 반응조(56)의 수리 및 청소가 용 이하게 될 수 있다.

또한, 외측 지그(68b,69b) 및 내측 지그(68a,69a)들이 각각 고정 측벽(55a) 및 이동 측벽(55b)에 회전 가능하게 설치됨으로써, 통전롤(59), 하부 가이드 롤(65), 이송롤(70)의 장공 내에서의 상하 이동 높이에 따른 피도금 필름(F)의 경사각에 따라 외측 지그(68b,69b) 및 내측 지그(68a,69a)의 설치각이 조절될 수 있다. 따라서, 피도금 필름(F)이 서로 마주하는 외측 지그(68b,69b) 및 내측 지그(68a,69a)로부터 동일한 거리만큼 이격되어 지그(68a,68b;69a,69b)들과 평행하게 이송될 수 있다. 따라서, 피도금 필름(F)의 상하면에 균일한 두께의 구리 도금층이 형성될 수 있는 이점이 있다.

이와 같은 구성을 갖는 도금조(50) 하부에는 상기된 바와 같이 상부가 개방된 사각통 형상의 도금액 저장조(51)가 배치되며, 반응조(56)의 양측부에 제공되는 배출조(57)의 하부에 형성된 배출구(58)들에 연결된 4개의 배출관(82)들이 도금액 저장조(51)의 내부로 연장한다. 한편, 도금액 저장조(51)에 저장된 전해액의 온도는 도금과정에 있어서 중요한 변수로 작용하기 때문에, 도금액 저장조(51)에 저장된 전해액을 적정 온도로 유지하기 위하여, 전해액이 수용되는 도금액 저장조(51)의 하부에는 도 9 및 도 12에 도시된 바와 같이 코일 히터(83)가 배치되고, 코일 히터(83)의 상부에는 4개의 배출관(82)에 감기면서 상부로 신장되는 냉각 코일(84)이 배치된다. 또한, 도금액 저장조(51) 내의 전해액의 온도를 검출할 수 있도록 온도 센서(도시되지 않음)가 도금액 저장조(51) 내에 제공된다.

한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 도금액 저장조(51)의 측면 하부에는 이송 펌프(52)가 배치되어 저장조의 하부와 유로관으로 연결됨으로써 도금액 저장조(51) 내의 전해액을 흡입하여 필터(53) 보내주는 역할을 한다. 또한, 이송 펌프(52)의 상부에 필터(53)가 배치되고 이송 펌프(52)와 유로관(도시되지 않음)으로 연결되어, 이송 펌프(52)로부터 펌핑되는 전해액 내의 불순물을 제거한다. 이러한 구리 전해액의 순환 구조는 세척 장치(1)에서의 세척액의 순환 구조와 동일하기 때문에, 이에 대한 설명은 생략한다.

전술한 바와 같은 구성을 갖는 도금 장치(2)에 있어, 구리 전해액의 순환흐름과 피도금 필름(F)의 이송 및 도금 과정을 다시한번 간략히 설명하면, 도금액 저장조(51) 내의 구리전해액은 이송 펌프(53)에 의해 가압되어 분당 80ℓ/min의 유량으로 필터(53)를 통과한 후, 반응조(56) 내로 통하는 유로관(85)을 통해 피도금 필름(F)에 분사된다. 분사 후의 구리 전해액은 반응조(56)의 내측벽(55)을 넘어 배출조(57)로 다시 배출되어 순환된다.

상기된 바와 같이, 피도금 필름(F)의 침적깊이는 하부 가이드 롤(65)의 상하이동으로 조정되며, 경사각은 통전롤(59) 및 이송롤(70) 양단의 높이를 조절하여 제어된다. 유량은 밸브(미도시)에 의해 조절될 수 있으며, 피도금 필름(F)으로의 전류 공급은 한 쌍의 통전롤(59)들을 통해 음극(-)의 전류가 공급되며, 인을 함유한 구리볼이 담겨있는 한 쌍의 지그(68a,68b,69a,69b)들에는 각각 양극(+)의 전류가 공급된다. 이와 같이, 음극(-)의 전류가 공급된 피도금 필름(F)은 도금조(50)의 구리 전해액에 침적되고 양극(+)의 전류가 공급된 외측 지그(68b,69b)들과 내측 지그(68a,69a)들 사이를 통과하는 동안, 피도금 필름(F)의 상하 양면의 구리피막 상 에 구리 도금층이 형성된다. 또한, 형성된 구리 도금층 표면에 잔류하는 구리 전해액은 한 쌍의 스퀴즈 롤(73a,73b)들 사이를 통과하는 동안 제거된다.

도금 장치(2)에서 구리 피막상에 구리 도금이 이루어진 피도금 필름(F)은 방청 장치(4)에서 방청 처리되어, 도금된 구리 도금층에 녹이 발생하는 것이 방지될 수 있다. 방청 장치(4)에서 방청 처리된 피도금 필름(F)은 도 1에 도시된 바와 같이 건조 장치(5)를 통과하고, 건조 장치(5)을 통과하는 고온의 공기에 의해 건조된 후에, 감이 기구(102)에 제공되는 롤에 권취된다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 설명하였지만, 해당기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

상기된 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 FCCL 필름 제조 장치에 의하면, 양극체(+)로서의 한 쌍의 통전롤들과 음극체(-)로서 도금조 내에서 상호 마주하도록 배치된 지그들을 채용하여 폴리이미드 필름의 양면에 구리 도금층을 효과적으로 전해 도금할 수 있는 한편, 도금된 폴리이미드 필름의 양면에 잔류하는 불순물을 효과적으로 제거할 수 있는 한편, 유지 보수가 용이하게 될 수 있다.

Claims

구리 피막이 양면에 형성된 피도금 필름이 이송되는 동안, 피도금 필름의 양면에 구리 도금층을 연속적으로 도금하는 FCCL 필름 제조 장치에 있어서,

피도금 필름의 양면에 형성된 구리 피막에서 산화 피막을 제거하기 위하여 피도금 필름의 양면에 산세척액을 분사하는 한편, 피도금 필름이 침적되는 산세척 장치와;

산세척 및 구리 도금된 피도금 필름 상에 잔류하는 산세척액 및 구리 전해액을 세척하기 위하여 상기 피도금 필름 상에 수세척액을 분사하는 한편, 피도금 필름이 침적되는 다수의 수세척 장치들과;

상기 수세척 장치들 사이에 설치되고, 이송되는 상기 피도금 필름과 접촉하여 음극(-)의 전류를 공급하는 한편, 구리 전해액 중의 피도금 필름의 이송 경로 상에 양극(+)의 전류를 공급하여, 피도금 필름의 양면 상에 구리 도금층을 도금하는 하나 이상의 구리 도금 장치들과;

상기 도금 장치들을 통과하는 동안 도금된 구리 도금층이 녹이 스는 것을 방지하기 위하여 구리 도금층에 방청액을 분사하는 방청 장치와;

방청 처리된 상기 피도금 필름으로부터 방청액을 건조시키기 위한 건조 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 수세척 장치는 피도금 필름을 세척액을 수용하는 세 척조, 상기 세척조로 공급하기 위한 세척액을 저장하는 세척액 저장조, 피도금 필름에 세척액을 분사하도록 상기 세척조로 세척액을 펌핑하는 한편 외부의 세척액 탱크로부터 상기 세척액 저장조로 세척액을 공급하기 위한 이송 펌프, 및 상기 세척조로 공급되는 세척액중 이물질을 여과하기 위한 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치.
제 2 항에 있어서, 상기 세척조는 상부가 개방된 사각통 형상의 외측 케이스와, 상기 외측 케이스의 양측벽으로부터 내측으로 일정 거리 떨어져 배치되어 중앙에 피도금 필름의 세척을 위한 처리조 및 처리조로부터 넘친 세척액을 상기 세척액 저장조로 배출시키기 위한 배출조를 구획하는 한 쌍의 내측벽들을 구비하고, 상기 각각의 내측벽은 내측 양측에 제공되는 고정 측벽들과, 상기 고정 측벽들 사이에서 상하로 슬라이드되는 이동 측벽이 제공되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치.
제 2 항에 있어서, 상기 세척조는, 이송중인 피도금 필름을 세척하기 위한 세척액을 수용하기 위한 처리조;

상기 피도금 필름을 가이드하기 위하여 상기 처리조의 전방 상부 및 후방에 각각 회전되도록 설치되는 상부 가이드 롤 및 이송롤;

상기 처리조의 내측 중앙 양측에 슬라이드되도록 설치되는 한 쌍의 이동 측벽의 하부에 위치되어 이송중인 피도금 필름을 가이드하는 하부 가이드 롤;

상기 상부 가이드 롤과 상기 하부 가이드 롤 사이 및 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이에서 이송중인 피도금 필름의 양면에 세척액을 분사하도록 상기 처리조 및 상기 이동 측벽에 설치되는 다수 쌍의 분사 노즐들을 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치.
제 4 항에 있어서, 상기 세척조는 피도금 필름으로부터 세척액을 제거하기 위하여, 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이의 상기 분사 노즐들에 각각 설치되는 한 쌍의 스퀴즈 롤들을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치.
제 4 항에 있어서, 상기 상부 가이드 롤, 상기 하부 가이드 롤 및 상기 이송롤은 나사축에 의해 그 높이가 미세 조정되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치.
제 4 항에 있어서, 상기 하부 가이드 롤은 상기 이동 측벽에 형성된 직사각 구멍 내에서 상하로 이동하도록 설치되는 슬라이더에 설치되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치.
제 1 항 내지 제 7 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 산세척 장치 및 상기 방청 장치는 상기 수세척과 동일한 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제 조 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 구리 도금 장치는, 피도금 필름의 양면에 형성된 구리 피막에 음극(-)의 전류를 공급하기 위한 통전롤들, 이송중인 피도금 필름을 침적시키기 위한 도금액을 수용하며, 양극(+)의 전류가 공급되어 그 사이를 통과하는 피도금 필름의 구리 피막에 구리 도금층을 형성하는 다수 쌍의 지그들이 설치되는 도금조, 상기 도금조의 하부에 위치되는 도금액 저장조, 상기 도금액 저장조로부터 상기 도금조로 도금액을 공급하기 위한 도금액 공급 펌프, 및 상기 도금조로 공급되는 도금액중 이물질을 제거하기 위한 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치.
제 9 항에 있어서, 상기 도금조는 상부가 개방된 사각통 형상의 외측 케이스와, 상기 외측 케이스의 양측벽으로부터 내측으로 일정 거리 떨어져 배치되어 중앙에 피도금 필름의 도금을 위한 반응조 및 상기 반응조로부터 넘친 도금액을 상기 도금액 저장조로 배출시키기 위한 배출조를 구획하는 한 쌍의 내측벽들을 구비하고, 상기 각각의 내측벽은 내측 양측에 제공되는 고정 측벽들과, 상기 고정 측벽들 사이에서 상하로 슬라이드되는 이동 측벽이 제공되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치.
제 9 항에 있어서, 상기 도금조는, 이송중인 피도금 필름을 도금하기 위한 도금액을 수용하기 위한 반응조;

상기 반응조의 전방 상부에 설치되어 상기 피도금 필름을 가이드하는 한편, 상기 피도금 필름의 양면에 형성된 구리 피막에 음극(-)의 전류를 공급하는 한 쌍의 통전롤들;

상기 처리조의 후방 상부에 설치되어 상기 피도금 필름을 이송하는 이송롤;

상기 반응조의 중앙 양측에 상하 슬라이드되도록 설치되는 한 쌍의 이동 측벽의 하부에 위치되어 이송중인 피도금 필름을 가이드하는 하부 가이드 롤;

양극(+)의 전류가 공급되며, 상기 통전롤들과 상기 하부 가이드 롤 사이 및 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이의 상기 반응조에 수용된 도금액 중에 설치되고, 그 사이를 통과하는 피도금 필름의 구리 피막에 구리 도금층을 도금하기 위하여 상기 반응조 및 상기 이동 측벽에 설치되는 다수 쌍의 지그들을 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치.
제 11 항에 있어서, 상기 도금조는 피도금 필름으로부터 세척액을 제거하기 위하여, 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이에 제공되는 상기 지그들에 각각 설치되는 한 쌍의 스퀴즈 롤들을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치.
제 11 항에 있어서, 상기 통전롤들, 상기 하부 가이드 롤 및 상기 이송롤은 나사축에 의해 그 높이가 미세 조정되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치.
제 11 항에 있어서, 상기 하부 가이드 롤은 상기 이동 측벽에 형성된 직사각 구멍 내에서 상하로 이동하도록 설치되는 슬라이더에 설치되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치.
제 1 항에 있어서, 피도금 필름은 상기 산세척 장치의 전단에 설치되는 공급 기구에 설치된 롤에 권취된 상태에서, 상기 가열 장치의 후단에 설치된 감이 기구의 동력에 의하여 상기 산세척 장치, 상기 수세척 장치들 및 상기 구리 도금 장치들을 소정의 속도로 통과하여 이송되는 것을 특징으로 FCCL 필름 제조 장치.
제 11 항에 있어서, 상기 지그는 피도금 필름과 마주하는 일면이 개방된 케이스, 구리 전해액에 구리이온을 보충하기 위한 구리 볼을 수용하고, 케이스에 수용되는 바스켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치.
양면에 구리 피막이 형성된 피도금 필름을 가이드하기 위하여 전방 상부 및 후방에 각각 회전되도록 설치되는 상부 가이드 롤 및 이송롤, 내측 중앙 양측에 슬라이드되도록 설치되는 한 쌍의 이동 측벽의 하부에 위치되어 이송중인 피도금 필름을 가이드하는 하부 가이드 롤, 및 상기 상부 가이드 롤과 상기 하부 가이드 롤 사이 및 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이에서 이송중인 피도금 필름의 양면에 세척액을 분사하도록 측벽 및 상기 이동 측벽에 설치되는 다수 쌍의 분사 노 즐들을 구비하는 세척조;

상기 세척조로 공급하기 위한 세척액을 저장하는 세척액 저장조;

상기 피도금 필름에 세척액을 분사하도록 세척조로 세척액을 펌핑하는 한편 외부의 세척액 탱크로부터 상기 세척액 저장조로 세척액을 공급하기 위한 이송 펌프; 및

상기 세척조로 공급되는 세척액중 이물질을 여과하기 위한 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조에 사용되는 세척 장치.
제 17 항에 있어서, 상기 세척조는 피도금 필름으로부터 세척액을 제거하기 위하여, 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이의 상기 분사 노즐들에 각각 설치되는 한 쌍의 스퀴즈 롤들을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조에 사용되는 세척 장치.
제 17 항에 있어서, 상기 상부 가이드 롤, 상기 하부 가이드 롤 및 상기 이송롤은 나사축에 의해 그 높이가 미세 조정되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조에 사용되는 세척 장치.
제 17 항에 있어서, 상기 하부 가이드 롤은 상기 이동 측벽에 형성된 직사각 구멍 내에서 상하로 이동하도록 설치되는 슬라이더에 설치되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조에 사용되는 세척 장치.
전방 상부에 설치되어 상기 피도금 필름을 가이드하는 한편, 피도금 필름의 양면에 형성된 구리 피막에 음극(-)의 전류를 공급하기 위한 통전롤들, 후방 상부에 설치되어 상기 피도금 필름을 이송하는 이송롤, 중앙 부분에서 상하로 슬라이드되도록 설치되는 한 쌍의 이동 측벽의 하부에 위치되어 이송중인 피도금 필름을 가이드하는 하부 가이드 롤, 및 이송중인 피도금 필름을 침적시키기 위한 도금액을 수용하며, 양극(+)의 전류가 공급되어 그 사이를 통과하는 피도금 필름의 구리 피막에 구리 도금층을 형성하는 다수 쌍의 지그들을 구비하는 도금조;

상기 도금조의 하부에 위치되는 도금액 저장조;

상기 도금액 저장조로부터 상기 도금조로 도금액을 공급하기 위한 도금액 공급 펌프; 및

상기 도금조로 공급되는 도금액중 이물질을 제거하기 위한 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조에 사용되는 구리 도금 장치.
제 21 항에 있어서, 상기 도금조는 피도금 필름으로부터 세척액을 제거하기 위하여, 상기 하부 가이드 롤과 상기 이송롤 사이의 상기 지그들에 각각 설치되는 한 쌍의 스퀴즈 롤들을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조에 사용되는 도금 장치.
제 21 항에 있어서, 상기 상부 가이드 롤, 상기 하부 가이드 롤 및 상기 이 송롤은 나사축에 의해 그 높이가 미세 조정되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조에 사용되는 도금 장치.
제 21 항에 있어서, 상기 하부 가이드 롤은 상기 이동 측벽에 형성된 직사각 구멍 내에서 상하로 이동하도록 설치되는 슬라이더에 설치되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조에 사용되는 도금 장치.
제 21 항에 있어서, 상기 통전롤들, 상기 하부 가이드 롤 및 상기 이송롤은 나사축에 의해 그 높이가 미세 조정되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치에 사용되는 도금 장치.
제 21 항에 있어서, 상기 하부 가이드 롤은 상기 이동 측벽에 형성된 직사각 구멍 내에서 상하로 이동하도록 설치되는 슬라이더에 설치되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치에 사용되는 도금 장치.
제 21 항에 있어서, 상기 지그는 피도금 필름과 마주하는 일면이 개방된 케이스, 구리 전해액에 구리이온을 보충하기 위한 구리 볼을 수용하고, 케이스에 수용되는 바스켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 장치에 사용되는 도금 장치.
구리 피막이 양면에 형성된 폴리이미드 필름을 피도금체로 하여 연속적으로 양면에 구리 도금층을 형성하여 FCCL 필름을 제조하는 방법에 있어서,

묽은 산용액을 피도금체의 양면에 분사하여, 상기 구리 피막에 형성된 산화피막을 제거하는 산세척 단계;

산세척된 피도금 필름에 세척액을 분사하여, 피도금 필름에 잔류하는 상기 산세척액을 제거하는 제 1 세척 단계;

구리 전해액을 작업 유체로 하여 상기 구리 피막 상에 구리 핵을 포함하는 구리 도금층을 형성하는 도금 단계;

DI 워터를 작업 유체로 하여 구리 도금층 상에 잔류하는 구리 전해액을 세척하는 제 2 세척 단계를 포함하며;

상기 도금 단계와 상기 제 2 세척 단계는 1회 이상 반복 수행되는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 방법.
제 28 항에 있어서, 피도금 필름 상에 최종적으로 도금된 구리 도금층이 녹이 스는 것을 방지하기 위하여 구리 도금층을 방청 처리하는 방청 단계와; 방청액을 건조시키기 위한 건조 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 FCCL 필름 제조 방법.