KR101233217B1 - 테스트 트레이 반ㆍ출입장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 검사 전의 반도체소자가 적재된 테스트 트레이를 자동공급장치로부터 전달받아 테스트부로 반입하고, 반도체소자의 검사가 완료된 상기 테스트 트레이를 반출하여 상기 자동공급장치로 인계하는 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 관한 것으로, 바닥면에 지지되는 지지부와, 상기 지지부와 고정결합되는 고정부와, 상기 지지부에 대하여 횡 방향으로 슬라이딩 왕복운동되는 이송부와, 상기 지지부와 상기 이송부에 구비된 가이드부, 및 상기 테스트 트레이를 반입하고 반출하는 반ㆍ출입부를 포함하되, 상기 반ㆍ출입부는 상기 고정부, 또는 상기 이송부에 설치되는 것이 특징이다.
본 발명에 의하면, 구조체 내부에 구비된 다수개의 부품, 센서, 구동모듈, 반ㆍ출입부의 오동작이 발생될 경우, 이송부를 횡 방향으로 슬라이딩시켜 고정부와 분리시킴으로써, 그 내부의 보수작업을 용이하게 할 수 있는 효과가 있다.
Figure R1020070051350
테스트, 핸들러, 구조체, 자동공급, 반ㆍ출입부, 이송부

Description

테스트 트레이 반ㆍ출입장치{Test Tray In-Outlet Device}
도 1은 종래의 테스트 핸들러 시스템을 개략적으로 도시한 평면도,
도 2는 상기 테스트 핸들러 시스템에 구비된 테스트 트레이 반ㆍ출입장치를 도시한 정면도,
도 3은 본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치가 설치된 테스트 핸들러 시스템을 개략적으로 도시한 평면도,
도 4는 본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치가 설치된 테스트 핸들러 시스템의 일부분을 도시한 정면도,
도 5는 본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치의 사시도,
도 6은 본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 구비된 이송부의 동작 상태를 도시한 사시도,
도 7은 본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 구비된 이송부의 저면 사시도,
도 8은 본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 구비된 탈착수단의 분리사시도,
도 9와 도 10는 본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 구비된 탈착수단의 동작 상태를 도시한 사시도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 반ㆍ출입장치 110 : 지지부
120 : 고정부 130 : 이송부
131 : 회전지지롤러 140 : 탈착수단
140a : 제1블럭 140b : 제2블럭
140a-1,140b-1 : 지지플레이트 140a-2,140b-2 : 체결홀
140a-3 : 지지편 140a-4 : 회동안내홀
140b-3 : 돌출편 140b-4 : 체결홈
G : 가이드부 G-1 : 안내레일
G-2 : 회전롤러 H : 힌지
H' : 힌지홀 N1,N2 : 고정너트
P1,P2,P3 : 프레임 Sh : 샤프트
S-1 : 나사산 S : 소터부
T : 테스트부 C : 챔버
본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소터부와 테스트부가 분리된 테스트 핸들러 시스템에서 상기 소터부와 상기 테스트부로 테스트 트레이를 반입하고 반출하는 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 관한 것이 다.
일반적으로, 반도체 소자는 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 출하되는데, 핸들러라 함은 상기와 같은 반도체 소자를 자동으로 외부의 테스트장치에 전기적으로 접속하여 테스트하는데 사용되고 있는 장치를 말한다.
통상, 이러한 핸들러 중 많은 것들이 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트 뿐만 아니라, 밀폐된 챔버 내에서 전열히터 및 액화질소 분사시스템을 통해 고온 및 저온의 극한 상태의 환경을 조성하여 반도체 소자 및 모듈 아이씨 등이 이러한 극한온도 조건에서도 정상적인 기능을 수행할 수 있는가를 테스트하는 고온테스트 및 저온 테스트도 수행할 수 있도록 되어 있다.
첨부된 도 1은 종래의 테스트 핸들러 시스템을 개략적으로 도시한 평면도이다. 그리고, 도 2는 상기 테스트 핸들러 시스템에 구비된 테스트 트레이 반ㆍ출입장치를 도시한 정면도이다.
상기 테스트 핸들러 시스템은 소터부(S), 반ㆍ출입장치(10), 챔버(C)로 크게 구성된다. 상기 소터부(S)는 커스터머 트레이에 적재된 검사 전의 반도체소자를 피커유닛이 버퍼(미도시)에 안착시킨다.
그리고, 상기 반ㆍ출입장치(10)는 그 내부에 트레이 반ㆍ출입부(20)가 설치되고, 상기 트레이 반ㆍ출입부(20)는 다수개의 테스트 트레이가 적재된 공급장치(미도시)로부터 상기 테스트 트레이를 전달받으며, 챔버(C)에서 테스트가 완료된 테스트 트레이를 전달받기도 한다.
즉, 상기 공급장치는 테스트를 수행하기 전, 또는 상기 챔버 내부에서 테스 트가 완료된 테스트 트레이를 적재하여 자동으로 운반하는 역할을 한다. 그리고, 상기 반ㆍ출입장치(10)는 테스트를 수행하기 전의 반도체소자가 안착된 테스트 트레이를 상기 반ㆍ출입부(20)가 상기 챔버(C)로 이송할 수 있도록 다수개의 프레임으로 결합된 구조체로 이루어진다.
또한, 상기 챔버(C)는 상기 반도체소자를 테스트하고, 테스트가 완료된 테스트 트레이를 상기 반ㆍ출입장치(10)에 전달된다. 그리고, 상기 반ㆍ출입장치(10)에서는 반도체소자의 테스트가 완료된 테스트 트레이를 상기 공급장치로 전달하게 되는 것이다.
그런데, 상기한 바와 같이 이루어진 상기 반ㆍ출입장치(10)는 다수개의 프레임이 연결되어 하나의 구조체로 구비되고, 그 내부에 상기 반ㆍ출입부(20)가 설치되도록 구비된다.
따라서, 상기 반ㆍ출입부(20)의 오동작 및 상기 반ㆍ출입부(20)를 구성하는 다수개의 부품 중 어느 하나의 부품에 문제가 발생될 경우, 상기 반ㆍ출입장치(10)의 프레임들을 분해하여 문제가 발생된 부품을 보수한 후 상기 프레임들을 재조립해야만 하는 문제점이 있었다.
이러한 유지 보수는 매우 숙련된 기술자라 할지라도 하루 내지 며칠 동안 상기 반ㆍ출입장치(10)를 분해 조립을 하고 있었다.
즉, 상기 반ㆍ출입장치(10)는 그 내부에 상당히 많은 부품들로 조합되어 상기 반ㆍ출입부(20)를 구성하게 되며, 각종 센서 및 구동모듈의 동작 유무 체크도 병행해야만 한다. 그리고, 상기 반ㆍ출입장치(10) 및 상기 반ㆍ출입부(20)는 kg의 단위를 갖는 무게로 구비되어 별도의 기중기를 이용해야만 하는 것이다.
그러므로, 상기한 바와 같이 구성된 종래의 테스트 핸들러 시스템에 구비된 반ㆍ출입장치(10)는 유지 및 보수의 시간이 증대될 수밖에 없으며, 그 작업성 또한 매우 낮아지게 되는 문제점이 있었다.
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 테스트 핸들러 시스템에 구비된 반ㆍ출입장치의 유지 및 보수를 매우 신속하고 용이하게 수행할 수 있는 테스트 트레이 반ㆍ출입장치를 제공하는 데 있다.
즉, 상기 반ㆍ출입장치의 일부를 횡 방향으로 슬라이딩시켜 반ㆍ출입부 및 상기 반ㆍ출입장치의 내부를 유지, 보수할 수 있는 테스트 트레이 반ㆍ출입장치를 제공하는 데 있다.
또한, 상기 반ㆍ출입장치의 슬라이딩을 안정적으로 수행하고, 상기 반ㆍ출입장치가 하나의 구조체로 결합됐을 때 안정적으로 고정할 수 있는 테스트 트레이 반ㆍ출입장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치는, 바닥면에 지지되는 지지부; 상기 지지부와 고정결합되는 고정부; 상기 지지부에 대하여 횡 방향으로 슬라이딩 왕복운동되는 이송부; 상기 지지부와 상기 이송부에 구비된 가이드부; 상기 테스트 트레이를 반입하고 반출하는 반ㆍ출입부;를 포함하되, 상기 반ㆍ출입부는 상기 고정부, 또는 상기 이송부에 설치되는 것이 특 징이다.
본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 있어서, 상기 가이드부는 상기 지지부에 횡 방향으로 구비된 안내레일; 및 상기 안내레일에 대하여 미끄럼운동 되고, 상기 이송부의 하면에 고정 결합되는 회전롤러;가 포함된다.
본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 있어서, 상기 가이드부는 상기 이송부의 하측면에 횡 방향으로 구비된 안내레일; 및 상기 안내레일에 대하여 미끄럼운동 되고, 상기 지지부에 고정 결합되는 회전롤러;가 포함된다.
본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 있어서, 상기 가이드부는 상기 이송부, 또는 상기 지지부에 설치되어 상기 이송부의 위치 이동을 자동으로 구현시키는 구동부;가 더 구비된다.
본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 있어서, 상기 지지부는 상기 고정부와 최대로 이격된 상기 이송부의 위치와 적어도 동일한 길이를 갖도록 구비된다.
본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 있어서, 상기 이송부는 상기 고정부의 타측면 모서리부에 구비되고, 바닥면에 대하여 미끄럼운동되는 회전지지롤러;가 더 구비된다.
본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 있어서, 상기 이송부를 상기 고정부에 고정, 또는 분리시키는 탈착수단;이 더 구비된다.
본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 있어서, 상기 탈착수단은 상기 고정부의 외측에 고정결합되는 제1블럭; 상기 제1블럭에 힌지로 연결되어, 수평 방향으로 회동운동 되는 샤프트; 및 상기 이송부에 고정결합되고, 상기 샤프트가 억지 끼움으로 탈착되는 제2블럭;이 포함된다.
본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 있어서, 상기 제2블럭은 외측 방향으로 돌출 형성된 돌출편; 및 상기 돌출편에 형성되고, 상기 샤프트가 탈착되는 체결홈;이 더 구비된다.
본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 있어서, 상기 샤프트는 그 외주면에 나사산이 형성되고, 상기 나사산에 체결되는 고정너트;가 더 포함된다.
본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 있어서, 상기 고정너트는 상기 돌출편의 양측을 각각 가압하여 상기 샤프트의 회동을 제어하도록 한 쌍으로 구비된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치의 구성 및 작용을 설명하도록 한다.
먼저, 도시된 도 3과 도 4에서 보는 바와 같이, 상기 테스트 트레이 반ㆍ출입장치(100)는 테스트 핸들러 시스템에 구비된다. 상기 테스트 핸들러 시스템은 커스터머 트레이에 적재된 반도체소자를 정렬하는 소터부(S)와, 상기 커스터머 트레이에 적재된 반도체소자가 테스트 트레이에 적재되어 상기 반도체소자를 테스트하는 테스트부(T)로 구분된다.
상기 소터부(S)와 상기 테스트부(T)는 이격된 상태로 설치되며, 그 사이에 자동공급장치(AGV)가 위치된다. 상기 소터부(S)와 상기 테스트부(T)는 횡 방향으로 각각 다수개로 구비되며, 상기 반ㆍ출입장치(100)는 상기 소터부(S)에 인접되도록 설치된다. 그러나, 상기 반ㆍ출입장치(100)는 도시된 도면에서 보는 바와 같이, 상기 테스트부(T)와 인접된 위치에도 설치될 수 있다.
상기 자동공급장치(AGV)는 상기 소터부(S)와 상기 테스트부(T) 사이에 설치된 상태에서 상기 소터부(S)와 상기 테스트부(T)로 상기 테스트 트레이를 전달하는 역할을 한다. 이하에서는 상기 테스트부(T)를 "챔버(C)"로 병기하도록 한다.
한편, 도시된 도 5에서 보는 바와 같이, 상기 테스트 트레이 반ㆍ출입장치(100)는 지지부(110), 고정부(120), 이송부(130)로 크게 구성된다. 상기 지지부(110), 상기 고정부(120), 상기 이송부(130)는 모두 다수개의 프레임으로 연결되어 각각의 구조체로 이루어진다.
먼저, 상기 지지부(110)는 바닥면에 대하여 안정적으로 지지될 수 있도록 X축과 Y축으로 각각 길이를 가지며, 평면에서 봤을 때 전체적으로 사각의 틀을 갖는 형태로 구비된다. 이 지지부(110)의 하단에는 상기 바닥면에 지지되어 자연적으로 위치 이동되는 것을 방지하도록 체결부, 또는 탄성소재로 이루어진 지지부재가 구비된다.
또한, 상기 지지부(110)에는 횡 방향의 길이를 갖는 프레임(P1), 또는 이 프레임(P1)을 연결하는 부재에 가이드부(G)가 더 구비된다. 여기서, 상기 지지부(110)의 횡 방향 길이는 후술되는 이송부(130)가 고정부에 체결되어 고정됐을 때, 적어도 상기 이송부(130)의 외측 영역과 동일한 길이를 갖도록 구비된다. 즉, 상기 이송부(130)가 상기 고정부(120)와 분리되기 전, 상기 고정부(120)와 상기 이송부(130)의 횡 방향 길이와 적어도 동일하게 구비되는 것이다.
상기 가이드부(G)는 상기 지지부(110)에 횡 방향으로 구비된 안내레일(G-1)과, 상기 안내레일(G-1)에 대하여 미끄럼운동 되는 회전롤러(G-2)로 구비된다. 상기 회전롤러(G-2)는 전술되어진 이송부(130)의 하단부에 구비된다. 이러한 상기 안내레일(G-1) 및 상기 회전롤러(G-2)는 기계 분야에서 널리 사용되고 있으므로 이의 상세한 구성 설명은 생략하기로 한다. 그러나, 상기 안내레일(G-1)은 상기 이송부(130)에 구비되고, 상기 회전롤러(G-2)는 상기 지지부(110)에 구비될 수도 있다.
한편, 상기 고정부(120)는 상기 지지부(110)의 일부에 결합된다. 상기 고정부(120)는 상기 지지부(110)와 마찬가지로 다수개의 프레임(P2)으로 연결되고, 그 내부에는 공간부가 형성된다. 상기 공간부는 테스트 트레이가 이송되는 영역이다.
이 고정부(120)는 도면에서 볼 수 있듯이 상기 지지부(110)의 길이 방향 크기에서 대략 1/3 정도의 길이를 가지며, 그 높이는 상기 지지부(110)의 길이 방향 크기만큼 상측 방향으로 길이를 갖는다. 그러나, 이러한 상기 지지부(110) 및 상기 고정부(120)의 크기는 반도체소자가 안착된 테스트 트레이의 크기에 따라 전체적인 구조체의 형상도 달라지는 것이다.
또한, 상기 이송부(130)는 상기 지지부(110) 및 상기 고정부(120)와 마찬가지로 다수개의 프레임(P3)으로 연결된다. 또한, 상기 이송부(130) 내부에도 상기 고정부(120) 내부에 구비된 것처럼 공간부가 구비되어, 상기 테스트 트레이가 이송될 수 있도록 구비된다.
다만, 상기 이송부(130) 내부에는 반ㆍ출입부(미도시)가 더 구비된다. 이 반ㆍ출입부는 상기 테스트 트레이를 자동공급장치(AGV)로 전달하기도 하며, 상기 테 스트 트레이를 자동공급장치(AGV)에서 상기 반ㆍ출입장치(100) 내부로 전달받기도 한다. 뿐만 아니라, 상기 반ㆍ출입부는 상기 반ㆍ출입장치(100) 내부에서 이송될 수도 있으며, 상기 테스트 핸들러 시스템에 구비된 챔버 내부로 상기 테스트 트레이를 공급하기도 한다. 또한, 상기 반ㆍ출입부는 상기 챔버 내부에서 반도체소자의 테스트가 완료된 테스트 트레이를 상기 반ㆍ출입장치(100) 내부로 전달하는 역할도 한다. 그리고, 상기 반ㆍ출입부는 상기 고정부(120)의 크기에 따라 상기 고정부(120) 내부에 구비될 수도 있다.
그리고, 상기 이송부(130)의 일측 하단부에는 회전지지롤러(131)가 더 구비된다. 이 회전지지롤러(131)는 상기 고정부(120)의 타측, 즉, 상기 이송부(130)의 외측 모서리부 하단에 구비되는 것이다. 이 회전지지롤러(131)는 상기 이송부(130)가 상기 지지부(110)에 대하여 횡 방향으로 슬라이딩되어 상기 고정부(120)와 분리됐을 때, 상기 이송부를 바닥면에 대하여 지지하기도 하고, 상기 이송부(130)가 바닥면에 대하여 슬라이딩 왕복 운동되는 것을 안내하기도 한다.
또한, 앞서 언급한 가이드부(G)는 상기 이송부(130), 또는 상기 지지부(110)에 구동부(미도시)가 더 설치된다. 상기 구동부는 상기 이송부(130)의 위치를 횡 방향으로 자동 이동시킬 수 있도록 하는 것으로, 구동모터, 또는 구동실린더로 구비된다.
먼저, 상기 구동부가 상기 구동모터로 구비될 경우, 기계산업 분야에서 널리 사용되고 있는 랙(rack)과 피니언(pinion), 체인(chain)과 스프로킷(sprocket), 다수개의 감속기어(reduction gear), 벨트(belt)와 풀리(pulley) 등으로 구현될 수 있다. 그리고, 상기 구동부가 상기 구동실린더로 구비될 경우 에어의 공급에 따라 구동되는 실린더와 피스톤으로 구비될 수도 있는 것이다. 이러한 구동부는 앞서 언급했듯이 기계산업 분야에서 널리 사용되고 있는 것이므로 이러한 구성의 상세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 첨부된 도 8 내지 도 10에서 보는 바와 같이, 상기 테스트 트레이 반ㆍ출입장치(100)는 탈착수단(140)이 더 구비된다. 상기 탈착수단(140)은 상기 고정부(120)와 상기 이송부(130)에 각각 구비되어 상기 이송부(130)가 상기 고정부(120)에 대하여 자연적으로 분리되는 것을 방지하기 위한 것이다.
상기 탈착수단(140)은 제1블럭(140a), 제2블럭(140b), 샤프트(Sh)로 크게 구성된다.
상기 제1블럭(140a)은 상기 고정부(120)의 외측에 고정결합되고, 상기 제2블럭(140b)은 상기 이송부(130)에 고정결합된다. 그리고, 상기 샤프트(Sh)는 일단이 상기 제1블럭(140a)에 힌지(H)로 연결되며, 타단은 상기 제2블럭(140b)에 고정되거나 분리된다.
즉, 상기 제1블럭(140a)은 수직 방향으로 구비되고, 상측과 하측에 각각 체결홀(140a-2)이 형성되어 상기 고정부(120)에 결합되는 지지플레이트(140a-1)가 구비된다. 또한, 상기 지지플레이트(140a-1)에 일체로 연결되어 외측 방향으로 돌출된 두 개의 지지편(140a-3)이 구비된다. 이 지지편(140a-3)에는 상기 힌지(H)가 삽입될 수 있도록 회동안내홀(140a-4)이 형성된다.
상기 제2블럭(140b)은 상기 제1블럭(140a)과 마찬가지로 상기 이송부(130)에 수직으로 결합될 수 있도록 상측과 하측에 각각 체결홀(140b-2)이 형성된 지지플레이트(140b-1)로 구비된다. 또한, 상기 지지플레이트(140b-1)의 외측 방향으로 돌출편(140b-3)이 형성된다. 상기 돌출편(140b-3)에는 상기 샤프트(Sh)가 탈착될 수 있도록 체결홈(140b-4)이 형성된다.
상기 샤프트(Sh)는 상기 힌지(H)가 삽입될 수 있도록 힌지홀(H')이 형성되며, 상기 샤프트(Sh)의 외주면에는 나사산(S-1)이 형성된다. 또한, 상기 샤프트(Sh)에는 적어도 두 개의 고정너트(N1,N2)가 체결된다.
상기 고정너트(N1,N2)는 상기 샤프트(Sh)의 일부분이 상기 체결홈(140b-2) 내에 위치되었을 때, 상기 돌출편(140b-3)의 양측에 각각 위치되고, 양측에서 상기 돌출편(140b-3)의 중심부 방향으로 각각 가압하게 되는 것이다.
이상과 같이 이루어진 본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치의 사용상태 설명은 다음과 같다.
먼저, 테스트 핸들러 시스템에서 상기한 반ㆍ출입장치(100)에 구비된 반ㆍ출입부의 오동작 및 상기 반ㆍ출입장치(100) 내부에 구비된 센서와 구동모듈의 오동작, 또는 상기 반ㆍ출입장치(100) 내부에 구비된 부품에 문제가 발생되었을 경우, 이송부(130)를 고정부(120)에서 분리시킨다.
즉, 상기 이송부(130)와 상기 고정부(120)에 구비된 탈착수단(140)을 해제한 후, 상기 이송부(130)를 횡 방향으로 슬라이딩시키는 것이다.
상기 탈착수단(140)에 구비된 한 쌍의 고정너트(N1,N2)를 양측 방향으로 회전시킨다. 즉, 제2블럭(140b)의 돌출편(140b-3)을 가압하고 있는 고정너트(N1,N2)를 해제하는 것이다. 이후, 샤프트(Sh)를 상기 돌출편(140b-3)에 형성된 체결홈(140b-4)에서 분리시킨다. 이때, 상기 샤프트(Sh)의 일단은 제1블럭(140a)에 힌지(H)로 연결되어 있기 때문에, 상기 샤프트(Sh)의 일측은 상기 제1블럭(140a)에 대하여 회동되고, 상기 샤프트(Sh)의 타측은 상기 체결홈(140b-4)에서 분리되는 것이다.
상기 탈착수단(140)에 의해 상기 고정부(120)와 상기 이송부(130)가 분리되면 작업자가 수동으로 상기 이송부(130)를 횡 방향으로 슬라이딩시킨다. 그러나, 구동부의 동작에 의해 상기 이송부(130)를 자동으로 슬라이딩시킬 수도 있다.
이때, 상기 이송부(130)는 그 외측 하단 모서리부에 구비된 회전지지롤러(131)가 바닥면에 대하여 안내되고, 이 이송부(130)와 상기 지지부(110)에 구비된 가이드부(G)를 따라 상기 이송부(130)가 용이하게 슬라이딩 되는 것이다.
이후, 작업자가 상기 반ㆍ출입장치(100) 내부에 구비된 보수 공정이 끝나게 되면 상기 이송부(130)를 원위치로 복귀시켜 탈착수단(140)을 이용해 상기 이송부(130)를 상기 고정부(120)에 고정시키게 되는 것이다.
상술한 바와 같이 이루어진 본 발명의 테스트 트레이 반ㆍ출입장치로 인해 이 구조체 내부에 구비된 다수개의 부품, 센서, 구동모듈, 반ㆍ출입부의 오동작이 발생될 경우, 이송부를 횡 방향으로 슬라이딩시켜 고정부와 분리시킴으로써, 그 내 부의 보수작업을 용이하게 할 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기 이송부와 상기 고정부에 탈착수단이 구비되어, 상기 이송부가 상기 고정부에 대하여 자연적으로 분리되는 것을 방지할 수 있다.
뿐만 아니라, 상기 이송부를 작업자가 수동으로 슬라이딩시킬 수 있으나, 구동모터, 또는 구동실린더를 이용하여 상기 이송부의 슬라이딩 왕복을 용이하게 수행할 수 있다.
그리고, 상기 이송부와 지지부에 가이드부가 구비되어 상기 이송부의 슬라이딩 왕복 운동을 수행할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 이송부의 하측 모서리부에 구비된 회전지지롤러로 인해서 상기 이송부의 슬라이딩을 안정적으로 수행할 수 있다.

Claims (11)

  1. 검사 전의 반도체소자가 적재된 테스트 트레이를 자동공급장치로부터 전달받아 테스트부로 반입하고, 반도체소자의 검사가 완료된 상기 테스트 트레이를 반출하여 상기 자동공급장치로 인계하는 테스트 트레이 반ㆍ출입장치에 있어서,
    바닥면에 지지되는 지지부;
    상기 지지부와 고정결합되는 고정부;
    상기 지지부에 대하여 횡 방향으로 슬라이딩 왕복운동이 가능하여 내부 보수작업을 위해 상기 고정부로부터 이격될 수 있도록 이루어지는 이송부;
    상기 지지부와 상기 이송부에 구비된 가이드부; 및
    상기 테스트 트레이를 반입하고 반출하는 반ㆍ출입부;를 포함하되,
    상기 반ㆍ출입부는 상기 고정부, 또는 상기 이송부에 설치되는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 반ㆍ출입장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 가이드부는,
    상기 지지부에 횡 방향으로 구비된 안내레일; 및
    상기 안내레일에 대하여 미끄럼운동 되고, 상기 이송부의 하면에 고정 결합되는 회전롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 반ㆍ출입장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 가이드부는,
    상기 이송부의 하측면에 횡 방향으로 구비된 안내레일; 및
    상기 안내레일에 대하여 미끄럼운동 되고, 상기 지지부에 고정 결합되는 회전롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 반ㆍ출입장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 가이드부는,
    상기 이송부, 또는 상기 지지부에 설치되어 상기 이송부의 위치 이동을 자동으로 구현시키는 구동부;가 더 구비된 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 반ㆍ출입장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 지지부는,
    상기 고정부와 최대로 이격된 상기 이송부의 위치와 적어도 동일한 길이를 갖도록 구비된 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 반ㆍ출입장치.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 이송부는,
    상기 고정부의 타측면 모서리부에 구비되고, 바닥면에 대하여 미끄럼운동되는 회전지지롤러;가 더 구비된 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 반ㆍ출입장치.
  7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 테스트 트레이 반ㆍ출입장치는,
    상기 이송부를 상기 고정부에 고정, 또는 분리시키는 탈착수단;이 더 구비된 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 반ㆍ출입장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 탈착수단은,
    상기 고정부의 외측에 고정결합되는 제1블럭;
    상기 제1블럭에 힌지로 연결되어, 수평 방향으로 회동운동 되는 샤프트; 및
    상기 이송부에 고정결합되고, 상기 샤프트가 억지끼움으로 탈착되는 제2블럭;을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 반ㆍ출입장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 제2블럭은,
    외측 방향으로 돌출 형성된 돌출편; 및
    상기 돌출편에 형성되고, 상기 샤프트가 탈착되는 체결홈;이 더 구비된 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 반ㆍ출입장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 샤프트는,
    그 외주면에 나사산이 형성되고, 상기 나사산에 체결되는 고정너트;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 반ㆍ출입장치
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 고정너트는,
    상기 돌출편의 양측을 각각 가압하여 상기 샤프트의 회동을 제어하도록 한 쌍으로 구비된 것을 특징으로 하는 테스트 트레이 반ㆍ출입장치.
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