JPWO2015114765A1 - 基板搬送装置およびそれを含んで構成された対基板作業システム - Google Patents

Abstract

基板搬送装置２４を、基板を搬送するための１対のコンベアベルト６４と、その１対のコンベアベルトに載置されている基板を上昇させるリフタ７０，７４，７８とを備え、リフタによって基板Ｓを上昇させた状態において、その１対のコンベアベルトによって別の基板Ｓ’を搬送可能に構成する。また、対基板作業システムを、そのように構成された基板搬送装置と、その基板搬送装置のリフタによって上昇させられた基板に対して作業を行う対基板作業装置とを含むようにして構成する。１つの搬送レーンしか備えていないシンプルな構造であるにも拘わらず、他の基板に対する基板の追い越しが可能となり、実用的な基板搬送装置、対基板作業システムが実現する。

Description

本発明は、基板を搬送するための基板搬送装置に関し、また、その基板搬送装置を含んで構成されて、基板に対して作業を行うための対基板作業システムに関する。

電子部品装着機等の対基板作業機は、一般に、基板搬送装置を備えており、その基板搬送装置によって基板を搬入および搬出するとともに、その基板搬送装置によって所定の位置に位置させた基板に、部品の装着等の対基板作業を行うようにされている。そのような対基板作業機を含んで構成されたシステムでは、例えば、その対基板作業機による作業を行う必要のない基板が存在する場合にその作業をスキップさせる機能が、基板搬送装置に求められる。

上記のことに鑑み、下記特許文献に記載の電子部品装着装置（対基板作業機の一種である）では、上下２段に２つのレーン（上部搬送レール，下部搬送レール）が設けられてそれら２つのレーンのいずれにおいても搬送可能な基板搬送装置が採用されている。そして、その電子部品装着装置では、上方のレーンにおいて電子部品の基板への装着を実行しつつ、下方のレーンにおいて別の基板を搬送可能とされている。

特開２００１−１３５９８６号公報

発明の解決しようとする課題

上記特許文献に記載されている基板搬送装置では、２つのレーンを一体的に昇降させることで、基板が搬送されるレーンの切換えが行われるようにされている。つまり、その基板搬送装置は、基板を搬送可能な２つのレーンと、それら２つのレーンを一体的に昇降させる昇降機構とを備えているため、比較的複雑な構造を有しており、必ずしも実用性が高いとは言い切れない。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、実用性の高い基板搬送装置を提供すること、および、その基板搬送装置を採用することで実用性の高い対基板作業システムを提供することを課題とする。

上記課題を解決するため、本発明の基板搬送装置は、基板を搬送するための１対のコンベアベルトと、その１対のコンベアベルトに載置されている基板を上昇させるリフタとを備え、リフタによって基板を上昇させた状態において、その１対のコンベアベルトによって別の基板を搬送可能に構成される。また、本発明の対基板作業システムは、本発明の基板搬送装置と、その基板搬送装置のリフタによって上昇させられた基板に対して作業を行う対基板作業装置とを含んで構成される。

本発明の基板搬送装置によれば、リフタによって１対のコンベアベルトから上昇させられた基板の下方において、その１対のコンベアベルトによって別の基板を搬送することができる。つまり、１つの搬送レーンしか備えていないシンプルな構造であるにも拘わらず、他の基板に対する基板の追い越しが可能となる。なお、リフタによって上昇させられている基板に対して作業を行うようにすれば、１の基板の作業中に、他の基板の追い越しが可能となる。したがって、それらの利点を有するが故、本発明の基板搬送装置は、実用性の高いものとなる。また、本発明の対基板作業システムによれば、本発明の基板搬送装置による利点を充分に享受することが可能となる。

実施例の基板搬送装置を含んで構成された実施例の対基板作業システムの斜視図である。 実施例の対基板作業システムを構成する電子部品装着機の概略構造を示す斜視図である。 実施例の対基板作業システムを構成する別の電子部品装着機の概略構造を示す斜視図である。 電子部品装着機に採用されている実施例の基板搬送装置を示す斜視図である。 実施例の基板搬送装置の動作を説明するための断面図である。 実施例の対基板作業システムで実行される特定のオペレーションにおける基板の動きを模式的に示す図である。

以下、本発明の代表的な実施形態を、実施例として、図を参照しつつ詳しく説明する。また、本発明の別の実施形態を、変形例として、簡単に説明する。なお、本発明は、下記実施例，変形例の他、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することができる。

［Ａ］部品装着システムおよび部品装着機の構成
本発明の実施例である対基板作業システムは、電子部品（以下、単に「部品」と言う場合がある）を基板に装着するための部品装着システムであり、図１に示すように、それぞれが対基板作業機である３つの部品装着機１０，１２を含んで構成されている。図の左奥を上流側，右手前を下流側，左手前を前方側，右奥を後方側とそれぞれ呼べば、本部品装着システムでは、上流側に、２つの部品装着機１０が、下流側に、比較的幅の広い１つの部品装着機１２が、並べられた２つのシステムベース１４上に、互いに密接して配置されている。

電子回路の構成要素である回路基板（以下、単に「基板」と言う場合がある）は、上流側から下流側に向かって、すなわち、基板を搬送する方向（以下、「搬送方向」と言う場合がある）に、それら部品装着機１０，１２内を搬送され、その搬送される基板に対して、それぞれの部品装着機１０,１２による部品装着作業（対基板作業の一種である）が行われて、その基板への部品の装着が完了する。複数の基板が連続して当該システム内を搬送方向に搬送されることで、それら複数の基板の各々への部品装着が、順次、完了する。なお、本対基板作業システムは、クリームはんだを基板に印刷するはんだ印刷機，はんだ印刷機や部品装着機１０，１２による作業の結果を検査する検査機，はんだを溶融させて部品を基板に固定するリフロー炉等とともに、電子回路製造ラインに配置される。

上流側に配置されている２つの部品装着機１０は、互いに同じ構成のものであり、図２に示すように、１つのシステムベース１４の上に並んで配置されている。外装パネルを外した下流側の部品装着機１０の図示を参照しつつ説明すれば、各部品装着機１０は、ベース１６と、前後においてベース１６上に立設されたフレーム１８,２０と、それらフレーム１８,２０に上架されたビーム２２とを有しており、それらによって、当該部品装着機１０の躯体が構成されている。

ベース１６上に、実施例の基板搬送装置であるコンベア装置２４が設置されている。構成については後述するが、コンベア装置２４は、基板を上流側から搬入して下流側に搬出する機能を有するとともに、基板を、設定された作業位置において固定する機能を有している。ちなみに、図１には、基板Ｓがコンベア装置２４によって作業位置に固定されている状態が示されている。

コンベア装置２４の前方側には、それぞれが部品供給装置として機能する複数の部品フィーダ２６が並んで配置されている。ちなみに、部品フィーダ２６の各々は、いわゆるテープフィーダである。一方、ビーム２２には、対基板作業装置の一種である部品装着装置２８が支持されている。部品装着装置２８は、作業ヘッドの一種である装着ヘッド３０と、装着ヘッド３０を前後左右に移動させるＸＹロボット型のヘッド移動装置３２とを含んで構成されている。装着ヘッド３０は、下端部に、部品を吸着保持する部品保持具としての吸着ノズルを複数備えており、それら吸着ノズルの１つを昇降させるノズル昇降機構を有している。

コンベア装置２４によって作業位置に固定された基板に対して、部品装着装置２８によって、対基板作業の一種である部品装着作業が行われる。部品装着作業では、装着ヘッド３０が部品フィーダ２６の上方に移動させられて吸着ノズルによる部品の吸着保持が行われ、次いで、装着ヘッド３０が基板の上方に移動させられて、吸着ノズルに保持されている部品が、基板の上面に載置される。

下流側に配置されている部品装着機１２は、１つのシステムベース１４上に配置され、その部品装着機１２は、外装パネルを外した状態を示す図３から解るように、搬送方向において寸法の大きいベース３４およびフレーム３６,３８を含んで構成されている。そして、部品装着機１２では、部品装着機１０内に配置されているものと同じ２つのコンベア装置２４が、搬送方向に並んで配置されている。２つのコンベア装置２４は、互いに協働して１つの基板を搬送するように構成されるとともに、２つのコンベア装置２４のいずれにも上述の作業位置が設定されている。部品装着機１２の部品装着装置４０（対基板作業装置の一種である）は、搬送方向における装着ヘッド３０の移動範囲が大きくされたヘッド移動装置４２を有していることで、部品装着機１０の部品装着装置２８よりも搬送方向に大きく装着ヘッド３０を移動させることが可能とされている。そのような構成から、部品装着機１２は、２つの作業位置のいずれにおいても部品装着作業を実行可能とされている。詳しく言えば、部品装着機１２は、２つのステージにおいて、互いに同じ部品装着作業を実行可能とされているのである。

［Ｂ］コンベア装置の構成および機能
コンベア装置２４は、図４に示すように、ベース板５０と、ベース板５０の搬送方向に直角な方向における両端部に、つまり、前方側の端部および後方側の端部に立設された概して板状の１対の支持フレーム５２，５４とを含んで構成されている。前方側支持フレーム５２は、ベース板５０に固定されている一方で、後方側支持フレーム５４は、ベース板５０上に並んで配設された１対のガイドレール５６に沿って、前後方向に移動可能とされている。後方側支持フレーム５４は、駆動源としてのモータ５８を含んで構成された移動機構６０によって、搬送する基板の前後方向の幅に応じて前後させられる。移動機構６０は、図から解るように、ボールねじ機構を含んで構成されている。

支持フレーム５２，５４の各々には、それらの内側の面（互いに対向する面）に、１対のプーリ６２が、回転可能に支持されている。それら１対のプーリ６２の一方は、支持フレーム５２（５４）の搬送方向における上流側の端部に配置され、他方は、下流側の端部に配置されている。そして、１対のプーリ６２には、コンベアベルト６４が巻回させられて支持されている。１対のプーリ６２の下流側のものは、駆動源としてのモータ６６およびギヤトレインを含んで構成される回転機構６８によって、回転させられ、その回転によって、コンベアベルト６４が周回するようにされている。つまり、コンベア装置２４は、１対のコンベアベルト６４を備えており、それら１対のコンベアベルト６４に基板の前後方向における両端が載置された状態において、それら１対のコンベアベルト６４が周回することで、その基板を搬送方向に搬送するように構成されているのである。

また、支持フレーム５２，５４の各々には、１対のコンベアベルト６４の間において、詳しく言えば、各々が支持するコンベアベルト６４の近傍において、１対のコンベアベルト６４に載置されている基板を下方から支持可能な支持具として、支持バー７０が、昇降可能に支持されている。ちなみに、図４では、後方側の支持フレーム５４に支持されている支持バー７０の一部分が省略されている。支持バー７０は、搬送方向に支持フレーム５２（５４）に沿って延び、両端の各々が、搬送方向において支持フレーム５２（５４）の外側に延び出すとともに、外側の面（互いに背向する面）にまで回り込むようにされている。両端の各々には、ナット７２が回転不能に保持されている。一方で、支持フレーム５２，５４の各々には、外側の面の搬送方向の両端部に、１対のモータ７４が付設されており、１対のモータ７４の各々の回転軸は、軸線が上下方向に延びる姿勢とされるともに、ねじロッド７６とされている。各ねじロッド７６は、支持バー７０の各端部に保持されたナット７２と螺合しており、１対のナット７２と１対のねじロッド７６とによって、１対のねじ機構７８が構成されているのである。以上構造から明らかなように、１対のモータ７４の回転によって、１の支持バー７０が昇降させられる。つまり、それら１対のねじ機構７８と駆動源としての１対のモータ７４とを含んで、上記支持具である支持バー７０を昇降させる支持具昇降機構が構成されているのである。

さらに説明すれば、図５（ａ）から解るように、基板Ｓは、搬送方向に直角かつ水平な前後方向における両端が１対のコンベアベルト６４の上面に載置された状態で、搬送方向に搬送される。このとき、１対の支持バー７０の各々は、１対のコンベアベルト６４の内側に位置するとともに、上下方向において、１対のコンベアベルト６４の上面より下方に位置している。そのため、１対の支持バー７０は、基板Ｓの搬送を阻害しない。

４つのモータ７４を回転させて、１対の支持バー７０を上昇させると、図５（ｂ）に示すように、基板Ｓは、１対の支持バー７０によって下方から支持された状態で、１対のコンベアベルト６４から離間するように上昇させられる。支持フレーム５２，５４の各々には、上端部に、内側に向かって突出するフランジ８０が形成されている。１対のフランジ８０は、上昇させられた基板Ｓを、１対のコンベアベルトのそれぞれの上方において係止するストッパとして機能する。上昇させられた基板Ｓは、それの両端が、それら１対のフランジ８０と１対の支持バー７０とによって挟持されて固定される。その挟持された基板に対して、部品装着装置２８（４０）による部品装着作業が行われる。すなわち、基板Ｓを１対のフランジ８０と１対の支持バー７０とによって挟持する構造を含んで、基板Ｓを、それに対する作業が行われる位置である作業位置において固定する基板固定機構が構成されているのである。そして、部品装着作業が行われた基板Ｓ、つまり、上昇させられている基板Ｓは、４つのモータ７４を回転させて１対の支持バー７０を下降させることで、１対のコンベアベルト６４に両端が載置されるようにして、下降させられる。以上のような構造から、コンベア装置２４では、１対の支持バー７０と１対の上記支持具昇降機構とを含んで、１対のコンベアベルトに載置された基板を、それら１対のコンベアベルトから離間するように上昇させるとともに、上昇させている基板をそれら１対コンベアベルトに載置させるように下降させるリフタが構成されているのである。

本コンベア装置２４では、図５（ｂ）に示すように、基板Ｓが上昇させられた状態において、各支持バー７０と各コンベアベルト６４とが上下方向において離間しており、１対の支持バー７０の下方かつ１対のコンベアベルト６４の上方に、空間が存在する。この空間を利用することで、上昇させられている基板Ｓとは別の基板Ｓ’（図において２点鎖線で示されている）を、１対のコンベアベルト６４によって搬送する機能（以下、「別基板搬送機能」と言う場合がある）を有しているのである。したがって、本コンベア装置２４が採用されている本対基板作業システムでは、複数の基板が連続して搬送されるような場合において、上記別基板搬送機能を利用することで、その複数の基板の搬送順序の変更、つまり、基板の追い抜きが可能とされているのである。

また、本コンベア装置２４では、基板Ｓが上昇させられている場合において、その基板Ｓに対して部品装着装置２８（４０）による部品装着作業を行いつつ、つまり、基板Ｓに対する対基板作業の最中において、別の基板Ｓ’を１対のコンベアベルト６４によって搬送可能とされている。したがって、本コンベア装置２４を採用する本対基板作業システムによれば、対基板作業を行いつつ上記基板の追い抜きが可能とされているのである。

［Ｃ］対基板作業システムで実行される基板搬送に関するオペレーション
部品装着機１０，１２の各々は、自身が備える部品装着装置２８（４０）および１つまたは２つのコンベア装置２４を制御する制御装置を有し、その制御装置による制御の下、上記別基板搬送機能を利用した種々のオペレーションを実行する。以下に、それらのオペレーションについて説明する。

i）通過オペレーション
通過オペレーションは、１の基板に対して特定の部品装着装置２８（４０）による作業を行いつつ、その部品装着装置２８（４０）による作業を要しない別の基板を、その作業を行わずに、その部品装着装置２８（４０）を備えている部品装着機１０（１２）が備えるコンベア装置２４によって搬送するオペレーションである。簡単に言えば、特定の部品装着装置２８（４０）による作業をスキップさせるためのオペレーションである。

例えば、i）上記別の基板が、特定の部品装着装置２８（４０）の上流側の対基板作業装置による作業の結果が不良である作業不良基板であると認定されて、その基板にその部品装着装置２８（４０）による部品装着作業が必要でなくなった場合、ii）特定の部品装着装置２８（４０）の下流側の対基板作業装置による作業の結果が不良であり、再度、その対基板作業装置による作業のみを実行させたい場合等に、通過オペレーションは、有効なオペレーションとなる。上記場合において通過オペレーションを実行することで、他の基板に対する作業を多く阻害することなく、言い換えれば、対基板作業システムの生産性を大きく低下させることなく、上記場合に対処することが可能となる。

ii）交互作業オペレーション
交互作業オペレーションは、例えば、対基板作業システムの生産性を向上させるべく、上記２つの部品装着機１０が、互いに同じ部品装着作業を、連続して搬送される複数の基板の各々に対して実行するような場合に、有効なオペレーションとなる。その場合の交互作業オペレーションは、a）連続して搬送される複数の基板のうちの１の基板に対して上流側の部品装着機１０の部品装着装置２８が作業を行った後、その基板に対する下流側の部品装着機１０の部品装着装置２８による作業をスキップさせる上流側作業オペレーションと、b）別の１の基板に対して上流側の部品装着機１０の部品装着装置２８による作業をスキップさせた後に、その基板に対する下流側の部品装着機１０の部品装着装置２８による作業を実行させる下流側作業オペレーションとが交互に行われる。そのようなオペレーションにより、本対基板作業システムでは、２つの部品装着機１０が直列的に配置されているにも拘わらず、互いに同じ作業を行う２つの部品装着機が並列的に配置された対基板作業システム、すなわち、２つの部品装着機が搬送方向と直交する方向に並んで配置された対基板作業システムと同様の生産性を確保することが可能となる。つまり、搬送方向に直交する方向である前後方向におけるシステムの寸法が小さい高生産性システムが構築できるのである。

また、交互作業オペレーションは、例えば、対基板作業システムの生産性を向上させるべく、上記部品装着機１２が、互いに同じ部品装着作業を、連続して搬送される複数の基板の各々に対して実行するような場合にも、有効なオペレーションとなる。その場合の交互作業オペレーションは、A）連続して搬送される複数の基板のうちの１の基板に対して上流側のコンベア装置２４において部品装着装置４０による作業を行った後、下流側のコンベア装置２４において部品装着装置４０による作業を行わずしてそのコンベア装置２４を通過させる上流側作業オペレーションと、B）別の１の基板に対して上流側のコンベア装置２４において部品装着装置４０による作業を行わずしてそのコンベア装置２４を通過させた後、下流側のコンベア装置２４において部品装着装置４０による作業を行う下流側作業オペレーションとが交互に行われる。そのようなオペレーションにより、２つのコンベア装置２４への一方についての基板の搬入，その基板の作業位置での固定，その基板の搬出が、２つのコンベア装置２４の他方において別の基板に対して部品装着装置４０が部品装着作業を実行している最中に実行できることから、部品装着装置４０が部品装着作業を行っていない時間を相当に少なくすることが可能となる。その結果として、高い生産性の対基板作業システムが構築できるのである。

ちなみに、上記２つの交互作業オペレーションにおける基板の動作は、図６のように、模式的に示すことができる。図６（ａ）は、２つのコンベア装置２４の両方においてそれぞれ基板が上述のリフタによって作業位置に上昇させられ、それらの基板の両方に対して部品装着作業が行われている状態を示している。図６（ｂ）は、上流側のコンベア装置２４において作業が終了した基板を、下流側のコンベア装置２４において作業中の基板の下を、そのコンベア装置２４によって通過させつつ、そのコンベア装置２４の下流側に搬出する状態を示している。図６（ｃ）は、空となっている上流側のコンベア装置２４に、そのコンベア装置２４によって新たな基板が搬入される状態を示している。図６（ｄ）は、図６（ａ）と同様に両方の基板に対して部品装着作業が行われている状態を示している。図６（ｅ）は、下流側のコンベア装置２４において作業が終了した基板を、そのコンベア装置２４の下流側に搬出する状態を示している。図６（ｆ）は、空となっている下流側のコンベア装置２４に、新たな基板を、上流側のコンベア装置２４によって作業が行われている基板の下を通過させる状態で、搬入する状態を示している。図６（ｇ）は、図６（ａ）と同じ状態を示している。本対基板作業システムでは、このような状態が繰り返されることで、複数の基板に対して連続して部品装着作業が行われる。

したがって、上述のような状態が繰り返される本対基板作業システムは、
I）上流側のコンベア装置２４の上記リフタによって上昇させられた１の基板に対して２つの部品装着装置２８の上流側のもの若しくは１つの部品装着装置４０による作業を行いつつ、その上流側のコンベア装置２４によって、別の基板を下流側のコンベア装置２４に搬入し、その別の基板を、その下流側のコンベア装置の上記リフタによって上昇させて、その基板に対して２つの部品装着装置２８の下流側のもの若しくは１つの部品装着装置４０による作業を行う第１オペレーションと、
II）上流側のコンベア装置２４の上記リフタによって上昇させられて２つの部品装着装置２８の上流側のもの若しくは１つの部品装着装置４０によって作業が行われた基板を、下流側のコンベア装置２４の上記リフタによって上昇させられた別の基板に対して２つの部品装着装置２８の下流側のもの若しくは１つの部品装着装置４０による作業を行いつつ、その下流側のコンベア装置２４によって搬出する第２オペレーションと
を交互に実行可能に構成されているのである。

変形例

上述のコンベア装置２４では、それぞれが支持具となる前後１対の支持バー７０を含んで、上記リフタが構成されているが、基板を昇降させるリフタは、１つの支持具しか備えていないような構造のものでもよい。また、上述のコンベア装置２４では、上記支持具昇降機構は、支持具である支持バー７０の搬送方向における両端において、支持バー７０を昇降させるように構成されているが、支持具の一端において、その支持具を昇降させるように構成されていてもよい。つまり、リフタを含んで構成される基板搬送装置は、基板を上昇させた状態において、別の基板を、その上昇させられた基板の下方を１対のコンベアベルトによって搬送可能に構成されたものであればよく、具体的な構造は、特に限定されないのである。

また、上記コンベア装置２４では、部品装着作業の便宜のために、上昇させられた基板を固定する基板固定機構が設けられているが、基板搬送装置は、対基板作業装置による対基板作業が充分に満足できる程度に行えるのであれば、あるいは、当該基板搬送装置において対基板作業が実行されないのであれば、敢えて基板固定機構を設けなくてもよい。例えば、基板搬送装置が、当該基板搬送装置において対基板作業が実行されないものであっても、上述した基板の追い抜きは実行できることから、そのような基板搬送装置を採用する対基板作業システムは、充分に実用的なものとなる。

上記コンベア装置２４は、対基板作業としての部品装着作業を実行する部品装着機１０，１２に採用されているが、採用される対基板作業機は、部品装着機に限定されず、本発明の基板搬送装置は、例えば、はんだ印刷作業を行う印刷機、はんだ印刷作業若しくは部品装着作業の結果を検査する作業を対基板作業とする検査機等に対しても、充分に採用可能である。

１０：部品装着機〔対基板作業機〕 １２：部品装着機〔対基板作業機〕 ２４：コンベア装置〔基板搬送装置〕 ２８：部品装着装置〔対基板作業装置〕 ４０：部品装着装置〔対基板作業装置〕 ６４：コンベアベルト ７０：支持バー〔支持具〕〔リフタ〕 ７４：モータ〔支持具昇降機構〕〔リフタ〕 ７８：ねじ機構〔支持具昇降機構〕〔リフタ〕 ８０：フランジ〔ストッパ〕〔基板固定機構〕 Ｓ，Ｓ’：基板

Claims (7)

1. それぞれに基板の両端が載置され、それぞれが周回することによってその載置された基板を搬送方向に搬送する１対のコンベアベルトと、
   それら１対のコンベアベルトに載置された基板を、それら１対のコンベアベルトから離間するように上昇させるとともに、上昇させている基板をそれら１対のコンベアベルトに載置させるように下降させるリフタと
   を備え、
   そのリフタによって１の基板を上昇させた状態において、前記１対のコンベアベルトによって、別の基板を搬送可能に構成された基板搬送装置。
2. 前記リフタによって上昇させられた基板を、その基板に対する作業が行われる位置である作業位置において固定する基板固定機構を備えた請求項１に記載の基板搬送装置。
3. 前記リフタが、
   前記１対のコンベアベルトの間において前記搬送方向に延びるとともに、両端の少なくとも一方がそれら１対のコンベアベルトの外側に延び出し、それら１対のコンベアベルトに載置されている基板を下方から支持可能な支持具と、
   その支持具を、前記両端の少なくとも一方において昇降させる支持具昇降機構と
   を有し、
   当該基板搬送装置が、前記支持具昇降機構によって上昇させられた前記支持具の下方を、前記１対のコンベアベルトによって前記別の基板を搬送可能に構成された請求項１または請求項２に記載の基板搬送装置。
4. 当該基板搬送装置が、
   前記リフタによって上昇させられた基板を、前記１対のコンベアベルトの上方において係止するストッパを備え、
   そのストッパと前記支持具とによって基板が挟持されることで、その基板を、その基板に対する作業が行われる位置である作業位置において固定するように構成された請求項３に記載の基板搬送装置。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載の基板搬送装置と、
   その基板搬送装置の前記リフタによって上昇させられた基板に対して作業を行う対基板作業装置と
   を含んで構成された対基板作業システム。
6. 当該対基板作業システムが、
   １の基板に対して対基板作業装置による作業を行いつつ、その対基板作業装置による作業を要しない別の基板を、その作業を行わずに前記基板搬送装置によって搬送する通過オペレーションを、実行可能に構成された請求項５に記載の対基板作業システム。
7. 当該対基板作業システムが、
   それぞれが前記基板搬送装置として機能し、直列的に配置された２つの基板搬送装置と、
   それぞれが前記対基板作業装置として機能し、前記２つの基板搬送装置の各々の前記リフタによって上昇させられた基板に対して作業を行う１以上の対基板作業装置と
   を含んで構成され、
   前記２つの基板搬送装置の上流側のものの前記リフタによって上昇させられた１の基板に対して前記１以上の対基板作業装置による作業を行いつつ、その上流側の基板搬送装置によって、別の基板を前記２つの基板搬送装置の下流側のものに搬入し、その別の基板を、その下流側の基板搬送装置の前記リフタによって上昇させて、その基板に対して前記１以上の対基板作業装置による作業を行う第１オペレーションと、
   前記上流側の基板搬送装置の前記リフタによって上昇させられて前記１以上の対基板作業装置によって作業が行われた基板を、前記下流側の基板搬送装置の前記リフタによって上昇させられた別の基板に対して前記１以上の対基板作業装置による作業を行いつつ、その下流側の基板搬送装置によって搬出する第２オペレーションと
   を交互に実行可能に構成された請求項５または請求項６に記載の対基板作業システム。
   

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