JP2022041541A - 基板反転装置および基板反転方法 - Google Patents

Abstract

【課題】信頼性を向上させた基板反転装置および基板反転方法を提供すること。【解決手段】基板（１０）を反転させる基板反転装置（１）は、一対のベルト（１２）と、一対のクランパー（１４）と、一対のクランパー（１４）および一対のベルト（１２）を共に回転させる回転駆動部（２２）と、制御部（８）と、を備え、制御部（８）は、一対のクランパー（１４）によって基板（１０）を一対のベルト（１２）に非接触な位置に保持した状態で、回転駆動部（２２）によって一対のクランパー（１４）および一対のベルト（１２）を回転させて、基板（１０）を反転させる。【選択図】図４

Description

本発明は、基板反転装置および基板反転方法に関する。

例えば、基板を反転させる基板反転装置がある（例えば、特許文献１）。特許文献１の基板反転装置は、基板を搬送するための一対のベルトコンベアを備え、当該ベルトコンベアにより基板を挟んだ状態で反転する。反転した基板の両面に対して、所定の処理を行う。

特許第４６６４９４０号公報

しかしながら、特許文献１の構成では、基板の反転動作に伴ってベルトコンベアに係合しているプーリやギヤが不要に回転してしまい、基板反転装置に誤作動が生じる場合がある。このため、基板反転装置の信頼性を向上させることに関して未だ改善の余地があるといえる。

従って、本発明の目的は、前記問題を解決することにあって、信頼性を向上させることができる基板反転装置および基板反転方法を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明の基板反転装置は、基板を反転させる基板反転装置であって、互いに対向して設けられた第１ベルトと第２ベルトとを有する一対のベルトであって、いずれか一方のベルトによって前記基板を搬送する一対のベルトと、前記一対のベルトに対して幅方向に異なる位置に端部を有する第１クランパーと第２クランパーとを有する一対のクランパーであって、いずれか一方のクランパーの前記端部を上昇させて、前記ベルトによって支持されている前記基板を持ち上げて、前記第１クランパーの前記端部と前記第２クランパーの前記端部とで前記基板を挟んで保持する一対のクランパーと、前記一対のクランパーおよび前記一対のベルトを共に回転させる回転駆動部と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記一対のクランパーによって前記基板を前記一対のベルトに非接触な位置に保持した状態で、前記回転駆動部によって前記一対のクランパーおよび前記一対のベルトを回転させて、前記基板を反転させる。

また、本発明の基板反転方法は、基板を反転させる基板反転方法であって、互いに対向して設けられた第１ベルトと第２ベルトとを有する一対のベルトのうち、前記第１ベルトにより前記基板を搬送するステップと、前記一対のベルトに対して幅方向に異なる位置に端部を有する第１クランパーと第２クランパーとを有する一対のクランパーのうち、前記第１クランパーの前記端部を上昇させて、前記第１ベルトに支持されている前記基板を前記第１ベルトから持ち上げるステップと、前記第１クランパーによって持ち上げた前記基板を前記第２クランパーの前記端部に当接させて、前記第１クランパーの前記端部と前記第２クランパーの前記端部とで前記基板を挟んで保持するステップと、前記一対のクランパーによって前記基板を前記一対のベルトに非接触な位置に保持した状態で、前記一対のクランパーおよび前記一対のベルトを共に回転させて、前記基板を反転させるステップと、を含む。

本発明によれば、基板反転装置の信頼性を向上させることができる。

実施形態１の基板反転装置の斜視図 実施形態１の基板反転装置の一方側の基板反転部を示す斜視図 実施形態１の基板反転装置の他方側の基板反転部を示す斜視図 実施形態１の反転部を示す斜視図 実施形態１のクランパーを省略した状態の反転部を示す斜視図 実施形態１のベルト、クランパーおよびフレームの縦断面を示す模式図 実施形態１の一対のクランパーの斜視図 実施形態１のベルト駆動部およびフレーム駆動部を概略的に示す斜視図 実施形態１の基板反転方法を説明するフローチャート 図１４のフローチャートに沿って各ステップを実行する際の各種説明図 図１４のフローチャートに沿って各ステップを実行する際の各種説明図 図１４のフローチャートに沿って各ステップを実行する際の各種説明図 図１４のフローチャートに沿って各ステップを実行する際の各種説明図 図１４のフローチャートに沿って各ステップを実行する際の各種説明図 図１４のフローチャートに沿って各ステップを実行する際の各種説明図 実施形態２の基板反転装置の概略構成を示す正面図 実施形態２の基板反転装置の概略構成を示す側面図 実施形態２の基板反転方法を説明するための各種概略図 実施形態２の基板反転装置を説明するための各種概略図 実施形態２の基板反転装置を説明するための各種概略図 第１ギヤ７０に選択的に係合する爪部を示す概略図

本発明の第１態様によれば、基板を反転させる基板反転装置であって、互いに対向して設けられた第１ベルトと第２ベルトとを有する一対のベルトであって、いずれか一方のベルトによって前記基板を搬送する一対のベルトと、前記一対のベルトに対して幅方向に異なる位置に端部を有する第１クランパーと第２クランパーとを有する一対のクランパーであって、いずれか一方のクランパーの前記端部を上昇させて、前記ベルトによって支持されている前記基板を持ち上げて、前記第１クランパーの前記端部と前記第２クランパーの前記端部とで前記基板を挟んで保持する一対のクランパーと、前記一対のクランパーおよび前記一対のベルトを共に回転させる回転駆動部と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記一対のクランパーによって前記基板を前記一対のベルトに非接触な位置に保持した状態で、前記回転駆動部によって前記一対のクランパーおよび前記一対のベルトを回転させて、前記基板を反転させる、基板反転装置を提供する。

このような構成によれば、ベルトに非接触な状態で基板を反転させるため、ベルトの状態をフリーにしながら基板を反転させることができる。これにより、ベルトの不要な回転を防止することができ、基板反転装置の誤作動を抑制して基板反転装置の信頼性を向上させることができる。

本発明の第２態様によれば、前記基板の主面に対する処理を行う処理部をさらに備え、前記制御部は、前記基板を反転させる前に、前記一対のクランパーによって前記基板を前記一対のベルトに非接触な第１高さ位置に保持した状態で、前記処理部を用いて前記基板の第１主面に対して処理を行う、第１態様に記載の基板反転装置を提供する。このような構成によれば、基板をクランパーで保持した状態で第１主面に対する処理を行うことで、基板を精度良く位置決めしながら処理を行うことができ、基板の処理精度を向上させることができる。

本発明の第３態様によれば、前記制御部は、反転された前記基板を前記一対のクランパーによって保持した状態で、前記処理部を用いて、前記第１主面とは反対側の前記基板の前記第２主面に対して処理を行う、第２態様に記載の基板反転装置を提供する。このような構成によれば、基板をクランパーで保持した状態で第２主面に対する処理を行うことで、基板を精度良く位置決めしながら処理を行うことができ、基板の処理精度を向上させることができる。

本発明の第４態様によれば、反転された前記基板は、前記一対のクランパーによって前記第１高さ位置よりも低い第２高さ位置に保持され、前記制御部は、前記第２高さ位置に保持された前記基板に接触している前記一対のクランパーの前記端部を上昇させて、前記一対のベルトに非接触な第３高さ位置に前記基板を保持し、前記基板を前記第３高さ位置に保持した状態で、前記処理部を用いた前記基板の前記第２主面に対する前記処理を行う、第３態様に記載の基板反転装置を提供する。このような構成によれば、基板の反転によって基板の保持高さが低くなる場合でも、第１クランパーと第２クランパーを上昇させることで、基板の保持高さを調整しながら基板への処理を行うことができる。

本発明の第５態様によれば、前記第１高さ位置と前記第３高さ位置は同じである、第４態様に記載の基板反転装置を提供する。このような構成によれば、処理する基板の上面高さを一定に保持することができる。

本発明の第６態様によれば、基板を反転させる基板反転方法であって、互いに対向して設けられた第１ベルトと第２ベルトとを有する一対のベルトのうち、前記第１ベルトにより前記基板を搬送するステップと、前記一対のベルトに対して幅方向に異なる位置に端部を有する第１クランパーと第２クランパーとを有する一対のクランパーのうち、前記第１クランパーの前記端部を上昇させて、前記第１ベルトに支持されている前記基板を前記第１ベルトから持ち上げるステップと、前記第１クランパーによって持ち上げた前記基板を前記第２クランパーの前記端部に当接させて、前記第１クランパーの前記端部と前記第２クランパーの前記端部とで前記基板を挟んで保持するステップと、前記一対のクランパーによって前記基板を前記一対のベルトに非接触な位置に保持した状態で、前記一対のクランパーおよび前記一対のベルトを共に回転させて、前記基板を反転させるステップと、を含む、基板反転方法を提供する。

このような方法によれば、第１態様の基板反転装置と同様の効果を奏することができる。

本発明の第７態様によれば、前記基板を反転させるステップの前に、前記一対のクランパーによって前記基板を前記一対のベルトに非接触な第１高さ位置に保持した状態で、前記基板の第１主面に対して処理を行うステップをさらに含む、第６態様に記載の基板反転方法を提供する。このような方法によれば、第２態様の基板反転装置と同様の効果を奏することができる。

本発明の第８態様によれば、反転された前記基板を前記一対のクランパーによって保持した状態で、前記第１主面とは反対側の前記基板の前記第２主面に対して処理を行うステップをさらに含む、第７態様に記載の基板反転方法を提供する。このような方法によれば、第３態様の基板反転装置と同様の効果を奏することができる。

本発明の第９態様によれば、反転された前記基板は、前記第１高さ位置よりも低い第２高さ位置に保持され、前記第２高さ位置に保持された前記基板に接触している前記一対のクランパーの前記端部を上昇させて、前記一対のベルトに非接触な第３高さ位置に前記基板を保持するステップをさらに含み、前記基板の前記第２主面に対する前記処理は、前記基板を前記第３高さ位置に保持した状態で行う、第８態様に記載の基板反転方法を提供する。このような方法によれば、第４態様の基板反転装置と同様の効果を奏することができる。

本発明の第１０態様によれば、前記第１高さ位置と前記第３高さ位置は同じである、第９態様に記載の基板反転方法を提供する。このような方法によれば、第５態様の基板反転装置と同様の効果を奏することができる。

以下、本発明に係る基板反転装置およびそれを用いた基板反転方法の例示的な実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。本発明は、以下の実施形態の具体的な構成に限定されるものではなく、同様の技術的思想に基づく構成が本発明に含まれる。

（実施形態１）
まず、図１～図３を参照して基板反転装置１の構成を説明する。図１は、実施形態１の基板反転装置１の斜視図、図２は、基板反転装置１の一方側の基板反転部を示す斜視図、図３は、基板反転装置１の他方側の基板反転部を示す斜視図である。

図１に示す基板反転装置１は、搬送部２と、反転部４と、処理部６と、制御部８とを備える。

搬送部２は、基板１０の搬入あるいは搬出を行うための部材である。搬送部２は、反転部４へ基板１０を搬送方向Ｘに搬入する機能、あるいは反転部４から基板１０を搬送方向Ｘに搬出する機能を有する。搬送部２から反転部４へ基板１０が搬入される場合は、基板１０は反転部４によって搬送部２とは逆側に搬出される。一方で、搬送部２とは逆側から反転部４へ基板１０が搬入される場合は、基板１０は搬送部２によって反転部４とは逆側に搬出される。搬送方向Ｘは、基板１０の表面に沿う方向であり、基板１０の幅方向Ｙに直交する。図１では、反転部４に基板１０が搬入された状態が示されている。図２以降では基板１０の図示を適宜省略する。

図１～図３に示すように、搬送部２は、一対の搬送部２Ａ、２Ｂを備える。搬送部２Ａ、２Ｂのそれぞれはベルトを有し、一方の搬送部２Ａが基板１０の幅方向Ｙの一方側を支持し、他方の搬送部２Ｂが基板１０の幅方向Ｙの他方側を支持する。

反転部４は、搬送部２から搬入されてくる基板１０を保持して反転させる部材である。反転部４の反転動作によって、基板１０の両面に処理を行うことができる。反転部４は搬送部２と同様に、一対の反転部４Ａ、４Ｂを備え、一方の反転部４Ａが基板１０の幅方向Ｙの一方側を支持し、他方の反転部４Ｂが基板１０の幅方向Ｙの他方側を支持する。

反転部４は、一対の反転部４Ａ、４Ｂにより基板１０を上下に挟んだ状態で回転方向Ｒに回転することで基板１０を反転させる。回転方向Ｒは基板１０の幅方向Ｙを中心軸とする回転方向である。反転部４の詳細な構成については後述する。

処理部６は、反転部４に保持された基板１０に対して処理を行う部材である。処理部６が行う処理は例えば、基板１０の主面にバーコード等を印字するレーザ加工や、基板１０の部品実装状態等を検査する自動光学検査（ＡＯＩ）である。すなわち、基板反転装置１はレーザーマーカや自動光学検査装置であってもよく、あるいは基板１０に部品を実装する部品実装装置であってもよい。

制御部８は、基板反転装置１の各構成要素を制御するための部材である。制御部８は、基板反転装置１の各構成要素と電気的に接続されている。制御部８は例えば、マイクロコンピュータを有して構成される。

上述した処理部６および制御部８は、図１では簡略化して図示されている。また、図２以降では処理部６および制御部８の図示を適宜省略している。

次に、反転部４の詳細な構成について、図４以降を用いて説明する。なお、一対の反転部４Ａ、４Ｂは対称であるため、一対の反転部４Ａ、４Ｂのうちの反転部４Ｂを代表して反転部４として説明する。

図４は、反転部４（４Ｂ）を示す斜視図であり、図５は、クランパー１４を省略した状態の反転部４を示す斜視図である。

図４、図５に示すように、反転部４は、一対のベルト１２と、一対のクランパー１４（図４）と、フレーム１６と、一対のベルト駆動部１８（図５）と、クランパー駆動部２０（図５）と、フレーム駆動部２２とを備える。

ベルト１２は、前述した搬送部２から搬送されてくる基板１０を搬送方向Ｘに搬送して所定位置に位置決めする部材である。ベルト１２は、一対のベルト１２Ａ、１２Ｂを有し、高さ方向Ｚに間隔を空けて配置されている。図４、図５では、ベルト１２Ａが下側、ベルト１２Ｂが上側にある状態が示される。以降、ベルト１２Ａを「第１ベルト１２Ａ」、ベルト１２Ｂを「第２ベルト１２Ｂ」と称する場合がある。

ベルト１２が基板１０を搬送する際には、下側に配置されたベルト１２Ａが基板１０を支持しながら基板１０を搬送方向Ｘに搬送する。上側に配置されたベルト１２Ｂは基板１０に接触せず、下側のベルト１２Ａによる基板１０の搬送には寄与しない。反転されてベルト１２Ｂが下側に配置されたときに、ベルト１２Ａに代わってベルト１２Ｂが基板１０を支持して搬送する。

一対のベルト１２Ａ、１２Ｂは、高さ方向Ｚの間隔を調整する機能は有しておらず、ベルト１２Ａ、１２Ｂどうしの間隔は一定である。

クランパー１４は、基板１０を挟んで保持するための部材である。クランパー１４は、一対のクランパー１４Ａ、１４Ｂを有し、高さ方向Ｚに間隔を空けて配置されている。図４では、クランパー１４Ａが下側、クランパー１４Ｂが上側にある状態が示される。以降、クランパー１４Ａを「第１クランパー１４Ａ」と称し、クランパー１４Ｂを「第２クランパー１４Ｂ」と称する場合がある。

一対のクランパー１４Ａ、１４Ｂは、高さ方向Ｚの間隔を調整する機能を有しており、クランパー１４Ａ、１４Ｂのそれぞれが高さ方向Ｚに移動可能である。実施形態１のクランパー１４Ａ、１４Ｂのそれぞれは、３段階の高さ位置にて停止可能に構成されている。実施形態１では、互いに最も離れる位置としての「退避位置」、互いに最も近づく位置としての「突出位置」、その間の「中間位置」が設定されており、クランパー１４Ａ、１４Ｂのそれぞれが独立して各位置に移動・停止可能である。

下側のベルト１２Ａに基板１０が支持されている状態で、下側のクランパー１４Ａを上昇させると、クランパー１４Ａが基板１０を持ち上げる。持ち上げた基板１０を一対のクランパー１４Ａ、１４Ｂで挟むことで、基板１０は一対のベルト１２Ａ、１２Ｂに非接触な位置で保持される。

図５に示すように、ベルト１２を回転駆動する部材として、ベルト駆動部１８が設けられている。ベルト駆動部１８は、一対のベルト駆動部１８Ａ、１８Ｂを有する。ベルト駆動部１８Ａはベルト１２Ａを回転駆動し、ベルト駆動部１８Ｂはベルト１２Ｂを回転駆動する。ベルト駆動部１８Ａ、１８Ｂはそれぞれ、複数のプーリ、複数のギヤ、プーリとギヤを回転させるためのベルト、ベルトを回転させるためのモータ等で構成されている。ベルト駆動部１８Ａ、１８Ｂはそれぞれ、ベルト１２Ａ、１２Ｂを回転駆動できるものであれば、任意の構成を用いてもよい。実施形態１におけるベルト駆動部１８Ａ、１８Ｂのモータ（図示せず）は、基板反転装置１における反転動作しない固定部（非反転部）に固定している。当該モータは基板１０の反転動作に伴って反転しない。

一対のベルト１２Ａ、１２Ｂは、ベルト駆動部１８Ａ、１８Ｂを介してフレーム１６に支持されている。

図５に示すように、クランパー１４を高さ方向Ｚに駆動する部材として、クランパー駆動部２０が設けられている。クランパー駆動部２０は、一対のクランパー駆動部２０Ａ、２０Ｂを有する。クランパー駆動部２０Ａはクランパー１４Ａを直線駆動し、クランパー駆動部２０Ｂはクランパー１４Ｂを直線駆動する。クランパー駆動部２０Ａ、２０Ｂはそれぞれ、複数段階（実施形態１では３段階）の位置で停止可能なシリンダーを含んで構成される。クランパー駆動部２０Ａ、２０Ｂはそれぞれ、クランパー１４Ａ、１４Ｂをそれぞれ高さ方向Ｚに駆動できるものであれば、任意の構成を用いてもよい。

一対のクランパー１４Ａ、１４Ｂは、クランパー駆動部２０Ａ、２０Ｂを介してフレーム１６に支持されている。

フレーム１６は、一対のベルト１２Ａ、１２Ｂおよび一対のクランパー１４Ａ、１４Ｂを一体的に支持する部材である。フレーム１６は、搬送方向Ｘに沿って長手方向に延びる形状を有し、長手方向の中央部にベルト駆動部１８が係合し、長手方向の両端部にクランパー駆動部２０が係合する。

フレーム１６にはさらにフレーム駆動部２２が接続されている。フレーム駆動部２２は、フレーム１６を回転方向Ｒに回転させる回転駆動部である。フレーム駆動部２２によってフレーム１６を回転方向Ｒに回転させることで、フレーム１６に支持された一対のベルト１２Ａ、１２Ｂおよび一対のクランパー１４Ａ、１４Ｂが一体的に回転され、一対のクランパー１４Ａ、１４Ｂによって保持した基板１０が反転される。

次に、ベルト１２Ａ、１２Ｂとクランパー１４Ａ、１４Ｂとの位置関係について、図６および図７を用いて説明する。

図６は、ベルト１２、クランパー１４およびフレーム１６の縦断面を示す模式図である。図７は、一対のクランパー１４Ａ、１４Ｂの斜視図である。図６では、クランパー１４Ａ、１４Ｂがともに「退避位置」にある状態を例示する。

図６、図７に示すように、クランパー１４Ａ、１４Ｂのそれぞれは、幅方向Ｙの長さ（幅）が異なる部分として、幅狭部２４Ａ、２４Ｂと、幅広部２６Ａ、２６Ｂとを備える。

幅狭部２４Ａ、２４Ｂは、幅広部２６Ａ、２６Ｂに対してそれぞれ幅の狭い部分であり、クランパー１４Ａ、１４Ｂの端部に相当する。「幅狭部」は「端部」と称しても良い。幅狭部２４Ａ、２４Ｂはそれぞれ、一対のベルト１２Ａ、１２Ｂに対して幅方向Ｙにずれた位置に配置されている。クランパー１４Ａ、１４Ｂを高さ方向Ｚに移動させることで、幅狭部２４Ａ、２４Ｂを基板１０の主面に接触させることができる。図６では、幅狭部２４Ａ、２４Ｂがいずれも基板１０の主面に接触していない状態が示される。

クランパー１４Ａ、１４Ｂにおいて基板１０の主面に接触する箇所を幅狭部２４Ａ、２４Ｂとすることで、クランパー１４Ａ、１４Ｂとの接触による基板１０のデッドスペースを小さくすることができる。これにより、基板１０の広い範囲に処理を行うことができる。

幅広部２６Ａ、２６Ｂは、幅狭部２４Ａ、２４Ｂに対して幅の広い部分であり、前述したクランパー駆動部２０Ａ、２０Ｂが接続されている。このような幅広部２６Ａ、２６Ｂを設けることで、クランパー１４Ａ、１４Ｂの強度を向上させることができる。さらには、幅広部２６Ａ、２６Ｂをクランパー駆動部２０Ａ、２０Ｂに接続することで、クランパー１４Ａ、１４Ｂをクランパー駆動部２０Ａ、２０Ｂに強固に接続することができる。

図７に示すように、クランパー１４Ａ、１４Ｂのそれぞれは、フレーム１６と同様に搬送方向Ｘに沿って長手方向に延びる形状を有する。幅狭部２４Ａ、２４Ｂは長手方向に連続した形状を有するのに対して、幅広部２６Ａ、２６Ｂは長手方向の中央部が欠けた形状を有する。幅広部２６Ａ、２６Ｂが欠けたスペース２９には、前述したベルト駆動部１８のプーリやベルト１２Ａ、１２Ｂ等（図５）が配置される。これにより、スペースを有効活用しながらベルト駆動部１８を配置することができる。

次に、ベルト駆動部１８とフレーム駆動部２２の関係について、図８を用いて概略的に説明する。

図８は、ベルト駆動部１８およびフレーム駆動部２２を概略的に示す斜視図である。

図８に示すように、ベルト駆動部１８は、プーリ２７Ａ、２７Ｂと、小ギヤ（第１ギヤ）２８Ａ、２８Ｂと、大ギヤ（第２ギヤ）３０と、ベルト３２とを備える。

プーリ２７Ａ、２７Ｂは、ベルト１２Ａ、１２Ｂにそれぞれ係合するプーリである。小ギヤ２８Ａ、２８Ｂは、プーリ２７Ａ、２７Ｂとそれぞれ一体的に回転するギヤである。大ギヤ３０は、小ギヤ２８Ａ、２８Ｂの両方に係合するギヤである。ベルト３２は、大ギヤ３０を回転させるベルトであり、図示しないモータによって回転駆動される。

プーリ２７Ａと小ギヤ２８Ａはベルト駆動部１８Ａを構成し、プーリ２７Ｂと小ギヤ２８Ｂはベルト駆動部１８Ｂを構成する。

上記構成によれば、ベルト３２の回転駆動によって大ギヤ３０が回転し、大ギヤ３０に噛み合った小ギヤ２８Ａ、２８Ｂのそれぞれに回転力が伝達され、プーリ２７Ａ、２７Ｂが同期して回転される。プーリ２７Ａ、２７Ｂが回転することで、一対のベルト１２Ａ、１２Ｂが同時に回転され、ベルト１２Ａ、１２Ｂのどちらか一方が基板１０と接触することにより、基板１０が搬送方向Ｘに搬送される。

ベルト駆動部１８の大ギヤ３０と同軸の構成として、フレーム駆動部２２が設けられている。図８に示すように、フレーム駆動部２２は、締結部３４と、ベルト３６と、回転軸３８とを備える。

締結部３４は、回転軸３８をフレーム１６に締結するための部分である。回転軸３８の回転力は締結部３４を介してフレーム１６に伝達される。

ベルト３６は、回転軸３８および締結部３４を回転させるためのベルトであり、図示しないシリンダー等によって回転駆動される。回転軸３８は、ベルト３６に係合する棒状の部材であり、その先端部に締結部３４が接続されている。

回転軸３８は、ベルト駆動部１８のベルト３２および大ギヤ３０の内側に配置され、大ギヤ３０等と同軸に配置される。回転軸３８はベルト駆動部１８の各構成要素とは回転方向に噛み合っておらず、回転軸３８の回転力はベルト駆動部１８には伝達されない。同様に、ベルト駆動部１８の各構成要素はフレーム駆動部２２と噛み合っておらず、ベルト駆動部１８の回転力はフレーム駆動部２２には伝達されない。このようにして、ベルト駆動部１８とフレーム駆動部２２を同軸配置としながら、それぞれを独立して動作させることができる。

上述した構成を有する基板反転装置１を用いて基板１０を反転させる基板反転方法、および、基板１０を反転させながら基板１０の主面に対して所定の処理を行う方法について、図９および図１０Ａ～図１０Ｆを用いて説明する。

図９は、当該方法を説明するためのフローチャートである。図９のフローチャートに示す各ステップは例えば制御部８によって実行される。図１０Ａ～図１０Ｆは、図９のフローチャートに沿って各ステップを実行する際の各種説明図である。図１０Ａ～図１０Ｆは、フレーム１６やクランパー駆動部２０Ａ、２０Ｂの図示を省略した模式図である。

図９に示すように、制御部８はまず、反転部４に基板１０を搬入する（Ｓ１）。具体的には、図１～図３に示した搬送部２を用いて基板１０を搬送方向Ｘに搬送し、反転部４に基板１０を受け渡す。基板１０を受け取る反転部４は、図１０Ａに示すように下側に配置したベルト１２Ａによって基板１０を下方から支持した状態で、基板１０を搬送方向Ｘに搬送して所定位置に位置決めする。図１０Ａに示す状態では、基板１０の第１主面４８が上側を向いており、第２主面５０が下側を向いている。

なお、ステップＳ１の前にクランパー１４Ａ、１４Ｂの高さの切替えを行っている。具体的には、下側のクランパー１４Ａを退避位置に配置し、上側のクランパー１４Ｂを中間位置に配置している（図１０Ａ参照）。

制御部８は、下側のクランパー１４Ａを上昇させて基板１０を挟持する（Ｓ２）。具体的には、図１０Ａの矢印Ａ１で示すように、クランパー駆動部２０Ａの駆動によって、下側のクランパー１４Ａを上昇させる。これにより、クランパー１４Ａの端部である幅狭部２４Ａを基板１０の第２主面５０に当接させる。その状態でクランパー１４Ａをさらに上昇させて、図１０Ｂに示すように、上側に位置するクランパー１４Ｂの幅狭部２４Ｂに基板１０の第１主面４８を当接させる。クランパー１４Ａは突出位置に配置され、一対のクランパー１４Ａ、１４Ｂによって基板１０を挟んで保持する。基板１０は、一対のベルト１２Ａ、１２Ｂに非接触な高さ位置である第１高さ位置Ｈ１に保持される。

制御部８は、基板１０の第１主面４８に処理を行う（Ｓ３）。具体的には、一対のクランパー１４Ａ、１４Ｂによって基板１０を挟持した状態で、図１に示した処理部６を用いて、下方に位置する基板１０の第１主面４８に所定の処理を行う（矢印Ａ２参照）。所定の処理はバーコード等を印字するレーザ加工や自動光学検査など、任意の処理であってもよい。

制御部８は、基板１０を反転させる（Ｓ４）。具体的には、第１主面４８に対する処理が完了した後、前述したフレーム駆動部２２を用いてフレーム１６を回転方向Ｒに回転させて基板１０を反転させる。基板１０は、一対のクランパー１４Ａ、１４Ｂによって一対のベルト１２Ａ、１２Ｂに非接触な位置に保持された状態で反転される。

このような基板反転方法によれば、一対のベルト１２Ａ、１２Ｂで基板１０を挟んだ状態で反転させる場合と異なり、ベルト１２Ａ、１２Ｂに係合しているプーリやギヤ（ベルト駆動部１８）が基板１０の反転に伴って回転せず、プーリやギヤの不要な回転による基板１０の位置ずれを防止することができる。これにより、基板反転装置１の誤作動を防止することができ、基板反転装置１の信頼性を向上させることができる。

図１０Ｃは、反転後の状態を示す。一対のベルト１２Ａ、１２Ｂと一対のクランパー１４Ａ、１４Ｂのそれぞれにおける上下の位置関係が逆転している。具体的には、ベルト１２Ａおよびクランパー１４Ａが上側に配置され、ベルト１２Ｂおよびクランパー１４Ｂが下側に配置されている。反転された基板１０は、第２主面５０が上側に配置され、第１主面４８が下側に配置されるとともに、一対のクランパー１４Ａ、１４Ｂによって第２高さ位置Ｈ２に保持される。実施形態１における第２高さ位置Ｈ２は、第１高さ位置Ｈ１よりも低い位置である。

制御部８は、上側のクランパー１４Ａを基板１０からリリースする（Ｓ５）。具体的には、図１０Ｃの矢印Ａ３で示すように、クランパー駆動部２０Ａを用いて上側のクランパー１４Ａを上昇させる。これにより、図１０Ｄに示すように、クランパー１４Ａの幅狭部２４Ａと基板１０の第２主面５０との接触が解除され、上側のクランパー１４Ａは中間位置に配置され、基板１０からリリースされる。

制御部８は、下側のクランパー１４Ｂを上昇させて基板１０を挟持する（Ｓ６）。具体的には、図１０Ｄの矢印Ａ４で示すように、クランパー駆動部２０Ｂを用いて下側のクランパー１４Ｂを上昇させる。これにより、クランパー１４Ｂによって基板１０を上昇させて、図１０Ｅに示すように、上側のクランパー１４Ａの幅狭部２４Ａに基板１０の第２主面５０を当接させる。図１０Ｅに示す状態では、クランパー１４Ｂは突出位置に配置され、基板１０は一対のクランパー１４Ａ、１４Ｂによって、一対のベルト１２Ａ、１２Ｂに非接触な第３高さ位置Ｈ３にて挟持される。第３高さ位置Ｈ３は第２高さ位置Ｈ２よりも高く、実施形態１では第１高さ位置Ｈ１と同じ高さ位置に設定される。なお、第１高さ位置Ｈ１と第３高さ位置Ｈ３が同じ高さである場合は、完全に同じ場合に限らず、若干の誤差がある場合も含まれる。

制御部８は、基板１０の第２主面５０に処理を行う（Ｓ７）。具体的には、ステップＳ３と同様に、一対のクランパー１４Ａ、１４Ｂによって基板１０を挟持した状態で、処理部６を用いて、下方に位置する基板１０の第２主面５０に対して所定の処理を行う（矢印Ａ５参照）。所定の処理はステップＳ３と同様の処理であってもよく、異なる処理であってもよい。

制御部８は、上側のクランパー１４Ａと下側のクランパー１４Ｂを基板１０からリリースする（Ｓ８）。具体的には、図１０Ｅの矢印Ａ６で示すように、クランパー駆動部２０Ｂを用いて下側のクランパー１４Ｂを下降させる。これにより、上側のクランパー１４Ａの幅狭部２４Ａと基板１０の第２主面５０との当接が解除され、下側のクランパー１４Ｂのみで基板１０を支持する状態となる。下側のクランパー１４Ｂをさらに下降させて、図１０Ｆに示すように、基板１０の第１主面４８がベルト１２Ｂによって支持された状態となり、下側のクランパー１４Ｂと基板１０の第１主面４８との当接も解除され、ベルト１２Ｂのみで基板１０が支持された状態となる。クランパー１４Ｂは退避位置に配置され、一対のクランパー１４Ａ、１４Ｂが基板１０からリリースされる。

制御部８は、反転部４から基板１０を搬出する（Ｓ９）。具体的には、基板１０を支持しているベルト１２Ｂをベルト駆動部１８を用いて回転駆動することで、基板１０を搬送方向Ｘに搬送する。これにより、基板１０が反転部４から搬出される。

上記フローによれば、基板１０を反転させながら第１主面４８と第２主面５０の両方に処理を行った処理済みの基板１０を製造することができる。特にステップＳ４において基板１０を反転させる際に、一対のクランパー１４Ａ、１４Ｂを用いて、一対のベルト１２Ａ、１２Ｂに非接触な位置に基板１０を保持した状態で反転させている。これにより、ベルト１２に係合するベルト駆動部１８のプーリやギヤが基板１０の反転に伴って回転することがなく、基板反転装置１の誤作動を抑制することができ、基板反転装置１の信頼性を向上させることができる。

また上記構成では、搬送ベルト１２Ａ、１２Ｂを駆動するモータ（図示せず）を基板反転装置１における反転動作しない固定部（非反転部）に固定している。これにより、モータを基板反転装置１の反転動作する反転部に固定する場合と比べて反転部の重量を低減することができ、基板反転時間を短くすることができる。また、基板反転装置外の別の場所にモータを固定する場合と比較すると、モータとベルト駆動部の離合構造が必要なく、それに伴う離合動作が必要なくなり、基板反転時間を同様に短くすることができる。

上述したように、実施形態１の基板反転装置１およびそれを用いた基板反転方法では、制御部８は、互いに対向して設けられたベルト１２Ａ、１２Ｂを有する一対のベルト１２のうち、ベルト１２Ａにより基板１０を搬送する（Ｓ１）。制御部８はさらに、一対のベルト１２に対して幅方向Ｙに異なる位置に端部（幅狭部２４Ａ、２４Ｂ）を有したクランパー１４Ａ、１４Ｂを有する一対のクランパー１４のうち、クランパー１４Ａの端部を上昇させて、ベルト１２Ａに支持されている基板１０をベルト１２Ａから持ち上げる（Ｓ２）。制御部８はさらに、クランパー１４Ａによって持ち上げた基板１０を第２クランパー１４Ｂの端部に当接させて、クランパー１４Ａの端部とクランパー１４Ｂの端部とで基板１０を挟んで保持する（Ｓ２）。制御部８はさらに、一対のクランパー１４によって基板１０を一対のベルト１２に非接触な位置に保持した状態で、一対のクランパー１４および一対のベルト１２を共に回転させて、基板１０を反転させる（Ｓ４）。

このような構成および方法によれば、ベルト１２に非接触な状態で基板１０を反転させることで、ベルト１２の状態をフリーにしながら基板１０を反転させることができる。これにより、ベルト１２の不要な回転が防止されるため、基板反転装置１の誤作動を抑制することができ、基板反転装置１の信頼性を向上させることができる。

また、実施形態１の基板反転装置１およびそれを用いた基板反転方法では、制御部８は、基板１０を反転させる前に、一対のクランパー１４によって基板１０を一対のベルト１２に非接触な第１高さ位置Ｈ１に保持した状態で、基板１０の第１主面４８に対して処理を行う（Ｓ３）。

このような構成および方法によれば、基板１０をクランパー１４で挟持した状態で第１主面４８に対する処理を行うことで、基板１０を精度良く位置決めしながら処理を行うことができ、基板１０の処理精度を向上させることができる。

また、実施形態１の基板反転装置１およびそれを用いた基板反転方法では、制御部８は、反転された基板１０を一対のクランパー１４によって保持した状態で、第１主面４８とは反対側の基板１０の第２主面５０に対して処理を行う（Ｓ７）。

このような構成および方法によれば、基板１０をクランパー１４で挟持した状態で第２主面５０に対する処理を行うことで、基板１０を精度良く位置決めしながら処理を行うことができ、基板１０の処理精度を向上させることができる。

また、実施形態１の基板反転装置１およびそれを用いた基板反転方法では、反転された基板１０は、第１高さ位置Ｈ１よりも低い第２高さ位置Ｈ２に保持される（Ｓ４）。制御部８はさらに、第２高さ位置Ｈ２に保持された基板１０に接触している一対のクランパー１４の端部を上昇させて、一対のベルト１２に非接触な第３高さ位置Ｈ３に基板１０を保持する（Ｓ５、Ｓ６）。制御部８は、基板１０の第２主面５０に対する処理（Ｓ７）は、基板１０を第３高さ位置Ｈ３に保持した状態で行う。

このような構成および方法によれば、基板１０の反転によって基板１０の保持高さが低くなる場合でも、クランパー１４Ａ、１４Ｂを上昇させることで、基板１０の保持高さを調整しながら基板１０への処理を行うことができる。

また、実施形態１の基板反転装置１およびそれを用いた基板反転方法では、第１高さ位置Ｈ１と第３高さ位置Ｈ３は同じである。

このような構成および方法によれば、処理する基板１０の上面高さを一定に保持することができる。

（実施形態２）
本発明に係る実施形態２の基板反転装置およびそれを用いた基板反転方法について説明する。なお、実施形態２では、主に実施形態１と異なる点について説明し、実施形態１と重複する記載は省略する。

実施形態２では、クランパーを設けずに、一対のベルトで基板を挟んだ状態で基板を反転させる点が、実施形態１と異なる。

図１１は、実施形態２の基板反転装置６０の概略構成を示す正面図であり、図１２は、実施形態２の基板反転装置６０の概略構成を示す側面図である。

図１１、図１２に示すように、実施形態２の基板反転装置６０は、第１ベルト６２Ａと、第２ベルト６２Ｂと、第１プーリ６４Ａ（図１２）と、第２プーリ６４Ｂ（図１２）と、第１プーリ軸６６Ａと、第２プーリ軸６６Ｂと、フレーム６８と、第１ギヤ７０と、第２ギヤ７２と、第１モータ７４（図１１）と、第２モータ７６と、固定部材７８とを備える。

第１ベルト６２Ａおよび第２ベルト６２Ｂは、図示しない基板を搬送方向Ｘに搬送するベルトである。第１ベルト６２Ａと第２ベルト６２Ｂの間に基板を挟んだ状態で、第１ベルト６２Ａと第２ベルト６２Ｂのそれぞれが回転して基板を搬送方向Ｘに搬送する。図１２では、第１ベルト６２Ａおよび第２ベルト６２Ｂの図示を省略している。

第１プーリ６４Ａは、第１ベルト６２Ａに係合するプーリである。第２プーリ６４Ｂは、第２ベルト６２Ｂに係合するプーリである。図１１では、第１プーリ６４Ａおよび第２プーリ６４Ｂの図示を省略している。

第１プーリ軸６６Ａは、第１プーリ６４Ａに結合された軸であり、第２プーリ軸６６Ｂは、第２プーリ６４Ｂに結合された軸である。第１プーリ軸６６Ａおよび第２プーリ軸６６Ｂはともに、フレーム６８に回転可能な状態で挿通されている。図１１の点線で示すように、第１プーリ軸６６Ａと第２プーリ軸６６Ｂが同期して回転するようにベルトで連結されている。

フレーム６８は、第１プーリ軸６６Ａおよび第２プーリ軸６６Ｂを回転可能に支持する部材である。図１１に示すように、フレーム６８はその中心位置に第１回転軸８０を有し、第１回転軸８０は第１モータ７４に連結されている。図１２では、第１回転軸８０および第１モータ７４の図示を省略している。

第１モータ７４は、第１回転軸８０を中心としてフレーム６８を回転方向Ｐに回転駆動するためのモータである。第１モータ７４は固定部材７８に固定されてもよく、固定部材７８とは異なる部材に固定されてもよい。

第１プーリ軸６６Ａには第１ギヤ７０が連結されている。第１ギヤ７０は、第１プーリ軸６６Ａを介して第１プーリ６４Ａと同期して回転するギヤであり、第２ギヤ７２に噛み合っている。実施形態２の第１ギヤ７０は、第２ギヤ７２よりも径の小さなギヤである。

第２ギヤ７２は、第１ギヤ７０よりも径の大きなギヤであり、第２モータ７６に連結されている。

第２モータ７６は、第２ギヤ７２を回転方向Ｑに回転駆動するためのモータである。第２モータ７６は、第２ギヤ７２に連結される第２回転軸８２を有し、第２回転軸８２を中心として第２ギヤ７２を回転させる。図１１に示すように、第２回転軸８２は第１回転軸８０とは異なる位置に設定されている。

固定部材７８は、少なくとも第２モータ７６を固定する部材であり、第１モータ７４等の他の部材も必要に応じて固定される。固定部材７８には、第２モータ７６の第２回転軸８２が回転可能な状態で挿通されている。

上記構成によれば、第２モータ７６が第２ギヤ７２を回転方向Ｑに回転駆動すると、第２ギヤ７２に噛み合った第１ギヤ７０が回転し、第１プーリ軸６６Ａを介して第１プーリ６４Ａが回転され、第１プーリ６４Ａに係合する第１ベルト６２Ａが回転される。また、第１プーリ軸６６Ａの回転に伴って第２プーリ軸６６Ｂも同期して回転するため、第２プーリ軸６６Ｂを介して第２プーリ６４Ｂも回転され、第２プーリ６４Ｂに係合する第２ベルト６２Ｂが回転される。このようにして、第１ベルト６２Ａと第２ベルト６２Ｂを同期して回転させることができ、第１ベルト６２Ａと第２ベルト６２Ｂの間に基板を配置した状態で基板を搬送方向Ｘに搬送することができる。

第１ベルト６２Ａと第２ベルト６２Ｂの間に基板を挟んだ状態で第１モータ７４を駆動すれば、基板を反転させることができる。具体的には、図１３Ａ～図１３Ｃを用いて説明する。

図１３Ａ～図１３Ｃは、実施形態２の基板反転装置６０を用いて基板を反転させる基板反転方法を説明する各種概略図である。

図１３Ａに示すように、第１ギヤ７０が第２ギヤ７２に噛み合った第１回転位置にあるところ、第１モータ７４を用いて、フレーム６８を第１回転軸８０を中心として回転方向Ｐ１に回転させる。フレーム６８の回転に伴って、フレーム６８に支持されている被支持部材が一体的に回転される。被支持部材は、第１プーリ軸６６Ａ、第２プーリ軸６６Ｂ、第１ベルト６２Ａ、第２ベルト６２Ｂ、第１ギヤ７０を含み、一方で、第２ギヤ７２、第１モータ７４および第２モータ７６を含まない。

図１３Ｂは、回転途中の状態を示す。フレーム６８とともに第１ギヤ７０等の被支持部材が第１回転軸８０を中心に回転するのに対して、第２ギヤ７２は位置が変化しない。図１３Ｂに示すように、第１ギヤ７０は第２ギヤ７２との噛み合いが解除され、第２ギヤ７２から離れた位置を回動する。

図１３Ｃは、反転が完了した状態を示す。図１３Ｃに示すように、フレーム６８とともに回転した被支持部材の上下位置が逆転している。具体的には、第１ベルト６２Ａおよび第１プーリ軸６６Ａが下側に位置し、第２ベルト６２Ｂおよび第２プーリ軸６６Ｂが上側に位置する。ベルト６２Ａ、６２Ｂに挟持された基板は反転されている。反転した基板の主面に対して所定の処理を行うことができる。

図１３Ｃに示すように、第１ギヤ７０は図１３Ａに示す第１回転位置とは異なる第２回転位置にあり、第２ギヤ７２と再び噛み合っている。第１ギヤ７０は、第１回転位置のときとは異なる位置で第２ギヤ７２に噛み合う。

第１ギヤ７０は、図１３Ａ、図１３Ｃに示す位置では第２ギヤ７２に噛み合っているのに対して、図１３Ｂに示した第１回転位置と第２回転位置の間を移動している間、第２ギヤ７２と噛み合っていない。このような基板の反転方法によれば、基板の反転に伴って、第１ギヤ７０、第２ギヤ７２等のギヤや各種プーリが回転することがなく、ギヤおよびプーリの不要な回転を防止することができる。これにより、実施形態１の基板反転装置１と同様に基板反転装置６０の誤作動を抑制することができ、基板反転装置６０の信頼性を向上させることができる。

図１３Ｃに示す第２回転位置から図１３Ａに示す第１回転位置へ反対方向に基板を反転させる場合には、第１モータ７４を用いて、前述した回転方向Ｐ１とは逆方向の回転方向Ｐ２にフレーム６８を回転させればよい。第１ギヤ７０は、第２回転位置から第１回転位置へ向かって移動する間も、第２ギヤ７２との噛み合いが解除された状態で回動する。

上述したように、実施形態２の基板反転装置６０および基板反転方向は、基板を搬送するための第１ベルト６２Ａに係合する第１プーリ６４Ａと、第１プーリ６４Ａと一体的に回転する第１ギヤ７０と、第１プーリ６４Ａおよび第１ギヤ７０を回転可能に支持し、第１プーリ６４Ａおよび第１ギヤ７０とは異なる位置を中心として回転可能に構成されたフレーム６８と、第１ギヤ７０に噛み合う第２ギヤ７２と、フレーム６８を回転駆動する第１モータ７４と、第２ギヤ７２を回転駆動する第２モータ７６と、を備える。第１モータ７４および第２モータ７６は、フレーム６８とは異なる固定部材７８等に固定されている。第１ギヤ７０は、第１モータ７４によるフレーム６８の回転に伴って、第２ギヤ７２に対して異なる位置で噛み合う第１の回転位置と第２の回転位置の間を回転可能であり、第１の回転位置と第２の回転位置の間を回動している間、第２ギヤ７２から離れた位置を移動する。

このような構成および方法によれば、第１モータ７４の駆動によって基板を反転させる際に、第１ギヤ７０と第２ギヤ７２の噛み合い状態が解除されるため、基板の反転に伴ってプーリやギヤが不要に回転することを防止することができる。これにより、基板反転装置６０の誤作動を防止することができ、基板反転装置６０の信頼性を向上させることができる。

また実施形態１と同様に、ベルト６２Ａ、６２Ｂを駆動する第２モータ７６を基板反転装置６０における反転動作しない固定部としての固定部材７８に固定している。これにより、第２モータ７６を基板反転装置６０の反転動作する反転部に固定する場合と比べて反転部の重量を低減することができ、基板反転時間を短くすることができる。また、基板反転装置外の別の場所に第２モータ７６を固定する場合と比較すると、第２モータ７６とベルト駆動部の離合構造が必要なく、それに伴う離合動作が必要なくなり、基板反転時間を同様に短くすることができる。

なお、図１４に示すように、第１ギヤ７０に選択的に係合する爪部８４を設けてもよい。爪部８４は、反転動作中に基板を保持しているベルト６２Ａ、６２Ｂ、プーリ６４Ａ、６４Ｂおよび第１ギヤ７０がフリー状態となっているときに第１ギヤ７０に選択的に噛み合う部材である。第２ギヤ７２との噛み合いが解除された第１ギヤ７０に爪部８４を係合させることで、基板の反転に伴う第１ギヤ７０の位置ずれを抑制することができる。これにより、ベルト６２Ａ、６２Ｂの位置ずれを抑制して、基板の位置ずれを抑制することができる。

以上、上述の実施形態１、２を挙げて本発明を説明したが、本発明は上述の実施形態１、２に限定されない。例えば、実施形態１では、図１５Ｆを用いて説明したように、基板１０を反転させたまま反転部４から搬出する場合について説明したが、このような場合に限らない。図１５Ｆに示す状態から基板１０をさらに反転させて、図１５Ａに示す状態に戻した上で基板１０を搬出してもよい。

また実施形態２では、第１ギヤ７０が第２ギヤ７２よりも径が小さい場合について説明したが、ギヤの大小関係についてはこれに限らない。第１ギヤ７０が１８０度回転したときに、第２ギヤ７２に対して接線の直交方向に概ね当接できる構成であれば、任意の径のギヤ７０、７２を用いてもよい。

本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した特許請求の範囲による本開示の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。また、各実施形態における要素の組合せや順序の変化は、本開示の範囲および思想を逸脱することなく実現し得るものである。

なお、前記実施形態の様々な変形例のうち、任意の変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。

本発明は、基板反転装置およびそれを用いた基板反転方法であれば適用可能である。

１ 基板反転装置
２、２Ａ、２Ｂ 搬送部
４、４Ａ、４Ｂ 反転部
６ 処理部
８ 制御部
１０ 基板
１２ ベルト
１２Ａ ベルト（第１ベルト）
１２Ｂ ベルト（第２ベルト）
１４ クランパー
１４Ａ クランパー（第１クランパー）
１４Ｂ クランパー（第２クランパー）
１６ フレーム
１８ ベルト駆動部
１８Ａ ベルト駆動部（第１ベルト駆動部）
１８Ｂ ベルト駆動部（第２ベルト駆動部）
２０ クランパー駆動部
２０Ａ クランパー駆動部（第１クランパー駆動部）
２０Ｂ クランパー駆動部（第２クランパー駆動部）
２２ フレーム駆動部（回転駆動部）
２４Ａ、２４Ｂ 幅狭部（端部）
２６Ａ、２６Ｂ 幅広部
２７Ａ、２７Ｂ プーリ
２８Ａ、２８Ｂ 小ギヤ
２９ スペース
３０ 大ギヤ
３２ ベルト
３４ 締結部
３６ ベルト
３８ 回転軸
４８ 第１主面
５０ 第２主面
６０ 基板反転装置
６２Ａ 第１ベルト
６２Ｂ 第２ベルト
６４Ａ 第１プーリ
６４Ｂ 第２プーリ
６６Ａ 第１プーリ軸
６６Ｂ 第２プーリ軸
６８ フレーム
７０ 第１ギヤ
７２ 第２ギヤ
７４ 第１モータ
７６ 第２モータ
７８ 固定部材
８０ 第１回転軸
８２ 第２回転軸
８４ 爪部
Ｈ１ 第１高さ位置
Ｈ２ 第２高さ位置
Ｈ３ 第３高さ位置
Ｘ 搬送方向（長手方向）
Ｙ 幅方向
Ｚ 高さ方向
Ｐ、Ｐ１、Ｐ２ 回転方向
Ｑ 回転方向
Ｒ 回転方向

Claims (10)

1. 基板を反転させる基板反転装置であって、
   互いに対向して設けられた第１ベルトと第２ベルトとを有する一対のベルトであって、いずれか一方のベルトによって前記基板を搬送する一対のベルトと、
   前記一対のベルトに対して幅方向に異なる位置に端部を有する第１クランパーと第２クランパーとを有する一対のクランパーであって、いずれか一方のクランパーの前記端部を上昇させて、前記ベルトによって支持されている前記基板を持ち上げて、前記第１クランパーの前記端部と前記第２クランパーの前記端部とで前記基板を挟んで保持する一対のクランパーと、
   前記一対のクランパーおよび前記一対のベルトを共に回転させる回転駆動部と、
   制御部と、を備え、
   前記制御部は、
   前記一対のクランパーによって前記基板を前記一対のベルトに非接触な位置に保持した状態で、前記回転駆動部によって前記一対のクランパーおよび前記一対のベルトを回転させて、前記基板を反転させる、基板反転装置。
2. 前記基板の主面に対する処理を行う処理部をさらに備え、
   前記制御部は、
   前記基板を反転させる前に、前記一対のクランパーによって前記基板を前記一対のベルトに非接触な第１高さ位置に保持した状態で、前記処理部を用いて前記基板の第１主面に対して処理を行う、請求項１に記載の基板反転装置。
3. 前記制御部は、
   反転された前記基板を前記一対のクランパーによって保持した状態で、前記処理部を用いて、前記第１主面とは反対側の前記基板の前記第２主面に対して処理を行う、請求項２に記載の基板反転装置。
4. 反転された前記基板は、前記一対のクランパーによって前記第１高さ位置よりも低い第２高さ位置に保持され、
   前記制御部は、
   前記第２高さ位置に保持された前記基板に接触している前記一対のクランパーの前記端部を上昇させて、前記一対のベルトに非接触な第３高さ位置に前記基板を保持し、
   前記基板を前記第３高さ位置に保持した状態で、前記処理部を用いた前記基板の前記第２主面に対する前記処理を行う、請求項３に記載の基板反転装置。
5. 前記第１高さ位置と前記第３高さ位置は同じである、請求項４に記載の基板反転装置。
6. 基板を反転させる基板反転方法であって、
   互いに対向して設けられた第１ベルトと第２ベルトとを有する一対のベルトのうち、前記第１ベルトにより前記基板を搬送するステップと、
   前記一対のベルトに対して幅方向に異なる位置に端部を有する第１クランパーと第２クランパーとを有する一対のクランパーのうち、前記第１クランパーの前記端部を上昇させて、前記第１ベルトに支持されている前記基板を前記第１ベルトから持ち上げるステップと、
   前記第１クランパーによって持ち上げた前記基板を前記第２クランパーの前記端部に当接させて、前記第１クランパーの前記端部と前記第２クランパーの前記端部とで前記基板を挟んで保持するステップと、
   前記一対のクランパーによって前記基板を前記一対のベルトに非接触な位置に保持した状態で、前記一対のクランパーおよび前記一対のベルトを共に回転させて、前記基板を反転させるステップと、を含む、基板反転方法。
7. 前記基板を反転させるステップの前に、前記一対のクランパーによって前記基板を前記一対のベルトに非接触な第１高さ位置に保持した状態で、前記基板の第１主面に対して処理を行うステップをさらに含む、請求項６に記載の基板反転方法。
8. 反転された前記基板を前記一対のクランパーによって保持した状態で、前記第１主面とは反対側の前記基板の前記第２主面に対して処理を行うステップをさらに含む、請求項７に記載の基板反転方法。
9. 反転された前記基板は、前記第１高さ位置よりも低い第２高さ位置に保持され、
   前記第２高さ位置に保持された前記基板に接触している前記一対のクランパーの前記端部を上昇させて、前記一対のベルトに非接触な第３高さ位置に前記基板を保持するステップをさらに含み、
   前記基板の前記第２主面に対する前記処理は、前記基板を前記第３高さ位置に保持した状態で行う、請求項８に記載の基板反転方法。
10. 前記第１高さ位置と前記第３高さ位置は同じである、請求項９に記載の基板反転方法。

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