CN214933745U - 牙叉式基板输送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型是有关一种牙叉式基板输送装置，牙叉式基板输送装置包括一第一输送层、一第二输送层、一第一牙叉式传送模组及一第二牙叉式传送模组。基板于该第一输送层沿一第一方向输送。第二输送层与该第一传送层具有一间距，该基板于该第二输送层沿该第一方向的相反方向传送。第一牙叉式传送模组承载该基板且在对应于该第一输送层的一第一位置与对应于该第二输送层的一第二位置间移动。第二牙叉式传送模组设置于该第二输送层，且可移动至与位于该第二位置的该第一牙叉式传送模组错位重叠，且将该基板于该第二传输层沿第一方向的相反方向传送。

Description

牙叉式基板输送装置

技术领域

本实用新型是有关于一种基板传送装置，特别是有关于一种在上下两个传送层间传送基板的牙叉式基板输送装置。

背景技术

一般来说，常见的基板运输装置，通常是由输送线将基板传送至由许多输送滚轮组成的输送结构，再由设置于输送结构附近的机械手臂将基板移至指定位置，或是由机械手臂截取基板后，将基板提送至另一组传输结构，而机械手臂虽然能将基板横向或上下移动，但有介于机械手臂的需要一步一步的进行动作，并且对于移动基板时的大小也有所限制，局限住了基板传输时的大小，并且在机械手臂移动时需花费过多不必要的等待时间，进而连带影响了基板传输时的效率。

因此如何提供一种更能缩短运送时间，同时能解决基板在搬运过程中无法有效的在短时间内运送至定位，并且同时能无大小限制的运送基板至定位，是目前仍需克服技术以及解决的课题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于：提供一种牙叉式基板输送装置，借由两个牙叉式传送模组彼此错位重叠而达到基板水平传送的作用。

在本实用新型的次一目的在于提供一种牙叉式基板输送装置，使其能借由控制模组控制旋转驱动件自转、并同时控制第二驱动件使二侧的第三基座同时进行水平分离，接续再控制第一驱动组件垂直下降，借此达到旋转、水平移动的同时作动，以节省基板输送时间，能有效缩短基板输送时程的优势。

在本实用新型的另一目的在于提供一种牙叉式基板输送装置，使其能借由控制模组控制旋转驱动件自转、并同时控制第二驱动件使二侧的第三基座同时进行水平分离，以及同时控制第一驱动组件垂直下降而同步控制，借此达到旋转、水平移动与垂直移动的同时作动，以节省近三成的输送时间，能有效缩短基板输送时程的优势。

本实用新型所采用的技术手段如下。

本实用新型的牙叉式基板输送装置的一实施例包括一第一输送层、一第二输送层、一第一牙叉式传送模组及一第二牙叉式传送模组。基板于该第一输送层沿一第一方向输送。第二输送层与该第一传送层具有一间距，该基板于该第二输送层沿该第一方向的相反方向传送。第一牙叉式传送模组承载该基板且在对应于该第一输送层的一第一位置与对应于该第二输送层的一第二位置间移动。第二牙叉式传送模组设置于该第二输送层，且可移动至与位于该第二位置的该第一牙叉式传送模组错位重叠，且将该基板于该第二传输层沿第一方向的相反方向传送。

如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第一牙叉式传送模组包括一第一驱动组件以及一第一牙叉式组件，该第一驱动组件驱动该第一牙叉式组件在该第一输送层与该第二输送层之间移动。

如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第一驱动组件包括一第一基座、一第一驱动件以及一第一导引件，该第一驱动件及该第一导引件设置于该第一基座，该第一牙叉式组件连接于该第一驱动件，该第一驱动件驱动该第一牙叉式组件由该第一导引件导引于该第一基座上移动。

如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第一驱动件包括一第一伺服马达以及一第一导螺杆，该第一牙叉式组件可移动地设置于该第一导螺杆，该第一伺服马达转动该第一导螺杆，使该第一牙叉式组件沿该第一导螺杆移动。

如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第一牙叉式组件包括一第二基座、一第二导引件、一第二驱动件以及一对第一牙叉式承载臂，该第二驱动件及该第二导引件设置于该第二基座，该第二驱动件驱动该对第一牙叉式承载臂沿该第二导引件相对移动。

如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第二驱动件包括一第二伺服马达以及一对第二导螺杆，该对第一牙叉式承载臂是设置于该对第二导螺杆，该第二伺服马达转动该对第二导螺杆，使该对第一牙叉式承载臂彼此相对移动。

如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第一牙叉式组件更包括一对第三基座以及一对旋转驱动件，该对第三基座可移动地设置于该对第二导螺杆，该对第一牙叉式承载臂分别可旋转地设置于该对第三基座，该对旋转驱动件驱动该对第一牙叉式承载臂转动。

如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该旋转驱动件包括一第三伺服马达以及一传动齿轮组，该第三伺服马达的扭力经由该传动齿轮组传送至该对第一牙叉式承载臂，使该对第一牙叉式承载臂旋转。

如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第二牙叉式传送模组包括一第二驱动组件及一第二牙叉式组件，该第二驱动组件驱动该第二牙叉式组件在该第二输送层移动。

如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第二驱动组件包括一第四基座、一第三驱动件以及一第三导引件，该第四基座是沿该第二输送层延伸设置，该第三导引件及该第三驱动件设置于该第四基座，该第三驱动件驱动该对第二牙叉式组件由该第三导引件导引于该第四基座上沿该第一方向移动。

如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第三驱动件包括一第四伺服马达以及一第三导螺杆，该第二牙叉式组件设置于该第三导螺杆，该第四伺服马达转动该第三导螺杆，使该第二牙叉式组件沿该第三导螺杆移动。

如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第二牙叉式组件包括一第五基座以及一第二牙叉式承载臂，该第二牙叉式承载臂设置于该第五基座，该第五基座由该第三驱动件驱动于该第四基座上移动。

本实用新型的基板输送方法的一实施例包括下列步骤：一基板于一第一传送层沿一第一方向传送；以上述第一牙叉式传送模组将该基板从该第一传送层传送至一第二传送层；使上述第二牙叉式传送模组在该第二传送层移动至与该第一牙叉式传送模组错位重叠；使该第一牙叉式传送模组从该第二传送层移动至该第一传送层，而且该基板由该第二牙叉式传送模组承载；使承载该基板的该第二牙叉式传送模组于该第二传送层沿与该第一方向相反的方向传送。

如上所述的基板输送方法，其中步骤S2至步骤S3之间更包含以下步骤：步骤S21：一基板于一第一输送层的一第一位置就定位，一第一牙叉式传送模组位于该第一输送层的第一位置下方待命；步骤S22：该第一牙叉式传送模组借由一第一驱动组件由底部向上升起，并与第一输送层交叉定位以承载该基板；步骤S23：该第一牙叉式传送模组承载该基板向上升起至顶部后，与第二输送层水平定位；步骤S24：第二输送层位移进入至该基板下方，并与该第一牙叉式传送模组以交错方式定位，该第二输送层承载该基板后，以水平方向位移带开该基板；步骤S25：该第一牙叉式传送模组借由一旋转驱动件枢转，并同时由第二驱动组件向外移开；步骤S26：该第一牙叉式传送模组再直接下降至该第一位置；步骤S27：该第一牙叉式传送模组再借由该旋转驱动件枢转，以使该第一牙叉式传送模组与该第一驱动组件垂直；步骤S28：进入待机状态，待该基板被输送到该第一输送层就定位，重复步骤S21至步骤S27。

如上所述的基板输送方法，其中该步骤S25与步骤S26同步进行，借以同时将该第一牙叉式传送模组进行枢转、水平移动及垂直移动。

在本实用新型的牙叉式基板输送装置的另一实施例至少包括一第一输送层，一基板于该第一输送层沿一第一方向输送；一第二输送层，其与该第一输送层具有一间距，该基板于该第二输送层沿该第一方向的相反方向传送；一第一牙叉式传送模组，承载该基板且在对应于该第一输送层的一第一位置与对应于该第二输送层的一第二位置间移动；其中该第一牙叉式传送模组包括一第一驱动组件以及一第一牙叉式组件，该第一驱动组件驱动该第一牙叉式组件在该第一输送层与该第二输送层之间移动；其中该第一驱动组件包括一第一基座、一第一驱动件以及一第一导引件，该第一驱动件及该第一导引件设置于该第一基座，该第一牙叉式组件连接于该第一驱动件，该第一驱动件驱动该第一牙叉式组件由该第一导引件导引于该第一基座上移动；其中该第一牙叉式组件包括一第二基座、一第二导引件、一第二驱动件以及一对第一牙叉式承载臂，该第二驱动件及该第二导引件设置于该第二基座，该第二驱动件驱动该对第一牙叉式承载臂沿该第二导引件相对移动；其中该第一牙叉式组件更包括一对第三基座以及一对旋转驱动件，该对第三基座可移动地设置于该对第二导螺杆，该对第一牙叉式承载臂分别可旋转地设置于该对第三基座，该对旋转驱动件驱动该对第一牙叉式承载臂转动。

如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第一驱动件包括一第一伺服马达以及一第一导螺杆，该第一牙叉式组件可移动地设置于该第一导螺杆，该第一伺服马达转动该第一导螺杆，使该第一牙叉式组件沿该第一导螺杆移动。

如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该第二驱动件包括一第二伺服马达以及一对第二导螺杆，该对第一牙叉式承载臂是设置于该对第二导螺杆，该第二伺服马达转动该对第二导螺杆，使该对第一牙叉式承载臂彼此相对移动。

如上所述的牙叉式基板输送装置，其中该旋转驱动件包括一第三伺服马达以及一传动齿轮组，该第三伺服马达的扭力经由该传动齿轮组传送至该对第一牙叉式承载臂，使该对第一牙叉式承载臂旋转。

本实用新型的基板输送方法的另一实施例包括下列步骤：步骤S100：一基板于一第一输送层沿一第一方向传送；步骤S200：以一第一牙叉式传送模组将该基板从该第一输送层传送至一第二输送层；其中该步骤S200的后更包含以下步骤：步骤S201：一基板于一第一输送层的一第一位置就定位，一第一牙叉式传送模组位于该第一输送层的第一位置下方待命；步骤S202：该第一牙叉式传送模组借由一第一驱动组件由底部向上升起，并与第一输送层交叉定位以承载该基板；步骤S203：该第一牙叉式传送模组承载该基板向上升起至顶部后，与第二输送层水平定位；步骤S204：第二输送层将基板带离；步骤S205：该第一牙叉式传送模组借由一旋转驱动件枢转，并同时由第二驱动组件向外移开；步骤S206：该第一牙叉式传送模组再直接下降至该第一位置；步骤S207：再借由该旋转驱动件枢转，以使该第一牙叉式传送模组与该第一驱动组件垂直；步骤S208：进入待机状态，待该基板被输送到该第一输送层就定位，重复步骤S201至步骤S207。

如上所述的基板输送方法，其中该步骤S205与步骤S206同步进行，借以同时将该第一牙叉式传送模组进行枢转、水平移动及垂直移动。

本实用新型的有益效果如下：本实用新型的牙叉式基板输送装置及基板传送方法借由牙叉式传送模组能够移动至彼此错位重叠的位置，使基板在高度不同的第一传送层与第二传送层间传送，可以缩短其运送时间，并且可以在短时间内运送至定位。

附图说明

图1：为本实用新型的第一牙叉式传送模组的一实施例的立体图。

图2：为图1的第一牙叉式传送模组牙叉式承载臂转动的示意图。

图3：为本实用新型的第二牙叉式传送模组的一实施例的立体图。

图4：为本实用新型的牙叉式基板输送装置的一实施例的立体图，其中基板在第一传送层传送至第一牙叉式传送模组。

图5：为图4的牙叉式基板输送装置的第一牙叉式传送模组将基板从第一传送层传送至第二传送层的示意图。

图6：为图4的牙叉式基板输送装置的第一牙叉式传送模组与第二牙叉式传送模组彼此错位重叠的示意图。

图7：为图4的牙叉式基板输送装置的第二牙叉式传送模组在第二传送层传送基板且第一牙叉式传送模组的牙叉式承载臂旋转下降的示意图。

图8：为图4的牙叉式基板输送装置的第一牙叉式传送模组将另一基板从第一传送层传送至第二传送层的示意图。

图9：为牙叉式基板输送装置第一实施例的流程第一示意图。

图10：为牙叉式基板输送装置第一实施例的流程第二示意图。

图11：为牙叉式基板输送装置第二实施例的流程示意图。

图号说明

1：牙叉式基板输送装置

10：第一输送层

20：第二输送层

30：第一牙叉式传送模组

31：第一驱动组件

32：第一牙叉式组件

40：第二牙叉式传送模组

41：第二驱动组件

42：第二牙叉式组件

311：第一基座

312：第一驱动件

313：第一导引件

314：滑动件

3141：滑块件

315：第一固定座

321：第二基座

322：第二导引件

323：第二驱动件

324：第一牙叉式承载臂

325：第三基座

326：旋转驱动件

411：第四基座

412：第三驱动件

413：第三导引件

421：第五基座

422：第二牙叉式承载臂

3121：第一伺服马达

3122：第一导螺杆

3123：第一齿轮减速机

3231：第二伺服马达

3232：第二导螺杆

3233：第二齿轮减速机

3261：第三伺服马达

3262：转向器

4121：第四伺服马达

4122：第三导螺杆

F：框架

F1：下层部

F2：上层部

L1：第一方向

P：直立柱

S：基板

S1～S5：步骤

S21～S28：步骤

S100：步骤

S200～S208：步骤。

具体实施方式

请参阅图1、图2、图3及图4，其表示本实用新型的牙叉式基板输送装置的一实施例。本实施例的牙叉式基板输送装置1包括一第一输送层10、一第二输送层20、一第一牙叉式传送模组30及一第二牙叉式传送模组40。

本实施例的牙叉式基板输送装置1具有一框架F，框架F包括一下层部F1以及一上层部F2，在本实用新型一较佳实施例中，该下层部F1作为第一输送层10，该上层部F2作为第二输送层20。第一牙叉式传送模组30设置在框架F的附近，第二牙叉式传送模组40设置在框架F的上层部F2。

基板S于第一输送层10沿一第一方向L1输送，例如基板S以一机械手臂或一牙叉式承载臂在第一输送层10沿第一方向L1输送。第二输送层20与第一传送层10具有一间距。第一牙叉式传送模组30在第一输送层10承载沿第一方向L1输送的基板S，然后在对应于第一输送层10的一第一位置与对应于第二输送层20的一第二位置间移动，而将基板S从第一输送层10输送至第二输送层20，第二牙叉式传送模组40与第一牙叉式传送模组30在第二位置处错位重叠，第一牙叉式传送模组30从第二位置移动回到第一位置，基板S由第二牙叉式传送模组40承载，然后基板S于第二输送层20沿第一方向L1的相反方向传送。

如图1及图2所示，第一牙叉式传送模组30包括一第一驱动组件31以及一第一牙叉式组件32，第一驱动组件31驱动第一牙叉式组件32在第一输送层10与第二输送层20之间移动。

如图1及图2所示，第一驱动组件31包括一第一基座311、一第一驱动件312以及一第一导引件313。本实施例的第一基座311为一板状体且设置在一直立柱P上，直立柱P的一端设置在一设置面。第一驱动件312及第一导引件313设置于第一基座311，本实施例的第一导引件313为一对轨道，第一牙叉式组件32可于第一导引件313上移动，第一牙叉式组件32连接于第一驱动件312，第一驱动件312驱动第一牙叉式组件32由第一导引件313导引于第一基座311上移动。

如图1及图2所示，第一驱动件312包括一第一伺服马达3121以及一第一导螺杆3122，第一导螺杆3122经由二第一固定座315可转动地设置在第一基座311上。第一牙叉式组件32与第一导螺杆3122螺合，第一伺服马达3121经由一第一齿轮减速机3123连接于第一导螺杆3122并使第一导螺杆3122转动，使第一牙叉式组件32沿第一导螺杆3122移动。第一伺服马达3121使第一导螺杆3122顺时针或反时针转动，第一牙叉式组件32沿该第一导螺杆3122上下移动。在本实用新型一较佳实施例中，该第一驱动组件31更包括一滑动件314及二设于该滑动件314与第一导引件313之间的滑块件3141，其中该滑动件314是用以支撑该第一牙叉式组件32，该滑块件3141则是做辅助直线运动的线上准直。

如图1及图2所示，第一牙叉式组件32包括一第二基座321、一第二导引件322、一第二驱动件323以及一对第一牙叉式承载臂324，第二驱动件323及第二导引件322设置于第二基座321。本实施例的第二基座321为板状体，第二基座321螺合于第一导螺杆3122，且可移动地结合于第一导引件313。第二驱动件323驱动该对第一牙叉式承载臂324沿第二导引件322相对移动，即彼此相互靠近或相互远离。

第二驱动件323包括一第二伺服马达3231以及一对第二导螺杆3232，该对第一牙叉式承载臂324是设置于该对第二导螺杆3232，该第二伺服马达3231经由二第二固定座(图未标示)转动该对第二导螺杆3232，使该对第一牙叉式承载臂324彼此相对移动。第二伺服马达3231经由一第二齿轮减速机3233连接于该对第二导螺杆3232，例如第二伺服马达3231设置于第二基座321的中央，第二伺服马达3231的输出轴经由第二齿轮减速机3233分别连接于两侧的第二导螺杆3232，当第二伺服马达3231的输出轴旋转时，第二齿轮减速机3233(例如伞齿轮组)使两侧的第二导螺杆3232朝相反方向转动，使两个第一牙叉式承载臂324彼此相对接近或远离。

如图1及图2所示，第一牙叉式组件32更包括一对第三基座325以及一对旋转驱动件326，该对第三基座325设置于该对第二导螺杆3232，本实施例的两个第三基座325分别螺合于两个第二导螺杆3232且可滑动地结合于第二导引件322。该对第一牙叉式承载臂324分别可旋转地设置于该对第三基座325，该对旋转驱动件326驱动该对第一牙叉式承载臂324转动。旋转驱动件326包括第三伺服马达3261以及转向器3262，该第三伺服马达3261的扭力经由转向器3262传送至该对第一牙叉式承载臂324，使该对第一牙叉式承载臂324旋转，例如第三伺服马达3261的输出轴经由构成转向器3262多组齿轮连接于第一牙叉式承载臂324的转轴，第三伺服马达3261的输出轴转动时，经由齿轮组带动第一牙叉式承载臂324旋转。本实施例的转向器3262可做360度的旋转，进而带动第一牙叉式承载臂324做360度的旋转。

请参阅图3，第二牙叉式传送模组40包括一第二驱动组件41及一第二牙叉式组件42，第二驱动组件41驱动第二牙叉式组件42在该第二输送层20移动。第二驱动组件41包括一第四基座411、一第三驱动件412以及一第三导引件413，第四基座411是沿第二输送层20延伸设置，本实施例的第四基座411为一板状体，第三导引件413及第三驱动件412设置于第四基座411，本实施例的第三导引件413为一对轨道，第二牙叉式组件42可移动地结合于第三导引件413。第三驱动件412驱动该对第二牙叉式组件42由第三导引件413导引于第四基座411上沿第一方向L1移动。

请参阅图3，第三驱动件412包括一第四伺服马达4121以及一第三导螺杆4122，第二牙叉式组件42设置于第三导螺杆4122，第二牙叉式组件42与第三导螺杆4122螺合，第四伺服马达4121经由一齿轮减速机(图未标示)转动第三导螺杆4122，使第二牙叉式组件42沿第三导螺杆4122移动。

第二牙叉式组件42包括一第五基座421以及一第二牙叉式承载臂422，第二牙叉式承载臂422设置于第五基座421，第五基座421螺合于第三导螺杆4122且可移动地结合于第三导引件413，第五基座421由第三驱动件412驱动于第四基座411上移动。第四伺服马达4121转动第三导螺杆4122，使第五基座421沿第三导螺杆4122移动，同时使第二牙叉式承载臂422在第四基座411上沿第一方向L1移动。

请参阅图4至图8，其表示使用上述的牙叉式基板输送装置1的基板输送方法。如图4所示，基板S于第一输送层10沿第一方向L1传送，并由第一牙叉式传送模组30的第一牙叉式组件32的第一牙叉式承载臂324承载。接着如图5所示，第一牙叉式传送模组30将基板S从第一输送层10的传送至第二输送层20。接着如图6所示，第二牙叉式传送模组40在第二输送层20移动至与第一牙叉式传送模组30错位重叠，即第二牙叉式传送模组40的第二牙叉式承载臂422移动至与第一牙叉式传送模组30的第一牙叉式承载臂324错位重叠。接着如图7所示，第一牙叉式传送模组30从第二传送层20移动至第一输送层10，而且基板S转由第二牙叉式传送模组40承载，并且承载基板S的第二牙叉式传送模组40于第二输送层20沿与第一方向L1相反的方向传送。接着如图8所示，另一基板S于第一输送层10沿第一方向L1传送并由第一牙叉式传送模组30的第一牙叉式组件32的第一牙叉式承载臂324承载。

再请参阅图9及图10所示，为牙叉式基板输送装置第一实施例的流程第一示意图及第二示意图，其提供一种基板输送方法，是适用于如上所述的牙叉式基板输送装置1，其至少包括下列步骤：

步骤S1：一基板S于一第一输送层10沿一第一方向L1传送。

步骤S2：以一第一牙叉式传送模组30将该基板S从该第一输送层10传送至一第二输送层20。

步骤S3：一第二牙叉式传送模组40在该第二输送层20移动至与该第一牙叉式传送模组30错位重叠。

步骤S4：使该第一牙叉式传送模组30从该第二输送层20移动至该第一输送层10，而且该基板S由该第二牙叉式传送模组40承载。

步骤S5：使承载该基板S的该第二牙叉式传送模组40于该第二输送层20沿与该第一方向L1相反的方向传送。

据此，借由两个牙叉式传送模组彼此错位重叠而达到基板水平传送的作用。

进一步地，另一实施例中，上述步骤S2至步骤S3之间更包含以下步骤：

步骤S21：一基板S于一第一输送层10的一第一位置就定位，一第一牙叉式传送模组30位于该第一输送层10的第一位置下方待命。

步骤S22：该第一牙叉式传送模组30借由一第一驱动组件31由底部向上升起，并与第一输送层10交叉定位以承载该基板S。

步骤S23：该第一牙叉式传送模组30承载该基板S向上升起至顶部后，与第二输送层20水平定位。

步骤S24：第二输送层20位移进入至该基板S下方，并与该第一牙叉式传送模组30以交错方式定位，该第二输送层20承载该基板S后，以水平方向位移带开该基板S。

步骤S25：该第一牙叉式传送模组30借由一旋转驱动件326枢转，并同时由第二驱动组件41向外移开。

步骤S26：该第一牙叉式传送模组30再直接下降至该第一位置。

步骤S27：该第一牙叉式传送模组30再借由该旋转驱动件326枢转，以使该第一牙叉式传送模组30与该第一驱动组件31垂直。

步骤S28：进入待机状态，待该基板S被输送到该第一输送层10就定位，重复步骤S21至步骤S27。

在本实用新型一实施例中，上述的该步骤S25与步骤S26同步进行，借以同时将该第一牙叉式传送模组30进行枢转、水平移动及垂直移动。其中，本实用新型的装置更可连动一控制模组(图未标示)，该控制模组是为PLC控制器，以控制各该牙叉式传送模组的运作；据此，借由控制模组(图未标示)控制旋转驱动件326自转、并同时控制第二驱动件323使二侧的第三基座325同时进行水平分离，接续再控制第一驱动组件31垂直下降，借此达到旋转、水平移动的同时作动，以节省基板输送时间，能有效缩短基板输送时程的优势。

此外，复请参阅图1及图2，在本实用新型的牙叉式基板输送装置的另一实施例中，提供一种牙叉式基板输送装置1，该牙叉式基板输送装置1至少包括：一第一输送层10，一基板S于该第一输送层10沿一第一方向L1输送；一第二输送层20，其与该第一输送层10具有一间距，该基板S于该第二输送层20沿该第一方向L1的相反方向传送；一第一牙叉式传送模组30，承载该基板S且在对应于该第一输送层10的一第一位置与对应于该第二输送层20的一第二位置间移动；其中该第一牙叉式传送模组30包括一第一驱动组件31以及一第一牙叉式组件32，该第一驱动组件31驱动该第一牙叉式组件32在该第一输送层10与该第二输送层20之间移动；其中该第一驱动组件31包括一第一基座311、一第一驱动件312以及一第一导引件313，该第一驱动件312及该第一导引件313设置于该第一基座311，该第一牙叉式组件32连接于该第一驱动件312，该第一驱动件312驱动该第一牙叉式组件32由该第一导引件313导引于该第一基座311上移动；其中该第一牙叉式组件32包括一第二基座321、一第二导引件322、一第二驱动件323以及一对第一牙叉式承载臂324，该第二驱动件323及该第二导引件322设置于该第二基座321，该第二驱动件323驱动该对第一牙叉式承载臂324沿该第二导引件322相对移动；其中该第一牙叉式组件32更包括一对第三基座325以及一对旋转驱动件326，该对第三基座325可移动地设置于该对第二导螺杆3232，该对第一牙叉式承载臂324分别可旋转地设置于该对第三基座325，该对旋转驱动件326驱动该对第一牙叉式承载臂324转动。

其中该第一驱动件312包括一第一伺服马达3121以及一第一导螺杆3122，第一导螺杆3122经由二第一固定座315可转动地设置在第一基座311上，该第一固定座315可使第一导螺杆3122呈直线的输送，提高垂直输送的稳定性。第一牙叉式组件32与第一导螺杆3122螺合，使该第一伺服马达3121转动该第一导螺杆3122，使该第一牙叉式组件32可沿该第一导螺杆3122移动。第一伺服马达3121经由一第一齿轮减速机3123连接于第一导螺杆3122并使第一导螺杆3122转动，使第一牙叉式组件32沿第一导螺杆3122移动。第一伺服马达3121使第一导螺杆3122顺时针或反时针转动，第一牙叉式组件32沿该第一导螺杆3122上下移动。在本实用新型一较佳实施例中，该第一驱动组件31更包括一滑动件314及二设于该滑动件314与第一导引件313之间的滑块件3141，其中该滑动件314是用以支撑该第一牙叉式组件32，该滑块件3141则是做辅助直线运动的线上准直，且经由第一伺服马达3121转动第一导螺杆3122，滑动件314会进行上下运动，可以是正转向上，逆转向下，也可以是相反的定义；滑动件314上下运动轨迹为线性滑轨滑块所限制，上下运动速度及位置可经由马达输入指令做控制，另一实施例中，该滑动件314与该第一导螺杆3122之间进一步更设有一第一连结块(图未标示)，该第一连结块会因第一导螺杆3122旋转转换为直线运动。

其中该第二驱动件323包括一第二伺服马达3231以及一对第二导螺杆3232，该对第一牙叉式承载臂324是设置于该对第二导螺杆3232，该第二伺服马达3231转动该对第二导螺杆3232，使该对第一牙叉式承载臂324彼此相对移动。进一步地，第三基座325与该第二导螺杆3232之间进一步更设有一第二连结块(图未标示)，第二连结块会因第二导螺杆3232旋转转换为直线运动；其中，第二伺服马达3231的输出轴经由第二齿轮减速机3233分别连接于两侧的第二导螺杆3232；再者，第二驱动件323是经由第二伺服马达3231转动第二导螺杆3232，第二连结块会因第二导螺杆3232旋转转换为直线运动，其中，该第二导螺杆3232是为双滚珠螺杆，螺旋向为搭配一右旋向及左旋向，第二伺服马达3231运转后透过第二齿轮减速机3233的双出力轴旋转带动第二导螺杆3232，可进行独立水平左右位置调整，也可以同步运动开启及合闭，水平运动轨迹为线性滑轨滑块所限制，水平运动速度及位置可经由第二伺服马达3231输入指令做控制。

其中该旋转驱动件326包括一第三伺服马达3261以及一传动齿轮组，该第三伺服马达3261的扭力经由该传动齿轮组传送至该对第一牙叉式承载臂324，使该对第一牙叉式承载臂324旋转，经由第三伺服马达3261转动该对旋转驱动件326，该对旋转驱动件326盘面可做360度旋转，进而带动第一牙叉式承载臂324转向。

再请参阅图11所示，为牙叉式基板输送装置第二实施例的流程示意图，适用于如上所述的牙叉式基板输送装置，其至少包括下列步骤：

步骤S100：一基板S于一第一输送层10沿一第一方向传送。

步骤S200：以一第一牙叉式传送模组30将该基板S从该第一输送层10传送至一第二输送层20；其中该步骤S200的后更包含以下步骤：

步骤S201：一基板S于一第一输送层10的一第一位置就定位，一第一牙叉式传送模组30位于该第一输送层10的第一位置下方待命。

步骤S202：该第一牙叉式传送模组30借由一第一驱动组件31由底部向上升起，并与第一输送层10交叉定位以承载该基板S。

步骤S203：该第一牙叉式传送模组30承载该基板S向上升起至顶部后，与第二输送层20水平定位。

步骤S204：第二输送层20将基板S带离。

步骤S205：该第一牙叉式传送模组30借由一旋转驱动件326枢转，并同时由第二驱动组件41向外移开。

步骤S206：该第一牙叉式传送模组30再直接下降至该第一位置。

步骤S207：再借由该旋转驱动件326枢转，以使该第一牙叉式传送模组30与该第一驱动组件31垂直。

步骤S208：进入待机状态，待该基板S被输送到该第一输送层10就定位，重复步骤S201至步骤S207。

再另一实施例中，其中该步骤S205与步骤S206同步进行，借以同时将该第一牙叉式传送模组30进行枢转、水平移动及垂直移动；借此，使枢转、水平及垂直的作动能透过独立的驱动组件达到同步的运作，能有效再缩短基板传输的时间，而大大提升输送的效能。

本实用新型的牙叉式基板输送装置及基板传送方法借由牙叉式传送模组能够移动至彼此错位重叠的位置，使基板在高度不同的第一传送层与第二传送层间传送，可以缩短其运送时间，并且可以在短时间内运送至定位。

Claims (16)

1.一种牙叉式基板输送装置，其特征在于，至少包括：

一第一输送层(10)，一基板(S)于该第一输送层(10)沿一第一方向(L1)输送；

一第二输送层(20)，其与该第一输送层(10)具有一间距，该基板(S)于该第二输送层(20)沿该第一方向(L1)的相反方向传送；

一第一牙叉式传送模组(30)，承载该基板(S)且在对应于该第一输送层(10)的一第一位置与对应于该第二输送层(20)的一第二位置间移动；

一第二牙叉式传送模组(40)，设置于该第二输送层(20)，且可移动至与位于该第二位置的该第一牙叉式传送模组(30)错位重叠，且将该基板(S)于该第二输送层(20)沿该第一方向(L1)的相反方向传送。

2.如权利要求1所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第一牙叉式传送模组(30)包括一第一驱动组件(31)以及一第一牙叉式组件(32)，该第一驱动组件(31)驱动该第一牙叉式组件(32)在该第一输送层(10)与该第二输送层(20)之间移动。

3.如权利要求2所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第一驱动组件(31)包括一第一基座(311)、一第一驱动件(312)以及一第一导引件(313)，该第一驱动件(312)及该第一导引件(313)设置于该第一基座(311)，该第一牙叉式组件(32)连接于该第一驱动件(312)，该第一驱动件(312)驱动该第一牙叉式组件(32)由该第一导引件(313)导引于该第一基座(311)上移动。

4.如权利要求3所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第一驱动件(312)包括一第一伺服马达(3121)以及一第一导螺杆(3122)，该第一牙叉式组件(32)可移动地设置于该第一导螺杆(3122)，该第一伺服马达(3121)转动该第一导螺杆(3122)，使该第一牙叉式组件(32)沿该第一导螺杆(3122)移动。

5.如权利要求2至4任一项所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第一牙叉式组件(32)包括一第二基座(321)、一第二导引件(322)、一第二驱动件(323)以及一对第一牙叉式承载臂(324)，该第二驱动件(323)及该第二导引件(322)设置于该第二基座(321)，该第二驱动件(323)驱动该对第一牙叉式承载臂(324)沿该第二导引件(322)相对移动。

6.如权利要求5所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第二驱动件(323)包括一第二伺服马达(3231)以及一对第二导螺杆(3232)，该对第一牙叉式承载臂(324)是设置于该对第二导螺杆(3232)，该第二伺服马达(3231)转动该对第二导螺杆(3232)，使该对第一牙叉式承载臂(324)彼此相对移动。

7.如权利要求6所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第一牙叉式组件(32)更包括一对第三基座(325)以及一对旋转驱动件(326)，该对第三基座(325)可移动地设置于该对第二导螺杆(3232)，该对第一牙叉式承载臂(324)分别可旋转地设置于该对第三基座(325)，该对旋转驱动件(326)驱动该对第一牙叉式承载臂(324)转动。

8.如权利要求7所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该旋转驱动件(326)包括一第三伺服马达(3261)以及一传动齿轮组，该第三伺服马达(3261)的扭力经由该传动齿轮组传送至该对第一牙叉式承载臂(324)，使该对第一牙叉式承载臂(324)旋转。

9.如权利要求1所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第二牙叉式传送模组(40)包括一第二驱动组件(41)及一第二牙叉式组件(42)，该第二驱动组件(41)驱动该第二牙叉式组件(42)在该第二输送层(20)移动。

10.如权利要求9所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第二驱动组件(41)包括一第四基座(411)、一第三驱动件(412)以及一第三导引件(413)，该第四基座(411)是沿该第二输送层(20)延伸设置，该第三导引件(413)及该第三驱动件(412)设置于该第四基座(411)，该第三驱动件(412)驱动该对第二牙叉式组件(42)由该第三导引件(413)导引于该第四基座(411)上沿该第一方向(L1)移动。

11.如权利要求10所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第三驱动件(412)包括一第四伺服马达(4121)以及一第三导螺杆(4122)，该第二牙叉式组件(42)设置于该第三导螺杆(4122)，该第四伺服马达(4121)转动该第三导螺杆(4122)，使该第二牙叉式组件(42)沿该第三导螺杆(4122)移动。

12.如权利要求9所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第二牙叉式组件(42)包括一第五基座(421)以及一第二牙叉式承载臂(422)，该第二牙叉式承载臂(422)设置于该第五基座(421)，该第五基座(421)由该第三驱动件(412)驱动于该第四基座(411)上移动。

13.一种牙叉式基板输送装置，其特征在于，至少包括：

一第一输送层(10)，一基板(S)于该第一输送层(10)沿一第一方向(L1)输送；

一第二输送层(20)，其与该第一输送层(10)具有一间距，该基板(S)于该第二输送层(20)沿该第一方向(L1)的相反方向传送；

一第一牙叉式传送模组(30)，承载该基板(S)且在对应于该第一输送层(10)的一第一位置与对应于该第二输送层(20)的一第二位置间移动；其中该第一牙叉式传送模组(30)包括一第一驱动组件(31)以及一第一牙叉式组件(32)，该第一驱动组件(31)驱动该第一牙叉式组件(32)在该第一输送层(10)与该第二输送层(20)之间移动；其中该第一驱动组件(31)包括一第一基座(311)、一第一驱动件(312)以及一第一导引件(313)，该第一驱动件(312)及该第一导引件(313)设置于该第一基座(311)，该第一牙叉式组件(32)连接于该第一驱动件(312)，该第一驱动件(312)驱动该第一牙叉式组件(32)由该第一导引件(313)导引于该第一基座(311)上移动；其中该第一牙叉式组件(32)包括一第二基座(321)、一第二导引件(322)、一第二驱动件(323)以及一对第一牙叉式承载臂(324)，该第二驱动件(323)及该第二导引件(322)设置于该第二基座(321)，该第二驱动件(323)驱动该对第一牙叉式承载臂(324)沿该第二导引件(322)相对移动；其中该第一牙叉式组件(32)更包括一对第三基座(325)以及一对旋转驱动件(326)，该对第三基座(325)可移动地设置于该对第二导螺杆(3232)，该对第一牙叉式承载臂(324)分别可旋转地设置于该对第三基座(325)，该对旋转驱动件(326)驱动该对第一牙叉式承载臂(324)转动。

14.如权利要求13所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第一驱动件(312)包括一第一伺服马达(3121)以及一第一导螺杆(3122)，该第一牙叉式组件(32)可移动地设置于该第一导螺杆(3122)，该第一伺服马达(3121)转动该第一导螺杆(3122)，使该第一牙叉式组件(32)沿该第一导螺杆(3122)移动。

15.如权利要求13所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该第二驱动件(323)包括一第二伺服马达(3231)以及一对第二导螺杆(3232)，该对第一牙叉式承载臂(324)是设置于该对第二导螺杆(3232)，该第二伺服马达(3231)转动该对第二导螺杆(3232)，使该对第一牙叉式承载臂(324)彼此相对移动。

16.如权利要求13所述的牙叉式基板输送装置，其特征在于，该旋转驱动件(326)包括一第三伺服马达(3261)以及一传动齿轮组，该第三伺服马达(3261)的扭力经由该传动齿轮组传送至该对第一牙叉式承载臂(324)，使该对第一牙叉式承载臂(324)旋转。

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