TW202241792A - 牙叉式基板輸送裝置及基板輸送方法 - Google Patents

Abstract

一種牙叉式基板輸送裝置及基板輸送方法，牙叉式基板輸送裝置包括一第一輸送層、一第二輸送層、一第一牙叉式傳送模組及一第二牙叉式傳送模組。基板於該第一輸送層沿一第一方向輸送。第二輸送層與該第一傳送層具有一間距，該基板於該第二輸送層沿該第一方向的相反方向傳送。第一牙叉式傳送模組承載該基板且在對應於該第一輸送層的一第一位置與對應於該第二輸送層的一第二位置間移動。第二牙叉式傳送模組設置於該第二輸送層，且可移動至與位於該第二位置的該第一牙叉式傳送模組錯位重疊，且將該基板於該第二傳輸層沿第一方向的相反方向傳送。

Description

牙叉式基板輸送裝置及基板輸送方法

本發明係有關於一種基板傳送裝置及方法，特別是有關於一種在上下兩個傳送層間傳送基板的牙叉式基板輸送裝置及基板輸送方法。

一般來說，常見的基板運輸裝置，通常是由輸送線將基板傳送至由許多輸送滾輪組成的輸送結構，再由設置於輸送結構附近的機械手臂將基板移至指定位置，或是由機械手臂截取基板後，將基板提送至另一組傳輸結構，而機械手臂雖然能將基板橫向或上下移動，但有介於機械手臂需要一步一步的進行動作，並且對於移動基板時的大小也有所限制，侷限住了基板傳輸時的大小，並且在機械手臂移動時需花費過多不必要的等待時間，進而連帶影響了基板傳輸時的效率。

因此如何提供一種更能縮短運送時間，同時能解決基板在搬運過程中無法有效的在短時間內運送至定位，並且同時能無大小限制的運送基板至定位，是目前仍需克服技術以及解決之課題。

有鑑於此，本發明的目的在於提供一種牙叉式基板輸送裝置及基板輸送方法，藉由兩個牙叉式傳送模組彼此錯位重疊而達到基板水平傳送的作用。

在本發明的次一目的在於提供一種牙叉式基板輸送裝置及基板輸送方法，使其能藉由控制模組控制旋轉驅動件自轉、並同時控制第二驅動件使二側之第三基座同時進行水平分離，接續再控制第一驅動組件垂直下降，藉此達到旋轉、水平移動之同時作動，以節省基板輸送時間，能有效縮短基板輸送時程之優勢。

在本發明的另一目的在於提供一種牙叉式基板輸送裝置及基板輸送方法，使其能藉由控制模組控制旋轉驅動件自轉、並同時控制第二驅動件使二側之第三基座同時進行水平分離，以及同時控制第一驅動組件垂直下降而同步控制，藉此達到旋轉、水平移動與垂直移動之同時作動，以節省近三成的輸送時間，能有效縮短基板輸送時程之優勢。

本發明的牙叉式基板輸送裝置的一實施例包括一第一輸送層、一第二輸送層、一第一牙叉式傳送模組及一第二牙叉式傳送模組。基板於該第一輸送層沿一第一方向輸送。第二輸送層與該第一傳送層具有一間距，該基板於該第二輸送層沿該第一方向的相反方向傳送。第一牙叉式傳送模組承載該基板且在對應於該第一輸送層的一第一位置與對應於該第二輸送層的一第二位置間移動。第二牙叉式傳送模組設置於該第二輸送層，且可移動至與位於該第二位置的該第一牙叉式傳送模組錯位重疊，且將該基板於該第二傳輸層沿第一方向的相反方向傳送。

如上所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第一牙叉式傳送模組包括一第一驅動組件以及一第一牙叉式組件，該第一驅動組件驅動該第一牙叉式組件在該第一輸送層與該第二輸送層之間移動。

如上所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第一驅動組件包括一第一基座、一第一驅動件以及一第一導引件，該第一驅動件及該第一導引件設置於該第一基座，該第一牙叉式組件連接於該第一驅動件，該第一驅動件驅動該第一牙叉式組件由該第一導引件導引於該第一基座上移動。

如上所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第一驅動件包括一第一伺服馬達以及一第一導螺桿，該第一牙叉式組件可移動地設置於該第一導螺桿，該第一伺服馬達轉動該第一導螺桿，使該第一牙叉式組件沿該第一導螺桿移動。

如上所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第一牙叉式組件包括一第二基座、一第二導引件、一第二驅動件以及一對第一牙叉式承載臂，該第二驅動件及該第二導引件設置於該第二基座，該第二驅動件驅動該對第一牙叉式承載臂沿該第二導引件相對移動。

如上所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第二驅動件包括一第二伺服馬達以及一對第二導螺桿，該對第一牙叉式承載臂係設置於該對第二導螺桿，該第二伺服馬達轉動該對第二導螺桿，使該對第一牙叉式承載臂彼此相對移動。

如上所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第一牙叉式組件更包括一對第三基座以及一對旋轉驅動件，該對第三基座可移動地設置於該對第二導螺桿，該對第一牙叉式承載臂分別可旋轉地設置於該對第三基座，該對旋轉驅動件驅動該對第一牙叉式承載臂轉動。

如上所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該旋轉驅動件包括一第三伺服馬達以及一傳動齒輪組，該第三伺服馬達的扭力經由該傳動齒輪組傳送至該對第一牙叉式承載臂，使該對第一牙叉式承載臂旋轉。

如上所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第二牙叉式傳送模組包括一第二驅動組件及一第二牙叉式組件，該第二驅動組件驅動該第二牙叉式組件在該第二輸送層移動。

如上所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第二驅動組件包括一第四基座、一第三驅動件以及一第三導引件，該第四基座係沿該第二輸送層延伸設置，該第三導引件及該第三驅動件設置於該第四基座，該第三驅動件驅動該對第二牙叉式組件由該第三導引件導引於該第四基座上沿該第一方向移動。

如上所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第三驅動件包括一第四伺服馬達以及一第三導螺桿，該第二牙叉式組件設置於該第三導螺桿，該第四伺服馬達轉動該第三導螺桿，使該第二牙叉式組件沿該第三導螺桿移動。

如上所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第二牙叉式組件包括一第五基座以及一第二牙叉式承載臂，該第二牙叉式承載臂設置於該第五基座，該第五基座由該第三驅動件驅動於該第四基座上移動。

本發明的基板輸送方法的一實施例包括下列步驟：一基板於一第一傳送層沿一第一方向傳送；以上述第一牙叉式傳送模組將該基板從該第一傳送層傳送至一第二傳送層；使上述第二牙叉式傳送模組在該第二傳送層移動至與該第一牙叉式傳送模組錯位重疊；使該第一牙叉式傳送模組從該第二傳送層移動至該第一傳送層，而且該基板由該第二牙叉式傳送模組承載；使承載該基板的該第二牙叉式傳送模組於該第二傳送層沿與該第一方向相反的方向傳送。

如上所述之基板輸送方法，其中步驟S2至步驟S3之間更包含以下步驟：步驟S21：一基板於一第一輸送層之一第一位置就定位，一第一牙叉式傳送模組位於該第一輸送層之第一位置下方待命；步驟S22：該第一牙叉式傳送模組藉由一第一驅動組件由底部向上升起，並與第一輸送層交叉定位以承載該基板；步驟S23：該第一牙叉式傳送模組承載該基板向上升起至頂部後，與第二輸送層水平定位；步驟S24：第二輸送層位移進入至該基板下方，並與該第一牙叉式傳送模組以交錯方式定位，該第二輸送層承載該基板後，以水平方向位移帶開該基板；步驟S25： 該第一牙叉式傳送模組藉由一旋轉驅動件樞轉，並同時由第二驅動組件向外移開；步驟S26： 該第一牙叉式傳送模組再直接下降至該第一位置；步驟S27：該第一牙叉式傳送模組再藉由該旋轉驅動件樞轉，以使該第一牙叉式傳送模組與該第一驅動組件垂直；步驟S28：進入待機狀態，待該基板被輸送到該第一輸送層就定位，重複步驟S21至步驟S27。

如上所述之基板輸送方法，其中該步驟S25與步驟S26同步進行，藉以同時將該第一牙叉式傳送模組進行樞轉、水平移動及垂直移動。

在本發明的牙叉式基板輸送裝置的另一實施例至少包括一第一輸送層，一基板於該第一輸送層沿一第一方向輸送；一第二輸送層， 其與該第一輸送層具有一間距，該基板於該第二輸送層沿該第一方向的相反方向傳送；一第一牙叉式傳送模組，承載該基板且在對應於該第一輸送層的一第一位置與對應於該第二輸送層的一第二位置間移動；其中該第一牙叉式傳送模組包括一第一驅動組件以及一第一牙叉式組件，該第一驅動組件驅動該第一牙叉式組件在該第一輸送層與該第二輸送層之間移動；其中該第一驅動組件包括一第一基座、一第一驅動件以及一第一導引件，該第一驅動件及該第一導引件設置於該第一基座，該第一牙叉式組件連接於該第一驅動件，該第一驅動件驅動該第一牙叉式組件由該第一導引件導引於該第一基座上移動；其中該第一牙叉式組件包括一第二基座、一第二導引件、一第二驅動件以及一對第一牙叉式承載臂，該第二驅動件及該第二導引件設置於該第二基座，該第二驅動件驅動該對第一牙叉式承載臂沿該第二導引件相對移動；其中該第一牙叉式組件更包括一對第三基座以及一對旋轉驅動件，該對第三基座可移動地設置於該對第二導螺桿，該對第一牙叉式承載臂分別可旋轉地設置於該對第三基座，該對旋轉驅動件驅動該對第一牙叉式承載臂轉動。

如上所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第一驅動件包括一第一伺服馬達以及一第一導螺桿，該第一牙叉式組件可移動地設置於該第一導螺桿，該第一伺服馬達轉動該第一導螺桿，使該第一牙叉式組件沿該第一導螺桿移動。

如上所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第二驅動件包括一第二伺服馬達以及一對第二導螺桿，該對第一牙叉式承載臂係設置於該對第二導螺桿，該第二伺服馬達轉動該對第二導螺桿，使該對第一牙叉式承載臂彼此相對移動。

如上所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該旋轉驅動件包括一第三伺服馬達以及一傳動齒輪組，該第三伺服馬達的扭力經由該傳動齒輪組傳送至該對第一牙叉式承載臂，使該對第一牙叉式承載臂旋轉。

本發明的基板輸送方法的另一實施例包括下列步驟：步驟S100：一基板於一第一輸送層沿一第一方向傳送；步驟S200：以一第一牙叉式傳送模組將該基板從該第一輸送層傳送至一第二輸送層；其中該步驟S200之後更包含以下步驟：步驟S201：一基板於一第一輸送層之一第一位置就定位，一第一牙叉式傳送模組位於該第一輸送層之第一位置下方待命；步驟S202：該第一牙叉式傳送模組藉由一第一驅動組件由底部向上升起，並與第一輸送層交叉定位以承載該基板；步驟S203：該第一牙叉式傳送模組承載該基板向上升起至頂部後，與第二輸送層水平定位；步驟S204：第二輸送層將基板帶離；步驟S205：該第一牙叉式傳送模組藉由一旋轉驅動件樞轉，並同時由第二驅動組件向外移開；步驟S206：該第一牙叉式傳送模組再直接下降至該第一位置；步驟S207：再藉由該旋轉驅動件樞轉，以使該第一牙叉式傳送模組與該第一驅動組件垂直；步驟S208：進入待機狀態，待該基板被輸送到該第一輸送層就定位，重複步驟S201至步驟S207。

如上所述之基板輸送方法，其中該步驟S205與步驟S206同步進行，藉以同時將該第一牙叉式傳送模組進行樞轉、水平移動及垂直移動。

本發明的牙叉式基板輸送裝置及基板傳送方法藉由牙叉式傳送模組能夠移動至彼此錯位重疊的位置，使基板在高度不同的第一傳送層與第二傳送層間傳送，可以縮短其運送時間，並且可以在短時間內運送至定位。

請參閱第1圖、第2圖、第3圖及第4圖，其表示本發明的牙叉式基板輸送裝置的一實施例。本實施例的牙叉式基板輸送裝置1包括一第一輸送層10、一第二輸送層20、一第一牙叉式傳送模組30及一第二牙叉式傳送模組40。

本實施例的牙叉式基板輸送裝置1具有一框架F，框架F包括一下層部F1以及一上層部F2，在本發明一較佳實施例中，該下層部F1作為第一輸送層10，該上層部F2作為第二輸送層20。第一牙叉式傳送模組30設置在框架F的附近，第二牙叉式傳送模組40設置在框架F的上層部F2。

基板S於第一輸送層10沿一第一方向L1輸送，例如基板S以一機械手臂或一牙叉式承載臂在第一輸送層10沿第一方向L1輸送。第二輸送層20與第一傳送層10具有一間距。第一牙叉式傳送模組30在第一輸送層10承載沿第一方向L1輸送的基板S，然後在對應於第一輸送層10的一第一位置與對應於第二輸送層20的一第二位置間移動，而將基板S從第一輸送層10輸送至第二輸送層20，第二牙叉式傳送模組40與第一牙叉式傳送模組30在第二位置處錯位重疊，第一牙叉式傳送模組30從第二位置移動回到第一位置，基板S由第二牙叉式傳送模組40承載，然後基板S於第二輸送層20沿第一方向L1的相反方向傳送。

如第1圖及第2圖所示，第一牙叉式傳送模組30包括一第一驅動組件31以及一第一牙叉式組件32，第一驅動組件31驅動第一牙叉式組件32在第一輸送層10與第二輸送層20之間移動。

如第1圖及第2圖所示，第一驅動組件31包括一第一基座311、一第一驅動件312以及一第一導引件313。本實施例的第一基座311為一板狀體且設置在一直立柱P上，直立柱P的一端設置在一設置面。第一驅動件312及第一導引件313設置於第一基座311，本實施例的第一導引件313為一對軌道，第一牙叉式組件32可於第一導引件313上移動，第一牙叉式組件32連接於第一驅動件312，第一驅動件312驅動第一牙叉式組件32由第一導引件313導引於第一基座311上移動。

如第1圖及第2圖所示，第一驅動件312包括一第一伺服馬達3121以及一第一導螺桿3122，第一導螺桿3122經由二第一固定座315可轉動地設置在第一基座311上。第一牙叉式組件32與第一導螺桿3122螺合，第一伺服馬達3121經由一第一齒輪減速機3123連接於第一導螺桿3122並使第一導螺桿3122轉動，使第一牙叉式組件32沿第一導螺桿3122移動。第一伺服馬達3121使第一導螺桿3122順時針或反時針轉動，第一牙叉式組件32沿該第一導螺桿3122上下移動。在本發明一較佳實施例中，該第一驅動組件31更包括一滑動件314及二設於該滑動件314與第一導引件313之間之滑塊件3141，其中該滑動件314係用以支撐該第一牙叉式組件32，該滑塊件3141則係做輔助直線運動之線上準直。

如第1圖及第2圖所示，第一牙叉式組件32包括一第二基座321、一第二導引件322、一第二驅動件323以及一對第一牙叉式承載臂324，第二驅動件323及第二導引件322設置於第二基座321。本實施例的第二基座321為板狀體，第二基座321螺合於第一導螺桿3122，且可移動地結合於第一導引件313。第二驅動件323驅動該對第一牙叉式承載臂324沿第二導引件322相對移動，即彼此相互靠近或相互遠離。

第二驅動件323包括一第二伺服馬達3231以及一對第二導螺桿3232，該對第一牙叉式承載臂324係設置於該對第二導螺桿3232，該第二伺服馬達3231經由二第二固定座(圖未標示)轉動該對第二導螺桿3232，使該對第一牙叉式承載臂324彼此相對移動。第二伺服馬達3231經由一第二齒輪減速機3233連接於該對第二導螺桿3232，例如第二伺服馬達3231設置於第二基座321的中央，第二伺服馬達3231的輸出軸經由第二齒輪減速機3233分別連接於兩側的第二導螺桿3232，當第二伺服馬達3231的輸出軸旋轉時，第二齒輪減速機3233(例如傘齒輪組)使兩側的第二導螺桿3232朝相反方向轉動，使兩個第一牙叉式承載臂324彼此相對接近或遠離。

如第1圖及第2圖所示，第一牙叉式組件32更包括一對第三基座325以及一對旋轉驅動件326，該對第三基座325設置於該對第二導螺桿3232，本實施例的兩個第三基座325分別螺合於兩個第二導螺桿3232且可滑動地結合於第二導引件322。該對第一牙叉式承載臂324分別可旋轉地設置於該對第三基座325，該對旋轉驅動件326驅動該對第一牙叉式承載臂324轉動。旋轉驅動件326包括第三伺服馬達3261以及轉向器3262，該第三伺服馬達3261的扭力經由轉向器3262傳送至該對第一牙叉式承載臂324，使該對第一牙叉式承載臂324旋轉，例如第三伺服馬達3261的輸出軸經由構成轉向器3262多組齒輪連接於第一牙叉式承載臂324的轉軸，第三伺服馬達3261的輸出軸轉動時，經由齒輪組帶動第一牙叉式承載臂324旋轉。本實施例的轉向器3262可做360度的旋轉，進而帶動第一牙叉式承載臂324做360度的旋轉。

請參閱第3圖，第二牙叉式傳送模組40包括一第二驅動組件41及一第二牙叉式組件42，第二驅動組件41驅動第二牙叉式組件42在該第二輸送層20移動。第二驅動組件41包括一第四基座411、一第三驅動件412以及一第三導引件413，第四基座411係沿第二輸送層20延伸設置，本實施例的第四基座411為一板狀體，第三導引件413及第三驅動件412設置於第四基座411，本實施例的第三導引件413為一對軌道，第二牙叉式組件42可移動地結合於第三導引件413。第三驅動件412驅動該對第二牙叉式組件42由第三導引件413導引於第四基座411上沿第一方向L1移動。

請參閱第3圖，第三驅動件412包括一第四伺服馬達4121以及一第三導螺桿4122，第二牙叉式組件42設置於第三導螺桿4122，第二牙叉式組件42與第三導螺桿4122螺合，第四伺服馬達4121經由一齒輪減速機(圖未標示)轉動第三導螺桿4122，使第二牙叉式組件42沿第三導螺桿4122移動。

第二牙叉式組件42包括一第五基座421以及一第二牙叉式承載臂422，第二牙叉式承載臂422設置於第五基座421，第五基座421螺合於第三導螺桿4122且可移動地結合於第三導引件413，第五基座421由第三驅動件412驅動於第四基座411上移動。第四伺服馬達4121轉動第三導螺桿4122，使第五基座421沿第三導螺桿4122移動，同時使第二牙叉式承載臂422在第四基座411上沿第一方向L1移動。

請參閱第4圖至第8圖，其表示使用上述的牙叉式基板輸送裝置1的基板輸送方法。如第4圖所示，基板S於第一輸送層10沿第一方向L1傳送，並由第一牙叉式傳送模組30的第一牙叉式組件32的第一牙叉式承載臂324承載。接著如第5圖所示，第一牙叉式傳送模組30將基板S從第一輸送層10的傳送至第二輸送層20。接著如第6圖所示，第二牙叉式傳送模組40在第二輸送層20移動至與第一牙叉式傳送模組30錯位重疊，即第二牙叉式傳送模組40的第二牙叉式承載臂422移動至與第一牙叉式傳送模組30的第一牙叉式承載臂324錯位重疊。接著如第7圖所示，第一牙叉式傳送模組30從第二傳送層20移動至第一輸送層10，而且基板S轉由第二牙叉式傳送模組40承載，並且承載基板S的第二牙叉式傳送模組40於第二輸送層20沿與第一方向L1相反的方向傳送。接著如第8圖所示，另一基板S於第一輸送層10沿第一方向L1傳送並由第一牙叉式傳送模組30的第一牙叉式組件32的第一牙叉式承載臂324承載。

再請參閱第9圖及第10圖所示，為牙叉式基板輸送裝置第一實施例的流程第一示意圖及第二示意圖，其提供一種基板輸送方法，係適用於如上所述之牙叉式基板輸送裝置1，其至少包括下列步驟：

步驟S1：一基板S於一第一輸送層10沿一第一方向L1傳送；

步驟S2：以一第一牙叉式傳送模組30將該基板S從該第一輸送層10傳送至一第二輸送層20；

步驟S3：一第二牙叉式傳送模組40在該第二輸送層20移動至與該第一牙叉式傳送模組30錯位重疊；

步驟S4：使該第一牙叉式傳送模組30從該第二輸送層20移動至該第一輸送層10，而且該基板S由該第二牙叉式傳送模組40承載；

步驟S5：使承載該基板S的該第二牙叉式傳送模組40於該第二輸送層20沿與該第一方向L1相反的方向傳送。

據此，藉由兩個牙叉式傳送模組彼此錯位重疊而達到基板水平傳送的作用。

進一步地，另一實施例中，上述步驟S2至步驟S3之間更包含以下步驟：

步驟S21：一基板S於一第一輸送層10之一第一位置就定位，一第一牙叉式傳送模組30位於該第一輸送層10之第一位置下方待命；

步驟S22：該第一牙叉式傳送模組30藉由一第一驅動組件31由底部向上升起，並與第一輸送層10交叉定位以承載該基板S；

步驟S23：該第一牙叉式傳送模組30承載該基板S向上升起至頂部後，與第二輸送層20水平定位；

步驟S24：第二輸送層20位移進入至該基板S下方，並與該第一牙叉式傳送模組30以交錯方式定位，該第二輸送層20承載該基板S後，以水平方向位移帶開該基板S；

步驟S25： 該第一牙叉式傳送模組30藉由一旋轉驅動件326樞轉，並同時由第二驅動組件41向外移開；

步驟S26： 該第一牙叉式傳送模組30再直接下降至該第一位置；

步驟S27：該第一牙叉式傳送模組30再藉由該旋轉驅動件326樞轉，以使該第一牙叉式傳送模組30與該第一驅動組件31垂直；

步驟S28：進入待機狀態，待該基板S被輸送到該第一輸送層10就定位，重複步驟S21至步驟S27。

在本發明一實施例中，上述之該步驟S25與步驟S26同步進行，藉以同時將該第一牙叉式傳送模組30進行樞轉、水平移動及垂直移動。其中，本發明之裝置更可連動一控制模組(圖未標示)，該控制模組係為PLC控制器，以控制各該牙叉式傳送模組之運作；據此，藉由控制模組(圖未標示)控制旋轉驅動件326自轉、並同時控制第二驅動件323使二側之第三基座325同時進行水平分離，接續再控制第一驅動組件31垂直下降，藉此達到旋轉、水平移動之同時作動，以節省基板輸送時間，能有效縮短基板輸送時程之優勢。

此外，復請參閱第1圖及第2圖，在本發明的牙叉式基板輸送裝置的另一實施例中，提供一種牙叉式基板輸送裝置1，該牙叉式基板輸送裝置1至少包括：一第一輸送層10，一基板S於該第一輸送層10沿一第一方向L1輸送；一第二輸送層20， 其與該第一輸送層10具有一間距，該基板S於該第二輸送層20沿該第一方向L1的相反方向傳送；一第一牙叉式傳送模組30，承載該基板S且在對應於該第一輸送層10的一第一位置與對應於該第二輸送層20的一第二位置間移動；其中該第一牙叉式傳送模組30包括一第一驅動組件31以及一第一牙叉式組件32，該第一驅動組件31驅動該第一牙叉式組件32在該第一輸送層10與該第二輸送層20之間移動；其中該第一驅動組件31包括一第一基座311、一第一驅動件312以及一第一導引件313，該第一驅動件312及該第一導引件313設置於該第一基座311，該第一牙叉式組件32連接於該第一驅動件312，該第一驅動件312驅動該第一牙叉式組件32由該第一導引件313導引於該第一基座311上移動；其中該第一牙叉式組件32包括一第二基座321、一第二導引件322、一第二驅動件323以及一對第一牙叉式承載臂324，該第二驅動件323及該第二導引件322設置於該第二基座321，該第二驅動件323驅動該對第一牙叉式承載臂324沿該第二導引件322相對移動；其中該第一牙叉式組件32更包括一對第三基座325以及一對旋轉驅動件326，該對第三基座325可移動地設置於該對第二導螺桿3232，該對第一牙叉式承載臂324分別可旋轉地設置於該對第三基座325，該對旋轉驅動件326驅動該對第一牙叉式承載臂324轉動。

其中該第一驅動件312包括一第一伺服馬達3121以及一第一導螺桿3122，第一導螺桿3122經由二第一固定座315可轉動地設置在第一基座311上，該第一固定座315可使第一導螺桿3122呈直線的輸送，提高垂直輸送之穩定性。第一牙叉式組件32與第一導螺桿3122螺合，使該第一伺服馬達3121轉動該第一導螺桿3122，使該第一牙叉式組件32可沿該第一導螺桿3122移動。第一伺服馬達3121經由一第一齒輪減速機3123連接於第一導螺桿3122並使第一導螺桿3122轉動，使第一牙叉式組件32沿第一導螺桿3122移動。第一伺服馬達3121使第一導螺桿3122順時針或反時針轉動，第一牙叉式組件32沿該第一導螺桿3122上下移動。在本發明一較佳實施例中，該第一驅動組件31更包括一滑動件314及二設於該滑動件314與第一導引件313之間之滑塊件3141，其中該滑動件314係用以支撐該第一牙叉式組件32，該滑塊件3141則係做輔助直線運動之線上準直，且經由第一伺服馬達3121轉動第一導螺桿3122，滑動件314會進行上下運動，可以是正轉向上，逆轉向下，也可以是相反的定義；滑動件314上下運動軌跡為線性滑軌滑塊所限制，上下運動速度及位置可經由馬達輸入指令做控制，另一實施例中，該滑動件314與該第一導螺桿3122之間進一步更設有一第一連結塊(圖未標示)，該第一連結塊會因第一導螺桿3122旋轉轉換為直線運動。

其中該第二驅動件323包括一第二伺服馬達3231以及一對第二導螺桿3232，該對第一牙叉式承載臂324係設置於該對第二導螺桿3232，該第二伺服馬達3231轉動該對第二導螺桿3232，使該對第一牙叉式承載臂324彼此相對移動。進一步地，第三基座325與該第二導螺桿3232之間進一步更設有一第二連結塊(圖未標示)，第二連結塊會因第二導螺桿3232旋轉轉換為直線運動；其中，第二伺服馬達3231的輸出軸經由第二齒輪減速機3233分別連接於兩側的第二導螺桿3232；再者，第二驅動件323係經由第二伺服馬達3231轉動第二導螺桿3232，第二連結塊會因第二導螺桿3232旋轉轉換為直線運動，其中，該第二導螺桿3232係為雙滾珠螺桿，螺旋向為搭配一右旋向及左旋向，第二伺服馬達3231運轉後透過第二齒輪減速機3233的雙出力軸旋轉帶動第二導螺桿3232，可進行獨立水平左右位置調整，也可以同步運動開啟及合閉，水平運動軌跡為線性滑軌滑塊所限制，水平運動速度及位置可經由第二伺服馬達3231輸入指令做控制。

其中該旋轉驅動件326包括一第三伺服馬達3261以及一傳動齒輪組，該第三伺服馬達3261的扭力經由該傳動齒輪組傳送至該對第一牙叉式承載臂324，使該對第一牙叉式承載臂324旋轉，經由第三伺服馬達3261轉動該對旋轉驅動件326，該對旋轉驅動件326盤面可做360度旋轉，進而帶動第一牙叉式承載臂324轉向。

再請參閱第11圖所示，為牙叉式基板輸送裝置第二實施例的流程示意圖，適用於如上所述之牙叉式基板輸送裝置，其至少包括下列步驟：

步驟S100：一基板S於一第一輸送層10沿一第一方向傳送；

步驟S200：以一第一牙叉式傳送模組30將該基板S從該第一輸送層10傳送至一第二輸送層20；其中該步驟S200之後更包含以下步驟：

步驟S201：一基板S於一第一輸送層10之一第一位置就定位，一第一牙叉式傳送模組30位於該第一輸送層10之第一位置下方待命；

步驟S202：該第一牙叉式傳送模組30藉由一第一驅動組件31由底部向上升起，並與第一輸送層10交叉定位以承載該基板S；

步驟S203：該第一牙叉式傳送模組30承載該基板S向上升起至頂部後，與第二輸送層20水平定位；

步驟S204：第二輸送層20將基板S帶離；

步驟S205：該第一牙叉式傳送模組30藉由一旋轉驅動件326樞轉，並同時由第二驅動組件41向外移開；

步驟S206：該第一牙叉式傳送模組30再直接下降至該第一位置；

步驟S207：再藉由該旋轉驅動件326樞轉，以使該第一牙叉式傳送模組30與該第一驅動組件31垂直；

步驟S208：進入待機狀態，待該基板S被輸送到該第一輸送層10就定位，重複步驟S201至步驟S207。

再另一實施例中，其中該步驟S205與步驟S206同步進行，藉以同時將該第一牙叉式傳送模組30進行樞轉、水平移動及垂直移動；藉此，使樞轉、水平及垂直之作動能透過獨立的驅動組件達到同步之運作，能有效再縮短基板傳輸的時間，而大大提升輸送的效能。

本發明的牙叉式基板輸送裝置及基板傳送方法藉由牙叉式傳送模組能夠移動至彼此錯位重疊的位置，使基板在高度不同的第一傳送層與第二傳送層間傳送，可以縮短其運送時間，並且可以在短時間內運送至定位。

惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及新型說明內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。另外，本發明的任一實施例或申請專利範圍不須達成本發明所揭露之全部目的或優點或特點。此外，摘要部分和標題僅是用來輔助專利文件搜尋之用，並非用來限制本發明之權利範圍。此外，本說明書或申請專利範圍中提及的「第一」、「第二」等用語僅用以命名元件(element)的名稱或區別不同實施例或範圍，而並非用來限制元件數量上的上限或下限。

1:牙叉式基板輸送裝置 10:第一輸送層 20:第二輸送層 30:第一牙叉式傳送模組 31:第一驅動組件 32:第一牙叉式組件 40:第二牙叉式傳送模組 41:第二驅動組件 42:第二牙叉式組件 311:第一基座 312:第一驅動件 313:第一導引件 314:滑動件 3141:滑塊件 315:第一固定座 321:第二基座 322:第二導引件 323:第二驅動件 324:第一牙叉式承載臂 325:第三基座 326:旋轉驅動件 411:第四基座 412:第三驅動件 413:第三導引件 421:第五基座 422:第二牙叉式承載臂 3121:第一伺服馬達 3122:第一導螺桿 3123:第一齒輪減速機 3231:第二伺服馬達 3232:第二導螺桿 3233:第二齒輪減速機 3261:第三伺服馬達 3262:轉向器 4121:第四伺服馬達 4122:第三導螺桿 F:框架 F1:下層部 F2:上層部 L1:第一方向 P:直立柱 S:基板 S1~S5:步驟 S21~S28:步驟 S100:步驟 S200~S208:步驟

第1圖為本發明的第一牙叉式傳送模組的一實施例的立體圖。 第2圖為第1圖的第一牙叉式傳送模組牙叉式承載臂轉動的示意圖。 第3圖為本發明的第二牙叉式傳送模組的一實施例的立體圖。 第4圖為本發明的牙叉式基板輸送裝置的一實施例的立體圖，其中基板在第一傳送層傳送至第一牙叉式傳送模組。 第5圖為第4圖的牙叉式基板輸送裝置的第一牙叉式傳送模組將基板從第一傳送層傳送至第二傳送層的示意圖。 第6圖為第4圖的牙叉式基板輸送裝置的第一牙叉式傳送模組與第二牙叉式傳送模組彼此錯位重疊的示意圖。 第7圖為第4圖的牙叉式基板輸送裝置的第二牙叉式傳送模組在第二傳送層傳送基板且第一牙叉式傳送模組的牙叉式承載臂旋轉下降的示意圖。 第8圖為第4圖的牙叉式基板輸送裝置的第一牙叉式傳送模組將另一基板從第一傳送層傳送至第二傳送層的示意圖。 第9圖為牙叉式基板輸送裝置第一實施例的流程第一示意圖。 第10圖為牙叉式基板輸送裝置第一實施例的流程第二示意圖。 第11圖為牙叉式基板輸送裝置第二實施例的流程示意圖。

1:牙叉式基板輸送裝置

10:第一輸送層

20:第二輸送層

30:第一牙叉式傳送模組

40:第二牙叉式傳送模組

324:第一牙叉式承載臂

422:第二牙叉式承載臂

L1:第一方向

P:直立柱

S:基板

Claims (21)

1. 一種牙叉式基板輸送裝置，其至少包括： 一第一輸送層(10)，一基板(S)於該第一輸送層(10)沿一第一方向(L1)輸送； 一第二輸送層(20)， 其與該第一輸送層(10)具有一間距，該基板(S)於該第二輸送層(20)沿該第一方向(L1)的相反方向傳送； 一第一牙叉式傳送模組(30)，承載該基板(S)且在對應於該第一輸送層(10)的一第一位置與對應於該第二輸送層(20)的一第二位置間移動； 一第二牙叉式傳送模組(40)，設置於該第二輸送層(20)，且可移動至與位於該第二位置的該第一牙叉式傳送模組(30)錯位重疊，且將該基板(S)於該第二輸送層(20)沿該第一方向(L1)的相反方向傳送。
2. 如請求項1所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第一牙叉式傳送模組(30)包括一第一驅動組件(31)以及一第一牙叉式組件(32)，該第一驅動組件(31)驅動該第一牙叉式組件(32)在該第一輸送層(10)與該第二輸送層(20)之間移動。
3. 如請求項2所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第一驅動組件(31)包括一第一基座(311)、一第一驅動件(312)以及一第一導引件(313)，該第一驅動件(312)及該第一導引件(313)設置於該第一基座(311)，該第一牙叉式組件(32)連接於該第一驅動件(312)，該第一驅動件(312)驅動該第一牙叉式組件(32)由該第一導引件(313)導引於該第一基座(311)上移動。
4. 如請求項3所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第一驅動件(312)包括一第一伺服馬達(3121)以及一第一導螺桿(3122)，該第一牙叉式組件(32)可移動地設置於該第一導螺桿(3122)，該第一伺服馬達(3121)轉動該第一導螺桿(3122)，使該第一牙叉式組件(32)沿該第一導螺桿(3122)移動。
5. 如請求項2至4任一項所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第一牙叉式組件(32)包括一第二基座(321)、一第二導引件(322)、一第二驅動件(323)以及一對第一牙叉式承載臂(324)，該第二驅動件(323)及該第二導引件(322)設置於該第二基座(321)，該第二驅動件(323)驅動該對第一牙叉式承載臂(324)沿該第二導引件(322)相對移動。
6. 如請求項5所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第二驅動件(323)包括一第二伺服馬達(3231)以及一對第二導螺桿(3232)，該對第一牙叉式承載臂(324)係設置於該對第二導螺桿(3232)，該第二伺服馬達(3231)轉動該對第二導螺桿(3232)，使該對第一牙叉式承載臂(324)彼此相對移動。
7. 如請求項6所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第一牙叉式組件(32)更包括一對第三基座(325)以及一對旋轉驅動件(326)，該對第三基座(325)可移動地設置於該對第二導螺桿(3232)，該對第一牙叉式承載臂(324)分別可旋轉地設置於該對第三基座(325)，該對旋轉驅動件(326)驅動該對第一牙叉式承載臂(324)轉動。
8. 如請求項7所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該旋轉驅動件(326)包括一第三伺服馬達(3261)以及一傳動齒輪組，該第三伺服馬達(3261)的扭力經由該傳動齒輪組傳送至該對第一牙叉式承載臂(324)，使該對第一牙叉式承載臂(324)旋轉。
9. 如請求項1所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第二牙叉式傳送模組(40)包括一第二驅動組件(41)及一第二牙叉式組件(42)，該第二驅動組件(41)驅動該第二牙叉式組件(42)在該第二輸送層(20)移動。
10. 如請求項9所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第二驅動組件(41)包括一第四基座(411)、一第三驅動件(412)以及一第三導引件(413)，該第四基座(411)係沿該第二輸送層(20)延伸設置，該第三導引件(413)及該第三驅動件(412)設置於該第四基座(411)，該第三驅動件(412)驅動該對第二牙叉式組件(42)由該第三導引件(413)導引於該第四基座(411)上沿該第一方向(L1)移動。
11. 如請求項10所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第三驅動件(412)包括一第四伺服馬達(4121)以及一第三導螺桿(4122)，該第二牙叉式組件(42)設置於該第三導螺桿(4122)，該第四伺服馬達(4121)轉動該第三導螺桿(4122)，使該第二牙叉式組件(42)沿該第三導螺桿(4122)移動。
12. 如請求項9所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第二牙叉式組件(42)包括一第五基座(421)以及一第二牙叉式承載臂(422)，該第二牙叉式承載臂(422)設置於該第五基座(421)，該第五基座(421)由該第三驅動件(412)驅動於該第四基座(411)上移動。
13. 一種基板輸送方法，係適用於如請求項1至12任一項所述之牙叉式基板輸送裝置(1)，其至少包括下列步驟： 步驟S1：一基板(S)於一第一輸送層(10)沿一第一方向(L1)傳送； 步驟S2：以一第一牙叉式傳送模組(30)將該基板(S)從該第一輸送層(10)傳送至一第二輸送層(20)； 步驟S3：一第二牙叉式傳送模組(40)在該第二輸送層(20)移動至與該第一牙叉式傳送模組(30)錯位重疊； 步驟S4：使該第一牙叉式傳送模組(30)從該第二輸送層(20)移動至該第一輸送層(10)，而且該基板(S)由該第二牙叉式傳送模組(40)承載； 步驟S5：使承載該基板(S)的該第二牙叉式傳送模組(40)於該第二輸送層(20)沿與該第一方向(L1)相反的方向傳送。
14. 如請求項13所述之基板輸送方法，其中步驟S2至步驟S3之間更包含以下步驟： 步驟S21：一基板(S)於一第一輸送層(10)之一第一位置就定位，一第一牙叉式傳送模組(30)位於該第一輸送層(10)之第一位置下方待命； 步驟S22：該第一牙叉式傳送模組(30)藉由一第一驅動組件(31)由底部向上升起，並與第一輸送層(10)交叉定位以承載該基板(S)； 步驟S23：該第一牙叉式傳送模組(30)承載該基板(S)向上升起至頂部後，與第二輸送層(20)水平定位； 步驟S24：第二輸送層(20)位移進入至該基板(S)下方，並與該第一牙叉式傳送模組(30)以交錯方式定位，該第二輸送層(20)承載該基板(S)後，以水平方向位移帶開該基板(S)； 步驟S25： 該第一牙叉式傳送模組(30)藉由一旋轉驅動件(326)樞轉，並同時由一第二驅動組件(41)向外移開； 步驟S26： 該第一牙叉式傳送模組(30)再直接下降至該第一位置； 步驟S27：該第一牙叉式傳送模組(30)再藉由該旋轉驅動件(326)樞轉，以使該第一牙叉式傳送模組(30)與該第一驅動組件(31)垂直； 步驟S28：進入待機狀態，待該基板(S)被輸送到該第一輸送層(10)就定位，重複步驟S21至步驟S27。
15. 如請求項14所述之基板輸送方法，其中該步驟S25與步驟S26同步進行，藉以同時將該第一牙叉式傳送模組(30)進行樞轉、水平移動及垂直移動。
16. 一種牙叉式基板輸送裝置，其至少包括： 一第一輸送層(10)，一基板(S)於該第一輸送層(10)沿一第一方向(L1)輸送； 一第二輸送層(20)， 其與該第一輸送層(10)具有一間距，該基板(S)於該第二輸送層(20)沿該第一方向(L1)的相反方向傳送； 一第一牙叉式傳送模組(30)，承載該基板(S)且在對應於該第一輸送層(10)的一第一位置與對應於該第二輸送層(20)的一第二位置間移動；其中該第一牙叉式傳送模組(30)包括一第一驅動組件(31)以及一第一牙叉式組件(32)，該第一驅動組件(31)驅動該第一牙叉式組件(32)在該第一輸送層(10)與該第二輸送層(20)之間移動；其中該第一驅動組件(31)包括一第一基座(311)、一第一驅動件(312)以及一第一導引件(313)，該第一驅動件(312)及該第一導引件(313)設置於該第一基座(311)，該第一牙叉式組件(32)連接於該第一驅動件(312)，該第一驅動件(312)驅動該第一牙叉式組件(32)由該第一導引件(313)導引於該第一基座(311)上移動；其中該第一牙叉式組件(32)包括一第二基座(321)、一第二導引件(322)、一第二驅動件(323)以及一對第一牙叉式承載臂(324)，該第二驅動件(323)及該第二導引件(322)設置於該第二基座(321)，該第二驅動件(323)驅動該對第一牙叉式承載臂(324)沿該第二導引件(322)相對移動；其中該第一牙叉式組件(32)更包括一對第三基座(325)以及一對旋轉驅動件(326)，該對第三基座(325)可移動地設置於該對第二導螺桿(3232)，該對第一牙叉式承載臂(324)分別可旋轉地設置於該對第三基座(325)，該對旋轉驅動件(326)驅動該對第一牙叉式承載臂(324)轉動。
17. 如請求項16所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第一驅動件(312)包括一第一伺服馬達(3121)以及一第一導螺桿(3122)，該第一牙叉式組件(32)可移動地設置於該第一導螺桿(3122)，該第一伺服馬達(3121)轉動該第一導螺桿(3122)，使該第一牙叉式組件(32)沿該第一導螺桿(3122)移動。
18. 如請求項16所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該第二驅動件(323)包括一第二伺服馬達(3231)以及一對第二導螺桿(3232)，該對第一牙叉式承載臂(324)係設置於該對第二導螺桿(3232)，該第二伺服馬達(3231)轉動該對第二導螺桿(3232)，使該對第一牙叉式承載臂(324)彼此相對移動。
19. 如請求項16所述之牙叉式基板輸送裝置，其中該旋轉驅動件(326)包括一第三伺服馬達(3261)以及一傳動齒輪組，該第三伺服馬達(3261)的扭力經由該傳動齒輪組傳送至該對第一牙叉式承載臂(324)，使該對第一牙叉式承載臂(324)旋轉。
20. 一種基板輸送方法，係適用於如請求項16至19任一項所述之牙叉式基板輸送裝置，其至少包括下列步驟： 步驟S100：一基板(S)於一第一輸送層(10)沿一第一方向傳送； 步驟S200：以一第一牙叉式傳送模組(30)將該基板(S)從該第一輸送層(10)傳送至一第二輸送層(20)；其中該步驟S200之後更包含以下步驟： 步驟S201：該基板(S)於該第一輸送層(10)之一第一位置就定位，該第一牙叉式傳送模組(30)位於該第一輸送層(10)之第一位置下方待命； 步驟S202：該第一牙叉式傳送模組(30)藉由一第一驅動組件(31)由底部向上升起，並與該第一輸送層(10)交叉定位以承載該基板(S)； 步驟S203：該第一牙叉式傳送模組(30)承載該基板(S)向上升起至頂部後，與該第二輸送層(20)水平定位； 步驟S204：該第二輸送層(20)將該基板(S)帶離； 步驟S205：該第一牙叉式傳送模組(30)藉由一旋轉驅動件(326)樞轉，並同時由一第二驅動組件(41)向外移開； 步驟S206：該第一牙叉式傳送模組(30)再直接下降至該第一位置； 步驟S207：再藉由該旋轉驅動件(326)樞轉，以使該第一牙叉式傳送模組(30)與該第一驅動組件(31)垂直； 步驟S208：進入待機狀態，待該基板(S)被輸送到該第一輸送層(10)就定位，重複步驟S201至步驟S207。
21. 如請求項20所述之基板輸送方法，其中該步驟S205與步驟S206同步進行，藉以同時將該第一牙叉式傳送模組(30)進行樞轉、水平移動及垂直移動。

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