CN114104677A - 基板翻转装置以及基板翻转方法 - Google Patents

基板翻转装置以及基板翻转方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供提高了可靠性的基板翻转装置以及基板翻转方法。使基板(10)翻转的基板翻转装置(1)具备一对带(12)、一对夹持器(14)、使一对夹持器(14)和一对带(12)一起旋转的旋转驱动部(22)以及控制部(8)，控制部(8)在利用一对夹持器(14)将基板(10)保持于不与一对带(12)接触的位置的状态下通过旋转驱动部(22)使一对夹持器(14)以及一对带(12)旋转，从而使基板(10)翻转。

Description

基板翻转装置以及基板翻转方法
技术领域
本发明涉及基板翻转装置以及基板翻转方法。
背景技术
例如，存在使基板翻转的基板翻转装置(例如，专利文献1)。专利文献1的基板翻转装置具备用于搬运基板的一对带式输送器，在利用该带式输送器夹着基板的状态下对基板进行翻转。对被翻转后的基板的两面进行规定的处理。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特许第4664940号公报
发明内容
发明要解决的课题
但是，在专利文献1的结构中，存在与带式输送器卡合的带轮、齿轮伴随基板的翻转动作而不必要地进行旋转以致在基板翻转装置产生误动作的情况。因此，关于基板翻转装置的可靠性的提高可以说仍有改善的余地。
因此，本发明的目的在于解决所述问题，并提供能够提高可靠性的基板翻转装置以及基板翻转方法。
用于解决课题的方案
为了达成所述目的，本发明的基板翻转装置使基板翻转，其中，所述基板翻转装置具备：一对带，其具有相互对置地设置的第一带和第二带，且利用任一方的带搬运所述基板；一对夹持器，其具有第一夹持器和第二夹持器，所述第一夹持器和所述第二夹持器在与所述一对带在宽度方向上不同的位置具有端部，且所述一对夹持器使任一方的夹持器的所述端部上升，将被所述带支承的所述基板抬起，从而利用所述第一夹持器的所述端部与所述第二夹持器的所述端部夹持并保持所述基板；旋转驱动部，其使所述一对夹持器以及所述一对带一起旋转；以及控制部，所述控制部在利用所述一对夹持器将所述基板保持于不与所述一对带接触的位置的状态下利用所述旋转驱动部使所述一对夹持器以及所述一对带旋转，从而使所述基板翻转。
另外，本发明的基板翻转方法使基板翻转，其中，所述基板翻转方法包括如下步骤：利用具有相互对置地设置的第一带和第二带的一对带中的所述第一带搬运所述基板；使具有第一夹持器和第二夹持器的一对夹持器中的、所述第一夹持器的所述端部上升，从而将支承于所述第一带的所述基板从所述第一带抬起，所述第一夹持器和所述第二夹持器在与所述一对带在宽度方向上不同的位置具有端部；使被所述第一夹持器抬起的所述基板与所述第二夹持器的所述端部抵接，从而利用所述第一夹持器的所述端部与所述第二夹持器的所述端部夹持并保持所述基板；以及在利用所述一对夹持器将所述基板保持于不与所述一对带接触的位置的状态下使所述一对夹持器以及所述一对带一起旋转，从而使所述基板翻转。
发明效果
根据本发明，能够提高基板翻转装置的可靠性。
附图说明
图1是实施方式1的基板翻转装置的立体图。
图2是示出实施方式1的基板翻转装置的一侧的基板翻转部的立体图。
图3是示出实施方式1的基板翻转装置的另一侧的基板翻转部的立体图。
图4是示出实施方式1的翻转部的立体图。
图5是示出实施方式1的省略了夹持器的状态下的翻转部的立体图。
图6是示出实施方式1的带、夹持器以及框架的纵剖面的示意图。
图7是实施方式1的一对夹持器的立体图。
图8是概要性地示出实施方式1的带驱动部以及框架驱动部的立体图。
图9是对实施方式1的基板翻转方法进行说明的流程图。
图10A是按照图14的流程图执行各步骤时的各种说明图。
图10B是按照图14的流程图执行各步骤时的各种说明图。
图10C是按照图14的流程图执行各步骤时的各种说明图。
图10D是按照图14的流程图执行各步骤时的各种说明图。
图10E是按照图14的流程图执行各步骤时的各种说明图。
图10F是按照图14的流程图执行各步骤时的各种说明图。
图11是示出实施方式2的基板翻转装置的概要结构的主视图。
图12是示出实施方式2的基板翻转装置的概要结构的侧视图。
图13A是用于对实施方式2的基板翻转方法进行说明的各种概要图。
图13B是用于对实施方式2的基板翻转装置进行说明的各种概要图。
图13C是用于对实施方式2的基板翻转装置进行说明的各种概要图。
图14是示出选择性地与第一齿轮70卡合的爪部的概要图。
附图标记说明
1 基板翻转装置；2、2A、2B 搬运部；4、4A、4B 翻转部；6处理部；8 控制部；10 基板；12 带；12A 带(第一带)；12B 带(第二带)；14 夹持器；14A 夹持器(第一夹持器)；14B夹持器(第二夹持器)；16 框架；18 带驱动部；18A 带驱动部(第一带驱动部)；18B 带驱动部(第二带驱动部)；20 夹持器驱动部；20A 夹持器驱动部(第一夹持器驱动部)；20B 夹持器驱动部(第二夹持器驱动部)；22框架驱动部(旋转驱动部)；24A、24B 窄幅部(端部)；26A、26B 宽幅部；27A、27B 带轮；28A、28B 小齿轮；29 空间；30 大齿轮；32 带；34 紧固连结部；36 带；38 旋转轴；48 第一主面；50 第二主面；60 基板翻转装置；62A 第一带；62B 第二带；64A 第一带轮；64B 第二带轮；66A 第一带轮轴；66B 第二带轮轴；68 框架；70 第一齿轮；72 第二齿轮；74 第一马达；76 第二马达；78固定构件；80 第一旋转轴；82 第二旋转轴；84 爪部；H1 第一高度位置；H2 第二高度位置；H3 第三高度位置；X 搬运方向(长度方向)；Y 宽度方向；Z 高度方向；P、P1、P2 旋转方向；Q 旋转方向；R 旋转方向。
具体实施方式
根据本发明的第一方案，提供一种基板翻转装置，其使基板翻转，其中，所述基板翻转装置具备：一对带，其具有相互对置地设置的第一带和第二带，且利用任一方的带搬运所述基板；一对夹持器，其具有第一夹持器和第二夹持器，所述第一夹持器和所述第二夹持器在与所述一对带在宽度方向上不同的位置具有端部，且所述一对夹持器使任一方的夹持器的所述端部上升，将被所述带支承的所述基板抬起，从而利用所述第一夹持器的所述端部与所述第二夹持器的所述端部夹持并保持所述基板；旋转驱动部，其使所述一对夹持器以及所述一对带一起旋转；以及控制部，所述控制部在利用所述一对夹持器将所述基板保持于不与所述一对带接触的位置的状态下利用所述旋转驱动部使所述一对夹持器以及所述一对带旋转，从而使所述基板翻转。
根据这样的结构，由于在不与带接触的状态下使基板翻转，因此能够在使带的状态自由的同时使基板翻转。由此，能够防止带的不必要的旋转，能够抑制基板翻转装置的误动作而提高基板翻转装置的可靠性。
根据本发明的第二方案，提供第一方案所记载的基板翻转装置，其中，所述基板翻转装置还具备进行针对所述基板的主面的处理的处理部，所述控制部在使所述基板翻转前，在利用所述一对夹持器将所述基板保持于不与所述一对带接触的第一高度位置的状态下使用所述处理部对所述基板的第一主面进行处理。根据这样的结构，通过在利用夹持器保持基板的状态下进行针对第一主面的处理，能够在高精度地将基板定位的同时对该基板进行处理，从而能够提高基板的处理精度。
根据本发明的第三方案，提供第二方案所记载的基板翻转装置，其中，所述控制部在利用所述一对夹持器保持被翻转后的所述基板的状态下使用所述处理部对与所述第一主面相反的一侧的所述基板的第二主面进行处理。根据这样的结构，通过在利用夹持器保持基板的状态下进行针对第二主面的处理，能够在高精度地将基板定位的同时对该基板进行处理，从而能够提高基板的处理精度。
根据本发明的第四方案，提供第三方案所记载的基板翻转装置，其中，被翻转后的所述基板被所述一对夹持器保持于低于所述第一高度位置的第二高度位置，所述控制部使与被保持于所述第二高度位置的所述基板接触的所述一对夹持器的所述端部上升，从而将所述基板保持于不与所述一对带接触的第三高度位置，所述控制部在将所述基板保持于所述第三高度位置的状态下使用所述处理部进行针对所述基板的所述第二主面的所述处理。根据这样的结构，即使在基板的保持高度由于基板的翻转而变低的情况下，通过使第一夹持器和第二夹持器上升，也能够对基板的保持高度进行调整并且进行对基板的处理。
根据本发明的第五方案，提供第四方案所记载的基板翻转装置，其中，所述第一高度位置与所述第三高度位置相同。根据这样的结构，能够将处理的基板的上表面高度保持恒定。
根据本发明的第六方案，提供一种基板翻转方法，其使基板翻转，其中，所述基板翻转方法包括如下步骤：利用具有相互对置地设置的第一带和第二带的一对带中的所述第一带搬运所述基板；使具有第一夹持器和第二夹持器的一对夹持器中的、所述第一夹持器的所述端部上升，从而将支承于所述第一带的所述基板从所述第一带抬起，所述第一夹持器和所述第二夹持器在与所述一对带在宽度方向上不同的位置具有端部；使被所述第一夹持器抬起的所述基板与所述第二夹持器的所述端部抵接，从而利用所述第一夹持器的所述端部与所述第二夹持器的所述端部夹持并保持所述基板；以及在利用所述一对夹持器将所述基板保持于不与所述一对带接触的位置的状态下使所述一对夹持器以及所述一对带一起旋转，从而使所述基板翻转。
根据这样的方法，能够起到与第一方案的基板翻转装置相同的效果。
根据本发明的第七方案，提供第六方案所记载的基板翻转方法，其中，所述基板翻转方法还包括如下步骤：在使所述基板翻转的步骤前，在利用所述一对夹持器将所述基板保持于不与所述一对带接触的第一高度位置的状态下对所述基板的第一主面进行处理。根据这样的方法，能够起到与第二方案的基板翻转装置相同的效果。
根据本发明的第八方案，提供第七方案所记载的基板翻转方法，其中，所述基板翻转方法还包括如下步骤：在利用所述一对夹持器保持被翻转后的所述基板的状态下对与所述第一主面相反的一侧的所述基板的第二主面进行处理。根据这样的方法，能够起到与第三方案的基板翻转装置相同的效果。
根据本发明的第九方案，提供第八方案所记载的基板翻转方法，其中，将被翻转后的所述基板保持于低于所述第一高度位置的第二高度位置，所述基板翻转方法还包括如下步骤：使与被保持于所述第二高度位置的所述基板接触的所述一对夹持器的所述端部上升，从而将所述基板保持于不与所述一对带接触的第三高度位置，针对所述基板的所述第二主面的所述处理在将所述基板保持于所述第三高度位置的状态下进行。根据这样的方法，能够起到与第四方案的基板翻转装置相同的效果。
根据本发明的第十方案，提供第九方案所记载的基板翻转方法，其中，所述第一高度位置与所述第三高度位置相同。根据这样的方法，能够起到与第五方案的基板翻转装置相同的效果。
以下，参照附图对本发明的基板翻转装置以及使用了该基板翻转装置的基板翻转方法的例示性的实施方式进行说明。本发明不限定于以下实施方式的具体结构，基于相同的技术思想而得到的结构也包含在本发明中。
(实施方式1)
首先，参照图1～图3对基板翻转装置1的结构进行说明。图1是实施方式1的基板翻转装置1的立体图，图2是示出基板翻转装置1的一侧的基板翻转部的立体图，图3是示出基板翻转装置1的另一侧的基板翻转部的立体图。
图1所示的基板翻转装置1具备搬运部2、翻转部4、处理部6以及控制部8。
搬运部2是用于进行基板10的搬入或搬出的构件。搬运部2具有沿搬运方向X将基板10向翻转部4搬入的功能、或者沿搬运方向X将基板10从翻转部4搬出的功能。在从搬运部2向翻转部4搬入基板10的情况下，基板10被翻转部4向与搬运部2相反的一侧搬出。另一方面，在从与搬运部2相反的一侧向翻转部4搬入基板10的情况下，基板10被搬运部2向与翻转部4相反的一侧搬出。搬运方向X是沿着基板10的表面的方向，并与基板10的宽度方向Y正交。在图1中，示出基板10被搬入到翻转部4的状态。在图2以后，适当省略基板10的图示。
如图1～图3所示，搬运部2具备一对搬运部2A、2B。搬运部2A、2B分别具有带，一方的搬运部2A对基板10的宽度方向Y上的一侧进行支承，另一方的搬运部2B对基板10的宽度方向Y上的另一侧进行支承。
翻转部4是对从搬运部2搬来的基板10进行保持并使其翻转的构件。通过翻转部4的翻转动作，能够对基板10的两面进行处理。翻转部4与搬运部2同样地具备一对翻转部4A、4B，一方的翻转部4A对基板10的宽度方向Y上的一侧进行支承，另一方的翻转部4B对基板10的宽度方向Y上的另一侧进行支承。
翻转部4在利用一对翻转部4A、4B上下夹持基板10的状态下使基板10沿旋转方向R旋转，由此使基板10翻转。旋转方向R是以基板10的宽度方向Y为中心轴的旋转方向。关于翻转部4的详细结构将后述。
处理部6是对被翻转部4保持的基板10进行处理的构件。处理部6所进行的处理例如为向基板10的主面打印条形码等的激光加工、对基板10的部件安装状态等进行检查的自动光学检查(AOI)。即，基板翻转装置1可以是激光打标机、自动光学检查装置、或者也可以是向基板10安装部件的部件安装装置。
控制部8是用于对基板翻转装置1的各构成要件进行控制的构件。控制部8与基板翻转装置1的各构成要件电连接。控制部8例如构成为具有微型计算机。
上述的处理部6以及控制部8在图1中简化示出。另外，在图2以后，适当省略处理部6以及控制部8的图示。
接下来，使用图4及以后的图对翻转部4的详细结构进行说明。需要说明的是，一对翻转部4A、4B对称，因此以一对翻转部4A、4B中的翻转部4B为代表作为翻转部4进行说明。
图4是示出翻转部4(4B)的立体图，图5是示出省略了夹持器14的状态下的翻转部4的立体图。
如图4、图5所示，翻转部4具备一对带12、一对夹持器14(图4)、框架16、一对带驱动部18(图5)、夹持器驱动部20(图5)以及框架驱动部22。
带12是沿搬运方向X搬运从前述的搬运部2搬运来的基板10并将其定位在规定位置的构件。带12具有一对带12A、12B，并在高度方向Z上隔开间隔地配置。在图4、图5中，示出带12A位于下侧，带12B位于上侧的状态。以后，存在将带12A称为“第一带12A”，将带12B称为“第二带12B”的情况。
在带12搬运基板10时，配置于下侧的带12A一边支承基板10一边沿搬运方向X搬运基板10。配置于上侧的带12B不与基板10接触，对由下侧的带12A进行的基板10的搬运没有帮助。在进行了翻转而带12B配置于下侧时，带12B代替带12A支承并搬运基板10。
一对带12A、12B不具有调整高度方向Z上的间隔的功能，带12A、12B彼此的间隔恒定。
夹持器14是用于夹持并保持基板10的构件。夹持器14具有一对夹持器14A、14B，并在高度方向Z上隔开间隔地配置。在图4中，示出夹持器14A位于下侧，夹持器14B位于上侧的状态。以后，存在将夹持器14A称为“第一夹持器14A”，将夹持器14B称为“第二夹持器14B”的情况。
一对夹持器14A、14B具有调整高度方向Z上的间隔的功能，夹持器14A、14B分别能够在高度方向Z上移动。实施方式1的夹持器14A、14B分别构成为能够在三个阶段的高度位置处停止。在实施方式1中，设定有作为相互最远离的位置的“退避位置”、作为相互最接近的位置的“突出位置”、其间的“中间位置”，夹持器14A、14B分别能够独立地向各位置移动、在各位置停止。
在基板10支承于下侧的带12A的状态下，当使下侧的夹持器14A上升时，夹持器14A将基板10抬起。利用一对夹持器14A、14B夹持抬起了的基板10，从而基板10被保持在不与一对带12A、12B接触的位置。
如图5所示，作为驱动带12旋转的构件而设置有带驱动部18。带驱动部18具有一对带驱动部18A、18B。带驱动部18A驱动带12A旋转，带驱动部18B驱动带12B旋转。带驱动部18A、18B分别由多个带轮、多个齿轮、用于使带轮和齿轮旋转的带、用于使带旋转的马达等构成。带驱动部18A、18B分别只要能够驱动带12A、12B旋转，则可以使用任意的结构。实施方式1中的带驱动部18A、18B的马达(未图示)固定于基板翻转装置1中的不进行翻转动作的固定部(非翻转部)。该马达并不伴随基板10的翻转动作而翻转。
一对带12A、12B经由带驱动部18A、18B而支承于框架16。
如图5所示，作为沿高度方向Z驱动夹持器14的构件而设置有夹持器驱动部20。夹持器驱动部20具有一对夹持器驱动部20A、20B。夹持器驱动部20A对夹持器14A进行直线驱动，夹持器驱动部20B对夹持器14B进行直线驱动。夹持器驱动部20A、20B分别构成为包括能够在多个阶段(在实施方式1中为三个阶段)的位置停止的工作缸。夹持器驱动部20A、20B分别只要能够沿高度方向Z分别驱动夹持器14A、14B，则可以使用任意的结构。
一对夹持器14A、14B经由夹持器驱动部20A、20B而支承于框架16。
框架16是一体地支承一对带12A、12B以及一对夹持器14A、14B的构件。框架16具有沿搬运方向X在长度方向上延伸的形状，且在长度方向上的中央部卡合有带驱动部18，在长度方向上的两端部卡合有夹持器驱动部20。
在框架16还连接有框架驱动部22。框架驱动部22是使框架16沿旋转方向R旋转的旋转驱动部。通过利用框架驱动部22使框架16沿旋转方向R旋转，从而支承于框架16的一对带12A、12B以及一对夹持器14A、14B一体地旋转，将被一对夹持器14A、14B保持的基板10翻转。
接下来，使用图6以及图7对带12A、12B与夹持器14A、14B的位置关系进行说明。
图6是示出带12、夹持器14以及框架16的纵剖面的示意图。图7是一对夹持器14A、14B的立体图。在图6中，例示出夹持器14A、14B都位于“退避位置”的状态。
如图6、图7所示，夹持器14A、14B分别具备窄幅部24A、24B以及宽幅部26A、26B作为宽度方向Y上的长度(宽度)不同的部分。
窄幅部24A、24B是分别相对于宽幅部26A、26B而言宽度较窄的部分，且相当于夹持器14A、14B的端部。“窄幅部”也可以被称为“端部”。窄幅部24A、24B分别配置于相对于一对带12A、12B向宽度方向Y偏移的位置。通过使夹持器14A、14B在高度方向Z上移动，能够使窄幅部24A、24B与基板10的主面接触。在图6中，示出窄幅部24A、24B均不与基板10的主面接触的状态。
通过将夹持器14A、14B中与基板10的主面接触的部位设为窄幅部24A、24B，能够缩小由于与夹持器14A、14B的接触而产生的基板10的无效空间。由此，能够在基板10的较大范围进行处理。
宽幅部26A、26B是相对于窄幅部24A、24B而言宽度较宽的部分，且连接有前述的夹持器驱动部20A、20B。通过设置这样的宽幅部26A、26B，能够提高夹持器14A、14B的强度。并且，通过将宽幅部26A、26B与夹持器驱动部20A、20B连接，能够牢固地将夹持器14A、14B与夹持器驱动部20A、20B连接。
如图7所示，夹持器14A、14B分别与框架16同样地具有沿搬运方向X在长度方向上延伸的形状。窄幅部24A、24B具有在长度方向上连续的形状，相对于此，宽幅部26A、26B具有缺损了长度方向上的中央部的形状。在宽幅部26A、26B所缺损的空间29配置有前述的带驱动部18的带轮、带12A、12B等(图5)。由此，能够在有效活用空间的同时配置带驱动部18。
接下来，使用图8概要性地对带驱动部18与框架驱动部22的关系进行说明。
图8是概要性地示出带驱动部18以及框架驱动部22的立体图。
如图8所示，带驱动部18具备带轮27A、27B、小齿轮(第一齿轮)28A、28B、大齿轮(第二齿轮)30以及带32。
带轮27A、27B是分别与带12A、12B卡合的带轮。小齿轮28A、28B是分别与带轮27A、27B一体地旋转的齿轮。大齿轮30是与小齿轮28A、28B这两方卡合的齿轮。带32是使大齿轮30旋转的带，并被未图示的马达驱动旋转。
带轮27A和小齿轮28A构成带驱动部18A，带轮27B和小齿轮28B构成带驱动部18B。
根据上述结构，大齿轮30由于带32的旋转驱动而旋转，并向与大齿轮30啮合的小齿轮28A、28B分别传递旋转力，从而带轮27A、27B同步地旋转。通过带轮27A、27B旋转而使一对带12A、12B同时旋转，且带12A、12B中的某一方与基板10接触，由此，将基板10沿搬运方向X搬运。
作为与带驱动部18的大齿轮30同轴的结构而设置有框架驱动部22。如图8所示，框架驱动部22具备紧固连结部34、带36以及旋转轴38。
紧固连结部34是用于将旋转轴38紧固连结于框架16的部分。旋转轴38的旋转力经由紧固连结部34而向框架16传递。
带36是用于使旋转轴38以及紧固连结部34旋转的带，并被未图示的工作缸等驱动旋转。旋转轴38是与带36卡合的棒状的构件，且在旋转轴38的前端部连接有紧固连结部34。
旋转轴38配置于带驱动部18的带32以及大齿轮30的内侧，且与大齿轮30等同轴地配置。旋转轴38不与带驱动部18的各构成要件在旋转方向上啮合，从而旋转轴38的旋转力不会向带驱动部18传递。同样地，带驱动部18的各构成要件并不与框架驱动部22啮合，从而带驱动部18的旋转力不会向框架驱动部22传递。这样一来，能够将带驱动部18与框架驱动部22同轴配置，并且使它们分别独立地动作。
使用图9以及图10A～图10F对使用具有上述结构的基板翻转装置1使基板10翻转的基板翻转方法、以及一边使基板10翻转一边对基板10的主面进行规定的处理的方法进行说明。
图9是用于对该方法进行说明的流程图。图9的流程图所示的各步骤例如由控制部8执行。图10A～图10F是按照图9的流程图执行各步骤时的各种说明图。图10A～图10F是省略了框架16、夹持器驱动部20A、20B的图示的示意图。
如图9所示，控制部8首先向翻转部4搬入基板10(S1)。具体而言，使用图1～图3所示的搬运部2沿搬运方向X搬运基板10，将基板10向翻转部4移交。接收基板10的翻转部4在如图10A所示那样利用配置于下侧的带12A从下方支承基板10的状态下沿搬运方向X搬运基板10并将基板10定位在规定位置。在图10A所示的状态下，基板10的第一主面48朝向上侧，第二主面50朝向下侧。
需要说明的是，在步骤S1之前进行夹持器14A、14B的高度的切换。具体而言，将下侧的夹持器14A配置于退避位置，将上侧的夹持器14B配置于中间位置(参照图10A)。
控制部8使下侧的夹持器14A上升而夹持基板10(S2)。具体而言，如图10A的箭头A1所述，通过夹持器驱动部20A的驱动而使下侧的夹持器14A上升。由此，使夹持器14A的端部即窄幅部24A与基板10的第二主面50抵接。在该状态下使夹持器14A进一步上升，从而如图10B所示，使基板10的第一主面48与位于上侧的夹持器14B的窄幅部24B抵接。夹持器14A配置于突出位置，从而通过一对夹持器14A、14B夹持并保持基板10。基板10被保持于不与一对带12A、12B接触的高度位置即第一高度位置H1。
控制部8对基板10的第一主面48进行处理(S3)。具体而言，在利用一对夹持器14A、14B夹持基板10的状态下，使用图1所示的处理部6对位于下方的基板10的第一主面48进行规定的处理(参照箭头A2)。规定的处理可以是对条形码等进行打印的激光加工、自动光学检查等任意的处理。
控制部8使基板10翻转(S4)。具体而言，在针对第一主面48的处理完成后，使用前述的框架驱动部22使框架16沿旋转方向R旋转，而使基板10翻转。基板10在被一对夹持器14A、14B保持于不与一对带12A、12B接触的位置的状态下翻转。
根据这样的基板翻转方法，与在使用一对带12A、12B夹持基板10的状态下使该基板10翻转的情况不同，与带12A、12B卡合的带轮、齿轮(带驱动部18)并不伴随基板10的翻转而旋转，从而能够防止由带轮、齿轮的不必要的旋转引起的基板10的位置偏移。由此，能够防止基板翻转装置1的误动作，从而能够提高基板翻转装置1的可靠性。
图10C示出翻转后的状态。一对带12A、12B与一对夹持器14A、14B各自的上下的位置关系反转。具体而言，带12A以及夹持器14A配置于上侧，带12B以及夹持器14B配置于下侧。对于被翻转后的基板10，第二主面50配置于上侧，第一主面48配置于下侧，并且被一对夹持器14A、14B保持于第二高度位置H2。实施方式1中的第二高度位置H2是比第一高度位置H1低的位置。
控制部8将上侧的夹持器14A从基板10松开(S5)。具体而言，如图10C的箭头A3所示，使用夹持器驱动部20A使上侧的夹持器14A上升。由此，如图10D所示，夹持器14A的窄幅部24A与基板10的第二主面50的接触被解除，上侧的夹持器14A配置于中间位置并从基板10松开。
控制部8使下侧的夹持器14B上升而夹持基板10(S6)。具体而言，如图10D的箭头A4所示，使用夹持器驱动部20B使下侧的夹持器14B上升。由此，通过夹持器14B使基板10上升，从而如图10E所示，使基板10的第二主面50与上侧的夹持器14A的窄幅部24A抵接。在图10E所示的状态下，夹持器14B配置于突出位置，基板10被一对夹持器14A、14B夹持在不与一对带12A、12B接触的第三高度位置H3。第三高度位置H3高于第二高度位置H2，且在实施方式1中被设定为与第一高度位置H1相同的高度位置。需要说明的是，第一高度位置H1与第三高度位置H3为相同高度的情况并不限定于完全相同的情况，也包括存在些许误差的情况。
控制部8对基板10的第二主面50进行处理(S7)。具体而言，与步骤S3同样地，在利用一对夹持器14A、14B夹持基板10的状态下，使用处理部6对位于下方的基板10的第二主面50进行规定的处理(参照箭头A5)。规定的处理可以是与步骤S3相同的处理，也可以是不同的处理。
控制部8将上侧的夹持器14A和下侧的夹持器14B从基板10松开(S8)。具体而言，如图10E的箭头A6所示，使用夹持器驱动部20B使下侧的夹持器14B下降。由此，上侧的夹持器14A的窄幅部24A与基板10的第二主面50的抵接被解除，成为仅通过下侧的夹持器14B对基板10进行支承的状态。使下侧的夹持器14B进一步下降，从而如图10F所示，成为通过带12B对基板10的第一主面48进行支承的状态，下侧的夹持器14B与基板10的第一主面48的抵接也被解除，成为仅通过带12B对基板10进行支承的状态。夹持器14B配置于退避位置，一对夹持器14A、14B从基板10松开。
控制部8将基板10从翻转部4搬出(S9)。具体而言，使用带驱动部18驱动对基板10进行支承的带12B旋转，从而沿搬运方向X搬运基板10。由此，基板10被从翻转部4搬出。
根据上述流程，能够制造一边使基板10翻转一边对第一主面48和第二主面50这两方进行了处理的处理完毕的基板10。特别是在步骤S4中，在使基板10翻转时，在使用一对夹持器14A、14B将基板10保持于不与一对带12A、12B接触的位置的状态下进行翻转。由此，与带12卡合的带驱动部18的带轮、齿轮并不伴随基板10的翻转而旋转，能够抑制基板翻转装置1的误动作，从而能够提高基板翻转装置1的可靠性。
另外，在上述结构中，将对搬运带12A、12B进行驱动的马达(未图示)固定于基板翻转装置1的不进行翻转动作的固定部(非翻转部)。由此，与将马达固定于基板翻转装置1的进行翻转动作的翻转部的情况相比，能够减少翻转部的重量，从而能够缩短基板翻转时间。另外，与将马达固定于基板翻转装置外的其他场所的情况相比，无需马达与带驱动部的离合结构，且无需伴随于此的离合动作，从而同样能够缩短基板翻转时间。
如上所述，在实施方式1的基板翻转装置1以及使用该基板翻转装置1的基板翻转方法中，控制部8利用具有相互对置地设置的带12A、12B的一对带12中的带12A搬运基板10(S1)。控制部8还使具有夹持器14A、14B的一对夹持器14中的夹持器14A的端部上升，从而将被带12A支承的基板10从带12A抬起，夹持器14A、14B在与一对带12在宽度方向Y上不同的位置具有端部(窄幅部24A、24B)(S2)。控制部8还使被夹持器14A抬起的基板10与第二夹持器14B的端部抵接，从而利用夹持器14A的端部和夹持器14B的端部夹持并保持基板10(S2)。控制部8还在利用一对夹持器14将基板10保持于不与一对带12接触的位置的状态下使一对夹持器14以及一对带12一起旋转，从而使基板10翻转(S4)。
根据这样的结构以及方法，通过在不与带12接触的状态下使基板10翻转，能够在使带12的状态自由的同时使基板10翻转。由此，带12的不必要的旋转得到防止，因此能够抑制基板翻转装置1的误动作，从而能够提高基板翻转装置1的可靠性。
另外，在实施方式1的基板翻转装置1以及使用该基板翻转装置1的基板翻转方法中，控制部8在使基板10翻转前，在利用一对夹持器14将基板10保持于不与一对带12接触的第一高度位置H1的状态下对基板10的第一主面48进行处理(S3)。
根据这样的结构以及方法，在利用夹持器14夹持基板10的状态下进行针对第一主面48的处理，由此能够在高精度地将基板10定位的同时对该基板10进行处理，从而能够提高基板10的处理精度。
另外，在实施方式1的基板翻转装置1以及使用该基板翻转装置1的基板翻转方法中，控制部8在利用一对夹持器14保持被翻转后的基板10的状态下对与第一主面48相反的一侧的基板10的第二主面50进行处理(S7)。
根据这样的结构以及方法，在利用夹持器14夹持基板10的状态下进行针对第二主面50的处理，由此能够在高精度地将基板10定位的同时对该基板10进行处理，从而能够提高基板10的处理精度。
另外，在实施方式1的基板翻转装置1以及使用该基板翻转装置1的基板翻转方法中，将被翻转后的基板10保持于低于第一高度位置H1的第二高度位置H2(S4)。控制部8还使与被保持于第二高度位置H2的基板10接触的一对夹持器14的端部上升，从而将基板10保持于不与一对带12接触的第三高度位置H3(S5、S6)。控制部8使针对基板10的第二主面50的处理(S7)在将基板10保持于第三高度位置H3的状态下进行。
根据这样的结构以及方法，即使在基板10的保持高度由于基板10的翻转而变低的情况下，通过使夹持器14A、14B上升，也能够对基板10的保持高度进行调整并且进行对基板10的处理。
另外，在实施方式1的基板翻转装置1以及使用该基板翻转装置1的基板翻转方法中，第一高度位置H1与第三高度位置H3相同。
根据这样的结构以及方法，能够将进行处理的基板10的上表面高度保持恒定。
(实施方式2)
对本发明的实施方式2的基板翻转装置以及使用该基板翻转装置的基板翻转方法进行说明。需要说明的是，在实施方式2中，主要对与实施方式1不同的点进行说明，省略与实施方式1重复的记载。
在实施方式2中，不设置夹持器而在利用一对带夹持基板的状态下使基板翻转，这点与实施方式1不同。
图11是示出实施方式2的基板翻转装置60的概要结构的主视图，图12是示出实施方式2的基板翻转装置60的概要结构的侧视图。
如图11、图12所示，实施方式2的基板翻转装置60具备第一带62A、第二带62B、第一带轮64A(图12)、第二带轮64B(图12)、第一带轮轴66A、第二带轮轴66B、框架68、第一齿轮70、第二齿轮72、第一马达74(图11)、第二马达76以及固定构件78。
第一带62A以及第二带62B是沿搬运方向X搬运未图示的基板的带。在将基板夹持在第一带62A与第二带62B之间的状态下，第一带62A和第二带62B分别旋转而沿搬运方向X搬运基板。在图12中，省略第一带62A以及第二带62B的图示。
第一带轮64A是与第一带62A卡合的带轮。第二带轮64B是与第二带62B卡合的带轮。在图11中，省略第一带轮64A以及第二带轮64B的图示。
第一带轮轴66A是与第一带轮64A结合的轴，第二带轮轴66B是与第二带轮64B结合的轴。第一带轮轴66A以及第二带轮轴66B都以能够旋转的状态穿过框架68。如图11的虚线所示，第一带轮轴66A与第二带轮轴66B以同步旋转的方式被带连结。
框架68是将第一带轮轴66A以及第二带轮轴66B支承为能够旋转的构件。如图11所示，框架68在其中心位置具有第一旋转轴80，第一旋转轴80与第一马达74连结。在图12中，省略第一旋转轴80以及第一马达74的图示。
第一马达74是用于驱动框架68以第一旋转轴80为中心沿旋转方向P旋转的马达。第一马达74可以固定于固定构件78，也可以固定于与固定构件78不同的构件。
在第一带轮轴66A连结有第一齿轮70。第一齿轮70是经由第一带轮轴66A而与第一带轮64A同步旋转的齿轮，且与第二齿轮72啮合。实施方式2的第一齿轮70是直径小于第二齿轮72的齿轮。
第二齿轮72是直径大于第一齿轮70的齿轮，且与第二马达76连结。
第二马达76是用于驱动第二齿轮72沿旋转方向Q旋转的马达。第二马达76具有与第二齿轮72连结的第二旋转轴82，并使第二齿轮72以第二旋转轴82为中心旋转。如图11所示，第二旋转轴82被设定在与第一旋转轴80不同的位置。
固定构件78是至少对第二马达76进行固定的构件，也根据需要对第一马达74等其他构件进行固定。第二马达76的第二旋转轴82以能够旋转的状态穿过固定构件78。
根据上述结构，当第二马达76驱动第二齿轮72沿旋转方向Q旋转时，与第二齿轮72啮合的第一齿轮70旋转，第一带轮64A经由第一带轮轴66A而旋转，从而与第一带轮64A卡合的第一带62A旋转。另外，第二带轮轴66B也伴随第一带轮轴66A的旋转而同步旋转，因此第二带轮64B也经由第二带轮轴66B而旋转，从而与第二带轮64B卡合的第二带62B旋转。这样一来，能够使第一带62A与第二带62B同步旋转，从而能够在将基板配置在第一带62A与第二带62B之间的状态下沿搬运方向X搬运基板。
若在将基板夹持在第一带62A与第二带62B之间的状态下驱动第一马达74，则能够使基板翻转。具体使用图13A～图13C进行说明。
图13A～图13C是对使用实施方式2的基板翻转装置60使基板翻转的基板翻转方法进行说明的各种概要图。
如图13A所示，在第一齿轮70位于与第二齿轮72啮合的第一旋转位置时，使用第一马达74使框架68以第一旋转轴80为中心向旋转方向P1旋转。伴随框架68的旋转，支承于框架68的被支承构件一体地旋转。被支承构件包括第一带轮轴66A、第二带轮轴66B、第一带62A、第二带62B、第一齿轮70，另一方面，不包括第二齿轮72、第一马达74以及第二马达76。
图13B示出旋转中途的状态。第一齿轮70等被支承构件与框架68一起以第一旋转轴80为中心旋转，相对于此，第二齿轮72的位置不发生变化。如图13B所示，第一齿轮70与第二齿轮72的啮合被解除，第一齿轮70向远离第二齿轮72的位置转动。
图13C示出翻转完成的状态。如图13C所示，与框架68一起旋转的被支承构件的上下位置反转。具体而言，第一带62A以及第一带轮轴66A位于下侧，第二带62B以及第二带轮轴66B位于上侧。被带62A、62B夹持的基板翻转。能够对被翻转后的基板的主面进行规定的处理。
如图13C所示，第一齿轮70位于与图13A所示的第一旋转位置不同的第二旋转位置，并再次与第二齿轮72啮合。第一齿轮70在与第一旋转位置时不同的位置与第二齿轮72啮合。
第一齿轮70在图13A、图13C所示的位置与第二齿轮72啮合，相对于此，第一齿轮70在图13B所示的第一旋转位置与第二旋转位置之间移动的期间不与第二齿轮72啮合。根据这样的基板的翻转方法，第一齿轮70、第二齿轮72等齿轮、各种带轮并不伴随基板的翻转而旋转，从而能够防止齿轮以及带轮的不必要的旋转。由此，能够与实施方式1的基板翻转装置1同样地抑制基板翻转装置60的误动作，从而能够提高基板翻转装置60的可靠性。
在使基板从图13C所示的第二旋转位置向图13A所示的第一旋转位置朝相反方向翻转的情况下，使用第一马达74使框架68向与前述的旋转方向P1相反的方向即旋转方向P2旋转即可。第一齿轮70在从第二旋转位置朝向第一旋转位置移动的期间也以被解除了与第二齿轮72的啮合的状态转动。
如上所述，实施方式2的基板翻转装置60以及基板翻转方法具备：第一带轮64A，其与用于搬运基板的第一带62A卡合；第一齿轮70，其与第一带轮64A一体地旋转；框架68，其将第一带轮64A以及第一齿轮70支承为能够旋转，并构成为能够以与第一带轮64A以及第一齿轮70不同的位置为中心旋转；第二齿轮72，其与第一齿轮70啮合；第一马达74，其驱动框架68旋转；以及第二马达76，其驱动第二齿轮72旋转。第一马达74以及第二马达76固定于与框架68不同的固定构件78等。第一齿轮70能够伴随由第一马达74进行的框架68的旋转而在与第二齿轮72在不同位置啮合的第一旋转位置与第二旋转位置之间旋转，且在第一旋转位置与第二旋转位置之间转动的期间内向远离第二齿轮72的位置移动。
根据这样的结构以及方法，在通过第一马达74的驱动使基板翻转时，第一齿轮70与第二齿轮72的啮合状态被解除，因此能够防止带轮、齿轮伴随基板的翻转而不必要地进行旋转的情况。由此，能够防止基板翻转装置60的误动作，从而能够提高基板翻转装置60的可靠性。
另外，与实施方式1同样地，将对带62A、62B进行驱动的第二马达76固定于基板翻转装置60的作为不进行翻转动作的固定部的固定构件78。由此，与将第二马达76固定于基板翻转装置60的进行翻转动作的翻转部的情况相比，能够减少翻转部的重量，从而能够缩短基板翻转时间。另外，与将第二马达76固定于基板翻转装置外的其他场所的情况相比，无需第二马达76与带驱动部的离合结构，且无需伴随于此的离合动作，从而同样能够缩短基板翻转时间。
需要说明的是，也可以如图14所示，设置选择性地与第一齿轮70卡合的爪部84。爪部84是在翻转动作中对基板进行保持的带62A、62B、带轮64A、64B以及第一齿轮70成为自由状态时选择性地与第一齿轮70啮合的构件。通过使爪部84与被解除了与第二齿轮72的啮合的第一齿轮70卡合，能够抑制第一齿轮70伴随基板的翻转的位置偏移。由此，能够抑制带62A、62B的位置偏移，从而抑制基板的位置偏移。
以上，列举上述的实施方式1、2对本发明进行了说明，但本发明并不限定于上述的实施方式1、2。例如，在实施方式1中，如使用图10F所说明的那样，对在使基板10翻转了的状态下将该基板10从翻转部4搬出的情况进行了说明，但并不限定于那样的情况。也可以是，从图10F所示的状态使基板10进一步翻转，在返回到图10A所示的状态的基础上将基板10搬出。
另外，在实施方式2中，对第一齿轮70的直径小于第二齿轮72的直径的情况进行了说明，但齿轮的大小关系并不限定于此。只要是第一齿轮70在旋转了180度时能够与第二齿轮72在切线的正交方向上大致抵接的结构，则可以使用任意直径的齿轮70、72。
本发明参照附图并且关联优选的实施方式而充分进行了记载，但对于本领域技术人员而言进行各种变形、修改是显而易见的。这种变形、修改只要不脱离基于所附的技术方案而得到的本发明的范围，就应当理解为包含在其中。另外，各实施方式中的要件的组合、顺序的变化可以不脱离本发明的范围及思想而实现。
需要说明的是，通过将上述实施方式的各种变形例中的任意变形例适当组合，能够起到各个变形例所具有的效果。
工业实用性
只要是基板翻转装置以及使用该基板翻转装置的基板翻转方法，则能够应用本发明。

Claims (10)

1.一种基板翻转装置，其使基板翻转，其中，
所述基板翻转装置具备：
一对带，其具有相互对置地设置的第一带和第二带，且利用任一方的带搬运所述基板；
一对夹持器，其具有第一夹持器和第二夹持器，所述第一夹持器和所述第二夹持器在与所述一对带在宽度方向上不同的位置具有端部，且所述一对夹持器使任一方的夹持器的所述端部上升，将被所述带支承的所述基板抬起，从而利用所述第一夹持器的所述端部与所述第二夹持器的所述端部夹持并保持所述基板；
旋转驱动部，其使所述一对夹持器以及所述一对带一起旋转；以及
控制部，
所述控制部在利用所述一对夹持器将所述基板保持于不与所述一对带接触的位置的状态下利用所述旋转驱动部使所述一对夹持器以及所述一对带旋转，从而使所述基板翻转。
2.根据权利要求1所述的基板翻转装置，其中，
所述基板翻转装置还具备进行针对所述基板的主面的处理的处理部，
所述控制部在使所述基板翻转前，在利用所述一对夹持器将所述基板保持于不与所述一对带接触的第一高度位置的状态下使用所述处理部对所述基板的第一主面进行处理。
3.根据权利要求2所述的基板翻转装置，其中，
所述控制部在利用所述一对夹持器保持被翻转后的所述基板的状态下使用所述处理部对与所述第一主面相反的一侧的所述基板的第二主面进行处理。
4.根据权利要求3所述的基板翻转装置，其中，
被翻转后的所述基板被所述一对夹持器保持于低于所述第一高度位置的第二高度位置，
所述控制部使与被保持于所述第二高度位置的所述基板接触的所述一对夹持器的所述端部上升，从而将所述基板保持于不与所述一对带接触的第三高度位置，
所述控制部在将所述基板保持于所述第三高度位置的状态下使用所述处理部进行针对所述基板的所述第二主面的所述处理。
5.根据权利要求4所述的基板翻转装置，其中，
所述第一高度位置与所述第三高度位置相同。
6.一种基板翻转方法，其使基板翻转，其中，
所述基板翻转方法包括如下步骤：
利用具有相互对置地设置的第一带和第二带的一对带中的所述第一带搬运所述基板；
使具有第一夹持器和第二夹持器的一对夹持器中的、所述第一夹持器的所述端部上升，从而将支承于所述第一带的所述基板从所述第一带抬起，所述第一夹持器和所述第二夹持器在与所述一对带在宽度方向上不同的位置具有端部；
使被所述第一夹持器抬起的所述基板与所述第二夹持器的所述端部抵接，从而利用所述第一夹持器的所述端部与所述第二夹持器的所述端部夹持并保持所述基板；以及
在利用所述一对夹持器将所述基板保持于不与所述一对带接触的位置的状态下使所述一对夹持器以及所述一对带一起旋转，从而使所述基板翻转。
7.根据权利要求6所述的基板翻转方法，其中，
所述基板翻转方法还包括如下步骤：在使所述基板翻转的步骤前，在利用所述一对夹持器将所述基板保持于不与所述一对带接触的第一高度位置的状态下对所述基板的第一主面进行处理。
8.根据权利要求7所述的基板翻转方法，其中，
所述基板翻转方法还包括如下步骤：在利用所述一对夹持器保持被翻转后的所述基板的状态下对与所述第一主面相反的一侧的所述基板的第二主面进行处理。
9.根据权利要求8所述的基板翻转方法，其中，
将被翻转后的所述基板保持于低于所述第一高度位置的第二高度位冒，
所述基板翻转方法还包括如下步骤：使与被保持于所述第二高度位置的所述基板接触的所述一对夹持器的所述端部上升，从而将所述基板保持于不与所述一对带接触的第三高度位置，
针对所述基板的所述第二主面的所述处理在将所述基板保持于所述第三高度位置的状态下进行。
10.根据权利要求9所述的基板翻转方法，其中，
所述第一高度位置与所述第三高度位置相同。
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