JPH11186199A

JPH11186199A - インゴットマウント装置

Info

Publication number: JPH11186199A
Application number: JP34803097A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Suzuki; 義行鈴木; Masao Ehashi; 昌夫江橋
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 1997-12-17
Filing date: 1997-12-17
Publication date: 1999-07-09

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】自動でインゴットの結晶方位合わせを行ってイ
ンゴットにマウンティングプレートを取り付けることが
できるインゴットマウント装置の提供。【解決手段】搬出入部１２に搬入されたインゴットＩｎ
は、マニピュレータ１４、第１インゴット搬送装置によ
ってＸ線方位測定装置１８に搬送され結晶方位が測定さ
れると、制御装置２６はその結果から結晶軸の最大傾き
角度λと傾き方向θを算出し、インゴットはスライスベ
ース接着装置２０に搬送され、インゴット軸回りにθ度
回転され、インゴット下面にスライスベースＳが接着さ
れ、次にマニピレータ１４、第２インゴット搬送装置２
２でインゴットをマウンティングプレート接着装置２４
に搬送し、スライスベース下面に水平にλ度回転させた
マウンティングプレートＭを接着し、最後にマニピュレ
ータ１４でインゴットを搬出入部に搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインゴットマウント
装置に係り、特にあらかじめ結晶方位を合わせてインゴ
ットにマウンティングプレートを接着するインゴットマ
ウント装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】シリコン等の単結晶材料のインゴットを
ワイヤソーでスライスする場合、そのスライスされたウ
ェーハが所定の結晶方位となるように、インゴットをワ
イヤ列に対して所定角度傾けて結晶方位合わせを行って
からスライスするようにしている。そして、従来のワイ
ヤソーでは、インゴット保持部に備えられたチルチング
装置によってインゴットを水平、垂直方向に所定角度傾
斜させることによって結晶方位を合わせている。

【０００３】しかしながら、この方法で結晶方位合わせ
を行って切断すると、新たなインゴットを切断するたび
にインゴットの結晶方位合わせをしなければならないた
め、インゴットを効率的に切断していくことができない
という問題があった。このような問題点を解消するため
に、あらかじめワイヤソーの装置外で結晶方位を合わせ
たインゴットをワイヤソーのインゴット保持部に装着し
て切断を開始するという方法が提案された。

【０００４】この方法は、図３３に示すように、まず、
結晶軸Ｏ_Crのインゴット軸に対するｘ軸方向（オリフラ
と平行な方向）の傾き角度αと、ｙ軸方向（オリフラと
直交する方向）の傾き角度βをＸ線方位測定装置で測定
する。そして、その測定したα、βからインゴット軸Ｏ
_Inに対する結晶軸Ｏ_Crの最大傾き角度λと傾き方向θを
算出する。

【０００５】次に、算出した傾き方向θ分だけ、インゴ
ットＩｎをインゴット軸Ｏ_Inを中心として回転させる。
これにより、結晶軸Ｏ_Crは水平面上（Ｘ−Ｚ平面上）に
位置する。そして、この状態でインゴットＩｎにスライ
スベースを接着する。次に、算出した最大傾き角度λ分
だけ、インゴットＩｎを水平回転させる。これにより、
結晶軸Ｏ_CrがＺ軸とが一致するので、この状態でスライ
スベースにマウンティングプレートを接着する。

【０００６】以上により、結晶方位合わせは終了し、こ
の状態でインゴットをワイヤソーのインゴット保持部に
装着する。図３４（ａ）、（ｂ）は、上記のようにして
結晶方位合わせを行ったインゴットＩｎをワイヤソーの
インゴット保持部に装着した状態を示している。同図に
示すように、インゴットＩｎは、そのインゴット軸Ｏ _In
がワイヤ列面に対して平行に保持されるとともに、ワイ
ヤ列１の走行方向に対して直交するように保持される。

【０００７】このように、あらかじめインゴットの結晶
方位合わせをしておくことにより、装着時の結晶方位合
わせ作業が省け、効率的にインゴットを切断してゆくこ
とができる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように予めインゴットの結晶方位を合わせてから切断す
る方法を採用する場合であっても、従来は結晶方位の測
定、結晶方位の調整、スライスベースの接着等の各作業
を各々別々の装置で行っていたため、手間と時間がかか
るという問題があった。

【０００９】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、自動でインゴットの結晶方位合わせを行って
インゴットにマウンティングプレートを取り付けること
ができるインゴットマウント装置を提供することを目的
とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、インゴットにスライスベースを介してマ
ウンティングプレートを接着するインゴットマウント装
置において、装置本体には、インゴットの搬出入を行う
搬出入部と、インゴットの結晶方位を測定する結晶方位
測定手段と、前記インゴットを前記結晶方位測定手段の
測定位置に搬送するとともに、測定後、そのインゴット
をスライスベース接着位置に搬送する第１搬送手段と、
前記結晶方位測定手段の測定結果から、前記インゴット
のインゴット軸に対する結晶軸の最大傾き角度λと、傾
き方向θを演算する演算手段と、前記第１搬送手段に設
けられ、前記演算手段の演算結果に基づいて、前記イン
ゴットをインゴット軸回りにθ度回転させる結晶方位調
整手段と、前記第１搬送手段でスライスベース接着位置
に搬送されたインゴットの下面に前記スライスベースを
接着するスライスベース接着手段と、前記スライスベー
スが接着されたインゴットをマウンティングプレート接
着位置に搬送する第２搬送手段と、前記演算手段の演算
結果に基づいて、前記マウンティングプレートを水平面
上をλ度回転させるとともに、そのマウンティングプレ
ートを前記マウンティングプレート接着位置に搬送され
たインゴットのスライスベースの下面に接着するマウン
ティングプレート接着手段と、前記装置本体の天井部を
走行して、前記搬出入部に搬入されたインゴットを前記
第１搬送装置上に搬送するとともに、前記スライスベー
ス接着手段によってスライスベースが接着されたインゴ
ットを第２搬送手段上に搬送し、前記マウンティングプ
レート接着手段によってマウンティングプレートが接着
されたインゴットを前記インゴット搬出入部に搬送する
第３搬送手段と、からなることを特徴とする。

【００１１】本発明によれば、まず、搬出入部に搬入さ
れたインゴットは、第３搬送手段によって第１搬送手段
上に搬送される。そして、その第１搬送手段によって、
結晶方位測定手段の測定位置に搬送されて、結晶方位を
測定される。測定後、インゴットは、第１搬送手段によ
ってスライスベース接着位置に搬送される。一方、演算
手段では、その測定結果から、インゴットのインゴット
軸に対する結晶軸の最大傾き角度λと、傾き方向θを演
算する。第１搬送手段に設けられた結晶方位調整手段
は、前記演算手段による演算結果に基づいてインゴット
をインゴット軸回りにθ度回転させる。そして、そのイ
ンゴット軸回りにθ度回転したインゴットは、スライス
ベース接着手段によって、その下面にスライスベースが
接着される。スライスベースが接着されたインゴット
は、第３搬送手段によって第２搬送手段上に搬送され、
該第２搬送手段によってマウンティングプレート接着位
置に搬送される。一方、マウンティングプレート接着手
段では、前記演算手段による演算結果に基づいてマウン
ティングプレートを水平面上をλ度回転させ、そのλ度
回転させたマウンティングプレートを前記マウンティン
グプレート接着位置に搬送されたインゴットのスライス
ベースの下面に接着する。マウンティングプレートが接
着されたインゴットは、第３搬送手段によって搬出入部
に搬送され、これにより取付作業を終了する。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るインゴットマウント装置の好ましい実施の形態につい
て詳説する。図１、図２は、それぞれ本発明に係るイン
ゴットマウント装置の第１の実施の形態の正面図と平面
図である。

【００１３】同図に示すように、第１の実施の形態のイ
ンゴットマウント装置は、装置本体１０に搬出入部１
２、マニピュレータ１４、第１インゴット搬送装置１
６、Ｘ線方位測定装置１８、スライスベース接着装置２
０、第２インゴット搬送装置２２、マウンティングプレ
ート接着装置２４が備えられて構成されている。そし
て、装置全体の駆動を制御装置２６によって制御されて
いる。以下、各構成装置ごとに分けて説明する。

【００１４】まず、搬出入部１２について説明する。搬
出入部１２は、外部からのインゴットＩｎの受入れと受
渡しを行う。図１、図２に示すように、装置本体１０の
本体フレーム１０Ａ内に設置された架台２８上にはトレ
ー３０が設置されており、インゴットＩｎは、このトレ
ー３０を介して受入れ及び受渡しが行われる。すなわ
ち、マウンティングプレートＭを接着するインゴットＩ
ｎは、まず、この搬出入部１２のトレー３０上に載置さ
れる。また、マウンティングプレートＭが接着されたイ
ンゴットＩｎは、このトレー３０上に載置されたのち、
図示しない搬送装置によって外部（ワイヤソーや倉庫
等）に搬出されてゆく。

【００１５】次に、マニピュレータ１４について説明す
る。マニピュレータ１４は、装置本体１０の天井部を走
行してインゴットＩｎを各装置に搬送する。具体的に
は、以下のように構成されている。図３に示すように、
マニピュレータ１４は、前記装置本体１０の天井フレー
ム１０Ａに設けられた水平移動体３２と、該水平移動体
３２に設けられた垂直移動体３４と、該垂直移動体３４
の下端部に設けられたハンド部３６とから構成されてい
る。

【００１６】前記水平移動体３２は、図示しない駆動手
段に駆動されることにより、前記装置本体１０の天井フ
レーム１０Ａに沿って水平方向に移動する。また、前記
垂直移動体３４は、図示しない駆動手段に駆動されるこ
とにより、垂直方向にスライド移動する前記ハンド部３
６は、開閉自在な一対の爪３８Ａ、３８Ｂを有してお
り、この爪３８Ａ、３８ＢでインゴットＩｎを把持し
て、該インゴットＩｎを搬送する。このハンド部３６の
具体的な構成は、以下の通りである。

【００１７】図３に示すように、前記垂直移動体３４の
下端部には、矩形状に形成されたベースプレート４０が
水平に固着されている。このベースプレート４０の下面
には、一対のガイドレール４２、４２が敷設されており
（図５参照）、該ガイドレール４２、４２には、一対の
スライドプレート４６Ａ、４６Ｂがスライド自在に支持
されている。前記一対の爪３８Ａ、３８Ｂは、この一対
のスライドプレート４６Ａ、４６Ｂの下面に垂直に固着
されている。

【００１８】図４及び図５に示すように、前記スライド
プレート４６Ａ、４６Ｂの上面部には、それぞれナット
部材４８Ａ、４８Ｂが固着されている。このナット部材
４８Ａ、４８Ｂは、互いに巻き方向が異なる一対のネジ
棒５０Ａ、５０Ｂに螺合されている。このネジ棒５０
Ａ、５０Ｂは、前記ガイドレール４２、４２に沿って配
設されており、前記ベースプレート４０の中央部で継手
５２を介して互いに連結されている。そして、その両端
部を前記ベースプレート４０の両端部に設けられた軸受
部材５４、５４に回動自在に支持されている。

【００１９】前記一対のネジ棒５０Ａ、５０Ａのうち一
方のネジ棒５０Ａには、ギア５６が固着されており、該
ギア５６は駆動ギア５８に噛合されている。駆動ギア５
８は、前記ベースプレート４０上に設置されたモータ６
０の出力軸に固着されており、このモータ６０を駆動す
ることにより、前記ネジ棒５０Ａ、５０Ｂが回転する。
そして、このネジ棒５０Ａ、５０Ｂが回転することによ
り、前記一対の爪３８Ａ、３８Ｂが移動する。

【００２０】ここで、前記ネジ棒５０Ａ、５０Ｂは互い
に巻き方向が異なるため、回転すると爪３８Ａ、３８Ｂ
は互いに逆方向に移動する。すなわち、前記ネジ棒５０
Ａ、５０Ｂが回転すると、爪３８Ａ、３８Ｂは互いに近
づく方向又は離れる方向に移動する。そして、これによ
り爪３８Ａ、３８Ｂが開閉する。インゴットＩｎは、こ
の一対の爪３８Ａ、３８Ｂの先端部に形成された鉤状の
部分に載置された状態で搬送される。

【００２１】また、ベースプレート４０の中央部には、
搬送時のインゴットＩｎの落下を防止するためにカバー
プレート６２が設けられている。このカバープレート６
２は、図５に示すように、把持したインゴットＩｎを覆
うように形成されており、その上面部に一対のロッド６
４、６４が立設されている。このロッド６４、６４は、
前記ベースプレート４０に設けられた軸受部材６６、６
６に摺動自在に支持されており、該軸受部材６６、６６
に内蔵されたスプリング６８、６８によって下方に付勢
されている。

【００２２】前記一対の爪３８Ａ、３８Ｂに把持された
インゴットＩｎは、その上面部をこのカバープレート６
２に押圧されることにより、安定した状態で搬送され
る。マニピュレータ１４の構成は、以上の通りである。
このマニピュレータ１４でインゴットＩｎを搬送する場
合は、次のように行う。まず、水平移動体３２が装置本
体１０の天井フレーム１０Ａを走行してインゴットＩｎ
の真上で停止する。

【００２３】次に、垂直移動体３４が所定量下降する。
これにより、爪３８Ａ、３８ＢがインゴットＩｎの両側
部に位置するとともに、カバープレート６２がインゴッ
トＩｎの上面部を押圧する。次に、一対の爪３８Ａ、３
８Ｂが互いに近づく方向に移動して、その先端の鉤状の
部分がインゴットＩｎの両端下部にもぐり込む。これに
より、インゴットＩｎがハンド部３６に把持される。

【００２４】インゴットＩｎがハンド部３６に把持され
ると、次に、垂直移動体３４が所定量上昇して停止す
る。そして、その停止後、水平移動体３２が移動して、
搬送先の装置の真上で停止する。水平移動体３２の停止
後、垂直移動体３４が所定量下降して、インゴットＩｎ
を搬送先の装置の上に載置する。そして、ハンド部３６
の爪３８Ａ、３８Ｂが互いに離れる方向に移動して、イ
ンゴットＩｎを開放する。

【００２５】これにより、インゴットＩｎの搬送が終了
する。なお、インゴットＩｎを開放したハンド部３６
は、垂直移動体３４が所定量上昇することにより、所定
高さの位置で待機している。次に、第１インゴット搬送
装置１６について説明する。第１インゴット搬送装置１
６は、インゴットＩｎをＸ線方位測定装置１８の測定位
置に搬送するとともに、その測定の終了したインゴット
Ｉｎをスライスベース接着位置に搬送する。そして、そ
のＸ線方位測定装置１８の測定結果に基づいて、インゴ
ットをインゴット軸Ｏ_In回りに結晶軸Ｏ_Crの傾き方向θ
分だけ回転させる。具体的な構成は、以下の通りであ
る。

【００２６】図６及び図７は、それぞれ第１インゴット
搬送装置１６の構成を示す側面図と平面図である。装置
本体１０の本体フレーム１０Ａ内に載置された架台７０
上には、ベースプレート７２が設置されている。このベ
ースプレート７２上には、一対のガイドレール７４、７
４が敷設されており、該ガイドレール７４、７４上を門
型に形成された水平移動台７６がスライド自在に支持さ
れている。

【００２７】また、ベースプレート７２上には、前記ガ
イドレール７４、７４に沿ってネジ棒７８が配設されて
おり、該ネジ棒７８は、その両端部を前記ベースプレー
ト７２上に設けられた軸受部材８０、８０に回動自在に
支持されている。このネジ棒７８の一方端には、前記ベ
ースプレート７２上に設置された送りモータ８２の出力
軸が連結されており、ネジ棒７８はこの送りモータ８２
を駆動することにより回転する。

【００２８】前記ネジ棒７８には、ナット部材８４が螺
合されており、該ナット部材８４は連結部材８４ａを介
して水平移動台７６に連結されている。したがって、前
記水平移動台７６は、前記送りモータ８２を駆動するこ
とにより、ガイドレール７４、７４上を水平に移動す
る。前記水平移動台７６は、図７に示すように、その上
面中央に開口部７６Ａが形成されている。この開口部７
６Ａの両側には、それぞれ支持ローラ８６Ａ、８６Ｂが
３本づつ直列して配置されている。各支持ローラ８６
Ａ、８６Ｂは、それぞれ一本の回転軸８６ａ、８６ｂに
固着されており、該回転軸８６ａ、８６ｂは、水平移動
台７６上に設置された軸受部材８８Ａ、８８Ｂに回動自
在に支持されている。インゴットＩｎは、この支持ロー
ラ８６Ａ、８６Ｂ上に載置されて搬送される。

【００２９】また、前記支持ローラ８６Ａ、８６Ｂのう
ち一方側の支持ローラ８６Ａの回転軸８６ａには、支持
ローラ回転用モータ９０の出力軸が連結されており、こ
の支持ローラ回転用モータ９０を駆動することにより、
支持ローラ８６Ａが回転する。そして、この支持ローラ
８６Ａが回転することにより、支持ローラ８６Ａ、８６
Ｂ上に載置されたインゴットＩｎが、そのインゴット軸
Ｏ_Inを中心に回転する。

【００３０】さらに、他方側の支持ローラ８６Ｂの回転
軸８６ｂには、エンコーダ９２が連結されており、この
エンコーダ９２によって支持ローラ８６Ｂの回転量が検
出される。そして、このエンコーダ９２で支持ローラ８
６Ｂの回転量を検出することにより、支持ローラ８６
Ａ、８６Ｂ上に載置されたインゴットＩｎの回転角度を
検出する。

【００３１】また、前記水平移動台７６には、前記支持
ローラ８６Ａ、８６Ｂ上に載置されたインゴットＩｎを
クランプするクランプユニット９４が設けられている。
このクランプユニット９４の具体的な構成は、以下の通
りである。図６及び図７に示すように、前記水平移動台
７６上には、支持台９６を介してベースプレート９８が
水平に設置されている。このベースプレート９８上に
は、一対のガイドレール１００、１００が支持ローラ８
６Ａ、８６Ｂと直交するように敷設されている。

【００３２】前記ガイドレール１００上には、スライド
ブロック１０２がスライド自在に支持されており、該ス
ライドブロック１０２は、図示しないシリンダに駆動さ
れることにより、ガイドレール１００上をスライド移動
する。前記スライドブロック１０２の正面部には、軸受
部材１０４を介して一対の回転軸１０６、１０６が回動
自在に支持されている。この回転軸１０６、１０６に
は、互いに直交するように、水平アーム１０８、１０８
と垂直アーム１１０、１１０が固着されている。

【００３３】前記水平アーム１０８の先端部には軸受部
材１１２が設けられており、該軸受部材１１２には、ク
ランプローラ１１４が前記支持ローラ８６Ａ、８６Ｂと
平行に軸支されている。一方、前記垂直アーム１１０の
先端部には、クランプシリンダ１１６のロッドがピンに
よって連結されている。このクランプシリンダ１１６
は、前記スライドブロック１０２上に立設された支持部
材１１８の先端部にピンによって支持されている。そし
て、このクランプシリンダ１１６を駆動することによ
り、前記クランプローラ１１４が上下動する。

【００３４】すなわち、前記クランプシリンダ１１６の
ロッドを伸張させることにより、垂直アーム１１０が前
方に傾斜し、これに連動して水平アーム１０８が下方に
傾斜する。そして、この結果、クランプローラ１１４が
下方に移動する。また、前記クランプシリンダ１１６の
ロッドを収縮させることにより、垂直アーム１１０が後
方に傾斜し、これに連動して水平アーム１０８が上方に
傾斜する。そして、この結果、クランプローラ１１４が
上方に移動する。前記支持ローラ８６Ａ、８６Ｂ上に載
置されたインゴットＩｎは、このクランプローラ１１４
に上面部を押圧されることによりクランプされる。

【００３５】第１インゴット搬送装置１６の構成は、以
上の通りである。この第１インゴット搬送装置１６でイ
ンゴットＩｎの搬送及びインゴット軸Ｏ_In回りの結晶方
位合わせを行う場合は、次のように行う。まず、マニピ
ュレータ１４からインゴットＩｎを受け取る。受け取り
は、マニピュレータ１４が支持ローラ８６Ａ、８６Ｂ上
にインゴットＩｎを載置することにより行う。なお、こ
の際、第１インゴット搬送装置１６は、スライスベース
接着位置に位置している。

【００３６】インゴットＩｎが支持ローラ８６Ａ、８６
Ｂ上に載置されると、次に、図示しないシリンダに駆動
されてクランプユニット９４のスライドブロック１０２
が所定量前進する。この結果、クランプローラ１１４、
１１４がインゴットＩｎの真上に位置する。次に、クラ
ンプシリンダ１１６、１１６が駆動されて、クランプロ
ーラ１１４、１１４が下降する。この結果、インゴット
Ｉｎの上端部がクランプローラ１１４、１１４に押圧さ
れて、インゴットＩｎがクランプされる。

【００３７】インゴットＩｎがクランプされると、次
に、送りモータ８２が駆動されて、水平移動台７６がＸ
線方位測定装置１８に向かって移動する。そして、所定
の測定位置で停止する。水平移動台７６が測定位置で停
止すると、次に、後述するＸ線方位測定装置１８によっ
てインゴットＩｎの結晶方位の測定が行われる。このＸ
線方位測定装置１８による結晶方位の測定結果は、制御
装置２６に出力され、制御装置２６は、内蔵する演算器
によって、インゴットＩｎのインゴット軸Ｏ_Inに対する
結晶軸Ｏ _Crの最大傾き角度λと傾き方向θを算出する。

【００３８】結晶方位の測定が終了すると、再び送りモ
ータ８２が駆動されて、水平移動台７６がスライスベー
ス接着位置に復帰する。そして、復帰後、前記演算器の
算出結果に基づいて支持ローラ回転用モータ９０が駆動
され、インゴットＩｎがインゴット軸Ｏ_In回りにθ度回
転する。この結果、インゴットＩｎの結晶軸Ｏ_Crが水平
面上に位置する。

【００３９】なお、インゴットＩｎのインゴット軸Ｏ_In
回りの回転は、支持ローラ８６Ａを支持ローラ回転用モ
ータ９０で回転させることによって与える。このため、
制御装置２６の演算器は、インゴットＩｎをθ度回転さ
せるのに必要な支持ローラ８６Ａの回転量Ｔを算出す
る。そして、制御装置２６は、その算出結果に基づいて
支持ローラ回転用モータ９０を駆動する。

【００４０】また、支持ローラ回転用モータ９０から支
持ローラ８６Ａに与えた回転が正確にインゴットＩｎに
伝達されたか否かを判断するため、支持ローラ８６Ｂの
回転量Ｔ_Bをエンコーダ９２によって検出する。すなわ
ち、支持ローラ８６Ａに与えた回転が正確にインゴット
Ｉｎに伝達されていれば、その支持ローラ８６Ａに与え
た回転量Ｔと同じ回転量で支持ローラ８６Ｂが回転す
る。したがって、エンコーダ９２によって検出される支
持ローラ８６Ｂの回転量Ｔ_Bが、支持ローラ８６Ａに与
えた回転量Ｔと一致してれば、インゴットＩｎは正確に
θ度回転したと判断して次工程に移行する。一方、エン
コーダ９２によって検出される支持ローラ８６Ｂの回転
量Ｔ_Bが、支持ローラ８６Ｂに与えた回転量Ｔと一致し
ていない場合は、支持ローラ８６Ｂの回転量Ｔ_BがＴ_B
＝Ｔとなるまで支持ローラ回転用モータ９０によって支
持ローラ８６Ａを回転させる。これにより、インゴット
Ｉｎは、正確にインゴット軸Ｏ_In回りにθ度回転する。

【００４１】次に、Ｘ線方位測定装置１８について説明
する。Ｘ線方位測定装置１８は、図１に示すように、前
記第１インゴット搬送装置１６が設置された架台７０に
隣接して設置されている。そして、前記第１インゴット
搬送装置１６によって所定の測定位置に搬送されてきた
インゴットＩｎの結晶方位を測定する。すなわち、図３
３に示すように、インゴット軸Ｏ_Inに対する結晶軸Ｏ_Cr
のｘ軸方向の傾き角度αと、ｙ軸方向の傾き角度βを測
定する。

【００４２】Ｘ線方位測定装置１８の測定結果は制御装
置２６に出力され、制御装置２６は、その測定結果から
インゴット軸Ｏ_Inに対する結晶軸Ｏ_Crの最大傾き角度λ
と傾き方向θを算出する。次に、スライスベース接着装
置２０について説明する。図１に示すように、スライス
ベース接着装置２０は、上述した第１インゴット搬送装
置１６が設置された架台７０に設置されている。そし
て、その第１インゴット搬送装置１６によってスライス
ベース接着位置に搬送されたインゴットＩｎの下面にス
ライスベースＳを接着する。具体的な構成は、以下の通
りである。

【００４３】図８及び図９は、それぞれスライスベース
接着装置２０の構成を示す正面図と側面図である。同図
に示すように、架台７０のフレームには、ベースプレー
ト１２０が垂直に固定されている。このベースプレート
１２０には、一対のガイドレール１２２、１２２が敷設
されており、該ガイドレール１２２、１２２上を第１ス
ライドブロック１２４と第２スライドブロック１２６が
摺動自在に支持されている。

【００４４】また、前記ベースプレート１２０の略中央
部には、ガイドレール１２２、１２２に沿ってネジ棒１
２８が配設されており、その両端部を前記ベースプレー
ト１２０上に設置された軸受部材１２９、１２９に回動
自在に支持されている。このネジ棒１２８の下端部に
は、前記ベースプレート１２０に設置された送りモータ
１３２の出力軸が連結されており、この送りモータ１３
２を駆動することによりネジ棒１２８が回転する。

【００４５】前記第１スライドブロック１２４の背面部
には、前記ネジ棒１２８に螺合する図示しないナット部
材が設けられており、このネジ棒１２８を回転させるこ
とにより、前記第１スライドブロック１２４が上下動す
る。前記第１スライドブロック１２４の正面部には、一
対の押圧用シリンダ１３０、１３０が設置されている。
この押圧用シリンダ１３０、１３０のロッド先端部は、
前記第２スライドブロック１２６の下端面に当接されて
おり、このロッドによって前記第２スライドブロック１
２６が支持されている。したがって、前記第１スライド
ブロック１２４が上下動すると、これに伴って第２スラ
イドブロック１２６も上下動する。また、前記第２スラ
イドブロック１２６は、前記第１スライドブロック１２
６に設けられた押圧用シリンダ１３０、１３０を駆動す
ることにより、そのロッドに押圧されて上昇する。

【００４６】前記第２スライドブロック１２６の上端部
には、ベースブロック１３４が水平に設置されている。
このベースブロック１３４の上面には、一対のガイドレ
ール１３６、１３６が敷設されており、該ガイドレール
１３６、１３６上をスライドテーブル１３８が水平方向
に移動自在に支持されている。前記スライドテーブル１
３８上には、図１０及び図１１に示すように、スライス
ベース支持台１４０が設けられており、インゴットＩｎ
に接着するスライスベースＳは、このスライスベース支
持台１４０上に載置される。

【００４７】また、前記スライドテーブル１３８上に
は、前記スライスベース支持台１４０上に載置されたス
ライスベースＳを固定するためのクランプ機構１４４が
設けられている。このクランプ機構１４４は、開閉自在
な一対のクランパー１４６Ａ、１４６Ｂを有しており、
この一対のクランパー１４６Ａ、１４６Ｂでスライスベ
ースＳを挟持することによりスライスベースＳを固定す
る。具体的な構成は、以下の通りである。

【００４８】図１０及び図１１に示すように、前記スラ
イスベース支持台１４０の内部には、該スライスベース
支持台１４０に沿ってガイドレール１４８が敷設されて
いる。このガイドレール１４８上には、一対のスライド
ブロック１５０Ａ、１５０Ｂがスライド自在に支持され
ている。一方側のスライドブロック１５０Ａには、前記
スライスベース支持台１４０の側部近傍に設置されたロ
ッドレスシリンダ１５２が連結されており、このロッド
レスシリンダ１５２を駆動することにより、一方側のス
ライドブロック１５０Ａがガイドレール１４８上を移動
する。

【００４９】また、他方側のスライドブロック１５０Ｂ
には、クランプ確認用ロッド１５４が水平に固着されて
おり、該クランプ確認用ロッド１５４は前記スライスベ
ース支持台１４０に形成された貫通穴１４０ａに挿通さ
れている。このクランプ確認用ロッド１５４には、スプ
リング１５６が挿通されており、該スプリング１５６に
よって前記スライドブロック１５０Ｂは、一方側のスラ
イドブロック１５０Ａに向けて付勢されている。

【００５０】前記スライスベースＳを挟持するクランパ
ー１４６Ａ、１４６Ｂは、それぞれ前記スライドブロッ
ク１５０Ａ、１５０Ｂ上に固定されている。そして、次
のようにしてスライスベースＳを挟持する。スライスベ
ースＳが、スライスベース支持台１４０上に載置される
と、ロッドレスシリンダ１５２が駆動されて、一方側の
クランパー１４６Ａが他方側のクランパー１４６Ｂに向
かって移動する。そして、この一方側のクランパー１４
６Ａに押されてスライスベースＳが他方側のクランパー
１４６Ｂに向かって移動し、更に、この移動したスライ
スベースＳに押されて他方側のクランパー１４６Ｂが移
動する。

【００５１】ここで、前記ガイドレール１４８の端部に
は、図示しないストッパーが設置されており、前記他方
側のクランパー１４６Ｂは所定量移動すると、このスト
ッパーに当接して停止する。そして、これによりスライ
スベースＳが一対のクランパー１４６Ａ、１４６Ｂの間
に挟持される。また、前記他方側のクランパー１４６Ｂ
がストッパーに当接すると、該他方側のクランパー１４
６Ｂに設けられたクランプ確認用ロッド１５４の先端部
が、前記スライスベース支持台１４０に設けられたセン
サ１５８によって検出される。そして、このセンサ１５
８が前記クランプ確認用ロッド１５４の先端部を検出す
ることにより、スライスベースＳがクランプされたこと
が確認される。

【００５２】前記スライスベース支持台１４０上に載置
されたスライスベースＳは、以上のようにしてクランプ
される。ところで、前記スライスベース支持台１４０が
設置されたスライドテーブル１３８は、前述したように
水平方向にスライド自在に設けられている。これはイン
ゴットＩｎにスライスベースＳを接着する際、スライス
ベースＳをインゴットＩｎの軸線方向に沿って摺動させ
ることにより、接着を確実に行うようにしたものであ
り、以下のすり合わせ機構１６０によってスライドテー
ブル１３８をスライドさせてスライスベースＳを摺動さ
せる。

【００５３】図１０及び図１１に示すように、前記ベー
スブロック１３４には、支持部材１６２を介してスライ
スベース摺動用モータ１６４が設けられている。このス
ライスベース摺動用モータ１６４の出力軸には、円盤状
の回転駒１６６が固着されており、その回転駒１６６の
上面部には、図１２に示すように、回転中心から偏芯し
た位置に偏芯ピン１６８が植設されている。前記スライ
ドテーブル１３８の下面にも同様のピン１７０が植設さ
れており、当該ピン１７０と偏芯ピン１６８とは、互い
にリンク１７２によって連結されている。

【００５４】前記スライスベース摺動用モータ１６４を
駆動すると、偏芯ピン１６８は偏芯回転し、この結果、
この偏芯ピン１６８に連結されたリンク１７２が往復動
する。そして、このリンク１７２が往復動することによ
り、スライドテーブル１３８がガイドレール１３６に沿
って往復動する。スライスベース接着装置２０は、以上
のように構成される。そして、次のようにしてスライス
ベースＳをインゴットＩｎに接着する。

【００５５】まず、接着剤を塗布したスライスベースＳ
をスライスベース支持台１４０上に載置する。スライス
ベースＳが載置されると、クランプ機構１４４が駆動さ
れてスライスベースＳがスライスベース支持台１４０上
に固定される。スライスベースＳは、この状態で待機し
ている。一方、Ｘ線方位測定装置１８によって結晶方位
の測定が行われたインゴットＩｎは、第１インゴット搬
送装置１６によってスライスベース接着位置（スライス
ベース支持台１４０の真上の位置）に搬送される。そし
て、そのスライスベース接着位置で、結晶軸Ｏ_Crが水平
面上に位置するようにインゴット軸Ｏ_In回りに所定の回
転が与えられる。

【００５６】インゴットＩｎのインゴット軸Ｏ_In回りの
結晶方位合わせが終了すると、次に、送りモータ１３２
が駆動されて、第１スライドブロック１２４が上方に移
動する。第１スライドブロック１２４が上方に移動する
と、この第１スライドブロック１２４に設けられた押圧
用シリンダ１３０、１３０のロッドに押されて第２スラ
イドブロック１２６が上方に移動する。そして、この第
２スライドブロック１２６が上方に移動する結果、スラ
イスベースＳがインゴットＩｎの下面に当接する。

【００５７】スライスベースＳがインゴットＩｎの下面
に当接すると、送りモータ１３２の駆動は停止される。
次いで、第１スライドブロック１２４に設けられた押圧
用シリンダ１３０、１３０が駆動され、この結果、スラ
イスベースＳが一定圧でインゴットＩｎに押圧される。
そして、インゴットＩｎにスライスベースＳを一定圧で
押圧した状態ですり合わせ機構１６０が駆動され、スラ
イスベースＳにインゴットＩｎの軸線方向に沿った往復
動が与えられる。

【００５８】スライスベースＳをインゴットＩｎに押圧
してから所定時間が経過すると、クランプ機構１４４に
よるスライスベースＳのクランプ、及び、押圧シリンダ
１３０、１３０によるスライスベースＳの押圧が解除さ
れる。そして、送りモータ１３２が駆動されて、スライ
スベース支持台１４０が所定の待機位置まで下降する。
これにより、スライスベースＳの接着が終了する。

【００５９】一方、第１インゴット搬送装置１６上に載
置されたインゴットＩｎは、クランプローラ１１４によ
るクランプが解除される。そして、マニピュレータ１４
によって次に説明する第２インゴット搬送装置２２に搬
送される。次に、第２インゴット搬送装置２２について
説明する。第２インゴット搬送装置２２は、前記スライ
スベース接着装置２０によってスライスベースＳが接着
されたインゴットＩｎをマニピュレータ１４から受け取
り、マウンティングプレート接着位置に搬送する。具体
的な構成は、以下の通りである。

【００６０】図１３及び図１４は、それぞれ第２インゴ
ット搬送装置２２の構成を示す側面図と平面図である。
なお、平面図には、後述するマウンティングプレート接
着装置２４の平面図も含まれている。本体フレーム１０
Ａ内に載置された架台１８０上にはベースプレート１８
２が設置されている。このベースプレート１８２には、
一対のガイドレール１８４、１８４が敷設されており、
該ガイドレール１８４、１８４上をスライドテーブル１
８６がスライド自在に支持されている。

【００６１】また前記ガイドレール１８４、１８４の側
部近傍には、ガイドレール１８４、１８４に沿ってネジ
棒１８８が配設されている。このネジ棒１８８の両端部
は、前記ベースプレート１８２上に設けられた軸受部材
１９０、１９０に回動自在に支持されている。また、こ
のネジ棒１８８の一方端には、前記ベースプレート１８
２上に設置された送りモータ１９２の出力軸が連結され
ており、ネジ棒１８８は、この送りモータ１９２を駆動
することにより回転する。

【００６２】前記ネジ棒１８８には、ナット部材１９４
が螺合されており、該ナット部材１９４は連結部材１９
４ａを介してスライドテーブル１８６に連結されてい
る。したがって、前記スライドテーブル１８６は、前記
送りモータ１９２を駆動することによりガイドレール１
８４、１８４上を水平に移動する。前記スライドテーブ
ル１８６は、中央に開口部１８６ａが形成されており、
この開口部１８６ａの両側には、逆Ｌ字状に形成された
一対の支持ブロック１９６、１９６が立設されている。
この一対の支持ブロック１９６、１９６には、それぞれ
３本の支持ローラ１９８、１９８が回動自在に支持され
ており、インゴットＩｎは、この支持ローラ１９８、１
９８上に載置されて搬送される。

【００６３】また、前記一対の支持ブロック１９６、１
９６のうち一方の支持ブロック１９６には、前記支持ロ
ーラ１９８、１９８上に載置されたインゴットＩｎをク
ランプするクランプユニット２００が設けられている。
このクランプユニット２００は、次のように構成されて
いる。図１３及び図１４に示すように、一方の支持ブロ
ック１９６上には、支持台２０２を介してベースプレー
ト２０４が水平に設置されている。このベースプレート
２０４上には、一対のガイドレール２０６、２０６が支
持ローラ１９８、１９８と直交するように敷設されてい
る。

【００６４】前記ガイドレール２０６上には、スライド
ブロック２０８がスライド自在に支持されており、該ス
ライドブロック２０８は、図示しないシリンダ駆動され
ることにより、ガイドレール２０６上をスライド移動す
る。前記スライドブロック２０８の正面部には、軸受部
材２１０を介して一対の回転軸２１２、２１２が回動自
在に支持されている。この回転軸２１２、２１２には、
互いに直交するように、水平アーム２１４、２１４と垂
直アーム２１６、２１６が固着されている。

【００６５】前記水平アーム２１４の先端部には、軸受
部材２１８が設けられており、該軸受部材２１８には、
クランプローラ２２０が前記支持ローラ１９８、１９８
と平行に軸支されている。一方、前記垂直アーム２１６
の先端部には、クランプシリンダ２２２のロッドがピン
によって連結されている。このクランプシリンダ２２２
は、前記スライドブロック２０８上に立設された支持部
材２２４の先端部にピンによって支持されており、該ク
ランプシリンダ２２２を駆動することにより、前記クラ
ンプローラ２２０が上下動する。

【００６６】すなわち、前記クランプシリンダ２２２の
ロッドを伸張させることにより、垂直アーム２１６が前
方に傾斜し、これに連動して水平アーム２１４が下方に
傾斜する。そして、この結果、クランプローラ２２０が
下方に移動する。また、前記クランプシリンダ２２２の
ロッドを収縮させることにより、垂直アーム２１６が後
方に傾斜し、これに連動して水平アーム２１４が上方に
傾斜する。そして、この結果、クランプローラ２２０が
上方に移動する。前記支持ローラ１９８、１９８上に載
置されたインゴットＩｎは、このクランプローラ２２０
に上面部を押圧されることによりクランプされる。

【００６７】第２インゴット搬送装置２２は以上のよう
に構成される。そして、次のようにインゴットＩｎをマ
ウンティングプレート接着位置に搬送する。まず、前記
スライスベース接着装置２０によってスライスベースＳ
が接着されたインゴットＩｎをマニピュレータ１４が支
持ローラ１９８、１９８上に載置する。なお、この際、
第２インゴット搬送装置２２は、インゴット受取位置
（図１４に示す位置）に位置している。

【００６８】インゴットＩｎが支持ローラ１９８、１９
８上に載置されると、次に、図示しないシリンダに駆動
されてクランプユニット２００のスライドブロック２０
８が所定量前進する。この結果、クランプローラ２２
０、２２０がインゴットＩｎの真上に位置する。次に、
クランプシリンダ２２２、２２２が駆動されて、クラン
プローラ２２０、２２０が下降する。この結果、インゴ
ットＩｎの上端部がクランプローラ２２０、２２０に押
圧されて、インゴットＩｎがクランプされる。

【００６９】インゴットＩｎがクランプされると、次
に、送りモータ１９２が駆動されて、スライドテーブル
１８６がマウンティングプレート接着装置２４に向かっ
て移動する。そして、所定のマウンティングプレート接
着位置で停止する。これにより、インゴットＩｎがマウ
ンティングプレート接着位置に搬送される。次に、マウ
ンティングプレート接着装置２４について説明する。図
１に示すように、マウンティングプレート接着装置２４
は、上述した第２インゴット搬送装置２２が設置された
架台１８０に設置されている。そして、その第２インゴ
ット搬送装置２２によってマウンティングプレート接着
位置に搬送されたインゴットＩｎのスライド下面にマウ
ンティングプレートＭを接着する。具体的な構成は、以
下の通りである。

【００７０】図１４〜図１６は、それぞれマウンティン
グプレート接着装置２４に構成を示す平面図、正面図、
側面図である。同図に示すように、架台１８０のフレー
ムには、ベースプレート２３０が垂直に固定されてい
る。このベースプレート２３０には、一対のガイドレー
ル２３２、２３２が敷設されており、該ガイドレール２
３２、２３２上を第１スライドブロック２３４と第２ス
ライドブロック２３６が摺動自在に支持されている。

【００７１】また、前記ベースプレート２３０の略中央
部には、ガイドレール２３２、２３２に沿ってネジ棒２
３８が配設されており、その両端部を前記ベースプレー
ト２３０上に設置された軸受部材２３９、２３９に回動
自在に支持されている。このネジ棒２３８の下端部に
は、前記ベースプレート２３０に設置された送りモータ
２４２の出力軸が連結されており、この送りモータ２４
２を駆動することによりネジ棒２３８が回転する。

【００７２】前記第１スライドブロック２３４の背面部
には、前記ネジ棒２３８に螺合する図示しないナット部
材が設けられており、このネジ棒２３８を回転させるこ
とにより、前記第１スライドブロック２３４が上下動す
る。前記第１スライドブロック２３４の正面部には、一
対の押圧用シリンダ２４０、２４０が設置されている。
この押圧用シリンダ２４０、２４０のロッド先端部は、
前記第２スライドブロック２３６の下面部に当接されて
おり、このロッドによって前記第２スライドブロック２
３６が支持されている。したがって、前記第１スライド
ブロック２３４が上下動すると、これに伴って第２スラ
イドブロック２３６も上下動する。また、前記第２スラ
イドブロック２３６は、前記第１スライドブロック２３
６に設けられた押圧用シリンダ２４０、２４０を駆動す
ることにより、そのロッドに押圧されて上昇する。

【００７３】前記第２スライドブロック２３６の上部に
は、ベースプレート２４４が水平に設置されている。こ
のベースプレート２４４の上面にはスピンドルユニット
２４６が設置されており、該スピンドルユニット２４６
にはマウンティングプレート支持テーブル２５０の下面
に固着されたスピンドル２４８が回転自在に支持されて
いる。

【００７４】前記マウンティングプレート支持テーブル
２５０は、ほぼ矩形状に形成されており、その上面には
一対のストッパー２５２、２５２が所定の間隔をもって
配設されている。そして、この一対のストッパー２５
２、２５２に対向するようにして、一対のクランプシリ
ンダ２５４、２５４が配設されている。マウンティング
プレートＭは、この一対のストッパー２５２、２５２と
一対のクランプシリンダ２５４、２５４との間にセット
される。そして、セットされたマウンティングプレート
Ｍは、クランプシリンダ２５４、２５４のロッドでスト
ッパー２５２、２５２に向けて押し付けられることによ
りクランプされる。

【００７５】また、マウンティングプレート支持テーブ
ル２５０は、以下の揺動機構２５６によってスピンドル
２４８を中心に揺動し、これによりセットしたマウンテ
ィングプレートＭの方位調整がなされる。図１７、図１
８は、それぞれマウンティングプレート支持テーブル２
５０の正面図と側面図である。また、図１９は図１７の
Ａ−Ａ断面図である。

【００７６】図１７〜図１９に示すように、前記マウン
ティングプレート支持テーブル２５０には、スピンドル
２４８から偏芯した位置に軸受ユニット２５８が設けら
れている。この軸受ユニット２５８には、回転軸２６０
が回動自在に支持されており、該回転軸２６０の下端部
は、ナット部材２６２の上面に形成された軸受穴に嵌入
されている。

【００７７】前記ナット部材２６２には、ネジ棒２６４
が螺合されている。このネジ棒２６４は、モータブラケ
ット２６８に設けられた軸受部材２７０に回動自在に支
持されている。そして、そのモータブラケット２６８に
設けられたマウンティングプレート揺動用モータ２７２
の出力軸に連結されている。一方、前記ベースプレート
２４４には、軸受ユニット２７４が設けられている。こ
の軸受ユニット２７４には回転軸２７６が回動自在に支
持されており、該回転軸２７６の上端部は、前記モータ
ブラケット２６８に形成された軸受穴２６８ａに嵌入さ
れている。

【００７８】揺動機構２５６は、以上のように構成さ
れ、マウンティングプレート揺動用モータ２７２を駆動
することによりマウンティングプレート支持テーブル２
５０を揺動させる。すなわち、マウンティングプレート
揺動用モータ２７２を駆動するとネジ棒２６４が回転
し、これによりナット部材２６２がネジ棒２６４に沿っ
て移動する。そして、このナット部材２６２が移動する
ことにより、該ナット部材２６２に連結されたマウンテ
ィングプレート支持テーブル２５０がスピンドル２４８
を中心に揺動する。

【００７９】マウンティングプレート接着装置２４は、
以上のように構成される。そして、次のようにしてマウ
ンティングプレートＭをインゴットＩｎのスライスベー
ス下面に接着する。まず、接着剤を塗布したマウンティ
ングプレートＭをマウンティングプレート支持テーブル
２５０上に載置する。マウンティングプレートＭが載置
されると、クランプシリンダ２５４、２５４が駆動され
てマウンティングプレートＭがマウンティングプレート
支持テーブル２５０上に固定される。

【００８０】次に、マウンティングプレート揺動用モー
タ２７２が駆動され、インゴットＩｎの結晶軸Ｏ_Crの最
大傾き角度λ分だけマウンティングプレート支持テーブ
ル２５０が回転する。一方、前記マウンティングプレー
トＭの方位調整を行っている間、第２インゴット搬送装
置２２によってインゴットＩｎがマウンティングプレー
ト接着位置、すなわち、マウンティングプレート支持テ
ーブル２５０の真上の位置に搬送される。

【００８１】次に、送りモータ２４２が駆動されて、第
１スライドブロック２３４が上方に移動する。第１スラ
イドブロック２３４が上方に移動すると、この第１スラ
イドブロック２３４に設けられた押圧用シリンダ２４
０、２４０のロッドに押されて第２スライドブロック２
３６が上方に移動する。そして、この第２スライドブロ
ック２３６が上方に移動する結果、マウンティングプレ
ートＭがインゴットＩｎに接着されたスライスベースＳ
の下面に当接する。

【００８２】マウンティングプレートＭがインゴットＩ
ｎの下面に当接すると、送りモータ２４２の駆動は停止
され、次いで、第１スライドブロック２３４に設けられ
た押圧用シリンダ２４０、２４０が駆動される。この結
果、マウンティングプレートＭが一定圧でスライスベー
スＳに押圧される。そして、この状態で再びマウンティ
ングプレート揺動用モータ２７２が駆動され、マウンテ
ィングプレートＭが一定の角度範囲で揺動する。このマ
ウンティングプレートＭの揺動は、マウンティングプレ
ートＭを確実にスライスベースＳに接着するために行う
ものであり、所定回数の揺動がマウンティングプレート
Ｍに与えられると、マウンティングプレート揺動用モー
タ２７２の駆動は停止される。そして、マウンティング
プレートＭは静止した状態で所定時間押圧した状態を保
持される。

【００８３】マウンティングプレートＭをスライスベー
スＳに接着した状態で所定時間が経過すると、クランプ
シリンダ２５４、２５４によるマウンティングプレート
Ｍのクランプ、及び、押圧シリンダ２４０、２４０によ
る押圧が解除され、これにより接着が完了する。マウン
ティングプレートＭの接着が完了すると、次に、送りモ
ータ２４２が駆動され、マウンティングプレート支持テ
ーブル２５０が所定の待機位置まで下降する。

【００８４】一方、マウンティングプレートＭが接着さ
れたインゴットＩｎは、第２インゴット搬送装置２２に
よって所定の受取位置まで搬送され、搬送後、クランプ
ユニット２００によるクランプが解除される。そして、
マニピュレータ１４によって搬出入部１２に搬送され
る。第１の実施の形態のインゴットマウント装置は、以
上のように構成される。次に、この第１の実施の形態の
インゴットマウント装置の作用を説明する。

【００８５】この第１の実施の形態のインゴットマウン
ト装置では、一つのマウンティングプレートＭに対して
一本のインゴットＩｎを接着する場合と、複数本のイン
ゴットＩｎを接着する場合の二通りの接着方法を実施す
ることができる。まず、一つのマウンティングプレート
Ｍに対して一本のインゴットＩｎを接着する場合につい
て説明する。

【００８６】まず、図示しない搬送装置によってインゴ
ットＩｎが搬出入部１２のトレー３０上に載置される。
次に、マニピュレータ１４が駆動され、前記インゴット
Ｉｎが載置されたトレー３０の真上で停止する。そし
て、そのトレー３０上に載置されたインゴットＩｎをハ
ンド部３６で把持して持ち上げる。

【００８７】インゴットＩｎを持ち上げたマニピュレー
タ１４は、図１中右方向に移動して、第１インゴット搬
送装置１６の真上で停止する。そして、その第１インゴ
ット搬送装置１６の支持ローラ８６Ａ、８６Ｂ上にイン
ゴットＩｎを載置する。なお、この時第１インゴット搬
送装置１６は、スライスベース接着位置に位置してい
る。

【００８８】インゴットＩｎが、第１インゴット搬送装
置１６の支持ローラ８６Ａ、８６Ｂ上に載置されると、
次に、クランプユニット９４が駆動されて、クランプロ
ーラ１１４、１１４によってインゴットＩｎがクランプ
される。そして、このインゴットＩｎがクランプされた
状態で送りモータ８２が駆動され、第１インゴット搬送
装置１６がＸ線方位測定装置１８に向かって移動する。

【００８９】第１インゴット搬送装置１６は、所定の測
定位置まで移動すると停止し、停止後、Ｘ線方位測定装
置１８によって結晶方位の測定が行われる。このＸ線方
位測定装置１８では、図３３に示すように、インゴット
軸Ｏ_Inに対する結晶軸Ｏ_Crのｘ軸方向の傾き角度αと、
ｙ軸方向の傾き角度βを測定する。このＸ線方位測定装
置１８の測定結果は制御装置２６に出力され、制御装置
２６は、その測定結果からインゴットＩｎのインゴット
軸Ｏ_Inに対する結晶軸Ｏ_Crの最大傾き角度λと傾き方向
θを算出する。

【００９０】結晶方位の測定が終了すると、再び送りモ
ータ８２が駆動されて、第１インゴットＩｎ搬送装置１
６が図中左方向に移動する。そして、スライスベース接
着位置で停止する。第１インゴットＩｎ搬送装置１６が
スライスベース接着位置で停止すると、次に、支持ロー
ラ８６Ａに連結された支持ローラ回転用モータ９０が駆
動され、インゴットＩｎがインゴット軸Ｏ_In回りにθ度
回転する。この結果、インゴットＩｎの結晶軸Ｏ_Crが水
平面上に位置する。

【００９１】一方、インゴットＩｎが前記Ｘ線方位測定
装置１８によって結晶方位の測定を行っている間、スラ
イスベース接着装置２０のスライスベース支持台１４０
上には、接着剤を塗布したスライスベースＳが載置され
る。そして、クランプ機構１４４によってクランプされ
た状態で待機している。スライスベース接着位置に搬送
されたインゴットＩｎのインゴット軸Ｏ_In回りの結晶方
位合わせが終了すると、スライスベース接着装置２０の
送りモータ１３２が駆動されて、スライスベースＳがイ
ンゴットＩｎに向かって上昇する。この送りモータ１３
２の駆動は、スライスベースＳがインゴットＩｎの下面
に当接すると停止する。

【００９２】前記送りモータ１３２の駆動が停止する
と、次いで、第１スライドブロック１２４に設けられた
押圧用シリンダ１３０、１３０が駆動される。この結
果、インゴットＩｎの下面にスライスベースＳが一定圧
で押圧される。そして、この状態ですり合わせ機構１６
０が駆動されて、スライスベースＳがインゴットＩｎの
軸線方向に沿って往復動する。なお、このようにスライ
スベースＳをインゴットＩｎに押し付けた状態でインゴ
ットＩｎの軸線に沿って往復動させると、接着剤中に含
まれる気泡が抜けて、確実にスライスベースＳを接着す
ることができる。

【００９３】スライスベースＳが所定回数往復動する
と、すり合わせ機構１６０の駆動は停止され、その後、
スライスベースＳは静止した状態でインゴットＩｎに押
圧される。スライスベースＳをインゴットＩｎに押圧し
てから所定時間が経過すると、クランプ機構１４４によ
るスライスベースＳのクランプ、及び、押圧シリンダ１
３０、１３０によるスライスベースＳの押圧が解除され
る。そして、送りモータ１３２が駆動されて、スライス
ベース支持台１４０が所定の待機位置まで下降する。こ
れにより、スライスベースＳの接着が終了する。

【００９４】一方、スライスベースＳが接着されたイン
ゴットＩｎは、クランプユニット９４によるクランプが
解除される。そして、このクランプが解除されると、ス
ライスベース接着位置の上方に待機しているマニピュレ
ータ１４が駆動され、前記第１インゴット搬送装置１６
上に載置されているインゴットＩｎを持ち上げる。イン
ゴットＩｎを持ち上げたマニピュレータ１４は、図１中
左方向に移動して第２インゴット搬送装置２２の真上で
停止する。そして、その第２インゴット搬送装置２２の
支持ローラ１９８、１９８上にインゴットＩｎを載置す
る。なお、この時第２インゴット搬送装置２２は、イン
ゴット受取位置に位置している。

【００９５】インゴットＩｎが、第２インゴット搬送装
置２２の支持ローラ１９８、１９８上に載置されると、
クランプユニット２００のクランプローラ２２０、２２
０によってインゴットＩｎがクランプされる。インゴッ
トＩｎがクランプされると、次に、送りモータ１９２が
駆動されて、第２インゴット搬送装置２２がマウンティ
ングプレート接着装置２４に向かって移動する。そし
て、所定のマウンティングプレート接着位置で停止す
る。

【００９６】一方、スライスベース接着装置２０によっ
てスライスベースＳをインゴットＩｎに接着している
間、マウンティングプレート接着装置２４のマウンティ
ングプレート支持テーブル２５０上には、接着剤を塗布
したマウンティングプレートＭが載置され、クランプシ
リンダ２５４、２５４によってクランプされた状態で待
機している。そして、このインゴットＩｎを待機してい
る間にマウンティングプレートＭの方位調整が行われ
る。

【００９７】すなわち、前記Ｘ線方位測定装置１８の測
定結果に基づき、マウンティングプレート揺動用モータ
２７２が駆動され、インゴットＩｎの結晶軸Ｏ_Crの最大
傾き角度λ分だけマウンティングプレート支持テーブル
２５０が水平回転する。これにより、インゴットＩｎに
マウンティングプレートＭを接着した際、マウンティン
グプレートＭの軸線Ｏ_MとインゴットＩｎの結晶軸Ｏ_Cr
とが平行な状態で接着される。

【００９８】スライスベースＳが接着されたインゴット
Ｉｎが第２インゴット搬送装置２２によってマウンティ
ングプレート接着位置に搬送されると、マウンティング
プレート接着装置２４の送りモータ２４２が駆動され
て、マウンティングプレートＭがインゴットＩｎに向か
って上昇する。この送りモータ２４２の駆動は、マウン
ティングプレートＭがインゴットＩｎに接着されたスラ
イスベースＳの下面に当接すると停止する。

【００９９】前記送りモータ２４２の駆動が停止する
と、次いで、第１スライドブロック２３４に設けられた
押圧用シリンダ２４０、２４０が駆動される。この結
果、マウンティングプレートＭが一定圧でスライスベー
スＳに押圧される。そして、この状態でマウンティング
プレート揺動用モータ２７２が駆動され、マウンティン
グプレートＭが一定の角度範囲で揺動する。なお、この
ようにマウンティングプレートＭをスライスベースＳに
押し付けた状態で揺動させると、前述したスライスベー
スＳを接着する場合と同様に、接着剤中に含まれる気泡
が抜けて、確実にマウンティングプレートＭをスライス
ベースＳを接着することができる。

【０１００】マウンティングプレートＭが所定回数往復
動すると、マウンティングプレート揺動用モータ２７２
の駆動は停止され、その後、マウンティングプレートＭ
は静止した状態でスライスベースＳの下面に押圧され
る。なお、マウンティングプレートＭは最大傾き角度λ
分回転した位置で停止する。マウンティングプレートＭ
をスライスベースＳに押圧してから所定時間が経過する
と、クランプシリンダ２５４、２５４によるマウンティ
ングプレートＭのクランプ、及び、押圧シリンダ２４
０、２４０によるマウンティングプレートＭの押圧が解
除される。そして、送りモータ２４２が駆動されて、マ
ウンティングプレート支持テーブル２５０が所定の待機
位置まで下降する。これにより、マウンティングプレー
トＭの接着が終了する。

【０１０１】前記マウンティングプレート支持テーブル
２５０が所定の待機位置まで下降すると、次いで、第２
インゴット搬送装置２２の送りモータ１９２が駆動さ
れ、第２インゴット搬送装置２２が図１中右方向に移動
する。そして、前記インゴット受取位置で停止する。前
記第２インゴット搬送装置２２がインゴット受取位置に
停止すると、クランプユニット２００によるインゴット
Ｉｎのクランプが解除される。そして、このクランプが
解除されると、インゴット受取位置の上方に待機してい
るマニピュレータ１４が駆動され、前記第２インゴット
搬送装置２２上に載置されているインゴットＩｎを持ち
上げる。インゴットＩｎを持ち上げたマニピュレータ１
４は、図１中左方向に移動して搬出入部１２のトレー３
０上で停止する。そして、そのトレー３０上にインゴッ
トＩｎを載置する。トレー３０に載置されたインゴット
Ｉｎは、図示しない搬送装置によって外部のワイヤソー
や倉庫等に搬出されてゆく。

【０１０２】以上の一連の工程で、インゴットＩｎにス
ライスベースＳを介してマウンティングプレートＭが接
着される。このとき、マウンティングプレートＭを接着
されたインゴットＩｎは、その結晶軸Ｏ_Crがマウンティ
ングプレートＭの軸線Ｏ_Mと平行になるように接着され
る。次に、一つのマウンティングプレートＭに複数本の
インゴットＩｎを接着する場合について説明する。な
お、ここでは一つのマウンティングプレートＭに２本の
インゴットを接着する場合について説明する。

【０１０３】結晶方位を測定して、スライスベースＳを
接着するところまでは、上述した一つのマウンティング
プレートＭに一本のインゴットＩｎを接着する場合と同
じなので、本実施の形態では、スライスベースＳが接着
されたインゴットＩｎにマウンティングプレートＭを接
着するところから説明する。スライスベース接着装置２
０によって１本目のインゴットＩｎ₁にスライスベース
Ｓ₁が接着されている間、マウンティングプレート接着
装置２４のマウンティングプレート支持テーブル２５０
上には、接着剤を塗布したマウンティングプレートＭが
セットされ、方位調整が行われた状態で待機している。
すなわち、一本目のインゴットＩｎ₁の結晶軸Ｏ_Cr1の
最大傾き角度λ₁分だけマウンティングプレート支持テ
ーブル２５０が水平方向に回転した状態で待機してい
る。

【０１０４】一方、スライスベースＳ₁の接着が終了し
たインゴットＩｎ₁は、マニピュレータ１４によって、
第２インゴット搬送装置２２の支持ローラ１９８、１９
８上に載置される。そして、載置後、クランプユニット
２００のクランプローラ２２０、２２０によってクラン
プされる。インゴットＩｎがクランプされると、次に、
送りモータ１９２が駆動されて、第２インゴット搬送装
置２２がマウンティングプレート接着装置２４に向かっ
て移動する。そして、図２０（ａ）に示すように、第１
のマウンティングプレート接着位置Ｐ１で停止する。

【０１０５】一本目のインゴットＩｎ₁が第１のマウン
ティングプレート接着位置Ｐ１に搬送されると、マウン
ティングプレート接着装置２４の送りモータ２４２が駆
動されてマウンティングプレートＭがインゴットＩｎに
向かって上昇する。そして、マウンティングプレートＭ
がスライスベースＳ₁の下面に当接したところで停止す
る。

【０１０６】送りモータ２４２の駆動が停止すると、次
に、第１スライドブロック２３４に設けられた押圧用シ
リンダ２４０、２４０が駆動される。この結果、マウン
ティングプレートＭが一定圧でスライスベースＳ₁に押
圧される。そして、この状態でマウンティングプレート
揺動用モータ２７２が駆動され、マウンティングプレー
トＭが一定の角度範囲で揺動する。

【０１０７】マウンティングプレートＭが所定回数往復
動すると、マウンティングプレート揺動用モータ２７２
の駆動は停止され、その後、マウンティングプレートＭ
は静止した状態でスライスベースＳ₁の下面に押圧され
る。なお、マウンティングプレートＭは一本目のインゴ
ットＩｎ₁の結晶軸Ｏ_Cr1の最大傾き角度λ₁分回転し
た位置で停止する。

【０１０８】マウンティングプレートＭをスライスベー
スＳ₁に押圧してから所定時間が経過すると、押圧シリ
ンダ２４０、２４０によるマウンティングプレートＭの
押圧が解除される。これと同時に、クランプユニット２
００によるインゴットＩｎ₁のクランプが解除される。
前記クランプユニット２００によるクランプが解除され
ると、送りモータ２４２が駆動されてマウンティングプ
レート支持テーブル２５０が所定量上昇する。これによ
り、マウンティングプレートＭに接着されたインゴット
Ｉｎ₁が第２インゴット搬送装置２２の支持ローラ１９
８、１９８から所定量浮き上がった状態になる。この状
態で、第２インゴット搬送装置２２が図１中右方向に移
動して、所定のインゴット受取位置で停止する。

【０１０９】マウンティングプレートＭをスライスベー
スＳ₁に押圧してから所定時間が経過すると、押圧シリ
ンダ２４０、２４０によるマウンティングプレートＭの
押圧が解除される。これにより、一本目のインゴットＩ
ｎ₁の接着が終了する。一本目のインゴットＩｎ₁の接
着終了後、クランプユニット２００によるインゴットＩ
ｎのクランプが解除され、第２インゴット搬送装置２２
は図１中右方向に移動して、所定のインゴット受取位置
で停止する。

【０１１０】一方、前記のごとく一本目のインゴットＩ
ｎ₁にマウンティングプレートＭが接着されている間、
二本目のインゴットＩｎ₂がＸ線方位測定装置１８によ
って結晶方位を測定され、スライスベース接着装置２０
によってスライスベースＳ₂が接着されている。二本目
のインゴットＩｎ₂にスライスベースＳ₂が接着される
と、マニピュレータ１４によって、第１インゴット搬送
装置１６から前記インゴット受取位置に復帰した第２イ
ンゴット搬送装置２２の支持ローラ１９８、１９８上に
移載される。そして、移載後、インゴットＩｎ₂はクラ
ンプユニット２００のクランプローラ２２０、２２０に
よってクランプされる。

【０１１１】一方、マウンティングプレート接着装置２
４では、前記第２インゴット搬送装置２２がインゴット
受取位置に復帰すると、送りモータ２４２が駆動されて
所定量下降する。そして、二本目のインゴットＩｎ₂の
結晶軸Ｏ_Cr2の最大傾き角度λ₂分だけマウンティング
プレート支持テーブル２５０が水平方向に回転して待機
している。

【０１１２】前記クランプユニット２００によって二本
目のインゴットＩｎ₂がクランプされると、次に、送り
モータ１９２が駆動されて、第２インゴット搬送装置２
２がマウンティングプレート接着装置２４に向かって移
動する。そして、図２０（ｂ）に示すように、第２のマ
ウンティングプレート接着位置Ｐ２で停止する。二本目
のインゴットＩｎ₂が第２のマウンティングプレート接
着位置Ｐ２に搬送されると、マウンティングプレート接
着装置２４の送りモータ２４２が駆動されてマウンティ
ングプレートＭがインゴットＩｎに向かって上昇する。
そして、マウンティングプレートＭがスライスベースＳ
₁の下面に当接したところで停止する。

【０１１３】送りモータ２４２の駆動が停止すると、次
に、第１スライドブロック２３４に設けられた押圧用シ
リンダ２４０、２４０が駆動される。この結果、マウン
ティングプレートＭが一定圧でスライスベースＳ₂に押
圧される。そして、この状態でマウンティングプレート
揺動用モータ２７２が駆動され、マウンティングプレー
トＭが一定の角度範囲で揺動する。

【０１１４】マウンティングプレートＭが所定回数往復
動すると、マウンティングプレート揺動用モータ２７２
の駆動は停止され、その後、マウンティングプレートＭ
は静止した状態でスライスベースＳ₂の下面に押圧され
る。なお、マウンティングプレートＭは二本目のインゴ
ットＩｎ₂の結晶軸Ｏ_Cr2の最大傾き角度λ₂分回転し
た位置で停止する。

【０１１５】マウンティングプレートＭをスライスベー
スＳ₂に押圧してから所定時間が経過すると、クランプ
シリンダ２５４、２５４によるマウンティングプレート
Ｍのクランプ、及び、押圧シリンダ２４０、２４０によ
るマウンティングプレートＭの押圧が解除される。そし
て、送りモータ２４２が駆動されて、マウンティングプ
レート支持テーブル２５０が所定の待機位置まで下降す
る。これにより、マウンティングプレートＭの接着が終
了する。

【０１１６】前記マウンティングプレート支持テーブル
２５０が所定の待機位置まで下降すると、次いで、第２
インゴット搬送装置２２の送りモータ１９２が駆動さ
れ、第２インゴット搬送装置２２が図１中右方向に移動
する。そして、前記インゴット受取位置で停止する。前
記第２インゴット搬送装置２２がインゴット受取位置に
停止すると、クランプユニット２００によるインゴット
Ｉｎ₂のクランプが解除される。そして、このクランプ
が解除されると、インゴット受取位置の上方に待機して
いるマニピュレータ１４が駆動され、前記第２インゴッ
ト搬送装置２２上に載置されているインゴットＩｎをマ
ウンティングプレートＭごと持ち上げる。インゴットＩ
ｎを持ち上げたマニピュレータ１４は、図１中左方向に
移動して搬出入部１２のトレー３０上で停止する。そし
て、そのトレー３０上にインゴットＩｎを載置する。ト
レー３０に載置されたインゴットＩｎは、図示しない搬
送装置によって外部のワイヤソーや倉庫等に搬出されて
ゆく。

【０１１７】以上の一連の工程で、一つのマウンティン
グプレートＭに二本のインゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂が接着
される。このとき、図２１に示すように、マウンティン
グプレートＭに接着された各インゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂
は、その結晶軸Ｏ_Cr1、Ｏ_Cr ₂がマウンティングプレー
トＭの軸線Ｏ_Mと平行になるように接着される。このよ
うに、第１の実施の形態のインゴットマウント装置によ
れば、自動でインゴットＩｎの結晶方位合わせを行って
インゴットＩｎにマウンティングプレートＭを取り付け
ることができる。

【０１１８】また、本実施の形態のインゴットマウント
装置は、一つのマウンティングプレートＭに複数本のイ
ンゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂、…を接着する場合にも対応す
ることができる。さらに、本実施の形態のインゴットマ
ウント装置では、各装置間にインゴットＩｎを搬送する
に際して、マニピュレータ１４が装置本体１０の天井部
を走行するので、装置本体１０の前面部及び後面部にオ
ープンスペースが形成される。このため、インゴットの
搬出入やメンテナンスを容易に行うことができる。

【０１１９】また、本実施の形態のインゴットマウント
装置では、インゴットＩｎにスライスベースＳを接着す
るに際して、スライスベースＳをインゴットＩｎに押圧
した状態で往復動させる機構を備えたので、スライスベ
ースＳを確実にインゴットＩｎに接着することができ
る。また、インゴットＩｎに接着したスライスベースＳ
にマウンティングプレートＭを接着する場合も同様であ
る。

【０１２０】次に、本発明に係るインゴットマウント装
置の第２の実施の形態について説明する。図２２、図２
３は、それぞれ本発明に係るインゴットマウント装置の
第２の実施の形態の構成を示す正面図と平面図である。
同図に示すように、第２の実施の形態のインゴットマウ
ント装置は、架台７０上のスライスベース接着装置２０
とＸ線方位測定装置１８との間に確認測定装置３００が
備えられている。この確認測定装置３００は、一連の工
程を経てマウンティングプレートＭが接着されたインゴ
ットＩｎが、所望の結晶方位でマウンティングプレート
Ｍに接着されているか否かを確認する装置である。以下
に、その具体的な構成について説明する。なお、この確
認測定装置３００を除いた他の構成は、第１の実施の形
態のインゴットマウント装置と同じなので、第１の実施
の形態のインゴットマウント装置と同じ部材には同一符
号を付してその説明は省略する。

【０１２１】図２４、図２５は、それぞれ確認測定装置
３００の構成を示す正面図と平面図である。架台７０上
に設置されたベースプレート７２上には、一対のガイド
レール３０２、３０２が敷設されており、該ガイドレー
ル３０２、３０２上をスライドテーブル３０４がスライ
ド自在に設けられている。

【０１２２】また、前記ベースプレート７２上には、前
記ガイドレール３０２、３０２に沿ってネジ棒３０６が
配設されており、該ネジ棒３０６は、その両端部を前記
ベースプレート７２上に設けられた軸受部材３０８、３
０８に回動自在に支持されている。このネジ棒３０６の
一方端には、前記ベースプレート７２上に設置された送
りモータ３１０の出力軸が連結されており、ネジ棒３０
６はこの送りモータ３１０を駆動することにより回転す
る。

【０１２３】前記ネジ棒３０６には、ナット部材３１２
が螺合されており、該ナット部材３１２は前記スライド
テーブル３０４に固着されている。したがって、前記ス
ライドテーブル３０４は、前記送りモータ３１０を駆動
することにより、ガイドレール３０２、３０２上を水平
に移動する。前記スライドテーブル３０４には、軸受ユ
ニット３１４が設けられており、該軸受ユニット３１４
には、スピンドル３１６が回動自在に支持されている。
このスピンドル３１６の上端部には回転テーブル３１８
が固着されており、該回転テーブル３１８は、このスピ
ンドル３１６を中心に水平面上を回転する。

【０１２４】一方、前記スピンドル３１６の下端部に
は、テーブル回転用モータ３２０の出力軸が連結されて
おり、該テーブル回転用モータ３２０は前記軸受ユニッ
ト３１４の下端部にモータブラケット３２２を介して連
結されている。前記回転テーブル３１８は、このテーブ
ル回転用モータ３２４を駆動することにより水平面上を
回転する。

【０１２５】前記回転テーブル３１８の上面には一対の
ストッパー３２６、３２６が所定の間隔をもって配設さ
れており、この一対のストッパー３２６、３２６に対向
するようにして、一対のクランプシリンダ３２８、３２
８が配設されている。マウンティングプレートＭが接着
されたインゴットＩｎは、この一対のストッパー３２
６、３２６と一対のクランプシリンダ３２８、３２８と
の間にセットされる。そして、セットされたインゴット
Ｉｎは、その下面部に接着されたマウンティングプレー
トＭの側部をクランプシリンダ３２８、３２８のロッド
でストッパー３２６、３２６に向けて押し付けられるこ
とによりクランプされる。

【０１２６】ところで、前記回転テーブル３１８上にク
ランプされたインゴットＩｎは、前記テーブル回転用モ
ータ３２０を駆動して回転テーブル３１８を回転させる
ことにより水平回転する。この回転テーブル３１８の回
転は１８０度間隔で与えられ、回転テーブル３１８が１
８０度回転することにより、回転テーブル３１８上にク
ランプされたインゴットＩｎの前後が逆転する。

【０１２７】また、前記スライドテーブル３０４上に
は、前記のごとく回転自在に支持された回転テーブル３
１８の回転をロックするロック手段３３０が設けられて
おり、該ロック手段３３０は次のように構成されてい
る。前記スライドテーブル３０４上には、ブラケット３
３２を介してロックシリンダ３３４が水平に設置されて
いる。このロックシリンダ３３４のロッド先端部には、
両側部にテーパ面が形成されたロック用駒３３４ａが固
着されている。

【０１２８】一方、前記回転テーブル３１８の下面に
は、一対のロック部材３３６、３３６が固着されてお
り、このロック部材３３６には、前記ロック用駒３３４
ａが嵌合するテーパ状の凹部３３６ａが形成されてい
る。前記回転テーブル３１８をロックする際は、前記ロ
ックシリンダ３３４を駆動して、そのロッド先端部に固
着されたロック用駒３３４ａを回転テーブル３１８の下
面に固着されたロック部材３３６の凹部３３６ａに嵌合
させる。これにより、回転テーブル３１８は、その水平
方向の回転が規制され、所定の位置で固定される。

【０１２９】なお、回転テーブル３１８を回転させる場
合は、前記ロックシリンダ３３４を駆動して、ロック用
駒３３４ａをロック部材３３６の凹部３３６ａから退避
させる。これにより、回転規制が解除され、自由に回転
できるようになる。以上のように構成された確認測定装
置３００は、送りモータ３１０を駆動することにより、
回転テーブル３１８上にクランプされたインゴットＩｎ
を所定の待機位置から所定の測定位置に搬送する。な
お、第１インゴット搬送装置１６は、インゴットＩｎを
測定位置に搬送する際、確認測定装置３００を跨ぐよう
にして走行する。

【０１３０】次に、前記のごとく構成された確認測定装
置３００を有する第２の実施の形態のインゴットマウン
ト装置の作用について説明する。前述した第１の実施の
形態のインゴットマウント装置では、マウンティングプ
レート接着装置２４によってインゴットＩｎにマウンテ
ィングプレートＭが接着されると、そのマウンティング
プレートＭが接着されたインゴットＩｎは、マニピュレ
ータ１４によって搬出入部１２に搬送され、その後、図
示しない搬送装置によって外部のワイヤソーや倉庫等に
搬出されていた。第２の実施の形態のインゴットマウン
ト装置では、マウンティングプレート接着装置２４によ
ってインゴットＩｎにマウンティングプレートＭが接着
されると、そのインゴットＩｎはマニピュレータ１４に
よって確認測定装置３００に搬送され、インゴットＩｎ
が所望の結晶方位でマウンティングプレートＭに接着さ
れているか否かを測定される。そして、その後でマニピ
ュレータ１４によって搬出入部１２に搬送される。具体
的には以下の通りである。

【０１３１】なお、マウンティングプレートＭに一本の
インゴットＩｎが接着されている場合と、二本のインゴ
ットＩｎが接着されている場合とでは、取り扱いが異な
るので、まず、マウンティングプレートＭに一本のイン
ゴットＩｎが接着されている場合について説明する。マ
ウンティングプレート接着装置２４によってインゴット
ＩｎにマウンティングプレートＭが接着されると、その
マウンティングプレートＭが接着されたインゴットＩｎ
は、第２インゴット搬送装置２２によってインゴット受
取位置に搬送される。

【０１３２】インゴットＩｎがインゴット受取位置に停
止すると、そのインゴット受取位置の上方に待機してい
るマニピュレータ１４が駆動され、前記第２インゴット
搬送装置２２上に載置されているインゴットＩｎをマウ
ンティングプレートＭごと持ち上げる。インゴットＩｎ
を持ち上げたマニピュレータ１４は、図２２中右方向に
移動して所定の待機位置に位置している確認測定装置３
００の上方で停止する。そして、その確認測定装置３０
０の回転テーブル３１８上にインゴットＩｎを載置す
る。

【０１３３】図２６に示すように、回転テーブル３１８
上にインゴットＩｎが載置されると、クランプシリンダ
３２８が駆動されて、インゴットＩｎに接着されたマウ
ンティングプレートＭがクランプシリンダ３２８とスト
ッパ３２６との間で挟持される。これにより、インゴッ
トＩｎがクランプされる。なお、この時、回転テーブル
３１８はロック手段３３０にロックされて、その回転を
規制されている。

【０１３４】前記回転テーブル３１８上にインゴットＩ
ｎがクランプされると、次に、送りモータ３１０が駆動
されて、スライドテーブル３０４が図２６中右方向に移
動する。このスライドテーブル３０４は、インゴットＩ
ｎが所定の測定位置（図２６中二点破線で示す位置）ま
で搬送されると停止する。そして、停止後、Ｘ線方位測
定装置１８によって回転テーブル３１８上にクランプさ
れているインゴットＩｎの結晶方位の測定が行われる。

【０１３５】Ｘ線方位測定装置１８の測定結果は制御装
置２６に出力され、制御装置２６は、その測定結果から
マウンティングプレートＭの軸線Ｏ_Mに対するインゴッ
トＩｎの結晶軸Ｏ_Crの最大傾き角度λと傾き方向θを算
出する。一方、前記Ｘ線方位測定装置１８によるインゴ
ットＩｎの結晶方位の測定が終了すると、再び送りモー
タ３１０が駆動され、スライドテーブル３０４が図２６
中左方向に移動する。そして、所定の待機位置（図２６
中実線で示す位置）で停止する。

【０１３６】前記スライドテーブル３０４が所定の待機
位置に停止すると、クランプシリンダ３２８によるイン
ゴットＩｎのクランプが解除される。そして、このクラ
ンプが解除されると、前記待機位置の上方に待機してい
るマニピュレータ１４が駆動され、前記回転テーブル３
１８上に載置されているインゴットＩｎをマウンティン
グプレートＭごと持ち上げる。インゴットＩｎを持ち上
げたマニピュレータ１４は、図２２中左方向に移動して
搬出入部１２のトレー３０上で停止する。そして、その
トレー３０上にインゴットＩｎを載置する。

【０１３７】ここで、前記Ｘ線方位測定装置１８による
インゴットＩｎの結晶方位の測定の結果、インゴットＩ
ｎが所望の結晶方位でマウンティングプレートＭに接着
されていれば、すなわち、マウンティングプレートＭの
軸線Ｏ_Mに対するインゴットＩｎの結晶軸Ｏ_Crの最大傾
き角度λと傾き方向θが共にゼロとなっていれば、その
マウンティングプレートＭが接着されたインゴットＩｎ
は、そのまま図示しない搬送装置によって外部のワイヤ
ソーや倉庫等に搬出されてゆく。

【０１３８】一方、インゴットＩｎが所望の結晶方位で
マウンティングプレートＭに接着されていない場合は、
制御装置２６は警告を発し、オペレータに注意を促す。
オペレータは、この警告を確認すると、インゴットＩｎ
に取り付けたマウンティングプレートＭとスライスベー
スＳをインゴットＩｎから取り外し、再び接着をやり直
す。

【０１３９】このように、インゴットＩｎにマウンティ
ングプレートＭを接着した後、再び結晶方位を測定し
て、所望の結晶方位でインゴットＩｎがマウンティング
プレートＭに接着されているか否かを確認することによ
り、誤った結晶方位のまま切断が行われるという事態の
発生を有効に防止することができる。次に、マウンティ
ングプレートＭに二本のインゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂が接
着されている場合について説明する。

【０１４０】マウンティングプレート接着装置２４によ
ってインゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂にマウンティングプレー
トＭが接着されると、そのマウンティングプレートＭが
接着されたインゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂は、第２インゴッ
ト搬送装置２２によってインゴット受取位置に搬送され
る。インゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂がインゴット受取位置に
停止すると、そのインゴット受取位置の上方に待機して
いるマニピュレータ１４が駆動され、前記第２インゴッ
ト搬送装置２２上に載置されているインゴットＩｎ₁、
Ｉｎ₂をマウンティングプレートＭごと持ち上げる。イ
ンゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂を持ち上げたマニピュレータ１
４は、図２２中右方向に移動して所定の待機位置に位置
している確認測定装置３００の上方で停止する。そし
て、その確認測定装置３００の回転テーブル３１８上に
インゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂を載置する。

【０１４１】図２７に示すように、回転テーブル３１８
上にインゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂が載置されると、クラン
プシリンダ３２８が駆動されて、インゴットＩｎ₁、Ｉ
ｎ₂に接着されたマウンティングプレートＭがクランプ
シリンダ３２８とストッパ３２６との間で挟持される。
これにより、インゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂がクランプされ
る。なお、この時、回転テーブル３１８はロック手段３
３０にロックされて、その回転を規制されている。

【０１４２】前記回転テーブル３１８上にインゴットＩ
ｎ₁、Ｉｎ₂がクランプされると、次に、送りモータ３
１０が駆動されて、スライドテーブル３０４が図２７中
右方向に移動する。このスライドテーブル３０４は、図
２７中右側に取り付けられているインゴットＩｎ₁が所
定の測定位置（図２７中二点破線で示す位置）まで搬送
されると停止する。そして、停止後、Ｘ線方位測定装置
１８によってインゴットＩｎ₁の結晶方位の測定が行わ
れる。

【０１４３】Ｘ線方位測定装置１８の測定結果は制御装
置２６に出力され、制御装置２６は、その測定結果から
マウンティングプレートＭの軸線Ｏ_Mに対するインゴッ
トＩｎ₁の結晶軸Ｏ_Cr1の最大傾き角度λ₁と傾き方向
θ₁を算出する。一方、前記Ｘ線方位測定装置１８によ
るインゴットＩｎ₁の結晶方位の測定が終了すると、再
び送りモータ３１０が駆動され、スライドテーブル３０
４が図中左方向に移動する。そして、所定の待機位置
（図２７中実線で示す位置）で停止する。

【０１４４】前記スライドテーブル３０４が所定の待機
位置に停止すると、次いで、ロック手段３３０による回
転テーブル３１８のロックが解除される。そして、その
ロック解除後、テーブル回転用モータ３２０が駆動され
て、回転テーブル３１８が１８０度回転する。この結
果、マウンティングプレートＭに接着されている二本の
インゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂の位置が逆転する。

【０１４５】前記回転テーブル３１８が１８０度回転す
ると、再びロック手段３３０が駆動されて、回転テーブ
ル３１８がロックされる。そして、その回転テーブル３
１８のロック後、送りモータ３１０が駆動されて、スラ
イドテーブル３０４が図２７中右方向に移動する。スラ
イドテーブル３０４は、インゴットＩｎ₂が所定の測定
位置まで搬送されると停止し、その停止後、Ｘ線方位測
定装置１８によってインゴットＩｎ₂の結晶方位の測定
が行われる。

【０１４６】Ｘ線方位測定装置１８の測定結果は制御装
置２６に出力され、制御装置２６は、その測定結果から
マウンティングプレートＭの軸線Ｏ_Mに対するインゴッ
トＩｎ₂の結晶軸Ｏ_Cr2の最大傾き角度λ₂と傾き方向
θ₂を算出する。前記Ｘ線方位測定装置１８によるイン
ゴットＩｎ₂の結晶方位の測定が終了すると、再び送り
モータ３１０が駆動され、スライドテーブル３０４が図
中左方向に移動する。そして、所定の待機位置で停止す
る。

【０１４７】前記スライドテーブル３０４が所定の待機
位置に停止すると、クランプシリンダ３２８によるイン
ゴットＩｎのクランプが解除される。そして、このクラ
ンプが解除されると、前記待機位置の上方に待機してい
るマニピュレータ１４が駆動され、前記回転テーブル３
１８上に載置されているインゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂をマ
ウンティングプレートＭごと持ち上げる。インゴットＩ
ｎを持ち上げたマニピュレータ１４は、図２２中左方向
に移動して搬出入部１２のトレー３０上で停止する。そ
して、そのトレー３０上にインゴットＩｎを載置する。

【０１４８】ここで、前記Ｘ線方位測定装置１８による
インゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂の結晶方位の測定の結果、イ
ンゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂が共に所望の結晶方位でマウン
ティングプレートＭに接着されていれば、すなわち、マ
ウンティングプレートＭの軸線Ｏ_Mに対するインゴット
Ｉｎ₁、Ｉｎ₂の結晶軸Ｏ_Cr1、Ｏ_Cr2の最大傾き角度
λ₁、λ₂と傾き方向θ₁、θ₂が共にゼロとなってい
れば、そのマウンティングプレートＭが接着されたイン
ゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂は、そのまま図示しない搬送装置
によって装置外部のワイヤソーや倉庫等に搬出されてゆ
く。

【０１４９】一方、何れか一方のインゴットＩｎでも所
望の結晶方位でマウンティングプレートＭに接着されて
いない場合には、制御装置２６は警告を発し、オペレー
タに注意を促す。オペレータは、この警告を確認する
と、インゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂に取り付けたマウンティ
ングプレートＭとスライスベースＳ₁、Ｓ₂をインゴッ
トＩｎ₁、Ｉｎ₂から取り外し、再び接着をやり直す。

【０１５０】このように、回転テーブル３１８を１８０
度回転させることにより、マウンティングプレートＭに
二本のインゴットＩｎ₁、Ｉｎ₂を接着した場合でも、
所望の結晶方位でインゴットＩｎ₁、Ｉｎ₁がマウンテ
ィングプレートＭに接着されているか否かを確認するこ
とができる。次に、本発明に係るインゴットマウント装
置の第３の実施の形態について説明する。

【０１５１】図２８、図２９は、それぞれ本発明に係る
インゴットマウント装置の第３の実施の形態の構成を示
す正面図と平面図である。同図に示すように、第３の実
施の形態のインゴットマウント装置は、搬出入部１２の
側部にインゴット反転装置４００が設けられている。こ
のインゴット反転装置４００は、マウンティングプレー
トＭが接着されたインゴットＩｎの上下を逆転して、マ
ウンティングプレートＭを上方に位置させる装置であ
る。以下に、その具体的な構成について説明する。な
お、このインゴット反転装置４００を除いた他の構成
は、第１及び第２の実施の形態のインゴットマウント装
置と同じなので、第１及び第２の実施の形態のインゴッ
トマウント装置と同じ部材には、同一符号を付してその
説明は省略する。

【０１５２】図３０、図３１は、それぞれインゴット反
転装置４００の構成を示す正面図と側面図である。同図
に示すように、前記搬出入部１２の側部近傍には、架台
４０２が垂直に立設されており、その正面部にはベース
プレート４０４が垂直に固定されている。ベースプレー
ト４０４には一対のガイドレール４０６、４０６が垂直
に敷設されており、該ガイドレール４０６、４０６上を
昇降テーブル４０８がスライド自在に支持されている。

【０１５３】また、前記架台４０２には、昇降用シリン
ダ４１０が垂直に設けられており、該昇降用シリンダ４
１０のロッド先端部には連結部材４１２を介して昇降テ
ーブル４０８が連結されている。したがって、昇降テー
ブル４０８は、前記昇降用シリンダ４１０を駆動するこ
とにより、前記ガイドレール４０６に沿って垂直に上下
動する。

【０１５４】前記昇降テーブル４０８の正面部には、ベ
ースプレート４１４が水平に固着されている。このベー
スプレート４１４の下面には、一対のガイドレール４１
６、４１６が敷設されており、該ガイドレール４１６、
４１６上を一対のスライドブロック４１７、４１７がス
ライド自在に支持されている。そして、この一対のスラ
イドブロック４１７、４１７には、それぞれアーム４１
８、４１８が垂直に固着されている。

【０１５５】前記一対のアーム４１８、４１８のうち一
方のアーム４１８（図３０中左側のアーム）には、開閉
用シリンダ４２０が水平に設置されている。この開閉用
シリンダ４２０のロッド先端部は、連結部材４２２を介
して他方側のアーム４１８（図３０中右側のアーム）に
連結されている。したがって、前記一対のアーム４１
８、４１８は、前記開閉用シリンダ４２０を駆動するこ
とにより、前記ガイドレール４１６上を互いに逆方向に
移動する。そしてこの結果、一対のアーム４１８、４１
８の間隔が可変する。

【０１５６】なお、このアーム４１８、４１８の移動範
囲は、前記ベースプレート４１４の両端部に設置された
第１ストッパ４２４、４２４と、前記ベースプレート４
１４の中央部近傍に設置された第２ストッパ４２６、４
２６によって規制される。前記一対のアーム４１４、４
１４の先端部には、軸受４２８、４２８を介して回転軸
４３０、４３０が回動自在に支持されている。この回転
軸４３０、４３０の一方端には、それぞれ反転アーム４
３２、４３２が固着されており、該反転アーム４３２、
４３２の先端部には、それぞれ爪４３４、４３４が固着
されている。この爪４３４、４３４には、インゴットＩ
ｎに接着されたマウンティングプレートＭの両端フラン
ジ部が嵌合する凹部４３４ａ、４３４ａが形成されてい
る。インゴットＩｎを把持する場合は、そのインゴット
Ｉｎに接着されたマウンティングプレートＭの両端フラ
ンジ部を前記一対の爪４３４、４３４に形成された凹部
４３４ａ、４３４ａに嵌め込み、その爪４３４、４３４
で両側から挟持することによって把持する。

【０１５７】前記回転軸４３０、４３０の他方端には、
ギア４３６、４３６が固着されており、該ギア４３６、
４３６には駆動ギア４３８、４３８が噛合されている。
この駆動ギア４３８、４３８は、前記開閉アーム４１
８、４１８の先端部に設けられた反転用モータ４４０、
４４０の出力軸に連結されており、この反転用モータ４
４０、４４０を駆動することにより、前記反転アーム４
３２、４３２が回転する。

【０１５８】前記反転アーム４３２、４３２の回転は、
前記アーム４１８、４１８に設置された一対のストッパ
ー４４２、４４２によって規制され、この結果、反転ア
ーム４３２、４３２は１８０度の範囲で回転する。イン
ゴット反転装置４００は、以上のように構成され、イン
ゴットＩｎに接着されたマウンティングプレートＭの両
端部を爪４３４、４３４で把持した状態で、反転アーム
４３２、４３２を１８０度回転させることにより、イン
ゴットＩｎの上下を反転させる。

【０１５９】次に、前記のごとく構成されたインゴット
反転装置４００を備えた第３の実施の形態のインゴット
マウント装置の作用について説明する。前述した第１及
び第２の実施の形態のインゴットマウント装置では、マ
ウンティングプレートＭが接着されたインゴットＩｎ
は、マニピュレータ１４によって搬出入部１２に搬送さ
れた後、図示しない搬送装置によってそのまま外部のワ
イヤソーや倉庫等に搬出されていた。

【０１６０】第３の実施の形態のインゴットマウント装
置では、マニピュレータ１４によって搬出入部１２に搬
送されたインゴットＩｎをインゴット反転装置４００に
よって上下反転させた後、図示しない搬送装置によって
外部のワイヤソーや倉庫等に搬出する。具体的には、以
下の通りである。マウンティングプレートＭが接着され
たインゴットＩｎがマニピュレータ１４によって搬出入
部１２のトレー３０上に載置されると、インゴットＩｎ
は、トレー３０ごと図示しない搬送手段（例えばコンベ
ア等）によって所定のインゴット反転位置（インゴット
反転装置４００の一対の反転アーム４３２、４３２の間
の位置）に搬送される。

【０１６１】インゴットＩｎが前記インゴット反転位置
に搬送されると、次いで、昇降用シリンダ４１０が駆動
されて昇降テーブル４０８が所定量下降する。この結
果、昇降用テーブル４０８が当初位置していた所定の待
機位置から所定のインゴット把持位置に移動する。昇降
用テーブル４０８が前記インゴット把持位置に移動する
と、一対の爪４３４、４３４がインゴットＩｎに接着さ
れたマウンティングプレートＭの両側部に位置するの
で、この状態で開閉用シリンダ４２０が駆動され、一対
の爪４３４、４３４が互いに近づく方向に移動する。こ
の結果、図３２（ａ）に示すように、爪４３４、４３４
に形成されている凹部４３４ａ、４３４ａにマウンティ
ングプレートＭの両端フランジ部が嵌合する。そして更
に、この一対の爪４３４、４３４によってマウンティン
グプレートＭが挟持される。

【０１６２】前記一対の爪４３４、４３４は一定圧でマ
ウンティングプレートＭを挟持し、該爪４３４、４３４
にマウンティングプレートＭが挟持されると、再び昇降
用シリンダ４１０が駆動されて昇降テーブル４０８が所
定の待機位置まで上昇する。そして、昇降テーブル４０
８が所定の待機位置に移動すると、反転用モータ４４
０、４４０が駆動されて、反転アーム４３２、４３２が
１８０度回転する。この結果、図３２（ｂ）に示すよう
に、インゴットＩｎが反転してマウンティングプレート
Ｍが上方に位置する。

【０１６３】インゴットＩｎが反転すると、昇降用シリ
ンダ４１０が駆動されて昇降テーブル４０８が所定のイ
ンゴット載置位置まで下降する。この結果、反転したイ
ンゴットＩｎがトレー３０上に載置される。インゴット
Ｉｎがトレー３０上に載置されると、開閉用シリンダ４
２０が駆動され、一対の爪４３４、４３４が互いに離れ
る方向に移動する。この結果、爪４３４、４３４に形成
されている凹部４３４ａ、４３４ａからマウンティング
プレートＭの両端フランジ部が外れ、爪４３４、４３４
によるマウンティングプレートＭの把持が解除される。
そして、爪４３４、４３４によるマウンティングプレー
トＭの把持が解除されると、再び昇降用シリンダ４１０
が駆動され、昇降テーブル４０８が所定の待機位置まで
上昇する。

【０１６４】一方、トレー３０上に載置されたインゴッ
トＩｎは、図示しない搬送手段によって装置本体１０の
搬出入部１２に搬送され、該搬出入部１２から図示しな
い搬送装置によって外部のワイヤソーや倉庫等に搬出さ
れる。このように、本実施の形態のインゴットマウント
装置では、インゴットＩｎを反転させた状態、すなわ
ち、マウンティングプレートＭを上方に位置させた状態
で、搬出入部１２から搬出することができる。このた
め、搬出時におけるインゴットＩｎの取り扱いが極めて
容易になる。

【０１６５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
自動でインゴットの結晶方位合わせを行ってインゴット
にスライスベースを介してマウンティングプレートを取
り付けることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態のインゴットマウント装置の
構成を示す正面図

【図２】第１の実施の形態のインゴットマウント装置の
構成を示す平面図

【図３】マニピュレータの構成を示す正面図

【図４】マニピュレータのハンド部の構成を示す正面断
面図

【図５】マニピュレータのハンド部の構成を示す側面断
面図

【図６】第１インゴット搬送装置の構成を示す側面図

【図７】第１インゴット搬送装置の構成を示す平面図

【図８】スライスベース接着装置の構成を示す正面図

【図９】スライスベース接着装置の構成を示す側面図

【図１０】スライスベース接着装置の要部を拡大した正
面図

【図１１】スライスベース接着装置の要部を拡大した側
面図

【図１２】スライスベース接着装置に備えられたすり合
わせ機構の構成を示す平面図

【図１３】第２インゴット搬送装置の構成を示す側面図

【図１４】第２インゴット搬送装置及びマウンティング
プレート接着装置の構成を示す平面図

【図１５】マウンティングプレート接着装置の構成を示
す正面図

【図１６】マウンティングプレート接着装置の構成を示
す側面図

【図１７】マウンティングプレート支持テーブルの構成
を示す正面図

【図１８】マウンティングプレート支持テーブルの構成
を示す側面図

【図１９】図１７のＡ−Ａ断面図

【図２０】第１の実施の形態のインゴットマウント装置
の作用の説明図（インゴットを二本接着する場合）

【図２１】第１の実施の形態のインゴットマウント装置
の作用の説明図（インゴットを二本接着する場合）

【図２２】第２の実施の形態のインゴットマウント装置
の構成を示す正面図

【図２３】第２の実施の形態のインゴットマウント装置
の構成を示す平面図

【図２４】確認測定装置の構成を示す正面図

【図２５】確認測定装置の構成を示す平面図

【図２６】第２の実施の形態のインゴットマウント装置
の作用の説明図（インゴットが一本の場合）

【図２７】第２の実施の形態のインゴットマウント装置
の作用の説明図（インゴットが二本の場合）

【図２８】第３の実施の形態のインゴットマウント装置
の構成を示す正面図

【図２９】第３の実施の形態のインゴットマウント装置
の構成を示す平面図

【図３０】インゴット反転装置の構成を示す正面図

【図３１】インゴット反転装置の構成を示す側面図

【図３２】第３の実施の形態のインゴットマウント装置
の作用の説明図

【図３３】インゴットの結晶方位の測定方法の説明図

【図３４】インゴットにマウンティングプレートを接着
する方法の説明図

【符号の説明】

１０…装置本体１０Ａ…本体フレーム１２…搬出入部１４…マニピュレータ１６…第１インゴット搬送装置１８…Ｘ線方位測定装置２０…スライスベース接着装置２２…第２インゴット搬送装置２４…マウンティングプレート接着装置２６…制御装置３００…確認測定装置４００…インゴット反転装置Ｉｎ…インゴットＳ…スライスベースＭ…マウンティングプレート

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インゴットにスライスベースを介してマ
ウンティングプレートを接着するインゴットマウント装
置において、装置本体には、インゴットの搬出入を行う搬出入部と、インゴットの結晶方位を測定する結晶方位測定手段と、前記インゴットを前記結晶方位測定手段の測定位置に搬
送するとともに、測定後、そのインゴットをスライスベ
ース接着位置に搬送する第１搬送手段と、前記結晶方位測定手段の測定結果から、前記インゴット
のインゴット軸に対する結晶軸の最大傾き角度λと、傾
き方向θを演算する演算手段と、前記第１搬送手段に設けられ、前記演算手段の演算結果
に基づいて、前記インゴットをインゴット軸回りにθ度
回転させる結晶方位調整手段と、前記第１搬送手段でスライスベース接着位置に搬送され
たインゴットの下面に前記スライスベースを接着するス
ライスベース接着手段と、前記スライスベースが接着されたインゴットをマウンテ
ィングプレート接着位置に搬送する第２搬送手段と、前記演算手段の演算結果に基づいて、前記マウンティン
グプレートを水平面上でλ度回転させるとともに、その
マウンティングプレートを前記マウンティングプレート
接着位置に搬送されたインゴットのスライスベースの下
面に接着するマウンティングプレート接着手段と、前記装置本体の天井部を走行して、前記搬出入部に搬入
されたインゴットを前記第１搬送装置上に搬送するとと
もに、前記スライスベース接着手段によってスライスベ
ースが接着されたインゴットを第２搬送手段上に搬送
し、前記マウンティングプレート接着手段によってマウ
ンティングプレートが接着されたインゴットを前記イン
ゴット搬出入部に搬送する第３搬送手段と、からなるこ
とを特徴とするインゴットマウント装置。
【請求項２】前記マウンティングプレートが接着され
たインゴットを前記結晶方位測定手段の測定位置に搬送
する第４搬送手段を備え、前記マウンティングプレート
接着手段によってマウンティングプレートが接着された
インゴットを前記第３搬送手段によって前記第４搬送手
段上に搬送し、該第４搬送手段で前記インゴットを前記
測定位置まで搬送して結晶方位を測定した後、前記イン
ゴットを前記第３搬送手段によって前記インゴット搬出
入部に搬送することを特徴とする請求項１記載のインゴ
ットマウント装置。
【請求項３】前記第４搬送手段は、前記マウンティン
グプレートを水平回転させて前記インゴットの前後を逆
転させる旋回機構を備えていることを特徴とする請求項
２記載のインゴットマウント装置。
【請求項４】前記マウンティングプレートが接着され
たインゴットの上下を反転させる反転手段を備えたこと
を特徴とする請求項１、２又は３記載のインゴットマウ
ント装置。
【請求項５】前記スライスベース接着手段は、前記イ
ンゴットの下面にスライスベースを押圧した状態で、前
記スライスベースを前記インゴットのインゴット軸に沿
って往復動させるすり合わせ機構を備えていることを特
徴とする請求項１記載のインゴットマウント装置。
【請求項６】前記マウンティングプレート接着手段
は、前記スライスベースの下面にマウンティングプレー
トを押圧した状態で、前記マウンティングプレートを揺
動させる揺動機構を備えていることを特徴とする請求項
１記載のインゴットマウント装置。