JP2003205517A - シリコンインゴットに対する取付ステー接着装置及び接着方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 １つの取付ステー上に複数のシリコンインゴ
ットを短時間に能率よく接着することができるシリコン
インゴットに対する取付ステー接着装置及び接着方法を
提供する。 【解決手段】 トレー２２上に載置されたシリコンイン
ゴット２３を搬入するとともに、取付ステー３６の接着
及び養生後のシリコンインゴット２３を搬出する搬入・
搬出機構４９を設ける。搬入されたシリコンインゴット
２３をトレー２２から分離させて送り出すとともに、取
付ステー３６の接着及び養生後のシリコンインゴット２
３をトレー２２上に載置する分離・載置機構６２を設け
る。後続のシリコンインゴット２３を先行のシリコンイ
ンゴット２３と組み合わせて取付ステー３６に同時に接
着する接着機構５０を設ける。シリコンインゴット２３
と取付ステー３６との接着状態を養生する養生機構６４
を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えばシリコン
インゴットをワイヤソーに搬入する場合の前処理工程と
して、シリコンインゴットの外周面に中間ステー及び取
付ステーを接着する際に具体化されるシリコンインゴッ
トに対する取付ステーの接着装置及び接着方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種のシリコンインゴットに対
するステー接着システムとしては、例えば特開平１０−
３２９１３３号公報に開示されるような構成が知られて
いる。この従来構成では、シリコンインゴットが搬送台
車に支持された状態で搬送されて、方位測定装置と対応
する測定基準位置に位置決め固定される。この状態で、
方位測定装置によりシリコンインゴットの端面にＸ線が
照射され、その反射Ｘ線にてシリコンインゴットの結晶
方位が測定される。そして、この結晶方位の測定データ
に基づいて、シリコンインゴットの円周方向における第
１の方位調整が行われ、この状態で中間ステー接着装置
によりシリコンインゴットにカーボン製の中間ステーが
接着される。その後、シリコンインゴットの水平方向に
おける第２の方位調整が行われ、この状態で取付ステー
接着装置により中間ステーに金属製の取付ステーが接着
されるようになっている。

【０００３】また、同公報の図２５〜図２９には、１つ
の取付ステーに複数のシリコンインゴットを接着するよ
うに構成した取付ステー接着装置が開示されている。す
なわち、この従来装置では、回転支持板上のクランプ台
に取付ステーが支持された状態で、クランプ台の移動に
より回転支持板の回転軸線上に取付ステーの１番目のス
テー接着位置が配置される。この状態で、１番目のシリ
コンインゴットが取付ステー上の接着位置に搬送され、
回転支持板の回動によりそのシリコンインゴットが回転
支持板に対して水平方向に方位調整されながら、取付ス
テーの１番目のステー接着位置に接着される。

【０００４】その後、クランプ台の移動により回転支持
板の回転軸線上に取付ステーの２番目のステー接着位置
が配置される。この状態で、２番目のシリコンインゴッ
トが取付ステー上の接着位置に搬送され、回転支持板の
回動によりそのシリコンインゴットが回転支持板に対し
て水平方向に方位調整されながら、取付ステーの２番目
のステー接着位置に接着されるようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、前述し
た従来の取付ステー接着装置では、取付ステー上へのシ
リコンインゴットの搬送、取付ステーに対するシリコン
インゴットの方位調整及び接着が、複数のシリコンイン
ゴットについて順次各別に行われるようになっている。
このため、１つの取付ステー上に複数のシリコンインゴ
ットを接着するのに時間がかかって、作業能率の低下を
招くという問題があった。

【０００６】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的
は、１つの取付ステー上に複数のシリコンインゴットを
短時間に能率よく接着することができるシリコンインゴ
ットに対する中間ステー接着装置及び接着方法を提供す
ることにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載のシリコンインゴットに対する取
付ステー接着装置に係る発明は、トレー上に載置された
シリコンインゴットを搬入するための搬入部と、そのシ
リコンインゴットをトレーから分離させるための分離部
と、後続のシリコンインゴットを先行のシリコンインゴ
ットと組み合わせるとともに、それぞれのシリコンイン
ゴットの方位合わせを同時に行って同一の取付ステーに
接着するための接着部と、シリコンインゴットと取付ス
テーとの接着状態を養生するための養生部と、養生され
たシリコンインゴットをトレー上に再び載置させるため
の載置部と、トレー上に載置されたシリコンインゴット
を搬出するための搬出部とを備えたことを特徴とするも
のである。

【０００８】従って、この請求項１に記載の発明によれ
ば、接着部において先行のシリコンインゴットと後続の
シリコンインゴットとが組み合わされて、取付ステーに
対して同時に方位合わせが行われて同時に接着される。
よって、１つの取付ステーに複数のシリコンインゴット
を接着するのに要する時間を短縮することができて、作
業能率を向上させることができる。

【０００９】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、先行のインゴット分離後のトレーが搬
出部から払い出されるとともに、後続のインゴット分離
後のトレーが分離部において保持され、載置部において
養生後のシリコンインゴットが前記保持されたトレー上
に再び載置されるように、分離部及び載置部を制御する
ようにした制御手段を設けたことを特徴とするものであ
る。

【００１０】従って、この請求項２に記載の発明によれ
ば、先行のシリコンインゴットと後続のシリコンインゴ
ットとを１つの取付ステーに接着して養生した後に、そ
の養生後のシリコンインゴットを１つのトレーに再び載
置して搬出部から搬出することができる。よって、前記
請求項１と同様な作用を得ることができる。

【００１１】請求項３に記載の発明は、請求項１または
請求項２に記載の発明において、前記搬入部、分離部、
載置部及び搬出部は同一位置に配設されていることを特
徴とするものである。

【００１２】従って、この請求項３に記載の発明によれ
ば、搬入部、分離部、載置部及び搬出部を広い場所を取
ることなく集中配置することができて、取付ステー接着
装置の全体構成を小型化することができる。

【００１３】請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求
項３のうちのいずれか一項に記載の発明において、前記
接着部及び養生部は同一位置に配設されていることを特
徴とするものである。

【００１４】従って、この請求項４に記載の発明によれ
ば、接着部及び養生部を広い場所を取ることなく集中配
置することができて、取付ステー接着装置の構成を小型
化することができるとともに、取付ステーの接着後のシ
リコンインゴットを養生部へ搬送することなく直ちに養
生することができる。よって、接着状態の養生前、すな
わち接着剤の未硬化状態においてシリコンインゴットが
動かされることはなく、シリコンインゴットと取付ステ
ーとの位置関係を正確に保持したままそれらを接着でき
る。

【００１５】請求項５に記載の発明は、請求項２〜請求
項４のうちのいずれか一項に記載の発明において、前記
制御手段は、一対のシリコンインゴットを取付ステーに
対して同時に方位合わせしながら接着させるように接着
部を制御することを特徴とするものである。

【００１６】従って、この請求項５に記載の発明によれ
ば、取付ステーに対する一対のシリコンインゴットの方
位合わせ及び接着を同時に能率よく行うことができる。
請求項６に記載の発明は、請求項１〜請求項５のうちの
いずれか一項に記載の発明において、前記接着部は、一
対のシリコンインゴットをそれぞれ把持した状態で、シ
リコンインゴットの軸線と直交する垂直方向の一軸線を
中心に回動させる２組の把持部材を有することを特徴と
するものである。

【００１７】従って、この請求項６に記載の発明によれ
ば、一対のシリコンインゴットを２組の把持部材により
把持した状態で、取付ステーに対して各別に水平方向の
方位合わせをシリコンインゴットごとに行うことができ
る。よって、各シリコンインゴットに対する方位合わせ
を正確に行うことができる。

【００１８】請求項７に記載の発明は、請求項６に記載
の発明において、前記各組の把持部材は、共通軸線を中
心にして回動されることを特徴とするものである。従っ
て、この請求項７に記載の発明によれば、２組の把持部
材を１つの軸線上に配置することができて、把持部材の
支持構造をコンパクトすることが可能になり、装置全体
の小型化に寄与できる。

【００１９】請求項８に記載の発明は、請求項１〜請求
項７のうちのいずれか一項に記載の発明において、前記
接着部に取付ステーを１個ずつ送り出すための取付ステ
ー送出部を備えたことを特徴とするものである。

【００２０】従って、この請求項８に記載の発明によれ
ば、取付ステーとシリコンインゴットとの接着に連動し
て、取付ステー送出部から接着部に取付ステーを１個ず
つ自動的に供給することができて、作業能率を一層向上
させることができる。

【００２１】請求項９に記載の発明は、請求項２〜請求
項８のうちのいずれか一項に記載の発明において、前記
制御手段は、長さの短い一対のシリコンインゴットが連
続して搬入部に搬入されるように、シリコンインゴット
の搬入順序を制御することを特徴とするものである。

【００２２】従って、この請求項９に記載の発明によれ
ば、シリコンインゴットの長さデータに基づいて、長さ
の短い一対のシリコンインゴットを連続的に搬入して、
それらのシリコンインゴットをセットとして１つの取付
ステーに確実に接着することができ、取付ステーに対し
て１つの短いシリコンインゴットを接着するような無駄
を省くことができる。

【００２３】請求項１０に記載のシリコンインゴットに
対する取付ステー接着方法に係る発明は、先行のトレー
上に載置された先行のシリコンインゴットを搬入し、そ
のシリコンインゴットを先行のトレーから分離させて接
着部に送り出した後、先行のトレーを払い出し、さらに
後続のトレー上に載置された後続のシリコンインゴット
を搬入し、そのシリコンインゴットを後続のトレーから
分離させて接着部に送り出した後、後続のトレーを保持
し、先行のシリコンインゴットと後続のシリコンインゴ
ットとを組み合わせてそれぞれ方位合わせした状態で同
一の取付ステーに同時に接着して、その接着状態を養生
し、養生後のシリコンインゴットを前記保持された後続
のトレー上に載置して搬出することを特徴とするもので
ある。

【００２４】従って、この請求項１０に記載の発明によ
れば、前記請求項１に記載の発明の作用と同様の作用を
得ることができる。

【００２５】

【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下に、この発
明の第１実施形態を、図１〜図２０に基づいて説明す
る。

【００２６】図１に示すように、この実施形態のシリコ
ンインゴットのステー接着システムにおいては、工場等
の床面に複数のラック２１が設置され、その各ラック２
１にはそれぞれ複数の棚２１ａが水平方向及び垂直方向
に区画形成されている。そして、これらの棚２１ａ内に
は空の搬送用トレー２２、ステー接着前のシリコンイン
ゴット２３を支持した搬送用トレー２２、及びステー接
着後のシリコンインゴット２３を支持した搬送用トレー
２２が収納されるようになっている。

【００２７】前記ラック２１の両側には、第１搬送装置
２４及び第２搬送装置２５が敷設され、その第２搬送装
置２５の両端には第３搬送装置２６及び第４搬送装置２
７が連設されている。そして、これらの搬送装置２４〜
２７によって構成される搬送路に沿って、空のトレー２
２、ステー接着前のシリコンインゴット２３を支持した
トレー２２、またはステー接着後のシリコンインゴット
２３を支持したトレー２２が搬送される。

【００２８】前記第１搬送装置２４の端部にはインゴッ
ト搬入装置２８が配設され、このインゴット搬入装置２
８にはパーソナルコンピュータよりなるデータ入力装置
２９が付設されている。そして、前記ラック２１の所定
の棚２１ａから空のトレー２２が取り出されて、第１搬
送装置２４によりインゴット搬入装置２８に搬送され、
そのトレー２２上にシリコンインゴット２３が搬入支持
される。この場合、作業者により操作されるデータ入力
装置２９から、図１８に示すホストコンピュータよりな
る制御手段としての制御装置３０に対して、シリコンイ
ンゴット２３の種類及び長さ寸法等のデータが出力され
る。また、シリコンインゴット２３を支持したトレー２
２は、第１搬送装置２４によりラック２１の所定の棚２
１ａに戻される。

【００２９】前記第３搬送装置２６の往路２６ａには、
シリコンインゴット２３を、後述するワイヤソー３７に
搬入する前処理工程を行うために、方位測定装置３１、
中間ステー接着装置３２、第１取付ステー接着装置３３
及び第２取付ステー接着装置３４が長手方向に沿って適
当な間隔おきに配列されている。そして、ステー接着前
のシリコンインゴット２３を支持したトレー２２がラッ
ク２１の所定の棚２１ａから取り出され、第２搬送装置
２５を介して第３搬送装置２６の往路２６ａ上に搬入さ
れて、その第３搬送装置２６により搬送される。さら
に、このシリコンインゴット２３の往路２６ａの搬送途
中において、シリコンインゴット２３が前記各装置３１
〜３４内に引き込まれる。

【００３０】そして、前記各装置３１〜３４により、シ
リコンインゴット２３の結晶方位を測定する工程と、こ
の測定結果に基づいてシリコンインゴット２３の外周面
に中間ステー３５を接着する工程と、この中間ステー３
５に前記ワイヤソー３７へ取り付けるための取付ステー
３６を接着する工程とが行われる。また、シリコンイン
ゴット２３に対してこれらの工程が行われる場合、シリ
コンインゴット２３は、各装置３１〜３４に搬入される
際に、トレー２２から分離されるが、各工程終了後の各
装置３１〜３４からの搬出時には、搬入時と同じトレー
２２上に再び支持される。

【００３１】すなわち、方位測定装置３１においては、
シリコンインゴット２３の結晶方位が測定される。中間
ステー接着装置３２においては、前記方位測定装置３１
による測定結果に基づいてシリコンインゴット２３の円
周方向における第１の方位調整を行った後、図５に示す
ように、シリコンインゴット２３の周面に対してカーボ
ンまたはレジンプレート等の中間ステー３５が接着され
る。さらに、第１取付ステー接着装置３３または第２取
付ステー接着装置３４においては、前記方位測定装置３
１による測定結果に基づいてシリコンインゴット２３の
水平方向における第２の方位調整を行った後、図６に示
すように、中間ステー３５に対して取付ステー３６が接
着される。この取付ステー３６は、シリコンインゴット
２３をワイヤソー３７に装着保持するために用いられ、
ワイヤソー３７の支持部に対し、所定角度位置に取り付
けられる取付金具でなる。

【００３２】この場合、シリコンインゴット２３は同一
の種類（大きさ及び形状が同一）のトレー２２に支持さ
れた状態で、各装置３１〜３４との対応位置へ順に搬送
される。また、中間ステー３５及び取付ステー３６のス
テー接着後のシリコンインゴット２３を支持したトレー
２２が第３搬送装置２６の復路２６ｂ上を搬送される途
中で、再度方位測定装置３１に引き込まれる。そして、
この方位測定装置３１によりシリコンインゴット２３の
結晶方位が取付ステー３６を基準にして再測定される。
その後、ステー接着後のシリコンインゴット２３を支持
したトレー２２は、第２搬送装置２５を介してラック２
１の所定の棚２１ａに戻される。

【００３３】前記第４搬送装置２７には複数のワイヤソ
ー３７が所定の間隔おきに並設されている。そして、ス
テー接着後のシリコンインゴット２３を支持したトレー
２２がラック２１の所定の棚２１ａから取り出され、第
２搬送装置２５及び第４搬送装置２７を介して各ワイヤ
ソー３７に搬入される。各ワイヤソー３７においては、
シリコンインゴット２３がトレー２２上から取り外され
て、取付ステー３６を介して所定の加工位置に装着保持
され、シリコンインゴット２３に対して切断加工が施さ
れる。また、空になったトレー２２は、第４搬送装置２
７及び第２搬送装置２５を介してラック２１の所定の棚
２１ａに戻される。

【００３４】次に、前記第３搬送装置２６に沿って配列
された各装置３１〜３４について詳細に説明する。図２
に示すように、前記方位測定装置３１には、トレー搬入
・搬出機構３９、インゴット旋回機構４０、及び方位測
定機構４１が設けられている。そして、ステー接着前ま
たはステー接着後のシリコンインゴット２３を支持した
トレー２２が第３搬送装置２６の往路２６ａまたは復路
２６ｂからトレー搬入・搬出機構３９に搬入される。そ
の後、トレー２２をトレー搬入・搬出機構３９に留め置
いた状態で、シリコンインゴット２３がインゴット旋回
機構４０を介して方位測定機構４１に移送され、シリコ
ンインゴット２３は、その外周のノッチ２３ａを基準と
して測定位置に位置決めされる。この方位測定機構４１
においては、回転可能なＸ線測定器３１ａから前記位置
決めされたシリコンインゴット２３の端面にＸ線が照射
され、その反射Ｘ線にてシリコンインゴット２３の結晶
方位が測定されて、その方位測定データが前記制御装置
３０に対して出力される。

【００３５】そして、この方位測定データに基づいて前
記制御装置３０において、シリコンインゴット２３の円
周方向の方位調整データと水平方向の方位調整データが
演算され格納される。また、この方位測定後のシリコン
インゴット２３は、トレー搬入・搬出機構３９のトレー
２２上に支持されて、そのトレー２２とともに第３搬送
装置２６の往路２６ａまたは復路２６ｂに搬出される。

【００３６】なお、図８に示すように、１つの取付ステ
ー３６に対し２つの短いシリコンインゴット２３が接着
された後の各シリコンインゴット２３の結晶方位を再測
定する場合には、一方のシリコンインゴット２３におけ
る結晶方位の測定後に、インゴット旋回機構４０におい
てターンテーブル４０ａにより、シリコンインゴット２
３が１８０度旋回される。この旋回により、他方のシリ
コンインゴット２３の端面がＸ線測定器３１ａに対向配
置され、この状態で方位測定機構４１に移送されて、他
方のシリコンインゴット２３の結晶方位が測定される。

【００３７】前記中間ステー接着装置３２には、トレー
搬入機構４２、方位調整機構４３、中間ステー接着機構
４４、２つのインゴット養生機構４５，４６、トレー搬
出機構４７、及びトレー保管機構４８が設けられてい
る。そして、方位測定後のシリコンインゴット２３を支
持したトレー２２が第３搬送装置２６からトレー搬入機
構４２に搬入される。その後、トレー搬入機構４２で、
シリコンインゴット２３がトレー２２上から分離される
とともに、空になったトレー２２はトレー保管機構４８
に送られて一時的に保管される。また、トレー２２上か
ら分離されたシリコンインゴット２３は方位調整機構４
３に移送される。トレー保管機構４８においては、送ら
れてきた空のトレー２２を収容する複数のトレー収容部
を有している。そして、送り込まれ、収容した順に従
い、養生終了して搬出されるシリコンインゴット２３に
対し、搬入時に載置されていたときと同じトレー２２が
組み合わせられるように、トレー搬出機構４７へ順にト
レー２２を送り出すようになっている。

【００３８】前記方位調整機構４３においては、図２及
び図５に示すように、回転ローラ４３ａによりシリコン
インゴット２３が自身の軸線の周りに回転されて、その
外周のノッチ２３ａを基準にして、前記制御装置３０か
ら送られる円周方向の方位調整データにより、第１の方
位調整が行われる。また、中間ステー接着機構４４にお
いては、第１の方位調整後におけるシリコンインゴット
２３の周面に中間ステー３５が接着される。

【００３９】そして、中間ステー３５の接着後のシリコ
ンインゴット２３は、各インゴット養生機構４５，４６
において所定時間ずつ、例えば１０分間ずつ待機状態で
養生される。その後、トレー搬出機構４７において、シ
リコンインゴット２３は、トレー保管機構４８から送り
出されて来たトレー２２上に再度支持されて、第３搬送
装置２６に搬出される。

【００４０】前記各取付ステー接着装置３３，３４に
は、搬入部及び搬出部を兼用するトレー搬入・搬出機構
４９及び接着部としての方位調整・取付ステー接着機構
５０が設けられている。そして、中間ステー接着後のシ
リコンインゴット２３を支持したトレー２２が第３搬送
装置２６から両取付ステー接着装置３３，３４に交互に
または２個連続して搬入される。すなわち、トレー２２
が一方の取付ステー接着装置３３，３４のトレー搬入・
搬出機構４９に搬入されると、シリコンインゴット２３
がトレー２２から分離されて方位調整・取付ステー接着
機構５０に移送されるとともに、トレー２２がトレー搬
入・搬出機構４９で留め置かれる。

【００４１】この方位調整・取付ステー接着機構５０に
おいては、図７に示すように、前記制御装置３０から送
られる水平方向の方位調整データにより、シリコンイン
ゴット２３が取付ステー３６の上面位置で中間ステー３
５とともに上下方向に延びる所定の軸線を中心に回動さ
れて、第２の方位調整が行われる。その後、シリコンイ
ンゴット２３は、中間ステー３５の下面にて取付ステー
３６に接着される。そして、この状態でシリコンインゴ
ット２３は、所定時間、例えば２０分間だけ待機状態で
養生された後、トレー搬入・搬出機構４９において、同
じトレー２２上に再度支持されて、第３搬送装置２６に
搬出される。

【００４２】一方、図８に示すように、シリコンインゴ
ット２３の長さが短く、１枚のステー３６に２個接続可
能な場合には、トレー搬入・搬出機構４９に搬入された
先行のトレー２２上から分離されてシリコンインゴット
２３が方位調整・取付ステー接着機構５０に移送された
後、先行の分離後の空のトレー２２が第３搬送装置２６
に搬出される。この状態で、後続する短いシリコンイン
ゴット２３を支持した後続のトレー２２がトレー搬入・
搬出機構４９に搬入され、その後続のシリコンインゴッ
ト２３が後続のトレー２２上から分離されて方位調整・
取付ステー接着機構５０に移送される。

【００４３】その後、両シリコンインゴット２３がそれ
ぞれの第２の方位調整データによって前述した上下方向
軸線を中心にして水平方向に回動され、第２の方位調整
が行われる。この状態で、それらのシリコンインゴット
２３は中間ステー３５において１枚の取付ステー３６上
に同時に接着される。そして、一定時間待機状態で養生
された後、トレー搬入・搬出装置４９に保持された後続
インゴット用のトレー２２上に支持されて、第３搬送装
置２６に搬出される。

【００４４】次に、前記シリコンインゴット２３のステ
ー接着システムで使用される搬送用トレー２２の構成に
ついて詳細に説明する。図３及び図４に示すように、ト
レー２２の基板５２は中央に透孔５２ａを有するほぼ四
角枠状に形成され、その上面にはナイロン等の合成樹脂
よりなる一対の支持バー５３が複数の取付脚５４を介し
て平行に延長配置されている。両支持バー５３の上端面
には、傾斜面状の第１支持部５３ａ、段差状の第２支持
部５３ｂ、及び平面状の第３支持部５３ｃが内側から外
側にかけて形成されている。また、第１支持部５３ａ、
第２支持部５３ｂ及び第３支持部５３ｃは、外側のもの
ほど高所に位置している。両支持バー５３の一対の第１
支持部５３ａは、その傾斜面でＶ字状の支持面を形成し
ている。

【００４５】そして、図４に示すように、トレー２２上
に中間ステー３５の接着前のシリコンインゴット２３を
支持する場合には、そのシリコンインゴット２３の外周
面が両支持バー５３の第１支持部５３ａに受けられる。
また、図５に示すように、トレー２２上に中間ステー３
５の接着後のシリコンインゴット２３を支持する場合に
は、中間ステー３５の両端縁が両支持バー５３の第２支
持部５３ｂに係合される。さらに、図６に示すように、
トレー２２上に取付ステー３６の接着後のシリコンイン
ゴット２３を支持する場合には、取付ステー３６の両端
部が両支持バー５３の第３支持部５３ｃに受けられる。

【００４６】前記基板５２の両側面には、ゴム等よりな
る各一対の緩衝部材５５が取り付けられている。そし
て、空のトレー２２あるいはシリコンインゴット２３を
支持したトレー２２が前記各搬送装置２４〜２７を介し
て各装置３１〜３４，３７に搬送される際に、これら緩
衝部材５５により、トレー２２が他の部材との衝突によ
って衝撃を受けるのが緩和される。

【００４７】図３及び図４に示すように、前記複数の取
付脚５４のうちの中央に位置する一対の取付脚５４の外
側面には識別子としてのバーコード５６が付設されてい
る。また、トレー２２の前後側の側面においても同じバ
ーコード５６が付設され、従ってトレー２２の４方向に
おいてバーコード５６の読み取りを可能としている。そ
して、このバーコード５６により、各シリコンインゴッ
ト２３に対してトレー２２ごとに絶対番地が設定されて
いる。

【００４８】図１及び図２に示すように、前記方位測定
装置３１、中間ステー接着装置３２、取付ステー接着装
置３３，３４の搬入側及び搬出側、インゴット搬入装置
２８、及び各搬送装置２４〜２７の適所には、バーコー
ド読取センサ５７が配置されている。そして、方位測定
装置３１、中間ステー接着装置３２、取付ステー接着装
置３３，３４に搬入されるシリコンインゴット２３、及
び各装置おいて方位測定やステー接着等の工程処理を終
了したシリコンインゴット２３のトレー２２上のバーコ
ード５６がこのバーコード読取センサ５７により読み取
られる。この読み取りに基づいて、各工程処理の有無、
現在位置等を示すデータが前記制御装置３０に対して出
力される。

【００４９】また、空のトレー２２、ステー接着前のシ
リコンインゴット２３を支持したトレー２２あるいはス
テー接着後のシリコンインゴット２３を支持したトレー
２２が搬送装置２４〜２７に沿って搬送される際に、前
記各搬送装置２４〜２７の適所のバーコード読取センサ
５７から、トレー２２の搬送位置等を示すデータが前記
制御装置３０に対して出力される。

【００５０】さらに、前記ラック２１の各棚２１ａにも
バーコード読取センサ５７がそれぞれ配設されている。
そして、これらのバーコード読取センサ５７によりトレ
ー２２のバーコード５６が読み取られて、トレー２２の
収納棚位置を示すデータが制御装置３０に出力される。
また、前記制御装置３０は、前記ラック２１からトレー
２２を搬出する際に、各トレー２２のバーコード５６か
らシリコンインゴット２３の長さデータを読み取り、シ
リコンインゴット２３の長さが所定値より長く、取付ス
テー３６に対して１個取り接着するものと、シリコンイ
ンゴット２３の長さが所定値より短く、取付ステー３６
に対して２個取り接着可能とするものとを判別し、２個
取り接着可能とするものを連続搬送するように制御す
る。このとき、２個連続搬送される先行の短いインゴッ
ト２３のトレー２２に対し、後続のインゴットデータを
追加しておく。これによって、２個取りの先行インゴッ
トを識別できるようになっている。

【００５１】次に、前記取付ステー接着装置３３，３４
の構成について詳細に説明する。図９に示すように、前
記トレー搬入・搬出機構４９及び方位調整・取付ステー
接着機構５０は、フレーム６１上に第３搬送装置２６の
延長方向と直交する方向に沿って並設されている。トレ
ー搬入・搬出機構４９と同一位置に配置されるように、
フレーム６１上には分離部及び載置部を兼用する分離・
載置機構６２が装設されている。そして、トレー２２に
支持された状態でトレー搬入・搬出機構４９に搬入され
たシリコンインゴット２３が、この分離・載置機構６２
においてトレー２２から分離されて、方位調整・取付ス
テー接着機構５０に向かって送り出される。

【００５２】このとき、トレー２２のバーコード５６の
読み取り結果から、シリコンインゴット２３が１個取り
接着のものである長い場合には、インゴット分離後のト
レー２２が分離・載置機構６２に留め置かれ、取付ステ
ー３６の接着及び接着状態の養生が終了した後のシリコ
ンインゴット２３が、同一のトレー２２上に再び載置さ
れる。これに対して、シリコンインゴット２３が２個取
り接着の先行のものである場合には、インゴット分離後
の先行のトレー２２がトレー搬入・搬出機構４９から第
３搬送装置２６に搬出される。

【００５３】また、前述のように、前記制御装置３０に
より、ラック２１からのシリコンインゴット２３の送り
出し順序が制御されて、先行の短いシリコンインゴット
２３に組み合わせ可能な短いシリコンインゴットが後続
してトレー搬入・搬出機構４９に搬入される。そして、
この後続のシリコンインゴット２３についても、分離・
載置機構６２においてト後続のレー２２から分離され
て、方位調整・取付ステー接着機構５０に送り出され
る。さらに、インゴット分離後の後続のトレー２２は分
離・載置機構６２に留め置かれて、取付ステー３６の接
着及び養生後のシリコンインゴット２３が、前記後続の
トレー２２上に載置される。一方、先行のシリコンイン
ゴット２３を支持していた先行のトレー２２は、シリコ
ンインゴット２３と分離された後に、第３搬送装置２６
に払い出され、その第３搬送装置２６からラック２１に
戻される。

【００５４】前記方位調整・取付ステー接着機構５０に
後続して隣接するように、フレーム６１上には取付ステ
ー送出部としての取付ステー送出機構６３が配設されて
いる。そして、方位調整・取付ステー接着機構５０にお
いて、シリコンインゴット２３が取付ステー３６に方位
調整しながら接着される際に、この取付ステー送出機構
６３から方位調整・取付ステー接着機構５０に取付ステ
ー３６が１個ずつ送り出される。

【００５５】前記方位調整・取付ステー接着機構５０と
同一位置に配置されるように、フレーム６１上には養生
部としての養生機構６４が設けられている。そして、方
位調整・取付ステー接着機構５０において、シリコンイ
ンゴット２３が取付ステー３６に接着された後、この養
生機構６４において、シリコンインゴット２３が接着状
態に養生される。

【００５６】次に、前記取付ステー接着装置３３，３４
の各機構の構成及び動作についてさらに詳細に説明す
る。図９〜図１１に示すように、前記トレー搬入・搬出
機構４９においては、フレーム６１上に一対の移送レー
ル６６がトレー搬入・搬出機構４９から方位調整・取付
ステー接着機構５０にわたって延長配置されている。そ
れらの移送レール６６には複数のローラ６６ａが傾斜状
態で配列されている。移送レール６６の図９及び図１０
の左側方において、フレーム６１上には移送板６７が移
送レール６６の延長方向に沿って移動可能に配設され、
移動用モータ６８によりボールネジ６９を介して移動さ
れるようになっている。移送板６７上には支持板７０が
移送板６７の移動方向と直交する方向へ移動可能に支持
され、移動用シリンダ７１により移動される。

【００５７】前記支持板７０の一端上面には固定送りア
ーム７２が配設され、その先端には把持部７２ａが設け
られている。支持板７０の他端上面には可動送りアーム
７３が固定支持アーム７２と接離する方向へ移動可能に
配設され、接離用モータ７４によりボールネジ７５を介
して移動されるようになっている。また、可動送りアー
ム７３の先端には、把持部７３ａが把持用シリンダ７６
を介して可動送りアーム７３の移動方向と同方向へ移動
可能に支持されている。

【００５８】そして、前記トレー搬入・搬出機構４９に
おいて、分離・載置機構６２によりシリコンインゴット
２３がトレー２２から分離されて移送レール６６上に支
持されたとき、移送板６７がトレー搬入・搬出機構４９
と対応する位置に移動される。この場合には、支持板７
０が図９及び図１０の左側に移動されて、両送りアーム
７２，７３が移送レール６６上から左側外方に退避され
るとともに、可動送りアーム７３が固定送りアーム７２
から離間した位置に配置されている。

【００５９】この状態で、支持板７０が移動用シリンダ
７１により図９及び図１０の右側に移動され、両送りア
ーム７２，７３がシリコンインゴット２３の両端面にそ
れぞれ対向配置される。その後、可動送りアーム７３が
接離用モータ７４により固定送りアーム７２と接近する
方向に移動され、両アーム７２，７３の把持部７２ａ，
７３ａがシリコンインゴット２３の両端面に当接され
る。さらに、可動送りアーム７３の把持部７３ａが把持
用シリンダ７６によりシリコンインゴット２３の端面に
向かって押圧移動され、両把持部７２ａ，７３ａ間でシ
リコンインゴット２３が把持される。そして、この把持
状態で移送板６７が図９及び図１０の下方に移動される
ことにより、シリコンインゴット２３が移送レール６６
に沿って、ローラ６６ａによりトレー搬入・搬出機構４
９から方位調整・取付ステー接着機構５０に移送され
る。

【００６０】図９及び図１０に示すように、前記両移送
レール６６間において、トレー搬入・搬出機構４９と方
位調整・取付ステー接着機構５０との間のフレーム６１
上には複数のローラ７７ａを有する一対の案内レール７
７が移送レール６６と同方向に延長配置されている。そ
して、方位調整・取付ステー接着機構５０において、取
付ステー３６の接着及び養生を終了したシリコンインゴ
ット２３が両送りアーム７２，７３間に把持されてトレ
ー搬入・搬出機構４９に移送される際に、この案内レー
ル７７のローラ７７ａにより取付ステー３６の下面が支
持される。

【００６１】図９〜図１１に示すように、前記分離・載
置機構６２においては、トレー搬入・搬出機構４９の両
移送レール６６の内側に位置するように、フレーム６１
上には複数のローラ７８ａを有する前後各一対のステー
案内レール７８が昇降可能に配設され、昇降用シリンダ
７９により昇降されるようになっている。ステー案内レ
ール７８に対応して両移送レール６６の外側に位置する
ように、フレーム６１上には複数のローラ８０ａを有す
る一対のトレー用昇降レール８０が昇降可能に配設さ
れ、図示しない昇降用シリンダにより昇降されるように
なっている。

【００６２】そして、中間ステー３５の接着後における
取付ステー接着装置３３，３４へのシリコンインゴット
２３の搬入時には、ステー案内レール７８が下方退避位
置に配置されるとともに、トレー用昇降レール８０が上
方位置に配置されている。この状態で、図示しない取り
込み機構により、第３搬送装置２６からトレー搬入・搬
出機構４９のトレー用昇降レール８０上にトレー２２に
支持された状態のシリコンインゴット２３が搬入され
る。このとき、移送レール６６のローラ６６ａがシリコ
ンインゴット２３の下部に対向する。その後、トレー用
昇降レール８０が上方位置から下降されることにより、
シリコンインゴット２３がトレー２２から分離されて移
送レール６６のローラ６６ａ上に支持されるとともに、
インゴット分離後のトレー２２が下方位置にあるトレー
用昇降レール８０上に留め置かれる。

【００６３】また、取付ステー３６の接着・養生後のシ
リコンインゴット２３の搬出時には、トレー２２を支持
したトレー用昇降レール８０が下方位置に配置されてお
り、ステー案内レール７８がトレー２２の中央の透孔５
２ａを通して上方位置に突出配置されている。この状態
で、取付ステー３６を接着した状態のシリコンインゴッ
ト２３がその取付ステー３６において両送りアーム７
２，７３間に把持されて、方位調整・取付ステー接着機
構５０からステー案内レール７８のローラ７８ａ上をト
レー搬入・搬出機構４９に移送されて来る。その後、ト
レー２２を留め置いた状態のトレー用昇降レール８０が
下方位置から上昇されるとともに、ステー案内レール７
８が下降することにより、シリコンインゴット２３がト
レー２２上に移し替えられて、トレー２２に載置され
る。そして、ステー案内レール７８が下方へ退避し、こ
のトレー２２がトレー用昇降レール８０上を介して、シ
リコンインゴット２３とともに図示しない払い出し機構
により、トレー搬入・搬出機構４９から第３搬送装置２
６に搬出される。

【００６４】図９及び図１２〜図１４に示すように、前
記取付ステー送出機構６３においては、フレーム６１上
に上下２段の取付ステー用ストッカ８１が装設されてい
る。各取付ステー用ストッカ８１には複数のローラ８２
ａを有する一対の支持レール８２が図９及び図１２の緩
い右下がりの傾斜状態で配設され、これらの支持レール
８２上には複数の取付ステー３６が隣接状態で搭載支持
されて、自重により右側方に移動されるようになってい
る。

【００６５】前記各取付ステー用ストッカ８１の右端部
には一対の爪部を有する係止爪８３が回動可能に配設さ
れ、回動用シリンダ８４により回動されるようになって
いる。そして、通常はこの係止爪８３の一方の爪部が最
右端の取付ステー３６に係合することにより、複数の取
付ステー３６が各取付ステー用ストッカ８１の支持レー
ル８２上で搭載状態に停止保持されている。また、この
状態で係止爪８３が回動用シリンダ８４にて往復回動さ
れることにより、支持レール８２側の先端に位置する１
つの取付ステー３６が支持レール８２上から右側方へ送
り出されるとともに、他の取付ステー３６の移動が阻止
されるようになっている。従って、係止爪８３の往復動
により、取付ステー３６が１つずつ支持レール８２の下
流側に移動される。

【００６６】前記各取付ステー用ストッカ８１の右側部
において、支持レール８２と連続可能に対応するよう
に、フレーム６１上には複数のローラ８５ａを有する一
対の昇降レール８５が昇降可能に配設され、昇降用シリ
ンダ８６により昇降されるようになっている。そして、
この昇降レール８５が昇降用シリンダ８６により、上段
または下段の取付ステー用ストッカ８１と対応する高さ
位置に移動された状態で、係止爪８３の往復回動により
それらのストッカ８１の支持レール８２上から１つの取
付ステー３６が送り出される。このため、取付ステー３
６が昇降レール８５上に支持されるようになっている。

【００６７】前記両昇降レール８５間において、フレー
ム６１上には複数の受渡しローラ８７が昇降レール８５
の延長方向と直交する前後方向に配列されている。受渡
しローラ８７の配列方向に連続して延びるように、フレ
ーム６１上には複数のローラ８８ａを有する一対の案内
レール８８が配設されている。そして、図１３に実線で
示すように、取付ステー３６を支持した昇降レール８５
が昇降用シリンダ８６にて、受渡しローラ８７よりも下
方の位置まで下降されることにより、取付ステー３６が
昇降レール８５上から受渡しローラ８７上に受け渡され
る。また、この状態で、作業者により、取付ステー３６
の接着面である上端面に接着剤が塗布される。

【００６８】前記フレーム６１上には平面形ほぼ横Ｕ字
状をなす移動部材８９が受渡しローラ８７の配列方向へ
移動可能に配設され、その両端アーム部には取付ステー
３６の両端面に当接可能な当接部８９ａが設けられてい
る。フレーム６１上にはロッドレスシリンダよりなる移
動用シリンダ９０が配設され、このシリンダ９０の作動
部に前記移動部材８９が連結されている。そして、図１
２に鎖線で示すように、移動部材８９が受渡しローラ８
７と対応する位置に移動された状態で、受渡しローラ８
７上に取付ステー３６が受け渡されることにより、取付
ステー３６が移動部材８９の両端当接部８９ａに対向し
た状態で移動部材８９内に配置される。その後、移動部
材８９が移動用シリンダ９０にて後方（図１２の上方）
に移動されることにより、取付ステー３６が案内レール
８８に沿って、取付ステー用ストッカ８１の位置から方
位調整・取付ステー接着機構５０の側方の送込み位置に
移動される。

【００６９】図１２、図１４及び図１５に示すように、
前記方位調整・取付ステー接着機構５０と対応する位置
において、フレーム６１上には支持部材９１が移動部材
８９の移動方向と直交する方向へ移動可能に配設され、
移動用シリンダ９２により移動されるようになってい
る。支持部材９１上には複数のローラ９３ａを有する一
対の保持プレート９３が昇降可能に配設され、昇降用シ
リンダ９４により昇降されるようになっている。

【００７０】そして、図１２に鎖線で示すように、支持
部材９１が方位調整・取付ステー接着機構５０の側方の
送込み位置に移動される。これとともに、保持プレート
９３が下方位置に配置された状態で、取付ステー３６が
移動部材８９にて送込み位置に移動されることにより、
取付ステー３６が保持プレート９３に挟まれた状態でそ
のローラ９３ａ上に保持される。その後、支持部材９１
が移動用シリンダ９２にて図１２の左側方に移動される
ことにより、取付ステー３６が送込み位置から方位調整
・取付ステー接着機構５０に送り込まれる。

【００７１】図９及び図１５〜図１７に示すように、前
記方位調整・取付ステー接着機構５０及び養生機構６４
においては、フレーム６１上の支持枠９５に正面形ほぼ
Ｖ字状をなす一対の把持アーム９６，９７が支軸９８を
介して回動可能に支持されている。この支軸９８は、垂
直方向の同一軸線上に位置するとともに、独立して回転
する一対の軸（図示しない）よりなり、両軸にそれぞれ
把持アーム９６，９７が固定されている。従って、把持
アーム９６，９７は、それぞれ単独で支軸９８を中心に
回動される。一方の把持アーム９６の両端には、一対の
第１把持部材９９が接離用シリンダ１００を介して接離
可能に対向配置されている。また、他方の把持アーム９
７の両端には、一対の第２把持部材１０１が接離用シリ
ンダ１０２を介して接離可能に対向配置されている。

【００７２】そして、トレー搬入・搬出機構４９に搬入
されたシリコンインゴット２３の長さが所定値よりも長
く、１個取り接着の場合には、そのシリコンインゴット
２３がシリコンインゴット移送用の前記送りアーム７
２，７３間に把持された状態で、方位調整・取付ステー
接着機構５０の中央位置まで移送される。この状態で、
図７に示すように、Ｖ字状をなす一方の把持アーム９６
の各第１把持部材９９が接離用シリンダ１００により接
近する方向に移動されて、シリコンインゴット２３が外
周両側から把持される。

【００７３】これに対して、トレー搬入・搬出機構４９
に搬入されたシリコンインゴット２３が２個取り接着の
先行のものである場合には、そのシリコンインゴット２
３がシリコンインゴット移送用の送りアーム７２，７３
間に把持された状態で、Ｖ字状をなす一方の把持アーム
９６の第１把持部材９９と対応する位置まで移送され
る。この状態で、図８及び図１７に示すように、各第１
把持部材９９が接離用シリンダ１００により接近する方
向に移動されて、シリコンインゴット２３が外周両側か
ら把持される。さらに、２個取り接着の後続するシリコ
ンインゴット２３が他の把持アーム９７の第２把持部材
１０１と対応する位置まで移送されて、先行のシリコン
インゴット２３と隣接配置される。この状態で、各第２
把持部材１０１が接離用シリンダ１０２により接近する
方向に移動されて、シリコンインゴット２３が外周両側
から把持される。

【００７４】そして、このシリコンインゴット２３の把
持状態で、取付ステー３６が前記取付ステー送出機構６
３の保持プレート９３上に保持されて、シリコンインゴ
ット２３の下方に送り込まれる。その後、保持プレート
９３が昇降用シリンダ９４にて上昇されることにより、
シリコンインゴット２３の下部の中間ステー３５が取付
ステー３６に接着される。このとき、２個取り接着のた
めの２個のシリコンインゴット２３が並設されている場
合には、それらのシリコンインゴット２３の下部の中間
ステー３５が１つの取付ステー３６に同時に接着され
る。

【００７５】図１５及び図１６に示すように、前記各把
持アーム９６，９７の中央下部には押圧用シリンダ１０
３が配設され、それらのピストンロッドには押圧部材１
０４が取り付けられている。そして、シリコンインゴッ
ト２３の下部の中間ステー３５に取付ステー３６が接着
される際に、押圧部材１０４が押圧用シリンダ１０３に
よりシリコンインゴット２３に圧接されて、中間ステー
３５の下面が取付ステー３６の接着面に対して軽く押し
付けられるようになっている。

【００７６】図９及び図１５〜図１７に示すように、前
記支持枠９５には一対の回動用モータ１０５，１０６が
配設され、それぞれ歯付きプーリ１０７，１０８及び歯
付きベルト１０９を介して前記支軸９８を構成する各把
持アーム９６，９７の軸に連結されている。そして、シ
リコンインゴット２３の下部の中間ステー３５が取付ス
テー３６に接着される際に、回動用モータ１０５，１０
６により把持アーム９６，９７がそれぞれ単独で前記軸
を中心に所定の複数回だけ一定範囲内を往復回動され
る。この往復回動により、シリコンインゴット２３に対
して水平方向の往復揺動（オシレーション）が付与され
て、中間ステー３５と取付ステー３６との接着面間の接
着剤が均一化される。

【００７７】また、この取付ステー３６の接着時におい
て、シリコンインゴット２３を１個取り接着する場合に
は、前記オシレーションの終了後に、制御装置３０から
のシリコンインゴット２３の第２の方位調整データに基
づいて、回動用モータ１０５により一方の把持アーム９
６が所定位置まで回動される。この回動により、シリコ
ンインゴット２３が取付ステー３６に対して水平方向に
回動調整され、第２の方位調整が行われる。

【００７８】これに対して、短いシリコンインゴット２
３を２個取り接着する場合には、オシレーションの終了
後に、制御装置３０からの各シリコンインゴット２３の
第２の方位調整データに基づいて、各回動用モータ１０
５，１０６により各把持アーム９６，９７がそれぞれ所
定角度位置まで回動される。この回動により、各シリコ
ンインゴット２３が取付ステー３６に対して、支軸９８
を中心に水平方向へそれぞれ回動調整され、第２の方位
調整が行われる。

【００７９】このように、取付ステー３６に対するシリ
コンインゴット２３の方位調整が終了すると、この調整
状態を保持しながら少しの時間接着状態の初期養生をし
た後、押圧部材１０４が押圧用シリンダ１０３にて上昇
され、シリコンインゴット２３に対する押圧が開放され
る。さらに、この位置において、シリコンインゴット２
３の下部の中間ステー３５と取付ステー３６との接着状
態で、それらが保持プレート９３上に保持されたまま所
定時間自然乾燥され、例えば２０分間だけ待機養生され
る。そして、この接着状態での養生が終了すると、前記
初期養生を含めて方位調整・取付ステー接着機構５０の
把持アーム９６，９７によるシリコンインゴット２３の
把持が解放される。また、前記トレー搬入・搬出機構４
９の送りアーム７２，７３により、シリコンインゴット
２３が把持されて、方位調整・取付ステー接着機構５０
からトレー搬入・搬出機構４９に移送される。

【００８０】次に、前記のように構成されたシリコンイ
ンゴットのステー接着システムの回路構成について説明
する。図１８に示すように、前記制御装置３０にはメモ
リ１１１が接続され、このメモリ１１１にはプログラム
データ，テーブルデータ等の各種のデータが記憶される
ようになっている。すなわち、図１９に示すように、メ
モリ１１１には前記各トレー２２ごとの絶対番地で指定
される記憶領域１１２が確保され、各記憶領域１１２に
はトレー番号及び１個取りか２個取りかを表すシリコン
インゴット個数のための書き込み領域１１３，１１４が
設けられるとともに、２つのシリコンインゴット２３の
処理データのための書き込み領域１１５，１１６が設け
られている。各処理データのための書き込み領域１１
５，１１６には、シリコンインゴット長さデータ、方位
測定データ、中間ステー接着済みのデータ、取付ステー
接着済みのデータ、ラック２１内のトレー収納位置のデ
ータ等を書き込むための領域１１５ａ〜１１５ｅ，１１
６ａ〜１１６ｅが設けられている。

【００８１】そして、前記制御装置３０は、データ入力
装置２９、方位測定装置３１及びバーコード読取センサ
５７からデータを入力したとき、それらのデータをメモ
リ１１１の所定の書き込み領域１１３〜１１６に書き込
むようになっている。また、制御装置３０は、このメモ
リ１１１の書き込み領域１１３〜１１６に書き込まれた
データに基づいて、前記中間ステー接着装置３２、取付
ステー接着装置３３，３４の各機構４９，５０，６２〜
６４及び各搬送装置２４〜２７の動作を制御するように
なっている。

【００８２】また、前記取付ステー接着装置３３，３４
において２個取り用の先行のシリコンインゴット２３が
後続のシリコンインゴット２３とともに１つの取付ステ
ー３６に接着されて、１つ後続の１つのレー２２に移し
替え支持される場合には、その移し替えられた先行のシ
リコンインゴット２３に関するデータが転送処理され
る。すなわち、移し替え以前の先行のトレー２２の絶対
番地で指定される記憶領域１１２に記憶されていた先行
のシリコンインゴット２３のデータが、その絶対番地の
記憶領域１１２から、新たに支持される後続のトレー２
２で指定される記憶領域１１２に転送されて、その第２
インゴット用領域１１６に書き込まれる。さらに、先行
のシリコンインゴット２３が撤去された先行のトレー２
２の絶対番地に対応する先行のシリコンインゴット２３
のデータは消去される。

【００８３】次に、前記のように構成されたステー接着
システムにおいて、特に取付ステー接着装置３３，３４
の動作を説明する。さて、この取付ステー接着装置３
３，３４において、中間ステー３５の接着終了後のシリ
コンインゴット２３に取付ステー３６を接着する場合に
は、前記制御装置３０の制御により、プログラムの動作
による図２０に示すフローチャートに従って処理動作が
行われる。

【００８４】すなわち、前工程の中間ステー接着装置３
２において、中間ステー３５の接着を終了したシリコン
インゴット２３はトレー２２に支持された状態で、第３
搬送装置２６を介して２つの取付ステー接着装置３３，
３４のトレー搬入・搬出機構４９に交互に、または２個
連続して搬入される。すなわち、そのシリコンインゴッ
ト２３が、２個取り接着の場合には、その後続のシリコ
ンインゴット２３は、トレー２２に支持された状態で先
行のシリコンインゴット２３と同じ取付ステー接着装置
３３，３４のトレー搬入，搬出機構４９へ搬入される
（ステップＳ１）。このとき、トレー搬入・搬出機構４
９のトレー用昇降レール８０が上昇位置にあり、搬入さ
れたトレー２２は、このトレー用昇降レール８０上に支
持される。そして、トレー用昇降レール８０が下降さ
れ、シリコンインゴット２３が移送レール６６上に移し
替えられるとともに、トレー２２がトレー用昇降レール
８０上に留め置かれる。従って、シリコンインゴット２
３は分離・載置機構６２によりトレー２２から分離され
る。

【００８５】次いで、シリコンインゴット２３は、送り
アーム７２，７３により把持された状態で、方位調整・
取付ステー接着機構５０に送り出され（ステップＳ
２）、同機構５０の把持アーム９６の第１把持部材９９
間に把持される（ステップＳ３）。

【００８６】その後、搬入されたシリコンインゴット２
３が２個取り接着の先行のものか否かが判別され（ステ
ップＳ４）、シリコンインゴット２３が１個取り接着の
場合には、シリコンインゴット２３の分離後の空のトレ
ー２２が分離・載置機構６２に留め置かれた状態が保持
される（ステップＳ５）。この状態で、取付ステー送出
機構６３の係止爪８３が往復回動されて、取付ステー用
ストッカ８１から１つの取付ステー３６が昇降レール８
５上に供給される。次いで、その昇降レール８５が下降
されて、取付ステー３６が移動部材８９に把持され、そ
の取付ステー３６の上端面に接着剤が塗布された後に、
その状態で移動部材８９が図１２の実線位置まで移動さ
れる。このとき、支持部材９１が図１２の右方位置に移
動されており、取付ステー３６は支持部材９１の保持プ
レート９３上に移し替えられる。次いで、支持部材９１
が図１２の左方に移動される。このため、取付ステー３
６が方位調整・取付ステー接着機構５０に送り出され、
前記送りアーム７２，７３によりすでに第１把持部材９
９間に把持されているシリコンインゴット２３の下方に
対向配置される（ステップＳ６）。

【００８７】そして、前記支持部材９１が上昇されて、
取付ステー３６がシリコンインゴット２３の下面の中間
ステー３５に接触されるとともに、押圧部材１０４がシ
リコンインゴット２３の上面を押圧する。このため、取
付ステー３６と中間ステー３５とが接着剤を介して接触
状態になる。そして、この状態で把持アーム９６の回動
により、シリコンインゴット２３が第２の方位調整デー
タに基づいて水平方向に方位合わせされる。次いで、少
しの時間、押圧部材１０４による押圧の後、押圧部材１
０４が上方に逃げて、接着状態に維持して所定時間だけ
待機養生される（ステップＳ７）。なお、この接着開始
から養生終了までの間、前記送りアーム７２，７３は、
シリコンインゴット２３の左方（図１２において）に退
避している。

【００８８】その後、シリコンインゴット２３に対する
把持部材９９の把持が解除され、送りアーム７２，７３
がシリコンインゴット２３側に前進して、シリコンイン
ゴット２３が送りアーム７２，７３により把持される。
次いで、ステー案内レール７８が上昇され、この状態で
送りアーム７２，７３によりシリコンインゴット２３が
その取付ステー３６において案内レール７７及びステー
案内レール７８を介して図１２の上方へ移動され、留め
置かれたトレー２２の上方に位置する。そして、トレー
用昇降レール８０が上昇するとともに、ステー案内レー
ル７８が下降されて、シリコンインゴット２３が中間ス
テー３５及び取付ステー３６とともに、トレー２２上に
載置される。把持アーム７３，７４は図１２の左方に退
避する。以上にように、養生を終了したシリコンインゴ
ット２３が方位調整・取付ステー接着機構５０からトレ
ー搬入・搬出機構４９に移送されて、分離・載置機構６
２によりトレー２２に再び載置される。そして、トレー
２２はトレー搬入・搬出機構４９から第３搬送装置２６
に搬出される（ステップＳ８）。

【００８９】一方、前記ステップＳ４の判別において、
搬入されたシリコンインゴット２３が２個取り接着の先
行のものである場合には、この先行のシリコンインゴッ
ト２３が前記と同様にトレー２２から分離されて、方位
調整・ステー接着機構５０に送り出され、第１把持部材
９９間に把持される。次いで、トレー用昇降レール８０
が上昇して分離後の先行の空のトレー２２がトレー搬入
・搬出機構４９から第３搬送装置２６に払い出される
（ステップＳ９）。その後、前記先行のシリコンインゴ
ット２３と組み合わせ可能な後続となるシリコンインゴ
ット２３が第３搬送装置２６から先行と同じトレー搬入
・搬出機構４９に搬入される（ステップＳ１０）。

【００９０】そして、この後続のシリコンインゴット２
３は前記と同様にして分離・載置機構６２によりトレー
２２から分離されて、方位調整・取付ステー接着機構５
０に送り出され（ステップＳ１１）、第２把持部材１０
１間に把持される（ステップＳ１２）。それとともに、
シリコンインゴット２３の分離後における後続のトレー
２２が分離・載置機構６２に留め置かれる（ステップＳ
１３）。その後は、前記ステップＳ６に戻って、前述し
たステップＳ６〜Ｓ８とほぼ同様な動作が各シリコンイ
ンゴット２３に対して行われる。

【００９１】すなわち、ステップＳ６においては、１つ
の取付ステー３６が取付ステー用ストッカ８１から方位
調整・取付ステー接着機構５０に送り出されて、一対の
シリコンインゴット２３の下方に対向配置される。ま
た、ステップＳ７においては、両把持アーム９６，９７
の回動により、一対のシリコンインゴット２３が第２の
方位調整データに基づいて、それぞれ水平方向に方位合
わせされながら、両インゴット２３の下部の中間ステー
３５に取付ステー３６が同時に接着されるとともに、そ
の接着状態に待機養生される。さらに、ステップＳ８に
おいては、養生後のシリコンインゴット２３がトレー搬
入・搬出機構４９に移送されて、分離・載置機構６２に
より後続のトレー２２に載置され、その後に第３搬送装
置２６に搬出される。

【００９２】従って、この実施形態によれば、以下のよ
うな効果を得ることができる。 （１） このシリコンインゴットに対する取付ステー接
着装置３３，３４においては、長さが短く、２個取り接
着が可能なシリコンインゴット２３については、接着機
構５０により先行のシリコンインゴット２３と後続のシ
リコンインゴット２３とが組み合わされて取付ステー３
６に同時に方位合わせされて接着されるとともに、養生
機構６４にて接着状態に養生される。このため、シリコ
ンインゴット２３の長さが短い場合には、接着機構５０
において先行のシリコンインゴット２３と後続のシリコ
ンインゴット２３とを組み合わせて、取付ステー３６に
同時に接着することができる。よって、複数のシリコン
インゴット２３を順次１つの取付ステー３６に接着する
場合とは異なり、複数のシリコンインゴット２３を接着
するのに要する時間を短縮することができて、作業能率
を向上させることができる。

【００９３】（２） この取付ステー接着装置３３，３
４においては、前記制御装置３０の制御により、搬入・
搬出機構４９が先行のインゴット分離後のトレー２２を
払い出すとともに、分離・載置機構６２が後続のインゴ
ット分離後のトレー２２を保持するようになっている。
また、分離・載置機構６２が養生後の２つのシリコンイ
ンゴット２３を保持された１つのトレー２２上に載置す
るようになっている。このため、先行のシリコンインゴ
ット２３と後続のシリコンインゴット２３とを１つの取
付ステー３６に接着して養生した後に、その養生後のシ
リコンインゴット２３を１つのトレー２２に再び載置し
て搬入・搬出機構４９から搬出することができる。従っ
て、シリコンインゴット２３を載置したトレー２２の数
を少なくすることができて、それらのトレー２２の処理
が容易になる。

【００９４】（３） この取付ステー接着装置３３，３
４においては、前記搬入・搬出機構４９にて、取付ステ
ー接着前のシリコンインゴット２３の搬入と、取付ステ
ー接着後のシリコンインゴット２３の搬出とが兼用して
行われるようになっている。また、分離・載置機構６２
にて、トレー２２に対するシリコンインゴット２３の分
離と載置とが兼用して行われるようになっている。さら
に、この搬入・搬出機構４９と分離・載置機構６２とが
同一位置に配設されている。このため、搬入機構、分離
機構、載置機構及び搬出機構を広い場所を取ることなく
集中的に配置することができて、取付ステー接着装置３
３，３４の構成を小型化することができる。このため、
第１〜第４搬送装置２４〜２７等を含むシステム全体の
小型化が可能になり、設置スペースを小さくすることが
できる。

【００９５】（４） この取付ステー接着装置３３，３
４においては、前記接着機構５０及び養生機構６４が同
一位置に配設されている。このため、接着機構５０及び
養生機構６４を広い場所を取ることなく集中配置するこ
とができて、取付ステー接着装置３３，３４の構成を小
型化することができる。また、取付ステー３６の接着後
のシリコンインゴット２３を養生機構６４へ搬送するこ
となく直ちに養生することができる。このため、接着状
態の養生前で、接着剤の未硬化状態において、シリコン
インゴットを接着部から養生部に移動させるような必要
がなく、シリコンインゴット２３の方位合わせ状態を維
持したまま、シリコンインゴット２３と取付ステー３６
とを正確な位置関係で接着固定することができる。

【００９６】（５） この取付ステー接着装置３３，３
４においては、前記接着機構５０に、一対のシリコンイ
ンゴット２３を把持するための２組の把持部材９９，１
０１が、共通の支軸９８を中心に回動可能に配設されて
いる。このため、一対のシリコンインゴット２３を２組
の把持部材９９，１０１により把持した状態で、取付ス
テー３６に対して各別に方位合わせを行うことができ
る。従って、各シリコンインゴット２３を他に影響され
ることなく正確に方位合わせすることが可能になる。ま
た、２組の把持部材９９，１０１を１つの共通の支軸９
８上に配置しているため、把持部材９９，１０１の支持
構造を小型にすることができ、装置全体の小型化に寄与
できる。

【００９７】（６） この取付ステー接着装置３３，３
４においては、前記接着機構５０に取付ステー３６を１
個ずつ送り出すための取付ステー送出機構６３が装備さ
れている。このため、取付ステー３６とシリコンインゴ
ット２３との接着に連動して、取付ステー送出機構６３
から接着機構５０に取付ステー３６を１個ずつ自動的に
供給することができて、作業能率を一層向上させること
ができる。

【００９８】（７） この取付ステー接着装置３３，３
４においては、前記制御装置３０によりシリコンインゴ
ット２３の搬入順序が制御されて、長さの短い２個取り
接着可能な一対のシリコンインゴット２３が連続して搬
入・搬出機構４９に搬入されるようになっている。この
ため、長さの短い後続のシリコンインゴット２３待つた
めに、先行のシリコンインゴット２３を待機させるよう
な機構や時間が不要となり、構成が簡単になるととも
に、作業能率が向上する。また、取付ステー３６に対し
て１つの短いシリコンインゴット２３を接着して、搬出
してしまうような無駄を省くことができる。

【００９９】（第２実施形態）次に、この発明の第２実
施形態を、前記第１実施形態と異なる部分を中心に説明
する。

【０１００】さて、この第２実施形態の取付ステー接着
装置３３，３４においては、図２１及び図２２に示すよ
うに、方位調整・取付ステー接着機構５０の把持アーム
９６，９７が離間位置の別々の垂直方向の支軸１１９，
１２０を中心に回動可能に配設されている。また、これ
らの把持アーム９６，９７の両端には、シリコンインゴ
ット２３を外周両側から把持するための第１把持部材９
９及び第２把持部材１０１が設けられている。

【０１０１】そして、図２１に示すように、一対の短い
シリコンインゴット２３を１つの取付ステー３６に接着
する場合には、それらのシリコンインゴット２３が両把
持部材９９，１０１間に各別に把持された状態で、各支
軸１１９，１２０を中心に回動されて、第２の方位調整
が行われる。また、図２２に示すように、１つの長いシ
リコンインゴット２３を取付ステー３６に接着する場合
には、そのシリコンインゴット２３が長手方向の中央に
おいて第１把持部材９９間に把持され、第２把持部材１
０１から解放されている状態で、支軸１１９を中心に回
動されて、第２の方位調整が行われる。

【０１０２】従って、この第２実施形態によれば、前記
第１実施形態の効果とは別に以下のような効果を得るこ
とができる。 （８） この取付ステー接着装置３３，３４では、前記
接着機構５０における２組の把持部材９９，１０１が、
それぞれ離間位置に配置された別の支軸１１９，１２０
を中心に回動されるようになっている。このため、一対
の短いシリコンインゴット２３を２組の把持部材９９，
１０１により各別に把持する場合、及び１つの長いシリ
コンインゴット２３を一方の把持部材９９により把持す
る場合のいずれにおいても、それらのシリコンインゴッ
ト２３を長手方向のほぼ中央において把持することがで
きる。よって、それらのシリコンインゴット２３をイン
ゴット軸線とインゴット２３上で直交している支軸１１
９，１２０を中心に回動させることができる。よって、
取付ステー３６からのシリコンインゴット２３突出量を
ほぼ最小限することが可能になる。

【０１０３】（変更例）なお、この実施形態は、次のよ
うに変更して具体化することも可能である。 ・ 前記各実施形態の取付ステー接着装置３３，３４に
おいて、トレー搬入・搬出機構４９と分離・載置機構６
２とを別の位置に設けること。

【０１０４】・ 前記各実施形態の取付ステー接着装置
３３，３４において、トレー搬入機構とトレー搬出機構
とを共用することなく別々に設けること。 ・ 前記各実施形態の取付ステー接着装置３３，３４に
おいて、方位調整・取付ステー接着機構５０と養生機構
６４とを別の位置に設けること。

【０１０５】・ 前記各実施形態の取付ステー接着装置
３３，３４において、取付ステー送出機構６３を省略し
て、作業者の手作業により方位調整・取付ステー接着機
構５０に取付ステー３６を１枚ずつ供給するように構成
すること。このようにすれば、構成が簡単になるととも
に、装置のさらなる小型化が可能になる。

【０１０６】・ 取付ステー３６に対する接着剤の塗布
装置を設けること。このように構成すれば、無人化ある
いはそれに近い作業が可能になる。

【０１０７】

【発明の効果】以上、実施形態で例示したように、この
発明においては、１つの取付ステー上に複数のシリコン
インゴットを短時間に能率よく接着することができると
いう優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１実施形態のステー接着システムを示す概
略平面図。

【図２】 図１のシステムの一部を拡大して示す要部平
面図。

【図３】 システムに使用される搬送用トレーを示す縦
断面図。

【図４】 同じく横断面図。

【図５】 搬送用トレーに中間ステー接着後のシリコン
インゴットを支持した状態を示す断面図。

【図６】 搬送用トレーに取付ステー接着後のシリコン
インゴットを支持した状態を示す断面図。

【図７】 取付ステーに１つの長いシリコンインゴット
を接着する状態を示す平面図。

【図８】 取付ステーに２つの短いシリコンインゴット
を接着する状態を示す平面図。

【図９】 図２のシステムの取付ステー接着装置を拡大
して示す平面図。

【図１０】 図９の装置におけるトレー搬入・搬出機構
の拡大平面図。

【図１１】 図１０のトレー搬入・搬出機構の要部断面
図。

【図１２】 図９の装置における取付ステー送出機構の
拡大平面図。

【図１３】 図１２の取付ステー送出機構の正面図。

【図１４】 図１２の取付ステー送出機構の要部側断面
図。

【図１５】 図９の装置における方位調整・取付ステー
接着機構の拡大正面図。

【図１６】 図１５の方位調整・取付ステー接着機構の
拡大側面図。

【図１７】 図１５の方位調整・取付ステー接着機構の
拡大横断面図。

【図１８】 図１のステー接着システムの回路構成を示
すブロック図。

【図１９】 メモリにおける絶対番地の書き込み領域を
示す説明図。

【図２０】 取付ステー接着装置の動作を示すフローチ
ャート。

【図２１】 取付ステー接着装置において取付ステーに
２つの短いシリコンインゴットを接着する場合の第２実
施形態を示す平面図。

【図２２】 図２１の構成において取付ステーに１つの
長いシリコンインゴットを接着する状態を示す平面図。

【符号の説明】

２１…ラック、２２…搬送用トレー、２３…シリコンイ
ンゴット、３０…制御手段としての制御装置、３１…方
位測定装置、３２…中間ステー接着装置、３３，３４…
取付ステー接着装置、３５…中間ステー、３６…取付ス
テー、３７…ワイヤソー、４９…搬入部及び搬出部を構
成するトレー搬入・搬出機構、５０…方位調整・取付ス
テー接着機構、５６…バーコード、５７…バーコード読
取センサ、６２…分離部及び載置部を構成する分離・載
置機構、６３…取付ステー送出部としての取付ステー送
出機構、６４…養生部としての養生機構、６６…移送レ
ール、６７…移送板、７０…支持板、７２…固定送りア
ーム、７３…可動送りアーム、７８…インゴット用昇降
レール、８０…トレー用昇降レール、８１…取付ステー
用ストッカ、８２…支持レール、８３…係止爪、８５…
昇降レール、８７…受渡しローラ、８９…移動部材、９
１…支持部材、９３…保持レール、９６，９７…把持ア
ーム、９８…支軸、９９…第１把持部材、１０１…第２
把持部材、１０５，１０６…回動用モータ、１１１…メ
モリ、１１２…絶対番地に指定される記憶領域、１１３
〜１１６…書き込み領域。

フロントページの続き (72)発明者 村岡 豊彦 神奈川県横須賀市神明町１番地 株式会社 日平トヤマ技術センター内 Ｆターム(参考） 3C069 CA04 CB01 CB02 CB03 EA01

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 トレー上に載置されたシリコンインゴッ
   トを搬入するための搬入部と、 そのシリコンインゴットをトレーから分離させるための
   分離部と、 後続のシリコンインゴットを先行のシリコンインゴット
   と組み合わせるとともに、それぞれのシリコンインゴッ
   トの方位合わせを同時に行って同一の取付ステーに接着
   するための接着部と、 シリコンインゴットと取付ステーとの接着状態を養生す
   るための養生部と、 養生されたシリコンインゴットをトレー上に再び載置さ
   せるための載置部と、 トレー上に載置されたシリコンインゴットを搬出するた
   めの搬出部と、を備えたことを特徴とするシリコンイン
   ゴットに対する取付ステー接着装置。
2. 【請求項２】 先行のシリコンインゴット分離後のトレ
   ーが搬出部から払い出されるとともに、後続のシリコン
   インゴット分離後のトレーが分離部において保持され、
   載置部において養生後のシリコンインゴットが前記保持
   されたトレー上に再び載置されるように、分離部及び載
   置部を制御するようにした制御手段を設けたことを特徴
   とする請求項１に記載のシリコンインゴットに対する取
   付ステー接着装置。
3. 【請求項３】 前記搬入部、分離部、載置部及び搬出部
   は同一位置に配設されていることを特徴とする請求項１
   または請求項２に記載のシリコンインゴットに対する取
   付ステー接着装置。
4. 【請求項４】 前記接着部及び養生部は同一位置に配設
   されていることを特徴とする請求項１〜請求項３のうち
   のいずれか一項に記載のシリコンインゴットに対する取
   付ステー接着装置。
5. 【請求項５】 前記制御手段は、一対のシリコンインゴ
   ットを取付ステーに対して同時に方位合わせしながら接
   着させるように接着部を制御することを特徴とする請求
   項２〜請求項４のうちのいずれか一項に記載のシリコン
   インゴットに対する取付ステー接着装置。
6. 【請求項６】 前記接着部は、一対のシリコンインゴッ
   トをそれぞれ把持した状態で、シリコンインゴットの軸
   線と直交する垂直方向の一軸線を中心に回動させてそれ
   らのシリコンインゴットをそれぞれ方位合わせするため
   の２組の把持部材を有することを特徴とする請求項１〜
   請求項５のうちのいずれか一項に記載のシリコンインゴ
   ットに対する取付ステー接着装置。
7. 【請求項７】 前記各組の把持部材は、共通軸線を中心
   にして回動されることを特徴とする請求項６に記載のシ
   リコンインゴットに対する取付ステー接着装置。
8. 【請求項８】 前記接着部に取付ステーを１個ずつ送り
   出すための取付ステー送出部を備えたことを特徴とする
   請求項１〜請求項７のうちのいずれか一項に記載のシリ
   コンインゴットに対する取付ステー接着装置。
9. 【請求項９】 前記制御手段は、シリコンインゴットの
   長さデータに基づいて、長さの短い一対のシリコンイン
   ゴットが連続して搬入部に搬入されるように、シリコン
   インゴットの搬入順序を制御することを特徴とする請求
   項２〜請求項８のうちのいずれか一項に記載のシリコン
   インゴットに対する取付ステー接着装置。
10. 【請求項１０】 先行のトレー上に載置された先行のシ
    リコンインゴットを搬入して、そのシリコンインゴット
    を先行のトレーから分離させて接着部に送り出した後、
    先行のトレーを払い出し、さらに後続のトレー上に載置
    された後続のシリコンインゴットを搬入して、その後続
    のシリコンインゴットをトレーから分離させて接着部に
    送り出した後、後続のトレーを保持し、先行のシリコン
    インゴットと後続のシリコンインゴットとを組み合わせ
    てそれぞれ方位合わせした状態で同一の取付ステーに同
    時に接着して、その接着状態を養生し、養生後のシリコ
    ンインゴットを取付ステーにおいて前記保持された後続
    のトレー上に再び載置して搬出することを特徴としたシ
    リコンインゴットに対する取付ステー接着方法。