JP3271930B2 - インゴットと取付ステーの接着方法及び接着装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、インゴットと取
付ステーの接着方法及び接着装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】シリコン（Ｓｉ）ウエハを製造するため
のＳｉ単結晶インゴットは、規則正しい格子面を有す
る。しかしながら、坩堝から取り上げられた未加工のイ
ンゴットは円柱状に加工されるが、インゴットごとにそ
の中心軸線に対する結晶方位がばらつく。このインゴッ
トにカーボン製の中間ステーを接着し、その中間ステー
の上面にガラス製の絶縁プレートを介して取付ステーを
接着する。従って、このインゴットをワイヤソーに装着
してインゴツトをワイヤにより切断してウエハを形成し
たのでは、ウエハの切断面と格子面との位置関係が一定
にならないので、切断されたウエハの特性がばらつく。

【０００３】上記の問題を解消するため、従来、ワイヤ
ソーにインゴットのゴニオ角設定器を装着している。そ
して、このゴニオ角設定器にインゴットの取付ステーを
ボルトにより取り付けた状態で、方位測定装置によりイ
ンゴットの中心軸線からの結晶方位の水平方向及び垂直
方向の変位量を測定した後、ゴニオ角設定器によりワイ
ヤの走行方向に対しインゴットの結晶方位が適正位置と
なるように調整している。この調整はゴニオ角設定器に
よりインゴット及び取付ステーを水平面内で回動するこ
とにより、結晶方位をワイヤと直交する垂直面内で変位
させるとともに、インゴット及び取付ステーを前記垂直
面内で回動して、結晶方位を水平面内で変位させて行わ
れる。即ち、従来のインゴット切断加工は、図３１の手
順で行われ、取付ステーを接着したインゴットはワイヤ
ソーに取り付けられた後、加工前において必ずゴニオ調
整が行われていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従って、各ワイヤソー
にゴニオ角設定器を装着する必要があるため、加工装置
の設備費を低減することができないという問題がある。
又、ゴニオ角設定器にインゴットを取り付ける必要があ
るため、インゴットの取付作業を手動によりボルト締め
する必要があり、取付作業が面倒でインゴツトの方位調
整に時間を要し、この結果、ワイヤソーへのインゴット
の取付作業を自動化して、ワイヤソーの稼働率を向上す
ることができないという問題がある。

【０００５】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものであって、その目的
は、接着の段階において予めインゴットの結晶方位に基
づいてインゴットと取付ステーを互いに位置調整した状
態で接着し、加工機へ搬入することにより加工機にゴニ
オ角設定器を装着する必要を無くして、加工装置全体の
設備費を低減することができるとともに、加工機へのイ
ンゴットの取付作業を自動化して、加工機の稼働率を向
上することができるインゴットと取付ステーの接着方法
及び接着装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
上記目的を達成するために、円柱状をなすインゴットを
測定基準位置に位置決めした状態でＸ線の回折を利用し
てインゴットの結晶方位を測定し、この結晶方位の測定
データは、インゴットの結晶方位がインゴットの中心軸
線を中心に回転させて結晶方位が水平面内に位置するま
でのインゴットの回転角データ及びインゴットの中心軸
線に対する結晶方位の同一平面内での傾角データであ
り、前記測定データの回転角データにより、インゴット
を測定位置から離した位置でインゴットの中心軸線を水
平に保ったままインゴットの結晶方位が水平面内に位置
するようにインゴットをその中心軸線を中心に回転調整
し、この調整されたインゴットの上面又は下面に可切断
材よりなる中間ステーをその取付軸線を前記インゴット
の中心軸線に合わせて接着し、インゴットと中間ステー
間の接着剤が乾燥した後、インゴット又は前記中間ステ
ーに対し水平面内で相対変位可能に支持した取付ステー
のいずれか一方を、前記測定データの傾角データにより
インゴットの結晶方位が前記取付ステーの取付軸線と平
行になるように水平面内で回転調整した状態で、中間ス
テーに取付ステーを接着するという手段をとっている。

【０００７】

【０００８】

【０００９】

【００１０】

【００１１】請求項２記載の発明においては、円柱状を
なすインゴットを測定基準位置に位置決めした状態でＸ
線の回折を利用してインゴットの結晶方位を測定し、こ
の結晶方位の測定データは、インゴットの結晶方位がイ
ンゴットの中心軸線を中心に回転させて結晶方位が水平
面内に位置するまでのインゴットの回転角データ及びイ
ンゴットの中心軸線に対する結晶方位の同一平面内での
傾角データであり、前記測定データの回転角データによ
り、インゴットを測定位置から離した位置でインゴット
の中心軸線を水平に保ったままインゴットの結晶方位が
水平面内に位置するようにインゴットをその中心軸線を
中心に回転調整した後、この調整されたインゴット又は
予め可切断材よりなる中間ステーを接着してインゴット
の上面又は下面に対し水平面内で相対変位可能に支持し
た取付ステーのいずれか一方を、前記測定データの傾角
データによりインゴットの結晶方位が前記取付ステーの
取付軸線と平行になるように水平面内で回転調整した状
態で、インゴットの上面又は下面に中間ステーを介して
取付ステーを接着するという手段をとっている。

【００１２】請求項３記載の発明においては、請求項２
において、中間ステーの上面にはその取付軸線に沿って
円柱状インゴットにはまり合う円弧凹溝を有し、この中
間ステーと取付ステー間の接着剤が未乾燥の状態で、イ
ンゴットに対し調整後の取付ステーを中間ステーを介し
て接着し、この接着の際に中間ステーが円弧凹溝とイン
ゴットとのはまり合いによって中間ステーの取付軸線が
インゴットの中心軸線と平行になるように接着されると
いう手段をとっている。請求項４記載の発明において
は、請求項１〜３のいずれかにおいて、インゴットをそ
の中心軸線を水平にしてインゴットの一端面を測定基準
面として測定基準位置に固定した状態で、インゴットの
結晶方位を測定する測定ヘッドをインゴットの中心軸線
と平行な中心軸で回転させ、インゴットの測定基準面に
対して複数方向からＸ線を照射して反射されたＸ線の出
力によりインゴットの結晶方位を測定するという手段を
とっている。

【００１３】請求項５記載の発明においては、請求項１
〜４のいずれかにおいて、中間ステー接着時又は取付ス
テー接着時にステー側又はインゴット側にインゴット中
心軸線方向のオシレート動作を与えるという手段をとっ
ている。

【００１４】請求項６記載の発明においては、請求項１
〜５のいずれかにおいて、単一の取付ステーに複数のイ
ンゴット又は中間ステーを順次接着するという手段をと
っている。

【００１５】請求項７記載の発明においては、円柱状を
なすインゴットの結晶方位を測定するための測定基準位
置にインゴットを位置決めする位置決め手段と、測定基
準位置に位置決めされたインゴットの結晶方位をＸ線の
回折を利用して測定する結晶方位測定手段と、結晶方位
測定後にインゴットを測定基準位置から退避させる移動
手段と、測定基準位置から退避した位置において、前記
結晶方位測定手段の測定データに基づいて、インゴット
の中心軸線を水平に保ったままインゴットの結晶方位が
水平面内に位置するようにインゴットをその中心軸線を
中心に回転調整する第１調整手段と、この第１調整手段
により調整されたインゴットの上面又は下面に、可切断
材よりなる中間ステーをその取付軸線をインゴットの中
心軸線に合わせて水平に接着する中間ステー接着機構
と、この中間ステー接着機構により前記中間ステーが接
着されたインゴット又はこのインゴットに取り付けられ
る取付ステーのいずれか一方を、前記結晶方位測定手段
の測定データに基づいて、取付ステーの取付軸線がイン
ゴットの結晶方位と平行になるように水平面内で回転調
整する第２調整手段と、この第２調整手段により調整さ
れた状態で、インゴットに接着した中間ステーに対し取
付ステーを接着する取付ステー接着機構とを備え、前記
測定データは、インゴットの結晶方位がインゴットの中
心軸線を中心に回転させて結晶方位が水平面内に位置す
るまでのインゴットの回転角データ及びインゴットの中
心軸線に対する結晶方位の同一平面内での傾角データで
あり、前記第１調整手段は回転角データにより、前記第
２調整手段は傾角データによりそれぞれ調整動作を行
い、前記中間ステー接着機構及び取付ステー接着機構
は、中間ステーとインゴットとの間及び中間ステーと取
付ステーとの間に接着剤を介在させた状態で該中間ステ
ー及び取付ステー又はインゴットを、該インゴットの中
心軸線方向に往復動するオシレート機構を備えていると
いう手段をとっている。

【００１６】

【００１７】

【００１８】

【００１９】

【００２０】請求項８の発明においては、請求項７にお
いて、前記中間ステーの一面にはその取付軸線に沿って
インゴットの円柱面にはまり合う円弧凹溝が形成されて
いるという手段をとっている。

【００２１】

【００２２】

【００２３】

【００２４】

【００２５】請求項９記載の発明においては、円柱状を
なすインゴットの結晶方位を測定するための測定基準位
置にインゴットを位置決めする位置決め手段と、測定基
準位置に位置決めされたインゴットの結晶方位をＸ線の
回折を利用して測定する結晶方位測定手段と、結晶方位
測定後にインゴットを測定基準位置から退避させる移動
手段と、測定基準位置から退避した位置において、前記
結晶方位測定手段の測定データに基づいて、インゴット
の中心軸線を水平に保ったままインゴットの結晶方位が
水平面内に位置するようにインゴットをその中心軸線を
中心に回転調整する第１調整手段と、この第１調整手段
により調整されたインゴットの上面又は下面に、可切断
材よりなる中間ステーをその取付軸線をインゴットの中
心軸線に合わせて水平に接着する中間ステー接着機構
と、この中間ステー接着機構により前記中間ステーが接
着されたインゴット又はこのインゴットに取り付けられ
る取付ステーのいずれか一方を、前記結晶方位測定手段
の測定データに基づいて、取付ステーの取付軸線がイン
ゴットの結晶方位と平行になるように水平面内で回転調
整する第２調整手段と、この第２調整手段により調整さ
れた状態で、インゴットに接着した中間ステーに対し取
付ステーを接着する取付ステー接着機構とを備え、前記
測定データは、インゴットの結晶方位がインゴットの中
心軸線を中心に回転させて結晶方位が水平面内に位置す
るまでのインゴットの回転角データ及びインゴットの中
心軸線に対する結晶方位の同一平面内での傾角データで
あり、前記第１調整手段は回転角データにより、前記第
２調整手段は傾角データによりそれぞれ調整動作を行
い、前記移動手段は、インゴットをその中心軸線を水平
に支持して前記結晶方位測定手段に対応する測定位置と
中間ステー接着機構との間を往復動する搬送台車であ
り、前記第１調整手段は、搬送台車上に設けられ、イン
ゴットを測定基準位置から中間ステー接着機構へ移動す
る間又は移動後にインゴットの回転調整を行うという手
段をとっている。

【００２６】請求項１０記載の発明においては、請求項
９において、インゴットを搬送台車に対し搬入出するイ
ンゴット搬入出手段を備えるとともに、前記中間ステー
接着機構と取付ステー接着機構とは別の位置に配置さ
れ、前記インゴット搬入出手段によって両者間のインゴ
ットの移送を行うという手段をとっている。

【００２７】請求項１１記載の発明においては、円柱状
をなすインゴットの結晶方位を測定するための測定基準
位置にインゴットを位置決めする位置決め手段と、測定
基準位置に位置決めされたインゴットの結晶方位をＸ線
の回折を利用して測定する結晶方位測定手段と、結晶方
位測定後にインゴットを測定基準位置から退避させる移
動手段と、測定基準位置から退避した位置において、前
記結晶方位測定手段の測定データに基づいて、インゴッ
トの中心軸線を水平に保ったままインゴットの結晶方位
が水平面内に位置するようにインゴットをその中心軸線
を中心に回転調整する第１調整手段と、この第１調整手
段により調整されたインゴット又は予め可切断材よりな
る中間ステーを接着した取付ステーのいずれか一方を、
前記結晶方位測定手段の測定データに基づいて、取付ス
テーの取付軸線がインゴットの結晶方位と平行になるよ
うに水平面内で回転調整する第２調整手段と、前記第１
調整手段及び第２調整手段により調整された状態で、イ
ンゴットに対し取付ステーを中間ステーを介して接着す
る取付ステー接着機構とを備え、前記測定データは、イ
ンゴットの結晶方位がインゴットの中心軸線を中心に回
転させて結晶方位が水平面内に位置するまでのインゴッ
トの回転角データ及びインゴットの中心軸線に対する結
晶方位の同一平面内での傾角データであり、前記第１調
整手段は回転角データにより、前記第２調整手段は傾角
データによりそれぞれ調整動作を行うという手段をとっ
ている。 請求項１２記載の発明においては、請求項１１
において、前記中間ステーの一面にはその取付軸線に沿
ってインゴットの円柱面にはまり合う円弧凹溝が形成さ
れていて、前記取付ステー接着機構は、中間ステーと取
付ステー間の接着剤が未乾燥の状態で、インゴットに中
間ステーを介して取付ステーを接着するものであり、こ
の接着の際に中間ステーが円弧凹溝とインゴットとのは
まり合いによって中間ステーの取付軸線がインゴットの
中心軸線と平行になるように接着されるという手段をと
っている。 請求項１３記載の発明においては、請求項１
１または１２において、取付ステー接着機構は、中間ス
テーとインゴットとの間及び中間ステーと取付ステーと
の間に接着剤を介在させた状態で該取付ステー又はイン
ゴットを、該インゴットの 中心軸線方向に往復動するオ
シレート機構を備えているインゴットと取付ステーの接
着装置。 請求項１４記載の発明においては、請求項７〜
１３のいずれかにおいて、前記結晶方位測定手段は、回
転自在な測定ヘッドを有し、インゴットをその中心軸線
を水平にしてインゴットの一端面を測定基準面として測
定基準位置に固定した状態で、前記測定ヘッドをインゴ
ットの中心軸線と平行な中心軸で回転させ、インゴット
の測定基準面に対し複数方向からＸ線を照射して反射さ
れたＸ線の出力によりインゴットの結晶方位を測定する
インゴットと取付ステーの接着装置。

【００２８】請求項１５記載の発明においては、請求項
７〜１４のいずれかにおいて、前記第２調整手段は単一
の取付ステーに複数のインゴット又は中間ステーを接着
可能な取付ステー移動機構を備えているという手段をと
っている。

【００２９】請求項１６記載の発明においては、請求項
１５において、前記第２調整手段は機台の所定位置にお
いて垂直軸線の周りで往復回動される回転支持軸と、該
回転支持軸の上端部に水平に支持された回転支持板と、
該回転支持板に水平方向の往復動可能に支持され、かつ
取付ステーをクランプするクランプ機構とにより構成さ
れているという手段をとっている。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、この発明を具体化した第１
実施形態を図１〜図１７に基づいて説明する。

【００３１】最初に、図７及び図１１により、この実施
形態で接着される円柱状をなすＳｉ単結晶インゴット１
１、カーボン等の可切断材よりなる中間ステー１２、絶
縁プレート１３及び取付ステー１４について説明する。

【００３２】図１１に示すように、中間ステー１２の下
面にはその取付軸線に沿ってインゴット１１の円柱面に
はまり合う円弧凹溝１２ａが形成され、横円柱状に置か
れたインゴット１１の上部円柱面に中間ステー１２が前
記円弧凹溝１２ａ部分で接着剤により接着され、その上
面にはガラス製の絶縁プレート１３が水平に接着され、
該絶縁プレート１３の上面には取付ステー１４が接着剤
により水平に接着されている。絶縁プレート１３は予め
取付ステー１４に接着されている。又、図７においてイ
ンゴット１１の結晶格子面１５の法線、つまり結晶方位
１６はインゴット１１の中心軸線１７、水平面１８及び
垂直面１９に対しそれぞれ傾斜している。この結晶方位
１６のインゴット１１の両端面における中心軸線１７か
らの水平方向の変位量は符号２０で、垂直方向の変位量
は符号２１で示されているが、この結晶方位１６の傾斜
角は実際にはインゴット１１の中心軸線１７に対して最
大で±３°程度である。又、取付ステー１４の取付軸線
とは、図７において該取付ステー１４の長手方向の仮想
軸線２３を言い、同図のステー１４の左右両側面は仮想
軸線２３と平行である。この実施形態の接着方法及び接
着装置はインゴット１１の前記結晶方位１６と取付ステ
ー１４の取付軸線２３とを平行に位置調整して、インゴ
ット１１と取付ステー１４とを適正に接着するものであ
る。

【００３３】次に、ワイヤソーを使用したインゴット１
１の加工装置全体の概要を図１４及び図１７により説明
する。

【００３４】自動倉庫２５は、未加工のインゴット１
１、中間ステー１２あるいは取付ステー１４を接着した
インゴット１１を収容し、図示しない搬入出装置により
インゴットをベルトコンベア式の搬送装置２６に搬送す
るようになっている。搬送装置２６の端部には、インゴ
ット１１の結晶方位１６と中間ステー１２及び取付ステ
ー１４の取付軸線２３を調整するとともに、インゴット
１１に中間ステー１２及び取付ステー１４を二工程で接
着するためのインゴットと取付ステーの接着装置２７が
装設されている。この接着装置２７の近傍にはインゴッ
ト１１の結晶方位１６を測定するための結晶方位測定手
段としての方位測定装置２８が装設されている。

【００３５】前記搬送装置２６の途中には別の搬送装置
２９が接続され、該搬送装置２９の途中にはインゴット
１１、中間ステー１２及び絶縁プレート１３の接着部を
乾燥硬化させる乾燥室３０が設けられている。前記搬送
装置２９から取り出された取付ステー１４を備えたイン
ゴット１１はワイヤソー３１に向けて搬送台車３２上に
載置されてワイヤソー３１に供給される。なお、ワイヤ
ソー３１により加工を終えたインゴット１１は枚葉化洗
浄システム３３に送られ、ここで多数のウエハに分離さ
れるとともに洗浄が行われる。

【００３６】次に、図１〜図６により前記接着装置２７
について説明する。

【００３７】この接着装置２７は概略的に見て、インゴ
ット１１をその中心軸線１７を水平に保持してクランプ
し回転させるための回転支持機構３８と、該回転支持機
構３８を搭載して中間ステー１２の接着位置と方位測定
装置２８に対応する測定位置との間を往復動可能に設け
られた移動手段としての搬送台車３９と、後述する方位
測定後にその測定データに基づいてインゴット１１を回
転させてその結晶方位１６を水平面内に位置するように
調整し、かつ前記回転支持機構３８を兼用する第１調整
手段としての結晶方位調整機構４０とを備えている。さ
らに、接着装置２７は前記結晶方位調整機構４０により
位置調整されたインゴット１１の上部に対し中間ステー
１２を接着する中間ステー接着機構７１と、前記測定デ
ータに基づいて、中間ステー１２の上面に対し取付ステ
ー１４を水平面内で回転し、インゴット１１の水平面上
に位置された結晶方位１６に対し取付ステー１４の水平
面内における取付軸線２３が平行になるように位置調整
する第２調整手段としての水平角度調整機構９１とを備
えている。

【００３８】そこで、回転支持機構３８及び搬送台車３
９について説明すると、図２に示すように中間ステー接
着機構７１に対応する接着位置と方位測定装置２１に対
応する測定位置間において、地面に固定された平行な左
右一対の案内レール４１に沿って水平可動盤４２が水平
方向に往復動可能に支持されている。この可動盤４２の
上面には図２において左右一対の軸受板４３が立設固定
され、両軸受板４３間には複数（この実施形態では図５
に示すように７個）の支持ローラ４４が遊転可能に支持
されている。又、図１に示すように最右端の支持ローラ
４４と搬送装置２６の端部との間には案内ローラ４５が
所定位置に支持され、搬送装置２６側からインゴット１
１を前記支持ローラ４４上に移送可能である。すなわ
ち、この案内ローラ４５と支持ローラ４４とによりイン
ゴット搬入出手段が構成されている。前記可動盤４２の
測定装置２１側の端部上面には図１に示すようにストッ
パ４６が立設固定され、図１及び図３においてインゴッ
ト１１の測定基準面となる左端面の位置決めを行うよう
になっている。

【００３９】図２〜図５に示すように可動盤４２の上面
には一対の支持盤４７が立設固定され、該支持盤４７間
には上下一対のインゴットクランプ用ローラ４８が遊転
可能に支持されている。前記可動盤４２の上面には一対
の支持体４９が立設固定され、該支持体４９には一対の
案内棒５０が所定間隔をおいて平行に、かつ水平に支持
されており、両案内棒５０には複数の支持体５１を介し
て支持盤５２が案内棒５０に沿って水平方向に往復動可
能に支持されている。この支持盤５２は、シリンダ５３
のロッド５４によって水平方向に往復動される。前記支
持盤５２の両側壁にはインゴット１１の外周面に回転接
触してインゴット１１を回転する上下一対の駆動ローラ
５５が軸支されている。これらのクランプ用ローラ４８
と駆動ローラ５５のローラ高さは、インゴット１１を把
持したとき、インゴット１１の中心が支持ローラ４４上
での搬送時のインゴット１１中心より高い位置になるよ
うに設定されている。そして、この上下一対のクランプ
用ローラ４８及び駆動ローラ５５が支持ローラ４４上の
インゴット１１を把持したとき、インゴット１１は上部
に若干持ち上げられ、ローラ４４より上方に離れる。

【００４０】前記支持盤５２の一側壁には図１、図５に
示すようにサーボモータ５６が固定され、該モータ５６
の駆動プーリ５７と、前記駆動ローラ５５の軸端に取り
付けた被動プーリ５８との間にはベルト５９が掛装さ
れ、サーボモータ５６によって前記駆動ローラ５５が回
転される。なお、６０はアイドラプーリである。前記サ
ーボモータ５６にはロータリーエンコーダ６１が取り付
けられ、回転数に比例したインゴット１１の回転角が検
出される。

【００４１】次に、中間ステー接着機構７１について説
明する。

【００４２】コラム７２の上部には一対の案内レール７
３が縦方向に固定され、両案内レール７３には水平の支
持アーム７４がレール７３に沿って昇降可能に支持され
ている。この支持アーム７４の先端部にはブラケット７
５が固定され、その両端部には図１に示すように案内レ
ール７６が水平に、かつインゴット１１の中心軸線１７
とほぼ平行に支持されている。この案内レール７６には
被案内部材７７が往復動可能に嵌合され、被案内部材７
７にはホルダー７８が取付けられ、該ホルダー７８の下
面に図示しない搬送手段によって搬入された中間ステー
１２が水平に接触され、図２において左右一対のクラン
プ板７９によって中間ステー１２が挟着固定される。前
記両クランプ板７９はシリンダ８０により開閉され中間
ステー１２をクランプしたりクランプ解除したりする。

【００４３】前記支持アーム７４の先端上部には図１、
図２に示すようにモータ８２が下向きに固定され、その
偏心軸８３の下端部に取り付けたピン８４が前記ホルダ
ー７８の上面に形成した水平方向に伸び、案内レール７
６と直交する溝７８１に係合されている。従って、モー
タ８２により偏心軸８３が回転されると、ピン８４によ
ってホルダー７８が案内レール７６に沿って往復動可能
である。前記モータ８２、偏心軸８３、案内レール７６
及びホルダー７８等によりインゴット１１への中間ステ
ー１２の接着状態を確実にするためのオシレート機構８
９が構成されている。

【００４４】前記コラム７２の内部にはボールねじ８５
が垂直方向に支持され、該ねじ８５はコラム７２の上部
に固定した昇降用サーボモータ８６によって正逆回転さ
れる。このボールねじ８５には昇降支持具８７が昇降可
能に支持され、該支持具８７は支持アーム７４の基端に
取り付けた係合片８８に係止されている。従って、前記
サーボモータ８６が回転されて昇降支持具８７が昇降動
作されると、支持アーム７４及び中間ステー１２を把持
したホルダー７８等が案内レール７３に沿って昇降動作
される。

【００４５】次に、図２、図６により水平角度調整機構
９１について説明すると、前記コラム７２の中間部には
図２に示すように水平支持板９２が取付けられ、該支持
板９２の上面には水平角度調整板９３が連結軸９４によ
って水平面内での回動可能に支持されている。前記支持
板９２には角度調整用サーボモータ９５が水平に支持さ
れ、該モータ９５の出力軸には自在継手９６を介して第
１ねじ９７と第２ねじ９８を直列に連結したねじ棒が連
結されている。第１ねじ９７には作動片９９が螺合さ
れ、該作動片９９の下端に固定した回転子１００が水平
支持板９２に形成した孔９２１に回動可能に係合されて
いる。又、第２ねじ９８には作動片１０１が螺合され、
該作動片１０１の下端部には回転子１０２が固定され、
該回転子１０２は水平角度調整板９３に形成した係合孔
９３１に嵌入されている。

【００４６】従って、前記モータ９５により第１ねじ９
７と第２ねじ９８が回転されると、水平角度調整板９３
は軸９４を中心に水平方向に回転され、取付ステー１４
の中間ステー１２上における水平方向の傾角、つまり取
付軸線２３をインゴット１１の結晶方位１６と平行に調
整することができる。

【００４７】前記第１ねじ９７と第２ねじ９８は、その
ピッチが異なる差動ねじであって、水平角度調整板９３
の水平面内での傾角を微調整することができる。なお、
取付ステー１２は図４に示す取付ステー搬入接着機構１
０３によってインゴット１１の上方において水平角度調
整板９３へ搬入される。この取付ステー搬入接着機構１
０３は水平の案内レール１０４に沿って図示しない駆動
機構により水平移動される可動コラム１０５と、該コラ
ム１０５に装着された案内レール１０６に沿って図示し
ない昇降機構により昇降動作される昇降体１０７と、該
昇降体１０７の水平部下面に取付けた電磁石１０８とを
備えている。そして、前記電磁石１０８により取付ステ
ー１２を吸着把持して所望する位置、つまり中間ステー
１２の上面に移載する。

【００４８】次に、Ｘ線の回折を利用してインゴットの
結晶方位を測定する前記方位測定装置２８について説明
する。

【００４９】図１及び図５に示すように搬送台車４０上
においてインゴット１１の基準端面をストッパ４６に当
接するとともに回転支持機構３８のローラ４８、４８、
５５、５５によってインゴット１１の中心軸線１７を所
定高さ位置に位置決めしてクランプする。その状態で、
送りモータ１２０によって搬送台車４０の水平可動板４
２を案内レール４１に沿って移動させ、方位測定装置２
８に対応する所定の測定位置に搬送台車４０を停止す
る。これにより、インゴット１１は方位測定装置２８に
対応する測定基準位置Ｋｏに位置決めされる。すなわ
ち、前記ストッパ４６と送りモータ１２０の制御手段或
いはセンサ等による停止手段によりインゴット１１の位
置決め手段が構成される。

【００５０】方位測定装置２８には、測定基準位置Ｋｏ
に位置決めされたインゴット１１の中心軸線１７と平行
な水平回転軸１１３が回転自在に支承され、この回転軸
１１３を中心に回転される測定ヘッド１１４が設けられ
ている。この測定ヘッド１１４にはＸ線をインゴット１
１の基準端面に向けて所定の傾斜角で照射するＸ線投光
器１１１と、照射されたＸ線を受光するＸ線受光器１１
２とが配設され、Ｘ線投光器１１１と受光器１１２は所
定角度で取付られている。前記測定ヘッド１１４は回転
軸１１３端に連結されたモータ１１５によって回転され
る。前記Ｘ線受光器１１２には反射Ｘ線の出力を測定す
る測定器１１６と、演算装置１１７が接続されている。
該演算装置１１７は、インゴット１１を固定した状態で
測定ヘッド１１４を９０度ずつ回転させてインゴット１
１の端面に対し４方向から照射して反射されたＸ線の出
力データに基づいて、インゴット１１の結晶方位１６の
測定データを演算する。この測定データは、インゴット
１１の結晶方位１６がインゴット１１の中心軸線１７を
中心に回転させて結晶方位１６が水平面内に位置するま
でのインゴット１１の回転角データα及びインゴット１
１の中心軸線１７に対する結晶方位１６の同一平面内で
の傾角データすなわち前記回転角データαに基づいて結
晶方位１６を水平面内に置き換えたときのインゴット１
１の中心軸線１７に対する結晶方位１６の水平面内での
傾角データβであり、この回転角データαと傾角データ
βの演算は、例えば特開平３−２５５９４８号公報、特
開平６ー２５８２６２号公報等に開示されている周知の
手法を用いて演算される。

【００５１】図１４に示すように、接着装置２７は制御
装置１１８を有し、この制御装置１１８を介して前記各
モータ５６、８２、８６、９５、１１５、搬送装置２６
の駆動モータ１１９、搬送台車３９の送りモータ１２０
及び方位測定装置２８が動作される。又、制御装置１１
８には演算装置１１７が接続され、モータ１１５からの
測定角度、モータ５６、９５からのインゴット１１及び
水平角度調整板９３の回転角度が読み取られる。

【００５２】次に、図１２及び図１３に基づいてワイヤ
ソー３１に設けられたインゴット１１の取付ステー１４
を把持するワーク取付機構１２１について説明する。

【００５３】図１２に示すように支持ブロック１２２は
図示しないワイヤソーの昇降コラムに固定され、該ブロ
ック１２２には固定ホルダー１２３がボルト等により固
定されている。該ホルダー１２３の下面には可動ホルダ
ー１２４が水平面内で回動可能に図１３に示す連結軸１
２５によって連結されている。前記固定ホルダー１２３
と可動ホルダー１２４との間には可動ホルダー１２４の
水平角度を調整する機構１２６が設けられている。

【００５４】上記機構１２６は固定ホルダー１２３側に
設けた第１ねじ１２７及び第２ねじ１２８を回動操作す
る操作つまみ１２９を備え、つまみ１２９は第１ねじ１
２７に自在継手１３０によって連結されている。又、第
１ねじ１２７には作動片１３１が第２ねじ１２８には作
動片１３３が、作動片１３１、１３３にはそれぞれ回転
子１３２、１３４が設けられ、操作つまみ１２９を回動
することによって、可動ホルダー１２４を軸１２５を中
心に水平方向の回動調節可能である。

【００５５】そして、前記可動ホルダー１２４の下面に
インゴット１１を固定した取付ステー１４が取り付けら
れる。

【００５６】前記支持ブロック１２２には支持筒１４２
が下向きに固定され、該支持筒内には昇降ロッド１４３
が貫通されている。該ロッド１４３の下端部には取付ス
テー１４が挿入可能な取付溝１４４ａを形成した取付片
１４４が一体に形成されている。前記取付ステー１４と
可動ホルダー１２４との間にはスペーサ１４５が介在さ
れている。そして、一方の取付溝１４４ａにはシリンダ
１４１ａにより進退されるプッシャ１４１ｂが設けら
れ、前記取付ステー１４は、他方の取付溝１４４ａの内
側面を基準として、そこへ押し当てられることにより、
水平方向の位置決めがなされる。

【００５７】前記支持ブロック１２２の内部には図１２
に示すように左右一対のカム部材１４６、１４７が横方
向に収容され、ブロック１２２の上面に固定した取付筒
１４８の上部にはエアシリンダ１４９が下向きに固定さ
れている。該シリンダのロッド１５０には作動ロッド１
５１が連結され、該作動ロッド１５１の下端部にはカム
フォロア１５２及びカムピン１５３が連結されている。
又、前記一対のカム部材１４６、１４７にはカム溝１５
４、１５６及びカム面１５５、１５７が形成され、カム
面１５５、１５７には前記カムフォロア１５２が接触さ
れ、カム溝１５４、１５６にはカムピン１５３が係合さ
れている。

【００５８】従って、前記シリンダ１４９により作動ロ
ッド１５１が下降されると、カムフォロア１５２及びカ
ムピン１５３が下動され、カムフォロア１５２がカム面
１５５、１５７に押し付けられる。このためカム部材１
４６、１４７の傾斜カム面１５８、１５９により昇降ロ
ッド１４３が持ち上げられ、取付片１４４によって取付
ステー１４が挟着され垂直方向に位置決めされ、クラン
プされる。

【００５９】反対に、シリンダ１４９によりカムフォロ
ア１５２及びカムピン１５３が持ち上げられると、カム
ピン１５３により、カム溝１５４、１５６が傾斜してい
るので、両カム部材１４６、１４７が接近する方向に移
動され、このため昇降ロッド１４３が下方に移動され、
取付ステー１４のクランプが解除される。

【００６０】さらに、予め前記操作つまみ１２９を回動
して可動ホルダー１２４及び取付片１４４の水平方向の
取付方位を、ワイヤ３４の走行方向に合うように組付上
の誤差を修正することができる。つまり、取付片１４４
の取付溝１４４ａがワイヤソーのワイヤ３４の走行方向
に対し直交する方向に延設されるように微調整してお
く。

【００６１】次に、前記のように構成したインゴット１
１に対する中間ステー１２及び取付ステー１４の接着方
法について図１５のフローに従って説明する。

【００６２】最初に、自動倉庫２５から取り出された単
体のインゴット１１は搬送装置２６によって運ばれ、図
１に示すように搬送台車３９上の複数の支持ローラ４４
の上面に受け渡され、基準単面がストッパ４６に当接し
て所定位置に停止される。（ステップＳ１） 次に、図２に示すように、シリンダ５３が作動されて駆
動ローラ５５がインゴット１１の外周面に押圧され、支
持ローラ４４より離れ、インゴット１１が４つのローラ
４８、４８、ローラ５５、５５によりクランプされる。
このインゴット１１のクランプ動作が終了すると、搬送
台車３９すなわち可動盤４２がインゴット１１をクラン
プした回転支持機構３８とともに方位測定装置２８に向
かって移送される。（ステップＳ２） 図１及び図５に鎖線で示すようにインゴット１１の基準
端面がＸ線投光器１１と受光器１１２とに対応する正規
の測定基準位置Ｋｏに移動されたら、可動盤４２を図示
しない制動装置により固定する。（ステップＳ３） 次に、方位測定装置２８を起動し、インゴット１１の端
面に一方向よりＸ線を照射して反射させ、その反射Ｘ線
を受光器１１２により受光する。モータ１１５により測
定ヘッド１１４を９０度ずつ回転させて、他の３方向か
らも、この測定動作を繰り返す。測定器１１６は、受光
器１１２からの反射Ｘ線の４方向での出力データを演算
装置１１７に送る。（ステップＳ４） この方位測定が終了すると、演算装置１１７は各照射方
向データと出力データに基づいて、結晶方位１６の回転
角データα及び傾角データβ（図８参照）を演算する。
（ステップＳ５） また、方位測定終了後は、インゴット１１は可動盤４２
とともに案内レール４１に沿って測定基準位置Ｋｏから
接着装置７１へ向かって搬送される。（ステップＳ６） この搬送途中又は接着装置７１に対応する接着位置にイ
ンゴット１１が搬送された位置において、前記演算装置
１１７からの回転角データαにより、中心軸線１７を中
心とする回転調整が行われる。すなわち、サーボモータ
５６を起動して駆動プーリ５７を回転させ、ベルト５９
を介して両駆動ローラ５５を回転し、インゴット１１を
４つのローラ４８、５５に支持したまま角度α回転させ
る。これにより、インゴット１１の結晶方位１６が水平
面１８に位置される。（ステップＳ７） 次に、図２においてモータ８６を起動し、中間ステー１
２を装着したアーム７４を案内レール７３に沿って下方
に移動し、図３に示すように該中間ステー１２をインゴ
ット１１の上面に互いに軸線をほぼ一致させて載置し接
着剤によりインゴット１１と中間ステー１２を接着す
る。この時、オシレート機構８９のモータ８２を起動し
て偏心軸８３を回動すると、案内レール７６に沿ってホ
ルダー７７がインゴット１１の中心軸線１７と平行方向
に往復動されて、接着剤に含まれる気泡が排除され、中
間ステー１２の接着が迅速かつ確実に行われる。（ステ
ップＳ８） この中間ステー１２の接着が完了すると、シリンダ８０
によってクランプ板７９による中間ステー１２のクラン
プを解除した後、前記モータ８６を逆転駆動して支持ア
ーム７４を図４に示すように上昇させて、ホルダー７７
を上方の待機位置に移動停止する。

【００６３】インゴット１１と中間ステー１２との間の
接着剤が乾燥すると、次に、予め下面に絶縁プレート１
３を接着しかつ絶縁プレート１３の下面に接着剤を塗布
した取付ステー１４が搬入装置１０３によって軽く把持
された状態でインゴット１１の中間ステー１２上面位置
へ向かって搬入され、中間ステー１２の上面に接着剤を
介して載置される。この場合も取付ステー１４は図示し
ないオシレート機構を介してインゴット１１の中心軸線
１７方向に往復動されながら中間ステー１２上面に軽く
接着される。（ステップＳ９） 次に、演算装置１１７からの傾角データβにより、水平
角度調整機構９１のサーボモータ９５が回動され、図６
の平面に示すように水平角度調整板９３の水平面内での
中心軸線１７に対する傾角θが角度βと同一となるよう
に微調整される。前記中間ステー１２と取付ステー１４
との間の接着剤が乾燥しないうちに、前記角度調整され
た水平角度調整板９３の端面に取付ステー１４の側面が
押し当てられて水平面内での方位調整が行われる。これ
により、インゴット１１の結晶方位１６と取付ステー１
４の水平面内での取付軸線２３とは平行になる。（ステ
ップＳ１０） この状態で搬入装置１０３が取付ステー１４をアンクラ
ンプし、退避する。前記中間ステー１２と取付ステー１
４との間の接着剤が乾燥すると、図４において、シリン
ダ５３を作動して駆動ローラ５５によるインゴット１１
のクランプを解除した後、該インゴット１１を取付ステ
ー１４とともに支持ローラ４４上を転動させて搬送装置
２６上に移動し、搬出される。（ステップＳ１１） そして、インゴット１１は搬送装置２９を通して乾燥室
３０に導かれ接着部を完全に乾燥させた後、搬送装置２
９、搬送台車３２を介してワイヤソー３１へ送られる。

【００６４】この接着完了状態では図１１に示すよう
に、インゴット１１の結晶方位１６及び取付ステー１４
の取付軸線２３は紙面と直交し、かつ水平面１８内にあ
って、インゴット１１の中心軸線１７は水平面内で結晶
方位１６に対しβだけ傾斜している。インゴット１１は
図示しない受け渡し装置によって搬送台車３２からワイ
ヤソー３１のワーク取付機構１２１へ受け渡される。こ
のとき、このインゴット１１の取付ステー１４は、図１
２に示すようにワーク取付機構１２１の取付片１４４内
に挿入され、クランプと同時に位置決めされる。そし
て、そのインゴット１１は、ワイヤソーのワイヤ３４に
より多数の薄いウエハに切断加工される。取付ステー１
４をワーク取付機構１２１の取付片１４４に取り付ける
のみで、取付ステー１４の取付軸線２３つまりインゴッ
ト１１の結晶方位１６がワイヤソー３１のワイヤ３４走
行（水平）方向と直交する方向に位置決めされるため、
加工後のウエハの切断面は、結晶格子面と平行になる。

【００６５】このため図１６のフローで示すようにイン
ゴット１１をワイヤソー３１に取り付けた後は、ゴニオ
調整することなく、直ちに加工を開始できる。

【００６６】さて、前記のように構成したインゴット１
１と取付ステー１４の接着方法の作用効果を以下に説明
する。

【００６７】（１）前記第１実施形態では、インゴット
１１の結晶方位１６に対し取付ステー１４の取付軸線２
３が平行となるように両部材が接着固定されているの
で、この取付ステー１４を図１２に示すワイヤソー３１
のワーク取付機構１２１に取り付けるのみで、直ちにイ
ンゴット１１の切断加工を精度良く行うことができる。
従って、ワイヤソー３１にゴニオ角設定器を装備しなく
ても済み、設備費を大幅に低減することができる。

【００６８】（２）前記第１実施形態では、インゴット
１１の中心軸線１７を水平に保ったまま、インゴット１
１の結晶方位１６を一旦水平面内に移動し、この結晶方
位１６に対し平行になるように取付ステー１４の取付軸
線２３を水平面内で移動して位置調整した状態で互いに
接着したため、インゴット１１及び取付ステー１４を共
に水平状態で搬出され、そのままの姿勢でワイヤソー３
１のワーク取付機構１２１に把持でき、取付作業を迅速
に行うことができる。

【００６９】（３）前記第１実施形態では、インゴット
１１を測定基準位置Ｋｏに位置決め固定した状態で方位
測定を行っているので、方位測定が正確に行える。測定
データα、βに基づいて後の工程で方位調整を行うこと
ができるため、方位調整や接着機構を作業性の良い場所
に設置することができ、種々のシステムに容易に対応で
きる。

【００７０】（４）前記第１実施形態では、クランプ用
ローラ４８及び駆動ローラ５５によってインゴット１１
は所定位置に位置決めされると同時に、支持ローラ４４
上から離されるため、方位測定及び回転調整が正確かつ
円滑に行える。

【００７１】次に、図１８〜図２４に基づいて本発明の
第２実施形態について説明する。

【００７２】図１８の平面に示すように第１調整手段と
しての回転支持機構３８、移動手段としての搬送台車３
９の側方には、ベルトコンベア方式のインゴット搬入装
置１６１及びインゴット搬出装置１６２が設けられ、イ
ンゴット搬入装置１６１のベルトコンベア上には、図２
０（ａ）に示すようにインゴット１１が支持されたパレ
ット１６３が載置され、所定の位置に搬送される。前記
インゴット搬出装置１６２上には図２０（ｂ) に示すよ
うに中間ステー１２及び取付ステー１４を接着したイン
ゴット１１がパレット１６４に支持された状態で搬出さ
れる。

【００７３】図１９に示すように回転支持機構３８、イ
ンゴット搬入装置１６１及びインゴット搬出装置１６２
の上方には、インゴット搬入出手段としての第１インゴ
ット搬入出機構１６５が装設されている。この第１イン
ゴット搬入出機構１６５は、門型のフレーム１６６と、
該フレーム１６６に装着された水平移動機構１６７と、
該水平移動機構１６７に装着されたシリンダ方式の昇降
機構１６８と、該昇降機構１６８に装着された把持機構
１６９とにより構成されている。そして、インゴット搬
入装置１６１のパレット１６３上のインゴット１１を把
持して上方へ持ち上げた後、水平方向に移動し、後述す
る第２インゴット搬入出機構１８１の受け渡し位置Ｐ１
（図２２参照）へインゴット１１を供給可能である。ま
た、第２インゴット搬入出機構１８１上に移動され、か
つ中間ステー１２及び取付ステー１４が接着されたイン
ゴット１１を把持して上方へ持ち上げ、次に水平方向に
移動して前記インゴット搬出装置１６２のパレット１６
４上へインゴット１１を搬出するようになっている。

【００７４】前記回転支持機構３８とインゴット搬入装
置１６１及びインゴット搬出装置１６２との間には、中
間ステー貯留供給機構１７１及び取付ステー貯留供給機
構１７２が装設されている。両貯留供給機構１７１、１
７２は、各ステー１２、１４を１個づつ繰り出して中間
ステー搬送機構１７３及び取付ステー搬送機構１７４上
へ供給する機能を備えている。前記中間ステー１２及び
取付ステー１４の貯留供給機構１７１、１７２の側方に
は中間ステー搬送機構１７３により搬送された中間ステ
ー１２の上面に接着剤を塗布する接着剤塗布機構１７５
が設けられている。同様に、取付ステー貯留供給機構１
７２の側方には取付ステー搬送機構１７４により搬送さ
れた取付ステー１４の上面に接着剤を塗布する接着剤塗
布機構１７６が設けられている。図１８及び図１９に示
すように前記中間ステー搬送機構１７３と対応して、接
着剤が塗布された中間ステー１２を後述する中間ステー
１２又は取付ステー１４を把持するクランプ機構２２１
へ搬入する中間ステー搬入機構１７７が装設されてい
る。同様に取付ステー搬送機構１７４と対応して接着剤
が塗布された取付ステー１４をクランプ機構２２１へ搬
入する取付ステー搬入機構１７８が装設されている。

【００７５】次に、第２実施形態の回転支持機構３８、
搬送台車３９及び結晶方位調整機構４０等の構成を順次
説明する。

【００７６】図２２に示すように機台３７の上面にはス
テー接着前のインゴット１１を受け渡し位置Ｐ１からス
テーを接着する接着位置Ｐ２へ搬送し、接着後のインゴ
ットを該接着位置Ｐ２から受け渡し位置Ｐ１へ搬送する
第２インゴット搬送機構１８１が装設されている。該第
２インゴット搬送機構１８１は機台３７に立設された支
柱１８２と、該支柱１８２に軸４０４を支点にして傾動
可能に水平に支持された一対の水平支持アーム１８３
と、該アーム１８３と前記機台３７との間に介在された
シリンダ４００とを備えている。又、該第２インゴット
搬送機構１８１は、支持アーム１８３の前後両端部にそ
れぞれ一対ずつ支持された駆動プーリ１８４及び被動プ
ーリ１８５と、両プーリ１８４、１８５に巻掛けされた
一対の駆動ベルト１８６と、駆動ベルト１８６によって
駆動される複数のローラ４０１とを備えている。そし
て、前記第１インゴット搬入出機構１６５の把持機構１
６９によって受け渡し位置Ｐ１に搬入されたインゴット
１１を、駆動モータ１８７により駆動ベルト１８６を旋
回することによりローラ４０１が駆動され接着位置Ｐ２
へ移動することができる。このとき、搬送台車３９上に
設けられたストッパ１９１ａによりインゴット１１の基
準端面が位置決めされる。

【００７７】次に、前記第２インゴット搬送機構１８１
により接着位置Ｐ２へ搬入されたインゴット１１を把持
して回転する回転支持機構３８及びこの機構を搭載して
インゴット１１を接着位置Ｐ２から方位測定位置Ｐ３へ
又その逆方向へ移動する搬送台車３９について説明す
る。

【００７８】図２１、図２２に示すように、機台３７に
設けた水平可動盤４２の上面には支持板１９１が両側に
立設固定され、この支持板１９１の上部左右両側には一
対の支持軸１９２が水平方向に、かつ互いに平行に支持
され、両支持軸１９２には駆動ローラ１９３がそれぞれ
嵌合固定されている。この一対の駆動ローラ１９３で形
成されるインゴット１１の搬送高さ４０２は前記一対の
水平支持アーム１８３に装着されたローラ４０１に支持
されたインゴット１１の搬送高さ４０３より下方に位置
している。前記両支持軸１９２の基端部にはプーリ１９
４が嵌合され、支持板１９１の左側面にはアイドラプー
リ１９４が支持され、ベルト１９５が各プーリ１９４に
巻掛けされている。また、前記６つのプーリ１９４のう
ち１つのプーリ１９４はモータ１９６によって回転さ
れ、駆動ローラ１９３を積極的に正逆回転させ、インゴ
ット１１を回転する。前記ストッパ１９１ａは前端側の
支持板１９１に取付られている。

【００７９】図２１に示すように、前記水平可動盤４２
の上面には、支持板１９７が立設され、該板にはブラケ
ット１９８が取り付けられ、該ブラケットにはレバー１
９９が軸２００を中心に上下方向の回動可能に支持され
ている。前記レバー１９９の先端には押えローラ２０１
が支持され、レバー１９９はシリンダ２０２によって上
下方向に往復傾動される。従って、インゴット１１が駆
動ベルト１８６によって第２インゴット搬入出機構１８
１の受け渡し位置Ｐ１から接着位置Ｐ２へ移動されて前
記駆動ローラ１９３上に移動される。この状態で水平支
持アーム１８３を支えているシリンダ４００のピストン
が下がり水平支持アーム１８３は軸４０４を中心にして
下方へ回動する。これによりインゴット１１は一対の駆
動ローラ１９３上に載置された状態となり、ここでシリ
ンダ２０２を作動させて押えローラ２０１をインゴット
１１の上部外周面に押圧し、インゴット１１を３つのロ
ーラ１９３、１９３、２０１により挟着把持する。同時
に支持板１９１に固設されたブラケット４１０、４１１
に取り付けられたシリンダ４１２、４１３が作動し、ク
ランパー４１４、４１５がインゴット１１を両サイド方
向よりクランプしてステーの接着作業時の上方への押圧
力を受け止めるようになっている。

【００８０】図２２に示すように機台３７の上面には軸
受２０３、２０４が所定間隔をおいて支持され、両軸受
２０３、２０４にはボールねじ２０５が水平に支持され
ている。このボールねじ２０５には前記水平可動盤４２
の下面に取り付けたブラケットにボールねじのナット２
０６が嵌合固定されている。前記軸受２０３の近傍には
駆動モータ２０７が設けられボールねじ２０５を回動可
能である。従って、このモータ２０７の回動によりボー
ルねじ２０５が回転され、ナット２０６を介して水平可
動盤４２上の回転支持機構３８が接着位置Ｐ２と方位測
定位置Ｐ３との間で往復動される。このため回転支持機
構３８に支持されたインゴット１１が方位測定装置２８
に向かって所定位置まで前進し、センサＳの確認により
インゴット１１端面が測定基準位置Ｋｏに位置決めされ
た状態で、方位測定が行われる。

【００８１】次に、インゴット１１の下面に対し中間ス
テー１２の接着と取付ステー１４の接着とを同一のステ
ーションで行う方式の接着機構を図２１〜２３に基づい
て説明する。

【００８２】前記機台３７には固定軸筒２１１が上下方
向に立設固定され、該筒２１１の内部にはベアリング２
１２を介して回転筒２１３が所定位置において回転可能
に支持されている。該回転筒２１３の内周面には上下１
対のスプライン筒２１４が嵌入され、ボルト２１５によ
り両筒２１３、２１４が固定されている。前記スプライ
ン筒２１４には昇降支持軸２１６が上下方向の往復動可
能に、かつ前記スプライン筒２１４にスプライン嵌合さ
れている。機台３７の内部には昇降レバー２１７が軸２
１８を支点にして揺動可能に支持され、昇降シリンダ２
１９によって昇降レバー２１７が上下方向に往復動され
ると、前記昇降支持軸２１６を昇降動作する。

【００８３】次に、図２３により昇降支持軸２１６の上
端部に設けられた中間ステー１２又は取付ステー１４を
交互にクランプするクランプ機構２２１について説明す
る。このクランプ機構２２１は昇降支持軸２１６の上端
に固定されたクランプ台２２２と、該クランプ台２２２
に設けた固定クランプ爪２２３と、クランプ台２２に取
り付けた可動クランプ爪２２４と、前記クランプ台２２
２に取り付けられ、かつ可動クランプ爪２２４を水平方
向に往復動するシリンダ２２５とにより構成されてい
る。

【００８４】次に、昇降支持軸２１６、クランプ機構２
２１を垂直軸線のまわりで回動して該機構に把持された
取付ステー１４の水平角度を調整する第２調整手段とし
ての水平角度調整機構９１の構成について図２２、図２
３により説明する。

【００８５】図２２に示すように前記回転筒２１３の下
端部外周にはリング２２６が嵌合され、該リングには回
動レバー２２７が取り付けられている。この回動レバー
２２７は機台３７の所定位置に設置された回動機構２２
８によって往復回動され、方位測定データに基づいて取
付ステー１４の取付軸線２３がインゴット１１の水平面
内に位置する中心軸線１７と平行になるように調整され
る。

【００８６】次に、図１９、図２１に基づいて、中間ス
テー１２及び取付ステー１４をそれぞれ前記クランプ機
構２２１のクランプ台２２２上面に交互に供給する前記
中間ステー及び取付ステーの貯留供給機構１７１、１７
２、搬送機構１７３、１７４、接着剤塗布機構１７５、
１７６、ステー搬入機構１７７、１７８について順次説
明する。

【００８７】機台３７に設けられたフレーム２３１には
中間ステー１２が上下方向に多数積層状に収容されてい
る。前記フレーム２３１の下端部前後両側には係止レバ
ー２３３が図示しないシリンダ等により開閉自在に取付
けられている。中間ステー搬送機構１７３は機台３７に
設けられた支持フレーム２４１と該支持フレーム２４１
に設けられたローラコンベア２４２と該ローラコンベア
２４２を駆動する図示しない駆動モータとにより構成さ
れる。そして、中間ステー貯留供給機構１７１から係止
レバー２３３の作動により１個づつ繰り出された中間ス
テー１２をローラコンベア２４２上に移動し、接着剤塗
布機構１７５側に移動可能である。

【００８８】次に、前記接着剤塗布機構１７５について
説明すると、機台３７に設けられたフレーム２５１の上
面には案内レール２５２に沿って移動体２５３が前後方
向に往復動自在に支持され、モータ２５４によって移動
される。また、移動体２５３には昇降体２５５がシリン
ダ２５７により昇降可能に支持されている。該昇降体２
５５の側面にはディスペンサーノズル２５８が下向きに
取り付けられ、該ディスペンサーノズル２５８にはフレ
ーム２５１側に設置した図示しない接着剤供給機構から
フレキシブルパイプ２６０を介して接着剤が所定の量だ
け供給されるようになっている。

【００８９】次に、中間ステー搬入機構１７７の構成を
説明する。前記接着剤塗布機構１７５側に移動された中
間ステー１２には、接着剤塗布機構１７５により接着剤
が塗布される。これを前記クランプ機構２２１側に搬入
する中間ステー搬入機構１７７は、図２１に示すように
ローラコンベア２４２の間に配置され、中間ステー１２
を上下方向から挟着可能な上下１対のクランプ爪２６１
と、該クランプ爪２６１を支持し上下方向に往復動する
昇降シリンダ２６２と、クランプ爪２６１を水平方向に
往復動する前後動シリンダ２６３とにより構成されてい
る。

【００９０】以上のように構成した中間ステー貯留供給
機構１７１、中間ステー搬送機構１７３、接着剤塗布機
構１７５及び中間ステー搬入機構１７７の構成は、取付
ステー貯留供給機構１７２、取付ステー搬送機構１７
４、接着剤塗布機構１７６及び取付ステー搬入機構１７
８の各機構と全く同様に構成されているので、同一の符
号を付して説明を省略する。

【００９１】次に、前記のように構成した装置につい
て、図２４のフローチャートによりその作用を説明す
る。

【００９２】図１８、図１９及び図２２においてインゴ
ット搬入装置１６１によりインゴット１１がパレット１
６３に支持された状態で所定位置に移動されると、図示
しない停止機構が作動されて搬入装置１６１が停止され
る。

【００９３】上記の停止動作に同期して第１インゴット
搬入出機構１６５が作動され、その把持機構１６９が図
１９において、左側の矢印で示すように移動され、パレ
ット１６３上のインゴット１１が第２インゴット搬入出
機構１８１のコンベアローラ４０１の受け渡し位置Ｐ１
へ搬入される。（ステップＳ１２） このインゴット１１の搬入が完了すると、駆動モータ１
８７が作動されてコンベアローラ４０１によりインゴッ
ト１１が受け渡し位置Ｐ１から接着位置Ｐ２に移動し、
その基準端面がストッパ１９１ａに当接されて位置決め
される。その後、シリンダ４００のピストンロッドが下
降し水平アーム１８３が軸４０４を中心に下方へ傾動さ
れることにより、インゴット１１が回転支持機構３８の
駆動ローラ１９３上へ移載される。（ステップＳ１３） その後、シリンダ２０２が作動されて押さえローラ２０
１がインゴット１１の上面に押圧される。同時に、シリ
ンダ４１２、４１３が作動してクランパー４１４、４１
５がインゴット１１を両側からクランプする。このよう
にして、インゴット１１が搬送台車３９に移載される。
（ステップＳ１４） この状態で駆動モータ２０７が作動されて搬送台車３９
が案内レール４１に沿って前記接着位置Ｐ２から方位測
定位置Ｐ３へ移動され、インゴット１１が測定基準位置
Ｋｏに位置決めされる。（ステップＳ１５） 方位測定位置Ｐ３においてインゴット１１の結晶方位が
前述した第１実施形態と同様にして測定され（ステップ
Ｓ１６）、測定データとして回転角データαと傾角デー
タβが演算される。（ステップＳ１７） 方位測定後、搬送台車３９が案内レール４１に沿って前
記方位測定位置Ｐ３から接着位置Ｐ２へ戻される。（ス
テップＳ１８）この位置で、前記回転角データαによ
り、インゴットの中心軸線１７が水平面内に位置するよ
うにインゴット１１が回転される。（ステップＳ１９） 一方、中間ステー貯留供給機構１７１の中間ステー１２
は、中間ステー搬送機構１７３によりローラコンベア２
４２上に一個ずつ繰り出され、接着剤塗布機構１７５へ
供給されて該ステーの上面に接着剤が塗布される。（ス
テップＳ２０、Ｓ２１）この中間ステー１２は中間ステ
ー搬入機構１７７のクランプ爪２６１によってクランプ
され、図２１に鎖線で示すように待機位置にあるクラン
プ機構２２１のクランプ台２２２へ搬入される。その
後、シリンダ２２５により可動クランプ爪２２４が作動
されて、両クランプ爪２２３、２２４間に中間ステー１
２が挟着固定される。（ステップＳ２２） 次に、昇降シリンダ２１９が作動されて昇降支持軸２１
６が上方に移動され、クランプ機構２２１に把持された
中間ステー１２の上面がインゴット１１の下側外周面に
押圧接着される。このとき、駆動モータ２０７が正逆回
転されるので、搬送台車３９が前後方向に所定のストロ
ークで往復動され、中間ステー１２とインゴット１１と
の接着がオシレート機能により確実に行われる。（ステ
ップＳ２３） 中間ステー１２の接着が終了すると、クランプ機構２２
１による中間ステー１２の把持が解除されるとともに、
昇降シリンダ２１９により昇降支持軸２１６及びクラン
プ機構２２１が下降される。

【００９４】次に、ステップＳ２４で取付ステー貯留供
給機構１７２から繰り出された取付ステー１４は、ステ
ップＳ２５で接着剤塗布機構１７６により上面に接着剤
を塗布される。この接着剤を塗布された取付ステー１４
が、ステップＳ２６で取付ステー搬入機構１７８により
前記クランプ機構２２１へ搬入され、ステップＳ２７で
中間ステー１２の接着動作と同様の動作により取付ステ
ー１４が中間ステー１２の下面に押圧接着される。この
とき、前記測定データの傾角データβにより、回動機構
２２８により昇降支持軸２１６及びクランプ機構２２１
が所定の角度水平面内で回動され、インゴット１１の中
心軸線１７に対し取付ステー１４の取付軸線２３が平行
状態に調整される。（ステップＳ２８） なお、中間ステー１２及び取付ステー１４が接着された
インゴット１１は、ステップＳ２９で接着位置Ｐ２から
受け渡し位置Ｐ１へ移動され、その後、ステップＳ３０
で第１インゴット搬入出機構１６５により受け渡し位置
Ｐ１からインゴット搬出装置１６２側へ搬出される。

【００９５】次に、前記第２実施形態の構成に基づく作
用、効果を説明する。

【００９６】（１）第２実施形態では、中間ステー１２
の接着作業と、取付ステー１４の接着作業を同一のステ
ーションで行うように中間ステー接着機構及び取付ステ
ー接着機構を構成したので、構造を簡素化することがで
きるとともに、作業能率を向上することができる。

【００９７】（２）第２実施形態では、中間ステー及び
取付ステーの貯留供給機構１７１、１７２、中間ステー
及び取付ステーの搬送機構１７３、１７４、接着材塗布
機構１７５、１７６及び中間ステー及び取付ステーをク
ランプ機構２２１へ搬入する搬入機構１７７、１７８を
設けたので、中間ステー１２及び取付ステー１４に対す
る接着剤の塗布作業及びクランプ機構２２１への搬入作
業を自動化して作業能率を向上することができる。

【００９８】（３）第２実施形態では、インゴット搬入
装置１６１、インゴット搬出装置１６２を設け、第１イ
ンゴット搬入出機構１６５によりインゴット１１を第２
インゴット搬入出機構１８１の受け渡し位置Ｐ１へ搬入
出するようにしたので、インゴット１１の搬入出作業を
自動的に迅速に行うことができる。

【００９９】（４）第２実施形態では、機台３７に回動
機構２２８により角度調整される昇降支持軸２１６を設
け、該支持軸２１６の上部に中間ステー又は取付ステー
を把持するクランプ機構２２１を設けたので、接着機構
の構成を簡素化することができる。

【０１００】次に、本発明の第３実施形態を図２５〜図
２９に基づいて説明する。

【０１０１】この第３実施形態では前述した第２実施形
態における中間ステー１２の接着機構Ｋ１と取付ステー
１４の接着機構Ｋ２を分離して装設するとともに、取付
ステー１４の接着機構Ｋ２側に対し、一つの取付ステー
１４に複数のインゴット１１を取り付ける取付ステー移
動機構２７０を設けている。

【０１０２】図２６によりこの取付ステー移動機構２７
０について説明すると、固定軸筒２１１に貫通支持さ
れ、かつ所定位置において回動機構２２８により回動さ
れる回転支持軸２７１の上端部に回転支持板２７２が水
平に支持されている。該回転支持板２７２には一対の案
内金具２７３が固定され、前記クランプ機構２２１のク
ランプ台２２２の下面に固定したガイドレール２７４が
案内金具２７３に案内され長手方向に往復動可能であ
る。前記クランプ台２２２の下面側部にはその長手方向
にラック２７５が固定されている。このラック２７５に
は前記回転支持板２７２のブラケット２７６に設けられ
たブレーキ４０６内蔵のモータ２７７の軸に固定された
ピニオン２７６が噛み合わされている。

【０１０３】次に、この実施形態におけるインゴット１
１１と中間ステー１２の接着及び取付ステー１４への複
数インゴット１１の接着方法について、図２９のフロー
に従って、図２７と平面を表した図２８（ａ）〜（ｃ）
に基づいて説明する。

【０１０４】ステップＳ３１〜Ｓ３８に示すインゴット
１１の方位測定、データαによる方位調整及び中間ステ
ー１２の接着については、図２４で説明したステップＳ
１３〜Ｓ１９、Ｓ２３と同様であるため、その説明を省
略する。

【０１０５】中間ステー１２を接着した後、インゴット
１１は上述した取付ステー移動機構２７０を装備した取
付ステー接着機構Ｋ２に対応する接着位置へ搬送され
る。（ステップ３９） 取付ステー移動機構２７０において、クランプ機構２２
１に把持された取付ステー１４を、まず第１番目のイン
ゴット１１を取り付けるための取付中心位置を回転支持
軸１７１の上方に位置させるように、モータ２７７によ
りピニオン２７８を回転してラック２７５を直線移動
し、モータ２７７のブレーキ４０６をＯＮにする。（ス
テップＳ４０） そして、図２８（ａ）に示すようにマニプレータ等の図
示しないインゴット搬送機構の把持部材Ｈ、Ｈ間に把持
された第１番目のインゴット１１をその長さ方向の中心
を回転支持軸１７１の上方に位置させるように搬送し、
その位置で取付ステー１４上に載置する。（ステップ４
１）これにより、図２８（ａ）に示すようにインゴット
１１の長さ方向の中心が取付ステー１４の前記取付中心
位置に一致される。この位置で、インゴット１１の下面
に接着された中間ステー１２の下面がそこに塗布された
接着剤を介して取付ステー１４の上面に接合し、オシレ
ートを伴って、軽く接着される。（ステップＳ４２） 前記接着剤が乾燥しないうちに、第１番目のインゴット
１１を把持部材Ｈ、Ｈによりその中心軸線１７を固定し
た状態で、前記方位測定装置２８で測定された傾角デー
タβに基づいて回動機構２２８により回転支持軸２７１
を第２８図（ａ）二点鎖線で示すように回動し、方位調
整する。これにより、第１番目のインゴット１１の結晶
方位と取付ステー１４の取付軸線２３とが方向が一致し
た状態になり、この調整状態で、取付ステー１４とイン
ゴット１１の下面に接着された中間ステー１２とが接着
される。（ステップＳ４３）この後、インゴット搬送機
構の把持部材Ｈ、Ｈは第１番目のインゴット１１を離し
て退避される。

【０１０６】第１番目のインゴット１１の接着が終了す
ると、取付ステー１４は回動機構２２８により前記角度
β分だけ逆回転され元の角度に戻される。（ステップＳ
４４） 次に、ステップＳ４５により同一取付ステー１４に接着
する次のインゴット１１が有る場合には、ステップＳ４
０に戻り、モータ２７７のブレーキ４０６を解除すると
ともに、モータ２７７によりピニオン２７８を回転して
ラック２７５を直線移動し、図２８（ｂ）に示すように
取付ステー１４の第２番目のインゴット１１を取り付け
るための取付中心位置を前記回転支持軸１７１の上方に
移動させるように、モータ２７７によりピニオン２７８
を回転してラック２７５を直線移動し、モータ２７７の
ブレーキ４０６をＯＮにする。

【０１０７】そして、図２８（ｂ）に示すように、前記
第１番目のインゴット１１を搬送し位置決めしたときの
動作と同様にして、第２番目のインゴット１１が取付ス
テー１４上に載置され、インゴット１１の長さ方向の中
心が取付ステー１４の前記取付中心位置に一致される。
（ステップＳ４１、Ｓ４２） この状態で、再び前記第１番目のインゴット１１の接着
動作と同様に第２番目のインゴット１１を把持したまま
方位測定装置２８からのデータに基づいて回動機構２２
８により回転支持軸２７１を図２８（ｂ）二点鎖線に示
すように回動し、方位調整する。これにより、第２番目
のインゴット１１の結晶方位と取付ステー１４の取付軸
線２３とが方向が一致した状態になり、この調整状態
で、取付ステー１４とインゴット１１の下面に接着され
た中間ステー１２とが接着される。（ステップＳ４３）
この後、同様にして、インゴット搬送機構が退避され、
取付ステー１４は元の角度に戻される。（ステップＳ４
４） さらに、第３番目のインゴット１１の接着動作も図２８
（ｃ）に示すように第１番目、第２番目のインゴット１
１の接着動作と同様に行われる。

【０１０８】さて、前述した第３実施形態では、回転支
持軸２７１とクランプ機構２２１との間に取付ステー移
動機構２７０を設けたので、一つの取付ステー１４に対
し長さの短い複数個のインゴット１１を方位調整しなが
ら容易に接着することができる。

【０１０９】次に、本発明の第４実施形態を図３０のフ
ローに基づいて説明する。

【０１１０】本実施形態は、図２と同様の結晶方位調整
機構４０によって回転角データαによりインゴット１１
を回転調整した後、予め可切断材よりなる中間ステー１
２を軽く接着しておいた取付ステー１４を図２と同様の
水平角度調整機構９１によって傾角データβにより水平
面内で回転調整した状態で、インゴット１１に対し中間
ステー１２を介して接着する方法である。

【０１１１】ステップＳ４７〜Ｓ５３に示すインゴット
１１の方位測定及びデータαによる方位調整について
は、図１５で説明したステップＳ１〜Ｓ７と同様である
ため、その説明を省略する。

【０１１２】インゴット１１の回転調整の後、取付ステ
ー１４にほぼ軸線を合わせて中間ステー１２を接着し、
オシレートする。（ステップＳ５４） この中間ステー１２と取付ステー１４間の接着剤が乾燥
しないうちに、インゴット１１への接着及びデータβに
よる方位調整が行われる。取付ステー１４を中間ステー
１２の円弧凹溝１２ａの形成された面で接着剤を介して
インゴット１１にオシレート動作を伴って接着する。
（ステップＳ５５）その後、データβによる取付ステー
１４の水平面内での回動調整を行う。（ステップＳ５
６）この状態で接着剤の乾燥後インゴット１１を搬出す
る。（ステップＳ５７） この実施形態では、中間ステー１２にはその取付軸線に
沿ってインゴット１１の円柱面にはまり合う円弧凹溝１
２ａを有している。これにより、中間ステー１２と取付
ステー１４間の接着剤が未乾燥の状態で、インゴット１
１に対し取付ステー１４を中間ステー１２を介して接着
した際に、中間ステー１２が円弧凹溝１２ａとインゴッ
ト１１とのはまり合いによって中間ステー１２の取付軸
線がインゴット１１の中心軸線１７と合うように調整さ
れて接着される。このため、接着面積が大きく接着力が
高まる。この接着状態で取付ステー１４が回動調整され
ても中間ステー１２は、インゴット１１に嵌合したまま
動かず取付ステー１４のみ調整され、図１１と同様な状
態に接着されることになる。このように、インゴット１
１に対しては、一回の接着工程で取付ステー１４の接着
を完了することができる。

【０１１３】なお、本発明は次のように具体化すること
ができる。

【０１１４】（１）前記各実施形態において、制御装置
１１８に対し、インゴット１１に対する中間ステー１２
及び取付ステー１４の接着時の押付圧、オシレート速
度、オシレート回数及びオシレート時間を制御できる機
能を付与すること。そして、接着データを操作パネルに
より設定したり予め記憶されたデータの中から適正なデ
ータを選択したりすること。

【０１１５】（２）前記絶縁プレート１３を省略するこ
と。この代わりの絶縁機能を加工機でのワーク取付機構
側に設けること。

【０１１６】

【０１１７】（３）インゴット１１の結晶方位１６に対
し、取付ステー１４の取付軸線２３を平行にするように
位置調整する手段は、取付ステー１４を所定の状態に静
止させておき、インゴット１１を水平面内で回転させる
ことによって相対位置を調整するものである。

【０１１８】（４）前記第３実施形態においても、第４
実施形態で説明したように予め取付ステー１４上に接着
剤を介してインゴット数に応じた中間ステー１２を接着
しておき、好ましくは接着剤が乾燥しないうちに、複数
個のインゴット１１を順次中間ステー１２を介して取付
ステー１４に調整状態で接着すること。

【０１１９】（５）予め、取付ステー１４に中間ステー
１２を略方位調整して接着しておき、一体化した状態で
本接着装置にて一工程で接着を行うこと。

【０１２０】上記実施形態から把握できる請求項以外の
技術思想について、以下にその効果とともに記載する。

【０１２１】インゴット１１に対し取付ステー１４を結
晶方位１６と取付軸線２３とを平行にして接着した状態
の取付ステー１４を所定の方向に把持するワーク取付機
構１２１を備えたワイヤソー。

【０１２２】このワイヤソーは、構造を簡素化し、取付
ステー１４の取付作業を自動化することができ、稼働率
を向上することができる。

【０１２３】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１、７、
８、９記載の発明は、インゴットの結晶方位の測定デー
タに基づいてインゴットの回転調整並びに取付ステーの
水平面内での回転調整を行い、インゴットの結晶方位が
取付ステーの取付軸線と平行になるように両部材が接着
固定されるので、この取付ステーを加工機のワーク取付
機構に容易に取り付けることができる。これにより、加
工機にゴニオ角設定器を装着する必要を無くして、イン
ゴット切断加工の装置全体の設備費を低減することがで
きるとともに、加工機へのインゴットの取付作業を自動
化して、加工機の稼動率を向上することができる。ま
た、中間ステーを介することにより、取付ステーとイン
ゴットとの安定した接着が可能となる。しかも、中間ス
テーは可切断材でなるので、例えば断面が円形状のイン
ゴットについても、加工機での切断が確実に行える。

【０１２４】さらに、方位測定によってインゴットの結
晶方位の測定データが確保されるので、カバー等で覆わ
れた測定装置から離れた作業し易い位置に方位調整機構
や接着機構を設置することができ、種々のシステムにも
容易に対応できる。しかも、各方位調整に対応するデー
タが得られ、そのまま調整用の指令データとして使用で
きる。

【０１２５】請求項４、１４記載の発明においては、測
定装置に対しインゴットを正確に位置決めでき、かつイ
ンゴットを固定した状態で方位測定が行われるので、イ
ンゴットの大きさに拘らず常に正確な方位測定が行え
る。測定データが高精度なものとなる。

【０１２６】

【０１２７】

【０１２８】請求項２、３、１１、１２記載の発明にお
いては、請求項１、７、８、９の効果に加えて、インゴ
ットに対し取付ステーの接着を一接着工程でしかも確実
に行える。

【０１２９】請求項５、７、１３記載の発明において
は、各ステーを確実に接着することができる。

【０１３０】請求項６、１５記載の発明においては、単
一の取付ステーに複数のインゴットを接着することがで
きる。短いインゴットを複数個同時に切断でき、加工効
率が高められる。

【０１３１】請求項９記載の発明においては、搬送台車
により測定位置と接着位置との間のインゴットの移動を
迅速に行うことができる。しかも、インゴット移動手段
が第１調整手段を兼用しているので、移動中に方位調整
が可能であり、作業時間が短縮される。

【０１３２】

【０１３３】

【０１３４】請求項１０記載の発明においては、インゴ
ットの移送を自動化でき、各機構を種々のレイアウトで
配置することが可能となる。

【０１３５】請求項１６記載の発明においては、複数の
インゴットをそれぞれ方位調整した状態で効率よく同一
取付ステーに接着できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の接着方法を具体化した接着装置及
び方位測定装置を示す正断面図。

【図２】 接着装置及び方位測定装置の側断面図。

【図３】 接着装置及び方位測定装置の側断面図。

【図４】 接着装置及び方位測定装置の側断面図。

【図５】 回転支持機構及び方位測定装置の平断面図。

【図６】 水平角調整機構の平面図。

【図７】 インゴット及び取付ステーの斜視図。

【図８】 方位測定方法を説明する平面図。

【図９】 方位測定方法を説明する正面図。

【図１０】 方位測定方法を説明する正面図。

【図１１】 インゴットに取付ステーを接着した状態を
示す正面図。

【図１２】 ワーク取付機構の縦断面図。

【図１３】 ワーク取付機構の部分平面図。

【図１４】 制御装置を示す略体説明図。

【図１５】 インゴットと取付ステーの接着方法を示す
フローチャート。

【図１６】 インゴットの加工方法を示すフローチャー
ト。

【図１７】 加工装置全体の略体斜視図。

【図１８】 本発明の第２実施形態を示す平面図。

【図１９】 同じく第２実施形態の正面図。

【図２０】 （ａ），（ｂ）はパレット及びインゴット
の斜視図。

【図２１】 接着機構を示す断面図。

【図２２】 接着機構を示す断面図。

【図２３】 昇降支持軸の軸受け構造及びクランプ機構
の拡大断面図。

【図２４】 インゴットと取付ステーの接着方法を示す
フローチャート。

【図２５】 本発明の第３実施形態を示す断面図。

【図２６】 取付ステーの接着機構を示す断面図。

【図２７】 取付ステーの接着機構を示す斜視図。

【図２８】 （ａ），（ｂ），（ｃ）は取付ステーの接
着方法を説明する平面図。

【図２９】 複数インゴットと取付ステーの接着方法を
示すフローチャート。

【図３０】 本発明の第４実施形態のインゴットと取付
ステーの接着方法を示すフローチャート。

【図３１】 従来のインゴットの加工方法のフローチャ
ート。

【符号の説明】

１１…単結晶インゴット、１２…中間ステー、１２ａ…
円弧凹溝、１４…取付ステー、１６…結晶方位、１７…
インゴットの中心軸線、２３…取付ステーの取付軸線、
２７…接着装置、２８…方位測定装置（結晶方位測定手
段）、３８…回転支持機構、３９…搬送台車（移動手
段）、４０…結晶方位調整機構（第１調整手段）、４４
…インゴット搬入出手段を構成する支持ローラ、４５…
インゴット搬入出手段を構成する案内ローラ、４６…位
置決め手段を構成するストッパ、７１…中間ステー接着
機構、８９…オシレート機構、９１…水平角度調整機構
（第２調整手段）、１１４…測定ヘッド、１１８…位置
決め手段を構成する制御装置、１６５…第１インゴット
搬入出機構（インゴット搬入出手段）、１７１…回転支
持軸、１９１ａ…位置決め手段を構成するストッパ、２
２１…クランプ機構、２７０…取付ステー移動機構、２
７２…回転支持板、α、β…結晶方位の測定データ、Ｋ
ｏ…測定基準位置、Ｓ…位置決め手段を構成するセン
サ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B28D 5/04 B28D 7/04 H01L 21/304 611

Claims (16)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円柱状をなすインゴットを測定基準位置
   に位置決めした状態でＸ線の回折を利用してインゴット
   の結晶方位を測定し、この結晶方位の測定データは、イ
   ンゴットの結晶方位がインゴットの中心軸線を中心に回
   転させて結晶方位が水平面内に位置するまでのインゴッ
   トの回転角データ及びインゴットの中心軸線に対する結
   晶方位の同一平面内での傾角データであり、前記測定デ
   ータの回転角データにより、インゴットを測定位置から
   離した位置でインゴットの中心軸線を水平に保ったまま
   インゴットの結晶方位が水平面内に位置するようにイン
   ゴットをその中心軸線を中心に回転調整し、この調整さ
   れたインゴットの上面又は下面に可切断材よりなる中間
   ステーをその取付軸線を前記インゴットの中心軸線に合
   わせて接着し、インゴットと中間ステー間の接着剤が乾
   燥した後、インゴット又は前記中間ステーに対し水平面
   内で相対変位可能に支持した取付ステーのいずれか一方
   を、前記測定データの傾角データによりインゴットの結
   晶方位が前記取付ステーの取付軸線と平行になるように
   水平面内で回転調整した状態で、中間ステーに取付ステ
   ーを接着するインゴットと取付ステーの接着方法。
2. 【請求項２】 円柱状をなすインゴットを測定基準位置
   に位置決めした状態でＸ線の回折を利用してインゴット
   の結晶方位を測定し、この結晶方位の測定データは、イ
   ンゴットの結晶方位がインゴットの中心軸線を中心に回
   転させて結晶方位が水平面内に位置するまでのインゴッ
   トの回転角データ及びインゴットの中心軸線に対する結
   晶方位の同一平面内での傾角データであり、前記測定デ
   ータの回転角データにより、インゴットを測定位置から
   離した位置でインゴットの中心軸線を水平に保ったまま
   インゴットの結晶方位が水平面内に位置するようにイン
   ゴットをその中心軸線を中心に回転調整した後、この調
   整されたインゴット又は予め可切断材よりなる中間ステ
   ーを接着してインゴットの上面又は下面に対し水平面内
   で相対変位可能に支持した取付ステーのいずれか一方
   を、前記測定データの傾角データによりインゴットの結
   晶方位が前記取付ステーの取付軸線と平行になるように
   水平面内で回転調整した状態で、インゴットの上面又は
   下面に中間ステーを介して取付ステーを接着するインゴ
   ットと取付ステーの接着方法。
3. 【請求項３】 請求項２において、中間ステーの上面に
   はその取付軸線に沿って円柱状インゴットにはまり合う
   円弧凹溝を有し、この中間ステーと取付ステー間の接着
   剤が未乾燥の状態で、インゴットに対し調整後の取付ス
   テーを中間ステーを介して接着し、この接着の際に中間
   ステーが円弧凹溝とインゴットとのはまり合いによって
   中間ステーの取付軸線がインゴットの中心軸線と平行に
   なるように接着されるインゴットと取付ステーの接着方
   法。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかにおいて、イン
   ゴットをその中心軸線を水平にしてインゴットの一端面
   を測定基準面として測定基準位置に固定した状態で、イ
   ンゴットの結晶方位を測定する測定ヘッドをインゴット
   の中心軸線と平行な中心軸で回転させ、インゴットの測
   定基準面に対して複数方向からＸ線を照射して反射され
   たＸ線の出力によりインゴットの結晶方位を測定するイ
   ンゴットと取付ステーの接着方法。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかにおいて、中間
   ステー接着時又は取付ステー接着時にステー側又はイン
   ゴット側にインゴット中心軸線方向のオシレート動作を
   与えるインゴットと取付ステーの接着方法。
6. 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかにおいて、単一
   の取付ステーに複数のインゴット又は中間ステーを順次
   接着するインゴットと取付ステーの接着方法。
7. 【請求項７】 円柱状をなすインゴットの結晶方位を測
   定するための測定基準位置にインゴットを位置決めする
   位置決め手段と、 測定基準位置に位置決めされたインゴットの結晶方位を
   Ｘ線の回折を利用して測定する結晶方位測定手段と、 結晶方位測定後にインゴットを測定基準位置から退避さ
   せる移動手段と、 測定基準位置から退避した位置において、前記結晶方位
   測定手段の測定データに基づいて、インゴットの中心軸
   線を水平に保ったままインゴットの結晶方位が水平面内
   に位置するようにインゴットをその中心軸線を中心に回
   転調整する第１調整手段と、この第１調整手段により調整されたインゴットの上面又
   は下面に、可切断材よりなる中間ステーをその取付軸線
   をインゴットの中心軸線に合わせて水平に接着する中間
   ステー接着機構と、 この中間ステー接着機構により前記中間ステーが接着さ
   れた インゴット又はこのインゴットに取り付けられる取
   付ステーのいずれか一方を、前記結晶方位測定手段の測
   定データに基づいて、取付ステーの取付軸線がインゴッ
   トの結晶方位と平行になるように水平面内で回転調整す
   る第２調整手段と、この 第２調整手段により調整された状態で、インゴット
   に接着した中間ステーに対し取付ステーを接着する取付
   ステー接着機構とを備え、前記測定データは、インゴットの結晶方位がインゴット
   の中心軸線を中心に回転させて結晶方位が水平面内に位
   置するまでのインゴットの回転角データ及びインゴット
   の中心軸線に対する結晶方位の同一平面内での傾角デー
   タであり、前記第１調整手段は回転角データにより、前
   記第２調整手段は傾角データによりそれぞれ調整動作を
   行い、 前記中間ステー接着機構及び取付ステー接着機構は、中
   間ステーとインゴットとの間及び中間ステーと取付ステ
   ーとの間に接着剤を介在させた状態で該中間ステー及び
   取付ステー又はインゴットを、該インゴットの中心軸線
   方向に往復動するオシレート機構を備えている インゴッ
   トと取付ステーの接着装置。
8. 【請求項８】 請求項７において、前記中間ステーの一
   面にはその取付軸線に沿ってインゴットの円柱面にはま
   り合う円弧凹溝が形成されているインゴットと取付ステ
   ーの接着装置。
9. 【請求項９】 円柱状をなすインゴットの結晶方位を測
   定するための測定基準位置にインゴットを位置決めする
   位置決め手段と、 測定基準位置に位置決めされたインゴットの結晶方位を
   Ｘ線の回折を利用して測定する結晶方位測定手段と、 結晶方位測定後にインゴットを測定基準位置から退避さ
   せる移動手段と、 測定基準位置から退避した位置において、前記結晶方位
   測定手段の測定データに基づいて、インゴットの中心軸
   線を水平に保ったままインゴットの結晶方位が水平面内
   に位置するようにインゴットをその中心軸線を中心に回
   転調整する第１調整手段と、 この第１調整手段により調整されたインゴットの上面又
   は下面に、可切断材よりなる中間ステーをその取付軸線
   をインゴットの中心軸線に合わせて水平に接着す る中間
   ステー接着機構と、 この中間ステー接着機構により前記中間ステーが接着さ
   れたインゴット又はこのインゴットに取り付けられる取
   付ステーのいずれか一方を、前記結晶方位測定手段の測
   定データに基づいて、取付ステーの取付軸線がインゴッ
   トの結晶方位と平行になるように水平面内で回転調整す
   る第２調整手段と、 この第２調整手段により調整された状態で、インゴット
   に接着した中間ステーに対し取付ステーを接着する取付
   ステー接着機構とを備え、 前記測定データは、インゴットの結晶方位がインゴット
   の中心軸線を中心に回転させて結晶方位が水平面内に位
   置するまでのインゴットの回転角データ及びインゴット
   の中心軸線に対する結晶方位の同一平面内での傾角デー
   タであり、前記第１調整手段は回転角データにより、前
   記第２調整手段は傾角データによりそれぞれ調整動作を
   行い、 前記移動手段は、インゴットをその中心軸線を水平に支
   持して前記結晶方位測定手段に対応する測定位置と中間
   ステー接着機構との間を往復動する搬送台車であり、 前
   記第１調整手段は、搬送台車上に設けられ、インゴット
   を測定基準位置から中間ステー接着機構へ移動する間又
   は移動後にインゴットの回転調整を行うインゴットと取
   付ステーの接着装置。
10. 【請求項１０】 請求項９において、インゴットを搬送
    台車に対し搬入出するインゴット搬入出手段を備えると
    ともに、前記中間ステー接着機構と取付ステー接着機構
    とは別の位置に配置され、前記インゴット搬入出手段に
    よって両者間のインゴットの移送を行うインゴットと取
    付ステーの接着装置。
11. 【請求項１１】 円柱状をなすインゴットの結晶方位を
    測定するための測定基準位置にインゴットを位置決めす
    る位置決め手段と、 測定基準位置に位置決めされたインゴットの結晶方位を
    Ｘ線の回折を利用して測定する結晶方位測定手段と、 結晶方位測定後にインゴットを測定基準位置から退避さ
    せる移動手段と、 測定基準位置から退避した位置において、前記結晶方位
    測定手段の測定データに基づいて、インゴットの中心軸
    線を水平に保ったままインゴットの結晶方位が水平面内
    に位置するようにインゴットをその中心軸線を中心に回
    転調整する第１調 整手段と、 この第１調整手段により調整されたインゴット又は予め
    可切断材よりなる中間ステーを接着した取付ステーのい
    ずれか一方を、前記結晶方位測定手段の測定データに基
    づいて、取付ステーの取付軸線がインゴットの結晶方位
    と平行になるように水平面内で回転調整する第２調整手
    段と、 前記第１調整手段及び第２調整手段により調整された状
    態で、インゴットに対し取付ステーを中間ステーを介し
    て接着する取付ステー接着機構とを備え、 前記測定データは、インゴットの結晶方位がインゴット
    の中心軸線を中心に回転させて結晶方位が水平面内に位
    置するまでのインゴットの回転角データ及びインゴット
    の中心軸線に対する結晶方位の同一平面内での傾角デー
    タであり、前記第１調整手段は回転角データにより、前
    記第２調整手段は傾角データによりそれぞれ調整動作を
    行うインゴットと取付ステーの接着装置。
12. 【請求項１２】 請求項１１において、前記中間ステー
    の一面にはその取付軸線に沿ってインゴットの円柱面に
    はまり合う円弧凹溝が形成されていて、前記取付ステー
    接着機構は、中間ステーと取付ステー間の接着剤が未乾
    燥の状態で、インゴットに中間ステーを介して取付ステ
    ーを接着するものであり、この接着の際に中間ステーが
    円弧凹溝とインゴットとのはまり合いによって中間ステ
    ーの取付軸線がインゴットの中心軸線と平行になるよう
    に接着されるインゴットと取付ステーの接着装置。
13. 【請求項１３】 請求項１１または１２において、取付
    ステー接着機構は、中間ステーとインゴットとの間及び
    中間ステーと取付ステーとの間に接着剤を介在させた状
    態で該取付ステー又はインゴットを、該インゴットの中
    心軸線方向に往復動するオシレート機構を備えているイ
    ンゴットと取付ステーの接着装置。
14. 【請求項１４】 請求項７〜１３のいずれかにおいて、
    前記結晶方位測定手段は、回転自在な測定ヘッドを有
    し、インゴットをその中心軸線を水平にしてインゴット
    の一端面を測定基準面として測定基準位置に固定した状
    態で、前記測定ヘッドをインゴットの中心軸線と平行な
    中心軸で回転させ、インゴットの測定基準面に対し複数
    方向からＸ線を照射して反射されたＸ線の出力によりイ
    ンゴットの結晶方位を測定するインゴットと取付ステー
    の接着装置。
15. 【請求項１５】 請求項７〜１４のいずれかにおいて、
    前記第２調整手段は単一の取付ステーに複数のインゴッ
    ト又は中間ステーを接着可能な取付ステー移動機構を備
    えているインゴットと取付ステーの接着装置。
16. 【請求項１６】 請求項１５において、前記第２調整手
    段は機台の所定位置において垂直軸線の周りで往復回動
    される回転支持軸と、該回転支持軸の上端部に水平に支
    持された回転支持板と、該回転支持板に水平方向の往復
    動可能に支持され、かつ取付ステーをクランプするクラ
    ンプ機構とにより構成されているインゴットと取付ステ
    ーの接着装置。