TWI301470B - Apparatus for transferring a panel - Google Patents

Description

1301470 、 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明有關於一種用於移送板片的設備，且更特別地， 有關於一種可防止板片被污染且同時更有效率地移送該板 片的设備。 【先前技術】 通常’板片，諸如一平板顯示器、一半導體晶圓、一 鲁液晶顯示器，以及遮光鏡，係在通過一系列諸如沉積、蚀 刻、剝離、清潔、清洗之處理線時被處理。 、 & 了移送該處理線之間的板片，基本上需要板片移送 設備。 板片移送設備係設計成多種結構。然而，通常係使用 水平地移送板片的結構。也就是說，為了處理板片，該板 片移送設備水平地移送該板片’傳送該板片至設置於該處 理線之入口上的負載器，或者接收來自該負載器之已處理 Φ 的板片並運送該板片至另一個處理線。 然而，隨著板片尺寸增加且因為附著至板片表面的外 來物體於該板片係水平地移送的情況時，該板片可能被污 染或濺污。 / 為了解決上述的問題，一種以板片傾斜之狀態來移送 該板片之移送方法係被提出。此方法係揭露於日本專㈣ 請案第95-3U675號、第95-34461〇號以及第96_3847^ 中。在這些專利案中，該處理設備係設置成線性排列 5 1301470 该板片係以傾斜狀態被移送。 然而，因為該處理設備係設置成線性排列， 備的安裝區域係增加。 於3亥5又 此外，為了以板片傾斜狀態來移送該板片，—安裝來 移送該板片的滾柱組件係藉由一板片姿態覆蓋單元從^平 狀態轉換成傾斜狀態，並且因此用於驅動滾柱的驅動單元 的結構係變得複雜1別地，此結構不適合移送和處理一 大型尺寸的板片。 【發明内容】 因此，本發明在努力之下’完成解決上述之問題。 —本發明的一目的係在於提供一板片移送設備，其可藉 由安裝板片饋送線和板片處理線成多層結構而有效率地移 送且處理板片。 本發明的另一個目的係在於提供一板片移送設備，其 :有從水平位置至傾斜位置覆蓋板片的覆蓋單元，該覆蓋 單元具有簡單的結構。 為了達成上述的目的，本發明提供一種板片移送設備， 其包含：一框架；一第一板片移送單元，其設於該框架上 U移送n —轉向單元’其從該第一板片移送單元接 收該板片，以轉向板片移送方向；以及-第二板片移送單 、、/、具·有滚柱，用於接收來自該轉向單元之板片並且移 送该板片至一板片處理單元。 6 1301470 【實施方式】 以下將更詳細地說明本發明 # ^ y r 罕乂佳貝施例，其範例係 繪示於隨附的圖式之中。i φ ^ t i 、、 八Y，相同的元件符號在所有圖 式中將用於代表相同或類似的部件。 如顯示於第一圖和第二圖中， Τ 本發明之板片移送設備 包含一框架1、一設置於該框架 '、1上用來移送一板片G的

第一板片移送單元3、一從嗜筮 ,J 攸"亥弟—板片移送單元接收該板 片G以反轉板片移送方向的轉向 。 ）得同早兀6 ，以及一第二板片

移送單元，其具有複數個滾柱R， κ 用於接收來自該轉向單 元6之板片G且移送該柄m 才反片G至-用於剝片、清洗和沖洗 該板片G的板片處理單元1 〇。 該第一板片移送單开q &人 3包含一安裝於該框架1上的線 性移動模組8和-移送器4，該移送器4具有—可滑動地 設置於該線性移動模組8上的滑動器。該移送器4具有一 托架2 ’該板片G可安置於該托架2上。該托架2在其兩 側端皆設有升高部位P，告兮妃 田δ亥板片G安置於該托架2上時 提供一間隙於該板片G和該托架2之間。 接收來自該移送器4之板片G的轉向單元6包含一對 面對面的手部Η用於接收該板片G。該手部H係以相同於 »亥線性移動板組8之方向定&，以推進界定於該移送板片 G和該托架2之間的空間。 當該板片G係由一機械臂裝載時，該線性移動模組8 係被運作以開始移送該板片G。 該手部Η包含複數個桿元件L，該板片G係被支撐於 7 1301470 该寺桿元件L上。 /轉向單X 6具有舉起和下降該手部H的結構，以垂 直地移送該水平進入的板片G。 孩手部Η彼此移動離開以改變之間的間隙。 也就是說，該手部Η的下末端丄9係安裝於引導執道 2 1上π可在水平的方向上滑動。該引導軌道2丄係以 沿著複數個引導元件Ί / + + 士 、曾— 午1 4之垂直方向可移動地安裝，該引

導：件1 4係固定於該框架i中的護罩"上。第一引導 :5 ^有形成彼此相反方向的個別螺紋，係螺固於 該手物Η的下末端1 9上。 、 广引導螺才干1 5係藉由—第一馬達組件2 3的旋 ::旋轉。該旋轉力係從該第一馬達組件23藉由數種結 構傳送至該第一引導螺桿丄5。 在此實施例中，為τ μ I々π m u 、w 為了上升或下降該轉向單元6，該引 ^凡件1 4係安裝於該鳟置Ί 9 ^ 口隻罩1 2上，而苐二引導螺桿工工 係螺固至可移動祕、、κ 1 w、# 9 Ί /σ者该引導元件1 4安裝的該引導執道 ^ 1的背面。該第二引導螺捏] W導螺样1 1係連接至一第二馬達組 仵1 3而能夠傳遞旋轉力。 件稭由上述之結構’該手部Η藉由該第-和第二馬達組 / 3和13而在垂直和水平方向上移動，藉此朝向彼此 或％離彼此移動。 同時，一用於覆蓋該板片 元5係設於該轉向單元6下方 如顯示於第三圖和第四圖 G之姿態的板片姿態覆蓋單 〇 中’該板片姿態覆蓋單元5 8 1301470 包含：位於該框架1下方的複數個垂直引導元件s ; —第 ~固定板f 1 ，該引導元件S係固定地穿過該第一固定板 f 1 ; 一第二固定板f 2，其係遠離該第一固定板f 1 ， 且該弓丨導元件S係固定地穿過該第二固定板f 2 ;以及一 可移動板m，其係位於該第二固定板上方且可垂直地移 動。 §亥可移動板m藉由一舉升單元而可向上和向下移動， 。亥舉升單元包含一第三馬達組件5 2，其位於一驅動部侔 鑄外殼51之中。 该第三馬達組件5 2係設計成經由一齒輪或皮帶傳遞 '旋轉力至一引導螺桿6 2。該引導螺桿6 2係螺固至該可 - 移動板m，延伸穿過該第一固定板f 1和第二固定板f

一傾斜機構17係設於該可移動板。該傾斜機構 1 7包含-底座3 6樞接地結合至該可移動板m、複數個 彼此分隔開的第一支撐元件i 8，以及複數個支撐柱3 8 垂直地固定於該第一支撐元件1 8上。 結合至該可移動板片m。一汽缸組件2 4係安裝於遠 樞轉結合部的位置’以向上和向下移動該底座W。 該汽缸組件2 4的一活塞端筏山 丄 暴而係糟由一球形關節而 該底座3 6。因此，當該汽缸組件 ^ J 4向上和向下移動 該底座3 6係藉由該樞轉銷組件2 2傾斜。 該支撐柱3 8包含第一柱3 8 0 a和3 8 b位於該 9 1301470 支撐元件1 8之外端部，以及第二柱3 9 a和3 9 b位於 該第一支撐元件1 8的内側部，其中該第—柱3 8 a和3 8 b的長度係大於該第二柱3 9 a和3 9 b的長度，如顯 示於第六圖中。 固定支撐件2 0係安裝於該第一支撐元件1 8上，且 第二支撐元件係安裝於該固定支撐件2 0上。固定柱2 8 係安裝於該第二支撐元件2 6的相對末端。 該固定柱2 8可以設計成沿著該第二支撐元件2 6的 縱長方向朝著彼此和遠離彼此移動。為了移動該固定柱， 數種結構’諸如可使用汽缸中的活塞移動結構，其詳細的 說明在本文中將省略。 當該傾斜機構1 7係於上升的位置時，用於移送該板 片至該板片處理單元之該第二板片移送單元 柱R係安裝於該第一支撑元件18和第二：达滚 間。 叉撐兀件2 6之 位置 战傾斜 在=圖中，雖然該傾斜機構17僅安 早兀1 0的入口側上，該傾 板片處 片處理單元"的出口側。 ”亦可安裳於讀板 如顯示於第六圖中， …第二支撐柱39a、3=:支擇柱“Μ Τη 成不间的古ών 2 ’可以增強該板片裝载的穩定性。 〜L !和 也就是說，位於外部的該第 3 8 a 和 3 8 b 10 1301470 • 具有高度L 1，其高於位在内部的第二支撐柱3 9 a和3 9 b的高度l 2。雖然裝載於該支撐柱3 8上的板片G看 起來像是水平地安置，實際上其係為曲線狀，因為外部的 ^ 支撐柱3 8 a和3 8 b的支撐點P 1和p 4係高於内部的 支撑點3 9 a和3 9 b的支撐銷P 2和P 3。 於是’當該板片G係設置於具有不同高度的支撐柱3 8上時，該板片g可更穩固地移送。 在此實施例中，該支撐柱的高度差係非常小的。 Φ 第七圖顯示本發明另一種較佳的實施例。 在此實施例中，該板片移送單元係設置於處理線之間 - 以接收和送出該處理線之間的板片，其中該板片係呈傾斜 之狀態。 也就是說，如顯示在第七圖中，兩個處理線7 1和7 9之間設有台階，繪示於第二圖中的該板片姿態覆蓋單元 5係被設置，藉此容許從該處理線7 1移送來的板片g被 移送至該處理線7 9，其中該板片G係成傾斜狀態。 ® 根據本發明較佳實施例的板片移送設備的運作將參照 隨附的圖式在下文中說明。 如顯示在第一圖至第六圖中，當打算移送該板片G時， 當其意欲移送該板片G時，該板片G係藉由一諸如是機械 臂的工具被裝載於該第一板片移送單元3的移送器4上。 隨後，該線性移動模組8係被運作以朝向第一圖中的左側 移動該移送器4。 在此刻’該手部Η係位於該移送器4的托架2和該板 11 1301470 片G之間，並且該移送器4的移動係藉由一控制單元（圖 中未顯示）而停止。 隨後’藉由運作該第二馬達組件1 3，該手部Η係稍 微地上升以移動該板片G遠離該移送器4。結果，該移送 為4係精由该線性移動权組8返回其初始位置，且同時， 该弟二馬達組件1 3係被運作以降低該手部η。 也就是說，當該第二馬達組件i 3係被運作以降低該 手部G時，螺固至該第二引導螺桿丄i的該引導執道2工 • 係被降低。結果，結合至該執道2 1的該手部H向下移動。 如上所述，當該板片G的移送方向係藉由轉向單元6 •被轉向成垂直方向時，該板片G係交給安裝於該手部η下 方的板片姿態覆蓋單元5。 也就是說，當為於該手部Η下方的該板片G係被降低 時，如顯示於第四圖中，該板片（^係被置放於該板片姿態 覆蓋單元5的支撐柱3 8上。

此時，該板片姿態覆蓋單元5維持其水平狀態，當位 方、Κ平位置的&板片G係被移送到該板片姿態覆蓋單元5 時’該傾斜機構1 7開始運作。 也就是說，隨著該汽紅έ & ，飞缸組件2 4被驅動，該底座3 6 的一側係被降低。纟士要，a _ 、，口果如顯不於第五圖中，該底座3 6 右側係藉由該托架/樞鏟制 C轉劫組件2 2被向下傾斜。此刻， 安裝於該第二支撐元 件2 6 —端的該固定柱2 8防止該板 片G朝向一側運動。 在此狀態 藉由忒第三馬達組件而旋轉的該引導螺桿 12 1301470 6 2 ’螺固於該引導螺桿6 2的該可移動板m係被降低。 結果，安裝於該可移動板m上的傾斜機構1 7係與該可移 動板m —起被降低。 隨後’該板片G係被交付至位於該第二支撐元件2 6 以及該底座3 6之間的第二板片移送單元的滾柱R。 此時’該板片G的位置係藉由該傾斜機構1 7改變。 更明準地，該板片G的傾斜角度係藉由該傾斜機構i 7控 制成與該滾柱R的角度相同，藉此提供與水平地移送之板 片相同如作用。 該第三馬達組件5 2係被驅動，直到該支撐柱3 8的 上末端的高度變成低於該滾柱R的高度。 結果，該板片G係藉由該傾斜的滚柱R經由傳統的方 法被移送至該板片處理單元丄〇，藉此通過一系列的處理 步驟，在此過程中，被附著該板片G的外來物質向下流動 於傾斜的板片G之上。 上述步驟之後，該轉向單元6、板片姿態覆蓋單元5 以及傾斜機構1 7係以相反於上述驅動方向的方向被驅 動，以重複上述的運作。 根據本^明’因為該板片移送設備係設計成移送該板 片’其中該板片係呈傾祖业能 ^ ^ ^ 1貝斜狀恶，其處理作用係可信賴地實 行。 因為邊板片係可葬士 g 精由早一 §又備被垂直地移動和傾斜， 可節省設備安裝空間。 口為違板片係藉由—傾斜機構被傾斜成與該板片移送 Γ3 1301470 單元的滾柱相同的角度，其係以傾斜的狀態移送至該滾 柱’亚且係藉由該滾柱的旋轉被移送至該板片處理單元， 且因此該板片可穩固地移送而不需要被推動或震動。 在此技術領域中具有通常知識者可瞭解的是，本發明 可達成多種修飾及改變。因此，本發明係涵括隨附申請專 利範圍中之範疇中的修飾及改變和相同。 【圖式簡單說明】 I1过附之圖式，其係用於提供本發明進一步之瞭解並且 >係構成本申請案之-部分，繪示出本發明之實施例，並且 和詳細說明一起用於解飾本發明之原理。在圖式中： • 第一圖係根據本發明之較佳時施例的板片移送設備 的示意圖； 第二圖係繪示於第一圖中之手部、傾斜調整單元和 上升單元之放大圖； 第二圖係繪示於第一圖中之傾斜調整單元的放大立 體圖； _ f㈤目係、|貝#隨著一傾斜調整單元和一上升單元係 被上升時，一板片接收狀態的側視圖； 第五圖係顯示隨著一傾斜調整單元和一上升單元係 被上升時，一板片移送狀態的側視圖； &第六圖係顯示該板片係裝載於一板片負載底座上之 狀態的視圖；以及 第七圖係根據本發明另一種較佳實施例的板片移送 設備的立體圖。 14 1301470 1 2 3 4 5 6 8 主要元件符號說明 框架

2 2 0 1 2 3 4 5 7 8 9 0 1 2 3 4 6 8 托架 第一板片移送單元 移送器 板片安恶覆盍早元 轉向單元 線性移動模組 板片處理單元 第二引導螺桿 護罩 第二馬達組件 引導元件 第一引導螺桿 傾斜機構 第一支撐元件 下末端 固定支樓件 引導執道 托架/枢轉銷組件 第一馬達組件 汽缸組件 第二支撐元件 固定柱 15 2 1301470

3 6 底座 3 8 支撐柱 3 8 a 第一柱 3 8 b 第一柱 3 9 a 第二柱 3 9 b 第二柱 5 1 驅動部件外殼 5 2 第三馬達組件 6 2 引導螺桿 7 1 處理線 7 9 處理線 G 板片 Η 手部 L 桿元件 L 1 高度 L 2 高度 m 可移動板 P 升高部位 P 1 支撐點 P 2 支撐點 P 3 支撐點 P 4 支撐點 R 滾柱 S 引導元件 16 1301470 1 第一 固定板 2 第二 固定板

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Claims (1)

1. ,1301470 十、申請專利範圍： 1 · 一種板片移送設備，其包含： 一框架； 一第一板片移送單元，其設於該框架上以移送一板片； 一轉向單元，其從該第一板片移送單元接收該板片， 以轉向板片移送方向； 一板片姿態覆蓋單元，其設於該轉向單元下方，用於 覆蓋該板片之姿態；以及 一第二板片移送單元，其具有滾柱，用於接收來自該 轉向單元之板片並且移送該板片至一板片處理單元。 2.如申請專利範圍第！項之板片移送設備，其中該第 一板片移送單元包含一安裝於該框架上的線性移動模組和 私送器，该板片係設置於該移送器上，該移送器係藉由 該模組移動。 3 ·如申請專利範圍第丨項之板片移送設備，其中該轉 向單元包含：一對手部，其接收來自該移送器之板片；引 V軌道’該手部係安裝於該引導執道上而可水平地移動； 第一引導螺桿，其螺固於該手部並且係藉由一第一馬達組 件驅動，以及第二引導螺桿，其螺固於該引導軌道，並且 藉由一第二馬達組件被垂直地驅動。 4·如申請專利範圍第1項之板片移送設備，其中該板 片安態覆蓋單元包含：彼此高度不同的複數個支撐柱；複 數個第一支撐元件，其支撐該複數個支撐柱；以及一底座， 該複數個第一支撐元件係固定於該底座上。 18 1301470 ^ 申明專利範圍第4項之板片移送設備，其中該板 片妥％覆盍早元進_步包含一傾斜機構，其調整該板 傾斜角。 6·如申請專利範圍帛4項之板片移返設備，其中該板 片姿態覆蓋單元淮_半a人 L - γ匕§一上升早兀，其用於接收呈傾 斜狀態之板片。 7 ·種板片移送設備，其包含： 一框架； 傾斜機構，其設於該框架上，其使用-樞轉的方式 來傾斜一裝載的板片至預定的角度； 一上升單元，其藉由升高和降低該傾斜機構而容許該 板片被交出或接收。 8 · —種板片移送設備，其包含·· 一框架；

   一移运器，其可滑動地設置於一設在該框架上的執道 以移送一板片； 、傾斜機構’其設於該框架上，使用一樞轉的方式傾 斜一裝載板片成一預定角度； 7上升單元，其藉由升高和降低該傾斜機構而容許該 板片被交出或接收；以及 、”-移达早it，其接收來自該傾斜機構的板片，並且移 送該板片至一板片處理單元。 9.如申請專利範圍第7項或第8項之板片移送設備， ，、中》亥上升單凡包含.—第—固定板，其固^於該框架上 19 1301470 並且遠離一底座；一可移動板，其安裝於該第一固定板上， 而可在一垂直方向上移動；以及一傾斜機構，其安裝於該 可移動板上。 / 1〇·如申請專利範圍"項之板片移送設備，其中該傾 斜機構包含：-汽缸組件，其安裝於該底座以及該可移動 . 板之間；以及-托架樞轉組件，其安裝於該底座、該可移 動板以及該汽红組件之間。 11.如申請專利範圍帛7項或第8項之板片移送設備， 其中該傾斜機構包含：複數個第一支撐元件，其安裝於一 底座上；複數個支撐柱，其安裝於該支標元件上；:及固 定柱’其安裝於該第-支撐元件上以控制設置於該支撐柱 上之板片的運動。 12·如申请專利範圍第1〇項之板片移送設備，其中該 可私動板係，又有-止動器，防止該可移動板向下移動超過 預定的程度。 • 13·如巾請專利範圍第11項之板片移送設備，其中該 支撐柱包第-柱，其安裝於該第一支撐元件之末端部 上，以及第一柱，其安裝於内部上；該第一柱的高度係高 於a亥弟—柱的高度。 I'm請專利範圍f u項之板片移送設備，其中該 口疋柱係叹计成可沿著該第一支撐元件調整適當的位置。 •如申明專利|&圍第8項之板片移送設備，其進一步 匕a II向單兀’用來轉向該板片至該移送器的移 向0 20 1301470 16.如申請專利範圍第8項之板片移送設備，其進一步 包含一板片姿態覆蓋單元，其安裝於該板片處理單元的出 口側上。 Η^一、圖式： 如次頁

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