JP2005317854A - トランスファロボット - Google Patents

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Abstract

【課題】 ワーク搬送システムのスケールダウンを図るとともに、できる限りハンドの移動距離を短くして小型化を図ることができるトランスファロボットを提供する。
【解決手段】 板状のワークを水平に保持するハンド4A,4Bと、このハンド4A,4Bを所定の水平直線移動行程に沿って前進・後退させる直線移動機構3A,3Bと、を備えたトランスファロボットA1であって、ハンド4A,4Bには、ワークの下面を支持してワークを所定の方向に移動させるための複数のローラ42が設けられている。複数のローラ42は、水平直線移動行程に沿う方向にワークを移動させるように配置されている。ハンド4A,4Bにはさらに、ワークをその両側方から挟持してこのワークの位置調整を行うための複数のサイドアーム43が設けられている。
【選択図】 図1

Description

本願発明は、たとえば液晶パネル用のガラス基板といった板状のワークを水平に保持しながら転送するためのトランスファロボットに関する。
この種のトランスファロボットとしては、たとえば特許文献1に開示されたものがある。この特許文献1に開示されたトランスファロボットは、本願の図14および図15に示すように、板状のワークWを水平に保持するハンド400と、このハンド400を所定の水平直線移動行程Sに沿って前進・後退させる直線移動機構300と、この直線移動機構300に含まれる支持ベース310を鉛直方向に昇降させる昇降機構200とを備えている。直線移動機構300は、支持ベース310のほか、この支持ベース310に基端部が連結された第1水平リンクアーム320と、この第1水平リンクアーム320の先端部に基端部が連結されているとともに、上記ハンド400を鉛直軸周りに回転可能として先端部に支持する第2水平リンクアーム330とを含んで構成されている。昇降機構200は、固定ベース100に基端部が連結された第1起立リンクアーム210と、この第1起立リンクアーム210の先端部に基端部が連結されているとともに、上記支持ベースを水平軸周りに回転可能として先端部に支持する第2起立リンクアーム220とを含んで構成されている。支持ベース310は、第1および第2起立リンクアーム210,220が水平軸周りに回転することにより、一定姿勢を保ちながら鉛直方向に昇降する。ハンド400は、第1および第2水平リンクアーム320,330が鉛直軸周りに回転することにより、一定姿勢を保ちながら水平直線移動行程Sに沿って前進・後退する。なお、支持ベース310には、鉛直軸周りに回転する回転部材311が設けられており、この回転部材311を介して支持ベース310と第1水平リンクアーム320とが連結されている。
このようなトランスファロボットXは、図14に示すように、多数のワークWを収容したカセット部Cからバッファ部Bを介してワークWを受け取ることができるように、バッファ部Bに隣接したロボット部Rに設置されている。カセット部Cには、多数のワークWが鉛直方向に一定間隔をあけて重なった状態で昇降フレームC1に保持されている。昇降フレームC1が下方に移動すると、最下段に保持されたワークWがカセット部CのローラコンベアC2上に載置される。
その後、ワークWは、カセット部CのローラコンベアC2からバッファ部BのローラコンベアB1上に搬送される。バッファ部BのローラコンベアB1には、図15に示すように、トランスファロボットXのハンド400を差し入れ可能な空隙部B2が設けられている。トランスファロボットXは、昇降機構200および直線移動機構300を作動させることでハンド400をローラコンベアB1の空隙部B2に差し入れた状態とし、さらにハンド400をローラコンベアB1よりも上方に持ち上げた状態とする。これにより、バッファ部BのローラコンベアB1上にあったワークWがハンド400上に載り移る。さらにその後、トランスファロボットXは、ハンド400をロボット部Rの所定位置まで後退させて回転部材311をたとえば180度あるいは90度回転させ、ハンド400を図外のワーク処理部に向けた姿勢で再び直線移動機構300を作動させる。これにより、トランスファロボットXは、カセット部Cからバッファ部Bを経由して受け取ったワークWを移送先となるワーク処理部に転送する。
特開2003−275980号公報
しかしながら、上記従来のトランスファロボットXでは、ローラコンベアB1の下方からワークWを持ち上げるようにしてハンド400上に載せなければならないので、ロボット部Rとカセット部Cとの間にワークWを受け渡しするためのバッファ部Bを設けなければならない。つまり、バッファ部の設備やその設置スペースを要するために、トランスファロボットを含むワーク搬送システムが大掛かりなものになってしまう。
また、図14に示すように、ローラコンベアB1,C2は、カセット部Cからバッファ部Bへと距離L0をもってワークWを搬送しなければならない一方、トランスファロボットXは、ロボット部Rとバッファ部Bとの間で距離L1をもってハンド400を前進・後退させなければならず、両者ともワークやハンドについて比較的長い距離を移動させなければならない。特に、トランスファロボットについては、ハンドを移動させる距離L1が長くなればなるほど、動作時の安定性などを確保する面から大型なものになってしまう難点があった。
本願発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、ワーク搬送システムのスケールダウンを図るとともに、できる限りハンドの移動距離を短くして小型化を図ることができるトランスファロボットを提供することをその課題としている。
上記課題を解決するため、本願発明では、次の技術的手段を講じている。
本願発明によって提供されるトランスファロボットは、板状のワークを水平に保持するハンドと、このハンドを所定の水平直線移動行程に沿って前進・後退させる直線移動機構と、を備えたトランスファロボットであって、上記ハンドには、上記ワークの下面を支持してワークを所定の方向に移動させるための複数のローラが設けられていることを特徴としている。
好ましい実施の形態としては、上記複数のローラは、上記水平直線移動行程に沿う方向に上記ワークを移動させるように配置されている。
好ましい実施の形態としては、上記ハンドにはさらに、上記複数のローラを回転させる回転駆動機構が設けられている。
好ましい実施の形態としては、上記回転駆動機構は、ローラ回転用モータと、このローラ回転用モータの動力を上記複数のローラに伝える伝動ベルトとを含んで構成されている。
このような構成によれば、たとえばローラコンベアによって搬送されてきたワークをトランスファロボットが受け取る場合、トランスファロボットは、ローラコンベアの前端にハンドを横付けにする。このとき、ハンドの水平直線移動行程がローラコンベアの搬送方向に沿うならば、トランスファロボットは、ハンドを水平直線移動行程に沿って前進させることとなる。その後、ローラコンベアがワークの搬送を開始すると、ワークがローラコンベアの前端を越えてハンド上に移動する。ハンド上では、複数のローラが回転することによってたとえばローラコンベアの搬送方向と同じ方向にワークが水平に送られ、最終的にワークがハンドに保持された状態となる。ハンドにおける複数のローラが回転駆動機構によって回転させられる場合には、ワークの一部がある程度ハンド側に移動してローラに接した状態になると、その時点でローラコンベアの搬送動作を停止させてもハンド上の所定位置までワークが移動させられる。これにより、ローラコンベアとトランスファロボットとの間でワークが受け渡しされる。したがって、本願発明に係るトランスファロボットによれば、ローラコンベアにハンドを横付けにした状態でワークを受け取ることができるため、従来のバッファ部といった設備やその設置スペースが不要となり、ワーク搬送システムのスケールダウンを図ることができる。また、トランスファロボットについては、ローラコンベアに対して比較的近い位置に設置することができるため、できる限りハンドの移動距離を短くして小型化を図ることができる。
好ましい実施の形態としては、上記ハンドにはさらに、上記ワークをその両側方から挟持してこのワークの位置調整を行うための複数のサイドアームが設けられている。
このような構成によれば、ローラコンベアからハンド上に移されたワークの姿勢をサイドアームによって矯正することができ、ハンド上におけるワークの位置調整をその都度適切に行うことができる。
好ましい実施の形態としては、上記直線移動機構は、支持ベースと、この支持ベースに鉛直軸周りの第1回転ジョイントを介して基端部が連結された第1水平リンクアームと、この第1水平リンクアームの先端部に鉛直軸周りの第2回転ジョイントを介して基端部が連結されているとともに、上記ハンドを鉛直軸周りの第3回転ジョイントを介して先端部に支持する第2水平リンクアームとを含んで構成されている。
上記第1水平リンクアームおよび第2水平リンクアームからなるリンク機構としては、上記水平直線移動行程を対称軸とした上で、その一方側に位置する第1リンク機構と、その他方側に位置する第2リンク機構とを備えており、かつ、上記ハンドとしては、上記第1リンク機構により鉛直方向下段側で前進・後退させられる第1ハンドと、上記第2リンク機構により鉛直方向上段側で前進・後退させられる第2ハンドとを有している構成としてもよい。
このような構成によれば、いわゆるリンク機構によってハンドを一定姿勢に保ちながら水平直線移動行程に沿ってスムーズに前進・後退させることができる。このようなリンク機構が水平直線移動行程を対称軸としてその両側に設けられ、これら両側のリンク機構によって2つのハンドが鉛直方向下段側と鉛直方向上段側とで前進・後退させられる構成によれば、ローラコンベアとのワークの受け渡しをより効率良く行うことができる。
好ましい実施の形態としては、上記直線移動機構は、支持ベースと、上記水平直線移動行程に沿う方向を長手方向として上記支持ベースに固定された一対のガイドレールと、これらガイドレールのそれぞれにスライド可能に支持されているとともに、上記水平直線移動行程に沿って上記ハンドをスライド可能に支持するスライドレールとを含んで構成されている。
上記ガイドレールおよびスライドレールからなるスライド機構としては、上記水平直線移動行程を対称軸とした上で、その両側近傍部に位置する第1スライド機構と、その両側遠隔部に位置する第2スライド機構とを備えており、かつ、上記ハンドとしては、上記第1スライド機構により鉛直方向下段側で前進・後退させられる第1ハンドと、上記第2スライド機構により鉛直方向上段側で前進・後退させられる第2ハンドとを有している。
このような構成によれば、いわゆるスライド機構によってハンドを一定姿勢に保ちながら水平直線移動行程に沿ってスムーズに前進・後退させることができる。このようなスライド機構が2組設けられ、これら2組のスライド機構によって2つのハンドが鉛直方向下段側と鉛直方向上段側とで前進・後退させられる構成によれば、ローラコンベアとのワークの受け渡しをより効率良く行うことができる。
好ましい実施の形態としては、上記支持ベースを鉛直方向に昇降させる昇降機構を備えている構成とするのがよい。
このような構成によれば、たとえば定位置にあるローラコンベアの前端に対し、鉛直方向下段側と上段側に分かれた2つのハンドを交互に横付けにすることができる。
本願発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。
以下、本願発明の好ましい実施の形態を、図面を参照して具体的に説明する。図1〜9は、本願発明に係るトランスファロボットの一実施形態を示している。
図1〜3に良く示されているように、本実施形態のトランスファロボットA1は、大別すると、フロアなどの所定箇所に固定される固定ベース1、固定ベース1を基部とする昇降機構2、昇降機構2によって鉛直方向に昇降させられる2組の直線移動機構3A,3B、直線移動機構3A,3Bにより水平直線移動行程S(図2参照)に沿って前進・後退させられる鉛直方向下段側および上段側のハンド4A,4Bを具備して構成されている。なお、以下の説明においては、各図に示す状態においてハンド4A,4Bが前進・後退する方向(水平直線移動行程Sに沿う方向)をx軸方向、このx軸方向に直交する水平方向をy軸方向、x軸およびy軸の両方向に直交する鉛直方向をz軸方向と称する。
昇降機構2は、固定ベース1の所定箇所に設けられた第1昇降用モータM1、固定ベース1に対してy軸周りに回転可能に基端部20aが連結された第1起立リンクアーム20、第1起立リンクアーム20の先端部20bに内蔵された第2昇降用モータM2、第1起立リンクアーム20の先端部20bに基端部21aが連結されているとともに、後述する支持ベース30をy軸周りに回転可能として先端部21bに支持する第2起立リンクアーム21、ならびに第1および第2起立リンクアーム20,21に連動する第1および第2補助アーム22,23を有して構成されている。
第1起立リンクアーム20の基端部20aは、第1昇降用モータM1から減速機構(図示略)を介して回転力が伝えられることによりy軸周りに回転する。第2起立リンクアーム21の基端部21aは、第2昇降用モータM2から減速機構(図示略)を介して回転力が伝えられることにより、第1起立リンクアーム20の先端部20bを支点としてy軸周りに回転する。なお、第1および第2起立リンクアーム20,21は、同一角度をもって互いに逆方向に回転するように構成されている。第1および第2補助アーム22,23は、第1起立リンクアーム20の先端部20bと第2起立リンクアーム21の基端部21aとの間でy軸周りに回転可能に支持された中間部材24を介して連結されている。これら第1および第2補助アーム22,23は、第1および第2起立リンクアーム20,21と対になって常に平行四辺形をなすように、それぞれの一端が固定ベース1および支持ベース30に対して回転可能に連結されている。これにより、第1および第2起立リンクアーム20,21の基端部20a,21aがy軸周りの所定の方向に回転すると、第2起立リンクアーム21の先端部21bが概ねz軸方向に沿って変位し、これに伴い支持ベース30は、水平直線移動行程Sのほぼ定位置上で一定の姿勢を保ちながらz軸方向に昇降する。
直線移動機構3A,3Bは、これら双方の共通部材となる支持ベース30、支持ベース30上において回転する回転部材31、支持ベース30上の回転部材31に基端部が連結された第1水平リンクアーム32、ならびに第1水平リンクアーム32の先端部に基端部が連結されているとともに、ハンド4A,4Bをz軸周りに回転可能として先端部に支持する第2水平リンクアーム33を有して構成されている。第1および第2水平リンクアーム32,33からなるリンク機構は、水平直線移動行程Sを対称軸としてその両側に1組ずつ設けられている。
支持ベース30には、回転部材31をz軸周りに回転させるためのモータや減速機構が内蔵されている(図示略)。回転部材31には、第1および第2水平リンクアーム32,33ならびにハンド4A,4Bをz軸周りに回転させるためのモータや減速機構が内蔵されている(図示略)。第1水平リンクアーム32の基端部は、z軸周りに回転する第1回転ジョイント34aを介して回転部材31に連結されている。第1水平リンクアーム32の先端部には、z軸周りに回転する第2回転ジョイント34bを介して第2水平リンクアーム33の基端部が連結されている。第2水平リンクアーム33の先端部には、z軸周りに回転する第3回転ジョイント34cを介してハンド4A,4Bが支持されている。これら第1および第2水平リンクアーム32,33には、回転部材31内のモータから減速機構を介して第1ないし第3回転ジョイント34a〜34cに回転力を伝えるための伝動ベルトやプーリギヤが内蔵されている(図示略)。回転部材31内のモータや減速機構によって第1回転ジョイント34aが所定の方向に回転させられ、この第1回転ジョイント34aを介して第1水平リンクアーム32の基端部がz軸周りに回転すると、その逆周りの方向に同一角度をもって第2水平リンクアーム33の基端部が第2回転ジョイント34bを介して回転する。これにより、第1および第2水平リンクアーム32,33は、常に二等辺三角形をなすようにリンク動作を行う。ハンド4A,4Bは、第1および第2水平リンクアーム32,33がリンク動作を行うことで水平直線移動行程Sに沿って前進・後退させられる。このとき、ハンド4A,4Bは、第2水平リンクアーム33が姿勢を変化させるのに反して一定の姿勢をなすように、第3回転ジョイント34cを介してz軸周りの所定の方向に回転する。すなわち、ハンド4A,4Bは、一定の姿勢を保ちながら水平直線移動行程Sに沿って前進・後退する。なお、水平直線移動行程Sの両側に位置する2つの第2回転ジョイント34bは、下段側のハンド4Aと上段側のハンド4Bとが互いに干渉することなく水平直線移動行程Sに沿って移動できるように両側で長さが異なるものとされている。
ハンド4A,4Bは、第2水平リンクアーム33の先端部に支持された基部40、基部40の両側からx軸方向に延びて板状のワークWを水平に保持するフォーク部41、ワークWの下面を支持してワークWをx軸方向に移動させるようにフォーク部41に設けられた複数のローラ42、ならびにワークWをその両側方から挟持してワークの位置調整を行うようにフォーク部41に設けられた複数のサイドアーム43を有して構成されている。なお、図2に良く示されているように、下段側のハンド4Aは、対応する第2水平リンクアーム33の上方側に支持されている一方、上段側のハンド4Bは、下段側のハンド4Aと干渉することがないように対応する第2水平リンクアーム33の下方側に支持されている。
図4および図5に良く示されているように、フォーク部41の所定箇所には、複数のローラ42を同時に回転させるためのローラ回転用モータ44や伝動軸45が設けられている。フォーク部41の内部には、ローラ回転用モータ44から伝動軸45を介して複数のローラ42に回転力を伝えるための伝動ベルト46およびプーリギア47ならびに回転軸48が内蔵されている。ローラ42は、回転軸48の両端に固定された状態でフォーク部41の両側に設けられており、各フォーク部41においては、複数のローラ42がx軸方向(水平直線移動行程S)に沿って一定間隔おきに並んでいる。また、図4および図6に良く示されているように、各ローラ42は、ワークWの下面に接するようにその接触部分がフォーク部41の上面よりも若干上方側に出ている。ローラ回転用モータ44からの回転力は、伝動ベルト46およびプーリギア47を介して伝動軸45に伝わり、これにより伝動軸45が回転する。各フォーク部41では、さらに伝動軸45から伝動ベルト46およびプーリギア47を介して各ローラ42の回転軸48に回転力が伝わり、これにより複数のローラ42が同時に回転する。つまり、複数のローラ42を回転させる回転駆動機構としては、上記ローラ回転用モータ44、伝動軸45、伝動ベルト46、プーリギア47、および回転軸48によって実現されている。
図1に良く示されているように、サイドアーム43は、フォーク部41に保持されたワークW(図1では図示略)の両側4箇所に当接しうるように、各フォーク部41の先端側と後端側に設けられている。このようなサイドアーム43は、図6に良く示されているように、フォーク部41の外側部からy軸方向に沿って外側に延びる水平ロッド43a、ならびに水平ロッド43aの先端に金具43bを介してz軸周りに回転自在に支持されたガイドローラ43cを有して構成されている。また、図5および図6に良く示されているように、フォーク部41の内部には、サイドアーム43の水平ロッド43aをy軸方向に動かすためのアクチュエータ49が設けられている。ガイドローラ43cは、フォーク部41にワークWが保持されていないとき、ワークWの側部よりも外側に位置する一方、フォーク部41にワークWが保持されて停止した状態になると、水平ロッド43aがアクチュエータ49によってフォーク部41内にある程度引き込まれることにより、ガイドローラ43cがワークWの側部に当接した状態になる。
次に、上記トランスファロボットA1の動作について説明する。
図7に示されているように、トランスファロボットA1は、たとえば液晶パネル用のガラス基板といったワークWをカセット部Cから図外のワーク処理部へと転送するものとして好適に利用される。このようなトランスファロボットA1は、ワーク搬送システムを構成する主要設備としてカセット部Cに隣接したロボット部Rに設置される。なお、カセット部Cは、図14に示す従来のものと同様の設備、たとえば昇降フレームC1やローラコンベアC2などといった設備を有するものであり、その動作も従来のものと同様であることから、従来の技術の項で先述した点については説明を省略する。
カセット部CのローラコンベアC2は、その前端がカセット部Cとロボット部Rとの間に設けられたワーク受渡口T付近に位置し、ワークWは、ローラコンベアC2によってその前端を越えるまで搬送される。つまり、カセット部CのローラコンベアC2によってワークWが搬送される距離は、概ね図7に示す距離L0’となる。
一方、図7および図8に良く示されているように、ロボット部RのトランスファロボットA1は、ローラコンベアC2によるワークWの搬送に先立ち、ローラコンベアC2の前端にたとえば上段側のハンド4Bの先端(フォーク部41の先端)を横付けにしておく。このとき、ハンド4Bは、昇降機構2や直線移動機構3Bによって鉛直方向および水平直線移動行程Sに沿う方向に移動させられ、図7に実線で示すホームポジションに位置する状態から仮想線で示す位置に停止した状態とされる。つまり、ハンド4Bが水平直線移動行程Sに沿って移動する距離は、概ね図7に示す距離L1’となる。そして、ローラコンベアC2がワークWの搬送を始める状態になると、トランスファロボットA1は、ハンド4Bのローラ42をローラコンベアC2の回転方向と同じ方向に回転させる。
ワークWがローラコンベアC2の前端を越えて搬送されてくると、ワークWの下面が回転する複数のローラ42に支持された状態となり、ワークWは、これら複数のローラ42によってフォーク部41の後端側へと移動させられる。これらローラ42の回転は、ローラコンベアC2がワークWの搬送を開始してから所定時間経過後に停止させられる。なお、フォーク部の後端にワークの移動を規制するストッパを設けておき、ローラの回転を一定時間経過後に停止させるようにしたり、あるいはフォーク部の後端にワークを検出するセンサを設けておき、このセンサによってワークが検出された時点でローラの回転を停止させるようにしてもよい。このようにしてワークWは、ローラコンベアC2上からハンド4B上に載り移る。
ハンド4B上に載ったワークWは、図9の(a)に示すように、当初は水平直線移動行程Sに対して傾いた姿勢になっていることがある。そのため、トランスファロボットA1は、図9の(b)に示すように、サイドアーム43をフォーク部41内にある程度引き込ませる。その結果、ハンド4B上のワークWは、その両側前後端の4箇所がサイドアーム43によって挟持された状態となり、水平直線移動行程Sに沿う適正な姿勢に矯正される。これにより、ハンド4B上におけるワークWの位置調整が適切に行われる。
その後、ワークWを載せたハンド4Bは、水平直線移動行程Sに沿って後退させられる。次に、トランスファロボットA1は、上段側のハンド4Bに代わって下段側のハンド4AをローラコンベアC2の前端に横付けにする。そしてさらには、上述した動作と同様の動作を行うことにより、ローラコンベアC2上からハンド4A上にワークWが載り移るとともに、ハンド4A上におけるワークWの姿勢が矯正され、このワークWを載せたハンド4Aも、水平直線移動行程Sに沿って後退させられる。もちろん、ワークWを載せる順としては、下段側のハンド4Aを先としてもよい。
そうした後、トランスファロボットA1は、回転部材31をたとえば180度あるいは90度回転させ、ワークWを載せた2つのハンド4A,4Bを所望とするワーク処理部に向けた姿勢とする。さらに、トランスファロボットA1は、昇降機構2や直線移動機構3A,3Bを再び作動させることによってハンド4A,4Bを交互にワーク処理部へと移動させる。以上のような一連の動作を行うことにより、トランスファロボットA1は、カセット部Cから移送先となるワーク処理部にワークWを2つずつまとめて効率良く転送することができる。なお、ハンド4A,4B上に載ったワークWをワーク処理部に移す際、ハンド4A,4Bにおけるローラ42は、カセット部CからワークWを受け取る際の回転方向とは逆方向に回転させられる。これにより、ハンド4A,4B上のワークWは、水平直線移動行程Sに沿って前方側へと送り出されてワーク処理部の所定箇所に移される。
したがって、本実施形態のトランスファロボットA1によれば、ローラコンベアC2にハンド4A,4Bを横付けにした状態でカセット部Cから直接ワークWを受け取ることができるため、従来のワーク搬送システムでは必要とされたバッファ部やそのための設置スペースが不要とされ、これによりワーク搬送システムのスケールダウンを図ることができる。
また、本実施形態のトランスファロボットA1によれば、ローラコンベアC1に対してできる限り近い位置にトランスファロボットA1を設置することができ、ハンド4A,4Bを移動させる距離L1’を従来の距離L1(図14参照)に比べて相当短くすることができる。そのため、動作時には、ハンド4A,4Bを鉛直方向や水平直線移動行程Sに沿ってより安定した姿勢で動かすことができる。また、昇降機構2や直線移動機構3A,3Bとしては、作動範囲が従来に比べて小さくて済むことから、できる限り小型のものを採用することができ、これによってロボットそのものの小型化を図ることができる。
次に、他の実施形態について説明する。
図10〜13は、本願発明に係るトランスファロボットの他の実施形態を示している。なお、図10〜13において、先述した実施形態のものと同一または類似の要素には、先述した実施形態のものと同一符号を付し、それらの説明を適宜省略する。
この実施形態のトランスファロボットA2は、図10〜13に示されているように、固定ベース1に対して鉛直軸周りに回転可能に取り付けられた昇降機構5、昇降機構5によって鉛直方向に昇降させられる2組の直線移動機構6A,6B、直線移動機構6A,6Bにより水平直線移動行程S(図11参照)に沿って前進・後退させられる下段側および上段側のハンド4A,4Bを具備して構成されている。なお、この実施形態の説明においても、各図に示す状態においてハンド4A,4Bが前進・後退する方向(水平直線移動行程Sに沿う方向)をx軸方向、このx軸方向に直交する水平方向をy軸方向、x軸およびy軸の両方向に直交する鉛直方向をz軸方向と称する。
昇降機構5は、図12に良く示されているように、固定ベース1に対してz軸周りに回転可能に取り付けられたフレーム部材50、フレーム部材50の両側に一対となってz軸方向に沿うように設けられたラックギヤ51、ならびに後述する支持ベース60に設けられ、ラックギヤ51にピニオンギヤや減速機構(図示略)を介して連結された昇降用モータM3を有して構成されている。
固定ベース1の適部には、フレーム部材50をz軸周りに回転させるためのモータや減速機構が設けられている(図示略)。支持ベース60には、図示しないピニオンギヤがラックギヤ51と常時噛み合うように設けられており、このような支持ベース60は、水平な姿勢を保ちつつラックギヤ51に支持されている。昇降用モータM3の回転力によってピニオンギヤが回転すると、支持ベース60は、ラックギヤ51に対するピニオンギヤの直線運動に伴い、水平な姿勢を保ちながらz軸方向に昇降する。
図10および図13に良く示されているように、直線移動機構6A,6Bは、これら双方の共通部材となる支持ベース60、x軸方向を長手方向として支持ベース60に固定された2対のガイドレール61A,61B、ならびに各ガイドレール61A,61Bにスライド可能に支持されているとともに、各ハンド4A,4Bをx軸方向に沿ってスライド可能に支持する2対のスライドレール62A,62Bを有して構成されている。これらガイドレール61A,61Bおよびスライドレール62A,62Bからなるスライド機構としては、水平直線移動行程Sを対称軸として、水平直線移動行程Sの両側近傍部に位置する組(ガイドレール61Aおよびスライドレール62Aの組)と、水平直線移動行程Sの両側遠隔部に位置する組(ガイドレール61Bおよびスライドレール62Bの組)とが設けられている。
図13に良く示されているように、一方のガイドレール61A,61Bの側部には、ラックギア61a,61bが固定されており、これらのガイドレール61A,61Bに対応するスライドレール62A,62Bには、上記ラックギア61a,61bにピニオンギヤ63a,63bや減速機構(図示略)を介して連結された第1スライド用モータ63A,63Bが固定されている。他方のスライドレール62A,62Bの側部には、ラックギア62a,62bが固定されており、これらのスライドレール62A,62Bに各々対応するハンド4A,4Bの基部40A,40Bには、上記ラックギア62a,62bにピニオンギヤ64a,64bや減速機構(図示略)を介して連結された第2スライド用モータ64A,64Bが固定されている。このような直線移動機構6A,6Bにおいては、たとえば第1スライド用モータ63Aの回転力によってピニオンギヤ63aが所定の方向に回転すると、このピニオンギヤ63aがラックギア61aに対して直線運動を行うことにより、一対のスライドレール62Aがガイドレール61Aに沿ってx軸方向の所定方向にスライドする。さらに第2スライド用モータ64Aの回転力によってピニオンギヤ64aが所定の方向に回転すると、このピニオンギヤ64aがラックギア62aに対して直線運動を行うことにより、下段側のハンド4Aがスライドレール62Aに沿ってx軸方向の所定方向にスライドしながら前進・後退する。同様に、第1スライド用モータ63Bの回転力によってピニオンギヤ63bが所定の方向に回転すると、一対のスライドレール62Bがガイドレール61Bに沿ってx軸方向の所定方向にスライドし、さらに第2スライド用モータ64Bの回転力によってピニオンギヤ64bが所定の方向に回転すると、上段側のハンド4Bがスライドレール62Bに沿ってx軸方向の所定方向にスライドしながら前進・後退する。
ハンド4A,4Bは、これらの基部40A,40Bの形状やフォーク部41の数(本実施形態では4つ)が異なる以外は、概ね先述した実施形態のものと同様の構成であり、ローラ42やサイドアーム43などを有して構成されている。下段側のハンド4Aの基部40Aは、全体的に板状に形成されており、その下面部が水平直線移動行程Sの両側近傍部に位置する一対のスライドレール62Aに支持されているとともに、上面部にフォーク部41の後端が固定されている。一方、上段側のハンド4Bの基部40Bは、下段側のハンド4Aと干渉することがないように、このハンド4Aの両側を迂回して断面コ字状に形成されている。このような上段側のハンド4Bの基部40Bは、下段側のハンド4Aの両側下方に回り込んだ下端部40bが水平直線移動行程Sの両側遠隔部に位置する一対のスライドレール62Bに支持されており、上面部40cにフォーク部41の後端が固定されている。
本実施形態のトランスファロボットA2も、図7に示されるようなカセット部Cに隣接したロボット部Rに設置して利用することができる。トランスファロボットA2は、昇降機構5および直線移動機構6A,6Bを作動させることにより、ローラコンベアC2の前端に下段側および上段側のハンド4A,4Bを交互に横付けすることができる。ローラコンベアC2からワークWを受け取る際の動作や、ハンド4A,4B上のワークWの位置調整を行う動作は、先述した実施形態によるものと同様である。
ハンド4A,4B上にワークWが載せられると、トランスファロボットA2は、フレーム部材50をたとえば180度あるいは90度回転させ、ワークWを載せた2つのハンド4A,4Bを所望とするワーク処理部に向けた姿勢とする。さらに、トランスファロボットA2は、昇降機構5や直線移動機構6A,6Bを再び作動させることによってハンド4A,4Bを交互にワーク処理部へと移動させる。つまり、本実施形態のトランスファロボットA2でも、カセット部Cから移送先となるワーク処理部にワークWを2つずつまとめて効率良く転送することができる。
したがって、本実施形態のトランスファロボットA2によっても、ワーク搬送システムのスケールダウンや、ロボットそのものの小型化といった効果を得ることができる。
なお、本願発明は、上記の各実施形態に限定されるものではない。
トランスファロボットとしては、1つのハンドを備えたものでもよい。
また、ワークを受け取る際のハンドの高さと送り渡す箇所の高さが同じ場合には、特に昇降機構がなくてもよい。
本願発明に係るトランスファロボットの一実施形態を示す全体斜視図である。 図1に示すトランスファロボットの側面図である。 図1に示すトランスファロボットの正面視断面図である。 図1に示すトランスファロボットにおけるハンドの一部側面視断面図である。 図1に示すトランスファロボットにおけるハンドの一部上面視断面図である。 図1に示すトランスファロボットにおけるハンドの一部正面視断面図である。 図1に示すトランスファロボットの動作を説明するための説明図である。 図1に示すトランスファロボットの動作を説明するための説明図である。 図1に示すトランスファロボットの動作を説明するための説明図である。 本願発明に係るトランスファロボットの他の実施形態を示す全体斜視図である。 図10に示すトランスファロボットの上面図である。 図10に示すトランスファロボットの正面図である。 図10に示すトランスファロボットの要部正面視断面図である。 従来のトランスファロボットを説明するための説明図である。 従来のトランスファロボットを説明するための説明図である。
符号の説明
A1,A2 トランスファロボット
W ワーク
S 水平直線移動行程
2 昇降機構
3A,3B 直線移動機構
30 支持ベース
32 第1水平リンクアーム
33 第2水平リンクアーム
34a 第1回転ジョイント
34b 第2回転ジョイント
34c 第3回転ジョイント
4A,4B ハンド
42 ローラ
43 サイドアーム
44 ローラ回転用モータ
46 伝動ベルト
5 昇降機構
6A,6B 直線移動機構
60 支持ベース
61A,61B ガイドレール
62A,62B スライドレール

Claims (10)

  1. 板状のワークを水平に保持するハンドと、このハンドを所定の水平直線移動行程に沿って前進・後退させる直線移動機構と、を備えたトランスファロボットであって、
    上記ハンドには、上記ワークの下面を支持してワークを所定の方向に移動させるための複数のローラが設けられていることを特徴とする、トランスファロボット。
  2. 上記複数のローラは、上記水平直線移動行程に沿う方向に上記ワークを移動させるように配置されている、請求項1に記載のトランスファロボット。
  3. 上記ハンドにはさらに、上記複数のローラを回転させる回転駆動機構が設けられている、請求項2に記載のトランスファロボット。
  4. 上記回転駆動機構は、ローラ回転用モータと、このローラ回転用モータの動力を上記複数のローラに伝える伝動ベルトとを含んで構成されている、請求項3に記載のトランスファロボット。
  5. 上記ハンドにはさらに、上記ワークをその両側方から挟持してこのワークの位置調整を行うための複数のサイドアームが設けられている、請求項1ないし4のいずれかに記載のトランスファロボット。
  6. 上記直線移動機構は、支持ベースと、この支持ベースに鉛直軸周りの第1回転ジョイントを介して基端部が連結された第1水平リンクアームと、この第1水平リンクアームの先端部に鉛直軸周りの第2回転ジョイントを介して基端部が連結されているとともに、上記ハンドを鉛直軸周りの第3回転ジョイントを介して先端部に支持する第2水平リンクアームとを含んで構成されている、請求項1ないし5のいずれかに記載のトランスファロボット。
  7. 上記第1水平リンクアームおよび第2水平リンクアームからなるリンク機構としては、上記水平直線移動行程を対称軸とした上で、その一方側に位置する第1リンク機構と、その他方側に位置する第2リンク機構とを備えており、かつ、上記ハンドとしては、上記第1リンク機構により鉛直方向下段側で前進・後退させられる第1ハンドと、上記第2リンク機構により鉛直方向上段側で前進・後退させられる第2ハンドとを有している、請求項6に記載のトランスファロボット。
  8. 上記直線移動機構は、支持ベースと、上記水平直線移動行程に沿う方向を長手方向として上記支持ベースに固定された一対のガイドレールと、これらガイドレールのそれぞれにスライド可能に支持されているとともに、上記水平直線移動行程に沿って上記ハンドをスライド可能に支持するスライドレールとを含んで構成されている、請求項1ないし5のいずれかに記載のトランスファロボット。
  9. 上記ガイドレールおよびスライドレールからなるスライド機構としては、上記水平直線移動行程を対称軸とした上で、その両側近傍部に位置する第1スライド機構と、その両側遠隔部に位置する第2スライド機構とを備えており、かつ、上記ハンドとしては、上記第1スライド機構により鉛直方向下段側で前進・後退させられる第1ハンドと、上記第2スライド機構により鉛直方向上段側で前進・後退させられる第2ハンドとを有している、請求項8に記載のトランスファロボット。
  10. 上記支持ベースを鉛直方向に昇降させる昇降機構を備えている、請求項6ないし9のいずれかに記載のトランスファロボット。
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009292570A (ja) * 2008-06-04 2009-12-17 Tokyo Electron Ltd 搬送装置及び処理装置
JP2010192642A (ja) * 2009-02-18 2010-09-02 Toppan Printing Co Ltd ガラス基板搬送用ロボットハンド
US7857571B2 (en) 2005-12-29 2010-12-28 Lg Display Co., Ltd. Apparatus for manufacturing flat panel display and method of manufacturing the same
JP2012218105A (ja) * 2011-04-08 2012-11-12 Seiko Epson Corp ロボットハンド
KR20130032464A (ko) * 2011-09-23 2013-04-02 주식회사 원익아이피에스 기판처리시스템, 버퍼모듈 및 로드락모듈
DE102013107709A1 (de) 2012-07-26 2014-01-30 Fanuc Corp Greifrobotersystem mit Rollvorrichtung
CN104108605A (zh) * 2014-07-08 2014-10-22 深圳市华星光电技术有限公司 一种玻璃基板的取放装置
CN110202565A (zh) * 2019-05-30 2019-09-06 上海海事大学 微波炉高温食物抓取机械装置
CN113414779A (zh) * 2021-06-29 2021-09-21 河南职业技术学院 一种基于计算机控制的机械手
WO2021205898A1 (ja) * 2020-04-06 2021-10-14 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法及び製造装置

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010023195A (ja) * 2008-07-22 2010-02-04 Nidec Sankyo Corp 産業用ロボット
KR101870293B1 (ko) * 2011-11-09 2018-06-22 엘지디스플레이 주식회사 러빙 시스템 및 이를 위한 기판이송로봇
CN103128185B (zh) 2011-11-25 2015-03-11 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 搬运装置及采用该搬运装置的冲压设备
KR101410246B1 (ko) * 2013-03-18 2014-06-20 주식회사 로보스타 패널 반송용 트리플 암 로봇
CN105014655A (zh) * 2014-04-16 2015-11-04 扬州兴乐电镀设备有限公司 一种plc模块控制机械手抓放装置
TWI614114B (zh) * 2015-08-21 2018-02-11 寧波弘訊科技股份有限公司 移取裝置及移取方法
CA3107180C (en) * 2016-09-06 2022-10-04 Advanced Intelligent Systems Inc. Mobile work station for transporting a plurality of articles
TWI674231B (zh) * 2017-06-01 2019-10-11 孫建忠 基板貯送系統
JP6777665B2 (ja) 2018-02-26 2020-10-28 ファナック株式会社 ロボットハンド、ロボットおよびロボットハンドのハンド幅調整方法
TWI733141B (zh) * 2019-07-16 2021-07-11 亞智科技股份有限公司 牙叉式基板運輸裝置及其方法
CN110587635A (zh) * 2019-08-02 2019-12-20 湖南海纳赋能科技有限公司 一种用于寄存柜中的智能存储机械手
CN113213055B (zh) * 2021-05-27 2022-12-20 深圳市库宝软件有限公司 跨区域任务处理方法、装置、设备、仓储系统及存储介质
WO2023074962A1 (ko) * 2021-10-29 2023-05-04 주식회사 라온테크 인-챔버 웨이퍼 이송 로봇

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS611391U (ja) * 1984-06-06 1986-01-07 富士通株式会社 ロボツトフインガ−
JPH02274487A (ja) * 1989-04-14 1990-11-08 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd ワーク把持装置
JPH0382318U (ja) * 1989-12-15 1991-08-22
JPH0679573A (ja) * 1992-09-03 1994-03-22 Makino Milling Mach Co Ltd 搬送車のパレット移載装置
JPH0883833A (ja) * 1994-09-13 1996-03-26 Tokyo Electron Ltd 処理装置
JPH0933589A (ja) * 1995-07-14 1997-02-07 Tokyo Electron Ltd 検査装置
JPH11188670A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Daihen Corp 2アーム方式の搬送用ロボット装置
JP2001189367A (ja) * 2000-01-04 2001-07-10 Ulvac Japan Ltd 基板搬送ロボット
JP2002145448A (ja) * 2000-11-08 2002-05-22 Kawasaki Heavy Ind Ltd 反転積み重ね装置
JP2002172570A (ja) * 2000-12-05 2002-06-18 Kawasaki Heavy Ind Ltd ダブルアームおよびそれを備えたロボット

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11168128A (ja) * 1997-12-03 1999-06-22 Mecs Corp 薄型基板の搬送ロボット

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS611391U (ja) * 1984-06-06 1986-01-07 富士通株式会社 ロボツトフインガ−
JPH02274487A (ja) * 1989-04-14 1990-11-08 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd ワーク把持装置
JPH0382318U (ja) * 1989-12-15 1991-08-22
JPH0679573A (ja) * 1992-09-03 1994-03-22 Makino Milling Mach Co Ltd 搬送車のパレット移載装置
JPH0883833A (ja) * 1994-09-13 1996-03-26 Tokyo Electron Ltd 処理装置
JPH0933589A (ja) * 1995-07-14 1997-02-07 Tokyo Electron Ltd 検査装置
JPH11188670A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Daihen Corp 2アーム方式の搬送用ロボット装置
JP2001189367A (ja) * 2000-01-04 2001-07-10 Ulvac Japan Ltd 基板搬送ロボット
JP2002145448A (ja) * 2000-11-08 2002-05-22 Kawasaki Heavy Ind Ltd 反転積み重ね装置
JP2002172570A (ja) * 2000-12-05 2002-06-18 Kawasaki Heavy Ind Ltd ダブルアームおよびそれを備えたロボット

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7857571B2 (en) 2005-12-29 2010-12-28 Lg Display Co., Ltd. Apparatus for manufacturing flat panel display and method of manufacturing the same
TWI469904B (zh) * 2008-06-04 2015-01-21 Tokyo Electron Ltd Handling device and handling device
JP2009292570A (ja) * 2008-06-04 2009-12-17 Tokyo Electron Ltd 搬送装置及び処理装置
JP2010192642A (ja) * 2009-02-18 2010-09-02 Toppan Printing Co Ltd ガラス基板搬送用ロボットハンド
JP2012218105A (ja) * 2011-04-08 2012-11-12 Seiko Epson Corp ロボットハンド
KR20130032464A (ko) * 2011-09-23 2013-04-02 주식회사 원익아이피에스 기판처리시스템, 버퍼모듈 및 로드락모듈
KR101703767B1 (ko) * 2011-09-23 2017-02-23 주식회사 원익아이피에스 기판처리시스템, 버퍼모듈 및 로드락모듈
US8733810B2 (en) 2012-07-26 2014-05-27 Fanuc Corporation Taking out robot system using roller device
DE102013107709A1 (de) 2012-07-26 2014-01-30 Fanuc Corp Greifrobotersystem mit Rollvorrichtung
DE102013107709B4 (de) * 2012-07-26 2018-01-18 Fanuc Corporation Greifrobotersystem mit Rollvorrichtung
CN104108605A (zh) * 2014-07-08 2014-10-22 深圳市华星光电技术有限公司 一种玻璃基板的取放装置
US9452536B2 (en) 2014-07-08 2016-09-27 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Pick-and-place device for glass substrate
CN110202565A (zh) * 2019-05-30 2019-09-06 上海海事大学 微波炉高温食物抓取机械装置
WO2021205898A1 (ja) * 2020-04-06 2021-10-14 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法及び製造装置
JP7518485B2 (ja) 2020-04-06 2024-07-18 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法及び製造装置
CN113414779A (zh) * 2021-06-29 2021-09-21 河南职业技术学院 一种基于计算机控制的机械手

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