CN113682715A - 倾斜平台、基板传输装置及基板传输方法 - Google Patents

Abstract

本发明揭露一种借由倾斜角度以使所传输的基板或基板的表面的湿式制程药液散逸的倾斜平台及以之制备的基板传输装置，本发明提供一种基板传输装置，该基板传输装置至少包括有一基座及一倾斜平台，其主要特征在于：倾斜平台设置于基座上，且倾斜平台与基座之间夹设有一夹角；借此，本发明借由在基板传输装置的基座上设置倾斜平台的设计，有效在基板传输的同时使其表面残留的湿式制程的药液可顺着倾斜角度滑落，以使基板在传输时不会因为药液的残留而对其表面造成危害，确实达到保护传输的基板的品质等优势。

Description

倾斜平台、基板传输装置及基板传输方法

技术领域

本发明有关于一种基板传输装置及其基板传输方法，尤其 是指一种借由具倾斜角度的平台以使所传输的基板表面的湿 式制程的药液能够散逸的倾斜平台及以此倾斜平台制备的基 板传输装置及其基板传输方法。

背景技术

常见的基板传输装置，通常是由输送线将基板传送至由复 数个输送滚轮所组合而成的输送结构上，再借由设置于输送结 构附近的机械手臂将基板移动至指定位置，或是由机械手臂截 取基板后，将基板提送至另一组传输结构上，而机械手臂虽然 能将基板横向或上下移动，但介于机械手臂的需要一步一步的 进行动作，并且对于移动基板时的大小也有所限制，因而局限 基板传输时的大小，并且在机械手臂移动时需花费过多不必要 的时间，进而连带影响了基板传输时的效率；此外，在湿式制 程过后仍有许多的蚀刻药液残留在基板表面，严重者将使基板 表面发生过度蚀刻的问题产生；因此，如何借由创新的设计， 解决药液残留在基板表面而造成危害的缺点，仍是基板传输装 置等相关产业的开发业者与相关研究人员需持续努力克服与 解决的课题。

发明内容

缘是，创作人有鉴于此，并借由其丰富的专业知识及多年 的实务经验所辅佐，而加以改良发明一种倾斜平台及以的制备 的基板传输装置，其目的在于提供一种借由具倾斜角度的平台 以使所传输的基板表面的湿式制程的药液能够散逸的倾斜平 台及以此倾斜平台制备的基板传输装置，主要借由在基板传输 装置的基座上设置具有倾斜角度的倾斜平台的设计，有效在基 板传输的同时使其表面残留的湿式制程的药液可顺着倾斜角 度滑落，以使基板在传输过程中不会因为化学药液的残留而对 其表面造成危害的缺点，确实达到保持与提升所传递的基板的 产品品质等主要优势。

本发明的次一目的在于提供一种倾斜平台，借由倾斜平台 上的输送辊及导辊的设计，能够使基板在倾斜时不致于造成滑 落破损，使其能有效承载基板并进行传输的作业的优势。

本发明的又一目的在于另提供一种基板传输装置，其透过 第一升降机构、横移机构及转轴的设计，借此能够稳定的进行 上下层的基板传输动作，有效使第一及第二牙叉组件由倾斜自 转水平并微调至相对位置后同步上升，据此可提升大面积的基 板传输动作等优势。

本发明的又一目的在于另提供一种基板传输方法，其适用 一种牙叉式的基板传输装置的基板传输方法，借此能够稳定的 进行上下层的基板传输动作，并再透过第二升降机构上升或下 降的设计，据此能够有效避免基板传输过程中损坏而造成不良 等优势。

本发明的再一目的在于提供一种基板传输装置，其透过可 动滚轮、固定滚轮、平行轨道及垂直轨道的配置设计，借由位 于轨道内可移动的可动滚轮，使在移送基板时可以减少大量的 位移时间，同时另可以减少运输装置循环移动的时间，同时又 能够透过可动滚轮的不同速度，有效使可动滚轮由倾斜转成水 平并稳定进行上下层的基板传输动作等优势。

本发明的再一目的在于另提供一种基板传输方法，其适用 一种条棒式的基板传输装置的基板传输方法，借此能够稳定的 进行上下层的基板传输动作，并再透过可动滚轮设于平行轨道 及垂直轨道内的配置设计，据此使在移送基板时可以减少大量 的位移时间，同时又能够透过可动滚轮的不同速度，有效使可 动滚轮由倾斜转成水平并稳定进行上下层的基板传输动作等 优势。

为了达到本发明的前揭目的，发明人提出一种倾斜平台， 适用于一基板传输装置，其中基板传输装置至少包括有一基 座，其主要在于：倾斜平台设置于基座上，且倾斜平台与基座 之间夹设有一夹角。

在本发明的一个实施例中，夹角介于3度至10度之间。

在本发明的一个实施例中，基座由二长边及二短边所构 成。

在本发明的一个实施例中，倾斜平台更包含复数个输送 辊，各该输送辊沿着该基座的该二长边以不同高度形成该夹角 的配置并且平行设置。

在本发明的一个实施例中，其中各该输送辊设有复数个导 辊。

在本发明的一个实施例中，倾斜平台借由一转速以传输至 少一基板。

此外，根据本发明的目的，本发明人提出一种基板传输装 置，至少包括有一如上所述的倾斜平台；至少一第一升降机构， 设置于该基座上且位于该倾斜平台的一侧部，该第一升降机构 至少包括有二第一升降轨道，以及一设置于该第一升降轨道的 一端部的第一升降驱动器；以及至少一横移机构，该横移机构 设置于该第一升降机构的该第一升降轨道内并与其呈90度配 置，且该横移机构包括有至少一横移轨道，以及一设置于该横 移轨道的一端部的横移驱动器；至少一第二升降机构，该第二 升降机构设置于该横移机构的该横移轨道内并与其呈90度配 置，且该第二升降机构与该第一升降机构平行设置，其中，该第二升降机构包括有至少一第二升降轨道，以及一设置于该第 二升降轨道的一端部的第二升降驱动器；一第一牙叉组件，设 置于该第二升降机构，该第一牙叉组件包括有一嵌入于该第二 升降机构的该第二升降轨道的第一转轴；一第二牙叉组件，设 置于该横移机构，该第二牙叉组件包括有一嵌入于该横移轨道 的第二转轴。

在本发明的一个实施例中，其中该第一升降轨道、该横移 轨道及该第二升降轨道内各自可进一步设置有皮带、链条、齿 轮、滑轨、螺旋或螺杆元件的传动组件，其得以借由升降驱动 器驱动叉组件移动的传动组件。

在本发明的一个实施例中，该第一牙叉组件更包括一设置 于该第一转轴一端的第一牙叉架，以及复数根与该第一牙叉架 垂直设置的第一牙叉，且复数个该第一牙叉彼此并列排制而 成。

在本发明的一个实施例中，该第二牙叉组件更包括一设置 于该第二转轴一端的第二牙叉架，以及复数根与该第二牙叉架 垂直设置的第二牙叉，且复数个该第二牙叉彼此并列排制而 成。

在本发明的一个实施例中，倾斜平台借由一转速以传输至 少一基板。

在本发明的一个实施例中，其中该第一牙叉组件及该第二 牙叉组件顶抵基板。

在本发明的一个实施例中，进一步由一上层输送机构接收 第一牙叉组件及该第二牙叉组件顶抵的基板。

在本发明的一个实施例中，其中该横移机构的两侧更进一 步设有二导轨，各该导轨内更设有一导轨轨道，该导轨轨道能 够使该横移机构嵌入并进行上下滑移。

在本发明的一个实施例中，其中第一牙叉组件的第一转轴 另一端设置有第二升降机构。

在本发明的一个实施例中，其中第二牙叉组件的第二转轴 另一端设置有第二升降机构。

此外，根据本发明的目的，本发明人再提出一种基板传输 方法，适用于一如上所述的基板传输装置，其至少包含以下步 骤：步骤a：首先，第一牙叉组件及第二牙叉组件在一预备位 置待命，且与一倾斜平台平行；步骤b：接续，当一基板透过 一下层输送机构传输至该倾斜平台上就定位后，则该第一牙叉 组件及该第二牙叉组件即往上抬升并与该倾斜平台交错后再 持续上升；步骤c：待该第一牙叉组件及该第二牙叉组件完全 远离该倾斜平台；步骤d：该第一牙叉组件及该第二牙叉组件 由倾斜自转为水平，同时其一牙叉组件透过微调上升或下降至 另一牙叉组件的相对位置；步骤e：待该第一牙叉组件及该第 二牙叉组件平行后，该第一牙叉组件及该第二牙叉组件向上传 输后，当该基板传输远离后，该第一牙叉组件及该第二牙叉组 件再同时自转呈垂直，并往两侧分开后再下降，该第一牙叉组件及该第二牙叉组件下降至该预备位置；以及步骤f：进入待 机状态，待该基板由该下层输送机构传输到该倾斜平台就定 位，重复步骤a至步骤e。

在本发明的一个实施例中，其中该步骤d更包含第一牙叉 组件透过第二升降机构微调下降至第二牙叉组件的相对位置。

在本发明的一个实施例中，其中该步骤d更包含第二牙叉 组件透过第二升降机构微调上升至第一牙叉组件的相对位置。

再者，根据本发明的目的，本发明人另提出一种基板传输 装置，至少包括有一如上所述的倾斜平台；其中该基座的二该 短边分别设置有一第一支撑壁与一第二支撑壁，该第一支撑壁 与该第二支撑壁借由至少一轨道连接，该轨道包括有二平行轨 道与复数个垂直轨道，且该基座底部设置有一驱动器；该倾斜 平台的该输送辊为复数个固定滚轮，复数个该固定滚轮分别倾 斜连接该第一支撑壁与该第二支撑壁之间，且分别于各该些垂 直轨道的二侧并靠近下方的平行轨道，其中该些固定滚轮倾斜 且相互平行设置而形成该倾斜平台；以及复数个可动滚轮，相 互平行并设置于该第一支撑壁与该第二支撑壁之间，且该可动 滚轮的二侧部分别嵌入于该第一支撑壁与该第二支撑壁的该 轨道内，并得以同时移动该些可动滚轮于该轨道内。

在本发明的一个实施例中，轨道设置有皮带、炼条、齿轮、 滑轨、螺旋或螺杆元件或其他得以借由驱动器驱动轨道移动的 传动组件。

在本发明的一个实施例中，驱动器提供一动力以使该复数 个可动滚轮自体旋转，并同时带动可动滚轮于轨道内移动。

在本发明的一个实施例中，其中复数个该固定滚轮与复数 个该可动滚轮为交叉设置。

另外，根据本发明的目的，本发明人更提出一种基板传输 方法，适用于一如上所述的基板传输装置，其至少包含以下步 骤：步骤A：首先，复数个可动滚轮至预备位置待命，且与倾 斜平台的复数个固定滚轮平行；步骤B：接续，当一基板透过 一下层输送机构传输至该倾斜平台上就定位后，则复数个该可 动滚轮往上抬升交错该倾斜平台的复数个该固定滚轮后，再持 续上升；步骤C：待复数个该可动滚轮同时承载并抬升该基板， 当复数个该可动滚轮完全远离该倾斜平台后，复数个该可动滚 轮即会以不同的速度，同时将各该可动滚轮由倾斜微调为水 平；步骤D：待各该可动滚轮平行后，再借由复数个垂直轨道 向上垂直升起至各该垂直轨道顶点，待各该可动滚轮上升至顶 点后，该复数个可动滚轮透过驱动器提供动力并自体旋转；步 骤E：当该基板透过一上层输送机构移出后，该复数个可动滚轮透过上方的平行轨道横向位移至最边侧的垂直轨道，并由该 垂直轨道垂直下降至该垂直轨道底点，并透过下方的平行轨道 横移至待命的预备位置；以及步骤F：进入待机状态，待该基 板由该下层输送机构传输到该倾斜平台就定位，重复步骤A至 步骤E。

借此，本发明的倾斜平台及以的制备的基板传输装置及基 板传输方法主要借由在基板传输装置的基座上设置具有倾斜 角度的倾斜平台的设计，有效在基板传输的同时使其表面残留 的湿式制程的药液可顺着倾斜角度滑落，以使基板在传输过程 中不会因为化学药液的残留而对其表面造成危害的缺点，确实 达到保持与提升所传递的基板的产品品质等主要优势。

附图说明

图1：本发明基板传输装置其一较佳实施例的整体装置立 体图。

图2：本发明基板传输装置其一较佳实施例的整体装置剖 视图。

图3：本发明基板传输装置其一较佳实施例的基板置入示 意图。

图4：本发明基板传输装置其一较佳实施例的装置运作开 始示意图。

图5：本发明基板传输装置其一较佳实施例的牙叉组件交 错倾斜平台示意图。

图6：本发明基板传输装置其一较佳实施例的基板及牙叉 组件动作示意图。

图7：本发明基板传输装置其一较佳实施例的牙叉组件水 平抬升示意图。

图8：本发明基板传输装置其一较佳实施例的牙叉组件承 载基板抬升至顶点示意图。

图9：本发明基板传输装置其一较佳实施例的上层输送机 构接近示意图。

图10：本发明基板传输装置其一较佳实施例的牙叉组件自 转动作示意图。

图11：本发明基板传输装置其二较佳实施例的整体装置立 体图。

图12：本发明基板传输装置其二较佳实施例的整体装置剖 视图。

图13：本发明基板传输装置其二较佳实施例的可动滚轮在 预备位置示意图。

图14：本发明基板传输装置其二较佳实施例的可动滚轮由 倾斜到水平的动作示意图。

图15：本发明基板传输装置其二较佳实施例的可动滚轮抬 升的另一视角剖视示意图。

图16：本发明基板传输方法其一较佳实施例的流程图。

图17：本发明基板传输方法其二较佳实施例的流程图。

图号说明：

10:倾斜平台

11:长边

12:短边

13:输送辊

131:导辊

20:基板传输装置

21:基座

211:第一支撑壁

212:第二支撑壁

213:轨道

2131:平行轨道

2132:垂直轨道

214:驱动器

22:第一升降机构

221:第一升降轨道

222:第一升降驱动器

23:横移机构

231:横移轨道

232:横移驱动器

24:第二升降机构

241:第二升降轨道

242:第二升降驱动器

25:第一牙叉组件

251:第一转轴

252:第一牙叉架

2521:第一牙叉

26:第二牙叉组件

261:第二转轴

262:第二牙叉架

2621:第二牙叉

27:导轨

271:导轨轨道

30:固定滚轮

40:可动滚轮

3:基板

4:上层输送机构

5:下层输送机构

S10:基板传输方法

S11～S16:步骤a～步骤f

S20:基板传输方法

S21～S26:步骤A～步骤F

θ:夹角。

具体实施方式

首先，请参阅图1与图2所示，为本发明基板传输装置其 一较佳实施例的整体装置立体图，以及整体装置剖视图，其中 本发明的倾斜平台10适用于该基板传输装置20，其中该基板 传输装置20至少包括有一基座21，其主要在于：该倾斜平台 10设置于该基座21上，且该倾斜平台10与该基座21之间夹 设有一夹角θ，其中该夹角θ介于3度至10度之间，最佳为5 度，也就是说，该倾斜平台10借由复数个不等高的输送辊13 架设于该基座21的上表面，以使该倾斜平台10左侧的长边11 高于右侧的长边11，且该倾斜平台10的上表面与该基座21 的上表面夹设该夹角θ，其中该倾斜平台10可借由一转速以传 输至少一基板3(如图3)，该基板3由该倾斜平台10左侧的长 边11作为入料口(图式未标示)放置于该倾斜平台10的上表面， 由于该基板3的上一个制程为使用大量药液的湿式制程，当该 基板3置放于该倾斜平台10时，该倾斜平台10具有的倾斜夹 角θ可让该基板3上的药液朝向该倾斜平台10的右侧的长边11 滑落，有效防止该湿式制程的药液残留于该基板3的上表面而 进一步造成该基板3的危害，例如：过蚀刻等缺点。

其中各该输送辊13设有复数个导辊131，据此，透过该导 辊131承载基板3，使该导辊131能够使基板3在倾斜时不致 于造成滑落破损，使其能有效承载基板并进行传输的作业的优 势。

此外，请再一次参阅图1与图2所示，本发明的基板传输 装置20至少由一该基座21、一该倾斜平台10、一第一升降机 构22、一横移机构23、一第二升降机构24、一第一牙叉组件 25及一第二牙叉组件26所组合而成，该基板传输装置20的主 要用途将该基板3由前一道湿式制程传送至后端的制程设备。

一第一升降机构22并列设置于该基座21上且位于该倾斜 平台10的一侧部，该第一升降机构22包括有二第一升降轨道 221，以及一设置于该第一升降轨道221的一端部的一第一升 降驱动器222，其中该第一升降轨道221设置于该第一升降机 构22的其中一面，并以由上至下的垂直方向嵌入于该第一升 降机构22中，而该第一升降驱动器222设置于该升降机构22 的一端部，例如：顶部或底部等其中之一处，但并不以此为限， 该第一升降驱动器222主要以提供一动力以带动该横移机构 23的垂直移动；此外，该第一升降轨道221的内部可进一步设 置有皮带、链条、齿轮、滑轨、螺旋或螺杆元件的传动组件， 或得以借由第一升降驱动器222驱动该横移机构23移动。

至少一横移机构23，该横移机构23设置于该第一升降机 构22的该第一升降轨道221内并与其呈90度配置，且该横移 机构23包括有至少一横移轨道231，以及一设置于该横移轨道 231的一端部的横移驱动器232；；此外，该横移机构23的内 部可进一步设置有皮带、链条、齿轮、滑轨、螺旋或螺杆元件 的传动组件。

至少一第二升降机构24，该第二升降机构24设置于该横 移机构23的该横移轨道231内并与其呈90度配置，且该第二 升降机构24与该第一升降机构22平行设置，其中，该第二升 降机构24包括有至少一第二升降轨道241，以及一设置于该第 二升降轨道241的一端部的第二升降驱动器242。

一第一牙叉组件25，设置于该第二升降机构24，该第一 牙叉组件25包括有一嵌入于该第二升降机构24的该第二升降 轨道241的第一转轴251；一第二牙叉组件26，设置于该横移 机构23，该第二牙叉组件26包括有一嵌入于该横移轨道231 的第二转轴261；该第一牙叉组件25更包括一设置于该第一转 轴251一端的第一牙叉架252，以及复数根与该第一牙叉架252 垂直设置的第一牙叉2521，且复数个该第一牙叉2521彼此并 列排制而成；该第二牙叉组件26更包括一设置于该第二转轴 261一端的第二牙叉架262，以及复数根与该第二牙叉架262 垂直设置的第二牙叉2621，且复数个该第二牙叉2621彼此并 列排制而成，并可根据该基板3大小而排制不同的第一牙叉及 第二牙叉的数量。

其中该横移机构23的两侧更进一步设有二导轨27，各该 导轨27内更设有一导轨轨道271，该导轨轨道271能够使该横 移机构23嵌入并进行上下滑移；据此能够透过导轨与导轨轨 道的设计，用以引导横移机构走向正确的方向，能有效避免偏 移的优势。

此外，本发明其一较佳实施例的基板传输装置20将该基 板3由前一湿式制程运送至下一制程的方式如下所述。

1.请一并参阅图3所示，为本发明基板传输装置其一较佳 实施例的基板置入示意图，其中该基板3由该倾斜平台10长 边11的入料口进入该倾斜平台10，而该倾斜平台10借由一转 速向右侧传输该基板3，其中当该倾斜平台10将该基板3传输 至定位时，该第一牙叉组件与该第二牙叉组件借由该第一升降 机构22由底部向上升起。

2.请一并参阅图4所示，为本发明基板传输装置其一较佳 实施例的装置运作开始示意图，其中当该基板传输装置20开 始启动时，该第一牙叉组件25及该第二牙叉组件26位于该第 一升降机构22的下端部待命，且该第一牙叉组件25及该第二 牙叉组件26亦位于该倾斜平台10的下方。

3.请一并参阅图5所示，为本发明基板传输装置其一较佳 实施例的牙叉组件交错倾斜平台示意图，其中，当该基板3透 过一下层输送机构传输(图未标示)至该倾斜平台10上就定位 后，则该第一牙叉组件25及该第二牙叉组件26即往上抬升并 与该倾斜平台10交错后再持续上升。

4.请一并参阅图6所示，为本发明基板传输装置其一较佳 实施例的基板移动示意图，当该第一牙叉组件25及该第二牙 叉组件26往上抬升并与该倾斜平台10交错后再持续上升，使 该第一牙叉组件25及该第二牙叉组件26完全远离该倾斜平台 10；其中由于该倾斜平台10的输送辊13为倾斜设计，导致该 基板3呈倾斜的态样；其中该第一牙叉组件25的该第一转轴 251另一端设置有该第二升降机构24；当该第一牙叉组件25 及该第二牙叉组件26完全远离该倾斜平台10后，该第一牙叉 组件25及该第二牙叉组件26同时由倾斜自转为水平，以使该 第一牙叉组件25与该第二牙叉组件26可水平承载，使该基板 3得以水平态样朝向远离该倾斜平台10的方向移动，并同时使 该第一牙叉组件25透过该第二升降机构24微调下降至该第二 牙叉组件26的相对位置，但本发明不以此为限。在本发明另 一实施例中(图未标示)，该第二牙叉组件的该第二转轴另一端 设置有该第二升降机构，借以使该第二牙叉组件透过该第二升 降机构微调上升至该第一牙叉组件的相对位置；据此能够使该 基板稳定的进行上下层的传输作业。

5.请一并参阅图7所示，为本发明基板传输装置其一较佳 实施例的牙叉组件水平抬升示意图，其中该第一牙叉组件25 与该第二牙叉组件26微调至相对位置后，该第一牙叉组件25 与该第二牙叉组件26即持续水平向上抬升基板。

6.请一并参阅图8所示，为本发明基板传输装置其一较佳 实施例的牙叉组件承载基板抬升至顶点示意图，该第一牙叉组 件25及该第二牙叉组件26向上传输至该第一升降机构22的 最顶部，以等待一上层输送机构接收。

8.请一并参阅图9所示，为本发明基板传输装置其一较佳 实施例的上层输送机构接近示意图，其中该基板3仍以水平态 样设置于该第一牙叉组件25及该第二牙叉组件26上，并待上 层输送机构4以吸取的方式将该基板3带离各该牙叉组件，以 继续下一个制程。

9.请一并参阅图10所示，为本发明基板传输装置其一较 佳实施例的牙叉组件自转动作示意图，当该基板3传输远离后， 该第一牙叉组件25及该第二牙叉组件26同时自转呈垂直，并 往两侧分开后再下降，且该第一牙叉组件25及该第二牙叉组 件26下降至该倾斜平台10下方的预备位置。

据此，提供一种基板传输装置，其透过第一升降机构、横 移机构及转轴的设计，借此能够稳定的进行上下层的基板传输 动作，有效使第一及第二牙叉组件由倾斜自转水平并微调至相 对位置后同步上升，据此可提升大面积的基板传输动作等优 势。

此外，请参阅图11与图12所示，为本发明基板传输装置 其二较佳实施例的整体装置立体图，以及整体装置剖视图，其 中本发明的基板传输装置20至少由一该基座21、一该倾斜平 台10、复数个固定滚轮30与复数个可动滚轮40所组合而成， 该基板传输装置20的主要用途将该基板3由前一道湿式制程 传送至后端的制程设备。

该基座21的二侧部分别设置有一第一支撑壁211与一第 二支撑壁212，该第一支撑壁211与该第二支撑壁212借由至 少一轨道213连接，其中该轨道213设有皮带、链条、齿轮、 滑轨、螺旋或螺杆元件或其他可以借由该驱动器214带动该轨 道213移动的传动组件，且该轨道213包括有二平行轨道2131 与复数个垂直轨道2132，其中二该平行轨道2131以上下平行 的方式分别嵌入该第一支撑壁211与该第二支撑壁212内，并 且相互对应；此外，该基座21底部设置有一可提供动力的驱 动器214。

该倾斜平台10设置于该基座21的一端部，其中该倾斜平 台10与该基座21之间夹设有一夹角θ。

该等固定滚轮30分别连接该第一支撑壁211与该第二支 撑壁212，且分别于各该些垂直轨道2132的二侧并靠近下方的 平行轨道2131，且各该固定滚轮30设置于该第一支撑壁211 与该第二支撑壁212的位置高度介于该些垂直轨道2132的高 度之间，其中该些固定滚轮30倾斜且相互平行设置而形成该 倾斜平台10。

该等可动滚轮40与该等固定滚轮30相互平行并设置于该 第一支撑壁211与该第二支撑壁212之间，且该可动滚轮40 的二端分别嵌入于该第一支撑壁211与该第二支撑壁212的轨 道213内，并得以同时移动该些可动滚轮40于该轨道213内。

也就是说，在该基座21中，该平行轨道2131与该垂直轨 道2132组接成具有一回圈的轨道213，而该等固定滚轮30以 倾斜且相互平行的方式排列，并设置于该垂直轨道2132之间 以形成该倾斜平台10，使该可动滚轮40与该基座21形成夹角 θ，而该等可动滚轮40分别设置嵌入于该轨道213内，且与该 等固定滚轮30交叉设置，亦以倾斜且相互平行的方式排列以 形成另一支撑架面，而该等可动滚轮40借由该驱动器214所 提供的动力可沿着该轨道213移动。

据此，提供一种条棒式的基板传输装置，使其能够稳定的 进行上下层的基板传输动作，并再透过可动滚轮设于平行轨道 及垂直轨道内的配置设计，据此使在移送基板时可以减少大量 的位移时间，同时又能够透过可动滚轮的不同速度，有效使可 动滚轮由倾斜转成水平并稳定进行上下层的基板传输动作等 优势。

此外，本发明其二较佳实施例的基板传输装置20将该基 板3由前一湿式制程运送至下一制程的方式如下所述。

1.请一并参阅图11所示，其中当该基板3由该倾斜平台 10左侧部的入料口进入该倾斜平台10后，该等可动滚轮40 借由该驱动器214所提供的动力同时于该轨道213的垂直轨道 2132内上升，以至该倾斜平台10承载该基板3。

2.请一并参阅图12所示，为本发明基板传输装置其二较 佳实施例的可动滚轮移动示意图，其中由于该倾斜平台10的 复数个该固定滚轮30为左上右下的倾斜态样，而一开始设置 于各该固定滚轮30下方的复数个该可动滚轮40，其平行设于 该轨道213内，但不以此为限；当基板3就定位后，各该可动 滚轮40即会移动至一预备位置待命。

3.请一并参阅图13所示，为本发明基板传输装置其二较 佳实施例的可动滚轮在预备位置示意图，当各该可动滚轮40 移动至预备位置待命，该可动滚轮40在预备位置待命呈倾斜 或水平态样，在本发明一实施例中，各该可动滚轮40与各该 固定滚轮30呈倾斜态样并相互平行设置，但不以此为限；在 本发明另一实施例中，各该可动滚轮40与各该固定滚轮30形 成该夹角θ设置。

4.请一并参阅图14所示，为本发明基板传输装置其二较 佳实施例的可动滚轮由倾斜到水平的动作示意图，当左侧部的 可动滚轮40交错该固定滚轮30，并接触该基板3后，立即停 止，并同时等待右侧部的可动滚轮40接触该基板3，接续等待 所有的可动滚轮40接触该基板3后，即使各该可动滚轮40由 倾斜态样快速微调至水平态样后，再一起抬升该基板3；接续， 各该可动滚轮40即抬升该基板3朝向远离该倾斜平台10的方 向上升，其中该等可动滚轮40接触该基板3后，即以相同速 度载运该基板3，使该基板3得以水平态样朝向远离该倾斜平 台10的方向移动。

5.请一并参阅图15所示，为本发明基板传输装置其二较 佳实施例的可动滚轮抬升的另一视角剖视示意图，其中，该基 板3借由一下层输送机构5传输至由复数个固定滚轮30所形 成的倾斜平台10，复数个可动滚轮40则先位于该倾斜平台10 下方的下层平行轨道2131内待命上升，待该基板3就定位后， 请参阅图5所示，该复数个可动滚轮40借由驱动器214所提 供的动力同时于该轨道213内上升以承载该基板3至上层平行 轨道2131，当该基板3完全移至该上层输送机构4后，该下层 输送机构5将基板3传输至该倾斜平台10，同时该复数个可动 滚轮40顺向平行轨道2131水平移动至最边侧的垂直轨道 2132，并再依序下降至下层平行轨道2131，并就定预备位置待 命，最后，待基板3就定位后，该复数个可动滚轮40再次上 升以承载该基板3至上层平行轨道2131以形成一循环动作。

据此，透过可动滚轮、固定滚轮、平行轨道及垂直轨道的 配置设计，借由位于轨道内可移动的可动滚轮，使在移送基板 时可以减少大量的位移时间，同时另可以减少运输装置循环移 动的时间，同时又能够透过可动滚轮的不同速度，有效使可动 滚轮由倾斜转成水平并稳定进行上下层的基板传输动作等优 势。

再者，请参阅图16所示，为本发明基板传输方法其一较 佳实施例的流程图，其适用于基板传输装置其一较佳实施例， 并提供一种基板传输方法S10，适用于一如图1至图11所述的 基板传输装置20，其至少包含以下步骤。

步骤a(S11)：首先，第一牙叉组件及第二牙叉组件在一预 备位置待命，且与一倾斜平台平行。

步骤b(S12)：接续，当一基板透过一下层输送机构传输至 该倾斜平台上就定位后，则该第一牙叉组件及该第二牙叉组件 即往上抬升并与该倾斜平台交错后再持续上升。

步骤c(S13)：待该第一牙叉组件及该第二牙叉组件完全远 离该倾斜平台。

步骤d(S14)：该第一牙叉组件及该第二牙叉组件由倾斜自 转为水平，同时其一牙叉组件透过微调上升或下降至另一牙叉 组件的相对位置。

步骤e(S15)：待该第一牙叉组件及该第二牙叉组件平行后， 该第一牙叉组件及该第二牙叉组件向上传输后，当该基板传输 远离后，该第一牙叉组件及该第二牙叉组件再同时自转呈垂 直，并往两侧分开后再下降，该第一牙叉组件及该第二牙叉组 件下降至该预备位置。

步骤f(S16)：进入待机状态，待该基板由该下层输送机构 传输到该倾斜平台就定位，重复步骤a至步骤e。

在本发明的一实施例中，其中该步骤d(S14)更包含该第一 牙叉组件透过该第二升降机构微调下降至该第二牙叉组件的 相对位置。

在本发明的另一实施例中，其中该步骤d(S14)更包含该第 二牙叉组件透过该第二升降机构微调上升至该第一牙叉组件 的相对位置。

据此，提供一种适用一种牙叉式的基板传输装置的基板传 输方法，借此能够稳定的进行上下层的基板传输动作，并再透 过第二升降机构上升或下降的设计，据此能够有效避免基板传 输过程中损坏而造成不良等优势。

另外，再请参阅图17所示，为本发明基板传输方法其二 较佳实施例的流程图，其适用于基板传输装置其二较佳实施 例，并提供一种基板传输方法S20，适用于一如图12至图16 所述的基板传输装置20，其至少包含以下步骤。

步骤A(S21)：首先，复数个可动滚轮至预备位置待命，且 与倾斜平台的复数个固定滚轮平行。

步骤B(S22)：接续，当一基板透过一下层输送机构传输至 该倾斜平台上就定位后，则复数个该可动滚轮往上抬升交错该 倾斜平台的复数个该固定滚轮后，再持续上升。

步骤C(S23)：待复数个该可动滚轮同时承载并抬升该基 板，当复数个该可动滚轮完全远离该倾斜平台后，复数个该可 动滚轮即会以不同的速度，同时将各该可动滚轮由倾斜微调为 水平。

步骤D(S24)：待各该可动滚轮平行后，再借由复数个垂直 轨道向上垂直升起至各该垂直轨道顶点，待各该可动滚轮上升 至顶点后，该复数个可动滚轮透过驱动器提供动力并自体旋 转。

步骤E(S25)：当该基板透过一上层输送机构移出后，该复 数个可动滚轮透过上方的平行轨道横向位移至最边侧的垂直 轨道，并由该垂直轨道垂直下降至该垂直轨道底点，并透过下 方的平行轨道横移至待命的预备位置。

步骤F(S26)：进入待机状态，待该基板由该下层输送机构 传输到该倾斜平台就定位，重复步骤A(S21)至步骤E(S25)。

在本发明的一实施例中，其中该步骤C(S23)更包含复数个 该可动滚轮以不同的速度，将各该可动滚轮由倾斜微调下降为 水平。

在本发明的另一实施例中，其中该步骤C(S23)更包含复数 个该可动滚轮以不同的速度，将各该可动滚轮由倾斜微调上升 为水平。

据此，提供一种适用一种条棒式的基板传输装置的基板传 输方法，能够稳定的进行上下层的基板传输动作，并再透过可 动滚轮设于平行轨道及垂直轨道内的配置设计，据此使在移送 基板时可以减少大量的位移时间，同时又能够透过可动滚轮的 不同速度，有效使可动滚轮由倾斜转成水平并稳定进行上下层 的基板传输动作等优势。

由上述的实施说明可知，本发明与现有技术与产品相较的 下，本发明具有以下优点。

本发明的倾斜平台及以的制备的基板传输装置主要借由 在基板传输装置的基座上设置具有倾斜角度的倾斜平台的设 计，有效在基板传输的同时使其表面残留的湿式制程的药液可 顺着倾斜角度滑落，以使基板在传输过程中不会因为化学药液 的残留而对其表面造成危害的缺点，确实达到保持与提升所传 递的基板的产品品质等主要优势。

Claims (24)

1.一种倾斜平台，适用于一基板传输装置(20)，其中该基板传输装置(20)至少包括有一基座(21)，其特征在于：倾斜平台(10)设置于该基座(21)上，且该倾斜平台(10)与该基座(21)之间夹设有一夹角θ。

2.如权利要求1所述的倾斜平台，其特征在于，该夹角θ介于3度至10度之间。

3.如权利要求2所述的倾斜平台，其特征在于，该基座(21)由二长边(11)及二短边(12)所构成。

4.如权利要求3所述的倾斜平台，其特征在于，包含复数个输送辊(13)，各该输送辊(13)沿着该基座(21)的该二长边(11)以不同高度形成该夹角θ的配置并且平行设置。

5.如权利要求4所述的倾斜平台，其特征在于，各该输送辊(13)设有复数个导辊(131)。

6.一种基板传输装置，其特征在于，至少包括有：

一如权利要求1至5中任一所述的倾斜平台(10)；

至少一第一升降机构(22)，设置于该基座(21)上且位于该倾斜平台(10)的一侧部，该第一升降机构(22)至少包括有二第一升降轨道(221)，以及一设置于该第一升降轨道(221)的一端部的第一升降驱动器(222)；以及

至少一横移机构(23)，该横移机构(23)设置于该第一升降机构(22)的该第一升降轨道(221)内并与其呈90度配置，且该横移机构(23)包括有至少一横移轨道(231)，以及一设置于该横移轨道(231)的一端部的横移驱动器(232)；

至少一第二升降机构(24)，该第二升降机构(24)设置于该横移机构(23)的该横移轨道(231)内并与其呈90度配置，且该第二升降机构(24)与该第一升降机构(22)平行设置，其中，该第二升降机构(24)包括有至少一第二升降轨道(241)，以及一设置于该第二升降轨道(241)的一端部的第二升降驱动器(242)；

一第一牙叉组件(25)，设置于该第二升降机构(24)，该第一牙叉组件(25)包括有一嵌入于该第二升降机构(24)的该第二升降轨道(241)的第一转轴(251)；

一第二牙叉组件(26)，设置于该横移机构(23)，该第二牙叉组件(26)包括有一嵌入于该横移轨道(231)的第二转轴(261)。

7.如权利要求6所述的基板传输装置，其特征在于，该第一升降轨道(221)、该横移轨道(231)及该第二升降轨道(241)内各自设置有皮带、链条、齿轮、滑轨、螺旋或螺杆元件的传动组件。

8.如权利要求6所述的基板传输装置，其特征在于，该第一牙叉组件(25)包括一设置于该第一转轴(251)一端的第一牙叉架(252)，以及复数根与该第一牙叉架(252)垂直设置的第一牙叉(2521)，且复数个该第一牙叉(2521)彼此并列排制而成。

9.如权利要求6或8所述的基板传输装置，其特征在于，该第二牙叉组件(26)包括一设置于该第二转轴(261)一端的第二牙叉架(262)，以及复数根与该第二牙叉架(262)垂直设置的第二牙叉(2621)，且复数个该第二牙叉(2621)彼此并列排制而成。

10.如权利要求9所述的基板传输装置，其特征在于，该倾斜平台(10)借由一转速以传输至少一基板(3)。

11.如权利要求10所述的基板传输装置，其特征在于，由一上层输送机构(4)接收该第一牙叉组件(25)及该第二牙叉组件(26)顶抵的该基板(3)。

12.如权利要求10所述的基板传输装置，其特征在于，该横移机构(23)的两侧设有二导轨(27)，各该导轨(27)内设有一导轨轨道(271)，该导轨轨道(271)能够使该横移机构(23)嵌入并进行上下滑移。

13.如权利要求9所述的基板传输装置，其特征在于，该第一牙叉组件(25)的该第一转轴(251)另一端设置有该第二升降机构(24)。

14.如权利要求9所述的基板传输装置，其特征在于，该第二牙叉组件(26)的该第二转轴(261)另一端设置有该第二升降机构(24)。

15.一种基板传输方法，其特征在于，适用于一如权利要求6至14任一所述的基板传输装置(20)，其至少包含以下步骤：

步骤a(S11)：首先，第一牙叉组件及第二牙叉组件在一预备位置待命，且与一倾斜平台平行；

步骤b(S12)：接续，当一基板透过一下层输送机构传输至该倾斜平台上就定位后，则该第一牙叉组件及该第二牙叉组件即往上抬升并与该倾斜平台交错后再持续上升；

步骤c(S13)：待该第一牙叉组件及该第二牙叉组件完全远离该倾斜平台；

步骤d(S14)：该第一牙叉组件及该第二牙叉组件由倾斜自转为水平，同时其一牙叉组件透过微调上升或下降至另一牙叉组件的相对位置；

步骤e(S15)：待该第一牙叉组件及该第二牙叉组件平行后，该第一牙叉组件及该第二牙叉组件向上传输后，当该基板传输远离后，该第一牙叉组件及该第二牙叉组件再同时自转呈垂直，并往两侧分开后再下降，该第一牙叉组件及该第二牙叉组件下降至该预备位置；以及

步骤f(S16)：进入待机状态，待该基板由该下层输送机构传输到该倾斜平台就定位，重复步骤a至步骤e。

16.如权利要求15所述的基板传输方法，其特征在于，该步骤d(S14)包含该第一牙叉组件透过该第二升降机构微调下降至该第二牙叉组件的相对位置。

17.如权利要求15所述的基板传输方法，其特征在于，该步骤d(S14)包含该第二牙叉组件透过该第二升降机构微调上升至该第一牙叉组件的相对位置。

18.一种基板传输装置，其特征在于，至少包括有：

一如权利要求1至5中任一所述的倾斜平台(10)；

其中该基座(21)的二该短边(12)分别设置有一第一支撑壁(211)与一第二支撑壁(212)，该第一支撑壁(211)与该第二支撑壁(212)借由至少一轨道(213)连接，该轨道(213)包括有二平行轨道(2131)与复数个垂直轨道(2132)，且该基座(21)底部设置有一驱动器(214)；

该倾斜平台(10)的该输送辊(13)为复数个固定滚轮(30)，复数个该固定滚轮(30)分别倾斜连接该第一支撑壁(211)与该第二支撑壁(212)之间，且分别于各该些垂直轨道(2132)的二侧并靠近下方的平行轨道(2131)，其中该些固定滚轮(30)倾斜且相互平行设置而形成该倾斜平台(10)；以及

复数个可动滚轮(40)，相互平行并设置于该第一支撑壁(211)与该第二支撑壁(212)之间，且该可动滚轮(40)的二侧部分别嵌入于该第一支撑壁(211)与该第二支撑壁(212)的该轨道(213)内，并得以同时移动该些可动滚轮(40)于该轨道(213)内。

19.如权利要求18所述的基板传输装置，其特征在于，该轨道(213)设置有皮带、炼条、齿轮、滑轨、螺旋或螺杆元件的传动组件。

20.如权利要求18所述的基板传输装置，其特征在于，该驱动器(214)提供一动力以使该复数个可动滚轮(40)自体旋转，并同时带动该些可动滚轮(40)于该轨道(213)内移动。

21.如权利要求18所述的基板传输装置，其特征在于，复数个该固定滚轮(30)与复数个该可动滚轮(40)为交叉设置。

22.一种基板传输方法，其特征在于，适用于一如权利要求18至21任一所述的基板传输装置(20)，其至少包含以下步骤：

步骤A(S21)：首先，复数个可动滚轮至预备位置待命，且与倾斜平台的复数个固定滚轮平行；

步骤B(S22)：接续，当一基板透过一下层输送机构传输至该倾斜平台上就定位后，则复数个该可动滚轮往上抬升交错该倾斜平台的复数个该固定滚轮后，再持续上升；

步骤C(S23)：待复数个该可动滚轮同时承载并抬升该基板，当复数个该可动滚轮完全远离该倾斜平台后，复数个该可动滚轮即会以不同的速度，同时将各该可动滚轮由倾斜微调为水平；

步骤D(S24)：待各该可动滚轮平行后，再借由复数个垂直轨道向上垂直升起至各该垂直轨道顶点，待各该可动滚轮上升至顶点后，该复数个可动滚轮透过驱动器提供动力并自体旋转；

步骤E(S25)：当该基板透过一上层输送机构移出后，该复数个可动滚轮透过上方的平行轨道横向位移至最边侧的垂直轨道，并由该垂直轨道垂直下降至该垂直轨道底点，并透过下方的平行轨道横移至待命的预备位置；以及

步骤F(S26)：进入待机状态，待该基板由该下层输送机构传输到该倾斜平台就定位，重复步骤A(S21)至步骤E(S25)。

23.如权利要求22所述的基板传输方法，其特征在于，该步骤C(S23)包含复数个该可动滚轮以不同的速度，同时将各该可动滚轮由倾斜微调下降为水平。

24.如权利要求22所述的基板传输方法，其特征在于，该步骤C(S23)包含复数个该可动滚轮以不同的速度，同时将各该可动滚轮由倾斜微调上升为水平。

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