TWM586456U - 牙叉式基板運輸裝置 - Google Patents

牙叉式基板運輸裝置 Download PDF

Info

Publication number
TWM586456U
TWM586456U TW108209296U TW108209296U TWM586456U TW M586456 U TWM586456 U TW M586456U TW 108209296 U TW108209296 U TW 108209296U TW 108209296 U TW108209296 U TW 108209296U TW M586456 U TWM586456 U TW M586456U
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
fork
bracket
lifting
lifting mechanism
type substrate
Prior art date
Application number
TW108209296U
Other languages
English (en)
Inventor
黃建凱
陳傳宜
Original Assignee
亞智科技股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 亞智科技股份有限公司 filed Critical 亞智科技股份有限公司
Priority to TW108209296U priority Critical patent/TWM586456U/zh
Publication of TWM586456U publication Critical patent/TWM586456U/zh

Links

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本創作提供一種牙叉式基板運輸裝置,主要係由一升降機構及一牙叉組所組成,其中該升降機構,係由一設置崁入於該升降機構其中一面之升降軌道與設置於該升降機構一端之升降驅動器組成,該牙叉組係由一設有一第一牙叉架與一第二牙叉架之支架所組成,其中該支架中段處設有一連接該升降機構之牙叉連接部,該支架與該第一牙叉架及該第二牙叉架連接處則設有可以使該牙叉架樞轉的牙叉驅動器,當位於下層之基板藉由牙叉組送至上層輸送機構後,該牙叉組得以藉由向下樞轉方式使該牙叉組與該升降機構平行,再向下移回至下層輸送機構下方。

Description

牙叉式基板運輸裝置
本創作是有關於一種牙叉式基板運輸裝置,尤指一種利用可轉向之運輸裝置,使在移送基板時可以減少大量的位移時間,同時另可以減少運輸裝置循環移動的時間。
一般來說,常見的基板運輸裝置,通常是由輸送線將基板傳送至由許多輸送滾輪組成的輸送結構,再由設置於輸送結構附近的機械手臂將基板移至指定位置,或是由機械手臂截取基板後,將基板提送至另一組傳輸結構,而機械手臂雖然能將基板橫向或上下移動,但有介於機械手臂的需要一步一步的進行動作,並且對於移動基板時的大小也有所限制,侷限住了基板傳輸時的大小,並且在機械手臂移動時需花費過多不必要的時間,進而連帶影響了基板傳輸時的效率。
因此如何提供一種更能縮短運送時間,同時能解決基板在搬運過程中無法有效的在短時間內運送至定位,並且同時能無大小限制的運送基板至定位,是目前仍需克服技術以及解決之課題。
本創作的主要目的,在於解決習用實施方案無法有效率的減省基板輸送的時間,且侷限了基板大小的運送。
本創作的次要目的,本創作提供一種牙叉式基板運輸裝置,藉由一升降機構及一牙叉組或雙牙叉組的設置,使在移送基板時可以減少大量的位移時間,同時亦可以減少裝置循環移動的時間。
為達成上述目的,本創作提供一種牙叉式基板運輸裝置,係由一升降機構及一牙叉組所組成,其中該升降機構,係與一升降軌道以及一升降驅動器組成,其中該升降軌道,係設置於該升降機構之其中一面,並以由上至下之垂直方向崁入於該升降機構;該升降驅動器,係設置於該升降機構之一端,並以提供一動力以帶動該牙叉組之移動;該牙叉組,係包括一支架,係於該支架中段處設有一面向該升降機構之牙叉連接部;一第一牙叉架,係設於該支架之其中一端,並朝未面向該牙叉連接部之一側設置;一第二牙叉架,係設置於該支架之另一端,並亦朝未面向該牙叉連接部之一側設置,且同時與該第一牙叉架相互對應;一牙叉驅動器,係分別設置於該支架與該第一牙叉架及該第二牙叉架之樞接處,同時提供該第一牙叉架與該第二牙叉架變換方向時樞轉之動力;該牙叉連接部,其中一側係為設置於該支架中段處,其另一側係崁入於該升降軌道內,並藉由該升降驅動器之帶動而移動。
在本創作的一個實施例中,該升降軌道,其內部係設有皮帶、鏈條、齒輪、滑軌、螺旋或螺桿元件或其他可以藉由升降驅動器帶動該牙叉連接部移動之傳動組件。
在本創作的一個實施例中,該第一牙叉架與該第二牙叉架,係得以與該支架平行設置。
在本創作的一個實施例中,該第一牙叉架,係由複數個牙叉並列排製而成。
在本創作的一個實施例中,該第二牙叉架,係由複數個牙叉並列排製而成。
在本創作的一個實施例中,該牙叉驅動器,係得以使該第一牙叉架與該第二牙叉架同時上下樞轉,並以使該第一牙叉架與該第二牙叉架與該升降機構平行或垂直。
再者,為達上述目的,本創作另提供一種牙叉式基板運輸裝置,係由一升降機構及一牙叉組所組成,其中該升降機構,係與一升降軌道以及一升降驅動器組成,其中該升降軌道,係設置於該升降機構之其中一面,並以由上至下之垂直方向崁入於該升降機構;該升降驅動器,係設置於該升降機構之一端,並以提供一動力以帶動該牙叉組之移動;該牙叉組,係包括一支架,係於該支架中段處另設有一面向該升降機構之牙叉連接部,並於該未面向該升降機構之一側設有一崁入於該支架的支架軌道,並於該支架之其中一端設有一支架驅動器;一第三牙叉架,係與一第一旋轉軸之一端接合,並設於該支架之中段處與其中一端之中間;一第四牙叉架,係與一第二旋轉軸之一端接合,並設於該支架之中段處與另一端之中間,且同時與該第三牙叉架相互平行設置;該第一旋轉軸與該第二旋轉軸,其未與該第三牙叉架與該第四牙叉架接合之另一端係崁入於該支架軌道內,並提供一旋轉動力,使其該第三牙叉架與該第四牙叉架得以90度自轉;該支架驅動器,係以帶動該第一旋轉軸與該第二旋轉軸於該支架軌道內移動,並且提供一旋轉動力使該第一旋轉軸與該第二旋轉軸自轉;該牙叉連接部,其中一側係設置於該支架中段處,其另一側係崁入於該升降軌道內,並得以於該升降軌道內藉由該升降驅動器之帶動而移動。
在本創作的一個實施例中,該第三牙叉架,係由複數個牙叉並列排製而成。
在本創作的一個實施例中,該第四牙叉架,係由複數個牙叉並列排製而成。
在本創作的一個實施例中,該第三牙叉架與該第四牙叉架,係於自轉90度時,同時得以藉由該支架驅動器將該第三牙叉架與該第四牙叉架向該支架之兩端移動。
為達成上述目的,本創作提供一種牙叉式基板運輸方法,係適用於如上所述之牙叉式基板運輸裝置,其至少包括以下步驟:
步驟一 一基板藉由下層輸送帶運輸到下層輸送機構就定位,一牙叉組位於該下層輸送機構下方待命;
步驟二 該牙叉組藉由一升降機構由底部向上升起,並與下層輸送機構交叉定位以承載該基板;
步驟三 該牙叉組承載該基板向上升起至頂部後,與上層輸送機構水平定位;
步驟四 上層輸送機構位移進入至該基板下方,並與該牙叉架以交錯方式定位;
步驟五 該上層輸送機構承載該基板後,以水平方向位移帶開該基板;
步驟六 該牙叉組藉由一牙叉驅動器向下樞轉,以與該升降機構平行後, 向下移動至該底部;
步驟七 該牙叉組下降至該底部後,再藉由該牙叉驅動器向上樞轉,以使該牙叉組與該升降機構垂直;
步驟八 進入待機狀態,待該基板由該下層輸送帶運輸到該下層輸送機構就定位,重複步驟一至步驟七。
在本創作的一個實施例中,另提供一種牙叉式基板運輸方法,係適用於如上所述之牙叉式基板運輸裝置,其至少包括以下步驟:
步驟A 一基板藉由下層輸送帶運輸到下層輸送機構就定位,一牙叉組位於該下層輸送機構下方待命;
步驟B 該牙叉組藉由一升降機構由底部向上升起,並與下層輸送機構交叉定位以承載該基板;
步驟C 該牙叉組承載該基板向上升起至頂部後,與上層輸送機構水平定位;
步驟D 上層輸送機構位移進入至該基板下方,並與該牙叉架以交錯方式定位;
步驟E 該牙叉組藉由該升降機構下降,同時旋轉軸提供旋轉動力,使該牙叉組得以90度自轉,且該旋轉軸於該牙叉組自轉時向該支架之兩端移動;
步驟F 該牙叉組旋轉後下降至該底部,再藉由該旋轉軸提供旋轉動力,使該牙叉組得以90度自轉,以使該牙叉組與該升降機構垂直,並呈現待機狀態;
步驟G 進入待機狀態,待該基板由該下層輸送帶運輸到該下層輸送機構就定位,重複步驟A至步驟F。
為達成上述目的,本創作提供一種牙叉式基板運輸裝置,係由係由一升降機構、一雙牙叉組所組成,其中該升降機構,係與一升降軌道組以及一升降驅動器組成,其中該升降軌道,係設於該升降機構之其中一側,由上至下之垂直方向崁入於該升降機構中,並由該升降軌道之頂部往兩側且向下延伸,再連通至該升降通道之底部,以形成一迴圈;該升降驅動器,係設置於該升降機構之一端,並以提供帶動該雙牙叉組升降之動力;該雙牙叉組,係由至少兩組以上之牙叉組組合而成,其中,各該牙叉組更包括:一支架,係由一第一支架與一第二支架組接而成,且於該第一支架與第二支架相接處設有一面向該升降機構之牙叉連接部;一第一牙叉架,係設於該第一支架之中段,並朝未面向該牙叉連接部之一側設有複數個牙叉;一第二牙叉架,係設置於該第二支架之中段,並亦朝未面向該牙叉連接部之一側設有複數個牙叉,且同時與該第一牙叉架相互並排對應;一牙叉旋轉軸,係設置於該支架與該第一牙叉架及該第二牙叉架之樞接處,同時提供該第一牙叉架與該第二牙叉架變換方向時之旋轉力;該牙叉連接部,係由一第一連接部與一第二連接部組合而成,其中該第一連接部係與該第一支架面向該第二支架之一端銜接,該第二連接部係與該第二支架面向該第一支架之一端銜接,該牙叉連接部面向該升降機構之一側係崁入於該升降軌道內,並得以於在該升降軌道內藉由該升降驅動器之帶動而移動,並於提升至該升降軌道頂部後,該牙叉連接部將分成該第一連接部與該第二連接部並分別向兩側移動且下降至該升降軌道底部,該第一連接部與該第二連接部再組接成該牙叉連接部;其中,該雙牙叉組分別設置於該升降機構之頂部及底部,並藉由該升降驅動器帶動而移動,使其該雙牙叉組循環且互換位置。
在本創作的一個實施例中,該升降軌道,其內部係設有皮帶、鏈條、齒輪、滑軌、螺旋或螺桿元件或其他得以藉由升降驅動器帶動該牙叉連接部移動之傳動組件。
在本創作的一個實施例中,該第一牙叉架與該第二牙叉架,係得以與該支架平行設置。
在本創作的一個實施例中,該第一牙叉架,係由複數個牙叉並列排製而成。
在本創作的一個實施例中,該第二牙叉架,係由複數個牙叉並列排製而成。
在本創作的一個實施例中,該牙叉旋轉軸,係得以使該第一牙叉架與該第二牙叉架同時自轉90度,同時藉由該牙叉驅動器將該第一牙叉架與該第二牙叉架向該支架之兩端移動。
一種牙叉式基板運輸方法,本創作另提供一種牙叉式基板運輸方法,係適用於如上所述之牙叉式基板運輸裝置,其至少包括以下步驟:
步驟1 一基板藉由下層輸送帶運輸到下層輸送機構就定位,一雙牙叉組分別位於該下層輸送機構下方以及上層輸送機構下方待命;
步驟2 位於該下層輸送機構下方之該牙叉組藉由一升降機構由底部向上升起,並與下層輸送機構交叉定位以承載該基板,同時位於該上層輸送機構下方之該牙叉組分別向兩側移動並同時旋轉90度,使該牙叉組與該升降機構平行;
步驟3 位於該下層輸送機構之該牙叉組承載該基板向上升起至頂部,與上層輸送機構水平定位,同時位於該升降機構兩側且靠近頂部之該牙叉組分別由兩側之升降軌道下降至底部,並再自轉90度回復至與該升降機構垂直,使該下層之該牙叉組位於該下層輸送機構下方待命,待該基板由該下層輸送帶運輸到該下層輸送機構就定位;
步驟4 上層輸送機構位移進入至該基板下方,並與該牙叉架以交錯方式定位;
步驟5 位於上層輸送機構下方之該牙叉組分別向兩側移動並同時旋轉90度,同時位於該下層輸送機構下方之該牙叉組藉由一升降機構由底部向上升起,並與下層輸送機構交叉定位以承載該基板;
步驟6 位於該升降機構兩側且靠近頂部之該牙叉組分別由兩側之升降軌道下降至底部,並再自轉90度回復至與該升降機構垂直,使該下層之該牙叉組位於該下層輸送機構下方待命,同時位於該下層輸送機構之該牙叉組承載該基板向上升起至頂部,與上層輸送機構水平定位;
步驟7 重複步驟1至步驟6。
為利 貴審查員瞭解本創作之技術特徵、內容與優點及其所能達成之功效,茲將本創作配合附圖,並以實施例之表達形式詳細說明如下,而其中所使用之圖式,其主旨僅為示意及輔助說明書之用,未必為本創作實施後之真實比例與精準配置,故不應就所附之圖式的比例與配置關係解讀、侷限本創作於實際實施上的權利範圍,合先敘明。
首先,請參閱第1圖及第2圖所示,為本創作牙叉式基板運輸裝置之示意圖、及樞轉示意圖,其中主要係由一升降機構(10)及一牙叉組(20)所組成,請參閱第1圖所示本牙叉式基板運輸裝置可依照需求單獨執行,或由雙(兩組)牙叉式(如圖所示)基板運輸裝置相互對應設置,其中該升降機構(10),係與一升降軌道(110)以及一升降驅動器(120)組成,其中該升降軌道(110),係設置於該升降機構(10)之其中一面,並以由上至下之垂直方向崁入於該升降機構(10);該升降驅動器(120),係設置於該升降機構(10)之一端,例如:頂部或底部,但不以此為限,主要係以提供一動力以帶動該牙叉組(20)之移動;該牙叉組(20),係包括一支架(210),並於該支架(210)中段處設有一面向該升降機構(10)之牙叉連接部(220);一第一牙叉架(230),係設於該支架(210)之其中一端,並朝未面向該牙叉連接部(220)之一側設置;一第二牙叉架(240),係設置於該支架(210)之另一端,並亦朝未面向該牙叉連接部(220)之一側設置,且同時與該第一牙叉架(230)相互對應;一牙叉驅動器(250),係分別設置於該支架(210)與該第一牙叉架(230)及該第二牙叉架(240)之樞接處,同時提供該第一牙叉架(230)與該第二牙叉架(240)變換方向時樞轉之動力,該牙叉驅動器(250)可使該第一牙叉架(230)與該第二牙叉架(240)與該升降機構(10)藉由樞轉使其平行(請同時參閱第2圖所示)或垂直;該牙叉連接部(220),其中一側係為設置於該支架(210)中段處,其另一側係崁入於該升降軌道(110)內,並藉由該升降驅動器(120)之帶動而移動,其中,該升降軌道(110),其內部係設有皮帶、鏈條、齒輪、滑軌、螺旋或螺桿元件或其他可以藉由升降驅動器(120)帶動該牙叉連接部(220)移動之傳動組件,該第一牙叉架(230)與該第二牙叉架(240),係與該支架(210)平行設置,且同時該第一牙叉架(230)與該第二牙叉架(240),係均由複數個牙叉並列排製而成,並可根據基板大小排製不同數量之牙叉。
另,請再參閱第3圖至第6圖所示,為本創作牙叉式基板運輸裝置之另一牙叉示意圖、俯視圖、旋轉示意圖、移動示意圖,該牙叉組(20),請參閱第3圖所示,另得以包括該支架(210),係於該支架(210)中段處另設有一面向該升降機構(10)之牙叉連接部(250),並於該未面向該升降機構(10)之一側設有一崁入於該支架(210)的支架軌道(211),並於該支架(210)之其中一端設有一支架驅動器(212);一第三牙叉架(260),係與一第一旋轉軸(261)之一端接合,並設於該支架(210)之中段處與其中一端之中間;一第四牙叉架(270),係與一第二旋轉軸(271)之一端接合,並設於該支架(210)之中段處與另一端之中間,且同時與該第三牙叉架(260)相互平行設置;該第一旋轉軸(261)與該第二旋轉軸(271),其未與該第三牙叉架(260)與該第四牙叉架(270)接合之另一端係崁入於該支架軌道(211)內,並提供一旋轉動力,使其該第三牙叉架(260)與該第四牙叉架(270)得以90度自轉;該支架驅動器(212),係以提供一旋轉動力使該第一旋轉軸(261)與該第二旋轉軸(271)自轉並帶動該第一旋轉軸(261)與該第二旋轉軸(271)於該支架軌道(211)內移動;該牙叉連接部(220),其中一側係設置於該支架(210)中段處,其另一側係崁入於該升降軌道(110)內,並得以於該升降軌道(110)內藉由該升降驅動器(120)之帶動而移動。其中,該第三牙叉架(260)與該第四牙叉架(261),係由複數個牙叉並列排製而成,且該第三牙叉架(260)與該第四牙叉架(261),係於自轉90度時,同時得以藉由該支架驅動器(212)將該第三牙叉架(260)與該第四牙叉架(270)向該支架(210)之兩端移動。
請參閱第7圖所示,本創作牙叉式基板運輸方法之流程圖,係為一種牙叉式基板運輸方法,其包括:
步驟一 (S710)一基板藉由下層輸送帶運輸到下層輸送機構就定位,一牙叉組位於該下層輸送機構下方待命;
步驟二 (S720)該牙叉組藉由一升降機構由底部向上升起,並與下層輸送機構交叉定位以承載該基板;
步驟三 (S730)該牙叉組承載該基板向上升起至頂部後,與上層輸送機構水平定位;
步驟四 (S740)上層輸送機構位移進入至該基板下方,並與該牙叉架以交錯方式定位;
步驟五 (S750)該上層輸送機構承載該基板後,以水平方向位移帶開該基板;
步驟六 (S760)該牙叉組藉由一牙叉驅動器向下樞轉,以與該升降機構平行後, 向下移動至該底部;
步驟七 (S770)該牙叉組下降至該底部後,再藉由該牙叉驅動器向上樞轉,以使該牙叉組與該升降機構垂直;
步驟八 (S780)進入待機狀態,待該基板由該下層輸送帶運輸到該下層輸送機構就定位,重複步驟一(S710)至步驟七(S770)。
另,再在請參閱第8圖所示,為本創作牙叉式基板運輸方法之另一牙叉流程示意圖,其中運輸方法可以另得以為:
步驟A (S810)一基板藉由下層輸送帶運輸到下層輸送機構就定位,一牙叉組位於該下層輸送機構下方待命;
步驟B (S820)該牙叉組藉由一升降機構由底部向上升起,並與下層輸送機構交叉定位以承載該基板;
步驟C (S830)該牙叉組承載該基板向上升起至頂部後,與上層輸送機構水平定位;
步驟D (S840)上層輸送機構位移進入至該基板下方,並與該牙叉架以交錯方式定位;
步驟E (S850)該牙叉組藉由該升降機構下降,同時旋轉軸提供旋轉動力,使該牙叉組得以90度自轉,且該旋轉軸於該牙叉組自轉時向該支架之兩端移動;
步驟F (S860)該牙叉組旋轉後下降至該底部,再藉由該旋轉軸提供旋轉動力,使該牙叉組得以90度自轉,以使該牙叉組與該升降機構垂直,並呈現待機狀態;
步驟G (S870)進入待機狀態,待該基板由該下層輸送帶運輸到該下層輸送機構就定位,重複步驟A(S810)至步驟F(S860)。
再,請參閱第9圖所示,為本創作牙叉式基板運輸裝置之雙牙叉示意圖,在本創作一實施例中,其中該牙叉式基板運輸裝置係由一升降機構(50)、一雙牙叉組(60)所組成,其中該升降機構(50),係與一升降軌道(510)以及一升降驅動器(520)組成,其中該升降軌道(510),係設於該升降機構(50)之其中一側,由上至下之垂直方向崁入於該升降機構(50)中,並由該升降軌道(510)之頂部往兩側且向下延伸,再連通至該升降通道(510)之底部,以形成一迴圈;該升降驅動器(520),係設置於該升降機構(50)之一端,例如:頂部或底部,但不以此為限,主要係以提供帶動該雙牙叉組(60)升降之動力;該雙牙叉組(60),係由至少兩組以上之牙叉組(600)組合而成,其各該牙叉組(600)係包括:一支架(610),係由一第一支架(611)與一第二支架(612)組接而成,且於該第一支架(611)與第二支架(612)相接處設有一面向該升降機構(50)之牙叉連接部(620);一第一牙叉架(630),係設於該第一支架(611)之中段,並朝未面向該牙叉連接部(620)之一側設有複數個牙叉;一第二牙叉架(640),係設置於該第二支架(612)之中段,並亦朝未面向該牙叉連接部(620)之一側設有複數個牙叉,且同時與該第一牙叉架(630)相互並排對應;一牙叉旋轉軸(660),係設置於該支架(610)與該第一牙叉架(630)及該第二牙叉架(640)之樞接處,同時提供該第一牙叉架(630)與該第二牙叉架(640)變換方向時之旋轉力,並得以使該第一牙叉架(630)與該第二牙叉架(640)同時自轉90度,同時藉由該支架驅動器(670)將該第一牙叉架(630)與該第二牙叉架(640)向該支架(610)之兩端移動;該牙叉連接部(620),係由一第一連接部(621)與一第二連接(622)部組合而成,其中該第一連接部(621)係與該第一支架(611)面向該第二支架(612)之一端銜接,該第二連接部(622)係與該第二支架(612)面向該第一支架(611)之一端銜接,該牙叉連接部(620)面向該升降機構(50)之一側係崁入於該升降軌道(510)內,並得以於在該升降軌道(510)內藉由該升降驅動器(520)之帶動而移動,並於提升至該升降軌道(510)頂部後,該牙叉連接部(620)將分成該第一連接部(621)與該第二連接部(622)並分別向兩側移動且下降至該升降軌道(510)底部,該第一連接部(621)與該第二連接部(622)再組接成該牙叉連接部(620);其中,該雙牙叉組(60)分別設置於該升降機構(50)之頂部及底部,並藉由該升降驅動器(520)帶動而移動,使其該雙牙叉組(60)循環互換位置。
其中,該升降軌道(510),其內部係設有皮帶、鏈條、齒輪、滑軌、螺旋或螺桿元件或其他得以藉由升降驅動器帶動該牙叉連接部移動之傳動組件。該第一牙叉架(630)與該第二牙叉架(640),係得與該支架(610)平行設置,且各別由複數個牙叉並列排製而成。
請參閱第10圖所示,為本創作牙叉式基板運輸裝置之運輸方法,其中該雙牙叉流程圖,其至少包括以下步驟:
步驟1 (S1010)一基板藉由下層輸送帶運輸到下層輸送機構就定位,一雙牙叉組分別位於該下層輸送機構下方以及上層輸送機構下方待命;
步驟2 (S1020)位於該下層輸送機構下方之該牙叉組藉由一升降機構由底部向上升起,並與下層輸送機構交叉定位以承載該基板,同時位於該上層輸送機構下方之該牙叉組分別向兩側移動並同時旋轉90度,使該牙叉組與該升降機構平行;
步驟3 (S1030)位於該下層輸送機構之該牙叉組承載該基板向上升起至頂部,與上層輸送機構水平定位,同時位於該升降機構兩側且靠近頂部之該牙叉組分別由兩側之升降軌道下降至底部,並再自轉90度回復至與該升降機構垂直,使該下層之該牙叉組位於該下層輸送機構下方待命,待該基板由該下層輸送帶運輸到該下層輸送機構就定位;
步驟4 (S1040)上層輸送機構位移進入至該基板下方,並與該牙叉架以交錯方式定位;
步驟5 (S1050)位於上層輸送機構下方之該牙叉組分別向兩側移動並同時旋轉90度,同時位於該下層輸送機構下方之該牙叉組藉由一升降機構由底部向上升起,並與下層輸送機構交叉定位以承載該基板;
步驟6 (S1060)位於該升降機構兩側且靠近頂部之該牙叉組分別由兩側之升降軌道下降至底部,並再自轉90度回復至與該升降機構垂直,使該下層之該牙叉組位於該下層輸送機構下方待命,同時位於該下層輸送機構之該牙叉組承載該基板向上升起至頂部,與上層輸送機構水平定位;
步驟7 (S1070)重複步驟1(S1010)至步驟6(S1060)。
請參閱圖11所示,本創作牙叉式基板運輸裝置之俯視示意圖,由圖可知,本創作牙叉組(20)與輸送機構(30,32)係以交叉定位方式配置,以避免升降機構(10)上升時該牙叉組(20)與該輸送機構(30,32)相互擦撞。
再,請參閱第12A圖至第12D圖所示,為本創作牙叉式基板運輸裝置之實施例示意圖,當基板(40)藉由下層輸送帶(31)運輸到下層輸送機構(30)就定位時,牙叉組(20)位於該下層輸送機構(30)下方待命,該牙叉組(20)藉由一升降機構(10)由底部向上升起(請參閱第12A圖),並與下層輸送機構(30)交叉定位以承載該基板(40),該牙叉組(20)承載該基板(40)向上升起,此時該下層輸送機構(30)脫離該基板(40)(請參閱第12B圖),當該牙叉組(20)升至頂部後,與上層輸送機構(32)水平定位,上層輸送機構(32)位移進入至該基板(40)下方,並與牙叉架以交錯方式定位,該牙叉組(20)藉由一牙叉驅動器(250)向下樞轉,以與該升降機構(10)平行後,向下移動至該底部(請參閱第12C圖), 該上層輸送機構(32)承載該基板(40)後,以水平方向位移帶開該基板(40)(請參閱第12D圖),該牙叉組(20)下降至該底部後,再藉由該牙叉驅動器(250)向上樞轉,以使該牙叉組(20)與該升降機構(10)垂直,以完成一運輸流程。
因此,綜上所述,本牙叉式基板運輸裝置可依照需求單獨執行,或由兩組牙叉式基板運輸裝置相互對應設置,也就是說,本牙叉式基板運輸裝置是可以單獨進行基板的運輸,不論是上述的該升降機構搭配單一的該牙叉組來運送基板,還是上述的該升降機構搭配該雙牙叉組來運送基板,或是以相對應的設置方式來運送基板,該升降機構搭配單一的該牙叉組來運送基板,還是上述的該升降機構搭配該雙牙叉組來運送基板,都可以依據需求搭配設置。
由上述之實施說明可知,本創作與現有技術與產品相較之下,本創作具有以下優點:
1. 本創作之牙叉式基板運輸裝置,可以依據需求更換牙叉配置方向以及牙叉之數量。
2. 本創作之牙叉式基板運輸裝置可以藉由牙叉組的移動,使基板快速且準確的上下移動。
3. 本創作之牙叉式基板運輸裝置可藉雙牙叉同時運行,增進傳輸效率並且更能縮短牙叉循環的時間。
具體而言,本創作係利用可變換式的牙叉配置方向及數量,並且可以依具需求自由搭配,同時加上具有可上下移動之軌道,使運送基板時達到高效率且可有效縮短運送時間的功效。
綜上所述,本創作之牙叉式基板運輸裝置,的確能藉由上述所揭露之實施例,達到所預期之使用功效,且本創作亦未曾公開於申請前,誠已完全符合專利法之規定與要求。爰依法提出新型專利之申請,懇請惠予審查,並賜准專利,則實感德便。
惟,上述所揭之圖示及說明,僅為本創作之較佳實施例,非為限定本創作之保護範圍;大凡熟悉該項技藝之人士,其所依本創作之特徵範疇,所作之其它等效變化或修飾,皆應視為不脫離本創作之設計範疇。
(10、50)‧‧‧升降機構
(110、510)‧‧‧升降軌道
(120、520)‧‧‧升降驅動器
(20、600)‧‧‧牙叉組
(210、610)‧‧‧支架
(211)‧‧‧支架軌道
(611 )‧‧‧第一支架
(612)‧‧‧第二支架
(212、670)‧‧‧支架驅動器
(220、620)‧‧‧牙叉連接部
(621)‧‧‧第一連接部
(622)‧‧‧第二連接部
(230、630)‧‧‧第一牙叉架
(240、640)‧‧‧第二牙叉架
(250、650)‧‧‧牙叉驅動器
(260)‧‧‧第三牙叉架
(261)‧‧‧第一旋轉軸
(270)‧‧‧第四牙叉架
(271)‧‧‧第二旋轉軸
(30)‧‧‧輸送機構
(31)‧‧‧輸送帶
(40)‧‧‧基板
(60)‧‧‧雙牙叉組
(660)‧‧‧牙叉旋轉軸
(S710)~ (S780)‧‧‧步驟一至步驟八
(S810)~ (S870)‧‧‧步驟A至步驟G
(S1010)~ (S1070)‧‧‧步驟1至步驟7
第1圖:本創作牙叉式基板運輸裝置之示意圖。
第2圖:本創作牙叉式基板運輸裝置之樞轉示意圖。
第3圖:本創作牙叉式基板運輸裝置之另一牙叉示意圖。
第4圖:本創作牙叉式基板運輸裝置之另一牙叉俯視圖。
第5圖:本創作牙叉式基板運輸裝置之另一牙叉旋轉示意圖。
第6圖:本創作牙叉式基板運輸裝置之另一牙叉移動示意圖。
第7圖:本創作牙叉式基板運輸方法之實施例流程圖。
第8圖:本創作牙叉式基板運輸裝置之另一牙叉流程示意圖。
第9圖:本創作牙叉式基板運輸裝置之雙牙叉示意圖。
第10圖:本創作牙叉式基板運輸裝置之雙牙叉流程圖。
第11圖:本創作牙叉式基板運輸裝置之俯視示意圖。
第12A圖至第12D圖:本創作牙叉式基板運輸裝置之實施例示意圖。

Claims (16)

  1. 一種牙叉式基板運輸裝置,係由一升降機構(10)及一牙叉組(20)所組成,其中:
    該升降機構(10),係與一升降軌道(110)以及一升降驅動器(120) 組成,其中:
    該升降軌道(110),係以由上至下之垂直方向崁入於該升降機構(10)之其中一面;
    該升降驅動器(120),係設置於該升降機構(10)之一端,並以提供帶動該牙叉組(20)升降之動力;
    該牙叉組(20),係包括:
    一支架(210),係於該支架(210)中段處設有一面向該升降機構(10)之牙叉連接部(220);
    一第一牙叉架(230),係設於該支架(210)之其中一端,並朝未面向該牙叉連接部(220)之一側設置;
    一第二牙叉架(240),係設置於該支架(210)之另一端,並亦朝未面向該牙叉連接部(220)之一側設置,且同時與該第一牙叉架(230)相互對應;
    一牙叉驅動器(250),係設置於該支架(210)與該第一牙叉架(230)及該第二牙叉架(240)之樞接處,同時提供該第一牙叉架(230)與該第二牙叉架(240)變換方向時之動力;
    該牙叉連接部(220),其中一側係設置於該支架(220)之中段處,其另一側係崁入於該升降軌道(110)內,並得以於該升降軌道(110)內藉由該升降驅動器(120)之帶動而移動。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之牙叉式基板運輸裝置,其中該升降軌道(110),其內部係設有皮帶、鏈條、齒輪、滑軌、螺旋或螺桿元件或其他得以藉由該升降驅動器(120)帶動該牙叉連接部(220)移動之傳動組件。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之牙叉式基板運輸裝置,其中該第一牙叉架(230)與該第二牙叉架(240),係得以與該支架(210)平行設置。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之牙叉式基板運輸裝置,其中該第一牙叉架(230),係由複數個牙叉並列排製而成。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之牙叉式基板運輸裝置,其中該第二牙叉架(240),係由複數個牙叉並列排製而成。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之牙叉式基板運輸裝置,其中該牙叉驅動器(250),係得以使該第一牙叉架(230)與該第二牙叉架(240)同時上下樞轉,並以使該第一牙叉架(230)與該第二牙叉架(240)與該升降機構(10)平行或垂直。
  7. 一種牙叉式基板運輸裝置,係由一升降機構(10)及一牙叉組(20)所組成,其中:
    該升降機構(10),係與一升降軌道(110)以及一升降驅動器(120) 組成,其中:
    該升降軌道(110),係以由上至下之垂直方向崁入於該升降機構(10)之其中一面;
    該升降驅動器(120),係設置於該升降機構(10)之一端頂部,並以提供帶動該牙叉組(20)升降之動力;
    該牙叉組(20),係包括:
    一支架(210),係於該支架(210)中段處另設有一面向該升降機構(10)之牙叉連接部(220),並於該未面向該升降機構(10)之一側設有一崁入於該支架(210)的支架軌道(211),並於該支架(210)之其中一端設有一支架驅動器(212);
    一第三牙叉架(260),係與一第一旋轉軸(261)之一端接合,並設於該支架(210)之中段處與其中一端之中間;
    一第四牙叉架(270),係與一第二旋轉軸(271)之一端接合,並設於該支架(210)之中段處與另一端之中間,且同時與該第三牙叉架(260)相互平行設置;
    該第一旋轉軸(261)與該第二旋轉軸(271),其未與該第三牙叉架(260)與該第四牙叉架(270)接合之另一端係崁入於該支架軌道(211)內,並提供一旋轉動力,使其該第三牙叉架(260)與該第四牙叉架(270)得以90度自轉;
    該支架驅動器(212),係以帶動該第一旋轉軸(261)與該第二旋轉軸(271)於該支架軌道(211)內移動以及旋轉之動力;
    該牙叉連接部(220),其中一側係設置於該支架(210)中段處,其另一側係崁入於該升降軌道(110)內,並得以於該升降軌道(110)內藉由該升降驅動器(120)之帶動而移動。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之牙叉式基板運輸裝置,其中該第三牙叉架(260),係由複數個牙叉並列排製而成。
  9. 如申請專利範圍第7項所述之牙叉式基板運輸裝置,其中該第四牙叉架(270),係由複數個牙叉並列排製而成。
  10. 如申請專利範圍第7項所述之牙叉式基板運輸裝置,其中該第三牙叉架(260)與該第四牙叉架(270),係於自轉90度時,同時得以藉由該支架驅動器(212)將該第三牙叉架(260)與該第四牙叉架(270)向該支架(210)之兩端移動。
  11. 一種牙叉式基板運輸裝置,係由一升降機構(50)、一雙牙叉組(60)所組成,其中:
    該升降機構(50),係與一升降軌道(510)以及一升降驅動器(520)組成,其中:
    該升降軌道(510),係設於該升降機構(50)之其中一側,由上至下之垂直方向崁入於該升降機構(50)中,並由該升降軌道(510)之頂部往兩側且向下延伸,再連通至該升降通道(510)之底部,以形成一迴圈;
    該升降驅動器(520),係設置於該升降機構(50)之一端,並以提供帶動該雙牙叉組(60)升降之動力;
    該雙牙叉組(60),係由至少兩組以上之牙叉組(600)組合而成,其中各該牙叉組(600)係包括:
    一支架(610),係由一第一支架(611)與一第二支架(612)組接而成,且於該第一支架(611)與第二支架(612)相接處設有一面向該升降機構(50)之牙叉連接部(620);
    一第一牙叉架(630),係設於該第一支架(611)之中段,並朝未面向該牙叉連接部(620)之一側設有複數個牙叉;
    一第二牙叉架(640),係設置於該第二支架(612)之中段,並亦朝未面向該牙叉連接部(620)之一側設有複數個牙叉,且同時與該第一牙叉架(612)相互並排對應;
    一牙叉旋轉軸(660),係設置於該支架(610)與該第一牙叉架(611)與該第二牙叉架(612)之樞接處,同時提供該第一牙叉架(630)與該第二牙叉架(640)變換方向時之旋轉力;
    該牙叉連接部(620),係由一第一連接部(621)與一第二連接部(622)組合而成,其中該第一連接部(621)係與該第一支架(611)面向該第二支架(612)之一端銜接,該第二連接部(622)係與該第二支架(612)面向該第一支架(611)之一端銜接,該牙叉連接部(620)面向該升降機構(50)之一側係崁入於該升降軌道(510)內,並得以於在該升降軌道(510)內藉由該升降驅動器(520)之帶動而移動,並於提升至該升降軌道(510)頂部後,該牙叉連接部(620)將分成該第一連接部(621)與該第二連接部(622)並分別向兩側移動且下降至該升降軌道(510)底部,該第一連接部(621)與該第二連接部(622)再組接成該牙叉連接部(620);
    其中,該雙牙叉組(60)分別設置於該升降機構(50)之頂部及底部,並藉由該升降驅動器(520)帶動而移動,使其該雙牙叉組(60)循環並互換位置。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之牙叉式基板運輸裝置,其中該升降軌道(510),其內部係設有皮帶、鏈條、齒輪、滑軌、螺旋或螺桿元件或其他得以藉由升降驅動器(520)帶動該牙叉連接部(620)移動之傳動組件。
  13. 如申請專利範圍第11項所述之牙叉式基板運輸裝置,其中該第一牙叉架(630)與該第二牙叉架(640),係得以與該支架平行設置。
  14. 如申請專利範圍第11項所述之牙叉式基板運輸裝置,其中該第一牙叉架(630),係由複數個牙叉並列排製而成。
  15. 如申請專利範圍第11項所述之牙叉式基板運輸裝置,其中該第二牙叉架(640),係由複數個牙叉並列排製而成。
  16. 如申請專利範圍第11項所述之牙叉式基板運輸裝置,其中該牙叉旋轉軸(660),係得以使該第一牙叉架(630)與該第二牙叉架(640)同時自轉90度,同時藉由該牙叉驅動器(650)將該第一牙叉架(630)與該第二牙叉架(640)向該支架之兩端移動。
TW108209296U 2019-07-16 2019-07-16 牙叉式基板運輸裝置 TWM586456U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW108209296U TWM586456U (zh) 2019-07-16 2019-07-16 牙叉式基板運輸裝置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW108209296U TWM586456U (zh) 2019-07-16 2019-07-16 牙叉式基板運輸裝置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TWM586456U true TWM586456U (zh) 2019-11-11

Family

ID=69189459

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW108209296U TWM586456U (zh) 2019-07-16 2019-07-16 牙叉式基板運輸裝置

Country Status (1)

Country Link
TW (1) TWM586456U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI733141B (zh) * 2019-07-16 2021-07-11 亞智科技股份有限公司 牙叉式基板運輸裝置及其方法
CN113682715A (zh) * 2020-05-19 2021-11-23 亚智科技股份有限公司 倾斜平台、基板传输装置及基板传输方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI733141B (zh) * 2019-07-16 2021-07-11 亞智科技股份有限公司 牙叉式基板運輸裝置及其方法
CN113682715A (zh) * 2020-05-19 2021-11-23 亚智科技股份有限公司 倾斜平台、基板传输装置及基板传输方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWM586456U (zh) 牙叉式基板運輸裝置
CN101383313B (zh) 一种取送硅片的机械手
CN208544870U (zh) 一种铜箔及铝基板自动叠板系统
JP2015036184A (ja) 産業用ロボット
TW201436087A (zh) 基板處理系統及基板反轉裝置
US20220334484A1 (en) Coating and Development Equipment
CN206536457U (zh) 一种基板搬送机器人
CN112607301A (zh) 一种移载输送装置
KR20090011381A (ko) 기판이송장치
CN109018868A (zh) 一种用于传输玻璃基板机架传输机的传动装置
KR101204255B1 (ko) 더블암식 이단 카세트 이송 로봇
TWI733141B (zh) 牙叉式基板運輸裝置及其方法
WO2024139018A1 (zh) 一种光伏电池串的加工装置
WO2014063366A1 (zh) 一种堆垛机及自动仓储系统
CN214356973U (zh) 用于fosb运输的旋转升降平移传送带
CN206663446U (zh) 拼板机、拼板机构及拼板系统
JP2012250809A (ja) 移載装置およびコンベア装置
TWI732547B (zh) 傾斜平台、基板傳輸裝置及基板傳輸方法
CN112239069A (zh) 牙叉式基板运输装置及其方法
CN211495884U (zh) 牙叉式基板运输装置
CN215433709U (zh) 一种新型晶圆搬运用机械手
TWM604967U (zh) 基板傳輸裝置
CN205650979U (zh) 一种太阳能电池片串的搬运装置
KR101142274B1 (ko) 리본 정렬장치
CN104816947B (zh) 液晶面板传送装置