JP5606507B2 - 複合搬送装置及びそれを用いた方法 - Google Patents
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Description
111 昇降台
114 軌道
115 電子モータ
116 エアーシリンダ
118 ガイドホイール
120 積み込み機構
122 回転軸
124 ガイドホイール
140 降ろし機構
142 回転軸
144 ガイドホイール
150 カセット
170 作業スペース
180 ガラス
190 動作インターフェイス
210 基台
211 昇降台
214 軌道
216 エアーシリンダ
218 ガイドホイール
220 第1の積み込み機構
222 回転軸
224 ガイドホイール
230 第2の積み込み機構
232 回転軸
234 ガイドホイール
240 降ろし機構
242 回転軸
244 ガイドホイール
250 第1のカセット
260 第2のカセット
270 動作スペース
280 ガラス
290 動作インターフェイス
1101 第1の領域
1102 第2の領域
2101 第1の領域
2102 第2の領域
2103 第3の領域
Claims (11)
- 第1の領域、第2の領域及び第3の領域が一列に並び、前記第1の領域と前記第3の領域との間に前記第2の領域が配置された基台と、
前記基台に配置される第1のカセット及び第2のカセットと、
前記第1の領域に隣接し、前記第1のカセット内に複数の目的物を積み込むために用いられる第1の積み込み機構、及び前記第3の領域に隣接し、前記第2のカセット内に複数の目的物を積み込むために用いられる第2の積み込み機構と、
前記第2の領域に隣接し、前記第1のカセット又は前記第2のカセットから複数の目的物を降ろすために用いられる降ろし機構と、
を備え、
前記第1のカセットは前記第1の領域と前記第2の領域との間を往復移動し、前記第2のカセットは前記第2の領域と前記第3の領域との間を往復移動する、複合搬送装置。 - 前記第1のカセット又は前記第2のカセットは、前記基台と平行な方向に沿って移動し、前記基台と直交する方向に沿って上昇及び下降する、請求項1に記載の複合搬送装置。
- 前記基台は軌道を備え、
前記第1のカセットは、前記軌道に沿って前記基台と平行な方向に、前記第1の領域と前記第2の領域との間を往復移動し、
前記第2のカセットは、前記軌道に沿って前記基台と平行な方向に、前記第2の領域と前記第3の領域との間を往復移動する、請求項1又は2に記載の複合搬送装置。 - 前記基台は、前記第1のカセット又は前記第2のカセットを支持するために昇降台と共に配置されており、
前記昇降台は、前記基台と直交する方向に沿って上昇及び下降する、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の複合搬送装置。 - 前記基台が配置される軌道と、
前記軌道に配置され、前記第1のカセットが対応して配置される第1の昇降台と、
前記軌道に配置され、前記第2のカセットが対応して配置される第2の昇降台と、
前記基台と平行な方向に、前記軌道に沿って前記第1の昇降台を前記第1の領域と前記第2の領域との間を往復移動させるために前記第1の昇降台を駆動する第1のエアーシリンダと、
前記基台と平行な方向に、前記軌道に沿って前記第2の昇降台を前記第2の領域と前記第3の領域との間を往復移動させるために前記第2の昇降台を駆動する第2のエアーシリンダと、
前記基台と直交する方向に上昇及び下降するために前記第1の昇降台を駆動する第1の駆動源と、
前記基台と直交する方向に上昇及び下降するために前記第2の昇降台を駆動する第2の駆動源と、
を備える、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の複合搬送装置。 - 前記第1の積み込み機構及び前記第2の積み込み機構は、前記複数の目的物を支持するためのガイドホイールと、前記ガイドホイールを支持するための回転軸と、を備える請求項1乃至5のいずれか1項に記載の複合搬送装置。
- 第1の領域、第2の領域及び第3の領域が一列に並び、前記第1の領域と前記第3の領域との間に前記第2の領域が配置された基台と、
前記基台に配置される第1のカセット及び第2のカセットと、
前記第1の領域に隣接し、前記第1のカセット内に複数の目的物を積み込むために用いられる第1の積み込み機構、及び前記第3の領域に隣接し、前記第2のカセット内に複数の目的物を積み込みために用いられる第2の積み込み機構と、
前記第2の領域に隣接し、前記第1のカセット又は前記第2のカセットから複数の目的物を降ろすために用いられる降ろし機構と、
を備える複合搬送装置を用いた搬送方法であって、
前記第1のカセットは前記第1の領域と前記第2の領域との間を往復移動し、前記第2のカセットは前記第2の領域と前記第3の領域との間を往復移動する、複合搬送装置の搬送方法。 - 前記第1の積み込み機構又は前記第2の積み込み機構は、前記降ろし機構が前記降ろし動作を実行している間に、前記積み込み動作を実行する、請求項7に記載の複合搬送装置の搬送方法。
- 前記第1及び第2のカセットが移動する工程は、
a)前記第1のカセットから複数の目的物を降ろすために、前記複数の目的物が積み込まれた前記第1のカセットが前記第1の領域から前記第2の領域に移動する工程と、
b)前記第1のカセットに複数の目的物を積み込むために、目的物が降ろされた前記第1のカセットが前記第2の領域から前記第1の領域に移動すると共に、平行に、前記第2のカセットから複数の目的物を降ろすために、前記複数の目的物が積み込まれた前記第2のカセットが前記第3の領域から前記第2の領域に移動する工程と、
c)前記第2のカセットに複数の目的物を積み込むために、前記第2のカセットが前記第2の領域から前記第3の領域に移動し、前記第1のカセットから複数の目的物を降ろすために、前記第1のカセットが前記第1の領域から前記第2の領域に移動する工程と、
d)複数の目的物の積み込み及び降ろしが終了するまで工程b)と工程c)とを繰り返す工程と、
を備える、請求項7又は8に記載の複合搬送装置の搬送方法。 - 前記第1のカセット及び前記第2のカセットは前記基台と平行な方向に沿って移動し、前記第1のカセット及び前記第2のカセットは前記基台と直交する方向に沿って上昇又は下降する、請求項7乃至9のいずれか1項に記載の複合搬送装置の搬送方法。
- 前記第1のカセット及び前記第2のカセットの対応する位置に複数の目的物を積み込み、そして前記第1のカセット及び前記第2のカセットの対応する位置から複数の目的物を降ろすために、前記第1のカセット及び前記第2のカセットが上昇又は下降する請求項7乃至10のいずれか1項に記載の複合搬送装置の搬送方法。
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