JP2009126780A

JP2009126780A - スクライブ装置並びに方法、及びこれを利用した基板切断装置

Info

Publication number: JP2009126780A
Application number: JP2008273122A
Authority: JP
Inventors: Sang Kil Kim; サンキルキム; Sung Hee Lee; スンヒイ; Min Woong Kim; ミンウンキム
Original assignee: Semes Co Ltd
Current assignee: Semes Co Ltd
Priority date: 2007-11-21
Filing date: 2008-10-23
Publication date: 2009-06-11
Also published as: TW200927685A; TWI385136B

Abstract

【課題】本発明は、スクライブ装置を提供する。
【解決手段】スクライブ装置は、母基板に互いに平行である複数のスクライブラインを同時に生成できるように、互いに並列に配置されるスクライブユニットを有する。また、同時に生成される互いに平行である複数のスクライブライン間の間隔を変化させることができるように、スクライブユニット間の間隔を調節する間隔調節ユニットを提供する。
【選択図】図３

Description

本発明は、平板ディスプレイパネルの製造に用いられる装置及び方法に関し、さらに詳細には、複数の単位基板の形成された母基板にスクライブラインを形成するスクライブ装置並びに方法、及びこれを利用して母基板を切断する装置に関する。

最近になって、情報処理機器は、多様な形態の機能とより速くなった情報処理速度を有するように急速に発展しつつある。このような情報処理機器は、稼働した情報を表示するディスプレイを有する。従来では、ディスプレイとして主にブラウン管（ＣａｔｈｏｄｅＲａｙＴｕｂｅ）モニターが使用されたが、最近では、軽くかつ空間を小さく占める薄膜トランジスタ−液晶ディスプレイ（ＴｈｉｎＦｉｌｍＴｒａｎｓｉｓｔｏｒ−ＬｉｑｕｉｄＣｒｙｓｔａｌＤｉｓｐｌａｙＰａｎｅｌ）又は誘起ダイオードディスプレイ（ＯｒｇａｎｉｃＬｉｇｈｔＥｍｉｔｔｉｎｇＤｉｏｄｅｓｄｉｓｐｌａｙ）のような平板ディスプレイの使用が増大している。

一般に、平板ディスプレイなどに用いられるパネルは、通常脆性基板を利用して製作され、パネルは、一枚で構成された単板基板と２枚の基板が接合された接合基板とに大別される。

接合基板は、携帯電話の液晶表示器用のパネルのように小型なものから、テレビやディスプレイなどのパネルのような大型の多様な大きさに加工されて使用されるため、大型の母基板から所定の大きさの単位基板に切断されて各々のパネルとして利用される。

母基板を切断する方法には、微細なダイアモンドが刺されているスクライブホイール（ＳｃｒｉｂｅＷｈｅｅｌ）を利用して切断する方法が主に使用される。スクライブホイールを利用して母基板を切断する方法は、スクライブホイールを母基板の切断予定線に接触させた後、切断予定線に沿って所定の深さのスクライブライン（ＳｃｒｉｂｅＬｉｎｅ）を形成するスクライブ工程と、母基板に物理的な衝撃を加えてスクライブラインに沿ってクラック（Ｃｒａｃｋ）が伝播するようにすることによって、母基板を単位基板に切断するブレイク工程（ＢｒｅａｋｉｎｇＰｒｏｃｅｓｓ）からなる。

本発明の目的は、１回のスクライブ工程で複数のスクライブラインを同時に形成できるスクライブ装置並びに方法、及びこれを利用した基板切断装置を提供することにある。

本発明の他の目的は、ここに制限されず、言及されないさらに他の目的は、以下の記載から当業者が明確に理解できるはずであろう。

本発明は、複数の単位基板の形成された母基板を各々の単位基板に分離するスクライブ工程を行う装置を提供する。前記スクライブ装置は、前記母基板が置かれ、直線移動可能な支持部材と、前記母基板に同時に互いに平行である複数のスクライブラインを生成できるように、互いに並列に配置されるスクライブユニットと、同時に生成される前記互いに平行である複数のスクライブライン間の間隔を変化させることができるように、前記スクライブユニット間の間隔を調節する間隔調節ユニットと、を備える。

一例によれば、前記スクライブユニットは、前記支持部材が移動する経路上に提供され、前記支持部材が直線移動する第１方向に沿って並列に配置されうる。

前記スクライブユニットを前記第１方向に垂直な第２方向に移動させる移動ユニットをさらに備え、各々の前記移動ユニットは、前記スクライブユニットを前記第２方向に沿って直線移動させる駆動部材と、前記第２方向に沿って直線上に配置され、前記スクライブユニットの直線移動を案内するガイド部材と、前記ガイド部材の両端に各々配置され、前記ガイド部材を支持する支持台とを備えることができる。

前記間隔調節ユニットは、前記第１方向に沿って配置され、前記移動ユニットの支持台と結合するリードスクリューと、前記リードスクリューを支持する支持台と、前記リードスクリューを回転させる駆動器と、を備えることができる。

前記スクライブユニットは、２個が提供され、前記スクライブユニットのうちの一つである第１スクライブユニットを移動させる前記移動ユニットの支持台は、ベースに固設され、前記スクライブユニットのうち、残りである第２スクライブユニットを移動させる前記移動ユニットの支持台は、前記ベースに前記第１方向に移動可能に設置され、前記間隔調節ユニットは、前記第２スクライブユニットを移動させる前記移動ユニットの支持台を前記第１方向に沿って移動させる駆動器を備えることができる。

前記スクライブユニットは、３個が提供され、前記スクライブユニットのうち、中央に配置された第１スクライブユニットを移動させる前記移動ユニットの支持台は、ベースに固設され、前記スクライブユニットのうち、残りである第２スクライブユニットと第３スクライブユニットとを移動させる前記移動ユニットの支持台は、前記ベースに前記第１方向にそれぞれ移動可能に設置され、前記間隔調節ユニットは、前記第２スクライブユニットと前記第３スクライブユニットとを移動させる前記移動ユニットの支持台を前記第１方向に沿って移動させる駆動器を備えることができる。

他の例によれば、前記スクライブユニットは、前記支持部材が移動する経路上に提供され、前記支持部材が直線移動する第１方向に垂直な第２方向に沿って並列に配置されうる。

前記間隔調節ユニットは、前記スクライブユニットの各々を前記第２方向に直線移動させる駆動部材と、前記第２方向に沿って直線上に配置され、前記スクライブユニットの直線移動を案内するガイド部材と、を備えることができる。

前記駆動部材は、前記スクライブユニットに各々連結したブラケットと、
前記ブラケットのすべてに挿入され、前記ガイド部材と平行をなすように配置されるリードスクリューと、前記リードスクリューを各々回転させる駆動器と、を備え、前記ブラケットには、前記リードスクリューのうちの何れか一つのリードスクリューとネジ結合されるように雌ネジ部が形成されることができる。

前記支持部材は、前記母基板を支持するテーブルを備え、前記テーブルは、前記第１方向に直線移動可能な下部板と、前記母基板が置かれ、かつ前記下部板の上部に結合される上部板と、を備えることができる。

前記支持部材は、前記下部板上にて前記上部板を回転させる回転駆動部材をさらに備えることができる。

前記複数のスクライブユニットの各々は、互いに並列に配置された２個のスクライバーを備え、前記スクライバーは、互いに反対方向にスクライブラインを形成することができる。

また、本発明は、母基板を複数の単位基板に切断する装置を提供する。前記切断装置は、複数の単位基板の形成された母基板がロードされるロード部と、前記ロード部から移送された前記母基板に、前記単位基板の配列方向に沿ってスクライブラインを生成するスクライブ部と、前記母基板に生成されたスクライブラインに沿って、前記母基板を単位基板に分離するブレイク部と、分離された前記単位基板をアンロードするアンロード部と、を備え、前記スクライブ部は、前記母基板が置かれ、直線移動可能な支持部材と、前記母基板に同時に互いに平行である複数のスクライブラインを生成できるように、互いに並列に配置されるスクライブユニットと、同時に生成される前記互いに平行である複数のスクライブライン間の間隔を変化させることができるように、前記スクライブユニット間の間隔を調節する間隔調節ユニットと、を備える。

また、本発明は、母基板を複数の単位基板に分離するためのスクライブ工程を行う方法を提供する。本発明によれば、互いに並列に配置された複数のスクライブユニットを利用して、母基板に同時に互いに平行である複数のスクライブラインを形成するものの、前記母基板に形成しようとするスクライブラインの方向が変わる場合、前記複数のスクライブユニット間の間隔を調節することができる。

前記母基板に生成しようとするスクライブラインの方向を変えることは、前記母基板を支持する支持部材を９０度回転させることによってなされることができる。

一例によれば、前記スクライブユニットは、前記支持部材が移動する経路上に提供され、前記支持部材が直線移動する第１方向に沿って並列に配置され、前記スクライブラインは、前記母基板を固定し、前記複数のスクライブユニットを前記第１方向に垂直な第２方向に沿って直線移動させつつ形成されうる。

他の例によれば、前記スクライブユニットは、前記支持部材が移動する経路上に提供され、前記支持部材が直線移動する第１方向に垂直な第２方向に沿って並列に配置され、前記スクライブラインは、前記複数のスクライブユニットを固定し、前記母基板を前記第１方向に沿って直線移動させつつ形成されうる。

本発明によれば、複数のスクライブユニットを使用して同時に母基板にスクライブラインを形成するので、スクライブ工程にかかる時間を短縮することができる。

また、本発明によれば、スクライブユニットの間に間隔調節が可能なので、母基板に提供された単位基板の配列方向に応じて、生成しようとするスクライブライン間の間隔が異なる場合にも、すべての配列方向に対してスクライブラインを同時に複数生成できる。

以下、本発明の実施の形態を添付された図１〜図１８Ｅを参照して、さらに詳細に説明する。本発明の実施の形態は、多様な形態に変形され、本発明の範囲が後述する実施の形態に限定されると解釈されてはならない。本実施の形態は、当業者に本発明をさらに完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面での要素の形状などは、さらに明確な説明を強調するために誇張された。
（実施の形態）
図１は、母基板の一例を示す図である。

図１に示すように、母基板１は、薄膜トランジスタ−液晶ディスプレイ（ＴｈｉｎＦｉｌｍＴｒａｎｓｉｓｔｏｒ−ＬｉｑｕｉｄＣｒｙｓｔａｌＤｉｓｐｌａｙ、ＴＦＴ−ＬＣＤ）用パネルでありうる。母基板１は、概して四角形の板状を有する第１母基板２と第２母基板３とからなる。第１母基板２と第２母基板３とは、上下に積層される。第１母基板２は、薄膜トランジスタ基板の形成された基板であり、第２母基板３は、カラーフィルター基板の形成された基板でありうる。

第１及び第２母基板２、３には、複数の単位基板２ａ、３ａが形成され、単位基板２ａ、３ａは、第１及び第２母基板２、３の平面上に格子状に配列されうる。一般に、単位基板２ａ、３ａの横辺長と縦辺長は、互いに異なるように提供されることができ、単位基板２ａ、３ａの配列方向に応じて、生成しようとするスクライブライン間の距離も互いに異なりうる。

一方、母基板１は、薄膜トランジスタ−液晶ディスプレイ（ＴＦＴ−ＬＣＤ）用パネルの他にも、平板ディスプレイ用パネルの一種である有機発光ダイオード（ＯｒｇａｎｉｃＬｉｇｈｔＥｍｉｔｔｉｎｇＤｉｏｄｅｓ、ＯＬＥＤ）ディスプレイ用パネルでありうる。

図２は、本発明による基板切断装置１０の構成を概略的に示す図である。

図２に示すように、基板切断装置１０は、母基板（図１の図面符号１）を複数の単位基板に切断するためのものであって、ロード部１１、スクライブ部１２、ブレイク部１３、及びアンロード部１４を備える。ロード部１１、スクライブ部１２、ブレイク部１３、及びアンロード部１４は、一列に順次配置されうる。母基板１は、ロード部１１を介して基板切断装置１０に流入し、スクライブ部１２とブレイク部１３とを順次経て、複数の単位基板に分離され、以後アンロード部１４を介して基板切断装置１０の外部に流出する。

スクライブ部１２は、後述するスクライブ装置１２ａを利用して、第１母基板２又は第２母基板３に単位基板の配列方向に沿ってスクライブライン（ＳｃｒｉｂｅＬｉｎｅ）を形成する。ブレイク部１３は、ブレイクバー（ＢｒｅａｋＢａｒ）（図示せず）を利用して、母基板１に形成されたスクライブライン部位に力を加えて、母基板１から単位基板を切断する。

スクライブ部１２の一側には、反転部１５が配置されうる。反転部１５は、スクライブラインの形成された一面の位置とスクライブラインの形成されない他面の位置を互いに変える。すなわち、第１及び第２母基板２、３のうち、まず第１母基板２にスクライブラインを形成し、後に第２母基板３にスクライブラインを形成する場合、母基板１を反転させて第１母基板２と第２母基板３の上下位置を互いに変える。

図３は、図２のスクライブ部１２に提供されるスクライブ装置１２ａの一例を示す斜視図であり、図４及び図５は、図３のスクライブ装置１２ａの平面図及び側面図である。

説明の便宜上、後述する支持部材１００の直線移動方向を第１方向２２と言い、水平面上において第１方向２２に垂直な方向を第２方向２４と言い、第１及び第２方向２２、２４に垂直な上下方向を第３方向２６という。第１方向２２と第２方向２４とは、母基板１に格子状に配列された単位基板２の辺のうちの何れか一つにそれぞれ対応する。

図３〜図５に示すように、スクライブ装置１２ａは、支持部材１００、スクライブユニット２００、移動ユニット３００、及び間隔調節ユニット４００を備える。支持部材１００は、スクライブ工程時に母基板１を支持する。支持部材１００は、母基板１を第１方向２２に直線移動させ、第３方向２６に向かう支持部材１００の中心軸を基準に母基板１を回転させる。スクライブユニット２００は、支持部材１００に置かれた母基板１に接触して、母基板１上にスクライブラインを形成する。移動ユニット３００は、スクライブユニット２００を、第２方向２４に沿って直線移動させる。間隔調節ユニット４００は、スクライブユニット２００間の第１方向２２の間隔を調節する。

支持部材１００は、テーブル１２０、直線駆動部材１４０、及び回転駆動部材１６０を備える。テーブル１２０は、上部板１２２と下部板１２４とを有する。上部板１２２と下部板１２４とは、上部から見る時に概して長方形の形状を有する。上部板１２２と下部板１２４とは、互いに平行に配置され、上部板１２２が下部板１２４の上側に位置する。上部板１２２には、母基板１が置かれる。上部板１２２は、母基板１と似ているか、又はこれより大きな面積を有する。上部板１２２の上面には、真空ライン（図示せず）と連結する複数のホール（図示せず）が形成されることができ、母基板１は、真空圧により上部板１２２に固定される。選択的に上部板１２２又は下部板１２４には、付加的に母基板１を上部板１２２に固定させるクランプ（図示せず）が設置されうる。

直線駆動部材１４０は、テーブル１２０を第１方向２２に直線移動させる。直線駆動部材１４０は、ガイド部材１４２、ブラケット１４４、及び駆動器（図示せず）を備える。ガイド部材１４２は、第１方向２２に沿って長く提供され、ベース３０上の中央に配置される。ガイド部材１４２は、その長さ方向に沿って同じ幅を有する。ガイド部材１４２の上面は、平らに提供され、ガイド部材１４２の両側面の各々には、第１方向２２に長く溝１４１が形成される。

テーブル１２０は、ブラケット１４４によりガイド部材１４２に連結される。ブラケット１４４は、底板１４５、支持板１４７、及び結合板１４９を有する。底板１４５は、平らな長方形の板状を有し、ガイド部材１４２上に位置する。支持板１４７は、底板１４５の上面に垂直に固設され、テーブル１２０を支持するようにテーブル１２０の下部板１２４に固定結合される。支持板１４７は、２つが提供され、底板１４５の上面の両側に並列に配置される。結合板１４９は、底板１４５の底面に垂直に結合される側板１４９ａと、側板１４９ａの下端から内側に垂直に延びる挿入板１４９ｂとを有する。挿入板１４９ｂは、ガイド部材１４２の側面に形成された溝１４１に挿入される。結合板１４９は、互いに対向するように２つが提供される。

駆動器は、テーブル１２０がガイド部材１４２により案内されて第１方向２２に直線移動するように駆動力を提供する。モータとスクリューとを含むアセンブリーが駆動器として用いられうる。選択的に、モータ、ベルト、及びプーリーの組み合せから構成されるアセンブリー又はリニアモータ（ＬｉｎｅａｒＭｏｔｏｒ）を含むアセンブリーが駆動器として用いられうる。上述した多様な駆動アセンブリーの具体的な構成は、関連技術分野の当業者にとって周知であるので、これについての詳細な説明は省略する。

回転駆動部材１６０は、テーブル１２０を回転させる。テーブル１２０の回転は、母基板１にスクライブラインが生成される方向を変化させる。母基板１に形成された単位基板２ａ、３ａの配列方向のうち、何れか一つの方向に沿ってスクライブラインの生成が完了すれば、回転駆動部材１６０は、母基板１を９０度回転させて、単位基板２ａ、３ａの配列方向のうち、いずれか一つの方向に沿ってスクライブラインが生成されるようにする。

図５に示すように、回転駆動部材１６０は、モータ１６２と回転軸１６４とを有する。モータ１６２は、ブラケット１４４の底板１４５の中心部に設置される。モータ１６２の出力端に連結した回転軸１６４は、テーブル１２０の下部板１２４を貫通して上部板１２２に結合される。下部板１２４には、回転軸１６４を回転可能に支持するベアリング部材（図示せず）が設置されることができる。このような構成により、母基板１が置かれるテーブル１２０の上部板１２２が回転されることができ、上部板１２２の回転角度は９０度である。

図３及び図４に示すように、本発明によれば、複数のスクライブユニット２００が提供される。本実施の形態では、２個のスクライブユニット２００ａ、２００ｂが配置された場合を例に挙げて説明する。しかしながら、これとは異なり、スクライブユニットは、三個以上が提供されうる。第１スクライブユニット２００ａと第２スクライブユニット２００ｂとは、支持部材１００が移動する経路上に第１方向２２に互いに離隔するように配置される。

図６に示すように、第１スクライブユニット２００ａは、第２方向２４に並列に配置された２個のスクライバー２２０ａ、２４０ａを有し、第２スクライブユニット２００ｂは、第２方向２４に並列に配置された２個のスクライバー２２０ｂ、２４０ｂを有する。スクライバー２２０ａ、２４０ａ、２２０ｂ、２４０ｂは、同じ構成を有し、以下では、これらのうち、スクライバー２２０ａを例に挙げて説明する。

図７は、図６におけるスクライバー２２０ａの斜視図であり、図８は、図７におけるスクライバー２２０ａの下端部の部分断面図であり、図９は、図８におけるスクライブホイールの平面図である。

図７〜図９に示すように、スクライバー２２０ａは、スクライブホイール２２２、支持体２２４、押さえ部材２２６、及び振動子２２８を有する。スクライブホイール２２２は、スクライブ工程時に母基板１に接触されて、母基板１の表面に沿ってローリングしつつ母基板１にスクライブラインを形成する。スクライブホイール２２２としては、ダイアモンド材質のホイール（ｗｈｅｅｌ）が用いられうる。スクライブホイール２２２の中央には、円状の通孔２２２ｂが形成され、スクライブホイール２２２のエッジ２２２ａは、鋭く提供される。スクライブホイール２２２は、支持体２２４に支持される。支持体２２４は、本体２２４ａと軸ピン２２４ｂとを有する。本体２２４ａの下面には、一方向に本体２２４ａを貫通する溝２２５が形成される。軸ピン２２４ｂは、断面が円状である長いロッド状を有する。軸ピン２２４ｂは、溝２２５の長さ方向と垂直な方向に溝２２５内に位置する。軸ピン２２４ｂの両端は、本体２２４ａに固設される。軸ピン２２４ｂは、スクライブホイール２２２に形成された通孔２２２ｂを貫通する。スクライブホイール２２２が軸ピン２２４ｂにより支持されるとき、スクライブホイール２２２は、一部は、溝２２５内に位置し、一部は、支持体２２４の下へ突出する。押さえ部材２２６は、スクライブホイール２２２と母基板１の接触時にスクライブホイール２２２が一定な力で母基板１を押さえることができるように、スクライブホイール２２２を加圧する。一例によれば、押さえ部材２２６は、支持体２２４の上部に位置して、空圧を利用して支持体２２４を下方向に押さえることによって、スクライブホイール２２２を加圧する。振動子２２８は、スクライブ工程進行時にスクライブホイール２２２に振動を印加する。振動子２２８は、本体２２４ａ内部に装着され、振動子２２８としては、超音波振動子（ｍｅｇａｓｏｎｉｃｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）が用いられうる。

２つのスクライバー２２０ａ、２４０ａは、互いに異なるように配置される。一つのスクライバー２２０ａが一方向に移動する時に、母基板１にスクライブラインを生成できるように配置されれば、他の一つのスクライバー２４０ａは、これと反対方向に移動する時に母基板１にスクライバーラインを生成できるように配置される。これにより、一つのスクライバー２２０ａは、母基板１の一側からこれと対向する他側に移動する時に母基板１にスクライブラインを生成し、異なる一つのスクライバー２４０ａは、母基板１の他側からこれと対向する前記一側に移動する時に母基板１にスクライブラインを生成するようにする。スクライバー２２０ａ、２４０ａは、それぞれ独立的に上下方向に移動するように提供され、スクライブラインを生成するスクライバーは、他のスクライバーより下方向に位置する。

第２スクライブユニット２００ｂに提供されたスクライバー２２０ｂ、２４０ｂも、第１スクライブユニット２００ａに提供されたスクライバー２２０ｂ、２４０ｂと同様に提供される。

また、図３〜図５に示すように、移動ユニット３００は、第１スクライブユニット２００ａを移動させる第１移動ユニット３２０と、第２スクライブユニット２００ｂを移動させる第２移動ユニット３４０と、を有する。第１移動ユニット３２０と第２移動ユニット３４０とは、概して類似の構造を有する。第１移動ユニット３２０は、２つの垂直支持台３２１、ガイド部材３２３、ブラケット３２５、及び駆動部材（図４の３２９）を有する。垂直支持台３２１は、第２方向２４に互いに離隔するように配置される。垂直支持台３２１間の間隔は、母基板１が第１方向２２に沿って直線移動する時に母基板１が垂直支持台３２１の間を通ることができるように提供される。

ガイド部材３２３は、バー形状を有し、第２方向２４に長く配置される。ガイド部材３２３は、第１スクライブユニット２００ａが第２方向２４に直線移動するように案内する。ガイド部材３２３の両端は、垂直支持台３２１のそれぞれに設置されて、垂直支持台３２１により支持される。ガイド部材３２３の上面及び下面には、それぞれ第２方向２４に長く溝３２３ａが提供される。

第１スクライブユニット２００ａは、ブラケット３２５によりガイド部材３２３に結合される。図６に示すように、ブラケット３２５は、支持板３３６と結合板３３５とを有する。支持板３３６は、平らな長方形の板状を有し、ガイド部材３２３の一側面上に位置する。結合板３３５は、支持板３３６の上側及び下側から支持板３３６に垂直に突出した側板３３１と、ガイド部材３２３に形成された溝３２３ａに挿入される挿入板３３３を有する。

駆動部材３２９は、ブラケット３２５がガイド部材３２３に沿って直線移動するように駆動力を提供する。駆動部材３２９は、リードスクリュー３２７と、これに回転力を提供する駆動器３２８と、を有する。リードスクリュー３２７は、ガイド部材３２３と平行にガイド部材３２３の一側に提供され、リードスクリュー３２７の両端は、垂直支持台３２１により支持される。駆動器３２８は、垂直支持台３２１のうちの何れか一つに設置され、リードスクリュー３２７の一端に連結される。駆動器３２８としては、モータが用いられうる。そして、ブラケット３２５は、リードスクリュー３２７の雄ネジ部と噛み合う雌ネジ部が（図示せず）が提供される。選択的に駆動部材３２９として、モータ、ベルト、及びプーリーを備えるアセンブリー又はリニアモータを利用したアセンブリーなどが用いられうる。

第１スクライブユニット２００ａは、上下に移動できるようにブラケット３２５の支持板３３６に装着される。一例によれば、支持板３３６には、第３方向２６にスリット形状の案内溝３３６ａが形成され、第１スクライブユニット２００ａのスクライバー２２０ａ、２４０ａが案内溝３３６ａに挿入された支持軸（図示せず）にそれぞれ結合される。

間隔調節ユニット４００は、第１スクライブユニット２００ａと第２スクライブユニット２００ｂとの間で第１方向２２への間隔を調節する。一例によれば、第１移動ユニット３２０の垂直支持台３２１は、ベース３０に固設して、第１スクライブユニット２００ａが第１方向２２に移動しないように提供される。第２移動ユニット３４０の垂直支持台３４１は、ベース３０上から第１方向２２に移動可能に設置されて、第２スクライブユニット２００ｂは、第１方向２２への移動が可能なように提供される。間隔調節ユニット４００は、第２移動ユニット３４０の垂直支持台３４１を第１方向２２に移動させることによって、第１スクライブユニット２００ａと第２スクライブユニット２００ｂとの間の間隔を調節する。

間隔調節ユニット４００は、支持台４２０、ガイド部材４４０、及び駆動部材（図４の４６０）を有する。支持台４２０は、第２移動ユニット３４０の垂直支持台３４１の両側にそれぞれ配置される。第１支持ブロック４２２は、第１移動ユニット３２０の垂直支持台３２１と第２移動ユニット３４０の垂直支持台３４１との間に配置される。第２支持ブロック４２４は、第２移動ユニット３４０の垂直支持台３４１を基準に第１支持ブロック４２２の反対側に配置される。駆動部材４６０は、第２移動ユニット３４０の垂直支持台３４１を第１方向２２に直線移動させる。駆動部材４６０は、リードスクリュー４６２とこれに回転力を提供する駆動器４６４を有する。リードスクリュー４６２は、第１支持ブロック４２２と第２支持ブロック４２４との間に、その長さ方向が第１方向２２になるように位置し、両端が第１支持ブロック４２２と第２支持ブロック４２４とにそれぞれ結合される。リードスクリュー４６２は、第２移動ユニット３４０の垂直支持台３４１に形成された雌ネジ部（図示せず）とそれぞれ噛み合う。駆動器４６４は、第１支持ブロック４２２又は第２支持ブロック４２４に設置され、リードスクリュー４６２の一端に連結される。駆動器４６４としては、モータが用いられうる。駆動部材４６０としてモータ４６４とリードスクリュー４６２とを備えるアセンブリーを例に挙げて説明したが、この他にも、リニアモータなどのように、移動ユニットの垂直支持台に直線駆動力を提供することができる多様な駆動器が用いられうる。

ガイド部材４４０は、第２移動ユニット３４０の垂直支持台３４１が第１方向に直線移動するように案内する。ガイド部材４４０は、リードスクリュー４６２と平行をなすように設置される。例えば、ガイド部材４４０は、ロッド状に提供されることができ、その両端がそれぞれ第１支持ブロック４２２と第２支持ブロック４２４とに固定結合される。このとき、ガイド部材４４０は、第２移動ユニット３４０の垂直支持台３４１に形成されたホール（図示せず）に挿入される。

第１移動ユニット３２０、第２移動ユニット３４０、間隔調節ユニット４００、及びテーブル１２０の動作は、制御部５００により制御する。すなわち、制御部５００は、スクライブラインを生成する時に、第１スクライブユニット２００ａと第２スクライブユニット２００ｂとが第２方向に直線移動するように、第１移動ユニット３２０と第２移動ユニット３４０とを制御する。２つのスクライブラインが生成されれば、制御部５００は、テーブル１２が直線移動するように駆動器を制御する。また、制御部５００は、母基板１に形成された単位基板２ａ、３ａの配列方向のうちの何れか一つの方向と平行であるスクライブラインがすべて生成されれば、テーブル１２０が回転されるように回転駆動部材１６０を制御し、第１スクライブユニット２００ａと第２スクライブユニット２００ｂとの間の間隔が調節されるように、間隔調節ユニット４００を制御する。

上述したような構成を有する本発明による基板切断装置１０を使用して平板ディスプレイパネルを製造する過程を説明すれば、以下のとおりである。

図１０は、本発明による基板切断装置を利用して平板ディスプレイを製造する過程を順次示すフローチャートである。

図２及び図１０に示すように、母基板１がロード部１１にロードされる。母基板１は、第１及び第２母基板２、３のうちの何れか一つの基板が上方向に向かった状態でロードされる。ここでは、便宜上、第１母基板２が上方向に向かっている場合を例に挙げて説明する。ロード部１１は、母基板１をスクライブ部１２に移送する（Ｓ１０）。

スクライブ部１２は、上方向に向かっている第１母基板２に対したスクライブ工程を行う。第１母基板２上にスクライブラインが形成された後、スクライブ部１２は、母基板１を反転部１５に移送する（Ｓ２０）。

反転部１５は、第２母基板３が上方向に向かうように、母基板１を反転させ、反転した母基板１を再度スクライブ部１２に移送する（Ｓ３０）。

スクライブ部１２は、上方向に向かっている第２母基板３に対したスクライブ工程を行う。第２母基板３上にスクライブラインが形成された後、スクライブ部１２は、母基板１をブレイク部１３に移送する（Ｓ４０）。

ブレイク部１３は、第１及び第２母基板２、３に対してスクライブ工程が行われた母基板１に対したブレイク工程を行って、母基板１を複数の単位基板に分離する（Ｓ５０）。

ブレイク工程により、母基板１が複数の単位基板に分離されれば、単位基板は、アンロード部１４にアンロードされ（Ｓ６０）、以後単位基板に対して洗浄工程が行われる。

次には、スクライブ部１２にて、本発明によるスクライブ装置１２ａを利用して母基板１にスクライブ工程を行う過程を説明する。

図１１Ａ〜図１１Ｉは、図３及び図４のスクライブ装置を利用して母基板１上にスクライブラインを生成する過程を示す図である。

母基板１がテーブル１２０の上部板１２２上に置かれる。テーブル１２０は、駆動器（図示せず）により第１方向２２に直線移動する（図１１Ａ）。

テーブル１２０が既設定の位置（すなわち、母基板１の第１切断予定線ａが第１スクライブユニット２００ａに整列された位置）まで移動すれば、テーブル１２０の移動を止める。以後、間隔調節ユニット４００の駆動器４６４を駆動させて、第１スクライブユニット２００ａと第２スクライブユニット２００ｂとの間の間隔を調節する。間隔調節ユニット４００は、第２移動ユニット３４０の垂直支持台３４１を第１方向２２に直線移動させる。第２移動ユニット３４０の移動により、第２スクライブユニット２００ｂが既設定の位置（すなわち、第２スクライブユニット２００ｂが母基板１の第２切断予定線ｂに整列された位置）まで移動すれば、第２移動ユニット３４０の垂直支持台３４１の移動を止める（図１１Ｂ）。

第１スクライブユニット２００ａ及び第２スクライブユニット２００ｂが第１方向２２に沿って母基板１の第１切断予定線ａと第２切断予定線ｂに整列された状態で、第１移動ユニット３２０と第２移動ユニット３４０の駆動器３２８、３４８を駆動させて、母基板１の一側方向に第１スクライブユニット２００ａと第２スクライブユニット２００ｂとを移動させる。

以後、第１スクライブユニット２００ａと第２スクライブユニット２００ｂのスクライバーのうち、それぞれ一つのスクライバー２２０ａ、２２０ｂが下方向に移動して母基板１と接触される（図１１Ｃ）。

図１１Ａ、図１１Ｂ、及び図１１Ｃの順序は、互いに変化されうる。例えば、第１スクライブユニット２００ａと第２スクライブユニット２００ｂとの間の間隔がまず調節された後、母基板１の第１切断予定線ａと第２切断予定線ｂが第１スクライブユニット２００ａ及び第２スクライブユニット２００ｂと整列されうる。

以後、移動ユニット３２０、３４０の駆動器３２８、３４８を駆動させて、スクライブユニット２００ａ、２００ｂを第２方向２４に沿って母基板１を横切って移動させる。このとき、スクライブユニット２００ａ、２００ｂのスクライバー２２０ａ、２２０ｂは、母基板１上にクラックを形成する。切断予定線ａ、ｂに沿ってクラックが連続的に形成されることにより、母基板１上には、スクライブラインが形成される（図１１Ｄ）。

切断予定線ａ、ｂに沿って母基板１上にスクライブラインを形成した後、スクライブユニット２００ａ、２００ｂのスクライバー２２０ａ、２２０ｂは、上方向に移動する。

テーブル１２０は、駆動器（図示せず）により第１方向２２に直線移動し、テーブル１２０が既設定の位置（すなわち、母基板１の第３切断予定線ｃが第１スクライブユニット２００ａに整列された位置）まで移動すれば、テーブル１２０の移動を止める。このとき、第１スクライブユニット２００ａと第２スクライブユニット２００ｂとの間の間隔は、上述した過程にて既に調整されたため、第２スクライブユニット２００ｂは、母基板１の第４切断予定線ｄに整列される（図１１Ｅ）。

スクライブユニット２００ａ、２００ｂのスクライバー２４０ａ、２４０ｂは、下方向に移動して、母基板１と接触される。移動ユニット３２０、３４０の駆動器３２８、３４８を駆動させて、第１スクライブユニット２００ａと第２スクライブユニット２００ｂとを第２方向２４に沿って母基板１を横切って移動させる。このとき、第１スクライブユニット２００ａと第２スクライブユニット２００ｂとのスクライバー２４０ａ、２４０ｂは、母基板１上にクラックを形成する。切断予定線ｃ、ｄに沿ってクラックが連続的に形成されることにより、母基板１上には、スクライブラインが形成される（図１１Ｆ）。

切断予定線ａ、ｂに沿ってスクライブラインを形成するときには、スクライバー２２０ａ、２２０ｂを使用し、切断予定線ｃ、ｄに沿ってスクライブラインを形成するときには、スクライバー２４０ａ、２４０ｂを使用することができる。これは、クラックを形成するスクライバー２２０ａ、２２０ｂ、２４０ａ、２４０ｂのスクライブホイールの方向性を一定に維持させるためである。

上述したような過程にて母基板１に形成された単位基板２ａ，３ｂの配列方向のうちの何れか一つの方向にスクライブラインをすべて形成した後、他の一つの方向に母基板１上にスクライブラインを形成する。このために、母基板１が置かれたテーブル１２０の上部板１２２が下部板１２４に対して９０度回転する（図１１Ｇ）。

以後、切断予定線ｆが第１スクライブユニット２００ａと整列されるように、テーブル１２０が第１方向２２に直線移動する。テーブル１２０が既設定された位置（すなわち、母基板１の切断予定線ｆが第１スクライブユニット２００ａに整列された位置）まで移動すれば、テーブル１２０の移動を止める（図１１Ｈ）。

間隔調節ユニット４００の駆動器４６４を駆動させて、第１スクライブユニット２００ａと第２スクライブユニット２００ｂとの間の間隔を調節する。間隔調節ユニット４００は、第２移動ユニット３４０の垂直支持台３４１を第１方向２２に直線移動させる。第２移動ユニット３４０の移動により第２スクライブユニット２００ｂが既設定の位置（すなわち、第２スクライブユニット２００ｂが母基板１の切断予定線ｅに整列された位置）まで移動すれば、第２移動ユニット３４０の垂直支持台３４１の移動を止める（図１１Ｉ）。

以後、第１スクライブユニット２００ａと第２スクライブユニット２００ｂのスクライバーのうち、それぞれ一つのスクライバー２２０ａ、２２０ｂが下方向に移動して母基板１と接触され、図１１Ｄ〜図１１Ｆで説明された過程を行うことによって、以前に母基板１に形成されたスクライブラインに垂直な方向のスクライブラインが母基板１に形成されうる。

次には、本実施の形態から変形された多様な例を簡単に説明する。

上述した例では、第１スクライブユニット２００ａと第２スクライブユニット２００ｂとの間での第１方向２２への間隔調節が、第２移動ユニット３４０を移動することによってなることと説明した。しかしながら、これとは異なり、図１２のように第１移動ユニット３２０の垂直支持台３２１と第２移動ユニット３４０の垂直支持台３４１とがすべて移動するように提供できる。

また、上述した例では、２つのスクライブユニットが提供されることと説明した。しかしながら、これとは異なり、三個又はそれ以上のスクライブユニットが提供されうる。３個のスクライブユニットが提供される場合、中央に位置したスクライブユニット２００ａは、第１方向に移動しないように提供され、両側に位置したスクライブユニット２００ｂ、２００ｃは、第１方向に移動可能なように提供されうる。

また、上述した例では、一つのスクライブユニットに２つのスクライバーが提供されることと説明した。しかしながら、一つのスクライブユニットには、一つのスクライバーが提供されうる。

上述した例では、母基板が固定され、スクライブユニットが移動しつつ母基板にスクライブラインを生成するスクライブ装置について説明した。しかしながら、これとは異なり、スクライブユニットが固定され、母基板が移動しつつスクライブラインを生成することができる。この場合、スクライブユニットは、第２方向２４に並列に配置され、母基板は、第１方向２２に直線移動し、第２方向２４にスクライブユニット間の間隔が調節されうる。以下では、これについて詳細に説明する。

図１４は、図２のスクライブ部に提供されるスクライブ装置の他の実施の形態を示す斜視図であり、図１５は、図１４のスクライブ装置の平面図である。そして、図１６は、図１４の「Ｂ」部分の拡大図であり、図１７は、図１６のブラケットとリードスクリューとの間の結合関係を示す断面図である。

図１４及び図１５に示すように、スクライブ装置１２ｂは、支持部材１００、スクライブユニット２００´、間隔調節ユニット３００´を備える。支持部材１００は、母基板１を支持する。支持部材１００は、母基板１を第１方向２２に沿って直線移動させ、母基板１の平面に垂直な中心軸を基準に母基板１を回転させる。スクライブユニット２００´は、支持部材１００に置かれた母基板１に接触して母基板１上にクラックを形成する。間隔調節ユニット３００´は、スクライブユニット２００´を第２方向２４に移動させて、スクライブユニット２００´間の間隔を調節する。スクライブ工程を行う時にスクライブユニット２００´は固定され、母基板１が第１方向２２に沿って直線移動する。

支持部材１００は、図３〜図５を参照して先に説明した支持部材と同じ構成を有するので、これについての詳細な説明は省略する。

スクライブユニット２００´は、図１４及び図１５に示すように、支持部材１００の直線移動方向に垂直な方向、すなわち第２方向２４に配置された第１スクライブユニット２００´ａと第２スクライブユニット２００´ｂとを備える。本実施の形態では、２個のスクライブユニット２００´ａ、２００´ｂが配置された場合を例に挙げて説明するが、２個以上の複数のスクライブユニット２００´が配置されうることはもちろんである。第１及び第２スクライブユニット２００´ａ、２００´ｂのそれぞれは、後述する間隔調節ユニット３００´により第２方向２４に移動して間隔が調節される。

図１６に示すように、第１スクライブユニット２００´ａは、第２方向２４に並列に配置された２個のスクライバー２２０´ａ、２４０´ａを有し、第２スクライブユニット２００´ｂは、第２方向２４に並列に配置された２個のスクライバー２２０´ｂ、２４０´ｂを有する。スクライバー２２０´ａ、２４０´ａ、２２０´ｂ、２４０´ｂは、図７〜図９を参照して先に説明したスクライバーと同じ構成を有するので、これについての詳細な説明は省略する。

間隔調節ユニット３００´は、それぞれのスクライブユニット２００´ａ、２００´ｂを第２方向２４に移動させて、スクライブユニット２００´ａ、２００´ｂ間の間隔を調節する。間隔調節ユニット３００´は、垂直支持台３１０´、ガイド部材３２０´、ブラケット３３０´ａ、３３０´ｂ、及び駆動部材３４０´を備える。垂直支持台３１０´は、第２方向２４に一定の距離が離隔するように配置される。垂直支持台３１０´は、母基板１が第１方向２２に沿って直線移動する時に母基板１が垂直支持台３１０´間を通ることができるように配置される。ガイド部材３２０´は、垂直支持台３１０´の上端に固設される。ガイド部材３２０´の上面及び下面には、長さ方向に沿って長く溝３２２´が提供される。

第１スクライブユニット２００´ａは、ブラケット３３０´ａによりガイド部材３２０´に結合され、第２スクライブユニット２００´ｂは、ブラケット３３０´ｂによりガイド部材３２０´に結合される。ブラケット３３０´ａとブラケット３３０´ｂとは、同じ構造を有するので、以下では、ブラケット３３０´ａについてのみ説明する。ブラケット３３０´ａは、図１６に示すように、支持板３３２´と結合板３３４´とを有する。支持板３３２´は、平らな長方形の板状を有し、ガイド部材３２０´の一側面上に位置する。結合板３３４´は、支持板３３２´の上側及び下側から支持板３３２´に垂直に突出した測板３３４´ａと、ガイド部材３２０´に形成された溝３２２´に挿入される挿入板３３４´ｂと、を有する。

駆動部材３４０´は、ブラケット３３０´ａ、３３０´ｂがガイド部材３２０´に沿って直線移動するように駆動力を提供する。駆動部材３４０´は、ガイド部材３２０´と平行をなすように配置される第１リードスクリュー３４２´と第２リードスクリュー３４４´とを有する。図１７に示すように、第１リードスクリュー３４２´上には、ブラケット３３０´ａが直線移動可能に装着され、第２リードスクリュー３４４´上には、ブラケット３３０´ｂが直線移動可能に装着される。すなわち、ブラケット３３０´ａには、第１リードスクリュー３４２´と第２リードスクリュー３４４´とが挿入されるが、第１リードスクリュー３４２´は、ブラケット３３０´ａに形成された雌ネジ部３３５´ａと噛み合うことに対し、第２リードスクリュー３４４´は、ブラケット３３０´ａに形成されたホール３３６´ａと接触されない状態で貫通される。これと同様に、ブラケット３３０´ｂには、第１リードスクリュー３４２´と第２リードスクリュー３４４´が挿入されるが、第１リードスクリュー３４２´は、ブラケット３３０´ｂに形成されたホール３３６´ｂと接触されない状態で貫通することに対し、第２リードスクリュー３４４´は、ブラケット３３０´ｂに形成された雌ネジ部３３５´ｂと噛み合う。このような構成により第１リードスクリュー３４２´の駆動時にブラケット３３０´ａは直線移動するが、ブラケット３３０´ｂは移動しなく、第２リードスクリュー３４４´の駆動時にブラケット３３０´ａは移動しないが、ブラケット３３０´ｂは直線移動する。このような駆動方式により、ブラケット３３０´ａに連結した第１スクライブユニット２００´ａとブラケット３３０´ｂとに連結した第２スクライブユニット２００´ｂ間の間隔が調節されうる。第１リードスクリュー３４２´の一端には、回転力を提供する第１駆動器３４３´が連結され、第２リードスクリュー３４４´の一端には、回転力を提供する第２駆動器３４５´が連結される。第１及び第２駆動器３４３´、３４５´としては、モータなどの駆動器が用いられうる。駆動部材３４０´としてモータとリードスクリューとを備えるアセンブリーを例に挙げて説明したが、この他にもシリンダーなどのようにブラケット３３０´ａ、３３０´ｂに直線駆動力を提供することができる多様な駆動器が用いられうる。

図１６に示すように、第１スクライブユニット２００´ａは、上下に移動できるようにブラケット３３０´ａの支持板３３２´に装着される。一例によれば、支持板３３２´には、第３方向２６にスリット形状の案内溝３３１´が形成され、第１スクライブユニット２００´ａのスクライバー２２０´ａ、２４０´ａが案内溝３３１´に挿入された支持軸（図示せず）にそれぞれ結合される。第２スクライブユニット２００´ｂも、上下移動可能にブラケット３３０´ｂに連結され、連結構造は、第１スクライブユニット２００´ａの連結構造と同一なので、これについての説明は省略する。

上述した間隔調節ユニット３００´の動作は、制御部５００´により制御される。制御部５００´は、間隔調節ユニット３００´の第１及び第２駆動器３４３´、３４５´の動作を制御して、第１及び第２スクライブユニット２００´ａ、２００´ｂを第２方向２４に移動させて、スクライブユニット２００´ａ、２００´ｂ間の第２方向２４の間隔を調節する。

次には、前記のような構成を有する本発明によるスクライブ装置１２ｂを利用して、母基板１にスクライブ工程を行う過程を説明する。

図１８Ａ〜図１８Ｅは、図１４及び図１５のスクライブ装置を利用して母基板１上にスクライブラインを生成する過程を示す図である。

母基板１がテーブル１２０の上部板１２２上に置かれる。間隔調節ユニット３００´の駆動器３４３´は、第１リードスクリュー３４２´を駆動させて、第１スクライブユニット２００´ａを切断予定線ａ´に整列させる。間隔調節ユニット３００´の駆動器３４５´は、第２リードスクリュー３４４´を駆動させて第２スクライブユニット２００´ｂを移動させ、第２スクライブユニット２００´ｂの移動により、第１スクライブユニット２００´ａと第２スクライブユニット２００´ｂとの間の間隔が調節される。第２スクライブユニット２００´ｂは、切断予定線ｂ´に整列される。

第１スクライブユニット２００´ａと第２スクライブユニット２００´ｂのスクライバーのうち、それぞれ一つのスクライバー２２０´ａ、２２０´ｂが下方向に移動し、テーブル１２０は、駆動器（図示せず）により第１方向２２に直線移動する（図１８Ａ）。

テーブル１２０が第１方向２２に沿って移動する時に、スクライブユニット２００´ａ、２００´ｂのスクライバー２２０´ａ、２２０´ｂは、母基板１上にクラックを形成する。切断予定線ａ´、ｂ´に沿ってクラックが連続的に形成されることにより、母基板１上には、スクライブラインが形成される（図１８Ｂ）。

切断予定線ａ´、ｂ´に沿って母基板１上にスクライブラインを形成した後、スクライブユニット２００´ａ、２００´ｂのスクライバー２２０´ａ、２２０´ｂは、上方向に移動する。

間隔調節ユニット３００´の駆動器３４５´は、第２リードスクリュー３４４´を駆動させて、第２スクライブユニット２００´ｂを切断予定線ｄ´に整列させる。間隔調節ユニット３００´の駆動器３４３´は、第１リードスクリュー３４２´を駆動させて第１スクライブユニット２００´ａを移動させ、第１スクライブユニット２００´ａの移動により第１スクライブユニット２００´ａと第２スクライブユニット２００´ｂとの間の間隔が調節される。第１スクライブユニット２００´ａは、切断予定線ｃ´に整列される（図１８Ｃ）。

第１スクライブユニット２００´ａと第２スクライブユニット２００´ｂのスクライバーのうち、それぞれ一つのスクライバー２４０´ａ、２４０´ｂが下方向に移動し、テーブル１２０は、駆動器（図示せず）により第１方向２２に直線移動する。テーブル１２０が第１方向２２に沿って移動する時に、スクライブユニット２００´ａ、２００´ｂのスクライバー２４０´ａ、２４０´ｂは、母基板１上にクラックを形成する。切断予定線ｃ´、ｄ´に沿ってクラックが連続的に形成されることにより、母基板１上には、スクライブラインが形成される。切断予定線ｃ´、ｄ´に沿って母基板１上にスクライブラインを形成した後、スクライブユニット２００´ａ、２００´ｂのスクライバー２４０´ａ、２４０´ｂは、上方向に移動する（図１８Ｄ）。

切断予定線ａ´、ｂ´に沿ってスクライブラインを形成する時には、スクライバー２２０´ａ、２２０´ｂを使用し、切断予定線ｃ´、ｄ´に沿ってスクライブラインを形成する時には、スクライバー２４０´ａ、２４０´ｂを使用することができる。これは、クラックを形成するスクライバー２２０´ａ、２２０´ｂ、２４０´ａ、２４０´ｂのスクライブホイールの方向性を一定に維持させるためである。

上述したような過程を通じて母基板１に一方向のスクライブラインをすべて形成した後、他の一方向に母基板１上にスクライブラインを形成する。このために母基板１が置かれたテーブル１２０の上部板１２２が下部板１２４に対し９０度回転する（図１８Ｅ）。

以後、図１８Ａ〜図１８Ｄにて説明された過程を再度行うことによって、以前に形成されたスクライブラインに垂直な方向のスクライブラインが母基板１に形成されうる。

以上で説明したように、本発明は、複数のスクライブユニットを備え、１回のスクライブ工程で複数のスクライブラインを同時に形成することによって、スクライブ工程にかかる時間を短縮させ、これにより基板製造工程の生産性を向上させることができる。

また、本発明は、スクライブユニット間の間隔を調節することができるため、母基板に形成された単位基板の配列方向の各々に複数のスクライブラインを形成することができる。

母基板の一例を示す図である。本発明による基板切断装置の構成を概略的に示す図である。図２におけるスクライブ部に提供されるスクライブ装置の一例を示す斜視図である。図３におけるスクライブ装置の平面図である。図３におけるスクライブ装置の側面図である。図３における「Ａ」部分の拡大図である。図６におけるスクライバーの斜視図である。図７におけるスクライバーの下端部の部分断面図である。図８におけるスクライブホイールの平面図である。本発明による基板切断装置を利用して平板ディスプレイを製造する過程を順次示すフローチャートである。図３及び図４におけるスクライブ装置を利用して、母基板上にスクライブラインを生成する過程を示す図である。図３及び図４におけるスクライブ装置を利用して母基板上にスクライブラインを生成する過程を示す図である。図３及び図４におけるスクライブ装置を利用して母基板上にスクライブラインを生成する過程を示す図である。図３及び図４におけるスクライブ装置を利用して母基板上にスクライブラインを生成する過程を示す図である。図３及び図４におけるスクライブ装置を利用して母基板上にスクライブラインを生成する過程を示す図である。図３及び図４におけるスクライブ装置を利用して母基板上にスクライブラインを生成する過程を示す図である。図３及び図４におけるスクライブ装置を利用して母基板上にスクライブラインを生成する過程を示す図である。図３及び図４におけるスクライブ装置を利用して母基板上にスクライブラインを生成する過程を示す図である。図３及び図４におけるスクライブ装置を利用して母基板上にスクライブラインを生成する過程を示す図である。図３におけるスクライブ装置の他の実施の形態を示す図である。図３におけるスクライブ装置の他の実施の形態を示す図である。図２におけるスクライブ部に提供されるスクライブ装置の他の実施の形態を示す斜視図である。図１４におけるスクライブ装置の平面図である。図１４における「Ｂ」部分の拡大図である。図１６のブラケットとリードスクリュー間の結合関係を示す断面図である。図１４及び図１５のスクライブ装置を利用して、母基板上にスクライブラインを生成する過程を示す図である。図１４及び図１５のスクライブ装置を利用して、母基板上にスクライブラインを生成する過程を示す図である。図１４及び図１５のスクライブ装置を利用して、母基板上にスクライブラインを生成する過程を示す図である。図１４及び図１５のスクライブ装置を利用して、母基板上にスクライブラインを生成する過程を示す図である。図１４及び図１５のスクライブ装置を利用して、母基板上にスクライブラインを生成する過程を示す図である。

符号の説明

１００支持部材
２００ａ、２００ｂスクライブユニット
３００移動ユニット
４００間隔調節ユニット
２００´ａ、２００´ｂスクライブユニット
３００´ 間隔調節ユニット
５００、５００´ 制御部

Claims

複数の単位基板の形成された母基板を各々の単位基板に分離するスクライブ工程を行う装置であって、
前記母基板が置かれ、直線移動可能な支持部材と、
前記母基板に同時に互いに平行である複数のスクライブラインを生成できるように、互いに並列に配置されるスクライブユニットと、
同時に生成される前記互いに平行である複数のスクライブライン間の間隔を変化させることができるように、前記スクライブユニット間の間隔を調節する間隔調節ユニットと、を備えることを特徴とするスクライブ装置。
前記スクライブユニットは、前記支持部材が移動する経路上に提供され、前記支持部材が直線移動する第１方向に沿って並列に配置されることを特徴とする請求項１に記載のスクライブ装置。
前記スクライブユニットを前記第１方向に垂直な第２方向に移動させる移動ユニットをさらに備え、
各々の前記移動ユニットは、
前記スクライブユニットを前記第２方向に沿って直線移動させる駆動部材と、
前記第２方向に沿って直線上に配置され、前記スクライブユニットの直線移動を案内するガイド部材と、
前記ガイド部材の両端に各々配置され、前記ガイド部材を支持する支持台とを備えることを特徴とする請求項２に記載のスクライブ装置。
前記間隔調節ユニットは、
前記第１方向に沿って配置され、前記移動ユニットの支持台と結合するリードスクリューと、
前記リードスクリューを支持する支持台と、
前記リードスクリューを回転させる駆動器と、を備えることを特徴とする請求項３に記載のスクライブ装置。
前記スクライブユニットは、２個が提供され、
前記スクライブユニットのうちの一つである第１スクライブユニットを移動させる前記移動ユニットの支持台は、ベースに固設され、
前記スクライブユニットのうち、残りである第２スクライブユニットを移動させる前記移動ユニットの支持台は、前記ベースに前記第１方向に移動可能に設置され、
前記間隔調節ユニットは、前記第２スクライブユニットを移動させる前記移動ユニットの支持台を前記第１方向に沿って移動させる駆動器を備えることを特徴とする請求項３に記載のスクライブ装置。
前記スクライブユニットは、３個が提供され、
前記スクライブユニットのうち、中央に配置された第１スクライブユニットを移動させる前記移動ユニットの支持台は、ベースに固設され、
前記スクライブユニットのうち、残りである第２スクライブユニットと第３スクライブユニットとを移動させる前記移動ユニットの支持台は、前記ベースに前記第１方向にそれぞれ移動可能に設置され、
前記間隔調節ユニットは、前記第２スクライブユニットと前記第３スクライブユニットとを移動させる前記移動ユニットの支持台を前記第１方向に沿って移動させる駆動器を備えることを特徴とする請求項３に記載のスクライブ装置。
前記スクライブユニットは、前記支持部材が移動する経路上に提供され、前記支持部材が直線移動する第１方向に垂直な第２方向に沿って並列に配置されることを特徴とする請求項１に記載のスクライブ装置。
前記間隔調節ユニットは、
前記スクライブユニットの各々を前記第２方向に直線移動させる駆動部材と、
前記第２方向に沿って直線上に配置され、前記スクライブユニットの直線移動を案内するガイド部材と、を備えることを特徴とする請求項７に記載のスクライブ装置。
前記駆動部材は、
前記スクライブユニットに各々連結したブラケットと、
前記ブラケットのすべてに挿入され、前記ガイド部材と平行をなすように配置されるリードスクリューと、
前記リードスクリューを各々回転させる駆動器と、を備え、
前記ブラケットには、前記リードスクリューのうちの何れか一つのリードスクリューとネジ結合されるように雌ネジ部が形成されることを特徴とする請求項８に記載のスクライブ装置。
前記支持部材は、前記母基板を支持するテーブルを備え、
前記テーブルは、
前記第１方向に直線移動可能な下部板と、
前記母基板が置かれ、かつ前記下部板の上部に結合される上部板と、を備えることを特徴とする請求項１に記載のスクライブ装置。
前記支持部材は、前記下部板上にて前記上部板を回転させる回転駆動部材をさらに備えることを特徴とする請求項１０に記載のスクライブ装置。
前記複数のスクライブユニットの各々は、互いに並列に配置された２個のスクライバーを備え、
前記スクライバーは、互いに反対方向にスクライブラインを形成することを特徴とする請求項１に記載のスクライブ装置。
複数の単位基板の形成された母基板がロードされるロード部と、
前記ロード部から移送された前記母基板に、前記単位基板の配列方向に沿ってスクライブラインを生成するスクライブ部と、
前記母基板に生成されたスクライブラインに沿って、前記母基板を単位基板に分離するブレイク部と、
分離された前記単位基板をアンロードするアンロード部と、を備え、
前記スクライブ部は、
前記母基板が置かれ、直線移動可能な支持部材と、
前記母基板に同時に互いに平行である複数のスクライブラインを生成できるように、互いに並列に配置されるスクライブユニットと、
同時に生成される前記互いに平行である複数のスクライブライン間の間隔を変化させることができるように、前記スクライブユニット間の間隔を調節する間隔調節ユニットと、を備えることを特徴とする基板切断装置。
前記スクライブユニットは、前記支持部材が移動する経路上に提供され、前記支持部材が直線移動する第１方向に沿って並列に配置されることを特徴とする請求項１３に記載の基板切断装置。
前記スクライブユニットを前記第１方向に垂直な第２方向に移動させる移動ユニットをさらに備え、
各々の前記移動ユニットは、
前記スクライブユニットを前記第２方向に沿って直線移動させる駆動部材と、
前記第２方向に沿って直線上に配置され、前記スクライブユニットの直線移動を案内するガイド部材と、
前記ガイド部材の両端に各々配置され、前記ガイド部材を支持する支持台と、を備えることを特徴とする請求項１４に記載の基板切断装置。
前記間隔調節ユニットは、
前記第１方向に沿って配置され、前記移動ユニットの支持台と結合するリードスクリューと、
前記リードスクリューを支持する支持台と、
前記リードスクリューを回転させる駆動器と、を備えることを特徴とする請求項１５に記載の基板切断装置。
前記スクライブユニットは、２つが提供され、
前記スクライブユニットのうちの一つである第１スクライブユニットを移動させる前記移動ユニットの支持台は、ベースに固設され、
前記スクライブユニットの残りの一つである第２スクライブユニットを移動させる前記移動ユニットの支持台は、前記ベースに前記第１方向に移動可能に設置され、
前記間隔調節ユニットは、前記第２スクライブユニットを移動させる前記移動ユニットの支持台を前記第１方向に沿って移動させる駆動器を備えることを特徴とする請求項１５に記載の基板切断装置。
前記スクライブユニットは、前記支持部材が移動する経路上に提供され、前記支持部材が直線移動する第１方向に垂直な第２方向に沿って並列に配置されることを特徴とする請求項１３に記載の基板切断装置。
前記間隔調節ユニットは、
前記スクライブユニットの各々を前記第２方向に直線移動させる駆動部材と、
前記第２方向に沿って直線上に配置され、前記スクライブユニットの直線移動を案内するガイド部材と、を備えることを特徴とする請求項１８に記載の基板切断装置。
前記駆動部材は、
前記スクライブユニットに各々連結したブラケットと、
前記ブラケットのすべてに挿入され、前記ガイド部材と平行をなすように配置されるリードスクリューと、
前記リードスクリューを各々回転させる駆動器と、を備え、
前記ブラケットには、前記リードスクリューのうちの何れか一つのリードスクリューとネジ結合されるように雌ネジ部が形成されることを特徴とする請求項１９に記載の基板切断装置。
前記支持部材は、
前記第１方向に直線移動可能な下部板と、
前記母基板が置かれ、かつ前記下部板の上部に結合される上部板と、
前記下部板上にて前記上部板を回転させる回転駆動部材と、を備えることを特徴とする請求項１３に記載の基板切断装置。
互いに並列に配置された複数のスクライブユニットを利用して、母基板に同時に互いに平行である複数のスクライブラインを形成するものの、
前記母基板に形成しようとするスクライブラインの方向が変わる場合、前記複数のスクライブユニット間の間隔を調節することを特徴とするスクライブ方法。
前記母基板に生成しようとするスクライブラインの方向を変えることは、前記母基板を支持する支持部材を９０度回転させることによってなされることを特徴とする請求項２２に記載のスクライブ方法。
前記スクライブユニットは、前記支持部材が移動する経路上に提供され、前記支持部材が直線移動する第１方向に沿って並列に配置され、
前記スクライブラインは、前記母基板を固定し、前記複数のスクライブユニットを前記第１方向に垂直な第２方向に沿って直線移動させつつ形成されることを特徴とする請求項２２に記載のスクライブ方法。
前記スクライブユニットは、前記支持部材が移動する経路上に提供され、前記支持部材が直線移動する第１方向に垂直な第２方向に沿って並列に配置され、
前記スクライブラインは、前記複数のスクライブユニットを固定し、前記母基板を前記第１方向に沿って直線移動させつつ形成されることを特徴とする請求項２２に記載のスクライブ方法。
前記スクライブユニットの各々は、２個のスクライバーを備え、
前記スクライブユニットのスクライバーは、互いに反対方向にスクライブラインを形成することを特徴とする請求項２２に記載のスクライブ方法。