KR101134655B1 - 기판 커팅 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 커팅 장치 및 기판 커팅 방법을 제공한다. 본 발명의 기판 커팅 장치는 기판을 제1방향으로 커팅하는 제1커팅부 및 제1방향으로 커팅된 기판을 제1방향과 수직한 제2방향으로 커팅하는 제2커팅부를 포함한다. 제1커팅부는 기판의 가운데 영역을 지지하는 제1이송벨트 및 제2방향을 따라 제1이송벨트의 양측에 배치되며 기판의 가장자리부를 지지하는 제1스테이지를 포함한다. 제1방향으로 스크라이브 라인은 기판의 가장자리부가 제1스테이지에 진공흡착 또는 분사된 가스에 의해 이격되어 형성된다. 제1스테이지는 기판의 가장자리부를 진공흡착하여 제2방향으로 제1이송벨트로부터 멀어지도록 이동하여 스크라이브 라인을 따라 기판을 분리한다.

기판, 스크라이빙, 스크라이브 라인, 스크라이버

Description

기판 커팅 장치{SUBSTRATE CUTTING APPARATUS}

본 발명은 평판 디스플레이 패널의 제조에 사용되는 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판에 스크라이브 라인을 형성하여 기판을 커팅하는 장치 및 방법에 관한 것이다.

최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 기기는 가동된 정보를 표시하는 디스플레이(Display)를 가진다. 종래에는 디스플레이로서 주로 브라운관(Cathode Ray Tube) 모니터가 사용되었으나, 최근에는 가볍고 공간을 작게 차지하는 박막 트랜지스터-액정 디스플레이(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display Panel)나 유기 다이오드 디스플레이(Organic Light Emitting Diodes display)와 같은 평판 디스플레이의 사용이 증대하고 있다.

일반적으로, 평판 디스플레이 등에 사용되는 패널은 보통 취성 기판을 이용하여 제작되며, 패널은 한 장으로 구성된 단판 기판이나 2장의 기판이 접합된 접합 기판으로 대별된다.

기판을 커팅하는 방법은 스크라이브 휠을 기판에 접촉하여 사각 형상의 커팅 예정선을 따라 소정 깊이의 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성한 후, 기판에 물리적인 충격을 가하여 스크라이브 라인을 따라 크랙(Crack)이 전파되도록 함으로써 이루어 진다.

최근, 평판 디스플레이 등에 사용되는 패널이 대형화됨에 따라, 기판을 커팅하기 위한 장치도 대형화되어 가고 있다. 또한, 사각 형상의 커팅 예정선을 따라 기판을 커팅하기 위하여 기판을 회전시키기 위한 회전 유닛이 요구된다. 회전유닛은 기판 커팅 장치의 대형화의 원인이 된다.

또한, 종래의 기판 커팅은 기판의 커팅면이 손상되는 문제가 있다. 도 9는 종래 기술에 의한 기판을 분리하는 공정을 나타내는 도면이다. 도 9를 참조하면, 기판(P)으로부터 필렛(fillet, P1)의 분리는 기판(P)의 상면에서 내부로 형성된 수직 방향의 크랙(C)과 나란한 방향으로 힘(F)을 작용하여 필렛(P1)을 상부방향으로 꺽어 분리하였다. 이에 의할 경우, 분리되는 필렛(P1)의 커팅면과 기판(P)의 커팅면이 충돌하여 기판(P)의 커팅면에 균열이 발생한다.

본 발명은 기판을 효과적으로 커팅할 수 있는 기판 커팅 장치 및 방법을 제공한다.

또한, 본 발명은 다양한 크기의 기판을 커팅할 수 있는 기판 커팅 장치 및 방법을 제공한다.

또한, 본 발명은 기판 커팅 장치의 크기를 줄일 수 있는 기판 커팅 장치를 제공한다.

또한, 본 발명은 공정 속도를 향상시킬 수 있는 기판 커팅 장치 및 방법을 제공한다.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명은 기판을 커팅하는 기판 커팅 장치를 제공한다. 본 발명의 기판 커팅 장치는 상기 기판을 제1방향으로 이송하는 제1이송벨트; 상부에서 바라볼 때, 상기 제1방향과 수직한 제2방향을 따라 상기 제1이송벨트의 양측에 각각 상기 제1방향과 나란하도록 배치되는, 그리고 홀들이 형성된 제1스테이지들; 상기 홀들에 기 설정된 압력을 제공하는 제1압력 조절부; 및 상기 제1스테이지의 상부에 배치되며, 상기 제1스테이지에 의해 지지된 상기 기판의 영역에 스크라이브 라인을 형성하도록 제공된 제1스크라이빙 유닛을 포함한다.

상기 제1스크라이빙 유닛은 상기 제1스테이지와 나란한게 배치되는 제1가이드부재; 및 상기 제1가이드 부재를 따라 이동하며, 상기 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 제1스크라이버를 포함한다. 상기 제1스테이지들의 상면은 그 길이방향을 따라 평평한 부분을 구비하고, 상기 제1스크라이버는 상기 평평한 부분과 대향하는 위치에 구비되는 휠을 포함한다.

상기 제1압력조절부는 가스압에 의해 상기 기판의 영역이 지지되도록 상기 홀들에 가스를 공급하는 가스 공급부를 더 포함한다. 상기 제1압력조절부는 진공에 의해 상기 기판의 영역을 상기 제1스테이지에 밀착시키도록 상기 홀들의 내부를 감압하는 감압부재를 더 포함한다. 상기 제1압력조절부는 가스압에 의해 상기 기판의 영역이 지지되도록 상기 홀들 중 일부에 가스를 공급하는 가스 공급부; 진공에 의해 상기 기판의 영역을 상기 제1스테이지에 밀착시키도록 상기 홀들 중 다른 일부의 내부를 감압하는 감압부재를 더 포함한다.

상기 제1이송벨트의 상면은 상기 제1스테이지들의 상면보다 높게 제공된다.

상기 제1스테이지들을 상기 제1이송벨트로부터 멀어지도록 각각 상기 제2방향으로 이동시키는 제1구동부를 더 포함한다. 각각의 상기 제1스테이지들은 상기 제1방향과 나란한 축을 중심으로 회전가능하다.

상기 제1스테이지들을 상기 제1이송벨트로부터 멀어지도록 각각 제2방향으로 이동시키고, 이동된 상기 제1스테이지를 제1방향과 나란한 축을 중심으로 회전시키는 제1구동부를 더 포함한다.

상기 제1스크라이빙 유닛은 상기 제1가이드 부재의 길이방향과 상기 제1방향 간의 각도가 조절되도록 상기 제1가이드 부재를 회전시키는 제1각도 조절 유닛을 더 포함한다. 상기 제1스크라이빙 유닛은 상기 제1이송벨트를 중심으로 상기 제1가이드부재와 대칭되도록 상기 제1스테이지의 상부에 배치되는 제2가이드 부재; 및 상기 제2가이드 부재를 따라 이동하며, 상기 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이버를 더 포함한다. 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 독립적으로 구동된다.

본 발명의 실시예에 따른 기판 커팅 장치는 상기 기판이 이송되는 제1방향으로 상기 기판을 커팅하는 제1커팅부; 상기 제1커팅부와 상기 제1방향으로 배치되며, 상기 제1커팅부에서 커팅된 상기 기판을 커팅하는 제2커팅부를 포함하되, 상기 제1커팅부는 상기 기판을 상기 제1방향으로 이송하는 제1이송벨트; 상부에서 바라볼 때, 상기 제1방향과 수직한 제2방향을 따라 상기 제1이송벨트의 양측에 각각 상기 제1방향과 나란하도록 배치되는, 그리고 홀들이 형성된 제1스테이지들; 상기 홀들에 기 설정된 압력을 제공하는 제1압력조절부; 및 상기 제1스테이지의 상부에 배치되며, 상기 제1스테이지에 의해 지지된 기판의 영역에 제1스크라이브 라인을 형성하는 제1스크라이빙 유닛을 포함하며, 상기 제1스크라이빙 유닛은 상기 제1스테이지와 나란한게 배치되는 제1가이드부재; 및 상기 제1가이드 부재를 따라 이동하며, 상기 기판에 상기 제1스크라이브 라인을 형성하는 제1스크라이버를 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제2커팅부는 상기 제1커팅부에서 이송된 상기 기판을 상기 제1방향으로 이송하는 제2이송벨트; 및 상기 제1방향을 따라 상기 제2이송벨트의 양측에 각각 상기 제2방향과 나란하도록 배치되는, 그리고 홀 들이 형성된 제2스테이지들; 상기 제2스테이지들에 형성된 홀들에 기 설정된 압력을 제공하는 제2압력조절부; 및 상기 제2스테이지의 상부에 배치되며, 상기 기판에 제2스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이빙 유닛을 포함하며, 상기 제2스크라이빙 유닛은 상기 제2스테이지들과 나란하게 배치되는 제3가이드부재; 및 상기 제3가이드 부재를 따라 이동하며, 상기 기판에 상기 제2스크라이브 라인을 형성하는 제3스크라이버를 포함한다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 스크라이브 장치는 상기 제1커팅부와 상기 제2커팅부 사이에 배치되며, 상기 기판을 회전시키는 회전 유닛을 더 포함하며, 상기 제2커팅부는 상기 회전 유닛에서 회전된 상기 기판을 상기 제1방향으로 이송하는 제2이송벨트; 및 상기 제2방향을 따라 상기 제2이송벨트의 양측에 각각 상기 제1방향과 나란하도록 배치되는, 그리고 홀들이 형성된 제2스테이지들; 상기 제2스테이지들에 형성된 홀들에 기 설정된 압력을 제공하는 제2압력조절부; 및 상기 제2스테이지의 상부에 배치되며, 상기 기판에 제2스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이빙 유닛을 포함하며, 상기 제2스크라이빙 유닛은 상기 제2스테이지들과 나란하게 배치되는 제3가이드 부재; 및 상기 제3가이드 부재를 따라 이동하며, 상기 기판에 상기 제2스크라이브 라인을 형성하는 제3스크라이버를 포함한다.

상기 회전 유닛은 상기 제1방향으로 배치되며 그 길이 방향으로 회전가능한 제1밸트; 상기 제2방향을 따라 상기 제1벨트의 양측에 제2방향으로 배치되며, 그 길이 방향으로 회전가능한 제2밸트; 상기 제1밸트 및 상기 제2밸트를 기 설정된 각도로 회전시키는 구동모터를 포함한다. 상기 제1밸트는 승강가능하다.

상기 제1압력조절부와 상기 제2압력조절부 각각은 가스압에 의해 상기 기판의 영역이 지지되도록 상기 홀들에 가스를 공급하는 가스 공급부를 더 포함한다. 상기 제1압력조절부와 상기 제2압력조절부 각각은 진공에 의해 상기 기판의 영역을 상기 제1스테이지에 밀착시키도록 상기 홀들의 내부를 감압하는 감압부재를 더 포함한다.

상기 제1압력조절부는 가스압에 의해 상기 기판의 영역이 지지되도록 상기 홀들 중 일부에 가스를 공급하는 가스 공급부; 진공에 의해 상기 기판의 영역을 상기 제1스테이지에 밀착시키도록 상기 홀들 중 다른 일부의 내부를 감압하는 감압부재를 더 포함한다.

상기 제2스테이지들을 각각 제1방향으로 이동시키는 제2구동부를 더 포함한다. 각각의 상기 제2스테이지들은 제2방향과 나란한 축을 중심으로 회전가능하다.

상기 제2커팅부는 상기 기판을 정렬하는 어라인 부재들을 더 포함하되, 상기 어라인 부재들은 제2방향을 따라 상기 제2스테이지들에 설치된다.

상기 제2스크라이빙 유닛은 상기 제2이송벨트를 중심으로 상기 제3가이드부재와 대칭되도록 상기 제2스테이지의 상부에 배치되는 제4가이드 부재; 상기 제4가이드 부재를 따라 이동하며, 상기 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 제4스크라이버를 더 포함한다. 상기 제3스크라이버와 상기 제4스크라이버는 독립적으로 구동된다.

또한, 본 발명은 기판을 커팅하는 기판 커팅 방법을 제공한다. 본 발명의 기판 커팅 방법은 상기 기판의 가운데 영역은 제1이송벨트에 의해 지지되며, 상기 기 판의 가장자리부는 상기 제1이송벨트의 양측에 상기 제1방향으로 나란하게 배치되는 제1스테이지들에 의해 지지되도록 상기 기판을 상기 제1이송벨트 및 상기 제1스테이지 상에 로딩시키는 단계; 및 상기 제1스테이지에 형성된 홀들에 기 설정된 압력을 제공한 상태에서 상기 제1스테이지들에 의해 지지되는 상기 기판의 가장자리부에 상기 제1방향으로 제1스크라이브 라인을 형성하는 단계를 포함한다.

상기 기판 커팅 방법은 상기 기판을 제1이송벨트에 로딩시키는 단계 이전에, 상기 제1이송벨트로 상기 기판을 이송하는 단계를 더 포함하되, 상기 제1이송벨트로 상기 기판을 이송하는 단계는 상기 기판의 일단이 상기 제1스테이지들의 상부로 진입하면, 상기 홀들에서 상기 기판의 가장자리부로 가스를 분사시켜 상기 기판의 가장자리부를 상기 제1스테이지의 상면으로부터 이격시키고, 상기 기판의 가운데 영역은 상기 제1이송벨트와 접촉된 상태에서 이송된다.

상기 기판 커팅 방법은 상기 제1스크라이브 라인을 형성하는 단계 이후에, 상기 제1스크라이브 라인을 따라 상기 기판을 1차 분리하는 제1커팅 단계를 더 포함하되, 상기 제1커팅 단계는 상기 제1스테이지들이 상기 기판의 가장지리부를 진공흡착하여 상부에서 바라볼 때 상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 이동한다.

상기 제1커팅 단계는 각각의 상기 제1스테이지들이 상기 제1이송벨트로부터 멀어지도록 이동한다. 상기 제1커팅 단계는 상기 제1스테이지들이 상기 제2방향으로 이동한 후, 상기 제1방향과 나란한 축을 중심으로 회전하는 단계를 더 포함한다.

일 실시예에 의하면, 상기 제1스크라이브 라인을 형성하는 단계는 상기 기판 의 가장자리부가 상기 제1스테이지에 진공흡착된 상태에서 이루어진다.

다른 실시예에 의하면, 상기 제1스크라이브 라인을 형성하는 단계는 상기 기판의 가운데 영역이 상기 제1이송벨트에 지지되며, 상기 기판의 가장자리부가 상기 홀들에서 분사된 가스에 의하여 상기 제1스테이지들로부터 이격된 상태에서 이루어진다.

상기 기판 커팅 방법은 1차 커팅된 상기 기판을 상기 제1이송벨트에서 제2이송벨트로 이송시키는 단계; 이송되는 상기 기판의 가운데 영역은 상기 제2이송 벨트에 의해 지지되며, 상기 기판의 가장자리부는 상기 제1방향을 따라 상기 제2이송벨트의 양측에 상기 제1방향과 수직한 제2방향과 나란하게 배치되는 제2스테이지들에 지지되도록 상기 기판을 로딩시키는 단계; 상기 제2스테이지에 형성된 홀들에 기 설정된 압력을 제공한 상태에서 상기 제2스테이지들에 의해 지지되는 상기 기판의 가장자리부에 상기 제2방향으로 제2스크라이브 라인을 형성하는 단계를 더 포함한다.

상기 기판을 상기 제2이송벨트로 이송시키는 단계는 상기 제1스테이지에 지지되는 상기 기판의 가장자리부가 상기 제1스테이지의 홀들에서 분사된 가스에 의하여 상기 제1스테이지들로부터 이격된다.

상기 기판 커팅 방법은 상기 제2스크라이브 라인을 형성하는 단계 이후에, 상기 제2스크라이브 라인을 따라 상기 기판을 2차 커팅(cutting)하는 제2커팅 단계를 더 포함하되, 상기 제2커팅 단계는 상기 제2스테이지들이 상기 기판의 가장지리부를 진공흡착하여 상기 제1방향으로 이동한다.

일 실시예에 의하면, 상기 제2스크라이브 라인을 형성하는 단계는 상기 기판의 가장자리부가 상기 제2스테이지에 진공흡착된 상태에서 이루어 진다.

다른 실시예에 의하면, 상기 제2스크라이브 라인을 형성하는 단계는 상기 기판의 가운데 영역이 상기 제2이송벨트에 지지되며, 상기 기판의 가장자리부가 상기 제2스테이지의 홀들에서 분사된 가스에 의하여 상기 제2스테이지들로부터 이격된다.

본 발명에 의하면, 상부에서 바라볼 때 스크라이브 라인에 수직한 방향으로 기판을 분리하므로 기판을 효과적으로 커팅할 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 기판을 회전시키는 회전유닛 없이 기판을 커팅할 수 있으므로, 기판 커팅 장치의 크기를 줄일 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 기판의 회전없이 기판을 커팅할 수 있으므로, 기판의 회전으로 인한 공정시간 증가를 예방할 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 다양한 크기의 기판을 커팅시킬 수 있다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면, 도 1 내지 도 8b 를 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조 하기 위해 과장되었다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판(P) 커팅 장치(1000)를 개략적으로 나타내는 평면도이다.

도 1을 참조하면, 기판 커팅 장치(1000)는 기판(P)이 로딩되는 로딩부(100), 로딩부(100)에서 이송된 기판(P)을 제1방향(11)으로 커팅하는 제1커팅부(200), 제1커팅부(200)와 제1방향(11)으로 배치되며, 제1커팅부(200)에서 커팅된 기판(P)을 커팅하는 제2커팅부(300), 그리고 커팅 공정이 완료된 기판(P)이 언로딩되는 언로딩부(400)를 포함한다. 실시예에 의하면, 로딩부(100), 제1커팅부(200), 제2커팅부(300), 그리고 언로딩부(100)는 제1방향(11)으로 일렬로 배치된다. 기판(P)은 평판 디스플레이용 패널의 일종인 박막 트랜지스터-액정 디스플레이(Thin Film Transistor - Liquid Crystal Display, TFT-LCD)용 패널이거나 유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diodes, OLED) 디스플레이용 패널 등일 수 있다. 이하, 각 구성에 대하여 자세하게 설명한다.

이송로봇(미도시)에 의해 이송된 기판(P)은 로딩부(100)에 로딩되어 기판(P) 커팅 공정에 제공된다. 로딩부(100)는 기판(P)을 지지하며, 지지된 기판(P)을 제1방향(11)으로 제1커팅부(200)로 이송시키는 이송벨트를 구비한다.

도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 제1커팅부(200)를 나타내는 사시도이고, 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 제1커팅부(200)를 나타내는 단면도이고, 도 2c는 본 발명의 실시예에 따른 제1스테이지를 나타내는 사시도이다.

도 1 내지 도 2c를 참조하면, 제1커팅부(200)는 로딩부(100)에서 이송된 기판(P)을 제1방향(11)으로 커팅한다. 구체적으로, 제1커팅부(200)는 기판(P)을 제1방향(11)으로 이송하는 제1이송벨트(210), 이송된 기판(P)을 지지하는 제1스테이지들(220), 제1스테이지들(220)에 형성된 홀들(224)에 기 설정된 압력을 제공하는 제1압력조절부(225), 그리고, 기판(P)에 스크라이브 라인을 형성하는 제1스크라이빙 유닛(240)을 포함한다.

제1이송벨트(210)는 제1방향(11)을 따라 서로 이격하여 배치된 복수개의 샤프트(미도시)에 의해 제1방향(11)으로 회전하는 벨트타입(belt type)으로, 기판(P)을 제1방향(11)으로 이송한다. 제1이송벨트(210)는 제2방향(12)의 폭이 기판(P)의 폭보다 좁게 제공된다. 제1이송벨트(210)는 기판(P)이 이송되는 도중 기판(P)의 가장지리부가 후설하는 제1스테이지들(220)과 부딪치지 않도록 그 상면이 제1스테이지들(220)의 상면보다 높게 제공된다. 제1이송벨트(210)는 제1커팅부(200)에서 기판(P)에 대한 스크라이빙 공정이 진행되는 동안 기판(P)의 가운데 영역을 지지한다.

각각의 제1스테이지들(220)은 사각기둥형상으로, 제2방향(12)을 따라 제1이송벨트(210)의 양측에 각각 제1방향(11)과 나란하도록 배치되며, 기판(P)의 커팅 공정이 진행되는 동안 기판(P)을 지지한다. 제1스테이지들(220)의 상면은 그 길이방향을 따라 평평한 부분(221)을 구비한다. 구체적으로, 기판(P)의 가장자리부가 제1스테이지들(220) 상면의 평평한 부분(221)에 지지되며, 평평한 부분(221)에 대향하여 제1스테이지들(220)의 상부에 구비되는 제1스크라이버(250a)의 휠에 의하여 기판(P)의 가장자리부에 제1방향(11)으로 스크라이브 라인이 형성된다.

각각의 제1스테이지들(220)에는 길이방향을 따라 홀들(224)이 형성된다. 홀들(224)은 후술하는 제1압력조절부(225)와 연결되어 기 설정된 압력을 유지한다. 바람직하게는, 제1스테이지들(220) 상면의 평평한 부분(221)에 홀들(224)이 형성된다. 실시예에 의하면, 홀들(224)은 제1스테이지들(220)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부로 가스를 분사하여 제1스테이지들(220)로부터 기판(P)의 가장자리부를 이격시킨다. 또는, 홀들(224)의 내부를 감압하여 제1스테이지들(220)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부를 제1스테이지들(220)에 진공흡착시킨다. 다른 실시예에 의하면, 선택적으로 홀들(224) 중 일부(224a)는 제1스테이지들(220)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부로 가스를 분사하여 제1스테이지들(220)로부터 기판(P)의 가장자리부를 이격시키고, 나머지 일부(224b)는 그 내부를 감압하여 제1스테이지들(220)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부를 제1스테이지들(220)에 진공흡착시킨다.

각각의 제1스테이지들(220)은 제1방향(11)과 나란한 축을 중심으로 회전가능하도록 제공되며, 제1스테이지들(220)은 제1구동부(222)와 연결된다. 제1구동부(222)는 제1스테이지들(220)을 제1이송벨트(210)로부터 멀어지도록 제2방향(12)으로 이동시키고, 이동된 제1스테이지들(220)을 제1방향(11)과 나란한 축을 중심으로 회전시킨다. 제1스크라이버(250a)의 휠에 의해 기판(P)의 가장자리부에 제1방향(11)으로 스크라이브 라인이 형성되면, 홀들(224)의 내부가 감압되어 기판(P)의 가장자리부가 제1스테이지들(220)에 진공흡착된다. 각각의 제1스테이지들(220)은 기판(P)의 가장자리부의 흡착을 유지한 상태로 제1이송벨트(210)로부터 멀어지도록 제2방향(12)으로 이동하여 스크라이브 라인을 따라 기판(P)을 분리한다. 제2방향(12)으로 이동된 각각의 제1스테이지들(220)은 기판(P)의 진공흡착을 멈추고, 제1방향(11)과 나란한 축을 중심으로 회전하여 커팅된 기판(P)의 일부를 아래로 떨어뜨린다.

제1압력조절부(225)는 제1스테이지들(220)에 형성된 홀들(224)과 연결되며, 홀들(224)에 기 설정된 압력을 제공한다. 제1압력조절부(225)는 제1가스공급부(미도시)와 제1감압부재(미도시)를 포함한다. 제1가스공급부는 제1스테이지들(220)에 의해 지지되는 기판(P)의 영역이 가스압에 의해 지지되도록 홀들(224)에 가스를 공급한다. 제1가스공급부는 제1이송벨트(210)로 이송되는 기판(P)의 일단이 제1스테이지들(220)의 상부로 진입하면, 기판(P)의 가장자리부로 가스를 분사시켜 기판(P)의 가장자리부를 제1스테이지들(220)의 상면으로부터 이격시킨다. 또한, 제1가스공급부는 제1커팅부(200)에서 1차 커팅된 기판(P)을 제1이송벨트(210)로부터 후술하는 제2커팅부(300)의 제2이송벨트(310)로 이송시키는 경우, 제1스테이지들(220)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부에 가스를 분사하여 기판(P)의 가장자리부를 제1스테이지들(220)로부터 이격시킨다. 또한, 제1가스공급부는 제1스크라이빙 유닛(240)이 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 기판(P)에 형성하는 공정에서, 제1스테이지들(220)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부로 가스를 분사하여, 기판(P)의 가운데 영역이 제1이송벨트(210)에 의해 지지되고, 기판(P)의 가장자리부가 제1스테이지들(220)로부터 이격되도록 한다. 제1감압부재는 제1스테이지들(220) 에 의해 지지되는 기판(P)의 영역이 진공에 의해 제1스테이지들(220)에 밀착되도록 홀들(224)의 내부를 감압시킨다. 제1감압부재는 제1스크라이빙 유닛(240)이 제1방향(11)으로 스트라이브 라인을 기판(P)을 형성하는 공정에서, 홀들(224)의 내부를 감압하여 제1스테이지들(220)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부가 제1스테이지들(220)에 흡착된 상태에서 스크라이브 라인이 형성되도록 한다. 또한, 제1감압부재는 제1스테이지들(220)이 제1이송벨트(210)로부터 멀어지도록 제2방향(12)으로 이동하여 스크라이브 라인을 따라 기판(P)을 분리하는 공정에서, 홀들(224)의 내부를 감압하여 기판(P)의 가장자리부가 제1스테이지들(220)에 흡착되도록 한다.

제1스크라이빙 유닛(240)은 제1스테이지들(220)의 상부에 배치되며, 제1스테이지들(220)에 의해 지지된 기판(P)의 영역에 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성한다. 제1스크라이빙 유닛(240)은 제1, 2가이드부재(231, 241), 제1, 2스크라이버(250a, 250b), 제1,2지지축(232, 242), 그리고 제1각도 조절 유닛(235)을 포함한다.

제1가이드부재(231)는 바(bar)형상으로 제1방향(11)으로 제1스테이지(220a)와 나란하게 길게 배치된다. 제1가이드부재(231)는 제1스크라이버(250a)가 제1방향(11)으로 직선 이동되도록 안내한다. 제1가이드부재(231)는 그 길이방향의 양측면에는 각각 제1방향(11)으로 길게 홈이 형성된다. 제1가이드부재(231)의 일측 하단에는 제1가이드부재(231)를 지지하는 제1지지축(232)이 구비된다. 제1지지축(232)은 후술하는 제1각도조절유닛(235)에 의하여, 제1가이드부재(231)의 길이방향과 제1방향(11)간의 각도가 조절될 수 있도록, 그 길이방향을 축으로 회전된다.

제1스크라이버(250a)는 제1브라켓(233)에 의해 제1가이드부재(231)와 결합한다. 제1브라켓(233)의 일단에는 제1가이드부재(231)의 양측면에 형성된 홈에 삽입되는 돌기가 형성된다. 제1브라켓(233)은 제1스크라이버(250a)를 지지하며, 제1가이드부재(231)에 형성된 홈을 따라 제1방향(11)으로 직선이동한다.

제1스크라이버(250a)는 제1브라켓(233)에 이동에 의하여 제1가이드부재(231)를 따라 제1방향(11)으로 이동하며, 기판(P)에 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성한다.

도 2d는 본 발명의 실시예에 따른 제1스크라이버를 나타내는 사시도이고, 도2e는 본 발명의 실시예에 따른 제1스크라이버의 일부분을 나타내는 단면도이다.

도 2d 및 도 2e를 참조하면, 제1스크라이버(250a)는 휠(wheel, 252), 지지체(254), 누름부재(256) 그리고 진동자(255)를 갖는다.

휠(252)은 제1스테이지(220a) 상면의 평평한 부분(221)과 대향하는 위치에 구비된다. 휠(252)은 스크라이브 라인을 형성하는 공정에서 기판(P)과 접촉하여 기판(P)의 표면을 따라 구르면서 기판(P)에 스크라이브 라인을 형성한다. 구체적으로, 휠(252)은 제1스테이지(220a)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부에 스크라이브 라인을 형성한다. 휠(252)로는 다이아몬드 재질의 휠(wheel)이 사용될 수 있다. 휠(252)의 중앙에는 원형의 통공이 형성되며, 휠(252)의 에지는 날카롭게 제공된다. 휠(252)은 지지체(254)에 지지된다. 지지체(254)는 몸체(254a)와 축 핀(254b)을 가진다. 몸체(254a)의 하면에는 일 방향으로 몸체(254a)를 관통하는 홈이 형성된다. 축 핀(254b)은 단면이 원형인 긴 로드 형상을 가진다. 축 핀(254b)은 홈의 길이 방향과 수직한 방향으로 홈내에 위치된다. 축 핀(254b)의 양단은 몸체(254a)에 고정 설치된다. 축 핀(254a)은 휠(252)에 형성된 통공을 관통한다. 휠(252)이 축 핀(254b)에 의해 지지될 때, 휠(252)은 일부는 홈 내에 위치되고, 일부는 지지체(254)의 아래로 돌출된다. 누름 부재(256)는 휠(252)과 기판(P)의 접촉시 휠(252)이 일정 힘으로 기판(P)을 누를 수 있도록 휠(252)을 가압한다. 일 예에 의하면, 누름 부재(256)는 지지체(254)의 상부에 위치되어 공압을 이용하여 지지체(254)를 아래 방향으로 누름으로써 휠(252)을 가압한다. 진동자(255)는 스크라이브 라인을 형성하는 공정 진행시 휠(252)에 진동을 인가한다. 진동자(252)는 몸체 내부에 장착되며, 진동자(252)로는 초음파 진동자(megasonic transducer)가 사용될 수 있다.

다시 도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 제2가이드부재(241)는 바(bar)형상으로 제1이송벨트(210)를 중심으로 제1가이드부재(231)와 대칭되도록 제1스테이지(220b) 상부에 배치된다. 제2가이드부재(241)는 제2스크라이버(250b)가 제1방향(11)으로 직선 이동되도록 안내한다. 제2가이드부재(241)는 그 길이방향의 양 측면에 제1방향(11)으로 길게 홈이 형성된다. 제2가이드부재(241)의 일측 하단에는 제2가이드부재(241)를 지지하는 제2지지축(242)이 구비된다. 제2지지축(242)은 후술하는 제1각도조절유닛(235)에 의하여, 제2가이드부재(241)의 길이방향과 제1방향(11)간의 각도가 조절될 수 있도록, 그 길이방향을 축으로 회전된다.

제2스크라이버(250b)는 제2브라켓(243)에 의해 제2가이드부재(241)와 결합한다. 제2브라켓(243)의 일단에는 제2가이드부재(241)의 양측면에 형성된 홈에 삽입 되는 돌기가 형성된다. 제2브라켓(243)은 제2스크라이버(250b)를 지지하며, 제1가이드부재(231)에 형성된 홈을 따라 제1방향(11)으로 직선이동한다.

제2스크라이버(250b)는 제2브라켓(243)에 이동에 의하여 제2가이드부재(241)를 따라 제1방향(11)으로 이동하며, 기판(P)에 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성한다. 제2스크라이버(250b)는 제1스크라이버(250a)와 동일한 구성으로 제공되므로, 자세한 설명은 생략한다. 제1스크라이버(250a)와 제2스크라이버(250b)는 독립적으로 구동된다. 제1스크라이버(250a)가 어느 하나의 제1스테이지(220a)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부에 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성하는 동안, 제2스크라이버(250b)는 독립적으로 다른 하나의 제1스테이지(220b)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부에 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성한다. 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 기판(P)에 형성하는 동안, 제1스크라이버(250a)와 제2스크라이버(250b)는 제2방향(12)을 따라 동일선상에 위치하지 않을 수 있다. 또한, 제1, 2스크라이버(220a, 220b)가 서로 상이한 가이드 부재(231, 241)를 따라 제1방향(11)으로 이동하므로, 스크라이브 라인을 기판(P)에 형성하는 동안 어느 하나의 스크라이버(220a)에서 발생하는 진동등은 다른 스크라이버(220b)에 영향을 미치지 않는다.

제1각도조절유닛(235)은 제1가이드부재(231)의 길이방향과 제1방향(11)간의 각도가 조절되도록 제1가이드부재(231)를 회전시킨다. 또한, 제1각도조절유닛(235)은 제2가이드부재(241)의 길이방향과 제1방향(11)간의 각도가 조절되도록 제2가이드부재(241)를 회전시킨다. 제1각도조절유닛(235)은 제1지지축(232)을 회전시켜 제 1가이드부재(231)의 길이방향이 기판(P)상에 형성하고자 하는 스크라이브 라인과 나란하도록 위치시킨다. 그리고, 제2지지축(242)을 회전시켜 제2가이드부재(241)의 길이방향이 기판(P)상에 형성하고자 하는 스크라이브 라인과 나란하도록 위치시킨다.

도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 제2커팅부(200)를 나타내는 사시도이고, 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 제2커팅부(200)를 나타내는 단면도이고, 도 3c는 본 발명의 실시예에 따른 제2스테이지(320)를 나타내는 사시도이다.

도 3a 내지 도3c를 참조하면, 제2커팅부(300)는 제1커팅부(200)와 제1방향(11)으로 배치되며, 제1커팅부(200)에서 커팅된 기판(P)을 커팅한다.

제2커팅부(300)는 제1커팅부(200)에서 이송된 기판(P)을 제1방향(11)으로 이송하는 제2이송벨트(310), 제1방향(11)을 따라 제2이송벨트(310)의 양측에 각각 제2방향(12)과 나란하도록 배치되며 기판(P)을 지지하는 제2스테이지들(320), 이송된 기판(P)을 정렬하는 어라인 부재들(327, 328), 제2스테이지들(320)에 형성된 홀들(324)에 기 설정된 압력을 제공하는 제2압력조절부(325), 그리고, 제2스테이지들(320)의 상부에 배치되며 제2방향(12)으로 기판(P)에 스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이빙 유닛(330, 340)을 포함한다.

제2이송벨트(310)는 제1방향(11)으로 서로 이격하여 배치된 복수개의 샤프트(미도식)에 의해 회전하는 벨트타입으로, 기판(P)을 제1방향(11)으로 이송한다. 제2이송벨트(310)는 제1방향(11)의 폭이 기판(P)의 폭보다 좁게 제공된다. 제2이송벨트(310)는 기판(P)이 이송되는 도중 기판(P)의 가장지리부가 후설하는 제2스테이 지들(320)과 부딪치지 않도록 그 상면이 제2스테이지들(320)의 상면보다 높게 제공된다. 제2이송벨트(310)는 제2커팅부(300)에서 기판(P)에 대한 스크라이브 공정이 진행되는 동안 기판(P)의 가운데 영역을 지지한다.

각각의 제2스테이지들(320)은 사각기둥형상으로, 제1방향(11)을 따라 제2이송벨트(310)의 양측에 각각 제2방향(12)과 나란하도록 배치된다. 제2스테이지들(320)은 기판(P)의 커팅 공정이 진행되는 동안 기판(P)의 가장자리부를 지지한다. 제2스테이지들(320)의 상면은 그 길이방향을 따라 평평한 부분(321)을 구비한다. 구체적으로, 제2스테이지들(320) 상면의 평평한 부분(321)에 기판(P)의 가장자리부가 지지되며, 평평한 부분(321)에 대향하여 제2스테이지들(320)의 상부에 구비되는 제2스크라이빙 유닛(330, 340)에 의하여 기판(P)의 가장자리부에 제2방향(12)으로 스크라이브 라인이 형성된다.

각각의 제2스테이지들(320)에는 길이방향을 따라 홀들(324)이 형성된다. 홀들(324)은 후술하는 제2압력조절부(325)와 연결되어 기 설정된 압력을 유지한다. 바람직하게는, 제2스테이지들(320) 상면의 평평한 부분(321)에 홀들(324)이 형성된다. 실시예에 의하면, 홀들(324)은 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부로 가스를 분사하여 제2스테이지들(320)로부터 기판(P)의 가장자리부를 이격시킨다. 또는, 홀들(324)의 내부를 감압하여 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부를 제2스테이지들(320)에 진공흡착시킨다. 다른 실시예에 의하면, 선택적으로 홀들(324) 중 일부(324a)는 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부로 가스를 분사하여 제2스테이지들(320)로부터 기 판(P)의 가장자리부를 이격시키고, 나머지 일부(324b)는 그 내부를 감압하여 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부를 제2스테이지들(320)에 진공흡착시킨다.

각각의 제2스테이지들(320)에는 이송된 기판(P)을 정렬하는 어라인 부재들(327, 328))이 설치된다. 어라인 부재들(327, 328)은 핀형상으로, 제2스테이지들(320)의 상면에 형성된 홈에 설치된다. 어라인 부재들(327, 328)은 구동부(미도시)의 구동에 의하여 제2스테이지들(320)의 상면에 형성된 홈에 삽입되거나 제2스테이지들(320)의 상부로 돌출된다. 구체적으로, 기판(P)이 제2스테이지들(320)을 향하여 이송되는 동안에는 어라인부재들(327, 328)이 제2스테이지들(320)의 상면에 형성된 홈에 삽입되고, 기판(P)이 제2스테이지들(320)에 로딩되면, 제2스테이지들(320)의 상부로 상승하여 기판(P)을 정렬한다. 실시예에 의하면, 어라인 부재들(327, 328)은 제2방향(12)을 따라 제2스테이지들(320)에 설치되는 제1어라인 부재(327) 및 제1방향(11)을 따라 제2스테이지들(320)에 설치되는 제2어리인 부재(328)를 포함한다. 제1어라인 부재(327)는 기판(P)의 커팅되지 않은 측면과 접촉하고, 제2어라인 부재(328)는 기판(P)의 커팅된 측면과 접촉한다. 제1, 2어라인 부재(327, 328)는 스크라이브 라인이 제2방향(12)과 나란하게 형성되도록 기판(P)을 정렬한다.

각각의 제2스테이지들(320)은 제2방향(12)과 나란한 축을 중심으로 회전가능하도록 제공되며, 각각의 제2스테이지들(320)은 제2구동부(322)와 연결된다. 제2구동부(322)는 각각의 제2스테이지들(320)을 제2이송벨트(310)로부터 멀어지도록 제1 방향(11)으로 이동시키고, 이동된 제2스테이지들(320)을 제2방향(12)과 나란한 축을 중심으로 회전시킨다. 제2스크라이빙 유닛(330, 340)에 의해 기판(P)의 가장자리부에 제2방향(12)으로 스크라이브 라인이 형성되면, 홀들(224)의 내부가 감압되어 기판(P)의 가장자리부가 제2스테이지들(320)에 진공흡착된다. 각각의 제2스테이지들(320)은 기판(P)의 가장자리부의 흡착을 유지한 상태로 제2이송벨트(310)로부터 멀어지도록 제1방향(11)으로 이동하여 스크라이브 라인을 따라 기판(P)을 분리한다. 제1방향(11)으로 이동된 각각의 제2스테이지들(320)은 기판(P)의 진공흡착을 멈추고, 제2방향(12)과 나란한 축을 중심으로 회전하여 커팅된 기판(P)의 일부를 떨어뜨린다.

제2압력조절부(325)는 제2스테이지들(320)에 형성된 홀들(324)과 연결되며, 홀들(324)에 기 설정된 압력을 제공한다. 제2압력조절부(325)는 제2가스공급부(미도시)와 제2감압부재(미도시)를 포함한다. 제2가스공급부는 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 영역이 가스압에 의해 지지되도록 홀들(324)에 가스를 공급한다. 제2가스공급부는 제2이송벨트(310)로 이송되는 기판(P)의 일단이 제2스테이지들(320)의 상부로 진입하면, 기판(P)의 가장자리부로 가스를 분사시켜 기판(P)의 가장자리부가 제2스테이지들(320)의 상면으로부터 이격시킨다. 또한, 제2가스공급부는 제2커팅부(300)에서 2차 커팅된 기판(P)을 제2이송벨트(310)로부터 후술하는 언로딩부(400)를 향하여 이송시키는 경우, 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부에 가스를 분사하여 기판(P)의 가장자리부를 제2스테이지들(320)로부터 이격시킨다. 또한, 제2가스공급부는 제2스크라이빙 유닛(330, 340) 이 제2방향(12)으로 스크라이브 라인을 기판(P)에 형성하는 공정에서, 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부로 가스를 분사하여, 기판(P)의 가운데 영역이 제2이송벨트(310)에 의해 지지되고, 기판(P)의 가장자리부가 제2스테이지들(320)로부터 이격되도록 한다. 제2감압부재는 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 영역이 진공에 의해 제2스테이지들(320)에 밀착되도록 홀들(224)의 내부를 감압한다. 제2감압부재는 제2스크라이빙 유닛(330, 340)이 제2방향(12)으로 스크라이브 라인을 기판(P)을 형성하는 공정에서, 홀들(224)의 내부를 감압하여 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부가 제2스테이지들(320)에 흡착된 상태에서 스크라이브 라인이 형성되도록 한다. 또한, 제2감압부재는 제2스테이지들(320)이 제2이송벨트(310)로부터 멀어지도록 제1방향(11)으로 이동하여 스크라이브 라인을 따라 기판(P)을 분리하는 공정에서, 홀들(224)의 내부를 감압하여 기판(P)의 가장자리부가 제2스테이지들(320)에 흡착되도록 한다.

제2스크라이빙 유닛(330, 340)은 제2스테이지들(320)의 상부에 배치되며, 제2스테이지들(320)에 의해 지지된 기판(P)의 영역에 제2방향(12)으로 스크라이브 라인을 형성한다. 제2스크라이빙 유닛(330, 340)은 제3, 4가이드부재(331, 341), 제3, 4스크라이버(350a, 350b), 제3 ,4지지축(332, 342), 그리고 제2각도조절 유닛(335)(335)을 포함한다.

제3가이드부재(331)는 바(bar)형상으로 제2방향(12)으로 제2스테이지(320a)와 나란하게 길게 배치된다. 제3가이드부재(331)는 제3스크라이버(350a)가 제2방향(12)으로 직선 이동되도록 안내한다. 제3가이드부재(331)는 그 길이방향의 양측 면에는 각각 제2방향(12)으로 길게 홈이 형성된다. 제3가이드부재(331)의 일측 하단에는 제3가이드부재(331)를 지지하는 제3지지축(332)이 구비된다. 제3지지축(332)은 후술하는 제2각도조절 유닛(335)(335)에 의하여, 제3가이드부재(331)의 길이방향과 제2방향(12)간의 각도가 조절될 수 있도록, 그 길이방향을 축으로 회전된다.

제3스크라이버(350a)는 제3브라켓(333)에 의해 제3가이드부재(331)와 결합한다. 제3브라켓(333)의 일단에는 제3가이드부재(331)의 양측면에 형성된 홈에 삽입되는 돌기가 형성된다. 제3브라켓(333)은 제3스크라이버(350a)를 지지하며, 제3가이드부재(331)에 형성된 홈을 따라 제2방향(12)으로 직선이동한다.

제3스크라이버(350a)는 제3브라켓(333)에 이동에 의하여 제3가이드부재(331)를 따라 제2방향(12)으로 이동하며, 기판(P)에 제2방향(12)으로 스크라이브 라인을 형성한다. 제3스크라이버(350a)는 제1스크라이버(250a)와 동일한 구성으로 제공되므로, 자세한 설명은 생략한다.

제4가이드부재(341)는 바(bar)형상으로 제2이송벨트(310)를 중심으로 제2가이드부재(241)와 대칭되도록 제2스테이지 상부에 배치된다. 제4가이드부재(341)는 제4스크라이버(350b)가 제2방향(12)으로 직선 이동되도록 안내한다. 제4가이드부재(341)는 그 길이방향의 양 측면에 제2방향(12)으로 길게 홈이 형성된다. 제4가이드부재(341)의 일측 하단에는 제4가이드부재(341)를 지지하는 제4지지축(342)이 구비된다. 제4지지축(342)은 후술하는 제2각도조절 유닛(335)에 의하여, 제4가이드부재(341)의 길이방향과 제2방향(12)간의 각도가 조절될 수 있도록, 그 길이방향을 축으로 회전된다.

제4스크라이버(350b)는 제4브라켓(343)에 의해 제4가이드부재(341)와 결합한다. 제4브라켓(343)의 일단에는 제4가이드부재(341)의 양측면에 형성된 홈에 삽입되는 돌기가 형성된다. 제4브라켓(343)은 제4스크라이버(350b)를 지지하며, 제4가이드부재(341)에 형성된 홈을 따라 제2방향(12)으로 직선이동한다.

제4스크라이버(350b)는 제4브라켓(343)에 이동에 의하여 제4가이드부재(341)를 따라 제2방향(12)으로 이동하며, 기판(P)에 제2방향(12)으로 스크라이브 라인을 형성한다. 제4스크라이버(350b)는 제1스크라이버(250a)와 동일한 구성으로 제공되므로, 자세한 설명은 생략한다. 제4스크라이버(350b)와 제3스크라이버(350a)는 독립적으로 구동된다. 제3스크라이버(350a)가 어느 하나의 제2스테이지(320a)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부에 제2방향(12)으로 스크라이브 라인을 형성하는 동안, 제4스크라이버(350b)는 독립적으로 다른 하나의 제2스테이지(320b)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부에 제2방향(12)으로 스크라이브 라인을 형성한다. 제2방향(12)으로 스크라이브 라인을 기판(P)에 형성하는 동안, 제3스크라이버(350a)와 제4스크라이버(350b)는 제1방향(11)을 따라 동일선상에 위치하지 않을 수 있다. 또한, 제3, 4스크라이버(350a, 350b)가 서로 상이한 가이드 부재(331, 341)를 따라 제2방향(12)으로 이동하므로, 스크라이브 라인을 기판(P)에 형성하는 동안 어느 하나의 스크라이버(350a)에서 발생하는 진동등은 다른 스크라이버(350b)에 영향을 미치지 않는다.

제2각도조절 유닛(335)(335)은 제3가이드부재(331)의 길이방향과 제2방 향(12)간의 각도가 조절되도록 제3가이드부재(331)를 회전시킨다. 또한, 제2각도조절 유닛(335)은 제4가이드부재(341)의 길이방향과 제2방향(12)간의 각도가 조절되도록 제4가이드부재(341)를 회전시킨다. 제2각도조절 유닛(335)은 제3지지축(332)을 회전시켜 제3가이드부재(331)의 길이방향이 기판(P)상에 형성하고자 하는 스크라이브 라인과 나란하도록 위치시킨다. 그리고, 제4지지축(342)을 회전시켜 제4가이드부재(341)의 길이방향이 기판(P)상에 형성하고자 하는 스크라이브 라인과 나란하도록 위치시킨다.

도 4a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 커팅 장치(1000)를 나타내는 도면이다.

도 4a를 참조하면, 기판 커팅 장치(1000)는 기판(P)이 로딩되는 로딩부(100), 로딩부(100)에서 이송된 기판(P)을 제1방향(11)으로 커팅하는 제1커팅부(200), 제1커팅부(200)와 제1방향(11)으로 배치되며, 제1커팅부(200)에서 커팅된 기판(P)을 커팅하는 제2커팅부(300), 커팅 공정이 완료된 기판(P)이 언로딩되는 언로딩부(400), 그리고 제1커팅부(200)와 제2커팅부(300) 사이에 배치되며, 기판(P)을 회전시키는 회전 유닛(500)을 포함한다. 실시예에 의하면, 로딩부(100), 제1커팅부(200), 제2커팅부(300), 언로딩부(400), 그리고 회전 유닛(500)는 제1방향(11)으로 일렬로 배치된다.

이송로봇(미도시)등에 의해 이송된 기판(P)은 로딩부(100)에 로딩되어 기판(P) 커팅 공정에 제공된다. 로딩부(100)는 기판(P)을 지지하며, 지지된 기판(P)을 제1방향(11)으로 제1커팅부(200)로 이송시키는 이송벨트를 구비한다.

도 2a 및 도 4a를 참조하면, 제1커팅부(200)는 로딩부(100)에서 이송된 기판(P)을 제1방향(11)으로 커팅한다. 구체적으로, 제1커팅부(200)는 기판(P)을 제1방향(11)으로 이송하는 제1이송벨트(210), 상부에서 바라볼때, 제1방향(11)과 수직한 제2방향(12)을 따라 제1이송벨트(210)의 양측에 각각 제1방향(11)과 나란하도록 배치되며 기판(P)을 지지하는 제1스테이지들(220), 제1스테이지들(220)에 형성된 홀들(224)에 기 설정된 압력을 제공하는 제1압력조절부(225), 그리고, 제1스테이지들(220)의 상부에 배치되며 제1방향(11)으로 기판(P)에 스크라이브 라인을 형성하는 제1스크라이빙 유닛(240)을 포함한다. 제1커팅부(200)의 각 구성은 위에서 설명한 제1커팅부(200)의구성과 동일하게 제공되므로, 자세한 설명은 생략한다.

회전 유닛(500)은 제1커팅부(200)와 제2커팅부(300) 사이에 배치되며, 기판(P)을 회전시킨다.

도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 회전유닛을 나타내는 평면도이다.

도 4a 및 도 4b를 참조하면, 회전 유닛(500)은 회전 벨트(501), 회전축(502), 그리고 구동모터(미도시)를 포함한다.

회전 벨트(501)는 기판(P)이 회전되는 동안 기판(P)을 지지하며, 회전된 기판(P)을 제2이송벨트(310)로 이송한다. 회전 벨트(501)는 제1방향(11)으로 배치되며 길이방향으로 회전가능한 제1벨트(501a) 및 제2방향(12)을 따라 제1벨트(501a)의 양측에 제2방향(12)으로 배치되며 길이방향으로 회전가능한 제2벨트(501b)를 포함한다. 제1벨트(501a)는 승강 가능하다. 제1이송벨트(210)로부터 기판(P)이 회전 벨트(501)로 이송되면, 제1벨트(501a)와 제2벨트(501b)가 기판(P)을 지지한다. 구 동모터의 구동에 의하여 제1방향(11)으로 1차 커팅된 기판(P)의 가장자리부가 제2방향(12)과 나란하게 배치되도록 회전 벨트(501)가 기 설정된 각도로 회전한다. 기판(P)이 기설정된 각도로 회전되면, 제1벨트(501a)가 하강하고, 제2벨트(501b)가 기판(P)을 제2이송벨트(310)로 이송한다. 회전축(502)은 회전 벨트(501)의 하부에 구비되며, 회전 벨트(501)를 지지 및 회전시킨다. 회전축(502)의 하단에는 구동 모터가 설치되며 회전축(502)을 기설정된 각도로 회전시킨다.

도 4c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제2커팅부를 나타내는 사시도이고, 도 4d는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제2커팅부를 나타내는 단면도이다.

도 4c 및 도 4d를 참조하면, 제2커팅부(300)는 제1커팅부(200)와 제1방향(11)으로 배치되며, 제1커팅부(200)에서 커팅된 기판(P)을 커팅한다.

제2커팅부(300)는 회전 벨트(501)에서 이송된 기판(P)을 제1방향(11)으로 이송하는 제2이송벨트(310), 제2방향(12)을 따라 제2이송벨트(310)의 양측에 각각 제1방향(11)과 나란하도록 배치되며 기판(P)을 지지하는 제2스테이지들(320), 이송된 기판(P)을 정렬하는 어라인 부재들(327, 328), 제2스테이지들(320)에 형성된 홀들(224)에 기 설정된 압력을 제공하는 제2압력조절부(325), 그리고, 제2스테이지들(320)의 상부에 배치되며 제1방향(11)으로 기판(P)에 스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이빙 유닛(330, 340)을 포함한다.

제2이송벨트(310)는 제1방향(11)으로 서로 이격하여 배치된 복수개의 샤프트에 의해 회전하는 벨트타입으로, 기판(P)을 제1방향(11)으로 이송한다. 제2이송벨트(310)는 제2방향(12)의 폭이 기판(P)의 폭보다 좁게 제공된다. 제2이송벨트(310) 는 기판(P)이 이송되는 도중 기판(P)의 가장지리부가 제2스테이지들(320)과 부딪치지 않도록 그 상면이 제2스테이지들(320)의 상면보다 높게 제공된다. 제2이송벨트(310)는 제2커팅부(300)에서 기판(P)에 대한 스크라이브 공정이 진행되는 동안 기판(P)의 가운데 영역을 지지한다.

각각의 제2스테이지들(320)은 사각기둥형상으로, 제2방향(12)을 따라 제2이송벨트(310)의 양측에 각각 제1방향(11)과 나란하도록 배치된다. 제2스테이지는 기판(P)의 커팅 공정이 진행되는 동안 기판(P)의 가장자리부를 지지한다. 제2스테이지들(320)의 상면은 그 길이방향을 따라 평평한 부분(321)을 구비한다. 구체적으로, 제2스테이지들(320) 상면의 평평한 부분(321)에 기판(P)의 가장자리부가 지지되며, 평평한 부분(321)에 대향하여 제2스테이지들(320)의 상부에 구비되는 제2스크라이빙 유닛(330, 340)에 의하여 기판(P)의 가장자리부에 제1방향(11)으로 스크라이브 라인이 형성된다.

각각의 제2스테이지들(320)에는 길이방향을 따라 홀들(324)이 형성된다. 홀들(324)은 제2압력조절부(325)와 연결되어 기 설정된 압력을 유지한다. 바람직하게는, 제2스테이지들(320) 상면의 평평한 부분(321)에 홀들(324)이 형성된다. 실시예에 의하면, 홀들(324)은 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부로 가스를 분사하여 제2스테이지들(320)로부터 기판(P)의 가장자리부를 이격시킨다. 또는, 홀들(324)의 내부를 감압하여 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부를 제2스테이지들(320)에 진공흡착시킨다. 다른 실시예에 의하면, 선택적으로 홀들(324) 중 일부(324a)는 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부로 가스를 분사하여 제2스테이지들(320)로부터 기판(P)의 가장자리부를 이격시키고, 나머지 일부(324b)는 그 내부를 감압하여 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부를 제2스테이지들(320)에 진공흡착시킨다.

각각의 제2스테이지들(320)에는 이송된 기판(P)을 정렬하는 어라인 부재들(327,328)이 설치된다. 어라인 부재들(327,328)은 핀형상으로, 제2스테이지들(320)의 상면에 형성된 홈에 설치된다. 어라인 부재들(327,328)은 구동부(미도시)의 구동에 의하여 제2스테이지들(320)의 상면에 형성된 홈에 삽입되거나 제2스테이지들(320)의 상부로 돌출된다. 구체적으로, 기판(P)이 제2스테이지들(320)을 향하여 이송되는 동안에는 어라인 부재(327, 328)들이 제2스테이지들(320)의 상면에 형성된 홈에 삽입되고, 기판(P)이 제2스테이지들(320)에 로딩되면, 제2스테이지들(320)의 상부로 상승하여 기판(P)을 정렬한다. 실시예에 의하면, 어라인 부재들(327, 328)은 제1방향(11)을 따라 제2스테이지들(320)에 설치되는 제1어라인 부재(327) 및 제2방향(12)을 따라 제2스테이지들(320)에 설치되는 제2어리인 부재(328)를 포함한다. 제1어라인 부재(327)는 기판(P)의 커팅되지 않은 측면과 접촉하고, 제2어라인 부재(328)는 기판(P)의 커팅된 측면과 접촉한다. 제1, 2어라인 부재(327, 328)는 스크라이브 라인이 제1방향(11)과 나란하게 형성되도록 기판(P)을 정렬한다.

각각의 제2스테이지들(320)은 제1방향(11)과 나란한 축을 중심으로 회전가능하도록 제공되며, 각각의 제2스테이지들(320)은 제2구동부(322)와 연결된다. 제2구 동부(322)는 각각의 제2스테이지들(320)을 제2이송벨트(310)로부터 멀어지도록 제2방향(12)으로 이동시키고, 이동된 제2스테이지들(320)을 제1방향(11)과 나란한 축을 중심으로 회전시킨다. 제2스크라이빙 유닛(330, 340)에 의해 기판(P)의 가장자리부에 제1방향(11)으로 스크라이브 라인이 형성되면, 홀들(324)의 내부가 감압되어 기판(P)의 가장자리부가 제2스테이지들(320)에 진공흡착된다. 각각의 제2스테이지들(320)은 기판(P)의 가장자리부의 흡착을 유지한 상태로 제2이송벨트(310)로부터 멀어지도록 제2방향(12)으로 이동하여 스크라이브 라인을 따라 기판(P)을 분리한다. 제1방향(11)으로 이동된 각각의 제2스테이지들(320)은 기판(P)의 진공흡착을 멈추고, 제1방향(11)과 나란한 축을 중심으로 회전하여 커팅된 기판(P)의 일부를 떨어뜨린다.

제2압력조절부(325)는 제2스테이지들(320)에 형성된 홀들(324)과 연결되며, 홀들(324)에 기 설정된 압력을 제공한다. 제2압력조절부(325)는 제2가스공급부(미도시)와 제2감압부재(미도시)를 포함한다. 제2가스공급부는 제2스테이지에 의해 지지되는 기판(P)의 영역이 가스압에 의해 지지되도록 홀들(224)에 가스를 공급한다. 제2가스공급부는 제2이송벨트(310)로 이송되는 기판(P)의 일단이 제2스테이지들(320)의 상부로 진입하면, 기판(P)의 가장자리부로 가스를 분사시켜 기판(P)의 가장자리부가 제2스테이지의 상면으로부터 이격시킨다. 또한, 제2가스공급부는 제2커팅부(300)에서 2차 커팅된 기판(P)을 제2이송벨트(310)로부터 후술하는 언로딩부(100)를 향하여 이송시키는 경우, 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부에 가스를 분사하여 기판(P)의 가장자리부를 제2스테이지들(320)로부 터 이격시킨다. 또한, 제2가스공급부는 제2스크라이빙 유닛(330, 340)이 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 기판(P)에 형성하는 공정에서, 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부로 가스를 분사하여, 기판(P)의 가운데 영역이 제2이송벨트(310)에 의해 지지되고, 기판(P)의 가장자리부가 제2스테이지들(320)로부터 이격되도록 한다. 제2감압부재는 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 영역이 진공에 의해 제2스테이지들(320)에 밀착되도록 홀들(324)의 내부를 감압한다. 제2감압부재는 제2스크라이빙 유닛(330, 340)이 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 기판(P)을 형성하는 공정에서, 홀들(324)의 내부를 감압하여 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부가 제2스테이지들(320)에 흡착된 상태에서 스크라이브 라인이 형성되도록 한다. 또한, 제2감압부재는 제2스테이지들(320)이 제2이송벨트(310)로부터 멀어지도록 제2방향(12)으로 이동하여 스크라이브 라인을 따라 기판(P)을 분리하는 공정에서, 홀들(324)의 내부를 감압하여 기판(P)의 가장자리부가 제2스테이지들(320)에 흡착되도록 한다.

제2스크라이빙 유닛(330, 340)은 제2스테이지들(320)의 상부에 배치되며, 제2스테이지들(320)에 의해 지지된 기판(P)의 영역에 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성한다. 제2스크라이빙 유닛(330, 340)은 제3, 4가이드부재(331, 341), 제3, 4스크라이버(350a, 350b), 제3 ,4지지축(332, 342), 그리고 제2각도조절 유닛(335)을 포함한다.

제3가이드부재(331)는 바(bar)형상으로 제1방향(11)으로 제2스테이지(320a)와 나란하게 길게 배치된다. 제3가이드부재(331)는 제3스크라이버(350a)가 제1방 향(11)으로 직선 이동되도록 안내한다. 제3가이드부재(331)는 그 길이방향의 양측면에는 각각 제1방향(11)으로 길게 홈이 형성된다. 제3가이드부재(331)의 일측 하단에는 제3가이드부재(331)를 지지하는 제3지지축(332)이 구비된다. 제3지지축(332)은 후술하는 제2각도조절 유닛(335)에 의하여, 제3가이드부재(331)의 길이방향과 제1방향(11)간의 각도가 조절될 수 있도록, 그 길이방향을 축으로 회전된다.

제3스크라이버(350a)는 제3브라켓(333)에 의해 제3가이드부재(331)와 결합한다. 제3브라켓(333)의 일단에는 제3가이드부재(331)의 양측면에 형성된 홈에 삽입되는 돌기가 형성된다. 제3브라켓(333)은 제3스크라이버(350a)를 지지하며, 제2가이드 부재에 형성된 홈을 따라 제1방향(11)으로 직선이동한다.

제3스크라이버(350a)는 제3브라켓(333)에 이동에 의하여 제3가이드부재(331)를 따라 제1방향(11)으로 이동하며, 기판(P)에 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성한다. 제3스크라이버(350a)는 제1스크라이버(250a)와 동일한 구성으로 제공되므로, 자세한 설명은 생략한다.

제4가이드부재(341)는 바(bar)형상으로 제2이송벨트(310)를 중심으로 제2가이드부재(241)와 대칭되도록 제2스테이지(320b) 상부에 배치된다. 제4가이드부재(341)는 제4스크라이버(350b)가 제1방향(11)으로 직선 이동되도록 안내한다. 제4가이드부재(341)는 그 길이방향의 양 측면에 제1방향(11)으로 길게 홈이 형성된다. 제4가이드부재(341)의 일측 하단에는 제4가이드부재(341)를 지지하는 제4지지축(342)이 구비된다. 제4지지축(342)은 후술하는 제2각도조절 유닛(335)에 의하여, 제4가이드부재(341)의 길이방향과 제1방향(11)간의 각도가 조절될 수 있도록, 그 길이방향을 축으로 회전된다.

제4스크라이버(350b)는 제4브라켓(343)에 의해 제4가이드부재(341)와 결합한다. 제4브라켓(343)의 일단에는 제4가이드부재(341)의 양측면에 형성된 홈에 삽입되는 돌기가 형성된다. 제4브라켓(343)은 제4스크라이버(350b)를 지지하며, 제4가이드부재(341)에 형성된 홈을 따라 제1방향(11)으로 직선이동한다.

제4스크라이버(350b)는 제4브라켓(343)에 이동에 의하여 제4가이드부재(341)를 따라 제1방향(11)으로 이동하며, 기판(P)에 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성한다. 제4스크라이버(350b)는 제1스크라이버(250a)와 동일한 구성으로 제공되므로, 자세한 설명은 생략한다. 제4스크라이버(350b)와 제3스크라이버(350a)는 독립적으로 구동된다. 제3스크라이버(350a)가 어느 하나의 제2스테이지(320a)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부에 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성하는 동안, 제4스크라이버(350b)는 독립적으로 다른 하나의 제1스테이지(320b)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부에 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성한다. 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 기판(P)에 형성하는 동안, 제3스크라이버(350a)와 제4스크라이버(350b)는 제2방향(12)을 따라 동일선상에 위치하지 않을 수 있다. 또한, 제3, 4스크라이버(350a, 350b)가 서로 상이한 가이드 부재(331, 341)를 따라 제1방향(11)으로 이동하므로, 스크라이브 라인을 기판(P)에 형성하는 동안 어느 하나의 스크라이버에서 발생하는 진동등은 다른 스크라이버에 영향을 미치지 않는다.

제2각도조절 유닛(335)은 제3가이드부재(331)의 길이방향과 제1방향(11)간의 각도가 조절되도록 제3가이드부재(331)를 회전시킨다. 또한, 제2각도조절 유닛(335)은 제4가이드부재(341)의 길이방향과 제1방향(11)간의 각도가 조절되도록 제4가이드부재(341)를 회전시킨다. 제2각도조절 유닛(335)은 제3지지축(332)을 회전시켜 제3가이드부재(331)의 길이방향이 기판(P)상에 형성하고자 하는 스크라이브 라인과 나란하도록 위치시킨다. 그리고, 제4지지축(342)을 회전시켜 제4가이드부재(341)의 길이방향이 기판(P)상에 형성하고자 하는 스크라이브 라인과 나란하도록 위치시킨다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 기판(P) 커팅 장치(1000)를 사용하여 평판 디스플레이 패널을 제조하는 과정을 설명하면 다음과 같다.

도 5는 본 발명에 따른 기판 커팅 장치(1000)를 이용하여 평판 디스플레이를 커팅하는 과정을 순차적으로 보여주는 흐름도이다.

도 5을 참조하면, 기판 커팅 방법은 로딩부(100)에 로딩된 기판(P)이 제1커팅부(200)로 이송하는 단계(S10), 이송된 기판(P)을 제1커팅부(200)에서 1차 커팅하는 단계(S20), 1차 커팅된 기판(P)을 제2커팅부(300)로 이송하는 단계(S30), 그리고 제2커팅부(300)에서 기판(P)을 2차 커팅하는 단계(S40)를 포함한다. 2차 커팅이 완료된 기판(P)은 언로딩부(100)로 이송되어 다른 공정에 제공되다.

도 6a 내지 도 6c는 본 발명에 따른 기판 커팅 장치(1000)를 이용하여 기판(P)의 커팅 공정을 수행하는 과정을 보여주는 도면들이다.

도 6a를 참조하면, 기판(P)은 로딩부(100)에 로딩되어 기판(P) 커팅 공정에 제공된다. 기판(P) 커팅 방벙은 로딩부(100)에 로딩된 기판(P)을 제1이송벨트(210)를 향하여 제1방향(11)으로 이송시키는 단계(S10)를 포함한다. 제1이송벨트(210)로 이송되는 기판(P)의 일단이 제1스테이지의 상부로 진입하면, 제1압력조절부(225)에서 제1스테이지에 형성된 홀들(224)로 가스가 공급된다. 공급된 가스는 홀들(224)을 따라 기판(P)의 가장자리부로 분사되어 기판(P)의 가장자리부를 제1스테이지들(220)의 상면으로부터 이격시킨다. 기판(P)의 가운데 영역은 제1이송벨트(210)에 접촉하여 이송된다.

도 2a 내지 2c, 그리고 도 6b를 참조하면, 제1이송벨트(210)를 향하여 이송된 기판(P)은 제1스테이지들(220) 및 제1이송벨트(210)에 로딩된다. 구체적으로, 기판(P)의 가운데 영역은 제1이송벨트(210)에 의해 지지되며, 기판(P)의 가장자리부는 제1이송벨트(210)의 양측에 제1방향(11)으로 나란하게 배치되는 제1스테이지들(220)에 지지된다. 바람직하게, 기판(P)의 가장자리부는 제1스테이지들(220) 상면의 평평한 부분에 지지된다.

기판(P)이 제1스테이지 및 제1이송벨트(210)에 로딩된 이후에, 제1스테이지에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부에 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성한다. 기판(P)이 제1스테이지 및 제1이송벨트(210)에 로딩되면, 제1각도 조절 유닛(235)은 제1가이드부재(231)의 길이방향과 형성하고자 하는 스크라이브 라인이 나란하게 배치되도록 제1가이드부재(231)를 회전시킨다. 제1가이드부재(231)의 길이방향과 형성하고자 하는 스크라이브 라인과 나란하게 배치되면, 제1방향(11)으로 제1스테이지와 나란하게 길게 배치되는 제1가이드부재(231)를 따라 제1스크라이 버(250a)가 이동하면서 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성한다. 스크라이브 라인은 제1스크라이버(250a)의 휠이 제1스테이지(220a)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부와 접촉하여 기판(P)의 표면을 따라 구르면서 형성된다. 또한, 제1이송벨트(210)를 중심으로 제1가이드부재(231)와 대칭되도록 길게 배치되는 제2가이드부재(241)를 따라 제2스크라이버(250b)가 이동하면서 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성한다. 스크라이브 라인은 제2스크라이버(250b)의 휠이 제1스테이지(220b)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부와 접촉하여 기판(P)의 표면을 따라 구르면서 형성된다. 제1스크라이버(250a)와 제2스크라이버(250b)는 독립적으로 구동될 수 있다.

도 7a 및 도 7b는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이브 라인이 형성되는 공정을 나타내는 도면이다.

실시예에 의하면(도 7a 참조), 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성하는 단계는 기판(P)의 가장자리부가 제1스테이지들(220)에 진공흡착되어 진행된다. 제1압력조절부(225)에 의하여, 제1스테이지들(220)의 상면에 형성된 홀들(224)의 내부가 감압되고, 제1스테이지들(220)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부가 제1스테이지들(220)에 흡착되어 진행된다.

다른 실시예에 의하면(도 7b 참조), 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성하는 단계는 기판(P)의 가운데 영역이 제1이송벨트(210)에 의해 지지되며, 기판(P)의 가장자리부가 제1스테이지의 상면에 형성된 홀들(224)에서 분사된 가스에 의하여 제1스테이지들(220)로부터 이격된 상태에서 진행된다. 제1압력조절부(225) 에 의하여, 제1스테이지들(220)의 상면에 형성된 홀들(224)로 가스가 공급된다. 공급된 가스는 홀들(224)을 따라 기판(P)의 가장자리부로 분사되어 기판(P)의 가장자리부를 제1스테이지들(220)의 상면으로부터 이격시킨다.

도 8a 및 도 8b는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이브 라인을 따라 기판을 분리하는 공정을 나타내는 도면이다.

도 2a, 내지 2c, 그리고 8a 및 8b를 참조하면, 기판(P)상에 제1방향(11)으로 스크라이브 라인이 형성되면, 제1방향(11)으로 형성된 스크라이브 라인을 따라 기판(P)을 1차 분리하는 제1커팅 단계(S20)가 진행된다. 제1스테이지들(220)이 기판(P)의 가장자리부를 진공흡착하여, 상부에서 바라볼 때 제1방향(11)과 수직한 제2방향(12)으로 이동하면서 스크라이브 라인을 따라 기판(P)이 1차 분리된다. 제1스테이지들(220)은 제1이송벨트(210)로부터 멀어지도록 이동한다. 제1스테이지들(220)이 기판(P)을 진공흡착하여 제2방향(12)과 나란하게 이동하므로, 스크라이브 라인을 따라 제1방향(11) 기판(P)의 단면에 수직한 제2방향(12)으로 힘이 작용한다. 따라서, 기판(P)의 분리부분(이하, 제1필렛(first fillet, P1)이라 함)은 기판(P)으로부터 꺽이지 않고 분리된다. 이에 의하여, 기판(P)의 상면에서 내부로 형성된 수직방향의 크랙(C)은 제1필렛(P1)의 분리시 기판(P)의 커팅면과 제1필렛(P1)의 커팅면이 충돌되지 않으므로 제1필렛(P1)의 분리시 기판(P)의 커팅면이 손상되지 않는다.

제1커팅 단계는 제1스테이지들(220)이 제2방향(12)으로 이동한 후, 제1방향(11)과 나란한 축을 중심으로 제1스테이지가 회전하는 단계를 더 포함한다. 제1 스테이지들(220)이 제1필렛(P1)을 진공흡착하여 제2방향(12)으로 이동한 후 제1필렛(P1)의 진공흡착을 멈춘다, 각각의 제1스테이지들(220)은 제1방향(11)과 나란한 축을 중심으로 회전하여 제1필렛(P1)을 아래로 떨어뜨린다.

도 3a 내지 3c, 그리고 6c를 참조하면, 기판(P) 커팅 방법은 1차 커팅된 기판(P)을 제1이송벨트(210)에서 제2이송벨트(310)를 향하여 이송시키는 단계(S30)를 더 포함한다. 제2이송벨트(310)로 이송되는 기판(P)의 일단이 제1방향(11)을 따라 제2이송벨트(310)의 양측에 각각 제2방향(12)과 나란하게 배치되는 제2스테이지의 상부로 진입하면, 제2압력조절부(325)에서 제2스테이지에 형성된 홀들(324)로 가스가 공급된다. 공급된 가스는 홀들(324)을 따라 기판(P)의 가장자리부로 분사되어 기판(P)의 가장자리부를 제2스테이지들(320)의 상면으로부터 이격시킨다. 기판(P)의 가운데 영역은 제2이송벨트(310)에 접촉하여 이송된다.

제2이송벨트(310)를 향하여 이송된 기판(P)은 제2스테이지들(320) 및 제2이송벨트(310)에 로딩된다. 구체적으로, 기판(P)의 가운데 영역은 제2이송벨트(310)에 의해 지지되며, 기판(P)의 가장자리부는 제2스테이지들(320)에 지지된다. 바람직하게, 기판(P)의 가장자리부는 제2스테이지 상면의 평평한 부분(221)에 지지된다.

이송된 기판(P)이 제2이송벨트(310) 및 제2스테이지들(320)에 로딩되면, 제2스테이지들(320)의 상면에 형성된 홈에 삽입된 어라인 부재들(327, 328)이 제2스테이지들(320)의 상부로 돌출하여 이송된 기판(P)을 정렬한다. 제2방향(12)을 따라 제2스테이지들(320)에 설치되는 제1어라인 부재(327)는 기판(P)의 커팅되지 않은 측면과 접촉하며, 제1방향(11)을 따라 제2스테이지들(320)에 설치되는 제2어라인 부재(328)는 기판(P)의 커팅된 측면과 접촉한다. 제1, 2어라인 부재(327, 328)는 스크라이브 라인이 제2방향(12)과 나란하게 형성되도록 기판(P)을 정렬한다.

기판(P)이 제2스테이지 및 제2이송벨트(310)에 로딩되면, 제2각도조절 유닛(335)은 제2가이드부재(241)의 길이방향과 형성하고자 하는 스크라이브 라인이 나란하게 배치되도록 제2가이드 부재(341)를 회전시킨다.

기판(P)이 제2스테이지들(320) 및 제2이송벨트(310)에 로딩된 이후에, 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부에 제2방향(12)으로 스크라이브 라인을 형성한다. 제2방향(12)으로 제2스테이지(320a)와 나란하게 길게 배치되는 제3가이드부재(331)를 따라 제3스크라이버(350a)가 이동하면서 제2방향(12)으로 스크라이브 라인을 형성한다. 스크라이브 라인은 제3스크라이버(350a)의 휠이 제2스테이지(320a)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부와 접촉하여 기판(P)의 표면을 따라 구르면서 형성된다. 또한, 제2이송벨트(310)를 중심으로 제3가이드부재(331)와 대칭되도록 길게 배치되는 제4가이드부재(341)를 따라 제4스크라이버(350b)가 이동하면서 제2방향(12)으로 스크라이브 라인을 형성된다. 스크라이브 라인은 제4스크라이버(350b)의 휠이 다른 하나의 제2스테이지(320b)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부와 접촉하여 기판(P)의 표면을 따라 구르면서 형성된다. 제3스크라이버(350a)와 제4스크라이버(350b)는 독립적으로 구동될 수 있다.

본 발명의 실시예에 의하면, 제2방향(12)으로 스크라이브 라인을 형성하는 단계는 기판(P)의 가장자리부가 제2스테이지들(320)에 진공흡착되어 진행된다. 제2 압력조절부(325)에 의하여, 제2스테이지들(320)의 상면에 형성된 홀들(224)의 내부가 감압되고, 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부가 제2스테이지들(320)에 흡착되어 진행된다.

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 제2방향(12)으로 스크라이브 라인을 형성하는 단계는 기판(P)의 가운데 영역이 제2이송벨트(310)에 의해 지지되며, 기판(P)의 가장자리부가 제2스테이지들(320)의 상면에 형성된 홀들(224)에서 분사된 가스에 의하여 제2스테이지들(320)로부터 이격된 상태에서 진행된다. 제2압력조절부(325)에 의하여, 제2스테이지들(320)의 상면에 형성된 홀들(224)로 가스가 공급된다. 공급된 가스는 홀들(224)을 따라 기판(P)의 가장자리부로 분사되어 기판(P)의 가장자리부를 제2스테이지들(320)의 상면으로부터 이격시킨다.

기판(P)상에 제2방향(12)으로 스크라이브 라인이 형성되면, 제2방향(12)으로 형성된 스크라이브 라인을 따라 기판(P)을 2차 분리하는 제2커팅 단계(S40)가 진행된다. 제2스테이지들(320)이 기판(P)의 가장자리부를 진공흡착하여, 상부에서 바라볼 때 제2방향(12)과 수직한 제1방향(11)으로 이동하면서 스크라이브 라인을 따라 기판(P)이 2차 분리된다. 제2스테이지들(320)은 제2이송벨트(310)로부터 멀어지도록 이동한다. 제2스테이지들(320)이 기판(P)을 진공흡착하여 제1방향(11)으로 이동하므로, 스크라이브 라인을 따라 제2방향(12) 기판(P)의 단면에 수직한 제1방향(11)으로 힘이 작용한다. 따라서, 기판(P)이 2차 분리되는 부분(이하, 제2필렛(second fillet)이라 함)은 기판(P)으로부터 꺽이지 않고 분리된다. 이에 의하여, 기판(P)의 상면에서 내부로 형성된 수직방향의 크랙은 제2필렛의 분리시 기 판(P)의 커팅면과 제2필렛의 커팅면이 충돌되지 않으므로 제2필렛의 분리시 기판(P)의 커팅면이 손상되지 않는다.

제2커팅 단계는 제2스테이지들(320)이 제1방향(11)으로 이동한 후, 제2방향(12)과 나란한 축을 중심으로 제2스테이지들(320)이 회전하는 단계를 더 포함한다. 제2스테이지들(320)이 제2필렛을 진공흡착하여 제1방향(11)으로 이동한 후 제2필렛의 진공흡착을 멈춘다, 각각의 제2스테이지들(320)은 제2방향(12)과 나란한 축을 중심으로 회전하여 제2필렛을 아래로 떨어뜨린다.

본 발명의 다른 실시예에 의하면(도 4a 내지 4d 참조), 1차 커팅된 기판(P)을 제1이송벨트(210)에서 제2이송벨트(310)를 향하여 이송시키는 단계는 기판(P)의 커팅된 측면이 제2방향(12)과 나란하게 배치되도록 기판(P)을 회전시키는 단계를 더 포함한다. 제1이송벨트(210)에서 이송되는 기판(P)이 제1커팅부(200)와 제2커팅부(300) 사이에 배치되는 회전 유닛(500)에 로딩되면, 회전 유닛(500)은 기판(P)을 회전시킨다. 구체적으로, 제1이송벨트(210)로부터 기판(P)이 회전 유닛(500)에 이송되면, 제1방향(11)으로 배치되며 길이방향으로 회전가능한 제1벨트(501a)와 제2방향(12)을 따라 제1벨트(501a)의 양측에 제2방향(12)으로 배치되며 길이방향으로 회전가능한 제2벨트(501b)에 기판(P)이 로딩된다. 구동모터(미도시)의 구동에 의하여 제1방향(11)으로 커팅된 기판(P)의 일측이 제2방향(12)과 나란하게 배치되도록 제1벨트(501a)와 제2벨트(501b)가 기 설정된 각도로 회전한다. 기판(P)이 기설정된 각도로 회전되면, 제1벨트(501a)가 하강하고, 제2벨트(501b)가 회전하여 기판(P)을 제2이송벨트(310)로 이송시킨다.

제2이송벨트(310)로 이송되는 기판(P)의 일단이 제2방향(12)을 따라 제2이송벨트(310)의 양측에 각각 제1방향(11)과 나란하게 배치되는 제2스테이지들(320)의 상부로 진입하면, 제2압력조절부(325)에서 제2스테이지들(320)에 형성된 홀들(224)로 가스가 공급된다. 공급된 가스는 홀들(224)을 따라 기판(P)의 가장자리부로 분사되어 기판(P)의 가장자리부를 제2스테이지들(320)의 상면으로부터 이격시킨다. 기판(P)의 가운데 영역은 제2이송벨트(310)에 접촉하여 이송된다.

제2이송벨트(310)를 향하여 이송된 기판(P)은 제2스테이지들(320) 및 제2이송벨트(310)에 로딩된다. 구체적으로, 기판(P)의 가운데 영역은 제2이송벨트(310)에 의해 지지되며, 기판(P)의 가장자리부는 제2스테이지들(320)에 지지된다. 바람직하게, 기판(P)의 가장자리부는 제2스테이지들(320) 상면의 평평한 부분(221)에 지지된다.

이송된 기판(P)이 제2이송벨트(310) 및 제2스테이지들(320)에 로딩되면, 제2스테이지들(320)의 상면에 형성된 홈에 삽입된 어라인 부재들(327,328)이 제2스테이지들(320)의 상부로 돌출하여 이송된 기판(P)을 정렬한다. 제1방향(11)을 따라 제2스테이지들(320)에 설치되는 제1어라인 부재(327)는 기판(P)의 커팅되지 않은 측면과 접촉하며, 제2방향(12)을 따라 제2스테이지들(320)에 설치되는 제2어라인 부재(328)는 기판(P)의 커팅된 측면과 접촉한다. 제1, 2어라인 부재(327, 328)는 스크라이브 라인이 제1방향(11)과 나란하게 형성되도록 기판(P)을 정렬한다.

기판(P)이 제2스테이지들(320) 및 제2이송벨트(310)에 로딩되면, 제2각도조절 유닛(335)은 제2가이드부재(241)의 길이방향과 형성하고자 하는 스크라이브 라 인이 나란하게 배치되도록 제2가이드 부재를 회전시킨다. 제2가이드부재(241)의 길이방향과 형성하고자 하는 스크라이브 라인이 나란하게 배치되면, 제1방향(11)으로 제2스테이지들(320)과 나란하게 길게 배치되는 제3가이드부재(331)를 따라 제3스크라이버(350a)가 이동하면서 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성한다. 스크라이브 라인은 제3스크라이버(350a)의 휠이 어느 하나의 제2스테이지(320a)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부와 접촉하여 기판(P)의 표면을 따라 구르면서 형성된다. 또한, 제2이송벨트(310)를 중심으로 제3가이드부재(331)와 대칭되도록 길게 배치되는 제4가이드부재(341)를 따라 제4스크라이버(350b)가 이동하면서 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성된다. 스크라이브 라인은 제4스크라이버(350b)의 휠이 다른 하나의 제2스테이지(320b)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부와 접촉하여 기판(P)의 표면을 따라 구르면서 형성된다. 제3스크라이버(350a)와 제4스크라이버(350b)는 독립적으로 구동될 수 있다.

실시예에 의하면, 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성하는 단계는 기판(P)의 가장자리부가 제2스테이지들(320)에 진공흡착되어 진행된다. 제2압력조절부(325)에 의하여, 제2스테이지들(320)의 상면에 형성된 홀들(224)의 내부가 감압되고, 제2스테이지들(320)에 의해 지지되는 기판(P)의 가장자리부가 제2스테이지들(320)에 흡착되어 진행된다.

다른 실시예에 의하면, 제1방향(11)으로 스크라이브 라인을 형성하는 단계는 기판(P)의 가운데 영역이 제2이송벨트(310)에 의해 지지되며, 기판(P)의 가장자리부가 제2스테이지의 상면에 형성된 홀들(224)에서 분사된 가스에 의하여 제2스테이 지들(320)로부터 이격된 상태에서 진행된다. 제2압력조절부(325)에 의하여, 제2스테이지들(320)의 상면에 형성된 홀들(224)로 가스가 공급된다. 공급된 가스는 홀들(224)을 따라 기판(P)의 가장자리부로 분사되어 기판(P)의 가장자리부를 제2스테이지들(320)의 상면으로부터 이격시킨다.

기판(P)상에 제1방향(11)으로 스크라이브 라인이 형성되면, 제1방향(11)으로 형성된 스크라이브 라인을 따라 기판(P)을 2차 분리하는 제2커팅 단계(S40)가 진행된다. 제2스테이지들(320)이 기판(P)의 가장자리부를 진공흡착하여, 상부에서 바라볼 때 제1방향(11)과 수직한 제2방향(12)으로 이동하면서 스크라이브 라인을 따라 기판(P)이 2차 분리된다. 제2스테이지들(320)은 제2이송벨트(310)로부터 멀어지도록 이동한다. 제2스테이들이 기판(P)을 진공흡착하여 제2방향(12)과 나란하게 이동하므로, 스크라이브 라인을 따라 제1방향(11) 기판(P)의 단면에 수직한 제2방향(12)으로 힘이 작용한다. 따라서, 제2필렛은 기판(P)으로부터 꺽이지 않고 분리된다. 이에 의하여, 기판(P)의 상면에서 내부로 형성된 수직방향의 크랙은 제2필렛의 분리시 기판(P)의 커팅면과 제2필렛의 커팅면이 충돌되지 않으므로 제2필렛의 분리시 기판(P)의 커팅면이 손상되지 않는다.

제2커팅 단계는 제2스테이지들(320)이 제2방향(12)으로 이동한 후, 제1방향(11)과 나란한 축을 중심으로 제2스테이지가 회전하는 단계를 더 포함한다. 제2스테이지들(320)이 제2필렛을 진공흡착하여 제2방향(12)으로 이동한 후 제2필렛의 진공흡착을 멈춘다, 각각의 제2스테이지들(320)은 제1방향(11)과 나란한 축을 중심으로 회전하여 제2필렛을 아래로 떨어뜨린다.

2차 커팅이 완료된 기판(P)은 제2이송벨트(310)에서 언로딩부(100)를 향하여 이송되어 후속 공정에 제공된다.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한, 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나태 내고 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당 업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한, 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 커팅 장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다.

도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 제1커팅부를 나타내는 사시도이다.

도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 제1커팅부를 나타내는 단면도이다.

도 2c는 본 발명의 실시예에 따른 제1스테이지를 나타내는 사시도이다.

도 2d는 본 발명의 실시예에 따른 제1스크라이버를 나타내는 사시도이다.

도 2e는 본 발명의 실시예에 따른 제1스크라이버의 일부분을 나타내는 단면도이다.

도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 제2커팅부를 나타내는 사시도이다.

도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 제2커팅부를 나타내는 단면도이다.

도 3c는 본 발명의 실시예에 따른 제2스테이지를 나타내는 사시도이다.

도 4a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 커팅 장치를 나타내는 도면이다.

도 4b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 회전 유닛을 나타내는 평면도이다.

도 4c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제2커팅부를 나타내는 사시도이다.

도 4d는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제2커팅부를 나타내는 단면도이다.

도 5는 본 발명에 따른 기판 커팅 장치를 이용하여 평판 디스플레이를 커팅하는 과정을 순차적으로 보여주는 흐름도이다.

도 6a 내지 도 6c는 본 발명에 따른 기판 커팅 장치를 이용하여 기판의 커팅 공정을 수행하는 과정을 보여주는 도면들이다.

도 7a 및 도 7b는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이브 라인이 형성되는 공정을 나타내는 도면이다.

도 8a 및 도 8b는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이브 라인을 따라 기판을 분리하는 공정을 나타내는 도면이다.

도 9는 종래 기술에 의한 기판을 분리하는 공정을 나타내는 도면이다.

Claims (38)

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17. 기판을 커팅(cutting)하는 장치에 있어서,

    상기 기판이 이송되는 제1방향으로 상기 기판을 커팅하는 제1커팅부;

    상기 제1커팅부와 상기 제1방향으로 배치되며, 상기 제1커팅부에서 커팅된 상기 기판을 커팅하는 제2커팅부, 그리고

    상기 제1커팅부와 상기 제2커팅부 사이에 배치되며, 상기 기판을 회전시키는 회전 유닛을 포함하며,

    상기 제1커팅부는

    상기 기판을 상기 제1방향으로 이송하는 제1이송벨트;

    상부에서 바라볼 때, 상기 제1방향과 수직한 제2방향을 따라 상기 제1이송벨트의 양측에 각각 상기 제1방향과 나란하도록 배치되는, 그리고 홀들이 형성된 제1스테이지들;

    상기 홀들에 기 설정된 압력을 제공하는 제1압력조절부; 및

    상기 제1스테이지의 상부에 배치되며, 상기 제1스테이지에 의해 지지된 기판의 영역에 제1스크라이브 라인을 형성하는 제1스크라이빙 유닛을 포함하며,

    상기 제1스크라이빙 유닛은

    상기 제1스테이지와 나란한게 배치되는 제1가이드부재; 및

    상기 제1가이드 부재를 따라 이동하며, 상기 기판에 상기 제1스크라이브 라인을 형성하는 제1스크라이버를 포함하되,

    상기 제2커팅부는

    상기 회전 유닛에서 회전된 상기 기판을 상기 제1방향으로 이송하는 제2이송벨트; 및

    상기 제2방향을 따라 상기 제2이송벨트의 양측에 각각 상기 제1방향과 나란하도록 배치되는, 그리고 홀들이 형성된 제2스테이지들;

    상기 제2스테이지들에 형성된 홀들에 기 설정된 압력을 제공하는 제2압력조절부; 및

    상기 제2스테이지의 상부에 배치되며, 상기 기판에 제2스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이빙 유닛을 포함하며,

    상기 제2스크라이빙 유닛은

    상기 제2스테이지들과 나란하게 배치되는 제3가이드 부재; 및

    상기 제3가이드 부재를 따라 이동하며, 상기 기판에 상기 제2스크라이브 라인을 형성하는 제3스크라이버를 포함하고,

    상기 회전 유닛은

    상기 제1방향으로 배치되며 그 길이 방향으로 회전가능한 제1밸트;

    상기 제2방향을 따라 상기 제1벨트의 양측에 제2방향으로 배치되며, 그 길이 방향으로 회전가능한 제2밸트;

    상기 제1밸트 및 상기 제2밸트를 기 설정된 각도로 회전시키는 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 커팅 장치.
18. 제 17 항에 있어서,

    상기 제1밸트는 승강가능한 것을 특징으로 하는 기판 커팅 장치.
19. 제 17 항 또는 제 18 항에 있어서,

    상기 제1압력조절부와 상기 제2압력조절부 각각은

    가스압에 의해 상기 기판의 영역이 지지되도록 상기 홀들에 가스를 공급하는 가스 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 커팅 장치.
20. 제 17 항 또는 제18항에 있어서,

    상기 제1압력조절부와 상기 제2압력조절부 각각은

    진공에 의해 상기 기판의 영역을 상기 제1스테이지에 밀착시키도록 상기 홀들의 내부를 감압하는 감압부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 커팅 장치.
21. 제 17 항 또는 제18항에 있어서,

    상기 제1압력조절부는

    가스압에 의해 상기 기판의 영역이 지지되도록 상기 홀들 중 일부에 가스를 공급하는 가스 공급부;

    진공에 의해 상기 기판의 영역을 상기 제1스테이지에 밀착시키도록 상기 홀들 중 다른 일부의 내부를 감압하는 감압부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 커팅 장치.
22. 제 17 항 또는 제18항에 있어서,

    상기 제2스테이지들을 각각 제1방향으로 이동시키는 제2구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 커팅 장치.
23. 제 17 항 또는 제18항에 있어서,

    각각의 상기 제2스테이지들은 제2방향과 나란한 축을 중심으로 회전가능한 것을 특징으로 하는 기판 커팅 장치.
24. 제 17 항 또는 제18항에 있어서,

    상기 제2커팅부는 상기 기판을 정렬하는 어라인 부재들을 더 포함하되,

    상기 어라인 부재들은 제2방향을 따라 상기 제2스테이지들에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 커팅 장치.
25. 기판을 커팅(cutting)하는 장치에 있어서,

    상기 기판이 이송되는 제1방향으로 상기 기판을 커팅하는 제1커팅부;

    상기 제1커팅부와 상기 제1방향으로 배치되며, 상기 제1커팅부에서 커팅된 상기 기판을 커팅하는 제2커팅부를 포함하되,

    상기 제1커팅부는

    상기 기판을 상기 제1방향으로 이송하는 제1이송벨트;

    상부에서 바라볼 때, 상기 제1방향과 수직한 제2방향을 따라 상기 제1이송벨트의 양측에 각각 상기 제1방향과 나란하도록 배치되는, 그리고 홀들이 형성된 제1스테이지들;

    상기 홀들에 기 설정된 압력을 제공하는 제1압력조절부; 및

    상기 제1스테이지의 상부에 배치되며, 상기 제1스테이지에 의해 지지된 기판의 영역에 제1스크라이브 라인을 형성하는 제1스크라이빙 유닛을 포함하며,

    상기 제1스크라이빙 유닛은

    상기 제1스테이지와 나란한게 배치되는 제1가이드부재; 및

    상기 제1가이드 부재를 따라 이동하며, 상기 기판에 상기 제1스크라이브 라인을 형성하는 제1스크라이버를 포함하고,

    상기 제2커팅부는

    상기 제1커팅부에서 이송된 상기 기판을 상기 제1방향으로 이송하는 제2이송벨트; 및

    상기 제1방향을 따라 상기 제2이송벨트의 양측에 각각 상기 제2방향과 나란하도록 배치되는, 그리고 홀들이 형성된 제2스테이지들;

    상기 제2스테이지들에 형성된 홀들에 기 설정된 압력을 제공하는 제2압력조절부; 및

    상기 제2스테이지의 상부에 배치되며, 상기 기판에 제2스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이빙 유닛을 포함하며,

    상기 제2스크라이빙 유닛은

    상기 제2스테이지들과 나란하게 배치되는 제3가이드부재; 및

    상기 제3가이드 부재를 따라 이동하며, 상기 기판에 상기 제2스크라이브 라인을 형성하는 제3스크라이버;

    상기 제2이송벨트를 중심으로 상기 제3가이드부재와 대칭되도록 상기 제2스테이지의 상부에 배치되는 제4가이드 부재; 그리고

    상기 제4가이드 부재를 따라 이동하며, 상기 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 제4스크라이버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 커팅 장치.
26. 제 25 항에 있어서,

    상기 제3스크라이버와 상기 제4스크라이버는 독립적으로 구동되는 것을 특징으로 하는 기판 커팅 장치.
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