TW461014B - A positioning method and device for wafer loading devices - Google Patents

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製· 五、發明説明（） 習用技術說明： 本發明係為一種晶圓載入機定位方法與裝置，特別是 指一種用Μ作為半導體製程載入機與製程機台之接合界面 的晶圓載入機定位方法與裝置。 按，在晶圓及液晶顯示器面板之類的半導體製程之中 ，必須使用晶圓盒裝載前述半導體晶圓或是其他種類的基 板，並使用運輸設備將晶圓盒蓮送到製程中的各個製程機 台上進行不同種類的加工程序。 晶圓盒的主要功能為可以容納晶圓片及各種基板，並 在晶圓盒的內部充滿有潔淨的保護氣體，Μ避免晶圓片及 基板受到外界空氣及微粒灰塵的污染。同時在每一個製程 機台上也必須設置有一個輸入及輸出的裝置，用Μ將晶圓 片或基板與外界環境隔離的狀態下，將晶圓片或基板載入 到製程機台之中；同時其遷必須設置一個載入機，用以作 為晶圓盒與製程機台的輸出入裝置的中介裝置，且可Μ開 啟晶圓盒，晶圓盒內的晶圓片或是基板載入到製程機台的 輸出入裝置之中。 然而，在生產過程中*往往由於製程的改變*或是生 產排程的改變，往往必須要快速地更換製程機台的載入裝 置3因此製程機台的載入裝置必須要具有可Μ快速安裝， 且迅速定位的功能，方能夠滿足半導體製程中多變化的製 程需求。 在業界標準中，半導體製程載入裝置與製程機台之間 具有一個接合框架，該接合框架可供載入裝置安裝定位於 一2 - 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4规格（210Χ2.97公釐） (請先閲讀背面之注意事項A 罵本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製- 10 14 A7 _B7__________ 五、發明説明（） 其上，在接合框架與載入裝置的接合面之間設置有若干個 固定位置的螺絲孔，Μ供使用者可以使用螺栓將載入裝置 與製程機台的定位框架連接固定在一起。 然而習用的半導體製程設備的載入裝置與製程機台之 間係單純利用螺栓鎖合方式連接*因此使得載入裝置安裝 的過程中，必須要將每一個螺絲孔相互對準，方能夠將螺 栓鎖入，同時在螺栓鎖入後，又必須要Μ人工微調的方式 將載入裝置的安裝角度與位置調整到適當，因此使得習用 的半導體製程載入裝置的安裝與定位工作相當地困難，且 耗費時間。 如圖6所示，在世界專利公報WO 99/12191號案中，揭 示了一種晶圓載入裝置，其主要的特黴係為在製程機台的 定位框架1的底端設置有一個向前突出的定位座2，定位座 2的中央設置有一個向上突起的定位銷3。該定位框架1係 可以供一個載入裝置4安裝於其上，而使得該載入裝置4被 安裝在製程機台的正確位置上，該載入裝置4具有一個货 板5，係可Μ藉由螺栓鎖固於定位框架1之上，且於背板5 的下方設置有一個承座6。 如圖7所示，該承座6底部的中央設置有一個凹入的卡 合槽7，係可Μ與定位銷3的頂端相互卡合，且該承座6與 定位座2的黄板5之間的位置係可於一定的範圍內左右移動 ’且於其頂端的中央設置有一個凸輪槽8，且該窗板5上設 置有一個偏心輪9，係可與凸輪槽8卡合，且推動凸輪槽8 左右移動，而使得承座6與背板5的相對位置改變。 -3- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0 X 297公釐） -----------衣 1~ 訂 11 線 (請先閲讀背面之注意事項' 冩本頁)I/;:./ 461014 A7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（） 如圖8所示，該載入裝置4的底部具有一個底座10 ’底 座10設置有三對滚輪11、12、13。且底座10底面的前端係 略微向上傾料，因此使得最前端的一對滾輪11的高度高於 後端的二組滾輪12、13的高度，因此使用者要將該載入裝 置4安裝於定位框架1的時候，可Μ將底座10的前端向下壓 ，使得載入裝置4成為向前傾斜的狀態，Μ使裝置在背板5 背面的承座6的高度上升，而使得承座6的卡合槽7可以與 定位銷3相互卡合，然後再將定位框架1向後推，使得黄板 5與定位框架1相互貼合，便可Μ使得承座6與定位銷3卡合。 該定位銷3的底端係設有外螺蚊，且可Μ旋轉地裝置 在定位座2之上，因此使用者可Μ藉由轉動定位銷3調整載 入裝置4的高度位置，而且使用者轉動偏心輪9的時候可Μ 改變承座6的左右位置，因此可Μ達到調整載入裝置4與定 位框架1之水平相對位置的目的。 在引證案中雖然可以改善習用晶圓載入裝置之定位不 易之缺點而提升載入裝置與製程機台安裝的速度，但是其 使用上仍有下列缺點： 1.其承座6與定位銷3係設置在載入裝置4的下半部，且 隱藏在费板5的背面，因此使得承座6與定位銷3雖然 可以調整載入裝置4與製程機台的垂直與水平的相對 位置，但是該承座6與定位銷3係設置在難以調整的位 置，因此使得調整的工作相當地困難。 2·前述之承座6與定位銷3结合時，必須要將載入裝置4 的底座10之前端向下壓，以使得載入裝置4的後端高 -4 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項為-¾本頁) .裝. 、1Τ 線_ A7 B7 461014 五、發明説明（）_ 度升高，方能夠將承座6卡合於定位銷3之上’稍不謹 慎將會使得載入裝置4傾倒，而使得載入裝置4碰撞損 由於Μ上之原因，使得習用的半導體晶圓及基板的載 入裝置在使用上有著相當大的不便之處，因此其顯然有改 逾之必要。 發明概述： 本發明之主要目的，係在於提供一種具有快速定位功 雔*且具有可將載入裝置舉升，Μ利於將載入裝置安裝於 製程機台工作之載入機定位方法與裝置。 本發明主要包括：一舉升裝置係設置在載入裝置底部 ，係可供使用者控制將載入裝置高度升高；及一連接座， 係設置在製程機台之定位框架之頂端位置；該連接座上設 寶有一向上突起的定位構件；及一承座，係設置在載入裝 寶之頂端，該承座底端設置有一可與定位構件相互卡合的 肀槽；及一垂直調整裝置與一水平調整裝置，係分別設置 在連接座與承座之上，係可用Μ調整該載入裝置與製程機 台之相對位置；及一傾斜調整裝置，係裝置在背板的中央 离度位置，用Μ調整該載入裝置與製程機台之間隙的傾斜 角度。。 藉由以上裝置組合，係可藉由舉升裝置將載入裝置向 上撐起，而使得承座之卡槽高度高於連接座之定位構件的 高度，而使得承座與連接座可Μ順利地卡合定位在一起， 且前述水平調整裝置與垂直調整裝置及傾斜調整裝置所設 一5 — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（21〇><297公釐） ___一-------參 —------1Τ-------^ (請先閲讀背面之注意事項.«./:\為本頁) __^_Κ. 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 A7 B7 461014 五、發明説明（） 置之位置係位於使用者可以直接使用工具調整之位置，因 此使得載入裝置位置調整之工作簡化。 圖式說明： 圖1係為本發明之載入裝置與製程機台之定位框架組合狀 態的側面視圖。 圖2係為本發明載入裝置與定位框架分雛狀態的立體圖。 圖2A係為本發明之傾斜度調整裝置的剖面圖。 圖2B係為本發明連接裝置之部份放大圖。 圖2C係為本發明連接座之部份放大圖。 圖3係為本發明載入裝置的底座與舉升裝置的放大剖面圖 圖4係為本發明使用連接裝置的平面視圖。 圖5A至圖5E係為本發明舉升裝置的各種可能變化構造的示 意圖。 圖6係為習用晶圓載入機的立體圖。 圖7係為習用晶圓載入機使用之連接裝置的立體圖。 圖8係為係為習用晶圓載入機安裝方法的動作示意圖。 圖號說明： 經 濟 部 智 慧 財 產 局 消 費 合 作 社 印 .簞 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

---·---------装丨-------訂------線 (請先鬩讀背面之注意事項再V本頁) \ 、 ; ; I— IV 1 定位框架 2 定位座 3 定位銷 4 載入裝 5 背板 6 承座 7 卡合槽 8 凸輪槽 9 偏心輪 10 底座 11 > 12、13滾輪 20 載入裝置 21 底座 —6一 A7 B7 五、發明説明（） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印-t· 22 載入平台 23 背板 231 沈頭孑L· 24 穿孔 30 定位框架 31 虫累衾糸孔 40 連接裝置 41 連接座 411 挾持塊 412 固定螺检 42 承座 421 凸輪孔 422 長橢圓孔 423 螺栓 43 定位構件 44 卡槽 45 連接塊 451 凸輪孔 46 - 47偏心輪 50 舉升裝置 51 踏板 511 腳座 52 連桿 50A 擧升裝置 51A 連焊 52A 插銷 53 A 連接板 54A 滑槽 50B 舉升裝置 51B 第一連稈 52B 第二連捍 53B 推進螺桿 50C 舉升裝置 51C ,ητ ϋ輪 52C 凸輪槽 53C 連接銷 54C 把手 50D 驅動裝置 51D 凸輪板 52D 凸輪槽 53D 連接銷 54D 推進螺桿 50E 舉升裝置 51E 偏心車侖 一7 一 (請先閲讀背面之注意事項再.本頁) -裝. 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 五、發明説明（） A7 B7 52E 驅動拴 53Ε 連動板 54E 滑槽 55Ε把手 60 滑軌 60Α 調整裝置 61 固定螺检 62 調整螺检 63 孔 64 間距 65 墊Η 70 導柱 詳細說明： 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝1 如圖1所示，係為一個使用本發明技術之半導體晶圓 載入裝置的構造，該載入裝置20包括：一底座21，係設置 於載入裝置的底端，及一載入平台22，係設置在載入裝置 20的中段位置；及一背板23，係設置在載入裝置20的背面 。該背板23係可Μ貼靠於一定位框架30之上。該定位框架 30係裝置於一個製程機台（圖中未示）的前端，而且如圖2 所示，該背板23與定位框架30之上設置有若干個相互對應 的沈頭孔231及螺絲孔31，且可藉由若干螺检鎖入該沈頭 孔231、螺絲孔31之中而將載入裝置20固定於定位框架30 上。 货板23與定位框架30的頂端裝置有一連接裝置40，如 圖2至圖2C及圖4所示，連接裝置40包括：一連接座41，係 裝設於定位框架30的頂端；及一承座42，係装置在背板23 的頂端，連接座41的中央設置有一個連接塊45 ’且於連接 塊45之上設置有一向上突起的定位構件43，且於.承座42底 端設置有一可與定位構件43相互嵌合的卡槽44。該黄板23 一8 一 ---------聋-- (請先聞讀背面之注意事承/W寫本頁) Γ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83, 3.10,000 461014 經濟部中央標隼局工消費合作社印製. A7 B7___.___ 五、發明説明（） 頂端與該定位構件43相對應位置設置有一穿孔24，係可供 定位構件43從背板23的背面穿出到可與承座42相互對準的 位置，因此當載入裝置20與定位框架30組合時，可Μ藉由 將載入裝置20向後推，使得定位構件43從穿孔24穿出後* Μ利於將定位構件43與承座42相互卡合。 ' 該連接塊45承座42係可調整其相對於定位框架30與背 板23的垂直與水平位置，其調整方式及構造，兹說明如下。 該連接塊45的中央横向設置有有一長橢圓形的凸輪孔 451，且於連接座41的中央設置有一偏心輪46 ,係可旋轉 地設置在連接座41之上，並且該偏心輪46穿入於長橢圓形 凸輪孔451中。同時該連接座41的中央於連接塊45的二側 設置有一挾持塊411，藉由挾持塊411可定位連接塊45，可 限制連接塊45產生上下的直線位移。且於一側的挾持塊411 上設有一固定螺栓412，係可於連接塊45的高度位置調整 完成後，將該連接塊45鎖緊定位*用以固定連接塊45的垂 直位置。因此當操作者要調整該載入裝置20的高度位置時 ，將固定螺栓412鬆開然後藉由轉動該偏心輪46，係可Μ 帶動連接塊45上下移動，藉Μ達到調整載入裝置20高度的 目的。 另外該承座42係可以調整其與背板23水平方向的相對 位置，Μ調整該載入裝置20與定位框架30的水平方向的相 對位置。如圖4所示，該承座42的中央設置有一個水平方 向的長橢圓孔422，且藉由二個螺检423鎖入長橢圓孔422 中而將該承座42固定於货板23之上；及一個偏心輪47，係 -9- 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） 83. 3.10,000 (請先聞讀背面之注意事巩 #寫本頁) 裝. 訂 -線_ 經 中 央 標 準 局 貝

451014 A7 B7 五、發明説明（） 設置在筒板23之上並可旋轉；及一個垂直方向的凸輪孔421 ，係設置在承座42之上，且可供該偏心輪47穿入。當操作 者要調整承座42的水平位置時，係可先私螺检423黯開， 然後轉動偏心輪47，Μ驅動承座42產生水平方向位移，然 後調整完成後再將螺栓423鎖緊，Μ固定承座42的水平位 置。藉由該偏心輪47 *係可Μ調整該承座42的水平位置， 而達到調整載入裝置20與定位框架30之水平方向的相對位 置的目的。 連接裝置40可Μ供操作者調整載入裝置20與定位框架 30的水平與垂直方向的相對位置，且將載入裝置初步地定 位在定位框架30上，Μ利於操作者鎖緊定位該載入裝置。 而本發明上述的連接裝置40構造的主要優點，係為該承座 42與連接座41皆設置在載入裝置頂端，且前述的偏心輪46 、47皆設置在載入裝置20的正面位置，因此使得操作者可 Μ從載入裝置20的正面調整該承座42與定位構件43的位置 ，因此使得操作者可以順利且方便地完成調整載入裝置20 與定位框架30相對位置的目的。 底座21裝置有一舉升裝查50，係可將載入裝置20向上 頂起，Μ使得承座42的高度高於連接座41的高度，而使得 承座42的卡槽44可Μ順利地卡入定位構件43。 如圖3所示，底座21上設置有一組垂直的滑軌60，且 載入裝置20係可滑動地裝置於滑軌60上，而能夠受舉升裝 置50驅動而上下移動。該舉升裝置50包括：一踏板51，其 具有一較短端係樞接於載入裝置20的底端Α點，而另一側 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 83. 3.10,000 請 先 閱

訂 線 461014 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（) 較長的一端係延伸到底座21的後端的上方，且設置有一可 供健用者踩踏的腳座511，及一導柱70，下端係固定於底 座21上，上端可供載入裝置20滑動，連桿52之一端樞接於 導柱70的C點，另一端樞接於踏板51中央之B點。如圖3所 示，該連桿52與踏板51之較短的一端係構成一個肘節機構 ，且當踏板51較長端被踩下時，該連桿52係與踏板51較短 的一端形成一直線，因此使得踏板51的較短端的高度上升 ，因此可將載入裝置20抬高。同時，由於該連桿52與踏板 51的較短端形成一直線狀態，即A、B、C三點形成一直線 ，因此使得使用者在用腳踩下踏板51較長端時不須費力便 可以將載入裝置抬高。 此外，黄板23的中央高度位置設置有一組傾斜度調螫 裝置60A，用Μ調整該載入裝置20的货板23與定位框架30 之間的間隙的傾斜角度。如圖2及圖2Α所示，該傾斜度調 整裝置60Α包括：一固定螺栓:61，係可穿過該窗板23 *且 末端鎖入於固定框架30之上；及一調整螺栓62，係Μ螺紋 鎖合於背板23之上，且可以旋轉調整其鎖入於背板23的深 度；該調整螺栓62的中央具有一孔63，係可供固定螺检61 穿入，該固定螺检61及調整螺检62之頂端兩側均削平，可 供操作者以板手轉動，而該調整螺栓62的端面係與該固定 螺栓61的頭端的内側面相互接觸，因此使得該調整螺栓62 的高度位置被固定螺检61鎖住限制*而且操作者轉動該調 整螺栓62的時候，先將固定螺检61鬆開可Μ帶動宽板23與 定位框架3 0於裝置該傾斜度調整裝置之位置的間距6 4改變 —11 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 83. 3.10,000 --------—聋-- (請先閱讀背面之注意事琢_^寫本頁) Γ 461014 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製_ 五、發明説明（） ，因此而達到調整费板23與定位框架30之間距64的傾斜角 度的目的*然後再將固定螺检61鎖緊固定。 本發明裝置之操作方法如下： a. 將連接裝置承座42及連接座41分別裝置在晶圓載入機 及定位框架30上端； b. 將晶圓載入裝置20推至定位框架30前端； c. 踏板51踏下使得舉升裝置50上之晶圓載入裝置20上升； d. 踏板接觸到底座21，舉升裝置50停止上升； e. 晶圓載入機上之承座42前推至定位框架30上之定位構 件43上端； f. 輕輕放開踏板51使得晶圓載入裝置20上之承座42的卡 槽421接合定位框架30上之定位構件43上端； g. 檢査窗板23下端四個螺孔231是否與定位框架30上之 螺孔31對準； h. 調整背板與定位框架之傾斜度，使二者接合； i. 鎖緊結合螺釘。 在組合過程中，如果货板23與定位框架30之間隙傾斜 角度不正確，可藉由晶圓載入機上背板23中段之傾斜度調 整裝置，調整該背板與定位框架之間隙的傾斜角度。 同時，如果背板下端四個螺孔231與定位框架上之螺 孔無法對準，可將晶圓載入裝置20與定位框架30分離，調 整連接塊45與承座42上之二偏心輪46、47，Μ調整連接塊 45與承座42的水平與垂直之位置誤差量，再依前述方法將 晶圓載入機與定位框架30結合。 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再Λν,本頁) .裝. 、ΤΓ 線 461014 A7 B7 五、發明説明（） 作者轉動該凸輪51C，而藉由該凸輪51C的凸輪槽52C驅動 該載入裝置20上下移動。 如圖5D所示，驅動裝置50D包括：一個可直線移動的 凸輪板51D，凸輪板51D上設置有一個凸輪槽52D，且該載 入裝置20的底端設置有一個連接銷53D，該插銷53D係卡合 於凸輪槽52D之中，且可受該凸輪槽52D驅動而產生垂直方 向的位移；及一個推進螺桿54D，係可Μ推動該凸輪板51D 產生水平方向的位移*因此可供操作者藉由轉動該推進螺 桿54D，而推動該凸輪板51D而驅動該載入裝置20產生垂直 方向的位移。 如圖5Ε所示，舉升裝置50Ε包括：一偏心輪51Ε，係設 置有一驅動拴52Ε ;及一連動板53Ε，係設置在載入裝置20 的底端；及一潸槽54Ε，係設置在連動板53Ε：之上，且與驅 動挂52Ε相互卡合；及一把手55Ε *係與偏心輪51Ε相互連 接*係設置在載入裝置20的側邊可供操作者轉動該偏心輪 51Ε。藉由該偏心輪51Ε，係可驅動該連動板53Ε產生垂直 方向位移，而帶動該載入裝置上下移動。 — 14— (請先閲讀背面之注意事項寫本頁) 4¾. Γ 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 83. 3.10,000 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 2们公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製- 461014 A7 B7 五、發明説明.（） 另外如圖5A至圖5E所示，本發明所使用的舉升裝置50 尚有多種變化的構造，如圖5A所示，舉升裝置50A包括： 一個連桿51A，其末端係設置有一插銷52A ;及一個連接板 53A，係裝置於載人裝置20的底端；該連接板53A上設置有 一個横向的滑槽54A，且該連桿51A末端的插銷52A係可滑 動地套設在該滑槽54A之中。該連桿51A的中段係藉由一检 軸樞接於底座21之上，而另一端則係可供操作者Μ腳踩下 ，而使得其前端的高度上升，因此而藉由插銷52Α推動連 接板53Α，而將載入裝置20的高度抬高。 如圖5Β所示，舉升裝置50Β包括：第一連#51Β及第二 連桿52Β，該第一、二連桿組51Β、52Β係連接在一起，且 其末端係分別與底座21與載入裝置樞接在一起；及一推進 螺桿53Β，係水平地設置在底座21之上，且其末端係與該 第一、二連桿51Β、52Β連接的位置_接在一起，當操作者 轉動該推進螺桿53Β的時候，係可Μ使該推進螺稈53Β產生 水平方向的位移，且推動該第一、二連桿51Β、52Β。當該 第一、二連桿51Β、52Β被推進螺桿53Β推動時，係可推動 該載入裝置20產生垂直方向的位移，因此可供操作者控制 該載入裝置升起與降低的動作。 如圖5C所示，舉升裝置50C係具有一個可旋轉的凸輪 51C，凸輪51C上設置有一個凸輪槽52C，且該載入裝置20 的底端設置有一連接銷53C，係可卡合於該凸輪槽52C之中 ;同時於該凸輪51C的中心設置有一個把手54C與凸螺51C 結合一體，把手51C可設置在載入裝置20的側邊，以供操 -13— 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ----------裝！-----I訂------丨線 .(請先閲讀背面之注意事項再本頁)

Claims (1)

1. 461014 Α8 Β8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1. 一種晶圓載入機定位裝置，其中包括： 一載入裝置，係可裝置於一半導體製程機台之定位框架 之上，其底部設置有一底座，且於其黄面設置有一宽板， 係可與該定位框架相互結合，而將該載入裝置定位於該製 程機台之定位框架之上； 其特黴在於： 該載入裝置於背板之頂端與該定位框架之間設置有一連 接裝置，用Μ使該載入裝置被定位於該製程機台的定位框 〔 架之上；該連接裝置包括•’一承座，係設置於該背板之頂 端*其底面設置有一卡槽；及一連接座，係設置在該定位 框架正面之頂端，其中央設置有一向上突起之定位構件； 及一穿孔，係設置在該货板位於該承座下方位置，係可供 建接座穿過，而使該定位構件從該费板窗面伸出到該费板 前方位置，而與該承座之卡槽相互對準且可互相卡合之位 置；並分別在承座與連接座上設置可調整該承座與該定位 構件之水平與垂直方向之相對位置’ Μ供操作者調整定位 < 該承座與定位構件的水平與垂直相對位置；及 一舉升裝置，係設置於該底座與該定位裝置之間，用Μ 將該載入裝置的高度抬高，使該承座位置高於該定位構件 之位置，Μ利於該承座與該定位構件卡合。 2. 如申請專利範園第1項所述之晶圓載入機定位裝置，其 中在赞板中段部份之二側分別設置一傾斜度調整裝置， 用Μ調整該背板與該定位框架之間隙的傾斜角度。 3. 如申請專利範圍第2項所述之晶圓載入機定位裝置，其 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意東項再嗔寫本頁) 、vs Α8 Β8 C8 D8 4 6 1 0 1 4 六、申請專利範圍 中該傾斜度調整裝置包括： —調整螺检，係可旋轉地設置於該背板之上；及一固定 螺检，係穿過於該調整螺栓，且一端鎖固於該定位框架之 上0 4. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓載入機定位裝置，其 中該擧升裝置包括： 一連桿，其中段係樞接於該底座之上，且一端係與該載 入裝置的底端連接，另一端係可供操作者Μ腳踩下，而將 該載入裝置的高度抬高。 5. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓載入機定位_置，其 中該舉升裝置包括： 一凸輪裝置；及 一連動構件，係設置於該載入裝置底端，係可與該凸輪 裝置連接，而使該載入裝置受該凸輪裝置驅動產生垂直方 向位移；及 一驅動裝置，係可供操作者驅動該凸輪裝置產生動作。 6. 如申請專利範團第5項所述之晶圓載入機定位裝置，其 中該舉升裝置之凸輪裝置係為一旋轉凸輪，旦該驅動裝 置係為一可帶動該凸輪旋轉之把手。 7. 如申請專利範圍第5項所述之晶圓載入機定位裝置*其 中該舉升裝置之凸輪裝置係為一直線位移之平板凸輪， 且該驅動裝置係為一可帶動該平板凸輪直線位移之驅動 螺稈。 8. 如申請專利範圍第1項所述之晶圓載入機定位裝置，其 一 16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4it格（210Χ297公嫠） I ^ 裝 .. 訂.一^ 線 (請先聞讀背面之注意事項再真貧本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ....... **!|1 A8 B8 C8 D8 4 6丨杨| 六、申請專利範圍 中在連接座與承座上分別設置有一橢圓槽，且分別具有 偏心輪，係可與該二橢圓槽接觸而調整承座與定位構件 之水平與垂直位置。 {埼毛閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 9·如申讅專利範圍第1項所述之晶圓載入機定位裝置，其 中在連接座之二側設置夾持塊，可限制夾持塊之上下位 置。 10.如申請專利範圍第9項所述之晶圓載入機定位裝置，其 中夾持塊上設置固定螺检’可將連接塊鎖緊定位。 11·如申請專利範圍第1項或第8項所述之晶圓載入機定位 裝置’其中在承座上設置一權圓孔及螺检，可將承座固 定於货板上，且使其可水平地調整位置。 12.一種晶圓載入機定位方法，包括： a. 將連接裝置承座及連接座分別裝置在晶圓載入機及定 位框架上端； b. 將晶圓載入機推至定位框架前端； c. 踏板踏下使得舉升裝置上之晶圓載入機上升； d. 踏扳接觸到底座，舉升裝置停止上升； e. 晶圓載入機上之承座前推至定位框架上之定位構件上 端； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 f. 輕輕放開踏板使得晶圓載入機之承座之卡槽接合裝置 於定位框架上承座之定位構件的上端； g. 檢査實板下端四個螺孔是否與定位框架上之螺孔對準； h. 調Μ背板與定位框架之傾斜度，使二者接合； 鎖緊结合螺釘。 -17- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 8 8 8 8 ABCD 4 6 10 1 4 々、申請專利範圍 13. 如申請專利範圍第i2項所述之晶圓載入機定位方法， 其中在晶圓載入機上背板中段之傾斜度調整裝置*可調 螫該背板與定位框架之間隙的傾斜角度。 14. 如申請專利範圍第12項所述之晶圓載入機定位方法， 其中當背板下端四個螺孔與定位框架上之螺孔無法對準 ，可將晶圓載入機與定位框架分雛，調整連接座與承座 上之二偏心輪水平與垂直之位置誤差量，再依前述方法 將晶圓載入機與定位框架結合。 15. —種晶圓載入機定位裝置，其中包括： 一承座，係設置晶圓載入機該背板之頂端，其底面設置 有一卡槽； 一穿孔，係設置在該背板位於該承座下方位置； 一舉升裝置，係設置晶圓載入機之底端，用Μ將該載入 裝置的高度抬高，Κ便與製程機台結合。 -18- --------I.. II 装 II (請先閲讀背面之注意事項再u本I) if- 線· 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公嫠）