JP3635235B2 - ウェハーロードポートの位置決め装置と方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハーロードポートの位置決め装置とその位置決め方法に関するものであり、特に、半導体の製造工程に於けるウェハーロードポートを製造工程の工作台のインターフェースと接合する位置決め装置とその位置決め方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ウェハー及びリンクウィッドクリスタルディスプレイのフェースプレート等の半導体の製造工程に於て、必ず、ウェハーボックスを使用して前記半導体のウェハー或いはその他の基板をローディングしなければならない。更に、運送設備を使用して前記ウェハーボックスを製造中の各種製造工程の工作台に運送して、不同種類の加工工程を進行している。
【０００３】
前記ウェハーボックスの主要な機能はウェハー及び各種基板を受け入れるものである。又、前記ウェハーボックスの内部には清浄な保護気体を一杯に充填している。斯くして、前記ウェハー及び基板は外界の空気及び微粒塵埃の汚染から免れることができる。更に、各製造工程の工作台には必ずインプット及びアウトプットの装置を設置しなければならない。それは前記ウェハー或いは基板を外界の環境と隔離した状態の下で、前記ウェハー或いは基板を製造工程の工作台の中にローディングするのに用いる。而して、更に、必ずロードポートを設置しなければならない。前記ロードポートは前記ウェハーボックスと製造工程の工作台のインプット／アウトプット装置の仲介装置として用いる上、前記ウェハーボックスを開けて該ウェハーボックス内のウェハー或いは基板を製造工程の工作台のインプット／アウトプット装置の中にローディングするのに用いる。
【０００４】
然し乍ら、生産過程に於ては、往々にして製造工程或いは生産スケジュールの変更があって、早急に製造工程の工作台のロードポートを取り換えなければならない。この為、製造工程の工作台のロードポートは必ず早急に取り付け、且つ、位置決めすることができる機能を具有していなければ半導体の製造工程の多変化の要求を満たすことができない。
【０００５】
業界に於ける標準の中、半導体製造工程のロードポートと製造工程の工作台の間には接合フレームが設置されている。前記接合フレームは前記ロードポートの取り付け及び位置決めに供するもので、前記接合フレームと前記ロードポートの接合面の間には若干の固定用ネジ孔が設けられている。これは、使用者にボルトを使用して前記ロードポートと前記製造工程の工作台の位置決めフレームを連接して固定するのに供する。
【０００６】
然るに、従来の半導体製造設備のロードポートと製造工程の工作台の間は単純にボルトを利用して締付け方式でもって連接するものであるため、前記ロードポートを取り付ける過程に於て、必ず各ネジ孔を相互に対応させて始めてボルトを締め込むことができる。而して、ボルトを締付けた後、又、人工による微小調整の方式で前記ロードポートの取付け角度と位置を適当な角度と位置に調整しなければならない。このため、従来の半導体製造工程のロードポートの取付けと位置決めは相当に困難であり、且つ、時間の浪費を来している。
【０００７】
図６に示す如く、世界特許公報No.WO 99/12191号には、ウェハーロードポートが開示されている。その主要な特徴は、製造工程の工作台の位置決めフレーム１の底端に前方に突出した位置決め座２が設置されている。該位置決め座２の中央には上向きに突起したロケートピン３が設けられている。前記位置決めフレーム１はロードポート４を取り付けるのに供することができて、前記ロードポートを製造工程の工作台の正確な位置に取り付けることができるようになっている。又、前記ロードポートはバックボード５を具有していて、ボルトでもって前記位置決めフレーム１に締付けて固定することができる。更に、前記バックボード５の下方には支え座６が設置されている。
【０００８】
図７に示す如く、前記支え座６の中央には凹んだ止め合い溝７が設置されていて、前記ロケートピン３の頂端と相互に止め合うようになっている。又、前記支え座６と前記位置決め座２の前記バックボード５との間の位置は一定の範囲内で左右に移動することができる。又、その頂端の中央にはカム溝８が設けられている。更に、前記バックボード５にはカム９が設置されていて、前記カム溝９と嵌合して、該カム溝９を左右に押して移動させることができる。かくして、前記支え座６と前記バックボード５はその相対位置を変えることができる。
【０００９】
図８に示す如く、前記ロードポート４の底部はベース１０を具有している。前記ベース１０には三対のローラー１１，１２，１３が設けられていて、その底面はやや上向きに傾斜している。このため、最前端の一対のローラー１１の高度は後端の二対のローラー１２，１３より高くなっている。使用者が前記ロードポート４を前記位置決めフレーム１に取り付ける時、前記ベース１０の前端を下向きに押して、前記ロードポートを前向きに傾斜した状態にし、もって、前記バックボード５の背面に装置している前記支え座６の高度を上げて、前記支え座６の前記止め合い溝７と前記ロケートピン３を相互に止め合わすことができるようになる。その後、前記位置決めフレーム１を後方へ押して、前記バックボード５と前記位置決めフレーム１を相互に嵌合する。かくして、前記支え座６と前記ロケートピン３は相互に止め合えるようになる。
【００１０】
前記ロケートピン３の底端には外ネジが設けられていて、使用者が該ロケートピン３を転動することによって前記ロードポート４の高度位置を調整することができる。又、使用者は前記カム９を転動して前記支え座６の左右位置を変えることができる。よって、前記ロードポート４と前記位置決めフレーム１の水平方向の相対位置を調整することができる。
【００１１】
前述の従来例は、ウェハーロードポートの位置決めが容易でない欠点は改善している。即ち、前記ロードポートを製造工程の工作台に取り付ける速度を改善することができる。然し乍ら、使用上依然として下記の欠点を有している。
【００１２】
１．その支え座６とロケートピン３はロードポート４の下半部に設置されていて、且つ、バックボード５の背面に隠れている。このため、前記支え座６と前記ロケートピン３は前記ロードポート４と製造工程の工作台の垂直及び水平方向の相対位置を調整することができるとは言え、前記支え座６と前記ロケートピン３は調整しにくい位置に設置されているので、調整作業上相当な困難を来している。
【００１３】
２．前記支え座６と前記ロケートピン３が結合する時、必ず前記ロードポート４のベース１０の前端を下向きに押さえて、前記ロードポート４後端の高度を上げなければならない。かくして、始めて前記支え座６は前記ロケートピン３に止め合うことができる。若し、少しでも操作上の誤差があれば前記ロードポート４は倒れて衝撃を受け、損傷又は破壊することになる。
【００１４】
以上の原因により、従来の半導体ウェハー及び基板のロードポートは使用上相当な不便を来していて、大いに改良を必要とすることは言うまでもない。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の解決しようとする課題は早急に位置決めすることができる機能を具有し、且つ、ロードポートをリフトすることができて、ロードポートを製造工程の工作台に取り付けて加工できるのに便を来すロードポート位置決め装置とその位置決め方法である。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記課題を解決するために提案されたものであり、ロードポートの底部に設置し、使用者に前記ロードポートの高度を制御するのに供するリフト装置と、製造工程の工作台の位置決めフレームの頂端に設置している連接座と、該連接座に設置している上向きに突起した位置決め部品と、前記ロードポートの頂端に設置していて、底端には前記位置決め部品と相互に止め合う止め合い溝を設けている支え座と、前記連接座と前記支え座にそれぞれ設置されていて、前記ロードポートと製造工程の工作台の相対位置を調整するのに用いる垂直調整装置及び水平調整装置と、バックボードの中央の位置に設置され、前記ロードポートと製造工程の工作台間との間隙の傾斜角度を調整するのに用いる傾斜調整装置とから成るウェハーロードポートの位置決め装置とその位置決め方法を提供するものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１に本発明の技術を使用した半導体ウェハーロードポートの構造を示す。該ロードポート２０は該ロードポートの底端に設置されているベース２１と、前記ロードポート２０の中段位置に設置されているロードテーブル２２と、該ロードポート２０の背面に設置されているバックボード２３とから成る。該バックボード２３は位置決めフレーム３０に貼り合せて取り付けている。前記位置決めフレーム３０は製造工程の工作台（図示せず）の前端に設けられている。図２（ａ）に示す如く、前記バックボード２３と前記位置決めフレーム３０には若干の相互に対応した沈み孔２３１及びネジ孔３１が設けられていて、ボルトでもって前記沈み孔２３１と前記ネジ孔３１に締付けて前記ロードポート２０を前記位置決めフレーム３０に固定する。
【００１８】
前記バックボード２３と前記位置決めフレーム３０の頂端には連接装置４０が設置されている。図２（ａ）から図２（ｄ）及び図４に示す如く、前記連接装置４０は、前記位置決めフレーム３０の頂端に設置されている連接座４１と、前記バックボードの頂端に装置されている支え座４２とを含んでいる。又、前記連接座４１の中央には連接ブロック４５が設けられている。該連接ブロック４５の上には上向きに突起した位置決め部品４３が設置されている。而して、前記支え座４２の底端には前記位置決め部品４３と相互に止め合う止め合い溝４４が設けられている。更に、前記バックボード２３の頂端と前記位置決め部品４３と対応する位置に貫通孔２４が設置されていて、前記位置決め部品４３が前記バックボード２３の背面から突出して、前記支え座４２と対応する位置に合致することができるように構成されており、よって、前記ロードポート２０と前記位置決めフレーム３０を組合せる時、前記ロードポート２０を後方へ押すことによって、前記位置決め部品４３は前記貫通孔２４から突出し、前記支え座４２と相互に止め合うことができるようになっていて、取り付け上の便を来している。
【００１９】
前記連接ブロック４５及び前記支え座４２と前記位置決めフレーム３０及び前記バックボード２３の相対的垂直位置及び水平位置は調整することができる。以下、その調整方法と構造を説明する。
【００２０】
前記連接ブロック４５の中央には横向きに長楕円形のカム孔４５１が設けられている。而して、前記連接座４１の中央にはカム４６が回転できるように設けられていて、前記長楕円形のカム孔４５１に挿し込まれている。又、前記連接座４１の中央の前記連接ブロック４５の両側にはそれぞれクランプブロック４１１が設けられている。該クランプブロック４１１は前記連接ブロック４５を位置決めすることができる上、前記連接ブロック４５の上下方向の直線移動を制限することができる。又、前記クランプブロック４１１の中の一つには固定ボルト４１２が設けられていて、前記連接ブロック４５の高度の位置の調整が完了した後、前記連接ブロック４５を固定した位置に締め付けて、前記連接ブロック４５の垂直位置を固定する。故に、操作者が前記ロードポート２０の高度の位置を調整する時、前記固定ボルト４１２をゆるめ、そして、前記カム４６を転動して前記連接ブロック４５を上下に移動させることによって前記ロードポート２０の高度を調整することができる。
【００２１】
又、前記支え座４２と前記バックボード２３の水平方向に於ける相対位置も調整することができる。即ち、前記ロードポート２０と前記位置決めフレーム３０の水平方向に於ける相対位置を調整するものである。図４に示す如く、前記支え座４２の中央には水平方向に長楕円孔４２２が設けられていて、二個のボルト４２３を前記長楕円孔の中に締め込んで前記支え座４２を前記バックボード２３に固定する。又、カム４７は転動できるように前記バックボードに設けられている。而して、垂直方向のカム孔４２１が前記支え座４２に設けられていて、前記カム４７を嵌め込むのに供するようになっている。操作者が前記支え座４２の水平位置を調整する時、先に、前記ボルト４２３をゆるめ、その後、前記カム４７を転動して、前記支え座４２を駆動して水平方向に移動させ、然る後、調整が完了した時、再び前記ボルト４２３を締め付けて前記支え座４２の水平位置を固定する。前記カム４７によって前記支え座４２の水平位置を調整することができることによって、前記ロードポート２０と前記位置決めフレーム３０の水平方向の相対位置を調整することができる。
【００２２】
前記連接装置４０は操作者に前記ロードポート２０と前記位置決めフレーム３０の水平と垂直方向の相対位置を調整するものであり、且つ、該ロードポート２０を暫時前記位置決めフレーム３０に位置決めして、操作者に該ロードポート２０をその位置に締め付けることができるように構成されているのである。
【００２３】
而して、本発明の前記連接装置４０の構造上の主要な長所は、前記支え座４２と前記連接座４１は共に前記ロードポート２０の頂端に設置されていて、且つ、前記カム４６，４７は共に前記ロードポート２０の正面位置に設置されているので、操作者は前記ロードポート２０の正面より前記支え座４２と前記位置決め部品４３の位置を調整することができる。よって、操作者は順調に、且つ、容易に前記ロードポート２０と前記位置決めフレーム３０の相対位置を調整することができる。
【００２４】
前記ベース２１にはリフト装置５０が取り付けられている。前記ロードポート２０を上方にリフトして、前記支え座４２の高度を前記連接座４１の高度より高く上げ、斯くして、前記支え座４２の止め合い溝４４は順調に前記位置決め部品４３と止め合うことができる。
【００２５】
図３に示す如く、前記ベース２１には一組のスライドレール６０が設置されていて、前記ロードポート２０がスライドすることができるように前記スライドレール６０に取付けられている。そして、前記リフト装置５０の駆動を受けて上下に移動することができるようになっている。
【００２６】
前記リフト装置５０には、レバー５１があって、その比較的短い一端は前記ロードポート２０の底端の点Ａに枢着していて、その比較的長い一端は前記ベース２１の後端の上方まで延伸していて、且つ、使用者が踏むのに供するペダル５１１が設けられている。更に、ガイドバー７０があって、その下端は前記ベース２１に固定している。又、その上端は前記ロードポート２０がスライドするのに供している。更に、連接棒５２があって、その一端は前記ガイドバー７０の点Ｃに枢着し、他の一端は前記レバー５１の中央点Ｂに枢着している。図３に示す如く、前記連接棒５２と前記レバー５１の比較的短い一端とはトグル機構を構成している。前記レバー５１の比較的長い一端が下方へ踏まれた時、前記連接棒５２と前記レバー５１の比較的短い一端とは直線を形成する。このため、前記レバー５１の比較的短い一端の高度は上昇するので、前記ロードポート２０を高めに上げることができる。又、前記連接棒５２と前記レバー５１の比較的短い一端とは一直線を形成する。即ち、前記Ａ，Ｂ，Ｃの三点は一直線を形成する。よって、使用者が足で前記レバー５１の比較的長い一端を踏みこんだ時、大した労力を費やすことなく前記ロードポート２０を高めに上げることができる。
【００２７】
この外、前記バックボード２３の中間位置には一組の傾斜度調整装置６０Ａが設置されていて、前記ロードポート２０の前記バックボード２３と前記位置決めフレーム３０間の間隙の傾斜角度を調整するのに用いる。図２（ａ）及び図２（ｂ）に示す如く、前記傾斜度調整装置６０Ａは固定ボルト６１を有し、該固定ボルト６１は前記バックボード２３を通り抜けていて、且つ、その末端は前記位置決めフレーム３０に締付けて固定している。又、調整ボルト６２を有し、ネジで前記バックボード２３に締め付けていて、しかも、前記バックボード２３に締め付ける深度をネジまわすことによって調整することができるように構成されている。
【００２８】
更に又、前記調整ボルト６２の中央には孔６３が開穿されており、前記固定ボルト６１を通すのに供する。該固定ボルト６１及び前記調整ボルト６２の頂端の両側は平面に加工されていて、操作者にレンチで転動するのに供するようになっている。而して、前記調整ボルト６２の端面は前記固定ボルト６１の頭部の内側面と相互に接触しているので、前記調整ボルト６２の高度位置は前記固定ボルト６１の締付けによって制限される。操作者が前記調整ボルト６２を転動する時、先ず、前記固定ボルト６１をゆるめる。これにより、前記バックボード２３と前記位置決めフレーム３０は連動されて前記傾斜度調整装置が前に調整した位置の間隙６４を変えることができる。かくして、前記バックボード２３と前記位置決めフレーム３０との間隙６４の傾斜角度を調整することができる。然るときは、調整後再び前記固定ボルト６１を締め付けて固定することができる。
【００２９】
本発明の装置の操作方法は下記の如くである。
【００３０】
ａ．連接装置の支え座４２及び連接座４１をそれぞれロードポート２０と位置決めフレーム３０の上端に配置する。
【００３１】
ｂ．ロードポート２０を位置決めフレーム３０の前端まで押す。
【００３２】
ｃ．レバー５１を踏んでリフト装置５０上のロードポート２０をリフトする。
【００３３】
ｄ．レバー５１がベース２１に接触した時、リフト装置５０はリフトを停止する。
【００３４】
ｅ．ロードポート２０の支え座４２を位置決めフレーム３０の位置決め部品４３の上端の前まで押す。
【００３５】
ｆ．ゆるやかにレバー５１を放し、ロードポート２０の支え座４２の止め合い溝４４を位置決めフレーム３０の位置決め部品４３の上端と接合させる。
【００３６】
ｇ．バックボード２３下端の四個のネジ孔２３１が位置決めフレーム３０のネジ孔３１と対応しているかを検査する。
【００３７】
ｈ．バックボード２３と位置決めフレーム３０の傾斜度を調整して両者を接合する。
【００３８】
ｉ．結合ネジを締め付ける。
【００３９】
前記組合せの過程に於て、若し、バックボード２３と位置決めフレーム３０間の間隙の傾斜角度が不正確であった場合、ロードポートのバックボード２３の中段にある傾斜度調整装置によって、前記バックボード２３と前記位置決めフレーム３０間の間隙の傾斜角度を調整する。
【００４０】
又、若しバックボード下端の四個のネジ孔２３１と位置決めフレームのネジ孔が対応することができない場合、ロードポート２０と位置決めフレーム３０を分離して、連接ブロック４５と支え座４２の二個のカム４６，４７によって、前記連接ブロック４５と前記支え座４２の水平と垂直方向の位置の誤差の量を調整して、再び前述の方法で前記ロードポート２０と前記位置決めフレーム３０を結合する。
【００４１】
図５（ａ）から図５（ｅ）は、リフト装置５０が多種に変化した構造を示す。図５（ａ）に示す如く、リフト装置５０Ａは、末端に挿し込みピン５２Ａを設けているレバー５１Ａと、ロードポート２０の底端に装置している連接板５３Ａとを有する。前記連接板５３Ａには横向きにスライド溝５４Ａが設けられている。而して、前記レバー５１Ａ末端の前記挿し込みピン５２Ａはスライドできるように前記スライド溝５４Ａの中に挿し込まれている。前記レバー５１Ａの中段はピボットで前記ベース２１に枢着されている。而して、他の一端は操作者が足で踏むのに供し、もって、その前端をリフトして高度を高め、前記挿し込みピン５２Ａによって前記連接板５３Ａを押し動かして、前記ロードポート２０の高度を高めることができる。
【００４２】
図５（ｂ）に示すリフト装置５０Ｂは第一連結棒５１Ｂと第二連結棒５２Ｂとを有し、該第一連結棒５１Ｂと第二連結棒は相互に連結されており、且つ、その末端はそれぞれ前記ベース２１と前記ロードポート２０に枢着されている。又、推進ネジ５３Ｂがあって、水平に前記ベース２１に設置されていて、その末端は前記第一、第二連結棒５１Ｂ，５２Ｂが連結している位置に相互に連結している。操作者が前記推進ネジ５３Ｂを転動した時、該推進ネジは水平方向に移動して前記第一、第二連結棒５１Ｂ，５２Ｂを押し、前記第一、第二連結棒５１Ｂ，５２Ｂが前記推進ネジ５３Ｂに押されて移動した時、前記ロードポート２０を押して垂直方向に移動させることができる。よって、操作者は前記ロードポート２０をリフト又は降下する動作を制御することができる。
【００４３】
図５（ｃ）に示すリフト装置５０Ｃは回転できるカム５１Ｃを有している。該カム５１Ｃにはカム溝５２Ｃが設けられている。又、前記ロードポート２０の底端には連接ピン５３Ｃが突設されていて、前記カム溝５２Ｃと嵌合するようになっている。更に、前記カム５１Ｃの中心にはハンドル５４Ｃが設けられていて、前記カム５１Ｃと一体に結合している。前記ハンドル５４Ｃは前記ロードポート２０の側辺に設置されていて、操作者が前記カム５１Ｃをまわすのに供し、前記カム５１Ｃの前記カム溝５２Ｃによって前記ロードポート２０を駆動して上下に移動させることができる。
【００４４】
図５（ｄ）に示すリフト装置５０Ｄには直線に移動するカムプレート５１Ｄがあって、該カムプレート５１Ｄにはカム溝５２Ｄが設けられている。又、前記ロードポート２０の底端には連接ピン５３Ｄが設けられている。該連接ピン５３Ｄは前記カム溝５２Ｄと嵌合し、該カム溝５２Ｄの駆動を受けて垂直方向に移動する。推進ネジ５４Ｄがあって、該推進ネジ５４Ｄの推進により、前記カムプレート５１Ｄの水平方向の移動を駆動する。かくして、操作者は前記推進ネジをネジまわすことによって、前記カムプレート５１Ｄを押して作動させ、前記ロードポート２０の垂直方向の移動を駆動する作用をなすものである。
【００４５】
図５（ｅ）に示すリフト装置５０Ｅにはカム５１Ｅがあって、駆動軸５２Ｅを具有している。連動板５３Ｅがあって、前記ロードポート２０の底端に設置されている。スライド溝５４Ｅがあって、前記連動板５３Ｅに設置されていて、且つ、前記駆動軸５２Ｅと相互に嵌合している。ハンドル５５Ｅがあって、前記カム５１Ｅと相互に連結し、前記ロードポート２０の側辺に設置されて操作者が前記カム５１Ｅを転動することができるように構成されている。又、前記カム５１Ｅによって前記連動板５３Ｅを駆動して垂直方向に移動させることができる。これにより、前記ロードポート２０を連動して上下に移動させることができる。
【００４６】
【発明の効果】
本発明のウェハーロードポートの位置決め装置とその位置決め方法は早急、且つ、容易に位置決め及び操作が簡単にできる等の著大なる効果を奏する発明である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のロードポートと製造工程の工作台の位置決めフレームとの組合せ状態の側面図である。
【図２】（ａ）本発明のロードポートと位置決めフレームの分離状態の立体図である。
（ｂ）本発明の傾斜度調整装置の断面図である。
（ｃ）本発明の連接装置の部分拡大図である。
（ｄ）本発明の連接座の部分拡大図である。
【図３】本発明のロードポートのベースとリフト装置の拡大断面図である。
【図４】本発明の使用した連接装置の平面図である。
【図５】（ａ）本発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図である。
（ｂ）本発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図である。
（ｃ）本発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図である。
（ｄ）本発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図である。
（ｅ）本発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図である。
【図６】従来のウェハーロードポートの立体図である。
【図７】従来のウェハーロードポートの使用している連接装置の立体図である。
【図８】従来のウェハーロードポートの取付方法の動作説明図である。
【符号の説明】
２０ ロードポート
２１ ベース
２２ ロードテーブル
２３ バックボード
２４ 貫通孔
３０ 位置決めフレーム
３１ ネジ孔
４０ 連接装置
４１ 連接座
４２ 支え座
４３ 位置決め部品
４４ 止め合い溝
４５ 連接ブロック
４６，４７ カム
５０，５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ，５０Ｅ リフト装置
５１ レバー
５１Ａ，５２ 連接棒
５１Ｂ 第一連結棒
５１Ｅ カム
５２Ａ 挿し込みピン
５２Ｂ 第二連結棒
５２Ｄ カム溝
５２Ｅ 駆動軸
５３Ａ 連接板
５３Ｃ，５３Ｄ 連接ピン
５３Ｅ 連接板
５４Ｅ スライド溝
５５Ｅ ハンドル
６０ スライドレール
６０Ａ 調整装置
６１ 固定ボルト
６２ 調整ボルト
６３ 孔
６４ 間隙
６５ ワッシャ
７０ ガイドバー
４１１ クランプブロック
４１２ 固定ボルト
４２１，４５１ カム孔
４２２ 長楕円孔
４２３ ボルト
５１１ ペダル
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハーロードポートの位置決め装置とその位置決め方法に関するものであり、特に、半導体の製造工程に於けるウェハーロードポートを製造工程の工作台のインターフェースと接合する位置決め装置とその位置決め方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ウェハー及びリンクウィッドクリスタルディスプレイのフェースプレート等の半導体の製造工程に於て、必ず、ウェハーボックスを使用して前記半導体のウェハー或いはその他の基板をローディングしなければならない。更に、運送設備を使用して前記ウェハーボックスを製造中の各種製造工程の工作台に運送して、不同種類の加工工程を進行している。
【０００３】
前記ウェハーボックスの主要な機能はウェハー及び各種基板を受け入れるものである。又、前記ウェハーボックスの内部には清浄な保護気体を一杯に充填している。斯くして、前記ウェハー及び基板は外界の空気及び微粒塵埃の汚染から免れることができる。更に、各製造工程の工作台には必ずインプット及びアウトプットの装置を設置しなければならない。それは前記ウェハー或いは基板を外界の環境と隔離した状態の下で、前記ウェハー或いは基板を製造工程の工作台の中にローディングするのに用いる。而して、更に、必ずロードポートを設置しなければならない。前記ロードポートは前記ウェハーボックスと製造工程の工作台のインプット／アウトプット装置の仲介装置として用いる上、前記ウェハーボックスを開けて該ウェハーボックス内のウェハー或いは基板を製造工程の工作台のインプット／アウトプット装置の中にローディングするのに用いる。
【０００４】
然し乍ら、生産過程に於ては、往々にして製造工程或いは生産スケジュールの変更があって、早急に製造工程の工作台のロードポートを取り換えなければならない。この為、製造工程の工作台のロードポートは必ず早急に取り付け、且つ、位置決めすることができる機能を具有していなければ半導体の製造工程の多変化の要求を満たすことができない。
【０００５】
業界に於ける標準の中、半導体製造工程のロードポートと製造工程の工作台の間には接合フレームが設置されている。前記接合フレームは前記ロードポートの取り付け及び位置決めに供するもので、前記接合フレームと前記ロードポートの接合面の間には若干の固定用ネジ孔が設けられている。これは、使用者にボルトを使用して前記ロードポートと前記製造工程の工作台の位置決めフレームを連接して固定するのに供する。
【０００６】
然るに、従来の半導体製造設備のロードポートと製造工程の工作台の間は単純にボルトを利用して締付け方式でもって連接するものであるため、前記ロードポートを取り付ける過程に於て、必ず各ネジ孔を相互に対応させて始めてボルトを締め込むことができる。而して、ボルトを締付けた後、又、人工による微小調整の方式で前記ロードポートの取付け角度と位置を適当な角度と位置に調整しなければならない。このため、従来の半導体製造工程のロードポートの取付けと位置決めは相当に困難であり、且つ、時間の浪費を来している。
【０００７】
図６に示す如く、世界特許公報No.WO 99/12191号には、ウェハーロードポートが開示されている。その主要な特徴は、製造工程の工作台の位置決めフレーム１の底端に前方に突出した位置決め座２が設置されている。該位置決め座２の中央には上向きに突起したロケートピン３が設けられている。前記位置決めフレーム１はロードポート４を取り付けるのに供することができて、前記ロードポートを製造工程の工作台の正確な位置に取り付けることができるようになっている。又、前記ロードポートはバックボード５を具有していて、ボルトでもって前記位置決めフレーム１に締付けて固定することができる。更に、前記バックボード５の下方には支え座６が設置されている。
【０００８】
図７に示す如く、前記支え座６の中央には凹んだ止め合い溝７が設置されていて、前記ロケートピン３の頂端と相互に止め合うようになっている。又、前記支え座６と前記位置決め座２の前記バックボード５との間の位置は一定の範囲内で左右に移動することができる。又、その頂端の中央にはカム溝８が設けられている。更に、前記バックボード５にはカム９が設置されていて、前記カム溝９と嵌合して、該カム溝９を左右に押して移動させることができる。かくして、前記支え座６と前記バックボード５はその相対位置を変えることができる。
【０００９】
図８に示す如く、前記ロードポート４の底部はベース１０を具有している。前記ベース１０には三対のローラー１１，１２，１３が設けられていて、その底面はやや上向きに傾斜している。このため、最前端の一対のローラー１１の高度は後端の二対のローラー１２，１３より高くなっている。使用者が前記ロードポート４を前記位置決めフレーム１に取り付ける時、前記ベース１０の前端を下向きに押して、前記ロードポートを前向きに傾斜した状態にし、もって、前記バックボード５の背面に装置している前記支え座６の高度を上げて、前記支え座６の前記止め合い溝７と前記ロケートピン３を相互に止め合わすことができるようになる。その後、前記位置決めフレーム１を後方へ押して、前記バックボード５と前記位置決めフレーム１を相互に嵌合する。かくして、前記支え座６と前記ロケートピン３は相互に止め合えるようになる。
【００１０】
前記ロケートピン３の底端には外ネジが設けられていて、使用者が該ロケートピン３を転動することによって前記ロードポート４の高度位置を調整することができる。又、使用者は前記カム９を転動して前記支え座６の左右位置を変えることができる。よって、前記ロードポート４と前記位置決めフレーム１の水平方向の相対位置を調整することができる。
【００１１】
前述の従来例は、ウェハーロードポートの位置決めが容易でない欠点は改善している。即ち、前記ロードポートを製造工程の工作台に取り付ける速度を改善することができる。然し乍ら、使用上依然として下記の欠点を有している。
【００１２】
１．その支え座６とロケートピン３はロードポート４の下半部に設置されていて、且つ、バックボード５の背面に隠れている。このため、前記支え座６と前記ロケートピン３は前記ロードポート４と製造工程の工作台の垂直及び水平方向の相対位置を調整することができるとは言え、前記支え座６と前記ロケートピン３は調整しにくい位置に設置されているので、調整作業上相当な困難を来している。
【００１３】
２．前記支え座６と前記ロケートピン３が結合する時、必ず前記ロードポート４のベース１０の前端を下向きに押さえて、前記ロードポート４後端の高度を上げなければならない。かくして、始めて前記支え座６は前記ロケートピン３に止め合うことができる。若し、少しでも操作上の誤差があれば前記ロードポート４は倒れて衝撃を受け、損傷又は破壊することになる。
【００１４】
以上の原因により、従来の半導体ウェハー及び基板のロードポートは使用上相当な不便を来していて、大いに改良を必要とすることは言うまでもない。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の解決しようとする課題は早急に位置決めすることができる機能を具有し、且つ、ロードポートをリフトすることができて、ロードポートを製造工程の工作台に取り付けて加工できるのに便を来すロードポート位置決め装置とその位置決め方法である。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記課題を解決するために提案されたものであり、ロードポートの底部に設置し、使用者に前記ロードポートの高度を制御するのに供するリフト装置と、製造工程の工作台の位置決めフレームの頂端に設置している連接座と、該連接座に設置している上向きに突起した位置決め部品と、前記ロードポートの頂端に設置していて、底端には前記位置決め部品と相互に止め合う止め合い溝を設けている支え座と、前記連接座と前記支え座にそれぞれ設置されていて、前記ロードポートと製造工程の工作台の相対位置を調整するのに用いる垂直調整装置及び水平調整装置と、バックボードの中央の位置に設置され、前記ロードポートと製造工程の工作台間との間隙の傾斜角度を調整するのに用いる傾斜調整装置とから成るウェハーロードポートの位置決め装置とその位置決め方法を提供するものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１に本発明の技術を使用した半導体ウェハーロードポートの構造を示す。該ロードポート２０は該ロードポートの底端に設置されているベース２１と、前記ロードポート２０の中段位置に設置されているロードテーブル２２と、該ロードポート２０の背面に設置されているバックボード２３とから成る。該バックボード２３は位置決めフレーム３０に貼り合せて取り付けている。前記位置決めフレーム３０は製造工程の工作台（図示せず）の前端に設けられている。図２（ａ）に示す如く、前記バックボード２３と前記位置決めフレーム３０には若干の相互に対応した沈み孔２３１及びネジ孔３１が設けられていて、ボルトでもって前記沈み孔２３１と前記ネジ孔３１に締付けて前記ロードポート２０を前記位置決めフレーム３０に固定する。
【００１８】
前記バックボード２３と前記位置決めフレーム３０の頂端には連接装置４０が設置されている。図２（ａ）から図２（ｄ）及び図４に示す如く、前記連接装置４０は、前記位置決めフレーム３０の頂端に設置されている連接座４１と、前記バックボードの頂端に装置されている支え座４２とを含んでいる。又、前記連接座４１の中央には連接ブロック４５が設けられている。該連接ブロック４５の上には上向きに突起した位置決め部品４３が設置されている。而して、前記支え座４２の底端には前記位置決め部品４３と相互に止め合う止め合い溝４４が設けられている。更に、前記バックボード２３の頂端と前記位置決め部品４３と対応する位置に貫通孔２４が設置されていて、前記位置決め部品４３が前記バックボード２３の背面から突出して、前記支え座４２と対応する位置に合致することができるように構成されており、よって、前記ロードポート２０と前記位置決めフレーム３０を組合せる時、前記ロードポート２０を後方へ押すことによって、前記位置決め部品４３は前記貫通孔２４から突出し、前記支え座４２と相互に止め合うことができるようになっていて、取り付け上の便を来している。
【００１９】
前記連接ブロック４５及び前記支え座４２と前記位置決めフレーム３０及び前記バックボード２３の相対的垂直位置及び水平位置は調整することができる。以下、その調整方法と構造を説明する。
【００２０】
前記連接ブロック４５の中央には横向きに長楕円形のカム孔４５１が設けられている。而して、前記連接座４１の中央にはカム４６が回転できるように設けられていて、前記長楕円形のカム孔４５１に挿し込まれている。又、前記連接座４１の中央の前記連接ブロック４５の両側にはそれぞれクランプブロック４１１が設けられている。該クランプブロック４１１は前記連接ブロック４５を位置決めすることができる上、前記連接ブロック４５の上下方向の直線移動を制限することができる。又、前記クランプブロック４１１の中の一つには固定ボルト４１２が設けられていて、前記連接ブロック４５の高度の位置の調整が完了した後、前記連接ブロック４５を固定した位置に締め付けて、前記連接ブロック４５の垂直位置を固定する。故に、操作者が前記ロードポート２０の高度の位置を調整する時、前記固定ボルト４１２をゆるめ、そして、前記カム４６を転動して前記連接ブロック４５を上下に移動させることによって前記ロードポート２０の高度を調整することができる。
【００２１】
又、前記支え座４２と前記バックボード２３の水平方向に於ける相対位置も調整することができる。即ち、前記ロードポート２０と前記位置決めフレーム３０の水平方向に於ける相対位置を調整するものである。図４に示す如く、前記支え座４２の中央には水平方向に長楕円孔４２２が設けられていて、二個のボルト４２３を前記長楕円孔の中に締め込んで前記支え座４２を前記バックボード２３に固定する。又、カム４７は転動できるように前記バックボードに設けられている。而して、垂直方向のカム孔４２１が前記支え座４２に設けられていて、前記カム４７を嵌め込むのに供するようになっている。操作者が前記支え座４２の水平位置を調整する時、先に、前記ボルト４２３をゆるめ、その後、前記カム４７を転動して、前記支え座４２を駆動して水平方向に移動させ、然る後、調整が完了した時、再び前記ボルト４２３を締め付けて前記支え座４２の水平位置を固定する。前記カム４７によって前記支え座４２の水平位置を調整することができることによって、前記ロードポート２０と前記位置決めフレーム３０の水平方向の相対位置を調整することができる。
【００２２】
前記連接装置４０は操作者に前記ロードポート２０と前記位置決めフレーム３０の水平と垂直方向の相対位置を調整するものであり、且つ、該ロードポート２０を暫時前記位置決めフレーム３０に位置決めして、操作者に該ロードポート２０をその位置に締め付けることができるように構成されているのである。
【００２３】
而して、本発明の前記連接装置４０の構造上の主要な長所は、前記支え座４２と前記連接座４１は共に前記ロードポート２０の頂端に設置されていて、且つ、前記カム４６，４７は共に前記ロードポート２０の正面位置に設置されているので、操作者は前記ロードポート２０の正面より前記支え座４２と前記位置決め部品４３の位置を調整することができる。よって、操作者は順調に、且つ、容易に前記ロードポート２０と前記位置決めフレーム３０の相対位置を調整することができる。
【００２４】
前記ベース２１にはリフト装置５０が取り付けられている。前記ロードポート２０を上方にリフトして、前記支え座４２の高度を前記連接座４１の高度より高く上げ、斯くして、前記支え座４２の止め合い溝４４は順調に前記位置決め部品４３と止め合うことができる。
【００２５】
図３に示す如く、前記ベース２１には一組のスライドレール６０が設置されていて、前記ロードポート２０がスライドすることができるように前記スライドレール６０に取付けられている。そして、前記リフト装置５０の駆動を受けて上下に移動することができるようになっている。
【００２６】
前記リフト装置５０には、レバー５１があって、その比較的短い一端は前記ロードポート２０の底端の点Ａに枢着していて、その比較的長い一端は前記ベース２１の後端の上方まで延伸していて、且つ、使用者が踏むのに供するペダル５１１が設けられている。更に、ガイドバー７０があって、その下端は前記ベース２１に固定している。又、その上端は前記ロードポート２０がスライドするのに供している。更に、連接棒５２があって、その一端は前記ガイドバー７０の点Ｃに枢着し、他の一端は前記レバー５１の中央点Ｂに枢着している。図３に示す如く、前記連接棒５２と前記レバー５１の比較的短い一端とはトグル機構を構成している。前記レバー５１の比較的長い一端が下方へ踏まれた時、前記連接棒５２と前記レバー５１の比較的短い一端とは直線を形成する。このため、前記レバー５１の比較的短い一端の高度は上昇するので、前記ロードポート２０を高めに上げることができる。又、前記連接棒５２と前記レバー５１の比較的短い一端とは一直線を形成する。即ち、前記Ａ，Ｂ，Ｃの三点は一直線を形成する。よって、使用者が足で前記レバー５１の比較的長い一端を踏みこんだ時、大した労力を費やすことなく前記ロードポート２０を高めに上げることができる。
【００２７】
この外、前記バックボード２３の中間位置には一組の傾斜度調整装置６０Ａが設置されていて、前記ロードポート２０の前記バックボード２３と前記位置決めフレーム３０間の間隙の傾斜角度を調整するのに用いる。図２（ａ）及び図２（ｂ）に示す如く、前記傾斜度調整装置６０Ａは固定ボルト６１を有し、該固定ボルト６１は前記バックボード２３を通り抜けていて、且つ、その末端は前記位置決めフレーム３０に締付けて固定している。又、調整ボルト６２を有し、ネジで前記バックボード２３に締め付けていて、しかも、前記バックボード２３に締め付ける深度をネジまわすことによって調整することができるように構成されている。
【００２８】
更に又、前記調整ボルト６２の中央には孔６３が開穿されており、前記固定ボルト６１を通すのに供する。該固定ボルト６１及び前記調整ボルト６２の頂端の両側は平面に加工されていて、操作者にレンチで転動するのに供するようになっている。而して、前記調整ボルト６２の端面は前記固定ボルト６１の頭部の内側面と相互に接触しているので、前記調整ボルト６２の高度位置は前記固定ボルト６１の締付けによって制限される。操作者が前記調整ボルト６２を転動する時、先ず、前記固定ボルト６１をゆるめる。これにより、前記バックボード２３と前記位置決めフレーム３０は連動されて前記傾斜度調整装置が前に調整した位置の間隙６４を変えることができる。かくして、前記バックボード２３と前記位置決めフレーム３０との間隙６４の傾斜角度を調整することができる。然るときは、調整後再び前記固定ボルト６１を締め付けて固定することができる。
【００２９】
本発明の装置の操作方法は下記の如くである。
【００３０】
ａ．連接装置の支え座４２及び連接座４１をそれぞれロードポート２０と位置決めフレーム３０の上端に配置する。
【００３１】
ｂ．ロードポート２０を位置決めフレーム３０の前端まで押す。
【００３２】
ｃ．レバー５１を踏んでリフト装置５０上のロードポート２０をリフトする。
【００３３】
ｄ．レバー５１がベース２１に接触した時、リフト装置５０はリフトを停止する。
【００３４】
ｅ．ロードポート２０の支え座４２を位置決めフレーム３０の位置決め部品４３の上端の前まで押す。
【００３５】
ｆ．ゆるやかにレバー５１を放し、ロードポート２０の支え座４２の止め合い溝４４を位置決めフレーム３０の位置決め部品４３の上端と接合させる。
【００３６】
ｇ．バックボード２３下端の四個のネジ孔２３１が位置決めフレーム３０のネジ孔３１と対応しているかを検査する。
【００３７】
ｈ．バックボード２３と位置決めフレーム３０の傾斜度を調整して両者を接合する。
【００３８】
ｉ．結合ネジを締め付ける。
【００３９】
前記組合せの過程に於て、若し、バックボード２３と位置決めフレーム３０間の間隙の傾斜角度が不正確であった場合、ロードポートのバックボード２３の中段にある傾斜度調整装置によって、前記バックボード２３と前記位置決めフレーム３０間の間隙の傾斜角度を調整する。
【００４０】
又、若しバックボード下端の四個のネジ孔２３１と位置決めフレームのネジ孔が対応することができない場合、ロードポート２０と位置決めフレーム３０を分離して、連接ブロック４５と支え座４２の二個のカム４６，４７によって、前記連接ブロック４５と前記支え座４２の水平と垂直方向の位置の誤差の量を調整して、再び前述の方法で前記ロードポート２０と前記位置決めフレーム３０を結合する。
【００４１】
図５（ａ）から図５（ｅ）は、リフト装置５０が多種に変化した構造を示す。図５（ａ）に示す如く、リフト装置５０Ａは、末端に挿し込みピン５２Ａを設けているレバー５１Ａと、ロードポート２０の底端に装置している連接板５３Ａとを有する。前記連接板５３Ａには横向きにスライド溝５４Ａが設けられている。而して、前記レバー５１Ａ末端の前記挿し込みピン５２Ａはスライドできるように前記スライド溝５４Ａの中に挿し込まれている。前記レバー５１Ａの中段はピボットで前記ベース２１に枢着されている。而して、他の一端は操作者が足で踏むのに供し、もって、その前端をリフトして高度を高め、前記挿し込みピン５２Ａによって前記連接板５３Ａを押し動かして、前記ロードポート２０の高度を高めることができる。
【００４２】
図５（ｂ）に示すリフト装置５０Ｂは第一連結棒５１Ｂと第二連結棒５２Ｂとを有し、該第一連結棒５１Ｂと第二連結棒は相互に連結されており、且つ、その末端はそれぞれ前記ベース２１と前記ロードポート２０に枢着されている。又、推進ネジ５３Ｂがあって、水平に前記ベース２１に設置されていて、その末端は前記第一、第二連結棒５１Ｂ，５２Ｂが連結している位置に相互に連結している。操作者が前記推進ネジ５３Ｂを転動した時、該推進ネジは水平方向に移動して前記第一、第二連結棒５１Ｂ，５２Ｂを押し、前記第一、第二連結棒５１Ｂ，５２Ｂが前記推進ネジ５３Ｂに押されて移動した時、前記ロードポート２０を押して垂直方向に移動させることができる。よって、操作者は前記ロードポート２０をリフト又は降下する動作を制御することができる。
【００４３】
図５（ｃ）に示すリフト装置５０Ｃは回転できるカム５１Ｃを有している。該カム５１Ｃにはカム溝５２Ｃが設けられている。又、前記ロードポート２０の底端には連接ピン５３Ｃが突設されていて、前記カム溝５２Ｃと嵌合するようになっている。更に、前記カム５１Ｃの中心にはハンドル５４Ｃが設けられていて、前記カム５１Ｃと一体に結合している。前記ハンドル５４Ｃは前記ロードポート２０の側辺に設置されていて、操作者が前記カム５１Ｃをまわすのに供し、前記カム５１Ｃの前記カム溝５２Ｃによって前記ロードポート２０を駆動して上下に移動させることができる。
【００４４】
図５（ｄ）に示すリフト装置５０Ｄには直線に移動するカムプレート５１Ｄがあって、該カムプレート５１Ｄにはカム溝５２Ｄが設けられている。又、前記ロードポート２０の底端には連接ピン５３Ｄが設けられている。該連接ピン５３Ｄは前記カム溝５２Ｄと嵌合し、該カム溝５２Ｄの駆動を受けて垂直方向に移動する。推進ネジ５４Ｄがあって、該推進ネジ５４Ｄの推進により、前記カムプレート５１Ｄの水平方向の移動を駆動する。かくして、操作者は前記推進ネジをネジまわすことによって、前記カムプレート５１Ｄを押して作動させ、前記ロードポート２０の垂直方向の移動を駆動する作用をなすものである。
【００４５】
図５（ｅ）に示すリフト装置５０Ｅにはカム５１Ｅがあって、駆動軸５２Ｅを具有している。連動板５３Ｅがあって、前記ロードポート２０の底端に設置されている。スライド溝５４Ｅがあって、前記連動板５３Ｅに設置されていて、且つ、前記駆動軸５２Ｅと相互に嵌合している。ハンドル５５Ｅがあって、前記カム５１Ｅと相互に連結し、前記ロードポート２０の側辺に設置されて操作者が前記カム５１Ｅを転動することができるように構成されている。又、前記カム５１Ｅによって前記連動板５３Ｅを駆動して垂直方向に移動させることができる。これにより、前記ロードポート２０を連動して上下に移動させることができる。
【００４６】
【発明の効果】
本発明のウェハーロードポートの位置決め装置とその位置決め方法は早急、且つ、容易に位置決め及び操作が簡単にできる等の著大なる効果を奏する発明である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のロードポートと製造工程の工作台の位置決めフレームとの組合せ状態の側面図である。
【図２】（ａ）本発明のロードポートと位置決めフレームの分離状態の立体図である。
（ｂ）本発明の傾斜度調整装置の断面図である。
（ｃ）本発明の連接装置の部分拡大図である。
（ｄ）本発明の連接座の部分拡大図である。
【図３】本発明のロードポートのベースとリフト装置の拡大断面図である。
【図４】本発明の使用した連接装置の平面図である。
【図５】（ａ）本発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図である。
（ｂ）本発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図である。
（ｃ）本発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図である。
（ｄ）本発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図である。
（ｅ）本発明のリフト装置の各種変化可能の構造説明図である。
【図６】従来のウェハーロードポートの立体図である。
【図７】従来のウェハーロードポートの使用している連接装置の立体図である。
【図８】従来のウェハーロードポートの取付方法の動作説明図である。
【符号の説明】
２０ ロードポート
２１ ベース
２２ ロードテーブル
２３ バックボード
２４ 貫通孔
３０ 位置決めフレーム
３１ ネジ孔
４０ 連接装置
４１ 連接座
４２ 支え座
４３ 位置決め部品
４４ 止め合い溝
４５ 連接ブロック
４６，４７ カム
５０，５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ，５０Ｅ リフト装置
５１ レバー
５１Ａ，５２ 連接棒
５１Ｂ 第一連結棒
５１Ｅ カム
５２Ａ 挿し込みピン
５２Ｂ 第二連結棒
５２Ｄ カム溝
５２Ｅ 駆動軸
５３Ａ 連接板
５３Ｃ，５３Ｄ 連接ピン
５３Ｅ 連接板
５４Ｅ スライド溝
５５Ｅ ハンドル
６０ スライドレール
６０Ａ 調整装置
６１ 固定ボルト
６２ 調整ボルト
６３ 孔
６４ 間隙
６５ ワッシャ
７０ ガイドバー
４１１ クランプブロック
４１２ 固定ボルト
４２１，４５１ カム孔
４２２ 長楕円孔
４２３ ボルト
５１１ ペダル
Claims (11)
- ウェハーロードポートの位置決め装置であって、該ウェハーロードポートの位置決め装置は、半導体製造工程の工作台の位置決めフレームに取り付けられるロードポートを有し、該ロードポートの底部にはベースが設置されており、且つ、該ロードポートの背面にはバックボードが設けられており、該バックボードは前記位置決めフレームと相互に結合され、且つ、前記ロードポートの前記バックボードと前記位置決めフレームにはそれぞれ連接装置の一部をなす支え座、同じく連接装置の一部をなす連接座が設けられていて、前記ロードポートを前記半導体製造工程の工作台の位置決めフレームに位置決めして取り付けることができるように構成されており、更に、前記支え座は前記ウェハーロードポートの前記バックボードの頂端に設置されていて、その底面には止め合い溝が設けられており、更に、前記連接座は、前記位置決めフレーム正面の頂端に設置されていて、その中央には上向きに突起した位置決め部品が設けられており、更に、前記連接座が挿入できる貫通孔であって、該貫通孔は前記バックボードの前記支え座の下方の位置に設けられており、該貫通孔に前記位置決め部品を前記バックボードの背面より前記バックボードの正面に進出させることができるように構成されて成り、更に、貫通孔は前記支え座の止め合い溝と前記位置決め部品とが止め合い対応する位置に設けられており、更に、前記支え座と前記連接座の上にそれぞれ設置されていて、前記支え座と前記位置決め部品の水平及び垂直方向の相対位置を調整するためのカムを有すると共に、前記ウェハーロードポートの底端部に設置されていて、前記ロードポートをリフトして前記半導体製造工程の工作台と結合させるためのリフト装置を備えて成るウェハーロードポートの位置決め装置。
- 前記バックボードの中段部分の両側にはそれぞれ傾斜度調整装置が設置されていて、前記バックボードと前記位置決めフレーム間の間隙の傾斜度を調整するのに用いるように構成された請求項１記載のウェハーロードポートの位置決め装置。
- 前記傾斜度調整装置は調整ボルトを有し、ネジまわすことができるように前記バックボードに設置されており、且つ、固定ボルトを有し、前記調整ボルトの中を突き通っていて、その一端は前記位置決めフレームに締め付けて固定されるように構成された請求項２記載のウェハーロードポートの位置決め装置。
- 前記リフト装置は連接棒を有し、その中段は前記ベースにピボットされていて、その一端は前記ロードポートの底端と連接し、他の一端は操作者が足で踏むのに供し、前記ロードポートをリフトするように構成された請求項１記載のウェハーロードポートの位置決め装置。
- 前記リフト装置はカム装置と連動部品とを有し、前記ロードポートの底端に設置されていて、前記カム装置と連接することができるように形成され、かくして前記ロードポートは前記カム装置の駆動を受けて垂直方向に移動するように構成され、更に、駆動装置があって、操作者に前記カム装置を駆動するのに供して、前記カム装置を作動させるように構成された請求項１記載のウェハーロードポートの位置決め装置。
- 前記リフト装置の前記カム装置は回転カムであって、且つ、前記駆動装置は前記カムを連動して回転させることができるハンドルから成る請求項５記載のウェハーロードポートの位置決め装置。
- 前記リフト装置の前記カム装置は、直線偏位のプレートカムであって、且つ、前記駆動装置は前記プレートカムを連動して直線偏位をさせることができる駆動ネジから成る請求項５記載のウェハーロードポートの位置決め装置。
- 前記支え座には楕円孔とボルトが設けられていて、前記支え座を前記バックボードに固定し、且つ、水平方向の位置を調整することができるように構成されている請求項１記載のウェハーロードポートの位置決め装置。
- ウェハーロードポートの位置決め方法であって、該ウェハーロードポートの位置決め方法は以下の工程から成る。
ａ：連接装置の支え座及び連接座をそれぞれウェハーロードポート及び位置決めフレームの上端に取り付ける；
ｂ：前記ウェハーロードポートを前記位置決めフレームの前端まで推し進める。
ｃ：ペダルを踏んでリフト装置上にあるロードポートを上昇させる。
ｄ：ペダルをベースに接触するまで踏み込んで、前記リフト装置の上昇を停止させる；
ｅ：前記ウェハーロードポート上の支え座を前記位置決めフレームの位置決め部品の上端まで推し進める；
ｆ：ゆるやかにペダルを離し、前記ウェハーロードポートの前記支え座の止め合い溝を前記位置決めフレームの連接座に取り付けている前記位置決め部品の上端面と接合して装置する。
ｇ：前記バックボード下端の四個のネジ孔と前記位置決めフレームのネジ孔が相対応しているかを検査する。
ｈ：前記バックボードと前記位置決めフレームの傾斜度を調整して二者を接合する。
ｉ：結合ネジを締付けて固定する。 - 前記ウェハーロードポートの前記バックボードの中段にある傾斜度調整装置は、前記バックボードと前記位置決めフレーム間の間隙の傾斜角度を調整することができるように形成されて成る請求項９記載のウェハーロードポートの位置決め方法。
- 前記バックボード下端の四個のネジ孔が前記位置決めフレームのネジ孔と対応しない時、前記ウェハーロードポートと前記位置決めフレームとを分離して、前記連接座と前記支え座にある二つのカムで水平と垂直方向の位置の誤差量を調整して、前記ウェハーロードポートと前記位置決めフレームを統合するように形成された請求項９記載のウェハーロードポートの位置決め方法。
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