JP2804498B2 - 電子部品自動装着装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、電子部品をプリント基板、リードフレーム
等に装着するためにXY移動可能な装着ヘッドに上下動可
能に部品を吸着する吸着コレットを設けると共に前記部
品の吸着状態を検知するセンサーを設けた電子部品自動
装着装置に関する。

（ロ）従来の技術 従来技術として、本出願人が先に出願した特願昭63−
122332号に添付した明細書等に電子部品をプリント基
板、リードフレーム等に装着するためにXY移動可能な装
着ヘッドに、上下動可能及び着脱可能に部品吸着コレッ
トを設けた電子部品装着装置に於いて、前記装着ヘッド
に上下動可能にセンサーを設け、該センサーはその下降
状態では前記コレットが電子部品を吸着しているか否か
を検出し、上昇状態では前記コレットの着脱状態を検出
するようにした技術が開示されている。

然し乍ら、前記着脱時に別のコレットと交換すること
により、当然長さの異なるコレットをも扱わなければな
らないということも起り得て、各コレット毎にセンサー
の上下動位置を変更しなければならなかった。

また、厚さの異なるペレットを吸着した場合にも前記
同様センサーの上下動位置を変更しなければ吸着状態の
検出が不安定であった。

（ハ）発明が解決しようとする課題 そのため、コレットの長さ及びペレットの厚さの違い
に対応してコレットに吸着された部品とセンサーとの相
対位置を調整することである。

（ニ）課題を解決するための手段 そこで本発明は、電子部品をプリント基板、リードフ
レーム等に装着するためにXY移動可能な装着ヘッドに上
下動可能に部品を吸着する吸着コレットを設けると共に
前記部品の吸着状態を発光素子からの光を受光素子が受
光したかどうかにより検知するセンサーを設けた電子部
品自動装着装置に於いて、ある基準となる部品の厚さに
対する他の部品の厚さに関するデータを記憶する記憶装
置と、該記憶装置に記憶されたデータを基に前記吸着コ
レットに吸着された部品とセンサーとの相対位置を調整
する制御装置とを設けたものである。

また本発明は、電子部品をプリント基板、リードフレ
ーム等に装着するためにXY移動可能な装着ヘッドに上下
動可能及び着脱可能に部品吸着コレットを設けると共に
前記部品の吸着状態を検知するセンサーを設けた電子部
品自動装着装置に於いて、ある基準となる吸着コレット
の長さに対する他の吸着コレットの長さに関するデータ
を記憶する記憶装置と、該記憶装置に記憶されたデータ
を基に前記吸着コレットに吸着された部品とセンサーと
の相対位置を調整する制御装置とを設けたものである。

（ホ）作 用 以上の構成により、記憶装置に記憶された基準となる
部品の厚さに対する他の部品の厚さに関するデータを基
に制御装置により吸着コレットに吸着された部品とセン
サーとの相対位置が調整される。

また、記憶装置に記憶された基準となる吸着コレット
の長さに対する他の吸着コレットの長さに関するデータ
を基に制御装置により吸着コレットに吸着された部品と
センサーとの相対位置が調整される。

（ヘ）実施例 以下、本発明の一実施例を図面に基づき詳述する。

（１）は電子部品自動装着装置の本体で、該本体
（１）にはプリント基板（厚膜基板含む）（Ｐ）、リー
ドフレーム等を搬送するコンベア（２）と、該コンベア
（２）の途中に設けられる一対の基板位置決め装置
（３）（４）と、４個のウェハーテーブル（５）（６）
を有してXY方向への移動及び平面方向で回転可能なウェ
ハー支持台（７）（８）と、天板（９）に吊持されてXY
方向に移動可能な装着ヘッド（10）（11）とが設けられ
ている。

前記コンベア（２）は、一対の駆動スプロケット（1
2）（12）、従動スプロケット（13）（13）間に張設さ
れた一対のチェーン（14A）（14B）から成り、該チェー
ン（14A）（14B）上に載置して前記基板（Ｐ）を上流側
から下流側へ搬送する。このときチェーン（14A）（14
B）には所定間隔を存して基板（Ｐ）の送り方向の後端
部に係止する係合片（15）が立設され、基板（Ｐ）は両
チェーン（14A）（14B）上に載置し且つ各係合片（15）
で係止された状態で上流側から下流側に間欠的に搬送さ
れる。

次に、一対の基板位置決め装置（３）（４）について
説明するが、両者は同様な構成であるため、一方（４）
についてのみ説明する。該位置決め装置（３）（４）
は、基板（Ｐ）の送り方向、これと直交する幅方向及び
基板（Ｐ）の厚さ方向の各方向の位置決めを行なうもの
であるが、以下基板（Ｐ）の送り方向の位置決めのみ説
明する。

一対の軸受（16）（17）を貫通する軸杆（18）には、
クランプカム（19）が設けられ、該軸杆（18）左端部の
プーリ（20）と位置決めモータ（21）の出力軸プーリ
（22）間にはベルト（23）が張設されている。従ってモ
ータ（21）の通電により軸杆（18）が回転すると、カム
（19）が回転し、カムフォロワー（24）を介して上下部
材（25）が上下動し、これに伴ないカムレバー（26）も
上下動する。

また、カムレバー（26）が上動すると、可動クランプ
（27A）はピン（28）を介して外方向に回動し、基準ク
ランプ（27B）もバネ（29）によりピン（30）を介して
外方向に回動し、両クランプ（27A）（27B）は基板
（Ｐ）より下方に位置することになる。従って上下部材
（25）端部のカムフォロワー（24）は、クランプカム
（19）に圧接するので、該カム（19）の形状に合わせて
上下部材（25）は上下することになる。

次に、ウェハー支持台（７）（８）について詳述する
が、両者は同一構造であり支持台（７）についてのみ説
明する。（31）はXYテーブルで、Ｘ軸用モータ（32）、
Ｙ軸用モータ（33）により、Ｘ軸方向ガイド（34）及び
Ｙ軸方向ガイド（35）に沿って、平面方向に移動可能で
ある。また該XYテーブル（31）上に載置したウェハーテ
ーブル（５）は、θ用モータ（36）により正逆回転可能
である。従って、突き上げ針装置（37）の針（37A）上
方位置に、所望のウェハーシート（38）が位置すること
になる。

次に、一方の装着ヘッド（10）について詳述すると、
該ヘッド（10）は天板（９）に支持された支持部材（3
9）に支持されたボールネジ（40A）に沿ってＸ軸用モー
タ（41）によりＸ方向の移動が可能であり、またガイド
体（42）（42）に沿ってＹ軸用モータ（43）によりＹ方
向の移動が可能となる。略箱状を呈したヘッド本体（4
4）内に配設された上下用モータ（45）の出力軸プーリ
（46）とネジ軸（47）端部のプーリ（48）との間にはベ
ルト（49）が張設され、上下移動体（50）がナット体
（51）によりガイド体（52）を介して上下移動可能とな
る。

そして上下移動体（50）には、加圧用モータ（53）と
ロックソレノイド（54）が固定されており、該モータ
（53）の出力軸にはバネ取付ピン（55）を有するレバー
（56）が設けられている。前記ソレノイド（54）のプラ
ンジャ（57）には取付ピン（58）が突設され、上下移動
体（50）に固定されたＬ字形状の支持体（59）に突設し
た取付ピン（60）との間にはバネＡ（61）が張架されて
いる。

上下移動体（50）の軸受部（62）には支軸（63）によ
り揺動体（64）が回動可能とされ、該揺動体（64）の上
端部にはＵ字溝が切欠されて該溝に前記取付ピン（58）
が嵌合し、また揺動体（64）の他端部には加圧ベアリン
グ体（65）が設けられている。

（66）はロータリジョイント（67）に突設した鍔体
（68）を、前記加圧ベアリング体（65）とで挟持する固
定ベアリング体であり、前記支持体（59）の端部に設け
られている。前記揺動体（64）に突設した取付ピン（6
9）と加圧用モータ（53）の出力軸に固定されたレバー
（56）に突設した取付ピン（55）との間に張架されたバ
ネＢ（70）により前記加圧ベアリング体（65）を下方へ
付勢している。

そして、この加圧用モータ（53）の回転角度を制御す
ることにより、加圧ベアリング体（65）によるロータリ
ジョイント（67）及び固定ベアリング体（66）への押圧
力を可変とすることができる。弾性体としてのこのバネ
Ｂ（70）は、電子部品としてのペレット（71）を基板
（Ｐ）に装着する際の押しつけ圧力を加えたり、ウェハ
ーシート（38）上のペレット（71）を吸着する際の押し
つけ圧力を加えるものである。

また前記上下移動体（50）に突設した取付ピン（72）
とロータリジョイント（67）から突設した取付ピン（7
3）との間には、バランスバネＣ（74）が張架され、該
バネＣ（74）の弾性力と吸着ノズル体（75）及び吸着コ
レット（76）の自重が略等しくなるようにこの弾性力が
設定されている。

前記ロータリジョイント（67）にはピン（77）が突設
しており、このピン（77）に嵌合する係止片（78）によ
り該ジョイント（67）自身の回転は防止されている。

吸着ノズル体（75）は、ロータリジョイント（67）、
ホース（68A）を介して図示しない真空源と連結してい
る。該吸着ノズル体（75）は、上下ガイド体（79）内を
上下動可能であるが、該ノズル体（75）の上部には面取
部（80）が形成されて規制ベアリング（81）により上下
ガイド体（79）内でのθ回転はできない。

また前記ヘッド本体（44）内には、駆動モータ（82）
が配設されその出力軸プーリ（83）と前記上下ガイド体
（79）周囲に固定されたプーリ（84）間にはベルト（8
5）が張設され、前記モータ（82）の通電によりベルト
（85）を介して上下ガイド体（79）がベアリング体（8
6）に案内されつつ回転し吸着ノズル体（75）をもθ回
転させることになる。該吸着ノズル体（75）の下端に
は、吸着コレット（76）がロック機構（87）の施錠、解
錠により着脱可能に設けられる。

（88）は前記ヘッド本体（44）の側面に設けられたDC
ソレノイドで、そのプランジャ（89）には中間部が枢支
された作動レバー（90）が回転可能に連結している。
（91）はヘッド本体（44）に上下に延びた図示しないガ
イドレールに沿って上下動可能な上下スライダーで、該
スライダー（91）に突設したピン（93）とヘッド本体
（44）上部に突設したピン（94）との間にはバネＤ（9
5）が張架され、該スライダー（91）を上方へ付勢して
いる。

そしてこのスライダー（91）には、カムフォロワー
（96）が設けられており、ヘッド本体（44）には上限ス
トッパ（97）及び下限ストッパ（98）が設けられ前記作
動レバー（90）がカムフォロワー（96）に当接している
ので、前記ソレノイド（88）が励磁すると作動レバー
（90）は反時計方向へ回転してスライダー（91）を押下
げカムフォロワー（96）がストッパ（98）に当接して停
止し同様に消磁すると作動レバー（90）が時計方向へ回
転し該レバー（90）が上限ストッパ（97）に当接するま
でバネＤ（95）によりスライダー（91）を押上げる。

従って、発光素子（99）及び受光素子（100）により
ペレット（71）の吸着検出を行なう光電検知装置（10
1）を下端部に備えているので、この上下スライダー（9
1）の上下により光電検知装置（101）も上下することに
なる。

このため、検知装置（101）が下方位置にあるとき、
吸着コレット（76）が吸着しているペレット（71）の有
無状態を検知でき（第６図参照）、上方位置にあると
き、吸着コレット（76）自体の有無状態を検知できる
（第７図参照）。

次に前記吸着コレット（76）について説明すると、前
記ノズル体（75）の下端部には、ロック機構取付部（10
2）を形成し、該取付部（102）にロック機構（87）を設
ける。そして該取付部（102）には、中空の取付空間（1
03）が形成され前記吸着コレット（76）のアダプタ（10
4）が嵌合する。また取付部（102）の両側部には軸受体
（105）（105）間に夫々ロック爪体（106）を配設して
これらを支軸（107）が貫通し、ロック爪体（106）の夫
々を対向するように配設してバネ（108）によりその下
端が互いに近づくように付勢している。（109）は取付
部（102）下面に突設した位置決めピンであり、後述の
Ｕ字溝（110）に嵌合可能である。

吸着コレット（76）は、前記取付部（102）の取付空
間（103）に嵌合するアダプタ（104）と、該アダプタ
（104）の下部には前記嵌合した際に前記取付体（102）
下面に当接するアダプタフランジ部（111）と、ペレッ
ト（71）を直接吸着する吸着部（112）とから構成され
る。前記フランジ部（111）の両側部には、下部が内方
へ凹んだ係止部（113）が形成され、前記ロック爪体（1
06）の下端が該係止部（113）に入り込んでロックする
ことになる。

次に吸着コレット交換装置（114），（115）について
述べるが、両者は同一構造であるため、一方（114）に
ついてのみ述べる。該交換装置（114）は、大きく分け
て取付板（116）に対して図示しない駆動源により上下
動可能なツールストッカー（117）及びストッカー台（1
18）と、所定間隔を存して複数のロック解除ピン（11
9）を有するピン取付台（120）とから構成される。

前記ストッカー（117）及びストッカー台（118）と
は、略同形状であり、両者は所定間隔を存して互いに合
致する取付孔（121）（122）が複数穿設されている。そ
してストッカー（117）及びストッカー台（118）に穿設
した孔には２本のコンプライアンスピン（123）が遊嵌
し、頭部（124）とコイルスプリング（125）によりスト
ッカー（117）及びストッカー台（118）は、該ストッカ
ー台（118）の上面に開設した溝内にあるスチールボー
ル（126）を介して互いに圧接される。このボール（12
6）によってストッカー台（118）上をストッカー（11
7）が転がれるようになる。前記コンプライアンスピン
（123）の径より該ピン（123）が嵌合する孔径をやや大
きくとることによって、吸着コレット（76）の着脱時の
吸着ノズル体（75）のセンターとストッカー（117）に
収納された吸着コレット（76）とアダプタ（104）のセ
ンターの芯ずれを吸収できる。

前記ピン取付台（120）から立設した夫々同長のロッ
ク解除ピン（119）は、前記ストッカー（117）及びスト
ッカー台（118）を貫通している。

ストッカー（117）の取付孔（121）の上面側開口周縁
部の前後部には、吸着コレット支持台（127）が立設さ
れ、夫々位置決めピン（128）（128）が突設している。
従って該交換装置（114）に吸着コレット（76）が置か
れている場合には、前記支持台（127）上に前記フラン
ジ部（111）が当接し、然も該フランジ部（111）の長手
方向側の端部にはＵ字溝（110）（110）が形成され、夫
々位置決めピン（128）（128）が該溝（110）（110）に
嵌合し、該コレット（76）のθ回転を阻止する。

前記ピン取付台（120）は取付板（116）に取付けられ
たシリンダー（129）により、ガイド（130）（130）に
軸杆（131）（131）が案内されながら上下動が可能であ
る。（132）（132）は前記ストッカー台（118）に設け
られた軸受体で、該軸受体（132）に所定間隔を存して
複数の押え部材（133）が固定された軸杆（134）が回動
自在に支持されている。該押え部材（133）は略クラン
ク形状を呈して一端部が前記アダプタフランジ部（11
1）に上面から係合するもので、任意の押え部材（133）
の他端部には回動用駆動源としてのシリンダー（135）
が連結している。

尚、前記ツールストッカー（117）及びストッカー台
（118）に開設した複数の取付孔（121）（122）の開設
ピッチ、同じくロック解除ピン（119）が嵌合する孔
（図示せず）の開設ピッチ、ロック解除ピン（119）の
取付ピッチは全て同ピッチである。尚、前記吸着コレッ
ト（76）には番号（以下コレットナンバーと言う。）が
付されており、ここでは４種類の吸着コレット（76）を
使用しているためコレットナンバー「C1」「C2」「C3」
「C4」となる。

次に、第１図の構成回路図について詳述する。

（136）は制御装置としてのCPUで、電子部品自動装着
装置全体の総括的制御を行なうものである。

（137）は装着動作に関するプログラムを記憶するROM
である。

（138）は入力装置（139）により設定される種々のデ
ータを記憶するRAMである。

（140）は前記入力装置（139）の操作により所定の画
面を映し出すCRTである。

（141）はインターフェースである。

以下、動作について詳述する。

図示しない駆動モータが通電されると、駆動スプロケ
ット（12）（12）が回転し、従動スプロケット（13）
（13）により、チェーン（14A）（14B）上の基板（Ｐ）
は間欠的に搬送され、位置決め装置（３）の位置に到達
したら前記駆動モータの通電は断たれ基板（Ｐ）の搬送
は停止される。

すると、位置決めモータ（21）が通電されベルト（2
3）を介して軸杆（18）が回転するので、クランプカム
（19）も回転し、該カム（19）の形状に合わせてカムフ
ォロワー（24）を介して、各上下部材（25）は上下動す
ることになる。これにより基板（Ｐ）の送り方向の位置
規制が行なわれる。

即ち、モータ（21）の通電により回転するクランプカ
ム（19）に合わせて、上下部材（25）が下降すると、可
動クランプ（27A）が、バネ（29）に抗して基準クラン
プ（27B）が夫々回動して基板（Ｐ）の送り方向の位置
規制が行なわれる。

前述のように位置規制された状態にある基板（Ｐ）に
ペレット（71）を装着するわけであるが、この装着前に
ウェハーテーブル（５）上の所望のウェハーシート（3
8）がステーション（Ａ）に移動するように、ウェハー
支持台（７）をθ用モータ（36）により正逆いずれかに
回転させる。

次に、Ｘ軸用モータ（32）、Ｙ軸用モータ（33）によ
り各ガイド（34）（35）に沿って、XYテーブル（31）及
び支持台（７）を平面方向に移動させて、突き上げ針装
置（37）の上方位置に所望のウェハーシート（38）のペ
レット（71）が位置されるようにする。尚、該ウェハー
シート（38）上方には装着ヘッド（10）が位置される。

そして、前記装着ヘッド（10）の近傍に設けられた電
子部品認識装置（図示せず）によりペレット（71）の良
否判定、位置ズレ、θズレが検出され、適と判断された
ペレット（71）は吸着コレット（76）を降下させること
により吸着される。この点につき以下詳述する。

先ず、上下用モータ（45）に通電して、各プーリ（4
6），（48）、ベルト（49）を介してネジ軸（47）を回
転させ、上下移動体（50）を降下させる。すると、加圧
用モータ（53）によりバネＢ（70）によって、加圧ベア
リング体（65）がロータリジョイント（67）及び固定ベ
アリング体（66）に押圧しているので、吸着ノズル体
（75）は上下ガイド体（79）に沿ってウェハーシート
（38）まで降下する。このため、前述の如く突き上げ針
装置（37）の針（37A）と相俟ってペレット（71）を確
実に吸着できる。

そして、この吸着後は前記モータ（45）の回転を逆転
させて、ネジ軸（47）により上下移動体（50）を上昇さ
せるが、この上昇後はロックソレノイド（54）を励磁さ
せる。このため、吸引されたプランジャ（57）によりバ
ネＡ（61）に抗して揺動体（64）を支軸（63）を支点と
して回動させる。従って上下移動体（50）に固定された
支持体（59）に設けらた固定ベアリング体（66）と加圧
ベアリング体（65）とで、ロータリジョイント（67）の
鍔体（68）を挾持した状態にロックする。勿論このロッ
ク動作は、装着ヘッド（10）の水平移動中に行なわれ、
このロック動作後必要あらば吸着ノズル体（75）のθ回
転を行ない、ペレット（71）の平面方向における向きを
基板（Ｐ）への装着向きに合わせる。

即ち、駆動モータ（82）の通電により各プーリ（8
3），（84）、ベルト（85）を介して、上下ガイド体（7
9）及び規制ベアリング（81）によって吸着ノズル体（7
5）はθ回転することになる。

この吸着ノズル体（75）は、吸着ヘッド（10）の水平
方向の移動によって、前述のように位置規制された状態
にある基板（Ｐ）の上方位置まで移動し、該基板（Ｐ）
の所望位置にペレット（71）を装着することができる。

即ち、前述の如く、モータ（45）に通電して、上下移
動体（50）を降下させ、吸着ノズル体（75）を基板
（Ｐ）上まで降下させるがその途中で、前記ロックソレ
ノイド（54）を消磁させてロック動作を解除する。

この装着時には、バネＢ（70）によってペレット（7
1）は基板（Ｐ）に押圧されることになる。従って、こ
の押圧力を変更したい場合には、加圧用モータ（53）の
回転角度を希望の値にデータ設定することにより行なえ
る。

以上のように装着動作が行なわれることになるが、例
えば次に装着したいペレットが大きなペレット（71）の
場合には、それに合った吸着コレット（76）に交換しな
ければならない。以下その交換動作について、第13図〜
第20図に基づいて説明する。

先ず第10図に示すように、前述の如く吸着ノズル体
（75）及び吸着コレット（76）を降下させ、吸着コレッ
ト交換装置（114）の吸着コレットが収納されていない
ツールストッカー（117）の取付孔（121）上方位置に移
動させる。

次にシリンダー（129）の駆動によりピン取付台（12
0）及び図示しない駆動源によりツールストッカー（11
7）を上昇させる（第13図参照）。

この後、前記ノズル体（75）及びコレット（76）を更
に降下させると、ロック爪体（106），（106）がロック
解除ピン（119）に当接して支軸（107），（107）を支
点として回動して開く（第14図参照）。このため、ロッ
クが解除されることになるが、シリンダー（129）によ
って外方に回動していた押え部材（133）がこのシリン
ダー（129）の駆動により内方に回動してアダプタフラ
ンジ部（111）を押える。

勿論、このときフランジ部（111）に形成されたＵ字
溝（110）内に支持台（127）上の位置決めピン（128）
（128）が夫々嵌合し、吸着コレット（76）のθ回転は
防止される。

そして、第15図に示すように駆動源によりストッカー
（117）を降下させると、アダプタ（104）は取付空間
（103）から抜けて下がる。次に、吸着ノズル体（75）
は前述のように上昇し、ピン取付台（120）及びロック
解除ピン（119）が下降する（第16図参照）。この後、
吸着ノズル体（75）は、大きなペレット（71）用の吸着
コレット（76）の上方位置まで移動して下降し、一方前
記ピン（119）も上昇する。従って、該ピン（119）によ
ってロック爪体（106）（106）が開く（第17図参照）。

そして、ツールストッカー（117）及びストッカー（1
18）が上昇し、吸着コレット（76）のアダプタ（104）
を前記取付空間（103）内に挿入する。このとき取付部
（102）下面の位置決めピン（109）がアダプタフランジ
部（111）のＵ字溝（110）内に嵌合することにより、こ
の挿入時のθずれを防止している。然る後、シリンダー
（129）の駆動によって、押え部材（133）を外方へ回動
させる。

この後前記解除ピン（119）を降下させるので、ロッ
ク爪体（106）（106）がバネ（108）（108）により内方
へ回動し、係止部（113）内に入り込んでロックするこ
とになる（第19図参照）。そして吸着ノズル体（75）及
び吸着コレット（76）は上昇し、前記押え部材（133）
を今度は内方へ回動させ、ストッカー（117）及びスト
ッカー台（118）を下降させることによって、吸着コレ
ット（76）の交換動作が終了する。

この吸着コレット（76）の交換により、大きなペレッ
ト（71）の装着に対応できることになる。

次に、この吸着コレット（76）の交換が確実に行なわ
れたか否かの確認動作について詳述する。

先ず、ある所定高さで吸着コレット（76）が待機され
ている時に、DCソレノイド（88）が励磁している状態で
は、バネＤ（95）に抗して作動レバー（90）がカムフォ
ロワー（96）を介して上下スライダー（91）を下方に押
圧し、前記カムフォロワー（96）が下限ストッパ（98）
に当接して係止している状態となり、第６図に示すよう
に光電検知装置（101）により吸着コレット（76）がペ
レット（71）を吸着しているか否かの検知が行なわれ
る。

また、前記ソレノイド（88）を消磁させることによっ
て吸着コレット（76）の交換が正確に行なわれたか否か
検知できる。即ち、消磁によって上下スライダー（91）
はバネＤ（95）により上昇し、作動レバー（90）が上限
ストッパ（97）に当接して係止する状態となり、第７図
に示すように光電検知装置（101）は吸着コレット（7
6）の存在を確認できる。仮に、存在「無」を検知する
と、以後の動作を中止すると共に、作業者に図示しない
報知装置により報知する。

ここで、前記光電検知装置（101）による吸着コレッ
トの存在の有無、ペレット（71）の吸着状態を検知する
際は、吸着コレット（76）の交換により長さ寸法の異な
る吸着コレット（76）を使用する場合とか、同種の吸着
コレット（76）において加工精度による公差がある場合
とか、厚さの異なる種々のペレット（71）を扱う場合と
か等を考慮して、上下用モータ（45）の駆動による吸着
コレット（76）の移動量を調整する。

以下、この移動量調整動作について詳述する。

先ず、作業者は上下用モータ（45）の上下動ピッチを
装置内に設定する。即ち、上下動ピッチ設定用吸着コレ
ット（76）を使用して前記モータ（45）を駆動させ、ウ
ェハーシート（38）上まで該コレット（76）を下降させ
ることにより設定上下動ピッチを教示する。

第21図はRAM（138）内に記憶された前記設定用吸着コ
レット（76）の長さに対する実際に使用されるコレット
ナンバー「C1」「C2」「C3」「C4」の吸着コレット（7
6）の長さの違い（公差による誤差も含んでいる。）に
関するデータ（以下コレット長オフセットデータとい
う。）を示すCRT（140）の画面である。尚、ここでのコ
レットナンバー「C1」「C2」「C3」「C4」の吸着コレッ
ト（76）のオフセットデータは夫々0,−5,＋10,＋３
〔μｍ〕である。

第22図はペレットナンバー「P1」「P2」「P3」「P4」
の各種ペレット（71）の厚さ等のタイプデータに関する
データを示すCRT（140）の画面である。尚、ここでは４
個のウェハーテーブル（５）（６）に夫々４種類のペレ
ット（71）を搭載している。

この両データを基に任意の吸着コレット（76）を使用
して任意のペレット（71）を吸着し、その吸着状態もし
くは該吸着コレット（76）の交換完了状態を検知する際
の前記所定高さ位置（光電検知装置（101）の発光素子
（99）、受光素子（100）の水平位置）への移動量を変
更する。即ち、例えばコレットナンバー「C1」の吸着コ
レット（76）を使用してペレットナンバー「P1」のペレ
ット（71）を吸着する場合は、前記両データを基に図示
しない計算装置で前記設定上下動ピッチにコレット長オ
フセットデータ０〔μｍ〕及び該ペレット厚の1/2の値
を加味した値を計算し、その値に前記上下動ピッチを変
更して吸着コレット（76）を移動させる。

また、コレットナンバー「C2」の吸着コレット（76）
で厚さが前記ペレットナンバー「P1」のペレット（71）
と同じであるペレットナンバー「P2」のペレット（71）
を吸着する場合は（第23図参照）は、同様にして設定上
下動ピッチにコレット長オフセットデータ−５〔μｍ〕
及び該ペレット厚の1/2の値を加味した値（上下動ピッ
チ−Δｌ）を計算し、その値に前記上下動ピッチを変更
して吸着コレット（76）を移動させる（第24図参照）。

次に、コレットナンバー「C1」の吸着コレット（76）
でペレットナンバー「P1」「P2」と厚さの違うペレット
ナンバー「P3」のペレット（71）を吸着する場合（第25
図参照）は、同様に各データを基に前記設定上下動ピッ
チにコレット長オフセットデータ０〔μｍ〕及び該ペレ
ット厚の1/2の値を加味した値（上下動ピッチ−Δｔ）
を計算し、その値に前記上下動ピッチを変更して前記吸
着コレット（76）を移動させる（第26図参照）。

以下、同様にして、コレット長、ペレット厚が変わる
度に上下動ピッチを変更する。

尚、本実施例でペレット厚の1/2の値としたのは、光
電検知装置（101）がその下限時に吸着コレット（76）
で吸着されたペレット（71）を検知する光軸位置をペレ
ット厚の1/2の所としたためである。

また、本実施例ではペレット厚をそのままデータとし
て記憶させたが、コレット長オフセットデータと同様
に、基準となるペレット（71）に対する他のペレット
（71）の厚さの違いに関するペレット厚オフセットデー
タを記憶させるようにしても良い。

更に、吸着コレット（76）の上下動ピッチを変更して
光電検知装置（101）でのペレット（71）の吸着状態等
の安定検出を行なうようにしているが、光電検知装置
（101）側を移動させるような構造としても良いし、両
側を移動させて吸着コレット（76）の長さ及びペレット
（71）の厚さの違いに対処するようにしても良い。

（ト）発明の効果 以上の構成により、吸着コレットの長さ及び電子部品
の厚さの違いに対応可能となり、安定した検出が行なえ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図及び第３図は本発明の電子部品自動装
着装置の構成回路図及び平面図及び正面図、第４図は装
着ヘッドの一部断面せる正面図、第５図は装着ヘッドの
縦断右側面図、第６図は装着ヘッドの一部切欠せる右側
面図、第７図は上下スライダーが上昇した状態の装着ヘ
ッドの一部切欠せる右側面図、第８図は吸着ノズル下端
部を縦断した状態及び吸着コレットの正面図、第９図は
吸着ノズル下端部の左側面図、第10図は吸着ノズル交換
装置の縦断正面図、第11図は同交換装置の平面図、第12
図は同交換装置の左側面図、第13図乃至第20図は吸着コ
レットの交換動作を示す図、第21図はコレット長オフセ
ットデータを示す図、第22図はペレットに関するデータ
を示す図、第23図及び第24図はコレット長の異なる吸着
コレットを使用した際の吸着コレットの移動量を示す
図、第25図及び第26図はペレット厚の異なるペレットを
吸着する際の吸着コレットの移動量を示す図を示す。 （71）……ペレット、（76）……吸着コレット、（10
1）……光電検知装置、（136）……CPU、（138）……RA
M。

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−202095（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−142411（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H05K 13/04,13/08 B23P 21/00 305

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電子部品をプリント基板、リードフレーム
   等に装着するためにXY移動可能な装着ヘッドに上下動可
   能に部品を吸着する吸着コレットを設けると共に前記部
   品の吸着状態を発光素子からの光を受光素子が受光した
   かどうかにより検知するセンサーを設けた電子部品自動
   装着装置に於いて、ある基準となる部品の厚さに対する
   他の部品の厚さに関するデータを記憶する記憶装置と、
   該記憶装置に記憶されたデータを基に前記吸着コレット
   に吸着された部品とセンサーとの相対位置を調整する制
   御装置とを設けたことを特徴とする電子部品自動装着装
   置。
2. 【請求項２】電子部品をプリント基板、リードフレーム
   等に装着するためにXY移動可能な装着ヘッドに上下動可
   能及び着脱可能に部品吸着コレットを設けると共に前記
   部品の吸着状態を検知するセンサーを設けた電子部品自
   動装着装置に於いて、ある基準となる吸着コレットの長
   さに対する他の吸着コレットの長さに関するデータを記
   憶する記憶装置と、該記憶装置に記憶されたデータを基
   に前記吸着コレットに吸着された部品とセンサーとの相
   対位置を調整する制御装置とを設けたことを特徴とする
   電子部品自動装着装置。