JPH01291431A - ペレットボディング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、吸着具により吸着ずべきペレットの周囲にあ
るペレットをウェハーシート下面から吸引する真空吸引
部が形成されると共に、前記吸着すべきペレットをウェ
ハーシート下面側から突き上げる突きＥげ針を上下動可
能とする突き上げガイドを有するペレットボンディング
装置に関する。

（ロ）従来の技術 従来の此種ボンディング装置は、特開昭６１−２６４７
９３号公報等に開示されている。

しかし、ペレットを突き上げる突き上げ装置は、一つし
かなく、大きさの異なるペレットを数種類扱う場合には
、無理があった０例えば、小さなペレットに合わせて突
き上げ装置を製造すると、大きなペレットに対しては突
き上げが不充分となって吸着具による吸着が確実に行な
われないという不具合があった。

（ハ）　発明が解決しようとする課題 このために本発明は、種々の大きさの異なるペレットを
扱っても、夫々確実にウェハーシートを介して突き上げ
るようにして、延いては確実に吸着動作が行なわれるよ
うにすることを目的とする。

（ニ）課題を解決するための手段 そこで、吸着具により吸着すべきペレットの周囲にある
ペレットをウェハーシート下面から吸引する真空吸引部
が形成されると共に突き上げ針を上下動可能とする種類
の異なる複数の突き上げガイドを回転部材に複数取り付
け、前記吸着具によるペレットピックアップ時には、前
記回転部材の回転により作動待機位置に移動された任意
の突きとげガイド及び突き上げ針を上下作動装置により
上動せしめるようにしたものである。

（ホ）作用 小さなペレットに代えて、大きなペレットを吸着する場
合には、回転部材を回転させて、大きなペレット用の突
き上げガイドを作動待機位置に移動許せ、然る後上下作
動装置により当該突き上げガイド及び突き上げ針を上動
せしめて、ウェハーシート上の大きなペレットを突き上
げる。

（へ）　実施例 以下本発明の一実施例を図に基づき説明する。

（１）は電子部品装着装置の本体で、該本体（１）には
プリント基板（厚膜基板含む）（Ｐ）、リードフレーム
等を搬送するコンベア（２）と、該コンベア（２）に於
ける上ｔｉＥＸに設けられる反転袋！（３）と、該反転
装置（３）の下流側に設けられる一対の位置決め装置（
４）（５）と、取付台（６）上に固定される吸着ロレッ
ト交換装置（７）（８）と、４個のウェハーテーブル（
９）（１０）有してＸＹ力方向の移動及び平面方向で回
転可能なウェハー支持台（１１）（１２）と、天板（１
３）に吊持きれてＸＹ力方向移動可能な装着ヘッド（１
４）（１５）とが設けられている。

前記コンベア（２）は、一対の駆動スプロケット（１６
）（１６）、従動スプロケット（１７）（１７）間に張
設された一対のチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ＞から成り
、該チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）上に＃！、置し′Ｃ
プリント基板（Ｐ）を上流側から下流側へ搬送する。こ
のときチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）には所定間隔を存
して基板（Ｐ）の送り方向の後端部に係止する係合片（
１９）が立設され、基板（Ｐ）は両チェーン（１８Ａ）
（１８Ｂ）上に載置し且っ各係合片り１９）で係止され
た状態で上流側から下流側に間欠的に搬送される。

尚各係合片（１９）が設けられるその相互間隔は、ｔｚ
−ンピッチの整数倍となっており、この間隔内に収まる
基板（Ｐ）は全て搬送動作に関しては、段取りなしで共
通に送ることができる。

次にコンベア（２）及び可動シュート（２０Ａ＞の移動
について述べる。駆動モータ（２１）が通電されると、
ベルト（２３）を介してその駆動が伝達されてインデッ
クス装置（２２）の出力軸が間欠駆動し、その出力軸に
取付けられた出力軸プーリ（２４）とプーリ（２５）と
の間に張設されたベルト（２６）によりスプライン軸（
２７）が間欠回転するので両プーリ（２８Ａ）（２８Ｂ
）（２９Ａ）＜２９Ｂ）間に張設きれたベルト（３０）
（３１）により支軸（３２）（３３）を介して両駆動ス
プロケット（１６）（１６）が間欠回転する。これによ
り両スプロケット（１６）（１６）、　（１７）（１７
）が回転するので、チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）上の
プリント基板（Ｐ）は間欠的に定まった距離搬送きれる
ことになる。

一方可動シュート（２０Ａ）の両端に設けられたナラ（
・体（３４）（３５）にボールネジ体（３６）（３７）
が嵌合し、駆動モータ（３８）によりベルト（３９）及
びプーリ（４０）（４１＞を介して該ネジ体（３６）（
３７）が回転すると、可動シュート（２ＯＡ）が固定シ
ュート（２０Ｂ＞に対して進退動することになる。即ち
基板（Ｐ）の流れ方向と直交する方向の幅寸法に対応し
て、両シュート（２ＯＡ）（２０Ｂ）間の距離を拡げた
り狭めたりすることができる。このとき、可動シュート
（２０Ａ）はスプライン軸受（４２）によってスプライ
ン軸（２７）に沿って移動することになる。

（４３〉は前記コンベア（２）による送りが停止してい
る状態での位置決め装置（４）より１ピッチ分上流に位
置する係合片（１９）の存在を検知する一対の光学的手
段から成るセンサーで、間欠移動するコンベア（２）の
位置ずれを検知する。即ち経時変化等でチェーン＜１８
Ａ）が伸びて係合片（１９）の停止位置がずれて、ある
許容範囲を越えた場合には、前記センサー（４３）がｒ
無し」と検知すると、電子部品装着装置全体を停止させ
る。この場合、作業者は手動でもってインデックス装置
（２２）の軸を回し、ずれ量を補正する。

反転装置（３）は、前記コンベア（２）に於ける上流側
の前記チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）間の下方位置に配
設され、必要に応じ前記基板（Ｐ）のγズすれ方向の向
きを反転させるものである。該反転装置（３）は、Ｘ軸
周モータ（４４）、Ｙ軸周モータ（４５）によりＸ方向
及びＸ方向に移動可能なＸＹ子テーブル４６〉と、種々
のものが取付けられるものであってＸＹ子テーブル４６
）上に設けられる取付台（４７）とから構成きれる。　
（４８）は取付台（４７）に固定され上下杆（４９）を
上下動可能に案内するガイド、（５０）は前記上下杆（
４９）の頂部に設けられてコンベア（２）よす上方へ突
出可能な押上体、（５１）は前記上下杆（４９）の下部
に設けられたプーリ（５２）とモータ（５３）の出力軸
プーリ（５４）間に張設されたベルト、（５５）は一端
がシリンダー（５６）の作動杆と回動可能に連結され他
端が上下杆（４９）の下端部の支持部（５７）間に嵌合
され中間部を支点として揺動可能な揺動部材である。

そして、該反転装ｅ（３）の押上体（５０）には、所定
間隔を存して複数の吸引路（５８）が形成され、上下杆
（４９）には該吸引路（５８）に連通ずる真空通路（５
９）が形成され、更に該通路（５９）にはロークリジヨ
イント（６０）及びチューブ（６１）を介して図示しな
い真空源に連通ずる。

尚インデックス装！（２２）の出力側には出力軸プーリ
（２４〉との間にトルクリミッタ（６２）が設けられ、
その端部に過負荷検出板（６３）が設けられている。従
って、プリント基板搬送中に異常が起き、過負荷状態に
なって、前記検出板（６３）が軸方向に移動した場合に
、一対の光センサ−（６４）で過負荷状態を検出するこ
とができる。

（６５Ａ）（６５Ｂ）ハ前記シュート（２ＯＡ）（２０
Ｂ）（７）上流側端部に夫々対向する如く内側に設けら
れたブレーキ部材で、夫々上面には真空源に連通ずる吸
引口（６６）が複数開設されている。（６７Ａ）はロー
ダで、複数のプリント基板（Ｐ）を棚上に収納すると共
に図示しないエレベータにより昇降可能な収納箱（６８
Ａ）と誼箱（６８Ａ）内の最下位にある基板（Ｐ）を前
記：コンベア（１８Ａ）（１８Ｂ）Ｊ：に押出す押出部
材（６９）とより成る。この押出部材（６９）より収納
箱（６８Ａ）内の基板（Ｐ）が押出された際に、コンベ
ア（１８Ａ）（１８Ｂ）上にスームズに乗り移らず、勢
い余ってコンベア（１８Ａ）（１８Ｂ＞からから落下し
たりしないように、前記ブレーキ部材（６５Ａ）（６５
Ｂ＞によって吸引され確実に安定した状態で乗り移れる
ようにされている。即ち押出部材（６９）の押出動作開
始時に真空源による吸引を開始し、押出動作が終了した
ら吸引を解除する。

次に一対の基板位置決め装ｒＩ！（４）（５）について
説明するが、両者は同様な構成であるため、一方（５）
についてのみ説明する。該位置決め装置（４）く５）は
、基板（Ｐ）の送り方向、これと直交する幅方向及び基
板（Ｐ）の厚さ方向の各方向の位置決めを行なうもので
あり、以下説明する。

一対の軸受（７０）（７１）を貫通する軸杆（７２）に
は、第１図及び第２図の左から幅寄せカム（７３）、リ
フトカム（７４）及びクランプカム（７５）が設けられ
、該軸杆（７２）左端部のプーリ（７６）とモータ（７
７）の出力軸プーリ（７８）間にはベルト（７９）が張
設されている。従ってモータフ７７）の通電により軸杆
（７２）が回転すると、各カム（７３）（７４）（７５
）が回転し、各カムフォロワー（８０）（８１）（８２
）を介して各上下部材（８６）＜８７＞（８Ｂ）が上下
動し、これに伴ない各カムレバー（８９）（９０）（９
１）も上下動する。

先ず基板（Ｐ）の送り方向の規制位置決めを行なう装置
（９２）について説明する。

（９３）（９４）は前記基板（ｐ）の流れ方向の端部に
接触する基準クランプ、可動クランプで、夫々支軸（９
５）（９６）を支点として回動可能である。そしてハネ
（９７）により基準クランプ（９３）は外方に回動する
ように付勢きれ、可動クランプ（９４）はバネ〈９８）
により内方へ回動するように付勢されている。　（９１
）は前述の如く前記上下部材（８８）の頂部に設けられ
た力ｌ・レバーで、前記クランプ（９３）（９４）に突
出したビン（９９）（１００）に係合して、該クラ〉′
ブ（９３）（９４）の揺動を制御する。

一方基板（Ｐ）の流れ方向に延びたリニアガイド（１０
１）によりＸテーブル（１０２）が水平移動可能であり
、該テーブル（１０２）には前記可動クランプ（９４）
を回動可能に支持する可動体（１０３）が固定されると
共に、駆動源（図示せず）により回転するネジ軸（１０
４）が嵌合するボールネジ体（１０５）と一体化された
連結体（１０６）カ固定さレバ。（１０７）（１０８）
ハ軸受である。

従って駆動源によりネジ軸（１０４）が回転することに
より連結体（１０６）を介してＸテーブル（１０２）が
流れ方向に移動するため、可動体（１０３）も移動し、
基準クランプ（９３）に対して可動クランプ（９４）が
遠近移動することができ、種々の基板（Ｐ）の送り方向
の長さに対応できる。

またカムレバー（９１〉が上動すると、可動クランプ（
９４）はピン（１００）を介して外方向に回動し、基準
クランプ〈９３）もバネ（９７）により外方向に回動し
、両クランプ（９３）（９４）は基板（Ｐ）より下方に
位置することになる。

以上のように、上下部材（８８）は、ガイド（８５）を
介し℃と下動可能であり、固定シュート（２０Ｂ）に突
出したピン（１１０）と上下部材（８８）に突出したピ
ン（１１１）との間にはバネ（１１２）が張架２れ、該
上下部材（８８）を上方へ付勢している。従って上下部
材（８８）端部のカムフォロワー（８２）は、クランプ
カム（７５）に圧接するので、該カム（７５〉の形状に
合わせて上下部材（８８）は上下することになる。

次に基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅あ向の規制につ
いて述べる。先ず固定シュート（２０Ｂ）の上部には、
固定板（１１５）が設けられ、該固定板（１１５）上に
は所定間隔を存し、て可動ベアリング体（１１６）及び
基準ベアリング体（１１７）が設けられる。一方可動シ
ュート（２ＱＡ＞に設けられる軸受（１１８）（１１８
）に回転可能に支持される支軸（１１９）には、複数個
の幅寄せ部材（１２０）を取付け、図示しない軸により
回転可能なその円筒部分の周縁が基板（Ｐ）に当接可能
である。そして一対の、支持部（１２１）（１２１）間
に支持された取付杆（１２２）に付勢体としてのバネ（
１２３）の一端が固定され、前記幅寄せ部材（１２０）
は夫々基板（Ｐ）方向に回動するように付勢きれている
。また一対の支持部（１２１）（１２１）間に支持きれ
た支軸（１２４）により回動可能ときれた伝達アーム（
１２５）の上部には、係合ロッド（１２６）が設けられ
、前記幅寄せ部材（１２０）の夫々を基板（Ｐ）から遠
ざけるように作動する。前記伝達アーム（１２５）の他
瑞部にはカムフォロワー（１２７）が設けられ、前記幅
寄せカム（７３）と係合するカムフォロワー（８０）を
有する上下部材（８６）の上下動に伴うカムレバー（８
９）（７）上下動によって、該レバー＜８９）により前
記力Ｊ・フォロワー（１２７）を介して前記伝達アーム
＜１２５）は回動詐れることになる。

次に基板（Ｐ）への部品実装面の位置を、該基板（Ｐ）
の厚さ如何に係わらず一定とするための規制’Ｊ！（１
３０）について説明する。固定シュート（２０Ｂ）及び
可動シュート（２０Ａ＞には、夫々リニアガイド（８４
）（８４）により吸着用上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）
が上下動可能ときれている。また両シュート＜２０Ｂ）
（２０Ａ）から突設したピン＜１３１）（１３１）と各
上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）下部に突設したピン（１
３２＞（１３２）との間にはハネ＜１３３）（１３３）
が張架され、上下部材（８７）（８７）を夫々上方へ付
勢している。

一方上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）端部に設けられたカ
ムフォロワー（１３４）（１３４）は、カムレバー（９
０）により押下げられる。即ち、リフトカム（７４）に
係合するカムフォロワー（８１）を有する上下部材（８
７）の上端部に前記カムレバー（９０）を設けているの
で、リフトカム（７４）により吸着用上下部材（８７Ａ
）（８７Ａ）は夫々上下動することになる。

また（１３５）（１３５）は前記シュート（２０Ａ）（
２０Ｂ）の上部に設けられる基板押えで、前記基板（Ｐ
）の上面と係合可能な係合部（１３６）（１３６）を有
している。

更に、前記吸着用上下部材（８７Ａ）（８７Ａ＞の上流
寄りの吸着部（１３８）には、複数の吸着孔（１３７）
が開設され、真空パイプ（１３９）（１３９）を介して
図示しない真空源に連通している。従って前記上下部材
（８７Ａ＞（８７Ａ　）の−Ｅ部にプリント基板（Ｐ）
の下面が吸着可能である。

また前記上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）の上部面は、コ
ンベア〈２）搬送面よりわずかに高いレベルに設定され
ており、チェーン＜１８Ａ）（１８Ｂ＞の係合片（１９
）（１９）により基板（Ｐ）は、コンベア（２）搬送面
から前記上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）に乗り移り、そ
の時点で、真空吸着を開始する。そしてコンベア（２）
が停止したときにその吸着を停止するが、この吸着によ
りコンベア（２）が停止したときの慣性によってプリン
ト基板（Ｐ）が移動することはない。従って大きな位置
ずれを起すことなく、該上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）
によってリフトアンプされ、プリン！・基板（Ｐ）はそ
の送り方向及びこの送り方向と直交する幅方向の位置決
めがなされた状態で、基板押え＜１３５）（１３５）の
係合部（１３６）（１３６）に押しつけられる。

次にウェハー支持台（’１１）（１２）について詳述す
るが、両者は同一構造であり支持台（１１）についての
み説明する。（１４０）はＸＹ子テーブル、Ｘ軸周モー
　タ（１４１＞、Ｙ軸周モータ（１４２）により、Ｘ軸
方向ガイド（１４３）及びＹ軸方向ガイド（１４４）に
沿って、平面方向に移動可能である。また該ＸＹ子テー
ブル１４０）上に載置したウェハーテーブル（９）は、
図示しない駆動源により正逆回転可能である。

従って、突き上げ針装置（１４５）の上方位置に、所望
のウェハーシート（１４６）が位置することになる。ウ
ェハーテーブルく９）は、４個あるために、少なくとも
１種以上４種以下の例えば夫々太ききが異なるウェハー
を扱えることになる。

次に一方の装着ヘッド（１４）について詳述する。

該ヘッド（１４）は、天板（１３）に支持された支持部
材（１５０）に支持きれたポールネジ（１５１）に沿っ
て第４３図に示す駆動モータ（１５４Ａ）によりＸ方向
の移動が可能であり、またガイド体（１５２）（１５２
）に沿って駆動モータ（１５４Ｂ）によりＹ方向の移動
が可能となる。略箱状を呈したヘッド本体（１５３）内
に配設された駆動モータ（１５４Ｇ）の出力軸プーリ（
１５５）とネジ軸（１５６）端部のプーリ（１５７）と
の間にはベルト（１５８）が張設きれ、上下移動体（１
５９）がナツト体（１６０）によりガイド体（１６１）
を介して上下移動可能となる。

そして上下移動体（１５９）には、加圧用モータ（１６
２）とロックソレノイド（１６３）が固定されており、
該モータ（１６２）の出力軸にはバネ取付ピン（１６４
）を有するレバー（１６５）が設けられている。前記ソ
レノイド（１６３）のプランジ〜（１６６）には取付ピ
ン（ｔａ７）が突設され、上下移動体（１５９）に固定
されたＬ字形状の支持体（１６８）に突設した取付ピン
（１６９）との間にはバネＡ（１７０）が張架されてい
る。

上下移動体（１５９）の軸受部（１７１）には支軸（１
７２）により揺動体（１７３）が回動可能とされ、該揺
動体（１７３）の上端部にはＵ字溝が切欠されて該溝に
前記取付ピン（１６７）が嵌合し、また揺動体（１７３
）の他端部には加圧ベアリング体（１７４）が設けられ
ている。

（１７５）はロータリジヨイント（１７６）に突設した
鍔体（１７７）を、前記加圧ベアリング体（１７４）と
で挟持する固定ヘアリング体であり、前記支持体（１６
８）の端部に設けられている。前記揺動体＜１７３）に
突設した取付ピン（１７８）と加圧用モータ（１６２）
の出力軸に固定されたレバー（１６５）に突設した取付
ピン（１６４）との間に張架されたバネＢ　（１７９）
により前記加圧ベアリング体（１７４）を下方へ付勢し
ている。

そしてこの加圧用モータ（１６２）の回転角度を制御す
ることにより、加圧ベアリング体（１７４）によるロー
タリジヨイント（１７６）及び固定ベアリング体（１７
５）への押圧力を可変とすることができる。このバネＢ
　（１７９）は、ペレット（１８０Ａ＞、　（１８０Ｂ
）を基板（Ｐ）に装着する際の押しつけ圧力を加えるた
めのものである。

また前記上下移動体（１５９）に突設した取付ピン（１
８１）とロータリ：、；ｄインド（１７６）から突設し
た取付ピン（１８２）との間には、バランスバネＣ（１
８３）が張架され、該バネＢ　（１８３）の弾性力と吸
着ノズル体（１８４）及び吸着コレット（１８５）の自
重が略等しくなるようにこの弾性力が設定きれており、
前記自重の影響を除去している。

前記ロータリジＢ（ント（１７６）にはピ＞′（１８６
）が突設しており、このピン（１８６）に嵌合する係止
片（１８７）により該ジヨイント（１７６）自身の回転
は防止されている。

吸着ノズル体（１８４）は、ロータリジヨイント・（１
７６）、ホース（１９０）、大きなペレットけ８０Ｂ）
の吸着有無検出に使用する真空スイッチ（１９１）等を
介して図示しない真空源と連結している。該吸着ノズル
体（１８４）は、上下ガイド体（１９２）内を上下動可
能である−が、該ノズル体（１８４）の上部には面取部
（１９３）が形成されて規制ベアリング（１９４）によ
り上下ガ、イド体（１９２）内でのθ回転はできない、
前記真空スイッチ（１９１）は、真空源による吸引圧力
が一定値以上になった場合に作動し、吸着コレット（１
８５）がベレットを吸着していないものと判断する。

また前記ヘッド本体（１５３）内には、駆動モータ（１
９５）が配設いれその出力軸プーリ（１９６）と前記上
下ガイド体（１９２）周囲に固定きれたプーリ（１９７
）間にはベルト（１９ｇ）が張設され、前記モータ（１
９５）の通電によりベルト（１９８）を介して上下ガイ
ド体（１９２）がベアリング体（１９９）に案内されつ
つ回転し吸着ノズル体（１８４）をもθ回転さすること
になる。

該吸着ノズル体（１８４）の下端には、吸着コレット（
１８５）がロック機構（２００）の施錠、解錠により１
脱可能に設けられる。

（２０１）は前記ヘッド本体（１５３）の側面に取付け
られたＤＣソレノイドで、そのプランジャ（２０２）に
は中間部が枢支された作動レバー（２０３）が回転可能
に連結している。（２０４）はヘッド本体（１５３）に
上下に延びたガイドレール（２０５）に沿って上下動可
能な上下スライダーで、該スライダー（２０４）Ｇこ突
設したピン（２０６）とヘッド本体（１５３）上部に突
設したピン（２０７）との間にはバネＤ（２０８）が張
架きれ、該スライダー（２０４＞を上方へ付勢している
。

そしてこのスライダー（２０４＞には、カムフォロワー
（２１０）が設けられており、ヘッド本体（１５３）に
は上限ストッパ＜２１１）及び下限ストッパ（２１２）
が設けられ前記作動レバー（２０３）がカムフォロワー
＜２１０）に当接しているので、前記ソレノイド（２０
１＞が励磁すると作動しバー（２０３）は反時計方向へ
回転してスライダー（２０４）を押下げカムフォロワー
（２１０）がストッパ＜２１２）に当接して停止し同様
に消磁すると作動レバー（２０３）が時計方向へ回転し
該レバー＜２０３＞が上限ストッパ（２１１＞に当接す
るまでバネＤ（２０８）によりスライダー（２０４”）
を押上げる。

従って発光素子（２１３）及び受光素子（２１４）を備
え且つ厚さが厚いが小さなベレット（１８０Ａ）の吸着
検出に使用する充電検知装置（２１５）を下端部に備え
ているので、この上下スライダー（２０４）の上下によ
り光電検知装置（２１５＞も上下することになる。

このため、検知装置（２１５）が下方位置にあるとき、
吸着コレット（１８５）が吸着しているペレッ１−　（
１８０Ａ）（１８０Ｂ＞の有無状態を検知でき、上方位
置にあるとき、吸着コレット（１Ｂり）自体の有無状態
を検知できる。

（２８４Ａ）（２８４Ｂ）は保持形の連動する切換スイ
ッチで、使用者が任意に切換えられる。　（２８５）（
２８６）は夫々オア回路、アンド回路で、制御装置であ
るマイクロ・コンピュータ（２８７）に接続されている
。

従って切換スイッチ（２８４Ａ＞（２８４Ｂ）が、第４
３図に示すように設定しである状態では、＠記真空スイ
ッチ（１９１）が光電検知装置（２１５）かのいずれか
が、ペレット１無し」を検知したら、予めベレット無し
カウンター（図示せず）に設定された回数Ｎだけピック
アップ動作を繰り返し、Ｎ回を越えると、マイクロ・コ
ンピュータ（２８７）はモータ駆動回路（２８８）を介
して各モータ（１５４Ａ）（１５４Ｂ）（１５４Ｃ）を
制御して、装着ヘッド（１４）、　（１５）を復帰させ
た後当該装着装置の運転を停止すると共に報知手段（２
８９＞により表示灯、ブザー等の視覚か聴覚に訴えて使
用者に知らせる。然る後使用者は、ペレット′無し」が
事実か否かの確認をし、事実でなければ真空スイ／チ（
１９１）の作動レベルを調整したり、充電検知装置＜２
１５）の高さ位置調整を行なって一回試運転させるか再
運転きせればよい。

また切換スイッチ（２８４Ａ）（２８４Ｂ）を切り換え
た場合には、真空スイッチ（１９１）及び光電検知装置
（２１５）の両方がペレット１無し」を検知した場合に
、アンド回路（２８６）を介してマイクロ・コンピュー
タ（２８７）が検知出力を受けて前述と同様に制御する
。

尚前記切換スイッチ（２８４Ａ）（２８４Ｂ＞、オア回
路（２８５）、アンド回路（２８６）に代λ、て、同等
の機能をキー人力装置及びランダム・アクセス・メモリ
（ＲＡＭ）によって置換えることも可能であることは勿
論である。

次に前記吸着コレット（１８５）について説明すると、
該ノズル体（１８４）の下端部には、口Ｚり機構取付部
（２１６）を形成し、該取付部（２１６）にロック機構
（２００）を設ける。そして該取付部（２１６＞には、
中空の取付空間（２１８）が形成され前記吸着コレット
（１８５）のアダプタ（２１９）が嵌合する。また取付
部（２１６）の両側部には軸受体（２２０）（２２０＞
間に夫々ロック爪体（２２１）を配設してこれらを支軸
（２２２）が貫通し、ロック爪体（２２１）の夫々を対
向するように配設し、てバネ（２２３＞によりその下端
が互いに近づくように付勢している。（２２４）は取付
部（２１６）下面に突設した位置決めピンであり、後述
のＵ字溝（２２５）に嵌合可能である。

吸着コレット（１８５）は、前記取付部（２１６）の取
付空間（２１８）に嵌合するアダプタ（２１９）と、該
アダプタ（２１９）の下部には前記嵌合した際に前記取
付体（２１６＞下面に当接するアダプタフランジ部（２
２６）と、ベレット（ＬａＱＡ）＜１８０Ｂ）を直接吸
着する吸着部（２２７）とから構成される。前記フラン
ジ部（２２６）の両側部には、下部が内方へ凹んだ係止
部（２２８）が形成され、前記ロック爪体（２２１）の
下端が該係旧部（２２８）に入り込んでロックすること
になる。

次に吸着コレット交換装置（７）、（８）について述べ
るが、両者は同一構造であるため、一方（７）に・つい
てのみ述べる。該交換装置（７）は、大きく分けて取付
板（２３０）に対して図示しない駆動源により上下動可
能なツールストッカー＜２３１）及びストッカー台（２
３２）と、所定間隔を存して複数のロック解除ピン（２
３３）を有するピン取付台（２３４）とから構成される
。

前記ストッカー（２３１）及びストッカー台（２３２）
とは、略同形状であり、両者は所定間隔を存して互いに
合致する取付孔（２３５）（２３６）が複数穿設されて
いる。そしてストッカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）に穿設した孔には２木のコンプライアンスピン
（２３７）が遊嵌し、頭部（２３８＞とコイルスプリン
グ（２３９）によりストッカー（２３１＞及びストッカ
ー台（２３２）は、該ストッカー台（２３２）の上面に
開設した溝内にあるスチールボール（２２９）を介して
互いに圧接される。このボール（２２９）によってスト
ッカー台（２３２）上をストッカー（２３１）が転がれ
るようになる。前記コンプライアンスピン（２３７）の
径より該ピン（２３７）が嵌合する孔径をやや大きくと
ることによって、吸着コレット（１８５）の着脱時の吸
着ノズル体＜１８４）のセンターとストッカー（２３１
＞に収納きれた吸着コレット（１８５）のアダプタ（２
１９）のセンターの芯ずれを吸収できる。

前記ピン取付台（２３４）から立設した夫々同長のロッ
ク解除ピン（２３３）は、前記ストッカー（２３１）及
びストッカー台（２３２）を貫通している。

ストッカー（２３１）の取付孔（２３５）の上面側開口
周縁部の前後部には、吸着フレット支持台（２４０）が
立設され、夫々位置決めピン（２４１）（２４１）が突
設している。従って該交換装置（７）に吸着フレット（
１８５）が置かれている場合には、前記支持台（２４０
）上に前記フランジ部（２２６）が当接し、然も該フラ
ンジ部（２２６）（７）　！子方向側ノ端部ニハＵ′ｒ
−ｔＲ（２２５）（２２５）が形成され、夫々位置決め
ピン（２４１）（２４１）が該溝（２２５）（２２５）
に嵌合し、該コレット（１８５）のθ回転を阻止する。

前記ピン取付台（２３４）は取付板（２３０）に取付け
られたシリンダー（２４２）により、ガイド（２４３）
＜２４３）に軸杆（２４４）（２４４）が案内されなが
ら上下動が可能である。　（２４５）＜２４５）は前記
ストッカー台（２３２）に設けられた軸受体で、該軸受
体（２４５）に所定間隔を存して複数の押え部材（２４
７）が固定きれた軸杆（２４６）が回動自在に支持され
ている。該押え部材（２４７）は略クランク形状を呈し
て一端部が前記アダプタフランジ部（２２６）に上面か
ら係合するもので、任意の押え部材（２４７）の他端部
には回動用駆動源としてのシリンダー（２４８）が連結
している。

尚前記ツールストッカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）に開設した複数の取付孔＜２３５）（２３６）
の開設ピッチ、同じくロック解除ピン（２３３）が嵌合
する孔（図示せず）の開設ピッチ、ロック解除ビン（２
３３）の取付ピッチは全て同ピツチである。

次に突き上げ針装置（１４５）について詳述する。

先ず図示しない駆動モータ及びその出力軸に設けられた
歯車と歯車（２５０＞とが噛合しており、該歯車＜２５
０＞により回転ガイド（２５１）及び回転板（２５２）
が９０度正逆回転可能である。　（２５４）はりリング
−（２５３）により上下動するベース体で、該ベース体
（２５４）に取付けられた回転ガイド軸受＜２５５）に
案内されつつ前記回転ガイド（２５１）は回転可能であ
る。

そして回転板（２５２）には、９０度異なった位置：こ
夫々第１のガイドレール（２５６）（２５７）に沿って
移動可能な第１の作動レバー（２５８）（２５９）及び
夫々第２のガイドレール（２６０）（２６１）に沿って
移動可能な第２の作動レバー（２６２）（２６３）が設
けられる。第２の作動レバー（２６２）（２６３）には
、ガイド体（２６４）（２６５）が設けられている。一
方のガイド体（２６４）は、小さいペレット（１８０Ａ
）に対応するもので、そのステージ面（２６６）の外径
は小さく、吸着孔（２６７）の孔径も小さい。該ガイド
体（２６４）には、突き上げ針（２６８）を上下動可能
とする案内通路（２６９）が中央部に形成きれ、また４
個開設された吸着孔（２６７＞は夫々１つの集合室（２
７０）に連通した後１つの連通路（２７１）及び導管（
２７２）を介して真空源に連通している。

また他方のガイド体（２６５＞は、大きいペレント（１
８０Ｂ）に対応するもので、そのステージ面（２７３）
の外径は前記ステージ面（２６６）のそれより大きく、
吸着孔（２７４）の孔径も前記吸着孔（２６７）のそれ
よりも大きい、そしてガイド体（２６５）には、例えば
４本の突き上げ針（２７５）を上下動可能とする案内通
路（２７６）及び前記針（２７５）を支持する支持杆（
２７６）を上下動可能とする案内通路（２７７）が形成
きれ、また８個開設された吸着孔＜２７４）は夫々１つ
の集合室（２７９＞に連通した後１つの連通路（２８０
）及び導管（２８１）を介して真空源に連通している。

従って、該ガイド体（２６５）の総吸引力は、ガイド体
（２６４）のそれよりも大きく設定しである。

そして、前記突き上げ針（２６８）及び支持杆（２７７
）の下部には、夫々コイルバネ＜２８２＞（２８３）が
巻装された状態で第１の作動レバー（２５８）（２５９
）に夫々取付けられる。従ってこれらバネ（２８２）（
２８３）によって、両レバー（２５８）（２５９）、　
（２６２）（２６３）が離反するように付勢される。

（２９０）（２９１）は下限ストッパで、第１の作動レ
バー　（２５８＞（２５９）の保合部（２９２）（２９
３）が当接することにより該レバー（２５ｇ）（２５９
＞の下限が決定される。

即ち前記針（２６８）（２７５）の下限が決定されるこ
とによる。

そして、後述の上下ローラー（２９４）により夫々第１
の作動レバー（２５８）、　（２５９）が上動したとき
に、バネ＜２８２）、　（２８３）によって第２の作動
レバー（２６２＞、　（２６３）も上動するが、上限ス
トッパーボルト（２９５＞（２９６）が上限ストッパ（
２９７）（２９８）に当接すると上動は制限される。更
に第１のレバー（２５８）。

（２５９）がバネ（２８２）、　（２８３）に抗して上
動すると、釘（２６８）（２７５）は上昇し、ウェハー
シート（１４６）のベレコ−ト（１８０Ａ）、（１８０
Ｂ＞を突き上げることになる。

（２９９）、　（３００）は押下げピンで、第１の作動
レバー（２５８＞、　（２５９＞が下降するときに第２
の作動レバー　（２６２）（２６３）も下降することに
なる。

一方、ベース体（２５４）の上部には駆動モータ（３０
１）が取付けられ、その出力軸プーリ（３０２）とネジ
軸（３０３）の上部のプーリ（３０４）との間にベルト
（３０５）が張設きれる。　（３０６）は前記ネジ軸（
３０３）を支持する支持体で、（３０７）は前記ネジ軸
（３０３）が嵌合し該ネジ軸（３０３）の回転により上
下する上下バーである。該上下バー（３０７）は回転ガ
イド（２５１）の中空部に遊挿きれ、該バー（３０７）
端部の上下ローラー（２９４）が該バー（３０７）の上
動に伴ない第１の作動レバー（２５８）、　（２５９）
のいずれかを前述の如く上動させるものである。

＜３０８）、　（３０９）は回転板ストッパで、夫々回
転板（２５２＞に当接して、該回転板（２５２）の停止
位置を確実なものとしており、このストッパ（３０８）
、　（３０９）に回転板（２５２）が当接する際の衝撃
を緩和するためにショックアブソーバが設けられている
。

そして第４０図に示すように、前記ガイド体（２６４＞
、　（２６５）と真空源との間には、第１のフィルター
＜３１０）、　（３１１）と、切換弁（３１２）、　＜
３１３）と、該切換弁（３１２＞、　（３１３）と真空
源との間に並列に接続される二又絞り弁＜３１４＞（３
１５）、　（３１６）（３１７）、第２のフィルター（
３１ｇ）（３１９）、　（３２０）（３２１）及びパル
プ（３２２）（３２３）、　（３２４）（３２５）とが
設けられる。

尚真空ＥＥ　（７）　ｉ　ｕ　ハ、−又絞り弁（３１４
）（３１５）。

（３１６）（３１７）の一方の大気に開放している弁（
３２６）（３２７＞、　（３２Ｂ）＜３２９＞の絞り具
合により決まる。

前記第１のフィルター（３１０）、　（３１１）は、吸
着孔（２６７）、　（２７４）から吸い込んだ塵埃を除
塵して、切換弁（３１２）、　（３１３）及び二又絞り
弁（３２６）（３２７）。

（３２８）（３２９）を保護し、第２のフィルター（３
１８）。

（３１９）、　（３２０）、　（３２１）は、前記二又
絞り弁（３２６）（３２７）、　（３２８）（３２９）
から吸い込んだ塵埃を除塵し、夫々パルプ（３２２）（
３２３）、　（３２４）（３２５）を保護する。

以上の構成により以下動作について説明する。

（１）　コンベア（２）幅の調整動作 固定シュート（２０Ｂ）に対する可動シュート（２ＯＡ
）の移動動作について以下述べる０種々の大きさのプリ
ント基板（Ｐ）をコンベア（２）を搬送できるようにす
るために、先ず駆動モータ（３８）によりベルト（３９
）及び各プーリ（４０）（４１）を介してボールネジ体
（３６）（３７）を回転させる。するとナツト体（３５
）（３６）が可動シュート（２０Ａ）と共に進退動する
が、このとき可動シュート（２ＯＡ）はスプライン軸〈
２７）に案内されながら移動することになる。従って両
スプロケット（１６）、　（１７）間に張設されたチェ
ーン（１８Ｂ）も移動することになり、プリント基板（
Ｐ）の送り方向と直交する方向の幅に対応できることに
なる。

（ｉ）　　プリント基板（Ｐ）の搬送動作駆動モータ（
２１）が通電されると、ベルト（２３）を介してインデ
ックス装置（２２）が働らき、その−力軸ブーリ〈２４
）とプーリ（２５）との間に張設されたベルト（２６）
により支軸（３２）（３３）を介して駆動スプロケット
（１６）（１６）が回転する。このため従動スプロケッ
ト（１７）（１７）も回転し、チェーン（１８Ａ）（１
８Ｂ）上のプリント基板（Ｐ）は間欠的に搬送されるこ
とになる。

このとき、プリント基板（Ｐ）は、各保合片（１９）に
その上流側端部が係合した状態で、間欠的に搬送きれる
。

尚、駆動スプロケット（１６）の加工上の寸法誤差が送
り精度のバラツキにならないようインデックス装Ｗｔ（
２２）の１割出しによって、該スプロケット（１６）が
１回転するようにし、このスプロケット（１６）の１回
転が間欠撤退の１ピツチとなるように該スプロケット（
１６）、ブーりの歯数が決めである。

またローブ（６７Ａ）から前記チェーン（１８Ａ＞（１
８Ｂ＞上へプリント基板（Ｐ）の橋渡しは、先ず収納箱
（６８Ａ）内の最下位にある基板（Ｐ）を押出部材（６
９）により押出すことにより行なわれる。即ち押出部材
（６９）は、前記各係合片〈１９）間に各基板（Ｐ）が
位置するように作動する。

前記押出部材（６９）が基板（Ｐ）を押出すと、この押
出動作開始に同期して各ブレーキ部材（６５Ａ）（（ｉ
５Ｂ）により各吸引口（６６）を介して基板（Ｐ）の動
きに真空によってブレーキをかけるので、コンベア（１
８Ａ）（１８Ｂ）上に確実に安定した状態で乗り移れる
。而してこの乗り移った後は、前記押出動作終了に同期
して真空源による吸引を解除する。

尚基板（Ｐ）の搬送中に何らかの事故が起きて、過負荷
状態となると、トルクリミッタ（６２）が働らきその検
出板（６３）が軸方向に移動することになるので、一対
の光センサ−（６４）で過負荷状態を検出することがで
きる。このときには、当該駆動モータ（２１）を非通電
とすると共に図示しない報知手段で使用者にその旨を報
知する。従って使用者は、その事故の原因を取除けばよ
い。

またこのようにしてプリント基板（Ｆ’）の搬送は行な
われるが、経時変化等でチェーン（１８Ａ）が伸びて係
合片（１９）の停止位置がずれである許容範囲を越えた
場合には、センサー（４３）が係合片（１９）に遮光さ
れず係合片（１９）の存在をｒ無し」と検知すると、電
子部品装着装質全体を停止きせる。この場合、作業者は
、手動でもってインデックス装置（２２）の軸を回し、
ずれ量を補正し、正規の位置に戻せばよい。

（ｉ）　　プリント基板（Ｐ）の位置決め動作そしてチ
ェーン（１８Ａ）（１８Ｂ＞により、位置決め装置ｔ（
４）の位置に到達したのが検知されると、駆動モータ（
２１）の通電は断たれプリント基板（Ｐ）の搬送は停止
する。

すると、モータ（７７）が通ｔすれベルト（７９）を介
して軸杆（７２）が回転するので、各カム（７３）（７
４）（７５）も回転し、該カムの形状に合わせてカムフ
ォロワー（８０）（８１）（８２）を介して、各上下部
材（８６）（８７）（８８）は上下動することになる。

これによりプリント基板（Ｐ）の送り方向、この送り方
向と直交する幅方向、これらの方向と直交する垂直方向
の位置規制を行なう。

■　プリント基板（Ｐ）の送り方向の位置規制基板（Ｐ
）がこの位置決め位置に到達する前は、カムレバー（９
１）が上昇位置にあるため第８図に示す状態にある。

そして、モータフ７７）の通電により回転するクランプ
カム（７５）に合わせて、上下部材〈８８）がバネ（１
１２）に抗して下降すると、バネ（９８）により可動ク
ランプ（９４）がバネ（９７）に抗して基準クランプ（
９３）が夫々回動してプリント基板（Ｐ）の送り方向の
位置規制が行なわれる。

即ら、ガイド（８５）に沿って上下部材（８８）が下降
Ｃると、可動クランプ＜９４）は支軸（９６）を支点と
し基準クランプ（９３）は支軸（９５）を支点として夫
々回動する。このため、各クランプが基板（Ｐ）の上流
側端面及び下流側端面に当接することになる。

尚プリント基板（Ｐ）の送り方向の寸法が変更する場合
には、チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）に載置する前に、
図示しない駆動源によりネジ軸（１０４）を回転させる
ことにより行なう、このネジ軸（１０４）が回転すると
、ボールネジ体（１０５）及び連結体（１０６）を介し
てリニアガイド（１０１）に沿ってＸテーブル（１０２
）が移動する。このＸテーブル（１０２）には、可動ク
ランプク９４）を支持する可動体（１０３）が固定され
ているので、基準クランプ（９３）に対して可動クラン
プ（９４）が遠ざかったり近づいたりすることができる
。これにより、プリント基板（Ｐ）の送り方向の寸法が
変っても、対処できることになる。

■　プリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の
位置規制 基板（Ｐ）がこの位置決め位置に到達する前は、上下部
材（８６）及びカムレバー（８９）が上昇位置にあるの
で、バネ（１２３）に抗して幅寄せ部材（１２０）は第
１１図に示すような状態にある。

そし、て前記モータ（７７）の通電により回転する幅寄
せカム（７３）の形状に合わ七て上下部材（８６）が下
降する。このためバネ（１２３）によって幅寄せ部材（
１２０）は支軸（１１９）を支点として上部が基板（Ｐ
）側に回動する。この回動により基板（Ｐ）を可動ベア
リング体（１１６）とで挾持することになる。従って基
板（Ｐ）の幅方向の位置が規制されることになる。

尚このプリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向
の寸法が変った場合には、前述の如く、駆動モータ（３
８）により可動シュート（２０Ａ）を移動さ仕、固定シ
ューｈ（２０Ｂ）との間隔を拡開したり、狭めることに
よって結果的にこれら幅寄せ部材（１２０）を移動させ
ればよい。

■　プリント基板（Ｐ）の垂直方向の規制基板（Ｐ）が
この位置決め位置に到達する前は、上下部材（８７）及
びカムレバー（９０）は第１３図に示すように下降位置
にあって、吸着用上下部材（８７Ａ）（８７Ｂ）の上面
はチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）の上面よりわスカに高
いレベルにあり、各チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）の係
合片（１９）により基板（Ｐ）はチェーンから各上下部
材（８７Ａ）（８７Ｂ）の上面に乗り移って吸着される
。そしてコンベア（２）が停止したときにその吸着を停
止することになるが、この吸着によりコンベア（２）が
停止したときの慣性によってプリント基板（Ｐ）が移動
することは少ない。

モして前記モータ（７７）の通電により回転するりフト
カム（７４）の形状に合わせて、上下部材（８７）及び
カッ・し／＜−（９０）が上昇すると、プリント基板（
Ｐ）は、バネ（１３３）（１３３）により上昇する前記
上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）によって押上げられる。

このため基板（Ｐ）は、送り方向及びこの送り方向と直
交する幅方向の位置規制がなされた状態で、基板押え＜
１３５）（１３５）の係合部（１３６）（１３６＞の下
面に当接、した状態となる（第１４図参照）。

従って、この規制装置（１３０）によって、基板（Ｐ）
への部品実装面の位置を、該基板（Ｐ）の厚さに影響さ
れず常に一定とすることができる。

以上の基板（Ｐ）の各位置規制は、モータ（７７）の通
電により略同時に開始きれることになるが、送り方向の
位置規制、この送り方向とは直交する幅方向の位置規制
、これらの方向と直交する垂直方向の位置規制の順に終
了する。

（ｉｖ）　　ウェハーテーブル（９）等の動作前述のよ
うに位置規制された状態にあるプリント基板（Ｐ）にペ
レットを装着するわけであるが、この装着前にウェハー
テーブル（９）上の所望つ工バーシート（１４６）がス
テージクン（Ａ）に移動するように、ウェハー支持台（
１１）を図示しない駆動源により正逆いずれかに回転さ
せる。

次にＸ動用モー　タ（１４１）、Ｙ軸周モータ（１４２
＞にヨリ各カイト（１４３）（１４４）＋、：沿ッテ、
ｘＹ子テーブル　１４０）及び支持台（１１）を平面方
向に移動させて、突き上げ針装置（１４５）のガイド体
（２６４”）の上方位置に所望のウェハーシート（１４
６）上のペレット（１ｇＯＡ）が位置するようにする。

そしてシリンダー（２５３）によりべ一体（２５４）を
上動させ、前記ガイド体（２６４）をウェハーシート（
１４６）に近接させる。その後駆動モータ（３０１）を
通電させ、各プーリ（３０２）（３０４）及びベルト（
３０５）を介してネジ軸（３０３）を回転させ上下バー
（３０７）を上昇させる。すると該バー（３０７）は、
第１の作動レバー（２５８）を上昇させるので、ハネ（
２８２）によって第２のレバー（２６２）も上昇するが
、ボルト（２９５）が上限ストッパ（２９７）に当接す
るので、この上動は制限される。

しかし、更に第１のレバー（２５８）は上動するので、
突き上げ針（２６８）は上昇する。従って第３６図に示
すように、真空源により導管（２７２）、連通路（２７
１）及び吸着孔（２６７）を介して、ステージ面（２６
６＞上に吸着したシート（１４６）を突き上げ、シート
（１４６）面からペレット（１８０Ａ＞を剥がすように
して装着ヘッド（４）の吸着部（２２７）とで保持する
状態として該吸着部（２２７）が確実にペレット（１８
０Ａ）を吸着する。

但し７、このとき突き上げ針（２６８）は、その下限停
止位置から一気に突き上げるのではなく、ベレット吸着
後の吸着フレット（１８５）の上昇タイミングと同期を
とるために、先ず突き上げ針（２６８）上端がステージ
面（２６６）と同一レベルで待機して、しかるべきタイ
ミング信号でもって上昇して前記シート（１４６＞を突
き上げる（第３６図参照）、このとき降下している吸着
コレット（１８５）の吸着部（２２７）の下端部とでペ
レット（１ｇＯＡ＞を挾持しても、更に針（２６Ｂ）は
上昇するので、装着ヘッド（１４）の上下移動体（１５
９）が停止状態にあってもバネＢ　（１７９）に抗して
吸着ノズル体＜１８４）を上昇許せる。

この後突き上げ針（２６８）と吸着ノズル体（１８４）
は、同期してペレット（１８０Ａ）を挾持した状態で共
に上昇する。そして、所定の上昇に到達した後は、前記
ノズル体（１８４）のみ上昇し、前記針（２６８）は下
降し待機位置に戻る。

この吸着後は、前記駆動モータ（３０１）の回転を逆転
させ、上下バー（３０７）を下動させバネ（２８２）に
より第１の作動レバー（２５８）を下降させるので前記
針（２６８）は下降し、更に上下バー（３０７）が下動
すると、第２の作動レバー（２６２）も下降し、この突
き上げ計装ｆｔ（１４５）はシリンダー（２５３）によ
って下降することによって初期状態となる。

次に大きなペレット（１８０Ｂ）を装着したい場合には
、そのウェハーシート（１４６）がステーション（Ａ）
に位置するように支持台〈１１）を回転させると共にＸ
Ｙ子テーブル１４０）及び支持台（１１）を平面方向に
移動させて、次の装−着動作に備える。また突き上げ針
装置（１４５）の回転板（２５２）を９０度回転させる
。即ち、図示しない駆動モータに通電して、その出力軸
に設けられた歯車に噛合する歯車（２５０）により回転
ガイド（２５１）及び回転板（２５２）を回転きせ、回
転板ストッパ（３０８）に当接して停止位置を確実なも
のにしている。

従って、大きなペレット（１８０Ｂ）用のガイド体（２
６５）がウェハーシート（１４６）の直下方に位置する
ことになる。

尚第４０図に示すように、ペレットをウェハーシート（
１４６）から剥離する際に、ウェハーシート（１４６）
をステージ面（２６６）に吸着するための真空圧も変更
することができる。即ち比較的小さなペレット（１ｇＯ
Ａ）の場合には、切換弁（３１２）を切換えることによ
って、二又絞り弁（３１４）、　（３１５）のいずれか
を選択して異なる真空圧で吸引でき、また比較的大きな
ペレット（１８０Ｂ）の場合には、切換弁（３１３）を
切換えることによって、二又絞り弁（３１６）、　＜３
１７）のいずれかを選択して異なる真空圧で吸引できる
。

従って、各ガイド体（２６４）、　（２６５）につき２
種類の真空圧を選択ＦＡ整でき、各ウェハーテーブル（
９）（１０）上のウェハーの大きさの異なる種類に応し
て対応することができる。

例えば、前述のノ」＼きなペレット（１ｇＯＡ＞を扱う
場合には、切換弁（３１２）を切換えて、二又絞り弁（
３１４）を選択し、各バルブ（３２３）、　（３２４）
、　（３２５）を閉じ、バルブ（３２２）は開く。ｒる
と真空圧は、例えば２５０１１！ｌｌＨｇとなる。また
このとき、ガイド体（２６４”）の吸着孔（２６７）を
介して吸い込んだ塵埃は第１のフィルター（３１０）で
除塵され、切換弁（３１２）及び二又絞り弁（３１４）
は保護される。更には、二又絞り弁（３１４）の弁（３
２６）から吸い込んだ塵埃は第２のフィルター（３１Ｂ
）で除塵され、バルブ（３２２）は保護符れる。このペ
レット（１８０Ａ）より少許大きなペレットを扱う場合
には、切換弁（３１２）を切換えで二又校り弁（３１５
）を選択して、真空圧を例えば３５０珊Ｈｇとする。

勿論大きなペレット（１８０Ｂ）を扱う場合には、切換
弁（３１３）を切換えて、二又絞り弁（３２８）、　（
３２９）のいずれかを選択して、真空圧を例えば３００
１１ｎ　ｕｌ、。

４００ｍ）Ｉｇのいずれかに設定することができる。

（ｖ＞　　ペレットの装着動作 装着ヘッド（１４）は、駆動モータ（１５４Ａ）によっ
て回転きれるボールネジ（１５１Ａ＞によりＸ方向の移
動ができ、駆動モータ（１５４Ｂ）によって回転される
ボールネジ（１５１Ｂ＞によりガイド体（１５２）（１
５２）に沿ってＹ方向の移動が可能となる。

従って、装着へラド（１４）は、ステーション（Ａ）に
位置するウェハーシート（１４６）の吸着すべきペレッ
ト（１８０Ａ）の上方位置まで移動でき、次いで吸着コ
レット（１８５）を降下させることにより所望ノペレッ
ト（１８０Ａ）を吸着できる。この点につき以下詳述す
る。

先ず駆動モータ（１５４Ｃ）に通電して、各プーリ（１
５５）、　（１５７）、ベルト（１５８）を介してネジ
軸（１５６）を回転させ、上下移動体（１５９）を降下
させる。すると、加圧用モータ（１６２）によりバネＢ
（１７９）によって、加圧ベアリング体（１７４）がロ
ークリジヨイント（１７６）及び固定ベアリング体（１
７５）に押圧しているので、吸着ノズル体（１８４＞は
上下ガイド体（１９２）に沿ってつエバーシート（１４
６）まで降下する。このため、前述の如く突き上げ針装
置（１４５）の針（２６８）と相俟ってペレット（１８
０Ａ）を確実に吸着できる。

そして、この吸着後は前記モータ（１５４Ｃ）の回転を
逆転許せて、ネジ軸（１５６）により上下移動体（１５
９）を上昇させるが、この上昇後はロックソレノイド（
１６３）を励磁させる。このため吸引されたプランジＪ
ｖ（１６６）によりバネ（１７０）に抗して揺動（１７
３）を支軸（１７２）を支点として回動させる。従って
上下移動体（１５９）に固定された支持体（１６８）に
設けられた固定ヘアリング体（１７５）と加圧ベアリン
グ体（１７４）とで、ロークリジヨイント（１７６）の
鍔体（１７７）を挾持した状態に口・ツクする。勿論こ
のロック動作は、装着ヘッドク１４）の水平移動中に行
なわれ、このロック動作後必要あらば吸着ノズル体（１
８４）のθ回転を行ない、ペレット（１８０Ａ＞の平面
方向における向きを基板（Ｐ）への装着向きに合わせる
。

即ち、駆動モータ（１９５）の通電により各プーリ（１
９６）、　（１９７）、ベルト（１９８）を介して、上
下ガイド体（１９２）及び規制ベアリング（１９４＞に
よって吸着ノズル体（１８４）はθ回転することになる
。

この吸着ノズル体（１８４）は、装着ヘッド（１４）の
水平方向の移動によって、前述のように位置規制された
状態にあるプリント基板（Ｐ）の上方位置まで移動し、
該基板（Ｐ）の所望位置にペレット＜１８ＯＡ）を装着
することができる。

即ち、前述の如く、モータ（１５４Ｃ）に通電して、上
下移動体（１５９）を降下させ、吸着ノズル体（１８４
）を基板（Ｐ）上まで降下させるがその途中で、前記ロ
ックソレノイド（１６３）を消磁させてロック動作を解
除する。

この装着時には、バネＢ　（１７９）によってペレッ）
（１８０Ａ）はプリント基板（Ｐ）に押圧されることに
なる。従ってこの押圧力を変更したい場合には、加圧用
モータ（１６２）の回転角度を希望の値にデータ設定す
ることにより行なえる。

尚、前記吸着フレット（１８５）による吸着動作時に、
図示しない真空源による真空吸引動作が開始した場合に
、当該装着装置の全てを統轄制御するマイクロ・コンピ
ュータ（２８７）は、前記真空スイッチ（１９１）、光
電検知装置（２１５）からの検知データをオア回路（２
８５）かアンド回路（２８６）を介して取り込む。そし
て、切換スイッグー（２８４Ａ）（２８４Ｂ＞の状態に
より少なくとも一方の検知データか両方の検知データの
内容がペレットｒ無し」であれば、予めペレット無しカ
ウンター（図示せず）に設定された回数Ｎだけ、ピック
アップ動作を繰り返し、Ｎ回を越えると、装着ヘッド（
１４）、　（１５）を原点に復帰させて、当該装着装置
の運転を停止すると共に使用者に報知手段（２８９）に
よって視覚か聴覚により使用者にその旨を報知する。従
って使用者は、ペレットｒ無し」が事実か否かの確認を
し、事実でなければ真空スイング＝（１９１）の作動レ
ベルを調整したり、光電検知装置（２１５）の高き位置
調整を行なって一回試運転させるか書違転移せて、その
調整が適切か否かを確認する。適切でなければ、再度ｙ
４整し、適切であれば通常運転を続行すればよい。

また装着ヘッド（１４）（１５）は、前記チェーン（１
８Ａ）（１８Ｂ＞の各保合片（１９）の間隔の整数倍の
間隔を存して配設してあり、このためタイミング上同時
に両ヘッドがポンディング動作ができる。

（■）　　吸着コレット（１８５）の交換動作以上のよ
うに装着動作が行なわれることになるが、例えば次に装
着したいペレットが大きなペレット（１８０Ｂ）の場合
には、それに合った吸着コレット（１８５）に交換しな
ければならない、以下その交換動作について、第２５図
〜第３２図に基づいて説明する。

先ず第２２図に示すように、前述の如く吸着ノズル体＜
１８４）及び吸着コレット（１８５）を降下させ、吸着
−レット交換装置（７）の吸着ロレットが収納されてい
ないシールストッカー（２３１）の取１寸子しく２３５
）上方位置に移動させる。

次にシリンダー（２４２）の駆動によりピン取付台（２
３４）及び図示しない駆動源によりシールストッカー（
２３１）を上昇きせる（第２５図参照）。

この後、前記ノズル体（１８４）及びコレット（１８５
）を更に降下させると、ロック爪体（２２１）、　（２
２１）がロック解除ピン（２３３）に当接して支軸（２
２２）、　（２２２）を支点として回動して開く（第２
６図参照）、このため、ロックが解除されることになる
が、シリンダー（２４８）によって外方に回動していた
押え部材（２４７＞がこのレリンダ−（２４ｇ）の駆動
により内方に回動してアダプタフランジ部（２２６）を
押える。

勿論、このときフランジ部（２２６）に形成されたＵ字
溝（２２５）内に支持台（２４０）上の位置決めピン（
２４１）（２４１＞が夫々嵌合し、吸着フレット（１８
５）のＯ回転は防止きれる。

そして、第２７図に示すように駆動源によりストッカー
（２３１）を降下させると、アダプタ（２１９）は取付
空間（２１８）から抜けて下がる１次に吸着ノズル体（
１８４）は前述のように上昇し、ピン取付台（２３４）
及びロック解除ピン（２３３）が下降する（第２８図参
照）、この後、吸着ノズル体（１８４）は、大きなペレ
ット（１８０Ａ）用の吸着コレット（１８５）の上方位
置まで移動して下降し、一方前記ビン（２３３）も上昇
する。従って、該ピン（２３３）によってロック爪体（
２２１）（２２１）が開く（第２９図参照）。

そしてシールストッカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）が上昇し、吸着コレット（１８５）のアダプタ
（２１９）を前記取付空間（２１８）内に挿入する。こ
のとき取付部（２１６）下面の位置決めピン（２２４）
がアダプタフランジ部（２２６＞のＵ字溝（２２５）内
に嵌合することにより、この挿入時のθずれを防止して
いる。

然る後、シリンダー（２４８）の駆動によって、押え部
材（２４７＞を外方へ回動きせる。

この後前記解除ピン（２３３）を降下させるので、ロッ
ク爪体（２２１）（２２１）がバネ（２２３）（２２３
）により内方へ回動し、係止部（２２８）内に入り込ん
でロックすることになる〈第３１図参照〉。そして吸着
ノズル体（１８４）及び吸着コレット（１８５）は上昇
し、前記押え部材（２４７）を今度は内方へ回動させ、
ストッカー（２３１）及びストッカー台（２３２）を下
降させることによって、吸着コレラｌ−（１８５）の交
換動作が終了する。

この吸着フレット（１８５）の交換により、大きなペレ
ット（１８０Ｂ）の装着に対応できることになる。

次にこの吸着フレット（１８５）の交換が確実に行なわ
れたか否かの確認動作について述べる。

先ずＤＣソレノイド（２０１）が励磁している状態では
、バネＤ（２０８）に抗して作動レバー（２０３）かカ
ムフォロワー（２１０）を介して上下スライダ（２０４
＞を下方に押圧しており、前記）オロワ−（２１０）が
下限ストッパ（２１２）に当接して係止している状態に
あるため、光電検知装置（２１５）は吸着フレット（１
８５）がペレット（１８０Ａ＞、　（１８０Ｂ）を吸着
しているか否かの検知を行なっている。しかし、前述の
コレット（１８５）の交換が行なわれたか否かの確認を
する場合には、前記ソレノイド（２０１）を消磁させれ
ばよい。即ち、この消磁によって上下スライダ（２０４
）はバネＤ　（２０８）により上昇し、作動レバー（２
０３）が上限ストッパ＜２１１）に当接して係止する状
態となり、第１９Ｂ図に示すように光１検知装置（２１
５）は吸着フレット（１８５）の存在を確認できる。

仮に、存在「無」を検知すると、以後の動作を中止する
と共に、使用者に図示しない報知手段により報知する。

以上のように装着動作が行なわれると、位置決め装置（
４）の各動作を停止する。即ち、前記モータ（７７）を
再び通電して、幅寄せカム（７３Ｌ　リフトカム（７４
）及びクランプカム（７５）を回転させ、力ｌ・レバー
　（９１）（８９）を上昇させると共にカムレバー（９
０）を降下させ、また吸着用上下部材（８７Ａ）。

（８７Ａ＞の吸着孔（１３７）を介するプリント・基板
（Ｐ）の吸着を止めるように真空源による吸引を止めて
大気圧に戻し前記モータ（７７）を非通電とし、初期状
態に戻す、また然る後、駆動モータ（２１）に通電して
プリント基板（Ｐ）をチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）に
よって下流に搬送する。

（ｖｉ）　　プリント基板（Ｐ）の反転動作このように
して、装着後のプリント基板（Ｐ）は下流に搬送きれて
、第４１図に示すように図示しないエレベータにより昇
降可能な収納箱（６８Ｂ）に逐次収納される。この収納
箱（６８Ｂ＞は前述のローダ（６７Ａ）の収納箱（６８
Ａ）と全く同一構造である。従ってローダ（６７Ａ）の
収納箱（６８Ａ）内のプリント基板（Ｐ）の全てが、装
着し終ってアンローダ（６７Ｂ＞の収納箱（６８Ｂ＞内
に収納されることになる。

ここで、プリント基板（Ｐ）によっては、多数のペレッ
トを装着しなければならないものがあり、この場合再度
チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ＞に載せて装着する必要が
ある。この場合、プリント基板（Ｐ）が収納されている
収納箱（６８Ｂ＞と収納され℃いない収納箱（６８Ａ）
とを交換し、夫々ローダ（６７Ａ）、アンローダ（６７
Ｂ）にセットすればよい。

この場合、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基市側
が反対側となってしまうが、反転装置（３）により平面
方向に於いて反転させればよい、以下詳述する。

油述のようにローダ（６７Ａ）からチェーン（１８Ａ）
＜１８８）上に基板（Ｐ）が載置して、間欠搬送されて
、反転装置（３）の直上方位置に来たら、搬送の駆動源
である駆動モータ（２１）の通電を停止してシリンダー
（５６）を駆動する。すると揺動部材（５５）が回動し
ガイド（４８）によって上下杆（４９）を上動させると
共に、図示しない真空源によりチューブ（６１）、上下
杆（４９）の真空通路＜５９）及び押上体（５０）の吸
引路＜５８）を介して、押上体（５０）の上面にプリン
ト基板（Ｐ）を吸着しつつ上昇させる。然る後、モータ
（５３）に通電してプーリ（５４）、　（５２）及びベ
ルトク５１）を介して平面方向に於いて１８０度分押上
体（５０）を回転させる。

この後前記シリンダー（５６）の駆動を停止して、前記
揺動部材（５５）を初期状態に戻して押上体（５０）を
降下させる。このとき、前記真空源による吸引を解除し
て大気圧に戻すから、プリント基板（Ｐ）はチェーン（
１８Ａ）（１８Ｂ＞上に載置され、再び微速用の駆動モ
ータ（２１）に通電して、１８０度反転されたプリント
基板（Ｐ）を再び搬送して、前述のように位置決めし、
所望のペレットを装着すればよい。

従って、プリント基板ＣＰ）の位置決めの際の基準側が
、最初に搬送位置決めしたときと同じ側となるから、装
着精度が向上する。

尚プリント基板（Ｐ）の搬送方向と直交する幅寸法が変
更した基板（Ｐ）を流す場合には、Ｘ軸周モータ（４４
）、Ｙ軸周モータ（４５）を駆動して、ＸＹテーブル（
４６）を移動させ、その相互の間隔が変更したチェーン
（１８＾）＜１８Ｂ）のその丁度中間位置に前記押上体
（ＳＯ）を移動することにより対処できる。

（ト）発明の効果 以上のように本発明は、大きさの異なる複数種のペレッ
トを確実に突き上げることができるから確実に吸着動作
が行なえ、然も回転部材及び上下作動装置を共通として
いるから構造が簡単である。

【図面の簡単な説明】

第１図は電子部品装着装置の平面図、第２図は同装着装
置の固定シュートの内側から奥行方向を見た正面図、第
３図は同装着装置の搬送部の右側面図、第４図はチェー
ン（１８Ａ）の部分正面図、第５図は第１図のｘ−ｘ’
断面図、第６図は第１図のＹ−Ｙ’断面図、第７図は送
り方向の規制位置決めを行なう装置（９２〉の正面図、
第８図は同装置り９２）の作動待機状態の正面図、第９
図は同装置り９２）による送り方向の寸法が長いプリン
ト基板（Ｐ）の位置決め状態を示す正面図、第１０図は
位置決め装置く４）の平面図、第１１凶は第１図のＺ−
２′断面図でプリント基板（Ｐ）の幅方向の位置決め前
の状態を示す要部断面図、第１２図は同じくプリント基
板ＣＰ＞の幅方向の位置決め状態を示す要部断面図、第
１３図は第１図のｖ−ｖ’断面図で規制装置（１３０）
による位置決め前の状態を示す要部断面図、第１４図は
同じく規制装置＜１３０＞による位置決め状態を示す要
部断面図、第１５図は基板の送り方向とは直交する幅方
向の位置を規制する装置を取除いた状態の部分平面図、
第１６図は装着ヘッドの一部断面せる正面図、第１７図
は装着ヘッドの縦断右側面図、第１８図は装着ヘッドの
一部切欠辻る平面図、第１９Ａ図は装着ヘッドの一部切
欠せる右イ則面図、第１９Ｂ図は上下スライダーが上昇
した状態の装着ヘッドの一部切欠仕る右側面図、第２０
図は吸着ノズル下端部を縦断した状態及び吸着コレット
の正面図、第２１図は吸着ノズル下端部の左側面図、第
２２図は吸着ノズル交換装置の縦断正面図、第２３図は
同交換装置の平面図、第２４図は同交換装置の左側面図
、第２５図乃至第３２図は吸着コレットの交換動作を示
す図、第３３図は小さいペレットを扱う場合の突き上げ
針装置の正面図、第３４図は第３３図の右側面図、第３
５図は大きいペレットを扱う場合の同装置の正面図、第
３６図は小さいベレット用の突き上げガイドの縦断面図
、第３７図は同ガイドの平面図、第３８ｒｊ！Ｊは大き
いペレットを扱う場合の突き上げガイドの縦断面図、第
３９図は同ガイドの平面図、第４０図は突き上げに必要
な吸引回路図、第４１図は本発明装着装置の模式図であ
って反転装置の動作を示す図、第４２図は反転装置の動
作説明図、第４３図は吸着フレットがペレットを吸着し
たか否かの検出に係るブロック図を夫々示す。 （１４５）・・・突き上げ針装置、（１４６）・・・ウ
ェハーシート、（１８０Ａ）（１８０Ｂ）・・・ペレッ
ト、（１８５）・・・吸着コレット、（２５２）・・・
回転板、（２６４＞（２６５）・・・ガイド体、（２６
７）（２７４）・・・吸着孔、（２６８）（２７５）・
・・突き上げ針、（２９４）・・・上下ローラー、（３
０１）・・・駆動モータ、（３０７）・・・上下バー。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）吸着具により吸着すべきペレットの周囲にあるペ
   レットをウェハーシート下面から吸引する真空吸引部が
   形成されると共に突き上げ針を上下動可能とする種類の
   異なる複数の突き上げガイドを回転部材に複数取り付け
   、前記吸着具によるペレットピックアップ時には、前記
   回転部材の回転により作動待機位置に移動された任意の
   突き上げガイド及び突き上げ針を上下作動装置により上
   動せしめるようにしたことを特徴とするペレットボンデ
   ィング装置。