JP2012015250A - チップボンダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】中心軸を回転軸とするターレット10と、ターレット駆動モータ20と、ターレット10の周方向に複数設けられ、吸着ノズル33が設けられる超音波ホーン32と、超音波ホーン32を支持するホーン支持部材34と、ホーン支持部材34を上下方向に摺動可能に支持するケース31を備え、吸着ノズル33により電子部品片300を吸着するとともに、超音波ホーン32の超音波振動により電子部品片300と相手側部材を溶着する部品保持ユニット30と、部品保持ユニット30をターレット10に対して相対的に移動するように案内する部品保持ユニット案内装置50と、部品保持ユニット案内装置50に案内される部品保持ユニット30を押圧することによって、部品保持ユニット30を下方向に移動させる部品保持ユニット駆動装置80を備える。
【選択図】図1
Description
また、上記目的を達成するチップボンダの前記部品保持ユニット駆動装置は、前記部品保持ユニットの真上に対して前記ターレットの半径方向にオフセットされた状態で配置されることを特徴とする。
10 ターレット
20 ターレット駆動モータ
30 部品保持ユニット
40 ホーン回転装置
50 部品保持ユニット案内装置
60 第1押下装置
70 第2押下装置
80 部品保持ユニット駆動装置
300 電子部品片
400 基板
U 供給位置
V 吸着状態確認位置
W 溶着位置
T 研磨位置
Claims (15)
- 中心軸を回転軸として回転可能に支持されるターレットと、
出力軸に前記ターレットが接続されるターレット駆動モータと、
前記ターレットの周方向に複数設けられて、電子部品片を保持し、該電子部品片を相手側部材に溶着する部品保持ユニットと、
前記ターレットと前記部品保持ユニットの間に設けられて、前記部品保持ユニットを前記ターレットに対して上下方向に移動自在に案内する部品保持ユニット案内装置と、
前記部品保持ユニットの上側に設けられ、前記部品保持ユニットを押圧することによって、該部品保持ユニットを下方向に移動させる部品保持ユニット駆動装置と、
を備え、
前記部品保持ユニットは、
前記電子部品片を吸着する吸着ノズルが設けられる超音波ホーンと、
前記超音波ホーンを超音波振動可能に支持するホーン支持部材と、
前記ホーン支持部材を上下方向に摺動可能に支持するケースと、
を備えることを特徴とする、チップボンダ。 - 前記部品保持ユニット駆動装置は、第1押下装置及び第2押下装置を備え、
前記第1押下装置は、前記部品保持ユニット全体を、前記ターレットに対して下方向に押し下げるようにし、
前記第2押下装置は、前記吸着ノズルを、前記部品保持ユニットの前記ケースに対して下方向に相対的に押し下げることを特徴とする、
請求項1に記載のチップボンダ。 - 前記部品保持ユニット駆動装置は、前記ターレットから独立した状態で設けられ、少なくとも電子部品片供給装置から前記電子部品片が供給される位置上、及び前記電子部品片を前記相手側部材に溶着する位置上に固定配置されることを特徴とする、
請求項1又は2に記載のチップボンダ。 - 前記超音波ホーンを回転させるホーン回転装置を備え、
前記ホーン回転装置は、
前記部品保持ユニットの前記ホーン支持部材に設けられる係合部と係合するホーン回転用スライダと、
前記ホーン回転用スライダの一方の面に当接して、該ホーン回転用スライダのスライド自在に支持するスライダ支持装置と、
該ホーン回転用スライダの他方の面に当接して、該ホーン回転用スライダを移動させるスライダ移動装置と、
を備えることを特徴とする、
請求項1乃至3のいずれか1項に記載のチップボンダ。 - 前記部品保持ユニットは、
前記ホーン支持部材を上方に付勢するホーン付勢装置と、
前記ホーン支持部材の上下方向の位置を検出するホーン位置検出装置と、
を備えることを特徴とする、
請求項1乃至4のいずれか1項に記載のチップボンダ。 - 前記ホーン付勢装置は、
前記ホーン支持部材側に固定配置されるホーン側マグネットと、
前記ホーン側マグネットと対向して、前記ケース側に固定配置されるケース側マグネットと、を備え、
前記ホーン側マグネット及び前記ケース側マグネットは、相互に吸着又は反発することで、前記ホーン支持部材を上方に付勢することを特徴とする、
請求項5に記載のチップボンダ。 - 前記部品保持ユニット駆動装置は、前記吸着ノズルに吸着保持されている前記電子部品片が前記相手側部材に当接することよって変化した前記ホーン側マグネットと前記ケース側マグネットの磁力を、前記ホーン位置検出装置が検出したことを契機として、前記第1押下装置の押下動作を停止させることを特徴とする、
請求項6に記載のチップボンダ。 - 前記ホーン位置検出装置は、前記ホーン側マグネット又は前記ケース側マグネットに近接して、前記ケースに固定配置されるホール素子を備え、
前記ホール素子は、該ホーン側マグネット又は前記ケース側マグネットの磁力の変化量を検出し、該検出した磁力の変化量を電気信号に変換することを特徴とする、
請求項6又は7記載のチップボンダ。 - 前記部品保持ユニット駆動装置は、
前記ホーン位置検出装置の検出信号に基づいて、前記第1押圧装置の押下動作を停止すると共に、前記第2押下装置の押下動作を開始して、前記吸着ノズルに任意の押圧力を与えることを特徴とする、
請求項5乃至8のいずれか1項に記載のチップボンダ。 - 前記スライダ支持装置は、
前記ホーン回転用スライダに当接するベアリングと、
前記ベアリングを前記ホーン回転用スライダに押しつける押圧装置と、を備えることを特徴とする、
請求項4に記載のチップボンダ。 - 前記押圧装置は、前記ベアリングの回転軸の周囲に設けられ、前記ベアリングの前記回転軸を前記ホーン回転用スライダ方向に付勢する板ばねを備えることを特徴とする、
請求項10に記載のチップボンダ。 - 前記スライダ移動装置は、前記ホーン回転用スライダに当接する凸部を有する圧電素子を備えて構成され、
前記圧電素子に電圧を加えることで変形させて、前記凸部を円軌道で移動させることで、前記ホーン回転用スライダを任意の距離だけスライドさせることを特徴とする、
請求項10又は11に記載のチップボンダ。 - 前記超音波ホーンは、該超音波ホーンの振動方向が前記ターレットの径方向となるように設けられていることを特徴とする、
請求項1乃至12のいずれかに記載のチップボンダ。 - 前記ターレットによる前記部品保持ユニットの移動軌跡上に、前記超音波ホーンの先端を研磨する研磨装置が配置されることを特徴とする、
請求項1乃至13のいずれかに記載のチップボンダ。 - 前記部品保持ユニット駆動装置は、前記部品保持ユニットの真上に対して前記ターレットの半径方向にオフセットされた状態で配置されることを特徴とする、
請求項1乃至14のいずれかに記載のチップボンダ。
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