JP5467273B2 - 超音波ホーン及びチップボンダ装置 - Google Patents
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Description
上記手段のチップボンダ装置において、前記ホーン本体部は、長手方向の中心部が水平方向に括れた形状を呈することを特徴とすることが好ましい。
上記手段のチップボンダ装置において、前記超音波ホーンは、前記保持孔に挿入された前記吸着ノズルの先端又は後端を当接させる当接部と、前記当接部及び前記ホーン本体部の間隔を一定に保つ間隔保持部と、を備える治具によって、前記吸着ノズルの垂直方向の位置決めがされることを特徴とすることが好ましい。
上記手段のチップボンダ装置において、前記超音波ホーンは、前記吸着ノズルと比較して密度の高い材料からなることを特徴とすることが好ましい。
上記手段のチップボンダ装置において、前記超音波ホーンは、前記スリットの両脇において垂直に貫通し、該スリットの幅と比較して大きい径を有する二つの貫通孔を備えることを特徴とすることが好ましい。
20 ターレット駆動モータ
30 部品保持ユニット
37 保持部
37A 保持孔
37B スリット
37C ボルト孔
37D ボルト
39 治具
39A 当接部
39B 間隔保持部
40 ホーン回転装置
50 部品保持ユニット案内装置
60 第1押下装置
70 第2押下装置
80 部品保持ユニット駆動装置
98 電子部品片
100 チップボンダ装置
610 ウエハ基板
U 供給位置
V 吸着状態確認位置
W 溶着位置
T 研磨位置
Claims (15)
- 電子部品片を吸着する吸着ノズルを着脱可能に保持する保持部と、超音波振動が入力される入力部と、を有し、前記入力部から入力された超音波振動を、前記保持部で保持する前記吸着ノズルを介して前記電子部品片に伝達して、前記電子部品片を、該電子部品片との間に金属製の接合材を介在させた相手側部材に超音波接合する超音波ホーンであって、
長手方向が水平方向に沿うように配置され、長手方向の中心部が振動モードにおける腹となると共に、該中心部の両側の第1及び第2の位置が振動モードにおける節となる形状を呈するホーン本体部と、
前記第1及び第2の位置を介して前記ホーン本体部に連続形成されて、該ホーン本体を所定の位置に固定する固定部と、
を備え、
前記保持部は、
前記ホーン本体部における長手方向の中心部を垂直に貫通し、前記吸着ノズルが挿脱される保持孔と、
前記ホーン本体部の長手方向における該保持孔の両脇において、該長手方向に沿って垂直に貫通するスリットと、
前記スリットを通過するように前記ホーン本体部を水平方向に貫通し、ボルトの締付け又は緩めによって前記吸着ノズルを固定し又は該吸着ノズルの固定を解除するボルト孔と、
を備え、
前記ホーン本体部は、前記スリットの両脇において垂直に貫通し、該スリットの幅と比較して大きい径を有する二つの貫通孔を備えることを特徴とする超音波ホーン。 - 前記ホーン本体部は、長手方向の中心部が水平方向に括れた形状を呈することを特徴とする、
請求項1に記載の超音波ホーン。 - 前記吸着ノズルと比較して密度の高い材料からなることを特徴とする、
請求項1又は2に記載の超音波ホーン。 - 中心軸を回転軸として回転可能に支持されるターレットと、
出力軸に前記ターレットが接続されるターレット駆動モータと、
前記ターレットの周方向に複数設けられて、電子部品片を保持し、該電子部品片を相手側部材に超音波接合する部品保持ユニットと、
前記ターレットと前記部品保持ユニットの間に設けられて、前記部品保持ユニットを前記ターレットに対して上下方向に移動自在に案内する部品保持ユニット案内装置と、
前記部品保持ユニットの上側に設けられ、前記部品保持ユニットを押圧することによって、該部品保持ユニットを下方向に移動させる部品保持ユニット駆動装置と、
を備え、
前記部品保持ユニットは、
超音波ホーンと、
前記超音波ホーンを超音波振動可能に支持するホーン支持部材と、
前記ホーン支持部材を上下方向に摺動可能に支持するケースと、
を備え、
前記超音波ホーンは、
前記電子部品片を吸着する吸着ノズルを着脱可能に保持する保持部と、超音波振動が入力される入力部と、を有し、前記入力部から入力された超音波振動を、前記保持部で保持する前記吸着ノズルを介して前記電子部品片に伝達して、前記電子部品片を、該電子部品片との間に金属製の接合材を介在させた相手側部材に超音波接合する超音波ホーンであって、
長手方向が水平方向に沿うように配置され、長手方向の中心部が振動モードにおける腹となると共に、該中心部の両側の第1及び第2の位置が振動モードにおける節となる形状を呈するホーン本体部と、
前記第1及び第2の位置を介して前記ホーン本体部に連続形成されて、該ホーン本体を所定の位置に固定する固定部と、
を備え、
前記保持部は、
前記ホーン本体部における長手方向の中心部を垂直に貫通し、前記吸着ノズルが挿脱される保持孔と、
前記ホーン本体部の長手方向における該保持孔の両脇において、該長手方向に沿って垂直に貫通するスリットと、
前記スリットを通過するように前記ホーン本体部を水平方向に貫通し、ボルトの締付け又は緩めによって前記吸着ノズルを固定し又は該吸着ノズルの固定を解除するボルト孔と、
を備えることを特徴とするチップボンダ装置。 - 前記部品保持ユニット駆動装置は、第1押下装置及び第2押下装置を備え、
前記第1押下装置は、前記部品保持ユニット全体を、前記ターレットに対して下方向に押し下げるようにし、
前記第2押下装置は、前記吸着ノズルを、前記部品保持ユニットの前記ケースに対して下方向に相対的に押し下げることを特徴とする、
請求項4に記載のチップボンダ装置。 - 前記部品保持ユニット駆動装置は、前記ターレットから独立した状態で設けられ、少なくとも電子部品片供給装置から前記電子部品片が供給される位置上、及び前記電子部品片を前記相手側部材に超音波接合する位置上に固定配置されることを特徴とする、
請求項4又は5に記載のチップボンダ装置。 - 前記超音波ホーンを回転させるホーン回転装置を備えることを特徴とする、
請求項4乃至6のいずれかに記載のチップボンダ装置。 - 前記部品保持ユニットは、
前記ホーン支持部材を上方に付勢するホーン付勢装置と、
前記ホーン支持部材の上下方向の位置を検出するホーン位置検出装置と、
を備えることを特徴とする、
請求項4乃至7のいずれかに記載のチップボンダ装置。 - 前記部品保持ユニットにおける前記ホーン付勢装置は、
前記ホーン支持部材側に固定配置されるホーン側マグネットと、
前記ホーン側マグネットと対向して、前記ケース側に固定配置されるケース側マグネットと、を備え、
前記ホーン側マグネット及び前記ケース側マグネットは、相互に吸着又は反発することで、前記ホーン支持部材を上方に付勢することを特徴とする、
請求項8に記載のチップボンダ装置。 - 前記超音波ホーンは、該超音波ホーンの振動方向が前記ターレットの径方向となるように設けられていることを特徴とする、
請求項4乃至9のいずれかに記載のチップボンダ装置。 - 前記部品保持ユニット駆動装置は、前記部品保持ユニットの真上に対して前記ターレットの半径方向にオフセットされた状態で配置されることを特徴とする、
請求項4乃至10のいずれかに記載のチップボンダ装置。 - 前記ホーン本体部は、長手方向の中心部が水平方向に括れた形状を呈することを特徴とする、
請求項4乃至11のいずれかに記載のチップボンダ装置。 - 前記超音波ホーンは、前記保持孔に挿入された前記吸着ノズルの先端又は後端を当接させる当接部と、前記当接部及び前記ホーン本体部の間隔を一定に保つ間隔保持部と、を備える治具によって、前記吸着ノズルの垂直方向の位置決めがされることを特徴とする、
請求項4乃至12のいずれかに記載のチップボンダ装置。 - 前記超音波ホーンは、前記吸着ノズルと比較して密度の高い材料からなることを特徴とする、
請求項4乃至13のいずれかに記載のチップボンダ装置。 - 前記超音波ホーンは、前記スリットの両脇において垂直に貫通し、該スリットの幅と比較して大きい径を有する二つの貫通孔を備えることを特徴とする、
請求項4乃至14のいずれかに記載のチップボンダ装置。
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