JPH01294135A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、夫々駆動スプロケット、従動スプロケット間
に張設された一対のチェーン上にプリント基板を載置し
て搬送する基板搬送装置に関する。

（ロ）　従来の技術 従来の此種搬送装置は、特開昭６１−２６４７９１号公
報に開示されているが、これによれば位置決め状態にあ
るプリント基板上に電子部品の装着作業が行なわれてい
る場合には次のプリント基板はストッパーにより待機位
置に待機させておくことにより搬送・装着を確実なもの
としている。

（ハ）発明が解決しようとする課題 しかし、従来技術によれば位置決めする装置と待機して
いる位置との間隔は、相当の距離を採らねばならず、高
速化には向かない。

そこで本発明は、装着作業等が確実に行なえるようにす
るために、プリント基板の重なりやずれを防止しつつ搬
送することができるようにし、もって高速化にも対処せ
んとするものである。

（ニ）課題を解決するための手段 このために未発明は、夫々駆動スプロケット、従動スプ
ロケット間に張設された一対のチェーン上にプリント基
板を載置して搬送する基板搬送装置に於いて、前記チェ
ーンに前記プリント基板の搬送方向の後端部に係合する
係合片を所定間隔を存して配設したものである。

また本発明は、夫々駆動スプロケット、従動スプロケッ
ト間に張設された一対のチェーン上にプリント基板を＊
置して間欠搬送する基板搬送装置に於いて、前記チェー
ンに前記プリント基板の搬送方向の後端部に係合する係
合片を所定間隔存して配設すると共に、前記チェーンが
停止した状態での前記係合片の位置ずれを検出するセン
サーを設けたものである。

（ホ〉　作用 駆動スプロケット、従動スプロケットが回転することに
よりチェーン上のプリント基板は各係合片により間欠的
に搬送きれ、逐次確実に位置決めされプリント基板上に
電子部品を装着できる。

また経時変化等でチェーンが伸びて係合片の停止位置が
ずれである許容範囲を越えた場合には、センサーが保合
片の存在を１無し」と検知し、チェーンの駆動を含む１
子部品装着装置全体を停止させる。この後、作業者はそ
のずれ量分補正する。

くべ）　実施例 以下本発明の一実施例を図に基づき説明する。

（１）は電子部品装着装置の本体で、該本体（１）には
プリント基板（厚膜基板含む）（Ｐ）、リードフレーム
等を搬送するコンベア（２）と、該コンベア（２）に於
ける上流側に設けられる反転装置ｆ（３）と、該反転装
置（３）の下流側に設けられる一対の位置決め装！（４
）（５）と、取付台（６）上に固定きれる吸着コレット
交換装置（７）（８）と、４個のウェハーテーブル（ｌ
（ｔｏ）有してＸＹ力方向の移動及び平面方向で回転可
能なウニ／Ｘ−支持台（１１）（１２）と、天板（１３
）に吊持されてＸＹ力方向移動可能な装着へ・／ド（１
４）（１５）とが設けられている。

前記コンベア（２）は、一対の駆動スブロケ・７ト（１
６）（１６）、従動スプロケット（１７）（１７）間に
張設された一対のチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）から成
り、該チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）上に＃ｔ、置して
プリント基板（Ｐ）を上流側から下流側へ搬送する。こ
のときチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）には所定間隔を存
して基板（Ｐ）の送り方向の後端部に係止する係合片（
１９）が立設され、基板（Ｐ）は両チェーン（１８Ａ）
（１８Ｂ）上に載置し且つ各係合片（１９）で係止され
た状態で上流側から下流側に間欠的に搬送きれる。

尚各保合片（１９）が設けられるその相互間隔は、チェ
ーン上・／チの整数倍となっており、この間隔内に収ま
る基板（Ｐ）は全て搬送動作に関しては、段取りなしで
共通に送ることができる。

次にコンベア（２）及び可動シュート（２０Ａ）の移動
について述べる。駆動モータ（２１）が通電されると、
ベルト（２３）を介してその駆動が伝達されてインデッ
クス装置（２２）の出力軸が間欠駆動し、その出力軸に
取付けられた出力軸プーリ（２４）とプーリ（２５）と
の間に張設されたベルト（２６）によりスプライン軸（
２７）が間欠回転するので両プーリ（２８Ａ）（２８Ｂ
＞（２９Ａ＞（２９Ｂ）間に張設されたベルト（３０）
（３１）により支軸（３２）（３３）を介して両駆動ス
プロケット（１６）＜１６＞が間欠回転する。これによ
り両スプロケット（１６）（１６）、　（１７）（１７
）が回転するので、チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）上の
プリント基板（Ｐ）は間欠的に定まった距離搬送される
ことになる。

一方可動ンニート（２０Ａ）の両端に設けられたナツト
体（３４）（３５）にボールネジ体（３６）（３７）が
嵌合し、駆動モータ（３８）によりベルト（３９）及び
プーリ（４０）（４１）を介して該ネジ体（３６）（３
７）が回転すると、可動シュート（２０Ａ）が固定シュ
ート（２０Ｂ＞に対して進退動することになる。即ち基
板（Ｐ）の流れ方向と直交する方向の幅寸法に対応して
、両シュート（２０Ａ＞（２０Ｂ）間の距離を拡げたり
狭めたりすることができる。このとき、可動シュート（
２０Ａ）はスプライン軸受（４２）によってスプライン
軸（２７〉に沿って移動することになる。

（４３）は前記コンヘア（２）による送りが停止し、て
いる状態での位置決め装！（４）より１ピッチ分上流に
位置する係合片（１９）の存在を検知する一対の光学的
手段から成るセンサーで、間欠移動するコンベア（２〉
の位置ずれを検知する。即ち経時変化等でテコ、−ン（
１８Ａ）が伸びて係合片（工９）の停止位置がずれて、
ある許容範囲を越えた場合には、前記センサーク４３）
が「無し」と検知すると、電子部品装着装置全体を停止
させる。この場合、作業者は手動でもってインデックス
装置（２２）の軸を回し、ずれ量を補正する。

反転装置（３）は、前記コンベア（２）に於ける上流側
の前記チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ＞間の下方位置に配
設され、必要に応じ前記基板（Ｐ）の流れ方向の向きを
反転きせるものである。該反転装置（３）は、Ｘ軸周モ
ータ（４４）、Ｙ軸周モータ（４５）によりＸ方向及び
Ｙｉ向に移動可能なＸＹテーブル（４６）と、種々のも
のが取付けられるものであってＸＹチーノル（４６）上
に設けられる取付台〈４７）とから構成される。　（４
Ｂ）は取付台（４７）に固定され上下杆（４９）を上下
動可能に案内するガイド、〈５０）は前記上下杆（４９
）の頂部に設けられてコンベア（２）より上方へ突出可
能な押上体、（５１）は前記上下杆（４９）の下部に設
けられたプーリ（５２）とモータ（５３）の出力軸プー
リ（５４）間に張設されたベルト、（５５）は一端がン
リングー〈５６）の作動杆と回動可能に連結され他端が
上下杆（４９）の下端部の支持部（５７）間に嵌合きれ
中間部を支点として揺動可能な揺動部材である。

そして、該反転装置（３〉の押上体（５０）には、所定
間隔を存して複数の吸引路（５８）が形成きれ、上下杆
（４９）には該吸引路（５８）に連通ずる真空通路（５
９）が形成され、更に該通路（５９）にはロータリジヨ
イント（６０）及びチューブ（６１ンを介して図示しな
い真空源に連通ずる。

尚インデックス装ｘ（２２＞の出力側には出力軸プーリ
（２４）との間にｒルクリミッタ（６２）が設けられ、
その端部に過負荷検出板（６３）が設けられている。従
って、プリント基板搬送中に異常が起き、過負荷状態に
なって、前記検出板（６３）が軸方向に移動した場合に
、一対の光センサ−（６４）で過負荷状態を検出するこ
とができる。

（６５Ａ）（６５Ｂ）は前記シュート（２０Ａ）（２０
Ｂ）の上流側端部に夫々対向する如く内側に設けられた
ブレーキ部材で、夫々上面には真空源に連通ずる吸引口
（６６〉が複数開設されている。（６７Ａ）はローダで
、複数のプリント基板（Ｐ）を棚上に収納すると共に図
示しないエレベータにより昇降可能な収納箱（６８Ａ）
と該箱（６８Ａ）内の最下位にある基板（Ｐ）を前記コ
ンベア（１８Ａ）（１８Ｂ）上に押出す押出部材（６９
）とより成る。この押出部材（６９）より収納箱（６８
Ａ）内の基板（Ｐ）が押出された際に、コンベア（１８
Ａ）（１８Ｂ）上にスームズに乗り移らず、勢い余って
コンベア（１８Ａ）（１８Ｂ＞からから落下したりしな
いように、前記ブレーキ部材（６５Ａ＞（６５Ｂ＞によ
って吸引され確実に安定した状態で乗り移れるようにさ
れている。即ち押出部材（６９）の押出動作開始時に真
空源による吸引を開始し、押出動作が終了したら吸引を
解除する。

次に一対の基板位置決め装置（４）（５）について説明
するが、両者は同様な構成であるため、一方（５）につ
いてのみ説明する。該位置決め装ｅ（４）（５）は、基
Ｍ（Ｐ）の送り方向、これ、！：直交する幅方向及び基
板（Ｐ）の厚さ方向の各方向の位置決めを行なうもので
あり、以下説明する。

一対の軸受（７０）（７１）を貫通する軸杆（７２〉に
は、第１図及び第２図の左から幅寄せカム（７３）、リ
フトカム（７４）及びクランプカム（７５）が設（すら
れ、該軸杆（７２）左端部のプーリ（７６）とモータ（
７７）の出力軸プーリ（７８）間にはベルト（７９）が
張設されている。従ってモータ（７７）の通電により軸
杆（７２）が回転すると、各カム（７３）（７４）（７
５）が回転し、各カムフォロワー（８０）（８１）（８
２）を介して各上下部材（８６）（８７）（８８）が上
下動し、これに伴ない各カムレバー（８９）（９０）（
９１）も上下動する。

先ず基板（Ｐ）の送り方向の規制位置決めを行なう装置
（９２）について説明する。

（９３）（９４＞は前記基板（Ｐ）の流れ方向の端部に
接触する基準クランプ、可動クランプで、夫々支軸（９
５）＜９６＞を支点として回動可能である。そしてバネ
（９７）により基準クランプ（９３）は外方に回動する
ように付勢され、可動クランプ（９４）はバネ（９８）
により内方へ回動するように付勢きれている。　＜９１
）は前述の如く前記上下部材（８８）の頂部に設けられ
たカムレバーで、前記クランプ（９３）（９４）に突出
したピン（９９）（１００）に係合して、該クランプ（
９３）（９４）の揺動を制御する。

一方基板（Ｐ）の流れ方向に延びたリニアガイド（１０
１）によりＸテーブル（１０２）が水平移動可能であり
、該テーブル（１０２）には前記可動クランプ〈９４）
を回動可能に支持する可動体＜１０３）が固定きれると
共に、駆動源（図示せず）により回転するネジ軸（１０
４）が嵌合するポールネジ体（１０５）と一体化された
連結体（１０６）が固定される。　（１０７）（１０Ｂ
＞は軸受である。

従って駆動１ｇＸによりネジ軸（１０４）が回転するこ
とにより連結体（１０６）を介してＸテーブル（１０２
＞が流れ方向に移動するため、可動体（１０３）も移動
し、基準クランプ（９３）に対して可動クランプ（９４
）が遠近移動することができ、種々の基板くＰ）の送り
方向の長さに対応できる。

またカムレバー（９１）が上動すると、可動クランプ（
９４〉はピン（１００）を介して外方向に回動し、基準
クランプ（９３）もバネ（９７）により外方向に回動し
、両クランプ（９３）（９４＞は基板（Ｐ）より下方に
位置することになる。

以上のように、上下部材（８８）は、ガイド（８５）を
介して上下動可能であり、固定シュート（２０Ｂ）に突
出したピン（１１０）と上下部材（８８）に突出したピ
ン（１１１）との間にはバネ（１１２）が張架され、該
上下部材（８Ｂ）を上方へ付勢している。従って上下部
材（８８）端部のカムフォロワー（８２）は、クランプ
カム（７５）に圧接するので、該カム（７５）の形状に
合わせて上下部材（８８）は上下することになる。

次に基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の規制につ
いて述べる。先ず固定シュート（２０Ｂ）の上部には、
固定板（１１５）が設けられ、該固定板（１１５）上に
は所定間隔を存して可動ベアリング体（１１６）及び基
準ベアリング体（１１７）が設（プられる。−吏可動シ
ュート（２ＯＡ）に設けられる軸受（１１８）（１１８
）に回転可能に支持される支軸（１１９）には、複数個
の幅寄せ部材（１２０）を取付け、図示しない軸により
回転可能なその円ｆ１１部分の周縁が基板（Ｐ）に当接
可能である。そして一対の支持部（１２１）（１２１）
間に支持された取付杆＜１２２）に付勢体としてのバネ
（１２３）の一端が固定きれ、前記幅寄せ部材（１２０
）は夫々基板（Ｐ）方向に回動するように付勢されてい
る。また一対の支持部（１２１）（１２１）間に支持さ
れた支軸（１２４）により回動可能とされた伝達アーム
（１２５）の上部には、係合ロッド（１２６）が設けら
れ、前記幅寄せ部材（１２０）の夫々を基板（Ｐ）がら
遠ざけるように作動する。前記伝達アーム（１２５）の
他端部にはカムフォロワー（１２７）が設けられ、前記
幅寄せカム（７３）と係合するカムフォロワー（８０）
を有する上下部材（８６）の上下動に伴うカムレバー（
８９）の上下動によって、該レバー（８９）により前記
カムフォロワー（１２７）を介して前記伝達アーム（１
２５）は回動されることになる。

次に基板（Ｐ）への部品実装面の位置を、該基板（Ｐ）
の厚さ如何に係わらず一定とするための規制装置（１３
０）について説明する。固定シュート（２０Ｂ）及び可
動シュート（２０Ａ）には、夫々リニアガイド（８４＞
（８４）により吸着用上下部材（８７Ａ）＜８７Ａ）が
上下動可能ときれている。また両シュート（２０Ｂ＞（
２ＯＡ）から突設したピン（１３１）（１３１）と各上
下部材（８７Ａ）＜８７Ａ）下部に突設したピン（１３
２）（１３２）との間にはバネ（１３３）＜１３３）が
張架きれ、上下部材（８７）（８７）を夫々上方へ付勢
している。

一方上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）端部に設けられたカ
ムフォロワー（１３４）（１３４）は、カムレバー（９
０）により押下げられる。即ち、リフトカム（７４）に
係合するカムフォロワー〈８１ンを有する上下部材（８
７〉の上端部に前記カムレバー（９０）を設けているの
で、リフトカム＜７４）により吸着用上下部材＜８７Ａ
＞（８７Ａ＞は夫々上下動することになる。

また（１３５）　（１３５）は前記シュー１べ２０Ａ＞
（２０Ｂ）の上部に設けられる基板押えで、前記基板（
Ｐ）の上面と係合可能な係合部（１３６）＜１３６＞を
有している。

更に、前記吸着用上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）の上流
寄りの吸着部（１３ｇ）には、複数の吸着孔（１３７）
が開設され、真空パイプ（１３９）（１３９）を介して
図示しない真空源に連通している。従って前記上下部材
（８７Ａ）（８７Ａ）の上部にプリント基板（Ｐ）の下
面が吸着可能である。

また前記上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）の上部面は、コ
ンベア（２）搬送面よりわずかに高いレベルに設定され
ており、チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）の係合片（１９
）（１９＞により基板（Ｐ）は、コンベア（２）搬送面
から前記上下部材＜８７Ａ）（８７Ａ）に乗り移り、そ
の時点で、真空吸着を開始する。−ＥＬ、てコンベア（
２）が停止したときにその吸着を停止するが、この吸着
によりコンベア（２）が停止したときの慣性によってプ
リント基板（Ｐ）が移動することはない、従って大きな
位置ずれを起すことなく、該上下部材（８７Ａ）（８７
Ａ）によってリフトアップされ、プリント基板（Ｐ）は
その送り方向及びこの送り方向と直交する幅方向の位置
決めがなされた状態で、基板押え（１３５）（１３５）
の係合部（１３６）（１３６）に押しつけられる。

次にウェハー支持台（１１）（１２）について詳述する
が、両者は同一構造であり支持台（１１）についてのみ
説明する。　（１４０）はＸＹ子テーブル、Ｘ軸周モー
タ（１４１）、Ｙ動用モータ（１４２）により、Ｘ軸方
向ガイド（１４３）及びＹ軸方向ガイド（１４４）に沿
って、平面方向に移動可能である。また該ＸＹ子テーブ
ル１４０）上に載置したウェハーテーブル（９）は、図
示しない駆動源により正逆回転可能である。

従って、突き上げ針装置（１４５）の上方位置に、所望
のウェハーシート（１４６）が位置することになる。ウ
ェハーテーブル（９）は、４個あるために、少なくとも
１種以上４種以下の例えば夫々大きさが異なるウェハー
を扱えることになる。

次に一方の装着へラド（１４）について詳述する。

該へ７ド（１４）は、天板（１３）に支持された支持部
材（１５０）に支持されたボールネジ（１５１）に沿っ
て第４３図に示す駆動モータ（１５４Ａ）によりＸ方向
の移動が可使であり、またガイド体（１５２）（１５２
）に沿って駆動モータ（１５４Ｂ＞によりＹ方向の移動
が可能となる。略箱状を呈したヘッド本体（１５３）内
に配設された駆動モータ（１５４Ｃ）の出力軸プーリ（
１５５）とネジ軸（１５６）端部のプーリ（１５７）と
の間にはベルト（１５８）が張設され、上下移動体（１
５９）がナツト体（１６０）によりガイド体（１６１）
を介して上下移動可能となる。

そして上下移動体（１５９）には、加圧用モータ（１６
２）とロックソレノイド（１６３）が固定されており、
該モータ（１６２）の出力軸にはバネ取付ビン（１６４
）を有するレバー（１６５）が設けられている１曲記ン
レノイド（１６３）のプランジャ（１６６）には取付ビ
ン（１６７）が突設きれ、上下移動体（１５９）に固定
移れたＬ字形状の支持体（１６ｇ＞に突設した取付ビン
（１６９）との間にはバネＡ（１７０）が張架されてい
る。

上下移動体（１５９＞の釉受部（１７１）には支軸（１
７２）により揺動体（１７３）が回動可能とされ、該揺
動体（１７３）の上端部にはＵ字溝が切欠されて該溝に
前記取付ビン（１６７）が嵌合し、また揺動体（１７３
）の他端部には加圧ベアリング体（１７４）が設けられ
ている。

（１７５）はロークリジヨイント（１７６）に突設した
鍔体（１７７）を、前記加圧ベアリング体（１７４）と
で挾持する固定ベアリング体であり、前記支持体（１６
８）の端部に設けられている。前記揺動体（１７３）に
突設した取付ビン（１７８）と加圧用モータ（１６２）
の出力軸に固定されたレバー（１６５）に突設した取付
ビン（１６４）との間に張架されたバネＢ（１７９）に
より前記加圧ベアリング体（１７４）を下方へ付勢して
いる。

そしてこの加圧用モータ（１６２）の回転角度を制御す
ることにより、加圧ベアリング体（１７４）によるロー
クリジヨイント（１７６）及び固定ベアリング体＜１７
５）への押圧力を可変とすることができる。このバネＢ
　（１７９）は、ベレット（１８０Ａ）、　（１８０Ｂ
＞を基板（Ｐ）に装着する際の押しつけ圧力を加えるた
めのものである。

また前記上下移動体（１５９）に突設した取付ビン（１
８１）とロークリジヨイント（１７６）から突設した取
付ビン（１８２）との間には、バランスバネＣ（１８３
）が張架され、該バネＢ　（１８３）の弾性力と吸着ノ
ズル体（１８４）及び吸着コレット（１８５）の自重が
略等しくなるようにこの弾性力が設定されており、前記
自重の影響を除去している。

前記ロータリジヨイント（１７６）にはピン（１８６）
が突設しており、このピン（１８６）に嵌合する係止片
（１８７）により該ジヨイント（１７６）自身の回転は
防止きれている。

吸着ノズル体（１８４）は、ロータリジョイント（１７
６）、ホース（１９０ン、大きなベレット（１１１１０
８）の吸着有無検出に使用する真空スイッチ（１９１）
等を介して図示しない真空源と連結している。該吸着ノ
ズル体（１８４）は、上下ガイド体（１９２）内を上下
動可能であるが、該ノズル体（１８４）の上部には面取
部（１９３＞が形成されて規制ベアリング（１９４）に
より上下ガイｒ体（１９２）内でのθ回転はできない、
前記真空スイッチ（１９１）は、真空源による吸引圧力
が一定値以とになった場合に作動し、吸着コレット＜１
８５）がベレットを吸着していないものと判断する。

また前記ヘッド本体（１５３）内には、駆動モータ（１
９５）が配設されその出力軸プーリ（１９６）と前記上
下ガイド体（１９２）周囲に固定されたプーリ（１９７
）間にはベルト（１９ｇ）が張設され、前記モータ（１
９５＞の通電によりベルト（１９８）を介して上下ガイ
ド体（１９２）がベアリング体（１９９）に案内きれつ
つ回転し吸着ノズル体（１８４）をもθ回転さすること
になる。

該吸着ノズル体（１８４）の下端には、吸着コレット（
１８５）が口７り機構＜２００）の施錠、解錠により着
脱可能に設けられる。

（２０１）は前記ヘッド本体（１５３）の便面に取付け
られたＤＣソレノイドで、そのプランジャ（２０２＞に
は中間部が枢支された作動レバー（２０３）が回転可能
に連結している。　（２０４）はヘッド本体（１５３）
に上下に延びたガイドレール（２０５）に沿って上下動
可能な上下スライダーで、該スライダー（２０４＞に突
設したビン（２０６）とメ＼ツド本体（１５３）上部に
突設したビン（２０７）との間にはバネＤ　＜２０８）
が張架され、該スライダー（２０４＞を上方へ付勢して
いる。

そしてこのスライダー（２０４＞には、カムフォロワー
（２１０）が設けられており、ヘッド本体（１５３）に
はと限ストッパ（２１１）及び下限ストッパ（２１２）
が設けられ前記作動レバー（２０３＞がカムフォロワー
＜２１０）に当接しているので、前記ソレノイド（２０
１＞が励磁すると作動レバー（２０３）は反時計方向へ
回転してスライダー（２０４）を押下げカムフオロ’７
−（２１０）がストッパ（２１２）に当接して停止し同
様に消磁すると作動レバー（２０３）が時計方向へ回転
し該レバー（２０３）が上限ストッパ（２１１）に当接
するまでバネＤ（２０８）によりスライダー（２０４）
を押上げる。

従って発光素子（２１３）及び受光素子（２１４）を備
え且つ厚きが厚いが小さなベレット（１８０Ａ）の吸着
検出に使用する光電検知装ｆｆＩｔ（２１５）を下端部
に備えているので、この上下スライダー（２０４）の上
下により光電検知装置（２１５）も上下することになる
。

このため、検知装置（２１５）が下方位置にあるとき、
吸着フレット（１８５）が吸着しているペレッ）　（１
８０Ａ＞（１８０Ｂ）の有無状態を検知でき、上方位置
にあるとき、吸着フレ／ト（１８５）自体の有無状態を
検知できる。

（２８４Ａ）（２８４Ｂ）は保持形の連動する切換スイ
ッチで、使用者が任意に切換えられる。　（２８５）＜
２８６）は夫々オア回路、アンド回路で、制御装置であ
るマイクロ・コンピュータ＜２８７）に接続きれている
。

従って切換スイッチ＜２８４Ａ）（２８４Ｂ）が、第４
３図に示すように設定しである状態では、前記真空スイ
ッチ（１９１）が光電検知装置（２１５）かのいずれか
が、ベレット１無し」を検知したら、予めベレット無し
カウンター（図示せず）に設定された同数Ｎだけピック
アップ動作を繰り返し、Ｎ回を越えると、マイクロ・コ
ンピュータ（２８７）はモータ駆動回路（２８ｇ）を介
して各モータ（１５４Ａ）（１５４Ｂ＞（１５４Ｃ）を
制御して、装着ヘッド（１４）、　（１５）を復帰芒せ
た後当該装着装置の運転を停止すると共に報知手段＜２
８９＞により表示灯、ブザー等の視覚か聴覚に訴えて使
用者に知らせる。然る後使用者は、ベレット「無し」が
事実か否かの確認をし、事実でなければ真空スイッチ（
１９１）の作動レベルを！ｌｉ整したり、光電検知装置
（２１５）の高芒位！！！［整を行なって一回試運転き
せるか再運転させればよい。

また切換スイッチ（２８４Ａ）（２１３４Ｂ＞を切り換
えた場合には、真空スイッチ（１９１）及び光電検知装
置（２１５）の両方がベレットｒ無し」を検知した場合
に、アンド回路（２８６＞を介してマイクロ・コンピュ
ータ（２８７＞が検知出力を受けて前述と同様に制御す
る。

尚前記切換スイッチ（２８４Ａ）＜２８４Ｂ）、オア回
路（２８５八アンド回路（２８５）に代えて、同等の機
能をキー人力装置及びランダム・アクセス中メモリ（Ｒ
ＡＭ）によって置換えることも可能であることは勿論で
ある。

次に前記吸着コレット（１８５）について説明すると、
該ノズル体（１８４）の下端部には、ロック機構取付部
（２１６）を形成し、該取付部（２１６）にロック機構
（２００）を設ける。そして該取付部（２１６）には、
中空の取付空間（２１８）が形成され前記吸着コレット
（１８５）のアダプタ（２１９）が嵌合する。また取付
部（２１６）の両側部には軸受体（２２０）（２２０＞
間に夫々ロック爪体（２２１）を配設してこれらを支軸
（２２２）が貫通し、ロック爪体（２２１）の夫々を対
向するように配設してバネ（２２３）によりその下端が
互いに近づくように付勢している。　（２２４）は取は
部（２１６）下面に突設した位置決めピンであり、後述
のＵ字溝（２２５）に嵌合可能である。

吸着フレット（１８５）は、前記取付部（２１６）の取
付空間（２１Ｂ）に嵌合するアダプタ（２１９）と、該
アダプタ（２１９）の下部には前記嵌合した際に前記取
付体（２１６）下面に当接するアダプタフランジ部（２
２６）と、ペレット（１ｇＯＡ）（１８０Ｂ）を直接吸
着する吸着部（２２７）とから構成される。前記フラン
ジ部（２２６）の両側部には、下部が内実ｔ・凹んだ係
止部（２２８）が形成され、前記ロック爪体（２２１）
の下端が該係止部（２２８）に入り込んでロックするこ
とになる。

次に吸着コレット交換装置（７）、（８）について述べ
るが、両者は同一構造であるため、一方（７）について
のみ述べる。該交換装置（７）は、大きく分けて取付板
（２３０）に対して図示しない駆動源により上下動可能
なツールストッカー（２３１）及びストッカー台（２３
２）と、所定間隔を存して複数のロック解除ピン（２３
３＞を有するピン取付台（２３４）とから構成きれる。

前記ストッカー（２３１＞及びスト７力−台（２３２）
とは、略同形状であり、両者は所定間隔を存して７ｉい
に合致する取付孔（２３５）（２３６）が複数穿設きれ
ている。そしてストッカー（２３１＞及びストッカー台
（２３２）に穿設した孔には２本のコンプライアンスピ
ン（２３７）が遊嵌し、頭部（２３８）とコイルスプリ
ング（２３９）によりスト／カー（２３１）及びストッ
カー台（２３２＞は、該ストッカー台（２３２）の上面
に開設した溝内にあるスチールボール（２２９）を介し
て互いに圧接きれる。このボール（２２９）によってス
トッカー台（２３２）上をストッカー（２３１）が転が
れるようになる。前記コンプライアンスピン（２３７＞
の径より該ピン（２３７）が嵌合する孔径をやや大きく
とることによって、吸着コレット（１８５）の着脱時の
吸着ノズル体（１８４）のセンターとストッカー（２３
１）に収納された吸着コレ・ノド（１８５）のアダプタ
（２１９）のセンターの芯ずれを吸収できる。

前記ピン取付台（２３４）から立設した夫々同長のロッ
ク解除ピン（２３３）は、前記ストッカー（２３１＞及
びストッカー台（２３２）を貫通している。

ストッカ＝（２３１）の取付孔（２３５）の上面側開口
周縁部の前後部には、吸着コレット支持台（２４０）が
立設きれ、夫々位置決めピン（２４１）（２４１）が突
設している。従って該交換装置く７）に吸着コレット（
１８５）が置かれている場合には、前記支持台（２４０
＞上に前記フランジ部（２２６）が当接し、然も該フラ
ンジ部（２２６）の長手方向側の端部にはＵ字溝（２２
５）（２２５）が形成きれ、夫々位置決めピン（２４１
）（２４１）が該溝（２２５）（２２５）に嵌合し、該
コレント（１１３５＞のθ回転を阻止する。

前記ピン取付台（２３４）は取イ」板（２３０）に取付
けられたシリンダー（２４２）により、ガイド（２４３
）（２４３）に軸杆（２４４）（２４４）が案内されな
がら上下動が可能である。（２４５）（２４５）は前記
ストッカー台（２３２）に設けられた軸受体で、該軸受
体（２４５）に所定間隔を存して複数の押え部材（２４
７）が固定された軸杆（２４６）が回動自在に支持きれ
ている。該押え部材（２４７）は略クランク形状を呈し
て一端部が前記アダプタフランジ部（２２６）に上面か
ら係合するもので、任意の押え部材（２４７＞の他端部
には回動用駆動源としてのシリンダー（２４８）が連結
している。

尚前記ツールストッカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）に開設した複数の取付孔（２３５）（２３６）
の開設ピッチ、同じくロック解除ピン（２３３）が嵌合
する孔（図示せず）の開設ピッチ、ロック解除ピン（２
３３）の取付ピッチは全て同ピツチである。

次に突き上げ針装置（１４５＞について詳述する。

先ず図示しない駆動モータ及びその出力軸に設けられた
歯車と歯車（２５０）とが噛合しており、該歯！ｌ！　
（２５０）により回転ガイド（２５１）及び回転板（２
５２）が９０度正逆回転可能である。（２５４＞はシリ
ンダー（２５３）により上下動するベース体で、該ベー
ス体（２５４）に取付けられた回転ガイド軸受（２５５
）に案内されつつ前記回転ガイド（２５１＞は回転可能
である。

そして回転板（２５２）には、９０度累々った位置に夫
々第１のガイドレール（２５６）（２５７）に沿って移
動可能な第１の作動レバー（２５ｇ＞（２５９＞及び夫
々第２のガイドレール（２６０）（２６１）に沿って移
動可能な第２の作動レバー（２６２）（２６３）が設け
られる。第２の作動レバー（２６２）（２６３）には、
ガイド体（２６４＞（２６５）が設けられている。一方
のガイド体（２６４）は、小きいペレメト（１８０Ａ）
に対応するもので、そのステージ面（２６６）の外径は
小さく、吸着孔＜２６７）の孔径も小さい、該ガイド体
（２６４）には、突き上げ針（２６８）を上下動可能と
する案内通路＜２６９）が中央部に形成きれ、また４個
開設諮れた吸着孔（２６７）は夫々１つの集合室（２７
０）に連通した後１つの連通路（２７１）及び導管（２
７２）を介して真空源に連通している。

また他方のガイド体（２６５）は、大きいベレット（１
８０Ｂ）に対応するもので、そのステージ面（２７３）
の外径は前記ステージ面（２６６）のそれより大きく、
吸着孔（２７４）の孔径も前記吸着孔（２６７＞のそれ
よりも大きい、そしてガイド体（２６５）には、例えば
４木の突き上げ針（２７５）を上下動可能とする案内通
路（２７６）及び前記針（２７５＞を支持する支持杆（
２７６）を上下動可能とする案内通路（２７７）が形成
きれ、また８個開設された吸着孔＜２７４）は夫々１つ
の集合室（２７９）に連通した後１つの連通路（２８０
）及び導管（２８１）を介して真空源に連通している。

従って、該ガイド体（２６５）の総吸引力は、ガイド体
（２６４＞のそれよりも大きく設定しである。

そして、前記突き上げ針（２５８＞及び支持杆（２７７
）の下部には、夫々コイルバネ（２８２）（２８３）が
巻装された状態で第１の作動レバー（２５８）（２５９
）に夫々取付けられる。従ってこれらバネ（２８２）（
２８３）によって、両レバー（２５ｇ）（２５９）、　
（２６２＞（２６３）が離反するようにｆ寸分される。

（２９０＞（２９１）は下限ストッパで、第１の作動レ
バー　（２５８）（２５９）の係合部（２９２＞（２９
３）が当接することにより該レバー（２５８）（２５９
）の下限が決定される。

即ち前記針（２６８）（２７５）の下限が決定されるこ
とによる。

そして、後述の上下ローラー（２９４）により夫々第１
の作動レバー＜２５８＞、　（２５９）が上動したとき
に、バネ（２８２）、　（２８３）によって第２の作動
レバー（２６２）、　（２６３）も上動するが、上限ス
トッパーボルト（２９５）（２９６）が上限ストッパ（
２９７）（２９８）に当接すると上動は制限される。更
に第１のレバー（２５８）。

（２５９）がバネ（２８２）、　（２８３）に抗して上
動すると、針＜２６８）（２７５）は上昇し、ウェハー
シート（１４６）のベレット（１８０Ａ）、　（１８０
Ｂ）を突き上げることになる。

（２９９）、　（３００）は押下げピンで、第１の作動
レバー（２５８）、　（２５９）が下降するときに第２
の作動レバー　（２６２）（２６３＞も下降することに
なる。

一方、ベース体（２５４＞の上部には駆動モータ（３０
１）が取付けられ、その出力軸プーリ（３０２）とネジ
軸（３０３）の上部のプーリ（３０４）との間にベルト
（３０５）が張設される。　（３０６）は前記ネジ軸（
３０３）を支持する支持体で、（３０７）は前記ネジ軸
（３０３）が嵌合し該ネジ軸（３０３）の回転により上
下する上下バーである。該上下バー（３０７）は回転ガ
イド（２５１）の中空部に遊挿され、該バー（３０７）
端部の上下ロー？　−（２９４＞が該バー（３０７）の
上動に伴ない第１の作動レバー（２５ｇ）、　（２５９
）のいずれかを前述の如く上動許せるものである。

（３０ｇ）、　（３０９）は回転板ストッパで、夫々回
転板（２５２）に当接して、該回転板（２５２）の停止
位置を確実なものとしており、このストッパ（３０８）
、　＜３０９＞に回転板（２５２）が当接する際の衝撃
を緩和するためにショックアブソーバが設けられている
。

モして第４０図に示すように、前記ガイド体（２６４）
、　（２６５）と真空源との間には、第１のフィルター
（３１０）、　（３１１）と、切換弁（３１２）、　（
３１３）と、該切換弁（３１２）、　（３１３）と真空
源との間に並列に接続きれる二又絞り弁（３１４）（３
１５）、　（３１６）（３１７）、第２のフィルター（
３１８）（３１９）、　（３２０）（３２１）及びバル
ブ（３２２）（３２３）、　（３２４）（３２５）とが
設けられる。

尚真空圧の調整は、二又絞り弁（３１４＞（３１５）。

（３１６）（３１７）の一方の大気に開放している弁（
３２６）＜３２７）、　（３２８）（３２９）の絞り具
合により決まる。

前記第１のフィルター（３１０）、　（３１１）は、吸
漕孔（２６７）、　＜２７４＞から吸い込んだ塵埃を除
塵して、切換弁（３１２）、　（３１３）及び二又絞り
弁（３２６）（３２７）。

（３２８）（３２９）を保護し、第２のフィルター（３
１ｇ）。

＜３１９＞、　（３２０）、　（３２１）は、前記二又
絞り弁（３２６）（３２７）、　（３２１１１）（３２
９）から吸い込んだ塵埃を除塵し、夫々バルブ（３２２
）（３２３）、　（３２４）（３２５）を保護する。

以上の構成により以下動作について説明する。

（１）　コンベア（２〉幅の調整動作 固定ンユート（２０Ｂ）に対する可動シュート（２ＯＡ
＞の移動動作について以下述べる。種々の大きさのプリ
ント基板（Ｐ）をコンベア（２）を搬送できるようにす
るために、先ず駆動モータ（３８）によりベルト（３９
）及び各プーリ（４０＞（４１＞を介してボールネジ体
（３６）（３７）を回転させる。するとナツト体（３５
）（３６）が可動シュート（２０Ａ）と共に進退動する
が、このとき可動シュート（２０Ａ）はスプライン軸（
２７）に案内されながら移動することになる。従って両
スプロケット＜１６＞、　（１７）間に張設されたチェ
ーン（１８Ｂ）も移動することになり、プリント基板（
Ｐ）の送り方向と直交する方向の幅に対応できることに
なる。

（ｉ）　　プリント基板（Ｐ）の搬送動作駆動モータ（
２１）が通電されると、ベルト（２３）を介してインデ
ックス装置（２２）が働らき、その出力軸プーリ（２４
）とプーリ（２５）との間に張設されたヘルド〈２６）
により支軸（３２）（３３）を介して駆動スプロケット
（１６）（１６）が回転する。このため従動スプロケッ
ト（１７）＜１７）も回転し、チェーン（１８Ａ）（１
８Ｂ）上のプリント基板（Ｐ）は間欠的に搬送されるこ
とになる。

このとき、プリント基板（Ｐ）は、各係合片（１９）に
その上流側端部が係合した状態で、間欠的に搬送きれる
。

尚、駆動スプロケット（１６）の加工上の寸法誤差が送
り精度のバラツキにならないようインデックス装置（２
２）の１割出しによって、該スプロケットク１６〉が１
回転するようにし、このスプロケット（１６）の１回転
が間欠搬送の１ピツチとなるように該スプロケット（１
６）、プーリの歯数が決めである。

またローダ（６７Ａ）から前記チェーン（１８Ａ＞（１
８Ｂ＞上へプリント基板（Ｐ）の橋渡しは、先ず収納箱
（６８Ａ）内の最下位にある基板（Ｐ）を押出部材（６
９）により押出すことにより行なわれる。即ち押出部材
＜６９）は、前記各係合片（１９）間に各基板（Ｐ）が
位置するように作動する。

前記押出部材（６９）が基板（Ｐ）を押出すと、この押
出動作開始に同期して各ブレーキ部材（６５Ａ）（６５
Ｂ）により各吸引口（６６）を介して基板（Ｐ）の動き
に真空によってブレーキをかけるので、コンベア（１８
Ａ）（１８Ｂ）上に確実に安定した状態で乗り移れる。

而してこの乗り移った後は、前記押出動作終了に同期し
て真空源による吸引を解除する。

尚基板（Ｐ）の搬送中に何らかの事故が起きて、過負荷
状態となると、トルクリミッタ（６２）が働らきその検
出板（６３）が軸方向に移動することになるので、一対
の光センサ−（６４）で過負荷状態を検出することがで
きる。このときには、当該駆動モータ（２１）を非通電
とすると共に図示しない報知手段で使用者にその旨を報
知する。従って使用者は、その事故の原因を取除けばよ
い。

またこのようにしてプリント基板（Ｐ）の搬送は行なわ
れるが、経時変化等でチェーン（１８Ａ）が伸びて係合
片（１９）の停止位置がずれである許容範囲を越えた場
合には、センサー（４３）が係合片（１９）に遮光され
ず係合片（１９）の存在を「無し」と検知すると、電子
部品装着装置全体を停止きせる。この場合、作業者は、
手動でもってインデックス装置（２２〉の軸を回し、ず
れ量を補正し、正規の位置に戻せばよい。

（ｉ）　　プリント基板（Ｐ）の位置決め動作そしてチ
ェーン（１８Ａ）（１８Ｂ＞により、位置決め装置（４
）の位置に到達したのが検知きれると、駆動モータ（２
１）の通電は断たれプリント基板（Ｐ）の搬送は停止す
る。

すると、モータ（７７）が通電されベルト（７９）を介
して軸杆（７２）が回転するので、各カム（７３）（７
４）（７５）も回転し、該カムの形状に合わせてカムフ
ォロワー（８０）（８１）（８２）を介して、各上下部
材（８６）（８７）（８８）は上下動することになる。

これによりプリント基板（Ｐ）の送り方向、この送り方
向と直交する幅方向、これらの方向と直交する垂直方向
の位置規制を行なう。

■　プリント基板（Ｐ）の送り方向の位置規制基板（Ｐ
）がこの位置決め位置に到達する前は、カムレバー（９
１）が上昇位置にあるため第８図に示す状態にある。

そして、モータ（７７）の通電により回転するクランプ
カム（７５）に合わせて、上下部材（８８）がバネ（１
１２）に抗して下降すると、バ、Ｌ（９Ｂ＞により可動
クランプ（９４）がバネ（９７〉に抗して基準クランプ
（９３）が夫々回動してプリント基板（Ｐ）の送り方向
の位置規制が行なわれる。

即ち、ガイドク８５）に沿って上下部材（８８）が下降
すると、可動クランプ（９４）は支軸（９６〉を支点と
し基準クランプ（９３）は支軸（９５）を支点として夫
々回動する。このため、各クランプが基板（Ｐ）の上流
側端面及び下流側端面に当接することになる。

尚プリント基板（Ｐ）の送り方向の寸法が変更する場合
には、チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ＞に載置する前に、
図示しない駆動源によりネジ軸（１０４）を回転きせる
ことにより行なう、このネジ軸（１０４）が回転すると
、ボールネジ体（１０５）及び連結体（１０６）を介し
てリニアガイド（１０１）に沿ってＸテーブル（１０２
）が移動する。このＸテーブル（１０２）には、可動ク
ランプ（９４）を支持する可動体（１０３）が固定され
ているので、基準クランプ（９３）に対して可動クラン
プ（９４）が遠ざかったり近づいたりすることができる
。これにより、プリント基板（Ｐ）の送り方向の寸法が
変っても、対処できることになる。

■　プリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の
位置規制 基板（Ｐ）がこの位置決め位置に到達する前は、上下部
材（８６）及びカムレバー（８９）が上昇位置にあるの
で、バネ（１２３）に抗して幅寄せ部材（１２０）は第
１１図に示すような状態にある。

そして前記モータ（７７）の通電により回転する幅寄せ
カム（７３）の形状に合わせて上下部材（８６）が下降
する。このためバネ（１２３）によって幅寄せ部材（１
２０＞は支軸（１１９）を支点として上部が基板（Ｐ）
側に回動する。この回動により基板（Ｐ）を可動ベアリ
ング体（１１６）とで挾持することになる。従って基板
（Ｐ）の幅方向の位置が規制されることになる。

尚このプリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向
の寸法が変った場合には、前述の如く、駆動モータ（３
８）により可動シュート（２０Ａ）を移動芒せ、固定シ
ュート（２０Ｂ）との間隔を拡開したり、狭めることに
よって結果的にこれら幅寄せ部材（１２０）を移動させ
ればよい。

■　プリント基板（Ｐ）の垂直方向の規制基板（Ｐ）が
この位置決め位置に到達する前は、上下部材（８７）及
びカムレバー（９０）は第１３図に示すように下降位置
にあって、吸着用上下部材（８７Ａ）（８７Ｂ）の上面
はチェーン（１８Ａ＞（１８Ｂ＞の上面よりわずかに高
いレベルにあり、各チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）の保
合片（１９）により基板ＣＰ）はチェーンから各上下部
材＜８７Ａ）（８７Ｂ）の上面に乗り移って吸着きれる
。そしてコンベア（２）が停止したときにその吸着を停
止することになるが、この吸着によりコンベア（２）が
停止したときの慣性によってプリント基板（Ｐ）が移動
することは少ない。

そして前記モータ（７７）の通電により回転するリフト
カム（７４）の形状に合わせて、上下部材（８７）及び
カムレバー（９０）が上昇すると、プリント基板（Ｐ）
は、バネ（１３３）（１３３）により上昇する前記上下
部材（８７Ａ）（８７Ａ）によって押上げられる。この
ため基板（Ｐ）は、送り方向及びこの送り方向と直交す
る幅方向の位置規制がなされた状態で、基板押え（１３
５）（１３５）の係合部（１３６）（１３６）の下面に
当接した状態となる（第１４図参照）。

従って、この規制装置（１３０）によって、基板（Ｐ）
への部品実装面の位置を、該基板（Ｐ）の厚さに影ＩＰ
キれず常に一定とすることができる。

以上の基板（Ｐ）の各位置規制は、モータ（７７）の通
電により略同時に開始されることになるが、送り方向の
位置規制、この送り方向とは直交する幅方向の位置規制
、これらの方向と直交する垂直方向の位置規制の順に終
了する。

（ｉｖ＞　　ウェハーテーブル（９）等の動作前述のよ
うに位置規制された状態にあるプリント基板（Ｐ＞にペ
レットを装着するわけであるが、この装着前にウェハー
テーブル（９）上の所望ウェハーシート（１４６）がス
テージ５ン（Ａ）に移動するように、ウェハー支持台（
１１）を図示しない駆動源により正逆いずれかに回転き
せる。

次にＸ軸周モータ（１４１）、Ｙ軸周モータ（１４２）
により各ガイド（１４３）（１４４）に沿って、ＸＹ子
テーブル１４０）及び支持台（１１）を平面方向に移動
させて、突き上げ針装置（１４５＞のガイド体（２６４
）の上方位置に所望のウェハーシート（１４６）上のペ
レット（１８０Ａ）が位置するようにする。

そしてシリンダー（２５３）によりべ一体（２５４）を
上動させ、前記ガイド体（２６４）をウェハーシート（
１４６）に近接させる。その後駆動モータ（３０１）を
通電させ、各プーリ（３０２）＜３０４）及びベルト（
３０５）を介してネジ軸（３０３）を回転きせ上下バー
（３０７）を上昇させる。すると該バー（３０７）は、
第１の作動レバー（２５８）を上昇させるので、バネ（
２８２）によって第２のレバー（２６２）も上昇するが
、ボルト（２９５）が上限ストッパ（２９７）に当接す
るので、この上動は制限される。

しかし、更に第１のレバー（２５８）は上動するので、
突き上げ針（２６ｇ＞は上昇する。従って第３６図に示
すように、真空源により導管（２７２）、連通路（２７
１）及び吸着孔（２６７）を介して、ステージ面（２６
６）上に吸着したシート（１４６）を突き上げ、シート
＜１４６）面からペレット（１ｇＯＡ）を剥がすように
して装着ヘッド（４）の吸着部（２２７）とで保持する
状態として該吸着部（２２７）が確実にペレット（１８
０Ａ）を吸着する。

但し、このとき突き上げ針（２６８）は、その下限停止
位置から一気に突き上げるのではなく、ベレット吸着後
の吸着コレット（１８５）の上昇タイミングと同期をと
るために、先ず突き上げ針＜２６８）上端がステージ面
（２６６）と同一レベルで待機して、しかるべきタイミ
ング９号でもって上昇して前記シート（１４６）を突き
上げる（第３６図参照）、このとき降下している吸１フ
レット（１８５）の吸着部（２２７）の下端部とでペレ
ット（１８０Ａ）を挾持しても、更に針（２６８）は上
昇するので、装着ヘッド（１４）の上下移動体（１５９
）が停止状態にあってもバネＢ（１７９）に抗して吸着
ノズル体＜１８４＞を上昇させる。

この後突き上げ針（２６８）と吸着ノズル体（１８４）
は、同期してペレット＜１８ＯＡ）を挾持した状態で共
に上昇する。そして、所定の上昇に到達した後は、前記
ノズル体（１８４）のみ上昇し、前記針（２６ｇ）は下
降し待機位置に戻る。

この吸着後は、前記駆動モータ（３０１）の回転を逆転
許せ、上下バー（３０７）を下動させバネ（２８２）に
より第１の作動レバー（２５８）を下降させるので前記
針（２６８）は下降し、更に上下バー（３０７）が下動
すると、第２の作動レバー（２６２）も下降し、この突
き上げ計装置（１４５）はシリンダー（２５３）によっ
て下降することによって初期状態となる。

次に大きなペレット（１８０Ｂ）を装着したい場合には
、そのウェハーシート（１４６）がステーション（Ａ）
に位置するように支持台（１１）を回転させると共にＸ
Ｙ子テーブル１４０）及び支持台（１１）を平面方向に
移動させて、次の装着動作に備える。また突き上げ針装
置（１４５）の回転板（２５２）を９０度回転きせる。

即ち、図示しない駆動モータに通電して、その出力軸に
設けられた歯車に噛合する歯車（２５０）により回転ガ
イド（２５１）及び回転板（２５２）を回転許せ、回転
板ストッパ（３０８）に当接して停止位置を確実なもの
にしている。

従って、大きなペレット（１８０Ｂ）用のガイド体（２
６５）がウェハーシート（１４６）の直下方に位置する
ことになる。

尚第４０図に示すように、ベレ・ｙトをウェハ−シート
（１４６）から剥離する際に、ウニ／Ｘ−シート（１４
６）をステージ面（２６６）に吸着するための真空圧も
変更することができる。即ち比較的小さなべレット（１
８０Ａ）の場合には、切換弁（３１２）を切換えること
によって、二又絞り弁（３１４＞、　（３１５）のいず
れかを選択して異なる真空圧で吸引でき、また比較的大
きなペレｙ　ト（１８０Ｂ）の場合には、切換弁（３１
３）を切換えることによって、二又絞り弁（３１６）、
　（３１７）のいずれかを選択して異なる真空圧で吸引
できる。

従って、各ガイド体（２６４）、　（２６５＞につき２
種類の真空圧を選択調整でき、各ウェハーテーブル（９
）（１０）上のウェハーの太き芒の異なる種類に応じて
対応することができる。

例えば、前述の小言なベレット（ｔｓＯＡ）を扱う場合
には、切換弁（３１２）を切換えて、二又絞り弁（３１
４）を選択し、各バルブ（３２３）、　（３２４）、　
（３２５）を閉じ、バルブ（３２２）は開く、すると真
空圧は、例えば２５０８１（ｇとなる。またこのとき、
ガイド体（２６４）の吸着孔（２６７ンを介して吸い込
んだ塵埃は第１のフィルター（３１０）で除塵され、切
換弁（３１２）及び二又絞り弁（３１４＞は保護される
。更には、二又絞り弁（３１４）の弁（３２６）から吸
い込んだ塵埃は第２のフィルター（３１８）で除塵され
、バルブ（３２２）は保護される。このペレット（１８
０Ａ）より少許大きなペレットを扱う場合には、切換＊
　（３１２）を切換えて二又絞り弁（３１５）を選択し
て、真空圧を例えば３５０ｍｎＨｇとする。

勿論大きなペレット（１１３０Ｂ）を扱う場合には、切
換弁（３１３）を切換えて、二又絞り弁（３２８）、　
（３２９）のいずれかを選択して、真空圧を例えば３０
０ｍｍＨｇ。

４００ｍｌｌ（ｇのいずれかに設定することができる。

（ｙ）　　ベレットの装着動作 装着ヘッド（１４）は、駆動モータ（１５４Ａ）によっ
て回転されるボールネジ（１５１Ａ）によりＸ方向の移
動ができ、駆動モータ（１５４Ｂ）によって回転きれる
ボールネジ（１５１Ｂ）によりガイド体（１５２）（１
５２）に沿ってＹ方向の移動が可能となる。

従って、装着ヘッド（１４）は、ステーション（Ａ）に
位置するウェハーシート（ｉ４６）の吸着すべきベレッ
ト（ｔｓＯＡ＞の上方位置まで移動でき、次いで吸着コ
レント（１８５）を降下させることにより所望のベレッ
ト（１８０Ａ）を吸着できる。この点につき以下詳述す
る。

先ず駆動モータ＜１５４Ｃ）に通電して、各プーリ（１
５５）、　（１５７）、ベルト（１５８）を介してネジ
軸（１５６）を回転ごせ、上下移動体（１５９）を降下
きせる。すると、加圧用モータ（１６２）によりバネＢ
（１７９）によって、加圧ベアリング体（１７４）がロ
ークリジヨイント（１７６）及び固定ベアリング体（１
７５）に押圧しているので、吸着ノズル体（１８４）は
上下ガイド体（１９２）に沿ってウェハーシート（１４
６）まで降下する。このため、前述の如く突き上げ針装
置（１４５）の針（２６８）と相俟ってペレット（１８
０Ａ）を確実に吸着できる。

そして、この吸着後は前記モータ（１５４Ｃ）の回転を
逆転きせて、ネジ軸（１５６）により上下移動体（１５
９）を上昇させるが、この上昇後はロックソレノイド（
１６３）を励磁させる。このため吸引されたプランジ〜
（１６６）によりバネ（１７０）に抗して揺動（１７３
）を支＃（１７２）を支点として回動許せる。従って上
下移動体（１５９）に固定された支持体（１６８）に設
けられた固定ベアリング体（１７５）と加圧ベアリング
体（１７４）とで、ロータリジヨイント（１７６）の鍔
体（Ｌ７７）を挾持した状態にロックする。勿論このロ
ック動作は、装着ヘッド（１４〉の水平移動中に行なわ
れ、このロック動作後必要あらば吸着ノズル体く１８０
のθ回転を行ない、ベレット＜１８ＯＡ＞の平面方向に
おける向きを基板（Ｐ）への装着向きに合わせる。

即ち、駆動モータ（１９５）の通電により各プーリ（１
９６）、　（１９７）、ベルト（１９８）を介して、上
下ガイド体（１９２）及び規制ベアリング（１９４）に
よって吸着ノズル体（１１３４＞はθ回転することにな
る。

この吸着ノズル体（１８４）は、装着ヘッド（１４）の
水平方向の移動によって、前述のように位置規制された
状態にあるプリント基板（Ｐ）の上方位置まで移動し、
該基板（Ｐ）の所望位置にペレット（１８０Ａ）を装着
することができる。

即ち、前述の如く、モータ（１５４Ｃ）に通電して、上
下移動体（１５９＞を降下させ、吸石ノズル体（１８４
）を基板（Ｐ）上まで降下させるがその途中で、前記ロ
ックソレノイド（１６３）を消磁させてロック動作を解
除する。

この装着時には、バネＢ（１７９）によってペレットＣ
１８０Ａ）はプリント基板（Ｐ）に押圧されることにな
る。従ってこの押圧力を変更したい場合には、加圧用モ
ータ（１６２）の回転角度を希望の値にデータ設定する
ことにより行なえる。

尚、前記吸着フレット（１８５）による吸着動作時に、
図示しない真空源による真空吸引動作が開始した場合に
、当該装着装置の全てを統轄制御するマイクロ・コンピ
ュータ（２８７）は、前記真空スイッチ（１９１）、光
電検知装置！（２１５）からの検知データをオア回路（
２８５）かアンド回路（２８６）を介して取り込む、そ
して、切換スイッチ（２８４Ａ）（２８４Ｂ）の状態に
より少なくとも一方の検知データか両方の検知データの
内容がペレットｒ無し」であれば、予めペレット無しカ
ウンター（図示せず）に設定された回数Ｎだけ、ピック
アップ動作を繰り返し、Ｎ回を越えると、装着ヘッド（
１４＞、　（１５）を原点に復帰させて、当該装着装置
の運転を停止すると共に使用者に報知手段（２ｇ９）に
よって視覚か聴覚により使用者にその旨を報知する。従
って使用者は、ベレット１無し」が事実か否かの確認を
し、事実でなければ真空スイッチ（１９１）の作動レベ
ルを調軌したり、光電検知装置（２１５）の高さ位置調
整を行なって一回試運転きせるか再運転させて、その調
整が適切か否かを確認する。適切でなければ、再度調整
し、適切であれば通常運転を続行すればよい。

また装着ヘッド（１４＞（１５）は、前記チェーン（１
８Ａ）＜１８Ｂ）の各係合片（１９）の間隔の整数倍の
間隔を存して配設してあり、このためタイミング上同時
に両ヘッドがボンディング動作ができる。

（ｖｉ）　　吸着フレット（１８５）の交換動作以上の
ように装着動作が行なわれることになるが、例えば次に
装着したいペレットが大きなペレット（１８０Ｂ）の場
合には、それに合った吸着コレット（１８５）に交換し
なければならない。以下その交換動作について、第２５
図〜第３２図に基づいて説明する。

先ず第２２図に示すように、前述の如く吸着ノズル体（
１８４）及び吸着コレット＜１８５）を降下させ、吸着
コレット交換装置（７）の吸着コレットが収納きれてい
ないシールストッカー（２３１）の取付孔（２３５）上
方位置に移動きせる。

次にシリンダー（２４２＞の駆動によりピン取付台（２
３４＞及び図示しない駆動源によりシールストッカー（
２３１）を上昇きせる（第２６図参照Ａ）。

この後、前記ノズル体（１１３４）及びフレット（１８
５）を更に降下きせると、ロック爪体（２２１）、　（
２２１）がロック解除ピン（２３３）に当接して支軸（
２２２）、　（２２２）を支点として回動して開く（第
２６図参照）、このため、ロックが解除きれることにな
るが、シリンダー　（２４８）によって外方に回動して
いた押え部材（２４７）がこのシリンダー（２４８）の
駆動により内方に回動してアダプタフランジ部（２２６
）を押える。

勿論、このときフランジ部（２２６）に形成されたＵ字
溝（２２５）内に支持台（２４０）上の位置決めピン（
２４１）（２４１）が夫々嵌合し、吸着コレット（１８
５）のθ回転は防止される。

そして、第２７図に示すように駆動源によりストッカー
（２３１）を降下きせると、アダプタ（２１９）は取付
空間（２１８）から抜けて下がる０次に吸着ノズル体（
１８４）は前述のように上昇し、ピン取付台（２３４）
及びロック解除ピン（２３３）が下降する（第２８図参
照）、この後、吸着ノズル体（１８４）は、大きなペレ
ット（１８０Ａ）用の吸着コレット（１８５）の上方位
置まで移動して下降し、一方前記ビン（２３３）も上昇
する。従って、該ピン（２３３）によってロック爪体（
２２１）（２２１）が開く（第２９図参照）。

そしてシールストッカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）が上昇し、吸着コレット＜１８５）のアダプタ
（２１９）を前記取付空間（２１８）内に挿入する。こ
のとき取付部（２１６）下面の位置決めピン（２２４）
がアダプタフランジ部（２２６）のＵ字溝（２２５＞内
に嵌合することにより、この挿入時のθずれを防止して
いる。

然る後、シリンダー（２４ｇ）の駆動によって、押え部
材（２４７）を外方へ回動させる。

この後前記解除ピン（２３３）を降下させるので、ロッ
ク爪体（２２１）（２２１）がバネ＜２２３＞（２２３
）により内方へ回動し、係止部（２２８）内に入り込ん
でロックすることになる（第３１図参照）、そして吸着
ノズル体（１８４）及び吸着コレット（１８５）は上昇
し、前記押え部材（２４７）を今度は内方へ回動きせ、
ストッカー（２３１）及びストッカー台（２３２）を下
降させることによって、吸着コレット（１８５）の交換
動作が終了する。

この吸着コレット（１８５）の交換により、大きなペレ
ット（１８０Ｂ）の装着に対応できることになる。

次にこの吸着コレット（１８５）の交換が確実に行なわ
れたか否かの確認動作について述べる。

先ずＤＣソレノイド（２０１）が励磁している状態では
、ハネＤ（２０８）に抗して作動レバー（２０３）かカ
ムフォロワー（２１０）を介して上下スライダ（２０４
）ヲ下方に押圧しており、前記フォロワー（２１０）が
下限ストッパ（２１２＞に当接して係止している状態に
あるため、光電検知装置（２１５）は吸着コレット（１
８５）がペレット（１ｇＯＡ）、　（１８０Ｂ）を吸着
しているか否かの検知を行なっている。しかし、前述の
コレット（１８５）の交換が行なわれたか否かの確認を
する場合には、前記ソレノイド（２０１＞を消磁させれ
ばよい、即ち、との消磁によって上下スライダ（２０４
＞はバネＤ　（２０８）により上昇し、作動レバー（２
０３）が上限ストッパ（２１１）に当接して係止する状
態となり、第１９Ｂ図に示すように光電検知装置（２１
５）は吸着コレット（１８５）の存在を確認できる。

仮に、存在「無、を検知すると、以後の動作を中止する
と共に、使用者に図示しない報知手段により報知する。

以上のように装着動作が行なわれると、位置決め装置（
４〉の各動作を停止する。即ち、前記モータ（７７）を
再び通電して、幅寄せカム（７３）、リフトカム（７４
）及びクランプカッ、（７５）を回転させ、カムレバー
（９１）（８９）を上昇きせると共にカムレバー（９０
）を降下許せ、また吸着用上下部材（８７Ａ）。

（８７Ａ）の吸着孔（１３７）を介するプリント基板（
Ｐ）の吸着を止めるように真空源による吸引を止めて大
気圧に戻し前記モータ（７７）を非通電とし、初期状態
に戻す、また然る後、駆動モータ（２１）に通電してプ
リント基板（Ｐ）をチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）によ
って下流に搬送する。

（ｖｉ）　　プリント基板（Ｐ）の反転動作このように
して、装着後のプリント基板（Ｐ）は下流に搬送きれて
、第４１図に示すように図示しないエレベータにより昇
降可能な収納箱（６８Ｂ）に逐次収納される。この収納
箱（６８Ｂ）は前述のローダ（６７Ａ）の収納箱（６８
Ａ）と全く同一構造である。従ってローダ（６７Ａ）の
収納箱（６８Ａ）内のプリント基板（Ｐ）の全てが、装
着し終ってアンローダ（６７Ｂ）の収納箱（６８Ｂ）内
に収納されることになる。

ここで、プリント基板（Ｐ）によっては、多数のペレッ
トを装着しなければならないものがあり、この場合再度
チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）に載せて装着する必要が
ある。この場合、プリント基板（Ｐ）が収納されている
収納箱（６８Ｂ）と収納きれていない収納箱（６８Ａ）
とを交換し、夫々ローダ（６７Ａ）、アンローダ（６７
Ｂ）にセットすればよい。

この場合、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準側
が反対側となってしまうが、反転装置（３）により平面
方向に於いて反転させればよい、以下詳述する。

前述のようにローダ（６７Ａ）からチェーン（１８Ａ）
（１８Ｂ）上に基板（Ｐ）が載置して、間欠搬送きれて
、反転装置（３）の直上方位置に来たら、搬送の駆動源
である駆動モータ（２１）の通電を停止してシリンダー
（５６）を駆動する。すると揺動部材（５５）が回動じ
ガイド（４８）によって上下杆（４９〉を上動させると
共に、図示しない真空源によりチューブ（６１）、上下
杆（４９）の真空通路（５９）及び押上体（５０）の吸
引路（５Ｂ）を介して、押上体（５０）の上面にプリン
ト基板（Ｐ）を吸着しつつ上昇きせる。然る後、モータ
（５３）に通電してプーリ（５４＞、　（５２）及びベ
ルト（５１）を介して平面方向に於いて１８０度分押上
体（５０）を回転させる。

この後前記シリンダー（５６）の駆動を停止して、前記
揺動部材（５５）を初期状態に戻して押上体（５０）を
降下きせる。このとき、前記真空源による吸引を解除し
て大気圧に戻すから、プリント基板（Ｐ）はチェーン（
１８Ａ）（１８Ｂ）上に載置きれ、再び搬送用の駆動モ
ータ（２１〉に通電して、１８０度反転されたプリント
基板（Ｐ）を再び搬送して、前述のように位置決めし、
所望のペレットを装着すればよい。

従って、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準側が
、最初に搬送位置決めしたときと同じ側となるから、装
着精度が向上する。

尚プリント基板（Ｐ）の搬送方向と直交する幅寸法が変
更した基板（Ｐ）を流す場合には、Ｘ軸周モータ（４４
）、Ｙ軸周モータ（４５）を駆動して、ＸＹデープル（
４６）を移動させ、その相互の間隔が変更したチェーン
（１８Ａ）（１８Ｂ）のその丁度中間位置に前記押上体
（５０）を移動することにより対処できる。

（ト）発明の効果 以上のように本発明は、プリント基板の重なりやずれが
防止できるから確実に搬送でき、もって搬送の高速化に
も対応できる。

また経時変化等でチェーンが伸びて係合片の停止位置が
ずれである許容＠囲を越えた場合には、センサーがその
ずれを検知できるので、作業者はそのずれを補正するこ
とにより、正規の位置に戻すことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は電子部品装着装置の平面図、第２図は同装着装
置の固定シュートの内側から奥行方向を見た正面図、第
３図は同装着装置の搬送部の右側面図、第４図はチェー
ン（１８Ａ）の部分正面図、第５図は第１図のｘ−ｘ　
’断面図、第６図は第１図のＹ−Ｙ’断面図、第７図は
送り方向の規制位置決めを行なう装置ｔ（９２）の正面
図、第８図は同装置（９２）の作動待機状態の正面図、
第９図は同装置（９２）による送り方向の寸法が長いプ
リント基板（Ｐ）の位置決め状態を示す正面図、第１０
図は位置決め装ｆ（４）の平面図、第１１図は第１図の
２−２′断面図でプリント基板（Ｐ）の幅方向の位置決
め前の状態を示す要部断面図、第１２図は同じくプリン
ト基板（Ｐ）の幅方向の位置決め状態を示す要部断面図
、第１３図は第１図のｖ−ｖ’断面図で規制装［（１３
０）による位置決め前の状態を示す要部断面図、第１４
図は同じく規制装置（１３０）による位置決め状態を示
す要部断面図、第１５図は基板の送り方向とは直交する
幅方向の位置を規制する装置を取除いた状態の部分平面
図、第１６図は装着ヘッドの一部断面せる正面図、第１
７１１ＩＣは装着ヘッドの縦断右側面図、第１８図は装
着ヘッドの一部切欠せる平面図、第１９ＡｒｙＪは装着
ヘッドの一部切欠せる右側面図、第１９Ｂ図は上下スラ
イダーが上昇した状態の装着ヘッドの一部切欠せる右側
面図、第２０図は吸着ノズル下端部を縦断した状態及び
吸着フレットの正面図、第２１図は吸着ノズル下端部の
左側面図、第２２図は吸着ノズル交換装置の縦断正面図
、第２３区は同交換装置の平面図、第２４図は同交換装
置の左側面図、第２５図乃至第３２図は吸着コレットの
交換動作を示す図、第３３図は小きいペレットを扱う場
合の突き上げ針装置の正面図、第３４図は第３３図の右
側面図、第３５図は大きいペレットを扱う場合の同装置
の正面図、第３６図は小さいペレット用の突き上げガイ
ドの縦断面図、第３７図は同ガイドの平面図、第３８図
は大きいペレットを扱う場合の突き上げガイドの縦断面
図、第３９図は同ガイドの平面図、第４０図は突き上げ
に必要な吸引回路図、第４１図は本発明装着装置の模式
図であって反転装置の動作を示す図、第４２図は反転装
置の動作説明図、第４３図は吸着コレットがペレットを
吸着したか否かの検出に係るブロック図を夫々示す。 ＜１６＞（１６）・・・駆動スプロケット、（１７）（
１７）・・・従動スプロケット、（１８Ａ＞（１８Ｂ）
・・・チェーン、（１９）・・・係合片、（４３）・・
・センサー。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）夫々駆動スプロケット、従動スプロケット間に張
   設された一対のチェーン上にプリント基板を載置して搬
   送する基板搬送装置に於いて、前記チェーンに前記プリ
   ント基板の搬送方向の後端部に係合する係合片を所定間
   隔を存して配設したことを特徴とする基板搬送装置。
2. （２）夫々駆動スプロケット、従動スプロケット間に張
   設された一対のチェーン上にプリント基板を載置して間
   欠搬送する基板搬送装置に於いて、前記チェーンに前記
   プリント基板の搬送方向の後端部に係合する係合片を所
   定間隔を存して配設すると共に、前記チェーンが停止し
   た状態での前記係合片の位置ずれを検出するセンサーを
   設けたことを特徴とする基板搬送装置。