KR101849351B1 - 듀얼 기판 소팅장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 듀얼 기판 소팅장치 및 방법에 관한 것으로, 듀얼 기판 소팅장치(300)는 기판 가이드 이송장치(350)와, 기판 가이드 폭 조절장치(380)와, 기판 그립장치(450) 및 기판 그립장치의 이동장치(460)로 구성되고, 듀얼 기판 소팅방법은 듀얼 기판 소팅장치(300)를 매거진(M)이 배치된 위치로 이동시키고, 매거진(M)내에 수용된 기판(S)의 크기에 상응하도록 기판 가이드 부재(332,332)를 가변시켜 폭을 조절하며, 아울러 그립부재(440,440)의 폭도 조절하고, 이후 전진하여 그립부재(440,440)에 의해 기판을 그립하고, 다시 이동하여 다른 위치에 배치된 매거진(M)에 기판(S)을 제공하고 그립부재(440,440)의 그립상태를 해제하도록 구성된다.

Description

듀얼 기판 소팅장치 및 방법{Dual substrate sorting apparatus and method}
본 발명은 듀얼 기판 소팅장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 매거진내에 배치된 기판을 소팅하기 위한 듀얼 기판 소팅장치 및 방법에 관한 것이다.
종래, 반도체 제조설비는 다수개의 기판을 보관하는 매거진을 보관하는 스토커와, 상기 기판의 단위공정이 이루어지는 단위공정장치 사이에서 자동 반송장치에 의해 상기 매거진이 이송되도록 형성되어 있다. 자동 반송장치는 설정된 프로그램에 따라 스토커와 단위공정장치 사이에서 복수개의 매거진을 순차적으로 이동시킬 수 있다.
한국등록특허공보 제10-1467523호(특허문헌 1)는 기판 트랜스퍼 장치에 관한 것으로, 적어도 한 쌍의 기판을 동일평면상에서 좌우로 서로 평행하게 이송하는 셔틀부; 상기 셔틀부를 통해 이송된 적어도 한 쌍의 기판이 좌우로 상호 평행하게 안착되는 버퍼부; 상기 기판을 지지할 수 있는 복수개의 선반이 높이방향으로 복수개 구비되어, 상기 기판이 상기 각 선반마다 안착되어 높이방향으로 적재되는 소터; 상기 버퍼부의 평행하게 안착된 적어도 한 쌍의 기판을 상기 소터로 이송하면서, 상기 기판을 상기 각 선반에 각각 수직방향으로 포개어 적재하는 인덱스부; 상기 소터의 각 선반에 적재되는 기판의 상태를 저장하는 제어부로 구성된다.
상기 특허문헌 1의 셔틀부(110)는 검사가 완료된 한 쌍의 기판을 이송해서 버퍼부(120)에 안착시키는 것으로 제1 레일(112)과, 제1 슬라이더(114) 및 픽커(116)로 구성된다. 또한, 상기 특허문헌 1의 소터(160)는 인덱스부(130)에 의해 이송되는 기판을 적재하는 구성요소로서, 복수개의 선반이 높이방향으로 복수개 구비되어 각 기판이 선반마다 하나씩 안착되어 높이방향으로 적재되므로 인덱스부는 평행하게 안착된 기판을 소터에 수직방향으로 포개어 적재하게 된다. 그러나, 이와 같은 특허문헌 1은 셔틀부(110)의 픽커(116)가 고정되므로 기판의 종류에 대응할 수 없는 문제점이 있고 기판의 픽킹 상태를 확인할 수 없으므로 기판 흡착시 발생되는 불량을 해결할 수 없는 문제점을 내포하고 있다.
: 한국등록특허공보 제10-1467523호(등록일: 2014.11.25)
본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로 매거진내에 제공된 기판을 자유롭게 넣고 빼낼 수 있는 듀얼 기판 소팅장치 및 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 기판의 상태를 확인하면서 기판을 그립부재에 의해 매거진에 넣고 빼낼 수 있어서 전체적인 작업 효율을 향상시킬 수 있는 듀얼 기판 소팅장치 및 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 듀얼 기판 소팅장치는 Y축 이송유닛에 좌우로 이동되게 배치된 Z축 이송유닛의 일측에 배치되며, 매거진내에 배치된 기판을 그립하여 삽입 및 배출하는 듀얼 기판 소팅장치로서, 서로 간격을 두고 배치된 제1 엘엠 레일을 갖는 상부판과, 상기 상부판의 하부에 배치되며 서로 간격을 두고 배치된 제2 엘엠 레일을 갖는 지지판과, 상기 지지판과 수직 프레임에 의해 각각 연결되며 제1 엘엠 레일에 각각 연결된 제1 엘엠 가이드를 갖는 이동판과, 상기 이동판에 연결되며 일측에 볼스크류가 배치된 연결판과, 상기 연결판의 볼스크류에 일측이 연결된 제1 구동원과, 상기 지지판의 하부에 배치되며 지지판의 전,후방향 이동에 따라 함께 이동하는 기판 가이드 부재를 포함하는 기판 가이드 이송장치와; 상기 지지판의 하부에 배치되며 지지판의 제2 엘엠 레일을 따라 좌,우 방향으로 함께 이동하는 기판 가이드 부재와, 상기 기판 가이드 부재와 연결된 조절판에 배치된 링크와, 상기 링크에 양측이 각기 연결된 회전판과, 상기 회전판에 연결된 제2 구동원으로 구성된 기판 가이드 폭 조절장치와; 상기 상부판의 하부에 배치되며 서로 간격을 두고 배치된 제3 엘엠 레일을 갖는 하부판과, 하부에는 상기 하부판의 제3 엘엠 레일과 각각 결합된 제3 엘엠 가이드가 배치되고 상부에는 각각 제4 엘엠 레일이 배치된 이동블럭과, 상기 이동블럭의 제4 엘엠 레일과 각각 연결된 제4 엘엠 가이드를 갖는 지지블럭과, 상기 지지블럭에 각각 연결된 그립퍼 실린더와, 상기 그립퍼 실린더에 각각 연결되며 기판을 그립하기 위한 그립부재로 구성된 기판 그립장치와; 상기 하부판에 배치된 제3 엘엠 레일의 외측에 각각 간격을 두고 배치된 한 쌍의 제1 및 제2 풀리와, 상기 한 쌍의 제1 및 제2 풀리의 사이에 끼워진 벨트와, 상기 제1 풀리에 각각 연결된 제3 구동원으로 구성된 기판 그립장치의 이동장치로 구성되는 점에 있다.
본 발명의 듀얼 기판 소팅방법은 듀얼 기판 소팅장치를 매거진이 배치된 위치로 이동시키는 단계와; 상기 매거진내에 수용된 기판의 크기에 상응하도록 기판 가이드 폭 조절장치를 동작시켜 기판 가이드 부재를 가변시켜 폭을 조절하는 단계와; 기판 가이드 부재를 가변시켜 폭 조절이 완료되면, 기판 가이드 이송장치를 동작시켜 기판 가이드 부재를 전진시키는 단계와; 상기 기판 가이드 부재의 전진이 완료되면, 기판 그립 장치의 그립부재를 전진시키는 단계와; 상기 그립부재에 의해 매거진내에 수용된 기판을 그립하는 단계와; 상기 기판을 그립한 상태로 그립부재를 후진시키는 단계와; 상기 그립부재의 후진이 완료되면, 기판 가이드 부재를 후진시키는 단계와; 상기 듀얼 기판 소팅장치를 매거진이 배치된 다른 위치로 이동시키는 단계와; 상기 기판 가이드 이송장치를 동작시켜 다시 기판 가이드 부재를 전진시키는 단계와; 상기 기판 가이드 부재의 전진이 완료되면, 기판을 그립한 그립부재를 전진시키는 단계와; 상기 기판을 그립한 그립부재가 다른 위치에 배치된 매거진에 기판을 제공하고 그립부재의 그립상태를 해제하는 단계와; 상기 그립부재의 그립상태가 해제되면, 그립부재를 후진시키는 단계와; 상기 그립부재의 후진이 완료되면, 기판 가이드 부재를 후진시키는 단계를 포함하는 점에 있다.
본 발명의 듀얼 기판 소팅장치 및 방법은 적어도 한 개 이상의 기판을 매거진에 연속적으로 삽입 및 배출할 수 있으므로 작업효율이 향상되는 이점이 있다.
본 발명의 듀얼 기판 소팅장치 및 방법은 다양한 종류의 매거진에 배치된 다양한 종류의 기판(즉, 크기가 다른 기판)에 대응할 수 있으므로 한 개의 장치로 복수개의 장치의 기능을 수행하게 되므로 원가절감을 시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 듀얼 기판 소팅장치를 개략적으로 나타낸 사시도,
도 2는 본 발명의 요부인 Y축 이송유닛을 나타낸 단면도,
도 3은 본 발명의 요부인 Z축 이송유닛을 나타낸 단면도,
도 4는 본 발명의 듀얼 기판 소팅장치를 나타낸 사시도,
도 5는 본 발명의 요부인 기판 가이드 이송장치 및 기판 가이드 폭 조절장치를 나타낸 사시도,
도 6은 본 발명의 요부인 기판 그립장치 및 기판 그립 이동장치를 나타낸 사시도,
도 7은 본 발명의 요부인 기판 그립부재를 나타낸 단면도,
도 8은 본 발명의 요부인 기판 가이드 폭 조절장치의 회전판 및 링크의 동작관계를 나타낸 단면도,
도 9 및 도10은 본 발명의 듀얼 기판 소팅방법을 개략적으로 나타낸 플로우차트,
도 11은 본 발명의 요부인 듀얼 기판 소팅장치를 매거진이 배치된 위치로 이동시키는 단계를 구체적으로 나타낸 플로우차트,
도 12는 본 발명의 요부인 매거진내에 수용된 기판의 크기에 상응하도록 기판 가이드 폭 조절장치를 동작시켜 기판 가이드 부재를 가변시켜 폭을 조절하는 단계를 구체적으로 나타낸 플로우차트,
도 13은 본 발명의 요부인 기판 가이드 부재를 가변시켜 폭 조절이 완료되면, 기판 가이드 이송장치를 동작시켜 기판 가이드 부재를 전진시키는 단계를 구체적으로 나타낸 플로우차트,
도 14는 본 발명의 요부인 기판 가이드 부재의 전진이 완료되면, 기판 그립 장치의 그립부재를 전진시키는 단계를 구체적으로 나타낸 플로우차트,
도 15는 본 발명의 요부인 그립부재에 의해 매거진내에 수용된 기판을 그립하는 단계를 구체적으로 나타낸 플로우차트이다.
이하, 본 발명의 듀얼 기판 소팅장치의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 듀얼 기판 소팅장치(300)는 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 기판 가이드 이송장치(350)와, 기판 가이드 폭 조절장치(380)와, 기판 그립장치(450) 및 기판 그립장치의 이동장치(460)로 크게 구성된다.
상기 듀얼 기판 소팅장치(300)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, Y축 이송유닛(100)에 좌우로 이동 가능하게 배치된 Z축 이송유닛(200)의 일측에 배치되며, 매거진(M)내에 배치된 기판(S)을 그립하여 삽입 및 배출하는 역할을 수행하게 된다. 상기 듀얼 기판 소팅장치(300)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상부판(302)의 하부에 배치된 하부판(402)의 일측에 기판(S)의 상태를 검사하기 위한 기판 상태 검사장치(400)를 더 포함하게 된다. 상기 기판 상태 검사장치(400)는 카메라와 조명을 구비한 검사장치의 일종으로 이해하기 바란다.
상기 Y축 이송유닛(100)은 도 2에 도시된 바와 같이, 베이스 판(104)과, 이동판(108)과, 볼 스크류(110)와, 서보 모터(112) 및 한 쌍의 센서(114,114)로 구성된다. 상기 베이스 판(104)에는 엘엠 레일(102)이 간격을 두고 배치되고, 상기 엘엠 레일(102)은 이동판(108)의 하부에 간격을 두고 배치된 엘엠 가이드(106)와 이동가능하게 결합된다. 상기 베이스 판(104)의 엘엠 레일(102)의 사이에는 볼 스크류(110)가 배치되고, 상기 볼 스크류(110)는 일측이 이동판(108)에 연결되고, 타측이 구동원인 서보 모터(112)에 연결된다. 그리고, 상기 베이스 판(104)에 배치된 엘엠 레일(102)의 양측에는 간격을 두고 한 쌍의 센서(114,114)가 배치된다. 상기 한 쌍의 센서(114,114)는 이동판(108)의 이동 상태를 감지하여 확인하기 위한 것이다.
상기 Z축 이송유닛(200)은 도 3에 도시된 바와 같이, 연결판(201)과, 베이스 판(204)과, 이동판(208)과, 볼 스크류(210)와, 서보 모터(212) 및 한 쌍의 센서(214,214)로 구성된다.
상기 연결판(201)은 Y축 이송유닛(100)의 이동판(108)상에 배치되어, Y축 이송유닛(100)의 이동에 따라 Z축 이송유닛(200)이 이동할 수 있게 구성된다. 상기 수직 베이스 판(204)은 연결판(201)에 수직으로 배치되며, 엘엠 레일(202)이 간격을 두고 배치된다. 상기 이동판(208)은 수직 베이스 판(204)의 상부에 배치되며, 엘엠 레일(202)과 연결된 엘엠 가이드(206)를 구비하게 된다. 상기 이동판(208)에는 후술하게 되는 듀얼 기판 소팅장치(300)를 안착하기 위한 지지부재(205)가 배치된다. 상기 수직 베이스 판(204)의 엘엠 레일(202)의 사이에는 볼 스크류(210)가 배치되며, 상기 볼 스크류(210)는 일측이 이동판(208)에 연결되고 타측이 구동원인 서보 모터(212)에 연결된다. 그리고, 상기 수직 베이스 판(204)에 배치된 엘엠 레일(202)의 양측에는 간격을 두고 한 쌍의 센서(214,214)가 배치된다. 상기 한 쌍의 센서(214,214)는 이동판(208)의 이동 상태를 감지하여 확인하기 위한 것이다. 즉, 이동판(208)에 연결되어 지지부재(205)상에 배치된 듀얼 기판 소팅장치(300)의 이동 상태를 감지하여 확인하기 위한 것이다.
상기 기판 가이드 이송장치(350)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상부판(302)과, 지지판(306)과, 이동판(310,310)과, 연결판(312)과, 제1 구동원(330) 및 기판 가이드 부재(332,332)로 구성된다.
상기 상부판(302)에는 중앙에 사각형태의 개구부(도시되지 않음)가 형성되고, 상기 개구부의 양측에 간격을 두고 제1 엘엠 레일(304,304)이 배치된다. 상기 지지판(306)은 상부판(302)의 하부에 배치되며, 서로 간격을 두고 배치된 제2 엘엠 레일(324,324)을 구비하게 된다.
상기 이동판(310,310)은 지지판(306)에 수직 프레임(307)에 의해 각각 연결되며, 상부판에 배치된 제1 엘엠 레일(304,304)과 각각 연결된 제1 엘엠 가이드(308,308)를 구비하게 된다. 상기 연결판(312)은 상기 이동판(310,310)에 연결되며 일측에 볼스크류(314)가 배치된다. 상기 볼 스크류(314)는 연결판(312)의 중앙에 배치된 연결부(315)를 관통하여 브라켓(317)에 회전가능하게 끼워지게 된다. 상기 볼 스크류(314)는 일측이 제1 구동원(330)에 연결되고, 타측은 브라켓(317)에 끼워지게 되므로 제1 구동원(330)을 동작시킴에 의해 연결판(312)이 볼 스크류(314)를 따라 이동하게 되므로 이동판(310)도 상기 연결판(312)의 이동에 따라서 이동하게 된다. 상기 제1 구동원(330)은 기판 가이드 부재(332,332)를 전,후진 시키는 서보 모터이다.
상기 기판 가이드 부재(332,332)는 지지판(306)의 하부에 배치되며, 지지판(306)의 전,후방향 이동에 따라 함께 이동하도록 구성된다. 즉, 상기 기판 가이드 부재(332,332)는 지지판(306)의 하부에 배치된 제2 엘엠 레일(324)에 끼워진 제2 엘엠 가이드(328)을 갖는 조절판(320,320)에 각각 일체로 연결된다.
상기 기판 가이드 부재(332,332)는 제1 구동원(330)을 구동시킴에 의해 연결판(312)이 볼스크류(314)를 따라 이동하게 되면 연결판(312)과 연결된 이동판(310,310)이 제1 엘엠 레일(304,304)을 따라 이동하게 될 때 상기 이동판(310,310)은 수직 프레임(307,307)을 거쳐서 지지판(306)에 연결되므로 이동판(310,310)의 이동시 지지판(306)도 이동하게 된다. 또한, 상기 지지판(306)에는 조절판(320,320)이 연결되고, 상기 조절판(320,320)에는 기판 가이드 부재(332,332)가 일체로 연결되므로 기판 가이드 부재(332,332)가 기판(S)을 가이드 하는 역할을 수행하게 된다.
상기 기판 가이드 폭 조절장치(380)는 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 기판 가이드 부재(332,332)와, 링크(334,334)와, 회전판(335) 및 제2 구동원(340)으로 구성된다.
상기 기판 가이드 부재(332,332)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 지지판(306)의 하부에 배치되며, 지지판(306)의 제2 엘엠 레일(324)을 따라 좌,우방향으로 함께 이동하도록 구성된다. 즉, 기판 가이드 부재(332,332)는 지지판(306)의 하부에 간격을 두고 배치된 제2 엘엠 레일(324)에 각각 연결된 제2 엘엠 가이드(328)를 갖는 조절판(320,320)에 각각 연결되며 조절판(320,320)의 이동에 따라 함께 이동하도록 구성된다.
상기 링크(334,334)는 도 8에 도시된 바와 같이, 기판 가이드 부재(332,332)와 연결된 조절판(320,320)에 배치된다. 상기 회전판(335)은 양측이 각기 링크(334,334)에 연결되고, 상기 회전판(335)은 링크(334,334)와 함께 회전할 수 있도록 제2 구동원(340)의 축(도시되지 않음)에 연결된다. 상기 제2 구동원(340)은 기판(S)의 종류에 상응하여 기판 가이드 부재(332)의 폭을 조절하는 서보 모터이다.
상기 기판 가이드 폭 조절장치(380)는 제2 구동원(340)을 구동시키게 되면, 도 8에 도시된 바와 같이, 회전판(335)이 회전하게 되고 이때 회전판(335)과 연결된 링크(334,334)도 회전하게 된다. 상기 링크(334,334)의 회전에 의해 조절판(320,320)의 폭이 조절되므로 이에 따라 조절판(320,320)에 연결된 기판 가이드 부재(332,332)의 폭을 조절할 수 있게 된다.
상기 기판 그립장치(450)는 도 4 및 도 6에 도시된 바와 같이, 하부판(402)과, 이동블럭(410,410)과, 지지블럭(420,420)과, 그립퍼 실린더(430,430) 및 그립부재(440,440)로 구성된다.
상기 하부판(402)은 상부판(302)의 하부에 복수개의 프레임(401)에 의해 상호 연결되며, 서로 간격을 두고 배치된 제3 엘엠 레일(404,404)을 구비하게 된다. 상기 이동블럭(410,410)은 하부에 상기 하부판(402)의 제3 엘엠 레일(404,404)과 각각 결합되는 제3 엘엠 가이드(406,406)가 배치되고, 상부에 각각 제4 엘엠 레일(414,414)이 간격을 두고 배치된다. 상기 지지블럭(420,420)은 이동블럭(410,410)의 제4 엘엠 레일(414,414)과 각각 연결된 제4 엘엠 가이드(416,416)를 구비한다. 상기 그립퍼 실린더(430,430)는 상기 지지블럭(420,420)에 각각 연결되며, 상기 그립부재(440,440)는 그립퍼 실린더(430,430)에 각각 연결되어 기판(S)을 그립하는 역할을 수행하게 된다.
상기 그립부재(440,440)는 지지블럭(420,420)에 배치되고, 제4 엘엠 가이드(416,416)를 갖는 지지블럭(420,420)이 이동블럭(410,410)에 배치된 제4 엘엠 레일(414,414)을 따라서 이동하게 구성되므로 그립부재(440,440)의 폭을 조절할 수 있게 된다. 또한, 상기 그립부재(440,440)는 도 7에 도시된 바와 같이, 기판(S)의 그립시 간섭을 피하기 위하여 서로 다른 높이로 배치되어 개별적으로 또는 동시에 그립 작업을 수행할 수 있다. 즉, 상기 그립부재(440,440)는 기판(S)을 그립할 때, 2개 중 1개의 그립부재(440)만 개별적으로 이동시킬 수도 있고, 2개의 그립부재(440,440)를 동시에 이동시킬 수도 있게 구성되어 있다.
상기 기판 그립장치(450)는 그립부재(440,440) 및 그립퍼 실린더(430,430)가 각각 배치된 지지블럭(420,420)이 제3 엘엠 레일(404,404) 및 제4 엘엠 레일(414,414)를 따라서 전,후 방향 및 좌,우 방향으로 이동가능하게 구성되며, 상기 그립부재(440,440)는 그립퍼 실린더(430,430)를 동작시킴에 의해 기판(S)을 그립할 수 있도록 구성된다. 즉, 상기 그립부재(440,440)는 서로 간격을 두고 배치된 상태에서 그립퍼 실린더(430,430)를 동작시키게 되면 그립부재(440,440)간의 간격이 줄어드면서 기판(S)을 파지하게 되고, 기판(S)을 매거진(M)이 위치한 소정위치로 이동시킨 후 그립퍼 실린더(430,430)의 동작을 해지하게 되면 그립부재(440,440)는 초기 상태로 복귀하게 된다.
한편, 상기 기판 그립장치(450)의 지지블럭(420,420)의 상부에 각각 배치된 볼 부쉬(422,422)가 기판 가이드 부재(332,332)의 하부에 일체로 각각 연결된 연결부재(342,342)의 장공(344,344)에 끼워지게 되므로 상기 기판 가이드 부재(332,332)의 폭 조절시 동시에 지지블럭(420,420)도 제4 엘엠 레일(414,414)을 따라 좌,우 방향(폭 방향)으로 이동하게 되므로 그립부재(440,440)의 폭도 조절되게 된다.
상기 기판 그립장치의 이동장치(460)는 도 4 및 도 6에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 제1 및 제2 풀리(452,454)와, 벨트(456)와, 제3 구동원(458,458)으로 구성된다.
상기 한 쌍의 제1 및 제2 풀리(452,454)는 하부판(402)에 배치된 제3 엘엠 레일(404,404)의 외측에 각각 간격을 두고 배치된다. 상기 벨트(456)는 상기 한 쌍의 제1 및 제2 풀리(452,454)의 사이에 각각 끼워지게 된다. 상기 제3 구동원(458,458)은 상기 제1 풀리(452)에 각각 연결된다.
상기 기판 그립장치의 이동장치(460)는 제3 구동원(458,458)을 구동시키게 되면, 상기 제3 구동원(458,458)의 축(도시되지 않음)에 연결된 제1 풀리(452)가 동작하게 된다. 이때, 상기 제1 풀리(452)와 벨트(456)에 의해 상호 연결된 제2 풀리(454)도 회전하게 되며, 이와 같은 동작에 의해 이동블럭(410,410)이 제3 엘엘 레일(404,404)을 따라서 상,하 방향(전,후진 방향)으로 이동하게 된다. 즉, 상기 이동블럭(410,410)에 배치된 지지블럭(420,420)의 그립부재(440,440)가 상,하 방향으로 이동가능하므로 소정 위치에 배치된 매거진(M)내의 기판(S)측으로 전진 이동하여 기판(S)을 그립하고 후퇴(후진)하여 배출할 수 있게 구성된다.
본 발명의 듀얼 기판 소팅장치의 동작관계에 대하여 설명하기로 한다.
본 발명의 듀얼 기판 소팅장치(300)는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, Y축 이송유닛(100)과 Z축 이송유닛(200)을 이용하여 매거진(M)이 배치된 소정 위치로 이동하게 된다.
상기 듀얼 기판 소팅장치(300)가 소정 위치로 이동되면, 기판 가이드 장치(350)의 제1 구동원(330)을 구동시키게 된다. 상기 제1 구동원(330)이 구동되면, 연결판(312)이 볼스크류(314)를 따라 이동하게 되고 아울러 연결판(312)과 연결된 이동판(310,310)이 제1 엘엠 레일(304,304)을 따라 이동하게 된다. 또한, 상기 이동판(310)은 수직 프레임(307)을 거쳐서 지지판(306)에 연결되므로 이동판(310)의 이동시 지지판(306)도 이동하게 된다. 상기 지지판(306)에는 조절판(320,320)이 연결되고, 상기 조절판(320,320)에는 기판 가이드 부재(332,332)가 일체로 연결되므로 기판 가이드 부재(332,332)가 전진하여 기판(S)을 가이드하게 된다.
상기 기판 가이드 장치(350)의 제1 구동원(330)의 구동과 동시에 또는 소정의 시간을 두고 기판 가이드 폭 조절장치(380)의 제2 구동원(340)을 구동시키게 된다. 상기 제2 구동원(340)이 구동되면, 회전판(335)이 회전하게 되고 이때 회전판(335)과 일측이 각각 연결된 링크(334,334)도 회전하게 된다. 상기 링크(334,334)의 회전에 의해 조절판(320,320)의 폭이 조절되므로 이에 따라 조절판(320,320)에 연결된 기판 가이드 부재(332,332)의 폭도 조절할 수 있게 된다.
한편, 상기 기판 그립장치(450)는 그립부재(440,440) 및 그립퍼 실린더(430,430)가 각각 배치된 지지블럭(420,420)이 제3 엘엠 레일(404,404) 및 제4 엘엠 레일(414,414)를 따라서 전,후 방향 및 좌,우 방향으로 이동가능하게 구성되므로 상기 그립부재(440,440)는 그립퍼 실린더(430,430)를 동작시킴에 의해 기판(S)을 그립할 수 있다.
상기 기판 그립장치(450)의 지지블럭(420,420)의 상부에 각각 배치된 볼 부쉬(422,422)가 기판 가이드 부재(332,332)의 하부에 일체로 각각 연결된 연결부재(342,342)의 장공(344,344)에 끼워지게 되므로 상기 기판 가이드 부재(332,332)의 폭 조절시 동시에 지지블럭(420,420)도 제4 엘엠 레일(414,414)을 따라 좌,우 방향(폭 방향)으로 이동하게 되므로 그립부재(440,440)의 폭도 조절되게 된다.
상기 기판 그립장치의 이동장치(460)는 제3 구동원(458,458)을 구동시키게 되면, 상기 제3 구동원(458,458)의 축(도시되지 않음)에 연결된 제1 풀리(452)가 동작하게 된다. 이때, 상기 제1 풀리(452)와 벨트(456)에 의해 상호 연결된 제2 풀리(454)도 회전하게 되며, 이와 같은 동작에 의해 이동블럭(410,410)이 제3 엘엘 레일(404,404)을 따라서 상,하 방향(전,후진 방향)으로 이동하게 된다.
이제, 본 발명의 듀얼 기판 소팅방법에 대하여 설명하기로 한다.
본 발명의 듀얼 기판 소팅방법은 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 듀얼 기판 소팅장치(300)를 매거진(M)이 배치된 위치로 이동시키는 단계(S10)와; 상기 매거진(M)내에 수용된 기판(S)의 크기에 상응하도록 기판 가이드 폭 조절장치(380)를 동작시켜 기판 가이드 부재(332,332)를 가변시켜 폭을 조절하는 단계(S20)와; 기판 가이드 부재(332,332)를 가변시켜 폭 조절이 완료되면, 기판 가이드 이송장치(350)를 동작시켜 기판 가이드 부재(332,332)를 전진시키는 단계(S30)와; 상기 기판 가이드 부재(332,332)의 전진이 완료되면, 기판 그립 장치(450)의 그립부재(440,440)를 전진시키는 단계(S40)와; 상기 그립부재(440,440)에 의해 매거진(M)내에 수용된 기판(S)을 그립하는 단계(S50)와; 상기 기판(S)을 그립한 상태로 그립부재(440,440)를 후진시키는 단계(S60)와; 상기 그립부재(440,440)의 후진이 완료되면, 기판 가이드 부재(332,332)를 후진시키는 단계(S70)와; 상기 듀얼 기판 소팅장치(300)를 매거진(M)이 배치된 다른 위치로 이동시키는 단계(S80)와; 상기 기판 가이드 이송장치(350)를 동작시켜 다시 기판 가이드 부재(332,332)를 전진시키는 단계(S90)와; 상기 기판 가이드 부재(332,332)의 전진이 완료되면, 기판(S)을 그립한 그립부재(440,440)를 전진시키는 단계(S100)와; 상기 기판(S)을 그립한 그립부재(440,440)가 다른 위치에 배치된 매거진(M)에 기판(S)을 제공하고 그립부재(440,440)의 그립상태를 해제하는 단계(S110)와; 상기 그립부재(440,440)의 그립상태가 해제되면, 그립부재(440,440)를 후진시키는 단계(S120)와; 상기 그립부재(440,440)의 후진이 완료되면, 기판 가이드 부재(332,332)를 후진시키는 단계(S130)로 이루어지게 된다.
상기 듀얼 기판 소팅장치(300)를 매거진(M)이 배치된 위치로 이동시키는 단계(S10)는, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 듀얼 기판 소팅장치(300)를 Y축 이송유닛(100)을 따라 Y축으로 이동시키는 단계(S12)와; 상기 듀얼 기판 소팅장치(300)를 Z축 이송유닛(200)을 따라 Z축으로 이동시키는 단계(S14)를 포함하게 된다.
상기 듀얼 기판 소팅장치(300)를 Y축 이송유닛(100)을 따라 Y축으로 이동시키는 단계(S12)는 Z축 이송유닛(200)의 하부에 배치된 연결판(201)과 연결된 이동판(108)을 이동시키게 되고, 베이스판(104)의 양측에 배치된 센서(114,114)에 의해 이동판(108)의 이동을 감지하게 된다.
상기 듀얼 기판 소팅장치(300)를 Z축 이송유닛(200)을 따라 Z축으로 이동시키는 단계(S14)는 듀얼 기판 소팅장치(300)가 이동판(208)에 연결된 지지부재(205)에 배치되고, 상기 지지부재(205)에 배치된 듀얼 기판 소팅장치(300)는 이동판(208)이 엘엠 레일(202)을 따라서 이동하게 된다. 여기서, 이동판(208)은 서보 모터(212)를 동작시킴에 의해 볼 스크류(210)의 이동에 따라 이동하게 된다.
상기 매거진(M)내에 수용된 기판(S)의 크기에 상응하도록 기판 가이드 폭 조절장치(380)를 동작시켜 기판 가이드 부재(332,332)를 가변시켜 폭을 조절하는 단계(S20)는, 도 12에 도시된 바와 같이, 제2 구동원(340)을 구동시켜 상기 제2 구동원(340)에 연결된 회전판(336)과 링크(334,334)를 동작시키는 단계(S22)와; 상기 링크(334,334)의 동작에 의해 조절판(320,320)에 연결된 기판 가이드 부재(332,332)를 동작시키는 단계(S24)를 포함하게 된다.
상기 제2 구동원(340)을 구동시켜 상기 제2 구동원(340)에 연결된 회전판(336)과 링크(334,334)를 동작시키는 단계(S22)는 제2 구동원(340)을 구동시킴에 의해 제2 구동원(340)의 축(도시되지 않음)과 연결된 회전판(336)이 회전하게 되고 아울러, 상기 회전판(336)과 연결된 링크(334,334)도 회전하게 된다. 상기 링크(334,334)의 동작에 의해 조절판(320,320)에 연결된 기판 가이드 부재(332,332)를 동작시키는 단계(S24)는 회전판(336)의 회전에 의해 링크(334,334)가 직선인 상태에서 경사진 상태로 되므로 조절판(320,320)에 연결된 기판 가이드 부재(332,332)의 폭이 조절된다.
상기 듀얼 기판 소팅방법은, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 매거진(M)내에 수용된 기판(S)의 크기에 상응하도록 기판 가이드 폭 조절장치(380)를 동작시켜 기판 가이드 부재(332,332)를 가변시켜 폭을 조절하는 단계(S20)를 수행한 후, 기판(S)의 크기에 상응하여 폭 조절된 기판 가이드 부재(332,332)에 따라서 그립 부재(440,440)가 배치된 지지블럭(420,420)을 가변시켜 그립 부재(440,440)의 폭을 조절하는 단계(S25)를 더 포함하게 된다. 즉, 본 발명의 듀얼 기판 소팅방법의 기판 가이드 폭 조절장치(380)는 제2 구동원(340)을 구동시킴에 의해 조절판(320,320)에 배치된 회전판(335)과 상기 회전판(335)에 양측이 연결된 링크(334,334)를 회동하게 되고 이로 인해 기판 가이드 부재(332,332)의 폭이 1차적으로 조절된다. 그리고, 기판 가이드 부재(332,332)의 하부에 배치된 연결부재(342,342)의 장공(344,344)에 지지블럭(420,420)의 볼 부쉬(422,422)가 끼워지게 되므로 상기 기판 가이드 부재(332,332)의 폭 조절과 동시에 지지블럭(420,420)도 제4 엘엠 레일(414,414)을 따라 좌,우 방향(폭 방향)으로 이동하게 되므로 그립부재(440,440)의 폭이 2차적으로 조절되게 된다.
상기 기판 가이드 부재(332,332)를 가변시켜 폭 조절이 완료되면, 기판 가이드 이송장치(350)를 동작시켜 기판 가이드 부재(332,332)를 전진시키는 단계(S30)는, 도 13에 도시된 바와 같이, 제1 구동원(330)을 구동시켜 상기 제1 구동원(330)에 연결된 볼 스크류(314)를 동작시켜 연결판(312)과, 상기 연결판(312)에 연결된 이동판(310)을 이동시키는 단계(S32)와; 상기 이동판(310)에 수직 프레임(307)을 거쳐서 연결된 지지판(306)과, 상기 지지판(306)과 연결된 기판 가이드 부재(332,332)를 이동시키는 단계(S34)를 포함하게 된다.
상기 제1 구동원(330)을 구동시켜 상기 제1 구동원(330)에 연결된 볼 스크류(314)를 동작시켜 연결판(312)과, 상기 연결판(312)에 연결된 이동판(310)을 이동시키는 단계(S32)는 상기 제1 구동원(330)이 구동되면, 연결판(312)이 볼스크류(314)를 따라 이동하게 되고 아울러 연결판(312)과 연결된 이동판(310,310)이 제1 엘엠 레일(304,304)을 따라 이동하게 된다.
상기 이동판(310)에 수직 프레임(307)을 거쳐서 연결된 지지판(306)과 상기 지지판(306)과 연결된 기판 가이드 부재(332,332)를 이동시키는 단계(S34)는 상기 이동판(310)은 수직 프레임(307)을 거쳐서 지지판(306)에 연결되므로 이동판(310)의 이동시 지지판(306)도 이동하게 된다. 상기 지지판(306)에는 조절판(320,320)이 연결되고, 상기 조절판(320,320)에는 기판 가이드 부재(332,332)가 일체로 연결되므로 기판 가이드 부재(332,332)가 전진하여 기판(S)을 가이드하게 된다.
상기 기판 가이드 부재(332,332)의 전진이 완료되면, 기판 그립 장치(450)의 그립부재(440,440)를 전진시키는 단계(S40)는, 도 14에 도시된 바와 같이, 그립부재(440,440)중 한 개의 그립부재(440)를 전진시킬 것인지 두 개의 그립부재(440,440)를 전진시킬 것인지 판단하는 단계(S42)와; 선택된 그립부재(440,440)를 전진시키기 위하여 제3 구동원(458,458)을 동작시켜 이동블럭(410,410)을 매거진(M)이 배치된 장소로 이동시키는 단계(S44)를 포함하게 된다.
상기 그립부재(440,440)중 한 개의 그립부재(440)를 전진시킬 것인지 두 개의 그립부재(440,440)를 전진시킬 것인지 판단하는 단계(S42)는 제어부(도시되지 않음)에서 그립부재(440,440)중 한 개를 전진시킬지 아니면 두 개를 전진시킬지를 판단하게 된다.
상기 그립부재(440,440)에 의해 매거진(M)내에 수용된 기판(S)을 그립하는 단계(S50)는, 도 15에 도시된 바와 같이, 그립퍼 실린더(430,430)를 동작시켜 그립부재(440,440)에 의해 기판(S)을 그립하는 단계(S52)와; 상기 그립부재(440,440)가 기판(S)을 그립할 때, 기판 상태 검사장치(400)에 의해 기판(S)의 그립상태를 확인하는 단계(S54)를 포함하게 된다.
상기 그립부재(440,440)에 의해 기판(S)을 그립하는 단계(S52) 및 기판(S)의 그립상태를 확인하는 단계(S54)는 전술한 듀얼 기판 소팅장치(300)의 동작관계와 유사하므로 여기서는 상세한 설명을 생략하기로 한다.
이와 같이 구성된 본 발명의 듀얼 기판 소팅방법은 다양한 종류의 기판 크기에 대응하여 기판 가이드 부재의 폭을 조절함과 동시에 그립 부재의 폭도 조절할 수 있으므로 한 개의 장치로 다양한 작업을 수행할 수 있고, 아울러 그립 부재를 서로 간섭을 피하도록 서로 다른 높이로 배치함으로써 그립부재가 기판을 개별적 또는 동시에 그립할 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 듀얼 기판 소팅장치 및 방법은 매거진내에 수용된 기판을 삽입 및 배출하는 반도체 설비 등과 같은 반도체 제조 분야에 널리 적용될 수 있다.
100: Y축 이송유닛 200: Z축 이송유닛
300: 듀얼 기판 소팅장치 310: 이동판
320: 조절판 330,340: 제1 및 제2 구동원
332: 기판 가이드 부재 334: 링크
350: 기판 가이드 이송장치 380: 기판 가이드 폭 조절장치
400: 기판 상태 검사장치 440: 그립부재
450: 기판 그립장치 460: 기판 그립 이동장치

Claims (16)

  1. Y축 이송유닛(100)에 좌우로 이동되게 배치된 Z축 이송유닛(200)의 일측에 배치되며, 매거진(M)내에 배치된 기판(S)을 그립하여 삽입 및 배출하는 듀얼 기판 소팅장치(300)로서,
    상기 듀얼 기판 소팅장치(300)는,
    서로 간격을 두고 배치된 제1 엘엠 레일(304,304)을 갖는 상부판(302)과, 상기 상부판(302)의 하부에 배치되며 서로 간격을 두고 배치된 제2 엘엠 레일(324,324)을 갖는 지지판(306)과, 상기 지지판(306)과 수직 프레임(307)에 의해 각각 연결되며 제1 엘엠 레일(304,304)에 각각 연결된 제1 엘엠 가이드(308,308)를 갖는 이동판(310,310)과, 상기 이동판(310,310)에 연결되며 일측에 볼스크류(314)가 배치된 연결판(312)과, 상기 연결판(312)의 볼스크류(314)에 일측이 연결된 제1 구동원(330)과, 상기 지지판(306)의 하부에 배치되며 지지판(306)의 전,후방향 이동에 따라 함께 이동하는 기판 가이드 부재(332,332)를 포함하는 기판 가이드 이송장치(350)와;
    상기 지지판(306)의 하부에 배치되며 지지판(306)의 제2 엘엠 레일(324)을 따라 좌,우 방향으로 함께 이동하는 기판 가이드 부재(332,332)와, 상기 기판 가이드 부재(332,332)와 연결된 조절판(320,320)에 배치된 링크(334,334)와, 상기 링크(334,334)에 양측이 각기 연결된 회전판(335)과, 상기 회전판(335)에 연결된 제2 구동원(340)으로 구성된 기판 가이드 폭 조절장치(380)와;
    상기 상부판(302)의 하부에 배치되며 서로 간격을 두고 배치된 제3 엘엠 레일(404,404)을 갖는 하부판(402)과, 하부에는 상기 하부판(402)의 제3 엘엠 레일(404,404)과 각각 결합된 제3 엘엠 가이드(406,406)가 배치되고 상부에는 각각 제4 엘엠 레일(414,414)이 배치된 이동블럭(410,410)과, 상기 이동블럭(410,410)의 제4 엘엠 레일(414.414)과 각각 연결된 제4 엘엠 가이드(416,416)를 갖는 지지블럭(420,420)과, 상기 지지블럭(420,420)에 각각 연결된 그립퍼 실린더(430,430)와, 상기 그립퍼 실린더(430,430)에 각각 연결되며 기판(S)을 그립하기 위한 그립부재(440,440)로 구성된 기판 그립장치(450)와;
    상기 하부판(402)에 배치된 제3 엘엠 레일(404,404)의 외측에 각각 간격을 두고 배치된 한 쌍의 제1 및 제2 풀리(452,454)와, 상기 한 쌍의 제1 및 제2 풀리(452,454)의 사이에 끼워진 벨트(456)와, 상기 제1 풀리(452)에 각각 연결된 제3 구동원(458,458)으로 구성된 기판 그립장치의 이동장치(460)를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 기판 소팅장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 Y축 이송유닛(100)은 엘엠 레일(102)이 간격을 두고 배치된 베이스 판(104)와, 상기 베이스 판(104)의 상부에 배치되며 엘엠 레일(102)과 연결된 엘엠 가이드(106)를 갖는 이동판(108)과, 상기 베이스 판(104)의 엘엠 레일(102)의 사이에 배치되며 일측이 이동판(108)에 연결된 볼 스크류(110)와, 상기 볼 스크류(110)에 연결된 서보 모터(112)와, 상기 베이스 판(104)에 배치된 엘엠 레일(102)의 양측에 간격을 두고 배치된 한 쌍의 센서(114,114)를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 기판 소팅장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 Z축 이송유닛(200)은 Y축 이송유닛(100)의 이동판(108)상에 배치된 연결판(201)과, 상기 연결판(201)에 수직으로 배치되며 엘엠 레일(202)이 간격을 두고 배치된 수직 베이스 판(204)과, 상기 수직 베이스 판(204)의 상부에 배치되며 엘엠 레일(202)과 연결된 엘엠 가이드(206)를 갖는 이동판(208)과, 상기 수직 베이스 판(204)의 엘엠 레일(202)의 사이에 배치되며 일측이 이동판(208)에 연결된 볼 스크류(210)와, 상기 볼 스크류(210)에 연결된 서보 모터(212)와, 상기 수직 베이스 판(204)에 배치된 엘엠 레일(202)의 양측에 간격을 두고 배치된 한 쌍의 센서(214,214)를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 기판 소팅장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 듀얼 기판 소팅장치(300)는 상부판(302)의 하부에 배치된 하부판(402)의 일측에 기판(S)의 상태를 검사하기 위한 기판 상태 검사장치(400)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 기판 소팅장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 기판 가이드 이송장치(350)의 제1 구동원(330)은 기판 가이드 부재(332,332)를 전,후진시키는 서보 모터이고, 상기 기판 가이드 폭 조절장치(380)의 제2 구동원(340)은 기판(S)의 종류에 상응하여 기판 가이드 부재(332,332)의 폭을 조절하는 서보 모터인 것을 특징으로 하는 듀얼 기판 소팅장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기판 가이드 이송장치(350)의 기판 가이드 부재(332)는 지지판(306)의 하부에 간격을 두고 배치된 제2 엘엠 레일(324)에 각각 연결된 제2 엘엠 가이드(328)를 갖는 조절판(320,320)에 각각 연결되며 조절판(320,320)의 이동에 따라 함께 이동하는 것을 특징으로 하는 듀얼 기판 소팅장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 기판 가이드 폭 조절장치(380)의 기판 가이드 부재(332,332)는 조절판(320,320)에 배치된 회전판(335)과 상기 회전판(335)에 양측이 연결된 링크(334,334)의 이동에 따라 함께 이동하는 것을 특징으로 하는 듀얼 기판 소팅장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 기판 그립장치(450)의 그립부재(440,440)는 지지블럭(420,420)에 배치되고, 제4 엘엠 가이드(416,416)를 갖는 지지블럭(420,420)이 이동블럭(410,410)에 배치된 제4 엘엠 레일(414,414)을 따라서 이동하게 구성되므로 그립부재(440,440)의 폭이 조절되는 것을 특징으로 하는 듀얼 기판 소팅장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 기판 그립 장치(450)의 그립부재(440,440)는 기판(S)의 그립시 간섭을 피하기 위하여 서로 다른 높이로 배치되어 개별적으로 또는 동시에 그립 작업을 수행하는 것을 특징으로 하는 듀얼 기판 소팅장치.
  10. 듀얼 기판 소팅장치(300)를 매거진(M)이 배치된 위치로 이동시키는 단계(S10)와;
    상기 매거진(M)내에 수용된 기판(S)의 크기에 상응하도록 기판 가이드 폭 조절장치(380)를 동작시켜 기판 가이드 부재(332,332)를 가변시켜 폭을 조절하는 단계(S20)와;
    기판 가이드 부재(332,332)를 가변시켜 폭 조절이 완료되면, 기판 가이드 이송장치(350)를 동작시켜 기판 가이드 부재(332,332)를 전진시키는 단계(S30)와;
    상기 기판 가이드 부재(332,332)의 전진이 완료되면, 기판 그립 장치(450)의 그립부재(440,440)를 전진시키는 단계(S40)와;
    상기 그립부재(440,440)에 의해 매거진(M)내에 수용된 기판(S)을 그립하는 단계(S50)와;
    상기 기판(S)을 그립한 상태로 그립부재(440,440)를 후진시키는 단계(S60)와;
    상기 그립부재(440,440)의 후진이 완료되면, 기판 가이드 부재(332,332)를 후진시키는 단계(S70)와;
    상기 듀얼 기판 소팅장치(300)를 매거진(M)이 배치된 다른 위치로 이동시키는 단계(S80)와;
    상기 기판 가이드 이송장치(350)를 동작시켜 다시 기판 가이드 부재(332,332)를 전진시키는 단계(S90)와;
    상기 기판 가이드 부재(332,332)의 전진이 완료되면, 기판(S)을 그립한 그립부재(440,440)를 전진시키는 단계(S100)와;
    상기 기판(S)을 그립한 그립부재(440,440)가 다른 위치에 배치된 매거진(M)에 기판(S)을 제공하고 그립부재(440,440)의 그립상태를 해제하는 단계(S110)와;
    상기 그립부재(440,440)의 그립상태가 해제되면, 그립부재(440,440)를 후진시키는 단계(S120)와;
    상기 그립부재(440,440)의 후진이 완료되면, 기판 가이드 부재(332,332)를 후진시키는 단계(S130)를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 기판 소팅방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 듀얼 기판 소팅장치(300)를 매거진(M)이 배치된 위치로 이동시키는 단계(S10)는,
    상기 듀얼 기판 소팅장치(300)를 Y축 이송유닛(100)을 따라 Y축으로 이동시키는 단계(S12)와;
    상기 듀얼 기판 소팅장치(300)를 Z축 이송유닛(200)을 따라 Z축으로 이동시키는 단계(S14)를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 기판 소팅방법.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 매거진(M)내에 수용된 기판(S)의 크기에 상응하도록 기판 가이드 폭 조절장치(380)를 동작시켜 기판 가이드 부재(332,332)를 가변시켜 폭을 조절하는 단계(S20)는,
    제2 구동원(340)을 구동시켜 상기 제2 구동원(340)에 연결된 회전판(336)과 링크(334,334)를 동작시키는 단계(S22)와;
    상기 링크(334,334)의 동작에 의해 조절판(320,320)에 연결된 기판 가이드 부재(332,332)를 동작시키는 단계(S24)를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 기판 소팅방법.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 듀얼 기판 소팅방법은,
    매거진(M)내에 수용된 기판(S)의 크기에 상응하도록 기판 가이드 폭 조절장치(380)를 동작시켜 기판 가이드 부재(332,332)를 가변시켜 폭을 조절하는 단계(S20)를 수행한 후,
    기판(S)의 크기에 상응하여 폭 조절된 기판 가이드 부재(332,332)에 따라서 그립 부재(440,440)가 배치된 지지블럭(420,420)을 가변시켜 그립 부재(440,440)의 폭을 조절하는 단계(S25)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 기판 소팅방법.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 기판 가이드 부재(332,332)를 가변시켜 폭 조절이 완료되면, 기판 가이드 이송장치(350)를 동작시켜 기판 가이드 부재(332,332)를 전진시키는 단계(S30)는,
    제1 구동원(330)을 구동시켜 상기 제1 구동원(330)에 연결된 볼 스크류(314)를 동작시켜 연결판(312)과, 상기 연결판(312)에 연결된 이동판(310)을 이동시키는 단계(S32)와;
    상기 이동판(310)에 수직 프레임(307)을 거쳐서 연결된 지지판(306)과, 상기 지지판(306)과 연결된 기판 가이드 부재(332,332)를 이동시키는 단계(S34)를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 기판 소팅방법.
  15. 제10항에 있어서,
    상기 기판 가이드 부재(332,332)의 전진이 완료되면, 기판 그립 장치(450)의 그립부재(440,440)를 전진시키는 단계(S40)는,
    그립부재(440,440)중 한 개의 그립부재(440)를 전진시킬 것인지 두 개의 그립부재(440,440)를 전진시킬 것인지 판단하는 단계(S42)와;
    선택된 그립부재(440,440)를 전진시키기 위하여 제3 구동원(458,458)을 동작시켜 이동블럭(410,410)을 매거진(M)이 배치된 장소로 이동시키는 단계(S44)를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 기판 소팅방법.
  16. 제10항에 있어서,
    상기 그립부재(440,440)에 의해 매거진(M)내에 수용된 기판(S)을 그립하는 단계(S50)는,
    그립퍼 실린더(430,430)를 동작시켜 그립부재(440,440)에 의해 기판(S)을 그립하는 단계(S52)와;
    상기 그립부재(440,440)가 기판(S)을 그립할 때, 기판 상태 검사장치(400)에 의해 기판(S)의 그립상태를 확인하는 단계(S54)를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 기판 소팅방법.
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