JP2538311B2 - ペレットボンディング装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （イ） 産業上の利用分野 本発明はピックアップすべきペレットをウェハーシー
ト下面から突き上げる針と、該針を上下動可能に案内す
ると共に前記ピックアップすべきペレットの周囲にある
ペレットを前記シート下面から吸引する真空吸引部が形
成された突き上げガイドとを備え、前記吸引部を真空源
に接続したペレットボンディング装置に関する。

（ロ） 従来の技術 従来此種のボンディング装置は、特開昭62−166536号
公報等に開示されている。

一般にウェハーシート上に接着されているペレットを
突き上げ針で突き上げて剥がす場合に、ペレットと前記
シートとの接着力に対する真空吸引部による吸引力の設
定が悪いと、ペレットを突き上げた際ペレットの割れ・
欠けや、隣接するペレットをも剥がしてしまったり、逆
にピックアップすべきペレットを剥がせないといった問
題が発生する。

このために、種類の異なるペレットを扱う場合には、
吸引力を変更するために圧力調整ゲージを作業者が作動
させて調整変更しなければならず甚だ面倒であった。

（ハ） 発明が解決しようとする課題 従って本発明は、前述せる煩しい作業をすることな
く、種類の異なるペレットを扱う場合に、真空吸引部に
よる吸引力を変更できるようにすることを目的とする。

（ニ） 課題を解決するための手段 このために本発明は、ピックアップすべきペレットを
ウェハーシート下面から突き上げる針と、該針を上下動
可能に案内すると共に前記ピックアップすべきペレット
の周囲にあるペレットを前記シート下面から吸引する真
空吸引部が形成された突き上げガイドとを備え、前記吸
引部を真空源に接続したペレットボンディング装置に於
いて、前記吸引部と真空源との間には、該吸引部による
吸引力を前記ペレットの種類に応じて夫々変更設定され
た複数の調整弁と、この複数の調整弁のうち任意のもの
を選択する選択装置とを設けたものである。

また本発明は、同ペレットボンディング装置に於い
て、前記吸引部と真空源との間には、塵埃を除去するた
めのフィルターと、該フィルターの下流に設けられる切
換弁と、該切換弁と真空源との間に並列に接続されると
共に前記吸引部による吸引力を前記ペレットの種類に応
じて変更設定された複数の調整弁とを配設したものであ
る。

（ホ） 作用 真空吸引部による吸引力をペレットの種類に応じて夫
々設定された複数の調整弁のうち、任意のものを選択装
置により選択し、所望の吸引力によってピックアップす
べきペレットの周囲にあるペレットをウェハーシート下
面から吸引する。また塵埃を除去するフィルターを設け
たから、選択装置として切換弁を用いた場合には、該切
換弁を保護できる。

（ヘ） 実施例 以下本発明の一実施例を図に基づき説明する。（１）
は電子部品装着装置の本体で、該本体（１）にはプリン
ト基板（厚膜基板含む）（Ｐ）、リードフレーム等を搬
送するコンベア（２）と、該コンベア（２）に於ける上
流側に設けられる反転装置（３）と、該反転装置（３）
の下流側に設けられる一対の位置決め装置（４）（５）
と、取付台（６）上に固定される吸着コレット交換装置
（７）（８）と、４個のウェハーテーブル（９）（10）
を有してXY方向への移動及び平面方向で回転可能なウェ
ハー支持台（11）（12）と、天板（13）に吊持されてXY
方向に移動可能な装着ヘッド（14）（15）とが設けられ
ている。

前記コンベア（２）は、一対の駆動スプロケット（1
6）（16）、従動スプロケット（17）（17）間に張設さ
れた一対のチェーン（18A）（18B）から成り、該チェー
ン（18A）（18B）上に載置してプリント基板（Ｐ）を上
流側から下流側へ搬送する。このときチェーン（18A）
（18B）には所定間隔を存して基板（Ｐ）の送り方向の
後端部に係止する係合片（19）が立設され、基板（Ｐ）
は両チェーン（18A）（18B）上に載置し且つ各係合片
（19）で係止された状態で上流側から下流側に間欠的に
搬送される。

尚各係合片（19）が設けられるその相互間隔は、チェ
ーンピッチの整数倍となっており、この間隔内に収まる
基板（Ｐ）は全て搬送動作に関しては、段取りなしで共
通に送ることができる。

次にコンベア（２）及び可動シュート（20A）の移動
について述べる。駆動モータ（21）が通電されると、ベ
ルト（23）を介してその駆動が伝達されてインデックス
装置（22）の出力軸が間欠駆動し、その出力軸に取付け
られた出力軸プーリ（24）とプーリ（25）との間に張設
されたベルト（26）によりスプライン軸（27）が間欠回
転するので両プーリ（28A）（28B）（29A）（29B）間に
張設されたベルト（30）（31）により支軸（32）（33）
を介して両駆動スプロケット（16）（16）が間欠回転す
る。これにより両スプロケット（16）（16），（17）
（17）が回転するので、チェーン（18A）（18B）上のプ
リント基板（Ｐ）は間欠的に定まった距離搬送されるこ
とになる。

一方可動シュート（20A）の両端に設けられたナット
体（34）（35）にボールネジ体（36）（37）が嵌合し、
駆動モータ（38）によりベルト（39）及びプーリ（40）
（41）を介して該ネジ体（36）（37）が回転すると、可
動シュート（20A）が固定シュート（20B）に対して進退
動することになる。即ち基板（Ｐ）の流れ方向と直交す
る方向の幅寸法に対応して、両シュート（20A）（20B）
間の距離を拡げたり狭めたりすることができる。このと
き、可動シュート（20A）はスプライン軸受（42）によ
ってスプライン軸（27）に沿って移動することになる。

（43）は前記コンベア（２）による送りが停止してい
る状態での位置決め位置（４）より１ピッチ分上流に位
置する係合片（19）の存在を検知する一対の光学的手段
から成るセンサーで、間欠移動するコンベア（２）の位
置ずれを検知する。即ち経時変化等でチェーン（18A）
が伸びる等して係合片（19）の停止位置がずれて、ある
許容範囲を越えた場合には、前記センサー（43）が「無
し」と検知すると、電子部品装着装置全体を停止させ
る。この場合、作業者は手動でもってインデックス装置
（22）の軸を回し、ずれ量を補正する。

反転装置（３）は、前記コンベア（２）に於ける上流
側の前記チェーン（18A）（18B）間の下方位置に配設さ
れ、必要に応じ前記基板（Ｐ）の流れ方向の向きを反転
させるものである。該反転装置（３）は、Ｘ軸用モータ
（44）、Ｙ軸用モータ（45）によりＸ方向及びＹ方向に
移動可能なXYテーブル（46）と、種々のものが取付けら
れるものであってXYテーブル（46）上に設けられる取付
台（47）とから構成される。（48）は取付台（47）に固
定され上下杆（49）を上下動可能に案内するガイド、
（50）は前記上下杆（49）の頂部に設けられてコンベア
（２）より上方へ突出可能な押上体、（51）は前記上下
杆（49）の下部に設けられたプーリ（52）とモータ（5
3）の出力軸プーリ（54）間に張設されたベルト、（5
5）は一端がシリンダー（56）の作動杆と回動可能に連
結され他端が上下杆（49）の下端部の支持部（57）間に
嵌合され中間部を支点として揺動可能な揺動部材であ
る。

そして、該反転装置（３）の押上体（50）には、所定
間隔を存して複数の吸引路（58）が形成され、上下杆
（49）には該吸引路（58）に連通する真空通路（59）が
形成され、更に該通路（59）にはロータリジョイント
（60）及びチューブ（61）を介して図示しない真空源に
連通する。

尚インデックス装置（22）の出力側には出力軸プーリ
（24）との間にトルクリミッタ（62）が設けられ、その
端部に過負荷検出板（63）が設けられている。従って、
プリント基板搬送中に異常が起き、過負荷状態になっ
て、前記検出板（63）が軸方向に移動した場合に、一対
の光センサー（64）で過負荷状態を検出することができ
る。

（65A）（65B）は前記シュート（20A）（20B）の上流
側端部に夫々対向する如く内側に設けられたブレーキ部
材で、夫々上面には真空源に連通する吸引口（66）が複
数開設されている。（67A）はローダで、複数のプリン
ト基板（Ｐ）を棚上に収納すると共に図示しないエレベ
ータにより昇降可能な収納箱（68A）と該箱（68A）内の
最下位にある基板（Ｐ）を前記コンベア（18A）（18B）
上に押出す押出部材（69）とより成る。この押出部材
（69）より収納箱（68A）内の基板（Ｐ）が押出された
際に、コンベア（18A）（18B）上にスムーズに乗り移ら
ず、勢い余ってコンベア（18A）（18B）から落下したり
しないように、前記ブレーキ部材（65A）（65B）によっ
て吸引され確実に安定した状態で乗り移れるようにされ
ている。即ち押出部材（69）の押出動作開始時に真空源
による吸引を開始し、押出動作が終了したら吸引を解除
する。

次に一対の基板位置決め装置（４）（５）について説
明するが、両者は同様な構成であるため、一方（５）に
ついてのみ説明する。該位置決め装置（４）（５）は、
基板（Ｐ）の送り方向、これと直交する幅方向及び基板
（Ｐ）の厚さ方向の各方向の位置決めを行なうものであ
り、以下説明する。

一対の軸受（70）（71）を貫通する軸杆（72）には、
第１図及び第２図の左から幅寄せカム（73）、リフトカ
ム（74）及びクランプカム（75）が設けられ、該軸杆
（72）左端部のプーリ（76）とモータ（77）の出力軸プ
ーリ（78）間にはベルト（79）が張設されている。従っ
てモータ（77）の通電により軸杆（72）が回転すると、
各カム（73）（74）（75）が回転し、各カムフォロワー
（80）（81）（82）を介して各上下部材（86）（87）
（88）が上下動し、これに伴ない各カムレバー（89）
（90）（91）も上下動する。

先ず基板（Ｐ）の送り方向の規制位置決めを行なう装
置（92）について説明する。

（93）（94）は前記基板（Ｐ）の流れ方向の端部に接
触する基準クランプ、可動クランプで、夫々支軸（95）
（96）を支点として回動可能である。そしてバネ（97）
により基準クランプ（93）は外方に回動するように付勢
され、可動クランプ（94）はバネ（98）により内方へ回
動するように付勢されている。（91）は前述の如く前記
上下部材（88）の頂部に設けられたカムレバーで、前記
クンラプ（93）（94）に突出したピン（99）（100）に
係合して、該クランプ（93）（94）の揺動を制御する。

一方基板（Ｐ）の流れ方向に延びたリニアガイド（10
1）によりＸテーブル（102）が水平移動可能であり、該
テーブル（102）には前記可動クランプ（94）を回動可
能に支持する可動体（103）が固定されると共に、駆動
源（図示せず）により回転するネジ軸（104）が嵌合す
るボールネジ体（105）と一体化された連結体（106）が
固定される。（107）（108）は軸受である。

従って駆動源によりネジ軸（104）が回転することに
より連結体（106）を介してＸテーブル（102）が流れ方
向に移動するため、可動体（103）も移動し、基準クラ
ンプ（93）に対して可動クランプ（94）が遠近移動する
ことができ、種々の基板（Ｐ）の送り方向の長さに対応
できる。

またカムレバー（91）が上動すると、可動クランプ
（94）はピン（100）を介して外方向に回動し、基準ク
ランプ（93）もバネ（97）により外方向に回動し、両ク
ランプ（93）（94）は基板（Ｐ）より下方に位置するこ
とになる。

以上のように、上下部材（88）は、ガイド（85）を介
して上下動可能であり、固定シュート（20B）に突出し
たピン（110）と上下部材（88）に突出したピン（111）
との間にはバネ（112）が張架され、該上下部材（88）
を上方へ付勢している。従って上下部材（88）端部のカ
ムフォロワー（82）は、クランプカム（75）に圧接する
ので、該カム（75）の形状に合わせて上下部材（88）は
上下することになる。

次に基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の規制に
ついて述べる。先ず固定シュート（20B）の上部には、
固定板（115）が設けられ、該固定板（115）上には所定
間隔を存して可動ベアリング体（116）及び基準ベアリ
ング体（117）が設けられる。一方可動シュート（20A）
に設けられる軸受（118）（118）に回転可能に支持され
る支軸（119）には、複数個の幅寄せ部材（120）を取付
け、図示しない軸により回転可能なその円筒部分の周縁
が基板（Ｐ）に当接可能である。そして一対の支持部
（121）（121）間に支持された取付杆（122）に付勢体
としてのバネ（123）の一端が固定され、前記幅寄せ部
材（120）は夫々基板（Ｐ）方向に回動するように付勢
されている。また一対の支持部（121）（121）間に支持
された支軸（124）により回動可能とされた伝達アーム
（125）の上部には、係合ロッド（126）が設けられ、前
記幅寄せ部材（120）の夫々を基板（Ｐ）から遠ざける
ように作動する。前記伝達アーム（125）の他端部には
カムフォロワー（127）が設けられ、前記幅寄せカム（7
3）と係合するカムフォロワー（80）を有する上下部材
（86）の上下動に伴うカムレバー（89）の上下動によっ
て、該レバー（89）により前記カムフォロワー（127）
を介して前記伝達アーム（125）は回動されることにな
る。

次に基板（Ｐ）への部品実装面の位置を、該基板
（Ｐ）の厚さ如何に係わらず一定とするための規制装置
（130）について説明する。固定シュート（20B）及び可
動シュート（20A）には、夫々リニアガイド（84）（8
4）により吸着用上下部材（87A）（87A）が上下動可能
とされている。また両シュート（20B）（20A）から突設
したピン（131）（131）と各上下部材（87A）（87A）下
方に突設したピン（132）（132）との間にはバネ（13
3）（133）が張架され、上下部材（87）（87）を夫々上
方へ付勢している。

一方上下部材（87A）（87A）端部に設けられたカムフ
ォロワー（134）（134）は、カムレバー（90）により押
下げられる。即ち、リフトカム（74）に係合するカムフ
ォロワー（81）を有する上下部材（87）の上端部に前記
カムレバー（90）を設けているので、リフトカム（74）
により吸着用上下部材（87A）（87A）は夫々上下動する
ことになる。

また（135）（135）は前記シュート（20A）（20B）の
上部に設けられる基板押えで、前記基板（Ｐ）の上面と
係合可能な係合部（136）（136）を有している。

更に、前記吸着用上下部材（87A）（87A）の上流寄り
の吸着部（138）には、複数の吸着孔（137）が開設さ
れ、真空パイプ（139）（139）を介して図示しない真空
源に連通している。従って前記上下部材（87A）（87A）
の上部にプリント基板（Ｐ）の下面が吸着可能である。

また前記上下部材（87A）（87A）の上部面は、コンベ
ア（２）搬送面よりわずかに高いレベルに設定されてお
り、チェーン（18A）（18B）の係合片（19）（19）によ
り基板（Ｐ）は、コンベア（２）搬送面から前記上下部
材（87A）（87A）に乗り移り、その時点で、真空吸着を
開始する。そしてコンベア（２）が停止したときにその
吸着を停止するが、この吸着によりコンベア（２）が停
止したときの慣性によってプリント基板（Ｐ）が移動す
ることはない。従って大きな位置ずれを起すことなく、
該上下部材（87A）（87A）によってリフトアップされ、
プリント基板（Ｐ）はその送り方向及びこの送り方向と
直交する幅方向の位置決めがなされた状態で、基板押え
（135）（135）の係合部（136）（136）に押しつけられ
る。

次にウェハー支持台（11）（12）について詳述する
が、両者は同一構造であり支持台（11）についてのみ説
明する。（140）はXYテーブルで、Ｘ軸用モータ（14
1）、Ｙ軸用モータ（142）により、Ｘ軸方向ガイド（14
3）及びＹ軸方向ガイド（144）に沿って、平面方向に移
動可能である。また該XYテーブル（140）上に載置した
ウェハーテーブル（９）は、図示しない駆動源により正
逆回転可能である。

従って、突き上げ針装置（145）の上方位置に、所望
のウェハーシート（146）が位置することになる。ウェ
ハーテーブル（９）は、４個あるために、少なくとも１
種以上４種以下の例えば夫々大きさが異なるウェハーを
扱えることになる。

次に一方の装置ヘッド（14）について詳述する。該ヘ
ッド（14）は、天板（13）に支持された支持部材（15
0）に支持されたボールネジ（151）に沿って第43図に示
す駆動モータ（154A）によりＸ方向の移動が可能であ
り、またガイド体（152）（152）に沿って駆動モータ
（154B）によりＹ方向の移動が可能となる。略箱状を呈
したヘッド本体（153）内に配設された駆動モータ（154
C）の出力軸プーリ（155）とネジ軸（156）端部のプー
リ（157）との間にはベルト（158）が張設され、上下移
動体（159）がナット体（160）によりガイド体（161）
を介して上下移動可能となる。

そして上下移動体（159）には、加圧用モータ（162）
とロックソレノイド（163）が固定されており、該モー
タ（162）の出力軸にはバネ取付ピン（164）を有するレ
バー（165）が設けられている。前記ソレノイド（163）
のプランジャ（166）には取付ピン（167）が突設され、
上下移動体（159）に固定されたＬ字形状の支持体（16
8）に突設した取付ピン（169）との間にはバネＡ（17
0）が張架されている。

上下移動体（159）の軸受部（171）には支軸（172）
により揺動体（173）が回動可能とされ、該揺動体（17
3）の上端部にはＵ字溝が切欠かれて該溝に前記取付ピ
ン（167）が嵌合し、また揺動体（173）の他端部には加
圧ベアリング体（174）が設けられている。

（175）はロータリジョイント（176）に突設した鍔体
（177）を、前記加圧ベアリング体（174）とで挾持する
固定ベアリング体であり、前記支持体（168）の端部に
設けられている。前記揺動体（173）に突設した取付ピ
ン（178）と加圧用モータ（162）の出力軸に固定された
レバー（165）に突設した取付ピン（164）との間に張架
されたバネＢ（179）により前記加圧ベアリング体（17
4）を下方へ付勢している。そしてこの加圧用モータ（1
62）の回転角度を制御することにより、加圧ベアリング
体（174）によるロータリジョイント（176）及び固定ベ
アリング体（175）への押圧力を可変とすることができ
る。このバネＢ（179）は、ペレット（180A），（180
B）を基板（Ｐ）に装着する際の押しつけ圧力を加える
ためのものである。

また前記上下移動体（159）に突設した取付ピン（18
1）とロータリジョイント（176）から突設した取付ピン
（182）との間には、バランスバネ（Ｃ）（183）が張架
され、該バネＣ（183）の弾性力と吸着ノズル体（184）
及び吸着コレット（185）の自重が略等しくなるように
この弾性力が設定されており、前記自重の影響を除去し
ている。

前記ロータリジョイント（176）にはピン（186）が突
設しており、このピン（186）に嵌合する係止片（187）
により該ジョイント（176）自身の回転は防止されてい
る。

吸着ノズル体（184）は、ロータリジョイント（17
6）、ホース（190）、大きなペレット（180B）の吸着有
無検出に使用する真空スイッチ（191）等を介して図示
しない真空源と連結している。該吸着ノズル体（184）
は、上下ガイド体（192）内を上下動可能であるが、該
ノズル体（184）の上部には面取部（193）が形成されて
規制ベアリング（194）により上下ガイド体（192）内で
のθ回転はできない。前記真空スイッチ（191）は、真
空源による吸引圧力が一定値以上になった場合に作動
し、吸着コレット（185）がペレットを吸着していない
ものと判断する。

また前記ヘッド本体（153）内には、駆動モータ（19
5）が配設されその出力軸プーリ（196）と前記上下ガイ
ド体（192）周囲に固定されたプーリ（197）間にはベル
ト（198）が張設され、前記モータ（195）の通電により
ベルト（198）を介して上下ガイド体（192）がベアリン
グ体（199）に案内されつつ回転し吸着ノズル体（184）
をもθ回転させることになる。

該吸着ノズル体（184）の下端には、吸着コレット（1
85）がロック機構（200）の施錠、解錠により着脱可能
に設けられる。

（201）は前記ヘッド本体（153）の側面に取付けられ
たDCソレノイドで、そのプランジャ（202）には中間部
が枢支された作動レバー（203）が回転可能に連結して
いる。（204）はヘッド本体（153）に上下に延びたガイ
ドレール（205）に沿って上下動可能な上下スライダー
で、該スライダー（204）に突設したピン（206）とヘッ
ド本体（153）上部に突設したピン（207）との間にはバ
ネＤ（208）が張架され、該スライダー（204）を上方へ
付勢している。

そしてこのスライダー（204）には、カムフォロワー
（210）が設けられており、ヘッド本体（153）には上限
ストッパ（211）及び下限ストッパ（212）が設けられ前
記作動レバー（203）がカムフォロワー（210）に当接し
ているので、前記ソレノイド（201）が励磁すると作動
レバー（203）は反時計方向へ回転してスライダー（20
4）を押下げカムフォロワー（210）がストッパ（212）
に当接して停止し同様に消磁すると作動レバー（203）
が時計方向へ回転し該レバー（203）が上限ストッパ（2
11）に当接するまでバネＤ（208）によりスライダー（2
04）を押上げる。

従って発光素子（213）及び受光素子（214）を備え且
つ厚さが厚いが小さなペレット（180A）の吸着検出に使
用する光電検知装置（215）を下端部に備えているの
で、この上下スライダー（204）の上下により光電検知
装置（215）も上下することになる。

このため、検知装置（215）が下方位置にあるとき、
吸着コレット（185）が吸着しているペレット（180A）
（180B）の有無状態を検知でき、上方位置にあるとき、
吸着コレット（185）自体の有無状態を検知できる。

（284A）（284B）は保持形の連動する切換スイッチ
で、使用者が任意に切換えられる。（285）（286）は夫
々オア回路、アンド回路で、制御装置であるマイクロ・
コンピュータ（287）に接続されている。従って切換ス
イッチ（284A）（284B）が、第43図に示すように設定し
てある状態では、前記真空スイッチ（191）か光電検知
装置（215）かのいずれかが、ペレット「無し」を検知
したら、予めペレット無しカウンター（図示せず）に設
定された回数Ｎだけピックアップ動作を繰り返し、Ｎ回
を越えると、マイクロ・コンピュータ（287）はモータ
駆動回路（288）を介して各モータ（154A）（154B）（1
54C）を制御して、装着ヘッド（14），（15）を復帰さ
せた後当該装着装置の運転を停止すると共に報知手段
（289）により表示灯、ブザー等の視覚か聴覚に訴えて
使用者に知らせる。然る後使用者は、ペレット「無し」
が事実か否かの確認をし、事実でなければ真空スイッチ
（191）の作動レベルを調整したり、光電検知装置（21
5）の高さ位置調整を行なって一回試運転させるか再運
転させればよい。

また切換スイッチ（284A）（284B）を切り換えた場合
には、真空スイッチ（191）及び光電検知装置（215）の
両方がペレット「無し」を検知した場合に、アンド回路
（286）を介してマイクロ・コンピュータ（287）が検知
出力を受けて前述と同様に制御する。

尚前記切換スイッチ（284A）（284B）、オア回路（28
5）、アンド回路（286）に代えて、同等の機能をキー入
力装置及びランダム・アクセス・メモリ（RAM）によっ
て置換えることも可能であることは勿論である。

次に前記吸着コレット（185）について説明すると、
該ノズル体（184）の下端部には、ロック機構取付部（2
16）を形成し、該取付部（216）にロック機構（200）を
設ける。そして該取付部（216）には、中空の取付空間
（218）が形成され前記吸着コレット（185）のアダプタ
（219）が嵌合する。また取付部（216）の両側部には軸
受体（220）（220）間に夫々ロック爪体（221）を配設
してこれらを支軸（222）が貫通し、ロック爪体（221）
の夫々を対向するように配設してバネ（223）によりそ
の下端が互いに近づくように付勢している。（224）は
取付部（216）下面に突設した位置決めピンであり、後
述のＵ字溝（225）に嵌合可能である。

吸着コレット（185）は、前記取付部（216）の取付空
間（218）に嵌合するアダプタ（219）と、該アダプタ
（219）の下部には前記嵌合した際に前記取付体（216）
下面に当接するアダプタフランジ部（226）と、ペレッ
ト（180A）（180B）を直接吸着する吸着部（227）とか
ら構成される。前記フランジ部（226）の両側部には、
下部が内方へ凹んだ係止部（228）が形成され、前記ロ
ック爪体（221）の下端が該係止部（228）に入り込んで
ロックすることになる。

次に吸着コレット交換装置（７），（８）について述
べるが、両者は同一構造であるため、一方（７）につい
てのみ述べる。該交換装置（７）は、大きく分けて取付
板（230）に対して図示しない駆動源により上下動可能
なツールストッカー（231）及びストッカー台（232）
と、所定間隔を存して複数のロック解除ピン（233）を
有するピン取付台（234）とから構成される。

前記ストッカー（231）及びストッカー台（232）と
は、略同形状であり、両者は所定間隔を存して互いに合
致する取付孔（235）（236）が複数穿設されている。そ
してストッカー（231）及びストッカー台（232）に穿設
した孔には２本のコンプライアンスピン（237）が遊嵌
し、頭部（238）とコイルスプリング（239）によりスト
ッカー（231）及びストッカー台（232）は、該ストッカ
ー台（232）の上面に開設した溝内にあるスチールボー
ル（229）を介して互いに圧接される。このボール（22
9）によってストッカー台（232）上をストッカー（23
1）が転がれるようになる。前記コンプライアンスピン
（237）の径より該ピン（237）が嵌合する孔径をやや大
きくとることによって、吸着コレット（185）の着脱時
の吸着ノズル体（184）のセンターとストッカー（231）
に収納された吸着コレット（185）のアダプタ（219）の
センターの芯ずれを吸収できる。

前記ピン取付台（234）から立設した夫々同長のロッ
ク解除ピン（233）は、前記ストッカー（231）及びスト
ッカー台（232）を貫通している。

ストッカー（231）の取付孔（235）の上面側開口周縁
部の前後部には、吸着コレット支持台（240）が立設さ
れ、夫々位置決めピン（241）（241）が突設している。
従って該交換装置（７）に吸着コレット（185）が置か
れている場合には、前記支持台（240）上に前記フラン
ジ部（226）が当接し、然も該フランジ部（226）の長手
方向側の端部にはＵ字溝（225）（225）が形成され、夫
々位置決めピン（241）（241）が該溝（225）（225）に
嵌合し、該コレット（185）のθ回転を阻止する。

前記ピン取付台（234）は取付板（230）に取付けられ
たシリンダー（242）により、ガイド（243）（243）に
軸杆（244）（244）が案内されながら上下動が可能であ
る。（245）（245）は前記ストッカー台（232）に設け
られた軸受体で、該軸受体（245）に所定間隔を存して
複数の押え部材（247）が固定された軸杆（246）が回転
自在に支持されている。該押え部材（247）は略クラン
ク形状を呈して一端部が前記アダプタフランジ部（22
6）に上面から係合するもので、任意の押え部材（247）
の他端部には回転用駆動源としてのシリンダー（248）
が連結している。

尚前記ツールストッカー（231）及びストッカー台（2
32）に開設した複数の取付孔（235）（236）の開設ピッ
チ、同じくロック解除ピン（233）が嵌合する孔（図示
せず）の開設ピッチ、ロック解除ピン（233）の取付ピ
ッチは全て同ピッチである。

次に突き上げ針装置（145）について詳述する。先ず
図示しない駆動モータ及びその出力軸に設けられた歯車
と歯車（250）とが噛合しており、該歯車（250）により
回転ガイド（251）及び回転板（252）が90度正逆回転可
能である。（254）はシリンダー（253）により上下動す
るベース体で、該ベース体（254）に取付けられた回転
ガイド軸受（255）に案内されつつ前記回転ガイド（25
1）は回転可能である。

そして回転板（252）には、90度異なった位置に夫々
第１のガイドレール（256）（257）に沿って移動可能な
第１の作動レバー（258）（259）及び夫々第２のガイド
レール（260）（261）に沿って移動可能な第２の作動レ
バー（262）（263）が設けられる。第２の作動レバー
（262）（263）には、ガイド体（264）（265）が設けら
れている。一方のガイド体（264）は、小さいペレット
（180A）に対応するもので、そのステージ面（266）の
外径は小さく、吸着孔（267）の孔径も小さい。該ガイ
ド体（264）には、突き上げ針（268）を上下動可能とす
る案内通路（269）が中央部に形成され、また４個開設
された吸着孔（267）は夫々１つの集合室（270）に連通
した後１つの連通路（271）及び導管（272）を介して真
空源に連通している。

また他方のガイド体（265）は、大きいペレット（180
B）に対応するもので、そのステージ面（273）の外径は
前記ステージ面（266）のそれより大きく、吸着孔（27
4）の孔径も前記吸着孔（267）のそれよりも大きい。そ
してガイド体（265）には、例えば４本の突き上げ針（2
75）を上下動可能とする案内通路（276）及び前記針（2
75）を支持する支持杆（276）を上下動可能とする案内
通路（277）が形成され、また８個開設された吸着孔（2
74）は夫々１つの集合室（279）に連通した後１つの連
通路（280）及び導管（281）を介して真空源に連通して
いる。従って、該ガイド体（265）の総吸引力は、ガイ
ド体（264）のそれよりも大きく設定してある。

そして、前記突き上げ針（268）及び支持杆（277）の
下部には、夫々コイルバネ（282）（283）が巻装された
状態で第１の作動レバー（258）（259）に夫々取付けら
れる。従ってこれらバネ（282）（283）によって、両レ
バー（258）（259），（262）（263）が離反するように
付勢される。

（290）（291）は下限ストッパで、第１の作動レバー
（258）（259）の係合部（292）（293）が当接すること
により該レバー（258）（259）の下限が決定される。即
ち前記針（268）（275）の下限が決定されることによ
る。

そして、後述の上下ローラー（294）により夫々第１
の作動レバー（258），（259）が上動したときに、バネ
（282），（283）によって第２の作動レバー（262），
（263）も上動するが、上限ストッパーボルト（295）
（296）が上限ストッパ（297）（298）に当接すると上
動は制限される。更に第１のレバー（258），（259）が
バネ（282），（283）に抗して上動すると、針（268）
（275）は上昇し、ウェハーシート（146）のペレット
（180A），（180B）を突き上げることになる。（29
9），（300）は押下げピンで、第１の作動レバー（25
8），（259）が下降するときに第２の作動レバー（26
2）（263）も下降することになる。

一方、ベース体（254）の上部には駆動モータ（301）
が取付けられ、その出力軸プーリ（302）とネジ軸（30
3）の上部のプーリ（304）との間にベルト（305）が張
設される。（306）は前記ネジ軸（303）を支持する支持
体で、（307）は前記ネジ軸（303）が嵌合し該ネジ軸
（303）の回転により上下する上下バーである。該上下
バー（307）は回転ガイド（251）の中空部に遊挿され、
該バー（307）端部の上下ローラー（294）が該バー（30
7）の上動に伴ない第１の作動レバー（258），（259）
のいずれかを前述の如く上動させるものである。

（308），（309）は回転板ストッパで、夫々回転板
（252）に当接して、該回転板（252）の停止位置を確実
なものとしており、このストッパ（308），（309）に回
転板（252）が当接する際の衝撃を緩和するためにショ
ックアブソーバが設けられている。

そして第40図に示すように、前記ガイド体（264），
（265）と真空源との間には、第１のフィルター（31
0），（311）と、切換弁（312），（313）と、該切換弁
（312），（313）と真空源との間に並列に接続される二
又絞り弁（314）（315），（316）（117）、第２のフィ
ルター（318）（319），（320）（321）及びバルブ（32
2）（323），（324）（325）とが設けられる。

尚真空圧の調整は、二又絞り弁（314）（315），（31
6）（317）の一方の大気に開放している弁（326）（32
7），（328）（329）の絞り具合による決まる。

前記第１のフィルター（310），（311）は、吸着孔
（267），（274）から吸い込んだ塵埃を除塵して、切換
弁（312），（313）及び二又絞り弁（326）（327），
（328）（329）を保護し、第２のフィルター（318），
（319），（320），（321）は、前記二又絞り弁（326）
（327），（328）（329）から吸い込んだ塵埃を除塵
し、夫々バルブ（322）（323），（324）（325）を保護
する。

以上の構成により以下動作について説明する。

（ｉ） コンベア（２）幅の調整動作 固定シュート（20B）に対する可動シュート（20A）の
移動動作について以下述べる。種々の大きさのプリント
基板（Ｐ）をコンベア（２）を搬送できるようにするた
めに、先ず駆動モータ（38）によりベルト（39）及び各
プーリ（40）（41）を介してボールネジ体（36）（37）
を回転させる。するとナット体（35）（36）が可動シュ
ート（20A）と共に進退動するが、このとき可動シュー
ト（20A）はスプライン軸（27）に案内されながら移動
することになる。従って両スプロケット（16），（17）
間に張設されたチェーン（18B）も移動することにな
り、プリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する方向の幅
に対応できることになる。

（ii） プリント基板（Ｐ）の搬送動作 駆動モータ（21）が通電されると、ベルト（23）を介
してインデックス装置（22）が働らき、その出力軸プー
リ（24）とプーリ（25）との間に張設されたベルト（2
6）により支軸（32）（33）を介して駆動スプロケット
（16）（16）が回転する。このため従動スプロケット
（17）（17）も回転し、チェーン（18A）（18B）上のプ
リント基板（Ｐ）は間欠的に搬送されることになる。

このとき、プリント基板（Ｐ）は、各係合片（19）に
その上流側端部が係合した状態で、間欠的に搬送され
る。

尚、駆動スプロケット（16）の加工上の寸法誤差が送
り精度のバラツキにならないようインデックス装置（2
2）の１割出しによって、該スプロケット（16）が１回
転するようにし、このスプロケット（16）の１回転が間
欠搬送の１ピッチとなるように該スプロケット（16）、
プーリの歯数が決めてある。

またローダ（67A）から前記チェーン（18A）（18B）
上へプリント基板（Ｐ）の橋渡しは、先ず収納箱（68
A）内の最下位にある基板（Ｐ）を押出部材（69）によ
り押出すことにより行なわれる。即ち押出部材（69）
は、前記各係合片（19）間に各基板（Ｐ）が位置するよ
うに作動する。

前記押出部材（69）が基板（Ｐ）を押出すと、この押
出動作開始に同期して各ブレーキ部材（65A）（65B）に
より各吸引口（66）を介して基板（Ｐ）の動きに真空に
よってブレーキをかけるので、コンベア（18A）（18B）
上に確実に安定した状態で乗り移れる。而してこの乗り
移った後は、前記押出動作終了に同期して真空源による
吸引を解除する。

尚基板（Ｐ）の搬送中に何らかの事故が起きて、過負
荷状態となると、トルクリミッタ（62）が働らきその検
出板（63）が軸方向に移動することになるので、一対の
光センサー（64）で過負荷状態を検出することができ
る。このときには、当該駆動モータ（21）を非通電とす
ると共に図示しない報知手段で使用者にその旨を報知す
る。従って使用者は、その事故の原因を取除けばよい。

またこのようにしてプリント基板（Ｐ）の搬送は行な
われるが、経時変化等でチェーン（18A）が伸びる等し
て係合片（19）の停止位置がずれてある許容範囲を越え
た場合には、センサー（43）が係合片（19）に遮光され
ず係合片（19）の存在を「無し」と検知すると、電子部
品装着装置全体を停止させる。この場合、作業者は、手
動でもってインデックス装置（22）の軸を回し、ずれ量
を補正し、正規の位置に戻せばよい。

（iii） プリント基板（Ｐ）の位置決め動作 そしてチェーン（18A）（18B）により、位置決め装置
（４）の位置に到達したのが検知されると、駆動モータ
（21）の通電は断たれプリント基板（Ｐ）の搬送は停止
する。

すると、モータ（77）が通電されベルト（79）を介し
て軸杆（72）が回転するので、各カム（73）（74）（7
5）も回転し、該カムの形状に合わせてカムフォロワー
（80）（81）（82）を介して、各上下部材（86）（87）
（88）は上下動することになる。これによりプリント基
板（Ｐ）の送り方向、この送り方向と直交する幅方向、
これらの方向の直交する垂直方向の位置規制を行なう。

プリント基板（Ｐ）の送り方向の位置規制 基板（Ｐ）がこの位置決め位置に到達する前は、カム
レバー（91）が上昇位置にあるため第８図に示す状態に
ある。

そして、モータ（77）の通電により回転するクランプ
カム（75）に合わせて、上下部材（88）がバネ（112）
に抗して下降すると、バネ（98）により可動クランプ
（94）がバネ（97）に抗して基準クランプ（93）が夫々
回動してプリント基板（Ｐ）の送り方向の位置規制が行
なわれる。

即ち、ガイド（85）に沿って上下部材（88）が下降す
ると、可動クランプ（94）は支軸（96）を支点とし基準
クランプ（93）は支軸（95）を支点として夫々回動す
る。このため、各クランプが基板（Ｐ）の上流側端面及
び下流側端面に当接することになる。

尚プリント基板（Ｐ）の送り方向の寸法を変更する場
合には、チェーン（18A）（18B）に載置する前に、図示
しない駆動源によりネジ軸（104）を回転させることに
より行なう。このネジ軸（104）が回転すると、ボール
ネジ体（105）及び連結体（106）を介してリニアガイド
（101）に沿ってＸテーブル（102）が移動する。このＸ
テーブル（102）には、可動クランプ（94）を支持する
可動体（103）が固定されているので、基準クランプ（9
3）に対して可動クランプ（94）が遠ざかったり近づい
たりすることができる。これにより、プリント基板
（Ｐ）の送り方向の寸法が変っても、対処できることに
なる。

プリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の
位置規制 基板（Ｐ）がこの位置決め位置に到達する前は、上下
部材（86）及びカムレバー（89）が上昇位置にあるの
で、バネ（123）に抗して幅寄せ部材（120）は第11図に
示すような状態にある。

そして前記モータ（77）の通電により回転する幅寄せ
カム（73）の形状に合わせて上下部材（86）が下降す
る。このためバネ（123）によって幅寄せ部材（120）は
支軸（119）を支点として上部が基板（Ｐ）側に回動す
る。この回動により基板（Ｐ）を可動ベアリング体（11
6）とで挾持することになる。従って基板（Ｐ）の幅方
向の位置が規制されることになる。

尚このプリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方
向の寸法が変った場合には、前述の如く、駆動モータ
（38）により可動シュート（20A）を移動させ、固定シ
ュート（20B）との間隔を拡開したり、狭めることによ
って結果的にこれら幅寄せ部材（120）を移動させれば
よい。

プリント基板（Ｐ）の垂直方向の規制 基板（Ｐ）がこの位置決め位置に到達する前は、上下
部材（87）及びカムレバー（90）は第13図に示すように
下降位置にあって、吸着用上下部材（87A）（87B）の上
面はチェーン（18A）（18B）の上面よりわずかに高いレ
ベルにあり、各チェーン（18A）（18B）の係合片（19）
により基板（Ｐ）はチェーンから各上下部材（87A）（8
7B）の上面に乗り移って吸着される。そしてコンベア
（２）が停止したときにその吸着を停止することになる
が、この吸着によりコンベア（２）が停止したときの慣
性によってプリント基板（Ｐ）が移動することは少な
い。

そして、前記モータ（77）の通電により回転するリフ
トカム（74）の形状に合わせて、上下部材（87）及びカ
ムレバー（90）が上昇すると、プリント基板（Ｐ）は、
バネ（133）（133）により上昇する前記上下部材（87
A）（87A）によって押上げられる。このため基板（Ｐ）
は、送り方向及びこの送り方向と直交する幅方向の位置
規制がなされた状態で、基板押え（135）（135）の係合
部（136）（136）の下面に当接した状態となる（第14図
参照）。

従って、この規制装置（130）によって、基板（Ｐ）
への部品実装面の位置を、該基板（Ｐ）の厚さに影響さ
れず常に一定とすることができる。

以上の基板（Ｐ）の各位置規制は、モータ（77）の通
電により略同時に開始されることになるが、送り方向の
位置規制、この送り方向とは直交する幅方向の位置規
制、これらの方向と直交する垂直方向の位置規制の順に
終了する。

（iv） ウェハーテーブル（９）等の動作 前述のように位置規制された状態にあるプリント基板
（Ｐ）にペレットを装着するわけであるが、この装着前
にウェハーテーブル（９）上の所望ウェハーシート（14
6）がステーション（Ａ）に移動するように、ウェハー
支持台（11）を図示しない駆動源により正逆いずれかに
回転させる。

次にＸ軸用モータ（141）、Ｙ軸用モータ（142）によ
り各ガイド（143）（144）に沿って、XYテーブル（14
0）及び支持台（11）を平面方向に移動させて、突き上
げ針装置（145）のガイド体（264）の上方位置に所望の
ウェハーシート（146）上のペレット（180A）が位置す
るようにする。

そしてシリンダー（253）によりベース体（254）を上
動させ、前記ガイド体（264）をウェハーシート（146）
に近接させる。その後駆動モータ（301）を通電させ、
各プーリ（302）（304）及びベルト（305）を介してネ
ジ軸（303）を回転させ上下バー（307）を上昇させる。
すると該バー（307）は、第１の作動レバー（258）を上
昇させるので、バネ（282）によって第２のレバー（26
2）も上昇するが、ボルト（295）が上限ストッパ（29
7）に当接するので、この上動は制限される。

しかし、更に第１のレバー（258）は上動するので、
突き上げ針（268）は上昇する。従って第36図に示すよ
うに、真空源により導管（272）、連通路（271）及び吸
着孔（267）を介して、ステージ面（266）上に吸着した
シート（146）を突き上げ、シート（146）面からペレッ
ト（180A）を剥がすようにして装着ヘッド（４）の吸着
部（227）とで保持する状態として該吸着部（227）が確
実にペレット（180A）を吸着する。

但し、このとき突き上げ針（268）は、その下限停止
位置から一気に突き上げるのではなく、ペレット吸着後
の吸着コレット（185）の上昇タイミングと同期をとる
ために、先ず突き上げ針（268）上端がステージ面（26
6）と同一レベルで待機して、しかるべきタイミング信
号でもって上昇して前記シート（146）を突き上げる
（第36図参照）。このとき降下している吸着コレット
（185）の吸着部（227）の下端部とでペレット（180A）
を挾持しても、更に針（268）は上昇するので、装着ヘ
ッド（14）の上下移動体（159）が停止状態にあっても
バネＢ（179）に抗して吸着ノズル体（184）を上昇させ
る。

この後突き上げ針（268）と吸着ノズル体（184）は、
同期してペレット（180A）を挾持した状態で共に上昇す
る。そして、所定の上昇に到達した後は、前記ノズル体
（184）のみ上昇し、前記針（268）は下降し待機位置に
戻る。

この吸着後は、前記駆動モータ（301）の回転を逆転
させ、上下バー（307）を下動させバネ（282）により第
１の作動レバー（258）を下降させるので前記針（268）
は下降し、更に上下バー（307）が下動すると、第２の
作動レバー（262）も下降し、この突き上げ針装置（14
5）はシリンダー（253）によって下降することによって
初期状態となる。

次に大きなペレット（180B）を装着したい場合には、
そのウェハーシート（146）がステーション（Ａ）に位
置するように支持台（11）を回転させると共にXYテーブ
ル（140）及び支持台（11）を平面方向に移動させて、
次の装着動作に備える。また突き上げ針装置（145）の
回転板（252）を90度回転させる。即ち、図示しない駆
動モータに通電して、その出力軸に設けられた歯車に噛
合する歯車（250）により回転ガイド（251）及び回転板
（252）を回転させ、回転板ストッパ（308）に当接して
停止位置を確実なものにしている。

従って、大きなペレット（180B）用のガイド体（26
5）がウェハーシート（146）の直下方に位置することに
なる。

尚第40図に示すように、ペレットをウェハーシート
（146）から剥離する際に、ウェハーシート（146）をス
テージ面（266）に吸着するための真空圧も変更するこ
とができる。即ち比較的小さなペレット（180A）の場合
には、切換弁（312）を切換えることによって、二又絞
り弁（314），（315）のいずれかを選択して異なる真空
圧で吸引でき、また比較的大きなペレット（180B）の場
合には、切換弁（313）を切換えることによって、二又
絞り弁（316），（317）のいずれかを選択して異なる真
空圧で吸引できる。

従って、各ガイド体（264），（265）につき２種類の
真空圧を選択調整でき、各ウェハーテーブル（９）（1
0）上のウェハーの大きさの異なる種類に応じて対応す
ることができる。

例えば、前述の小さなペレット（180A）を扱う場合に
は、切換弁（312）を切換えて、二又絞り弁（314）を選
択し、各バルブ（323），（324），（325）を閉じ、バ
ルブ（322）は開く。すると真空圧は、例えば250mmHgと
なる。またこのとき、ガイド体（264）の吸着孔（267）
を介して吸い込んだ塵埃は第１のフィルター（310）で
塵埃され、切換弁（312）及び二又絞り弁（314）は保護
される。更には、二又絞り弁（314）の弁（326）から吸
い込んだ塵埃は第２のフィルター（318）で除塵され、
バルブ（322）は保護される。このペレット（180A）よ
り少許大きなペレットを扱う場合には、切換弁（312）
を切換えて二又絞り弁（315）を選択して、真空圧を例
えば350mmHgとする。

勿論大きなペレット（180B）を扱う場合には、切換弁
（313）を切換えて、二又絞り弁（328），（329）のい
ずれかを選択して、真空圧を例えば300mmHg,400mmHgの
いずれかに設定することができる。

（ｖ） ペレットの装着動作 装着ヘッド（14）は、駆動モータ（154A）によって回
転されるボールネジ（151A）によりＸ方向の移動がで
き、駆動モータ（154B）によって回転されるボールネジ
（151B）によりガイド体（152）（152）に沿ってＹ方向
の移動が可能となる。

従って、装置ヘッド（14）は、ステーション（Ａ）に
位置するウェハーシート（146）の吸着すべきペレット
（180A）の上方位置まで移動でき、次いで吸着コレット
（185）を降下させることにより所望のペレット（180
A）を吸着できる。この点につき以下詳述する。

先ず駆動モータ（154C）に通電して、各プーリ（15
5），（157）、ベルト（158）を介してネジ軸（156）を
回転させ、上下移動体（159）を降下させる。すると、
加圧用モータ（162）によりバネＢ（179）によって、加
圧ベアリング体（174）がロータリジョイント（176）及
び固定ベアリング体（175）に押圧しているので、吸着
ノズル体（184）は上下ガイド体（192）に沿ってウェハ
ーシート（146）まで降下する。このため、前述の如く
突き上げ針装置（145）の針（268）と相俟ってペレット
（180A）を確実に吸着できる。

そして、この吸着後は前記モータ（154C）の回転を逆
転させて、ネジ軸（156）により上下移動体（159）を上
昇させるが、この上昇後はロックソレノイド（163）を
励磁させる。このため吸引されたプランジャ（166）に
よりバネ（170）に抗して揺動体（173）を支軸（172）
を支点として回動させる。従って上下移動体（159）に
固定された支持体（168）に設けられた固定ベアリング
体（175）と加圧ベアリング体（174）とで、ロータリジ
ョイント（176）の鍔体（177）を挾持した状態にロック
する。勿論このロック動作は、装着ヘッド（14）の水平
移動中に行なわれ、このロック動作後必要あらば吸着ノ
ズル体（184）のθ回転を行ない、ペレット（180A）の
平面方向における向きを基板（Ｐ）への装着向きに合わ
せる。

即ち、駆動モータ（195）の通電により各プーリ（19
6），（197）、ベルト（198）を介して、上下ガイド体
（192）及び規制ベアリング（194）によって吸着ノズル
体（184）はθ回転することになる。

この吸着ノズル体（184）は、装着ヘッド（14）の水
平方向の移動によって、前述のように位置規制された状
態にあるプリント基板（Ｐ）の上方位置まで移動し、該
基板（Ｐ）の所望位置にペレット（180A）を装着するこ
とができる。

即ち、前述の如く、モータ（154C）に通電して、上下
移動体（159）を降下させ、吸着ノズル体（184）を基板
（Ｐ）上まで降下させるがその途中で、前記ロックソレ
ノイド（163）を消磁させてロック動作を解除する。

この装着時には、バネＢ（179）によってペレット（1
80A）はプリント基板（Ｐ）に押圧されることになる。
従ってこの押圧力を変更したい場合には、加圧用モータ
（162）の回転角度を希望の値にデータ設定することに
より行なえる。

尚、前記吸着コレット（185）による吸着動作時に、
図示しない真空源による真空吸引動作が開始した場合
に、当該装着装置の全てを銃轄制御するマイクロ・コン
ピュータ（287）は、前記真空スイッチ（191）、光電検
知装置（215）からの検知データをオア回路（285）かア
ンド回路（286）を介して取り込む。そして、切換スイ
ッチ（284A）（284B）の状態により少なくとも一方の検
知データか両方の検知データの内容がペレット「無し」
であれば、予めペレット無しカウンター（図示せず）に
設定された回数Ｎだけ、ピックアップ動作を繰り返し、
Ｎ回を越えると、装着ヘッド（14），（15）を原点に復
帰させて、当該装着装置の運転を停止すると共に使用者
に報知手段（289）によって視覚か聴覚により使用者に
その旨を報知する。従って使用者は、ペレット「無し」
が事実か否かの確認をし、事実でなければ真空スイッチ
（191）の作動レベルを調整したり、光電検知装置（21
5）の高さ位置調整を行なって一回試運転させるか再運
転させて、その調整が適切か否かを確認する。適切でな
ければ、再度調整し、適切であれば通常運転を続行すれ
ばよい。

また装着ヘッド（14）（15）は、前記チェーン（18
A）（18B）の各係合片（19）の間隔の整数倍の間隔を存
して配設してあり、このためタイミング上同時に両ヘッ
ドがボンディング動作ができる。

（vi） 吸着コレット（185）の交換動作 以上のように装着動作が行なわれることになるが、例
えば次に装着したいペレットが大きなペレット（180B）
の場合には、それに合った吸着コレット（185）に交換
しなければならない。以下その交換動作について、第25
図〜第32図に基づいて説明する。

先ず第22図に示すように、前述の如く吸着ノズル体
（184）及び吸着コレット（185）を降下させ、吸着コレ
ット交換装置（７）の吸着コレットが収納されていない
シールストッカー（231）の取付孔（235）上方位置に移
動させる。

次にシリンダー（242）の駆動によりピン取付台（23
4）及び図示しない駆動源によりシールストッカー（23
1）を上昇させる（第25図参照）。

この後、前記ノズル体（184）及びコレット（185）を
更に降下させると、ロック爪体（221），（221）がロッ
ク解除ピン（233）に当接して支軸（222），（222）を
支点として回動して開く（第26図参照）。このため、ロ
ックが解除されることになるが、シリンダー（248）に
よって外方に回動していた押え部材（247）がこのシリ
ンダー（248）の駆動により内方に回動してアダプタフ
ランジ部（226）を押える。

勿論、このときフランジ部（226）に形成されたＵ字
溝（225）内に支持台（240）上の位置決めピン（241）
（241）が夫々嵌合し、吸着コレット（185）のθ回転は
防止される。

そして、第27図に示すように駆動源によるストッカー
（231）を降下させると、アダプタ（219）は取付空間
（218）から抜けて下がる。次に吸着ノズル体（184）は
前述のように上昇し、ピン取付台（234）及びロック解
除ピン（233）が下降する（第28図参照）。この後、吸
着ノズル体（184）は、大きなペレット（180A）用の吸
着コレット（185）の上方位置まで移動して下降し、一
方前記ピン（233）も上昇する。従って、該ピン（233）
によってロック爪体（221）（221）が開く（第29図参
照）。

そしてシールストッカー（231）及びストッカー台（2
32）が上昇し、吸着コレット（185）のアダプタ（219）
を前記取付空間（218）内に挿入する。このとき取付部
（216）下面の位置決めピン（224）がアダプタフランジ
部（226）のＵ字溝（225）内に嵌合することにより、こ
の挿入時のθずれを防止している。然る後、シリンダー
（248）の駆動によって、押え部材（247）を外方へ回動
させる。

この後前記解除ピン（233）を降下させるので、ロッ
ク爪体（221）（221）がバネ（223）（223）により内方
へ回動し、係止部（228）内に入り込んでロックするこ
とになる（第31図参照）。そして吸着ノズル体（184）
及び吸着コレット（185）は上昇し、前記押え部材（24
7）を今度は内方へ回動させ、ストッカー（231）及びス
トッカー台（232）を下降させることによって、吸着コ
レット（185）の交換動作が終了する。

この吸着コレット（185）の交換により、大きなペレ
ット（180B）の装着に対応できることになる。

次にこの吸着コレット（185）の交換が確実に行なわ
れたか否かの確認動作について述べる。

先ずDCソレノイド（201）が励磁している状態では、
バネＤ（208）に抗して作動レバー（203）がカムフォロ
ワー（210）を介して上下スライダ（204）を下方に押圧
しており、前記フォロワー（210）が下限ストッパ（21
2）に当接して係止している状態にあるため、光電検知
装置（215）は吸着コレット（185）がペレット（180
A），（180B）を吸着しているか否かの検知を行なって
いる。しかし、前述のコレット（185）の交換が行なわ
れたか否かの確認をする場合には、前記ソレノイド（20
1）を消磁させればよい。即ち、この消磁によって上下
スライダ（204）はバネＤ（208）により上昇し、作動レ
バー（203）が上限ストッパ（211）に当接して係止する
状態となり、第19B図に示すように光電検知装置（215）
は吸着コレット（185）の存在を確認できる。仮に、存
在「無」を検知すると、以後の動作を中止すると共に、
使用者に図示しない報知手段により報知する。

以上のように装着動作が行なわれると、位置決め装置
（４）の各動作を停止する。即ち、前記モータ（77）を
再び通電して、幅寄せカム（73）、リフトカム（74）及
びクランプカム（75）を回転させ、カムレバー（91）
（89）を上昇させると共にカムレバー（90）を降下さ
せ、また吸着用上下部材（87A），（87A）の吸着孔（13
7）を介するプリント基板（Ｐ）の吸着を止めるように
真空源による吸引を止めて大気圧に戻し前記モータ（7
7）を非通電とし、初期状態に戻す。また然る後、駆動
モータ（21）に通電してプリント基板（Ｐ）をチェーン
（18A）（18B）によって下流に搬送する。

（vii） プリント基板（Ｐ）の反転動作 このようにして、装着後のプリント基板（Ｐ）は下流
に搬送されて、第41図に示すように図示しないエレベー
タにより昇降可能な収納箱（68B）に逐次収納される。
この収納箱（68B）は前述のローダ（67A）の収納箱（68
A）と全く同一構造である。従ってローダ（67A）の収納
箱（68A）内のプリント基板（Ｐ）の全てが、装着し終
ってアンローダ（67B）の収納箱（68B）内に収納される
ことになる。

ここで、プリント基板（Ｐ）によっては、多数のペレ
ットを装着しなければならないものがあり、この場合再
度チェーン（18A）（18B）に載せて装着する必要があ
る。この場合、プリント基板（Ｐ）が収納されている収
納箱（68B）と収納されていない収納箱（68A）とを交換
し、夫々ローダ（67A）、アンローダ（68B）にセットす
ればよい。

この場合、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準
側が反対側となってしまうが、反転装置（３）により平
面方向に於いて反転させればよい。以下詳述する。

前述のようにローダ（67A）からチェーン（18A）（18
B）上に基板（Ｐ）が載置して、間欠搬送されて、反転
装置（３）の直上方位置に来たら、 搬送の駆動源である駆動モータ（21）の通電を停止し
てシリンダー（56）を駆動する。すると揺動部材（55）
が回動しガイド（48）によって上下杆（49）を上動させ
ると共に、図示しない真空源によりチューブ（61）、上
下杆（49）の真空通路（59）及び押上体（50）の吸引路
（58）を介して、押上体（50）の上面にプリント基板
（Ｐ）を吸着しつつ上昇させる。然る後、モータ（53）
に通電してプーリ（54），（52）及びベルト（51）を介
して平面方向に於いて180度分押上体（50）を回転させ
る。

この後前記シリンダー（56）の駆動を停止して、前記
揺動部材（55）を初期状態に戻して押上体（50）を降下
させる。このとき、前記真空源による吸引を解除して大
気圧に戻すから、プリント基板（Ｐ）はチェーン（18
A）（18B）上に載置され、再び搬送用の駆動モータ（2
1）に通電して、180度反転されたプリント基板（Ｐ）を
再び搬送して、前述のように位置決めし、所望のペレッ
トを装着すればよい。

従って、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準側
が、最初に搬送位置決めしたときと同じ側となるから、
装着精度が向上する。

尚プリント基板（Ｐ）の搬送方向と直交する幅寸法が
変更した基板（Ｐ）を流す場合には、Ｘ軸用モータ（4
4）、Ｙ軸用モータ（45）を駆動して、XYテーブル（4
6）を移動させ、その相互の間隔が変更したチェーン（1
8A）（18B）のその丁度中間位置に前記押上体（50）を
移動することにより対処できる。

（ト） 発明の効果 以上のように本発明は、従来種類の異なるペレットを
扱う場合に真空吸引部による吸引力を変更するために、
圧力調整ゲージを作業者が作動させて調整変更しなけれ
ばならなかったが、斯る面倒さは解消できる。

また選択装置として切換弁を用いた場合には、フィル
ターによって塵埃を除去できて、該切換弁を保護できて
長寿命化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は電子部品装着装置の平面図、第２図は同装着装
置の固定シュートの内側から奥行方向を見た正面図、第
３図は同装着装置の搬送部の右側面図、第４図はチェー
ン（18A）の部分正面図、第５図は第１図のＸ−Ｘ′断
面図、第６図は第１図のＹ−Ｙ′断面図、第７図は送り
方向の規制位置決めを行なう装置（92）の正面図、第８
図は同装置（92）の作動待機状態の正面図、第９図は同
装置（92）による送り方向の寸法が長いプリント基板
（Ｐ）の位置決め状態を示す正面図、第10図は位置決め
装置（４）の平面図、第11図は第１図のＺ−Ｚ′断面図
でプリント基板（Ｐ）の幅方向の位置決め前の状態を示
す要部断面図、第12図は同じくプリント基板（Ｐ）の幅
方向の位置決め状態を示す要部断面図、第13図は第１図
のＶ−Ｖ′断面図で規制装置（130）による位置決め前
の状態を示す要部断面図、第14図は同じく規制装置（13
0）による位置決め状態を示す要部断面図、第15図は基
板の送り方向とは直交する幅方向の位置を規制する装置
を取除いた状態の部分平面図、第16図は装着ヘッドの一
部断面せる正面図、第17図は装着ヘッドの縦断右側面
図、第18図は装着ヘッドの一部切欠せる平面図、第19A
図は装着ヘッドの一部切欠せる右側面図、第19B図は上
下スライダーが上昇した状態の装着ヘッドの一部切欠せ
る右側面図、第20図は吸着ノズル下端部を縦断した状態
及び吸着コレットの正面図、第21図は吸着ノズル下端部
の左側面図、第22図は吸着ノズル交換装置の縦断正面
図、第23図は同交換装置の平面図、第24図は同交換装置
の左側面図、第25図乃至第32図は吸着コレットの交換動
作を示す図、第33図は小さいペレットを扱う場合の突き
上げ針装置の正面図、第34図は第33図の右側面図、第35
図は大きいペレットを扱う場合の同装置の正面図、第36
図は小さいペレット用の突き上げガイドの縦断面図、第
37図は同ガイドの平面図、第38図は大きいペレットを扱
う場合の突き上げガイドの縦断面図、第39図は同ガイド
の平面図、第40図は突き上げに必要な吸引回路図、第41
図は本発明装着装置の模式図であって反転装置の動作を
示す図、第42図は反転装置の動作説明図、第43図は吸着
コレットがペレットを吸着したか否かの検出に係るブロ
ック図を夫々示す。 （145）……突き上げ針装置、（146）……ウェハーシー
ト、（180A）（180B）……ペレット、（264）（265）…
…ガイド体、（267）（274）……吸着孔、（268）（27
5）……突き上げ針、（310）（311）……フィルター、
（312）（313）……切換弁、（314）（315）（316）（3
17）……二又絞り弁。

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ピックアップすべきペレットをウェハーシ
   ート下面から突き上げる針と、該針を上下動可能に案内
   すると共に前記ピックアップすべきペレットの周囲にあ
   るペレットを前記シート下面から吸引する真空吸引部が
   形成された突き上げガイドとを備え、前記吸引部を真空
   源に接続したペレットボンディング装置に於いて、前記
   吸引部と真空源との間には、該吸引部による吸引力を前
   記ペレットの種類に応じて夫々変更設定された複数の調
   整弁と、この複数の調整弁のうち任意のものを選択する
   選択装置とを設けたことを特徴とするペレットボンディ
   ング装置。
2. 【請求項２】ピックアップすべきペレットをウェハーシ
   ート下面から突き上げる針と、該針を上下動可能に案内
   すると共に前記ピックアップすべきペレットの周囲にあ
   るペレットを前記シート下面から吸引する真空吸引部が
   形成された突き上げガイドとを備え、前記吸引部を真空
   源に接続したペレットボンディング装置に於いて、前記
   吸引部と真空源との間には、塵埃を除去するためのフィ
   ルターと、該フィルターの下流に設けられる切換弁と、
   該切換弁と真空源との間に並列に接続されると共に前記
   吸引部による吸引力を前記ペレットの種類に応じて変更
   設定された複数の調整弁とを配設したことを特徴とする
   ペレットボンディング装置。