JPH01291500A - プリント基板の位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、コンベア上のプリント基板の流れ方向の位置
決めを行なうプリント基板の位置決め装置に関する。

（ロ）　従来の技術 従来の此種位置決め装置は、特開昭６１−６８９３号公
報等に開示されている。これに依れば、ストッパーによ
って搬送されてきたプリント基板を停止させ、第１規正
レバーが前記基板をストッパーに押当てて位置決めして
いる。

（ハ）発明が解決しようとする課題 しかし、従来技術に依れば、プリント基板はストッパー
に当たって停止する構成であるから、ときにこの衝撃に
よりプリント基板が傷ついたり、破損したりすることが
あった。

そこで本発明は、プリント基板を破損することなく、ま
た基板の搬送停止精度が悪く基板停止位置にバラツキが
生じても確実に基板の送り方向の位置決めを行なうこと
を目的とする。

（ニ）課題を解決するための手段 このために本発明は、コンベア上に停止したプリント基
板の流れ方向の両端面に弾性的に係合するように揺動可
能な一対の位置決め部材と、該−対の位置決め部材の揺
動を制御する制御部材と、前記一対の位置決め部材相互
の間隔を前記基板の流れ方向の長さに合わせて調整可能
な調整部材と（ホ）作用 一対の位置決め部材相互の間隔をプリント基板の流れ方
向の長ζに合わせてｉＬｇ！整部材整調材した状態で、
制御部材により一対の位置決め部材を制御シて揺動させ
、コンベア上に停止した前記基板の流れ方向の両端面に
弾性的に係合させる。

（へ）　実施例 以下本発明の一実施例を図に基づき説明する。

（１）は電子部品装着装置の本体で、該本体（１）には
プリント基板（厚膜基板含む）（Ｐ）、リードフレーノ
、等を搬送するコンベア（２）と、該コンベア（２）に
於ける上流側に設けられる反転装置（３）と、該反転値
Ｗｔ、（３）の下流側に設けられる一対の位置決め装置
（４）（５）と、取付台（６）Ｅに固定される吸着フレ
ット交換装置（７）（８）と、４個のウェハーテーブル
（９）（１０）有してＸＹｉ向への移動及び平面方向で
回転可能なウニ／１−支持台（１１）（１２）と、天板
（１３）に吊持されてＸＹ力方向移動可能な装着ヘッド
（１４）（１５）とが設けられている。

前記コンベア（２）は、一対の駆動スブロケ・７ト（１
６）（１６）、従動スプロケット（１７）（１７）間に
張設された一対のチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）から成
り、該チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）上に載置してプリ
ント基板（Ｐ）を上流側から下流側へ搬送する。このと
きチｔ−ン（１８Ａ）（１８Ｂ）には所定間隔を存して
基板（Ｐ）の送り方向の後端部に係止する係合片（１９
）が立設され、基板（Ｐ）は両チェーン（１８Ａ）（１
８Ｂ）上に載置し且つ各係合片（１９）で係止された状
態で上流側から下流側に間欠的に搬送される。

尚各係合片（１９）が設けられるその相互間隔は、チェ
ーンピッチの整数倍となっ℃おり、この間隔内に収まる
基板（Ｐ）は全て搬送動作に関しては、段取りなしで共
通に送ることができる。

次にコンベア（２）及び可動シュート（２ＯＡ）の移動
について述べる。駆動モータ（２１）が通電きれると、
ベルト（２３）を介してその駆動が伝達されてインデッ
クス装置（２２）の出力軸が間欠駆動し、その出力軸に
取付けられた出力軸プーリ（２４）とプーリ（２５）と
の間に張設されたベルト（２６）によりスプライン軸（
２７）が間欠回転するので両プーリ（２８Ａ）（２８Ｂ
）（２９Ａ）（２９Ｂ）間に張設されたベルト（３０）
（３１）により支軸（３２）（３３）を介して両駆動ス
ブロケ、ト（１６）（１６）が間欠回転する。これによ
り両スプロケット（１６）（１６）、　（１７）（１７
）が回転するので、チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）上の
プリント基板（Ｐ）は間欠的に定まった距ＩＩＩ！搬送
されることになる。

一方可動シュート（２０Ａ）の両端に設けられたナツト
体（３４）（３５）にボールネジ体（３６）（３７）が
嵌合し、駆動モータ（３８）によりベルト（３９）及び
プーリ（４０＞（４１）を介して該ネジ体（３６）（３
７）が回転すると、可動シュート（２０Ａ）が固定シュ
ート（２０Ｂ）に対して進退動することになる。即ち基
板（Ｐ）の流れ方向と直交する方向の幅寸法に対応して
、両シュー　ト（２０Ａ）（２０Ｂ）間の距離を拡げた
り狭めたりすることができる。このとき、可動シュート
（２ＯＡ）はスプライン軸受（４２）によってスプライ
ン軸（２７）に沿って移動することになる。

〈４３）は前記コンベア（２）による送りが停止してい
る状態での位置決め装！！（４）より１ピッチ分、ヒ流
に位置する係合片（１９）の存在を検知する一対の光学
的手段から成るセンサーで、間欠移動するコンベア（２
）の位置ずれを検知する。即ち経時変化等でチェーン（
１８Ａ）が伸びて保合片（１９）の停止位置がずれて、
ある許容範囲を越えた場合には、前記センサー（４３）
がｒ無し、と検知すると、電子部品装着装置全体を停止
許せる。この場合、作業者は手動でもってインデックス
装置（２２）の軸を回し、ずれ腋を補正する。

反転装置（３）は、前記コンベア（２）に於ける上流側
の前記チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ＞間の下方位置に配
設され、必要に応じ前記基板（Ｐ）の流れ方向の向きを
反転させるものである。該反転値！（３）は、Ｘ軸周モ
ータ（４４）、Ｙ軸周モータ（４５）によりＸ方向及び
Ｙ方向に移動可能なＸＹテーブル（４６）と、種々のも
のが取付けられるものであってＸＹテーブル（４６）上
に設けられる取付台（４７）とから構成される。　（４
ｇ）は取付台（４７）に固定され上下杆（４９）を上下
動可能に案内するガイド、（５０）は前記上下杆（４９
）の頂部に設けられてコンベア（２）より上方へ突出可
能な押上体、（５１）は前記上下杆（４９）の下部に設
けられたプーリ〈５２）とモータ（５３）の出力軸ブ−
リ（５４）間に張ｉすれたベルト、〈５５）は一端がシ
リンダー（５６）の作動杆と回動可能に連結きれ他端が
上下杆（４９）の下端部の支持部（５７）間に嵌合され
中間部を支点として揺動可能な揺動部材である。

そして、該反転装置（３）の押上体く５０）には、所定
間隔を存して複数の・吸引路（５８）が形成され、上下
杆（４９）には該吸引路（５８）に連通ずる真空通路（
５９）が形成され、更に該通路（５９）にはロータリジ
ヨイント（６０）及びチューブ（６１）を介して図示し
ない真空源に連通ずる。

尚インデックス装置（２２＞の出力側には出力軸プーリ
（２４）との間にトルクリミッタ（６２）が設けられ、
その端部に過負荷検出板〈６３）が設けられている。従
って、プリント基板搬送中に異常が起き、過負荷状態に
なって、前記検出板（６３）が軸方向に移動した場合に
、一対の光センサ−（６４）で過負荷状態を検出するこ
とができる。

（（ｉ５Ａ）（６５Ｂ）は前記シュート（２ＯＡ）（２
０Ｂ）の上流側端部に夫々対向する如く内側に設けられ
たブレーキ部材で、夫々上面には真空源に連通ずる吸引
口（６６）が複数開設されている。　（６７Ａ）はロー
ダで、複数のプリント基板（Ｐ）を棚上に収納すると共
に図示しないエレベータにより昇降可能な収納箱（６８
Ａ）と該箱（６８Ａ）内の最下位にある基板（Ｐ）を前
記コンベア（１８Ａ）（１８Ｂ）、ｉ−に押出す押出部
材（６９）とより成る。この押出部材（６９）より収納
箱（６８Ａ）内の基板（Ｐ）が押出された際に、コンベ
ア（１８Ａ）（１８Ｂ）上にスームズに乗り移らず、勢
い余ってコンベア（１８Ａ）（１８Ｂ）からから落下し
たりしないように、前記ブレーキ部材（６５Ａ）（６５
Ｂ）によって吸引され確実に安定した状態で乗り移れる
ようにされている。即ち押出部材（６９）の押出動作開
始時に真空源による吸引を開始し、押出動作が終了した
ら吸引を解除する。

次に一対の基板位置決め装置（４）（５）について説明
するが、両者は同様な構成であるため、一方・（５）に
ついてのみ説明する。該位置決め装置く４）（５）は、
基板（Ｐ）の送り方向、これと直交する幅方向及び基板
（Ｐ）の厚さ方向の各方向の位置決めを行なうものであ
り、以下説明する。

一対の軸受（７０）（７１）を貫通する軸杆（７２）に
は、第１図及び第２図の左から幅寄せカム（７３）、リ
フトカム〈７４）及びクランプカム（７５）が設置すら
れ、該軸杆（７２）左端部のプーリ（７６）とモータ（
７７）の出力軸プーリ（７８）間にはベルト（７９）が
張設されている。従ってモータ（７７）の通電により軸
杆（７２）が回転すると、各カム（７３）（７４）（７
５）が回転し、各カムフォロワー（８０）（８１）（８
２）を介して各Ｅ下部材＜８６）（８７）（８８）が上
下動し、これに伴ない各カムレバー（８９）（９０）（
９１）も上下動する。

先ず基板（Ｐ）の送り方向の規制位置決めを行なう装置
（９２）について説明する。

（９３）（９４）は前記基板（Ｐ）の流れ方向の端部に
接触する基準クランプ、可動クランプで、夫々支軸（９
５）（９６）を支点として回動可能である。そしてバネ
（９７）により基準クランプ（９３）は外方に回動する
ように付勢され、可動クランプ（９４）はバネ（９８）
により内方へ回動するように付勢されている。　（９１
）は前述の如く前記上下部材＜８８）の頂部に設けられ
たカムレバーで、前記クランプ（９３）（９４）に突出
したピン（９９）（１００）に係合して、該クランプ（
９３〉（９４）の揺動を制御する。

一力基板（Ｐ）の凍れ方向に延びたリニアガイド（１０
１）によりＸテーブル（１０２）が水平移動可能であり
、該デープル（１０２）には前記可動クランプ（９４）
を回動可能に支持する可動体（１０３）が固定されると
共に、駆動Ｒ（図示せず）により回転するネジ軸（１０
４）が嵌合するボールネジ体（１０５）と一体止された
連結体（１０６）が固定される。　（１０７）（１０８
）は軸受である。

従って駆動源によりネジ軸（１０４）が回転することに
より連結体（１０６）を介してＸテーブル（１０２）が
流れ方向に移動するため、可動体（１０３）も移動し、
基準クランプ（９３）に対して可動クランプ（９４）が
遠近移動することができ、種々の基板（Ｐ＞の送り方向
の長さに対応できる。

またカムレバー（９１）が上動すると、可動クランプ（
９４）はピン（１００）を介して外方向に回動し、基準
クランプ（９３）もハネ（９７）により外方向に回動し
、両クランプ（９３）（９４）は基板（Ｐ）より下方に
位置することになる。

以上のように、上下部材（８８）は、ガイド（８５）を
介して上下動可能であり、固定シュート（２０Ｂ）に突
出したビン（１１０）と上下部材（８８）に突出したピ
ン（１１１）との間にはバネ（１１２）が張架され、該
上下部材（８８）をと方へ付勢している。従って上下部
材（８８）端部のカムフォロワー（８２）は、クランプ
カム（７５）に圧接するので、該カム（７５）の形状に
合わせて上下部材（８８）は上下することになる。

次に基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の規制につ
いて述べる。先ず固定シュート（２０Ｂ＞の上部には、
固定板（１１５）が設けられ、該固定板（１１５）上に
は所定間隔を存して可動ベアリング体（１１６）及び基
準ベアリング体（１１７）が設けられる。一方可動シュ
ート（２０Ａ＞に設けられる軸受（１１８）（１１８）
に回転可能に支持される支軸（１１９）には、複数個の
幅寄せ部材（１２０）を取付け、図示しない軸により回
転可能なその円筒部分の周縁が基板（Ｐ）に当接可能で
ある。そして一対の支持部（１２１）（１２１）間に支
持された取付杆（１２２）に付勢体としてのバネ（１２
３）の一端が固定され、前記幅寄せ部材（１２０）は夫
々基板（Ｐ）方向に回動するように付勢されている。ま
た一対の支持部（１２１）（１２１）間に支持された支
軸（１２４）により回動可能とされた伝達アーム（１２
５）の上部には、係合ロッド（１２６）が設けられ、前
記幅寄せ部材（１２０＞の夫々を基板（Ｐ）から遠ざけ
るように作動する。前記伝達アーム（１２５）の他端部
にはカムフォロワー（１２７）が設けられ、前記幅寄せ
カム（７３）と係合するカムフォロワー（８ｏ）を有す
る」−下部材（８６）の上下動に伴うカムレバー（８９
）の上下動によって、該レバー（８９）により前記カム
フォロア　−（１２７）を介して前記伝達アーム（１２
５）は回動されることになる。

次に基板（Ｐ）への部品実装面の位置を、該基板（Ｐ）
の厚さ如何に係わらず一定とするための規制装置（１３
０）について説明する。固定シュート（２０Ｂ）及び可
動シュート（２０Ａ）には、夫々リニアガイド（８４）
（８４）により吸着用上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）が
上下動可能とされている。また両シュート（２０Ｂ）（
２０Ａ）から突設したビン（１３１）＜１３１）と各上
下部材（８７Ａ）（８７Ａ）下部に突設したピン（１３
２）（１３２）との間にはバネ（１３３）（１３３）が
張架され、上下部材（８７）（８７）を夫々上方へ付勢
している。

一方上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）端部に設けられたカ
ムフォロワー＜１３４）（１３４）は、カムレバー〈９
０）により押下げられる。即ち、リフトカム（７４）に
係合するカムフォロワー（８１）を有する上下部材（８
７）の上端部に前記カムレバー（９０）を設けているの
で、リフトカム（７４〉により吸着用上下部材（８７Ａ
）（８７Ａ）は夫々上下動することになる。

また（１３５）（１３５）は前記シュート（２０Ａ＞（
２０Ｂ）の上部に設けられる基板押えで、前記基板（Ｐ
）の上面と係合可能な係合部（１３６）（１３６）を有
している。

更に、前記吸着用上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）の上流
寄りの吸着部（１３８）には、複数の吸着孔（１３７）
が開設され、真空パイプ（１３９）（１３９）を介して
図示しない真空源に連通している。従って前記上下部材
（８７Ａ）（８７Ａ）の上部にプリント基板（Ｐ）の下
面が吸着可能である。

また前記上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）の上部面は、コ
ンベア（２）搬送面よりわずかに高いレベルに設定され
ており、チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）の係合片（１９
）（１９）により基板（Ｐ）は、コンベア（２）僧透面
から前記上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）に乗り移り、そ
の時点で、真空吸着を開始する。そしてコンベア（２）
が停止したときにその吸着を停止するが、この吸着によ
りコンベア（２）が停止したときの慣性によってプリン
ト基板（Ｐ）が移動することはない、従って大きな位置
ずれを起すことなく、該上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）
によってリフトアップされ、プリント基板（Ｐ）はその
送り方向及びこの送り方向と直交する幅方向の位置決め
がなきれた状態で、基板押え（１３５）＜　１３５＞の
係合部（１３６）（１３６）に押しつけらねる。

次にウェハー支持台（１１）（１２）について詳述する
が、両者は同一構造であり支持台（１１）についてのみ
説明する。　（１４０）はＸＹ子テーブル、Ｘ軸周モー
タ（１４１）、Ｙ軸周モータ（１４２）により、Ｘ軸方
向ガイド（１４３＞及びＹ軸方向ガイド（１４４）に沿
って、平面方向に移動可能である。また該ＸＹテーブル
（１４（］）上に載置したウェハーテーブル（９）は、
図示しない駆動源により正逆回転可能である。

従って、突き上げ針装置ｆ（１４５）の上方位置に、所
望のウェハーシート（１４６）が位置することになる。

ウェハーテーブル（９）は、４個あるために、少なくと
も１種以と４種以下の例えば夫々太ききが異なるウェハ
ーを扱えることになる。

次に一方の装着へラド（１４）について詳述する。

該ヘッド（１４）は、天板（１３）に支持された支持部
材（１５０）に支持されたボールネジ（１５１）に沿っ
て第４３図に示す駆動モータ（１５４Ａ）によりＸ方向
の移動が可能であり、またガイド体（１５２）（１５２
＞に沿って駆動モータ（１５４Ｂ）によりＹ方向の移動
が可能となる。略箱状を呈したヘッド本体（１５３）内
に配設された駆動モータ（１５４Ｃ）の出力軸プーリ（
１５５）とネジ軸（１５６）端部のプーリ（１５７）と
の間にはベルト（１５８）が張設きれ、上下移動体（１
５９）がナツト体（１６０）によりガイド体（１６１）
を介して上下移動可能となる。

そして上下移動体（１５９）には、加圧用モータ（１６
２）とロックソレノイド（１６３）が固定されており、
該モータ（１６２）の出力軸にはバネ取付ピン＜１６４
＞を有するレバー（１６５）が設けられている。前記ソ
レノイド（１６３）のプランジャ（１６６）には取付ピ
ン（１６７）が突設され、上下移動体（１５９）に固定
されたＬ字形状の支持体（１６ｇ）に突設した取付ピン
（１６９）との間にはバネＡ（１７０）が張架されてい
る。

上下移動体（１５９）の軸受部（１）１）には支軸（１
７２）により揺動体（１７３）が回動可能とされ、該揺
動体（１７３）の上端部にはＵ字溝が切欠されて政情に
前記取付ピン（１６７）が嵌合し、また揺動体（１７３
）の他端部には加圧ベアリング体（１７４）が設けられ
ている。

（１７５）はロータリジヨイント（１７６）に突設した
鍔体＜１７７）を、前記加圧ベアリング体（１７４）と
で挾持する固定ベアリング体であり、前記支持体（１６
８）の端部に設けられている。前記揺動体（１７３）に
突設した取付ピン（１７８）と加圧用モータ（１６２）
の出力軸に固定されたレバー（１６５）に突設した取付
ピン（１６４）との間に張架されたバネＢ（１７９）に
より前記加圧ベアリング体（１７４）を下方へ付勢して
いる。

そしてこの加圧用モータ（１６２）の回転角度を制御す
ることにより、加圧ベアリング体（１７４）によるロー
タリジヨイント（１７６）及び固定ベアリング体＜１７
５＞への押圧力を可変とすることができる。このバネＢ
　（１７９）は、ペレット（１ｇＯＡ＞、　（１８０Ｂ
）を基板（Ｐ）に装着する際の押しっけ圧力を加えるた
めのものである。

また前記上下移動体（１５９）に突設した取付ピン（１
８１）とロータリジヨイント（１７６）から突設した取
付ピン（１８２）との間には、バランスバネＣ（１８３
）が張架され、該バネＢ　（１８３）の弾性力と吸着ノ
ズル体（１８４）及び吸着フレット（１８５）の自重が
略等しくなるようにこの弾性力が設定されており、前記
自重の影響を除去している。

前記ロータリジヨイント（１７６）にはピン（１８６）
が突設しており、このピン（１８６）に嵌合する係止片
（１８７）により該シワインド（１７６）自身の回転は
防止されている。

吸着ノズル体（１８４）は、ロークリジヨイント（１７
６）、ホース（１９０）、大きなペレット（１８０Ｂ）
の吸着有無検出に使用する真空スイッチ（１９１）＊を
介して図示しない真空源と連結している。該吸着ノズル
体（１８４）は、上下ガイド体（１９２）内を上下動可
能であるが、該ノズル体（１８４）の上部には面取部（
１９３）が形成されて規制ベアリング（１９４）により
上下ガイド体（１９２）内でのθ回転はできない、前記
真空スイッチ（１９１）は、真空源による吸引圧力が一
定値以上になった場合に作動し、吸着コし・シト（１８
５）がペレットを吸着していないものと判断する。

また前記ヘッド本体（１５３）内には、駆動モータ（１
９５）が配設されその出力軸プーリ（１９１３）と前記
と下ガイド体（１９２）周囲に固定されたプーリ（１９
７）間にはベルト（１９８）が張設きれ、前記モータ（
１９５）の通電によりベルト（１９８）を介して上下ガ
イド体（１９２）がベアリング体（１９９＞に案内され
つつ回転し吸着ノズル体（１８４）をもθ回転さするこ
とになる。

該吸着ノズル体（１８４）の下端には、吸着コレット（
１８５）がロック機構（２００）の施錠、解錠により着
脱可能に設けられる。

（２０１）は前記ヘッド本体（１５３）の側面に取付け
られたＤＣツルノイドで、そのプランジャ（２０２）に
は中間部が枢支された作動レバー（２０３）が回転可能
に連結している。　（２０４）は・＼ラド本体（１５３
）に上下に延びたガイドレール（２０５）に沿って上下
動可能な上下スライダーで、該スライダー（２０４＞に
突設したビン（２０６）とヘッド本体（１５３）上部に
突設したビン（２０７）との間にはバネＤ　（２０８）
が張架され、該スライダー（２０４）を上方へ付勢して
いる。

そしてこのスライダー（２０４＞には、カムフォロワー
（２１０）が設けられており、ヘッド本体（１５３）に
ハ上限ストッパ（２１１）及び下限ストッパ（２１２）
カ！けられ前記作動レバー（２０３）がカムフォロワー
（２１０）に当接しているので、前記ソレノイド（２０
１）が励磁すると作動レバー（２０３）は反時計方向へ
回転してスライダー（２０４）を押下げカムフォロワー
（２１０）がストッパ（２１２）に当接して停止し同様
に消磁すると作動レバー（２０３）が時計方向へ回転し
該レバー（２０３）が上限ストッパ（２１１）に当接す
るまでバネＤ（２０８）によりスライダー（２０４＞を
押上げる。

従って発光素子（２１３）及び受光素子（２１４）を備
え且つ厚さが厚いが小さなペレ・ｙト（１８０Ａ）の吸
着検出に使用する光電検知装ｆｌ　（２１５）を下端部
に備えているので、この上下スライダー（２０４）の上
下により充電検知装置（２１５）も上下することになる
。

このため、検知装置（２１５）が下方位置にあるとき、
吸着コレット（１８５）が吸着しているペレ・／ト（１
８０Ａ）（１８０Ｂ）の有無状態を検知でき、上方位置
にあるとき、吸石コレット（１８５）自体の有無状態を
検知できる。

（２８４Ａ）（２８４Ｂ）は保持形の連動する切換スイ
ッチで、使用者が任意に切換えられる。　＜２８５）（
２８６）は夫々オア回路、アンド回路で、制御装置であ
るマイクロ・コンピュータ（２８７）に接続されている
。

従って切換スイッチ（２８４Ａ＞（２８４Ｂ＞が、第４
３図に示すように設定しである状態では、前記真空スイ
ッチ（１９１）が光電検知装置（２１５）かのいずれか
が、ペレットｒ無し」を検知したら、予めベレット無し
カウンター（図示せず）に設定された回数Ｎだけピック
アップ動作を繰り返し、Ｎ回を越えると、マイクロ・コ
ンピュータ（２８７）はモータ駆動回路（２８８）を介
して各モータ（１５４Ａ）（１５４Ｂ＞（１５４Ｃ）を
制御して、装着ヘッド（１４）、　（１５）を復帰きせ
た後当該装Ｂ装置の運転を停止すると共に報知手段（２
８９）により表示灯、ブザー等の視覚か聴覚に訴えて使
用者に知らせる。然る後使用者は、ペレット１無し」が
事実か否かの確認をし、事実でなければ真空スイッチ（
１９１）の作動レベルを調整したり、光電検知装置Ｉ（
２１５）の高さ位Ｗｔ調整を行なって一回試運転させる
か再運転させればよい。

また切換スイッチ（２８４Ａ）（２８４Ｂ）を切り換え
た場合には、真空スイッチ（１９１＞及び光１検知装置
（２１５）の両方がベレット１無し」を検知した場合に
、アンド回路（２８６）を介してマイクロ・コンピュー
タ（２８す）が検知出力を受けて前述と同様に制御する
。

尚前記切換スイッチ（２８４Ａ＞（２８４Ｂ）、オア回
路（２８５）、アンド回路（２８６）に代えて、同等の
機能をキー人力装置及びランダム・アクセス・メモリ（
ＲＡＭ）によって置換えることも可能であることは勿論
である。

次に前記吸着コレット（１８５）について説明すると、
該ノズル体（１８４）の下端部には、ロック機構取付部
（２１６）を形成し、該取付部（２１６＞にｒＪ　７り
機構（２００）を設ける。そして該取付部（２１６）に
は、中空の取付空間（２１８）が形成きれ前記吸着コレ
ット（１８５）のアダプタ（２１９）が嵌合する。また
取付部（２１６）の両側部には軸受体（２２０）＜２２
０）間に夫々ロック爪体（２２１）を配設してこれらを
支軸（２２２）が貫通し、ロック爪体（２２１）の夫々
を対向するように配設してバネ（２２３）によりその下
端が互いに近づくように付勢している。　（２２４）は
取付部（２１６）下面に突設した位置決めビンであり、
後述のＵ字溝（２２５）に嵌合可能である。

吸着コレット（１８５）は、前記取付部（２１６）の取
付空間（２１８）に嵌合するアダプタ（２１９＞と、該
アダプタ（２１９）の下部には前記嵌合した際に前記取
付体（２１６）下面に当接するアダプタフランジ部（２
２６）と、ペレット＜１８ＯＡ＞（１８０Ｂ）を直接吸
着する吸着部（２２７）とから構成される。前記フラン
ジ部（２２６）の両側部には、下部が内方へ凹んだ係止
部（２２Ｂ）が形成され、前記ロック爪体（２２１）の
下端が該係止部（２２Ｂ）に入り込んでロックすること
になる。

次に吸着コレット交換装置（７）、（８）について述べ
るが、両者は同一構造であるため、一方（７）について
のみ述べる。該交換装置（７）は、大きく分けて取付板
（２３０）に対して図示しない駆動源により上下動可能
なツールストッカー（２３１）及びストッカー台（２３
２）と、所定間隔を存して複数のロック解除ピン＜２３
３）を有するピン取付台（２３４）とから構成される。

前記ストッカー（２３１）及びストッカー台（２３２）
とは、略同形状であり、両者は所定間隔を存して互いに
合致する取付孔（２３５）（２３６）が複数穿設諮れて
いる。そしてストッカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）に穿設した孔には２本のコンプライアンスピン
（２３７）が遊嵌し、頭部（２３ｇ）とコイルスプリン
グ（２３９）によりストッカー（２３１）及びストッカ
ー台（２３２）は、該ストッカー台（２３２）の上面に
開設した溝内にあるスチールボール（２２９）を介して
互いに圧接される。このボール（２２９）によってスト
ッカー台（２３２）上をストッカー（２３１）が転がれ
るようになる。前記コンプライアンスピン（２３７）の
径より該ピン（２３７）が嵌合する孔径をやや大きくと
ることによって、吸着フレット（１８５）の着脱時の吸
着ノズル体（１８４）のセンターとストッカー（２３１
）に収納された吸着コレット（１８５）のアダプタ（２
１９）のセンターの芯ずれを吸収できる。

前記ピン取付台＜２３４）から立設した夫々同長のロッ
ク解除ピン（２３３）は、前記ストッカー（２３１）及
びストッカー台（２３２）を貫通している。

ストッカー（２３１）の取付孔（２３５’）の上面側開
口周縁部の前後部には、吸着コレット支持台（２４０）
が立設され、夫々位置決めピン（２４１）（２４１＞が
突設している。従って該交換装置（７）に吸着コレット
（１８５）が置かれている場合には、前記支持台（２４
０）上に前記フランジ部（２２６）が当接し、然も該プ
ランジ部（２２６）の長手方向側の端部にはＵ字溝（２
２５）（２２５）が形成され、夫々位置決めピン（２４
１）（２４１）が政情（２２５）（２２５）に嵌合し、
該フレット（１８５）のＯ回転を阻止する。

前記ピン取付台（２３４）は取付板（２３０）に取付け
られたシリンダー（２４２）により、ガイド（２４３）
（２４３）に軸杆（２４４）（２４４）が案内されなが
ら上下動が可能である。　＜２４５）（２４５）は前記
ストッカー台（２３２）に設けられた軸受体で、該軸受
体（２４５＞に所定間隔を存して複数の押え部材（２４
７）が固定された軸杆（２４６）が回動自在に支持され
ている。該押え部材（２４７）は略クランク形状を呈し
て一端部が前記アダプタフランジ部（２２６）に上面か
ら係合するもので、任意の押え部材（２４７）の他端部
には回動用駆動源としてのシリンダー（２４Ｂ）が連結
している。

尚前記ツールストッカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）に開設した複数の取付孔（２３５）（２３６）
の開設ピッチ、同じくロック解除ピン（２３３）が嵌合
する孔（図示せず）の開設ピッチ、ロック解除ピン（２
３３）の取付ピッチは全て同ピツチである。

次に突き上げ針装置（１４５＞について詳述する。

先ず図示しない駆動モータ及びその出力軸に設けられた
歯車と歯車（２５０）とが噛合しており、該歯車（２５
０）により回転ガイド（２５１）及び回転板（２５２）
が９０度正逆回転可能である。　（２５４）はシリンダ
ー（２５３）により上下動するベース体で、該ベース体
（２５４）に取付けられた回転ガイド軸受（２５５）に
案内されつつ前記回転ガイド（２５１）は回転可能であ
る。

そして回転板（２５２）には、９０度異父った位置に夫
々第１のガイドレール（２５６）（２５７）に沿って移
動可能な第１の作動レバー（２５ｇ）（２５９）及び夫
均第２のガイドレール（２６０）（２６１）に沿って移
動可能な第２の作動レバー（２６２）（２６３）が設け
られる。第２の作動レバー（２６２）（２６３）には、
ガイド体（２６４）（２６５）が設けられている。一方
のガイド体（２６４）は、小言いペレット（１８０Ａ）
に対応するもので、そのステージ面（２６６）の外径は
小きく、吸着孔（２６７）の孔径も小さい、該ガイド体
（２６４＞には、突き上げ針（２６Ｂ）を上下動可能と
する案内通路（２６９）が中央部に形成され、また４個
開設された吸着孔（２６７）は夫々１つの集合室（２７
０）に連通した後１つの連通路（２７１）及び導管（２
７２）を介して真空源に連通している。

また他方のガイド体（２６５）は、大きいペレ５．ト（
１８０Ｂ）に対応するもので、そのステージ面（２７３
）の外径は前記ステージ面（２６６）のそれより大きく
、吸着孔（２７４＞の孔径も前記吸着孔（２６７）のそ
れよりも大きい、モしてガイド体（２６５）には、例え
ば４本の突き上げ針（２７５）を上下動可能とする案内
通路（２７６）及び前記針（２７５）を支持する支持杆
（２７６）を上下動可能とする案内通路（２７７）が形
成され、また８個開設された吸着孔（２７４）は夫々１
つの集合室（２７９）に連通した後１つの連通路（２８
０）及び導管＜２８１）を介して真空源に連通している
。

従って、該ガイド体（２６５）の総吸引力は、ガイド体
（２６４）のそれよりも大きく設定しである。

そして、前記突き上げ針（２６８）及び支持杆（２７７
）の下部には、夫々フィルバネ（２Ｂ２）（２８３）が
巻装された状態で第１の作動レバー（２５ｇ＞（２５９
）に夫々取付けられる。従ってこれらバネ（２８２）（
２８３）にょうて、両レバー（２５８）（２５９）、　
（２６２）（２６３）が離反するように付勢される。

（２９０）（２９１）は下限ストッパで、第１の作動レ
バー　（２５８）（２５９）の係合部（２９２バ２９３
）が当接することにより該レバー（２５８）（２５９）
の下限が決定される。

即ち前記針（２６Ｂ）（２７５）の下限が決定されるこ
とによる。

そして、後述の上下ローラー（２９４）により夫々第１
の作動レバー（２５８）、　（２５９）が上動したとき
に、バネ（２８２）、　（２８３）によって第２の作動
レバー（２６２）、　（２６３）も上動するが、上限ス
トッパーボルト（２９５）（２９６）が上限ストッパ（
２９７）（２９８）に当接すると上動は制限される。更
に第１のレバー（２５８）。

（２５９）がバネ（２８２）、　（２８３）に抗して上
動すると、針（２６８）（２７５）は上昇し、ウェハー
シート＜１４６）のペレット（１８０Ａ）、　（１８０
Ｂ）を突き上げることになる。

（２９９）、　（３００）は押下げピンで、第１の作動
レバー（２５８）、　（２５９）が下降するときに第２
の作動レバー　（２６２）（２６３）も下降することに
なる。

一方、ベース体（２５４）の上部には駆動モータ（３０
１）が取付けられ、その出力軸プーリ（３Ｇ２）とネジ
軸（３０３）の上部のプーリ（３０４）との間にベルト
＜３０５＞が張設される。　（３０６）は前記ネジ軸（
３０３）を支持する支持体で、（３０７）は前記ネジ軸
（３０３）が嵌合し該ネジ軸（３０３）の回転により上
下する上下バーである。該上下バー（３０７）は回転ガ
イド（２５１）の中空部に遊挿され、該バー（３０７）
端部の上下ローラー（２９４＞が該バー（３０７）の上
動に伴ない第１の作動レバー（２５ｇ）、　（２５９＞
のいずれかを前述の如く上動させるものである。

（３０ｇ＞、　（３０９）は回転板ストッパで、夫々回
転板＜２５２）に当接して、該回転板（２５２）の停止
位置を確実なものとしており、このストッパ（３０ｇ）
、　（３０９）に回転板（２５２）が当接する際の衝撃
を緩和するためにショックアブソーバが設けられている
。

そして第４０図に示すように、前記ガイド体（２６４）
、　（２６５）と真空源との間には、第１のフィルター
（３１０）、　（３１１）と、切換弁（３１２）、　（
３１３）と、該切換弁（：Ｈ２）、　（３１３）と真空
源との間に並列に接続される二又絞り弁（３１４）（３
１５）、　（３１６）（３１７）、第２のフ、ｆルター
＜３１８）（３１９）、　（３２０）（３２１）及びパ
ルプ（３２２）（３２３）、　（３２４）（３２５）と
が設けられる。

尚真空圧の調整は、二又絞り弁（３１４）（３１５）。

（３１６）（３１７）の一方の大気に開放している弁（
３２６）（３２７）、　（３２８）（３２９）の絞り具
合により決まる。

前記第１のフィルター（３１０）、　（３１１）は、吸
着孔（２６７）、　（２７４）から吸い込んだ塵埃を除
塵して、切換弁（３１２）、　（３１３）及び二又絞り
弁（３２６）（３２７＞。

（３２ｇ）（３２９）を保護し、第２のフィルター（３
１８）。

＜３１９）、　（３２０）、　（３２１）は、前記二又
絞り弁（３２６）（３２７）、　（３２８）（３２９）
から吸い込んだ塵埃を除塵し、夫々バルブ＜３２２）（
３２３）、　＜３２４）＜３２５）を保護する。

以上の構成により以下動作について説明する。

（２）　　コンベア（２）幅の調整動作固定シュート（
２０Ｂ）に対する可動シュート（２０Ａ）の移動動作に
ついて以下述べる０種々の大きさのプリント基板（Ｐ）
をコンベア（２）を搬送できるようにするために、先ず
駆動モータ（３８）によりベルト（３９）及び各プーリ
（４０）（４１）を介してポールネジ体（３６）（３７
）を回転させる。するとナツト体（３５）（３６）が可
動シュート（２０Ａ）と共に進退動するが、このとき可
動シュート（２ＯＡ）はスプライン軸（２７）に案内さ
れながら移動することになる。従って両スプロケット（
１６）、　（１７）間に張設されたチェーン（１８Ｂ＞
も移動すること番こなり、プリント基板（Ｐ）の送り方
向と直交する方向の幅に対応できることになる。

Ｈ）　　プリント基板（Ｐ）の搬送動作駆動モータ（２
１）が通電されると、ベルト（２３）を介してインデッ
クス装置（２２）が働らき、その出力軸プーリ（２４）
とプーリ（２５）との間に張設されたベルト（２６）に
より支軸（３２）（３３）を介して駆動スプロケット（
１６）（１６）が回転する。このため従動スプロケット
（１７）（１７）も回転し、チェーン（１８Ａ）（１８
Ｂ）上のプリント基板（Ｐ）は間欠的に搬送されること
になる。

このとき、プリント基板（Ｐ）は、各係合片（１９）に
その上流側端部が係合した状態で、間欠的に搬送きれる
。

尚、駆動スプロケット（１６）の加工上の寸法誤差が送
り精度のバラツキにならないようインデックス装置（２
２）の１割出しによって、該スプロケット（１６）が１
回転するようにし、このスプロケット（１６）の１回転
が間欠撤退の１ピツチとなるように該スプロケットク１
６）、ブーりの歯数が決めである。

またローダ（６７Ａ）から前記チェーン（１８Ａ）（１
８Ｂ）上へプリント基板（Ｐ）の橋渡しは、先ず収納箱
（６８Ａ）内の最下位にある基板（Ｐ）を押出部材（６
９〉により押出すことにより行なオ）れる、即ち押出部
材（６９）は、前記各係合片（１９）間に各基板（Ｐ）
が位置するように作動する。

面記押出部材（６９）が基板（Ｐ）を押出すと、この押
出動作開始に同期して各ブレーキ部材＜６５Ａ）（６５
Ｂ）により各吸引口（６６）を介して基板（Ｐ）の動き
に真空によってブレーキをかけるので、コンベア（１８
Ａ）（１８Ｂ）上に確実に安定した状態で乗り移れる。

而してこの乗り移った後は、前記押出動作終了に同期し
て真空源による吸引を解除する。

尚基板（Ｐ）の搬送中に何らかの事故が起きて、過負荷
状態となると、トルクリミッタ（６２）が働らきその検
出板（６３）が軸方向に移動することになるので、一対
の光センサ−（６４）で過負荷状態を検出することがで
きる。このときには、当該駆動モータ（２１）を非通電
とすると共に図示しない報知手段で使用者にその旨を報
知する。従って使用者は、その事故の原因を取除けばよ
い。

またこのようにしてプリント基板（Ｐ）の搬送は行なわ
れるが、経時変化等でチェーン（１８＾〉が伸びて係合
片（１９）の停止位置がずれである許容範囲を越えた場
合には、センサー（４３）が係合片（１９）に遮光され
ず係合片（１９）の存在を１無し」と検知すると、電子
部品装着装置全体を停止させる。この場合、作業者は、
手動でもってインデックス装置（２２）の軸を回し、ず
れ量を補正し、正規の位置に戻せばよい。

（ｉ＞　　プリント基板（Ｐ）の位置決め動作そしてチ
ェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）により、位置決め装置（４
）の位置に到達したのが検知されると、駆動モータ（２
１）の通電は断たれプリント基板（Ｐ）の搬送は停止す
る。

すると、Ｂ−タ（７７）が通電されＩ＼シルト７９）を
介して軸杆（７２〉が回転するので、各カム（７３）（
７４）（７５）も回転し、該カムの形状に合わせてカム
フォロワー（８０）（８１）（８２）を介して、各上下
部材（８６）（８７）（８８）は上下動することになる
。これによりプリント基板（Ｐ）の送り方向、この送り
フｊ向と直交する幅方向、これらの方向と直交する垂直
方向の位置規制を行なう。

■　プリント基板（Ｐ）の送り方向の位置規制基板（Ｐ
）がこの位置決め位置に到達する前は、カムレ／＜−（
９１）が上昇位置にあるため第８図に示す状態にある。

そして、モータ（７７）の通電により回転するクランプ
カム（７５）に合わせて、上下部材（８８）がバネ（１
１２）に抗して下降すると、バネ（９８）により可動ク
ランプ（９４）がバネ〈９７）に抗して基準クランプ〈
９３）が夫々回動じてプリント基板（Ｐ）の送り方向の
位置規制が行なわれる。

即も、ガイド（８５）に沿って上下部材（８８）が下降
すると、可動クランプ（９４）は支軸（９６）を支点と
し基準クランプ（９３）は支軸（９５）を支点として夫
々回動する。このため、各クランプが基板（Ｐ）（７）
上ｆｉ側端面及び下流側端面に当接することになる。

尚プリント基板（Ｐ）の送り方向の寸法が変更する場合
には、チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）に１１１！置する
前に、図示しない駆動源によりネジ軸（１００を回転さ
せることにより行なう、このネジ軸（１０４）が回転す
ると、ボールネジ体（１０５）及び連結体（１０６）を
介してリニアガイド（１０１）に沿ってＸテーブル（１
０２＞が移動する。このＸテーブル（１０２）には、可
動クランプ（９４〉を支持する可動体（１０３）が固定
されているので、基準クランプ（９３）に対して可動ク
ランプ（９４）が遠ざかったり近づいたりすることがで
きる。これにより、プリント基板（Ｐ）の送り方向の寸
法が変っても、対処できることになる。

■　プリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の
位置規制 基板（Ｐ）がこの位置決め位置に到達する前は、上下部
材（８６）及びカムレバー（８９）が上昇位置にあるの
で、バネ（１２３）に抗して幅寄せ部材（１２０＞は第
１１図に示すような状態にある。

そして前記モータ（７７）の通電により回転する幅寄せ
カム（７３）の形状に合わせて上下部材（８６）が下降
する。このためバネ（１２３）によって幅寄せ部材（１
２０）は支軸（１１９）を支点として上部が基板（Ｐ）
側に回動する。この回動により基板（Ｐ）を可動ベアリ
ング体（１１６）とで挾持することになる。従って基板
（Ｐ）の幅方向の位置が規制されることになる。

尚このプリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向
の寸法が変った場合には、前述の如く、駆動モータ（３
８）により可動シュート（２０Ａ＞を移ａｔげ、固定シ
ュート（２０Ｂ）との間隔を拡開したり、狭めることに
よって結果的にこれら幅寄せ部材（１２０）を移動許せ
ればよい。

■　プリント基板（Ｐ）の垂直方向の規制基板（Ｐ）が
この位置決め位置に到達する前は、北下部材（８７）及
びカムレバー（９０）は第１３図に示すように下降位置
にあって、吸着用上下部材（８７Ａ）（８７Ｂ＞の上面
はチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）の上面よりわずかに高
いレベルにあり、各チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）の保
合片〈１９）により基板（Ｐ）はチェーンから各上下部
材（８７Ａ）（８７Ｂ）のＦ而に乗り移って吸着される
。そしてコンベア（２）が停止したときにその吸、ｎを
停止することになるが、この吸着によりコンベア（２）
が停止したときの慣性によってプリント基板（Ｐ）が移
動することは少ない。

そしで前記モータ（７７）の通電により回転するリフト
カム（７４）の形状に合わせて、上下部材（８７）及び
カムレバー（９０）が上昇すると、プリント基板（Ｐ）
は、バネ（１３３）（１３３）により上昇する前記上下
部材（８７Ａ）（８７Ａ）によって押上げられる。この
ため基板（Ｐ）は、送り方向及びこの送り方向と直交す
る幅方向の位置規制がなされた状態で、基板押え（１３
５）（１３５）の保合部（１３６）＜１３６）の下面に
当接した状態となる（第１４図参照）。

従って、この規制装置（１３０）によって、基板（Ｐ）
への部品実装面の位置を、該基板（Ｐ）の厚さに影響さ
れず常に一定とすることができる。

以上の基板（Ｐ）の各位置規制は、モータ（７７）の通
電により略同時に開始されることになるが、送り方向の
位置規制、この送り方向とは直交する幅方向の位置規制
、これらの方向と直交する垂直方向の位置規制の順に終
了する。

（ｉｖ）　　ウェハーテーブル（９）等の動作前述のよ
うに位置規制された状態にあるプリント基板（Ｐ）にペ
レットを装着するわけであるが、この装着前にウェハー
テーブル（９）上の所望ウェハーシート（１４６）がス
テージ５ン（Ａ）に移動するように、ウェハー支持台（
１１）を図示しない駆動源により正逆いずれかに回転さ
せる。

次にｘ軸周モー　タ（１４１）、Ｙ軸周モー　タ（１４
２）により各ガイド（１４３）（１４４）に沿っ−（、
ＸＹ子テーブル１４０）及び支持台（１１）を平面方向
に移動させて、突き上げ針装置１（１４５）のガイド体
（２６４）の上方位置に所望のウェハーシート（１４６
）上のベレット（１８０Ａ＞が位置するようにする。

そしてシリンダー（２５３）によりべ一体（２５４）を
上動させ、前記ガイド体（２６４）をウェハーシ一ト（
１４６）に近接させる。その後駆動モータ（３０１＞を
通電させ、各プーリ（３０２）（３０４）及びベルＩ−
（３０５）を介してネジ軸（３０３）を回転させ上下バ
ー（３０７’）を上昇させる。すると該バー（３０７）
は、第１の作動しバー（２５８＞を上昇きせるので、バ
ネ（２８２）によって第２のレバー（２６２＞も上昇す
るが、ポルＩ−（２９５）が上限ストッパ（２９７）に
当接するので、この上動は制限される。

しかし、更に第１のレバー（２５８）は上動するので、
突き上げ針（２６８）は上昇する。従って第３６図に示
すように、真空源により導管（２７２）、連通路（２７
１）及び吸着孔（２６７）を介して、ステージ面（２６
６）上に吸着したシート（１４６＞を突き上げ、シート
（１４６）面からペレット（１８０Ａ）を剥がすように
して装着ヘッド（４）の吸着部（２２７）とで保持する
状態として該吸着部（２２７）が確実にペレット（１８
０Ａ）を吸着する。

但し、このとき突き上げ針（２６ｇ）は、その下限停止
位置から一気に突き上げるのではなく、ペレット吸着後
の吸着コレット（１８５）の上昇タイミングと同期をと
るために、先ず突き上げ針（２６８）上端がステージ面
（２６６）と同一レベルで待機して、しかるべきタイミ
ング信号でもって上昇して前記シート（１４６）を突き
上げる（第３６図参照）、このとき降下している吸着コ
レット（１８り＞の吸着部（２２７）の下端部とでペレ
ット（１ＢＯＡ）を挾持しても、更に針（２６８）は上
昇するので、装着へブドク１４）の上下移動体（１５９
）が停止状態にあっても・曵”ネＢ　（１７９）に抗し
て吸着ノズル体（１８４）を上昇させる。

この後突き上げ針（２６８）と吸着ノズル体（１８４）
は、同期してペレット（１ＢＯＡ＞を挾持した状態で共
に上昇する。そして、所定の上昇に到達した後は、前記
ノズル体（１８４）のみ上昇し、前記針（２６８＞は下
降し待機位置に戻る。

この吸着後は、前記駆動モータ（３０１）の回転を逆転
させ、上下バー（３０７）を下動させバネ（２８２）に
より第１の作動レバー（２５８）を下降させるので前記
針＜２６８）は下降し、更に上下バー（３０７）が下動
すると、第２の作動レバー（２６２）も下降し、この突
さ上げ計装ｅ（１４５）はシリンダー（２５３）によっ
て下降することによって初期状態となる。

次に大きなペレット（１８０Ｂ）を装着したい場合には
、そのウェハーシート（１４６）がステーション（Ａ＞
に位置するように支持台（１１）を回転させると共にＸ
Ｙテーブル（１４０）及び支持台（１１）を平面力量に
移動させて、次の装着動作に備える。また突き上げ針装
置＜１４５）の回転板（２５２）を９０度回転させる。

即ち、図示しない駆動モータに通電し“〔、その出力軸
に設けられた歯車に噛合する歯車＜２５０）により回転
ガイド（２５１）及び回転板（２５２）を回転させ、回
転板ストッパ（３０８）に当接して停止位置を確実なも
のにしている。

従って、大きなベレッｌ−（１８０Ｂ）用のガイド体（
２６５）がウェハーシート（１４６）の直下方に位置す
ることになる。

尚第４０図に示すように、ペレットをウェハーシート（
１４６）から剥離する際に、ウェハーシート（１４６）
をステージ面（２６６）に吸着するための真空圧も変更
することができる。即ち比較的小さなベレッｌ−（１８
０Ａ）の場合には、切換弁（３１２）を切換えることに
よって、二又絞り弁＜３１４）、　（３１５）のいずれ
かを選択して異なる真空圧で吸引でき、また比較的大き
なペレット（１８０Ｂ）の場合には、切換弁（３１３）
を切換えることによって、二又絞り弁（３１６）、　（
３１７）のいずれかを選択して異なる真空圧で吸引でき
る。

従って、各ガイド体（２６４）、　（２６５＞につき２
種類の真空圧を選択調整でき、各ウェハーテーブル＜　
９　）（１０）上のウェハーの大きさの異なる種類に応
じて対応することができる。

例えば、前述の小許なペレット（１ＢＯＡ）を扱う場合
には、切換弁（３１２）を切換えて、二又絞り弁（３０
）を選択し、各パルプ（３２３）、　（３２４）、　（
３２５）を閉じ、パルプ（３２２）は開く、すると真空
圧は、例えば２５０ｍｔｎ１ｇとなる。またこのとき、
ガイド体＜２６４＞の吸着孔（２６７）を介して吸い込
んだ塵埃は第１のフィルター（３１０）で除塵され、切
換弁（３１２）及び二又絞り弁（３１４）は保護される
。更には、二又絞り弁（３１４）の弁（３２６）から吸
い込んだ塵埃は第２のフィルター（３１８）で除塵され
、バルブ（３２２）は保護される。このペレット＜１８
ＯＡ＞より少許大きなペレットを扱う場合には、切換弁
（３１２）を切換えて二又絞り弁（３１５）を選択して
、真空圧を例えば３５０１１１１ｇとする。

勿論大きなペレット（１８０Ｂ）を扱う場合には、切換
弁（３１３）を切換えて、二又絞り弁（３２８）、　（
３２９）のいずれかを選択して、真空圧を例えば３００
ＩＨｇ。

４００ｍｌｌＨｇのいずれかに設定することができる。

（ｖ）　　ペレットの装着動作 装着ヘッド（１４）は、駆動モータ（１５４Ａ）によっ
で回転されるボールネジ（１５１Ａ）によりＸ方向の移
動ができ、駆動モータ（１５４Ｂ）によって回転される
ボールネジ（１５１Ｂ）によりガイド体（１５２）（１
５２）に沿ってＹ方向の移動が可能となる。

従って、装着ヘッド（１４〉は、スデーション（Ａ）に
位置するウェハーシート（１４６）の吸着すべきペレッ
ト（１，８ＯＡ＞の上方位置まで移動でき、次いで吸着
コレット＜１８５）を降下させることにより所望のペレ
ット（１８０Ａ）を吸着できる。この点につき以下詳述
する。

先ず駆動モータ（１５４Ｃ）に通電して、各プーリ（１
５５）、　（１５７）、ベルト（１５８）を介してネジ
軸（１５６）を回転させ、上下移動体（１５９）を降下
させる。すると、加圧用モータ（１６２）によりバネＢ
　（１７９）によって、加圧ベアリング体（１７４）が
ロータリジヨイント（１７６）及び固定ベアリング体（
１７５）に押圧しているので、吸着ノズル体（１８４）
は上下ガイド体（１９２）に沿ってウェハーシート（１
４６）まで降下する。このため、前述の如く突き上げ針
装置（１４５）の針（２６８）と相俟ってペレット（１
８０Ａ）を確実に吸着できる。

そして、この吸着後は前記モータ（１５４Ｃ）の回転を
逆転させて、ネジ軸（１５６）により上下移動体（１５
９）を上昇させるが、この上昇後はロックソレノイド（
１６３）を励磁させる。このため吸引されたプランジャ
＜１６６）によりバネ（１７０）に抗して揺動（１７３
）を支軸（１７２）を支点とし１回動させる。従って上
下移動体（１５９）に固定された支持体（１６８）に設
けられた固定ベアリング体（１７５）と加圧ベアリング
体（１７４）とで、ロータリジヨイント（１７６）（７
）６体（１７７）を挾持した状態にロックする。勿論こ
のロック動作は、装着ヘッド（１４）の水平移動中に行
す１〕れ、このロック動作後必要あらば吸着ノズル体（
１８４）のθ回転を行ない、ペレット（１８０Ａ）＋７
）平面方向における向きを基板（Ｐ）への装着向きに合
わせる。

即ち、駆動モータ（１９５）の通電により各プーリ（１
９６）、　（１９７）、ベルト（１９８）を介して、上
下ガイド体（１９２）及び規制ベアリング（１９４）に
よって吸着ノズル体（１８４）はθ回転することになる
。

この吸着ノズル体（１８４）は、装着ヘッド（１４）の
水平方向の移動によって、前述のように位置規制された
状態にあるプリント基板（Ｐ）の上方位置まで移動し、
該基板（Ｐ）の所望位置にペレット（１ｇＯＡ）を装着
することができる。

即ち、前述の如く、モータ（１５４Ｃ）に通電して、上
下移動体（１５９）を降下させ、吸着ノズル体（１８４
）を基板（Ｐ）上まで降下させるがその途中で、前記ロ
ックソレノイド（１６３）を消磁させてロック動作を解
除する。

この装着時には、バネＢ　（１７９）によってペレット
（１８０Ａ）はプリント基板（Ｐ）に押圧きれることに
なる。従ってこの押圧力を変更したい場合には、加圧用
モータ（１６２）の回転角度を希望の値にデータ設定す
ることにより行なえる。

尚、前記吸着−レット（１８５）による吸着動作時に、
図示しない真空源による真空吸引動作が開始した場合に
、当該装着装置の全てを統轄制御するマイクロ・コンピ
ュータ（２８７＞は、前記真空スイッチ（１９１）、光
電検知装置ｆ（２１５）からの検知データをオア回路（
２８５）かアンド回路（２８６）を介して取り込む、そ
して、切換スイッチ（２ｇ４Ａ）（２８４Ｂ）の状態に
より少なくとも一方の検知データか両方の検知データの
内容がペレット１無し、であれば、予めペレット無しカ
ウンター（図示せず）に設定された回数Ｎだけ、ピック
アップ動作を繰り返し、Ｎ回を越えると、装着ヘッド（
１４）、　（１５）を原点に復帰させて、当該装着装置
の運転を停止すると共に使用者に報知手段（２８９）に
よって視覚か聴覚にょり使用者にその旨を報知する。従
って使用者は、ペレットｒ無し、が事実か否かの確認を
し、事実でなければ真空スイ・ｙチ（１９１）の作動レ
ベルを調整したり、光電検知装置（２１５）の高さ位置
・調整を行なっニー回試運転させるか再運転いせて、そ
の調整が適切か否かを確認する。適切でなければ、再度
調整し、適切であれば通常運転を続行すればよい。

また装着ヘッド（１４＞（１５）は、前記チェーン（１
８Ａ）（１８Ｂ）の各係合片（１９）の間隔の整数倍の
間隔を存して配設してあり、このためタイミング上同時
に両ヘッドがボンディング動作ができる。

（ｍ）吸着コレット（１８５）の交換動作以上のように
装着動作が行なわれることになるが、例えば次に装着し
たいペレｙ　トが大きなペレット（１８０Ｂ＞の場合に
は、それに合った吸着ロレット（１８５）に交換しなけ
ればならなし）、以下その交換動作について、第２５図
〜第３２図に基づし１て説明する。

先ず第２２図に示すように、前述の如（吸着ノズル体（
１８４）及び吸着コレット（１８５）を降下させ、吸着
コレッＩ・交換装置（７）の吸着コレットが収納きれて
いないシールストッカー（２３１）の取付孔（２３５）
上方位置に移動させる。

次にシリンダー（２４２）の駆動によりピン取付台（２
３４）及び図示しない駆動源によりシールストッカー（
２３１）を上昇きせる（第２５図参照）。

この後、前記ノズル体（１８０及びフレット（１８５）
を更に降下させると、ロック爪体（２２１）、　（２２
１）がロック解除ピン（２３３）に当接して支軸（２２
２）、　（２２２＞を支点として回動して開く（第２６
図参照）、このため、ロックが解除されることになるが
、シリンダー　＜２４８）によって外方に回動していた
押え部材（２４７）がこのシリンダー（２４８）の駆動
により内方に回動してアダプタフランジ部（２２６）を
押える。

勿論、このときフランジ部（２２６）に形成されたＵ字
溝（２２５）内に支持台（２４０）上の位置決めピン（
２４１）（２４１）が夫々嵌合し、吸着コレット（１８
５）のθ回転は防止される。

そして、第２７図に示すように駆動源によりストッカー
（２３１）を降下させると、アダプタ（２１９）は取付
空間（２１８）から抜けて下がる０次に吸着ノズル体（
１８４）は前述のように上昇し、ピン取付台（２３４）
及びロック解除ピン（２３３）が下降する（第２８図参
照）。この後、吸着ノズル体（１８４）は、大きなペレ
ット＜１８ＯＡ）用の吸着フレット（１８５）の上方位
置まで移動して下降し、一方前記ピン（２３３）も上昇
する。従って、該ピン＜２３３）によってロック爪体（
２２１）（２２１）が開く（第２９図参照）。

そしてシールストンカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）が上昇し、吸着コレット（１８５）のアダプタ
＜２１９）を前記取付空間（２１８）内に挿入する。こ
のとき取付部（２１６）下面の位置決めピン（２２４）
がアゲブタフランジ部（２２６＞のＵ字溝（２２５）内
に嵌合することにより、この挿入時のθずれを防止して
いる。

然る後、シリンダー（２４Ｂ＞の駆動によって、押え部
材（２４７）を外方へ回動させる。

この後前記解除ピン（２３３）を降下させるので、ロッ
ク爪体（２２１）（２２１）がバネ（２２３）（２２３
）により内方へ回動し、係止部（２２８）内に入り込ん
でロックすることになる（第３１図参照）、そして吸着
ノズル体（１８４＞及び吸着フレット（１８５）は上昇
し、前記押え部材（２４７）を今度は内方へ回動させ、
ストッカー（２３１）及びストッカー台（２３２）を下
降させることによって、吸着コレット（１８５）の交換
動作が終了する。

この吸着コレット（１８５）の交換により、大きなペレ
ット（１８０Ｂ＞の装着に対応できることになる。

次にこの吸着コレット（１８５）の交換が確実に行なわ
れたか否かの確認動作について述べる。

先ずＤＣソレノイド（２０１）が励磁している状態では
、バネＤ（２０８）に抗して作動レバー（２０３）かカ
ムフォロワー（２１０）を介して上下スライダ（２０４
）を下方に押圧しており、前記フォロワー（２１０）が
下限ストッパ（２１２）に当接して係止している状態に
あるため、光電検知装置（２１５）は吸着コレット（１
８５）がペレット（１８０Ａ＞、　（１８０Ｂ）を吸着
しているか否かの検知を行なっている。しかし、前述の
コレット（１８５）の交換が行なわれたか否かの確認を
する場合には、前記ソレノイド（２０１）を消磁させれ
ばよい、即ち、この消磁によって上下スライダ（２０４
）はバネＤ（２０８＞により上昇し、作動レバー（２０
３＞がと限ストッパ（２１１）に当接して係止する状態
となり、第１９Ｂ図に示すように光電検知装置（２１５
）は吸着コレット（１８５）の存在を確認できる。

仮に、存在「無」を検知すると、以後の動作を中止する
と共に、使用者に図示しない報知手段により報知する。

以上のように装着動作が行なわれると、位置決め装置１
（４＞の各動作を停止する。即ち、前記モータ（７７〉
を再び通電して、幅寄せカム（７３）、リフトカム（７
４）及びクランプカム（７５）を回転さセ、カムレバー
（９１）（８９）を上昇させると共にカムレバー〈９０
）を降下させ、また吸着用上下部材（８７Ａ）。

（８７Ａ）の吸着孔（１３７＞を介するプリント基板（
Ｐ）の吸着を止めるように真空源による吸引を止めて大
気圧に戻し前記モータ（７７）を非通電とし、初期状態
に戻す、また然る後、駆動モータ（２１）に通電してプ
リント基板（Ｐ）をチェーン（１８＾）（１８Ｂ）によ
って下流に搬送する。

（ｖｉ）　　プリント基板（Ｐ）の反転動作このように
して、装着後のプリント基板（Ｐ）は下流に搬送されて
、第４１図に示すように図示しないエレベータにより昇
降可能な収納箱（６８Ｂ）に逐次収納される。この収納
箱（６８Ｂ）は前述のローダ（６７Ａ）の収納箱（６８
Ａ）と全く同一構造である。従ってローダ（６７Ａ）の
収納箱（６８Ａ）内のプリント基板（Ｐ）の全てが、装
着し終ってアンローダ（６７Ｂ）（７）収納箱（６８Ｂ
）内に収納されることになる。

ここで、プリント基板（Ｐ）によっては、多数のペレッ
トを装着しなければならないものがあり、この場合再度
チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）に載せて装着する必要が
ある。この場合、プリント基板（Ｐ）が収納されている
収納箱（６８Ｂ）と収納されていない収納箱（６８Ａ）
とを交換し、夫々ローダ（６７Ａ）、アンローダ（６７
Ｂ）にセットすればよい。

この場合、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準側
が反対側となってしまうが、反転装置（３〉により平面
方向に於い工反転させればよい、以下詳述する。

前述のようにローダ（６７Ａ）からチェーン（１８Ａ）
（１８Ｂ）上に基板（Ｐ）がＭＩＴＩ、て、間欠搬送さ
れて、反転装置（３）の直上方位置に来たら、搬送の駆
動源である駆動モータ（２１）の通電を停止してシリン
ダー〈５６）を駆動する。すると揺動部材（５５）が回
動しガイド（４８）によって上下杆（４９）を上動させ
ると共に、図示しない真空源によりチューブ（６１）、
上下杆（４９）の真空通路（５９）及び押上体（５０）
の吸引路（５８）を介して、押上体（５０）の上面にプ
リント基板（Ｐ）を吸着しつつ上昇させる。然る後、モ
ータ（５３）に通１してプーリ（５４）、　（５２）及
びベルト（５１）を介して平面方向に於いて１８０度分
押上体（５０）を回転させる。

この後前記シリンダー（５６）の駆動を停止して、前記
揺動部材（５５）を初期状態に戻して押上体（５０）を
降下させる。このとき、前記真空源による吸引を解除し
て大気圧に戻すから、プリント基板（Ｐ）はチェーン（
１８Ａ）（１８Ｂ＞上に載置され、再び搬送用の駆動モ
ータ（２１）に通電して、１８０度反転きれたプリント
基板（Ｐ）を再び搬送して、前述のように位置決めし、
所望のベレットを装着すればよい。

従って、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準側が
、最初に搬送位置決めしたときと同じ側となるから、装
着精度が向上する。

尚プリント基板（Ｐ）の搬送方向と直交する幅寸　−法
が変更した基板（Ｐ）を流ず場合には、Ｘ軸層モータ（
４４）、Ｙ軸周モータ（４５）を駆動して、ＸＹ子テー
ブル４６）を移動させ、その相互の間隔が変更したチェ
ーン（１８Ａ）（１８Ｂ）のその丁度中間位置に前記押
上体（５０）を移動することにより対処できる。

（ト）　発明の効果 以上のように本発明は、プリント基板を破損することが
なくなり、また該基板の搬送停止精度が悪くて゛その停
止位置にバラツキが生じても確実に基板の送り方向の位
置決めを行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はｔ子部品装着装置の平面図、第２図は同装着装
置の固定シュートの内側から奥行方向を見た正面図、第
３図は同装着装置の搬送部の右側面図、第４図はチェー
ン（１８Ａ）の部分正面図、第５図は第１図のｘ−ｘ　
’断面図、第６図は第１図のＹ−Ｙ　’断面図、第７図
は送り方向の規制位置決めを行なう装置く９２）の正面
図、第８図は同装置り９２）の作動待機状態の正面図、
第９図は同装置（９２）による送り方向の寸法が長いプ
リント基板（Ｐ）の位置決め状態を示す正面図、第１０
図は位置決め装置（４）の平面図、第１１図は第１図の
Ｚ−Ｚ′断面図でプリント基板（Ｐ）の幅方向の位置決
め前の状態を示す要部断面図、第１２図は同じくプリン
ト基板（Ｐ）の幅方向の位置決め状態を示す要部断面図
、第１３図は第１図のｖ−ｖ’断面図で規制装置（１３
０）による位置決め前の状態を示す要部断面図、第１４
図は同じく規制装置（１３０）による位置決め状態を示
す要部断面図、第１５図は基板の送り方向とは直交する
幅方向の位置を規制する装置を取除いた状態の部分平面
図、第１６図は装着ヘッドの一部断面仕る正面図、第１
７図は装着ヘッドの縦断右側面図、第１８図は装着ヘッ
ドの一部切欠せる平面図、第１９Ａ図は装着ヘッドの一
部切欠せる右側面図、第１９ＢＩｌｆｆｌは上下スライ
ダーが上昇した状態の装着ヘッドの一部切欠せる右側面
図、第２０図は吸着ノズル下端部を縦断した状態及び吸
着コレットの正面図、第２１図は吸着ノズル下端部の左
イ１１面図、第２２図は吸着ノズル交換装置の縦断正面
図、第２３図は同交換装置の平面図、第２４図は同交換
装置の左側面図、第２５図乃至第３２図は吸着コレット
の交換動作を示す図、第３３図は７４％さいベレットを
扱う場合の突き上げ針装置の正面図、第３４図は第３３
図の右側面図、第３５図は大きいベレットを扱う場合の
同装置の正面図、第３６図は小さいベレット用の突き上
げガイドの縦断面図、第３７図は同ガイドの平面図、第
３８図は大きいベレットを扱う場合の突き上げガイドの
縦断面図、第３９図は同ガイドの平面図、第４０図は突
き上げに必要な吸引回路図、第４１図は本発明装着装置
の模式図であって反転装置の動作を示す図、第４２図は
反転装置の動作説明図、第４３図は吸着コレットがベレ
ットを吸着したか否かの検出に係るブロック図を夫々示
す。 （２）・・・コンベア、　（９１）・・・カムレバー、
（９２）・・・位置決めを行なう装置、（９３）・・・
基準クランプ、（９４）・・・可動クランプ、＜９７）
（９８）・・・バネ、（１０４）・・・ネジ軸。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）コンベア上に停止したプリント基板の流れ方向の
   両端面に弾性的に係合するように揺動可能な一対の位置
   決め部材と、該一対の位置決め部材の揺動を制御する制
   御部材と、前記一対の位置決め部材相互の間隔を前記基
   板の流れ方向の長さに合わせて調整可能な調整部材とか
   ら成るプリント基板の位置決め装置。