JPH01291499A - プリント基板の位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）　産業上の利用分野 本発明は、プリント基板の送り方向と直交する幅方向の
位置決めを行なうプリント基板の位置決め装置に関する
。

〈口）　従来の技術 従来の斯る位置決め装置は、特開昭５９−２９４９４号
公報に開示されている。即ち断る技術に依れば、一対の
基板撤退シュートのうち一方を上部シュートと下部シュ
ートとから構成し、このＬ部・下部シュートを押圧バネ
でプリント基板を他方の搬送シュートに付勢している。

そして、下部シュートを複数の分割片とし、そのうちの
１片を介してプリント基板の中間部を押圧している。

（ハ）　発明が解決しようとする課題 しかし、前述せる従来技術に依れば、一方の基板搬送シ
ュートを押圧バネで付勢している状態でプリント基板が
上流側から搬送されてくるので、基板との摩擦で前記分
割片は摩耗し、また前記抑圧バネの設定がむずかしい、
更に基板の大ききが異なるものに換る度毎に、押圧する
分割片の位置を変えねばならず煩しかった。

そこで本発明は、幅が異なる種々の基板であっても対応
可能であって、また基板の外形精度にバラツキがあって
も確実に位置決めできるようにすることを目的とする。

（ニ）　課題を解決するための手段 このために本発明は、プリント基板の送り方向と直交す
る幅方向の位置決めを行なうプリント基板の位置決め装
置に於いて、前記基板の前記幅方向の一端側が当接する
支承部材と、前記幅方向の他端側に於いて支軸により夫
々回動自在になきれた複数の押え部材と、該押え部材の
夫々に対応して設けられ該押え部材がプリント基板の幅
方向の他端側を押圧するように付勢する付勢体と、前記
押え部材によるプリント基板への押圧及びその解除を制
御する制御部材とから構成したものである。

（ホ）　作用 解除状態にある制御部材を作動させることにより、搬送
されて来たプリント基板のその搬送方向と直交する側の
一端部を、複数の押え部材を夫々のけ勿体を介して支承
部材側へ押圧する。

これによりプリント基板のその搬送方向と直交する幅方
向の位置決めを行なう。

（へ）　実施例 以下本発明の一実施例を図に基づき説明する。

（１）は電子部品装着装置の本体で、該本体（１）には
プリント基板（厚膜基板含む）（Ｐ）、リードフレーム
等を搬送するコンベア（２）と、該コンベア（２）に於
ける上流側に設けられる反転装置（３）と、該反転装置
ｔ（３）の下流側に設けられる一対の位置決め装置（４
）（５）と、取付台（６）上に固定される吸着コレット
交換装置（７）（８）と、４ｓのウェハーテーブル（９
）（１０）有してＸＹ力方向の移動及び平面方向で回転
可能なウェハー支持台（１１）（１２）と、天板（１３
）に吊持きれてＸＹ力方向移動可能な装着ヘッド（１４
）（１５）とが設けられている。

前記コンベア（２）は、一対の駆動スプロケット（１６
）（１６）、従動スプロケット（１７）（１７）間に張
設された一対のチエ−＞゛（１８Ａ）（１８Ｂ）から成
り、該チェーン（１ａ＆）（１８Ｂ＞、Ｊ：に載置して
プリント基板（Ｐ）を上流側から下流側へ搬送する。こ
のときチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）には所定間隔を存
して基板（Ｐ）の送り方向の後端部に係止する保合片（
１９）が立設され、基板（Ｐ）は両チェーン（１８Ａ）
（１８Ｂ）上に載置し且つ各保合片（１９）で係止され
た状態で上流側から下流側に間欠的に搬送される。

尚各係合片（１９）が設けられるその相互間隔は、チェ
ーンピッチの整数倍となっており、この間隔内に収まる
基板（Ｐ）は全て搬送動作に関しては、段取りなしで共
通に送ることができる。

次にフンベア（２）及び可動シュート（２０Ａ）の移動
について述べる。駆動モータ（２１）が通電されると、
ベルト（２３）を介してその駆動が伝達されてインデッ
クス装置（２２）の出力軸が間欠駆動し、その出力軸に
取付けられた出力軸プーリ（２４）とプーリ（２５）と
の間に張設されたベルト（２６）によりスプライン軸（
２７）が間欠回転するので両プーリ（２８Ａ）（２８Ｂ
）（２９Ａ）（２９Ｂ）間に張設きれたベルト（３０）
（３１）により支軸（３２バ３３）を介して開駆動スプ
ロケット（１６）（１６）が間欠回転する。これにより
両スプロケット（１６）（１６）、　（１７）（１７）
が回転するので、チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）上のプ
リント基板（Ｐ）は間欠的に定まった距離搬送されるこ
とになる。

一方可動シュート（２ＯＡ）の両端に設けられたナツト
体（３４）（３５）にボールネジ体（３６）（３７）が
嵌合し、駆動モータ（３８）によりベルト（３９）及び
プーリ（４０）（４１）を介して該ネジ体（３６）（３
７）が回転すると、可動シュート（２０Ａ＞が固定シュ
ート（２０Ｂ）に対して進退動することになる。即ち基
板（Ｐ）の流れ方向と直交する方向の幅寸法に対応して
１両しユー　ト（２０Ａ）（２０Ｂ）間の距離を拡げた
り狭めたりすることができる。このとき、可動シュート
（２ＯＡ＞はスプライン軸受（４２）によってスプライ
ン軸（２７）に沿って移動することになる。

（４３）は前記コンベア（２）による送りが停止してい
る状態での位置決め装置（４）より１ピッチ分上流に位
置する係合片（１９）の存在を検知する一対の光学的手
段から成るセンサーで、間欠移動するコンベア（２）の
位置ずれを検知する。即ち経時変化等でチェーン（１８
Ａ）が伸びて係合片（１９）の停止位置がずれて、ある
許容範囲を越えた場合には、前記センサー（４３）がｒ
無し」と検知すると、電子部品装着装置全体を停止させ
る。この場合、作業者は手動でもってインデックス装置
（２２）の軸を回し、ずれ量を補正する。

反転装置ｔ（３）は、前記コンベア（２）に於ける上流
側の前記チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）間の下方位置に
配設され、必要に応じ前記基板（Ｐ）の流れ方向の向き
を反転浮せるものである。該反転装置（３）は、Ｘ軸周
モータ（４４）、Ｙ軸用モータ（４５）によりＸ方向及
びＸ方向に移動可能なＸＹテーブル（４６）と、種々の
ものが取付けられるものであってＸＹテーブル〈４６）
上に設けられる取付台（４７）とから構成される。（４
８）は取付台（４７）に固定され上下杆（４９）を上下
動可能に案内するガイド、（５０〉は前記上下杆（４９
）の頂部に設けられてコンベア（２）よす上方へ突出可
能な押上体、（５１）は前記上下杆（４９）の下部に設
けられたプーリ（５２）とモータ（５３）の出力軸プー
リ（５４）間に張設されたベルト、（５５）は一端がシ
リンダー（５６）の作動杆と回動可能に連結され他端が
上下杆（４９）の下端部の支持部（５７）間に嵌合きれ
中間部を支点として揺動可使な揺動部材である。

そして、該反転装置１ｔ（３）の押上体（５０）には、
所定間隔を存して複数の吸引路（５８）が形成され、上
下杆（４９）には該吸引路（５８）に連通す゛る真空通
路（５９）が形成きれ、更に該通路（５９）にはロータ
リジヨイント（６０）及びチューブ（６１）を介して図
示しない真空源に連通ずる。

尚インデックス装置Ｉ（２２）の出カイ則には出力軸プ
ーリ（２４）との間にドルクリミック（６２）が設けら
れ、その端部に過負荷検出板（６３）が設けられている
。従って、プリント基板搬送中に異常が起き、過負荷状
態になって、前記検出板（６３）が軸方向に移動した場
合に、一対の光センサ−（６４）で過負荷状態を検出す
ることができる。

（６５Ａ）（６５Ｂ＞は前記シュート（２０Ａ）（２０
Ｂ）のＥ流側端部に夫々対向する如く内側に設けられた
ブレーキ部材で、夫々上面には真空源に連通する吸引口
（６６）が複数開設されている。　（６７Ａ）はローダ
で、複数のプリント基板（Ｐ）を棚上に収納すると共に
図示しないエレベータにより昇降可能な収納箱（６８Ａ
）と該箱＜６８Ａ）内の最下位にある基板（Ｐ）を前記
コンベア（１８Ａ）（１８Ｂ）上に押出す押出部材（６
９）とより成る。この押出部材（６９）より収納箱（６
８Ａ）内の基板（Ｐ）が押出された際に、コンベア（１
８Ａ）（１８Ｂ）上にスームズに乗り移らず、勢い余っ
てコンベア（１８Ａ）（１８Ｂ）からから落下したりし
ないように、前記ブレーキ部材（６５Ａ）（６５Ｂ）に
よって吸引され確実に安定した状態で乗り移れるように
されている。即ち押出部材（６９）の押出動作開始時に
真空源による吸引を開始し、押出動作が静子したら吸引
を解除する。

次に一対の基板位置決め装置（４＞（５）について説明
するが、両者は同様な構成であるため、一方（５）につ
いてのみ説明する。該位置決め装置（４）（５）は、基
板＜Ｐ）の送り方向、これと直交する幅方向及び基板（
Ｐ）の厚さ方向の各方向の位置決めを行なうものであり
、以下説明する。

一対の軸受（７０）（７１）を貫通１−る軸杆（７２）
には、第１図及び第２図の左から幅寄せカム（７３）、
リフトカム（７４）及びクランプカム（７５）が設けら
れ、該軸杆（７２）左端部のプーリ（７６）とモータ（
７７）の出力軸プーリ（７８）間にはベルト（７９）が
張設されている。従ってモータ（７７）の通電により軸
杆（７２）が回転すると、各カム（７３）（７４）（７
５）が回転し、各カムフォＵｌ　’７−　（８０）（８
１）（８２）を介して各上下部材（８６）（８７）（８
ｇ＞が上下動し、これに伴ない各カムレバー（８９）（
９０バ９１）も上下動する。

先ず基板（Ｐ）の送り方向の規制位置決めを行なう装置
（９２）について説明する。

（９３）（９４）は前記基板（Ｐ）の流れ方向の端部に
接触する基準クランプ、可動クランプで、夫々支軸（９
５）（９６）を支点として回動可能である。そしてバネ
〈９７）により基準クランプ（９３）は外方に回動する
ように付勢され、可動クランプ（９４）はバネ（９Ｂ）
により内方へ回動するように付勢されている。　（９１
）は前述の如く前記上下部材（８８）の頂部に設けられ
たカムレバーで、前記クランプ（９３）（９４）に突出
したビン（９９）（１００）に係合して、該クランプ（
９３）（９４）の揺動を制御する。

一方基板（Ｐ）の流れ方向に延びたリニアガイド（１０
１）によりＸテーブル（１０２）が水平移動可能であり
、該テーブル（１０２＞には前記可動クランプ（９４）
を回動可能に支持する可動体（１０３）が固定されると
共に、駆動源（図示せず）により回転するネジ軸（１０
４）が嵌合するボールネジ体（１０５）と一体止された
連結体（１０６）が固定される。　（１０７）（１０８
）は軸受である。

従って駆動源によりネジ軸（１０４）が回転することに
より連結体（１０６）を介してＸテーブル（１０２）が
流れ方向に移動するため、可動体（１０３）も移動し、
基準クランプ（９３）に対して可動クランプ（９４）が
遠近移動することができ、種々の基板（Ｐ）の送り方向
の長さに対応できる。

またカムレバー（９１）が上動すると、可動クランプ（
９４〉はピン（１００）を介して外方向に回動し、基準
クランプ（９３）もバネ〈９７）により外方向に回動し
、両クランプ（９３）（９４）は基板（Ｐ）より下方に
位置することになる。

以上のように、上下部材（８８）は、ガイドク８５）を
介して上下動可能であり、固定シュート（２０Ｂ）に突
出したピン（１１０）と上下部材（８８）に突出したピ
ン（１１１）との間にはバネ（１１２）が張架きれ、該
上下部材（８８）を上方へ付勢している。従って上下部
材（８８）端部のカムフォロワー（８２）は、タランブ
カム（７５）に圧接１°るので、該カム（７５）の形状
に合わせて上下部材（８８）は上下することになる。

次に基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の規制につ
いて述べる。先ｒ固定シュート（２０Ｂ）の上部には、
固定板（１１５）が設けられ、該固定板（１１５）上に
は所定間隔を存して可動ベアリング体（１１６）及び基
準ベアリング体（１１７）が設けられる。一方可動シュ
ート（２０Ａ）に設けられる軸受（１１８）（１１８）
に回転可能に支持される支軸（１１９）には、複数個の
幅寄せ部材（１２０）を取付け、図示しない軸により回
転可能なその円筒部分の周縁が基板（Ｐ）に当接可能で
ある。そして一対の支持部（１２１）（１２１）間に支
持された取付杆（１２２）に付勢体としてのバネ（１２
３）の一端が固定され、前記幅寄せ部材（１２０）は夫
々基板（Ｐ）方向に回動するように付勢されている。ま
た一対の支持部（１２１）（１２１＞間に支持きれた支
軸（１２４）により回動可能とされた伝達アーム（１２
５）の上部には、係合ロッド（１２６）が設けられ、前
記幅寄せ部材（１２Ｇ）の夫々を基板（Ｐ）から遠ざけ
るように作動する。前記伝達アーム（１２５）の他端部
にはカムフォロワー（１２７）が設けられ、前記幅寄せ
カム（７３）と係合するカムフォロワー（８０）を有す
る上下部材（８６）の上下動に伴うカムレバー（８９）
の上下動によって、該レバー（８９）により前記カムフ
ォロワー（１２７）を介して前記伝達アーム（１２５）
は回動されることになる。

次に基板（Ｐ）への部品実装面の位置を、該基板（Ｐ）
の厚さ如何に係わらず一定とｒるための規制装ｒ！１（
１３０）について説明する。固定シュート（２０Ｂ）及
び可動シュート（２０Ａ）には、夫々す÷アガイド（８
４）（８４）により吸着用上下部材（８７Ａ）（８７Ａ
）が上下動可能とされている。また両シュート（２０Ｂ
）（２ＯＡ）から突設したピン（１３１）（１３１）と
各上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）下部に突設したピン（
１３２）（１３２）との間にはバネ（１３３）（１３３
）が張架され、上下部材（８７）（８７）を夫々上方へ
付勢している。

一方上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）端部に設けられたカ
ムフォロワー（１３４）（１３４）は、カムレバー（９
０）により押下げられる。即ち、リフトカム（７４）に
係合するカムフォロワー（８１）を有する上下部材（８
７）の上端部に前記カムレバー（９０）を設けているの
で、リフトカム（７４）により吸着用上下部材（８７Ａ
）（８７Ａ）は夫々上下動することになる。

また（１３５）（１３５）は前記シュート（２０Ａ）（
２０Ｂ）の上部に設けられる基板押えで、前記基板ＣＰ
）の上面と係合可能な係合部（１３６）（１３６）を有
している。

更に、前記吸着用上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）の上流
寄りの吸着部（１３ｇ）には、複数の吸着孔（１３７）
が開設され、真空パイプ（１３９）（１３９）を介して
図示しない真空源に連通している。従って前記上下部材
（８７Ａ）（８７Ａ）の上部にプリント基板（Ｐ）の下
面が吸着可能である。

また前記上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）の上部面は、コ
ンベア（２）搬送面よりわずかに高いレベルに設定され
ており、チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）の係合片（１９
）（１９）により基板（Ｐ）は、コンベア（２）搬送面
から前記上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）に乗り移り、そ
の時点で、真空吸着を開始する。そしてコンベア（２）
が停止したときにその吸着を停止するが、この吸着によ
りコンベア（２）が停止したときの慣性によってプリン
ト基板（Ｐ）が移動することはない、従って大きな位置
ずれを起すことなく、該上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）
によってリフトアップきれ、プリント基板（Ｐ）はその
送り方向及びこの送り方向と直交する幅方向の位置決め
がなされた状態で、基板押え＜１３５＞（１３５）の係
合部（１３６）（１３６）に押しつけられる。

次にウェハー支持台（１１）（１２）について詳述する
が、両者は同一構造であり支持台（１１）に一ついての
み説明する。　（１４０）はＸＹ子テーブル、Ｘ軸周モ
ータ（１４１＞、Ｙ軸周モータ（１４２）により、Ｘ軸
方向ガイド（１４３）及びＹ軸方向ガイド（１４４）に
沿って、平面方向に移動可能である。また該ＸＹ子テー
ブル１４０）上に載萱したウェハーテーブル（９）は、
図示しない駆動源により正逆回転可能である。

従って、突き、ヒげ針装置　（１４５）の上方位置に、
所望のウェハーシート（１４６）が位置することになる
。ウェハーテーブル（９）は、４個あるために、少なく
とも１種以Ｌ４種以下の例えば夫々大きさが異なるウェ
ハーを扱えることになる。

次に一方の装着ヘッド（１４）について詳述する。

該ヘッド（１４〉は、天板（１３）に支持された支持部
材（１５０）に支持されたボールネジ（１５１）に沿っ
て第４３図に示す駆動モータ（１５４Ａ）によりＸ方向
の移動が可能であり、またガイド体（１５２）（１５２
）に沿って駆動モータ（１５４Ｂ＞によりＹ方向の移動
が可能となる。略箱状を皇したヘッド本体（１５３）内
に配設された駆動モータ（１５４Ｇ）の出力軸プーリ（
１５５）とネジ軸（１５６）端部のプーリ（１５７）と
の間にはベルト（１５８）が張設され、上下移動体（１
５９）がナツト体（１６０）によりガイド体（１６１）
を介して上下移動可使となる。

そして上下移動体（１５９）には、加圧用モータ（１６
２）とロックソレノイド（１６３）が固定されており、
該モータ（１６２）の出力軸にはバネ取付ピン（１６４
）を有するレバー（１６５）が設けられている。前記ソ
レノイド（１６３）のプランジ〜（１６６）には取付ピ
ン（１６７）が突設きれ、上下移動体（１５９）に固定
された５字形状の支持体（１６８）に突設した取付ピン
（１６９）との間にはバネＡ　（１７０）が張架されて
いる。

上下移動体（１５９）の軸受部（１７１）には支軸＜１
７２＞により揺動体（１７３）が回動可能とされ、該揺
動体（１７３）の上端部にはＵ字溝が切欠されて政情に
前記取付ピン（１６７）が嵌合し、また揺動体（１７３
）の他端部には力ｎ圧ベアリング体（１７４）が設けら
れている。

（１７５）はロータリジヨイント（１７６）に突設した
鍔体（１７７）を、前記加圧ベアリング体（１７４）と
で挾持する固定ベアリング体であり、前記支持体（１６
８）の端部に設けられている。前記揺動体（１７３）に
突設した取付ピン（１７８）と加圧用モータ（１６２）
の出力軸に固定されたレバー（１６５）に突設した取付
ピン（１６４）との間に張架されたバネＢ　（１７９）
により前記加圧ベアリング体（１７４）を下方へ付勢し
ている。

そしてこの加圧用モータ（１６２）の回転角度を制御す
ることにより、加圧ベアリング体（１７４）によるロー
タリジヨイント（１７６）及び固定ベアリング体（１７
５）への゛押圧力を可変とすることができる。このバネ
Ｂ　（１７９）は、ベレット（１８０Ａ）、　（１８０
Ｂ）を基板（Ｐ）に装着する際の押しつけ圧力を加える
ためのものである。

また前記上下移動体（１５９）に突設した取付ピン（１
８１）とロータリジヨイント（１７６）から突設した取
付ピン（１８２）との間には、バランスバネＣ（１８３
）が張架され、該バネＢ　（１８３）の弾性力と吸着ノ
ズル体（１ｇ４）及び吸着コレット（１８５）の自重が
略等しくなるようにこの弾性力が設定されており、前記
自重の影響を除去している。

前記ロータリジヨイント（１７６）にはピン（１８６）
が突設しており、このピン（１８６）に嵌合する係止片
（１８７）により該ジヨイント（１７６）自身の回転は
前止されている。

吸着ノズル体（１８４）は、ロータリジヨイント（１７
６）、ホース（１９０）、大きなペレット（１８０Ｂ）
の吸着有無検出に使用する真空スイッチ（１９１）等を
介して図示しない真空源と連結している。該吸着ノズル
体（１８４）は、上下ガイド体（１９２）内を上下動可
能であるが、該ノズル体（１８４）の上部には面取部（
１９３）が形成されて規制ベアリング（１９４）により
上下ガイド体（１９２）内でのθ回転はできない、前記
真空スイ・・・チ（１９１）は、真空源による吸引圧力
が一定値以とになった場合に作動し、吸着コレット（１
８５）がベレットを吸着していないものと判断する。

また前記ヘッド本体（１５３）内には、駆動モータ（１
９５）が配設されその出力軸プーリ（１９６）と前記上
下ガイド体（１９２）周囲に固定されたプーリ（１９７
）間にはベルト（１９８）が張設され、前記モータ（１
９５）の通電によりベルト（１９８）を介して上下ガイ
ド体（１９２）がベアリング体（１９９）に案内されつ
つ回転し吸着ノズル体（１８４）をもθ回転さすること
になる。

該吸着ノズル体（１８４）の下端には、吸着コレット（
１８５）がロック機構（２００）の施錠、解錠により着
脱可能に設けられる。

（２０１）は前記ヘッド本体（１５３）の側面に取付け
られたＤＣソレノイドで、そのプランジ〜（２０２）に
は中間部が枢支された作動レバー（２０３）が回転可能
に連結している。　（２０４＞はヘッド本体（１５３）
に上下に延びたガイドレール（２０５）に沿っ１上下動
可能な上下スライダーで、該スライダー（２０４）に突
設したピン（２０６）とヘッド本体（１５３）上部に突
設したピン（２Ｇ？）との間にはバ＊　Ｄ　（２０ｇ）
が張架され、該スライダー（２０４）を上方へ付勢して
いる。

そしてこのスライダー（２０４）には、カムフォロワー
（２１０）が設けられており、ヘッド本体（１５３）に
はＬ限ストッパ（２１１）及び下限ストッパ（２１２）
が設けられ前記作動レバー（２０３）がカムフォロワ−
（２１０）に当接しているので、前記ソレノイド（２０
１）が励磁すると作動レバー（２０３）は反時計方向へ
回転してスライダー（２０４）を押下げカムフォロワー
（２１０）がストッパ（２１２）に当接して停止し同様
に消磁すると作動レバー（２０３）が時計方向へ回転し
該し／＜　−（２０３）が上限ストッパ（２１１）に当
接するまでバネＤ　（２０８）によりスライダー（２０
４）を押上げる。

従って発光素子（２１３）及び受光素子（２１４）を備
え且つ厚さが厚いが小さなペレット（１８０Ａ＞の吸着
検出に使用する光電検知装置（２１５）を下端部に備え
ているので、この上下スライダー（２０４）の上下によ
り光電検知装置（２１５）も上下することになる。

このため、検知装置Ｆｔ　（２１５）が下方位置にある
トキ、吸着フレット（１８５）が吸着しているベレット
（１８０Ａ）（１８０Ｂ）の有無状態を検知でき、上方
位置にあるとき、吸着コレット＜１８５）自体の有無状
態を検知できる。

（２８４Ａ）（２８４Ｂ）は保持形の連動する切換スイ
ッチで、使用者が任意に切換えられる。　（２８５）（
２８６）は夫々オア回路、アンド回路で、制御装置であ
るマイクロ・コンピュータ（２８７）に接続されている
。

従って切換スイッチ（２８４Ａ）（２８４Ｂ）が、第４
３図に示すように設定しである状態では、前記真空スイ
ッチ（１９１＞が光電検知装置（２１５）かのいずれか
が、ペレット１無し」を検知したら、予めペレット無し
カウンター（図示せず）に設定された回数Ｎだけピック
アップ動作を繰り返し、Ｎ回を越えると、マイクロΦコ
ンピュータ（２８７）はモータ駆動回路（２８８）を介
して各モータ（１５４Ａ）（１５４Ｂ＞（１５４ｃ）を
制御して、装着ヘッド（１４）、　（ｔｓ＞を復帰させ
た後当該装着装置の運転を停止すると共に報知手段（２
８９）により表示灯、ブザー等の視覚か聴覚に訴えて使
用者に知らせる。然る後使用者は、ペレットｒ無し」が
事実か否かの確認をし、事実でなければ真空スイッチ（
１９１）の作動レベルをｖＲｌｕたり、充電検知装置（
２１５）の高さ位置調整を行なって一回試運転させるか
再運転させればよい。

また切換スイッチ（２８４Ａ）（２８４Ｂ）を切り換え
た場合には、真空スイッチ（１９１）及び光電検知装置
（２１５）の両方がベレット１無し」を検知した場合に
、アンド回路（２８６）を介してマイクロ・コンピュー
タ（２８７）が検知出力を受は又前述と同様に制御する
。

尚前記切換スイッチ（２８４Ａ）（２８４Ｂ）、オア回
路（２８５）、アンド回路（２８６）に代え１、同等の
機能をキー人力装置及びランダム・アクセス・メモリ（
ＲＡＭ）によって置換えることも可能であることは勿論
である。

次に前記吸着フレット（１８５）について説明すると、
該ノズル体（１８４）の下端部には、ロック機構１＆付
部（２１６）を形成し、該取付部（２１６）にロック機
構（２００）を設ける。そして該取付部（２１６）には
、中空の取付空間（２１８）が形成され前記吸Ｍ′：Ｊ
レット（１ｇｓ）のアダプタ（２１９＞が嵌合する。ま
た取付部（２１６）の両側部には軸受体（２２０）（２
２０）間に夫々ロック爪体（２２１）を配設してこれら
を支軸（２２２＞が貫通し、ロック爪体（２２１＞の夫
々を対向するように配設してバネ（２２３）によりその
下端が互いに近づくように付勢している。　（２２４）
は取付部（２１６）下面に突設した位置決めピンであり
、後述のＵ字溝（２２５）に嵌合可能である。

吸着コレット（１８５）は、前記取付部（２１６）の取
付空間（２１８）に嵌合するアダプタ（２１９）と、該
アダプタ（２１９）の下部には前記嵌合した際に前記取
付体（２１６）下面に当接するアダプタフランジ部（２
２６）と、ペレット（１８０Ａ）（１８０Ｂ）を直接吸
着する吸着部＜２２７）とから構成される。前記フラン
ジ部（２２６）の両側部には、下部が内方へ凹んだ係止
部（２２８）が形成され、前記ロック爪体（２２１）の
下端が該係上部（２２Ｂ）に入り込んでロックすること
になる。

次に吸着コレット交換装置（７）、＜８　）について述
べるが１両者は同一構造であるため、一方（７）につい
てのみ述べる。該交換装置（７）は、大きく分けて取付
板（２３０）に対して図示しない駆動源により上下動可
能なツールストッカー（２３１）及びストッカー台（２
３２）と、所定間隔を存して複数のロック解除ピン（２
３３）を有するピン取付台（２３４）とから構成される
。

前記ストッカー（２３１）及びストッカー台（２３２）
とは、略同形状であり、両者は所定間隔を存して互いに
合致４°る取付孔（２３５）（２３６）が複数穿設され
ている。そしてストッカー（２３１）及びストッカー台
（２３２）４：穿設した孔には２本のフンプライアンス
ピン（２３７）が遊嵌し、頭部（２３８）とフイルスブ
リーグ（２３９）によりストッカー（２３１）及びスト
ッカー台（２３２）は、該ストッカー台（２３２）の上
面に開設した溝内にあるスチールボール（２２９）を介
して互いに圧接される。このボール（２２９）によって
ストッカー台（２３２）上をストッカー（２３１）が転
がれるようになる。前記コンプライアンスピン（２３７
＞の径より該ピン（２３７）が嵌合する孔径をやや大き
くとることによって、吸着コレット（１８５）の着脱時
の吸着ノズル体（１８４）のセンターとストッカー（２
３１）に収納された吸着コレット（１８５）のアダプタ
（２１９）のセンターの芯ずれを吸収できる。

前記ピン取付台（２３４）から立設した夫々同長のロッ
ク解除ピン（２３３）は、前記ストッカー（２３１）及
びストッカー台（２３２）を貫通している。

ストッカー（２３１）の取付孔（２３５）の上面側開口
周縁部の前後部には、吸着コレット支持台（２４０）が
立設され、夫々位置決めピン（２４１）（２４１）が突
設している。従って該交換装置（７）に吸着フレット（
１８５）が置かれている場合には、前記支持台（２４Ｇ
）ヒに前記フランジ部（２２６）が当接し、然も該フラ
ンジ部（２２６）の長手力向側の端部にはＵ字溝（２２
５）（２２５）が形成され、夫々位置決めピン（２４１
）（２４１）が政情（２２５）（２２５）に嵌合し、該
コレット（１８５）のθ回転を阻止する。

前記ピン取付台（２３４）は取付板＜２３０）に取付け
られたシリンダー（２４２）により、ガイド（２４３）
（２４３）に軸杆（２４４）（２４４）が案内されなが
ら上下動が可能である。　（２４５）（２４５）は前記
ストシカ−台（２３２）に設けられた軸受体で、該軸受
体（２４５）に所定間隔を存して複数の押え部材（２４
７）が固定された軸杆（２４６）が回動自在に支持され
ている。該押え部材（２４７）は略クランク形状を呈し
て一端部が前記アダプタフランジ部（２２６）に上面か
ら係合するもので、任意の押え部材（２４７）の他端部
には回動用駆動源としてのシリンダー（２４８）が連結
している。

尚前記ツールストッカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）に開設した複数の取付孔（２３５）（２３６）
の開設ピッチ、同じくロック解除ピン（２３３）が嵌合
する孔（図示せ４°）の開設ピッチ、ロック解除ピン（
２３３）の取付ピッチは全て同ピツチである。

次に突き上げ針装置（１４５）について詳述する。

先ず図示しない駆動モータ及びその出力軸に設けられた
歯車と歯車（２５０）とが噛合しており、該歯車（２５
Ｇ＞により回転ガイド（２５１）及び回転板（２５２）
が９０度正逆回転可能である。（２５４）はシリンダー
（２５３）により上下動するベース体で、該ベース体＜
２５４）に取付けられた回転ガイド軸受（２５５）に案
内されつつ前記回転ガイド（２５１）は回転可能である
。

そして回転板（２５２）には、９０度異なった位置に夫
々第１のガイドレール（２５６）＜２５７）に沿って移
動可能な第１の作動レバー（２５Ｂ）（２５９）及び夫
々第２のガイドレール（２６０）（２６１）に沿って移
動可能な第２の作動レバー（２６２）（２６３）が設け
られる。第２の作動レバー＜２６２）（２６３）には、
ガイド体（２６４＞（２６５）が設けられている。一方
のガイド体（２６４＞は、小姑いペレット（１ＢＯＡ）
に対応するもので、そのステージ面（２ｆｉ６）の外径
は小さく、吸着孔（２６））の孔径も小きい。該ガイド
体＜２６４）には、突き上げ針（２６８）を上駆動可能
とする案内通路（２６９）が中央部に形成され、また４
個開設された吸着孔（２６７）は夫々１つの集合室（２
７０）に連通した後１つの連通路（２７１）及び導管（
２７２）を介して真空源に連通している。

また他方のガイド体（２６５）は、大きいペレ・ｙト（
１８０Ｂ）に対応するもので、そのステージ面（２７３
）の外径は前記ステージ面（２６６）のそれより大きく
、吸着孔（２７４）の孔径も前記吸着孔（２６７）のそ
れよりも大きい、そしてガイド体（２６５）には、例え
ば４本の突き上げ針（２７５）を上下動可能とする案内
通路（２７６）及び前記針（２７５）を支持する支持杆
（２７６）を上下動可能とする案内通路（２７７）が形
成され、士た８個開設された吸着孔（２７４）は夫々１
つの集合室（２７！１１）に連通した後１つの連通路（
２８０）及び導管（２８１）を介して真空源に連通して
いる。

従って、該ガイド体＜２６５）の総吸引力は、ガイド体
（２６４）のそれよりも大きく設定しである。

そして、ｍ１記突き上げ針（２６８）及び支持杆（２７
７）の下部には、夫々コイルバネ（２８２）（２８３）
が巻装された状態で第１の作動レバー（２５Ｂ）（２５
９）に夫々取付けられる。従ってこれらバネ（２８２）
（２８３）によって、両レバー（２５８）（２５９）、
　（２６２）（２６３）が離反するように付勢される。

（２９０）（２９１）は下限ストッパで、第１の作動レ
バー　（２５８）（２５９）の係合部（２９２）（２９
３）が当接することにより該レバー（２５Ｂ）（２５９
）の下限が決定される。

即ち前記針（２６８）　（２７５）の下限が決定きれる
ことによる。

そして、後述の上下ローラー（２９４）により夫々第１
の作動レバー（２５８）、　（２５９）が上動したとき
に、バネ（２８２）、　（２８３）によって第２の作動
レバー（２６２）、　（２６３）も上動するが、上限ス
トッパーボルト（２９５）（２９ｆ３）が上限ストッパ
（２９７）（２９ｇ）に当接すると上動は制限される。

更に第１のレバー（２５ｇ）。

（２５９）がバネ（２８２）、　（２８３）に抗して上
動すると、針（２６ｇ　）（２７５）は上昇し、ウェハ
ーシート（１４６）のペレット（１８０Ａ）、　（１８
０Ｂ＞を突き上げることになる。

（２９９）、　（３００）は押下げピンで、第１の作動
レバー（２５８）、　（２５９）が下降するときに第２
の作動レバー（２６２）（２６３）も下降することにな
る。

一方、ベース体（２５４）の上部には駆動モータ（３０
１）が取付けられ、その出力軸プーリ（３０２）とネジ
軸（３０３）の上部のプーリ（３０４）との間にベルト
（３０５）が張設される。（３０６）は前記ネジ軸（３
０３）を支持する支持体で、＜３０７）は前記ネジ軸（
３０３）が嵌合し該ネジ軸（３０３）の回転により上下
する上下バーである。該上下バー（３０７）は回転ガイ
ド（２５１）の中空部に遊挿され、該バー＜３０７）端
部の上下ローラー（２９４）が該バー（３０７）の上動
に伴ない第１の作動レバー（２５８）、　（２５９）の
いずれかを前述の如く上動させるものである。

（３０８）、　（３０９）は回転板ストッパで、夫々回
転板（２５２）に当接して、該回転板（２５２）の停止
位置を確実なものとしており、このストッパ（３０８）
、　（３０９）は回転板（２５２）が当接する際の衝撃
を緩和するためにショックアブソーバが設けられている
。

モして第４０図に示すように、前記ガイド体（２６４）
、　（２６５）と真空源との間には、第１のフィルター
（３１Ｇ）、　（３１１）と、切換弁（３１２）、　（
３１３）と、該切換弁（３１２）、　（３１３）と真空
源との間に並列に接続される二又絞り弁（３１４バ３１
５）、　＜３１６）（３１７）、第２のフィルター（３
１８）（３１９）、　（３２０）＜３２１）及びバルブ
＜３２２＞（３２３）、　（３２４）＜３２５）とが設
けられる。

尚真空圧の！Ｉｔは、二又絞り弁（３１４）（３１５）
。

（３１６）（３１７）の一方の大気に開放している弁（
３２６）（３２７）、　＜３２８）（３２９）の絞り具
合により決まる。

前記第１のフィルター（３１０）、　（３１１）は、吸
着孔＜２６７）、　（２７４）から吸い込んだ塵埃を除
塵して、切換弁（３１２）、　（３１３）及び二又絞り
弁（３２６）（３２７）。

（３２ｇ）（３２９）を保護し、第２のフィルター（３
１８）。

（３１９）、　（３２０）、　（３２１）は、前記二又
絞り弁（３２６）（３２７）、　（３２８）（３２９）
から吸い込んだＪ！！埃を除塵し、夫々バルブ（３２２
）（３２３）、　（３２４）（３２５）を保護する。

以上の構成により以下動作について説明する。

い）コンベア（２）幅の調整動作 １１シユート（２０Ｂ）に対する可動シュート（２０Ａ
）の移動動作について以下述べる０種々の大きさのプリ
ント基板（Ｐ）をコンベア（２）を搬送できるようにす
るために、先ず駆動モータ（３８）によりベル）、（３
９）及び各プーリ（４０）＜４１＞を介してボールネジ
体（３６）（３７）を回転させる。するとす・ノド体り
３５）（３６）が可動シュート（２０Ａ）と共に進退動
するが、このとき可動シュート（２０Ａ＞はスプライン
軸（２７）に案内されながら移動することになる。従っ
て両スプロケット（１６）、　（１７）間に張設された
チェーン（１８Ｂ）も移動することになり、プリント基
板（Ｐ）の送り方向と直交する方向の幅に対応できるこ
とになる。

（ｉ）　　プリント基板（Ｐ）の搬送動作駆動モータ（
２１）が通電されると、ベルト（２３）を介してインデ
ックス装置Ｉ（２２）が働らき、その出力軸プーリ（２
４）とプーリ（２５）との間に張設されたベルト（２６
）により支軸（３２）（３３）を介して駆動スプロケッ
ト（１６）（１６）が回転する。このため従動スプロケ
ット（１７）（１７）も回転し、チェーン（１８Ａ）（
１８Ｂ）上のプリント基板（Ｐ）は間欠的に搬送される
ことになる。

このとき、プリント基板（Ｐ）は、各係合片（１９）に
その上流側端部が係合した状態で、間欠的に搬送きれる
。

尚、駆動スプロケット（１６）の加工上の寸法誤差が送
り精度のバラツキにならないようインデックス装Ｒ（２
２）の１割出しによって、該スプロケット（１６）が１
回転するようにし、このスプロケット（１６）の１回転
が間欠搬送の１ピツチとなるように該スプロケット（１
６）、ブーりの歯数が決めである。

またローダ（６７Ａ）から前記チェーン（１８Ａ）（１
８Ｂ）Ｌヘプリント基板（Ｐ）の橋渡しは、先ず収納箱
（６８Ａ）内の最下位にある基板（Ｐ）を押出部材（６
９）により押出すことにより行なわれる。即ち押出部材
（６９）は、前記各係合片（１９）間に各基板（Ｐ）が
位置するように作動する。

前記押出部材（６９）が基板（Ｐ）を押出すと、この押
出動作開始に同期して各ブレーキ部材（６５Ａ）（６５
Ｂ＞により各吸引口〈６６）を介して基板（Ｐ）の動き
に真空によってブレーキをかけるので、コンベア（１８
Ａ）（１８Ｂ＞上に確実に安定した状態で乗り移れる。

而してこの乗り移った後は、前記押出動作終了に同期し
て真空源による吸引を解除する。

尚基板（Ｐ）の搬送中に何らかの事故が起きて、過負荷
状態となると、トルクリミッタ（６２）が慟らきその検
出板（６３）が軸方向に移動することになるので、一対
の光センサ−（６４）で過負荷状態を検出することがで
きる。このときには、当該駆動モータ（２１）を非通電
とすると共に図示しない報知手段で使用者にその旨を報
知する。従って使用者は、その事故の原因を取除けばよ
い。

またこのようにしてプリント基板（Ｐ）の搬送は行なわ
れるが、経時変化等でチェーン（１８Ａ）が伸びて係合
片（１９）の停止位置がずれである許容範囲を越えた場
合には、センサー（４３）が係合片（１９）に遮光され
ず係合片（１９）の存在を１無し、と検知すると、電子
部品装着装置全体を停＋ｈｔせる。この場合、作業者は
、手動でもってインデックス装置（２２）の軸を回し、
ずれ量を補正し、正規の位置に戻せばよい。

（ｉ）　　プリント基板（Ｐ）の位置決め動作モしてチ
ェーン（１８Ａ）（１８Ｂ＞により、位置決め装！！（
４）の位置に到達したのが検知きれると、駆動モータ（
２１）の通電は断たれプリント基板（Ｐ）の搬送は停止
する。

すると、モータ（７７）が通電されベルト（７９）を介
して軸杆（７２）が回転するので、各カム（７３）（７
４）（７５）も回転し、該カムの形状に合わせてカムフ
ォロワー（８０）（８１）（８２）を介して、各上下部
材（８６）（８７）（ｓｇ）は上下動することになる。

これによりプリント基板（Ｐ）の送り方向、この送り方
向と直交する幅方向、これらの方向と直交する垂直方向
の位置規制を行なう。

■　プリント基板（Ｐ）の送り方向の位置規制基板（Ｐ
）がこの位置決め位置に到達する前は、カムレバー（９
１）が上昇位置にあるため第８１５０に示す状態にある
。

そして、モータ（７７）の通電により回転するクランプ
カム（７５）に合わせて、上下部材（８８）がバネ（１
１２）に抗して下降すると、バネ（９８）により可動ク
ランプ（９４）がバネ（９７）に抗して基準クランプ（
９３）が夫々回動してプリント基板（Ｐ）の送り方向の
位置規制が行なわれる。

即ち、ガイド（８５）に沿って上下部材（８Ｂ）が下降
すると、可動クランプ（９４）は支軸〈９６）を支点と
し基準クランプ（９３）は支軸り９５）を支点として夫
々回動する。このため、各クランプが基板（Ｐ）の上流
側端面及び下流側端面に当接することになる。

尚プリント基板（Ｐ）の送り方向の寸法が変更する場合
には、テＬ−ン（１８Ａ）（１８Ｂ）に載置する前に、
図示しない駆動源によりネジ軸（１０４）を回転させる
ことにより行なう、このネジ軸（１Ｇ４）が回転すると
、ボールネジ体（１０５）及び連結体（１０６）を介し
てリニアガイド（１０１）に沿ってＸテーブル（１０２
）が移動する。このＸテーブル（１０２）には、可動ク
ランプ（９４）を支持する可動体（１０３）が固定され
ているので、基準クランプ（９３）に対して可動クラン
プ（９４）が遠ざかったり近づいたりすることができる
。これにより、プリント基板（Ｐ）の送り方向の寸法が
変っても、対処できることになる。

■　プリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の
位置規制 基板（Ｐ）がこの位置決め位置に到達する前は、上下部
材（８６）及びカムレバー（８９）が上昇位置にあるの
で、バネ（１２３）に抗して幅寄せ部材（１２０）は第
１１図に示すような状態にある。

そして前記モータ（７７）の通電により回転する幅寄せ
カム〈７３）の形状に合わせて上下部材（８６）が下降
する。このためバネ（１２３）によって幅寄せ部材（１
２０）は支軸（１１９）を支点としてＬ部が基板（Ｐ）
側に回動する。この回動により基板（Ｐ）を可動ベア’
Ｊ　／　り体（１１６）とで挾持することになる。従っ
てＪ＆Ｍｊ（Ｐ）の幅方向の位置が規制されることにな
る。

尚このプリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向
の寸法が変った場合には、前述の如（、駆動モータ（３
８）により可動９ニート（２ＯＡ）を移動させ、固定ン
ユート（２０Ｂ）との間隔を拡開したり、狭めることに
よって結果的にこれら幅寄せ部材（１２０）を移動させ
ればよい。

■　プリント基板（Ｐ）の垂直方向の規制基板（Ｐ）が
この位置決め位置に到達する前は、上下部材（８７）及
びカムレバー（９０）は第１３図に示すように下降位置
にあって、吸着用上下部材（８７Ａ）（８７Ｂ＞の上面
はチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）の上面よりわずかに高
いレベルにあり、各チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）の係
合片（１９）により基板（Ｐ）はチェーンから各上下部
材（８７Ａ）（８７Ｂ）の上面に乗り移って吸着される
。そしてコンベア（２）が停止したときにその吸着を停
止することになるが、この吸着によりコンベア（２）が
停止したときの慣性によってプリント基板（Ｐ）が移動
することは少ない。

そして前記モータ（７７）の通電により回転するりフト
カム（７４）の形状に合わせて、上下部材（８７）及び
カムレバー（９０）が上昇すると、プリント基板（Ｐ）
は、バネ（１３３）（１３３）により上昇する前記上下
部材（８７Ａ）（８７Ａ）によって押上げられる。この
ため基板（Ｐ）は、送り方向及びこの送り方向と直交す
る幅方向の位置規制がなされた状態で、基板押え（１３
５）（１３５）の係合部（１３６）（１３６）の下面に
当接した状態となる（第１４図参照）。

従って、この規制装置（１３０）によって、基板（Ｐ）
への部品実装面の位置を、該基板（Ｐ）の厚さに影響さ
れず常に一定とすることができる。

以上の基板（Ｐ）の各位置規制は、モータ（７７）の通
電により略同時に開始されることになるが、送り方向の
位置規制、この送り方向とは直交する幅方向の位置規制
、これらの方向と直交する垂直方向の位置規制の順に終
了する。

（ｉｖ）　　ウェハーテーブル（９）等の動作前述のよ
うに位置規制された状態にあるプリント基板（Ｐ）にペ
レットと装着するわけであるが、この装着前にウェハー
テーブル〈９）上の所望ウェハーシート（１４６）がス
テーション（Ａ）に移動するように、ウェハー支持台（
１１）を図示しない駆動源により正逆いずれかに回転さ
せる。

次にＸ軸周モータ（１４１）、Ｙ軸周モータ（１４２）
により各ガイド（１４３）（１４４）に沿って、ＸＹテ
ーブル＜１４０）及び支持台（１１）を平面方向に移動
許せて、突き上げ針装置（１４５）のガイド体（２６４
）の上方位置に所望のウェハーシート（１４６）上のペ
レット（１８０Ａ＞が位置するようにする。

そしてシリンダー（２５３）によりべ一体（２５４）を
上動させ、前記ガイド体（２６４）をウェハーシート（
１４６）に近接させる。その後駆動モータ（３０１）を
通電させ、各プーリ（３０２）（３０４）及びベルト（
３０５）を介してネジ軸（３０３）を回転許せ上下バー
（３０７）を上昇させる。すると該パー（３０７）は、
第１の作動レバー（２５ｇ）を上昇させるので、バネ（
２８２＞によって第２のレバー（２６２）も上昇するが
、ボルト（２９５）が上限ストッパ（２９７＞に当接す
るので、この上動は制限される。

しかし、更に第１のレバー（２５８）は上動するので、
突き上げ針（２６８）は上昇する。従って第３６図に示
すように、真空源により導管（２７２）、連通路（２７
１）及び吸着孔（２６７）を介して、ステージ面（２６
６）上に吸着したシート（１４６）を突き上げ、シート
（１４６）面からペレット（１８０Ａ＞を剥がすように
して装着ヘッド（４）の吸着部（２２７）とで保持する
状態として該吸着部（２２７）が確実にぺＬ・シト（１
８０Ａ＞を吸着する。

但し、このとき突き上げ針（２６８）は、その下限停止
位置から一気に突き上げるのではなく、ペレット吸着後
の吸着コレット（１８５）の上昇タイミングと同期をと
るために、先ず突き上げ針（２６８）上端がステージ面
（２６６）と同一レベルで待機して、しかるべきタイミ
ング信号でもって上昇して前記シート（１４６）を突き
上げる（第３６図参照）、このとき降下している吸着フ
レット（１８５）の吸着部（２２７）の下端部とでペレ
ット（１ＢＯＡ）を挾持しても、更に針（２６８）は上
昇するので、装着ヘッド（１０の上下移動体（１５９）
が停止状態にあってもバネＢ（１７９）に抗して吸着ノ
ズル体（１８４）を上昇させる。

この後突き上げ針（２６８）と吸着ノズル体（１８４）
は、同期してペレット（１８０Ａ）を挟持した状態で共
に上昇する。そして、所定の上昇に到達した後は、前記
ノズル体（１８４＞のみ上昇し、前記針（２６８）は下
降し待機位置に戻る。

この吸着後は、前記駆動モータ（３０１）の回転を逆転
させ、上下バー（３０７）を下動させバネ（２８２）に
より第１の作動レバー（２５ｇ）を下降させるので前記
針（２６ｇ＞は下降し、更に上下バー（３０７）が下動
すると、第２の作動レバー（２６２）も下降し、この突
き上げ針装置（１４５）はシリンダー（２５３）によっ
て下降することによって初期状態となる。

次に大きなペレット（１ＢＯＢ）を装着したい場合には
、そのウェハーシー）　（１４６）がステーション（Ａ
）に位置するように支持台（１１）を回転させると共に
ＸＹテーブル（１４０）及び支持台（１１）を平面方向
に移動させて、次の装着動作に備える。また突き上げ針
装置！（１４５）の回転板（２５２＞を９０度回転させ
る。即ち、図示しない駆動モータに通電して、その出力
軸に設けられた歯車に噛合する歯車（２５０）により回
転ガイド（２５１）及び回転板（２５２）を回転許せ、
回転板ストッパ（３０８）に当接して停止位置を確実な
ものにしている。

従って、大きなペレット（１８０Ｂ）用のガイド体（２
６５）がウェハーシート＜１４６）の直下方に位置する
ことになる。

尚第４０図に示すように、ペレットを９エバーシート（
１４６）から剥離する際に、ウェハーシート（１４６）
をステージ面＜２６６＞に吸着するための真空圧も変更
することができる。即ち比較的小さなペレット（１８０
Ａ）の場合には、切換弁（３１２）を切換えることによ
って、二又絞り弁（３１４＞、　（３１５）のいずれか
を選択して異なる真空圧で吸引でき、また比較的大きな
ペレット（１８０Ｂ＞の場合には、切換弁（３１３）を
切換えることによって、二又絞り弁（３１６）、　（３
１７）のいずれかを選択して異なる真空圧で吸引できる
。

従って、各ガイド体（２６４）、　（２６５）につき２
種類の真空圧を選択調整でき、各ウェハーテーブル（９
）（１０）上のウェハーの大きさの異なる種類に応じて
対応することができる。

例えば、前述の小さなペレット（１８０Ａ＞を扱う場合
には、切換弁（３１２）を切換えて、二又絞り弁＜３１
４）を選択し、各バルブ（３２３）、　（３２４）、　
（３２５）を閉じ、バルブ（３２２）は開く、すると真
空圧は、例えば２５０ｍＨｇとなる。またこのとき、ガ
イド体（２６４）の吸着孔（２６７）を介して吸い込ん
だ塵埃は第１のフィルター（３１０）で除塵され、切換
弁（３１２）及び二又絞り弁（３１４）は保護される。

更には、二又絞り弁（３１４）の弁（３２６）から吸い
込んだ塵埃は第２のフィルター（３１８）で除塵され、
バルブ（３２２）は保護される。このペレット（１８０
Ａ）より少許大きなペレットを扱う場合には、切換弁（
３１２）を切換えて二又絞り弁（３１５）を選択して、
真空圧を例えば３５０ｎｌｌ１ｇとする。

勿論大きなペレット（１８０Ｂ）を扱う場合には、切換
弁（３１３）を切換えて、二又絞り弁（３２８）、　（
３２９）のいずれかを選択して、真空圧を例えば３００
１１１　Ｈｇ。

４００ｍｌｌＨｇのいずれかに設定することができる。

（ｖ）　　ペレットの装着動作 装置１／＼ツド（１４）は、駆動モータ（１５４Ａ）に
よって回転されるボールネジ（１５１Ａ）によりＸ方向
の移動ができ、駆動モータ（１５４Ｂ）によって回転さ
れるボールネジ（１５１Ｂ）によりガイド体（１５２）
（１５２）に沿ってＹ方向の移動が可能となる。

従って、装着へラド（１４）は、スデーシ５ン（Ａ）に
位置するウェハーシート（１４６）の吸着すべきペレッ
ト（１８０Ａ）の上方位置まで移動でき、次いで吸着コ
レラ）・（１８５）を降下させることにより所望のペレ
ット（１８０Ａ）を吸着できる。この点につき以下詳述
する。

先ず駆動モータ（１５４Ｃ）に通電して、各プーリ（１
５５）、　（１５７）、ベルト（１５８）を介してネジ
軸（１５６）を回転させ、上下移動体（１５９）を降下
させる。すると、加圧用モータ（１６２）によりバネＢ
　（１７９）によって、加圧ベアリング体（１７４）が
ロータリジヨイント（１７６）及び固定ベアリング体（
１７５）に押圧しているので、吸着、ノズル体（１ｇ４
）は上下ガイド体（１９２）に沿ってウェハーシーＩ・
（１４６）まで降下する。このため、前述の如く突き−
ヒげ計装Ｗｔ、（１４５）の針（２６８）と相俟ってペ
レット（１ＢＯＡ）を確実に吸着できる。

そして、この吸着後は前記モータ（１５４Ｃ）の回転を
逆転させて、ネジ軸（１５６）により上下移動体（１５
９）を上昇させるが、この上昇後はロックツレ、ノイド
（１６３）を励磁させる。このため吸引されたプランジ
ャ（１６６）によりバネ（１７０）に抗して揺動（１７
３）を支軸（１７２）を支点として回動させる。従っ工
、ヒ下移動体（１５９）に固定された支持体（１６８）
に設けられた固定ベアリング体（１７５）と加圧ベアリ
ング体（１７４）とで、ロータリジヨイント（１７６）
の鍔体（１７７）を挾持した状態にロックする。勿論こ
のロック動作は、装着ヘッド（１４）の水平移動中に行
なわれ、このロック動作後必要あらば吸着ノズル体（１
８４）のθ回転を行ない、ペレット（１ＢＯＡ）の平面
方向における向きを基板（Ｐ）への装着向きに合わせる
。

即ち、駆動モータ（１９５）の通電により各プーリ（１
９６）、（１９７）、ベルト（１９８）を介して、上下
ガイド体（１９２＞及び規制ベアリング（１９４）によ
って吸着ノズル体（１８４）はθ回転することになる。

この吸着ノズル体（１８４）は、装着ヘッド（１４）の
水平方向の移動によって、前述のように位置規制された
状態にあるプリント基板（Ｐ）の上方位置まで移動し、
該基板（Ｐ）の所望位置にペレット（１８０Ａ）を装着
することができる。

即ち、前述の如く、モータ（１５４Ｃ）に通電して、上
下移動体（１５９）を降下ζせ、吸着ノズル体（１８４
）を基板（Ｐ）上まで降下させるがその途中で、前記ロ
ックソレノイド（１６３）を消磁させてロック動作を解
除する。

この装着時には、バネＢ（１７９）によってペレット（
１８０Ａ＞はプリント基板（Ｐ）に押圧されることにな
る。従ってこの押圧力を変更したい場合には、加圧用モ
ータ（１６２）の回転角度を希望の値にデー夕設定する
ことにより行なえる。

尚、１１７Ｉ記吸着コレット（１８５）による吸着動作
時に、図示しない真空源による真空吸引動作が開始した
場合に、当該装着装置の全てを統轄制御するマイクロ・
コンピュータ（２８７）は、前記真空スイッチ（１９１
）、光電検知装！　（２１５）からの検知データをオア
回路（２８５）かアンド回路（２８６）を介して取り込
む、そして、切換スイ・／チ（２８４Ａ）（２８４Ｂ）
の状態により少なくとも一方の検知データか両方の検知
データの内容がベレット１無し、であれば、予めペレッ
ト無しカウンター（図示せず）に設定された回数Ｎだけ
、ピックアップ動作を繰り返し、Ｎ回を越えると、装着
ヘッド（１４）、　（１５）をぶ点に復帰許せて、当該
装着装置の運転を停止すると共に使用者に報知手段（２
８９）によって視覚か聴覚により使用者にその旨を報知
する。従って使用者は、ベレｙｈ’無し」が事実か否か
の確認をし、事実でなければ真空スイッチ（１９１＞の
作動レベルを調整したり、光電検知装！！（２１５）の
高さ位置調整を行なって一回試運転させるか再運転させ
て、その調整が適切か否かを確認する。適切でなければ
、再度調整し、適切であれば通常運転を続行すればよい
。

また装着ヘッド（１４）（１５）は、前記デエーン（１
８Ａ）　（１８Ｂ）の各係合片（１９）の間隔の整数倍
の間隔を存して配設してあり、このためタイミング上同
時に両ヘッドがボンディング動作ができる。

（ｖｉ）　　吸着コレ・／ト（１８５）の交換動作以上
のように装着動作が行なわれることになるが、例えば次
に装着したいベレットが大きなベレット（１８０Ｂ＞の
場合には、それに合った吸着コレット（１８５）に交換
しなければならない、以下その交換動作について、第２
５図〜第３２図に基づいて説明する。

先ず第２２図に示すように、前述の如く吸着ノズル体（
１８４）及び吸着コレット（１８５）を降下さゼ、吸着
コレット交換装！（７）の吸着コトシトが収納されてい
ないシールストッカ−（２３１）の取付孔（２３５）上
方位置に移動させる。

次にシリンダー（２４２）の駆動によりピン取付台（２
３４）及び図示しない駆動源によりシールストッカー（
２３１）を上昇させる（第２５図参照）。

この後、前記ノズル体（１８４）及びコレット（１８５
）を更に降下させると、ロック爪体（２２１）、　（２
２１）がロック解除ピン（２３３＞に当接して支軸（２
２２）、　＜　２２２　＞を支点として回動して開く（
第２６図参照）、このため、ロックが解除されることに
なるが、シリンダー　（２４８）によって外方に回動し
ていた押え部材（２４７）がこのシリンダー（２４８）
の駆動により内方に回動してアダプタフランジ部（２２
６）を押える。

勿論、このときフランジ部（２２６）に形成されたＵ字
溝（２２５）内に支持台（２４Ｇ）上の位置決めピン（
２４１）（２４１）が夫々嵌合し、吸着コレット（１８
５）のθ回転は鋳止される。

そして、第２７図に示すように駆動源によりストッカー
（２３１）を降下させると、アダプタ（２１９）は取付
空間（２１８）から抜けて下がる１次に吸着ノズル体（
１８４）は前述のように上昇し、ピン取付台（２３４）
及びロック解除ピン（２３３）が下降する（第２８図参
照）、この後、吸着ノズル体（１８４）は、大きなペレ
ッ１−（１８０Ａ）用の吸着コレット（１８５）の上方
位置まで移動して下降し、一方前記ピン（２３３）も上
昇する。従って、該ピン（２３３）によって［Ｉツク爪
体（２２１）（２２１）が開く（第２９図参照）。

そしてシールストッカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）が上昇し、吸着フレット（１８５）のアダプタ
（２１９）を前記取付空間（２１Ｂ）内４こ挿入する。

このとき取付部（２１６）下面の位置決めピン（２２４
＞がアダプタフ５’ｔ’）部（２２６）のＵ字溝（２２
５）内に嵌合することにより、この挿入時のθずれを防
止している。

然る後、シリンダー（２４８）の駆動によって、押え部
材（２４７）を外方へ回動させる。

この後前記解除ピン＜２３３）を降下させるので、ロッ
ク爪体（２２１）（２２１）がバネ（２２３）（２２３
）により内方へ回動し、係止部（２２８）内に入り込ん
でロックすることになる（第３１図参照）、そして吸着
ノズル体（１８４）及び吸着コレット（１８５）は丘昇
し、前記押え部材（２４７）を今度は内方ムロ動きせ、
ストッカー　（２３１）及びストッカー台（２３２）を
下降させることによって、吸着コし・シト（１８５）の
交換動作が終了する。

この吸着コレット（１８５）の交換により、大きなペレ
ット（１８０Ｂ）の装着に対応できることになる。

次にこの吸着コレット（１８５）の交換が確実に行なわ
れたか否かの確認動作について述べる。

先ずＤＣソレノイド＜２０１）が励磁している状態では
、バネＤ（２０８）に抗して作動レバー（２０３）か力
ムフ］口゛７−　（２１Ｇ）を介して上下スライダ（２
０４）を下方に押圧しており、前記フォロワー＜２１０
＞が下限スト・ソバ（２１２）に当接して係止している
状態にあるため、光電検知装置（２１５）は吸着コレ・
ｙト（１８５）がペレット（１８０Ａ＞、　（１８０Ｂ
）を吸着しているか否かの検知を行なっている。しかし
、前述のコレラ１−（１８５）の交換が行なわれたか否
かの確認をする場合には、前記ソレノイド（２０１）を
消磁させればよい、即ち、との消磁によって上下スライ
ダ（２０４）はバネＤ（２０８）により上昇し、作動し
／り−（２０３）が上限ストッパ（２１１）１こ当接し
て係止する状態となり、第１９Ｂ図に示すように光電検
知装置（２１５）は吸着フレット（１８５）の存在を確
認できる。

仮に、存在「無、を検知すると、以後の動作を中止する
と共に、使用者に図示しない報知手段により報知する。

以上のように装着動作が行なわれると、位置決め装！（
４）の各動作を停止する。即ち、前記モータ（７７）を
再び通電して、幅寄せカム（７３）、リフトカム（７４
）及びクランプカム（７５）を回転させ、カムレバー　
（９１）（８９）を上昇させると共にカムレバー（９０
）を降下さセ、また吸着用上下部材（８７Ａ）。

（８７Ａ）の吸着孔（１３７）を介するプリント基板Ｃ
Ｐ＞の吸着を止めるように真空源による吸引を止めて大
気圧に戻し前記モータ（７７）を非通電とし、初期状態
に戻す、また然る後、駆動モータ（２１）に通電してプ
リント基板（Ｐ）をチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ＞によ
って下流に搬送する。

（−）　　プリント基板（Ｐ）の反転動作このようにし
て、装着後のプリント基板（Ｐ）は下流に搬送されて、
第４１図に示すように図示しないエレベータにより昇降
可能な収納箱（６８Ｂ＞に逐次収納される。この収納箱
（６８Ｂ）は前述のローダ（６７Ａ）の収納箱（６８Ａ
）と全く同一構造である・従ってローダ（６７Ａ）の収
納箱（６８Ａ）内のプリント基板（Ｐ＞の全てが、装着
し終ってアンローダ（６７Ｂ）の収納箱（６８Ｂ＞内に
収納されることになる。

、−こで、プリント基板（Ｐ）によっては、多数のペレ
ットを装着しなければならないものがあり、この場合再
度チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）に載せて装着する必要
がある。この場合、プリント基板（Ｐ）が収納されてい
る収納箱（６８Ｂ）と収納されていない収納箱（６８Ａ
）とを交換し、夫々ローダ（６７Ａ）、アシローダ（６
７Ｂ＞にセットすればよい。

この場合、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準側
が反対側となってしまうが、反転袋ｆｔ（３）により平
面方向に於いて反転させればよい。以下詳述する。

前述のようにローダ（６７Ａ）からチェーン（１８Ａ）
（１８Ｂ）１：に基板（Ｐ）が載置して、間欠搬送きれ
て、反転装置（３）の直上方位間に来たら、搬送の駆動
源である駆動モータ（２１）の通電を停止してシリンダ
ー（５６）を駆動する。すると揺動部材（５５）が回動
しガイド（４８）によって上下杆（４９）を上動さ仕る
と共に、図示しない真空源によりグ・ユーブ（６１）、
上下杆（４９）の真空通路（５９）及び押上体（５０）
の吸引路（５８）を介して、押上体（５０）の上面にプ
リント基板（Ｐ）を吸着しつつ上昇させる。然る後、モ
ータ（５３）に通電してプーリ（５４）、　（５２）及
びベルト（５１）を介して平面方向に於いて１８０度分
押上体（５０）を回転さ、せる。

この後前記シリンダー（５６）の駆動を停止して、前記
揺動部材（５５）を初期状態に戻して押上体（５０）を
降下させる。このとき、前記真空源による吸引を解除し
て大気圧に戻すから、プリント基板（Ｐ）はチェーン（
１８Ａ＞（１８Ｂ）上に載置され、再び撤退用の駆動モ
ータ（２１）に通電して、１８０度反転されたプリント
基板（Ｐ）を再び搬送して、前述のように位置決めし、
所望のペレットを装着すればよい。

従って、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準側が
、最初に搬送位置決めしたときと同じ側となるから、装
着精度が向上する。

尚プリント基板（Ｐ）の搬送方向と直交する幅寸法が変
更した基板（Ｐ）を流す場合には、Ｘ軸周モータ（４４
）、Ｙ軸周モータ（４５）を駆動して、ＸＹテーブル（
４６）を移動させ、その相互の間隔が変更したチェーン
（１８Ａ＞（１８Ｂ）のその丁度中間位置に航記押上体
（５０）を移動することにより対処できる。

（ト）　発明の効果 以上のように本発明は、夫々付勢体により付勢された複
数の押え部材によってプリント基板を支承部材側へ抑圧
するものだから、プリント基板の外形精度にバラツキが
あっても確実に位置決めできる。また幅が異なるプリン
ト基板であっても、支承部材と制御部材との間隔を調節
することにより対応することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は電子部品装着装置の平面図、第２図は同装着装
置の固定シュートの内側から奥行方向を見た正面図、第
３図は同装着装置の微速部の右側面図、第４ｒ：Ａはチ
ェーン（１８Ａ）の部分正面図、第５図は第１図のｘ−
ｘ’断面図、第６１５０は第１図のＹ−Ｙ’断面図、第
７図は送り方向の規制位置決めを行なう装置（９２）の
正面図、第８図は同装置（９２）の作動待機状態の正面
図、第９図は同装置（９２）による送り方向の寸法が長
いプリント基板（Ｐ）の位置決め状態を示す正面図、第
１θ図は位置決め装置（４）の平面図、第１１図は第１
図の２−２′断面図でプリント基板（Ｐ）の幅方向の位
置決め前の状態を示す要部断面図、第１２図は同じくプ
リント基板（Ｐ）の幅方向の位置決め状態を示す要部断
面図、第１３図は第１図のｖ−ｖ’断面図で規制装ｆｌ
　（１３０）による位置決め前の状態を示す要部断面図
、第１４図は同じ（規制装置（１３０）による位置決め
状態を示す要部断面図、第１５図は基板の送り方向とは
直交する幅方向の位置を規制Ｊる装置を取除いた状態の
部分平面図、第１６図は装着ヘッドの一部断面せる正面
図、第１７図は装着ヘッドの縦断右側面図、第１８図は
装着ヘッドの一部切欠ぜる平面図、第１９Ａ図は装着ヘ
ッドの一部切欠せる右側面図、第１９Ｂ図は上下スライ
ダーが丘昇した状態の装着ヘッドの一部切欠せる右側面
図、第２０図は吸着ノズル下端部を縦断した状態及び吸
着コレットの正面図、第２１図は吸着ノズル下端部の左
側面図、第２２図は吸着ノズル交換装置の縦断正面図、
第２３図は同交換装置の平面図、第２４図は同交換装置
の左側面図、第２５図乃至第３２図は吸着コレットの交
換動作を示す図、第３３図は小さいペレットを扱う場合
の突き上げ針装置の正面図、第３４１ＩＣは第３３図の
右側面図、第３５図は大きいペレットを扱う場合の同装
置の正面図、第３６図は小きいペレット用の突き上げガ
イドの縦断面図、第３７図は同ガイドの平面図、第３８
図は大きいペレットを扱う場合の突き上げガイドの縦断
面図、第３９図は同ガイドの平面図、第４０図は突き上
げに必要な吸引回路図、第４１図は本発明装着装置の模
式図であって反転装置の動作を示す図、第４２図は反転
装置の動作説明図、第４３図は吸着コレットがペレット
を吸着したか否かの検出に係るブロック図を夫々示す。 （２０Ａ）・・・可動シュート、（２０Ｂ＞・・・固定
シュート、（８６）・・・丘下部材、（１１６）・・・
可動ベアリング体、（１１９）・・・支軸、（１２０）
・・・幅寄せ部材、（１２３）・・・バネ、（１２５）
・・・伝達アーム、〈Ｐ）・・・プリント基板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）　プリント基板の送り方向と直交する幅方向の位
   置決めを行なうプリント基板の位置決め装置に於いて、
   前記基板の前記幅方向の一端側が当接する支承部材と、
   前記幅方向の他端側に於いて支軸により夫々回動自在に
   こなされた複数の押え部材と、該押え部材の夫々に対応
   して設けられ該押え部材がプリント基板の幅方向の他端
   側を押圧するように付勢する付勢体と、前記押え部材に
   よるプリント基板への押圧及びその解除を制御する制御
   部材とから成るプリント基板の位置決め装置。