JPH01291492A - 電子部品装着装置のコレット交換装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、電子部品の１！ｋＭに応じて吸着コレットを
自動的に交換する電子部品装着装置のコレット交換装置
に関する。

（ロ）　従来の技術 従来の此種のコレット交換装置は、特開昭６２−１４５
８９９号公報に開示されている。この交換装置によれば
、板バネが吸着ノズルの凹部に係合し該ノズルを保持し
ており、ノズルの交換時には予備ノズルをストックして
おくノズルホルダーに置く際に爪でノズルのフックを押
えた状態で移載ヘッドを上昇させて前記板バネを開くよ
うにしている。またノズルホルダーにストックしである
吸着ノズルを移載ヘッドに装着する際に、当該ストック
しである吸着ノズルにより板バネを強制的に開かせて、
前記凹部に板バネを係合させている。

（ハ〉　発明が解決しようとする課題 しかしながら従来技術によれば板バネを吸着ノズルにこ
すりつけながら開閉するようにしているから、板バネ及
び吸着ノズルの凹部が摩耗してノズルの保持が不確実で
部品装Ｍ精度が悪くなったり、またノズルを確実保持す
るために板バネの付勢力を強めねばならずこのため吸着
ノズルの凹部に係合しにくく強制的に係合しようとする
と板バネが破損することがある。

（ニ）課題を解決するための手段 このために本発明は゛、電子部品の種類に応じて吸着コ
レットを自動的に交換する電子部品装着装置のコレット
交換装置に於いて、装着ヘッドには前記吸着コレットの
上部と着脱可能に嵌合しあう嵌合部を形成すると共に前
記吸着コレットに形成された係合部に係合することによ
り該コレットを保持する開閉可使な爪を設け、一方予備
の吸着コレットを保管するストッカーには前記爪に当接
して該爪を開く制御部材と予備の吸着コレットの保持及
びその解除を制御する保持部材とを設けたものである。

（ホ）　作用 装着ヘッドをストッカー上刃に位置させて、その保持部
材を解除浮せ、該ヘッドの爪を制御部材により開く、そ
してストッカー内に装着ヘッドに装着谷れた吸着コレッ
トを位置せしめて、前記保持部材で当該コレットを保持
状態とし、装着ヘッドより吸着コレットを抜く。

次に装着ヘッドに装着すべき予備のコレット上方に、該
へ・７ドを移動させ又、前記制御部材で再び爪を開いた
状態として、装着ヘッドの嵌合部と当該コレットの上部
とを嵌合きせ、保持部材を解除した状態で、爪を閉じて
ヘッドの保持部に爪を係合きせて上昇移動する。

（へ）　実施例 以下本発明の一実施例を図に基づき説明する。

（１）は電子部品装着装置の本体で、該本体（１）には
プリント基板（厚膜基板含む）（Ｐ　）、リードフレー
ム等を搬送するコンベア（２）と、該コンベア（２）に
於ける上流側に設けられる反転装置（３）と、該反転装
置（３）の下流側に設けられる一対の位置決め装置ｔ（
４）（５）と、取付台（６）上に固定される吸着コレッ
ト交換装置（７）（８）と、４個のウェハーテーブル（
９）（１０）有してＸＹ力方向の移動及び平面方向で回
転可能なウェハー支持台（１１）（１２）と、天板（１
３）に吊持されてＸＹ力方向移動可能な装着ヘッド（１
４）（１５）とが設けられている。

前記コンベア（２）は、一対の駆動スプロケット（１６
）（１６）、従動スプロケット（１７）（１７）間に張
設された一対のチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）から成り
、該チェーン（１８＾）（１８Ｂ）上に載置してプリン
ト基板（Ｐ）を上流側から下流側へ搬送する。このとき
チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）には所定間隔を存して基
板（Ｐ）の送り方向の後端部に係ＩＩ−，する係合片（
１９）が立設きれ、基板（Ｐ）は両チェーン（１８＾）
（１８Ｂ）上に載置し且っ各係合片（１９）で係止され
た状態で上流側から下流側に間欠的に搬送される。

尚各係合片（１９）が設けられるその相互間隔は、チェ
ーンピッチの整数倍となっており、この間隔内に収まる
基板（Ｐ）は全て搬送動作に関しては、段取りなしで共
通に送ることができる。

次にコンベア（２）及び可動シュート（２ＯＡ）の移動
について述べる。駆動モータ（２１）が通電されると、
ベルト（２３）を介してその駆動が伝達されてインデッ
クス装置（２２）の出力軸が間欠駆動し、その出力軸に
取付けられた出力軸プーリ（２４）とプーリ（２５）と
の間に張設されたベルト（２６）によりスプライン軸（
２７）が間欠回転するので両プーリ（２８Ａ）（２８Ｂ
＞（２９Ａ）（２９Ｂ＞間に張Ｔ’２　サｔｔ　タヘＪ
Ｌ−ト（３０）（３１）により支軸（３２）（３３＞を
介して周駆動スプロケット（１Ｇ）（１６＞が間欠回転
する。これにより両スプロケット（１６）（１６）、（
１７）（１７）が回転するので、チェーン（１８Ａ）（
１８Ｂ）上のプリント基板（Ｐ）は間欠的に定まった距
離ＩＢ送されることになる。

一方可動シュート（２０＾）の両端に設けられたナツト
体（３４）（３５）にボールネジ体（３６）＜３７）が
嵌合し、駆動モータ（３８）によりベルト（３９）及び
プーリ（４０）（４１）を介して該ネジ体（３６）（３
７）が回転すると、可動シュート（２０Ａ）が固定シュ
ート（２０Ｂ）に対して進退動することになる。即ち基
板（Ｐ）の流れ方向と直交する方向の幅寸法に対応して
、両シュート（２ＯＡ＞（２０Ｂ）間の距離を拡げたり
狭めたりすることができる。このとき、可動シュート（
２ＯＡ＞はスプライン軸受（４２）によってスプライ）
・軸（２７）に沿って移動することになる。

（４３）は前記コンベア（２）による送りが停止してい
る状態での位置決め装置（４）より１ピッチ分上流に位
置する係合片（１９）の存在を検知する一対の光学的手
段から成るセンサーで、間欠移動するコンベア（２）の
位置ずれを検知する。即ち経時変化等でチェーン（１８
Ａ）が伸びて係合片（１９）の停止位置がずれて、ある
許？￥＠囲を越えた場合には、前記センサー（４３）が
ｒ無し」と検知すると、電子部品装着装置全体を停止さ
せる。この場合、作業者は手動でもうてインデックス装
置ｔ　（２２）の軸を回し、ずれ量を補正する。

反転装Ｒ（３）は、前記フンベア（２）に於ける上流側
の前記チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）間の下方位置に配
設され、必要に応じ前記基板（Ｐ）の流れ方向の向きを
反転させるものである。該反転装！（３）は、Ｘ軸周モ
ータ（４４）、Ｙ軸周モータ（４５）によりＸ方向及び
Ｙ方向に移動可能なＸＹデープル（４６）と、種々のも
のが取付けられるものであってＸＹテーブル（４６）上
に設けられる取付台（４７）とから構成される。　（４
Ｂ）は取付台（４７）に固定移れ上下杆（４９）を上下
動可能に案内するガイド、（５０）は前記上下杆（４９
）の頂部に設けられてコンベア（２）より上方へ突出可
能な押上体、（５１）は前記上下杆（４９）の下部に設
けられたプーリ（５２）とモータ（５３）の出力軸プー
リ（５４）間に張設ξれたベルト、（５５）は一端がシ
リンダー（５６）の作動杆と回動可能に連結され他端が
上下杆（４９）の下端部の支持部（５７）間に嵌合され
中間部を支点として揺動可能な揺動部材である。

そして、該反転装置（３）の押上体（５ｏ）には、所定
間隔を存して複数の吸引路（５８）が形成され、上下杆
（４９）には該吸引路（５８）に連通ずる真空通路（５
９）が形成きれ、更に該通路（５９）にはロークリジヨ
イント（６０）及びチューブ（６１）を介して図示しな
い真空源に連通する。

尚インデックス装置（２２）の出力側には出力軸プーリ
（２４）との間にトルクリミッタ（６２）が設けられ、
その端部に過負荷検出板（６３）が設けられている。従
って、プリント基板撤退中に異常が起き、過負荷状態に
なって、前記検出板（６３）が軸方向に移動した場合に
、一対の光センサ−（６４）で過負荷状態を検出するこ
とができる。

（６５Ａ）（６５Ｂ）は前記シュート（２０Ａ）（２０
Ｂ）の上流側端部に夫々対向する如く内側に設けられた
ブレーキ部材で、夫々上面には真空源に連通ずる吸引口
（６６）が複数開設されている。　（６７Ａ）はローダ
で、複数のプリント基板（Ｐ）を棚上に収納すると共に
図示しないエレベータにより昇降可能な収納箱（６８Ａ
）と該箱（６８Ａ）内の最下位にある基板（Ｐ）を前記
コンベア（１８＾）（１８Ｂ）上に押出す押出部材（６
９）とより成る。この押出部材（６９）より収納箱（６
８Ａ）内の基板（Ｐ）が押出された際に、コンベア（１
８Ａ）（１８Ｂ）上にスームズに乗り移らず、勢い余っ
てコンベア（１８Ａ）（１８Ｂ）からから落下したりし
ないように、前記ブレーキ部材（６５Ａ）（６５Ｂ）に
よって吸引され確実に安定した状態で乗り移れるように
されている。即ち押出部材（６９）の押出動作開始時に
真空源による吸引を開始し、押出動作が終了したら吸引
を解除する。

次に一対の基板位置決め装置（４）（５）について説明
するが、両者は同様な構成であるため、一方（５）につ
いてのみ説明する。該位置決め装！（４）（５）は、基
板（Ｐ）の送り方向、これと直交する幅方向及び基板（
Ｐ）の厚さ方向の各方向の位置決めを行なうものであり
、以下説明する。

一対の軸受（７０）（７１）を貫通する軸杆（７２）に
は、第１図及び第２図の左から幅寄せカム（７３）、リ
フトカム（７４）及びクランプカム（７５）が設けられ
、該軸杆（７２）左端部のプーリ（７６）とモータ（７
７）の出力軸プーリ（７８）間にはベルト（７９）が張
設されている。従ってモータ（７７）の通電により軸杆
（７２）が回転すると、各カム（７３）（７４）（７５
）が回転し、各カム°フォロワー（８Ｇ）（８１）（８
２）を介して各上下部材（８６）（８７）（８８）が上
下動し、これに伴ない６力ｌ・レバー（８９）（９０）
（９１）も上下動する。

先ず基板（Ｐ）の送り方向の規制位置決めを行なう装置
（９２）について説明する。

（９３）（９４）は前記基板（Ｐ）の流れ方向の端部に
接触する基準クランプ、可動クランプで、夫々支軸（９
５）（９６）を支点として回動可能である。そしてバネ
（９７）により基準クランプ（９３）は外方に回動する
ように付勢され、可動クランプ（９４）はバネ（９８）
により内方へ回動するように付勢建れている。　（９１
）は前述の如く前記上下部材（８８）の頂部に設けられ
たカムレバーで、前記クランプ（９３バ９４）に突出し
たピン（９９）（Ｚｏｏ）に係合して、該クランプ（９
３）（９４）の揺動を制御する。

一方基板（Ｐ）の流れ方向に延びたリニアガイド（１０
１）によりＸテーブル（１０２）が水平移動可使であり
、該テーブル（１０２）には前記可動クランプ（９４）
を回動可能に支持する可動体（１０３）が固定されると
共に、駆動源（図示せず）により回転するネジ軸（１０
４）が嵌合するボールネジ体（１０５）と一体化された
連結体（１０６）が固定される。　（１０７）（１０Ｂ
）は軸受である。

従って駆動源によりネジ軸（１０４）が回転することに
より連結体（１０６）を介してＸテーブル（１０２）が
流れ方向に移動するため、可動体（１０３）も移動し、
基帛クランプ（９３）に対して可動クランプ（９４）が
遠近移動することができ、種々の基板（Ｐ）の送り方向
の長さに対応できる。

またカムレバー（９１）が上動すると、可動クランプ（
９４）はピン（１００）を介して外方向に回動し、基準
クランプ（９３）もバネ（９７）により外方向に回動し
、両クランプ（９３）（９４）は基板（Ｐ）より下方に
位置することになる。

以上のように、上下部材（８８）は、ガイド（８５）を
介して上下動可能であり、固定シュート（２０Ｂ）に突
出したピン（１１Ｇ）と上下部材（８８）に突出したピ
ン（１１１）との間にはバネ（１１２）が張架され、該
上下部材（８８）を上刃へ付勢している。従って上下部
材（８ｇ）端部のカムフォロワー（８２）は、クランプ
カム（７５）に圧接するので、該カム（７５）の形状に
合わせて上下部材（８８）は上下することになる。

次に基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の規制につ
いて述さる。先ず固定シュート（２０Ｂ＞の上部には、
固定板（１１５）が設けられ、該固定板（１１５）上に
は所定間隔を存して可動ベアリング体（１１６）及び基
準ベアリング体（１１７）が設けられる。一方可動シュ
ート（２０Ａ）に設けられる軸受（１１８）（１１８）
に回転可能に支持される支軸（１１９）には、複数個の
幅寄せ部材（１２０）を取付け、図示しない軸により回
転可能なその円筒部分の周縁が基板（Ｐ）に当接可能で
ある。そして一対の支持部（１２１）（１２１）間に支
持された取付杆（１２２）に付勢体としてのバネＩ、　
１２３）の一端が固定され、前記幅寄せ部材（１２０）
は夫々基板（Ｐ）方向に回動するように付勢されている
。また一対の支持部（１２１）（１２１）間に支持され
た支軸（１２４）により回動可能とされた伝達アーム（
１２５）の上部には、係合ロッド（１２６）が設けられ
、前記幅寄せ部材（１２０）の夫々を基板（Ｐ）から遠
ざけるように作動する。前記伝達アーム（１２５）の他
端部にはカムフォロワー（１２７）が設けられ、前記幅
寄せカム（７３）と係合するカムフォロワー（８０）を
有する上下部材（８６）の上下動に伴うカムレバーク８
９）の上下動によって、該レバー（８９）により前記カ
ムフォロワー（１２７）を介して前記伝達アーム（１２
５）は回動されることになる。

次に基板（Ｐ）への部品実装面の位置を、該基板（Ｐ）
の厚さ如何に係わらず一定とするための規制装置（１３
０）について説明する。固定シュート＜２０Ｂ）及び可
動シュート（２０Ａ）には、夫々リニアガイド（８４）
（８４）により吸着用上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）が
上下動可能とされている。また両シュート（２０Ｂ）（
２０Ａ）から突設したピン（１３１）（１３１）と各上
下部材（８７Ａ）（８７＾）下部に突設したピン（１３
２”１（１３２）との間にはバネ（１３３）（１３３）
が張架され、上下部材（８７）（８７）を夫々上方へ付
勢している。

−・力士下部材（８７Ａ）（８７Ａ）端部に設けられた
カムフォロワー（１３４）（１３４）は、カムレバー（
９０）により押下げられる。即ち、リフトカム（７４）
に係合するカムフォロワー（８１）を有する上下部材（
８７）の上端部に前記カムレバー（９０）を設けている
ので、リフトカム（７４）により吸着用上下部材（８７
Ａ）（８７Ａ）は夫々上下動することになる。

また（１３５）（１３５）は前記シュート（２０Ａ＞（
２０Ｂ）の上部に設けられる基板押えで、前記基板（Ｐ
）の上面と係合可能な係合部（１３６）（１３６）を有
している。

更に、前記吸着用上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）の上流
寄りの吸着部（１３８）には、複数の吸着孔（１３７）
が開設され、真空パイプ（１３９）（１３９）を介して
図示しない真空源に連通している。従って前記上下部材
（８７Ａ）（８７Ａ）の上部にプリント基板（Ｐ）の下
面が吸着可能である。

また前記上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）の上部面は、フ
ンベア（２）搬送面よりわずかに高いレベルに設定され
ており、チェーン（１８Ａ＞（１８Ｂ）の係合片（１９
）（１９）により基板（Ｐ）は、コンベア（２）搬送面
から前記上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）に乗り移り、そ
の時点で、真空吸着を開始する。モしてコンベア（２）
が停止したときにその吸着を停止するが、この吸着によ
りコンベア（２）が停止したときの慣性によってプリン
ト基板（Ｐ）が移動することはない、従って大きな位置
ずれを起すことなく、該上下部材（８７Ａ）（８７Ａ）
によってリフトアップされ、プリント基板（Ｐ）はその
送り方向及びこの送り方向と直交する幅方向の位置決め
がなされた状態で、基板押え（１３５）（１３５）の係
合部（１３６）（１３６）に押しつけられる。

次にウェハー支持台（１１）（１２）について詳述する
が、両者は同一構造であり支持台（１１）についてのみ
説明する。　（１４０）はｘＹ子テーブル、Ｘ軸周モー
　９　（１４１）、Ｙ動用モータ（１４２）により、Ｘ
軸方向ガイド（１４３）及びＹ軸方向ガイド（１４４）
に沿って、平面方向に移動可能である。また該ＸＹテー
ブル（１４０）上に載置したウェハーテーブル（９）は
、図示しない駆動源により正逆回転可能である。

従って、突きとげ針装置（１４５）の上方位置に、所望
のウェハーシート（１４６）が位置することになる。＋
７エハーテーブル（９）は、４個あるために、少なくと
も１種以上４種以下の例えば夫々太ききが興なるウェハ
ーを扱えることになる。

次に一方の装着ヘッド（１４）について詳述する。

該ヘッド（１４）は、天板（１３）に支持された支持部
材（１５０）に支持されたボールネジ（１５１）に沿っ
テ第４３図に示す駆動モータ（１５４Ａ）によりＸ方向
の移動が可能であり、またガイド体＜　１５２）＜　１
５２）に沿って駆動モータ（１５４Ｂ）によりＸ方向の
移動が可能となる。略箱状を呈したヘッド本体（１５３
）内に配設された駆動モータ（１５４Ｃ）の出力軸プー
リ（１５５）とネジ軸（１５６）端部のプーリ（１５７
）との間にはベルト（１５８）が張設きれ、上下移動体
（１５９）がナツト体（１６０）によりガイド体（１６
１）を介して上下移動可能となる。

そして上下移動体（１５９）には、加圧用そ一タ（１６
２）とロックソレノイド（１６３）が固定されており、
該モータ（１６２）の出力軸にはバネ取付ピン（１６０
を有するレバー（１６５）が設けられている。前記ソレ
ノイド（１６３）のプランジャ（１６８）には取付ピン
（１６７）が突設され、上下移動体（１５９）に固定さ
れたＬ字形状の支持体（１６ｇ）に突設した取付ピン（
１６９）との間にはバネＡ（１７０）が張架されている
。

上下移動体（１５９）の軸受部（１７１）には支軸（１
７２）により揺動体（１７３）が回動可使とされ、該揺
動体（１７３）の上端部にはＵ字溝が切欠されて該溝に
前記取付ピン（１６７）が嵌合し、また揺動体（１７３
）の他端部には加圧ベアリング体（１７４）が設けられ
ている。

（１７５）はロータリジヨイント（１７６）に突設した
鍔体（１７７）を、前記加圧ベアリング体（１７４）と
で挾持する固定ベアリング体であり、前記支持体（１６
８）の端部に設けられている。前記揺動体（１７３）に
突設した取付ピン（１７８）と加圧用モータ（１８２）
の出力軸に固定されたレバー（１６５）に突設した取付
ピン（１６４）との間に張架されたバネＢ　（１７９）
により前記加圧ベアリング体（１７４）を下方へ付勢し
ている。

そしてこの加圧用モータ（１６２）の回転角度を制御す
ることにより、加圧ベアリング体（１７４、）によるロ
ークリジヨイント（１７６）及び固定ベアリング体（１
７５）への押圧力を可変とすることができる。このバネ
Ｂ（１７９）は、ペレット（１８ＱＡ）、（１８０Ｂ）
を基板（Ｐ）に装着する際の押しつけ圧力を加ｉるため
のものである。

また前記上下移動体（１５９＞に突設した取付ピン（１
＄１）とロータクジｎインド（１７８）から突設した取
付ピン（１８２）との間には、バランスバネＣ（１８３
）が張架され、該バネＢ（１８３）の弾性力と吸着ノズ
ル体（１８４）及び吸着コレット（１８５）の自重が略
等しくなるようにこの弾性力が設定されており、前記自
重の影響を除去している。

前記ロークリジヨイント（１７６）にはビン（１８Ｂ＞
が突設しており、このビン（１８６）に嵌合する係止片
（１８７）により該ジヨイント（１７６）自身の回転は
肪止されている。

吸着ノズル体（１８０は、ロータクジｎインド（１７６
）、ホース（１９０）、大きなペレット（１８０Ｂ）の
吸着有無検出に使用する真空スイッチ（１９１）等を介
して図示しない真空源と連結している。該吸着ノズル体
（１８４）は、上下ガイド体（１９２）内を上下動可能
であるが、該ノズル体＜１８４）の上部には面取部（１
９３＞が形成されて規制ベアリング（１９０により上下
ガイド体（１９２）内でのθ回転はできない、前記真空
スイッチ（１９１）は、真空源による吸引圧力が一定値
以上になった場合に作動し、吸着コレット（１８５）が
ペレットを吸着していないものと判断する。

また前記ヘッド本体（１５３）内には、駆動モータ（１
９５）が配設されその出力軸プーリ（１９６）と前記上
下ガイド体（１９２）周囲に固定されたプーリ（１９７
）間にはベルト（１９８）が張設され、前記モータ（１
９５）の通電によりベルト（１９８）を介して上下ガイ
ド体（１９２）がベアリング体（１９９）に案内されつ
つ回転し吸着ノズル体く１８０をもθ回転さすることに
なる。

該吸着ノズル体（１８０の下端には、吸着コレット（１
８５）がロック機構（２００）の施錠、解錠により着脱
可能に設けられる。

（２０１）は前記ヘッド本体（１５３）の側面に取付け
られたＤＣソレノイドで、そのプランジャ（２０２）に
は中間部が枢支された作動レバー（２０３）が回転可能
に連結している。　（２０４）はヘッド本体（１５３）
に上下に延びたガイドレール（２０５）に沿って上下動
可能な上下スライダーで、該スライダー（２０４＞に突
設したビン（２０６）とヘッド本体（１５３）上部に突
設したビン（２０７）との間にはバネＤ（２０８）が張
架きれ、該スライダー（２Ｇ４）を上方へ付勢している
。

そしてこのスライダー（２０４）には、カムフォロワー
（２１０）が設けられており、ヘッド本体（１５３）に
は上限ストッパ（２１１）及び下限ストッパ（２１２）
が設けられ前記作動レバー（２０３）がカムフォロワー
（２１０）に当接しているので、前記ソレノイド（２０
１）が励磁すると作動レバー（２０３）は反時計方向へ
回転してスライダー（２０４＞を押下げカムフォロワー
（２１０）がストッパ（２１２）に当接して停止し同様
に消磁すると作動レバー（２０３）が時計方向へ回転し
該レバー（２０３）が上限ストッパ（２１１）に当接す
るまでバネＤ（２０８）によりスライダー（２０４）を
押上げる。

従って発光素子（２１３）及び受光素子（２１４）を備
え且つ厚さが厚いが小さなペレット（１８０Ａ）の吸着
検出に使用する光電検知装置（２１５）を下端部に備え
ているので、この上下スライダー（２０４）の上下によ
り光電検知装ｆｆｉ！　（２１５）も上下することにな
る。

このため、検知装置（２１５）が下方位置にあるとき、
吸着コレット（１８５）が吸着しているペレット（１８
０Ａ）（１８０Ｂ＞の有無状態を検知でき、上方位置に
あるとき、吸着コレット（１８５）自体の有無状態を検
知できる。

（２Ｂ４Ａ）（２８４Ｂ＞は保持形の連動する切換スイ
ッチで、使用者が任意に切換えられる。　（２８５）（
２８６）は夫々オア回路、アンド回路で、制御装置であ
るマイクロ・コンピュータ（２８７）に接続されている
。

従って切換スイッチ（２８４Ａ）（２８４Ｂ）が、第４
３図に示すように設定しである状態では、前記真空スイ
ッチ（１９１）が光電検知装置（２１５）かのいずれか
が、ペレット「無し、を検知したら、予めペレット無し
カウンター（図示せず）に設定された回数Ｎだけピック
アップ動作を繰り返し、Ｎ回を越えると、マイクロ・フ
ンピユータ（２８７）はモータ駆動回路（２８８）を介
して各モータ（ＩＳＪＡ）（１５４Ｂ）（１５４Ｃ）を
制御して、装着ヘッド（１４）、　（１５）を復帰させ
た後当該装着装置の運転を停止すると共に報知手段（２
８９）により表示灯、ブザー等の視覚か聴覚に訴えて使
用者に知らせる。然る後使用者は、ペレットｒ無し」が
事実か否かの確認をし、事実でなければ真空スイッチ（
１９１）の作動レベルを１１１１したり、光電検知装置
（２１５）の高さ位！調整を行なって一回試運転きせる
か再運転させればよい。

また切換スイッチ（２８４Ａ）（２８４Ｂ）を切り換え
た場合には、真空スイッチ（１９１）及び光電検知装置
（２１５）の両方がペレット１無し」を検知した場合に
、アンド回路（２８６）を介してマイクロ・コンピュー
タ（２８７）が検知出力を受けて前述と同様に制御する
。

尚前記切換スイッチ（２８４Ａ）（２８４Ｂ）、オア回
路（２８５）、アンド回路（２８６）に代えて、同等の
機能をキー人力装置及びランダム・アクセス・メモリ（
ＲＡＭ）によって置換えることも可能であることは勿論
である。

次に前記吸着コレット（１８５）について説明すると、
該ノズル体（１８４）の下端部には、ロック機構取付部
（２１６）を形成し、該取付部＜２１６）にロック機−
構（２００）を設ける。そして該取付部（２１６）には
、中空の取付空間（２１８）が形成きれ前記吸着コレッ
ト（１８５）のアダプタ（２１９）が嵌合する。また取
付部（２１６）の両側部には軸受体（２２０）（２２０
）間に夫々ロック爪体（２２１）を配設してこれらを支
軸（２２２）が貫通し、ロック爪体（２２１）の夫々を
対向するように配設してバネ（２２３）によりその下端
が互いに近づくように付勢している。　（２２４）は取
付部（２１６）下面に突設した位置決めピンであり、後
述のＵ字溝（２２５）に嵌合可能である。

吸着コレット（１８５）は、前記取付部（２１６）の取
付空間（２１８）に嵌合するアダプタ（２１９）と、該
アダプタ（２１９）の下部には前記嵌合した際に前記取
付体（２１６）下面に当接するアダプタフランジ部（２
２６）と、ペレット（１８０＾）（１８０Ｂ）を直接吸
着する吸着部（２２７）とから構成きれる。前記フラン
ジ部（２２６）の両側部には、下部が内方へ凹んだ係止
部（２２８）が形成され、前記ロック爪体（２２１）の
下端が該係止部（２２ｇ）に入り込んでロックすること
になる。

次に吸着コレット交換装置（７）、（８）について述べ
るが、両者は同一構造であるため、一方（７）について
のみ述べる。該交換装置（７）は、大きく分けて取付板
（２３０）に対して図示しない駆動源により上下動可能
なツールストッカー（２３１）及びストッカー台（２３
２）と、所定間隔を存して複数のロック解除ピン（２３
３）を有するピン取付台（２３４）とから構成される。

前記ストッカー（２３１）及びストッカー台（２３２）
と、は、略同形状であり、両者は所定間隔を存して互い
に合致する取付孔（２３５）（２３６）が複数穿設きれ
ている。そしてストッカー（２３１）及びストッカー台
（２３２）に穿設した孔には２＊のフンプライアンスピ
ン（２３７）が遊嵌し、頭部（２３８）とフィルスプリ
ング（２３９）によりストッカー（２３１）及びストッ
カー台（２３２）は、該ストッカー台（２３２）の上面
に開設した溝内にあるスチールボール（２２９）を介し
て互いに圧接される。このポール（２２９）によってス
トッカー台（２３２）上をストッカー（２３１）が転が
れるようになる。前記コンプライアンスピン（２３７）
の径より該ピン（２３７）が嵌合する孔径をやや大きく
とることによって、吸着コレット（１８５）の着脱時の
吸着ノズル体（１８４）のセンターとストッカー（２３
１）に収納された吸着コレット（１８５）のアダプタ（
２１９）のセンターの芯ずれを吸収できる。

前記ピン取付台（２３４）から立設した夫々同長のロッ
ク解除ピン（２３３）は、前記ストッカー（２３１＞及
びストッカー台（２３２）を貫通している。

ストッカー（２３１）の取付孔（２３５）の上面側開口
周縁部の前後部には、吸着コレット支持台（２４０）が
立設され、夫々位置決めピン（２４１）（２４１）が突
設している。従って該交換装置（７）に吸着コレット（
１８５）が置かれている場合には、前記支持台（２４０
）上に前記フランジ部（２２６）が当接し、然も該フラ
ンジ部（２２６）の長手力向側の端部にはＵ字溝（２２
５）（２２５）が形成きれ、夫々位置決めピン（２４１
）（２４１）が該溝（２２５）（２２５）に嵌合し、該
コレット（１８５）のＯ回転を阻止する。

前記ピン取付台（２３４）は取付板（２３０）に取付け
られたシリンダー（２４２）により、ガイド（２４３）
（２４３）に軸杆（２４４）（２４４）が案内されなが
ら上下動が可能である。　（２４５）（２４５）は前記
ストッカー台（２３２）に設けられた軸受体で、該軸受
体（２４５）に所定間隔を存して複数の押え部材（２４
７）が固定された軸杆（２４６）が回動自在に支持され
ている。該押え部材（２４７）は略クランク形状を呈し
て一端部が前記アダプタフランジ部（２２６）に上面か
ら係合するもので、任意の押え部材（２４７）の他端部
には回動用駆動源としてのシリンダー（２４Ｂ）が連結
している。

尚前記ツールストッカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）に開設した複数の取付孔（２３５）（２３６）
の開設ピッチ、同じくロック解除ピン（２３３）が嵌合
する孔（図示せず）の開設ピッチ、ロック解除ピン（２
３３）の取付ピッチは全て同ピツチである。

次に突き上げ計装ｒｌｌ　（１４５）につい工詳述する
。

先ず図示しない駆動モータ及びその出力軸に設けられた
歯車と歯車（２５Ｇ）とが噛合しており、該歯車（２５
０）により回転ガイド（２５１）及び回転板（２５２）
が９０度正逆回転可能である。　（２５４）はシリンダ
ー（２５３）により上下動するベース体で、該ベース体
（２５４）に取付けられた回転ガイド軸受（２５５）に
案内されつつ前記回転ガイド（２５１）は回転可能であ
る。

そして回転板（２５２）には、　９０度異なった位置に
夫々第１のガイドレール（２５６）（２５７）に沿って
移動可能な第１の作動レバー（２５８）（２５９）及び
夫々第２のガイドレール（２６０）（２６１）に沿って
移動可能な第２の作動レバー（２６２）（２６３）が設
けられる。第２の作動レバー＜２６２）（２６３）には
、ガイド体（２６４）（２６５）が設けられている。一
方のガイド体（２６４）は、小さいペレット（１８０Ａ
）に対応するもので、そのステージ面（２６６）の外径
は小さく、吸着孔（２６７）の孔径も小さい、該ガイド
体（２６４）には、突き上げ針（２６８）を−上下動可
能とする案内通路（２６９）が中央部に形成され、また
４個開設された吸着孔（２６７）は夫々１つの集合室（
２７０）に連通した後１つの連通路（２７１）及び導管
（２７２）を介して真空源に連通している。

また他方のガイド体＜２６５）は、大きいペレット（１
８０Ｂ＞に対応するもので゛、そのステージ面（２７３
）の外径は前記ステージ面（２６６）のそれより大きく
、吸着孔（２７４）の孔径も前記吸着孔（２６７）のそ
れよりも大きい、そしてガイド体（２６５）には、例え
ば４本の突き上げ針（２７５）を上下動可能とする案内
通路（２７６）及び前記針（２７５）を支持する支持杆
（２７６）を上下動可能とする案内通路（２７７）が形
成され、また８個開設された吸着孔（２７４）は夫々１
つの集合室（２７９）に連通した後１つの連通路（２８
０）及び導管（２８１）を介して真空源に連通している
。

従って、該ガイド体（２６５）の結成引力は、ガイド体
（２６４）のそれよりも大きく設定しである。

そして、前記突き上げ針（２６８）及び支持杆（２７７
）の下部には、夫々フィルバネ（２８２）（２８３）が
巻装芒れた状態で第１の作動レバー（２５８）（２５９
）に夫々取付けられる。従ってこれらバネ（２８２）（
２８３）によって、両レバー（２５ｇ）＜２５９）、　
（２６２）（２６３）が離反するように付ｖｊきれる。

（２９０）（２９１）は下限ストッパで、第１の作動レ
バー　（２５８）（２５９）の係合部（２９２）（２９
３）が当接することにより該レバー（２５８）（２５９
）の下限が決定される。

即ち前記針（２６８）（２７５）の下限が決定されるこ
とによる。

そして、後述の上下ローラー＜２９４）により夫々第１
の作動レバー（２５８）、　（２５９）が上動したとき
に、バネ（２８２）、　（２８３）によって第２の作動
レバー（２６２）、　（２６３）も上動するが、上限ス
トッパーポル）　（２９５）（２９６）が上限ストッパ
（２９７）（２９８）に当接すると上動は制限される。

更に第１のレバー（２５８）。

（２５９）がバネ（２８２）、　＜２８３）に抗して上
動すると、針（２６８）（２７５＞は上昇し、ウェハー
シー）（１４８）のペレット（１８０Ａ）、　（１８０
Ｂ）を突き上げることになる。

（２９９）、　（３００）は押下げビンで、第１の作動
レバー（２５Ｂ＞、　＜２５９）が下降するときに第２
の作動レバー　（２６２）（２６３）も下降することに
なる。

一方、ベース体（２５４）の上部には駆動モータ（３０
１）が取付けられ、その出力軸プーリ（３０２）とネジ
軸（３０３）の上部のプーリ（３０４）との間にベルト
（３０５）が張設される。　（３０６）は前記ネジ軸（
３０３）を支持する支持体で、（３０７）は前記ネジ軸
（３０３）が嵌合し該ネジ軸（３０３）の回転により上
下する上下バーである。該上下バー＜３０７）は回転ガ
イド（２５１）の中空部に遊挿され、該バー（３０７）
端部の上下ローラー（２９４）が該バー（３０７）の上
動に伴ない第１の作動レバー（２５８）、　（２５９）
のいずれかを前述の如く上動させるものである。

（３０８）、　（３０９）は回転板ストッパで、夫々回
転板（２５２）に当接して、該回転板＜２５２）の停止
位置を確実なものとしており、このストッパ（３０８）
、　（３０９）に回転板（２５２）が当接する際の衝撃
を緩和するためにショックアブソーバが設けられている
。

そして第４０図に示すように、前記ガイド体（２６４）
、　（２６５）と真空源との間には、第１のフィルター
（３１０）、　（３１１）と、切換弁（３１２）、　（
３１３）と、該切換弁（３１２）、　（３１３）と真空
源との間に並列に接続される二又絞り弁（３１４）（３
１５）、　（３１６）（３１７）、第２のフィルター（
３１ｇ）（３１９）、　（３２Ｇ）（３２１）及びバル
ブ（３２２）（３２３）、　（ｓｚ４）（ａｚｊ＞とが
設けられる。

尚真空ＥＥ　（７）　ｍ　１１　ハ、二又絞す１３１４
）（３１５）。

（３１６）（３１７）の一方の大気に開放している弁（
３２６）（３２７）、　（３２８）＜３２９）の絞り具
合により決まる。

前記第１のフィルター（３１Ｇ）、　（３１１）は、吸
着孔（２６７）、　（２７４）から吸い込んだ塵埃を除
塵して、切換弁（３１２）、　（３１３）及び二又絞り
弁（３２６）（３２７）。

（３２８）（３２９）を保護し、第２のフィルター（３
１８）。

（３１９）、　（３２Ｇ）、　（３２１）は、前記二又
絞り弁（３２６）（３２７）、　（３２８）（３２９）
から吸い込んだ塵埃を除塵し、夫々パルプ（３２２）（
３２３）、　（３２４）（３２５）を保護する。

以上の構成により以下動作について説明する。

（ｉ）　　コンベア（２）幅の調整動作固定シュート（
２０Ｂ）に対する可動シュー）　（２０Ａ）の移動動作
について以下述べる０種々の大きさのプリント基板（Ｐ
）をコンベア（２）を搬送できるようにするために、先
ず駆動モータ（３８）によりベルト（３９）及び各プー
リ（４Ｇ＞（４１）を介してポールネジ体（３６）（３
７）を回転させる。するとす、ト体（３５）（３６）が
可動シュート＜２ＯＡ）と共に進退動するが、このとき
可動シュー（（２０Ａ）はスプライン軸（２７）に案内
されながら移頻することになる。従って両スプロケット
（１６）、　（１７）間に張設されたチェーン（１８Ｂ
）も移動するこ七になり、プリント基板（Ｐ）の送り方
向と直交する方向の幅に対応できることになる。

（ｉ）　　プリント基板（Ｐ）の搬送動作駆動モータ（
２１）が通電されると、ベルト（２３）を介してインデ
ックス装ｆ（２２）が働もさ、その出力軸プーリ（２４
）とプーリ＜２５）との間に張設されたベルト（２６）
により支軸（３２）（３３）を介して駆動スプロケット
（１６）（１６）が回転する。このため従動スプロケッ
ト（１７）（１７）も回転し、チェーン（１８Ａ）（１
８Ｂ）上、のプリント基板（Ｐ）は間欠的に搬送される
ことになる。

このとき、プリント基板（Ｐ）は、各係合片（１９）に
その上流側端部が係合した状態で、間欠的に搬送きれる
。

尚、駆動スプロケット（１６）の加工上の寸法誤差が送
り精度のバラツキにならないようインデックス装ｒ！ｔ
（２２）の１害１出しによって、該スプロケット（１６
）が１回転するようにし、このスプロケット（１６）の
１回転が間欠搬送の１ピツチとなるように該スプロケッ
ト（１６）、ブーりの歯数が決めである。

またローブ（６７Ａ）から前記チェーン（１８Ａ）（１
８Ｂ）上へプリント基板（Ｐ）の橋渡しは、先ず収納箱
（６８Ａ）内の最下位にある基板（Ｐ）を押出部材（６
９）により押出すことにより行なわれる。即ち押出部材
（６９）は、前記各係合片（１９）間に各基板（Ｐ）が
位置するように作動する。

前記押出部材（６９）が基板（Ｐ）を押出すと、この押
出動作開始に同期して各ブレーキ部材（６５Ａ）（６５
Ｂ＞により各吸引口（６６）を介して基板（Ｐ）の動き
に真空によってブレーキをかけるので、コンベア（１８
Ａ）（１８Ｂ）上に確実に安定した状態で乗り移れる。

而してこの乗り移った後は、前記押出動作終了に同°期
して真空源による吸引を解除する。

尚基板（Ｐ）の搬送中に何らかの事故が起きて、過負荷
状態となると、トルクリミッタ（６２）が慟らきその検
出板（６３）が軸方向に移動することになるので、一対
の光センサ−（６４）で過負荷状態を検出することがで
きる。このときには、当該駆動モータ（２１）を非通電
とすると共に図示し°ない報知手段で使用者にその旨を
報知する。従って使用者は、その事故の原因を取除けば
よい。

またこのようにしてプリント基板（Ｐ）の搬送は行なわ
れるが、経時変化等でチェーン（１８Ａ）が伸びて係合
片（１９）の停止位置がずれである許容範囲を越えた場
合には、センサー（４３）が係合片（１９）に遮光され
ず係合片（１９）の存在をｒ無し」と検知１゛ると、電
子部品装着装置全体を停止させる。この場合、作業者は
、手動でもってインデックス装置（２２）の軸を回し、
ずれ量を補正し、正規の位置に戻せばよい。

（ｉ）　　プリント基板（Ｐ）の位置決め動作そしてチ
ェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）により、位置決め装置（４
）の位置に到達したのが検知されると、駆動モータ（２
１）の通電は断たれプリント基板（Ｐ）の微速は停止す
る。

すると、モータ（７７）が通電されベルト（７９）を介
して軸杆（７２）が回転するので、各カム（７３）（７
４）（７５）も回転し、該カムの形状に合わせてカムフ
ォロワー（８Ｇ）（８１）（８２）を介して、各上下部
材（８６）（８７）（８８）は上下動することになる。

これによりプリント基板（Ｐ）の送り方向、この送り方
向と直交する幅方向、これらの方向と直交する垂直方向
の位置規制を行なう。

■　プリント基板（Ｐ）の送り方向の位置規制基板（Ｐ
）がこの位置決め位置に到達する前は、カムレバー（９
１）が上昇位置にあるため第８図に示す状態にある。

そして、モータ（７７）の通電により回転するクランプ
カム（７５）に合わせて、上下部材（８８）がバネ（１
１２）に抗して下降すると、バネ（９８）により可動ク
ランプ（９４）がバネ（９７）に抗して基準クランプ（
９３）が夫々回動してプリント基板（Ｐ）の送り方向の
位置規制が行なわれる。

即ち、ガイド（８５）に沿って上下部材（８８）が下降
すると、可動クランプ（９０は支軸（９６）を支点とし
基準クランプ（９３）は支軸（９５）を支点として夫々
回動する。このため、各クランプが基板（Ｐ）の上流側
端面及び下流側端面に当接することになる。

尚プリント基板（Ｐ）の送り方向の寸法が変更すする場
合には、チェーン（１８＾）（１８Ｂ）に載置する前に
、図示しない駆動源によりネジ軸（１０４）を回転させ
ることにより行なう、このネジ軸（１０４）が回転する
と、ポールネジ体（１０５）及び連結体（１０６）を介
してリニアガイド（１０１）に沿ってＸテーブル（１０
２）が移動する。このＸテーブル（１０２）には、可動
クランプ〈９４）を支持する可動体（１０３）が固定さ
れているので、基準クランプ（９３）に対して可動クラ
ンプ（９４）が遠ざかったり近づいたりすることができ
る。これにより、プリント基板（Ｐ）の送り方向の寸法
が変っても、対処できることになる。

■　プリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方向の
位置規制 基板（Ｐ）がこの位置決め位置に到達する前は、上下部
材（８６）及びカムレバー（８９）が上昇位置にあるの
で、バネ（１２３）に抗して幅寄せ部材（１２Ｇ）は第
１１図に示すような状態にある。

そして前記モータ（７７）の通電により回転する幅寄せ
カム（７３）の形状に合わせて上下部材（８６）が下降
する。このためバネ（１２３）によって幅寄せ部材（１
２０）は支軸（１１９）を支点として上部が基板（Ｐ）
側に回動する。この回動により基板（Ｐ）を可動ベアリ
ング体（１１６）とで挾持することになる。従って基板
（Ｐ）の幅方向の位置が規制されることになる。

尚この゛プリント基板（Ｐ）の送り方向と直交する幅方
向の寸法が変った場合には、前述の如く、駆動モータ（
３８）により可動シュート（２０Ａ）を移動きせ、固定
シュート（２０Ｂ）との間隔を拡開したり、狭めること
によって結果的にこれら幅寄せ部材（１２０）を移動さ
せればよい。

■　プリント基板（Ｐ）の垂直方向の規制基板（Ｐ）が
この位置決め位置に到達する前は、上下部材（８７）及
びカムレバー（９０）は第１３図に示すように下降位置
にあって、吸着用上下部材（８７Ａ）（８７Ｂ）の上面
はチェーン（１８Ａ）（１８Ｂ＞の上面よりわずかに高
いレベルにあり、各チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）の保
合片（１９）により基板（Ｐ）はチェーンから各上下部
材（８７Ａ）（８７Ｂ）の上面に乗り移って吸着される
。そしてコンベア（２）が停止したときにその吸着を停
止することになるが、この吸着によりコンベア（２）が
停止したときの慣性によってプリント基板（Ｐ）が移動
することは少ない。

そして前記モータ（７７）の通電により回転するりフト
カム（７４）の形状に合わせて、上下部材（８７）及び
カムレバー（９０）が上昇すると、プリント基板（Ｐ）
は、バネ（１３３）（１３３）により上昇する前記上下
部材（８７Ａ）（８７Ａ）によって押上げられる。この
ため基板（Ｐ）は、送り方向及びこの送り方向と直交す
る幅方向の位置規制がなされた状態で、基板押え＜１３
５＞（１３５）の係合部（１３６）＜１３６＞の下面に
当接した状態となる（第１４図参照）。

従って、この規制装置（１３０）によって、基板（Ｐ）
への部品実装面の位置を、該基板（Ｐ）の厚さに影響さ
れず常に一定とすることができる。

以上の基板（Ｐ）の各位置規制は、モータ（７７）の通
電により略同時に開始きれることになるが、送り方向の
位置規制、この送り方向とは直交する幅方向の位置規制
、これらの方向と直交する垂直方向の位置規制の順に終
了する。

（ｉｖ）　　ウェハーテーブル（９）等の動作前述のよ
うに位置規制された状態にあるプリント基板（Ｐ）にペ
レットを装着するわけであるが、この装着前にウェハー
デープル（９）上の所望ウェハーシート＜１４６）がス
テーション（Ａ）に移動するように、ウェハー支持台（
１１）を図示しない駆動源により正逆いずれかに回転さ
せる。

次にＸ軸周％−９（１４１）、Ｙ軸周モータ（１４２＞
により各ガイド（１４３）（１４４）に沿ッテ、ＸＹ子
テーブル１４０）及び支持台（１１）を平面方向に移動
させて、突き上げ針装置（１４５）のガイド体（２６４
）の上方位置に所望のウェハーシー）　（１４６）上の
ペレット（１８０Ａ）が位置するようにする。

そしてシリンダー（２５３）によりべ一体（２５４）を
上動きせ、前記ガイド体（２６４）をウェハーシート（
１４６＞に近接させる。その後駆動モータ（３０１）を
通電させ、各プーリ（３０２）（３０４）及びベルト（
３０５）を介してネジ軸（３０３）を回転きせ上下バー
（３０７）を上昇塾せる。すると該バー＜３０７）は、
第１の作動レバー（２５ｇ）を上昇させるので、バネ（
２８２）によって第２のレバー（２６２）も上昇するが
、ボルト（２９５）が上限ストッパ（２９７）に当接す
るので、この上動は制限される。

しかし、更に第１のレバー（２５ｇ）は上動するので、
突き上げ針（２６ｇ）は上昇する。従って第３６図に示
すように、真空源により導管＜２７２）、連通路（２７
１）及び吸着孔（２６７）を介して、ステージ面（２６
６）上に吸着したシート（１４６）を突き上げ、シート
（口６）面からペレット（１８０Ａ）を剥がすようにし
て装着ヘッド（４）の吸着部（２２７）とで保持する状
態として該吸着部（２２７）が確実にペレット（１８０
Ａ）を吸着する。

但し、このとき突き上げ針（２６８）は、その下限停止
位置から一気に突き上げるのではなく、ベレット吸着後
の吸着コレット（１８５）の上昇タイミングと同期をと
るために、先ず突き上げ針（２６８）上端がステージ面
（２６６）と同一レベルで待機して、しかるべきタイミ
ング信号でもって上昇して前記シート（１４６）を突き
上げる（第３６図参照）、このとき降下している吸着コ
レット（１８５）の吸着部（２２７）の下端部とでペレ
ット（１ＢＯＡ）を挾持しても、更に針（２６ｇ）は上
昇するので、装着ヘッド（１０の上下移動体（１５９）
が停止状態にあってもバネＢ　（１７９）に抗して吸着
ノズル体（１８４）を上昇させる。

この後突き上げ針（２６８）と吸着ノズル体（１８４＞
は、同期してペレット（１８０Ａ）を挟持した状態で共
に上昇する。そして、所定の上昇に到達した後は、前記
ノズル体（１８４）のみ上昇し、前記針（２６ｇ）は下
降し待機位置に戻る。

この吸着後は、前記駆動モータ（３０１）の回転を逆転
させ、上下バー（３０７）を下動させバネ（２８２）に
より第１の作動レバー（２５８）を下降させるので前記
針（２６８）は下降し、更に上下バー（３０７）が下動
すると、第２の作動レバー（２６２）も下降し、この突
き上げ針装置ｔ（１４５）はシリンダー＜２５３）によ
って下降することによって初期状態となる。

次に大きなペレット（１８０Ｂ）を装着したい場合には
、そのウェハーシート（１４６）がステージ５ン（Ａ）
に位置するように支持台（１１）を曲転させると共にＸ
Ｙデープル（１４Ｇ）及び支持台（１１）を平面方向に
移動させて１次の装着動作に備える。また突き上げ針装
置（１４５）の回転板（２５２）を９０度回転させる。

即ち、図示しない駆動モータに通電して、その出力軸に
設けられた歯車に噛合する歯車（２５０）により回転ガ
イド（２５１）及び回転板（２５２）を回転させ、回転
板ストッパ（３０８）に当接して停止位置を確実なもの
にしている。

従って、大きなペレット＜１８０Ｂ）用のガイド体（２
６５）がウェハーシート（１４６）の直下方に位置する
ことになる。

尚第４０図に示すように、ペレットをウェハーシー　）
　（１４６）から剥離する際に、ウェハーシート（１４
６）をステージ面（２８６）に吸着するための真空圧も
変更することができる。即ち比較的小さなペレット（１
ｇＯＡ＞の場合には、切換弁（３１２）を切換えること
によって、ニス絞り弁（３１４）、　（３１５）のいず
れかを選択して異なる真空圧で吸引でき、また比較的大
きなペレット（１８０Ｂ）の場合には、切換弁（３１３
）を切換えることによって、ニス絞り弁（３１６）、　
（３１７）のいずれかを選択して異なる真空圧で吸引で
きる。

従って、各ガイド体（２６４）、　（２６５）につき２
種類の真空圧を選択調整でき、各ウェハーテーブル（９
）（１０）上のウェハーの大きさの異なる種類に応じて
対応することができる。

例えば、前述の小さなペレット（１８０Ａ）を扱う場合
には、切換弁（３１２）を切換えて、ニス絞り弁（３１
４）を選択し、各パルプ（３２３）、　（３２４）、　
（３２５）を閉じ、パルプ（３２２）は開く、すると真
空圧は、例えば２５０１１１１８ｇとなる。またこのと
き、ガイド体（２６４）の吸着孔（２６７）を介して吸
い込んだ塵埃は第１のフィルター（３１０）で除塵され
、切換弁（３１２）及びニス絞り弁＜３１４）は保護さ
れる。更には、ニス絞９弁（３１４）の弁（３２６）か
ら吸い込んだ塵埃は第２のフィルター（３１ｇ）で除塵
され、パルプ（３２２）は保護される。このペレット（
１８０＾）より少許大きなペレットを扱う場合には、切
換弁（３１２）を切換えてニス絞り弁（３１５）を選択
して、真空圧を例えば３５０１１１１１ｇとする。

勿論大きなペレット（１８０Ｂ）を扱う場合には、切換
弁（３１３）を切換えて、ニス絞り弁（３２８）、　（
３２９）のいずれかを選択して、真空圧を例えば３００
ｆｆｌｌｌ　Ｈｇ。

４００ｍＨｇのいずれかに設定することができる。

（す）ペレットの装着動作 装着ヘッド（１４）は、駆動モータ（１５４Ａ）によっ
て回転されるボールネジ（１５１Ａ）によりＸ方向の移
動ができ、駆動モータ（１５４Ｂ）によって回転される
ポールネジ（１５１Ｂ）によりガイド体（１５２）（１
５２）に沿ってＸ方向の移動が可能となる。

従って、装着ヘッド（１４）は、ステーション（Ａ）、
に位置するウェハーシート（１４６）の吸着すべきペレ
ット＜１８ＯＡ）の上方位置まで移動でき、次いで吸着
コレット（１８５）を降下させることにより所望のペレ
ット（１８０Ａ）を吸着できる。この点につき以下詳述
する。

先ず駆動モータ（ｔｇ４ｃ）に通電して、各プーリ（１
５５）、　＜１５７）、ベルト（１５８）を介してネジ
軸（１５６）を回転させ、上下移動体（１５９）を降下
させる。すると、加圧用モータ（１６２）によりバネＢ
（１７９）によって、加圧ベアリング体（１７４）がロ
ータリジヨイント（１７６）及び固定ベアリング体（１
７５）に押圧しているので、吸着ノズル体（１８４）は
上下ガイド体（１９２）に沿ってウェハーシート（１４
６）まで降下する。このため、前述の如く突き上げ針装
置Ｉ！　（１４５）の針（２６８）と相撲ってペレット
（１８０Ａ）を確実に吸着できる。

そして、この吸着後は前記モータ（１５４Ｃ）の回転を
逆転させて、ネジ軸（１５６）により上下移動体＜１５
９）を上昇させるが、この上昇後はロックソレノイド（
１６３）を励磁させる。このため吸引されたプランジャ
（１６（ｉ）によりバネ（１７０）に抗して揺動（１７
３）を支軸（１７２）を支点として回動させる。従って
上下移動体（１５９）に固定された支持体（１６ｇ）に
設けられた固定ベアリング体（１７５）と加圧ベアリン
グ体（１７４）とで、ロータリジヨイント（１７６）の
鍔体（１７７）を挟持した状態にロックする。勿論この
ロック動作は、装着ヘッド（１４）の水平移動中に行な
われ、このロック動作後必要あらば吸着ノズル体（１８
４）のθ回転を行ない、ペレット＜１８ＯＡ）の平面方
向における向きを基板（Ｐ）への装着向きに合わせる。

即ち、駆動モータ（１９５）の通電により各プーリ（１
９６）、　（１９７）、ベルト（１９８）を介して、上
下ガイド体（１９２）及び規制ベアリング（１９４）に
よって吸着ノズル体（１ｇ４）はθ回転することになる
。

この吸着ノズル体（１８４）は、装着ヘッド（１４）の
水平方向の移動によって、前述のように位置規制された
状態にあるプリント基板（Ｐ）の上方位置まで移動し、
該基板（Ｐ）の所望位置にペレット（１８０＾）を装着
することができる。

即ち、前述の如く、モータ（１５４Ｃ）に通電して、上
下移動体（１５９）を降下させ、吸着ノズル体（１８４
）を基板（Ｐ）上まで降下させるがその途中で、前記ロ
ックソレノイド（１６３）を消磁させてロック動作を解
除する。

この装着時には、バネＢ　（１７９）によってペレット
（１ｇＯＡ）はプリント基板（Ｐ）に押圧きれることに
なる。従ってこの押圧力を変更したい場合には、加圧用
モータ（１６２）の回転角度を希望の値にデータ設定す
ることにより行なえる。

尚、前記吸着コレット（１８５）による吸着動作時に、
図示しない真空源による真空吸引動作が開始した場合に
、当該装着装置の全てを統轄制御するマイクロ・コンピ
ュータ（２８７）は、前記真空スイッチ＜１９１）、光
電検知装置（２１５）からの検知データをオア回路（２
８５）かアンド回路（２８６）を介して取り込む、そし
て、切換スイッチ（２８４Ａ）（２８４Ｂ）の状態によ
り少なくとも一方の検知データか両方の検知データの内
容がペレットｒ無し」であれば、予めベレット無しカウ
ンター（図示せず）に設定された回数Ｎだけ、ピックア
ップ動作を繰り返し、Ｎ回を越えると、装着ヘッド（１
４）、　（１５）を原点に復帰許せて、当該装着装置の
運転を停止すると共に使用者に報知手段（２８９）によ
って視覚か聴覚により使用者にその旨を報知する。従っ
て使用者は、ペレットｒ無し、が事実か否かの確認をし
、事実でなければ真空スイッチ（１９１）の作動レベル
を調整したり、光電検知装！　（２１５）の高さ位置調
整を行なって一回試運転させるか再運転させて、その調
整が適切か否かを確認する。適切でなければ、再度ｌｌ
ｌ整し、適切であれば通常運転を８行すればよい。

また装着ヘッド（１４）（１５）は、前記チェーン（１
８＾）（１８Ｂ）の各係合片（１９）の間隔の整数倍の
間隔を存して配設してあり、このためタイミング上同時
に両ヘッドがポンディング動作ができる。

（−）　　吸着コレット（１８５）の交換動作以上のよ
うに装着動作が行なわれることになるが、例えば次に装
着したいペレットが大きなベレット（１８０Ｂ）の場合
には、それに合った吸着コレット（１８５）に交換しな
ければならない、以下その交換動作について、第２５図
〜第３２図に基づいて説明する。

先ず第２２図に示すように、前述の如く吸着ノズル体（
１Ｂ４）及び吸着コレット（１８５）を降下させ、吸着
コレット交換装置（７）の吸着コレットが収納されてい
ないシールストッカー（２３１）の取付孔（２３５）上
方位置に移動させる。

次にシリンダー（２４２）の駆動によりピン取付台（２
３４）及び図示しない駆動源によりシールストッカー（
２３１）を上昇させる（第２５図参照）。

この後、π１記ノズル体（１８４）及びコレット（１８
５）を更に降下きせると、ロック爪体（２２１）、（２
２１）が「」ツク解除ピン（２３３）に当接して支軸（
２２２）、　（２２２）を支点として回動して開く（第
２６図参照）、このため、ロックが解除されることにな
るが、シリンダー　（２４８）によって外方に回動して
いた押え部材（２４７）がこのシリンダー（２４８）の
駆動により内方に回動してアダプタフランジ部（２２６
）を押える。

勿論、このときフランジ部（２２６）に形成されたＵ字
溝（２２５）内に支持台（２４０）上の位置決めピン（
２４１）（２４１）が夫々嵌合し、′Ａ′ｉ！コレット
（１８５）のＯ回転は防止される。

そして、第２７図に示すように駆動源によりストッカー
（２３１）を降下させると、アダプタ（２１９）は取付
空間（２１Ｂ＞から抜けて下がる０次に吸着ノズル体（
１８４）は前述のように上昇し、ピン取付台（２３４）
及びロック解除ピン（２３３）が下降する（第２８図参
照）、この後、吸着ノズル体（１８４）は、大きなペレ
ッ）（１８０Ａ）用の吸着コレット（１８５）の上方位
置まで移動して下降し、一方前記ピン（２３３）も上昇
する。従って、該ピン＜２３３）によってロック爪体（
２２１）（２２１＞が開く（第２９図参照）。

そしてシールストッカー（２３１）及びストッカー台（
２３２）が上昇し、吸着コレット（１８５）のアダプタ
（２１９）を前記取付空間（２１Ｂ）内に挿入する。こ
のとき取付部（２１６）下面の位置決めピン（２２４）
がアダプタフランジ部（２２６）のＵ字溝（２２５）内
に嵌合することにより、この挿入時のθずれを防止して
いる。

然る後、シリンダー（２４Ｂ）の駆動によって、押え部
材（２４７）を外方へ回動させる。

この後前記解除ピン（２３３）を降下させるので、ロッ
ク爪体（２２１）（２２１）がバネ（２２３）（２２３
）により内方へ回動し、係上部（２２８）内に入り込ん
でロックすることになる（第３１図参照）、そして吸着
ノズル体（１８４）及び吸着コレット（１８５）は上昇
し、前記押え部材（２４７）を今度は内方へ回動させ、
ストッカー（２３１）及びストッカー台（２３２）を下
降させることによって、吸着コレラ１．（１８５）の交
換動作が終了する。

この吸着コレット（１８５）の交換により、大きなペレ
ット＜１８０Ｂ＞の装着に対応できることになる。

次にこの吸着コレット（１８５）の交換が確実に行なわ
れたか否かの確認動作について述べる。

先ずＤＣソレノイド（２０１）が励磁している状態では
、バネＤ（２０８）に抗して作動レバー（２０３）かカ
ムフォロワー（２１０）を介して上下スライダ（２０４
）を下方に押圧しており、前記フォロワー（２１０）が
下限ストッパ（２１２）に当接して係止している状態に
あるため、光電検知装置（２１５）は吸着コレット（１
８５）がペレット（１８０Ａ＞、　（１８０Ｂ）を吸着
しているか否かの検知を行なっている。しかし、前述の
コレット（１８５）の交換が行なわれたか否かの確認を
ｒる場合には、前記ソレノイド（２０１）を消磁させれ
ばよい、即ち、この消磁によって上下スライダ（２０４
）はバネＤ　（２０８）により上界し、作動レバー（２
０３）が上限ストッパ（２１１）に当接して係止する状
態となり、第１９Ｂ図に示すように光電検知装置（２１
５）は吸着コレット（１８５）の存在を確認できる。

仮に、存在「無、を検知すると、以後の動作を中止する
と共に、使用者に図示しない報知手段により報知する。

以上のように装着動作が行なわれると、位置決め装置（
４）の各動作を停止する。即ち、前記モータ（７７）を
再び通電して、幅寄せカム（７３）、リフトカム（７４
）及びクランブカムク７５）を回転させ、カッ、し／＜
　−（９１）（８９）を上昇させると共にカムレバー（
９０）を降下させ、また吸着用上下部材（８７Ａ）。

（８７Ａ）の吸着孔（１３７）を介するプリント基板（
’Ｐ）の吸着を止めるように真空源による吸引を止めて
大気圧に戻し前記モータ（７７）を非通電とし、初期状
態に戻す、また然る後、駆動モータ（２１）に通電して
プリント基板（Ｐ）をチェーン（１８Ａ）　（１８Ｂ）
によって下流に搬送する。

（ｖｉ）　　プリント基板（Ｐ）の反転動作このように
して、装着後のプリント基板（Ｐ）は下流に搬送されて
、第４１図に示すように図示しないエレベータにより昇
降可能な収納箱（６８Ｂ）に逐次収納される。この収納
箱（６８Ｂ＞は前述のローダ（６７Ａ）の収納箱（６８
Ａ）と全く同一構造である。従ってローダ（６７Ａ）の
収納箱（６８Ａ）内のプリント基板（Ｐ）の全てが、装
着し終ってアンローダ（６７Ｂ）の収納箱（６８Ｂ）内
に収納されることになる。

ここで、プリント基板（Ｐ）によっては、多数のペレッ
トを装着しなければならないものがあり、この場合再度
チェーン（１８Ａ）（１８Ｂ）に載せて装着する必要が
ある。この場合、プリント基板（Ｐ）が収納されている
収納箱（６８Ｂ）と収納されていない収納箱（６８Ａ）
とを交換し、夫々ローダ（６７Ａ）、アンローダ（６７
Ｂ）にセットすればよい。

この場合、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準側
が反対側となってしまうが、反転装置（３）により平面
方向に於いて反転させればよい、以下詳述する。

前述のようにロー・ダ（６７Ａ＞からチェーン（１８Ａ
）（１８Ｂ）上に基板（Ｐ）が位置して、間欠搬送され
て、反転装置１（３）の直上方位置に来たら、搬送の駆
動源である駆動モータ（２１）の通電を停止してシリン
ダー（５６）を駆動する。すると揺動部材（５５）が回
動しガイド（４８）によって上下杆（４９）を上動させ
ると共に、図示しない・真空源によりデユープ（６１）
、上下杆（４９）の真空通路（５９）及び押上体（５０
）の吸引路（５８）を介して、押上体（５０）の上面に
プリント基板（Ｐ）を吸着しつつ上昇きせる。然る後、
モータ（５３）に通電してプーリ（５４）、　（５２）
及びベルト（５１）を介して平面方向に於いて１８０度
分押上体く５０）を回転させる。

この後前記シリンダー（５６）の駆動を停止して、前記
揺動部材（５５）を初期状態に戻して押上体（５０）を
降下させる。このとき、前記真空源による吸引を解除し
て大気圧に戻すから、プリント基板（Ｐ）はチェーン（
１８Ａ）（１８Ｂ＞上に＠置され、再び搬送用の駆動モ
ータ（２１）に通電して、１８０度反転されたプリント
基板（Ｐ）を再び搬送して、前述のように位置決めし、
所望のペレットを装着すればよい。

従って、プリント基板（Ｐ）の位置決めの際の基準側が
、最初に搬送位置決めしたときと同じ側となるから、装
着精度が向上する。

尚プリント基板（Ｐ）の搬送方向と直交する幅寸法が変
更した基板（Ｐ）を流す場合には、Ｘ軸層モータ（４４
）、Ｙ動用モータ（４５）を駆動して、ＸＹテーブル（
４６）を移動させ、その相互の間隔が変更したチェーン
（１８Ａ）（１８Ｂ）のその丁度中間位置に前記押上体
（５０）を移動することにより対処できる。

（ト）発明の効果　゛ 以上のように本発明は、装着ヘッドには吸着コレットに
形成ξれた係合部に係合することにより該コレットを保
持する開閉可能な爪を設け、また予備の吸着コレットを
保管するストッカーには前記爪に当接し工該爪を開く制
御部材を設けたから、従来のような板バネで吸着コレッ
トを保持する構造の場合に生ずる該バネ及びその係合凹
部の摩耗により部品装着精度が悪くなったりすることが
なくなり、また吸着コレットの着脱・保持が確実に行な
える。

【図面の簡単な説明】

第１図は電子部品装着装置の平面図、第２図は同装着装
置の固定シュートの内側がら奥行方向を見た正面図、第
３図は同装着装置の微速部の右側面図、第４図はチェー
ン（１８Ａ）の部分正面図、第５図は第１図のｘ−ｘ’
断面図、第６図は第１図のＹ−Ｙ　’断面図、第７図は
送り方向の規制位置決めを行なう装置（９２）の正面図
、第８図は同装置（９２）の作動待機状態の正面図、第
９図は同装置（９２）による送り方向の寸法が長いプリ
ント基板（Ｐ）の位置決め状態を示す正面図、第１０図
は位置決め装置（４）の平面図、第１１図は第１図の２
−２′断面図でプリント基板（Ｐ）の幅方向の位置決め
油の状態を示す要部断面図、第１２図は同じ（プリント
基板（Ｐ）の幅方向の位置決め状態を示す要部断面図、
第１３図は第１図のｖ−ｖ’断面図で規制装置（１３０
）による位置決め前の状態を示す要部断面図、第１４図
は同じく規制装置（１３０）による位置決め状態を示す
要部断面図、第１５図は基板の送り方向とは直交する幅
方向の位置を規制する装置を取除いた状態の部分平面図
、第１６図は装着ヘッドの一部断面仕る正面図、第１７
図は装着ヘッドの縦断右側面図、第１８図は装着ヘッド
の一部切欠せる平面図、第１９Ａ図は装着ヘッドの一部
切欠せる右側面図、第１９Ｂ図は上下スライダーが上昇
した状態の装着ヘッドの一部切欠せる右側面図、第２０
図は吸着ノズル下端部を縦断した状態及び吸着コレット
の正面図、第２１図は吸着ノズル下端部の左側面図、第
２２図は吸着ノズル交換装置の縦断正面図、第２３図は
同交換装置の平面図、ｔｇ２４図は同交換装置の左側面
図、第２５図乃至第３２図は吸着フし・ットの交換動作
を示す図、第３３図は小さいペレットを扱う場合の突き
上げ針装置の正面図、第３４図は第３３図の右側面図、
第３５図は大きいペレットを扱う場合の同装置の正面図
、第３６図は小さいペレット用の突き上げガイドの縦断
面図、第３７図は同ガイドの平面図、第３８図は大きい
ペレットを扱う場合の突き上げガイドの縦断面図、第３
９図は同ガイドの平面図、第４０図は突き上げに必要な
吸引回路図、第４１ｒｙＪは本発明装着装置の模式図で
あって反転装置の動作を示す図、第４２図は反転装置の
動作説明図、第４３図は吸着コレットがペレットを吸着
したか否かの検出に係るブロック図を夫々示す。 （１８０＾）＜１８０８＞・・・ペレット、（１８５）
・・・吸着コレット、（２１ｇ）・・・取付空間、（２
１９）・・・アダプタ、（２２１）・・・ロック爪体、
（２２３）・・・バネ、（２２ｇ）・・・係止部、（２
３１）・・・ストッカー、（２３３）・・・ロック解除
ピン、（２４７）・・・押部材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）　電子部品の種類に応じて吸着コレットを自動的
   に交換する電子部品装着装置のコレット交換装置に於い
   て、装着ヘッドには前記吸着コレットの上部と着脱可能
   に嵌合しあう嵌合部を形成すると共に前記吸着コレット
   に形成された係合部に係合することにより該コレットを
   保持する開閉可能な爪を設け、一方予備の吸着コレット
   を保管するストッカーには前記爪に当接して該爪を開く
   制御部材と予備の吸着コレットの保持及びその解除を制
   御する保持部材とを設けたことを特徴とする電子部品装
   着装置のコレット交換装置。