CN101261950B - 物品处理设备及其控制方法 - Google Patents

Abstract

一种物品处理设备，具备：沿着移动路径而移动并具有物品保持部的物品搬送体；用于临时放置物品的一对的物品载置体。各物品载置体构成为在突出位置和退回位置之间变位。在想要将由物品保持部保持的搬入用的物品交给物品搬出搬入部时物品搬出搬入部中存在搬出用的物品的情况下，在将搬入用的物品临时放置在一对的物品载置体的一方上之后，将位于物品搬出搬入部中的搬出用的物品临时放置到一对的物品载置体的另一方上。

Description

物品处理设备及其控制方法

技术领域

本发明涉及一种物品处理设备，设置有：沿着经由与物品处理装置相对应而配置的物品移载位置的移动路径自如移动的物品搬送体、和升降自如地设置在上述物品搬送体上而在保持物品的保持状态和解除物品的保持的解除状态之间切换自如的物品保持部，运转控制机构构成为，在对上述物品处理装置的物品搬出搬入部进行物品的搬出或者搬入时，控制上述物品搬送体的行进动作而使其停止在上述物品移载位置，并且在向上述物品搬出搬入部给出物品或者从上述物品搬出搬入部取出物品时，控制上述物品保持部的升降动作以及上述物品保持部的上述保持状态和上述解除状态之间的切换动作。

背景技术

作为上述那样的物品处理设备的现有例有下述设备：用于临时放置物品(temporarily store an article)的物品载置体，为了对停止在物品移载位置的物品搬送体交接(接受给出)物品而被设置在移动路径的一侧附近，在物品搬送体上设置使升降体向移动路径的侧方附近横向移动的横向移动操作机构，物品搬送体在停止于上述物品移载位置的状态下对物品载置体进行物品的给出以及接受，上述运转控制机构构成为，控制上述横向移动操作机构的横向移动操作动作、上述物品保持部的升降动作、和上述物品保持部的上述保持状态与上述解除状态的切换动作，以便当在上述物品搬出搬入部中存在有搬出用的物品的状态下要向上述物品搬出搬入部给出保持的搬入用的物品时，在将保持的搬入用的物品临时放置物品载置体上后，位于上述物品搬出搬入部中的搬出用的物品将向目标搬送位置搬送(例如，参照特开2006-54389号)。

在上述以往的物品处理设备中，物品搬送体，在向目标搬送位置搬送位于上述物品搬出搬入部的搬出用的物品后，必须再次返回临时放置的搬入用的物品搬送体所配置的位置。

此外，在上述文献中公开有下述内容，即在物品搬出搬入部的附近设置多个临时放置用的物品载置体，并控制物品搬送体的动作，以便在临时放置搬入用的物品后，向与临时放置搬入用的物品的物品载置体不同的其他的物品载置体临时放置位于物品搬出搬入部的搬出用的物品，然后，向物品搬出搬入部给出的临时放置的搬入用的物品。

通过这样地在物品移载位置附近设置多个物品临时放置用的物品载置体，即便在物品搬出搬入部中存在有搬出用的物品的状态下，也能借助保持有搬入用的物品的搬送体将搬入用的物品给出到物品搬出搬入部，并且实现基于物品搬送体物品的处理方式的多样化。

在上述以往的物品处理设备中，在物品搬出搬入部的附近设置多个临时放置用的物品载置体时，据在上述文献中参照的特许第3067656号公报的图9的记载，考虑在物品搬送体的移动路径方向上在物品处理装置的物品搬出搬入部的前方和后方的位置上配置物品载置体。

但是，上述以往的物品处理设备，由于在移动路径的单侧附近的一处或者移动路径方向上前后不同的多处设置临时放置用的物品载置体，所以存在如下的问题。

在移动路径的单侧附近的一处上设置临时放置用的物品载置体时，如上述那样，为了向物品搬出搬入部给出临时放置的搬入用的物品，必须没有保持物品的物品搬送体向物品移载位置行进。这时，临时放置了搬入用的物品的物品搬送体在结束其他的处理后进行应对，或者其他的物品搬送体进行应对。任意一种情况下，为了向物品搬出搬入部给出被临时放置的搬入用的物品而发生对该物品处理装置的重新的物品搬送指令，所以限定数量的物品搬送体之中能够分配对其他的物品处理装置的物品搬送指令的物品搬送体减少，所以对多个的物品处理装置而言并行地进行处理的能力降低，整体的搬送效率恶化。

此外，在移动路径的单侧附近移动路径方向的前后不同的多个位置上设置临时放置用的物品载置体时，若向例如在移动路径方向上位于上游侧的物品载置体中临时放置搬入用的物品，则为了将临时放置的搬入用的物品给出到物品搬出搬入部，运转控制控制机构如下地控制物体搬送体的动作。

即，运转控制机构如下的控制物品搬送体的动作：在停止在相对于上游侧的物品载置体的停止位置的状态下，将搬入用的物品临时放置在该物品载置体上，然后，前进移动到物品移载位置而接受位于物品搬出搬入部的搬出用的物品，然后，前进行进到相对于下游侧的物品载置体的停止位置，并且在停止于这个停止位置的状态下将搬出用的物品临时放置在下游侧的物品载置体上。接着，后退行进或者再次绕回行进到与搬入用的物品所临时放置的上游侧的物品载置体相对应的停止位置，并且在停止于这个停止位置的状态下取出临时放置在上游侧的物品载置体上的搬入用的物品，然后，前进行进到物品移载位置而向物品搬出搬入部给出搬入用的物品。

这样，当在移动路径的单侧附近在移动路径方向上前后不同的多个位置上设置临时放置用的物品载置体时，与进行搬入用的物品的临时放置、搬出用的物品的临时放置、搬入用的物品的取出、搬入用的物品的交接的各个处理时物品搬送体的行进动作相伴，到最终地向物品搬出搬入部给出搬入用的物品需要很长的时间，所以使得搬送效率恶化。

此外，在以往的物品处理设备中，在物品载置体上临时放置物品时，要使物品保持部位于被配置在移动路径的单侧附近的物品载置体位置上而使其升降动作，并且由于借助横向移动操作机构使物品保持部水平移动操作所以需要避免物品保持部的水平移动操作结束之后的摇动的影响，为此，有时直到令临时放置作业用升降位置的物品保持部的升降动作开始之前需要既定的待机时间，由此，对物品搬出搬入部相对应的物品的搬出搬入所需的时间有可能变长。

发明内容

本发明是鉴于上述实际情况而提出的，其目的在于提供一种物品处理设备，可借助多样的处理方式处理对于物品搬出搬入部的物品的搬出搬入，并且能够迅速地进行处理。

本发明所述的物品处理设备具备：

沿着经由与物品处理装置相对应而配置的物品移载位置的移动路径而移动的物品搬送体；

升降自如(movable vertically)地设置在上述物品搬送体上的物品保持部，该物品保持部构成为在保持物品的保持状态和解除物品的保持的解除状态之间切换；

运转控制机构，该运转控制机构如下地构成：在对上述物品处理装置的物品搬出搬入部进行物品的搬出或者搬入时，控制上述物品搬送体的行进动作以使其停止在上述物品移载位置，并且，在向上述物品搬出搬入部给出物品或者从上述物品搬出搬入部取出物品时，控制上述物品保持部的升降动作以及上述物品保持部的上述保持状态和上述解除状态之间的切换动作。物品处理设备进而具有用于临时放置(temporarily store)物品的一对的物品载置体，各用于临时放置物品的物品载置体构成为，在为了与停止在上述物品移载位置的上述物品搬送体交接物品而向上述移动路径侧突出的突出位置、和向从上述移动路径分离侧退回的退回位置之间变位，上述物品搬送体，在停止于上述物品移载位置的状态下对位于上述突出位置的上述物品载置体进行物品的交接。上述运转控制机构构成为：控制上述物品保持部的升降动作以及上述物品保持部的上述保持状态和上述解除状态之间切换动作，并且，控制一对的上述物品载置体的进退动作，以便在要将由上述物品保持部保持的搬入用的物品给出到上述物品搬出搬入部时在上述物品搬出搬入部中存在有搬出用的物品的情况下，将上述搬入用的物品临时放置在一对的上述物品载置体的一方上，然后，将位于上述物品搬出搬入部中的搬出用的物品临时放置在一对的上述物品载置体的另一方上，接着，将上述搬入用的物品给出到上述物品搬出搬入部。

对于与该结构相对应的控制方法，包含在要将由上述物品保持部保持的搬入用的物品给出到上述物品搬出搬入部时在上述物品搬出搬入部中存在有搬出用的物品的情况下，将上述搬入用的物品临时放置在一对的上述物品载置体的一方上，然后，将位于上述物品搬出搬入部中的搬出用的物品临时放置在一对的上述物品载置体的另一方上的工序、和将上述搬入用的物品给出到上述物品搬出搬入部的工序。

从而，在物品搬出搬入部中存在有在搬出用的物品的状态下要将保持的搬入用的物品给出到物品搬出搬入部时，只要为了向物品搬出搬入部给出搬入用的物品而使物品搬送体行进到物品移载位置，然后，不使物品搬送体行进，即能够处理下述各作业，即将保持的搬入用的物品临时放置在一对的物品载置体的一方上、将位于物品搬出搬入部位置的搬出用的物品临时放置在一对的物品载置体的另一方上、以及将临时放置的搬入用的物品给出到物品搬出搬入部的作业，由于不伴随物品搬送体的行进动作，相应地可迅速地处理对物品搬出搬入部的物品的搬出搬入。

此外，因为物品保持部升降自如地设置在物品搬送体上，所以若物品搬送体停止在物品移载位置，则物品保持部的升降路径确定。而且，在物品搬送体停止于物品移载位置之后，能够在物品搬送体不行进动作的状态下向物品载置体进行物品的临时放置、及对物品搬出搬入部的物品的交接，所以维持物品搬送体停止的状态。因此，在向物品载置体进行物品的临时放置，及对物品搬出搬入部的物品的交接时，可稳定地令物品保持部升降动作。

在此，在将物品临时放置在物品载置体上时，要求高精度地载置在物品载置体的既定的位置上。但是，在如以往那样地在临时放置作业中伴随有物品保持部的横向移动时，物品保持部相对物品载置体的位置有可能摇动而不稳定，为了将物品高精度地载置到物品载置体的既定的位置上，必须采取例如待机到摇动停止等，与由物品保持部的横向移动引起的摇动相对应的对策，不能迅速地进行物品的临时放置。同样的，在借助物品保持部保持临时放置在物品载置体上的物品时，也必须采取与物品保持部相对于物品的载置体的位置的摇动相对应的对策，无法借助物品保持部迅速地保持物品。

与此对应，根据本发明，在将物品临时放置在物品载置体上时，物品保持部只通过升降动作即可将物品载置在位于突出位置的物品载置体上，所以可使令物品保持部升降动作时的物品保持部相对于位于突出位置的物品载置体的位置稳定。因此，即使不采取待机到物品保持部相对于物品载置体的位置稳定等对策，也可将物品高精度地载置在物品载置体的既定的位置上，可迅速且精准地临时放置物品。此外，在借助物品保持部保持临时放置在物品载置体上的物品时也同样，即使不采取待机到物品保持部相对于物品载置体的位置稳定等对策，也可利用物品保持部迅速且精准地保持物品。

从而，可得到一种物品处理设备，能够借助多样的处理方式处理对物品搬出搬入部的物品的搬出搬入，同时可迅速地进行处理。

在本发明的实施方式中，优选上述运转控制机构如下地构成，即控制上述物品保持部的升降动作以及上述物品保持部的上述保持状态和上述解除状态之间的切换动作、上述物品载置体的进退动作、以及上述物品搬送体的行进动作，以便在向上述物品搬出搬入部给出上述搬入用的物品之后，向目标搬送位置搬送临时放置的上述搬出用的物品。

对于与该特征结构相对应的控制方法，包含在向上述物品搬出搬入部给出上述搬入用的物品之后，向目标搬送位置搬送临时放置的上述搬出用的物品的工序。

根据该实施方式，向物品搬出搬入部给出了搬入用的物品而成为没有保持物品的状态的物品搬送体向目标搬送位置搬送临时放置的搬出用的物品，所以在向目标搬送位置搬送临时放置的搬出用的物品时，不用令没有保持物品的其他的物品搬送体行进动作到物品移载位置，而利用位于该物品移载位置的物品搬送体即可向目标搬送位置搬送物品。

因此，可向目标搬送位置迅速地搬送被临时放置的搬出用的物品，并且，能够尽可能地防止物品搬送体在没有保持物品的状态下进行行进动作，可实现运转效率的提高。

这样，可得到一种物品处理设备，能够借助多样的处理方式处理对物品搬出搬入部的物品的搬出搬入，并且可迅速地进行处理，而且，可实现运转效率提升。

在本发明的实施方式中优选为，在停止于上述物品移载位置的状态下，将上述物品载置体进退操作到上述突出位置和上述退回位置的进退操作机构设置在上述物品搬送体上，上述运转控制机构为了上述物品载置体的进退动作而控制上述进退操作机构的动作。

控制机构，能够通过控制设置在物品搬送体上的进退操作机构的动作而将物品载置体进退操作到突出位置和进退位置，所以不用在各个物品载置体上设置用于供给进退操作用电力的供电机构、及用于发出控制指令的指令传递机构。因此，可实现物品处理设备的结构的简易化。

在本发明的实施方式中优选为，一对的上述物品载置体的一方被设置在上述移动路径的左右侧方的一方的附近，一对的上述物品载置体的另一方被设置在上述移动路径的左右侧方的另一方的附近。

因为一对的物品载置体被设置在移动路径的侧方的附近，所以可使一对的物品载置体的各自的高度相同。通过使各自的物品载置体的高度相同，可使物品保持部的升降位置在想要对一方的物品载置体临时放置物品时、和想要对另一方的物品载置体临时放置物品时相同。此外，同样地，可使物品保持部的升降位置在想要保持临时放置于一方的物品载置体的物品和保持临时放置于另一方的物品载置体的物品时相同。

因此，通过在移动路径的两侧附近设置物品载置体，将对于各物品载置体的升降位置共通化，可实现物品保持部的升降控制内容的简易化。

在本发明的实施方式中优选为，上述移动路径由顶上的轨道形成，上述物品搬送体是沿着上述轨道移动地构成的移动车，在上述移动车中设置有具有柔性部材的升降操作机构，上述物品保持部借助上述升降操作机构，经由上述柔性部材而在上升位置和下降位置之间自如升降。

在本发明的实施方式中优选为，上述移动车在其行进方向上具备前面的纵框体和后面的纵框体，上述上升位置是上述物品保持部配置在上述前面和后面的框体之间的位置，上述下降位置是适合向配置于地上的上述物品搬出搬入部中载置物品的位置。

在本发明的实施方式中优选为，上述物品载置体配置在与位于上述上升位置的上述物品保持部大致相同的高度，以便上述物品载置体能够利用上述物品载置体向上述突出位置实质地水平地移动而从上述物品保持部接受物品。

附图说明

图1是物品处理设备的俯视图。

图2是移动车和工位的侧视图。

图3是移动车的侧视图。

图4是移动车的纵剖主视图。

图5是物品载置体的立体图。

图6是在退回位置处的物品载置体的立体图。

图7是在突出位置处的物品载置体的立体图。

图8是在退回位置处的物品载置体的俯视图。

图9是在突出位置处的物品载置体的俯视图。

图10是表示指示其他的物品的移动路径的一例的示意图。

图11是表示同时指示取出搬入指令以及搬出保管指令时的物品的移动路径的一例的示意图。

图12是表示同时指示取出搬入指令以及搬出保管指令时的物品的移动路径的一例的示意图。

图13是表示同时指示取出搬入指令以及搬出保管指令时的台车用控制部的控制动作的流程图。

具体实施方式

根据附图说明本发明的物品处理设备的实施方式。

该物品处理设备如图1以及图2所示，以经由多个对于物品处理装置1的物品移载位置的状态设置作为移动路径的导轨2，并设置作为沿着该导轨2自如移动的物品搬送体的移动车3。而且，以收纳半导体基板的容器5为物品，移动车3在多个物品处理装置1之间搬送容器5。

在各物品处理装置1中，对于半导体基板的制造中途的半成品等进行既定的处理。多个物品处理装置1以半导体基板的制造工序的顺序以第1处理装置1a、第2处理装置1b、第3处理装置1c的顺序沿着导轨2设置，各物品处理装置1所具备的工位7的各自(第1工位7a、第2工位7b、第3工位7c)位于导轨2的稍下方。

上述移动车3，升降自如地具有在吊下的状态下保持容器5的保持部4(以下简称作保持部4)。上述保持部设置为在移动车3停止的状态下，利用卷取或者放出绳索6而在位于接近移动车3的上升位置、和与设置在比移动车3靠下方侧的工位7进行物品移载的下降位置之间自如升降。即，图2中，右侧表示保持部4从上升位置下降到下降位置的情况，左侧表示令保持部4从下降位置上升到上升位置的情况。

上述工位7，由载置支承容器5的载置台构成。而且，工位7用于从移动车3接受要由物品处理部1进行既定处理的容器5或者将被物品处理部1进行了既定处理的容器5交给移动车3，相当于本发明的物品搬入搬出部。

而且，移动车3，在令保持部4位于上升位置的状态下沿导轨2移动，并在停止在与多个工位7对应的物品移载位置中与移载对象的工位7对应的物品移载位置位置的状态下令保持部4在上升位置与下降位置之间升降，由此进行与工位7之间的容器5的交接或接受。

上述导轨2，如图2～4所示，借助导轨用托架8而以固定状态设置在顶板部上。上述移动车3，通过前后的连结部10、11连结位于导轨2的内侧空间部中的上方车体9和位于导轨2的下方的下方车体12。

上述上方车体9以与设置在导轨2的内侧空间部中的磁铁13邻接对置的状态具有一次线圈14。而且，上方车体9是借助由磁铁13和一次线圈14构成的线性马达而得到推进力的线性马达式，移动车3借助该推进力沿导轨2移动。

在上述导轨2的内侧空间部中，形成有相对于上方车体9所具有的行进轮15的行进引导面16、和相对于上方车体9所具有的防振轮17的防振引导面18。

此外，在导轨2上设置供电线19，在上方车体9上设置配电线圈20，借助交流电流的通电令供电线19产生磁场，借助该磁场在配电线圈20上产生移动车3侧所必需的电力，在无接触状态下进行供电。

在该实施方式中，作为驱动上方车体9的方式，例示了借助线性马达而得到推进力而进行驱动的线性马达式，但也可采用例如通过设置驱动行进轮15旋转的电动马达并借助该电动马达驱动行进轮15旋转而驱动上方车体9的方式。

上述下方车体12，包括在移动车3的前后方向延伸的前后框体21、从前后框体21的前端位置以及后端位置向下方侧延伸的前后一对的纵框体22。而且，下方车体12，在侧视图中形成为下方侧敞开的コ字形，在前后方向的中央部配置保持部4。

上述保持部4设置在相对于上方车体9自如升降的升降体23上，该升降体23被支承为被设置在前后框体21上的升降操作机构24自如地升降操作。

上述升降操作机构24将四根绳索6卷绕在借助滚筒驱动用马达25而自如转动的旋转滚筒26上而构成。而且，升降操作机构24令旋转滚筒26正反旋转而同时卷取以及放出四根绳索6，由此一边将升降体23维持在大致水平姿势一边进行升降操作。也可例取代绳索6而使用带。绳索及带被称为柔性部件。

在上述保持部4上，设置保持容器5的凸缘5a的一对的保持件4a。而且，一对的保持件4a构成为借助保持动作用马达27的正反转而在向相互接近的方向摆动而保持凸缘5a的保持姿势(图3中实线所示状态)、和一对保持件4a向相互分离的方向摆动而解除保持的解除姿势(图3中虚线所示i)之间自如切换。

为了临时载置输送到上述工位7的容器5，在导轨2的侧方附近如图1所示那样在导轨2左右两侧以成对的状态设置物品载置体28。而且，物品载置体28在沿导轨2并列的状态下设置多对。

这些物品载置体28中，与其相对的物品移载位置和与工位7相对的物品移载位置一致的一对物品载置体28是对工位7搬入搬出容器5时临时放置搬入该工位7的容器5以及临时放置从该工位7搬出的容器5用的物品载置体28(以下，成为临时放置用载置体28T。)，相当于本发明的物品临时放置用的一对物品载置体。

由于对于该一对的临时放置用载置体28T的物品移载位置与对于工位7的物品移载位置一致，所以在移动车3停止在对于工位7的物品移载位置的状态下，能够对一对的临时载置用载置体28T的各自移载容器5。

此外，物品载置体28中，与其相对的物品移载位置和与工位7相对的物品移载位置不同的物品载置体28，是将在上游工序的物品处理装置1(例如第1处理装置1a)中完成了处理而从该工位7(例如第1工位7a)搬出的容器5搬入位于移动车3的移动方向下游侧的下一个工序的物品处理装置1(例如第2处理装置1b)的工位7(例如第2工位7b)时，暂时保管该容器5的保管用物品载置体28(以下，称为保管用载置体28B)。

如图5～图9所示，物品载置体28分别设置为：在为了从停止在相对于其的物品移载位置上的移动车3的保持部4接受容器5而向导轨2侧突出的突出位置(参照图7和图9)与为了向保持部给出容器5而退回到从导轨2分离侧的退回位置(参照图6和图8)之间自如进退。物品载置体28的突出位置意味着以下的说明中的物品载置体28的移动框体30位于突出位置，物品载置体28的退回位置，意味着该移动框体30位于退回位置。

下面，将停止在物品移载位置的移动车3的前后方向简称为“前后方向”，且将相对于停止在物品移载位置的移动车3的远近方向称为“远近方向”，由此进行说明。

上述物品移载位置与多个物品载置体28分别对应而设定。而且，在前后方向上，物品载置体28的宽度形成为比移动车3的前后一对的纵框体22的间隔小。因此，在移动车3停止在物品移载位置的状态下，可将物品载置体28插入移动车3的前后一对的纵框体22之间或者从纵框体22之间拔出。

上述退回位置设定在远近方向上远离导轨2的存在位置的的导轨2的侧方的附近，使得在物品载置体28位于退回位置时，物品载置体28及载置支承在物品载置体28上的容器5不妨碍移动车3的移动或把持部4的升降。

上述突出位置设定在与停止在物品移载位置的移动车3的把持部4在上下方向上重叠的位置，使得在物品载置体28位于突出位置时，能够与在停止在物品移载位置的移动车3中位于接近上升位置的把持部4之间交接容器5。

上述物品载置体28如图5所示，由对应于退回位置设置在顶板侧的固定框体29、和相对于该固定框体29在远近方向上自由移动地被支承的移动框体30构成。

上述固定框体29由远近方向上被形成为长条状的一对的侧面框部29a构成。一对的侧面框部29a由在远近方向上隔开间隔地配设的框体用第1连结体31a、和框体用第2连结体31b连结。框体用第1连结体31a连结在远近方向上接近停止在物品移载位置上的移动车3的一侧，框体用第2连结体31b连结在远近方向上远离停止在物品移载位置上的移动车3的一侧。

而且，固定框体29利用从一对的侧面框部29a的各自向上方沿设的多个吊下用沿设体32的上端部上所安装的连接器固定在两根吊下用支承体33上而被吊下支承。上述吊下用支承体33被从顶板部吊下的螺栓34吊下支承，以与导轨2平行的方式沿导轨2的长度方向配设。

将上述固定框体29吊下支承在顶板侧的结构不限定于上述结构，能够适宜地变更。例如，可以在固定框体29的上端部上设置螺栓安装用槽部，在该螺栓安装用槽部上螺栓固定吊下支承体的下端部，将吊下支承体的上端部螺栓固定在顶板部上，由此将固定框体29吊下支承在顶板侧。

这样，通过将多个物品载置体28的固定框体29分别分开地吊下支承在顶板侧，能够一个个地安装或者取下物品载置体28，所以可容易地进行物品载置体28的增设或取下。

如图6以及图7所示，上述移动框体30被构成为具有：形成为在远近方向上延伸的形状的左右一对的支承臂体33、相对于该左右一对的支承臂体33在远近方向上隔着间隔且在连接该左右一对的支承臂体33的状态下设置的多个连接框体36。

而且，移动框体30构成为由多个连接框体36载置支承容器5的底部，多个连接框体36分担而载置支承容器5的底部。

上述连接框体36，其截面形成为令中央部向上方侧突出的凸状，利用凸状的平坦的部分载置支承容器5的底部。并且，连接框体36，在载置在支承臂体35中向内侧弯曲的部分上的状态下，两端部利用螺栓螺母被固定在支承臂体35上。

上述连接框体36包括位于接近停止在物品移载位置的移动车3侧的细长状的第1连接框体36a、位于从停止在物品移载位置的移动车3分离侧的细长状的第2连接框体36b。而且，在第1连接框体36a上设置向接近停止在物品移载位置处的移动车3侧延伸而向上方侧起立的立起壁部37。该立起壁部37限制向接近停止在物品移载位置的移动车3侧的容器5的移动。

上述左右一对的支承臂体35不仅由连接框体36，还由多个连结用框体45所连接。上述连结用框体45包括：连接在左右一对的支承臂体35的下端部33a中从停止在物品移载位置的移动车3离开的一侧的端部的第1连结用框体45a、连接左右一对的支承臂体35的中间部35b的第2连结用框体45b、以及连接左右一对的支承臂体35的上端部35c的第3连结用框体45c。

设置有使上述物品载置体28向退回位置(参照图6和图8)和突出位置(参照图7和图9)自如变换位置地支承物品载置体28的滑动引导机构46。该滑动引导机构46构成为令移动框体30相对于固定框体29在远近方向上滑动移动自如地支承移动框体30。

上述滑动引导机构46被构成为具有：形成在固定框体29上的轨道部47、和设置在支承臂体35上的多个引导辊48。上述轨道部47分别设置在一对侧面框部29a上。上述引导辊48设置在支承臂体35的上端部35c上。而且，滑动引导机构46，利用轨道部47引导支承引导辊48，由此将移动框体30支承为相对于固定框体29而在退回位置与突出位置之间滑动引导移动自如。

此外，在上述固定框体29上，设置有在远近方向上接近停止在物品移载位置的移动车3的接近位置(参照图6以及图8)、和从停止在物品移载位置的移动车3分离的分离位置(参照图7以及图9)之间移动自如地被支承的被操作体49。而且，被操作体49与物品载置体28联动，以使在接近位置处向退回位置操作物品载置体28，并且在分离位置处向突出位置操作物品载置体28。

上述被操作体49，其长度方向的中央部枢转支承连结在设置在一方的侧面框部29a的上部的板状的基台50上，绕该连结位置即第1摆动轴心P1摆动自如地设置。而且，被操作体49，上下地具有阶梯差地一体地形成在位于接近位置的状态下从第1摆动轴心P1向接近移动车3侧延伸的第1被操作部分49a、和从第1摆动轴心P1向远离移动车3侧延伸的第2被操作部分49b。

上述被操作体49，通过绕第1摆动轴心P1摆动而在接近位置和分离位置之间自如切换，并且设置为在接近位置(参照图6以及图8)处第1被操作部分49a比第1摆动轴心P1还接近停止在物品移载部位的移动车3的姿势。而且，在被操作体49的第1被操作部分49a上，在被操作体49位于接近位置的状态下，沿与远近方向交叉的方向设置向第1摆动轴心P1侧延伸的槽部51。在该槽部51上，形成令接近停止在物品移载部位处的移动车3侧的顶端沿远近方向开口的形状。

而且，设置令被操作体49的动作与物品载置体28的动作相联动的联动机构52，从而当被操作体49位于接近位置时，则如图6以及图8所示，令物品载置体28位于退回位置，并且当令被操作体49位于分离位置时，则如图7以及图9所示，令物品载置体28位于突出位置。

上述联动机构52，包括绕上下轴心摆动自如的第1连杆臂53、第2连杆臂54以及第3连杆臂55这三个连杆臂。第1连杆臂53，一端部枢转支承连结在被操作体49的第2被操作部分49b的一端部上，并且另一端部枢转支承连结在第2连杆臂54的长度方向的中间部分上。第2连杆臂54，一端部枢转支承连结在基台50上，并且另一端部枢转支承连结在第3连杆臂55的一端部上。第3连杆臂55，另一端部枢转支承连结在立设在第3连结体45c上的联动用被操作体56上。

上述移动车3上，设置用于在退回位置与突出位置之间变位操作物品载置体28的进退操作机构S。该进退操作机构S具有：固定在移动车3上而在远近方向上为长条状的基座57、与该基座57相对在远近方向上自如移动地设置的长条状的操作体58、和设置在该操作体58的顶端部的下表面侧的卡合辊59。并且，进退操作机构S构成为，通过图示省略的致动器的动作使操作体58相对于基座57进退，进行使卡合辊59在远近方向上移动的突出动作和退回动作。

即，在移动车3上，设置用于令在移动车3的移动方向上位于右侧的物品载置体28进退操作的进退操作机构S、和用于令在移动车的移动方向上位于左侧的物品载置体28进退操作的进退操作机构S。

上述卡合辊59在前后方向上形成为与被操作体49的槽部51的宽度相同或比其宽度小的直径，卡合辊59通过在远近方向上的移动而可自由地卡合到被操作体49的槽部51中或从该槽部51脱离。

而且，进退操作机构S构成为推拉式，借助突出动作而令卡合辊59与槽部51卡合而从接近位置向分离位置推压操作被操作体49，并且借助退回动作而令卡合辊59与槽部51卡合而从分离位置向接近位置退回操作被操作体49，之后，令卡合辊59从槽部51脱离。

若借助上述进退操作机构S进行突出动作而利用卡合辊59将被操作体49从接近位置操作到分离位置，则通过令被操作体49位于分离位置而经由联动机构52将物品载置体操作到突出位置，令物品载置体28从退回位置变位到突出位置。

此外，若借助进退操作机构S进行退回动作而利用卡合辊59将被操作体49从分离位置操作到接近位置，则通过被操作体49位于接近位置而经由联动机构52将物品载置体操作到退回位置，令物品载置体28从突出位置变位到退回位置。

上述物品载置体28，利用在远近方向上隔开间隔而设置的两个连接框体36分担载置支承容器5的底部，实现了物品载置体28的轻量化。而且，两个连接框体36配设为在远近方向上载置支承容器5的底部的端部侧部分，平衡性更好地载置支承容器5。

在上述多个连接框体36上，支承卡合在容器5的底部的被卡合部的突起状的多个物品定位部件39。多个物品定位部件39在被定位限制部件40保持为在分散在远近方向以及垂直于远近方向的前后方向上的适当相对位置关系的状态下设置。

即，调整远近方向的第1连接框体36a的设置位置以及第2连接框体36b的设置位置，以使多个物品定位部件39在远近方向上成为适当相对的位置关系。

在移动车3上，设置控制移动车3的动作的台车用控制部(相当于本发明的运转控制机构)。而且，台车用控制部根据来自管理物品处理设备整体的动作的管理用计算机的指令、以及设置在移动车3上的各种传感器的检测信息来控制移动车3的行进动作以及保持部4的上升位置与下降位置的升降动作以及保持状态与解除状态的切换动作，并且控制保持动作用马达27以及进退操作机构S的动作。台车用控制部即计算机自身为公知结构，具有CPU、存储器、通信回路等的硬件、以及执行本说明书记载的功能的算法(程序)。

例如，在从多个工位7中选定作为搬送出发地的工位7的第1处理装置1a的工位7a、作为搬送目的地的工位7的第2处理处理装置1b的第2工位7b的状态下，在从管理用计算机输出将容器5从搬送出发地的第1工位7a向搬送目的地的第2工位7b搬送的搬入搬出指令时，台车控制部控制移动车3的动作从而从搬送出发地的第1工位7a接受容器5，并向搬送目的地的第2工位7b给出容器5。发出了搬入搬出指令时的容器5的移动的情况根据上述例子而适宜地表示为图10(A)。

从管理用计算机，除了发出伴随着搬送出发地的工位7的容器5的接受以及搬送目的地的工位7的交接的双方的上述搬入搬出指令，还发出工位7的容器5的接受、将该接受的容器5保管在对于下一个工序的处理装置1的保管用的28B的搬出保管指令、以及将保管在临时放置用载置体28T中的容器5取出、并将该取出的容器交接给与该临时放置用载置体28T对应的处理装置1的工位7的搬入指令C3。

根据上述例而在图10(B)以及(C)中示意地表示发出搬出保管指令以及取出搬入指令时的容器5的移动的情况。

在物品处理设备中，各处理装置的处理时间不同，对于多个容器5的处理同步地进行，所以台车用控制部很少利用上述搬入搬出指令而从搬送出发地的上游工序的处理装置1的工位7(在之前的例子中，第1工位7a)向搬送目的地的下一个工序的处理装置的工位7(在之前的例子中，第2工位7b)直接搬送容器5，台车用控制部利用搬出保管指令而将从上游工序的处理装置1的工位7(在之前的例子中，第1工位7a)搬出的容器5暂时保管在对于下一个工序的处理装置1(在之前的例子中，第2工位1b)的临时放置用载置体28T上，利用取出搬入指令，从在对于工位7的临时放置用载置体28T中保管的容器5中最先被保管的容器5顺次地搬入该工位7。

进而，台车用控制部，在工位7中存在搬出用容器5的状态下要将保持的搬入用的容器5给出到工位7时，将保持的搬入用的容器5临时放置在一对的临时放置用载置体28T的一方上，然后将位于工位7中的搬出用容器5临时放置在一对的临时放置用载置体28T的另一方上，接着，进行物品保持部的升降动作以及物品保持部的保持状态与解除状态的切换动作以及一对的临时放置用载置体28T的进退动作的控制，以便将临时放置的搬入用容器5交给工位7。

此外，台车用控制部控制保持部4的升降动作以及保持部的保持状态和解除状态的切换动作、临时放置用载置体28T的进退动作、以及物品搬送体的行进动作，以便将在将搬入用的容器5交接给工位7后将临时放置的搬出用的容器5搬送到作为目标搬送位置的对于下游工序的处理装置1的保管用载置体28B上。

这样，在本物品处理设备中，在工位7中存在对于搬出保管指令的搬出对象的容器5的状态下将保持的对于取出搬入指令的搬入对象的容器5交给该工位7时，利用一对的临时放置用载置体28T而在移动车3停止在对于工位7的物品移载位置的状态下进行基于取出搬入指令而要交给工位7的容器5、和基于搬出保管指令而要从工位7取出的容器的交换保持动作，能够利用一台的移动车3迅速地进行搬出用以及搬入用的容器5的搬入搬出处理。

以下，说明管理用计算机同时对台车用控制发出从对于第2处理装置1b的保管用载置体28B取出容器5而向第2处理装置1b的第2工位7b搬入容器5的取出搬入指令、和将第2处理装置1b的第2工位7b的容器5搬出并将该容器5保管在对于第3处理装置1c的保管用载置体28B的搬出保管指令时的台车控制部进行的移动车3的控制动作。

另外，同时发出取出搬入指令和搬出保管指令可以是连续发出两个指令的情况，也包括先发出取出搬入指令并在开始基于该指令的控制动作后发出搬出保管指令的情况、以及相反地先发出搬出保管指令并在开始了基于该指令的控制动作后在允许取出搬入指令的输入的状态下发出取出搬入指令的情况。在任意情况下，若同时发出取出搬入指令和搬出保管指令，则台车用控制部从基于取出搬入指令的控制动作移行到基于搬出保管指令的控制动作。

参照图13的流程图以及图11以及图12的说明容器5的移动顺序的图详细进行说明。另外，对于图11以及图12的第1箭头，表示移动车3的移动而不是表示容器5的移动。

首先，设定状况，完成基于将从第1工位7a搬出的容器5保管在对于下一个工序的第2处理装置1b的保管用载置体28T中的过去的搬出保管指令的处理，令移动车3在图1所示的位置处在没有保持容器5的状态下停止，在对于第2处理装置1b的保管用载置体28B上，由比该过去的搬出保管指令还过去的搬出保管指令而保管有比由上述过去的搬出保管指令保管的容器5不同的其他的容器5(以下，称作搬入用容器5in)。

另外，保管搬入用容器5in的保管用载置体28B作为一例位于相对于导轨2在第2处理装置位置1b的相反侧，保管搬出用容器5out的保管用载置体28B作为一例相对于导轨2而位于与第3处理装置位置1c相同的一侧。

在该状态下，成为在第2处理装置1b的第2工位7b中存在搬出可能状态的容器5(以下，称作搬出用容器5out)的状态，管理用计算机发出以搬入用容器5in为取出搬入对象的取出搬入指令、以及以搬出用容器5out为搬出保管对象的搬出保管指令。

台车用控制部首先在步骤#1中控制移动车3的行进动作，以使移动车3移动到与保管搬入用容器5in的保管用载置体28B对应的物品移载位置(参照图11(A)的第1箭头)，而用于从保管搬入用容器5in的保管用载置体28B取出搬入用容器5in。

台车用控制部在步骤#2中控制移动车3的动作，以便在令移动车3停止在与保管搬入用容器5in的保管用载置体28B对应的物品移载位置的状态下将搬入用容器5in从该保管用载置体28B取出。

具体而言，台车用控制部首先在令移动车停止在与保管搬入用容器5in的保管用载置体28B对应的物品移载位置的状态下，令移动车3的移动方向前方侧的进退操作机构S进行突出动作，由此令保管搬入用容器5in的保管用载置体28B从退回位置变位到突出位置(参照图11(A)的第2箭头)。然后，台车用控制部控制保持部4的升降动作以便令保持部4从上升位置下降到与其接近的位置，之后，令保持动作用马达27动作而将一对的保持件4a切换到保持姿态，从位于突出位置的保管用载置体28B向保持部4搬入用容器5in。然后，台车用控制部控制保持部4的升降动作以便令保持搬入用容器5in的保持部4上升到上升位置，此时，令进退操作机构S进行退回动作。而且，通过进退操作机构S进行退回动作，令空置的保管用载置体28B从突出位置变位为退回位置。

台车用控制部在步骤#3中控制移动车3的行进动作以使移动车3移动到与第2工位7b对应的物品移载位置(参照图11(A)的第3箭头)。

台车用控制部在步骤#4中控制移动车3的动作，以便在令移动车3停止在与第2工位7b对应的物品移载位置的状态下将搬入用容器5in临时放置在对于第2工位7b的一对的临时放置用载置体28T的一方(相对于导轨2位于与第2处理装置1b相同侧)。

具体而言，台车用控制部首先在令移动车3停止在与第2工位7b对应的物品移载位置的状态下令移动车3的移动方向后方侧的进退操作机构S进行突出动作，由此令一对的临时放置用载置体28T中相对于导轨2位于第2处理装置位置1B相同侧的临时放置用载置体28T从退回位置变位到突出位置。然后，台车用控制部控制保持部4的升降动作以使保持搬入用容器5in的保持部4从上升位置下降到与其接近的位置，之后，令保持动作用马达27动作而将一对的保持件4a切换为解除姿态，从保持部4向位于突出位置的临时放置用载置体28T卸下搬入用容器5in。然后，台车用控制部控制保持部4的升降动作以使保持部4上升到上升位置，之后，令进退操作机构S退回动作。而且，通过进退操作机构S进行退回动作，令载置搬入用容器5in的临时放置用载置体28T从突出位置变位为退回位置(参照图11(A)的第4箭头)。

台车用控制部在步骤#5中控制移动车3的动作，以便在令移动车3停止在与第2工位7b对应的物品移载位置的状态下将搬出用容器5out从第2工位7b取出。

具体而言，台车用控制部首先在令移动车3停止在与第2工位7b对应的物品移载位置的状态下控制保持部4的升降动作以使保持部4从上升位置下降到下降位置。然后，台车用控制部若保持部4位于下降位置则令保持动作用马达27动作而将一对的保持件4a切换为保持姿态，利用一对的保持件4a保持搬出用容器5out的凸缘5a而接受容器5。之后，台车用控制部控制保持部4的升降动作以使保持搬出用容器5out的保持部4从下降位置上升到上升位置(参照图11(B)的第5箭头)。

台车用控制部在步骤#6中控制移动车3的动作，以便在令移动车3停止在与第2工位7b对应的物品移载位置的状态下将搬出用容器5out临时放置在对于第2工位7b的一对的临时放置用载置体28T的另一方上(相对于导轨2位于与第2处理装置1b相反侧)。

具体而言，与步骤#4相同，台车用控制部首先在令移动车3停止在与第2工位7b对应的物品移载位置的状态下令移动车3的移动方向前方侧的进退操作机构S进行突出动作，由此令一对的临时放置用载置体28T中相对于导轨2位于第2处理装置位置1B相反侧的临时放置用载置体28T从退回位置变位到突出位置。然后，台车用控制部控制保持部4的升降动作以使保持搬出用容器5out的保持部4从上升位置下降到与其接近的位置，之后，令保持动作用马达27动作而将一对的保持件4a切换为解除姿态，从保持部4向位于突出位置的临时放置用载置体28T卸下搬出用容器5out。然后，台车用控制部控制保持部4的升降动作以使保持部4上升到上升位置，之后，令进退操作机构S退回动作。而且，通过进退操作机构S进行退回动作，令载置搬出用容器5out的临时放置用载置体28T从突出位置变位为退回位置(参照图11(B)的第6箭头)。

台车用控制部在步骤#7中控制移动车3的动作，以便在令移动车3停止在与第2工位7b对应的物品移载位置的状态下将搬入用容器5in从临时放置用载置体28T取出。

该控制动作与上述步骤#2的控制动作相同，即在令移动车3停止在与保管搬入用容器5in的保管用载置体28B对应的物品移载位置的状态下，从搬入用容器5in取出保管用载置体28B。

具体而言，台车用控制部首先在令移动车3停止在与第2工位7b对应的物品移载位置的状态下，令移动车3的移动方向后方侧的进退操作机构S进行突出动作，由此令保管搬入用容器5in的临时放置用载置体28T从退回位置变位到突出位置(参照图11(C)的第7箭头)。然后，台车用控制部控制保持部4的升降动作以便令保持部4从上升位置下降到与其接近的位置(参照图11(C)的第8箭头)，之后，令保持动作用马达27动作而将一对的保持件4a切换到保持姿态，从位于突出位置的临时放置用载置体28T向保持部4接受搬入用容器5in。然后，台车用控制部控制保持部4的升降动作以便令保持搬入用容器5in的保持部4上升到上升位置，之后，令进退操作机构S进行退回动作。而且，通过进退操作机构S进行退回动作，令空置的临时放置用载置体28T从突出位置变位为退回位置。

台车用控制部在步骤#8中控制移动车3的动作，以便在令移动车3停止在与第2工位7b对应的物品移载位置的状态下将搬入用容器5in交接给第2工位7b。

具体而言，台车用控制部首先在令移动车3停止在与第2工位7b对应的物品移载位置的状态下控制保持部4的升降动作以使保持在搬入用容器5in的保持部4从上升位置下降到下降位置。然后，台车用控制部若保持部4位于下降位置则令保持动作用马达27动作而将一对的保持件4a切换为解除姿态，将搬入用容器5in交接给第2工位7b。之后，台车用控制部控制保持部4的升降动作以使保持部4从下降位置上升到上升位置。

台车用控制部在步骤#9中控制移动车3的动作，以便在令移动车3停止在与第2工位7b对应的物品移载位置的状态下将搬出用容器5out从临时放置用载置体28T取出。

该控制动作与上述步骤#2的控制动作即在令移动车3停止在与保管搬出用容器5out的保管用载置体28B对应的物品移载位置的状态下，从保管用载置体28B取出搬出用容器5out的控制动作相同。此外，该控制动作与上述步骤#7的控制动作即在令移动车3停止在与第2工位对应的物品移载位置的状态下，从临时放置用载置体28T取出搬入用容器5in的控制动作相同。

具体而言，台车用控制部首先在令移动车3停止在与第2工位7b对应的物品移载位置的状态下，令移动车3的移动方向前方侧的进退操作机构S进行突出动作，由此令保管搬出用容器5out的临时放置用载置体28T从退回位置变位到突出位置(参照图12的第9箭头)。然后，台车用控制部控制保持部4的升降动作以便令保持部4从上升位置下降到与其接近的位置，之后，令保持动作用马达27动作而将一对的保持件4a切换到保持姿态，从位于突出位置的保管用载置体28T向保持部4接受搬出用容器5out。然后，台车用控制部控制保持部4的升降动作以便令保持搬出用容器5out的保持部4上升到上升位置，之后，令进退操作机构S进行退回动作。而且，通过进退操作机构S进行退回动作，令空置的临时放置载置体28T从突出位置变位为退回位置。

台车用控制部在步骤#10中控制移动车3的行进动作，以使移动车3移动到与要保管该搬出用容器5out的对于第3处理装置1c的保管用载置体28B对应的物品移载位置(参照图12的第10箭头)，而用于将从第2处理装置1b搬出的搬出用容器5out保管在对于下一个工序的第3处理装置1c的保管用载置体28B中。

台车用控制部在步骤#11中控制移动车3的动作，以便在令移动车3停止在与要保管搬出用容器5out的保管用载置体28B对应的物品移载位置的状态下将搬出用容器5out保管在该保管用载置体28B上。

该控制动作与步骤#4的控制动作及步骤#6的控制动作，即在令移动车3停止在与第2工位7b对应的物品移载位置的状态下，将搬入用容器5in及搬出用容器5out临时放置在临时放置用载置体28T上的控制动作相同。

具体而言，台车用控制部首先在令移动车3停止在与要保管搬出用容器5out的保管用载置体28B对应的物品移载位置的状态下令移动车3的移动方向后方侧的进退操作机构S进行突出动作，由此令要保管搬出用容器5out的保管用载置体28B从退回位置变位到突出位置。然后，台车用控制部控制保持部4的升降动作以使保持搬出用容器5out的保持部4从上升位置下降到与其接近的位置，之后，令保持动作用马达27动作而将一对的保持件4a切换为解除姿态，从保持部4向位于突出位置的保管用载置体28B卸下搬出用容器5out。然后，台车用控制部控制保持部4的升降动作以使保持部4上升到上升位置，之后，令进退操作机构S退回动作。而且，通过进退操作机构S进行退回动作，令载置搬出用容器5out的保管用载置体28B从突出位置变位为退回位置(参照图12的第11箭头)。

[其他实施方式]

以下，列出其他的实施方式。

(1)在上述实施方式中，控制机构例示了构成为在物品保持部的升降动作停止后开始物品载置体的进退动作，但不限定于此，控制机构也可构成为在物品保持部的升降动作停止前就开始物品载置体的进退动作。

(2)在上述实施方式中，物品载置体28被设置为，在突出位置上，与在位于接近上升位置的位置上的保持部4之间交接容器5，但也可例如将物品载置体28设置为，在突出位置，与位于上升位置的保持部4之间交接容器5。

此外，对于物品载置体28在突出位置与保持部4之间进行容器5的交接的位置，不限定于位于接近上升位置的位置或者上升位置，也可设为从上升位置下降设定高度的位置。在这种情况下，在使物品载置体28位于突出位置的状态下，通过使保持部4从上升位置下降设定高度，能够进行物品载置体28和保持部4之间的容器5的交接。

(3)在上述实施方式中，移动车3上设置有用于变换操作在移动车3的行驶方向中位于右侧的物品载置体28的进退操作机构S、和用于变换操作在移动车3的行驶方向中位于左侧的物品载置体28的进退操作机构S这两个进退操作机构S，但进退操作机构S例如也可以如下地实施：在对于移动车3的移动方向的右侧及左侧的两侧进退自如地具有卡合辊59，由此在移动车3上设置一个进退操作机构S。

(4)在上述实施方式中，对于搬出用容器5out的目标搬送位置，例示了对于下一个工序的处理装置1的保管用载置体28B，但不限定于此，目标搬送位置可适宜地设定，例如，也可是对于下一个工序的处理装置1的工位7，也可是图外的其他搬送位置。

(5)在上述实施方式中，例示了一对物品载置体设置在移动路径的两侧的例子，但也可取代其而将一对的物品载置体在移动路径的单侧附近在上下并列的状态下设置。

(6)在上述实施方式中，举例示出了作为物品搬送收纳了半导体基板的容器5的物品搬送设备，但所搬送的物品可以适当变换。

Claims (14)

1.一种物品处理设备，具备：

沿着经由与物品处理装置相对应而配置的物品移载位置的移动路径而移动的物品搬送体；

升降自如地设置在上述物品搬送体上的物品保持部，该物品保持部构成为在保持物品的保持状态和解除物品的保持的解除状态之间切换；

运转控制机构，该运转控制机构构成为，在对上述物品处理装置的物品搬出搬入部进行物品的搬出或者搬入时，控制上述物品搬送体的行进动作以使其停止在上述物品移载位置，并且，在向上述物品搬出搬入部给出物品或者从上述物品搬出搬入部取出物品时，控制上述物品保持部的升降动作以及上述物品保持部的上述保持状态和上述解除状态之间的切换动作；

其特征在于，

物品处理设备进而具有用于临时放置物品的一对物品载置体，各用于临时放置物品的物品载置体构成为，在为了与停止在上述物品移载位置的上述物品搬送体交接物品而向上述移动路径侧突出的突出位置、和向从上述移动路径分离侧退回的退回位置之间变位，上述物品搬送体，在停止于上述物品移载位置的状态下对位于上述突出位置的上述物品载置体进行物品的交接；

上述运转控制机构构成为，控制上述物品保持部的升降动作以及上述物品保持部的上述保持状态和上述解除状态之间切换动作，并且，控制一对上述物品载置体的进退动作，

以便在要将由上述物品保持部保持的搬入用的物品给出到上述物品搬出搬入部时在上述物品搬出搬入部中存在有搬出用的物品的情况下，将上述搬入用的物品临时放置在一对上述物品载置体的一方上，然后，将位于上述物品搬出搬入部中的搬出用的物品临时放置在一对上述物品载置体的另一方上，接着，将上述搬入用的物品给出到上述物品搬出搬入部。

2.如权利要求1所述的物品处理设备，其特征在于，

上述运转控制机构构成为，控制上述物品保持部的升降动作以及上述物品保持部的上述保持状态和上述解除状态之间的切换动作、上述物品载置体的进退动作、以及上述物品搬送体的行进动作，以便在向上述物品搬出搬入部给出上述搬入用的物品之后，向目标搬送位置搬送临时放置的上述搬出用的物品。

3.如权利要求1所述的物品处理设备，其特征在于，

在停止于上述物品移载位置的状态下，将上述物品载置体进退操作到上述突出位置和上述退回位置的进退操作机构设置在上述物品搬送体上，

上述运转控制机构为了上述物品载置体的进退动作而控制上述进退操作机构的动作。

4.如权利要求1所述的物品处理设备，其特征在于，

一对上述物品载置体的一方被设置在上述移动路径的左右侧方的一方的附近，一对上述物品载置体的另一方被设置在上述移动路径的左右侧方的另一方的附近。

5.如权利要求1～4的任意一项所述的物品处理设备，其特征在于，

上述移动路径由顶上的轨道形成，上述物品搬送体是沿着上述轨道移动地构成的移动车，在上述移动车中设置有具有柔性部件的升降操作机构，上述物品保持部借助上述升降操作机构，经由上述柔性部件而在上升位置和下降位置之间自如升降。

6.如权利要求5所述的物品处理设备，其特征在于，

上述移动车在其行进方向上具备前面的纵框体和后面的纵框体，上述上升位置是上述物品保持部配置在上述前面和后面的纵框体之间的位置，上述下降位置是适合向配置于地上的上述物品搬出搬入部中载置物品的位置。

7.如权利要求6所述的物品处理设备，其特征在于，

上述物品载置体配置在与位于上述上升位置的上述物品保持部相同的高度，以便上述物品载置体能够利用上述物品载置体向上述突出位置水平地移动而从上述物品保持部接受物品。

8.一种物品处理设备的控制方法，其特征在于，

上述物品处理设备具有：

沿着经由与物品处理装置相对应而配置的物品移载位置的移动路径而移动的物品搬送体；

升降自如地设置在上述物品搬送体上的物品保持部，该物品保持部构成为在保持物品的保持状态和解除物品的保持的解除状态之间切换；

用于临时放置物品的一对物品载置体，备用于临时放置物品的物品载置体构成为，在为了与停止在上述物品移载位置的上述物品搬送体交接物品而向上述移动路径侧突出的突出位置、和向从上述移动路径分离侧退回的退回位置之间变位，上述物品搬送体，在停止于上述物品移载位置的状态下对位于上述突出位置的上述物品载置体进行物品的交接；

上述控制方法包含下述工序：

在要将由上述物品保持部保持的搬入用的物品给出到上述物品处理装置的物品搬出搬入部时在上述物品搬出搬入部中存在有搬出用的物品的情况下，将上述搬入用的物品临时放置在一对上述物品载置体的一方上，然后，将位于上述物品搬出搬入部中的搬出用的物品临时放置在一对上述物品载置体的另一方上的工序；

和将上述搬入用的物品给出到上述物品搬出搬入部的工序。

9.如权利要求8所述的物品处理设备的控制方法，其特征在于，

包含在向上述物品搬出搬入部给出上述搬入用的物品之后，向目标搬送位置搬送临时放置的上述搬出用的物品的工序。

10.如权利要求8所述的物品处理设备的控制方法，其特征在于，

在停止于上述物品移载位置的状态下，将上述物品载置体进退操作到上述突出位置和上述退回位置的进退操作机构设置在上述物品搬送体上，

上述运转控制机构为了上述物品载置体的进退动作而控制上述进退操作机构的动作。

11.如权利要求8所述的物品处理设备的控制方法，其特征在于，

一对上述物品载置体的一方被设置在上述移动路径的左右侧方的一方的附近，一对上述物品载置体的另一方被设置在上述移动路径的左右侧方的另一方的附近。

12.如权利要求8至11的任意一项所述的物品处理设备的控制方法，其特征在于，

上述移动路径由顶上的轨道形成，上述物品搬送体是沿着上述轨道移动地构成的移动车，在上述移动车中设置有具有柔性部件的升降操作机构，上述物品保持部借助上述升降操作机构，经由上述柔性部件而在上升位置和下降位置之间自如升降。

13.如权利要求12所述的物品处理设备的控制方法，其特征在于，

上述移动车在其行进方向上具备前面的纵框体和后面的纵框体，上述上升位置是上述物品保持部配置在上述前面和后面的纵框体之间的位置，上述下降位置是适合向配置于地上的上述物品搬出搬入部中载置物品的位置。

14.如权利要求13所述的物品处理设备的控制方法，其特征在于，

上述物品载置体配置在与位于上述上升位置的上述物品保持部相同的高度，以便上述物品载置体能够利用上述物品载置体向上述突出位置水平地移动而从上述物品保持部接受物品。

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