KR100831950B1 - 챔버 - Google Patents

Abstract

본 발명은 챔버에 관한 것으로서 특히 이송챔버를 분할되게 형성하여 제작 후 조립함에 의해 대형 싸이즈의 이송챔버도 용이하게 제작할 수 있는 한편 상기 분할된 이송챔버상에 씰 장착부를 형성하여 씰을 장착하는 구성에 의해 조립형 챔버라도 일체형 챔버와 같이 기밀을 유지할 수 있는 효과가 있는 LCD제작용 이송챔버에 관한 것이다.

분할형 이송챔버, 씰 장착부, 씰, LCD

Description

챔버 {chamber}

도 1a 및 도 1b는 종래의 LCD 제작용 이송챔버에 대한 개념도,

도 2는 본 발명에 의한 분할형 이송챔버의 사시도,

도 3은 본 발명에 의한 분할형 이송 챔버에 대한 사시도,

도 4는 본 발명에 의한 또 다른 형태의 분할형 이송챔버의 분리 사시도,

도 5는 본 발명에 의한 또 다른 형태의 분할형 이송 챔버에 대한 사시도,

도 6은 본 발명에 의한 이송챔버에 장착되는 덮개에 대한 분리 사시도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 이송챔버 110 : 본체

120 : 상부 개방부 121 : 상부씰 장착부

130 : 하부 개방부 131 : 하부씰 장착부

140 : 절단면씰 장착부 210 : 상부씰

220 : 절단면씰 230 : 하부씰

400 : 상부덮개 500 : 하부덮개

본 발명은 챔버에 관한 것으로서, 특히 분할된 이송챔버의 상하면과 측면에 각각 씰이 장착될 수 있는 구조로 되어 대형화되는 이송챔버의 제작 및 설계를 용이하게 할 수 있는 이송챔버에 관한 것이다.

일반적으로 종래의 브라운관을 대체하기 위해 LCD가 사용되고 있는데 이와 같은 LCD를 생산하기 위해서 도 1a와 같은 다수개의 챔버가 모여서 형서되는 클러스터 타입의 생산공정이 사용되고 있다. 즉 중앙에 이송챔버(10)가 있고 상기 이송챔버 내부에 설치되는 로봇(40)이 상기 이송챔버(10)를 둘러싸는 여러 챔버 예를 들어 예열챔버나 실제 증착공정을 수행하는 프로세스 챔버사이에 증착하고자 하는 대상물을 운반해 가면서 생산된다.

이러한 이송챔버(10)를 도 1b를 통해 자세히 설명하기 한다. 상술한 바와 같이 상기 이송챔버(10)의 내부에는 로봇이 장착될 수 있는 공간이 형성되어 있다. 또한 상기 이송챔버(10)의 측면에는 상술한 각종 챔버와 연통가능하도록 측면개방부(14)가 각각 형성되어 있다. 이러한 구성에 의해 LCD를 이송시키며 증착하게 되는 것이다.

그런데, 근래에 들어 LCD가 대형화되고 있는 추세이며 이에 따라 상기 LCD를 제작하기 위한 이송챔버 또한 대형화되고 있다. 그러나 상기 이송챔버의 대형화로 인해 운송 기구의 한계에 부딪혀 운반의 어려움이 발생하고 있는 문제점이 있었다.

또한, 상기 챔버의 재질이 통상 알루미늄이나 스테인레스 재질로서 대형의 사이즈를 일체형으로 제작하기가 어려운 문제점이 있었다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서 대형화된 이송챔버를 대층되는 모서리를 기준으로 2개로 분할함에 의해 대형 싸이즈의 이송챔버의 경우에도 운반이 용이한 이송챔버를 제공하는 한편 제작의 용이성을 향상시키는데 그 목적이 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 상기 분할된 이송챔버의 상하면과 측면에 씰을 장착할 수 있는 장착부를 형성하여 씰이 장착되게 하여 분할된 이송챔버를 조립하는 경우에도 기밀을 유지할 수 있는 이송챔버를 제공하는 데에 있다.

상술한 목적은 분할가능하게 형성되는 본체와 상기 본체의 상면에 개방되어 형성되는 상부 개방부와 상기 본체의 하면에 개방되어 형성되는 하부 개방부와 상기 상부 개방부를 따라 오목하게 형성되어 씰이 장착되게 되는 상부씰 장착부와 상기 하부 개방부를 따라 오목하게 형성되어 씰이 장착되게 되는 하부씰 장착부와 상기 분할된 본체의 절단면에 오목하게 형성되어 씰이 장착되게 되는 절단면씰 장착부가 형성되는 분할형 이송챔버에 의해 달성될 수 있다.

이때 상기 각 씰 장착부에 씰을 장착하여 기밀을 유지하는 것이 바람직하며 또한 상기 상부 개방부와 하부 개방부에 덮개를 장착하는 것이 더 바람직하다.

이하 실시예와 첨부된 도면에 의해 상기 기술적 사상을 상세히 설명하기로한다.

본 발명은 상술한 바와 같이 분할되게 형성하여 제작 후 조립하는 기술로서 이에 의한 경우 대형 사이즈의 챔버의 경우에도 분할되는 부분을 각각 제작하면 되어 제작의 용이성을 향상시키는 기술이다.

본 발명의 이송챔버(100)는 상기 도 2에서 확인할 수 있는 바와 같이 대응되는 모서리를 따라 분할되게 형성한 것으로서, 이하 도 2를 참조하여 더욱 상세히 설명하기로 한다.

상기 이송챔버(100)는 분할된 본체(110)로 되는데, 상기 본체(110)는 상하면이 육각형 형상 또는 팔각형의 형상도 가능하다.(도 5참조)

또한 상기 본체(110)의 상면과 하면에 각각 개방되게 형성되는 상부 개방부(120)와 하부 개방부(130)가 각각 형성되며 측면에는 측면 개방부(도면부호 없음)가 각각 형성된다.

이하 도 3을 참조하여 씰을 장착할 수 있는 씰 장착부에 대해 설명하기로 한다. 상기 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 상부 개방부(120)의 주위를 따라 오목하게 형성되어 씰을 장착할 수있는 상부씰 장착부(121)가 형성된다. 상기 분할된 본체(110)가 조립되면 상부씰 장착부(121)가 원형으로 형성되게 된다.

또한 하부 개방부(130)의 주위에도 상기 하부 개방부(130)를 따라 오목하게 형성되어 씰을 장착할 수 있는 하부씰 장착부(131)가 형성된다.

그리고 상기 분할된 본체(110)의 절단면에는 상기 본체(110)의 측면 두께부와 하부 두께부에 걸쳐 절단면씰 장착부(140)가 오목한 형상으로 형성된다. 이때 상기 절단면씰 장측부(140)는 상기 도 3에 도시된 바와 같이 외측면 일부분에 대해 형성할 수 있으며, 도 4에 도시된 바와 같이 절단면 전부에 대해 씰 장착부를 형성 하는 것도 가능하다.

이때, 상기 상부씰 장착부(121)와 절단면씰 장착부(140)은 일측에서 상호 접하게 형성된다. 이것은 상기 접하게 형상된 씰 장착부의 형상에 의해 상기 씰 장착부에 장착되는 씰이 상호 접하게 됨으로서 씰링의 성능을 향상시킬 수 있기 때문이다.

이상 상술한 각종 씰 장착부에 씰이 도 3에 도시된 바와 같이 장착되는데, 상기 상부씰 장착부(121)에는 상부씰(210)이 장착되게 되고, 하부씰 장착부(131)에는 하부씰(230) 그리고 절단면씰 장착부(140)에는 절단면씰(220)이 장착되게 된다.

이와 같은 구성에 의해 분할되었다가 조립되는 이송챔버의 경우에도 일체형으로 제작한 것과 같이 기밀을 유지할 수 있게 되는 것이다.

한편 상술한 바와 같이 기밀을 보다 더 보장하기 위해 상기 이송챔버(100)의 상부 개방부(120)와 하부 개방부(130)에 각각 상부덮개(400)와 하부덮개(500)를 장착하는 것이 바람직하다.(도 6참조)

그리고 상기 상부덮개(400)와 하부덮개(500)는 이송로봇 및 기타장치를 설치할 수 있으므로 적용시 형상 변경이 있을 수 있다.

이상과 같이 이송챔버를 분할되게 형성하여 제작 후 조립함에 의해 대형 싸이즈의 이송챔버도 용이하게 운송할 수 있는 한편 상기 분할된 이송챔버상에 씰 장착부를 형성하여 씰을 장착하는 구성에 의해 조립형 챔버라도 일체형 챔버와 같이 기밀을 유지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (9)

1. 절단면을 따라 분할가능한 본체를 구비하는 챔버에 있어서,

   상기 본체는,

   상기 본체의 상면에 개방되도록 형성되어 상기 절단면을 따라 분할되는 상부 개방부의 둘레를 따라 상기 상면으로부터 함몰되어 형성되며, 상부씰이 삽입장착되는 상부씰 장착부; 및

   상기 본체의 절단면 상에 상기 절단면으로부터 함몰되어 형성되며, 절단면씰이 삽입장착되는 절단면씰 장착부를 구비하되,

   상기 상부씰 장착부 및 상기 절단면씰 장착부는 서로 연통되도록 배치되어 상기 상부씰 및 상기 절단면씰은 서로 접촉하는 것을 특징으로 하는 챔버.
2. 제1항에 있어서,

   상기 상부씰 장착부는 상기 절단면씰 장착부의 상부에 배치되는 것을 특징으로 하는 챔버.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 본체는 상기 본체의 하면에 개방되도록 형성되어 상기 절단면을 따라 분할되는 하부 개방부의 둘레를 따라 상기 하면으로부터 함몰되어 형성되며, 하부씰이 삽입장착되는 하부씰 장착부를 구비하며,

   상기 하부씰 장착부 및 상기 절단면씰 장착부는 서로 연통되도록 배치되어 상기 하부씰 및 상기 절단면씰은 서로 접촉하는 것을 특징으로 하는 챔버.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 절단면씰 장착부는 상기 절단면 중 상기 상면과 인접한 상부가장자리 및 상기 절단면 중 상기 본체의 측면과 인접한 측부가장자리, 그리고 상기 절단면 중 상기 본체의 하면과 인접한 하부가장자리를 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 챔버.
5. 제1항에 있어서,

   상기 본체는 육각 형상의 상면과 하면을 가지고, 상기 절단면은 상기 육각형의 마주보는 모서리를 따라 배치되며,

   상기 본체의 측면에는 측면 개방부가 형성되는 것을 특징으로 하는 챔버.
6. 제1항에 있어서,

   상기 본체는 팔각 형상의 상면과 하면을 가지고, 상기 절단면은 상기 팔각형의 마주보는 모서리를 따라 배치되며,

   상기 본체의 측면에는 측면 개방부가 형성되는 것을 특징으로 하는 챔버.
7. 제1항에 있어서,

   상기 챔버는 상기 상부 개방부를 개폐하는 상부덮개 및 상기 하부 개방부를 개폐하는 하부덮개를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버.
8. 제1항에 있어서,

   상기 챔버는 상기 본체의 내측 공간에 설치되어 상기 챔버의 내외로 기판을 이송하는 이송로봇을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버.
9. 제1항에 있어서,

   상기 본체의 일측에는 증착대상물로서 기판을 수납하는 로드락 유닛이 배치되고,

   상기 본체의 내부에는 상기 기판을 운송하는 로봇이 장착되며,

   상기 본체의 타측에는 상기 기판에 대한 증착공정이 수행되는 프로세스 챔버가 배치되는 것을 특징으로 하는 챔버.

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