KR100794904B1

KR100794904B1 - 정밀기판 수납용기의 개스킷

Info

Publication number: KR100794904B1
Application number: KR1020060036931A
Authority: KR
Inventors: 시게아키 우에다; 야스유키 와타나베
Original assignee: 가부시키가이샤 다이하치카세이
Priority date: 2005-04-22
Filing date: 2006-04-24
Publication date: 2008-01-14
Also published as: US7648041B2; US20060249512A1; JP4482655B2; JP2006303261A; KR20060111417A

Abstract

본 발명의 캐스킷은 정밀한 포장이 요구되는 기판을 보관하는 용기용으로 적합한 독자적 형태를 가지며, 기판을 용기본체(2) 내에 저장해, 용기 뚜껑체(3)가 닫히고, 뚜껑체 잠금이 작동될 때, 개스킷의 외방레지(6b, 6c, 6d)는 외방인접면(3f)에 의해서 하향으로 눌려지고 변형된다. 그 결과, 훅선단(6d)은 밀봉홈(2d)에 떨어지도록 연장하고, 바꿔말하면 밀봉홈(2d)에 부분적으로 인접하게 되며, 상기 개스킷(6)은 신축 탄력성을 유지한다. 따라서 기압차가 발생하면, 선단(6d)은 인접하고 있는 지점을 이동시키고, 상기 선단(6d)의 이동 중에 선단(6d)과 밀봉홈(2d)의 면의 사이에 미세틈이 생겨, 이 틈이 기압차를 동일하게 하는 통풍로의 역할을 하게 된다.

항공기, 뚜껑, 기압차, 개스킷, 정밀기판, 수납용기, 틈

Description

정밀기판 수납용기의 개스킷{GASKET FOR PRECISION-PACKAGING SUBSTRATE CONTAINER}

도 1은 본 발명에 관한 정밀기판 수용용기의 구성을 나타내는 사시도이다.

도 2는 본 발명에 관한 개스킷의 단면도이다.

도 3은 개스킷의 다른 형상예를 나타내는 단면도이다.

도 4는 정밀기판 등 수용용기의 뚜껑체에 개스킷을 장착하고, 용기가 막 닫힐려는 용기 입구부를 나타내는 부분 단면도이다.

도 5는 도 4의 정밀기판 수용용기에 있어서, 뚜껑 잠금 완료 상태의 용기 입구부를 나타내는 부분 단면도이다.

도 6은 도 3의 개스킷을 장착하고, 뚜껑 잠금을 한 상태의 용기의 입구부를 나타내는 부분 단면도이다.

도 7은 환경의 외기압 변화에 따른 변형을 해소한 용기의 종래예이다.

<부호의 간단한 설명>

1: 용기

2: 용기본체

2a: 용기입구주변부

2aa: 용기측벽

2b: 계지구멍

2c: 개스킷인접면(도 4, 5)

2d: 밀봉홈

2e: 슬릿

3: 뚜껑체

3a: 뚜껑주변부

3aa: 뚜껑측벽

3ab: 뚜껑판

3b, 3c: 2개수직리브(two vertical rib)

3e: 개스킷 삽입홈

3f: 외방인접면(outward adjacent surface)

3g: 내방인접면(inward adjacent surface)

3s: 창

4: 암

4a: 쐐기형상부(wedge shaped portion)

5: 캠

6: 개스킷

6a: 개스킷상부(gasket's upper portion)

6b: 외방레지의 횡방향부(간단하게 외방레지 또는 횡방향부)

6c: 외방레지의 1회굴절부(간단하게 1회굴절부)

6d: 외방레지의 2회굴절부(간단하게 훅선단 또는 2회굴절부)

6e: 내방레지

6g: 플랫과 1회굴절부의 굴곡부

C: 틈새(도 7)

D: 틈새(도 2)

F: 합성력(도 7)화살표

본 발명은 반도체 웨이퍼나 액정용 유리판 등의 박판 복수장을 수납하고, 보관, 운반 등에 사용하는 용기에 관한 것으로, 특히 외기환경의 변동에 대해서 상기 용기 내부의 압력을 순응시킬 수 있는 개스킷의 구조에 관한다. "웨이퍼 등의 정밀기기 수납용 보관용기"의 PCT특허공보 WO2004/035423은 인용에 의해 여기에 원용된다.

반도체 웨이퍼 등의 정밀기판(박판)은 그 표면에 초미세 가공이(나중에) 처리되기 때문에 그 보관, 운반, 수납에는 극히 고도한 청결성이 필요하게 되며, 밀봉성이 뛰어난 기판 수납용기가 사용되고 있다. 그러나 양호한 밀봉이 이루어진 용기에 있어서, 예를 들면, 비행기에 적재되어 운송할 시에, 고도의 상승과 함께 외기와 용기 내와의 기압차가 발생하고, 상기 용기가 팽창해서 용기 내의 기체가 잠시 방출되며, 그런 다음, 지상에 내리면 용기 내 압력은 외기에 의해 상대적으로 낮아지게 되어 수축하게 된다. 이 용기가 수축한 상태에서 뚜껑를 여는 것은 매우 곤란하며, 무리하게 이것을 열면 외기가 급격하게 용기 내로 들어와, 동시에 외기 중의 먼지가루가 정밀기판을 오염하게 된다.

이와 같이, 용기 내와 외기와의 기압차를 해소하기 위해서, 용기본체의 측벽 또는 뚜껑체에 창을 설치해, 그곳에 분자여과 필터를 장착한 구성의 웨이퍼 수납용기가 개시되고 있다(일본국 실용신안공보 평2-49721(도 1)). 이 웨이퍼 수납용기에 있어서는 환경의 기압 변동에 있어서 용기 내의 공기가 분자 여과 필터를 통해서 배출되며, 혹은 유입함으로써 뚜껑체의 개폐는 용이하다고 되어 있다. 그러나 이 용기가 항공기 운송에 사용되었을 때에 발생하는 기압 변동에 있어서, 이 분자 여과 필터를 통해서 배기하고, 흡기함으로써 대기(항공기 내 화물실의 공기) 중의 분진이 상기 필터에 부착하고, 나아가 상기 필터를 침투한 파티클(particle)이 그 필터에 대향해서 수납된 정밀기판의 표면에 부착한다는 문제가 있었고, 상기 분자 여과 필터(F)의 내면에 대향시켜서 차폐판(M)을 부설한다는 대책도 개시되어 있다(특허공개 평10-107135호 공보). 게다가 이 분자 여과 필터는 항공기의 플라이트마다 세정하지 않으면 안 되고, 경제성 및 실용성에 있어서 문제가 있었다.

한편으로는 개스킷을 불소계 수지 또는 올레핀계 수지에 의해 연속기공으로 이루어지는 발포체에 형성하고, 이것을 반도체 웨이터 등의 정밀기판 수납용기의 본체와 뚜껑체와의 사이에 장착하는 구성이 개시되어 있다(일본국 특허공개2003-170969호 공보). 이 개스킷에 있어서는 외기를 통해서 급배기(vent through pores)가 용이하며, 환경의 기압변화가 있어도 용기 내의 압력은 항상 외기와 동일하게 유지되는 것으로 되어 있다.

상기 발포체로 이루어지는 개스킷에 있어서는 대기 중의 분진을 그 기공에 보충하려고 하는 것으로 분진이 소경의 것은 투과하고, 대경의 것은 막힘(clogging)을 발생시킨다. 따라서 이 개스킷의 성형에 있어서 엄격한 기공의 직경관리, 조성이 필요하며, 또한 사용횟수도 제한이 있고, 고가인 것이 된다.

상기와 같이 분자 여과 필터를 부설하고, 혹은 수지의 발포체로 이루어지는 개스킷을 사용한 용기는 함께 기압의 변동에 신속하게 추종하고, 배기 및 흡기가 이루어지는 것을 특징으로 하는데, 큰 기압차를 일으키는 것은 대부분이 항공기의 화물실 내이며, 설령 이 용기가 플라스틱 필름 등에 의해 포장되어 있었다고 해도 이 환경하에서 있어서는 흡기에 의해 공기 중에 있는 파티클이 상기 필터 또는 통기성 개스킷에 부착해서 이것을 오염하게 된다. 이와 같은, 미소한 기공에 부착한 파티클을 청소에 의해서 제거하는 것은 곤란하며 비행 때마다 교체되는 것이 현상이며, 현저히 경제성에 결여된다.

또한 기밀유지 성능이 뛰어난 개스킷을 그 본체와 뚜껑체의 사이에 협착한 정밀기판 수납용기에 있어서, 항공기 운송에 따르는 용기와 외기와의 사이에 생기는 기압차에 의해서 상기 용기가 팽창하고, 혹은 수축해서 상기 뚜껑체의 제거가 곤란하게 되는 것은 상기와 같다. 본 발명은 이와 같은 환경의 외기변동에 수반하는 용기와의 압력차를 이용해서 용기 입구부에 장착한 개스킷의 밀봉면(seal surface)을 접동 이동시켜, 그 접동면에 생기는 미세한 틈새로부터 배기, 흡기를 행함으로써 파티클의 혼입이 없는 통기를 꾀하고, 기압차를 해소하는 것을 과제로 한다.

본 발명의 제1의 발명은 용기본체(2), 용기뚜껑체(3), 밀폐 상태의 정밀한 포장을 요구하는 복수 기판을 보관하기 위한 카세트를 포함하며, 실질적으로 균등하게 이격된 상태로 카세트 내에 배열되는 용기를 제공하는 것이다. 용기는 용기본체(2) 및 용기 뚜껑체(3)와 함께 밀폐 용기(1)에 대한 조절 가능 밀봉을 행하기 위한 개스킷(6)을 더 포함한다. 개스킷(6)은 뚜껑체(3)의 주변부을 따라서 루프형상을 이루고, 짧은 내방레지(6e)와 굴곡훅(6c, 6d, 6e)이 형성된 외방레지의 횡방향부(6b; 이하에서 간단하게 외방레지 혹은 횡방향부라고도 함)를 구비하는 통상 2개레지벽(two-ledged wall; 6a, 6b. 6c. 6d. 6e) 부분을 갖는 탄성체를 포함한다. 개스킷은 뚜껑체(3)의 뚜껑판(3ab)의 하측 및 용기본체(2) 내부의 개스킷인접면(2c) 상에 장착되며, 개스킷인접면(2c)은 외방레지의 2회굴절부(6d; 이하에서 간단하게 훅선단이라고도 함)의 홈(2d)에 인접하도록 구비된다. 뚜껑체(3)가 용기본체(2)를 덮으면, 개스킷(6)은 용기 외부에 대항하여 밀봉을 행하도록 홈(2d) 상에 인접한 훅선단(6d)에 의해 형성되고, 용기의 내부 및 외부 사이의 공기 압력 차이에 따라서, 개스킷(6)은 훅선단(6d)을 내측 및 외측으로 최저한도로 홈상에서 이동시킴으로써 밀봉 조절을 행하도록 더 구비된다.

본 발명의 제2의 발명은 단면이 하양으로 오목한 형태로 설치되며, 전면이 개스킷(6)을 따라서 개스킷인접면(2c) 상으로 연장되고, 개스킷(6)과 실질적으로 평행한 홈(2d)을 제공하는 것이다.

웨이퍼 등의 정밀기판 복수장을 직접으로, 또는 카세트를 개재해서 용기본체에 수납하고, 용기 뚜껑체를 닫고, 상기 용기의 상부 또는 측벽에 장착되는 뚜껑 잠금이 작동되며, 상기 개스킷의 외방레지가 외방인접면에 의해서 하향으로 눌려져 번형된다. 그 결과, 레지의 선단은 홈에 떨어지도록 연장되며, 바꿔말하면 하향의 오목부(2d)에 부분적으로 인접하게 되는 동시에 상기 개스킷은 신축 탄력성을 유지한다. 따라서 기압차가 발생하면, 선단은 인접하고 있는 지점을 이동시키는데, 그것은 작은 압력부분(용기내부의 압력이 외측보다 내측 압력이 높은 경우 선단은 외방으로 이동한다)으로 움직인다. 상기 선단의 이동 중에 선단과 홈의 면 사이에 미세한 틈이 만들어지고, 이 틈이 기압차를 동일하게 하는 통풍로의 역할을 하게 된다.

본 발명의 다른 실시형태은 첨부되는 도면을 참조하여 후술하는 실시예의 설명에 의해서 분명하게 될 것이다.

<실시형태>

정밀기판 수납용기는 용기본체, 뚜껑체, 및 개스킷(도면 1)으로 이루어지며, 개스킷 장착부는 뚜껑체의 주변부을 따라서 또는 용기본체(또는 뚜껑체)의 입구부의 주변부을 따라서 설치되며, 뚜껑체로 용기본체의 입구 부분을 막았을 때, 평면부와 상기 평면부의 외측에 위치한 원호형상의 밀봉홈은 개스킷 장착부를 대향하는 위치에 설치된다.

한편, 개스킷은 개스킷 장착부에 장착되는 루프형상이고, 개스킷상부의 하단에서 외방레지(단면도)의 횡방향부가 외방으로 연장되고, 2회굴절부는 횡방향부의 선단에서 둘출하고, 뚜껑체의 내측을 향해서 돌출한 내방레지는 개스킷상부의 하측에 설치되어지며, 불소계 수지, 올레핀계 수지, 또는 실리콘 수지와 같은 연질 또는 반연질의 수지로 형성되는 구조를 가지고 있다.

상술한 개스킷에 있어서, 내방레지의 상부표면과 외방레지의 횡방향부의 사이에 단차를 만들고, 상기 개스킷 장착부에 장착되었을 때, 외방레지의 횡방향부의 상면이 개스킷 장착부의 외방인접면을 접촉하고 있지 않은 상태로 유지한다.

이상의 구성에서, 개스킷을 뚜껑체에 장착하고, 용기입구에 감합하면, 개스킷의 횡방향부의 선단의 2회굴절부가 원호형상 밀봉홈에 감합해 기밀을 유지한다.

<실시예>

본 발명은 실시예로서의 일예를 도면에 의해서 설명하는데, 그 형상은 이것에 한정되는 것은 아니다.

정밀기판 수용용기(1)은 폴리카보네이트, 폴리프로필렌, 그 외의 투명 또는 반투명 재료에 의해서 형성되어 있다.

그 용기본체(2)의 개구주변부(2a)의 내측에는, 뚜껑체(3)의 측벽(3a)이 감합 삽입되는 것이며, 그 덮개(3)의 전측(前側)에 설치한 암(4)이 캠(5)의 회동에 수반해서 직선방향으로 전진하고, 암(4)의 선단에 형성된 쐐기형상부(4a)가 창(3s)에서 돌출해 용기본체(2)의 개구주변부(2a)에 설치한 계합구멍(2b)에 삽입해 뚜껑체(3)를 잠금하고, 혹은 이 쐐기형상부(4a)가 후퇴해서 해제하는 구조로 되어 있다.

또한 도시하고 있지 않지만, 뚜껑체의 측면으로부터 돌출된 훅(hook)을 설치하여, 타방의 용기본체에는 계합돌기를 설치하고, 그 계합돌기에 상기의 훅을 걸어서 잠금하는 구성의 용기도 있고, 그 모든 타입의 것이라도 본 발명의 대상이 된다. 용기본체(2)의 개구주변부(2a)에서 수직벽으로 된 부분을 부호(2aa)로 한다.

이와 같은 정밀기판 수용용기(1)의 용기본체(2)와 뚜껑체(3)의 사이의 감합부에 장착하는 개스킷(6)은 도 2에 나타내는 바와 같이, 개스킷상부(6a)의 저면에서 외방으로 연장한 횡방향부(6b)를 설치하고, 외방레지의 1회굴절부(6c; 이하에서 간단하게 1회굴절부라고도 함)는 횡방향부(6b)를 따르고, 이어서 외방레지의 선단이기도 한 2회굴절부(6d)에 의해서 일체적으로 따른다.

2회굴절부(밀봉부)(6d)를 하향으로 일체 형성하고, 나아가 상기 개스킷상부(6a)의 상기 횡방향부의 기부에서 하향으로 내방레지(6e)를 돌설한 단면형상이 되는 루프형상체로, 그 내방레지(6e)의 상면과, 외방레지의 횡방향부(6b)의 상면의 사이에는 도 2에 나타내는 바와 같은 고저차(height defference; D)를 설치하고 있다.

또한 이 실시예에 있어서, 외방레지의 횡방향부(6b)의 벽두께는 2mm~10mm, 개스킷상부(6a)의 측면에서의 돌출길이를 3mm~30mm로 하였다.

또한 2회굴절부(6d)의 돌출길이 및 벽두께는 후기의 단면 원호형상에 되는 밀봉홈(seal channel; 2d)의 깊이보다 길고, 또한 뚜껑잠금 압력에 의해서 휘어지지 않을 정도로 설정되어 있다.

내방레지의 상면과 외방레지의 횡방향부의 상면과의 사이의 고저차(D)는 1mm~4mm로 하였다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 뚜껑플랜지(3a; 또는 뚜껑주변부)는 그 정상(3a; 또는 뚜껑주변부)에서 하향(3aa; 뚜껑측벽을 가리킴)으로 연장하며, 뚜껑판(3ab)에 있어서, (3f) 또는 (3g)에서 나타내는 바와 같이, 뚜껑측벽(3aa)은 내벽(3b) 및 외벽(3c)을 구성하는 수직리브 형태의 2개수직리브 또는 이중벽으로 나뉘어지고, 그 사이에, 도 3의 단면도에서는 개스킷(6)의 상부(6a)를 수용하기 위한 역U형상을 가지는 루프형상의 공간이 형성된다. 이 구성에 있어서, 내방레지(6e)의 상면은 내방인접면(3g)의 표면의 하측과 접해 있고, 이것에 의해 개스킷상부의 삽입 정도를 제어한다. 한편, 틈(D)은 외방인접면(3f)과 개스킷인접면과 외방레지의 1회굴절부사이의 굴절포인트에서 유지된다.

이상의 구성이 되는 본 발명 정밀기판 수용용기(1)에 있어서, 용기본체(2) 내의 슬릿(2e, 2e)사이에 웨이퍼(W)의 양측단이 삽입되도록 수납하고, 개스킷(단면도)의 상부에 계합되는 역U형상의 상방 오목에 장착되는 개스킷의 뚜껑은, 개스킷(전면도)의 상부를 수용하는 틈새를 만들며, 용기입구주변부을 피복하며, 다음으로 상기 뚜껑체(3)에 내장된 캠(5)에 의해 암(4)을 구동하고, 그 암의 선단의 쐐기형상부(4a)를 용기본체의 계합구멍(2b)에 삽입시킨다. 이것에 의해서 용기본체(2)와 뚜껑체(3)는 잠겨진다.

도 5에 나타내는 바와 같이 용기의 뚜껑잠금 시에, 우선 2회굴절부(6d)의 선단이 개스킷인접면(2c)에 접촉해서 상방(上方)으로 들어올려지며, 플랫과 외방레지(6b)의 횡방향부의 1회굴절부 사이의 굴곡부(6g)가 두껑체의 외방인접면(3f)으로 눌려진다.

나아가 용기가 잠겨지면, 외방레지의 횡방향부(6b)의 굴곡각도가 눌려 넓어지는 동시에, 횡방향부(6b)는 외방으로 연장되어 개스킷(6)의 선단 2회굴절부(6d)가 밀봉홈(2d)에 감합한다(도 6). 이 상태에서 뚜껑체(3)의 감합부인접면(3t)과 용기본체(2)의 감합부인접면(2t)이 서로 인접한다.

게다가 내방레지(6e)의 하단과 내방레지(6e)와 대향하는 개스킷인접면(2c) 사이에 약간의 틈새(C)가 설치되며, 기밀을 유지하는 상태에는 접촉하지 않는 것이 된다.

따라서 이 용기에 있어서 개스킷(6)의 어느 부분에도 뚜껑잠금에 의한 압축응력은 직접적으로 가해지지 않는다. 상기 개스킷(6)은 뚜껑체의 주변부에 따라서 탄력체 루프(elastic body looping)와, 일반적으로 2개레지벽(6a, 6b, 6c)의 부분을 가진다. 상기 두개 레지는 짧은 내방제지(6e)와 2회굴절훅으로 된 외방레지(6b, 6c 6d)를 포함한다. 개스킷이 소정의 위치에 장착되면, 뚜껑체의 주변부를 따라서 연장한다.

이와 같이, 본 발명에 의한 개스킷(6)의 2회굴절부(6d)에 의해서 만들어지는 밀봉홈(2d)으로의 접촉압은, 횡방향부의 굴곡강도와 외방향으로의 연신력의 합성력(도 7)과 동일하며, 이와 같은 개스킷의 인접압력에 의해서도 상압하에 있어서의 용기의 기밀은 충분하게 유지하는 것이 가능하다.

이와 같은 밀봉된 용기가 항공기에 적재되어 고도를 높였을 경우, 혹은 환경이 변화를 일으켰을 경우, 용기의 내압과 외기압과의 사이에 차이가 생기는 것은 상기와 같다.

본 발명의 개스킷 장착용기에 있어서 예를 들면, 용기 내의 압력이 환경의 기압보다 커지면, 개스킷(6)의 2회굴절부(6d)는 이 내압에 의해서 용기의 외방(저압측)으로 밀리게 되며, 상기 2회굴절부(6d)가 원호형상 밀봉홈(2d)의 표면을 접동 이동시키다.

이 2회굴절부(6d), 즉 밀봉부재의 선단이 접동 이동 중에, 상기 2회굴절부(6d)와 원호형상 밀봉홈(2d)의 표면과의 사이에 미세한 틈새가 생겨, 내측 용기 가스는 배출되며, 따라서 내측 용기와 외기의 기압차는 해소된다.

한편, 항공기가 고도를 내리면, 반대로 용기의 내압이 외기압보다 작아지며, 그 부압(negative pressure)에 의해서 개스킷(6)이 용기의 내측에 흡인되며, 상기 2회굴절부(6d)는 원호형상 밀봉홈(2d)의 표면에 접동하며, 용기 내측으로 이동한다.

이것에 수반해서 발생하는 원호형상 밀봉홈(2d)의 표면과 2회굴절부(6d)와의 사이의 약간의 틈새가 생기고, 그곳에서 외기가 용기 내로 유입하게 된다.

또한 2회굴절부(6d)의 원호형상 밀봉홈(2d)의 접촉압은 화살표(F) 합성력의 방향으로 작용하고 있으므로 용기 내부에서의 배기에 비해서 흡기는 더 어려운 편이며, 접동에 의해 발생하는 틈새도 보다 미세하여 파티클을 흡입하는 일은 없다.

웨이퍼 등의 정밀기판 복수장을 직접으로, 또는 카세트를 개재해서 용기본체에 수납하고, 용기 뚜껑체를 닫고, 상기 용기의 상부 또는 측벽에 장착되는 뚜껑 잠금이 작동되며, 상기 개스킷의 외방레지가 외방인접면에 의해서 하향으로 눌려져 번형된다. 그 결과, 레지의 선단은 홈에 떨어지도록 연장되며, 바꿔말하면 밀봉홈(2d)에 부분적으로 인접하게 되는 동시에 상기 개스킷은 신축 탄력성을 유지한다. 따라서 기압차가 발생하면, 선단은 인접하고 있는 지점을 이동시키는데, 그것은 작은 압력부분(용기내부의 압력이 외측보다 내측 압력이 높은 경우 선단은 외방으로 이동한다)으로 움직인다. 상기 선단의 이동 중에 선단과 홈의 면 사이에 미세한 틈이 만들어지고, 이 틈이 기압차를 동일하게 하는 통풍로의 역할을 하게 된다.

Claims

용기본체(2), 용기뚜껑체(3), 및 밀폐된 조건에서의 정밀한 수납을 요하는 카세트에 균등하게 이격된 상태로 놓여져 있는 복수의 기판 저장을 위한 카세트를 포함하는 용기로서,

상기 용기는 용기본체(2)와 그것의 뚜껑체(3)와 연결되어 밀폐용기를 위한 조정 가능한 밀봉을 만들어내는 개스킷(6)을 더 포함하고,

상기 개스킷(6)은, 뚜껑체(3)의 주변부를 따라 루프형상을 가진 탄력체, 및 짧은 내방레지(inward ledge; 6e)와 굴곡훅(bent hook; 6c, 6d, 6g)을 형성하는 외방레지(outward ledge; 6b)로 이루어진 통상 2개레지벽(two-ledged wall; 6a, 6b, 6c, 6d, 6e)의 부분을 가지며,

상기 개스킷(6)은 뚜껑체(3)의 뚜껑판(3ab) 하측과 용기본체(2) 내의 개스킷인접면(2c) 상에 장착되고, 훅선단(6d)이 개스킷인접면과 인접하기 위해 상기 개스킷인접면에 홈(channel)을 설치하고,

상기 뚜껑체(3)가 용기본체(2)의 상부를 덮을 때, 상기 개스킷(6)은 상기 훅선단(6d)이 홈(2d)에 인접함으로써 용기의 외부를 밀봉하고, 용기의 내부와 외부의 공기 사이의 압력차에 따라서, 상기 개스킷(6)은 훅선단(6d)을 최저한도로, 내측과 외측으로 홈위에서 훅선단을 이동시킴으로써 밀봉 조절을 하는 것을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 용기.
제1항에 있어서, 상기 홈(2d)은 단면도에 있어서 하향의 오목형상을 가지고, 전면에 있어서 개스킷을 따라서 개스킷인접면(2c)에 연장하고, 개스킷(6)과 평행한 것을 특징으로 하는 용기.
용기본체(2)와, 그것의 뚜껑체(3)와 연결되어 밀폐용기(1)를 위한 조정 가능한 밀봉을 만들어 내는 개스킷(6)과,

상기 개스킷(6)은 탄력체이며, 뚜껑체의(3)의 주변부을 따라서 루프형상을 가지고, 짧은 내방레지(6e)와 굴곡훅(6c, 6d, 6g)으로 형성된 외방레지(6b)로 이루어진 통상 2개레지벽(6a, 6b, 6c, 6e)의 부분을 가지고,

상기 개스킷(6)은 상기 뚜껑체(3)의 뚜껑판(3ab)의 하측과, 용기본체의 개스킷인접면(2c) 상에 장착되며, 상기 개스킷인접면(2c)과 인접하기 위한 훅선단(6d)을 위한 홈이 설치되며,

뚜껑체(3)가 용기본체(2)를 덮으며, 상기 개스킷(6)은 용기 외측에 대항해서 밀봉을 행하기 위해서 홈(2d)에 인접하는 훅선단(6d)에 의해 구비되며, 상기 개스킷(6)은 훅선단(6d)을 최저한도로, 내측 또는 외측으로 홈 위에서 훅선단(6d)을 이동함시킴으로써 밀봉 조절을 하는 것을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 용기.